DE1024640B - Verfahren zur Herstellung von Kristalloden - Google Patents

Verfahren zur Herstellung von Kristalloden

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Cyril F Drake
Frederick C Geary
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International Standard Electric Corp
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International Standard Electric Corp
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    • H10D62/10—Shapes, relative sizes or dispositions of the regions of the semiconductor bodies; Shapes of the semiconductor bodies
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
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    • C30B31/00—Diffusion or doping processes for single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure; Apparatus therefor
    • C30B31/02—Diffusion or doping processes for single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure; Apparatus therefor by contacting with diffusion materials in the solid state
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