DE10297010T5 - Elektrisch leitende Kontakteinheit - Google Patents

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Abstract

Elektrisch leitende Kontakteinheit mit einem elektrisch leitenden Nadelteil, das an einem Spitzenteil eine Kontaktoberfläche zum Erfassen eines zu kontaktierenden Objekts hat, und einer Schraubenfeder, welche das Nadelteil elastisch in eine Richtung drängt, um die Kontaktoberfläche mit einem zu kontaktierenden Objekt in Kontakt zu bringen, dadurch gekennzeichnet, dass das Nadelteil aus einer Edelmetalllegierung hergestellt ist, die eine große Härte und eine große Verschleißfestigkeit hat, und mit einem Material, das eine hohe elektrische Leitfähigkeit hat, auf seiner äußeren Umfangsoberfläche galvanisch überzogen ist, wobei die Kontaktoberfläche durch Freilegen der Edelmetalllegierung durch Schleifen gebildet wird.

Description

  • TECHNISCHES GEBIET
  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine elektrisch leitende Kontakteinheit zum Austauschen von Signalen mit Leiterplatten, elektronischen Vorrichtungen od. dgl.
  • HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • Eine herkömmliche elektrisch leitende Kontakteinheit zur Verwendung in Kontaktprüfköpfen zum elektrischen Testen von Leitermustern von Leiterplatten und elektronischen Vorrichtungen hat typischerweise ein elektrisch leitendes Nadelteil und einen rohrförmigen Halter, der das Nadelteil axial beweglich aufnimmt, wobei das Nadelteil durch eine Schraubenfeder elastisch in die Richtung gedrängt wird, in der die Spitze des Nadelteils aus dem vorderen Ende des Halters hervorsteht, so dass die Spitze des Nadelteils mit einem zu testenden Objekt elastisch in Kontakt gebracht werden kann.
  • Siliciumwafer und Keramikgehäuse zur Verwendung bei Halbleitervorrichtungen und Glasplatten zur Verwendung in LCD-Tafeln bestehen aus Materialien, die eine relativ große Härte haben. Diese Bauteile sind mit einer elektrischen Schaltungsanordnung versehen und werden während des Fertigungsprozesses elektrischen Tests unterworfen. Eine elektrisch leitende Kontakteinheit (ein Kontaktprüfkopf) wird für einen solchen Zweck verwendet und ist dafür ausgebildet, elektrischen Kontakt mit einem Teil der Schaltungsanordnung wie z.B. einer Klemme herzustellen.
  • Eine Form von solchen Tests ist der Waferebenentest (wafer level test oder WLT) und manchmal werden Edelmetalllegierungen für das Nadelteil einer elektrisch leitenden Kontakteinheit zur Verwendung in einem solchen Test verwendet. Paliney 7 (Markenname von The J.M. Ney Company, Bloomfield, Connecticut) ist eine von solchen Edelmetalllegierungen und ist elektrisch gut leitend, hart und verschleißfest für eine Edelmetalllegierung und beständig gegen Oberflächenoxidierung, so dass der Kontaktwiderstand über einer ausgedehnten Zeitspanne nicht ansteigen wird. Eine elektrisch leitende Kontakteinheit, bei welcher ein elektrisch leitendes Nadelteil verwendet wird, das aus diesem Material besteht, ist zum Testen einer Vorrichtung über eine Lötkugel geeignet.
  • Wenn ein Nadelteil wiederholt auf Lötkugeln aufgesetzt wird, setzt sich das Lot mit der Zeit unvermeidlich auf der Kontaktoberfläche des Nadelteils ab. Eine solche verschmutzte Kontaktoberfläche kann durch Schleifen der Oberfläche in einen ursprünglichen Zustand zurückversetzt werden, wenn das Nadelteil aus einer Edelmetalllegierung besteht. Andererseits, wenn das Nadelteil aus einem SK-Material (einem unlegierten Werkzeugstahl) besteht und mit einer galvanisch überzogenen Oberfläche versehen ist, legt Schleifen der Kontaktoberfläche nur das Material des Nadelteils frei, und die ursprüngliche elektrische Eigenschaft kann nicht zurückgewonnen werden.
  • Ein Nadelteil, das aus einer Edelmetalllegierung wie Paliney 7 besteht, weist eine hohe elektrische Leitfähigkeit auf, die aber nicht so günstig ist wie die eines Nadelteils, das aus Gold besteht oder vergoldet ist. Da die Leistungsfähigkeit von Halbleiterprodukten höher wird, erweisen sich die elektrischen Eigenschaften des vorhandenen Nadelteils, das aus einer Edelmetalllegierung besteht, mehr und mehr als unbefriedigend. Durch Vergrößern der Dicke der Vergoldungsschicht kann das Nadelteil öfter geschliffen und erneuert werden, bevor das Material des Nadelteils freigelegt wird. Das Vergrößern der Dicke der Vergoldungsschicht erhöht jedoch die Herstellungskosten des Nadelteils, und das Nadelteil kann nicht so oft wie gewünscht geschliffen werden.
  • DARSTELLUNG DER ERFINDUNG
  • Angesichts dieser Probleme des Standes der Technik und zum Verbessern der elektrischen Eigenschaft einer elektrisch leitenden Kontakteinheit, die durch Schleifen erneuert werden kann, schafft die vorliegende Erfindung eine elektrisch leitende Kontakteinheit mit einem elektrisch leitenden Nadelteil, das an einem Spitzenteil eine Kontaktoberfläche zum Erfassen eines zu kontaktierenden Objekts hat, und einer Schraubenfeder, welche das Nadelteil elastisch in eine Richtung drängt, um die Kontaktoberfläche mit einem zu kontaktierenden Objekt in Kontakt zu bringen, dadurch gekennzeichnet, dass das Nadelteil aus einer Edelmetalllegierung hergestellt ist, die eine große Härte und eine große Verschleißfestigkeit hat, und mit einem Material, das eine hohe elektrische Leitfähigkeit hat, auf seiner äußeren Umfangsoberfläche galvanisch überzogen ist, wobei die Kontaktoberfläche durch Freilegen der Edelmetalllegierung durch Schleifen gebildet wird.
  • Weil das Nadelteil aus der Edelmetalllegierung hergestellt wird, die eine große Härte und eine große Verschleißfestigkeit hat, ist es äußerst dauerhaft in dem Sinne, dass es zahlreiche Kontakte aushalten kann. Dank der Tatsache, dass die äußere Umfangsoberfläche des Nadelteils vergoldet ist, kann die elektrische Leitfähigkeit des elektrischen Pfades zwischen dem Nadelteil und der Schraubenfeder maximiert werden. Weil die Kontaktoberfläche durch Freilegen der Edelmetalllegierung durch Schleifen gebildet wird, kann, selbst wenn die Kontaktoberfläche durch Lot nach wiederholten Kontakten mit Kontaktobjekten wie Lötkugeln verschmutzt ist, die Kontaktoberfläche einfach durch Schleifen der Kontaktoberfläche erneuert werden, und die erneuerte Oberfläche besteht aus der freiliegenden Oberfläche der Edelmetalllegierung, die von der ursprünglichen Kontaktoberfläche nicht verschieden ist. Deshalb wird der Kontaktwiderstand zwischen der Kontaktoberfläche und dem Kontaktobjekt unverändert bleiben, sogar durch das wiederholte Erneuern der Kontaktoberfläche.
  • Wenn die Edelmetalllegierung Palladium enthält und wenigstens zwei Mitglieder, die aus einer Gruppe ausgewählt worden sind, welche aus Silber, Platin, Gold, Kupfer und Zink besteht, kann das Nadelteil äußerst hart und verschleißfest gemacht werden. Insbesondere wenn die Edelmetalllegierung wenigstens Palladium, Silber und Kupfer enthält, kann das Nadelteil nicht nur äußerst hart und verschleißfest gemacht werden, sondern auch günstigerweise elektrisch leitfähig. Wenn das Überzugsmaterial, das eine hohe elektrische Leitfähigkeit hat, aus Gold besteht, können ein hoher Widerstand gegen Korrosion und günstige elektrische Eigenschaften auf eine stabile Art und Weise sichergestellt werden.
  • Wenn die elektrisch leitende Kontakteinheit weiter ein zweites elektrisch leitendes Nadelteil an dem anderen Ende der Schraubenfeder aufweist und die Schraubenfeder einen eng gewickelten Teil hat, der zwischen dem ersten Nadelteil und dem zweiten Nadelteil angeordnet ist, kann, selbst wenn eines der elektrisch leitenden Nadelteile aus einer Edelmetalllegierung besteht, die eine hohe Härte und Verschleißfestigkeit hat, hinsichtlich der Bearbeitbarkeit aber zu schlecht ist, um zu erlauben, dass der Durchmesser des Nadelteils auf einen gewünschten Wert reduziert wird, dank des Vorhandenseins des eng gewickelten Teils in der Schraubenfeder zwischen den beiden Nadelteilen, wie ohne weiteres einzusehen, das elektrische Signal axial durch den eng gewickelten Teil der Druckschraubenfeder hindurchgehen, statt längs eines spiralförmigen Pfades, so dass die Induktivität der elektrisch leitenden Kontakteinheit effektiv minimiert werden kann. Deshalb, selbst wenn die Länge von einem der Nadelteile nicht ausreichend vergrößert werden kann und die Distanz zwischen den beiden Nadelteilen dadurch relativ groß gemacht wird, kann die Induktivität des elektrischen Pfades zwischen den beiden Nadelteilen trotzdem minimiert werden.
  • Auch in dem Fall der elektrisch leitenden Kontakteinheit, die zwei bewegliche Enden hat, wird bevorzugt, dass die Edelmetalllegierung Palladium und wenigstens zwei Mitglieder enthält, die aus einer Gruppe ausgewählt sind, welche aus Silber, Platin, Gold, Kupfer und Zink besteht, und insbesondere dass die Edelmetalllegierung wenigstens Palladium, Silber und Kupfer enthält. Es wird auch bevorzugt, dass das Überzugsmaterial, das eine hohe elektrische Leitfähigkeit hat, aus Gold besteht.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • Die vorliegende Erfindung wird nun im Folgen unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen beschrieben, in welchen:
  • 1 eine Vertikalschnittansicht einer elektrisch leitenden Kontakteinheit nach der Erfindung zur Verwendung in einem Kontaktprüfkopf ist;
  • 2 eine ähnliche Ansicht wie in 1 ist und die Kontakteinheit zeigt, die mit einem Objekt in Kontakt gebracht worden ist;
  • 3 eine vergrößerte Teilschnittansicht des Nadelteils ist;
  • 4 eine ähnliche Ansicht wie in 1 ist und eine zweite Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt; und
  • 5 eine Ansicht ist, die die zweite Ausführungsform zeigt, wenn sie auf ein Objekt aufgesetzt ist.
  • AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFOR-MEN
  • Bevorzugte Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung werden im Folgenden unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen beschrieben.
  • 1 ist eine Vertikalschnittansicht, die eine elektrisch leitende Kontakteinheit 1 zur Verwendung in einem Kontaktprüfkopf gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt. Diese elektrisch leitende Kontakteinheit 1 kann als solche benutzt werden, ist aber besonders geeignet zur Verwendung in einem Halter (einem Prüfkopf) eines mehrere Spitzen aufweisenden Kontaktprüfkopfes als eine von einer großen Zahl von ähnlichen elektrisch leitenden Kontakteinheiten, die eine neben der anderen angeordnet sind, z.B. für einen Waferebenentest. Bei einem solchen Kontaktprüfkopf ist der Halter an einer Platte integral befestigt, die auf einer Prüfmaschine über eine Relaisschaltungsplatte montiert ist. Die Zeichnung dient nur zur Veranschaulichung, und das tatsächliche Längenverhältnis kann sich von dem des dargestellten Beispiels unterscheiden.
  • Die elektrisch leitende Kontakteinheit 1 weist ein elektrisch leitendes Nadelteil 2 auf, eine Druckschraubenfeder 3 und einen Halter 4, der aus elektrisch isolierendem Material besteht und ein Halterloch 4a großen Durchmessers und ein Halterloch 4b kleinen Durchmessers in koaxialer Beziehung zum Aufnehmen des elektrisch leitenden Nadelteils 2 und der Druckschraubenfeder 3 hat. Das elektrisch leitende Nadelteil 2 hat einen Nadelteil 2a mit einem abgeflachten Spitzenteil, einem Flanschteil 2b, der einen größeren Durchmesser als der Nadelteil 2a hat, und einem Schaftteil 2c, der von dem anderen Ende (dem unteren Ende in der Zeichnung) des Flanschteils 2b vorsteht und einen kleineren Durchmesser als der Flanschteil 2b hat. Diese Teile 2a, 2b und 2c sind jeweils mit einem kreisförmigen Querschnitt versehen und koaxial zueinander angeordnet.
  • Derjenige Teil des Schaftteils 2c des elektrisch leitenden Nadelteils 2, der dem Flanschteil 2b benachbart ist, ist mit einem Teil 2d größeren Durchmessers versehen, welcher einen etwas größeren Durchmesser als der Rest des Schaftteils 2c hat. Der Teil 2d größeren Durchmessers ist mit Presssitz in ein Ende der Druckschraubenfeder 3 eingepasst, und das entsprechende Schraubenende umschließt dadurch elastisch den Teil 2d größeren Durchmessers. Das elektrisch leitende Nadelteil 2 ist auf diese Art und Weise mit der Druckschraubenfeder 3 verbunden. Die Verbindung zwischen dem Teil 2d größeren Durchmessers und dem entsprechenden Ende der Druckschraubenfeder 3 kann nicht nur durch das elastische Umschließen hergestellt werden, das vorstehend beschrieben ist, sondern auch durch andere Maßnahmen wie z. B. Löten. Abhängig davon, wie die Druckschraubenfeder 3 gewickelt ist, besteht der eine Endteil, der mit dem Teil 2d größeren Durchmessers verbunden ist, aus einem eng gewickelten Teil, und der Zwischenteil besteht aus einem grob gewickelten Teil, wohingegen der andere Schraubenfederendteil mit einem eng gewickelten Teil 3a versehen ist, der eine vorgeschriebene Länge hat.
  • Das Halterloch 4b kleinen Durchmessers des Halters 4 nimmt den zylindrischen Teil des Nadelteils 2a verschiebbar auf, und das Halterloch 4a großen Durchmessers nimmt den Flanschteil 2b, den Teil 2d größeren Durchmessers, den Schaftteil 2c und die Druckschraubenfeder 3 auf. Die in der Zeichnung untere Oberfläche des Halters 4 ist an einer Relaisschaltungsplatte 5 befestigt, die das offene Ende des Halterloches 4a großen Durchmessers verschließt. Die Relaisschaltungsplatte 5 ist mit dem Halter 4 durch in der Zeichnung nicht dargestellte Schrauben fest verbunden und ist mit einer internen Schaltungsanordnung 5a versehen, die eine Klemmenfläche hat, welche dem Halterloch 4a großen Durchmessers gegenüberliegt.
  • Gemäß der Darstellung in der Zeichnung wird, wenn der Halter 4 und die Relaisschaltungsplatte 5 miteinander zusammengebaut sind, das elektrisch leitende Nadelteil 2 daran gehindert, aus dem Halterloch herauszukommen, und zwar durch den Flanschteil 2b, der durch eine Schulter 4c erfasst wird, welche zwischen dem Halterloch 4b kleinen Durchmessers und dem Halterloch 4a großen Durchmessers gebildet ist. Die axiale Länge des Halterloches 4a großen Durchmessers wird derart bestimmt, dass die Druckschraubenfeder 3 einer vorgeschriebenen Anfangsbelastung durch eine kompressive Verformung derselben ausgesetzt ist. Die axialen Längen des Schaftteils 2c und des eng gewickelten Teils 3a werden derart festgelegt, dass das in der Zeichnung untere Ende des Schaftteils 2c den eng gewickelten Teil 3a in dem dargestellten Anfangszustand (vor dem Test) berührt.
  • Gemäß 2, auf die nun Bezug genommen wird, wird durch Aufsetzen der abgeflachten Spitze des elektrisch leitenden Nadelteils 2a auf ein zu testendes Objekt wie z.B. eine Lötkugel 6a einer Wafer 6 ein elektrisches Signal 1 von der Seite der Wafer 6 zu der Relaisschaltungsplatte 5 über das elektrisch leitfähige Nadelteil 2 und die Druckschraubenfeder 3 übertragen. Das Signal wird dann zu einem Steuerungssystem, das in der Zeichnung nicht gezeigt ist, über eine Schaltungsplatte geleitet, die in der Zeichnung nicht gezeigt ist, aber mit der Relaisschaltungsplatte 5 verbunden ist, und ein gewünschter Test kann durchgeführt werden.
  • In dem Anfangszustand ist der Schaftteil 2c mit dem eng gewickelten Teil 3a in Kontakt und ein zuverlässiger Kontakt zwischen dem Schaftteil 2c und dem eng gewickelten Teil kann zu der Zeit des Testens sichergestellt werden, wie es in 2 gezeigt ist. Das elektrische Signal 1 wird axial durch das elektrisch leitende Nadelteil 2 und dann zu dem eng gewickelten Teil 3a geleitet. Es dürfte ohne weiteres klar sein, dass das elektrische Signal axial durch den eng gewickelten Teil 3a der Druckschraubenfeder 3 hin durchgehen kann, statt auf einem spiralförmigen Pfad, so dass die Induktivität der elektrisch leitenden Kontakteinheit 1 effektiv minimiert werden kann.
  • Das elektrisch leitende Nadelteil 2 der elektrisch leitenden Kontakteinheit 1 nach der vorliegenden Erfindung besteht aus einer gut leitfähigen, harten und verschleißfesten Edelmetalllegierung wie Paliney 7, die weiter oben in Verbindung mit dem Stand der Technik erwähnt worden ist, und eine Vergoldungsschicht 8 ist auf der Oberfläche derselben über einer Ni-Unterschicht 7 gebildet, wie es in 3 dargestellt ist. Nachdem die Vergoldungsschicht 8 auf der gesamten äußeren Oberfläche des elektrisch leitenden Nadelteils 2 über der Ni-Unterschicht 7 gebildet worden ist, wird die Spitze (das obere Ende in der Zeichnung) zu einer ebenen Oberfläche 2e zugeschliffen, indem derjenige Teil entfernt wird, der durch gestrichelte Linien gezeigt ist, und das Material des elektrisch leitenden Nadelteils 2, das Paliney 7 ist, freigelegt wird.
  • Das Material des elektrisch leitenden Nadelteils 2 beschränkt sich nicht auf Paliney 7, sondern kann auch aus einer Legierung bestehen, die Palladium (Pd) und zwei Mitglieder enthält, welche aus einer Gruppe ausgewählt worden sind, die aus Silber (Ag), Platin (Pt), Gold (Au), Kupfer (Cu) und Zink (Zn) besteht. Die Legierung enthält vorzugsweise wenigstens Palladium, Silber und Kupfer und enthält am bevorzugtesten 35% Palladium, 30% Silber, 10% Platin, 10% Gold, 14% Kupfer und 1% Zink. Sie kann andere Elemente enthalten, solange sie eine Edelmetalllegierung ist, die eine große Härte und Verschleißfestigkeit hat.
  • Wenn das elektrisch leitende Nadelteil 2, das auf diese Art und Weise angefertigt worden ist, auf eine Lötkugel 6a viele Male aufgesetzt wird, setzt sich Fremdmaterial wie z. B. Lot unvermeidlich auf der ebenen Oberfläche 2e ab, so dass die ebene Oberfläche 2e regelmäßig gereinigt werden muss. Ein solches Reinigen kann durch Schleifen der ebenen Oberfläche 2e und Freilegen einer neuen ebenen Oberfläche erfolgen, weil sich die neu freigelegte ebene Oberfläche hinsichtlich der elektrischen Eigenschaft nicht von der ursprünglichen ebenen Oberfläche unterscheidet (wo die Edelmetalllegierung freiliegt). Durch Wiederholen eines solchen Reinigungsprozesses kann die ursprüngliche elektrische Eigenschaft oder eine stabile elektrische Eigenschaft unbegrenzt aufrechterhalten werden.
  • Weil die ebene Oberfläche 2e gebildet wird, nachdem die Vergoldungsschicht 8 auf dem elektrisch leitenden Nadelteil 2 gebildet worden ist, wie weiter oben dargelegt, wird die äußere Umfangsoberfläche des elektrisch leitenden Nadelteils 2 mit der Vergoldungsschicht 8 überzogen. Deshalb werden der Teil 2d größeren Durchmessers, der mit Presssitz in die Druckschraubenfeder 3 eingepasst ist, und der Schaftteil 2c, der den eng gewickelten Teil 3a erfasst, vergoldet. Deshalb kann, wie es in 2 gezeigt ist, der elektrische Widerstand zwischen dem Schaftteil 2c und dem eng gewickelten Teil 3a äußerst stabil gemacht werden. Die Vergoldungsschicht 8 verbessert auch die Korrosionsbeständigkeit und gewährleistet einen niedrigen elektrischen Widerstand. Selbst wenn ein Teil des elektrischen Stroms durch den mit Presssitz erfassten Teil der Druckschraubenfeder 3 fließt, wird der Kontaktwiderstand in diesem Teil daran gehindert, die Leistungsfähigkeit des elektrisch leitenden Nadelteils nachteilig zu beeinflussen.
  • Zum Stabilisieren des Kontaktwiderstands und zum Verhindern von Oxidieren kann die Druckschraubenfeder 3 vergoldet werden. Die ebene Oberfläche 2e wurde an der Spitze des Nadelteils 2a zur Berührung mit einer Lötkugel 6 in der dargestellten Ausführungsform gebildet, sie muss aber nicht exakt eben sein, sondern kann auch aus einer konkaven oder konvexen Oberfläche bestehen, die einen relativ großen Krümmungsradius hat. Auch in solchen Fällen kann die Kontaktoberfläche durch Schleifen der Oberfläche mit einem geeignet geformten Schneidwerkzeug gereinigt oder erneuert werden.
  • Dauerhaftigkeitstests wurden an der elektrisch leitenden Kontakteinheit 1, die oben beschrieben ist, durchgeführt. Der maximale elektrische Widerstand der Ausführungsform, die ein elektrisch leitendes Nadelteil hat, das aus Paliney 7 besteht, vergoldet ist und so geschliffen ist, dass die ebene Oberfläche 2e an seiner Spitze gebildet ist, betrug ungefähr 210 bis 460 mΩ bei bis zu 200.000 Mal Kontakt, wohingegen der maximale Widerstand einer elektrisch leitenden Kontakteinheit, die ein elektrisch leitendes Nadelteil hat, das einfach aus Paliney 7 hergestellt ist, ungefähr 420 bis 730 mΩ bei bis 200.000 Mal Kontakt betrug. Das zeigt, dass die elektrisch leitende Kontakteinheit nach der vorliegenden Erfindung in ihrer Leistungsfähigkeit der erhöhten Leistungsfähigkeit der Halbleiterprodukte angepasst ist.
  • Die vorgenannte Ausführungsform ist zwar auf eine Kontakteinheit gerichtet, die nur ein bewegliches Ende hat, die vorliegende Erfindung ist jedoch gleichermaßen bei Kontakteinheiten anwendbar, die zwei bewegliche Enden an beiden axialen Enden der Druckschraubenfeder haben. Ein solches Beispiel ist im folgenden mit Bezug auf 4 beschrieben.
  • Der obere Teil der dargestellten Ausführungsform kann dem der vorherigen Ausführungsform gleichen, und gleiche Teile sind mit gleichen Zahlen bezeichnet, weshalb die Beschreibung dieser Teile nicht wiederholt zu werden braucht. Eines der elektrisch leitenden Nadelteile 2 der dargestellten Ausführungsform (das obere Nadelteil in der Zeichnung) ist an seinem Spitzenteil derart konisch ausgebildet, dass der Längsschnitt des Spitzenteils mit einer Trapezform versehen ist. Das elektrisch leitende Nadelteil 2 ist mit der Druckschraubenfeder 3 durch elastischen Presssitz des Teils 2d größeren Durchmessers in einem eng gewickelten Teil 3a verbunden, der an einem Ende (dem oberen Ende in der Zeichnung) der Druckschraubenfeder 3 vorgesehen ist, und ein weiteres elektrisch leitendes Nadelteil 12 ist an dem anderen Ende (dem unteren Ende in der Zeichnung) der Druckschraubenfeder 3 koaxial vorgesehen.
  • In dieser Kontakteinheit, die zwei bewegliche Enden hat, wird ein elektrisches Signal zu der Schaltungsanordnung 5a in der Relaisschaltungsplatte 5 über das elektrisch leitende Nadelteil 12 übertragen, wie es in 5 dargestellt ist. Die Spitze des Nadelteils 2a des einen elektrisch leitenden Nadelteils 2 ist mit einer ebenen Oberfläche 2e versehen, weil es zum Kontaktieren einer Lötkugel 6a ähnlich wie die vorherige Ausführungsform vorgesehen ist und weil ein Flächenkontakt beabsichtigt ist statt eines Punktkontaktes. Andererseits ist der Nadelteil 12a des anderen elektrisch leitenden Nadelteils 12 mit einer zugespitzten Spitze versehen, wie es in der Zeichnung gezeigt ist, weil es einen ebenen Kontaktfleck der Schaltungsanordnung 5a kontaktieren soll, die in der Relaisschaltungsplatte 5 enthalten ist.
  • Das Material des unteren Nadelteils 12 kann aus einem äußerst gut bearbeitbaren SK-Material statt aus einer Edelmetalllegierung bestehen, und seine Oberfläche kann vergoldet sein, so dass eine hohe elektrische Leitfähigkeit gewährleistet werden kann, weil der Nadelteil 12a immer mit der Fläche des Kontaktfleckes der Schaltungsanordnung 5a in Kontakt gehalten wird und deshalb nicht zu Reinigungszwecken geschliffen zu werden braucht. Das elektrisch leitende Nadelteil 12 hat einen Flanschteil 12b, welcher verhindert, dass das elektrisch leitende Nadelteil 12 sich lösen kann, einen Schaftteil 12 und einen Teil 12d größeren Durchmessers. Der Teil 12d größeren Durchmessers ist mit Presssitz in ein Schraubenende der Druckschraubenfeder 3 eingepasst, der aus einem grob gewickelten Teil 3b besteht und benachbart zu dem Nadelteil 12 angeordnet ist.
  • Weil die Bearbeitbarkeit von Paliney 7 nicht besonders günstig ist, kann es einige Fertigungsprobleme bei dem Erzielen einer gewünschten axialen Länge des Schaftteils 2c geben, wenn der Durchmesser des Schaftteils 2c extrem klein ist. In einem solchen Fall kann es sein, dass das elektrische Signal eine relativ lange Strecke längs der Druckschraubenfeder 3 zurücklegen muss. Insbesondere dann, wenn das elektrische Signal dem Schraubendraht der Druckschraubenfeder auf einem spiralförmigen Pfad zwischen den beiden elektrisch leitenden Nadelteilen folgt, wird der elektrische Strom auf eine beträchtliche Induktivität treffen. Deshalb ist in der dargestellten Ausführungsform derjenige Teil der Schraubenfeder 3, welcher dem elektrisch leitenden Nadelteil 2 benachbart ist, als ein eng gewickelter Teil 3a ausgebildet, und die axiale Länge des eng gewickelten Teils 3a wird derart gewählt, dass das Ende des eng gewickelten Teils 3a, das dem elektrisch leitenden Nadelteil 12 benachbart ist, mit dem Schaftteil 12c des Nadelteils 12 in dem Anfangszustand (vor dem Test) in Kontakt ist, wie es in 4 gezeigt ist. Alternativ können Vorkehrungen getroffen werden, dass dieser Kontakt nur als ein Ergebnis einer gewissen Verlagerung des elektrisch leitenden Nadelteils 12 zu der Zeit eines Tests hergestellt wird. In jedem Fall kann, wenn die gesamte axiale Länge der Kontakteinheit, welche die beiden beweglichen Enden hat, bedeutsam ist, der Schaftteil 12c des anderen elektrisch leitenden Nadelteils 12, der aus einem besser bearbeitbarem Material besteht, langgestreckt sein, so dass der Schaftteil 12c und der eng gewickelte Teil 3a zu der Zeit eines Tests in gegenseitigen Kontakt kommen.
  • Dadurch kann das elektrische Signal das untere Nadelteil 12 über den eng gewickelten Teil 3a erreichen. Es ist klar, dass das elektrische Signal axial durch den eng gewickelten Teil 3a der Druckschraubenfeder 3 hindurchgehen kann, so dass der Test mit dem Vorteil eines sowohl niedrigen als auch stabilen elektrischen Widerstands ausgeführt werden kann.
  • Der Halter für die elektrisch leitende Kontakteinheit, die in 4 gezeigt ist, besteht aus drei Schichten von isolierenden Plattenteilen. Ein Halterloch 16 großen Durchmessers durchquert das obere Plattenteil 13, das Zwischenplattenteil 14 und das untere Plattenteil 15. Das obere Plattenteil 13 ist darüber hinaus mit einem kleinen Halterloch 13a versehen, das so bemessen ist, dass es den Nadelteil 2a des elektrisch leitenden Nadelteils 2 verschiebbar aufnimmt und verhindert, dass der Flanschteil 2b durch es hindurchgehen kann. Ebenso ist das untere Plattenteil 15 mit einem Halterloch 15a kleinen Durchmessers versehen, das so bemessen ist, dass es den Nadelteil 12a des elektrisch leitenden Nadelteils 12 verschiebbar aufnimmt und den Flanschteil 12b am Hindurchgehen hindert.
  • Wenn die Plattenteile 13, 14 und 15 aufeinander gelegt und durch Schrauben, die in der Zeichnung nicht dargestellt sind, integral zusammengehalten sind, ist die Druckschraubenfeder 3 bis zu einem gewissen Ausmaß zusammengedrückt, so dass sie eine gewisse Anfangslast erzeugt. Gemäß der Darstellung in 5 ist eine Relaisschaltungsplatte 5 auf das untere Plattenteil 15 gelegt und mit demselben durch in der Zeichnung nicht dargestellte Schrauben verbunden, so dass das elektrisch leitende Nadelteil 12 elastisch gegen die Schaltungsanordnung 5a in der Relaisschaltungsplatte 5 gedrängt ist.
  • Wenn die elektrisch leitende Kontakteinheit, die zwei bewegliche Enden hat, auf eine Lötkugel 6a zum Testen aufgesetzt wird, wird das obere Nadelteil 2 in das Halterloch 16 großen Durchmessers gegen die elastische Kraft der Druckschraubenfeder 3 gedrückt, und das obere Nadelteil 2 legt sich unter der Druckbelastung der Druckschraubenfeder 3 an die Lötkugel 6a an. Das obere Nadelteil 2 ist in dem in 5 dargestellten Zustand vollständig in dem oberen Plattenteil 13 aufgenommen, was aber nicht bedeutet, dass dieser Zustand immer zur Zeit des Testens hergestellt wird.
  • Das elektrische Signal wird zu dieser Zeit von dem oberen Nadelteil 2 zu dem Schaftteil 12c des unteren Nadelteils 12 über den eng gewickelten Teil 3a geleitet und erreicht dann die Relaisschaltungsplatte 5 über das untere Nadelteil 12. Durch Auswählen der relativen Längen des eng gewickelten Teils 3a und des Schaftteils 12c des unteren Nadelteils 12 kann das elektrische Signal zu dem unteren Nadelteil 12 über den eng gewickelten Teil 3a ungeachtet der Kontaktposition der Lötkugel 6a (oder der vorstehenden Länge des oberen Nadelteils 2) übertragen werden. Es ist ohne weiteres klar, dass das elektrische Signal axial durch die Druckschraubenfeder 3 hindurchgehen kann, so dass der Test mit dem Vorteil sowohl eines niedrigen als auch eines stabilen elektrischen Widerstands ausgeführt werden kann.
  • Die vorliegende Erfindung ist zwar anhand von bevorzugten Ausführungsformen derselben beschrieben worden, einem einschlägigen Fachmann ist jedoch klar, dass verschiedene Abwandlungen und Modifikationen möglich sind, ohne den Schutzbereich der vorliegenden Erfindung zu verlassen, welcher durch die beigefügten Patentansprüche festgelegt wird.
  • GEWERBLICHE ANWENDBARKEIT
  • Anhand der vorstehenden Ausführungsformen dürfte klar geworden sein, dass das Nadelteil, weil es aus der Edelmetalllegierung hergestellt ist, die eine große Härte und eine hohe Verschleißfestigkeit hat, äußerst dauerhaft in dem Sinne ist, dass es zahlreiche Kontakte aushalten kann. Dank der Tatsache, dass die äußere Umfangsoberfläche des Nadelteils vergoldet ist, kann die elektrische Leitfähigkeit des elektrischen Pfades zwischen dem Nadelteil und der Schraubenfeder maximiert werden. Insbesondere kann, weil die Kontaktoberfläche durch Freiliegen der Edelmetalllegierung durch Schleifen gebildet wird, selbst dann, wenn die Kontaktoberfläche durch Lot nach wiederholten Kontakten mit solchen Kontaktobjekten wie Lötkugeln verschmutzt ist, die Kontaktoberfläche einfach durch Schleifen der Kontaktoberfläche erneuert werden, und die erneuerte Oberfläche besteht aus der freiliegenden Oberfläche der Edelmetalllegierung, die sich nicht von der ursprünglichen Kontaktoberfläche unterscheidet. Deshalb wird der Kontaktwiderstand zwischen der Kontaktoberfläche und dem Kontaktobjekt ungeändert bleiben, selbst bei wiederholtem Erneuern der Kontaktoberfläche.
  • In dem Falle einer elektrisch leitenden Kontakteinheit, die zwei bewegliche Enden hat, kann durch Vorsehen eines eng gewickelten Teils in der Druckschraubenfeder zwischen den beiden elektrisch leitenden Nadelteilen der elektrisch leitende Pfad zwischen den beiden Nadelteilen so hergestellt werden, dass er aus dem eng gewickelten Teil der Schraubenfeder besteht. Dadurch kann, was ohne weiteres einzusehen ist, das elektrische Signal axial durch den eng gewickelten Teil der Druckschraubenfeder gehen statt einen spiralförmigen Weg zu nehmen, so dass die Induktivität der elektrisch leitenden Kontakteinheit effektiv minimiert werden kann. Deshalb kann, selbst . wenn eines der elektrisch leitenden Nadelteile aus einer Edelmetalllegierung hergestellt ist, die hinsichtlich der Bearbeitbarkeit zu schlecht sein kann, um zu erlauben, dass der Durchmesser des Nadelteils auf einen gewünschten Wert reduziert wird, und die Strecke zwischen den beiden Nadelteilen dadurch relativ groß gemacht wird, die Induktivität des elektrischen Pfades zwischen den beiden Nadelteilen trotzdem minimiert werden. Selbst wenn eines der Nadelteile aus der Edelmetalllegierung hergestellt wird, die eine große Härte und eine hohe Verschleißfestigkeit hat, kann der elektrisch leitenden Kontakteinheit, die zwei bewegliche Enden hat, eine gewünschte elektrische Eigenschaft gegeben werden.
  • Insbesondere dann, wenn die Edelmetalllegierung Palladium und wenigstens zwei Mitglieder enthält, die aus einer Gruppe ausgewählt worden sind, welche aus Silber, Platin, Gold, Kupfer und Zink besteht, kann das Nadelteil äußerst hart und verschleißfest für eine Edelmetalllegierung gemacht werden. Weil die Oberfläche frei von Oxidierung ist, kann außerdem der elektrische Widerstand für eine ausgedehnte Zeitspanne niedrig gehalten werden, und die Kontaktoberfläche braucht nicht mit einem Material überzogen zu werden, das eine hohe elektrische Leitfähigkeit hat. Deshalb ist dieses Material besonders geeignet zur Verwendung in Nadelteilen, die zum Reinigen regelmäßig geschliffen werden. Wenn die Edelmetalllegierung wenigstens Palladium, Silber und Kupfer enthält, kann das Nadelteil darüber hinaus mit einer günstigen elektrischen Leitfähigkeit versehen werden. Wenn das Überzugsmaterial, das eine hohe elektrische Leitfähigkeit hat, aus Gold besteht, können eine hohe Korrosionsfestigkeit und günstige elektrische Eigenschaften auf stabile Art und Weise gewährleistet werden.
  • Zusammenfassung
  • In der elektrisch leitenden Kontakteinheit nach der vorliegenden Erfindung besteht ein elektrisch leitendens Nadelteil (2) aus einer Edelmetalllegierung, die eine große Härte und Verschleißfestigkeit hat, und ist mit einer Vergoldungsschicht (8) über einer Ni-Unterschicht (7) versehen, und eine ebene Oberfläche (2e) ist durch einen Spitzenteil desselben so gebildet, dass das Material des Nadelteils freiliegt. Dadurch wird die Dauerhaftigkeit des Nadelteils gewährleistet, und die elektrische Leitfähigkeit des elektrischen Pfades zwischen dem Nadelteil und der Schraubenfeder wird durch die Vergoldungsschicht maximiert. Selbst wenn die Kontaktoberfläche durch Lotauftrag nach wiederholten Berührungen mit Kontaktobjekten wie Lötkugeln verschmutzt ist, kann einfach durch Schleifen der Kontaktoberfläche und Freilegen einer neuen Oberfläche der Kontaktwiderstand zwischen den Kontaktoberfläche und dem Kontaktobjekt durch Schleifen ungeändert gehalten werden, so dass der Test mit dem Vorteil eines niedrigen Widerstands zu allen Zeiten ausgeführt werden kann.

Claims (8)

  1. Elektrisch leitende Kontakteinheit mit einem elektrisch leitenden Nadelteil, das an einem Spitzenteil eine Kontaktoberfläche zum Erfassen eines zu kontaktierenden Objekts hat, und einer Schraubenfeder, welche das Nadelteil elastisch in eine Richtung drängt, um die Kontaktoberfläche mit einem zu kontaktierenden Objekt in Kontakt zu bringen, dadurch gekennzeichnet, dass das Nadelteil aus einer Edelmetalllegierung hergestellt ist, die eine große Härte und eine große Verschleißfestigkeit hat, und mit einem Material, das eine hohe elektrische Leitfähigkeit hat, auf seiner äußeren Umfangsoberfläche galvanisch überzogen ist, wobei die Kontaktoberfläche durch Freilegen der Edelmetalllegierung durch Schleifen gebildet wird.
  2. Elektrisch leitende Kontakteinheit nach Anspruch 1, wobei die Edelmetalllegierung Palladium und wenigstens zwei Mitglieder enthält, die aus einer Gruppe ausgewählt worden sind, welche aus Silber, Platin, Gold, Kupfer und Zink besteht.
  3. Elektrisch leitende Kontakteinheit nach Anspruch 1, wobei die Edelmetalllegierung wenigstens Palladium, Silber und Kupfer enthält.
  4. Elektrisch leitende Kontakteinheit nach Anspruch 1, wobei das Überzugsmaterial, das eine hohe elektrische Leitfähigkeit hat, aus Gold besteht.
  5. Elektrisch leitende Kontakteinheit nach Anspruch 1, weiter mit einem zweiten elektrisch leitenden Nadelteil an dem anderen Ende der Schraubenfeder, wobei die Schraubenfeder einen eng gewickelten Teil aufweist, der zwischen dem ersten Nadelteil und dem zweiten Nadelteil angeordnet ist.
  6. Elektrisch leitende Kontakteinheit nach Anspruch 5, wobei die Edelmetalllegierung Palladium und wenigstens zwei Mitglieder enthält, die aus einer Gruppe ausgewählt worden sind, welche aus Silber, Platin, Gold, Kupfer und Zink besteht.
  7. Elektrisch leitende Kontakteinheit nach Anspruch 5, wobei die Edelmetalllegierung wenigstens Palladium, Silber und Kupfer enthält.
  8. Elektrisch leitende Kontakteinheit nach Anspruch 5, wobei das Überzugsmaterial, das eine hohe elektrische Leitfähigkeit hat, aus Gold besteht.
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