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Die
Erfindung betrifft Sensoren für physikalische Größen,
und bezieht sich insbesondere auf einen Sensor für eine
physikalische Größe mit einem Sensorabschnitt,
der in einem Gehäuse gehalten wird, und betrifft darüber
hinaus ein Verfahren zur Herstellung des Sensors für eine
physikalische Größe.
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Ein
Sensor für eine physikalische Größe beinhaltet
allgemein einen Sensorabschnitt, der mit einem Substrat wie beispielsweise
einem Halbleitersubstrat oder einem Keramiksubstrat erzeugt ist.
Der Sensorabschnitt erfasst eine physikalische Größe wie
beispielsweise eine Beschleunigung auf der Grundlage einer Änderung
in einer elektrischen Kapazität, einer Spannung, oder dergleichen.
Falls eine Schwingung des Gehäuses auf den Sensorabschnitt übertragen
wird, nimmt ein in einem Ausgangssignal des Sensorabschnitts enthaltenes
Rauschen zu. Daher besteht eine Notwendigkeit zum Platzieren einer Schwingungsisolationsstruktur
zwischen dem Sensorabschnitt und dem Gehäuse, um eine relative Schwingung
zwischen dem Sensorabschnitt und dem Gehäuse zu verringern.
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Die
Druckschrift
JP-A-2007-212174 offenbart
einen Sensor mit einer Harzfeder, die als eine Schwingungsisolationsstruktur
dient. Die Harzfeder befindet sich zwischen einem Gehäuse
und einem Sensorabschnitt und stützt den Sensorabschnitt
gegenüber dem Gehäuse ab, um eine relative Schwingung
zwischen dem Gehäuse und dem Sensorabschnitt zu verringern.
Da der Sensorabschnitt klein ist, muss die Harzfeder eine kleine
Federkonstante haben. Es ist jedoch schwierig, eine Harzfeder mit
einer kleinen Federkonstante zu erzeugen, die genau auf einen gewünschten
Wert eingestellt ist. Ferner ist es schwierig, eine strukturelle
Festigkeit der Harzfeder zu gewährleisten.
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In
Anbetracht des Vorstehenden liegt der Erfindung als eine Aufgabe
zu Grunde, einen Sensor für eine physikalische Größe
mit einer Schwingungsisolationsstruktur mit einer hohen Festigkeit
und einer Federkonstanten, die leicht auf einen gewünschten
Wert eingestellt werden kann, bereitzustellen. Darüber
hinaus soll die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung des Sensors
für eine physikalische Größe bereitstellen.
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In Übereinstimmung
mit einem ersten Aspekt der Erfindung beinhaltet ein Sensor für
eine physikalische Größe einen Sensorabschnitt
mit einer Endoberfläche, einem Gehäuse mit einem
Abstützabschnitt mit einer Abstützoberfläche,
die so angeordnet ist, dass sie der Endoberfläche des Sensorabschnitts
gegenüber liegt, und einem Schwingungsisolator, der zwischen
der Endoberfläche und der Abstützoberfläche
angeordnet ist, um den Sensorabschnitt mit dem Gehäuse
zu verbinden. Der Schwingungsisolator verringert eine relative Schwingung zwischen
dem Sensorabschnitt und dem Gehäuse.
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In Übereinstimmung
mit einem zweiten Aspekt der Erfindung beinhaltet ein Verfahren
zur Herstellung eines Sensors für eine physikalische Größe ein
Vorbereiten eines Gehäuses mit einem einsatzgegossenen
bzw. mit der Inserttechnik gespritzten Leiterrahmen, ein Aufbringen
eines flüssigen oder halbfesten Schwingungsisolators auf
eine Abstützoberfläche eines Abstützabschnitts
des Gehäuses, ein Einsetzen eines Montagegestells oder
Halterahmens in eine Öffnung des Abstützabschnitts
des Gehäuses so, dass eine Endoberfläche des Halterahmens
zu der Abstützoberfläche hin über die Öffnung
frei liegt, ein Anbringen einer ersten Seite eines Sensorabschnitts
auf der Abstützoberfläche durch den aufgebrachten
Schwingungsisolator, während eine Bewegung des Sensorabschnitts
in Richtung hin zu der Abstützoberfläche durch
die Endoberfläche des Halterahmens begrenzt wird, und ein
Verbinden eines Bonddrahts zwischen einer der ersten Seite gegenüber
liegenden zweiten Seite des Sensorabschnitts und dem Leiterrahmen,
während die Bewegung des Sensorabschnitts durch die Endoberfläche
des Halterahmens begrenzt wird.
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In Übereinstimmung
mit einem dritten Aspekt der Erfindung beinhaltet ein Verfahren
zur Herstellung eines Sensors für eine physikalische Größe
ein Vorbereiten eines Gehäuses, das einen Gehäusekörper
mit einem einsatzgegossenen bzw. mit der Inserttechnik gespritzten
Leiterrahmen und einem vorübergehend abstützenden
Element, das lösbar an dem Gehäusekörper
befestigt ist, beinhaltet, ein Aufbringen eines flüssigen
oder halbfesten Schwingungsisolators auf eine Abstützoberfläche
eines Abstützabschnitts des Gehäusekörpers,
ein Anbringen einer ersten Seite eines Sensorabschnitts auf der
Abstützoberfläche durch den aufgebrachten Schwingungsisolator,
während eine Bewegung des Sensorabschnitts hin zu der Abstützoberfläche
durch eine Endoberfläche des vorübergehend abstützenden Elements
begrenzt wird, und ein Verbinden eines Bonddrahts zwischen einer
der ersten Seite gegenüber liegenden zweiten Seite des
Sensorabschnitts und dem Leiterrahmen, während die Bewegung
des Sensorabschnitts durch die Endoberfläche des vorübergehend
abstützenden Elements begrenzt wird, und ein Entfernen
des vorübergehend abstützenden Elements von dem
Gehäusekörper.
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In Übereinstimmung
mit einem vierten Aspekt der Erfindung beinhaltet ein Sensor für
eine physikalische Größe einen Sensorabschnitt,
ein Gehäuse, und einen Schwingungsisolator. Das Gehäuse weist
eine innere Wand auf, die einen inneren Raum zum Halten des Sensorabschnitts
definiert. Die innere Wand ist von dem Sensorabschnitt beabstandet, um
einen Freiraum dazwischen auszubilden. Der Schwingungsisolator ist
in dem Freiraum angeordnet, um den Sensorabschnitt mit dem Gehäuse
zu verbinden. Der Schwingungsisolator verringert eine relative Schwingung
zwischen dem Sensorabschnitt und dem Gehäuse.
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In Übereinstimmung
mit einem fünften Aspekt der Erfindung beinhaltet ein Verfahren
zur Herstellung eines Sensors für eine physikalische Größe ein
Vorbereiten eines Gehäuses mit einem einsatzgegossenen
bzw. mit der Inserttechnik gespritzten Leiterrahmen. Das Gehäuse
weist eine Öffnung auf, die sich von einer oberen Seite
des Gehäuses zu einer unteren Seite des Gehäuses
erstreckt. Das Verfahren beinhaltet ferner ein Anbringen eines vorübergehend
abstützenden Bands an die obere Seite des Gehäuses,
um eine obere Seite der Öffnung abzudecken, ein Umdrehen
des Gehäuses, an welchem das vorübergehend abstützende
Band angebracht ist, ein Platzieren eines Sensorabschnitts in dem
umgedrehten Gehäuse derart, dass der Sensorabschnitt durch das
vorübergehend abstützende Band abgestützt wird,
und derart, dass eine äußere Oberfläche
des Sensorabschnitts von einer inneren Oberfläche des Gehäuses
beabstandet ist, um einen Freiraum dazwischen auszubilden, ein Verbinden
eines Bonddrahts zwischen dem abgestützten Sensorabschnitt und
dem Leiterrahmen, ein Platzieren eines Schwingungsisolators in dem
Freiraum zwischen dem Sensorabschnitt und dem Gehäuse,
ein Umdrehen des Gehäuses, in welchem der Schwingungsisolator
platziert ist; und ein Entfernen des vorübergehend abstützenden
Bands von dem Gehäuse.
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In Übereinstimmung
mit einem sechsten Aspekt der Erfindung beinhaltet ein Sensor für
eine physikalische Größe einen Sensorabschnitt
mit einer Endoberfläche, ein Gehäuse einschließlich
einem Abstützabschnitt mit einer Abstützoberfläche,
die so angeordnet ist, dass sie der Endoberfläche des Sensorabschnitts
gegenüber liegt, und eine Schwingungsisolationsstruktur,
die zwischen dem Sensorabschnitt und dem Gehäuse angeordnet
ist, um eine relative Schwingung zwischen dem Sensorabschnitt und
dem Gehäuse zu verringern. Die Schwingungsisolationsstruktur
beinhaltet einen ersten und einen zweiten Schwingungsisolator mit
unterschiedlichen Schwingungsdämpfungseigenschaften.
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In Übereinstimmung
mit einem siebten Aspekt der Erfindung beinhaltet ein Verfahren
zur Herstellung eines Sensors für eine physikalische Größe ein
Vorbereiten eines Gehäuses mit einem einsatzgegossenen
bzw. mittels der Inserttechnik gespritzten Leiterrahmen, ein Aufbringen
eines flüssigen oder halbfesten ersten Schwingungsisolators
auf eine Abstützoberfläche eines Abstützabschnitts
des Gehäuses, ein Anbringen eines Sensorabschnitts auf der
Abstützoberfläche durch den aufgebrachten ersten
Schwingungsisolator, ein Einspritzen eines flüssigen oder
halbfesten zweiten Schwingungsisolators zwischen den Sensorabschnitt
und das Gehäuse, und ein Verbinden eines Bonddrahts zwischen
dem Sensorabschnitt und dem Leiterrahmen.
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In Übereinstimmung
mit einem achten Aspekt der Erfindung beinhaltet ein Verfahren zur
Herstellung eines Sensors für eine physikalische Größe ein
Vorbereiten eines Gehäuses mit einem einsatzgegossenen
bzw. mittels der Inserttechnik gespritzten Leiterrahmen, ein Aufbringen
eines flüssigen oder halbfesten ersten Schwingungsisolators
auf eine Abstützoberfläche eines Abstützabschnitts
des Gehäuses, ein Anbringen eines Sensorabschnitts auf der
Abstützoberfläche durch den aufgebrachten ersten
Schwingungsisolator, ein Einpressen eines festen zweiten Schwingungsisolators
mit einer vorbestimmten Form zwischen den Sensorabschnitt und das
Gehäuse, und ein Verbinden eines Bonddrahts zwischen dem
Sensorabschnitt und dem Leiterrahmen, nachdem der feste zweite Schwingungsisolator eingepresst
ist.
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In Übereinstimmung
mit einem neunten Aspekt der Erfindung beinhaltet ein Verfahren
zur Herstellung eines Sensors für eine physikalische Größe ein
Vorbereiten eines Gehäuses mit einem einsatzgegossenen
bzw. mittels der Inserttechnik gespritzten Leiterrahmen, ein Aufbringen
eines flüssigen oder halbfesten Schwingungsisolators auf
eine Abstützoberfläche eines Abstützabschnitts
des Gehäuses, ein Anbringen eines Sensorabschnitts auf
der Abstützoberfläche durch den aufgebrachten
Schwingungsisolator, ein Einpressen einer Metallfeder mit einer
vorbestimmten Form zwischen den Sensorabschnitt und das Gehäuse,
und ein Verbinden eines Bonddrahts zwischen dem Sensorabschnitt
und dem Leiterrahmen, nachdem die Metallfeder eingepresst ist.
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Somit
wird die Aufgabe erfindungsgemäß gelöst
durch einen Sensor für eine physikalische Größe,
gekennzeichnet durch einen Sensorabschnitt mit einer Endoberfläche;
ein Gehäuse einschließlich einem Abstützabschnitt
mit einer Abstützoberfläche, die so angeordnet
ist, dass sie der Endoberfläche des Sensorabschnitts gegenüber
liegt; und einen Schwingungsisolator, der zwischen der Endoberfläche
und der Abstützoberfläche angeordnet ist, um den
Sensorabschnitt mit dem Gehäuse zu verbinden, wobei der
Schwingungsisolator dazu ausgelegt ist, eine relative Schwingung
zwischen dem Sensorabschnitt und dem Gehäuse zu verringern.
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Bevorzugt
weist hierbei das Gehäuse eine Öffnung auf, die
sich durch den Abstützabschnitt hindurch von der Abstützoberfläche
zu einer der Abstützoberfläche gegenüber
liegenden Oberfläche erstreckt.
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Bevorzugt
beinhaltet ein solcher Sensor für eine physikalische Größe
ein vorübergehend abstützendes Element, das lösbar
an dem Gehäuse befestigt ist, um die Öffnung des
Gehäuses abzudecken, wobei das vorübergehend abstützende
Element eine Oberfläche aufweist, die mit der Endoberfläche
des Sensorabschnitts in Kontakt ist; und ein Führungselement,
das an einem Wandabschnitt des Gehäuses angeordnet ist,
wobei der Wandabschnitt einer äußeren Wand des
Sensorabschnitts gegenüber liegt, wobei das Führungselement
in Kontakt mit der äußeren Wand des Sensorabschnitts
ist, um eine Position des Sensorabschnitts in Bezug auf das Gehäuse
zu definieren.
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Bevorzugt
wird auch, dass der Schwingungsisolator ein Abstandseinstellelement
und ein Klebeelement beinhaltet, das Abstandseinstellelement einen
Abstand zwischen der Endoberfläche des Sensorabschnitts
und der Abstützoberfläche des Abstützabschnitts
des Gehäuses definiert, und das Klebeelement die Peripherie
des Abstandseinstellelements abdeckt, um den Sensorabschnitt und
das Gehäuse zusammenzubonden.
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Bevorzugt
wird darüber hinaus, dass das Gehäuse einen zurückstehenden
Abschnitt (auf der Abstützoberfläche aufweist,
und der zurückstehende Abschnitt eine Position des Schwingungsisolators definiert.
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Es
kann auch sein, dass das Gehäuse ferner einen Gehäusekörper
und ein elastisches Abstützelement beinhaltet, der Gehäusekörper
den Sensorabschnitt umgibt und von dem Abstützabschnitt
getrennt ist, und das elastische Abstützelement den Abstützabschnitt
elastisch gegen den Gehäusekörper so abstützt,
dass der Abstützabschnitt relativ zu dem Gehäusekörper
versetzt ist.
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Die
Aufgabe der Erfindung wird ebenfalls gelöst durch ein Verfahren
zur Herstellung eines Sensors für eine physikalische Größe,
gekennzeichnet durch die Schritte: Vorbereiten eines Gehäuses
mit einem darin eingegossenen Leiterrahmen; Aufbringen eines flüssigen
oder halbfesten Schwingungsisolators auf eine Abstützoberfläche
eines Abstützabschnitts des Gehäuses; Einsetzen
eines Halterahmens in eine Öffnung des Abstützabschnitts
des Gehäuses so, dass eine Endoberfläche des Halterahmens über
die Öffnung zu der Abstützoberfläche
hin frei liegt; Anbringen einer ersten Seite eines Sensorabschnitts
auf der Abstützoberfläche durch den aufgebrachten
Schwingungsisolator, während eine Bewegung des Sensorabschnitts
hin zu der Abstützoberfläche durch die Endoberfläche
des Halterahmens begrenzt wird; und Verbinden eines Bonddrahts zwischen
einer zweiten Seite des Sensorabschnitts, die der ersten Seite gegenüber
liegt, und dem Leiterrahmen, während die Bewegung des Sensorabschnitts
durch die Endoberfläche des Halterahmens begrenzt wird.
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Alternativ
wird die Aufgabe gelöst durch ein Verfahren zur Herstellung
eines Sensors für eine physikalische Größe,
gekennzeichnet durch die Schritte: Vorbereiten eines Gehäuses,
das einen Gehäusekörper mit einem darin eingegossenen
Leiterrahmen und einem vorübergehend abstützenden Element,
das lösbar an dem Gehäusekörper befestigt
ist, beinhaltet; Aufbringen eines flüssigen oder halbfesten
Schwingungsisolators auf eine Abstützoberfläche
eines Abstützabschnitts des Gehäusekörpers;
Anbringen einer ersten Seite eines Sensorabschnitts auf der Abstützoberfläche
durch den aufgebrachten Schwingungsisolator, während eine
Bewegung des Sensorabschnitts hin zu der Abstützoberfläche
durch eine Endoberfläche des vorübergehend abstützenden
Elements begrenzt wird; und Verbinden eines Bonddrahts zwischen
einer zweiten Seite des Sensorabschnitts, die der ersten Seite gegenüber
liegt, und dem Leiterrahmen, während die Bewegung des Sensorabschnitts
durch die Endoberfläche des vorübergehend abstützenden
Elements begrenzt wird; und Entfernen des vorübergehend
abstützenden Elements von dem Gehäusekörper.
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Weiter
alternativ wird die Aufgabe gelöst durch einen Sensor für
eine physikalische Größe, gekennzeichnet durch:
einen Sensorabschnitt; ein Gehäuse mit einer inneren Wand,
die einen inneren Raum zum Halten des Sensorabschnitts definiert, wobei
die innere Wand von dem Sensorabschnitt beabstandet ist, um einen
Freiraum dazwischen auszubilden; und einen Schwingungsisolator,
der in dem Freiraum angeordnet ist, um den Sensorabschnitt mit dem
Gehäuse zu verbinden, wobei der Schwingungsisolator dazu
ausgelegt ist, eine relative Schwingung zwischen dem Sensorabschnitt
und dem Gehäuse zu verringern.
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Bevorzugt
wird bei diesem Sensor, dass der Freiraum den Sensorabschnitt umgibt;
und der Schwingungsisolator den Freiraum vollständig ausfüllt,
oder dass der Freiraum den Sensorabschnitt umgibt; und der Schwingungsisolator
den Freiraum teilweise ausfüllt.
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Vorteilhaft
ist hierbei, wenn der Sensorabschnitt eine rechteckige Form mit
Ecken hat; und der Schwingungsisolator zumindest an einer der Ecken des
Sensorabschnitts angeordnet ist.
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Vorteilhaft
ist ferner, wenn der Schwingungsisolator zumindest eine Blase aufweist.
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Bevorzugt
wird, dass der Schwingungsisolator zumindest ein durchgehendes Loch
aufweist, das sich in seiner Dickenrichtung erstreckt.
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Bevorzugt
wird weiter, dass der Sensorabschnitt einen kapazitiven Sensorchip
mit einer beweglichen Elektrode und einer festen Elektrode beinhaltet;
die bewegliche Elektrode dazu angeordnet ist, in einer Richtung
des Freiraums zwischen dem Sensorabschnitt und dem Gehäuse
verschoben zu werden; und die feste Elektrode so angeordnet ist,
dass die der beweglichen Elektrode gegenüber liegt.
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Außerdem
bevorzugt wird, dass der Sensorabschnitt ferner ein Packagegehäuse
mit einem Eingang, einen Deckel zum Abdecken des Eingangs des Packagegehäuses,
und einen Leiterrahmen zum elektrischen Verbinden des Inneren und
des Äußeren des Packagegehäuses beinhaltet,
der Sensorchip in dem Packagegehäuse gehalten wird und
auf einer inneren unteren Oberfläche des Packagegehäuses
angeordnet ist; und der Schwingungsisolator in Kontakt mit einer äußeren
seitlichen Oberfläche des Packagegehäuses und
nicht in Kontakt mit einer äußeren unteren Oberfläche
des Packagegehäuses ist.
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Darüber
hinaus wird bevorzugt, dass der Sensorabschnitt ferner ein Packagegehäuse
zum Halten des Sensorchips beinhaltet; der Schwingungsisolator zwischen
einer äußeren seitlichen Oberfläche des
Packagegehäuses und des Gehäuses angeordnet ist;
und eine äußere untere Oberfläche des
Packagegehäuses von dem Gehäuse beabstandet ist.
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Eine
bevorzugten Ausgestaltung ist derart, dass der Sensorabschnitt ferner
einen Signalverarbeitungschip zum Verarbeiten eines Ausgangssignals
des Sensorchips beinhaltet, wobei der Signalverarbeitungschip eine
erste und eine zweite Oberfläche aufweist, die einander
gegenüber liegen; die erste Oberfläche des Signalverarbeitungschips
an einer inneren unteren Oberfläche des Packagegehäuses über
ein erstes Klebemittel befestigt ist; und der Sensorchip an der
zweiten Oberfläche des Signalverarbeitungschips über
ein zweites Klebemittel befestigt ist.
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Vorteilhaft
ist der Schwingungsisolator aus einem Elastomer hergestellt.
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Außerdem
wird die Aufgabe alternativ gelöst durch ein Verfahren
zur Herstellung eines Sensors für eine physikalische Größe,
gekennzeichnet durch die Schritte: Vorbereiten eines Gehäuses
mit einem einsatzgegossenen Leiterrahmen, wobei das Gehäuse
eine Öffnung aufweist, die sich von einer oberen Seite
des Gehäuses zu einer unteren Seite des Gehäuses
erstreckt; Anbringen eines vorübergehend abstützenden
Bands an die obere Seite des Gehäuses, um eine obere Seite
der Öffnung abzudecken; Umdrehen des Gehäuses,
an welchem das vorübergehend abstützende Band
angebracht ist; Platzieren eines Sensorabschnitts in dem umgedrehten
Gehäuse derart, dass der Sensorabschnitt durch das vorübergehend
abstützende Band abgestützt wird, und derart,
dass eine äußere Oberfläche des Sensorabschnitts
von einer inneren Oberfläche des Gehäuses beabstandet
ist, um einen Freiraum dazwischen auszubilden; Verbinden eines Bonddrahts
zwischen dem abgestützten Sensorabschnitt und dem Leiterrahmen;
Platzieren eines Schwingungsisolators in dem Freiraum zwischen dem
Sensorabschnitt und dem Gehäuse; Umdrehen des Gehäuses,
in welchem der Schwingungsisolator platziert ist; und Entfernen
des vorübergehend abstützenden Bands von dem Gehäuse.
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Eine
weitere alternative Lösung der Aufgabe besteht in einem
Sensor für eine physikalische Größe,
gekennzeichnet durch: einen Sensorabschnitt mit einer Endoberfläche;
einem Gehäuse einschließlich einem Abstützabschnitt
mit einer Abstützoberfläche, die so angeordnet
ist, dass sie der Endoberfläche des Sensorabschnitts gegenüber
liegt; und eine Schwingungsisolationsstruktur, die zwischen dem Sensorabschnitt
und dem Gehäuse angeordnet ist, um eine relative Schwingung
zwischen dem Sensorabschnitt und dem Gehäuse zu verringern,
wobei die Schwingungsisolationsstruktur einen ersten und einen zweiten
Schwingungsisolator mit unterschiedlichen Schwingungsdämpfungseigenschaften
beinhaltet.
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Bevorzugt
wird hierbei, dass der erste Schwingungsisolator zwischen der Endoberfläche des
Sensorabschnitts und der Abstützoberfläche des Gehäuses
angeordnet ist, um den Sensorabschnitt mit dem Gehäuse
zu verbinden, wobei der erste Schwingungsisolator dazu ausgelegt
ist, eine erste Schwingung einer ersten Frequenz zu verringern; und
der zweite Schwingungsisolator zwischen dem Sensorabschnitt und
dem Gehäuse angeordnet ist, um eine zweite Schwingung einer
zweiten Frequenz, die niedriger ist als die erste Frequenz, zu verringern.
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Vorteilhaft
ist dann, dass ein Elastizitätsmodul des zweiten Schwingungsisolators
kleiner ist als ein Elastizitätsmodul des ersten Schwingungsisolators.
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In
vorteilhafter Weise ist der zweite Schwingungsisolator aus einem
Gummi hergestellt, oder ist der zweite Schwingungsisolator aus einem Öl
enthaltenden Gel hergestellt.
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Der
der zweite Schwingungsisolator kann einen Raum in sich aufweisen.
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Der
zweite Schwingungsisolator kann eine Metallfeder sein.
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Eine
nochmals weitere bevorzugte Ausgestaltung des Sensors ist gekennzeichnet
durch: einen Bonddraht zum elektrischen Verbinden des Sensorabschnitts
und des Gehäuses, wobei der zweite Schwingungsisolator
so angeordnet ist, dass er eine Änderung in einem Abstand
zwischen einem ersten Übergang zwischen dem Bonddraht und
dem Sensorabschnitt und einem zweiten Übergang zwischen dem
Bonddraht und dem Gehäuse begrenzt.
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Vorteilhaft
ist hierbei, dass der zweite Schwingungsisolator zwischen dem Sensorabschnitt und
dem Gehäuse entlang einer Seite des Sensorabschnitts, an
der sich der erste Übergang befindet, angeordnet ist.
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Bei
diesem Sensor wird auch bevorzugt, dass der Bonddraht eine Vielzahl
von Bonddrähten umfasst, die parallel in einer Richtung
senkrecht zu einer Längenrichtung jedes Bonddrahts angeordnet sind,
um einen elektrischen Anschlussbereich auszubilden; und sich der
zweite Schwingungsisolator nach außerhalb des elektrischen
Anschlussbereichs erstreckt.
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Gemäß einer
Ausgestaltung stellt ferner der zweite Schwingungsisolator einen
Freiraum zwischen dem Sensorabschnitt und dem Gehäuse bereit.
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Eine
weitere alternative Lösung der Aufgabe besteht in einem
Verfahren zur Herstellung eines Sensors für eine physikalische
Größe, gekennzeichnet durch die Schritte: Vorbereiten
eines Gehäuses mit einem einsatzgegossenen Leiterrahmen;
Aufbringen eines flüssigen oder halbfesten ersten Schwingungsisolators
auf eine Abstützoberfläche eines Abstützabschnitts
des Gehäuses; Anbringen eines Sensorabschnitts auf der
Abstützoberfläche durch den aufgebrachten ersten
Schwingungsisolator; Einspritzen eines flüssigen oder halbfesten
zweiten Schwingungsisolators zwischen den Sensorabschnitt und das
Gehäuse; und Verbinden eines Bonddrahts zwischen dem Sensorabschnitt
und dem Leiterrahmen.
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Eine
nochmals weitere alternative Lösung der Aufgabe besteht
in einem Verfahren zur Herstellung eines Sensors für eine
physikalische Größe, gekennzeichnet durch die
Schritte: Vorbereiten eines Gehäuses mit einem einsatzgegossenen
Leiterrahmen; Aufbringen eines flüssigen oder halbfesten
ersten Schwingungsisolators auf eine Abstützoberfläche eines
Abstützabschnitts des Gehäuses; Anbringen eines
Sensorabschnitts auf der Abstützoberfläche durch
den aufgebrachten ersten Schwingungsisolator; Einpressen eines festen
zweiten Schwingungsisolators mit einer vorbestimmten Form zwischen
den Sensorabschnitt und das Gehäuse; und Verbinden eines
Bonddrahts zwischen dem Sensorabschnitt und dem Leiterrahmen, nachdem
der feste zweite Schwingungsisolator eingepresst ist.
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Eine
nochmals weitere alternative Lösung der Aufgabe besteht
in einem Verfahren zur Herstellung eines Sensors für eine
physikalische Größe, gekennzeichnet durch die
Schritte: Vorbereiten eines Gehäuses mit einem einsatzgegossenen
Leiterrahmen; Aufbringen eines flüssigen oder halbfesten Schwingungsisolators
auf eine Abstützoberfläche eines Abstützabschnitts
des Gehäuses; Anbringen eines Sensorabschnitts auf der
Abstützoberfläche durch den aufgebrachten Schwingungsisolator;
Einpressen einer Metallfeder mit einer vorbestimmten Form zwischen
den Sensorabschnitt und das Gehäuse; und Verbinden eines
Bonddrahts zwischen dem Sensorabschnitt und dem Leiterrahmen, nachdem die
Metallfeder eingepresst ist.
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Die
vorstehenden und andere Ziele, Merkmale und Vorteile der Erfindung
sind der folgenden detaillierten Beschreibung unter Bezugnahme auf
die beigefügten Zeichnungen besser entnehmbar. Es zeigen:
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1A ein
Diagramm, das eine Aufsicht auf einen Sensor für eine physikalische
Größe in Übereinstimmung mit einem ersten
Ausführungsbeispiel der Erfindung darstellt, und 1B ein
Diagramm, das einen Querschnitt entlang der Linie IB-IB in 1A darstellt;
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2 ein
Diagramm, das einen Querschnitt einer inneren Einheit des Sensors
für eine physikalische Größe des ersten
Ausführungsbeispiels darstellt;
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3 ein
Diagramm, das eine Aufsicht auf einen Sensorchip des Sensors für
eine physikalische Größe des ersten Ausführungsbeispiels
darstellt;
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4A–4F Diagramme,
die ein Verfahren zur Herstellung des Sensors für eine
physikalische Größe des ersten Ausführungsbeispiels
darstellen;
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5A–5E Diagramme,
die das Verfahren zur Herstellung des Sensors für eine
physikalische Größe des ersten Ausführungsbeispiels
darstellen;
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6 ein
Diagramm, das eine Aufsicht auf einen Sensor für eine physikalische
Größe in Übereinstimmung mit einem zweiten
Ausführungsbeispiel der Erfindung darstellt;
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7A ein
Diagramm, das eine Aufsicht auf einen Sensor für eine physikalische
Größe in Übereinstimmung mit einer Modifikation
des zweiten Ausführungsbeispiels darstellt, und 7B ein
Diagramm, das eine Aufsicht auf einen Sensor für eine physikalische Größe
in Übereinstimmung mit einer weiteren Modifikation des
zweiten Ausführungsbeispiels darstellt;
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8A ein
Diagramm, das einen Querschnitt eines Sensors für eine
physikalische Größe in Übereinstimmung
mit einem dritten Ausführungsbeispiel der Erfindung darstellt,
der unter Verwendung einer Haltevorrichtung zur Montage hergestellt
wurde, 8B ein Diagramm, das einen Querschnitt
des Sensors für eine physikalische Größe
von 8A darstellt, von welchem die Haltevorrichtung
zur Montage entfernt ist, und 8C ein
Diagramm, das aus einer Richtung betrachtet wird, die durch einen
Pfeil VIIIC in 8B angegeben wird.
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9 ein
Diagramm, das einen Querschnitt eines Sensors für eine
physikalische Größe in Übereinstimmung
mit einem vierten Ausführungsbeispiel der Erfindung darstellt;
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10A ein Diagramm, das eine Aufsicht auf einen
Sensor für eine physikalische Größe in Übereinstimmung
mit einem fünften Ausführungsbeispiel der Erfindung
darstellt, und 10B ein Diagramm, das einen
Querschnitt entlang der Linie XB-XB in 10A darstellt;
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11 ein
Diagramm, das einen Querschnitt eines Sensors für eine
physikalische Größe in Übereinstimmung
mit einem sechsten Ausführungsbeispiel der Erfindung darstellt;
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12 ein
Diagramm, das einen Querschnitt eines Sensors für eine
physikalische Größe in Übereinstimmung
mit einem siebten Ausführungsbeispiel der Erfindung darstellt;
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13 ein
Diagramm, das einen Querschnitt eines Sensors in Übereinstimmung
mit einem 18 Ausführungsbeispiel der Erfindung darstellt;
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14A ein Diagramm, das eine Aufsicht auf einen
Sensor für eine physikalische Größe in Übereinstimmung
mit einem neunten Ausführungsbeispiel der Erfindung darstellt,
und 14B ein Diagramm, das einen
Querschnitt entlang der Linie XIVB-XIVB in 14A darstellt;
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15 ein
Diagramm, das eine Aufsicht auf ein Gehäuse des Sensors
für eine physikalische Größe des neunten
Ausführungsbeispiels darstellt;
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16A–16F Diagramme,
die ein Verfahren zur Herstellung des Sensors für eine
physikalische Größe des neunten Ausführungsbeispiels
darstellen;
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17 ein
Diagramm entsprechend zu 16C,
in welchem eine Haltevorrichtung zur Montage an das Gehäuse
angebracht ist;
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18 ein
Diagramm entsprechend zu 16D,
in welchem die Haltevorrichtung zur Montage an das Gehäuse
angebracht ist;
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19A ein Diagramm, das eine Aufsicht auf einen
Sensor für eine physikalische Größe in Übereinstimmung
mit einem zehnten Ausführungsbeispiel der Erfindung darstellt,
und 19B ein Diagramm, das einen
Querschnitt entlang der Linie XIXB-XIXB in 19A darstellt;
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20A–20D Diagramme,
die ein Verfahren zur Herstellung des Sensors für eine
physikalische Größe des zehnten Ausführungsbeispiels
darstellen;
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21 ein
Diagramm, das einen Hauptabschnitt eines Sensors für eine
physikalische Größe in Übereinstimmung
mit einem elften Ausführungsbeispiel der Erfindung darstellt;
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22 ein
Diagramm, das eine Aufsicht auf ein Gehäuse eines Sensors
für eine physikalische Größe in Übereinstimmung
mit einem zwölften Ausführungsbeispiel der Erfindung
darstellt;
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23 ein
Diagramm, das eine Aufsicht auf ein Gehäuse eines Sensors
für eine physikalische Größe in Übereinstimmung
mit einem dreizehnten Ausführungsbeispiel der Erfindung
darstellt;
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24 ein
Diagramm, das eine Aufsicht auf ein Gehäuse eines Sensors
für eine physikalische Größe in Übereinstimmung
mit einem vierzehnten Ausführungsbeispiel der Erfindung
darstellt;
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25A ein Diagramm, das eine Aufsicht auf einen
Sensor für eine physikalische Größe in Übereinstimmung
mit einem fünfzehnten Ausführungsbeispiel der
Erfindung darstellt, und 25B ein
Diagramm, das einen Querschnitt entlang der Linie XXVB-XXVB in 25A darstellt;
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26A–26D Diagramme,
die ein Verfahren zur Herstellung des Sensors für eine
physikalische Größe des fünfzehnten Ausführungsbeispiels darstellen;
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27 ein
Diagramm, das einen Querschnitt eines Sensors für eine
physikalische Größe in Übereinstimmung
mit einem sechzehnten Ausführungsbeispiel der Erfindung
darstellt;
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28 ein
Diagramm, das eine Aufsicht auf einen Sensor für eine physikalische
Größe in Übereinstimmung mit einem siebzehnten
Ausführungsbeispiel der Erfindung darstellt;
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29 ein
Diagramm, das einen Querschnitt eines Sensors für eine
physikalische Größe in Übereinstimmung
mit einem achtzehnten Ausführungsbeispiel der Erfindung
darstellt;
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30A–30D Diagramme,
die einen zweiten Schwingungsisolator des Sensors für eine physikalische
Größe des achtzehnten Ausführungsbeispiels
darstellen;
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31A–31D Diagramme,
die ein Verfahren zur Herstellung des Sensors für eine
physikalische Größe des achtzehnten Ausführungsbeispiels darstellen;
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32 ein
Diagramm, das einen Querschnitt eines Sensors für eine
physikalische Größe in Übereinstimmung
mit einem neunzehnten Ausführungsbeispiel der Erfindung
darstellt;
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33 ein
Diagramm, das einen Hauptabschnitt eines Sensors für eine
physikalische Größe in Übereinstimmung
mit einem zwanzigsten Ausführungsbeispiel der Erfindung
darstellt;
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34 ein
Diagramm, das einen Hauptabschnitt eines Sensors für eine
physikalische Größe in Übereinstimmung
mit einer Modifikation des zwanzigsten Ausführungsbeispiels
darstellt; und
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35 ein
Diagramm, das einen Hauptabschnitt eines Sensors für eine
physikalische Größe in Übereinstimmung
mit einer anderen Modifikation des zwanzigsten Ausführungsbeispiels
darstellt.
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(Erstes Ausführungsbeispiel)
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Ein
Sensor für eine physikalische Größe 10 in Übereinstimmung
mit einem ersten Ausführungsbeispiel der Erfindung wird
nachstehend unter Bezugnahme auf die 1A und 1B beschrieben. Der
Sensor für eine physikalische Größe 10 beinhaltet
eine innere Einheit 11 als einen Sensorabschnitt, ein Gehäuse 12,
einen Leiterrahmen 13, eine Abdeckung 14, einen
Vibrations- bzw. Schwingungsisolator 15, einen Bonddraht 16,
und eine Abdeckung 17. Wie in 2 gezeigt
ist, beinhaltet die innere Einheit 11 einen Sensorchip 21,
einen Signalverarbeitungschip 22, ein Gehäuse
bzw. ein Halbleitergehäuse oder Package 23, und
einen Deckel 24.
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3 ist
ein Diagramm, das eine schematische Aufsicht bzw. ebene Ansicht
des Sensorchips 21 darstellt. Zum Beispiel hat der Sensorchip 21 eine Fläche
von 20 Quadratmillimetern (20 mm2). Der Sensorchip 21 beinhaltet
ein Paar von Sensorelementen 20. Die Sensorelemente 20 werden
von einem peripheren Abschnitt 221 derart abgestützt, dass
die Sensorelemente 20 in Bezug auf eine longitudinale Mittenlinie
E symmetrisch sind. Der periphere Abschnitt 221 hat eine
rechteckige Rahmenform und wird auf einem Erd- bzw. Massepotenzial
gehalten. Jedes Sensorelement 20 hat dieselbe Struktur und
beinhaltet einen Ansteuerabschnitt 211 und einen Erfassungsabschnitt 212.
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Der
Ansteuerabschnitt 211 ist symmetrisch in Bezug auf eine
laterale Mittenlinie F. Der Ansteuerabschnitt 211 beinhaltet
einen Gewichtsabschnitt 211a, eine bewegliche Ansteuerelektrode 211b,
und eine feste Ansteuerelektrode 211c. Der Gewichtsabschnitt 211a ist
so abgestützt, dass der Gewichtsabschnitt 211a relativ
zu dem peripheren Abschnitt 221 versetzt werden kann. Die
bewegliche Ansteuerelektrode 200b hat mehrere kammförmige
Elektroden, und ist einstückig mit dem Gewichtsabschnitt 211a verbunden.
Die feste Ansteuerelektrode 211c hat mehrere kammförmige
Elektroden. Die feste Ansteuerelektrode 211c befindet sich
parallel zu der beweglichen Ansteuerelektrode 211b mit
einem Trennabstand, um die bewegliche Ansteuerelektrode mit einer
vorbestimmten Frequenz anzusteuern.
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Der
Erfassungsabschnitt 212 ist symmetrisch in Bezug auf die
laterale Mittenlinie F. Der Erfassungsabschnitt 212 beinhaltet
eine bewegliche Erfassungselektrode 212a und eine feste
Erfassungselektrode 212b. Die bewegliche Erfassungselektrode 212a kann
relativ zu dem peripheren Abschnitt 221 versetzt werden.
Die feste Erfassungselektrode 212b hat mehrere kammförmige
Elektroden und befindet sich parallel zu der beweglichen Erfassungselektrode 212a mit
einem Trennabstand. Die feste Erfassungselektrode 212b erfasst
eine Corioliskraft entsprechend zu einer Winkelgeschwindigkeit,
die auf den Sensorchip 21 einwirkt.
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Die
bewegliche Ansteuerelektrode 211b kann in einer Richtung
einer x-Achse in 3 versetzt werden, und die bewegliche
Erfassungselektrode 212a kann in einer Richtung einer y-Achse
in 3 versetzt werden. Die y-Achse ist senkrecht zu jeder
der x-Achse und einer z-Achse. Im Einzelnen ist ein Erfassungsbalken 212c einstückig
mit dem peripheren Abschnitt 221 verbunden, ist die bewegliche Erfassungselektrode 212a einstückig
mit dem Erfassungsbalken 212c verbunden, ist ein Ansteuerbalken 211d einstückig
mit der beweglichen Erfassungselektrode 212a verbunden,
und ist der Gewichtsabschnitt 211a einstückig
mit dem Ansteuerbalken 211d verbunden.
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Der
periphere Abschnitt 221 weist eine kreuzförmige
Verstärkung 22a auf, die sich zwischen den Sensorelementen 20 befindet.
Ein Kreuzungspunkt der Verstärkung 22a fällt
mit der Mitte bzw. dem Zentrum des Sensorchips 21 zusammen.
Die Verstärkung 22a hat einen x-Achsen-Abschnitt 22a1,
der sich in der x-Achsen-Richtung erstreckt. Der x-Achsen-Abschnitt 22a1 befindet
sich in der Mitte der festen Erfassungselektrode 212b.
Eine Bondfläche 2a ist auf dem peripheren Abschnitt 221 und
jeder Elektrode ausgebildet.
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Ein
Betriebsablauf zum Erfassen einer Winkelgeschwindigkeit des Sensorchips 21 wird
nachstehend beschrieben. Zunächst wird ein periodisches Spannungssignal
zwischen der festen Ansteuerelektrode 211c und der beweglichen
Ansteuerelektrode 211b angelegt, um zu bewirken, dass der
Gewichtsabschnitt 211a in der x-Achsen-Richtung schwingt. Falls
eine Winkelgeschwindigkeit um die z-Achsen-Richtung während
einer Zeitspanne, in der der Gewichtsabschnitt 211a in
der x-Achsen-Richtung schwingt, an den Sensorchip 21 angelegt
wird, wirkt die Corioliskraft auf den Gewichtsabschnitt 211a,
so dass der Gewichtsabschnitt 211a in der y-Achsen-Richtung
versetzt werden kann. Infolge dessen wird der Erfassungsbalken 212c in
der y-Achsen-Richtung verformt, und werden der Gewichtsabschnitt 211a,
die bewegliche Ansteuerelektrode 211b und die bewegliche
Erfassungselektrode 212a in der y-Achsen-Richtung versetzt.
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Die
Verschiebung des Gewichtsabschnitts 211a in der y-Achsen-Richtung
wird über den Ansteuerbalken 211b auf die bewegliche
Erfassungselektrode 212a übertragen. Da zu dieser
Zeit eine vorbestimmte Spannung zwischen der beweglichen Erfassungselektrode 212a und
der festen Erfassungselektrode 212b angelegt ist, ändert
sich eine Kapazität zwischen der beweglichen Erfassungselektrode 212a und
der festen Erfassungselektrode 212b mit der Verschiebung
der beweglichen Erfassungselektrode 212a. Eine Änderung
der Kapazität wird durch einen Kapazitäts-Spannungs-Umsetzer,
der in dem Signalverarbeitungschip 22 enthalten ist, gemessen, und
die auf den Sensorchip 21 wirkende Winkelgeschwindigkeit
wird auf der Grundlage der gemessenen Kapazitätsänderung
erfasst.
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Jede
der beweglichen Erfassungselektrode 212a und der festen
Erfassungselektrode 212b ist parallel zu zumindest einer
Seite des Sensorchips 21 in einer planaren Richtung des
Sensorchips 21 platziert. Das heißt, die Änderungen
in der Kapazität zwischen der beweglichen Erfassungselektrode 212a und
der festen Erfassungselektrode 212b wird durch die Verschiebung
der beweglichen Erfassungselektrode 212a in einer Richtung
der Seite des Sensorchips 21 verursacht.
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Um
die Wirkung externen Schwingungsrauschens zu verringern, wird es
bevorzugt, zu bewirken, dass die Gewichtsabschnitte 211a der
Sensorelemente 20 in entgegen gesetzten Richtungen in der x-Achsen-Richtung
schwingen. Zum Beispiel ist ein Sensorelement 20 dazu ausgelegt,
in einer Plus-Richtung der x-Achse versetzt beziehungsweise verschoben
zu werden, und ist das andere Sensorelement 20 dazu ausgelegt,
in einer Minus-Richtung der x-Achse versetzt beziehungsweise verschoben zu
werden. Bei einem solchen Ansatz wird dann, wenn die Winkelgeschwindigkeit
auf den Sensorchip 21 wirkt, ein Sensorelement 20 in
einer Plus-Richtung der y-Achse versetzt beziehungsweise verschoben,
und wird das andere Sensorelement 20 in einer Minus-Richtung
der y-Achse versetzt beziehungsweise verschoben.
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Das
in 3 gezeigte Sensorelement 20 hat eine
so genannte ”Extern-Erfassen und Intern-Ansteuern”-Struktur,
in welcher der Erfassungsabschnitt 212 mit dem peripheren
Abschnitt 221 verbunden ist und durch diesen abgestützt
wird, und der Ansteuerabschnitt 211 über den Erfassungsabschnitt 212 durch
den peripheren Abschnitt 221 abgestützt wird. Alternativ
kann das Sensorelement 201 eine so genannte ”Extern-Ansteuern
und Intern-Erfassen”-Struktur haben, in welcher der Ansteuerabschnitt 211 mit
dem peripheren Abschnitt 221 verbunden ist und durch diesen
abgestützt wird, und der Erfassungsabschnitt 212 über
den Ansteuerabschnitt 211 durch den peripheren Abschnitt 221 abgestützt wird.
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Der
Signalverarbeitungschip 22 führt eine Signalverarbeitung
auf der durch den Sensorchip 21 erfassten Kapazitäts-
oder Spannungsänderung durch und stellt eine an den Sensorchip 21 angelegte
Spannung ein. Der Sensorchip 21 und der Signalverarbeitungschip 22 sind
auf einem gemeinsamen Substrat wie beispielsweise einem Siliziumsubstrat
oder einem Keramiksubstrat ausgebildet. Alternativ können der
Sensorchip 21 und der Signalverarbeitungschip 22 auf
jeweils unterschiedlichen Substraten ausgebildet sein. Der in 3 gezeigte
Sensorchip 21 ist dazu ausgelegt, eine Winkelgeschwindigkeit
zu erfassen. Alternativ kann der Sensorchip 21 dazu ausgelegt
sein, eine andere physikalische Größe als eine Winkelgeschwindigkeit
zu erfassen. Zum Beispiel kann der Sensorchip 21 dazu ausgelegt
sein, eine Beschleunigung in der x-Achsen-Richtung oder in der y-Achsen-Richtung
zu erfassen. Der Aufbau des Signalverarbeitungschips 22 kann
in Übereinstimmung mit einer durch den Sensorchip 21 erfassten physikalischen
Größe variieren.
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Der
Sensorchip 21 und der Signalverarbeitungschip 22 sind über
den Bonddraht 25 elektrisch miteinander verbunden. Das
Gehäuse 23 weist einen inneren Raum und einem
zu dem inneren Raum führenden Eingang auf. Der Sensorchip 21 und
der Signalverarbeitungschip 22 sind in dem inneren Raum des
Gehäuses 23 gehalten. Das Gehäuse 23 ist
aus Keramik, Harz oder dergleichen hergestellt. Der Deckel 24 wird
an dem Gehäuse 23 befestigt, um den Eingang abzudecken,
so dass der innere Raum versiegelt werden kann. Der Signalverarbeitungschip 22 ist über
einen (nicht gezeigten) Klebstoff oder dergleichen an dem Gehäuse 23 fixiert.
Um eine den Signalverarbeitungschip 22 beaufschlagende
thermische Belastung zu verringern, wird es bevorzugt, dass der Klebstoff
weich ist und einen kleinen Elastizitätsmodul hat. Der
Sensorchip 21 ist über eine Klebefolie 26 an
dem Signalverarbeitungschip 22 fixiert. Die Klebefolie 26 kann
von derselben Art wie der Klebstoff sein, durch welchen der Signalverarbeitungschip 22 an dem
Gehäuse 23 fixiert wird. Alternativ kann die Klebefolie 26 von
einer anderen Art als der Klebstoff sein. Auf diese Art und Weise
wird der Signalverarbeitungschip 22 auf dem Gehäuse 23 montiert,
und wird der Sensorchip 21 über den Signalverarbeitungschip 22 auf
dem Gehäuse 23 montiert.
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Wie
in 1B gezeigt ist, ist die innere Einheit 11 in
dem Gehäuse 12 gehalten. Das Gehäuse 12 ist
aus Harz hergestellt. Das Gehäuse 12 hat eine Form
eines rechteckigen Rohres mit einer Öffnung 31,
die sich von einer oberen Seite zu einer unteren Seite des Gehäuses 12 erstreckt.
Die Öffnung 31 ist größer als
die innere Einheit 11, so dass die innere Einheit 11 in
der Öffnung 31 gehalten werden kann. Der Leiterrahmen 13 wird
in das Gehäuse 12 eingegossen. Die innere Einheit 11 und
der Leiterrahmen 13 sind über den Bonddraht 16 elektrisch
miteinander verbunden. Die Abdeckung 14 deckt eine Sensorseite
des inneren Gehäuses 11 ab. Die Abdeckung 17 deckt
eine Gehäuseseite der inneren Einheit 11 ab. Die
Sensorseite der inneren Einheit 11 ist eine Seite, an der
sich der Sensorchip 21 befindet, und die Gehäuseseite
der inneren Einheit 11 ist eine Seite, an der sich das
Gehäuse 23 befindet. Das heißt, die Sensorseite
der inneren Einheit 11 ist eine obere Seite bzw. Oberseite
in 2, und die Gehäuseseite der inneren Einheit 11 ist
eine untere Seite bzw. Unterseite in 2. Da die Öffnung 31 des
Gehäuses 12 größer ist als die
innere Einheit 11, gibt es einen Abstand bzw. Freiraum
zwischen der inneren Einheit 11 und dem Gehäuse 12.
Der Schwingungsisolator 15 befindet sich zwischen der inneren
Einheit 11 und dem Gehäuse 12, um den
Freiraum auszufüllen. Zum Beispiel kann der Schwingungsisolator 15 aus
einem weichen Elastomer oder Elastoplast wie beispielsweise Silikongummi,
bei Raumtemperatur vulkanisierender Silikongummi (RTV-Silikongummi)
oder dergleichen hergestellt sein.
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Ein
Beispiel eines Verfahrens zur Herstellung des Sensors für
eine physikalische Größe 10 des ersten
Ausführungsbeispiels wird nachstehend unter Bezugnahme
auf die 4A–4F und 5A–5E beschrieben.
Zunächst wird, wie in 4A gezeigt
ist, der Leiterrahmen 13 mit dem Gehäuse 12 spritzgegossen,
so dass das Gehäuse 12 und der Leiterrahmen 13 einstückig
miteinander verbunden werden können. Dann wird, wie in 4B gezeigt
ist, ein vorübergehend abstützendes bzw. tragendes
Band 32 an der Oberseite des Gehäuses 12 befestigt.
Dann wird, wie in 4C gezeigt ist, das Gehäuse 12 umgedreht
bzw. auf den Kopf gestellt, so das sich das vorübergehend
abstützende Band 32 an der Unterseite des Gehäuses 12 befinden
kann. Dann wird, wie in 4D gezeigt
ist, die innere Einheit 11 durch Befestigen der Sensorseite (das
heißt, des Deckels 24) der inneren Einheit 11 an dem
vorübergehend abstützenden Band 32 in
dem Gehäuse 12 platziert. Folglich wird die innere
Einheit 11 durch das vorübergehend abstützende
Band 32 abgestützt bzw. getragen.
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Dann
werden, wie in 4E gezeigt ist, die innere Einheit 11 und
der Leiterrahmen 13 über den Bonddraht 16 elektrisch
miteinander verbunden. Dann wird, wie in 4F gezeigt
ist, ein Elastomer in den Freiraum zwischen der inneren Einheit 11 und dem
Gehäuse 21 eingespritzt, um den Schwingungsisolator 15 auszubilden.
Die innere Einheit 11 und der Leiterrahmen 13 sind über
den Bonddraht 16 an einem Paar von gegenüber liegenden
Seiten der inneren Einheit 11, welche eine rechteckige
Form hat, miteinander verbunden. Das heißt, dass sich der Bonddraht 16 nicht
an dem anderen Paar von gegenüber liegenden Seiten der
inneren Einheit 11 befindet. Daher wird das Elastomer von
dem anderen Paar von gegenüber liegenden Seiten der inneren Einheit 11 aus
eingespritzt. Bei einem solchen Ansatz kann das Elastomer leicht
in den Freiraum eingespritzt werden, ohne den Bonddraht 16 zu
stören. Ferner ist es weniger wahrscheinlich, dass der
Bonddraht 16 aufgrund eines Herstellungsschrittes zum Einspritzen
des Elastomers beschädigt wird.
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Nachdem
das eingespritzte Elastomer aushärtet (das heißt,
hart wird), um den Schwingungsisolator 15 zu bilden, wird
die Abdeckung 17 an dem Gehäuse 12 befestigt.
Im Einzelnen wird, wie in 5A gezeigt
ist, die Abdeckung 17 an das Gehäuse 12 angebracht,
um die Gehäuseseite der inneren Einheit 11 abzudecken.
Zum Beispiel wird die Abdeckung 17 an das Gehäuse 12 pressgepasst
bzw. mittels Druck befestigt. Dann wird, wie in 5B gezeigt
ist, das Gehäuse 12 umgedreht, so dass sich das
vorübergehend abstützende Band 32 auf
der oberen Seite des Gehäuses 12 befinden kann.
Dann wird, wie in 5C gezeigt ist, das vorübergehend
abstützende Band 32 entfernt. Da der Schwingungsisolator 15 die innere
Einheit 11 gegen das Gehäuse 12 abstützt, fällt
die innere Einheit 11 nach dem Entfernen des vorübergehend
abstützenden Bands 32 nicht von dem Gehäuse 12 ab.
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Nachdem
das vorübergehend abstützende Band 32 entfernt
ist, wird die Abdeckung 14 an dem Gehäuse 12 befestigt.
Im Einzelnen wird, wie in 5D gezeigt
ist, die Abdeckung 14 so befestigt, dass sie die Sensorseite
der inneren Einheit 11 abdeckt. Zum Beispiel wird die Abdeckung 14 an
das Gehäuse 12 pressgepasst. Schließlich
wird, wie in 5D gezeigt ist, der Leiterrahmen 13 in
einer vorbestimmten Forum ausgebildet, und wird ein unnötiger
Abschnitt des Leiterrahmens 13 entfernt. Auf diese Weise
wird der Sensor für eine physikalische Größe 10 vervollständigt.
Bei dem vervollständigten Sensor für eine physikalische
Größe 10 wird bevorzugt, dass die Abdeckung 14 von
dem Deckel 21 der inneren Einheit 11 beabstandet
ist.
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In
dem ersten Ausführungsbeispiel befindet sich der Schwingungsisolator 15 zwischen
der inneren Einheit 11 und dem Gehäuse 12.
Eine Resonanzfrequenz der inneren Einheit 11 ist ein wichtiger
Faktor zum Bestimmen von Schwingungsisolationseigenschaften in dem
Sensor für eine physikalische Größe 10.
Die Resonanzfrequenz der inneren Einheit 11 wird durch
die Masse der inneren Einheit 11 und eine Federkonstante
des Schwingungsisolators 15 definiert. Die Federkonstante des
Schwingungsisolators 15 hängt von dem Freiraum
zwischen der inneren Einheit 11 und dem Gehäuse 12 ab,
oder hängt von der Dicke des Schwingungsisolators 15 ab.
Eine Schwingungsdämpfung des Schwingungsisolators 15 wird
durch Ändern der Federkonstanten des Schwingungsisolators 15 auf
einen gewünschten Wert eingestellt. Zum Beispiel muss dann,
wenn der Sensor für eine physikalische Größe 10 ein
Gyroskop ist mit einem Oszillator, der mit einer vorbestimmten Ansteuerfrequenz
schwingt, eine Schwingung der Ansteuerfrequenz gedämpft
werden, um eine relative Schwingung zwischen der inneren Einheit 11 und dem
Gehäuse 12 zu verringern (das heißt,
zu dämpfen). Zum Beispiel beträgt die Ansteuerfrequenz
etwa zehn Kilohertz (10 kHz). Um eine Schwingung von etwa 10 kHz
zu verringern, muss der Schwingungsisolator 15 eine Resonanzfrequenz
von etwa einem Kilohertz (1 kHz) haben. In diesem Fall wird bevorzugt,
dass der Schwingungsisolator 15 eine kleine Resonanzverstärkung
hat. Da der Schwingungsisolator 15 aus einem Elastomer
mit Viskosität und Elastizität hergestellt ist,
kann der Schwingungsisolator 15 einen hohen Verlustkoeffizienten
haben. Daher kann der Schwingungsisolator 15 eine kleine
Resonanzverstärkung haben.
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Wie
vorstehend beschrieben wurde, befindet sich in Übereinstimmung
mit dem ersten Ausführungsbeispiel der Schwingungsisolator 15 zwischen der
inneren Einheit 11 und dem Gehäuse 12,
um die innere Einheit 11 gegen das Gehäuse 12 abzustützen.
Bei einem solchen Ansatz kann eine von dem Gehäuse 12 auf
die innere Einheit 11 übertragene Schwingung verringert
werden. Ferner absorbiert, da der Schwingungsisolator 15 weich
ist, der Schwingungsisolator 15 eine relative Schwingung
zwischen der inneren Einheit 11 und dem Gehäuse 12,
während er die innere Einheit 11 mit dem Gehäuse 12 verbindet.
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Der
Schwingungsisolator 15 befindet sich zwischen der inneren
Einheit 11 und dem Gehäuse 12 in der
x-Achsen-Richtung und der y-Achsen-Richtung, so dass x-Achsen- und
y-Achsen-Komponenten der von dem Gehäuse 12 auf
die innere Einheit 11 übertragenen Schwingung
wirkungsvoll verringert werden können. Daher ist es weniger
wahrscheinlich, dass das Sensorelement 20, das dazu ausgelegt
ist, sich in der x-Achsen-Richtung und der x-Achsen-Richtung zu
bewegen, durch die Schwingung beeinflusst bzw. beeinträchtigt
wird.
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Die
Festigkeit und die Federkonstante des Schwingungsisolators 15 können
durch Ändern der Dicke und der Breite des Schwingungsisolators 15 leicht
eingestellt werden. Daher kann die Federkonstante des Schwingungsisolators 15 auf
einen gewünschten Wert eingestellt werden, der es dem Schwingungsisolator 15 erlaubt,
die relative Schwingung zwischen der inneren Einheit 11 und
dem Gehäuse 12 ohne eine Reduzierung der Festigkeit
zu verringern.
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Die
Abdeckungen 14, 17 sind von der inneren Einheit 11 beabstandet.
Das heißt, dass die Abdeckungen 14, 17 nicht
direkt in Kontakt mit der inneren Einheit 11 stehen. Daher
werden Schwingungen der Abdeckungen 14, 17 nicht
direkt auf die innere Einheit 11 übertragen. Da
die Schwingungen der Abdeckungen 14, 17 über
den Schwingungsisolator 15 auf die innere Einheit 11 übertragen
werden, kann die innere Einheit 11 wirkungsvoll vor den
Schwingungen geschützt werden.
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Wie
in 1 gezeigt ist, sind alle Seiten
der inneren Einheit 11 in der x-Achsen- und der y-Achsen-Richtung
von dem Schwingungsisolator 15 umgeben. Das heißt,
dass die innere Einheit 11 in der x-Achsen- und der y-Achsen-Richtung
ganz von dem Schwingungsisolator 15 umgeben ist. Bei einem
solchen Ansatz wird auch dann, wenn eine thermische Belastung von
dem Schwingungsisolator 15 auf die innere Einheit 11 erfolgt,
die thermische Belastung gleichmäßig allen Seiten
der inneren Einheit 11 auferlegt. Daher kann die innere
Einheit 11 ihre Haltung in Bezug auf die z-Achsen-Richtung
beibehalten. Wenn zum Beispiel der Sensor für eine physikalische Größe 10 dazu
ausgelegt ist, ein Winkelgeschwindigkeitssensor oder ein Beschleunigungssensor
zu sein, ist die z-Achse eine Erfassungsachse. Falls die innere
Einheit 11 in Bezug auf die Erfassungsachse geneigt ist,
kann der Sensor für eine physikalische Größe 10 eine
Winkelgeschwindigkeit oder Beschleunigung nicht genau erfassen.
In Anbetracht des Vorstehenden wird bevorzugt, dass alle Seiten
der inneren Einheit 11 in der x-Achsen-Richtung und der
y-Achsen-Richtung von dem Schwingungsisolator 15 umgeben
sind, wenn der Sensor für eine physikalische Größe 10 dazu
ausgelegt ist, ein Winkelgeschwindigkeitssensor oder ein Beschleunigungssensor
zu sein. Alternativ können nicht alle Seiten der inneren
Einheit 11 in der x-Achsen- und der y-Achsen-Richtung von dem
Schwingungsisolator 15 umgeben sein. Das heißt,
dass die innere Einheit 11 in der x-Achsen-Richtung und
der y-Achsen-Richtung teilweise von dem Schwingungsisolator 15 umgeben
sein kann.
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Ferner
erreicht, wie in 1B gezeigt ist, der Schwingungsisolator 15 die
untere Seite des Gehäuses 23, an der die innere
Einheit 11 und der Leiterrahmen 13 über
den Bonddraht 16 elektrisch miteinander verbunden sind,
nicht. Das heißt, dass die Gehäuseseite der inneren
Einheit 11 nicht mit dem Schwingungsisolator 15 bedeckt
ist. Da die Gehäuseseite der inneren Einheit 11 nicht
mit dem Schwingungsisolator 15 bedeckt ist, können
die folgenden Vorteile erzielt werden.
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Eine
Deformation bzw. Verformung des Sensorchips 21 verursacht
eine Änderung in dem Abstand zwischen der beweglichen Ansteuerelektrode 211b und
der festen Ansteuerelektrode 211c und eine Änderung
in dem Abstand zwischen der beweglichen Erfassungselektrode 212a und
der festen Erfassungselektrode 212b. Diese Abstandsänderungen
bewirken eine Verringerung der Erfassungsgenauigkeit des Sensors
für eine physikalische Größe 10.
In der in 1B gezeigten Struktur wird eine thermische
Belastung von dem Schwingungsisolator 15 einem oberen Abschnitt
einer äußeren Wand des Gehäuses 23 auferlegt
bzw. zugeführt. Demgemäß wird der obere
Abschnitt der äußeren Wand des Gehäuses 23 deformiert.
Die Deformation des oberen Abschnitts der äußeren
Wand des Gehäuses 23 wird auf einen Boden beziehungsweise
eine Unterseite des Gehäuses 23 übertragen.
Demgemäß wird der Boden des Gehäuses 23 deformiert.
Die Deformation des Bodens des Gehäuses 23 wird
auf den Signalverarbeitungschip 22 übertragen.
Demgemäß wird der Signalverarbeitungschip 22 deformiert.
Die Deformation des Signalverarbeitungschips 22 wird auf die
Klebefolie 26 übertragen. Demgemäß wird
die Klebefolie 26 deformiert. Die Deformation der Klebefolie 26 wird
auf den Sensorchip 21 übertragen. Auf diese Art
und Weise wird in Übereinstimmung mit der in 1B gezeigten
Struktur die thermische Belastung des Schwingungsisolators 15 indirekt
auf den Sensorchip 21 übertragen. Daher reduziert
die in 1B gezeigte Struktur die von
dem Schwingungsisolator 15 auf den Sensorchip 21 angewandte
thermische Belastung, so dass die Deformation des Sensorchips 21 verringert
werden kann. Demgegenüber wird dann, wenn die Gehäuseseite
der inneren Einheit 11 mit dem Schwingungsisolator 15 bedeckt
ist, die thermische Belastung des Schwingungsisolators 15 direkt
auf den Sensorchip 21 übertragen. Infolge dessen
wird der Sensorchip 21 stark deformiert.
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(Zweites Ausführungsbeispiel)
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Nachstehend
wird ein Sensor für eine physikalische Größe 10 in Übereinstimmung
mit einem zweiten Ausführungsbeispiel der Erfindung unter
Bezugnahme auf 6 beschrieben. Ein Unterschied zwischen
dem ersten und dem zweiten Ausführungsbeispiel ist wie
folgt.
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In
dem zweiten Ausführungsbeispiel hat, wie in 6 gezeigt
ist, eine Öffnung 31 des Gehäuses 12 eine
polygonale Form, die es erlaubt, dass ein Freiraum (das heißt,
ein Abstand) zwischen der inneren Einheit 11 und dem Gehäuse 12 an
einer Ecke 111 der inneren Einheit 11 kleiner
ist als an einer Seite der inneren Einheit 11. Alternativ
kann die Öffnung 31 des Gehäuses 12 eine
andere Form (beispielsweise rundförmig oder elliptisch)
haben, die es dem Freiraum zwischen der inneren Einheit 11 und
dem Gehäuse 12 erlaubt, an der Ecke der inneren
Einheit 11 kleiner als an der Seite der inneren Einheit 11 zu
sein.
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Ein
Schwingungsisolator 15 wird durch Einspritzen eines Elastomers
in den Freiraum zwischen der inneren Einheit 11 und dem
Gehäuse 12 ausgebildet. Daher ändert
sich die Breite des Schwingungsisolators 15 entlang der
Peripherie der inneren Einheit 11. Wenn die Breite des
Schwingungsisolators 15 größer wird,
wird der Schwingungsisolator 15 härter. In anderen
Worten ausgedrückt, wird der Schwingungsisolator 15 härter,
wenn der Freiraum zwischen der inneren Einheit 11 und dem
Gehäuse 12 größer wird. Daher
hat der Schwingungsisolator 15 an einem Eckabschnitt entsprechend
zu der Ecke 111 der inneren Einheit 11 eine größere
Härte als an einem Seitenabschnitt entsprechend zu der
Seite der inneren Einheit 11.
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Während
der Verwendung des Sensors für eine physikalische Größe 10 kann
die an dem Gehäuse 12 abgestützte innere
Einheit 11 eine Schwingungskraft empfangen, die bewirkt,
dass die innere Einheit 11 in der x-Achsen-Richtung und
in der y-Achsen-Richtung von 6 schwingt.
Ferner kann die innere Einheit 11 eine Drehkraft empfangen,
die bewirkt, dass sich die innere Einheit 11 um eine Mittenachse
der inneren Einheit 11 in der z-Achsen-Richtung von 6 dreht.
Das heißt, dass die innere Einheit 11 eine Drehkraft
empfangen kann, die bewirkt, dass sich die innere Einheit 11 in
Bezug auf das Gehäuse 12 dreht. Die Drehkraft
wird durch einen Unterschied in der Härte zwischen dem
Eckabschnitt und dem Seitenabschnitt des Schwingungsisolators 15 absorbiert.
Im Einzelnen wird, da der Eckabschnitt des Schwingungsisolators 15 eine
größere Härte hat, die innere Einheit 11 an
der Ecke 111 über den Eckabschnitt des Schwingungsisolators 15 sicher
an dem Gehäuse 12 abgestützt bzw. an
das Gehäuse 12 angelenkt. Demgemäß kann
die Drehbewegung der inneren Einheit 11 in Bezug auf das
Gehäuse 12 verringert werden.
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Wie
vorstehend beschrieben wurde, ändert sich in Übereinstimmung
mit dem zweiten Ausführungsbeispiel die Breite des Schwingungsisolators 15 entlang
der Peripherie der inneren Einheit 11. Im Einzelnen ist
die Breite des Eckabschnitts des Schwingungsisolators 15 kleiner
als die Breite des Seitenabschnitts des Schwingungsisolators 15.
Bei einem solchen Ansatz wird die innere Einheit 11 an dem
Eckabschnitt 111 über den Eckabschnitt des Schwingungsisolators 15 sicher
an dem Gehäuse 12 abgestützt, so dass
die Drehbewegung der inneren Einheit 11 in Bezug auf das
Gehäuse 12 verringert werden kann.
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Ferner
ist, wie in 6 gezeigt ist, die Ecke 111 der
inneren Einheit 11 zurückstehend. Bei einem solchen
Ansatz wird die innere Einheit 11 an der Ecke 111 über
den Eckabschnitt des Schwingungsisolators 15 sicherer an
dem Gehäuse 12 abgestützt. Alternativ
kann die Ecke 111 der inneren Einheit 11 abgerundet
oder angespitzt bzw. geschliffen sein.
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Nachstehend
werden Modifikationen des zweiten Ausführungsbeispiels
in Bezug auf die 7A und 7B beschrieben.
In einer in 7A gezeigten Modifikation hat
der Schwingungsisolator 15 sowohl Eckabschnitte als auch
Seitenabschnitte. Die Eckabschnitte des Schwingungsisolators 15 befinden
sich zwischen der inneren Einheit 11 und dem Gehäuse 12 an
Ecken 111 der inneren Einheit 11. Die Seitenabschnitte
des Schwingungsisolators 15 befinden sich zwischen der
inneren Einheit 11 und dem Gehäuse 12 an
Seiten der inneren Einheit 11. Die Eck- und Seitenabschnitte
des Schwingungsisolators 15 sind zueinander beabstandet
entlang der Peripherie der inneren Einheit 11 angeordnet.
In einer anderen Modifikation hat der Schwingungsisolator 15 nur Eckabschnitte,
die sich zwischen der inneren Einheit 11 und dem Gehäuse 12 an
Ecken 111 der inneren Einheit 11 befinden. Wie
in dem zweiten Ausführungsbeispiel beschrieben wurde, kann
die Drehbewegung der inneren Einheit 11 in Bezug auf das
Gehäuse 12 durch die Eckabschnitte des Schwingungsisolators 15 verringert
werden. Daher kann die Drehbewegung der inneren Einheit 11 in
Bezug auf das Gehäuse 12 auch dann verringert
werden, wenn der Schwingungsisolator 15 nur Eckabschnitte
aufweist.
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Wie
vorstehend beschrieben wurde, ist in Übereinstimmung mit
den Modifikationen des zweiten Ausführungsbeispiels die
innere Einheit 11 teilweise von dem Schwingungsisolator 15 derart
umgeben, dass sich der Schwingungsisolator 15 zwischen der
inneren Einheit 11 und dem Gehäuse 12 an
zumindest den Ecken 111 der inneren Einheit 11 befindet.
Bei einem solchen Ansatz kann die Drehbewegung der inneren Einheit 11 in
Bezug auf das Gehäuse 12 verringert werden.
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(Drittes Ausführungsbeispiel)
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Nachstehend
wird ein drittes Ausführungsbeispiel der Erfindung unter
Bezugnahme auf die 8A bis 8C beschrieben.
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In
dem dritten Ausführungsbeispiel wird, wie in 8A gezeigt
ist, ein vorübergehend abstützender Halterahmen
zur Montage 34 anstelle des vorübergehend abstützenden
Bands 32 verwendet, wenn der Sensor für eine physikalische
Größe 10 hergestellt wird. Der vorübergehend
abstützende Halterahmen zur Montage 34 beinhaltet
einen Folienabschnitt 35 und mehrere Projektionsabschnitte
bzw. Vorsprungsabschnitte 36, die auf dem Folienabschnitt 35 stehen.
Die Projektionsabschnitte 36 sind so angeordnet, dass sie
dem Freiraum zwischen der inneren Einheit 11 und dem Gehäuse 12 folgen.
Im Einzelnen befinden sich, wie in 8A entsprechend
zu 4F gezeigt ist, wenn der vorübergehend
abstützende Halterahmen zur Montage 34 an dem
Gehäuse 12 befestigt ist, die Projektionsabschnitte 36 im wesentlichen
in dem Zentrum des Freiraums zwischen der inneren Einheit 11 und
dem Gehäuse 12, und umgeben die Peripherie der
inneren Einheit 11. Nachdem der vorübergehend
abstützende Halterahmen zur Montage 34 an dem
Gehäuse 12 befestigt ist, wird ein Elastomer für
den Schwingungsisolator 15 in den Freiraum eingespritzt,
in dem sich die Projektionsabschnitte 36 befinden. Infolge
dessen wird der Freiraum mit dem Elastomer gefüllt, und
werden die Projektionsabschnitte 36 in das Elastomer eingekapselt.
Dann wird, wenn das eingespritzte Elastomer aushärtet,
um den Schwingungsisolator 15 auszubilden, der vorübergehend
abstützende Halterahmen zur Montage 34 von dem
Schwingungsisolator 15 entfernt. Es wird bevorzugt, dass
eine Oberfläche jedes Projektionsabschnitts 36 mit
einem Fluorharz oder dergleichen beschichtet wird. Bei einem solchen Ansatz
kann der vorübergehend abstützende Halterahmen
zur Montage 34 leicht von dem Schwingungsisolator 15 entfernt
werden. Wie in 8B gezeigt ist, weist der Schwingungsisolator 15,
der unter Verwendung des vorübergehend abstützenden
Halterahmens zur Montage 34 ausgebildet wird, mehrere durchgehende
Löcher 37 auf, die durch ihn hindurch verlaufen.
Wie in 8C gezeigt ist, sind die durchgehenden
Löcher 37 des Schwingungsisolators 15 so
angeordnet, dass sie die Peripherie der inneren Einheit 11 umgeben.
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Wie
vorstehend beschrieben wurde, weist in Übereinstimmung
mit dem dritten Ausführungsbeispiel der Schwingungsisolator 15 die
durchgehenden Löcher 37 auf. Die Federkonstante
des Schwingungsisolators 15 hängt von der Anzahl
und der Anordnung der durchgehenden Löcher 37 ab.
Daher kann die Federkonstante des Schwingungsisolators 15 durch Ändern
der Anzahl und der Anordnung der Projektionsabschnitte 36 des
vorübergehend abstützenden Halterahmens zur Montage 34 eingestellt werden.
Auf diese Art und Weise kann die Federkonstante des Schwingungsisolators 15 leicht
auf einen gewünschten Wert eingestellt werden.
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In 8C befindet
sich das durchgehende Loch 37 in dem Eckabschnitt des Schwingungsisolators 15.
Alternativ kann kein durchgehendes Loch 37 in dem Eckabschnitt
des Schwingungsisolators 15 angeordnet sein. Bei einem
solchen Ansatz hat der Schwingungsisolator 15 an dem Eckabschnitt
eine größere Härte als an dem Seitenabschnitt.
Folglich kann wie in dem zweiten Ausführungsbeispiel die Drehbewegung
der inneren Einheit 11 in Bezug auf das Gehäuse 12 verringert
werden.
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(Viertes Ausführungsbeispiel)
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Nachstehend
wird ein Sensor für eine physikalische Größe 10 in Übereinstimmung
mit einem vierten Ausführungsbeispiel der Erfindung unter
Bezugnahme auf 9 beschrieben. In dem vierten Ausführungsbeispiel
weist, wie in 9 gezeigt ist, der Schwingungsisolator 15 Blasen 38 auf.
Das heißt, dass der Schwingungsisolator 15 aus
einem porösen Schaummaterial wie beispielsweise Schwamm
hergestellt ist. Die Federkonstante des Schwingungsisolators 15 hängt
von einem Prozentsatz der in dem Schwingungsisolator 15 enthaltenen Blasen 38 ab.
Daher kann die Federkonstante des Schwingungsisolators 15 durch Ändern
des Prozentsatzes der in dem Schwingungsisolator 15 enthaltenen
Blasen leicht auf einen gewünschten Wert eingestellt werden.
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(Fünftes Ausführungsbeispiel)
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Nachstehend
wird ein Sensor für eine physikalische Größe 40 in Übereinstimmung
mit einem fünften Ausführungsbeispiel der Erfindung
unter Bezugnahme auf die 10A und 10B beschrieben. Ein Unterschied zwischen dem
fünften Ausführungsbeispiel und den vorangehenden
Ausführungsbeispielen ist wie folgt. In den vorangehenden
Ausführungsbeispielen wird die innere Einheit 11 mit
dem in dem Gehäuse 23 gehaltenen Sensorchip 21 als
ein Sensorabschnitt verwendet, und der Sensorabschnitt wird in dem
Gehäuse 12 gehalten. Demgegenüber wird
in dem fünften Ausführungsbeispiel ein Waferniveaugehäuse
(wafer level package) verwendet.
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Zum
Beispiel kann der Sensor für eine physikalische Größe 40 durch
mikroelektromechanische Systeme (microelectromechanical systems;
MEMS) hergestellt werden. Der Sensor für eine physikalische Größe 40 beinhaltet
einen rechteckigen rohrförmigen Rahmenabschnitt 41 (als
ein Gehäuse) und einen Sensorabschnitt 42. Der
Rahmenabschnitt 41 hat eine Öffnung 43 im
Inneren und ist aus Silizium hergestellt. Der Sensorabschnitt 42 wird
in der Öffnung 43 des Rahmenabschnitts 41 gehalten.
Der Sensorabschnitt 42 weist ein aus Silizium hergestelltes Substrat 44 und
ein Sensorelement 45 auf. Das Substrat 44 hat
eine erste und eine zweite Seite (eine obere und eine untere Seite
von 10B), die einander gegenüber
liegen. Das Sensorelement 45 ist auf der ersten Seite des
Substrats 44 ausgebildet. Es gibt einen Abstand bzw. einen
Freiraum zwischen dem Rahmenabschnitt 41 und dem Sensorabschnitt 42.
Ein Schwingungsisolator 46 befindet sich in dem Freiraum.
Der Schwingungsisolator 46 ist als ein Stück ausgebildet
und hat eine kontinuierliche Ringform bzw. die Form eines fortlaufenden
Rings. Der Schwingungsisolator 46 füllt den Freiraum
und umgibt den Sensorabschnitt 42.
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Der
Rahmenabschnitt 41 weist eine Elektrode 47 auf,
die durch den Rahmenabschnitt 41 in einer Dickenrichtung
des Rahmenabschnitts 41 hindurch tritt bzw. in der Dickenrichtung
in den Rahmenabschnitt 41 eindringt. Folglich hat die Elektrode
ein erstes Ende, das zu einer ersten Seite (der oberen Seite in 10B) des Rahmenabschnitts 41 hin offen
liegt, und ein zweites Ende, das zu einer zweiten Seite (der unteren
Seite in 10B), die der ersten Seite gegenüber
liegt, des Rahmenabschnitts 41 hin offen liegt. Das zweite
Ende der Elektrode 47 ist elektrisch mit einer Erhebung
bzw. einem Bump 48 verbunden. Die Erhebung 48 befindet
sich auf der zweiten Seite des Rahmenabschnitts 41. Das
heißt, dass die Erhebung 48 und das Sensorelement 45 sich
auf gegenüber liegenden Seiten befinden. Das erste Ende
der Elektrode 47 ist über einen Bonddraht 49 elektrisch mit
dem Sensorabschnitt 42 verbunden. Der Bonddraht 49 überspannt
den Schwingungsisolator 46. Die erste Seite des Sensorabschnitts 42 ist
mit einer Abdeckung 51 zum Abdecken des Sensorelements 45 abgedeckt.
Die zweite Seite des Sensorabschnitts 42 ist mit einer
Abdeckung 52 abgedeckt.
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Wie
vorstehend beschrieben wurde, befindet sich in Übereinstimmung
mit dem fünften Ausführungsbeispiel der Schwingungsisolator 46 zwischen dem
Rahmenabschnitt 41 und dem Sensorabschnitt 42.
Somit verringert der Schwingungsisolator 46 eine auf den
Sensorabschnitt 42 von dem Rahmenabschnitt 41 übertragene
Schwingung. Auf diese Art und Weise kann dann, wenn der Sensor für
eine physikalische Größe 40 durch ein
mikroelektromechanisches System hergestellt ist, eine relative Schwingung
zwischen dem Rahmenabschnitt 41 und dem Sensorabschnitt 42 verringert
werden.
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(Sechstes Ausführungsbeispiel)
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Nachstehend
wird ein Sensor für eine physikalische Größe 60 in Übereinstimmung
mit einem sechsten Ausführungsbeispiel der Erfindung unter Bezugnahme
auf 11 beschrieben.
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Wie
in 11 gezeigt ist, beinhaltet der Sensor für
eine physikalische Größe 60 einen Sensorabschnitt 61 und
ein organisches Substrat 62 (als ein Gehäuse).
Der Sensorabschnitt 61 wird in einer Öffnung 63 des
organischen Substrats 62 gehalten. Der Sensorabschnitt 61 beinhaltet
einen Sensorchip 65 mit einem Sensorelement 64.
Das Sensorelement 64 des Sensorchips 65 ist mit
einer Abdeckung 66 abgedeckt. Das organische Substrat 62 ist
aus einem elektrisch isolierenden organischen Material wie beispielsweise
Epoxydharz hergestellt. Ein Schwingungsisolator 67 befindet
sich zwischen dem Sensorabschnitt 61 und dem organischen
Substrat 62. Folglich verringert der Schwingungsisolator 67 eine auf
den Sensorabschnitt 61 von dem organischen Substrat 62 übertragene
Schwingung, so dass eine relative Schwingung zwischen dem Sensorabschnitt 61 und
dem organischen Substrat 62 verringert werden kann.
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(Siebtes Ausführungsbeispiel)
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Nachstehend
wird ein Sensor für eine physikalische Größe 60 in Übereinstimmung
mit einem siebten Ausführungsbeispiel der Erfindung unter
Bezugnahme auf 12 beschrieben. Das siebte Ausführungsbeispiel
ist eine Modifikation des sechsten Ausführungsbeispiels.
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Wie
in 12 gezeigt ist, ist in dem siebten Ausführungsbeispiel
der Sensorchip 65 auf das organische Substrat 62 montiert.
Im Einzelnen beinhaltet das organische Substrat 62 einen
Rahmenabschnitt 621 und einen Anbringungs- oder Montageabschnitt 622,
auf welchem der Sensorchip 65 angebracht oder montiert
ist. Der Sensorchip 65 und der Montageabschnitt 622 bilden
den Sensorabschnitt 61. Der Schwingungsisolator 67 befindet
sich zwischen dem Rahmenabschnitt 621 und dem Montageabschnitt 622.
Folglich verringert der Schwingungsisolator 671 eine auf
den Montageabschnitt 622, auf welchem der Sensorchip 65 angebracht
ist, von dem Rahmenabschnitt 621 übertragene Schwingung.
Demgemäß kann eine relative Schwingung zwischen
dem Sensorabschnitt 61 und dem Rahmenabschnitt 621 des
organischen Substrats 62 verringert werden.
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(Achtes Ausführungsbeispiel)
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Nachstehend
wird ein Sensor für eine physikalische Größe 10 in Übereinstimmung
mit einem achten Ausführungsbeispiel der Erfindung unter
Bezugnahme auf 13 beschrieben. Das achte Ausführungsbeispiel
ist eine Modifikation des ersten Ausführungsbeispiels.
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In
dem achten Ausführungsbeispiel beinhaltet, wie in 13 gezeigt
ist, das Gehäuse 12 einen Rahmenabschnitt 121 und
einen Anbringungs- oder Montageabschnitt 122, auf welchem
der Sensorchip 21 angebracht oder montiert ist. Der Sensorchip 21 und
der Montageabschnitt 122 bilden die innere Einheit 11 als
einen Sensorabschnitt. Der Schwingungsisolator 15 befindet
sich zwischen dem Rahmenabschnitt 121 und dem Montageabschnitt 122 des
Gehäuses 12. Folglich verringert der Schwingungsisolator 151 eine
auf den Montageabschnitt 122, auf welchem der Sensorchip 21 angebracht
ist, von dem Rahmenabschnitt 121 übertragene Schwingung. Demgemäß kann
eine relative Schwingung zwischen der inneren Einheit 11 und
dem Rahmenabschnitt 121 des Gehäuses 12 verringert
werden.
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(Neuntes Ausführungsbeispiel)
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Nachstehend
wird ein Sensor für eine physikalische Größe 310 in Übereinstimmung
mit einem neunten Ausführungsbeispiel der Erfindung unter
Bezugnahme auf die 14A, 14B und 15 beschrieben.
Der Sensor für eine physikalische Größe 310 beinhaltet
eine innere Einheit 311 (als einen Sensorabschnitt), ein
Gehäuse 312, einen Leiterrahmen 313,
eine Abdeckung 314, einen Schwingungsisolator 315,
einen Bonddraht 316, und eine Abdeckung 317. Die
innere Einheit 311 beinhaltet einen Sensorchip 321,
einem Signalverarbeitungschip 322, ein Gehäuse 323,
und eine Zuführung bzw. ein Lead 324. Der Sensorchip 221 hat
im Wesentlichen dieselbe Struktur wie der Sensorchip 21,
der in 3 gezeigt ist.
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Die
innere Einheit 311 wird in dem Gehäuse 312 gehalten.
Das Gehäuse 312 ist aus Harz hergestellt. Das
Gehäuse 312 hat eine rechteckige Röhrenform
bzw. die Form einer rechteckigen Röhre. Der Leiterrahmen 313 ist
mit dem Gehäuse 312 spritzgegossen. Die innere
Einheit 311 hat eine erste und eine zweite Endoberfläche 325, 326,
die einander in ihrer Dickenrichtung gegenüber liegen.
Das heißt, dass die innere Einheit 311 die gegenüber
liegenden Endoberflächen 325, 326 in
der z-Achsen-Richtung in 14B aufweist.
Das Gehäuse 323 befindet sich auf der ersten Endoberfläche 325,
und die Zuführung 324 befindet sich auf der zweiten
Endoberfläche 326. Die Abdeckung 314 deckt
die erste Endoberfläche 325 der inneren Einheit 311 ab.
Die Abdeckung 317 deckt die zweite Endoberfläche 326 der
inneren Einheit 311 ab.
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Die
innere Einheit 311 weist eine Anschlussfläche 327 auf
der ersten Endoberfläche 325 auf. Die Anschlussfläche 327 ist
elektrisch mit dem Sensorchip 321 und dem Signalverarbeitungschip 322 verbunden.
Das Gehäuse 312 weist eine Anschlussfläche 328 auf,
die elektrisch mit dem Leiterrahmen 313 verbunden ist.
Die Anschlussfläche 327 der inneren Einheit 311 ist über
den Bonddraht 316 elektrisch mit der Anschlussfläche 328 des
Gehäuses 312 verbunden. Somit ist die innere Einheit 311 über
den Bonddraht 316 elektrisch mit dem Leiterrahmen 313 verbunden.
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Das
Gehäuse 312 beinhaltet einen Gehäusekörper 331 und
einen Abstützabschnitt 332. Der Gehäusekörper 331 hat
eine rechteckige Röhrenform bzw. die Form einer rechteckigen
Röhre, und umgibt die Peripherie der inneren Einheit 311.
Der Abstützabschnitt 322 erstreckt sich von einer
inneren Wand des Gehäusekörpers 331,
um eine Abstützoberfläche 333 bereitzustellen,
die der zweiten Endoberfläche 326 der inneren
Einheit 311 gegenüber liegt. In dem neunten Ausführungsbeispiel
erstreckt sich, wie in 15 gezeigt ist, der Abstützabschnitt 322 von
jeder Ecke des Gehäusekörper 331 aus nach
innen, um eine im Wesentlichen kreuzförmige Öffnung 334 zwischen
dem Gehäuseabschnitt 331 und dem Abstützabschnitt 332 zu
bilden. Die kreuzförmige Öffnung 334 erstreckt
sich in der z-Achsen-Richtung so, dass sie durch den Abstützabschnitt 332 hindurch
tritt bzw. in diesen eindringt.
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Wie
in 14B gezeigt ist, befindet sich der Schwingungsisolator 315 zwischen
der zweiten Endoberfläche 326 der inneren Einheit 311 und
der Abstützoberfläche 333 des Gehäuses 312.
Die innere Einheit 311 und das Gehäuse 312 sind über
den Schwingungsisolator 315 miteinander verbunden bzw.
zusammengefügt (beispielsweise gebondet). Folglich wird
die innere Einheit 311 über den Schwingungsisolator 315 gegen
den Abstützabschnitt 332 des Gehäuses 312 abgestützt
bzw. an diesen angelenkt. Zum Beispiel kann der Schwingungsisolator 315 aus
einem weichen Elastomer wie beispielsweise Siliziumgummi, bei Raumtemperatur
vulkanisierendem Siliziumgummi (room temperature vulcanization silicon
rubber; RTV silicon rubber) oder dergleichen hergestellt sein.
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Nachstehend
wird ein Beispiel eines Verfahrens zur Herstellung des Sensors für
eine physikalische Größe 310 unter Bezugnahme
auf die 16A bis 16F beschrieben.
Zunächst wird, wie in 16A gezeigt
ist, der Leiterrahmen 313 mit dem Gehäuse 312 spritzgegossen,
so dass das Gehäuse 312 und der Leiterrahmen 313 miteinander
verbunden oder zusammengefügt werden können. Dann wird,
wie in 16B gezeigt ist, ein Elastomer
für den Schwingungsisolator 315 auf die Abstützoberfläche 333 des
Abstützabschnitts 332 aufgebracht. Das Elastomer
liegt in der Form einer Flüssigkeit oder eines halbfesten
Materials vor, wenn es auf die Abstützoberfläche 333 aufgebracht
wird. Dann wird, wie in 16B gezeigt
ist, die innere Einheit 311 durch das aufgetragene Elastomer
an dem Gehäuse 312 befestigt, bevor das aufgebrachte
Elastomer aushärtet (das heißt, hart wird). Wenn
das Elastomer aushärtet, um den Schwingungsisolator 315 zu
bilden, werden die innere Einheit 311 und das Gehäuse 312 durch
den Schwingungsisolator 315 zusammengefügt bzw.
miteinander verbunden.
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Nachdem
das Elastomer aushärtet, um den Schwingungsisolator 315 zu
bilden, werden die innere Einheit 311 und das Gehäuse 312 über
den Bonddraht 316 elektrisch miteinander verbunden, wie
in 16D gezeigt ist. In dem neunten Ausführungsbeispiel
befindet sich der Schwingungsisolator 315 auf der zweiten
Endoberfläche 326 der inneren Einheit 311,
und befindet sich der Bonddraht 316 auf der ersten Endoberfläche 325 der
inneren Einheit 311. Das heißt, dass der Schwingungsisolator 315 und
der Bonddraht 316 sich auf unterschiedlichen Seiten der inneren
Einheit 311 befinden. Daher können ein Herstellungsschritt
zum Aufbringen des Elastomers und ein Herstellungsschritt zum Anschließen
des Bonddrahts 316 durchgeführt werden, ohne dass
sie einander stören.
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Dann
werden, wie in 16E gezeigt ist, die Abdeckung 314 und
die Abdeckung 317 an dem Gehäuse 312 befestigt.
Schließlich wird, wie in 16E gezeigt
ist, der Leiterrahmen 313 in einer vorbestimmten Form ausgebildet.
Ferner werden unnötige Abschnitte, die benachbarte bzw.
angrenzende Leiterrahmen 313 (vgl. 15) verbinden,
entfernt, so dass die Leiterrahmen 313 voneinander getrennt werden
können (vgl. 14A).
Auf diese Art und Weise wird der Sensor für eine physikalische
Größe 310 vervollständigt.
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Wie
vorstehend beschrieben wurde, weist das Gehäuse 312 die Öffnung 334 auf,
die den Abstützabschnitt 332 durchdringt bzw.
in diesen eindringt. Wie in 17 gezeigt
ist, kann eine Haltevorrichtung zur Montage 340 dazu verwendet
werden, den Sensor für eine physikalische Größe 310 durch Einsetzen
der Haltevorrichtung zur Montage 340 in die Öffnung 334 herzustellen.
Die Haltevorrichtung zur Montage 340 beinhaltet einen Halteabschnitt 341,
einen Kontaktabschnitt 342, und einen Säulenabschnitt 343.
Der Halteabschnitt 341 hält das Gehäuse 312.
Der Säulenabschnitt 343 erstreckt sich ausgehend
von dem Halteabschnitt 341 nach oben, so dass er durch
die Öffnung 334 des Gehäuses 312 verläuft.
Der Kontaktabschnitt 342 befindet sich so auf einer Spitze
des Säulenabschnitts 343, dass er in Kontakt mit
der zweiten Endoberfläche 326 der inneren Einheit 311 steht.
Wenn das Gehäuse 312 in dem Halteabschnitt 341 gehalten
wird, wird eine positionelle Beziehung zwischen dem Gehäuse 312 und dem
Kontaktabschnitt 342 der vorübergehend abstützenden
Haltevorrichtung zur Montage 340 konstant gehalten. Das
heißt, dass ein Abstand zwischen der zweiten Endoberfläche 326 der
inneren Einheit 311 und der Abstützoberfläche 333 des
Gehäuses 312 konstant gehalten wird.
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Der
Abstand zwischen der zweiten Endoberfläche 326 und
der Abstützoberfläche 333 entspricht der
Dicke des Schwingungsisolators 315. Die Schwingungsdämpfungseigenschaft
des Schwingungsisolators 315 hängt von der Federkonstanten des
Schwingungsisolators 315 ab. Das heißt, dass die
Schwingungsdämpfungseigenschaft des Schwingungsisolators 315 von
der Dicke des Schwingungsisolators 315 abhängt.
Daher wird bevorzugt, dass die Dicke des Schwingungsisolators 315 konstant gehalten
wird, um Herstellungsschwankungen zu verringern. In dem neunten
Ausführungsbeispiel kann der Säulenabschnitt 343 der
Haltevorrichtung zur Montage 340 in die Öffnung 334 des
Gehäuses 312 eingesetzt oder eingeführt
werden, wie in 17 gezeigt ist, wenn die innere
Einheit 311 in einem in 16C gezeigten
Herstellungsschritt an dem Gehäuse 312 befestigt
wird. Bei einem solchen Ansatz wird der Abstand zwischen der zweiten
Endoberfläche 326 und der Abschnittsoberfläche 333 konstant gehalten,
so dass demgemäß die Dicke des Schwingungsisolators 315 konstant
gehalten wird. Folglich kann die Schwingungsdämpfungseigenschaft
des Schwingungsisolators 315 genau auf einen gewünschten
Wert eingestellt werden.
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Die
Haltevorrichtung zur Montage 340 kann einen Magneten wie
einen Permanentmagneten oder einen Elektromagneten aufweisen, und
ein Deckel 324 der inneren Einheit 311 kann aus
einem magnetischen Material wie beispielsweise Eisen oder einer Eisen-Nickel-Kobalt-Legierung
hergestellt sein. Bei einem solchen Ansatz wird die innere Einheit 311 lösbar
durch Magnetkraft an der Haltevorrichtung zur Montage 340 befestigt.
Folglich kann die innere Einheit 311 sicher durch die Haltevorrichtung
zur Montage 340 abgestützt werden, bis das Elastomer
aushärtet, um den Schwingungsisolator 315 auszubilden.
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Zusätzlich
zu dem vorstehend beschriebenen Vorteil kann die Verwendung der
Haltevorrichtung zur Montage 340 den folgenden Vorteil
bereitstellen. Der Säulenabschnitt 343 der Haltevorrichtung
zur Montage 340 kann in die Öffnung 334 des Gehäuses 312 wie
in 18 gezeigt eingesetzt werden, wenn die innere
Einheit 311 und das Gehäuse 312 über
den Bonddraht 316 in einem in 16D gezeigten
Herstellungsschritt elektrisch miteinander verbunden werden. Bei
einem solchen Ansatz kann auch dann, wenn der Schwingungsisolator 315 weich ist,
die innere Einheit 311 in Bezug auf das Gehäuse 312 genau
positioniert werden. Daher können die innere Einheit 311 und
das Gehäuse 312 über den Bonddraht 16 akkurat
zusammengeschaltet bzw. miteinander verbunden werden.
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Wie
vorstehend beschrieben wurde, werden in Übereinstimmung
mit dem neunten Ausführungsbeispiel die innere Einheit 311 und
das Gehäuse 312 durch den Schwingungsisolator 315,
der aus einem weichen Elastomer hergestellt ist, zusammengefügt. Der
Schwingungsisolator 315 befindet sich zwischen der zweiten
Endoberfläche 326 der inneren Einheit 311 und
der Abschnittsoberfläche 333 des Gehäuses 312.
Das heißt, dass die innere Einheit 311 und das Gehäuse 312 nicht
in direktem Kontakt miteinander stehen. Da der Schwingungsisolator 315 weich
ist, absorbiert der Schwingungsisolator 315 eine relative Schwingung
zwischen der inneren Einheit 311 und dem Gehäuse 312,
während er die innere Einheit 311 gegen das Gehäuse 312 abstützt.
Die Festigkeit und die Federkonstante des Schwingungsisolators 315 können
durch Ändern der Dicke des Schwingungsisolators 315 und
des Prozentsatzes von in dem Schwingungsisolator 315 enthaltenen
Blasen leicht eingestellt werden. Daher kann eine Federkonstante des
Schwingungsisolators 315 leicht auf einen gewünschten
Wert eingestellt werden, der es dem Schwingungsisolator 315 erlaubt,
die relative Schwingung zwischen der inneren Einheit 311 und dem
Gehäuse 312 ohne eine Reduktion der Festigkeit
zu verringern.
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Das
Gehäuse 312 weist die Öffnung 334 auf, die
durch den Abstützabschnitt 332 hindurch tritt
bzw. ihn durchdringt, und die Haltevorrichtung 340 kann dazu
verwendet werden, den Sensor für eine physikalische Größe 310 durch
Einsetzen der Haltevorrichtung zur Montage 340 in die Öffnung 334 herzustellen.
Die Federkonstante des Schwingungsisolators 315 hängt
von der Dicke des Schwingungsisolators 315 ab. Der Abstand
zwischen der zweiten Endoberfläche 326 der inneren
Einheit 311 und der Abschnittsoberfläche 333 des
Gehäuses 312 kann durch Abstützen der
inneren Einheit 311 mit der Haltevorrichtung zur Montage 340 genau
eingestellt werden. Demgemäß wird die Dicke des
Schwingungsisolators 315 genau eingestellt, so dass der
Schwingungsisolator 314 eine gewünschte Federkonstante haben
kann. Ferner kann die innere Einheit 311 in Bezug auf das
Gehäuse 312 durch Abstützen der inneren
Einheit 311 mit der Haltevorrichtung zur Montage 340 genau
positioniert werden. Daher können die innere Einheit 311 und
das Gehäuse 312 über den Bonddraht 16 akkurat
miteinander verbunden werden.
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(Zehntes Ausführungsbeispiel)
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Nachstehend
wird ein Sensor für eine physikalische Größe 310 in Übereinstimmung
mit einem zehnten Ausführungsbeispiel der Erfindung unter
Bezugnahme auf die 19A und 19B beschrieben.
Ein Unterschied zwischen dem neunten und dem zehnten Ausführungsbeispiel
ist wie folgt.
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In
dem zehnten Ausführungsbeispiel weist das Gehäuse 312 ein
vorübergehend abstützendes Element 351 auf.
Das vorübergehend abstützende Element 351 ist über
einen Trennabschnitt 352 mit dem Gehäuse 312 zusammengefügt
bzw. verbunden. Das heißt, dass das Gehäuse 312,
das vorübergehend abstützende Element 351,
und der Trennabschnitt 352 als ein Stück ausgebildet
sind. Das vorübergehend abstützende Element 351 kann
von dem Gehäuse 312 durch Schneiden des Trennabschnitts 352 entfernt
werden. Folglich ist das vorübergehend abstützende
Element 351 lösbar an dem Gehäuse 312 befestigt.
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Der
Sensor für eine physikalische Größe 310 weist
ein Führungselement 353 auf. Das Führungselement 353 befindet
sich so auf einer inneren Wand des Gehäuses 312,
dass es einer äußeren Wand der inneren Einheit 311 gegenüber
liegt. Wenn die innere Einheit 311 in dem Gehäuse 312 gehalten
wird, gerät das Führungselement 353 in
Kontakt mit der Außenwand der inneren Einheit 311,
so dass die innere Einheit 311 in Bezug auf das Gehäuse 312 genau
positioniert werden kann. Auf diese Art und Weise definiert das
Führungselement 353 eine horizontale Position
der inneren Einheit 311 in Bezug auf das Gehäuse 312.
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Nachstehend
wird ein Beispiel eines Verfahrens zur Herstellung des Sensors für
eine physikalische Größe 310 des zehnten
Ausführungsbeispiels unter Bezugnahme auf die 20A bis 20D beschrieben.
Zunächst wird, wie in 20A gezeigt
ist, der Leiterrahmen 313 mit dem Gehäuse so spritzgegossen,
dass der Leiterrahmen 313 und das Gehäuse 312 zusammengefügt
werden können. In diesem Zustand verbleibt das vorübergehend
abstützende Element 351 über den Trennabschnitt 352 mit
dem Gehäuse 312 verbunden. Dann wird, wie in 20B gezeigt ist, ein Elastomer für den
Schwingungsisolator 315 auf die Abstützoberfläche 333 des
Abstützabschnitts 332 aufgebracht. Dann wird,
wie in 20C gezeigt ist, die innere
Einheit 311 durch das Elastomer an dem Gehäuse 312 befestigt,
bevor das Elastomer aushärtet (das heißt, hart
wird). In dieser Zeit ist, da die innere Einheit 311 durch
das vorübergehend abstützende Element 351 abgestützt
wird, die zweite Endoberfläche 326 der inneren Einheit 311 nicht
in direktem Kontakt mit der Abstützoberfläche 333.
Wie die Haltevorrichtung zur Montage 340 des neunten Ausführungsbeispiels
definiert das vorübergehend abstützende Element 351 den
Abstand zwischen der zweiten Endoberfläche 326 der
inneren Einheit 311 und der Abstützoberfläche 333 des
Gehäuses 312. Das heißt, dass das vorübergehend
abstützende Element 351 die Dicke des Schwingungsisolators 315 definiert.
Die horizontale Position der inneren Einheit 311 wird durch
das Führungselement 353 bestimmt, welches in Kontakt
mit der äußeren Wand der inneren Einheit 311 ist.
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Nachdem
das Elastomer aushärtet, um den Schwingungsisolator 315 auszubilden,
wird das vorübergehend abstützende Element 351 wie
in 20D gezeigt von dem Gehäuse 312 entfernt. Zum
Beispiel kann das vorübergehend abstützende Element 351 durch
Schmelzen des Trennabschnitts mit einem Laserstrahl von dem Gehäuse 312 entfernt werden.
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Wie
vorstehend beschrieben wurde, weist in Übereinstimmung
mit dem zehnten Ausführungsbeispiel das Gehäuse 312 das
vorübergehend abstützende Element 351 auf,
das so angeordnet ist, dass es die Öffnung 334 abdeckt
und von dem Gehäuse 312 entfernbar ist. Ferner
befindet sich das Führungselement 353 so auf der
inneren Wand des Gehäuses 312, dass es der äußeren
Wand der inneren Einheit 311 gegenüber liegt.
Die innere Einheit 311 ist derart an dem Gehäuse 312 befestigt,
dass die innere Einheit 311 durch das vorübergehend
abstützende Element 351 abgestützt wird,
und derart, dass das Führungselement 353 in Kontakt
mit der äußeren Wand der inneren Einheit 311 ist.
Bei einem solchen Ansatz kann die innere Einheit 311 in
Bezug auf das Gehäuse 312 genau positioniert werden.
Demgemäß kann der Schwingungsisolator 315 eine
gewünschte Dicke und eine gewünschte Federkonstante
haben. Die innere Einheit 311 wird über den Schwingungsisolator 315 gegen
das Gehäuse 312 abgestützt, nachdem das
vorübergehend abstützende Element 351 von
dem Gehäuse 312 entfernt ist. Auf diese Art und
Weise kann die Federkonstante des Schwingungsisolators 315 leicht
und genau auf einen gewünschten Wert eingestellt werden.
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(Elftes Ausführungsbeispiel)
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Nachstehend
wird ein elftes Ausführungsbeispiel der Erfindung unter
Bezugnahme auf 21 beschrieben.
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In
dem elften Ausführungsbeispiel beinhaltet, wie in 21 gezeigt
ist, der Schwingungsisolator 315 ein Abstandseinstellelement 361 und
ein Klebeelement 362. Das Abstandseinstellelement 361 liegt
in der Form eines Festkörpers vor. Das Klebeelement 362 liegt
in der Form einer Flüssigkeit oder eines halbfesten Körpers
vor und wird nach dem Aushärten fest. Das Abstandseinstellelement 361 und das
Klebeelement 362 können aus demselben Material
hergestellt sein. Zum Beispiel können das Abstandseinstellelement 361 und
das Klebeelement 362 aus einem weichen Material wie beispielsweise einem
Elastomer hergestellt sein. Alternativ können das Abstandseinstellelement 361 und
das Klebeelement 362 aus unterschiedlichen Materialien
hergestellt sein.
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In
dem elften Ausführungsbeispiel wird das Abstandseinstellelement 361 zwischen
die zweite Endoberfläche 326 der inneren Einheit 311 und
die Abstützoberfläche 333 des Gehäuses 312 gelegt, wenn
die innere Einheit 311 an dem Gehäuse 312 befestigt
wird. Da das Abstandseinstellelement 361 in der Form eines
Festkörpers vorliegt, wird der Abstand zwischen der zweiten
Endoberfläche 326 der inneren Einheit 311 und
der Abstützoberfläche 333 des Gehäuses 312 durch
das Abstandseinstellelement 361 bestimmt. Das heißt,
dass das Abstandseinstellelement 361 den Abstand zwischen
der inneren Einheit 311 und dem Gehäuse 312 definiert.
Das Klebeelement 362 wird so um das Abstandseinstellelement 361 herum
aufgebracht, dass das Abstandseinstellelement 361 mit dem
Klebeelement 362 abgedeckt werden kann. Die innere Einheit 311 und
das Gehäuse 312 werden zusammengefügt
(das heißt, gebondet), wenn das Klebeelement 362 aushärtet.
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Wie
vorstehend beschrieben wurde, beinhaltet in Übereinstimmung
mit dem elften Ausführungsbeispiel der Schwingungsisolator 315 das
Abstandseinstellelement 361 und das Klebeelement 362.
Die innere Einheit 311 wird über das Abstandseinstellelement 361 weich
gegen das Gehäuse 312 abgestützt und über
das Klebeelement 362 mit dem Gehäuse 312 verbunden.
Das Klebeelement 362 wird in dem Zustand auf das Abstandseinstellelement 361 aufgebracht,
in dem die innere Einheit 311 über das Abstandseinstellelement 361 gegen
das Gehäuse 312 abgestützt wird. Bei
einem solchen Ansatz werden die innere Einheit 311 und
das Gehäuse 312 zusammengefügt, während
der Abstand zwischen der inneren Einheit 311 und dem Gehäuse 312 auf
einem vorbestimmten Abstand gehalten wird, der durch das Abstandseinstellelement 361 definiert
wird. Eine Federkonstante des Schwingungsisolators 315 hängt von
der Größe des Abstandseinstellelements 361 ab. Daher
kann die Federkonstante des Schwingungsisolators 315 durch Ändern
der Größe des Abstandseinstellelements 361 leicht
und genau auf einen gewünschten Wert eingestellt werden.
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(Zwölftes Ausführungsbeispiel)
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Nachstehend
wird ein zwölftes Ausführungsbeispiel der Erfindung
unter Bezugnahme auf 22 beschrieben.
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In
dem zwölften Ausführungsbeispiel ist, wie in 22 gezeigt
ist, die Abstützoberfläche 333 des Abstützabschnitts 332 geringfügig
zurückstehend bzw. ausgenommen, um einen zurückstehenden bzw.
ausgenommenen Abschnitt 371 mit einer vorbestimmten Tiefe
auszubilden. In 22 ist der zurückstehende
Abschnitt 371 kreisförmig. Alternativ kann der
zurückstehende Abschnitt 371 eine andere Form als
ein Kreis haben. Das Elastomer für den Schwingungsisolator 315 wird
auf den zurückstehenden Abschnitt 371 aufgebracht.
Da der zurückstehende Abschnitt 371 eine vorbestimmte
Tiefe hat, kann das auf den zurückstehenden Abschnitt 371 aufgebrachte Elastomer
trotz der Tatsache, dass das Elastomer in der Form einer Flüssigkeit
oder eines halbfesten Körpers vorliegt, innerhalb des zurückstehenden
Abschnitts 371 verbleiben. Folglich kann der Schwingungsisolator 315 in
einer korrekten Position auf der Abstützoberfläche 333 erzeugt
werden. Das heißt, das der zurückstehende Abschnitt 371 eine
Position des Schwingungsisolators 315 definiert. Ferner
kann dann, wenn der Schwingungsisolator 315 das Abstandseinstellelement 361 des
elften Ausführungsbeispiels beinhaltet, der Schwingungsisolator 315 durch
Platzieren des Abstandseinstellelements 361 in dem zurückstehenden
Abschnitt 371 in einer korrekten Position erzeugt werden.
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Wie
vorstehend beschrieben wurde, weist in Übereinstimmung
mit dem elften Ausführungsbeispiel der Abstützabschnitt 332 den
zurückstehenden Abschnitt 371 auf der Abstützoberfläche 333 auf.
Der Schwingungsisolator 315 kann durch Verwenden des zurückstehenden
Abschnitts 371 leicht in einer korrekten Position erzeugt
werden.
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(Dreizehntes Ausführungsbeispiel)
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Nachstehend
wird ein dreizehntes Ausführungsbeispiel der Erfindung
unter Bezugnahme auf 23 beschrieben. Ein Unterschied
zwischen dem dreizehnten Ausführungsbeispiel und den vorangehenden
Ausführungsbeispielen ist wie folgt. In den vorangehenden
Ausführungsbeispielen hat die Öffnung 334 des
Gehäuses 312 eine Kreuzform. Demgegenüber
hat in dem dreizehnten Ausführungsbeispiel die Öffnung 334 des
Gehäuses 312 eine Kreisform, und ist der Abstützabschnitt 332 zwischen
der kreisförmigen Öffnung 334 und dem
Gehäusekörper 331 ausgebildet. Wie das
zwölfte Ausführungsbeispiel kann die Abstützoberfläche 333 des
Abstützabschnitts 332 ausgenommen sein, um den
zurückstehenden Abschnitt 371 auszubilden.
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Wie
vorstehend beschrieben wurde, hat in Übereinstimmung mit
dem dreizehnten Ausführungsbeispiel die Öffnung 334 des
Gehäuses 312 eine kreisförmige Form.
Das heißt, dass die Öffnung 334 des Gehäuses 312 nicht
auf eine bestimmte Form wie beispielsweise eine Kreuzform beschränkt
ist.
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(Vierzehntes Ausführungsbeispiel)
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Nachstehend
wird ein vierzehntes Ausführungsbeispiel der Erfindung
unter Bezugnahme auf 24 beschrieben.
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In
dem vierzehnten Ausführungsbeispiel weist, wie in 24 gezeigt
ist, das Gehäuse 312 ein elastisches Abstützelement 381 auf,
das sich zwischen dem Gehäusekörper 331 und
dem Abstützabschnitt 332 befindet. Das heißt,
dass der Gehäusekörper 331 und der Abstützabschnitt 332 als
separate Teile bereitgestellt und dann über das elastische
Abstützelement 381 zusammengefügt bzw.
miteinander verbunden werden. Zum Beispiel ist das elastische Abstützelement 381 aus
einem elastischen Element wie beispielsweise einer Schraubenfeder
(das heißt, einer Spiralfeder) hergestellt.
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Da
das Abstützelement 332 über das elastische
Abstützelement 381 gegen den Gehäusekörper 331 abgestützt
wird, kann der Abstützabschnitt 332 relativ zu
dem Gehäusekörper 331 versetzt bzw. verschoben
werden. Ferner kann der Abstützabschnitt 332 relativ
zu der inneren Einheit 311 aufgrund des Schwingungsisolator 315,
der sich zwischen der Abstützoberfläche 333 des
Abstützabschnitts 332 und der zweiten Endoberfläche 326 der
inneren Einheit 311 befindet, versetzt werden. Auf diese
Art und Weise wird die innere Einheit 311 durch nicht nur
den Schwingungsisolator 315, sondern auch das elastische
Stützelement 381 elastisch gegen das Gehäuse 312 abgestützt.
Demgemäß wird eine auf die innere Einheit 311 von
dem Gehäuse 312 übertragene Schwingung
durch nicht nur den Schwingungsisolator 315, sondern auch
durch das elastische Abstützelement 381 absorbiert.
Daher kann eine relative Schwingung zwischen der inneren Einheit 311 und dem
Gehäuse 312 wirkungsvoll verringert werden.
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(Fünfzehntes Ausführungsbeispiel)
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Nachstehend
wird ein Sensor für eine physikalische Größe 410 in Übereinstimmung
mit einem fünfzehnten Ausführungsbeispiel der
Erfindung unter Bezugnahme auf die 25A und 25B beschrieben.
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Der
Sensor für eine physikalische Größe 410 beinhaltet
eine innere Einheit 411 (als einen Sensorabschnitt), ein
Gehäuse 412, einen Leiterrahmen 413,
einen ersten Schwingungsisolator 415, einen Bonddraht 416,
und einen zweiten Schwingungsisolator 418. Die innere Einheit 411 hat
im wesentlichen dieselbe Struktur wie die inneren Einheiten der
vorangehenden Ausführungsbeispiele. Obwohl dies in den 25A und 25B nicht
gezeigt ist, beinhaltet der Sensor für eine physikalische
Größe 410 ferner eine Abdeckung zum Schützen
der inneren Einheit 411. Der erste und der zweite Schwingungsisolator 415, 418 bilden
eine Schwingungsisolationsstruktur.
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Die
innere Einheit 411 wird in dem Gehäuse 412 gehalten.
Das Gehäuse 412 ist aus Harz hergestellt. Das
Gehäuse 412 hat eine rechteckige Röhrenform.
Der Leiterrahmen 413 ist mit dem Gehäuse 412 spritzgegossen.
Die innere Einheit 411 weist eine erste und eine zweite
Endoberfläche 425, 426 auf, die einander
in ihrer Dickenrichtung gegenüber liegen. Das heißt,
dass die innere Einheit 411 die gegenüber liegenden
Endseiten 425, 426 in der z-Achsen-Richtung in 25B aufweist.
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Wie
in 25A gezeigt ist, weist die innere Einheit 411 eine
Anschlussfläche 427 auf der ersten Endoberfläche 425 auf.
Die Anschlussfläche 427 ist elektrisch mit einem
(nicht gezeigten) Sensorchip und einem (nicht gezeigten) Signalverarbeitungschip verbunden.
Das Gehäuse 412 weist eine Anschlussfläche 428 auf,
die elektrisch mit dem Leiterrahmen 413 verbunden ist.
Die Anschlussfläche 427 der inneren Einheit 411 ist über
den Bonddraht 416 elektrisch mit der Anschlussfläche 428 des
Gehäuses 412 verbunden, so dass die innere Einheit 411 elektrisch
mit dem Leiterrahmen 413 verbunden sein kann.
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Das
Gehäuse 412 beinhaltet einen Gehäusekörper 431 und
einen Abstützabschnitt 432. Der Gehäusekörper 431 hat
eine rechteckige Röhrenform und umgibt die Peripherie der
inneren Einheit 411. Der Abstützabschnitt 432 erstreckt
sich von einer inneren Wand des Gehäusekörpers 431,
um eine Abstützoberfläche 433 bereitzustellen,
die der zweiten Endoberfläche 426 der inneren
Einheit 411 gegenüber liegt. Der Abstützabschnitt 432 hat
in seiner Mitte eine Öffnung 434. Die Öffnung 434 tritt
in einer Dickenrichtung des Abstützabschnitts 432 durch
den Abstützabschnitt 332 hindurch. Alternativ
können der Abstützabschnitt 432 und die Öffnung 434 dieselbe Forum
wie der Abstützabschnitt 332 und die Öffnung 334 des
neunten Ausführungsbeispiels haben.
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Wie
in 25B gezeigt ist, befindet sich der erste Schwingungsisolator 415 zwischen
der zweiten Endoberfläche 426 der inneren Einheit 411 und
der Abstützoberfläche 433 des Gehäuses 412.
Die innere Einheit 411 und das Gehäuse 412 sind über
den Schwingungsisolator 415 miteinander verbunden bzw.
zusammengefügt (beispielsweise gebondet). Folglich wird
die innere Einheit 411 über den ersten Schwingungsisolator 415 gegen
den Abstützabschnitt 432 des Gehäuses 412 abgestützt.
Zum Beispiel kann der erste Schwingungsisolator 415 aus
einem weichen Elastomer wie beispielsweise Silikongummi, bei Raumtemperatur
vulkanisierendem (RTV-)Silikongummi oder dergleichen hergestellt sein.
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Wie
in 25B gezeigt ist, befindet sich der zweite Schwingungsisolator 418 zwischen
einer äußeren Seitenwand 429 der inneren
Einheit 411 und einer inneren Seitenwand 435 des
Gehäuses 412. Im Einzelnen ist der zweite Schwingungsisolator 418 in Kontakt
mit der äußeren Seitenwand 429 und der
inneren Seitenwand 435. Der erste und der zweite Schwingungsisolator 415, 418 sind
aus unterschiedlichen Materialien hergestellt, so dass ein effektiver Elastizitätsmodul
des zweiten Schwingungsisolators 418 kleiner sein kann
als ein effektiver Elastizitätsmodul des ersten Schwingungsisolators 415.
Das heißt, dass der zweite Schwingungsisolator 418 aus
einem Material hergestellt ist, das weicher ist als ein Material,
aus welchem der erste Schwingungsisolator 415 hergestellt
ist. Zum Beispiel kann der zweite Schwingungsisolator 418 aus
einem weichen Gummi oder einem Öl (Fett) enthaltenden Gel
hergestellt sein. Ein solches Material für den zweiten
Schwingungsisolator 418 liegt vor dem Aushärten
in der Form einer Flüssigkeit oder eines halbfesten Körpers
vor. Nachdem das Material aushärtet, um den zweiten Schwingungsisolator 418 auszubilden,
wird die innere Einheit 411 über den zweiten Schwingungsisolator 418 weich
gegen das Gehäuse 412 abgestützt.
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Eine
relative Schwingung zwischen der inneren Einheit 411 und
dem Gehäuse 412 enthält eine hochfrequente
Schwingung mit einer relativ kleinen Amplitude und eine niederfrequente
Schwingung mit einer relativ großen Amplitude. Wie vorstehend
beschrieben wurde, ist der Elastizitätsmodul des zweiten
Schwingungsisolators 418 kleiner als der Elastizitätsmodul
des ersten Schwingungsisolators 415. Daher haben der erste
und der zweite Schwingungsisolator 415, 418 unterschiedliche
Schwingungsdämpfungseigenschaften. Im Einzelnen kann der
erste Schwingungsisolator 415 die hochfrequente Schwingung
verringern, und kann der zweite Schwingungsisolator 418 die
niederfrequente Schwingung verringern. Daher kann auch dann, wenn
die relative Schwingung zwischen der inneren Einheit 411 und dem
Gehäuse 412 hauptsächlich die niedrige
Frequenz der Schwingung enthält, die niederfrequente Schwingung
durch den zweiten Schwingungsisolator 418 verringert werden.
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Ferner
befindet sich der zweite Schwingungsisolator 418 zwischen
der äußeren Seitenwand 429 der inneren
Einheit 411 und der inneren Seitenwand 435 des
Gehäuses 412, und ist der Bonddraht 416,
der zwischen der inneren Einheit 411 und dem Gehäuse 412 verbunden
ist, so angeordnet, dass er den zweiten Schwingungsisolator 418 überspannt. Bei
einem solchen Ansatz begrenzt der zweite Schwingungsisolator 418 eine Änderung
des Abstands zwischen einem ersten Übergang zwischen der
inneren Einheit 411 und den Bonddraht 416 und einem
zweiten Übergang zwischen dem Gehäuse 412 und
dem Bonddraht 16, so dass Zug- und Druckkräfte,
die den Bonddraht 416 beaufschlagen, verringert werden
können.
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Wie
in 25A gezeigt ist, sind mehrere Bonddrähte 416 parallel
in einer Richtung (das heißt, der y-Achsen-Richtung in 25A) senkrecht zu einer Längenrichtung
jedes Bonddrahts 416 angeordnet, um einen elektrischen
Anschlussbereich 440 auszubilden. Im Einzelnen ist der
elektrische Anschlussbereich 440 zwischen äußersten
Bonddrähten 416 in der Richtung ausgebildet. Der
zweite Schwingungsisolator 418 erstreckt sich nach außerhalb
des elektrischen Anschlussbereichs 440 in der Richtung.
Bei einem solchen Ansatz verringert der zweite Schwingungsisolator 418 die
Drehbewegung der inneren Einheit 411 in Bezug auf das Gehäuse 412 um
die z-Achsen-Richtung in 25A.
Demgemäß werden Zug- und Druckkräfte,
die auf die Bonddrähte 416 einwirken, verringert,
so dass sichergestellt werden kann, dass die innere Einheit 411 und das
Gehäuse 412 über die Bonddrähte 416 miteinander
verbunden bleiben. In 25A sind
mehrere zweite Schwingungsisolatoren 418 in dem elektrischen
Anschlussbereich 440 zueinander beabstandet. Alternativ
können mehrere zweite Schwingungsisolatoren 418 ohne
Zwischenraum in dem elektrischen Anschlussbereich 440 angeordnet
sein. Alternativ kann ein zweiter Schwingungsisolator 418 in dem
elektrischen Anschlussbereich 440 platziert sein.
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Nachstehend
wird ein Beispiel eines Verfahrens zur Herstellung des Sensors für
eine physikalische Größe 410 des fünfzehnten
Ausführungsbeispiels unter Bezugnahme auf die 26A bis 26D beschrieben.
Zunächst wird, wie in 26A gezeigt
ist, der Leiterrahmen 413 mit dem Gehäuse 412 spritzgegossen,
so dass das Gehäuse 412 und der Leiterrahmen 413 verbunden
bzw. zusammengefügt werden können. Ferner wird
ein Elastomer für den ersten Schwingungsisolator 415 auf
die Abstützoberfläche 433 des Abstützabschnitts 432 aufgebracht.
Dann wird, wie in 26B gezeigt ist, die innere
Einheit 411 über das Elastomer an dem Gehäuse 412 befestigt,
bevor das Elastomer aushärtet. Wenn das Elastomer aushärtet,
um den ersten Schwingungsisolator 415 auszubilden, wird
die innere Einheit 411 über den ersten Schwingungsisolator 415 gegen
das Gehäuse 412 abgestützt.
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Nachdem
das Elastomer aushärtet, um den ersten Schwingungsisolator 415 auszubilden,
wird unter Verwendung einer Spendereinrichtung 450 ein Material
(beispielsweise ein Gummi oder ein Gel) für den zweiten
Schwingungsisolator 418 zwischen die innere Einheit 411 und
das Gehäuse 412 eingespritzt, wie in 26C gezeigt ist. Das Material für den
zweiten Schwingungsisolator 418 liegt in der Form einer
Flüssigkeit oder eines halbfesten Körpers vor.
Wenn das zwischen die innere Einheit 411 und das Gehäuse 412 eingespritzte
Material aushärtet, um den zweiten Schwingungsisolator 418 auszubilden,
wird der zweite Schwingungsisolator 418 in Kontakt mit
der äußeren Seitenwand 419 der inneren
Einheit 411 und der inneren Seitenwand 435 des
Gehäuses 412 gehalten.
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Dann
werden, wie in 26D gezeigt ist, die innere
Einheit 411 und das Gehäuse 412 über
den Bonddraht 416 elektrisch miteinander verbunden. Dann
wird eine (nicht gezeigte) Abdeckung an dem Gehäuse 412 befestigt,
und wird der Leiterrahmen 413 in einer vorbestimmten Form
erzeugt. Auf diese Art und Weise wird der Sensor für eine
physikalische Größe 410 vervollständigt.
Es wird angemerkt, dass das Gehäuse 412 die Öffnung 434 aufweist.
Daher kann wie in dem neunten Ausführungsbeispiel eine (nicht
gezeigte) Halteeinrichtung zur Montage zur Herstellung des Sensors
für eine physikalische Größe 410 durch
Einsetzen der Haltevorrichtung zur Montage in die Öffnung 434 verwendet
werden.
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In
dem vorstehenden Beispiel wird der Bonddraht 416 verbunden,
nachdem das Material für den zweiten Schwingungsisolator 418 eingespritzt
ist und aushärtet. Alternativ kann der Bonddraht 416 verbunden
werden, bevor das Material für den zweiten Schwingungsisolator 418 eingespritzt
wird.
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Wie
vorstehend beschrieben wurde, sind in Übereinstimmung mit
dem fünfzehnten Ausführungsbeispiel der erste
und der zweite Schwingungsisolator 415, 418 zwischen
der inneren Einheit 411 und dem Gehäuse 412 angeordnet.
Der erste Schwingungsisolator 415 befindet sich zwischen
der zweiten Endoberfläche 426 der inneren Einheit 411 und
der Abstützoberfläche 433 des Gehäuses 412.
Die innere Einheit 411 ist nicht in direktem Kontakt mit
dem Gehäuse 412. Der erste Schwingungsisolator 415 absorbiert
die relative Schwingung zwischen der inneren Einheit 411 und
dem Gehäuse 412, während er die innere
Einheit 411 mit dem Gehäuse 412 verbindet.
Der zweite Schwingungsisolator 418 hat einen Elastizitätsmodul
kleiner als der des ersten Schwingungsisolators 415. Folglich
kann der zweite Schwingungsisolator 418 eine Schwingung
mit einer Frequenz verringern, die niedriger ist als eine Frequenz einer
Schwingung, die der erste Schwingungsisolator 415 verringert.
Die relative Schwingung zwischen der inneren Einheit 411 und
dem Gehäuse 412 enthält eine hochfrequente
Schwingung und eine niederfrequente Schwingung. Der erste Schwingungsisolator 415 kann
die hochfrequente Schwingung verringern, und der zweite Schwingungsisolator 418 kann
die niederfrequente Schwingung verringern. Daher kann die relative
Schwingung zwischen der inneren Einheit 411 und dem Gehäuse 412 über
einen breiten Frequenzbereich verringert werden.
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Ferner
ist in Übereinstimmung mit dem fünfzehnten Ausführungsbeispiel
der zweite Schwingungsisolator 418 so angeordnet, dass
eine Änderung in dem Abstand zwischen dem ersten Übergang zwischen
der inneren Einheit 416 und dem Bonddraht 416 und
dem zweiten Übergang zwischen dem Gehäuse 412 und
dem Bonddraht 416 begrenzt wird. Bei einem solchen Ansatz
werden die Zug- und Druckkräfte, die auf den Bonddraht 416 einwirken, verringert,
so dass die Zuverlässigkeit der elektrischen Verbindung
zwischen der inneren Einheit 411 und dem Gehäuse
verbessert werden kann.
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Ein
flüssiges oder halbfestes Material wie beispielsweise ein
Gummi oder ein Öl enthaltendes Gel wird zwischen die innere
Einheit 411 und das Gehäuse 412 eingespritzt.
Das eingespritzte Material härtet aus, um den zweiten Schwingungsisolator 418 auszubilden.
Folglich kann der zweite Schwingungsisolator 418 leicht
zwischen der inneren Einheit 411 und dem Gehäuse 412 erzeugt
werden. Das Material für den zweiten Schwingungsisolator 418 hat
einen kleineren Elastizitätsmodul als das Elastomer für
den ersten Schwingungsisolator 415, so dass der zweite Schwingungsisolator 418 weicher
als der erste Schwingungsisolator 415 sein kann. Folglich
haben der erste und der zweite Schwingungsisolator 415, 418 unterschiedliche
Schwingungsdämpfungseigenschaften, so dass die relative
Schwingung zwischen der inneren Einheit 411 und dem Gehäuse 412 über einen
breiten Frequenzbereich verringert werden kann.
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In Übereinstimmung
mit dem fünfzehnten Ausführungsbeispiel wird,
nachdem die innere Einheit 411 an dem Gehäuse 412 befestigt
ist, auf welches das Elastomer für den ersten Schwingungsisolator 415 aufgebracht
ist, das Material für den zweiten Schwingungsisolator 418 zwischen
die innere Einheit 411 und das Gehäuse 412 eingespritzt.
Das heißt, dass der Sensor für eine physikalische
Größe 410 durch das Aufbringen des ersten
Schwingungsisolators 415 auf das Gehäuse 412,
die Befestigung der inneren Einheit 411 an dem Gehäuse 412,
und das Einspritzen des zweiten Schwingungsisolators 418 zwischen
die innere Einheit 411 und das Gehäuse 412 hergestellt
wird. Auf diese Art und Weise kann der Sensor für eine
physikalische Größe 410 durch einfache
Herstellungsschritte hergestellt werden. Der Bonddraht 416 wird
nach oder vor der Einspritzung des zweiten Schwingungsisolators 418 zwischen
der inneren Einheit 411 und dem Leiterrahmen 413 verbunden.
Wenn der Bonddraht 416 nach der Einspritzung des zweiten
Schwingungsisolators 418 verbunden wird, können
ein Herstellungsschritt zum Einspritzen des zweiten Schwingungsisolators 418 und ein
Herstellungsschritt zum Verbinden des Bonddrahts 416 durchgeführt
werden, ohne dass sie einander stören. Demgegenüber
können dann, wenn der Bonddraht 416 vor der Einspritzung
des zweiten Schwingungsisolators 418 verbunden wird, der
erste und der zweite Übergang zwischen dem Bonddraht 416 und
jeder der inneren Einheit 411 und des Leiterrahmens 413 mit
dem zweiten Schwingungsisolator 418 abgedeckt werden. Folglich
können der erste und der zweite Übergang durch
den zweiten Schwingungsisolator 418 verstärkt
werden, und darüber hinaus vor einer Beschädigung
wie beispielsweise Korrosion geschützt werden.
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(Sechzehntes Ausführungsbeispiel)
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Nachstehend
wird ein Sensor für eine physikalische Größe 410 in Übereinstimmung
mit einem sechzehnten Ausführungsbeispiel der Erfindung
unter Bezugnahme auf 27 beschrieben. Das sechzehnte
Ausführungsbeispiel ist eine Modifikation des fünfzehnten
Ausführungsbeispiels. Ein Unterschied zwischen dem fünfzehnten
und dem sechzehnten Ausführungsbeispiel ist wie folgt.
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In
dem sechzehnten Ausführungsbeispiel ist der zweite Schwingungsisolator 418 den
ersten Schwingungsisolator 415 umgebend angeordnet. Ein flüssiges
oder halbfestes Material (beispielsweise ein Gummi oder ein Gel)
für den zweiten Schwingungsisolator 418 wird zwischen
die äußere Seitenwand 429 in der inneren
Einheit 411 und die innere Seitenwand 435 des
Gehäuses 412 eingespritzt. Falls die Viskosität
des Materials klein ist, entweicht das Material zwischen der äußeren
Seitenwand 429 und der inneren Seitenwand 435 aufgrund
seines Gewichts bzw. gleitet dort ab. Infolge dessen bewegt sich
das Material um den ersten Schwingungsisolator 415 herum
und härtet dort aus, um den zweiten Schwingungsisolator 418 auszubilden.
Auf diese Art und Weise ist der zweite Schwingungsisolator 418 um den
ersten Schwingungsisolator 415 herum angeordnet. Auch wenn
der zweite Schwingungsisolator 418 den ersten Schwingungsisolator 415 umgebend
angeordnet ist, kann der zweite Schwingungsisolator 418 die
Schwingung zwischen der inneren Einheit 411 und dem Gehäuse 412 verringern,
und kann darüber hinaus eine Änderung des Abstands
zwischen dem ersten und dem zweiten Übergang begrenzen, um
die den Bonddraht 416 beaufschlagenden Zug- und Druckkräfte
zu verringern.
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In 27 ist
der zweite Schwingungsisolator 418 nicht zwischen den ersten
Schwingungsisolatoren 415 angeordnet, von denen sich jeder
an einer Ecke der inneren Einheit 411 befindet. Alternativ kann
der zweite Schwingungsisolator 418 zwischen den ersten
Schwingungsisolatoren 415 angeordnet sein. Das heißt,
dass keine Notwendigkeit besteht, den Fluss des flüssigen
oder halbfesten Materials zum Erzeugen des zweiten Schwingungsisolators 418 zu
steuern.
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(Siebzehntes Ausführungsbeispiel)
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Nachstehend
wird ein Sensor für eine physikalische Größe 410 in Übereinstimmung
mit einem siebzehnten Ausführungsbeispiel unter Bezugnahme auf 28 beschrieben.
In den vorangehenden Ausführungsbeispielen ist der Bonddraht
auf einem Paar von gegenüber liegenden Seiten der rechteckigen
inneren Einheit bereitgestellt. In dem siebzehnten Ausführungsbeispiel
ist der Bonddraht 416 auf einer Seite 463 in der
rechteckigen inneren Einheit 411 zusätzlich zu
einem Paar von gegenüber liegenden Seiten 461, 462 der
rechteckigen inneren Einheit 411 bereitgestellt. Die Seite 463 befindet
sich zwischen den Seiten 461, 462, um die Seiten 461, 462 zu
verbinden. Eine Anschlussfläche 464 ist auf der
Seite 463 der inneren Einheit 411 ausgebildet,
und eine Anschlussfläche 465 ist auf dem Gehäuse 412 so
erzeugt, dass sie gegenüber liegend zu der Anschlussfläche 464 angeordnet
ist. Die Anschlussfläche 464, 465 sind über
den Bonddraht 416 elektrisch miteinander verbunden. Mehrere
Bonddrähte 416 sind parallel auf der Seite 461 angeordnet,
um einen elektrischen Anschlussbereich 467 auszubilden,
und mehrere Bonddrähte 416 sind parallel auf der
Seite 463 angeordnet, um einen elektrischen Anschlussbereich 468 auszubilden.
Da drei elektrische Anschlussbereiche 466 bis 468 ausgebildet
sind, sind drei zweite Schwingungsisolatoren 418 bereitgestellt.
Die zweiten Schwingungsisolatoren 418 erstrecken sich nach außerhalb
jeweils der elektrischen Anschlussbereiche 466, 467,
und 468.
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Wie
vorstehend beschrieben wurde, ist in Übereinstimmung mit
dem siebzehnten Ausführungsbeispiel der zweite Schwingungsisolator 418 auf
jeder Seite der inneren Einheit 411, an der der elektrische
Anschlussbereich ausgebildet ist, bereitgestellt. Bei einem solchen
Ansatz wird eine Änderung des Abstands zwischen dem ersten Übergang zwischen
der inneren Einheit 411 und dem Bonddraht 416 und
dem zweiten Übergang zwischen dem Gehäuse 412 und
dem Bonddraht 416 verringert, so das die Zug- und Druckkräfte,
die auf den Bonddraht 416 einwirken, verringert werden
können. Demgemäß kann die Zuverlässigkeit
der elektrischen Verbindung zwischen der inneren Einheit 411 und
dem Gehäuse 412 verbessert werden.
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(Achtzehntes Ausführungsbeispiel)
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Nachstehend
wird ein Sensor für eine physikalische Größe 410 in Übereinstimmung
mit einem achtzehnten Ausführungsbeispiel der Erfindung
unter Bezugnahme auf 29 beschrieben. Das achtzehnte
Ausführungsbeispiel ist ähnlich zu dem fünfzehnten
Ausführungsbeispiel. Ein Unterschied zwischen dem fünfzehnten
und dem achtzehnten Ausführungsbeispiel besteht darin,
dass ein zweiter Schwingungsisolator 470 des achtzehnten
Ausführungsbeispiels so vorgeformt ist, dass er eine vorbestimmte
Form aufweist. Der zweite Schwingungsisolator 470 hat einen
Elastizitätsmodul, der kleiner ist als der des ersten Schwingungsisolators 415,
und weist eine Dicke auf, die dem Abstand zwischen der inneren Einheit 411 und
dem Gehäuse 412 entspricht. Im Einzelnen hat der
zweite Schwingungsisolator 470 eine Dicke, die geringfügig
größer ist als der Abstand zwischen der inneren
Einheit 411 und dem Gehäuse 412.
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Wie
in dem fünfzehnten Ausführungsbeispiel kann der
zweite Schwingungsisolator 470 aus einem Gummi mit einem
kleinen Elastizitätsmodul oder einem Öl enthaltenden
Gel hergestellt sein. Der zweite Schwingungsisolator 470 ist
nicht auf eine bestimmte Form beschränkt. Zum Beispiel
kann der zweite Schwingungsisolator 470 eine zylindrische
Form wie in 30A gezeigt, eine rechteckförmige
zylindrische Form wie in 30B gezeigt,
eine hohlzylindrische Form mit einer zylindrischen Öffnung 471 wie
in 30C gezeigt, oder eine hohlrechteckzylindrische Form
mit einer rechteckzylindrischen Öffnung 471 wie
in 30D gezeigt haben. Der zweite Schwingungsisolator 470 kann
aus einem porösen Schaummaterial hergestellt sein, so dass
der zweite Schwingungsisolator 470 eine Vielzahl von Blasen
(das heißt, Löcher) haben kann.
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Nachstehend
wird ein Beispiel eines Verfahrens zur Herstellung des Sensors für
eine physikalische Größe 410 des achtzehnten
Ausführungsbeispiels unter Bezugnahme auf die 31A bis 31B beschrieben.
Zunächst wird, wie in 31A gezeigt
ist, der Leiterrahmen 413 mit dem Gehäuse 412 so
spritzgegossen, dass das Gehäuse und der Leiterrahmen 413 zusammengefügt
werden können. Ferner wird ein Elastomer für den
ersten Schwingungsisolator 415 auf die Abstützoberfläche 433 des
Abstützabschnitts 432 aufgebracht. Dann wird,
wie in 31B gezeigt ist, die innere
Einheit 411 über das Elastomer an dem Gehäuse 412 befestigt,
bevor das Elastomer aushärtet. Wenn das Elastomer aushärtet,
um den ersten Schwingungsisolator 415 auszubilden, wird
die innere Einheit 411 durch den ersten Schwingungsisolator 415 gegen
das Gehäuse 412 abgestützt.
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Nachdem
das Elastomer aushärtet, um den ersten Schwingungsisolator 415 auszubilden,
wird der zweite Schwingungsisolator 418, der so vorgeformt
ist, dass er eine vorbestimmte Form hat, zwischen die innere Einheit 411 und
das Gehäuse 412 platziert, wie in 31C gezeigt ist. Im Einzelnen hat der vorgeformte
zweite Schwingungsisolator 418 eine Dicke, die geringfügig
größer ist als der Abstand zwischen der äußeren
Seitenwand 429 der inneren Einheit 411 und der
inneren Seitenwand 435 des Gehäuses 412,
und wird zwischen die äußere Seitenwand 429 und
die innere Seitenwand 435 eingepresst. Folglich kann der
zweite Schwingungsisolator 418 zwischen der äußeren
Seitenwand 429 und der inneren Seitenwand 435 verbleiben.
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Dann
werden, wie in 31D gezeigt ist, die innere
Einheit 411 und das Gehäuse 412 über
den Bonddraht 416 elektrisch miteinander verbunden. Dann
wird eine (nicht gezeigte) Abdeckung an dem Gehäuse 412 befestigt,
und wird der Leiterrahmen 413 in einer vorbestimmten Form
ausgebildet. Auf diese Art und Weise wird der Sensor für
eine physikalische Größe 410 vervollständigt.
Es wird angemerkt, dass das Gehäuse 412 die Öffnung 434 aufweist.
Daher kann wie in dem neunten Ausführungsbeispiel eine
(nicht gezeigte) Haltevorrichtung zur Montage dazu verwendet werden,
den Sensor für eine physikalische Größe 410 durch
Einsetzen der Haltevorrichtung zur Montage in die Öffnung 434 herzustellen.
Es wird bevorzugt, dass ein Herstellungsschritt zum Verbinden des
Bonddrahts 416 zwischen der inneren Einheit 411 und
dem Leiterrahmen 413 vor einem Herstellungsschritt zum
Platzieren des zweiten Schwingungsisolators 470 zwischen
die innere Einheit 411 und das Gehäuse 412 durchgeführt wird.
Bei einem solchen Ansatz kann der Herstellungsschritt zum Platzieren
des zweiten Schwingungsisolators 470 leicht durchgeführt
werden.
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Wie
vorstehend beschrieben wurde, wird in Übereinstimmung mit
dem achtzehnten Ausführungsbeispiel, nachdem die innere
Einheit 411 an dem Gehäuse 412 befestigt
ist, auf welches das Elastomer für den ersten Schwingungsisolator 415 aufgetragen
ist, der vorgeformte zweite Schwingungsisolator 470 zwischen
die innere Einheit 411 und das Gehäuse 412 gepresst.
Das heißt, dass der Sensor für eine physikalische
Größe 410 durch das Aufbringen des ersten
Schwingungsisolator 415 auf das Gehäuse 412,
das Befestigen der inneren Einheit 411 an dem Gehäuse 412,
und das Pressen des zweiten Schwingungsisolators 418 zwischen
die innere Einheit 411 und das Gehäuse 412 hergestellt wird.
Auf diese Art und Weise kann der Sensor für eine physikalische
Größe 410 durch einfache Herstellungsschritte
hergestellt werden. Ferner kann, da der zweite Schwingungsisolator 470 fest
bzw. massiv und vorgeformt ist, jeder zweite Schwingungsisolator 470 eine
gleichförmige Dämpfungseigenschaft haben.
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Der
zweite Schwingungsisolator 470 kann eine hohle Form mit
der Öffnung 471 wie in den 30C und 30D gezeigt haben. Bei einem solchen Ansatz wird
der zweite Schwingungsisolator 470 weicher und verringert
somit die niederfrequente Schwingung wirkungsvoller. Die Anzahl,
die Form und die Anordnung der Öffnung(en) 471 kann
in Übereinstimmung mit der Frequenz der zu verringernden
Schwingung eingestellt werden. Folglich kann der zweite Schwingungsisolator 419 die Schwingung über
einen breiten Frequenzbereich verringern.
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(Neunzehntes Ausführungsbeispiel)
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Nachstehend
wird ein Sensor für eine physikalische Größe 410 in Übereinstimmung
mit einem neunzehnten Ausführungsbeispiel der Erfindung
unter Bezugnahme auf 32 beschrieben. Ein Unterschied
zwischen dem achtzehnten und dem neunzehnten Ausführungsbeispiel
ist wie folgt.
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In
dem neunzehnten Ausführungsbeispiel beinhaltet der Sensor
für eine physikalische Größe 410 eine
Metallfeder 480 mit einer vorbestimmten Form anstelle des
vorgeformten zweiten Schwingungsisolators 470 des achtzehnten
Ausführungsbeispiels.
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Wie
der zweite Schwingungsisolator 470 wird die Metallfeder 480 zwischen
die innere Einheit 411 und das Gehäuse 412 platziert,
nachdem die innere Einheit 411 über den ersten
Schwingungsisolator 415 an dem Gehäuse 412 befestigt
ist. Im Einzelnen hat die Metallfeder 480 eine Gesamtlänge,
die geringfügig größer ist als der Abstand zwischen
der äußeren Seitenwand 429 der inneren
Einheit 411 und der inneren Seitenwand 435 des
Gehäuses 412, und wird zwischen die äußere
Seitenwand 429 und die innere Seitenwand 435 gepresst.
Folglich kann die Metallfeder 480 zwischen der äußeren
Seitenwand 429 und der inneren Seitenwand 435 verbleiben.
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Wie
vorstehend beschrieben wurde, wird in Übereinstimmung mit
dem neunzehnten Ausführungsbeispiel, nachdem die innere
Einheit 411 an dem Gehäuse 412 befestigt
ist, auf welches das Elastomer für den ersten Schwingungsisolator 415 aufgebracht
ist, die Metallfeder 480 zwischen die innere Einheit 411 und
das Gehäuse 412 eingepresst. Das heißt,
dass der Sensor für eine physikalische Größe 410 durch
das Aufbringen des ersten Schwingungsisolators 415 auf
das Gehäuse 412, das Befestigen der inneren Einheit 411 an
dem Gehäuse 412, und das Einpressen der Metallfeder 480 zwischen
die innere Einheit 411 und das Gehäuse 412 hergestellt wird.
Auf diese Art und Weise kann der Sensor für eine physikalische
Größe 410 durch einfache Herstellungsschritte
hergestellt werden. Es wird bevorzugt, dass ein Herstellungsschritt
zum Verbinden des Bonddrahts 416 zwischen der inneren Einheit 411 und
dem Leiterrahmen 413 vor einem Herstellungsschritt zum
Platzieren der Metallfeder 480 zwischen der inneren Einheit 411 und
dem Gehäuse 412 durchgeführt wird. In
einem solchen Ansatz kann der Herstellungsschritt zum Platzieren
der Metallfeder 480 einfach durchgeführt werden.
Ferner kann, da die Metallfeder fest bzw. massiv und vorgeformt
ist, um eine vorbestimmte Form zu haben, jede Metallfeder 480 eine
gleichförmige Dämpfungseigenschaft in Übereinstimmung
mit der Frequenz der zu verringernden Schwingung haben.
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Nachstehend
wird ein Sensor für eine physikalische Größe 410 in Übereinstimmung
mit einem zwanzigsten Ausführungsbeispiel der Erfindung
unter Bezugnahme auf 32 beschrieben.
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In
dem zwanzigsten Ausführungsbeispiel beinhaltet, wie in 33 gezeigt
ist, der Sensor für eine physikalische Größe 410 ein
Paar von zweiten Schwingungsisolatoren 490. Die zweiten
Schwingungsisolatoren 490 sind zwischen der inneren Einheit 411 angeordnet
und stellen einen Freiraum 491 dazwischen bereit. Das heißt,
dass die Gesamtdicke der zweiten Schwingungsisolatoren 490 geringfügig kleiner
ist als der Abstand zwischen der inneren Einheit 411 und
dem Gehäuse 412. Ein zweiter Schwingungsisolator 490 ist
mit der inneren Seitenwand 435 des Gehäuses 412 verbunden,
und der andere zweite Schwingungsisolator 490 ist mit der äußeren
Seitenwand 429 der inneren Einheit 411 verbunden.
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Um
die elektrische Verbindung zwischen der inneren Einheit 411 und
dem Gehäuse 412 (das heißt, dem Leiterrahmen 413)
zu gewährleisten, besteht eine Notwendigkeit zum Verringern
einer niederfrequenten Schwingung mit einer relativ großen Amplitude.
Der Freiraum 491 verhindert, dass eine Wackelschwingung
(das heißt, eine hochfrequente Schwingung) mit einer relativ
kleinen Amplitude zwischen der inneren Einheit 411 und
dem Gehäuse 412 übertragen wird. Wenn
eine niederfrequente Schwingung mit einer großen Amplitude
auftritt, geraten die einander gegenüber liegenden zweiten
Schwingungsisolatoren 490 in Kontakt miteinander, wodurch die
zwischen der inneren Einheit 411 und dem Gehäuse 412 übertragene
niederfrequente Schwingung verringert wird. Auf diese Art und Weise
kann der Freiraum 491 die Schwingung über einen
breiten Frequenzbereich verringern.
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Nachstehend
werden Modifikationen des zwanzigsten Ausführungsbeispiels
unter Bezugnahme auf die 34 und 35 beschrieben.
In einer in 34 gezeigten Modifikation ist
ein Schwingungsisolator 490 mit der inneren Seitenwand 435 des
Gehäuses 412 an einem Ende verbunden bzw. zusammengefügt,
und an dem anderen Ende von der äußeren Seitenwand 429 der
inneren Einheit 411 beabstandet. Der zweite Schwingungsisolator 490 hat die
Dicke, die geringfügig kleiner ist als der Abstand zwischen
der inneren Einheit 411 und dem Gehäuse 412,
so dass der Freiraum 491 zwischen der inneren Einheit 411 und
dem zweiten Schwingungsisolator 490 ausgebildet werden
kann. In einer anderen, in 35 gezeigten
Modifikation ist ein zweiter Schwingungsisolator 490 mit
der äußeren Seitenwand 429 der inneren
Einheit 411 an einem Ende zusammengefügt bzw.
verbunden, und an dem anderen Ende von der inneren Seitenwand 435 des
Gehäuses 412 beabstandet. Der zweite Schwingungsisolator 490 hat
die Dicke, die geringfügig kleiner ist als der Abstand
zwischen der inneren Einheit 411 und dem Gehäuse 412,
so dass der Freiraum 491 zwischen der inneren Einheit 411 und
dem zweiten Schwingungsisolator 490 ausgebildet werden
kann. Auf diese Art und Weise kann der zweite Schwingungsisolator 490 zwischen
der inneren Einheit 411 und dem Gehäuse 412 so
angeordnet werden, dass er sowohl ein festes Ende als auch ein freies
Ende hat.
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Derartige Änderungen
und Modifikationen werden als innerhalb des Schutzbereichs der Erfindung
wie durch die beigefügten Ansprüche definiert liegend
verstanden.
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Somit
wurde ein Sensor für eine physikalische Größe
beschrieben, beinhaltend einen Sensorabschnitt 311, ein
Gehäuse 312, und einen Schwingungsisolator 315.
Das Gehäuse beinhaltet einen Abstützabschnitt 332 mit
einer Abstützoberfläche 333, die so angeordnet
ist, dass sie einer Endoberfläche 326 des Sensorabschnitts 311 gegenüber
liegt. Der Schwingungsisolator 315 ist zwischen der Endoberfläche 326 des
Sensorabschnitts 311 und der Abstützoberfläche 333 des
Gehäuses 312 angeordnet, um den Sensorabschnitt 311 mit
dem Gehäuse zu verbinden. Der Schwingungsisolator vermindert
eine relative Schwingung zwischen dem Sensorabschnitt 311 und
dem Gehäuse 312.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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- - JP 2007-212174
A [0003]