DE102020209955A1 - Schutzelementausbildungsvorrichtung - Google Patents

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Yoshinori KAKINUMA
Yoshikuni MIGIYAMA
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Abstract

Eine Schutzelementausbildungsvorrichtung zum Ausbilden eines Schutzelements an einer oberen Oberfläche eines Substrats durch ein Schichten eines flüssigen Kunststoffs und einer Abdeckfolie an einem Kunststofffilm weist auf: eine Flüssigkunststoffzuführeinheit, die ausgestaltet ist, um den flüssigen Kunststoff auf den Kunststofffilm zuzuführen; eine Drückeinheit mit einer Drückoberfläche, wobei die Drückeinheit ausgestaltet ist, um den flüssigen Kunststoff durch ein Drücken des flüssigen Kunststoffs durch die Drückoberfläche über die Abdeckfolie über den Kunststofffilm zu verteilen; und eine Bestimmungseinheit, die ausgestaltet ist, um den Zustand des verteilten flüssigen Kunststoffs zu bestimmen. Die Bestimmungseinheit weist auf: einen Bestimmungsabschnitt, der ausgestaltet ist, um zu bestimmen, ob der flüssige Kunststoff in Bezug auf das Substrat über einen vorgegebenen Bereich verteilt ist oder nicht.

Description

  • TECHNISCHER HINTERGRUND
  • Technisches Gebiet
  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Schutzelementausbildungsvorrichtung, die ein Schutzelement an der oberen Oberfläche eines Substrats mit Vorsprüngen und Vertiefungen an der oberen Oberfläche ausbilden.
  • Beschreibung der verwandten Technik
  • In einer elektronischen Vorrichtung wie beispielsweise einem Mobiltelefon oder einem Computer verwendete Bauelementchips werden durch ein Schleifen und ein dünnes Ausgestalten eines Substrats mit mehreren Seite-an-Seite daran angeordneten Bauelementen von einer Seite einer unteren Oberfläche ausgebildet, wodurch das Substrat in jedes Bauelement geteilt wird. Das Schleifen des Substrats wird durch eine Schleifvorrichtung durchgeführt. Die Schleifvorrichtung hält das Substrat an einem Einspanntisch in einem Zustand, in dem die Seite der unteren Oberfläche des Substrats nach oben freiliegt, und schleift das Substrat durch ein In-Kontakt-bringen eines sich in einer ringförmigen Umlaufbahn bewegenden Schleifsteins mit der Seite der unteren Oberfläche des Substrats. Um die Seite der oberen Oberfläche des Substrats zu diesem Zeitpunkt zu schützen, wird ein Schutzelement, in dem eine Basismaterialschicht und eine Klebstoffschicht laminiert sind, im Vorhinein an der oberen Oberfläche des Substrats befestigt.
  • Die Seite der oberen Oberfläche des Substrats ist mit Bauelementen, einer Verkabelung ausbildenden Mustern und dergleichen versehen. Zusätzlich könnten als Elektroden der Bauelemente dienende Bumps im Vorhinein an der Seite der oberen Oberfläche des Substrats ausgebildet sein. Deswegen bilden die unterschiedlichen Arten von Mustern, die Bumps und dergleichen Vorsprünge und Vertiefungen an der oberen Oberfläche des Substrats aus. Wenn die Vorsprünge und Vertiefungen der oberen Oberfläche des Substrats eine große Höhendifferenz aufweisen, nimmt die Klebstoffschicht des Schutzelements die Vorsprünge und Vertiefungen nicht ausreichend auf, sodass die Befestigung des Schutzelements instabil wird. Zusätzlich wird eine Oberfläche an der Basismaterialschichtseite des Schutzelements nicht eben, sodass der Einspanntisch der Schneidvorrichtung das Substrat nicht gleichförmig trägt. Somit wird die untere Oberfläche des Substrats nicht eben, wenn das Substrat geschliffen wird.
  • Ferner muss ein Umfangsüberschussbereich, in dem die Bauelemente nicht an einem äußeren Umfangsabschnitt des Substrats ausgebildet sind, keine darin ausgebildeten Muster oder Bumps aufweisen und er ist niedriger als ein Bauelementausbildungsbereich, in dem die Bauelemente ausgebildet sind. Somit kann das Schutzelement nicht ausreichend am äußeren Umfangsabschnitt des Substrats befestigt werden. Deswegen besteht eine Neigung zum Auftreten von Abplatzungen am äußeren Umfang des Substrats, wenn das Substrat geschliffen wird. Es könnte ein Schutzelement mit einer dicken Klebstoffschicht, um in der Lage zu sein, die Vorsprünge und Vertiefungen der oberen Oberfläche des Substrats aufzunehmen, verwendet werden. In diesem Fall neigt ein Rückstand der Klebstoffschicht dazu, an den Vorsprüngen und Vertiefungen zu verbleiben, wenn das Schutzelement vom Substrat abgezogen wird und zu einer Ursache eines Defekts in den Bauelementchips wird.
  • Demgemäß ist ein Schutzelement entwickelt worden, das durch ein Zuführen eines flüssigen Kunststoffs auf eine Abdeckfolie, ein Platzieren des Substrats an der Abdeckfolie in einem Zustand, in dem die Seite der oberen Oberfläche des Substrats nach unten gerichtet ist, ein Drücken des Substrats von oben und somit ein Bewirken, dass der flüssige Kunststoff in die Vorsprünge und Vertiefungen des Substrats eindringt, und ein Härten des flüssigen Kunststoffs ausgebildet wird (siehe beispielsweise japanische Offenlegungsschrift Nr. 2017-50536 ). Wenn das Schutzelement an der oberen Oberfläche des Substrats ausgebildet wird, wird im Vorhinein ein Film an der oberen Oberfläche des Substrats angeordnet. Zu diesem Zeitpunkt wird der Film so an der oberen Oberfläche des Substrats angehaftet, dass er den Vorsprüngen und Vertiefungen der oberen Oberfläche des Substrats entspricht. Indessen muss der Film die in mindestens einem am Bauelementausbildungsbereich des Substrats anhaftenden Bereich ausgebildete Klebstoffschicht nicht aufweisen, sodass die Klebstoffschicht nicht in Kontakt mit dem Bauelementausbildungsbereich des Substrats steht. Hier wird, wenn ein Film verwendet wird, der größer ist als die obere Oberfläche des Substrats, zu einem Zeitpunkt, zu dem die Flüssigkunststoffverteilung nach außerhalb der oberen Oberfläche des das Äußere des Substrats erreicht, der flüssige Kunststoff durch den Film unten gehalten, sodass der flüssige Kunststoff nicht auf die Seite der unteren Oberfläche des Substrats herum verläuft. Das ausgebildete Schutzelement weist den Film, den gehärteten flüssigen Kunststoff und die Abdeckfolie auf. Eine Oberfläche an der Abdeckfolienseite ist eben. Wenn das Schutzelement mit dem Film dann von der oberen Oberfläche des Substrats entfernt wird, nachdem das Substrat geschliffen wurde, verbleibt kein Rückstand des flüssigen Kunststoffs und der Klebstoffschicht an den Vorsprüngen und Vertiefungen der oberen Oberfläche des Substrats.
  • DARSTELLUNG DER ERFINDUNG
  • Allerdings könnte, wenn der zum an der oberen Oberfläche des Substrats haftenden Film zugeführte flüssige Kunststoff gedrückt und verteilt wird, der flüssige Kunststoff nicht ausreichend über einen vorgegebenen Bereich verteilt werden. Wenn ein Schutzelement durch ein Härten des flüssigen Kunststoffs in einem Zustand, in dem der flüssige Kunststoff nicht ausreichend verteilt wird, ausgebildet wird, wird das Substrat zu einem Zeitpunkt, zu dem das Substrat an den Einspanntisch der Schleifvorrichtung geladen wird, nicht ausreichend getragen. Es tritt folglich ein Problem auf, da ein gewünschtes Schleifergebnis nicht erhalten wird.
  • Es ist demgemäß ein Ziel der vorliegenden Erfindung, eine Schutzelementausbildungsvorrichtung bereitzustellen, die bestimmen kann, ob der flüssige Kunststoff über einen vorgegebenen Bereich verteilt ist oder nicht, wenn der flüssige Kunststoff gedrückt und verteilt wird.
  • Gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung wird eine Schutzelementausbildungsvorrichtung zum Ausbilden eines Schutzelements an einer oberen Oberfläche eines Substrats mit Vorsprüngen und Vertiefungen an der oberen Oberfläche, wobei das Schutzelement ebener als die Vorsprünge und Vertiefungen an der oberen Oberfläche ist, durch ein Schichten eines flüssigen Kunststoffs von einem ultraviolett-härtenden Typ und einer Abdeckfolie an einem an der oberen Oberfläche des Substrats haftenden Kunststofffilm bereitgestellt, um den Vorsprüngen und Vertiefungen zu entsprechen, wobei der Kunststofffilm größer als das Substrat ist, wobei die Schutzelementausbildungsvorrichtung aufweist: einen Tragtisch, der ausgestaltet ist, um das Substrat mit dem an der oberen Oberfläche haftenden Kunststofffilm zu tragen; eine Flüssigkunststoffzuführeinheit, die ausgestaltet ist, um den flüssigen Kunststoff auf den am am Tragtisch getragenen Substrat haftenden Kunststofffilm zuzuführen; eine Drückeinheit mit einer Drückoberfläche, die in der Lage ist, die Abdeckfolie zu halten, wobei die Drückoberfläche eben ist und eine lichttransmittierende Eigenschaft aufweist, wobei die Drückeinheit ausgestaltet ist, um den flüssigen Kunststoff durch ein Drücken des auf den Kunststofffilm zugeführten flüssigen Kunststoffs durch die Drückoberfläche über die von der Drückoberfläche gehaltene Abdeckfolie über den Kunststofffilm zu verteilen; eine Ultraviolettbestrahlungseinheit, die ausgestaltet ist, um den flüssigen Kunststoff durch ein Bestrahlen des flüssigen Kunststoffs mit Ultraviolettstrahlen durch die Drückoberfläche und die Abdeckfolie zu härten und das Schutzelement mit dem Kunststofffilm, dem gehärteten flüssigen Kunststoff und der Abdeckfolie auszubilden; und eine Bestimmungseinheit, die ausgestaltet ist, um einen Zustand des von der Drückeinheit verteilten flüssigen Kunststoffs zu bestimmen, wobei die Bestimmungseinheit aufweist: eine Kamera, die ausgestaltet ist, um den flüssigen Kunststoff und das Substrat von oben durch die Drückoberfläche der Drückeinheit zu fotografieren, einen Bestimmungsabschnitt, der ausgestaltet ist, um den flüssigen Kunststoff und das Substrat aus einer durch ein Fotografieren durch die Kamera erhaltenen Abbildung zu detektieren und zu bestimmen, ob der flüssige Kunststoff in Bezug auf das Substrat über einen vorgegebenen Bereich verteilt ist oder nicht, und einen Benachrichtigungsabschnitt, der ausgestaltet ist, um eine Benachrichtigung hinsichtlich eines Bestimmungsergebnisses des Bestimmungsabschnitts auszugeben.
  • Zusätzlich wird gemäß einem weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung eine Schutzelementausbildungsvorrichtung zum Ausbilden eines Schutzelements an einer oberen Oberfläche eines Substrats mit Vorsprüngen und Vertiefungen an der oberen Oberfläche, wobei das Schutzelement ebener als die Vorsprünge und Vertiefungen an der oberen Oberfläche ist, durch ein Schichten eines flüssigen Kunststoffs von einem ultraviolett-härtenden Typ und einer Abdeckfolie an einem an der oberen Oberfläche des Substrats haftenden Kunststofffilm, um den Vorsprüngen und Vertiefungen zu entsprechen bereitgestellt, wobei der Kunststofffilm größer als das Substrat ist, wobei die Schutzelementausbildungsvorrichtung aufweist: einen Tragtisch, der eine durch ein lichttransmittierendes Element ausgebildete Tragoberfläche aufweist, wobei der Tragtisch in der Lage ist, die Abdeckfolie durch die Tragoberfläche zu tragen; eine Flüssigkunststoffzuführeinheit, die ausgestaltet ist, um den flüssigen Kunststoff zu einer oberen Oberfläche der am Tragtisch getragenen Abdeckfolie zuzuführen; eine Drückeinheit, die ausgestaltet ist, um das Substrat in einem Zustand, in dem die obere Oberfläche, an welcher der Kunststofffilm haftet, nach unten gerichtet ist, durch eine ebene Drückoberfläche von oben so zu drücken, dass der Kunststofffilm an dem flüssigen Kunststoff an der am Tragtisch getragenen Abdeckfolie haftet; eine Ultraviolettbestrahlungseinheit, die ausgestaltet ist, um den flüssigen Kunststoff durch ein Bestrahlen des flüssigen Kunststoffs mit Ultraviolettstrahlen durch die Tragoberfläche des Tragtischs und die Abdeckfolie zu härten und das Schutzelement mit dem Kunststofffilm, dem gehärteten flüssigen Kunststoff und der Abdeckfolie auszubilden; und eine Bestimmungseinheit, die ausgestaltet ist, um einen Zustand des von der Drückeinheit verteilten flüssigen Kunststoffs zu bestimmen, wobei die Bestimmungseinheit aufweist: eine Kamera, die ausgestaltet ist, um den flüssigen Kunststoff und das Substrat von unten durch die Tragoberfläche des Tragtischs zu fotografieren, einen Bestimmungsabschnitt, der ausgestaltet ist, um das Substrat und den flüssigen Kunststoff aus einer durch ein Fotografieren durch die Kamera erhaltenen Abbildung zu detektieren und zu bestimmen, ob der flüssige Kunststoff in Bezug auf das Substrat über einen vorgegebenen Bereich verteilt ist oder nicht, und einen Benachrichtigungsabschnitt, der ausgestaltet ist, um eine Benachrichtigung hinsichtlich eines Bestimmungsergebnisses des Bestimmungsabschnitts auszugeben.
  • Bevorzugt weist die Kamera eine Fischaugen-Linse oder eine Weitwinkel-Linse auf, die so angeordnet ist, dass sie der Ultraviolettbestrahlungseinheit benachbart ist und an einer Position installiert ist, die einem Zentrum des zugewandten Substrats entspricht, und wird das Fotografieren unter Verwendung der Fischaugen-Linse oder der Weitwinkel-Linse durchgeführt.
  • Die Schutzelementausbildungsvorrichtung gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung führt den flüssigen Kunststoff auf den an der oberen Oberfläche des Substrats haftenden Kunststofffilm zu und verteilt den flüssigen Kunststoff durch ein Drücken des flüssigen Kunststoffs durch die Drückoberfläche der Drückeinheit über die Abdeckfolie über den Kunststofffilm. Zu diesem Zeitpunkt ist die Richtung der Drückoberfläche beispielsweise so eingestellt, dass die Drückoberfläche parallel zur unteren Oberfläche des Substrats ist. Die Schutzelementausbildungsvorrichtung weist die Bestimmungseinheit mit der Kamera, welche den flüssigen Kunststoff und das Substrat von oben durch die Drückoberfläche fotografiert, auf. Alternativ führt die Schutzelementausbildungsvorrichtung gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung den flüssigen Kunststoff auf die Abdeckfolie zu und verteilt den flüssigen Kunststoff durch ein Drücken des flüssigen Kunststoffs durch das Substrat, an dem der Kunststofffilm haftet, über den Kunststofffilm, über die Abdeckfolie. Die Schutzelementausbildungsvorrichtung weist die Bestimmungseinheit mit der Kamera, die den flüssigen Kunststoff und das Substrat von unten durch die Tragoberfläche des die Abdeckfolie tragenden Tragtischs aufnimmt, auf.
  • Wenn der flüssige Kunststoff und das Substrat durch die Kamera fotografiert werden, kann bestimmt werden, ob der flüssige Kunststoff über den vorgegebenen Bereich verteilt ist oder nicht. Deswegen kann in einem Fall, in dem der flüssige Kunststoff nicht ausreichend verteilt ist, detektiert werden, dass der flüssige Kunststoff nicht ausreichend verteilt ist und der flüssige Kunststoff kann durch ein weiteres Drücken des flüssigen Kunststoffs verteilt werden, bevor der flüssige Kunststoff gehärtet wird. Das Härten des flüssigen Kunststoffs wird durchgeführt, nachdem bestätigt ist, dass der flüssige Kunststoff ausreichend verteilt ist. Das Schutzelement kann deswegen geeignet an der oberen Oberfläche des Substrats ausgebildet werden.
  • Deswegen wird gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung eine Schutzelementausbildungsvorrichtung bereitgestellt, die bestimmen kann, ob ein flüssiger Kunststoff über einen vorgegebenen Bereich verteilt ist oder nicht, wenn der flüssige Kunststoff gedrückt und verteilt wird.
  • Die obigen und weitere Ziele, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung und die Art, diese zu realisieren, werden ersichtlicher und die Erfindung selbst wird am besten durch ein Studium der folgenden Beschreibung und der angehängten Ansprüche unter Bezugnahme auf die angehängten Zeichnungen, die eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung zeigen, verstanden.
  • Figurenliste
    • 1 ist eine Perspektivansicht, die schematisch ein Substrat darstellt;
    • 2 ist eine Draufsicht, die schematisch eine Schutzelementausbildungsvorrichtung darstellt;
    • 3A ist eine Schnittansicht, die schematisch eine Kunststofffilmanhafteinheit darstellt;
    • 3B ist eine Schnittansicht, die schematisch in einem vergrößerten Maßstab das Substrat mit einem an einer oberen Oberfläche davon anhaftenden Kunststofffilm darstellt;
    • 4A ist eine Schnittansicht, die schematisch das von einer Übertragungseinheit gehaltene Substrat darstellt;
    • 4B ist eine Schnittansicht, die schematisch einen Zustand darstellt, in dem das Ansaugen und das Halten des Kunststofffilms durch Ansaugpads der Übertragungseinheit, die das Substrat an einen Tragtisch transportiert hat, gelöst ist;
    • 5A ist eine Schnittansicht, die schematisch einen Zustand darstellt, in dem das Ansaugen und Halten des Kunststofffilms durch Ansaugpads vom kontaktlosen Typ der Übertragungseinheit gelöst worden ist;
    • 5B ist eine Schnittansicht, die schematisch das Substrat mit einem zur oberen Oberfläche des Kunststofffilms zugeführten flüssigen Kunststoff darstellt;
    • 6 ist eine Schnittansicht, die schematisch ein Substrat, an dem ein Kunststofffilm haftet, einen flüssigen Kunststoff, eine Drückeinheit und eine Bestimmungseinheit darstellt;
    • 7A ist eine Schnittansicht, die schematisch einen Zustand darstellt, in dem der flüssige Kunststoff von der Drückeinheit gedrückt wird;
    • 7B ist eine Schnittansicht, die schematisch ein an der oberen Oberfläche des Substrats ausgebildetes Schutzelement darstellt;
    • 8 ist eine Schnittansicht, die schematisch die Drückeinheit darstellt;
    • 9A ist eine Draufsicht, die schematisch den über dem Substrat zugeführten flüssigen Kunststoff darstellt;
    • 9B ist eine Draufsicht, die schematisch den gedrückten flüssigen Kunststoff darstellt;
    • 9C ist eine Draufsicht, die schematisch den weiter gedrückten flüssigen Kunststoff darstellt;
    • 10 ist eine Schnittansicht, die schematisch einen Zustand darstellt, in dem das an der oberen Oberfläche des Substrats ausgebildete Schutzelement entlang des äußeren Umfangs des Substrats geschnitten wird; und
    • 11 ist eine Schnittansicht, die schematisch eine Bestimmungseinheit gemäß einer Modifikation darstellt.
  • AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORM
  • Eine Ausführungsform gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung wird unter Bezugnahme auf die beiliegenden Zeichnungen beschrieben werden. Eine Schutzelementausbildungsvorrichtung gemäß der vorliegenden Ausführungsform bildet ein Schutzelement an der oberen Oberfläche eines Substrats wie beispielsweise eines Halbleiterwafers oder dergleichen aus, wobei das Substrat mehrere an der Oberfläche davon ausgebildete Bauelemente aufweist. Das Substrat mit dem an der oberen Oberfläche davon ausgebildeten Schutzelement wird zunächst beschrieben werden. 1 ist eine Perspektivansicht, die schematisch ein Substrat 1 darstellt. Das Substrat 1 ist beispielsweise ein aus einem Material wie beispielsweise Silizium (Si), Siliziumcarbid (SiC), Galliumnitrid (GaN), Galliumarsenid (GaAs) oder einem anderen Halbleiter ausgebildeter Wafer. Alternativ ist das Substrat 1 ein aus einem Material wie beispielsweise Saphir, Glas oder Quarz ausgebildetes im Wesentlichen scheibenförmiges Substrat. Das Glas ist beispielsweise Alkaliglas, Nicht-Alkaliglas, Kalk-Natron-Glas, Bleiglas, Borsilikatglas, Quarzglas, oder dergleichen.
  • 1 stellt schematisch eine Perspektivansicht des Substrats 1 dar. 3A stellt schematisch eine Schnittansicht des Substrats 1 dar. 3B stellt schematische eine vergrößerte Schnittansicht des Substrats 1 dar. Mehrere einander schneidende geplante Teilungslinien 3 sind an einer oberen Oberfläche 1a des Substrats 1 festgelegt. Ein Bauelement 5 wie beispielsweise ein integrierter Schaltkreis (IC) oder eine Large Scale Integration (LSI) ist in jedem durch die geplanten Teilungslinien 3 abgetrennten Bereiche ausgebildet. Einzelne Bauelementchips können ausgebildet werden, wenn das Substrat 1 entlang der geplanten Teilungslinien 3 durch ein Schleifen des Substrats 1 von einer Seite einer unteren Oberfläche 1b und somit ein dünnes Ausgestalten des Substrats 1 ausgebildet werden. Mehrere als Bumps 7 bezeichnete aus einem Metall ausgebildete vorstehende Abschnitte sind an der oberen Oberfläche 1a des Substrats 1 vorgesehen. Jeder der Bumps 7 ist elektrisch mit dem Bauelement 5 verbunden und dient als eine Elektrode bei einem Eingeben oder Ausgeben eines elektrischen Signals am Bauelement 5, nachdem die Bauelementchips durch ein Teilen des Substrats 1 ausgebildet sind. Die Bumps 7 sind beispielsweise aus einem metallischen Material wie beispielsweise Gold, Silber, Kupfer oder Aluminium ausgebildet. Allerdings könnten die Bumps 7 nicht notwendigerweise an der oberen Oberfläche 1a des Substrats 1 vorgesehen sein.
  • Ein Bereich an einer äußeren Umfangsseite, der einen Bereich umgibt, in dem die mehreren Bauelemente 5 an der oberen Oberfläche 1a des Substrats 1 ausgebildet sind, wird als ein Umfangsüberschussbereich 11 bezeichnet. Der Umfangsüberschussbereich 11 der oberen Oberfläche 1a des Substrats 1 weist keine darin ausgebildeten Bauelemente 5 auf und weist auch keine als die Elektroden der Bauelemente 5 ausgebildeten Bumps 7 darin auf. Der vom Umfangsüberschussbereich 11 der oberen Oberfläche 1a des Substrats 1 umgebene Bereich wird als ein Bauelementausbildungsbereich 9 bezeichnet. Der Bauelementausbildungsbereich 9 der oberen Oberfläche 1a des Substrats 1 ist nicht eben und weist Vorsprünge und Vertiefungen auf, die von jedem die Bauelemente 5 und die Bumps 7 ausbildenden Muster resultieren. Andererseits ist der Umfangsüberschussbereich 11 der oberen Oberfläche 1a eben.
  • Es ist zu beachten, dass das Substrat 1, an dem das Schutzelement ausgebildet ist, nicht darauf beschränkt ist. Beispielsweise könnte das Substrat 1, an dem das Schutzelement ausgebildet ist, ein durch ein Verschließen von mehreren an einer ebenen Oberfläche angeordneten Bauelementen mit einem Verschlusskunststoff ausgebildetes Packungssubstrat sein. Einzelne Bauelementchips mit einer vorgegebenen Dicke, die durch den Verschlusskunststoff verschlossen sind, können ausgebildet werden, wenn das Packungssubstrat durch ein Schleifen des Verschlusskunststoffs an der Seite der unteren Oberfläche des Packungssubstrats dünn ausgestaltet wird und das Packungssubstrat somit auf einer Bauelement-für-Bauelement-Basis geteilt wird. Als Elektroden von einzelnen Bauelementen dienende Bumps sind an der oberen Oberfläche des Packungssubstrats ausgebildet. Somit ist auch die obere Oberfläche des Packungssubstrats nicht eben und weist Vorsprünge und Vertiefungen auf.
  • Wenn das Substrat 1 durch ein Schleifen des Substrats 1 von der Seite der unteren Oberfläche 1b durch eine Schleifvorrichtung dünn ausgestaltet wird und das Substrat 1 somit geteilt wird, werden auf eine vorgegebene Dicke dünn ausgestaltete Bauelementchips erhalten. Ein Schutzelement ist im Vorhinein an der Seite der oberen Oberfläche 1a befestigt, um die Seite der oberen Oberfläche 1a zu schützen, wenn das Substrat 1 von der Seite der unteren Oberfläche 1b geschliffen wird. Wenn das Substrat 1 mit dem an der oberen Oberfläche 1a befestigten Schutzelement in die Schleifvorrichtung befördert wird, wird das Substrat 1 über das Schutzelement geeignet an einem Tragtisch getragen.
  • Die Schutzelementausbildungsvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung wird im Folgenden beschrieben werden. 2 ist eine Draufsicht, die schematisch eine Schutzelementausbildungsvorrichtung 2 darstellt. Die Schutzelementausbildungsvorrichtung 2 weist eine die Bestandteile tragende Basis 4 auf. Ein Endabschnitt der Basis 4 ist mit mit Kassetten 8a und 8b bestückten Kassettenanbringbasen 6a und 6b, die mehrere Substrate 1 unterbringen, versehen. Ein Substrat 1 vor einem Ausbilden eines Schutzelements ist beispielsweise in der an der Kassettenanbringbasis 6a platzierten Kassette 8a untergebracht und wird in die Schutzelementausbildungsvorrichtung 2 befördert. Dann wird das Substrat 1 mit dem an der oberen Oberfläche 1a in der Schutzelementausbildungsvorrichtung 2 ausgebildeten Schutzelement beispielsweise in der an der Kassettenanbringbasis 6b platzierten Kassette 8b untergebracht.
  • Ein Substratübertragungsroboter 10a ist an einer Position neben der Kassettenanbringbasis 6a an der Basis 4 vorgesehen. Ein Substratübertragungsroboter 10b ist an einer Position neben der Kassettenanbringbasis 6b vorgesehen. Die Substratübertragungsroboter 10a und 10b sind beispielsweise ein Gelenkroboter mit mehreren Armabschnitten, die miteinander so verbunden sind, dass sie kontinuierlich um gemeinsame Endabschnitte drehbar sind. Substrathalteabschnitte 10c und 10d, die ein Substrat 1 halten können, sind an distalen Enden von Armabschnitten an einer am weitesten distalen Endseite vorgesehen. Die Substrathalteabschnitte 10c und 10d können bewegt werden, wenn die Armabschnitte in Bezug aufeinander gedreht werden. Die Substrathalteabschnitte 10c und 10d der Substratübertragungsroboter 10a und 10b werden in die an den Kassettenanbringbasen 6a und 6b platzierten Kassetten 8a und 8b eingebracht und befördern Substrate 1 in die Kassetten 8a und 8b und daraus heraus. Hier weisen die Substratübertragungsroboter 10a und 10b an der Basis 4 errichtete und die Armabschnitte tragende Schaftabschnitte; und Anhebe- und Absenkmechanismen, welche die Schaftabschnitte anheben und absenken, auf. Die Anhebe- und Absenkmechanismen heben die Substrathalteabschnitte 10c und 10d zusammen mit den Schaftabschnitten an und senken sie ab, sodass die Substrathalteabschnitte 10c und 10d mit der Höhe eines Kassettenunterbringungsbereichs von mehreren in den Kassetten 8a und 8b vorhandenen gestapelten Kassettenunterbringungsbereichen, in den und aus dem ein Substrat hinein- und herauszubefördern ist, übereinstimmen.
  • Der Substratübertragungsroboter 10a weist eine Funktion eines Übertragens eines in der an der Kassettenbasis 6a angebrachten Kassette 8a untergebrachten Substrats 1 zu einer als nächstes zu beschreibenden Kunststofffilmanhafteinheit 12 auf. 3A ist eine Schnittansicht, die schematisch ein Beispiel der Kunststofffilmanhafteinheit 12 darstellt. Die Kunststofffilmanhafteinheit 12 ist beispielsweis eine Einheit in der Form einer Kammer, die intern einen Raum aufweist, der in der Lage ist, dass Substrat 1 unterzubringen. Die Kunststofffilmanhafteinheit 12 weist eine Funktion eines Anhaftens eines Kunststofffilms 13 an die obere Oberfläche 1a des Substrats 1 auf. Hier ist der Kunststofffilm 13 beispielsweise eine Polyolefin-basierte Folie, eine Polyethylen-basierte Folie oder dergleichen, sie könnte eine einzelne Schicht oder laminiert sein, und weist eine Dicke, die gleich oder mehr als 20 µm und gleich oder weniger als 80 µm beträgt, auf. Die Kunststofffilmanhafteinheit 12 weist einen hohl geformten unteren Hauptkörper 12a, der sich nach oben öffnet, und einen hohl geformten oberen Hauptkörper 12b, der über dem unteren Hauptkörper 12a angeordnet ist und sich nach unten öffnet, auf. Der obere Hauptkörper 12b kann angehoben und abgesenkt werden. Die Öffnung des unteren Hauptkörpers 12a und die Öffnung des oberen Hauptkörpers 12b weisen die gleiche Form auf. Wenn der obere Hauptkörper 12b zum unteren Hauptkörper 12a abgesenkt wird, sodass die Öffnungen miteinander übereinstimmen, kann ein von außen isolierter Raum innerhalb des oberen Hauptkörpers 12b und des unteren Hauptkörpers 12a ausgebildet werden. Indessen ist jede der Öffnungen größer als das Substrat 1 und das Substrat 1 kann innerhalb des Raums untergebracht werden.
  • Der untere Hauptkörper 12a ist mit einem das Substrat 1 tragenden tischförmigen Substrattragabschnitt 14 versehen. Die obere Oberfläche des Substrattragabschnitts 14 ist eine ebene Tragoberfläche 14a, die das Substrat 1 trägt. Die Höhe des Substrattragabschnitts 14 ist so eingestellt, dass die obere Oberfläche 1a des Substrats 1 und die Öffnung des unteren Hauptkörpers 12a im Wesentlichen auf der gleichen Höhe sind, wenn das Substrat 1 an der Tragoberfläche 14a platziert ist. Alternativ ist die Höhe des Substrattragabschnitts 14 so eingestellt, dass die Öffnung des unteren Hauptkörpers 12a höher ist als die obere Oberfläche 1a des Substrats 1. In diesen Fällen haftet der Kunststofffilm 13, wenn der Kunststofffilm 13 am unteren Hauptkörper 12a platziert und am Substrat 1 angehaftet wird, wie später beschrieben werden wird, nicht unnötig breit an der Seitenoberfläche des Substrats 1. Eine Absaugeinheit 16 ist mit einer Bodenwand oder einer Seitenwand des unteren Hauptkörpers 12a verbunden. Die Absaugeinheit 16 weist einen Absaugdurchgang 16a mit einem mit dem unteren Hauptkörper 12a verbundenen Ende und mit einem anderen mit einer Ansaugquelle 16b verbundenen Ende auf. Zusätzlich ist eine Absaugeinheit 18 mit einer Decke oder einer Seitenwand des oberen Hauptkörpers 12b verbunden. Die Absaugeinheit 18 weist einen Abgsaugdurchgang 18a mit einem mit dem oberen Hauptkörper 12b verbundenen einen Ende und einem mit einer Ansaugquelle 18b verbundenen anderen Ende auf.
  • Zu einem Zeitpunkt eines Anhaftens des Kunststofffilms 13 an der oberen Oberfläche 1a des Substrats 1 unter Verwendung der Kunststofffilmanhafteinheit 12 wird das Substrat 1 an den Substrattragabschnitt 14 geladen, der Substrattragabschnitt 14 wird dazu gebracht, das Substrat 1 zu tragen und danach wird die obere Oberfläche 1a des Substrats 1 vom Kunststofffilm 13 abgedeckt. Eine Kunststofffilmzuführeinheit 22, in der mehrere Kunststofffilme 13 vorbereitet sind, ist an einer Position neben der Kunststofffilmanhafteinheit 12 an der Basis 4 der Schutzelementausbildungsvorrichtung 2 vorgesehen. Eine später zu beschreibende Übertragungseinheit 24a überträgt einen Kunststofffilm 13 zum Abdecken des Substrats 1 von der Kunststofffilmzuführeinheit 22. Kunststofffilme 13, die größer als die Öffnung des unteren Hauptkörpers 12a sind, werden in der Kunststofffilmzuführeinheit 22 so vorbereitet, dass ein vom unteren Hauptkörper 12a geschlossener Raum 20a und der Kunststofffilm 13 ausgebildet werden können, wenn der Kunststofffilm 13 auf das Substrat 1 übertragen wird. Dann wird der obere Hauptkörper 12b, nachdem der Kunststofffilm 13 auf das Substrat 1 übertragen ist, durch ein Absenken des oberen Hauptkörpers 12b in Kontakt mit der oberen Oberfläche des Kunststofffilms 13 gebracht. Dann wird ein vom oberen Hauptkörper 12b und dem Kunststofffilm 13 geschlossener Raum 20b ausgebildet.
  • Zu diesem Zeitpunkt wird, wenn der Kunststofffilm 13 am Substrat 1 angehaftet wird, das Innere der Kunststofffilmanhafteinheit 12 in der Form einer Kammer durch den Kunststofffilm 13 in den oberen Raum 20b und den unteren Raum 20a geteilt. Dann können, wenn die Ansaugquelle 16b der Absaugeinheit 16 betätigt wird und die Ansaugquelle 18b der Absaugeinheit 18 betätigt wird, der Raum 20a und der Raum 20b abgesaugt und dekomprimiert werden. Danach wird nur die den Raum 20b dekomprimierende Ansaugquelle 18b gestoppt und der Raum 20b wird zur Atmosphäre geöffnet. Als ein Ergebnis tritt vorübergehend eine große Druckdifferenz zwischen dem Raum 20a und dem Raum 20b mit dem dazwischen angeordneten Kunststofffilm 13 auf. Diese Druckdifferenz bewirkt dann, dass der Kunststofffilm 13 an der oberen Oberfläche 1a anhaftet, um den Vorsprüngen und Vertiefungen der oberen Oberfläche 1a des Substrats 1 zu entsprechen. 3B ist eine Schnittansicht, die schematisch in einem vergrößerten Maßstab das Substrat 1 mit dem an der oberen Oberfläche 1a anhaftenden Kunststofffilm 13 darstellt. Der Kunststofffilm 13 kann an der oberen Oberfläche 1a des Substrats 1 angehaftet werden, wenn die Kunststofffilmanhafteinheit 12 wie oben beschrieben verwendet wird. Nachdem der Kunststofffilm 13 am Substrat 1 angehaftet ist, wird die Absaugeinheit 16 gestoppt und der obere Hauptkörper 12b wird angehoben.
  • Indessen könnte eine nicht dargestellte Heizeinheit, die ein erwärmtes Gas zuführen kann, mit der Decke oder der Seitenwand des oberen Hauptkörpers 12b verbunden sein. Die Heizeinheit weist eine Funktion eines Zuführens des erwärmten Gases zum Raum 20b des oberen Hauptkörpers 12b auf. Das Gas ist beispielsweise Luft, Stickstoffgas oder dergleichen. In einem Fall, in dem beispielsweise ein Material, dessen Flexibilität durch ein Erwärmen verstärkt wird, als der Kunststofffilm 13 verwendet wird, erhöht das Gas, wenn das erwärmte Gas zum Raum 20b zugeführt wird, die Temperatur des Kunststofffilms 13 und erweicht somit den Kunststofffilm 13. Wenn der Kunststofffilm 13 erweicht wird, wird der Kunststofffilm 13 einfach verformt, um der Form der oberen Oberfläche 1a des Substrats 1 zu folgen, und der Kunststofffilm 13 haftet einfach an der oberen Oberfläche 1a des Substrats 1. Beispielsweise könnte die Heizeinheit, bevor der Raum 20a und der Raum 20b dekomprimiert werden, das erwärmte Gas zum Raum 20b zuführen, um den Kunststofffilm 13 im Vorhinein zu erwärmen und zu erweichen. Alternativ könnte die Heizeinheit betätigt werden, um den Kunststofffilm 13 zu erwärmen und eine Verformung des Kunststofffilms 13 zu unterstützen, nachdem der Raum 20a und der Raum 20b dekomprimiert werden und der Raum 20b zur Atmosphäre geöffnet wird.
  • Die Schutzelementausbildungsvorrichtung 2 weist einen Tragtisch 54 an einer Position neben der Kunststofffilmanhafteinheit 12 an der Basis 4 auf. Die Übertragungseinheit 24a überträgt das Substrat 1, an dem der Kunststofffilm 13 haftet, von der Kunststofffilmanhafteinheit 12 zum Tragtisch 54. In einer in 2 dargestellten Vorrichtungsausgestaltung sind die Kunststofffilmzuführeinheit 22, die Kunststofffilmanhafteinheit 12 und der Tragtisch 54 linear nebeneinander angeordnet. Die Übertragungseinheit 24 weist eine Funktion eines Übertragens des Kunststofffilms 13 von der Kunststofffilmzuführeinheit 22 zur Kunststofffilmanhafteinheit 12 auf. Die Übertragungseinheit 24a weist eine weitere Funktion eines Übertragens des Substrats 1, an dem der Kunststofffilm 13 haftet, vom Substrattragabschnitt 14 zum Tragtisch 54 auf, während der Kunststofffilm 13 in einem verteilten Zustand am Äußeren des Substrats 1 verbleibt.
  • 2 stellt schematisch eine Draufsicht der Übertragungseinheit 24a dar. Zusätzlich stellen 4A, 4B und 5A schematisch Seitenansichten der Übertragungseinheit 24a dar. Die Übertragungseinheit 24a weist eine Führungsschiene 26a entlang einer Richtung, in der die Kunststofffilmanhafteinheit 12 und der Tragtisch 54 angeordnet sind, und einen verschiebbar an die Führungsschiene 26a eingepassten Armabschnitt 28a auf. Die Übertragungseinheit 24 weist einen (nicht dargestellten) Bewegungsmechanismus, der den Armabschnitt 28a entlang der Führungsschiene 26a bewegt, auf. Der Bewegungsmechanismus weist beispielsweise eine (nicht dargestellte) Kugelgewindespindel entlang der Führungsschiene 26a und einen (nicht dargestellten) Pulsmotor, der die Kugelgewindespindel dreht, auf. Eine proximale Endseite des Armabschnitts 28a ist mit einem (nicht dargestellten) auf die Kugelgewindespindel geschraubten Mutterabschnitt versehen. Wenn die Kugelgewindespindel vom Pulsmotor gedreht wird, bewegt sich der Armabschnitt 28a entlang der Führungsschiene 26a. Ein Basisabschnitt 30a ist an einer distalen Endseite des Armabschnitts 28a befestigt. Der Bewegungsmechanismus bewegt den Basisabschnitt 30a zusammen mit dem Armabschnitt 28a.
  • Ein plattenförmiger Ansaugpadtragabschnitt 40a vom Nichtkontakt-Typ ist über mehrere säulenartige Tragabschnitte 46a an der zentralen unteren Oberfläche des Basisabschnitts 30a befestigt. Schnittansichten des Ansaugpadtragabschnitts 40a vom Nichtkontakt-Typ sind in 4A und dergleichen dargestellt. Ein Durchgangsloch 44a ist im Ansaugpadtragabschnitt 40a vom Nichtkontakt-Typ ausgebildet. Mehrere Ansaugpads 42a vom Nichtkontakt-Typ sind an der unteren Oberfläche des Ansaugpadtragabschnitts 40a vom Nichtkontakt-Typ vorgesehen. Die mehreren Ansaugpads 42 vom Nichtkontakt-Typ sind über den Ansaugpadtragabschnitt 40a vom Nichtkontakt-Typ und die Tragabschnitte 46a am Basisabschnitt 30a befestigt. Die mehreren Ansaugpads 42a vom Nichtkontakt-Typ sind jeweils an der unteren Oberfläche des Ansaugpadtragabschnitts 40a vom Nichtkontakt-Typ so angeordnet, dass sie in der Lage sind, dem an der oberen Oberfläche 1a des Substrats 1 haftenden Kunststofffilm 13 in einem dem Substrat 1 überlagerten Bereich zugewandt zu sein. Zusätzlich sind mehrere Ansaugpads 32a an der unteren Oberfläche eines äußeren Umfangsabschnitts des Basisabschnitts 30a befestigt. Die mehreren Ansaugpads 32a sind an der unteren Oberfläche des Basisabschnitts 30a angeordnet, um in der Lage zu sein, zu dem Kunststofffilm 13 außerhalb des Substrats 1 gerichtet zu sein.
  • Hier weisen die unteren Oberflächen der mehreren Ansaugpads 32a eine gleichförmige Höhe auf und die unteren Oberflächen der mehreren Ansaugpads 42a vom Nichtkontakt-Typ weisen eine gleichförmige Höhe auf. Die Höhe der unteren Oberflächen der Ansaugpads 32a befindet sich an einer Position, die geringfügig niedriger ist als die Höhe der unteren Oberflächen der mehreren Ansaugpads 42a vom Nichtkontakt-Typ. Die unteren Oberflächen der Ansaugpads 32a und die Ansaugpads 42a vom Nichtkontakt-Typ dienen als Ansaugoberflächen, die den am Substrat 1 haftenden Kunststofffilm 13 ansaugen und halten können.
  • Die Übertragungseinheit 24a weist einen Ansaugdurchgang 38a mit einem die untere Oberfläche jedes der Ansaugpads 32a erreichenden einen Ende und einem mit einer Ansaugquelle 34a verbundenen anderen Ende auf. Der Ansaugdurchgang 38a ist mit einer Schalteinheit 36a versehen. Die Schalteinheit 36a weist eine Funktion eines Schaltens zwischen einem Blockierzustand und einem Belüftungszustand im Ansaugdurchgang 38a auf. Wenn die Schalteinheit 36a in den Belüftungszustand versetzt ist, wirkt die Ansaugquelle 34a, um einen Unterdruck in den unteren Oberflächen der Ansaugpads 32a zu erzeugen. Zusätzlich weist die Übertragungseinheit 24a einen Luftzuführdurchgang 52a mit einem die untere Oberfläche von jedem der Ansaugpads 42a vom Nichtkontakt-Typ erreichenden Ende und einem mit einer Luftzuführquelle 48a verbundenen anderen Ende auf. Der Luftzuführdurchgang 52a ist mit einer Schalteinheit 50a versehen. Die Schalteinheit 50a weist eine Funktion eines Schaltens zwischen einem Blockierzustand und einem Belüftungszustand im Luftzuführdurchgang 52a auf. Wenn die Schalteinheit 50a in den Belüftungszustand versetzt ist, wirkt die Luftzuführquelle 48a, um Gas von den unteren Oberflächen der Ansaugpads 42a vom Nichtkontakt-Typ auszustoßen.
  • Hier sind die unteren Oberflächen der Ansaugpads 42a vom Nichtkontakt-Typ mit mehreren nicht dargestellten Ausstoßöffnungen versehen. Das zu den Ansaugpads 42a vom Nichtkontakt-Typ durch den Luftzuführdurchgang 52a zugeführte Gas wird aus den Ausstoßöffnungen ausgestoßen. Die Ausstoßöffnungen sind nicht in einer komplett nach unten gerichteten Richtung ausgerichtet, sondern sind in von der komplett nach unten gerichteten Richtung geneigten Richtungen nach außerhalb der jeweiligen Ansaugpads 42a vom Nichtkontakt-Typ geneigt. Das Gas wird in den Richtungen von den Ausstoßöffnungen ausgestoßen. Wenn ein Ansaugzielobjekt unterhalb der Ansaugpads 42a vom Nichtkontakt-Typ mit einer dazwischen ausgestalteten kleinen Lücke positioniert ist und das Gas durch ein Versetzen der Schalteinheit 50a in den Belüftungszustand aus jeder der Ausstoßöffnungen ausgestoßen wird, bewegt sich das ausgestoßene Gas nach außerhalb der Ansaugpads 42a vom Nichtkontakt-Typ. Dann entkommt ein Teil des Gases durch das Durchgangsloch 44a des Ansaugpadtragabschnitts 40a vom Nichtkontakt-Typ nach oben. Das von den Ausstoßöffnungen der Ansaugpads 42a vom Nichtkontakt-Typ ausgestoßene Gas bewegt sich fort, während es umgebende Luft mitreißt. Somit tritt ein Unterdruck an zentralen unteren Abschnitten der Ansaugpads 42a vom Nichtkontakt-Typ auf. Das Ansaugziel wird aufgrund des Unterdrucks von den Ansaugpads 42a vom Nichtkontakt-Typ angesaugt und gehalten. Allerdings sind die Ansaugpads 42a vom Nichtkontakt-Typ zu diesem Zeitpunkt nicht mit dem Ansaugziel in Kontakt.
  • Im Fall, in dem beispielsweise ein Ansaugpad vom Kontakt-Typ anstelle der Ansaugpads 42a vom Nichtkontakt-Typ verwendet wird, kommen das Ansaugpad und der Kunststofffilm 13 in Kontakt miteinander. In diesem Fall besteht eine Gefahr, dass eine Kontaktspur des Ansaugpads an der oberen Oberfläche des Kunststofffilms 13 ausgebildet wird, oder es besteht eine Gefahr, dass an der unteren Oberfläche des Ansaugpads haftende Partikel oder dergleichen als eine Verunreinigungsquelle zum Kunststofffilm 13 übertragen werden, sodass eine geeignete Ausbildung des Schutzelements verhindert werden könnte. Zusätzlich weist die obere Oberfläche des an der oberen Oberfläche 1a des Substrats 1 haftenden Kunststofffilms 13 eine unebene Form auf. Somit treten, selbst, wenn das Ansaugpad vom Kontakt-Typ in Kontakt mit dem Kunststofffilm 13 gebracht wird, aus der unebenen Form resultierende Lücken zwischen dem Ansaugpad und dem Kunststofffilm 13 auf und der Unterdruck leckt. Das Ansaugpad vom Kontakt-Typ ist deswegen nicht in der Lage, den Kunststofffilm 13 geeignet anzusaugen und zu halten. Im Kontrast dazu treten solche Probleme in dem Fall nicht auf, in dem die Ansaugpads 42a vom Nichtkontakt-Typ den am Substrat 1 haftenden Kunststofffilm 13 ansaugen und halten. Andererseits muss das Schutzelement am Äußeren des Substrats 1 nicht mit einer hohen Genauigkeit ausgebildet sein. Die den äußeren Umfangsabschnitt des Kunststofffilms 13 ansaugenden und haltenden Ansaugpads 32a könnten deswegen vom Nichtkontakt-Typ oder vom Kontakt-Typ sein.
  • Wenn die Übertragungseinheit 24a das Substrat 1, an dem der Kunststofffilm 13 haftet, vom Substrattragabschnitt 14 zum Tragtisch 54 überträgt, wird der obere Hauptkörper 12b der Kunststofffilmanhafteinheit 12 angehoben und der Basisabschnitt 30a wird zu einer Position oberhalb des Substrattragabschnitts 14 bewegt. Hier weist die Übertragungseinheit 24a einen nicht dargestellten Anheb- und Absenkmechanismus auf, der den Basisabschnitt 30a anhebt und absenkt. Als nächstes wird der Anheb- und Absenkmechanismus betätigt, um den Basisabschnitt 30a zum am Substrattragabschnitt 14 getragenen Substrat 1 hin abzusenken. Der Basisabschnitt 30a wird dann an einer solchen Höhe positioniert, dass die unteren Oberflächen der Ansaugpads 32a in Kontakt mit dem Kunststofffilm 13 sind, und dass die Ansaugpads 42a vom Nichtkontakt-Typ den Kunststofffilm 13 ansaugen können. Die Schalteinheiten 36a und 50a werden danach betätigt, um den äußeren Umfangsabschnitt des Kunststofffilms 13 durch die Ansaugpads 32a anzusaugen und das Substrat 1 über den Kunststofffilm 13 durch die Ansaugpads 42a vom Nichtkontakt-Typ anzusaugen. Der Anheb- und Absenkmechanismus wird dann betätigt, um das Substrat 1 durch die Übertragungseinheit 24a anzuheben.
  • Der Bewegungsmechanismus der Übertragungseinheit 24a wird danach betätigt, um den Basisabschnitt 30a zu einer Position über dem Tragtisch 54 zu bewegen. 4A ist eine Schnittansicht, die schematisch einen Zustand darstellt, in dem das Substrat 1 von der Übertragungseinheit 24a übertragen wird. Nachdem der Basisabschnitt 30a zu der Position über dem Tragtisch 54 bewegt ist, wird der Anheb- und Absenkmechanismus betätigt, um das Substrat 1 am Tragtisch 54 zu platzieren. Danach wird nur die Schalteinheit 36a betätigt und in den Blockierzustand versetzt, sodass die Ansaugung des Kunststofffilms 13 durch die Ansaugpads 32a gelöst wird.
  • 4B ist eine Schnittansicht, die schematisch die Übertragungseinheit 24a und das Substrat 1 in einem Zustand darstellt, in dem die Ansaugung des Kunststofffilms 13 durch die Ansaugpads 32a gelöst ist. Wenn die Ansaugung des Kunststofffilms 13 durch die Ansaugpads 32a gelöst ist, fällt der Kunststofffilm 13 zur oberen Oberfläche des Tragtischs 54. Zu diesem Zeitpunkt wird das Gas weiterhin von den Ansaugpads 42a vom Nichtkontakt-Typ ausgestoßen und das Gas bewegt sich über die obere Oberfläche des Kunststofffilms 13 nach außerhalb des Tragtischs 54. Deswegen wird, wenn die Ansaugung des Kunststofffilms 13 durch die Ansaugpads 32a gelöst wird, eine in einer nach außen gerichteten Richtung gerichtete Kraft aufgrund der Strömung des Gases auf den Kunststofffilm 13 aufgebracht. Wenn der Kunststofffilm 13 beispielsweise in einem nicht am Substrat 1 haftenden Teil gebogen oder gefaltet ist, begradigt die Strömung des Gases den Kunststofffilm 13 und entfernt die Biegung oder die Falte. Wenn die Ansaugung des Kunststofffilms 13 durch die Ansaugpads 42a vom Nichtkontakt-Typ danach gelöst wird, wird das Substrat 1 in einem Zustand am Tragtisch 54 platziert, in dem der Kunststofffilm 13 verteilt ist.
  • Die Ansaugung durch alle Pads kann gleichzeitig gelöst werden, beispielsweise, um die Übertragung des Kunststofffilms 13 rasch abzuschließen. Allerdings wird, selbst wenn in diesem Fall der Kunststofffilm 13 zu einem Zeitpunkt eines Lösens der Ansaugung des Kunststofffilms 13 gebogen oder gefaltet wird, der Strom des Gases gestoppt und deswegen wird die Biegung oder dergleichen nicht entfernt. Wenn das Substrat 1 am Tragtisch 54 in einem Zustand platziert wird, in dem der Kunststofffilm 13 gebogen oder gefaltet ist, besteht eine Gefahr dahingehend, dass es nicht möglich ist, nacheinander durchzuführende Schritte durchzuführen, und dass es nicht möglich ist, das Schutzelement geeignet an der oberen Oberfläche 1a des Substrats 1 auszubilden. Andererseits ermöglicht es die Übertragungseinheit 24a der Schutzelementausbildungsvorrichtung 2 gemäß der vorliegenden Ausführungsform jedem der Ansaugpads 32a und der Ansaugpads 42a vom Nichtkontakt-Typ, unabhängig betätigt zu werden. Die Ansaugung des Kunststofffilms 13 durch jedes Pad kann deswegen nacheinander mit einem vorgesehenen Zeitversatz gelöst werden. Somit ist es möglich, das Auftreten einer Biegung oder einer Falte im Kunststofffilm 13 zu unterdrücken, wenn das Substrat 1 zum Tragtisch 54 übertragen wird, und eine fehlerhafte Ausbildung des Schutzelements aufgrund der Biegung oder der Falte im Kunststofffilm 13 zu unterdrücken.
  • 5A ist eine Schnittansicht, die schematisch einen Zustand darstellt, in dem das Ansaugen und Halten des Substrats 1 durch die Übertragungseinheit 24a gelöst wird und der Basisabschnitt 30a vom Anhebe- und Absenkmechanismus angehoben wird. Ein flüssiger Kunststoff wird zur Seite der oberen Oberfläche 1a des Substrats 1 am Tragtisch 54 mit dem zwischen dem flüssigen Kunststoff und der Seite der oberen Oberfläche 1a des Substrats 1 angeordneten Kunststofffilm 13 zugeführt, der flüssige Kunststoff wird dadurch, dass er von oben gedrückt wird, über den Kunststofffilm 13 verteilt und der flüssige Kunststoff wird gehärtet.
  • Eine Flüssigkunststoffzuführeinheit 56 ist an einer Position neben dem Tragtisch 54 an der Basis 4 der Schutzelementausbildungsvorrichtung 2 vorgesehen. Die Flüssigkunststoffzuführeinheit 56 ist eine röhrenförmige Einheit mit einem sich entlang einer vertikalen Richtung erstreckenden Schaftabschnitt 56a, einem sich in einer horizontalen Richtung von einem oberen Ende des Schaftabschnitts 56a erstreckenden Armabschnitt 56b und einer von einem distalen Ende des Armabschnitts 56b nach unten gerichteten Düse 56c. Der Schaftabschnitt 56a ist in der vertikalen Richtung drehbar. Wenn der Schaftabschnitt 56a gedreht wird, bewegt sich die Düse 56c in einer gekrümmten Umlaufbahn mit dem Armabschnitt 56b als ein Radius. Die Länge des Armabschnitts 56b ist auf eine solche Länge eingestellt, dass die Düse 56c durch ein Drehen des Schaftabschnitts 56a über dem Zentrum des Tragtischs 54 positioniert werden kann. Die Flüssigkunststoffzuführeinheit 56 weist eine Funktion eines Zuführens eines flüssigen Kunststoffs von einem ultravioletthärtenden Typ auf das am Tragtisch 54 platzierte Substrat 1 durch den Schaftabschnitt 56a, den Armabschnitt 56b und die Düse 56c auf. Der flüssige Kunststoff vom ultravioletthärtenden Typ ist ein flüssiger Kunststoff, der dadurch gehärtet wird, dass er mit Ultraviolettstrahlen bestrahlt wird. 5B stellt schematisch eine Schnittansicht des auf den am Substrat 1 haftenden Kunststofffilm 13 zugeführten flüssigen Kunststoffs dar.
  • Wenn ein flüssiger Kunststoff 15 zur oberen Oberfläche des Kunststofffilms 13 zugeführt wird, wird die Düse 56c durch ein Drehen des Schaftabschnitts 56a über der Mitte des Tragtischs 54 positioniert. Dann wird die Düse 56c, nachdem der flüssige Kunststoff 15 zur oberen Oberfläche 1a des Substrats 1 zugeführt ist, durch ein nochmaliges Drehen des Schaftabschnitts 56a an einer den Tragtisch 54 nicht überlappenden Position positioniert.
  • Eine Drückeinheit 58 ist über dem Tragtisch 54 angeordnet. 2 stellt schematisch eine Draufsicht der Drückeinheit 58 dar. 6 und 7A stellen schematisch Seitenansichten der Drückeinheit 58 dar. Die Drückeinheit 58 weist auf: ein Paar Tragsäulen 60 entlang der vertikalen Richtung; verschiebbar an den jeweiligen Tragsäulen 60 angeordnete Verbindungsabschnitte 62a; ein Paar sich in der horizontalen Richtung von den jeweiligen Verbindungsabschnitten 62a erstreckende Tragabschnitte 62b; und einen vom Paar Tragabschnitte 62b getragenen Drückabschnitt 64. Die Verbindungsabschnitte 62a können entlang der Tragsäulen 60 durch einen nicht dargestellten Anhebe- und Absenkmechanismus angehoben und abgesenkt werden. Der Drückabschnitt 64 kann unter Verwendung des Anhebe- und Absenkmechanismus angehoben und abgesenkt werden. Der Drückabschnitt 64 weist eine ebene Drückoberfläche 68 als eine untere Oberfläche davon auf. Die Richtung der Drückoberfläche 68 ist mit einer hohen Genauigkeit so festgelegt, dass die Drückoberfläche 68 zur oberen Oberfläche des Tragtischs 54 parallel ist. Der Drückabschnitt 64 weist intern eine Ultraviolettbestrahlungseinheit 66 in der Nähe zur Drückoberfläche 68 auf. Die Ultraviolettbestrahlungseinheit 66 weist beispielsweise mehrere Ultraviolettlicht-emittierende Dioden (LEDs) auf, die ringförmig nebeneinander in konzentrischen Schichten angeordnet sind. Ein ebenes plattenförmiges lichtemittierendes Element 70, welches Ultraviolettstrahlen und sichtbares Licht emittiert, wird an einem unteren Ende des Drückabschnitts 64 verwendet, wobei das untere Ende die Drückoberfläche 68 ausbildet.
  • Der Drückabschnitt 64 kann eine Abdeckfolie 17 durch die Drückoberfläche 68 halten. Die Drückeinheit 58 senkt den Drückabschnitt 64 in einem Zustand eines Haltens der Abdeckfolie 17 durch die Drückoberfläche 68 ab und drückt den flüssigen Kunststoff 15 durch die Drückoberfläche 68 über die Abdeckfolie 17 von oben. Wenn der flüssige Kunststoff 15 danach durch die Ultraviolettbestrahlungseinheit 66 gehärtet wird, werden der Kunststofffilm 13, der gehärtete flüssige Kunststoff 15 und die Abdeckfolie 17 miteinander integriert, um ein Schutzelement auszubilden. Das heißt, dass die Abdeckfolie 17 ein das Schutzelement ausbildendes Element ist.
  • Wie in 2 dargestellt ist, ist eine Abdeckfolienzuführeinheit 80, die die von der Drückoberfläche 68 des Drückabschnitts 64 zu haltende Abdeckfolie 17 zuführt, an einer Position neben dem Tragtisch 54 angeordnet. Beispielsweise sind mehrere Abdeckfolien 17 in einer Rollenform gewickelt und in der Abdeckfolienzuführeinheit 80 vorbereitet und werden einzeln wie erforderlich auf den Tragtisch 54 herausgezogen. Dann wird die Drückoberfläche 68 durch ein Absenken des Drückabschnitts 64 in Kontakt mit der oberen Oberfläche einer Abdeckfolie 17 gebracht und die Abdeckfolie 17 wird von der Drückoberfläche 68 gehalten.
  • Hier weist der Drückabschnitt 64 einen nicht dargestellten Haltemechanismus zum Halten der Abdeckfolie 17 durch die Drückoberfläche 68 auf. Beispielsweise ist die Drückoberfläche 68 mit mehreren mit einer Ansaugquelle verbundenen Ansauglöchern versehen und die Abdeckfolie 17 wird durch ein Ansaugen der Abdeckfolie 17 durch die Ansauglöcher von der Drückoberfläche 68 gehalten. Alternativ könnte der Drückabschnitt 64 einen elektrostatischen Einspannmechanismus in der Nähe der Drückoberfläche 68 aufweisen und der elektrostatische Einspannmechanismus könnte betätigt werden, um die Abdeckfolie 17 durch die Drückoberfläche 68 durch eine elektrostatische Kraft zu halten. Alternativ könnte der Drückabschnitt 64 keinen Haltemechanismus aufweisen. In diesem Fall könnte beispielsweise eine Klebstoffschicht an der oberen Oberfläche der Abdeckfolie 17 vorgesehen sein und die Abdeckfolie 17 könnte durch die Klebstoffschicht mit der Drückoberfläche 68 verbunden sein. Alternativ könnte die obere Oberfläche der Abdeckfolie 17 oder die Drückoberfläche 68 mit einem Haftmittel beschichtet sein und die Abdeckfolie 17 könnte durch das Haftmittel von der Drückoberfläche 68 gehalten werden.
  • Über dem Tragtisch 54 wird, nachdem die Flüssigkunststoffzuführeinheit 56 den flüssigen Kunststoff 15 auf den Kunststofffilm 13 zuführt, die die Abdeckfolie 17 durch die Drückoberfläche 68 haltende Drückeinheit 58 abgesenkt und die Drückoberfläche 68 drückt den flüssigen Kunststoff 15 über die Abdeckfolie 17. 7A stellt schematisch eine Schnittansicht des Substrats 1, des Kunststofffilms 13, des flüssigen Kunststoffs 15 und der Abdeckfolie 17 dar, wenn der flüssige Kunststoff 15 von der Drückoberfläche 68 gedrückt wird. Wenn der flüssige Kunststoff 15 von der Drückoberfläche 68 gedrückt wird, wird der flüssige Kunststoff 15 zum äußeren Umfang des Substrats 1 hin verteilt. Mit anderen Worten weist die Drückeinheit 58 eine Funktion eines Verteilens des flüssigen Kunststoffs 15 über den Kunststofffilm 13 durch ein Drücken des flüssigen Kunststoffs 15 durch die Drückoberfläche 68 über die Abdeckfolie 17 während eines Bedeckens eines oberen Teils des von der Flüssigkunststoffzuführeinheit 56 zugeführten flüssigen Kunststoffs 15 mit der Abdeckfolie 17 auf.
  • Die Ultraviolettbestrahlungseinheit 66 härtet den flüssigen Kunststoff 15, nachdem der flüssige Kunststoff 15 zu einem äußeren Umfang 1c des Substrats 1 hin verteilt ist und ein vorgegebener Bereich der oberen Oberfläche 1a des Substrats 1 vom Kunststofffilm 13, dem flüssigen Kunststoff 15 und der Abdeckfolie 17 bedeckt ist. Zu diesem Zeitpunkt bestrahlt die Ultraviolettbestrahlungseinheit 66 den flüssigen Kunststoff 15 mit Ultraviolettstrahlen durch die Drückoberfläche 68 und die Abdeckfolie 17. Danach verbleibt die Abdeckfolie 17, wenn die Ultraviolettbestrahlungseinheit 66 gestoppt wird und der Drückabschnitt 64 angehoben wird, am gehärteten flüssigen Kunststoff 15. Das heißt, dass ein Schutzelement 19, in dem der Kunststofffilm 13, der gehärtete flüssige Kunststoff 15 und die Abdeckfolie 17 miteinander integriert sind, an der oberen Oberfläche 1a des Substrats 1 ausgebildet wird. Hier werden die Seite 1b der unteren Oberfläche 1b des Substrats 1 und die obere Oberfläche 1 des Schutzelements 19 eben zueinander, da die obere Oberfläche des Tragtischs 54 und die Drückoberfläche 68 eben zueinander sind. 7B ist eine Schnittansicht, die schematisch in einem vergrößerten Maßstab das am Substrat 1 mit Vorsprüngen und Vertiefungen aufgrund der Bumps 7 an der oberen Oberfläche 1a ausgebildete Schutzelement 19 darstellt.
  • Gewöhnlicherweise könnte, wenn der flüssige Kunststoff 15 verteilt wird, indem er gedrückt wird, der flüssige Kunststoff 15 nicht ausreichend über einen vorgegebenen Bereich verteilt werden, sodass der flüssige Kunststoff 15 einen äußeren Rand im vorgegebenen Bereich nicht erreichen könnte oder eine Ungleichförmigkeit im flüssigen Kunststoff 15 auftreten könnte. In diesem Fall wird, wenn die Seite der unteren Oberfläche 1b des Substrats 1 geschliffen wird, nachdem das Schutzelement 19 durch ein Härten des flüssigen Kunststoffs 15 ausgebildet wird, und das Substrat 1, an dem das Schutzelement 19 ausgebildet wird, danach zur Schleifvorrichtung übertragen wird, das Substrat 1 nicht geeignet durch das Schutzelement 19 getragen. Folglich könnte eine Schleif-Ungleichförmigkeit an der Seite der unteren Oberfläche 1b des Substrats 1 auftreten oder die untere Oberfläche 1b könnte nicht eben sein. Demgemäß weist die Schutzelementausbildungsvorrichtung 2 gemäß der vorliegenden Ausführungsform eine Bestimmungseinheit 76 auf, die den Zustand des von der Drückeinheit 58 verteilten flüssigen Kunststoffs 15 bestimmt. Die Bestimmungseinheit 76 detektiert den flüssigen Kunststoff 15 und bestimmt, ob der flüssige Kunststoff 15 geeignet über den vorgegebenen Bereich verteilt ist, wenn der flüssige Kunststoff 15 verteilt wird, indem er gedrückt wird. Die Bestimmungseinheit 76 ist beispielsweise in der Drückeinheit 58 aufgenommen. Die Bestimmungseinheit 76 wird als nächstes beschrieben werden.
  • Wie in 6 und 7A dargestellt ist, weist die Bestimmungseinheit 76 eine im Zentrum der Ultraviolettbestrahlungseinheit 66 des Drückabschnitts 64 angeordnete Kamera 72 auf. Die Kamera 72 fotografiert den flüssigen Kunststoff 15 und das Substrat 1 von oben durch die Drückoberfläche 68 der Drückeinheit 58. Insbesondere fotografiert die Kamera 72 das Substrat 1 und den flüssigen Kunststoff 15 durch das lichttransmittierende Element 70, welches die Drückoberfläche 68 ausgestaltet, und die von der Drückoberfläche 68 gehaltene Abdeckfolie 17. Es ist gewünscht, dass die Kamera 72 in der Lage ist, einen zum äußeren Umfang 1c des Substrats zu reichenden Bereich zu fotografieren, um zu bestimmen, ob der flüssige Kunststoff 15 ausreichend über das Substrat 1 verteilt ist oder nicht. Wenn das lichttransmittierende Element 70 beispielsweise eine bestimmte Dicke aufweist, kann die Kamera 72 einen weiten Bereich aufnehmen. Andererseits ist gewünscht, dass das lichttransmittierende Element 70 ausreichend dünn ist, um die eine Effizienz einer Bestrahlung des flüssigen Kunststoffs 15 mit Ultraviolettstrahlen nicht zu behindern. Demgemäß kann eine Fischaugen-Linse oder eine Weitwinkellinse als die Kamera 72 verwendet werden, wobei die Fischaugen-Linse oder die Weitwinkel-Linse so angeordnet ist, dass sie der Ultraviolettbestrahlungseinheit 66 benachbart ist und an einer Position installiert ist, die dem Zentrum des zugewandten Substrats entspricht.
  • Eine Funktion, von der gewünscht wird, dass sie durch die Kamera 72 durchgeführt wird, ist es, eine Abbildung zu erhalten, die eine Bestimmung der Anwesenheit oder der Abwesenheit des flüssigen Kunststoffs 15 über den gesamten Bereich der oberen Oberfläche 1a des Substrats 1 ermöglicht, statt eine Abbildung ohne eine Verzerrung zu erhalten. Die Verwendung einer Linse, die in der Lage ist, einen weiten Bereich zu fotografieren, wie beispielsweise einer Fischaugen-Linse oder einer Weitwinkel-Linse, ermöglicht es, den gesamten Bereich der oberen Oberfläche 1a des Substrats 1 durch die Kamera 72 zu fotografieren, selbst, wenn das lichttransmittierende Element 70 ausreichend dünn ist. Mit anderen Worten kann, wenn eine Fischaugen-Linse oder dergleichen als die Kamera 72 verwendet wird, das lichttransmittierende Element 70 dünn ausgestaltet werden und somit kann eine Effizienz einer Bestrahlung des flüssigen Kunststoffs 15 mit Ultraviolettstrahlen verbessert werden.
  • Hier stellt 8 schematisch eine Schnittansicht dar, die beobachtet werden kann, wenn der Drückabschnitt 64 der Drückeinheit 58 durch eine horizontale Ebene mit der Ultraviolettbestrahlungseinheit 66 und der Kamera 72 geteilt wird. Mehrere Kameras 72 könnten innerhalb der Drückeinheit 58 vorgesehen sein, um den gesamten Bereich der oberen Oberfläche 1a des Substrats 1 zu fotografieren. In diesem Fall muss allerdings ein mit der Ultraviolettbestrahlungseinheit 66 besetzter Bereich um eine den Bereichen, in denen die Kameras 72 installiert sind, entsprechende Menge reduziert werden. Dann könnten die Ultraviolett-LEDs nicht in der Lage sein, ausreichend angeordnet zu werden, und es könnte sein, dass die Bestrahlung des flüssigen Kunststoffs 15 mit UltraviolettStrahlen nicht ausreichend ohne eine Ungleichförmigkeit durchgeführt werden kann. Als solche kann die Verwendung einer Fischaugen-Linse oder dergleichen einen ausreichenden von der Ultraviolettbestrahlungseinheit 66 zu besetzenden Bereich sicherstellen und verursacht ein solches Problem nicht. Allerdings könnte die Bestimmungseinheit 76 in der Schutzelementausbildungsvorrichtung 2 gemäß der vorliegenden Ausführungsform in einem Fall, in dem die Ultraviolettbestrahlungseinheit 66 eine ausreichend hohe Leistung besitzt, mehrere Kameras 72 aufweisen und eine von der Fischaugen-Linse oder dergleichen verschiedene Linse könnte als die Kameras 72 verwendet werden.
  • Die Bestimmungseinheit 76 weist ferner einen mit der Kamera 72 verbundenen Bestimmungsabschnitt 74 auf. Der Bestimmungsabschnitt 74 detektiert den flüssigen Kunststoff 15 und das Substrat 1 aus einer durch ein Fotografieren durch die Kamera 72 erhaltenen Abbildung und bestimmt, ob der flüssige Kunststoff 15 in Bezug auf das Substrat über einen vorgegebenen Bereich verteilt wurde oder nicht. Funktionen des Bestimmungsabschnitts 74 sind beispielsweise als Software auf einem Vorrichtungssteuerungscomputer implementiert, der jedes Bestandteil der Schutzelementausbildungsvorrichtung 2 steuert. Hier ist der Vorrichtungssteuerungscomputer durch einen Computer mit einer Verarbeitungsvorrichtung wie beispielsweise einer zentralen Verarbeitungseinheit (CPU) und einer Speichervorrichtung wie beispielsweise einem Flash-Speicher ausgestaltet. Dann dienen, wenn die Bearbeitungsvorrichtung gemäß Software wie beispielsweise einem in der Speichervorrichtung gespeicherten Programm betrieben wird, die Software und die Bearbeitungsvorrichtung (Hardware-Ressourcen) als kooperierende konkrete Mittel.
  • Eine durch die Bestimmungseinheit 74 durchgeführte Bestimmung wird als nächstes beschrieben werden. Der Bestimmungsabschnitt 74 führt eine Bestimmung auf der Basis einer durch ein Fotografieren durch die Kamera 72 erhaltenen Abbildung durch. Die Kamera 72 fotografiert beispielsweise das Substrat 1 und den flüssigen Kunststoff 15 und erhält periodisch eine Abbildung, während die Drückeinheit 58 den flüssigen Kunststoff 15 drückt. 9A und 9C stellen jeweils ein Beispiel einer durch ein Fotografieren durch die Kamera 72 erhaltenen Abbildung dar. Indessen ist der Kunststofffilm 13 in jeder Figur weggelassen. Das Substrat 1 und der flüssige Kunststoff 15 tauchen in den durch ein Fotografieren durch die Kamera 72 erhaltenen Abbildungen auf. In 9A bis 9C sind zur einfachen Beschreibung an der oberen Oberfläche 1a des Substrats 1 ausgebildete Bauelemente 5 und dergleichen durch gestrichelte Linien dargestellt, wobei die Bauelemente 5 und dergleichen in den Abbildungen durch den flüssigen Kunststoff 15 erscheinen. 9A ist ein Diagramm, das schematisch eine Abbildung darstellt, die erhalten wird, wenn der flüssige Kunststoff 15 über dem Substrat 1 aufgebracht wird.
  • Wenn der flüssige Kunststoff 15 durch ein Absenken des Drückabschnitts 64 von der Drückoberfläche 68 gedrückt wird, wird der flüssige Kunststoff 15 zum äußeren Umfang 1c des Substrats 1 hin verteilt. 9B ist ein Diagramm, das schematisch eine Abbildung darstellt, die in dem Zustand erhalten wurde, in dem der flüssige Kunststoff 15 gedrückt und über einen bestimmten Bereich verteilt wird. Wenn der Drückabschnitt 64 weiter abgesenkt wird, wird der flüssige Kunststoff 15 nach jenseits des äußeren Umfangs 1c des Substrats 1 verteilt. 9C ist ein Diagramm, das schematisch eine in einem Zustand, in dem der flüssige Kunststoff 15 ausreichend verteilt ist, erhaltene Abbildung darstellt.
  • Der Bestimmungsabschnitt 74 detektiert das Substrat 1 und den flüssigen Kunststoff 15 aus der durch ein Fotografieren durch die Kamera 72 erhaltenen Abbildung. Der Bestimmungsabschnitt 74 bestimmt dann, ob der flüssige Kunststoff 15 in Bezug auf das Substrat 1 über einen vorgegebenen Bereich verteilt wurde oder nicht. Der vorgegebene Bereich ist ein Bereich, von dem bestimmt werden kann, dass der flüssige Kunststoff 15 darüber in einem solchen Ausmaß verteilt wurde, dass das ausgebildete Schutzelement 19 die obere Oberfläche 1a des Substrats 1 ausreichend schützen kann und ein gewünschtes Schleifen kann an der unteren Oberfläche 1b des Substrats 1 durchgeführt werden. Ein äußerer Rand des vorgegebenen Bereichs wird in Bezug auf das Substrat 1 bestimmt und ist beispielsweise so festgelegt, dass er mit dem äußeren Umfang 1c des Substrats 1 übereinstimmt. Dann bestimmt der Bestimmungsabschnitt 74, ob der flüssige Kunststoff 15 über den vorgegebenen Bereich verteilt ist oder nicht. Wenn die Kamera 72 das Substrat 1 und den flüssigen Kunststoff 15 fotografiert und eine Abbildung wie in 9B dargestellt erhält, bestimmt der Bestimmungsabschnitt 74, dass der flüssige Kunststoff 15 nicht über den vorgegebenen Bereich verteilt ist. Zusätzlich bestimmt der Bestimmungsabschnitt 74, wenn der flüssige Kunststoff 15 weiter verteilt wird und die Kamera 72 das Substrat 1 und den flüssigen Kunststoff 15 fotografiert und eine Abbildung wie in 9C dargestellt erhält, dass der flüssige Kunststoff 15 über den vorgegebenen Bereich verteilt ist.
  • Die Bestimmungseinheit 76 weist einen Benachrichtigungsabschnitt 78 auf, der eine Benachrichtigung hinsichtlich eines Bestimmungsergebnisses des Bestimmungsabschnitts 74 zu einem Benutzer, einem Manager oder dergleichen der Schutzelementausbildungsvorrichtung 2 ausgibt. Wenn der Bestimmungsabschnitt 74 beispielsweise bestimmt, dass der flüssige Kunststoff 15 nicht über den vorgegebenen Bereich verteilt ist, gibt der Benachrichtigungsabschnitt 78 eine Benachrichtigung hinsichtlich des Bestimmungsergebnisses zum Benutzer, dem Manager oder dergleichen der Schutzelementausbildungsvorrichtung 2 aus. Der Benachrichtigungsabschnitt 78 ist beispielsweise eine Anzeigeeinheit, eine Alarmleuchte oder dergleichen, die am Äußeren der Schutzelementausbildungsvorrichtung 2 vorgesehen ist. Der Benachrichtigungsabschnitt 78 gibt ein Benachrichtigungssignal hinsichtlich des Bestimmungsergebnisses durch ein Anzeigen eines Warnbildschirms an der Anzeigeeinheit oder durch ein Aufleuchten eines roten Lichtes der Alarmleuchte aus.
  • Der über das Bestimmungsergebnis des Bestimmungsabschnitts 74 durch den Benachrichtigungsabschnitt 78 benachrichtigte Benutzer, der Manager oder dergleichen bewirkt, dass die Drückeinheit 58 den flüssigen Kunststoff 15 durch ein weiteres Fortfahren mit dem Drücken des flüssigen Kunststoffs 15 weiter verteilt. Zusätzlich wird die Menge an Zufuhr des von der Flüssigkunststoffzuführeinheit 56 zugeführten flüssigen Kunststoffs so erhöht, dass der flüssige Kunststoff 15 über einen größeren Bereich von einem nächsten und folgenden Substraten 1 verteilt wird, an denen das Schutzelement 19 auszubilden ist. Andererseits fährt die als der Benachrichtigungsabschnitt 78 dienende Anzeigeeinheit, wenn der Bestimmungsabschnitt 74 bestimmt, dass der flüssige Kunststoff 15 über den vorgegebenen Bereich verteilt ist, damit fort, eine Abbildung anzuzeigen, die darstellt, dass die Schutzelementausbildungsvorrichtung 2 normal funktioniert. Alternativ bleibt ein grünes Licht der als der Benachrichtigungsabschnitt 78 dienenden Alarmleuchte angeschaltet. Das heißt, dass die Benachrichtigung des Bestimmungsergebnisses des Bestimmungsabschnitts 74 durch den Benachrichtigungsabschnitt 78 eine Nicht-Benachrichtigung des Auftretens einer Abnormalität durch den Bestimmungsabschnitt 78 beinhaltet.
  • Wie oben beschrieben, bestimmt die Bestimmungseinheit 76 in der Schutzelementausbildungsvorrichtung 2 gemäß der vorliegenden Ausführungsform, ob der flüssige Kunststoff 14 ausreichend über den vorgegebenen Bereich in Bezug auf das Substrat 1 verteilt ist. Deswegen kann der flüssige Kunststoff 15, wenn der flüssige Kunststoff 15 nicht über den vorgegebenen Bereich verteilt ist, weiter verteilt werden, indem er weiter durch die Drückeinheit 58 gedrückt wird, bevor die Ultraviolettbestrahlungseinheit 66 betätigt wird. Folglich kann das Schutzelement 19 geeignet am Substrat 1 ausgebildet werden und somit kann die untere Oberfläche 1b des Substrats 1 geeignet von der Schleifvorrichtung geschliffen werden. Indessen könnte die Bestimmungseinheit 76 eine Information hinsichtlich des Zustands des flüssigen Kunststoffs 15 aus der durch ein Fotografieren durch die Kamera 72 erhaltenen Abbildung erhalten und bestimmen, ob eine Ungleichförmigkeit im flüssigen Kunststoff 15 auftritt oder nicht. Wenn bestimmt ist, dass eine Ungleichförmigkeit im flüssigen Kunststoff 15 auftritt, könnte die Drückeinheit 58 ähnlich weiter den flüssigen Kunststoff 15 drücken und eine Messung einer Erhöhung der Menge an Zufuhr des flüssigen Kunststoffs 15 oder dergleichen könnte ausgeführt werden.
  • Die Schutzelementausbildungsvorrichtung 2 weist eine Schneideinheit 84 (siehe 10) auf, die einen unnötigen Teil des an der oberen Oberfläche 1a des Substrats 1 ausgebildeten Schutzelements 19 abschneidet. Das Schneiden des Schutzelements 19 durch die Schneideinheit 84 wird an einem an einer Position neben dem Tragtisch 54 an der Basis 4 vorgesehenen Tisch 82 durchgeführt. Die Schutzelementausbildungsvorrichtung 2 weist eine Übertragungseinheit 24b auf, die das Substrat 1, an dem das Schutzelement 19 ausgebildet ist, vom Tragtisch 54 zum Tisch 82 übertragen kann. Indessen ist die Übertragungseinheit 24b auf eine ähnliche Weise wie die Übertragungseinheit 24a ausgebildet und deswegen wird auf eine Beschreibung davon teilweise verzichtet werden.
  • 2 stellt schematisch eine Draufsicht der Übertragungseinheit 24b dar. Die Übertragungseinheit 24b weist eine Führungsschiene 26b entlang einer Richtung, in welcher der Tragtisch 54 und der Tisch 82 angeordnet sind, und einen verschiebbar an die Führungsschiene 26b eingepassten Armabschnitt 28b auf. Die Übertragungseinheit 24b weist einen (nicht dargestellten) Bewegungsmechanismus, der den Armabschnitt 28b und einen Basisabschnitt 30b entlang der Führungsschienen 26b bewegt, auf. Der Basisabschnitt 30b ist an einer distalen Endseite des Armabschnitts 28b befestigt. Ein plattenförmiger Tragabschnitt 40b für Ansaugpads vom Nichtkontakt-Typ ist an der zentralen unteren Oberfläche des Basisabschnitts 30b über mehrere säulenartige Tragabschnitte befestigt. Ein Durchgangsloch 44b ist im Tragabschnitt 40b für Ansaugpads vom Nichtkontakt-Typ ausgebildet. Mehrere Ansaugpads 42b vom Nichtkontakt-Typ sind an der unteren Oberfläche des Tragabschnitts 40b für Ansaugpads vom Nichtkontakt-Typ vorgesehen. Zusätzlich sind mehrere Ansaugpads an der unteren Oberfläche des äußeren Umfangsabschnitts des Basisabschnitts 30b befestigt.
  • Wenn die Übertragungseinheit 24b das mit dem Schutzelement 19 versehene Substrat 1 überträgt, wird der Basisabschnitt 30b zu einer Position über dem Tragtisch 54 bewegt. Dann wird der Basisabschnitt 30b abgesenkt, um den Kunststofffilm 13 durch die Ansaugpads anzusaugen und zu halten und das Schutzelement 19 durch die Ansaugpads vom Nichtkontakt-Typ anzusaugen und zu halten. Danach wird der Basisabschnitt 30b angehoben, der Basisabschnitt 30b wird zu einer Position über dem Tisch 82 bewegt und der Basisabschnitt 30b wird abgesenkt, um das Substrat 1, an dem das Schutzelement 19 ausgebildet ist, auf dem Tisch 82 zu platzieren. Danach wird zunächst die Ansaugung des Kunststofffilms 13 gelöst. Als nächstes wird das Ansaugen und Halten des Schutzelements 19 gelöst. In diesem Fall wird das Substrat 1 am Tisch 82 in einem Zustand platziert, in dem der Kunststofffilm 13 aufgrund einer Strömung von aus den Ansaugpads vom Nichtkontakt-Typ ausgestoßenem Gas über den Tisch 82 verteilt wird. Während die Ansaugpads vom Nichtkontakt-Typ den Kunststofffilm 13 ansaugen, kühlt die Strömung des Gases von den Ansaugpads vom Nichtkontakt-Typ das Schutzelement 19 und erhöht eine Härte des Schutzelements 19. Es ist deswegen einfach, den unnötigen Teil des Schutzelements 19 abzuschneiden.
  • Indessen könnte der Tisch 82 einen Haltemechanismus aufweisen, der das Substrat 1 ansaugen und halten kann. In diesem Fall ist die obere Oberfläche des Tischs 82 eine Halteoberfläche 82a. Der Tisch 82 ist beispielsweise ein Einspanntisch, der ein an der Halteoberfläche 82a freiliegendes poröses Element und eine mit dem porösen Element verbundene Ansaugquelle aufweist und das an der Halteoberfläche 82a platzierte Substrat 1 durch ein Betätigen der Ansaugquelle ansaugt und hält.
  • Als nächstes wird die Schneideinheit 84 beschrieben werden. Die Schneideinheit 84 weist einen Tisch 82, der das Substrat 1 mit dem an der oberen Oberfläche 1a ausgebildeten Schutzelement 19 trägt, auf. Die Schneideinheit 84 weist ferner auf: einen Drehschaft 88 entlang einer zur Halteoberfläche 82a des Tischs 82 senkrechten Richtung; einen an einem unteren Ende des Drehschafts 88 befestigten scheibenförmigen Schneidabschnitttragabschnitt 86 und einen an einer äußeren Umfangsseite der unteren Oberfläche des Schneidabschnitttragabschnitts 86 befestigten Schneidabschnitt 90. Der Schneidabschnitt 90 ist beispielsweise eine Schneideinrichtung mit einem scharfen unteren Rand. Eine nicht dargestellte Drehantriebsquelle ist mit einem oberen Ende des Drehschafts 88 verbunden. Wenn die Drehantriebsquelle betätigt wird, um den Drehschaft 88 zu drehen, bewegt sich der an der unteren Oberfläche des Schneidabschnitttragabschnitts 86 befestigte Schneidabschnitt 90 in einer ringförmigen Umlaufbahn entlang des äußeren Umfangs 1c des Substrats 1. Das heißt, dass die Drehantriebsquelle, der Drehschaft 88 und der Schneidabschnitttragabschnitt 86 als eine Schneidabschnittbewegungseinheit 92 wirken, die den Schneidabschnitt 90 bewegt.
  • Wenn die Schneideinheit 84 das Schutzelement 19 schneidet, senkt die Schneideinheit 84 den Drehschaft 88 während eines Drehens und Bewegens des Schneidabschnitts 90 durch ein Betätigen der Schneidabschnittbewegungseinheit 92 ab, wodurch bewirkt wird, dass der Schneidabschnitt 90 entlang des Schutzelements 19 einschneidet. Das heißt, dass die Schneideinheit 84 das Schutzelement 19 entlang des äußeren Umfangs 1c des Substrats 1 durch ein Bewegen des Schneidabschnitts 90 entlang des äußeren Umfangs 1c des Substrats 1 durch die Schneidabschnittbewegungseinheit 92 schneiden kann. Nachdem die Schneideinheit 84 den unnötigen Teil des Schutzelements 19 abgeschnitten hat, wird ein Schleifen des Substrats 1 ermöglicht. Eine Sammeleinheit 94 für einen unnötigen Teil, die den abgeschnittenen unnötigen Teil des Schutzelements 19 sammelt, ist an einer Position neben dem Tisch 82 an der Basis 4 vorgesehen. Beispielsweise wird der unnötige Teil des Schutzelements 19 von der Übertragungseinheit 24b zur Sammeleinheit 94 des unnötigen Teils übertragen, der unnötige Teil wird durch ein Lösen der Ansaugung des unnötigen Teils auf die Sammeleinheit des unnötigen Teils fallen gelassen und der unnötige Teil wird angesaugt und gesammelt. Nachdem die Schneideinheit 84 den unnötigen Teil des Schutzelements 19 abgeschnitten hat, befördert der Substratübertragungsroboter 10b das Substrat 1 mit dem an der oberen Oberfläche 1a ausgebildeten Schutzelement 19 vom Tisch 82 und bringt das Substrat 1 mit dem an der oberen Oberfläche 1a ausgebildeten Schutzelement 19 in der an der Kassettenanbringbasis 6b angebrachten Kassette 8b unter. Danach wird die Kassette 8b zur Schleifvorrichtung übertragen und die Schleifvorrichtung schleift das Substrat 1 von der Seite der unteren Oberfläche 1b.
  • Es ist zu beachten, dass die vorliegende Erfindung nicht auf die Beschreibung der vorangehenden Ausführungsform beschränkt ist und auf unterschiedliche Weisen modifiziert und ausgeführt werden kann. Beispielsweise könnte, während in der vorangehenden Ausführungsform eine Beschreibung eines Falles erfolgte, in dem der flüssige Kunststoff 15 zur oberen Oberfläche 1a des Substrats 1 von oben zugeführt wird und der flüssige Kunststoff 15 von oben über die Abdeckfolie 17 gedrückt wird, die Schutzelementausbildungsvorrichtung 2 gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung nicht darauf beschränkt sein. Insbesondere könnte die Schutzelementausbildungsvorrichtung 2 den flüssigen Kunststoff 15 auf die Abdeckfolie 17 verteilen und den flüssigen Kunststoff 15 durch ein Drücken des flüssigen Kunststoffs 15 von oben durch das Substrat, an dem der Kunststofffilm 13 haftet, verteilen. Eine Modifikation der Schutzelementausbildungsvorrichtung 2 wird als nächstes unter Bezugnahme auf 11 erfolgen. In der Modifikation wird die Tragoberfläche eines Tragtischs 54a durch ein lichttransmittierendes Element 70a ausgebildet und der Tragtisch 54a ist in der Lage, die Abdeckfolie 17 durch die Tragoberfläche zu tragen. Dann führt die Flüssigkunststoffzuführeinheit 56 den flüssigen Kunststoff 15 zur oberen Oberfläche der am Tragtisch 54a getragenen Abdeckfolie 17 zu.
  • Die über dem Tragtisch 54a angeordnete Drückeinheit 58 kann das Substrat 1 durch die Drückoberfläche 68 in einem Zustand halten, in dem die obere Oberfläche 1a des Substrats 1, an dem der Kunststofffilm 13 haftet, nach unten gerichtet ist. Das Substrat 1 wird in dem Zustand, in dem die obere Oberfläche 1a, an welcher der Kunststofffilm 13 haftet, nach unten gerichtet ist, von oben durch die ebene Drückoberfläche 68 gedrückt, so dass der Kunststofffilm 13 an dem flüssigen Kunststoff 15 an der am Tragtisch 54a getragenen Abdeckfolie 17 haftet. Dann wird der flüssige Kunststoff 15 gedrückt und über den Kunststofffilm 13 verteilt. Eine Ultraviolettbestrahlungseinheit 66a, die den flüssigen Kunststoff 15 durch ein Bestrahlen des flüssigen Kunststoffs 15 mit Ultraviolettstrahlen durch die Tragoberfläche des Tragtischs 54a und die Abdeckfolie 17 härtet, ist in einem oberen Abschnitt des Tragtischs 54a aufgenommen. Wenn die Ultraviolettbestrahlungseinheit 66a betätigt wird und der flüssige Kunststoff 15 gehärtet wird, wird das Schutzelement 19 mit dem Kunststofffilm 13, dem gehärteten flüssigen Kunststoff 15 und der Abdeckfolie 17 an der oberen Oberfläche 1a des Substrats 1 ausgebildet.
  • Auch in der vorliegenden Modifikation kann das Schutzelement 19 nicht geeignet ausgebildet werden, wenn der flüssige Kunststoff 15 nicht ausreichend über den vorgegebenen Bereich verteilt wird. Demgemäß wird eine Bestimmungseinheit 76a verwendet. Die Bestimmungseinheit 76a weist eine Funktion eines Bestimmens des Zustands des von der Drückeinheit 58 verteilten flüssigen Kunststoffs 15 auf. Die Bestimmungseinheit 76a ist auf eine ähnliche Weise wie die Bestimmungseinheit 76 in der vorangehenden Ausführungsform ausgebildet. Die Bestimmungseinheit 76a weist auf: eine Kamera 72a, die den flüssigen Kunststoff 15 und das Substrat 1 von unten durch die Tragfläche des Tragtischs 54a fotografiert; und einen Bestimmungsabschnitt 74a, der auf der Basis einer von der Kamera 72a aufgenommenen Abbildung bestimmt, ob der flüssige Kunststoff 15 über den vorgegebenen Bereich verteilt ist oder nicht. Die Bestimmungseinheit 76a weit ferner einen Benachrichtigungsabschnitt 78a auf, der eine Benachrichtigung hinsichtlich eines Ergebnisses der Bestimmung durch den Bestimmungsabschnitt 74a ausgibt.
  • Auch in der vorliegenden Modifikation kann die Bestimmungseinheit 76a bestimmen, ob der flüssige Kunststoff 15 in Bezug auf das Substrat 1 über den vorgegebenen Bereich verteilt ist oder nicht, bevor die Ultraviolettbestrahlungseinheit 66a den flüssigen Kunststoff 15 härtet. Der flüssige Kunststoff 15 wird deswegen gehärtet, nachdem es bestätigt ist, dass der flüssige Kunststoff 15 über den vorgegebenen Bereich verteilt ist. Somit wird das Schutzelement 19 geeignet an der oberen Oberfläche 1a des Substrats 1 verteilt.
  • Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die Details der oben beschriebenen bevorzugten Ausführungsform beschränkt.
  • Der Umfang der Erfindung wird durch die angehängten Patentansprüche definiert und alle Änderungen und Modifikationen, die in das Äquivalente des Schutzbereichs der Ansprüche fallen, sind daher von der Erfindung umfasst.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • JP 2017050536 [0005]

Claims (4)

  1. Schutzelementausbildungsvorrichtung zum Ausbilden eines Schutzelements an einer oberen Oberfläche eines Substrats mit Vorsprüngen und Vertiefungen an der oberen Oberfläche, wobei das Schutzelement ebener als die Vorsprünge und Vertiefungen an der oberen Oberfläche ist, durch ein Schichten eines flüssigen Kunststoffs von einem ultraviolett-härtenden Typ und einer Abdeckfolie an einem an der oberen Oberfläche des Substrats haftenden Kunststofffilm, um den Vorsprüngen und Vertiefungen zu entsprechen, wobei der Kunststofffilm größer als das Substrat ist, wobei die Schutzelementausbildungsvorrichtung aufweist: einen Tragtisch, der ausgestaltet ist, um das Substrat mit dem an der oberen Oberfläche haftenden Kunststofffilm zu tragen; eine Flüssigkunststoffzuführeinheit, die ausgestaltet ist, um den flüssigen Kunststoff auf den am am Tragtisch getragenen Substrat haftenden Kunststofffilm zuzuführen; eine Drückeinheit mit einer Drückoberfläche, die in der Lage ist, die Abdeckfolie zu halten, wobei die Drückoberfläche eben ist und eine lichttransmittierende Eigenschaft aufweist, wobei die Drückeinheit ausgestaltet ist, um den flüssigen Kunststoff durch ein Drücken des auf den Kunststofffilm zugeführten flüssigen Kunststoffs durch die Drückoberfläche über die von der Drückoberfläche gehaltene Abdeckfolie über den Kunststofffilm zu verteilen; eine Ultraviolettbestrahlungseinheit, die ausgestaltet ist, um den flüssigen Kunststoff durch ein Bestrahlen des flüssigen Kunststoffs mit Ultraviolettstrahlen durch die Drückoberfläche und die Abdeckfolie zu härten und das Schutzelement mit dem Kunststofffilm, dem gehärteten flüssigen Kunststoff und der Abdeckfolie auszubilden; und eine Bestimmungseinheit, die ausgestaltet ist, um einen Zustand des von der Drückeinheit verteilten flüssigen Kunststoffs zu bestimmen, wobei die Bestimmungseinheit aufweist: eine Kamera, die ausgestaltet ist, um den flüssigen Kunststoff und das Substrat von oben durch die Drückoberfläche der Drückeinheit zu fotografieren, einen Bestimmungsabschnitt, der ausgestaltet ist, um den flüssigen Kunststoff und das Substrat aus einer durch ein Fotografieren durch die Kamera erhaltenen Abbildung zu detektieren und zu bestimmen, ob der flüssige Kunststoff in Bezug auf das Substrat über einen vorgegebenen Bereich verteilt ist oder nicht, und einen Benachrichtigungsabschnitt, der ausgestaltet ist, um eine Benachrichtigung hinsichtlich eines Bestimmungsergebnisses des Bestimmungsabschnitts auszugeben.
  2. Schutzelementausbildungsvorrichtung nach Anspruch 1, wobei die Kamera eine Fischaugen-Linse oder eine Weitwinkel-Linse aufweist, die so angeordnet ist, dass sie der Ultraviolettbestrahlungseinheit benachbart ist, und an einer Position installiert ist, die einem Zentrum des zugewandten Substrats entspricht, und wobei das Fotografieren unter Verwendung der Fischaugen-Linse oder der Weitwinkel-Linse durchgeführt wird.
  3. Schutzelementausbildungsvorrichtung zum Ausbilden eines Schutzelements an einer oberen Oberfläche eines Substrats mit Vorsprüngen und Vertiefungen an der oberen Oberfläche, wobei das Schutzelement ebener als die Vorsprünge und Vertiefungen an der oberen Oberfläche ist, durch ein Schichten eines flüssigen Kunststoffs von einem ultraviolett-härtenden Typ und einer Abdeckfolie an einem an der oberen Oberfläche des Substrats haftenden Kunststofffilm, um den Vorsprüngen und Vertiefungen zu entsprechen, wobei der Kunststofffilm größer als das Substrat ist, wobei die Schutzelementausbildungsvorrichtung aufweist: einen Tragtisch, der eine durch ein lichttransmittierendes Element ausgebildete Tragoberfläche aufweist, wobei der Tragtisch in der Lage ist, die Abdeckfolie durch die Tragoberfläche zu tragen; eine Flüssigkunststoffzuführeinheit, die ausgestaltet ist, um den flüssigen Kunststoff zu einer oberen Oberfläche der am Tragtisch getragenen Abdeckfolie zuzuführen; eine Drückeinheit, die ausgestaltet ist, um das Substrat in einem Zustand, in dem die obere Oberfläche, an welcher der Kunststofffilm haftet, nach unten gerichtet ist, durch eine ebene Drückoberfläche von oben so zu drücken, dass der Kunststofffilm an dem flüssigen Kunststoff an der am Tragtisch getragenen Abdeckfolie haftet; eine Ultraviolettbestrahlungseinheit, die ausgestaltet ist, um den flüssigen Kunststoff durch ein Bestrahlen des flüssigen Kunststoffs mit Ultraviolettstrahlen durch die Tragoberfläche des Tragtischs und die Abdeckfolie zu härten und das Schutzelement mit dem Kunststofffilm, dem gehärteten flüssigen Kunststoff und der Abdeckfolie auszubilden; und eine Bestimmungseinheit, die ausgestaltet ist, um einen Zustand des von der Drückeinheit verteilten flüssigen Kunststoffs zu bestimmen, wobei die Bestimmungseinheit aufweist: eine Kamera, die ausgestaltet ist, um den flüssigen Kunststoff und das Substrat von unten durch die Tragoberfläche des Tragtischs zu fotografieren, einen Bestimmungsabschnitt, der ausgestaltet ist, um das Substrat und den flüssigen Kunststoff aus einer durch ein Fotografieren durch die Kamera erhaltenen Abbildung zu detektieren und zu bestimmen, ob der flüssige Kunststoff in Bezug auf das Substrat über einen vorgegebenen Bereich verteilt ist oder nicht, und einen Benachrichtigungsabschnitt, der ausgestaltet ist, um eine Benachrichtigung hinsichtlich eines Bestimmungsergebnisses des Bestimmungsabschnitts auszugeben.
  4. Schutzelementausbildungsvorrichtung nach Anspruch 3, wobei die Kamera eine Fischaugen-Linse oder eine Weitwinkel-Linse aufweist, die so angeordnet ist, dass sie der Ultraviolettbestrahlungseinheit benachbart ist, und an einer Position installiert ist, die einem Zentrum des zugewandten Substrats entspricht, und wobei das Fotografieren unter Verwendung der Fischaugen-Linse oder der Weitwinkel-Linse durchgeführt wird.
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