DE102005002541A1

DE102005002541A1 - Magnetisches Aufzeichnungsmedium mit neuer Unterschichtstruktur

Info

Publication number: DE102005002541A1
Application number: DE200510002541
Authority: DE
Inventors: Sudhir S. Fremont Malhotra; Gerardo Redwood City Bertero; Ching Cupertino Tsoi; Donald San Jose Stafford
Original assignee: Komag Inc
Current assignee: WD Media LLC
Priority date: 2004-01-21
Filing date: 2005-01-19
Publication date: 2005-08-11
Also published as: US7179549B2; US20050158588A1; MY139255A; JP2005209335A

Abstract

Ein gemäß der Erfindung aufgebautes magnetisches Aufzeichnungsmedium umfasst ein Substrat, über dem Substrat ausgebildete erste, zweite und dritte Unterschichten und eine über den Unterschichten ausgebildete magnetische Datenaufzeichnungsschicht. Typischerweise haben die Unterschichten eine bcc Kristallstruktur und umfassen Cr oder Cr-Legierungen. Die magnetische Datenaufzeichnungsschicht weist eine hcp Kristallstruktur auf und umfasst eine Co-Legierung. Die zweite Unterschicht umfasst typischerweise ein Material wie etwa B, welches dazu tendiert, die Kristallgröße der zweiten Unterschicht und der darauf abgelagerten Schichten zu vermindern und ebenfalls die Kristallabstände zu vergrößern.

Description

Hintergrund der Erfindung
Diese Erfindung bezieht sich auf magnetische Aufzeichnungsmedien.

1 illustriert ein typisches magnetisches Aufzeichnungsmedium 1 des Stands der Technik, das ein Substrat 2 (z. B. eine Aluminiumlegierung 2a, die mit einer NiP-Legierung 2b plattiert ist), eine Cr-(oder Cr-Legierungs)-Unterschicht 4, eine magnetische Co-Legierungsschicht 5 und einen schützenden Überlack 6 umfasst. Die NiP-Legierungsschicht 2b wird vor der Ablagerung der Schichten 4, 5 und 6 texturiert. Die Cr-Unterschicht 4 hat eine bcc-Kristallstruktur und eine (200)-Kristallorientierung. Die Unterschicht 4 stellt sicher, dass die hc-Co-Legierungsschicht 5 mit 1120-Kristallorientierung Kristallkeime bildet und wächst. Weiterhin stellt die Cr-Unterschicht 4 auch sicher, dass die magnetische Co-Legierungsschicht 5 magnetische Anisotropie in Richtung der in der Schicht 3 ausgebildeten Texturlinien zeigt.

Es ist bekannt, anstelle der Verwendung einer einzelnen Cr-Unterschicht 4 ein Aufzeichnungsmedium 1a zu bilden, das erste und zweite Cr-Unterschichten 4a, 4b (2) umfasst. Siehe beispielsweise US-Patent 6,303,217, erteilt an Malhotra et al., welches eine Struktur diskutiert, bei der die Schicht 4a Cr ist und eine Schicht 4b eine CrMo₂₀-Legierung ist. (Wie hierin verwendet, bezieht sich eine Referenz auf eine Legierung CrA_x auf eine Zusammensetzung Cr_100–xA_x. In ähnlicher Weise bezieht sich CrA_xB_y auf eine Zusammensetzung Cr_100–x–yA_xB_y). Reines Cr ist mit der NiP-Schicht 2b kompatibler als die CrMo₂₀-Schicht 4b und CrMo₂₀ stellt eine bessere Nukleationsoberfläche für die Co-Legierung bereit als reines Cr. Somit zeigt das Medium 1a von 2 eine bessere Leistung als das Medium 1 von 1. (Malhota berichtet, dass Medium 1a ein verbessertes Rauschverhalten zeigt.)

Zusammenfassung der Erfindung

Ein magnetisches Aufzeichnungsmedium, das in Übereinstimmung mit der Erfindung konstruiert ist, umfasst ein Substrat, eine auf dem Substrat ausgebildete erste Unterschicht, eine auf der ersten Unterschicht ausgebildete zweite Unterschicht, eine auf der zweiten Unterschicht ausgebildete dritte Unterschicht und eine auf der dritten Unterschied ausgebildete magnetische Legierungsschicht. Die Unterschichten haben typischerweise eine bcc-Kristallstruktur und können Cr oder eine Cr-Legierung umfassen. Die magnetische Legierung hat typischerweise eine hcp Kristallstruktur und umfasst eine Co-Legierung.

In einer Ausführungsform umfasst das Substrat Glas, Glaskeramik oder eine Aluminiumlegierung, die mit einer stromlos abgeschiedenen Nickel-Phosphor-Legierung beschichtet ist. In einigen Fällen, z. B. im Fall eines Glas- oder Glaskeramik-Substrats, wird eine amorphe Metallschicht zwischen dem Substrat und der ersten Unterschicht bereitgestellt.

Bei einer Ausführungsform umfasst die erste Unterschicht Cr oder CrX, wo X eines oder mehrere von Mo, Ta, W, Ru, O, Ti, Si, Cu oder C ist. X kann eine Konzentration von 0 bis 40 Atom% aufweisen. Wie oben erwähnt, hat die erste Unterschicht typischerweise eine bcc-Kristallstruktur. Die erste Unterschicht dient als Nukleationsschicht.

Die zweite Unterschicht umfasst typischerweise Cr und B und kann ein oder mehrere zusätzliche Materialien wie etwa Mo, Ta, W, Ru, O, Ti, Si, Cu oder C umfassen. B kann eine Konzentration zwischen 1 und 15 Atom% und in einer Ausführungsform zwischen 3 und 10 Atom% aufweisen. Ohne an eine bestimmte Theorie gebunden zu sein, wird angenommen, dass B (Bor) dazu tendiert, an den Kristallgrenzen zu segregieren und auch dazu tendiert, die Kristalle dazu zu veranlassen, kleiner zu sein, als sie bei Abwesenheit von B sein würden. Die Kristalle in der zweiten Unterschied dienen als Matrize für das Wachstum von Kristallen in der dritten Unterschicht und der magnetischen Legierungsschicht. Somit wird die Kristallgröße in der magnetischen Legierungsschicht effektiv vermindert. Auch führt der oben erwähnte Segregationseffekt zur Korntrennung in der magnetischen Legierungsschicht. Auch dies vermindert den Betrag an Rauschen, das vom Medium gezeigt wird.

Die dritte Unterschicht umfasst typischerweise Cr und kann auch ein oder mehr Additive enthalten, z. B. Mo, Ta, W, Ru, O, Ti, Si, Cu oder C. Falls man eine Co-Legierungs-Magnetschicht direkt auf der zweiten Unterschicht (die B enthält) ausgebildet, beeinträchtigt das Bor (welches dazu tendiert, zur Oberfläche der zweiten Unterschicht zu migrieren) nachteilig das epitaxiale Wachstum der Magnetschicht, und es wird schwierig, die gewünschte kristallographische Textur zu erzielen. Durch Bereitstellen der dritten Unterschicht (der B fehlt oder im wesentlichen fehlt) verhindert man diesen Effekt. Bei einer Ausführungsform umfasst die dritte Unterschicht weniger als 1% Bor.

Falls man versucht, eine Bor-enthaltende Unterschicht auf der NiP-plattierten Oberflächen des Substrats zu bilden, behindert dies die Bildung der gewünschten kristallographischen Textur. Dementsprechend fehlt oder fehlt im wesentlichen der ersten Unterschicht in einer bevorzugten Ausführungsform Bor. Bei einer ersten Ausführungsform umfasst die Unterschicht weniger als 1% Bor.

Die zweite Unterschicht kann zusätzlich zu B Additive umfassen, z. B. Mo oder Ta. Solche Additive können auch Mediumrauschen durch Änderung der Spannung an den Kornübergängen und/oder dem oben erwähnten Segregationsmechanismus vermindern. Andere Additive, welche das Segregationsphänomen zeigen können, die in der zweiten Unterschicht (zusätzlich zu B) vorgesehen sein können, beinhalten Si, P, SiO₂ oder andere Materialien, die keine oder minimale Löslichkeit in Cr zeigen. Auch kann, wie oben erwähnt, W, Ru, O, Ti, Cu und/oder C enthalten sein.

Kurze Beschreibung der Zeichnungen
1 und 2 illustrieren im Querschnitt gemäß dem Stand der Technik aufgebaute magnetische Aufzeichnungsmedien.
3 illustriert im Querschnitt ein gemäß einer ersten Ausführungsform der Erfindung aufgebautes magnetisches Aufzeichnungsmedium.
4 illustriert im Querschnitt ein gemäß einer zweiten Ausführungsform der Erfindung aufgebautes Aufzeichnungsmedium.
5 illustriert im Querschnitt ein gemäß einer dritten Ausführungsform der Erfindung aufgebautes Aufzeichnungsmedium.
6 illustriert im Querschnitt ein gemäß einer vierten Ausführungsform der Erfindung aufgebautes Aufzeichnungsmedium.
7 illustriert im Querschnitt ein Magnetscheibenlaufwerk, das ein gemäß der Erfindung aufgebautes magnetisches Aufzeichnungsmedium umfasst.
Diese Figuren sind nicht maßstäblich.
Detaillierte Beschreibung
Erste Ausführungsform der Erfindung
Ein Aufzeichnungsmedium 100 (3), das gemäß einer Ausführungsform der Erfindung aufgebaut ist, umfasst ein Substrat 102, drei Unterschichten 104a, 104b, 104c, eine Magnetschicht 106 und eine schützende Überzugsschicht 108. Das Substrat 102 umfasst typischerweise ein Aluminiumlegierungssubstrat 102a, das mit stromlos abgeschiedenem NiP 102b abgedeckt ist. Jedoch könnte das Substrat 102 ebenso Glas, Glaskeramik oder andere Strukturen umfassen.
Typischerweise werden Texturlinien in der Oberfläche der NiP-Schicht 102b ausgebildet, z. B. unter Verwendung eines mechanischen Texturierungsverfahrens. Diese Texturlinien erstrecken sich typischerweise in Umfangsrichtung, oder allgemein in Umfangsrichtung (mit etwas Kreuzschraffur). Optional kann dies unter Verwendung eines Verfahrens, wie in US-Patentanmeldung 10/299,028, eingereicht von Andrew Homola am 18. November 2002, erreicht werden, die hierin als Referenz inkorporiert wird.
Die Unterschichten 104a, 104b und 104c werden typischerweise durch Zerstäuben oder eine andere Vakuumabscheidungstechnik ausgebildet. Beispielsweise kann ein In-Line- oder ein statischer Zerstäubungsapparat verwendet werden. (Der Zerstäubungsapparat kann ein Anelva 3010-System, ein Ulvac SHD-Inline-System, ein Intevac 250B-System oder ein anderes System sein.) Das Zerstäuben kann in einer Ar-Atmosphäre zwischen 3 und 10 mTorr erzielt werden, während 100 bis 1000 W am Zerstäubungsziel ("Target") angelegt werden. In einer Ausführungsform ist die Schicht 104a Cr oder eine Cr-Legierung, z.B. CrMo₆ oder CrO_0,5. Die Schicht 104b ist eine Cr-Legierung, wie etwa CrB, CrRuB, CrMoB. Beispielsweise kann die Schicht 104b CrMo_xB_y sein, wobei x zwischen 10 und 25 und y zwischen 1 und 10 ist, z.B. CrB₁, CrB₂, CrB₅, CrB₇, CrB₁₀, CrMo₁₀B₅, CrMo₁₅B₅, CrMo₁₅B₇, CrMo₁₅Ti₅B₃, CrRu₅B₅ oder CrTi₅B₅. Schicht 104c ist eine CrMo_x-Legierung, bei der x zwischen 10 und 25 ist, z.B. CrMo₁₅, CrMo₂₀, CrMo₂₅, CrMo₂₀Ta₂ oder CrMo₁₅Ru₅. Die Schichten 104 können 1,5 bis 10 nm dick sein, z.B. zwischen 2 und 5 nm dick. Bei einer Ausführungsform sind die Schichten 104a, 104b und 104c 3, 2 bzw. 2 nm dick. Bei einer anderen Ausführungsform sind sie 4, 2,5 und 2,5 nm dick.
Die Schicht 106 ist typischerweise eine magnetische Co-Legierung und kann eine Zusammensetzung wie unten dargestellt aufweisen. Die Schicht 108 kann Kohlenstoff, hydrogenierter Kohlenstoff, nitrogenierter Kohlenstoff, Kohlenstoff, der sowohl Wasserstoff als auch Stickstoff enthält, ein keramisches Material wie etwa Zirkonoxid oder ein anderes geeignetes hartes Material sein. Die Überschicht kann wie in US-Patent 6,565,719, erteilt an Lairson et al. am 20. Mai 2003, hierin durch Referenz inkorporiert, sein. Die Schichten 106 und 108 können durch ein Vakuumabscheidungsverfahren, wie etwa Zerstäubung, gebildet werden. Zusätzlich können andere Abscheidungsverfahren, wie etwa die durch Lairson beschriebenen, verwendet werden. Typischerweise kann ein Gleitmittel (nicht gezeigt), wie auch durch Lairson beschrieben, auf das Medium aufgebracht werden.
Obwohl diese Figuren nur die verschiedenen auf einer Seite des Substrats 102 (aus Gründen der einfachen Illustration) abgeschiedenen Schichten zeigen, können die oben beschriebenen Schichten auch (und sind typischerweise) auf beiden Seiten des Substrats 102 abgeschieden werden.
Die Schichten 104a, 104b und 104c haben typischerweise eine bcc Kristallstruktur und eine (200)-Kristallorientierung. Vorzugsweise ist die dominante Komponente der Schichten 104a, 104b und 104c Cr.
Die Schicht 106 ist eine magnetische hcp Co-Legierung mit einer 1120-Kristallorientierung. Die Unterschichten 104 erleichtern die 1120-Orientierung von Schicht 106, wie auch die magnetische Anisotropie allgemein längs der Richtung der im Substrat 102 ausgebildeten Texturlinien. Die Schicht 106 wird für Längsaufzeichnung verwendet.
Wie oben erwähnt, zeigt eine Magnetplatte, die gemäß der Erfindung aufgebaut ist, ein überlegenes Signalrauschverhältnis ("SNR", signal to noise ratio). Tabelle 1 unten zeigt das Ergebnis eines die Platten A und B vergleichenden Experiments. Die Platte A wurde gemäß dem Stand der Technik aufgebaut und umfasste ein NiP-platiertes Al-Legierungssubstrat, eine erste 4 nm dicke Cr-Unterschicht, eine zweite 4 nm dicke CrMo-Unterschicht und eine magnetische CoPtBCr-Legierung. Die Platte B enthielt eine erste Cr- Unterschicht, eine zweite CrMoB-Unterschicht und eine dritte CrMo-Unterschicht. (Die Unterschichten waren 3, 2,5 bzw. 2,5 nm dick.) Wie ersichtlich zeigte die Platte B (gemäß der Erfindung aufgebaut) ein überlegenes SNR. Wie oben erwähnt wird angenommen, dass dies auf die Tatsache zurückzuführen ist, dass Bor dazu tendiert, die Korngröße zu vermindern und die Korntrennung der zweiten Unterschicht zu verbessern. Diese verminderte Korngröße und verbessern Korntrennung verursachen den selben Effekt in der dritten Unterschicht und der Magnetschicht, wodurch das Medienrauschen vermindert wird.
Tabelle I
Tabelle II unten zeigt die Rauscheigenschaften von Platte C (die eine erste Cr-Unterschicht und eine zweite CrMo-Unterschicht umfasst) mit Platte D (die eine erste Cr-Unterschicht, eine zweite CrB-Unterschicht und eine dritte CrMo-Unterschicht umfasst). Die Unterschichtdicken für Tabelle II waren die gleichen wie in Tabelle I. Wieder ist ersichtlich, dass das SNR von Platte D besser (größer) als das von Platte C war.
Tabelle II
Tabelle III unten vergleicht die Rauscheigenschaften von Platte E (die eine erste Cr-Unterschicht und eine zweite CrMo-Unterschicht umfasst) mit Platte F (die eine erste Cr- Unterschicht, eine zweite CrRuB-Unterschicht und eine dritte CrMo-Unterschicht umfasst). Die Schichtdicken für Tabelle III waren die selben wie für Tabellen I und II. Wiederum ist ersichtlich, dass das SNR von Platte F (3 Unterschichten umfassend, einschließlich einer mittleren Unterschicht, die B umfasst) besser (größer) als das von Platte E (mit nur zwei Unterschichten) war.
Tabelle III
(Bei alternativen Ausführungsformen, bei denen die Schicht 104b CrRuB umfasst, kann der Ru-Gehalt zwischen 2 und 20 Atom% betragen und der B-Gehalt kann zwischen 1 und 10 Atom% betragen.)
Tabelle IV unten vergleicht Platte G (die zwei Unterschichten umfasst) und die Platten H, I, J und K (die drei Unterschichten mit verschiedenen Dicken aufweisen). Wie ersichtlich, zeigten Platten, die drei gemäß der vorliegenden Erfindung aufgebaute Unterschichten umfassten, überlegene SNRs. Dieser Effekt war bis zu einem gewissen Grade insensitiv für die Schichtdicke.
Tabelle IV
Wie oben erwähnt, würde ohne Anwesenheit der dritten Unterschicht 104c (der im Wesentlichen Bor fehlt) das Bor in der Schicht 104b nachteilig der epitaxiale Wachstum der Magnetschicht 106 beeinträchtigen. Die Tabelle V unten illustriert das Signalrauschverhältnis für Platte L, der Schicht 104c fehlt, und Platte M, die Schicht 104c enthält. Wie ersichtlich, zeigt die Platte M eine überlegene Rauschleistung im Vergleich zur Platte L.
Tabelle V
Zweite Ausführungsform der Erfindung
Unter Bezugnahme auf 4 wird in einer alternativen Ausführungsform der vorliegenden Erfindung eine Nukleationsschicht 105 zwischen der dritten Unterschicht 104c und der magnetischen Legierung 106 vorgesehen. Die Nukleationsschicht 105 ist typischerweise eine hcp-CoCr-Legierung, die eine Ebenenorientierung der Magnetlegierung 106 erleichtert. Details bezüglich der Nukleationsschicht 105 werden im US-Patent 6,500,567, erteilt an Bertero et al. am 31.12.2002, hierin durch Referenz inkorporiert, diskutiert. Bei einer Ausführungsform umfasst die Schicht 105 zusätzlich zu Co und Cr auch Ta und wird bei relativ langsamer Rate abgeschieden. Die Schicht 105 erleichtert eine Gitterpassung zwischen der Unterschicht 104c und der Magnetlegierung 106.
Dritte Ausführungsform der Erfindung
Unter Bezugnahme auf 5 enthält in einer dritten Ausführungsform eine gemäß der Erfindung aufgebaute Magnetscheibe eine auf der dritten Unterschicht 104c ausgebildete Magnetschicht 106a, eine Zwischenschicht 107 (typischerweise Ru) und eine auf der Zwischenschicht 107 ausgebildete zweite Magnetschicht 106b. Die Zwischenschicht 107 ist typischerweise 3 bis 10 Angstrom dick und erleichtert eine antiferromagnetische Kopplung zwischen den magnetischen Schichten 106a und 106b. Die antiferromagnetische Kopplung vergrößert die thermische Stabilität des Aufzeichnungsmediums, während sie die Länge des Übergangsbereichs zwischen benachbarten magnetisierten Bereichen vermindert. Details bezüglich solch einer antiferromagnetischen Schicht und Magnetfilme, die in Verbindung damit verwendet werden können, sind in der US-Patentanmeldung 10/075,123, dargestellt, die von Bertero et al. am 12.02.2002 eingereicht worden ist (Veröffentlichungsnr. 2003/0152805, veröffentlicht am 14.08.2003) und die hier als Referenz inkorporiert wird.
Vierte Ausführungsform der Erfindung
Ein magnetisches Aufzeichnungsmedium gemäß der Ausführungsform von 6 umfasst eine obere Magnetschicht 106d, die CoCr_aPt_bB_c sein kann, wobei a 9 bis 18, b 8 bis 16 und c 8 bis 18 ist. Darunter kann eine Magnetschicht 106c CoCr_dPt_eX_fB_g liegen, bei der d 20 bis 25, e 8 bis 16 ist, X gleich W, Ta, V oder Ti sein kann, f 0 bis 5 sein kann und g 0 bis 10 sein kann. Darunter kann die magnetische Schicht 106b CoCr_hTa_iB_j sein, wobei h 10 bis 20 ist, i 0 bis 7 ist und j 0 bis 6 ist. Darunter liegt die Ru-Zwischenschicht 107, unter der die Magnetschicht 106a liegt. Die Schicht 106a kann CoCr_kTa_lB_m sein, wobei k 10 bis 20 ist, l 0 bis 7 ist und m 0 bis 6 ist. Darunter liegt eine Nukleationsschicht 105, die CoCr_nTa_oB_p sein kann, wobei n 12 bis 25, o 0 bis 5 und p 0 bis 6 ist.
Industrieller Einsatz
Ein gemäß der Erfindung aufgebautes magnetisches Aufzeichnungsmedium ist typischerweise eine in ein Plattenlaufwerk eingebaute Magnetplatte (z. B. die in das Plattenlaufwerks 102 eingebaute Platte 100, wie in 7 illustriert). Die Platte 100 ist auf einer Spindel 122 montiert, die wiederum mit einem Motor 124 gekoppelt ist und von ihm angetrieben wird. Ein Paar von Leseschreibköpfen 126a, 126b fliegen in enger Nähe zur Platte 100 und lesen Daten von und schreiben Daten auf die magnetische Aufzeichnungsschicht auf jeder Seite der Platte 100. Die Leseschreibköpfe 126a, 126b sind auf Armen 128a, 128b montiert, die wiederum auf einem Drehaktuator 130 zum Heranbewegen der Köpfe 126a, 126b an die verschiedenen Spuren auf Platte 100 gekoppelt sind.
Während 7 eine Platte innerhalb des Laufwerks 120 illustriert, können in anderen Ausführungen mehr als eine Platte innerhalb des Laufwerks 120 liegen. Während 6 zwei Leseschreibköpfe 126a, 126b zum Lesen und Beschreiben von Daten auf beiden Seiten von Platte 100 zeigt, sind in anderen Ausführungsformen auch nur ein Schreiblesekopf zum Lesen von Daten von und Schreiben von Daten auf nur eine der Platten 100 vorgesehen.
Wahrend die Erfindung im Bezug auf spezifische Ausführungsformen beschrieben worden ist, werden Fachleute erkennen, dass bezüglich der Form und der Details Änderungen gemacht werden können, ohne vom Geist und Schutzumfang der Erfindung abzuweichen. Beispielsweise können zusätzliche Schichten zwischen die oben beschriebenen Schichten eingefügt werden. Auch können zusätzliche Materialien in die oben beschriebenen Schichten inkorporiert werden. Die ersten und dritten Unterschichten 104a, 104c können kleine Mengen von Bor aufweisen, z. B. weniger als 1 Atom%. Jedoch ist der Borgehalt nicht so groß, dass er die Rausch- oder Korngrößenkontrolle verschlechtert oder den Verlust der kristallographischen Struktur verursacht. Es können unterschiedliche Schichtdicken und -zusammensetzungen verwendet werden. Dementsprechend liegen alle solche Änderungen innerhalb der vorliegenden Erfindung.

Claims

Magnetisches Aufzeichnungsmedium, umfassend: ein Substrat; eine auf dem Substrat ausgebildete erste bcc-Unterschicht; eine über der ersten Unterschicht ausgebildete zweite bcc-Unterschicht, wobei die zweite Unterschicht Bor umfasst; eine über der zweiten bcc-Unterschicht ausgebildete dritte bcc-Unterschicht; und eine Magnetlegierungs-Datenaufzeichnungsschicht.
Medium nach Anspruch 1, wobei die ersten, zweiten und dritten Unterschichten bcc Cr-Legierungen umfassen und die Magnetlegierungs-Datenaufzeichnungsschicht eine hcp-Co-Legierung umfasst.
Medium nach Anspruch 2, wobei den ersten und dritten Unterschichten im Wesentlichen Bor fehlt.
Medium nach Anspruch 2, wobei die ersten und dritten Unterschichten weniger als 1% Bor umfassen.
Medium nach Anspruch 1, wobei das Bor in der zweiten Unterschicht Korntrennung in der Magnetlegierungs-Datenaufzeichnungsschicht verursacht.
Medium nach Anspruch 1, wobei das Bor in der zweiten Unterschicht eine Verminderung der Korngröße in der Magnetlegierungs-Datenaufzeichnungsschicht verursacht.
Medium nach Anspruch 1, wobei das Bor das Rauschen in dem magnetischen Aufzeichnungsmedium vermindert.
Magnetisches Aufzeichnungsmedium, umfassend: ein Substrat; eine auf dem Substrat ausgebildete, Cr umfassende erste Unterschicht; eine auf der ersten Unterschicht ausgebildete, Cr und zumindest ein Additiv umfassende zweite Unterschicht; eine dritte auf der zweiten Unterschicht ausgebildete, Cr umfassende Unterschicht; und eine auf der dritten Unterschicht ausgebildete Magnetlegierungs-Datenaufzeichnungsschicht, wobei das Additiv eine Korntrennung in der Magnetlegierungs-Datenaufzeichnungsschicht verursacht.
Medium nach Anspruch 8, wobei das Additiv Rauschen und Korngröße in der Magnetlegierungs-Datenaufzeichnungsschicht vermindert.
Magnetisches Aufzeichnungsmedium, umfassend: ein Substrat; eine auf dem Substrat ausgebildete, Cr umfassende erste Unterschicht; eine auf der ersten Unterschicht ausgebildete, Cr und zumindest ein Additiv umfassende zweite Unterschicht; eine dritte auf der zweiten Unterschicht ausgebildete, Cr umfassende Unterschicht; und eine auf der dritten Unterschicht ausgebildete Magnetlegierungs-Datenaufzeichnungsschicht, wobei das Additiv eine Korngrößenverminderung in der Magnetlegierungs-Datenaufzeichnungsschicht verursacht.
Medium nach Anspruch 8 oder 10, wobei die erste, zweite und dritte Unterschicht eine bcc-Kristallstruktur aufweisen und die Magnetlegierungs-Datenaufzeichnungsschicht eine hcp-Co-Legierung umfasst und den ersten und dritten Unterschichten im Wesentlichen das Additiv fehlt.
Medium nach Anspruch 1, 8 oder 10, weiterhin umfassend eine zwischen der dritten Unterschicht und der Magnetlegierungs-Datenaufzeichnungsschicht ausgebildete Nukleationsschicht.
Medium nach Anspruch 1, 8 oder 10, weiterhin umfassend eine amorphe Metallschicht zwischen dem Substrat und der ersten Unterschicht.
Medium nach Anspruch 1, 8 oder 10, weiterhin umfassend eine auf der Magnetlegierungs-Datenaufzeichnungsschicht ausgebildete Kopplungsschicht und eine auf der Kopplungsschicht ausgebildete zweite magnetische Schicht, wobei die Magnetlegierungs-Datenaufzeichnungsschicht und die zweite magnetische Schicht miteinander antiferromagnetisch verbunden sind.
Magnetplattenlaufwerk, umfassend das Magnetaufzeichnungsmedium von Anspruch 1, 8 oder 10.