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TECHNISCHES GEBIET
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Ausführungsformen beziehen sich auf eine Polierschlamm-Zuführungseinrichtung und eine Poliervorrichtung mit derselben.
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HINTERGRUND
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Aufgrund der höheren Integration von Halbleiterbauteilen sind Kratzer oder Beschädigungen an Halbleiter-Wafern, die durch Läppen oder chemisch-mechanische doppelseitige Portierung (DSP, Double Side Polishing) in den Wafer-Herstellungsprozessen verursacht werden, als wichtiger Faktor bekannt, der eine große Auswirkung auf den Ertrag und die Produktivität von Halbleiterbauteilen hat. Im Besonderen werden bei neueren Herstellungsprozessen von Halbleiterbauteilen unter Verwendung von Wafern mit großem Durchmesser (z.B. Wafern mit einem Durchmesser von 300 mm) die Größe und Präzision von Wafern, Läppplatten, Polierköpfe, Polierpad und Ähnlichem erhöht.
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Polierschlamm wird beim herkömmlichen Läppen oder doppelseitigem Polieren verwendet. Im Fall von herkömmlichen Polierschlamm-Zuführungseinrichtungen können bei der Zuführung des Polierschlamms aus einer Düse (nicht dargestellt) in einem Polierschlammring (nicht dargestellt) Verschmutzungen, wie Staub, Metall oder Ähnliches am Polierschlamm anhaften, was dazu führt, dass der Polierschlamm an einer inneren Polierschlammleitung einer oberen Platte anhaftet oder einen zu polierenden Gegenstand verschmutzt oder beschädigt.
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Aus der
DE 100 60 697 A1 ist eine Vorrichtung zur Durchführung eines Polierverfahrens mit reduzierter Kratzerrate bekannt. Diese Vorrichtung weist eine Düse auf, über die Polierschlamm abgegeben werden kann. Der Polierschlamm wird dabei von einer Zuführungseinheit aufgenommen und über eine Polierschlammöffnung abgegeben. Die Polierschlammzuführungseinheit ist in einer Aufnahmeeinheit angeordnet, die ferner Wasser aufnehmen kann. Zur Ausbildung eines geschlossenen Raums ist zudem eine Abdeckung vorgesehen.
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Aus der
DE 40 16 335 A1 ist eine Vorrichtung zum Zuführen von Polierschlamm mit einer Düse bekannt, über die Polierschlamm zugeführt wird, wobei der Raum innerhalb des Gehäuses mit Luft gefüllt ist. Auch die
DE 24 40 978 A1 zeigt eine Vorrichtung zum Zuführen von Polierschlamm, wobei eine Düse zur Ausgabe des Polierschlamms vorgesehen ist. Der Polierschlamm wird über eine Polierschlammzuführungseinheit von der Düse aufgenommen und abgeleitet, wobei im Innenraum des Behälters, der die Zuführungseinheit aufnimmt, Luft ist.
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ÜBERSICHT
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Ausführungsformen sehen eine Polierschlamm-Zuführungseinrichtung vor, die dazu ausgestaltet ist, eine Verschmutzung des Polierschlamms und der Poliervorrichtung, die dieselbe enthält, zu verhindern.
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Gemäß einer Ausführungsform umfasst eine Polierschlamm-Zuführungseinrichtung eine Düse, die zur Abgabe von Polierschlamm ausgestaltet ist, eine Polierschlamm-Zuführungseinheit, die dazu ausgestaltet ist, den Polierschlamm aus der Düse aufzunehmen und den Polierschlamm über wenigstens eine Polierschlammöffnung abzuleiten, eine Aufnahmeeinheit, die dazu ausgestaltet ist, darin die Befestigung, das Einsetzen, Verankern, Halten oder Anordnen zu ermöglichen, um so das Ableiten des Polierschlamms aus der Polierschlamm-Zuführungseinheit zu ermöglichen, wobei die Aufnahmeeinheit dazu ausgestaltet ist, ein Fließmaterial um die Polierschlamm-Zuführungseinheit aufzunehmen, und eine Polierschlamm-Schutzeinheit, die dazu ausgestaltet ist, zusammen mit dem Fließmaterial einen Raum zum Durchfließen des Polierschlamms von einem Düsenausgang zu einem Eingang der Polierschlamm-Zuführungseinheit zu umschließen.
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Die Polierschlamm-Zuführungseinrichtung weist weiterhin ein erstes Reservoir auf, das dazu ausgestaltet ist, ein Nachfüll-Fließmaterial aufzunehmen, und ein erstes Rohr, das dazu ausgestaltet ist, eine Durchflusspfad des Nachfüll-Fließmaterials vom ersten Reservoir zur Aufnahmeeinheit zu definieren.
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Außerdem weist die Polierschlamm-Zuführungseinrichtung eine Messeinheit auf, die dazu ausgestaltet ist, die Menge des in der Aufnahmeeinheit aufgenommenen Fließmaterials zu messen, eine Ventilsteuereinheit, die dazu ausgestaltet ist, ein Steuersignal basierend auf der aufgenommenen Menge des Fließmaterials zu generieren, und ein erstes Ventil, das dazu ausgestaltet ist, die Menge des Nachfüll-Fließmaterials anzupassen, das als Reaktion auf das Steuersignal vom ersten Reservoir der Aufnahmeeinheit zugeführt werden soll.
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Die Polierschlamm-Schutzeinheit kann eine Düsenaufnahmeaussparung aufweisen, die zu einem Eingang der Polierschlamm-Zuführungseinheit hin angeordnet ist, wobei die Aufnahmeaussparung der Düse dazu ausgestaltet ist, dass die Düse darin befestigt, verankert, eingesetzt oder verbunden werden kann, und eine Hauptabdeckung dazu ausgestaltet ist, den Raum zum Durchfließen des Polierschlamms zusammen mit dem Fließmaterial hermetisch abzudichten.
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Die Hauptabdeckung kann einen oberen Endbereich und einen ersten Seitenwandbereich aufweisen, der vom oberen Endbereich aus verläuft.
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Der obere Endbereich kann in einer ersten Richtung verlaufen, der erste Seitenwandbereich kann in einer zweiten Richtung verlaufen, und die zweite Richtung eine Ableitungsrichtung des Polierschlamms sein und ist senkrecht zur ersten Richtung angeordnet.
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Der obere Endbereich kann einen ersten Krümmungsradius aufweisen, und der erste Seitenwandbereich weist einen zweiten Krümmungsradius auf. Der erste und der zweite Krümmungsradius können identisch oder verschieden sein.
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Ein jeder vom oberen Endbereich und dem ersten Seitenwandbereich kann sich verjüngen und sie können integral miteinander ausgestaltet sein.
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Die Hauptabdeckung kann ein Ende aufweisen, das im Fließmaterial eingetaucht ist oder das vom Fließmaterial beanstandet ist.
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Die Hauptabdeckung kann weiterhin eine Hilfsabdeckung aufweisen, die vom ersten Seitenwandbereich in die erste Richtung verläuft, um die Oberseite des Fließmaterials zu bedecken.
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Die Düse und die Polierschlamm-Schutzeinheit können fixiert sein, und die Polierschlamm-Zuführungseinheit und die Aufnahmeeinheit können rotierbar sein.
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Eine jede von der Polierschlamm-Zuführungseinheit, der Polierschlamm-Schutzeinheit und der Aufnahmeeinheit können die gleiche plane Form haben.
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Eine jede von der Polierschlamm-Zuführungseinheit, der Polierschlamm-Schutzeinheit und der Aufnahmeeinheit können eine ringförmige plane Form haben.
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Das Fließmaterial kann ultrareines Wasser beinhalten.
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Die Aufnahmeeinheit kann einen unteren Bereich und einen zweiten Seitenwandbereich aufweisen, der vom unteren Bereich aus verläuft, um einen Raum zu definieren, der dazu ausgestaltet ist, das Fließmaterial darin aufzunehmen.
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Der untere Bereich kann eine Aufnahmeaussparung der Zuführungseinheit aufweisen, die dazu ausgestaltet ist, dass die Polierschlamm-Zuführungseinheit darin befestigt, eingesetzt, verankert, verbunden, gehalten oder angeordnet werden kann, und eine Durchgangsöffnung zum Ableiten des aus der Polierschlamm-Öffnung abgegebenen Polierschlamms.
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Die Aufnahmeaussparung der Zuführungseinheit kann eine Tiefe aufweisen, die kleiner ist als eine Differenz zwischen einer Höhe der Polierschlamm-Zuführungseinheit und einer Höhe des Fließmaterials.
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Die Polierschlamm-Zuführungseinheit kann an der Aufnahmeaussparung der Zuführungseinheit verschraubt sein.
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Der zweite Seitenwandbereich kann von dem ersten Seitenwandbereich beabstandet sein.
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Die Empfangseinheit kann weiterhin einen Bereich zum Verhindern des Überlaufens aufweisen, der nach innen hervorsteht und vom zweiten Seitenwandbereich der Aufnahmeeinheit aus verläuft, um so wenigstens eine Teilfläche des Fließmaterials abzudecken.
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Die Polierschlamm-Zuführungseinrichtung kann weiterhin ein zweites Reservoir aufweisen, das dazu ausgestaltet ist, eine Waschlösung aufzunehmen, und eine zweite Leitung, die dazu ausgestaltet ist, einen Durchflusspfad der Waschlösung vom zweiten Reservoir zur Aufnahmeeinheit zu definieren.
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Die Polierschlamm-Zuführungseinrichtung kann weiterhin ein zweites Ventil aufweisen, das dazu ausgestaltet ist, die Menge der Waschlösung anzupassen, die vom zweiten Reservoir der Aufnahmeeinheit zugeführt werden soll.
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Gemäß einer anderen Ausführungsform beinhaltet eine Poliervorrichtung eine obere Platte und eine untere Platte, die dazu ausgestaltet sind, eine Oberseite und eine Unterseite eines zu polierenden Gegenstands zu polieren; eine Antriebseinheit, die dazu ausgestaltet ist, die obere Platte zu rotieren; und die Polierschlamm-Zuführungseinrichtung.
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Wenigstens eines von dem ersten Reservoir und dem zweiten Reservoir kann an der oberen Platte befestigt, verankert, angeordnet, gehalten oder verbunden sein, um so zusammen mit der oberen Platte rotiert zu werden.
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Figurenliste
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Anordnungen und Ausführungsformen werden detailliert mit Bezugnahme auf die folgenden Zeichnungen beschrieben, bei denen sich ähnliche Bezugsziffern auf ähnliche Elemente beziehen, und wobei:
- 1 eine Draufsicht einer Polierschlamm-Zuführungseinrichtung gemäß einer Ausführungsform ist.
- 2A eine Draufsicht ist, die die in 1 dargestellte Polierschlamm-Zuführungseinrichtung ohne eine Polierschlamm-Schutzeinheit darstellt, und 2B eine Draufsicht ist, die eine Ausführungsform der in 1 dargestellten Polierschlamm-Zuführungseinheit zeigt;
- 3A und 3B jeweils eine explodierte Schnittansicht und eine zusammengesetzte Schnittansicht entlang der Linie I-I' von 1 sind, die die Polierschlamm-Zuführungseinrichtung gemäß einer Ausführungsform darstellen;
- 4 eine zusammengesetzte Schnittansicht entlang der Linie I-I' von 1 ist, die eine Polierschlamm-Zuführungseinrichtung gemäß einer weiteren anderen Ausführungsform darstellt;
- 5 eine zusammengesetzte Schnittansicht entlang der Linie I-I' von 1 ist, die eine Polierschlamm-Zuführungseinrichtung gemäß einer weiteren anderen Ausführungsform darstellt;
- 6 eine zusammengesetzte Schnittansicht entlang der Linie I-I' von 1 ist, die eine Polierschlamm-Zuführungseinrichtung gemäß einer weiteren anderen Ausführungsform darstellt;
- 7 eine zusammengesetzte Schnittansicht entlang der Linie I-I' von 1 ist, die eine Polierschlamm-Zuführungseinrichtung gemäß einer weiteren anderen Ausführungsform darstellt;
- 8 eine zusammengesetzte Schnittansicht entlang der Linie I-I' von 1 ist, die eine Polierschlamm-Zuführungseinrichtung gemäß einer weiteren anderen Ausführungsform darstellt;
- 9 eine Ansicht einer Polierschlamm-Zuführungseinrichtung gemäß einer weiteren anderen Ausführungsform ist; und
- 10 eine Ansicht ist, die eine Poliervorrichtung gemäß einer Ausführungsform darstellt.
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BESCHREIBUNG BESTIMMTER AUSFÜHRUNGSFORMEN
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Im Folgenden werden Ausführungsformen detailliert mit Bezugnahme auf die Zeichnungen im Anhang in bestmöglicher Weise beschrieben, um das Verständnis der Ausführungsformen zu verbessern. Es sind jedoch verschiedene Modifikationen der Ausführung möglich, und die technische Intention der Ausführungsformen soll nicht auf die Ausführungsformen beschränkt ausgelegt werden. Die Ausführungsformen der vorliegenden Offenlegung werden dargelegt, um die Offenlegung für Fachleute zu erläutern.
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Im Folgenden wird die Polierschlamm-Zuführungseinrichtung gemäß der Ausführungsformen mit Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben.
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1 ist eine Draufsicht, die eine Polierschlamm-Zuführungseinrichtung 100 gemäß einer Ausführungsform darstellt, 2A ist eine Draufsicht, die eine in 1 dargestellte Polierschlamm-Zuführungseinrichtung 100 ohne Polierschlamm-Schutzeinheit 140 darstellt, 2B ist eine Draufsicht, die eine Ausführungsform 140A der Polierschlamm-Schutzeinheit 140 der in 1 dargestellten Polierschlamm-Zuführungseinrichtung 100 darstellt, 3A ist eine explodierte Schrittansicht entlang der Linie I-I' von 1, die eine Polierschlamm-Zuführungseinrichtung 100A gemäß einer Ausführungsform darstellt, und 3B ist eine zusammengesetzte Schnittansicht entlang der Linie I-I' von 1, die die Polierschlamm-Zuführungseinrichtung 100A gemäß der Ausführungsform darstellt.
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Es wird auf 1 bis 3B Bezug genommen. Die Polierschlamm-Zuführungseinrichtung 100: 100A kann gemäß der Ausführungsform Düsen 110, eine Polierschlamm-Zuführungseinheit 120, eine Aufnahmeeinheit 130A und eine Zuführung-Schutzeinheit 140: 140A aufweisen.
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Die Düsen 110 dienen zur Ausgabe des Polierschlamms S. Zum Beispiel können die Düsen 110, wie beispielhaft in 1 und 2A dargestellt, im gleichen Abstand angeordnet sein, obwohl die Ausführungsformen nicht auf diese Anordnungsform der Düsen 110 beschränkt ist.
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Darüber hinaus, während in 1 und 2A vier Düsen 110 dargestellt sind, kann die Polierschlamm-Zuführungseinrichtung 100: 100A gemäß der Ausführungsform mehr oder weniger Düsen enthalten. D.h., die Polierschlamm-Zuführungseinrichtung 100: 100A gemäß der Ausführungsform ist nicht hinsichtlich der Anzahl der Düsen beschränkt.
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Die Polierschlamm-Zuführungseinheit 120 dient zur Aufnahme des Polierschlamms S aus den Düsen 110 und zum Ableiten des Polierschlamms S über mindestens eine Polierschlammöffnung 120-3. Es wird auf 2A Bezug genommen. Die Polierschlamm-Zuführungseinrichtung 100: 100A ist mit 16 Polierschlammöffnungen 120-3 dargestellt, wenngleich die Ausführung auch nicht darauf beschränkt ist. D.h., es versteht sich, dass andere Ausführungsformen möglich sind, in denen mehr Polierschlammöffnungen 120-3 oder weniger Polierschlammöffnungen 120-3 vorgesehen sind.
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Darüber hinaus können die Polierschlammöffnungen 120-3 in einer Umfangsrichtung angeordnet sein, und die Polierschlamm-Zuführungseinheit 120 kann im Allgemeinen die Form einer Scheibe annehmen, die mit einer hervorstehende rechtwinkligen Außenumfangswand 120-1 und einer geneigten Innenumfangswand 120-2 vorgesehen ist. In diesem Fall können die Polierschlammöffnungen 120-3 in verbindender Weise in Kontakt mit einer Innenfläche der rechtwinkligen Außenumfangswand 120-1 ausgestaltet sein. Es wird auf 3A und 3B Bezug genommen. Jede Düse 110 kann zwischen der rechtwinkligen Außenumfangswand 120-1 und der geneigten Innenumfangswand 120-2 der Polierschlamm-Zuführungseinheit 120 positioniert sein. D.h., eine Breite w1 der Düse 110 entlang der x-Achse kann kleiner sein als ein oberer maximaler Abstand w2 entlang der x-Achse zwischen der rechtwinkligen Außenumfangswand 120-1 und der geneigten Innenumfangswand 120-2.
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Der Polierschlamm S kann an der Innenfläche der rechtwinkligen Außenumfangswand 120-1, d.h., parallel zu einer Polierschlamm-Durchflussrichtung vorbeifließen, und die Innenfläche der geneigten Innenumfangswand 120-2 weist eine sich bezüglich der Polierschlamm-Durchflussrichtung neigende geneigte Innenfläche 124 auf und wird im Folgenden durch eine vertikale Führungsfläche 126 der Polierschlamm-Zuführungseinheit 120 nach unten geleitet.
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Die geneigte Innenfläche 124 der geneigten Innenumfangswand 120-2 kann unter Berücksichtigung der Polierschlamm-Durchflussrichtung geneigt sein, damit der Polierschlamm S durch die Schwerkraft natürlich nach unten geführt werden kann.
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Falls die Polierschlamm-Zuführungseinheit 120 wie oben beschrieben verwirklicht wird, kann der von den Düsen 110 zugeführte Polierschlamm S in natürlicher Weise über die Polierschlammöffnungen 120-3 durch die Schwerkraft abgeleitet und nach außen geführt werden, anstatt in der Polierschlamm-Zuführungseinheit 120 zu verbleiben. Die Ausführungsform ist jedoch nicht auf die oben beschriebene Gestaltung der Polierschlamm-Zuführungseinheit 120 beschränkt. D.h., die Polierschlamm-Zuführungseinheit 120 kann andere Gestaltungen aufweisen als in 3A und 3B.
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Die Aufnahmeeinheit 130A ist eine Einheit, in der die Polierschlamm-Zuführungseinheit 120 befestigt, eingesetzt, verankert, verbunden, gehalten oder angeordnet ist, damit der Polierschlamm S aus der Polierschlamm-Zuführungseinheit 120 Abgeleitet werden kann. Darüber hinaus kann die Aufnahmeeinheit 130A dazu ausgestaltet sein, ein Fließmaterial 200 um die Polierschlamm-Zuführungseinheit 120 aufzunehmen.
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Die Aufnahmeeinheit 130A kann wenigstens einen von einem unteren Bereich 132 oder von einem ersten Seitenwandbereich 134-1 und 134-2 beinhalten. Der untere Bereich 132 kann eine Aufnahmeaussparung 132-1 der Zuführungseinheit und eine Durchgangsöffnung 132-2 aufweisen. Hier ist die Aufnahmeaussparung 132-1 der Zuführungseinheit eine Position, an der die Polierschlamm-Zuführungseinheit 120 befestigt, eingesetzt, verankert, verbunden, gehalten oder angeordnet ist.
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In der Ausführungsform kann eine Tiefe D der Aufnahmeaussparung 132-1 der Zuführungseinheit kleiner als eine Höhendifferenz ΔH von einer ersten Höhe H1 der Polierschlamm-Zuführungseinheit 120 zu einer zweiten Höhe H2 des Fließmaterials 200 sein. Damit kann verhindert werden, dass das Fließmaterial 200 in die Polierschlamm-Zuführungseinheit 120 eintritt, da die Tiefe D, die größer ist als die Höhendifferenz ΔH, bewirkt, dass eine Oberfläche 200A des Fließmaterials 200 höher liegt als eine Oberseite der Polierschlamm-Zuführungseinheit 120.
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In einer Ausführungsform kann die Polierschlamm-Zuführungseinheit 120 in der Aufnahmeaussparung 132-1 der Zuführungseinheit befestigt, eingesetzt, verankert, verbunden, gehalten oder angeordnet sein. Um eine Trennung der Polierschlamm-Zuführungseinheit 120 zu verhindern, nachdem die Polierschlamm-Zuführungseinheit 120 in der Aufnahmeaussparung 132-1 zur Polierschlamm-Führungseinheit befestigt, eingesetzt, verankert, verbunden, gehalten oder angeordnet wurde, kann in diesem Fall eine untere Fläche 132-3 des unteren Bereichs 132 stufenförmig ausgestaltet sein. In diesem Fall kann eine Dicke t der Aufnahmeeinheit 130A unter der Polierschlamm-Zuführungseinheit 120, welche in der Aufnahmeaussparung 132-1 der Zuführungseinheit befestigt, darin eingesetzt, verankert, verbunden, gehalten oder angeordnet ist, über null liegen.
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Der aus den Polierschlammöffnungen 120-3 der Polierschlamm-Zuführungseinheit 120 ausgeleitete Polierschlamm S kann von der Polierschlamm-Zuführungseinrichtung 100: 100A über die Durchgangsöffnung 120-3 nach außen abgeleitet werden.
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4 ist eine zusammengesetzte Schnittansicht entlang der Linie I-I' von 1, die eine Polierschlamm-Zuführungseinrichtung 100B gemäß einer anderen Ausführungsform darstellt.
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In der beispielhaft in 4 dargestellten Polierschlamm-Zuführungseinrichtung 100B kann die Polierschlamm-Zuführungseinheit 120 an einer Aufnahmeeinheit 130B der Zuführungseinheit verschraubt sein, wie durch das Bezugszeichen 136 dargestellt. In diesem Fall ist es nicht erforderlich, dass die Aufnahmeeinheit 130B sich unter der Polierschlamm-Zuführungseinheit 120 befindet. D.h., eine Dicke t der Aufnahmeeinheit 130B unter der Polierschlamm-Zuführungseinheit 120, die in der Aufnahmeaussparung 132-1 befestigt, eingesetzt, verankert, verbunden, gehalten oder darin angeordnet ist, kann null betragen. Im Fall der Verschraubungen 136 der Polierschlamm-Zuführungseinheit 120 und der Aufnahmeeinheit 130B kann die Aufnahmeeinheit 130B keine Durchgangsöffnung 132-2 aufweisen, wie beispielhaft in 3A und 3B dargestellt.
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Es wird auf 4 Bezug genommen. Eine Seitenfläche 132-4 des unteren Bereichs 132 der Aufnahmeeinheit 130B, die der Polierschlamm-Zuführungseinheit 120 zugewandt ist, kann mit Innengewinden (oder Außengewinden) vorgesehen sein, und eine Seitenfläche 120-4 der Polierschlamm-Zuführungseinheit 120, die dem unteren Bereich 132 zugewandt ist, kann mit Außengewinden (oder Innengewinden) entsprechend den Innengewinden (oder den Außengewinden) vorgesehen sein. Durch das Verschrauben der Außen- und Innengewinde kann die Polierschlamm-Zuführungseinheit 120 an die Aufnahmeeinheit 130B angeschraubt werden.
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Bei dieser Verschraubung kann z.B., wie beispielhaft in 2A dargestellt, die Aufnahmeeinheit 130B in einer Richtung A1 gegen den Uhrzeigersinn (oder in einer Richtung A2 im Uhrzeigersinn) rotiert werden, und die Polierschlamm-Zuführungseinheit 120 kann in einer Richtung A2 im Uhrzeigersinn (oder in einer Richtung A1 gegen den Uhrzeigersinn) rotiert werden.
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Alternativ kann im Unterschied zur Darstellung von 4 die andere Seitenfläche 132-5 des unteren Bereichs 132 mit Innengewinden (oder Außengewinden) vorgesehen sein, und die andere Seitenfläche 120-5 der Polierschlamm-Zuführungseinheit 120 kann mit Außengewinden (oder Innengewinden) entsprechend den Innengewinden (oder den Außengewinden) vorgesehen sein, sodass die Polierschlamm-Zuführungseinheit 120 an der Aufnahmeeinheit 130B über das Verschrauben der Außen- und Innengewinde verschraubt ist.
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Wie oben beschrieben, ist die in 4 dargestellte Polierschlamm-Zuführungseinrichtung 100B abgesehen von der Verschraubung der Polierschlamm-Zuführungseinheit 120 an der Aufnahmeeinheit 130B mit der in 3B dargestellten Polierschlamm-Zuführungseinheit 100A identisch, und wird somit mit den gleichen Bezugszeichen bezeichnet, und auf eine wiederholte Beschreibung der gleichen Gestaltung wird im Folgenden verzichtet.
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In einer weiteren anderen Ausführungsform, wie beispielhaft in 4 dargestellt, kann die Polierschlamm-Zuführungseinheit 120 mit der Aufnahmeeinheit 130B unter der Bedingung verschraubt sein, dass die Dicke t nicht null ist, wie in 3B dargestellt.
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Darüber hinaus können die ersten Seitenwandbereiche 134-1 und 134-2 der Aufnahmeeinheit 130A vom unteren Bereich 132 aus verlaufen, um einen Raum zur Aufnahme des Fließmaterials 200 zu definieren. Es wird auf 3A und 3B Bezug genommen. Die ersten Seitenwandbereiche 134-1 und 134-2 können vom unteren Bereich 132 entlang einer Dickenrichtung der Aufnahmeeinheit 130A verlaufen, d.h. in Richtung der z-Achse, obwohl die Ausführungsform nicht darauf beschränkt ist. D.h., die ersten Seitenwandbereiche 134-1 und 134-2 können vom unteren Bereich 132 basierend auf der z-Achse schräg verlaufen, anstatt entlang der z-Achse zu verlaufen, solange die ersten Seitenwandbereiche 134-1 und 134-2 einen Raum definieren, in dem das Fließmaterial 200 aufgenommen werden kann.
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5 ist eine zusammengesetzte Schnittansicht entlang der Linie I-I' von 1, die eine Polierschlamm-Zuführungseinrichtung 100C gemäß einer weiteren anderen Ausführungsform darstellt.
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Es wird auf 5 Bezug genommen. Eine Aufnahmeeinheit 130C kann weiterhin Bereiche 135-1 und 135-2 zum Verhindern eines Überlaufs enthalten. Mit Ausnahme dieser Gestaltung ist die in 5 dargestellte Polierschlamm-Zuführungseinrichtung 100C mit der in 3 dargestellten Polierschlamm-Zuführungseinrichtung 100A identisch, und wird somit mit den gleichen Bezugszeichen bezeichnet, und auf eine wiederholte Beschreibung der gleichen Gestaltung wird im Folgenden verzichtet.
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Die in 5 dargestellten Bereiche 135-1 und 135-2 zum Verhindern des Überlaufs können nach innen hervorstehen und von den ersten Seitenwandbereichen 134-1 und 134-2 der Aufnahmeeinheit 130C aus verlaufen, um so wenigstens einem Teil der Fläche 200A des Fließmaterials 200 abzudecken. Über die Bereiche zum Verhindern des Überlaufens 135-1 und 135-2 der Aufnahmeeinheit 130C kann verhindert werden, dass das Fließmaterial 200 durch eine Zentrifugalkraft bei der Rotation der Aufnahmeeinheit 130C aus der Aufnahmeeinheit 130C überläuft.
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Indessen kann die Polierschlamm-Schutzeinheit 140A dazu ausgestaltet sein, einen Raum SP, durch den der Polierschlamm S von einem Ausgang 112 einer jeden Düse 110 zu einem Eingang 122 der Polierschlamm-Zuführungseinheit 120 zusammen mit dem Fließmaterial 200 fließt, zu umschließen.
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Die Polierschlamm-Schutzeinheit 140A kann Düsenaufnahmeaussparungen 142 und eine Hauptabdeckung 141A aufweisen. Eine jede der Düsenaufnahmeaussparungen 142 kann dazu ausgestaltet sein, dem Eingang 122 der Polierschlamm-Zuführungseinheit 120 zugewandt zu sein und zu ermöglichen, dass die Düse 110 in der Düsenaufnahmeaussparung 142 befestigt, eingesetzt, verankert oder damit verbunden wird.
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Die Hauptabdeckung 141A kann dazu ausgestaltet sein, den Raum SP zum Durchfließen des Polierschlamms S zusammen mit dem Fließmaterial 200 hermetisch abzudichten.
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Es wird auf 3A, 3B, 4 und 5 Bezug genommen. Die Hauptabdeckung 141A kann einen oberen Endbereich 144A und einen zweiten Seitenwandbereich 146A enthalten, der vom oberen Endbereich 144A aus verläuft.
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In einer Ausführungsform kann der obere Endbereich 144A in einer ersten Richtung, und der zweite Seitenwandbereich 146A kann in einer zweiten Richtung verlaufen. In diesem Fall kann die zweite Richtung eine Ableitungsrichtung des Polierschlamms S (in Richtung der z-Achse) sein und senkrecht zur ersten Richtung verlaufen. D.h., die Hauptabdeckung 141A kann einen zylindrischen Querschnitt aufweisen.
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6 ist eine zusammengesetzte Schnittansicht entlang der Linie I-I' von 1, die eine Polierschlamm-Zuführungseinrichtung 100D gemäß einer weiteren anderen Ausführungsform darstellt;
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Wie beispielhaft in 6 dargestellt, kann ein oberer Endbereich 144B einen ersten Krümmungsradius R1 aufweisen, wohingegen ein zweiter Seitenwandbereich 146B sich linear vom oberen Endbereich 144B in der zweiten Richtung erstreckt, das heißt in Richtung der z-Achse.
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Alternativ kann der obere Endbereich 144B der Hauptabdeckung 141B einen ersten Krümmungsradius R1 aufweisen, wie beispielhaft in 6 dargestellt, wohingegen der zweite Seitenwandbereich 146B einen zweiten Krümmungsradius R2 aufweisen kann, der sich von der Darstellung in 6 unterscheidet.
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In einer Ausführungsform können der erste Krümmungsradius R1 und der zweite Krümmungsradius R2 identisch sein. In diesem Fall kann eine Polierschlamm-Schutzeinheit 140 8 einen kreisförmigen Querschnitt aufweisen. In einer anderen Ausführungsform können der erste Krümmungsradius R1 und der zweite Krümmungsradius R2 unterschiedlich sein.
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Die in 6 dargestellte Polierschlamm-Zuführungseinheit 100D ist abgesehen von einer anderen Form der Polierschlamm-Schutzeinheit 140B mit der in 3B dargestellten Polierschlamm-Zuführungseinheit 100A identisch, und wird somit mit den gleichen Bezugszeichen bezeichnet, und auf eine wiederholte Beschreibung der gleichen Gestaltung wird im Folgenden verzichtet.
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7 ist eine zusammengesetzte Schnittansicht entlang der Linie I-I' von 1, die eine Polierschlamm-Zuführungseinrichtung 100E gemäß einer wiederum anderen Ausführungsform darstellt.
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Es wird auf 7 Bezug genommen. Eine Hauptabdeckung 141C kann sich verjüngen.
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Die Hauptabdeckung 141C kann in einen sich verjüngenden oberen Endbereich 144C und einen sich verjüngenden zweiten Seitenwandbereich 146C unterteilt sein. In diesem Fall, wie beispielhaft in 7 dargestellt, kann ein jeder von dem oberen Endbereich 144C und dem zweiten Seitenrandbereich 146C den gleichen Kegelwinkel aufweisen, und sie können integral miteinander ausgestaltet sein. Alternativ können, im Unterschied zur Veranschaulichung von 7, der obere Endbereich 144C und der zweite Seitenwandbereich 146C unterschiedliche Kegelwinkel aufweisen, wodurch sie verschiedene Stufen ausbilden, die integral miteinander ausgestaltet oder die voneinander getrennt sein können.
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Darüber hinaus, wie beispielhaft in 7 dargestellt, können ein Kegelwinkel des oberen Endbereichs 144C und ein Kegelwinkel des zweiten Seitenwandbereichs 146C identisch sein.
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Darüber hinaus können der sich verjüngende obere Endbereich 144C und der sich verjüngende zweite Seitenwandbereich 146 integral miteinander ausgebildet sein. In diesem Fall kann die die Hauptabdeckung 141A einen konischen Querschnitt aufweisen.
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Darüber hinaus können ein Kegelwinkel des oberen Endbereichs 144C und ein Kegelwinkel des zweiten Seitenwandbereichs 146C unterschiedlich sein.
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Die in 7 dargestellte Polierschlamm-Zuführungseinheit 100E ist abgesehen von einer anderen Form der Polierschlamm-Schutzeinheit 140C mit der in 3B dargestellten Polierschlamm-Zuführungseinheit 100A identisch, und wird somit mit den gleichen Bezugszeichen bezeichnet, und auf eine wiederholte Beschreibung der gleichen Gestaltung wird im Folgenden verzichtet.
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Es wird auf 3B bis 7 Bezug genommen. Ein Ende 140A-1, 140B-1 oder 140C-1 der Hauptabdeckung 141A, 141B oder 141C kann im Fließmaterial 200 eingetaucht sein. Wenn das Ende 140A-1, 140B-1 oder 140C-1 der Hauptabdeckung 141A, 141B oder 141C im Fließmaterial 200 eingetaucht ist, können die Hauptabdeckung 141A, 141B oder 141C und das Fließmaterial 200 den Raum SP zum Durchfließen des Polierschlamms S hermetisch abdichten.
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Wenn der Raum SP vollständig hermetisch abgedichtet ist, besteht kein Gefahr der Verschmutzung des Polierschlamms S aufgrund von Verunreinigungen T, wie externer Staub oder Metall. Dies kann eine Beschädigung eines Wafers, wie auch Kratzer usw., und eine Verunreinigung des Wafers beim Polieren des Wafers mit dem Polierschlamm S, der aus der Polierschlamm-Zuführungseinrichtung 100: 100A, 100B, 100C, 100D oder 100E abgeleitet wird, verhindern, wie im Folgenden beschrieben.
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8 ist eine zusammengesetzte Schnittansicht entlang der Linie I-I' von 1, die eine Polierschlamm-Zuführungseinrichtung 100F gemäß einer wiederum anderen Ausführungsform darstellt;
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Wie beispielhaft in 8 dargestellt, kann ein Ende 140D-1 der Hauptabdeckung 141D vom Fließmaterial 200 im angegebenen Abstand d beanstandet sein. In diesem Fall kann die Hauptabdeckung 141D den oberen Endbereich 144A und den zweiten Seitenwandbereich 146A beinhalten und weiterhin eine Hilfsabdeckung 148 beinhalten. Abgesehen davon, dass die Hauptabdeckung 141D weiterhin eine Hilfsabdeckung 148 beinhaltet und das Ende 140D-1 der Hauptabdeckung 141D vom Fließmaterial 200 beabstandet ist, ist die in 8 dargestellte Polierschlamm-Zuführungseinrichtung 100F mit der in 3B dargestellten Polierschlamm-Zuführungseinrichtung 100A identisch und wird somit mit den gleichen Bezugszeichen bezeichnet, und auf eine wiederholte Beschreibung der gleichen Konfiguration wird im Folgenden verzichtet.
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Die Hilfsabdeckung 148 kann vom zweiten Seitenwandbereich 146A in einer ersten Richtung hervorstehen und so angeordnet sein, dass sie die Oberseite des Fließmaterials 200 abdeckt. Ist das Fließmaterial 200 mit der Hilfsabdeckung 148 bedeckt, sodass es nicht freigelegt ist, kann verhindert werden, dass der Raum SP zum Durchfließen des Polierschlamms S durch äußere Verschmutzungen T verschmutzt wird, die durch die Schwerkraft in eine zweite Richtung fallen, selbst wenn das Ende 140D-1 der Hauptabdeckung 141-D nicht in das Fließmaterial 200 eingetaucht ist und der Raum SP nicht vollständig hermetisch abgedichtet ist.
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Indessen, wenn der Polierschlamm S außerhalb von der Polierschlamm-Zuführungseinrichtung 100: 100A, 100B, 100C, 100D, 100E oder 100F abgeleitet wird, können die Düsen 110 und die Polierschlamm-Schutzeinheit 140A, 140B, 140C oder 140D ohne Rotation festgestellt sein, wohingegen die Polierschlamm-Zuführungseinheit 120 und die Aufnahmeeinheit 130A, 130B oder 130C rotiert werden können. In diesem Fall kann der zweite Seitenwandbereich 146A, 146B oder 146C vom ersten Seitenwandbereich 134-1 oder 134-2 in einem angegebenen Abstand L beanstandet sein. Dadurch wird verhindert, dass die rotierende Aufnahmeeinheit 130A, 130B oder 130C mit der festgestellten Polierschlamm-Schutzeinheit 140A, 140B, 140C oder 140D kollidiert.
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Darüber hinaus, da das Ende 140A-1, 140B-1 oder 140C-1 der Polierschlamm-Schutzeinheit 140A, 140B oder 140C im Fließmaterial 200 bei Rotation der Polierschlamm-Zuführungseinheit 120 und der Aufnahmeeinheit 130A, 130B oder 130C eingetaucht sein kann, kann das Fließmaterial 200 ein Fluid oder ein kolloidales Gel sein. Zum Beispiel kann das Fließmaterial 200 ultrareines Wasser aufweisen, wenngleich die Ausführungsform hinsichtlich der Art des Fließmaterials 200 nicht beschränkt ist.
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In einigen Ausführungsformen können jeweils die Polierschlamm-Zuführungseinheit 120, die Polierschlamm-Schutzeinheit 140A, 140B, 140C oder 140D und die Aufnahmeeinheit 130A, 130B oder 130C dieselbe plane Form aufweisen. Zum Beispiel kann mit Bezugnahme auf 1, 2A und 2B eine jede von der Polierschlamm-Zuführungseinheit 120, der Polierschlamm-Schutzeinheit 140A und der Aufnahmeeinheit 130A eine ringförmige plane Form aufweisen, obwohl die Ausführungsform nicht auf eine bestimmte plane Form der Komponenten 120, 130A und 140A beschränkt ist.
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9 ist eine Ansicht einer Polierschlamm-Zuführungseinrichtung 100G gemäß einer weiteren anderen Ausführungsform.
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Die beispielhaft in 9 dargestellte Polierschlamm-Zuführungseinrichtung 100G kann Düsen 110, eine Polierschlamm Zuführungseinheit 120, eine Aufnahmeeinheit 130A, eine Polierschlamm-Schutzeinheit 140A, ein erstes und zweites Reservoir 152 und 162, eine erste und zweite Leitung 156 und 166, ein erstes und zweites Ventil 154 und 164, eine Messeinheit 170 und eine Ventilsteuereinheit 172 enthalten. Hier entsprechen die Düsen 110, die Polierschlamm-Zuführungseinheit 120, die Aufnahmeeinheit 130A und die Polierschlamm-Schutzeinheit 140A jeweils den in 3B dargestellten Düsen 110, der Polierschlamm-Zuführungseinheit 120, der Aufnahmeeinheit 130A und der Polierschlamm-Schutzeinheit 140A, und werden somit mit den gleichen Bezugsziffern bezeichnet und auf eine wiederholte Beschreibung davon wird im Folgenden verzichtet.
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Das erste Reservoir 152 kann zum Aufbewahren eines ersten Fluides 202 verwendet werden, und das zweite Reservoir 162 kann zum Aufbewahren eines zweiten Fluides 204 verwendet werden. Das erste und zweite Fluid 202 und 204 können identisch oder verschieden sein.
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Darüber hinaus kann das erste Reservoir 152 oder das zweite Reservoir 162 weggelassen werden.
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In einigen Ausführungsformen kann das erste Reservoir 152 das erste Fluid 202 aufnehmen, d.h. das Nachfüll-/Ersatz-Fließmaterial (hier als Nachfüll-Fließmaterial bezeichnet), und das zweite Reservoir 162 kann das zweite Fluid 204, d.h. die Waschlösung, aufnehmen.
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Die erste Leitung 156 kann einen Pfad definieren, durch den das Nachfüll-Fließmaterial 202 vom ersten Reservoir 152 in die Aufnahmeeinheit 130 fließt, und die zweite Leitung 166 kann einem Pfad definieren, über den die Waschlösung 204 vom zweiten Reservoir 162 in die Aufnahmeeinheit 130A fließt.
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Die Messeinheit 170 kann dazu dienen, die Menge des in der Aufnahmeeinheit aufgenommen Fließmaterials 200 zu messen. Die Ventilsteuereinheit 172 kann ein erstes Steuersignal Cl basierend auf der erhaltenen Menge des Fließmaterials 200 generieren, die von der Messeeinheit 170 gemessen wurde. In diesem Fall kann das erste Ventil 154 die Menge des Nachfüll-Fließmaterials 202 anpassen, das vom ersten Reservoir 152 an die Aufnahmeeinheit 130A in Reaktion auf das von der Ventilsteuereinheit 172 ausgegebene erste Steuersignal C1 zugeführt wurde.
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Alternativ kann in einer anderen Ausführungsform das Fließmaterial 202 in regelmäßigen Abständen nachgefüllt werden und kann basierend auf Sichtprüfungen nachgefüllt werden, anstatt eine Fehlmenge des Fließmaterials 200 mittels der Messeinheit 170 nachzufüllen.
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Darüber hinaus kann das zweite Ventil 164 die Menge der Waschlösung 204 anpassen, die vom zweiten Reservoir 162 an die Aufnahmeeinheit 130A als Reaktion auf ein zweites Steuersignal C2 zugeführt werden soll. Die Ventilsteuereinheit 172 kann z.B. eine Verwendungsdauer der Polierschlamm-Zuführungseinrichtung 100G analysieren und das zweite Steuersignal C2 basierend auf den analysierten Ergebnissen generieren.
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Die beispielhaft in 9 dargestellte Polierschlamm-Zuführungseinrichtung 100G kann eine effiziente Nachfüllung des Fließmaterials 202 verwirklichen und eine Selbstwaschfunktion mittels der Waschlösung 204 aufweisen.
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Im Folgenden wird eine Konfiguration und ein Betrieb einer Poliervorrichtung mit der Polierschlamm-Zuführungseinrichtung gemäß einer beliebigen der Ausführungsformen mit Bezugnahme auf die Zeichnungen im Anhang beschrieben.
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10 ist eine Ansicht, die eine Poliervorrichtung 300 gemäß einer Ausführungsform darstellt.
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Die beispielhaft in 10 dargestellte Poliervorrichtung 300 kann Träger C, einen Polierschlammring 100, eine obere Platte (oder eine obere Polierplatte) 302 und eine untere Platte (oder eine untere Polierplatte) 304, die in entgegengesetzte Richtungen rotiert werden, eine Innenverzahnung 306, ein Gehäuse 308, eine Platte 310, Verbindungsleitungen 316, Durchflussratenventile 320 und 322, Verbindungsrohre 330, Polierschlamm-Durchleitungsöffnungen 332, ein Sonnenrad 340, Eingriffselemente 341 und 342, eine Antriebswelle 350, eine untere Halterung 360, eine Basis 370 und erste und zweite rotierende Wellen 380 und 390 aufweisen.
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Die Träger C können zwischen der oberen Platte 302 und der untere Platte 304 angeordnet sein und können an Außenkanten davon mit Zahnrädern (nicht dargestellt) vorgesehen sein, um im Sonnenrad 340 und der Innenverzahnung 306 im Eingriff zu sein. Mit dieser Gestaltung kann jeder Träger C eine Kreisbewegung entlang der Innenverzahnung 306 durchführen, wobei er um die Achse davon rotiert.
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Wenn die obere Platte 302 und untere Platte 304 rotiert werden, können die oberen und unteren Fläche eines zu polierenden Gegenstands, die in einer Durchgangsöffnung eines jeden Trägers C gehalten werden, z.B. die Ober- und Unterseite eines Wafers W durch die obere Platte 302 und die untere Platte 304 poliert werden.
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Die untere Platte 304 kann von der unteren Halterung 360 gehalten werden, und die untere Halterung 360 kann wiederum rotierbar von der Basis 307 gehalten werden. Die untere Halterung 360 kann durch eine erste rotierende Welle 380 rotiert werden, die eine Rotation der untere Platte 304 bewirken kann. Die obere Platte 302 kann durch die Antriebswelle 350 und die Eingriffselemente 341 und 342 rotiert werden. Hier entsprechen die Antriebswelle 350 und die Eingriffselemente 341 und 342 einer Antriebseinheit zum Rotieren der oberen Platte 302. Darüber hinaus kann wenigstens eines von dem in 9 dargestellten ersten oder zweiten Reservoir 152 oder 162 an der oberen Platte 302 befestigt, eingesetzt, angeordnet, gehalten oder verbunden sein, um so miteinander rotiert zu werden.
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Das Sonnenrad 340 kann durch die zweite rotierende Welle 390 rotiert werden. Das Gehäuse 308 kann die Verzahnung 306 halten. Die Platte 310 ist über der oberen Platte 302 angeordnet, und der Polierschlammring 100 ist mit der Platte 310 verbunden. Wenn die Verbindungsleitungen 316 und das Verbindungsrohr 330 mit dem Polierschlammring 100 verbunden sind, steht der Polierschlammring 100 mit den in der oberen Platte 302 ausgestalteten Polierschlamm-Durchleitungsöffnungen 332 in Verbindung. Darüber hinaus kann das Durchflussratenventil 320 und 322 zur Steuerung einer Durchflussrate des Polierschlamms jeweils am Verbindungsrohr 330 vorgesehen sein.
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Hier können der Polierschlammring 100 der in 1 bis 9 dargestellten Polierschlamm-Zuführungseinrichtung 100: 100A, 100B, 100C, 100D, 100E, 100F oder 100G entsprechen. D.h., der aus der in 1 bis 9 dargestellte Polierschlamm-Zuführungseinrichtung 100: 100A, 100B, 100C, 100D, 100E, 100F oder 100G abgeleitete Polierschlamm kann den Verbindungsleitungen 316 zugeführt werden. Bei dieser Gestaltung kann der aus den Düsen 110 zugeführte Polierschlamm S einem Zwischenraum zwischen der oberen Platte 302 und der untere Platte 304 der Poliervorrichtung 300 zugeführt werden, indem er durch die Polierschlamm-Zuführungseinheit 120 durchfließt. Die Polierschlammöffnungen 120-3 können in Verbindung mit den Verbindungsrohr 330 zur Führung des Polierschlamms S stehen.
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Die Platte 310 kann in einer bestimmten Richtung entlang der oberen Platte 302 rotiert werden, und der in den Polierschlammring 100 eingeleitete Polierschlamm kann dem Wafer W über die Verbindungsleitungen 316, die Verbindungsrohre 330 und die Polierschlamm-Durchleitungsöffnungen 332 zugeführt werden. Mit den Durchflussratenventilen 320 und 322 kann die Menge des an die Polierschlamm-Durchleitungsöffnungen 332 zugeführten Polierschlamms angepasst werden.
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Die oben beschriebene in 10 dargestellte Poliervorrichtung 300 kann zum Läppen oder der doppelseitigen Polierung des Wafers W verwendet werden.
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Hier bezieht sich Läppen auf einen Prozess, bei dem ein Polierschlamm S, der ein Schleif- und ein chemisches Material enthält, in einen Zwischenraum zwischen der oberen Platte 302 und dem Wafer W und einen Zwischenraum zwischen der untere Platte 304 und dem Wafer W eingespritzt wird, um den Wafer W zu glätten, nachdem beide Seiten des Wafers W mit Niveauunterschieden in engem Kontakt mit den zugewandten Flächen der oberen Platte 302 und der unteren Platte 304 gebracht wurden.
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Das doppelseitige Polieren (DSP, Double Side Polishing) bezieht sich auf einen Prozess, bei dem ein Polierschlamm S, der ein Schleif- und ein chemisches Material enthält, in einen Zwischenraum zwischen dem Wafer W und den Polierpads eingespritzt wird, um die Oberflächen des Wafers W zu glätten, nachdem beide Seiten des Wafers W mit Niveauunterschieden in engem Kontakt mit Pads (nicht dargestellt) gebracht wurden, die jeweils an der oberen Platte 302 und der unteren Platte 304 vorgesehen sind.
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Wie aus der obigen Beschreibung ersichtlich, kann die Polierschlamm-Zuführungseinrichtung und Poliervorrichtung mit derselben gemäß den Ausführungsformen verhindern, dass der Polierschlamm mit Verunreinigungen verunreinigt wird, wie externem Staub oder Metall, wodurch eine Beschädigung von Wafern, wie durch Kratzer, verhindert werden kann, und Verunreinigungen aufgrund von organischen Substanzen oder von Metall beim Polieren von Wafern kontrolliert werden kann. Darüber hinaus können die Polierschlamm-Zuführungseinrichtungen und die Poliervorrichtungen mit derselben gemäß den Ausführungsformen das Überfließen eines Fließmaterials aufgrund der Zentrifugalkraft bei der Rotation einer Aufnahmeeinheit verhindern, das Nachfüllen oder das Ersetzen des Fließmaterials verwirklichen und eine Selbstwaschfunktion mittels einer Waschlösung aufweisen.
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Obwohl die Ausführungsformen mit Bezugnahme auf mehrere veranschaulichende Ausführungsformen davon beschrieben wurden, versteht es sich, dass viele andere Modifikationen und Ausführungsformen von Fachleuten erdacht werden können, die unter den Geist und in den Umfang der Grundsätze dieser Offenlegung fallen. Im Besonderen sind verschiedene Variationen und Modifikationen in den Komponententeilen und/oder Anordnungen der Kombination des Gegenstands im Umfang der Offenlegung, der Zeichnungen und der Ansprüche im Anhang möglich. Zusätzlich zu den Variationen und Modifikationen in den Komponententeilen und/oder Anordnungen sind für Fachleute auch alternative Verwendungen offensichtlich.
