DE4325329C2 - Magnetisches Aufzeichnungsmedium und Verfahren zu seiner Herstellung - Google Patents
Magnetisches Aufzeichnungsmedium und Verfahren zu seiner HerstellungInfo
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Description
Die vorliegende Erfindung betrifft ein magnetisches Aufzeich
nungsmedium und ein Verfahren zu seiner Herstellung.
Magnetische Festplatten sind in der Vergangenheit vielfach
als externe Aufzeichnungsgeräte oder Speicher für Informa
tionsverarbeitungsgeräte einschließlich Computern eingesetzt
worden. Fig. 6 zeigt den grundsätzlichen Aufbau der Magnet
speicherplatte (magnetisches Aufzeichnungsmedium) wie sie
allgemein für diese Festplatten eingesetzt wird. Die Magnet
speicherplatte weist eine nicht-magnetische Basis aus einer
nicht-magnetischen Metallschicht 12 auf, die auf einem nicht
magnetischen Träger 11 ausgebildet ist. Auf diese nicht-mag
netische Basis 1 ist eine nicht-magnetische Metallgrund
schicht 2 auflaminiert. Auf dieser Metallgrundschicht 2 ist
ein Magnetschicht 3 in Form eines Dünnfilms ausgebildet, der
aus einer ferromagnetischen Legierung aus Kobald-Chrom-Tantal
(Co-Cr-Ta) besteht. Auf dieser Magnetschicht 3 befindet sich
eine amorphe Carbonschutzschicht 4. Auf der Schutzschicht 4
ist die Magnetspeicherplatte mit einer Schmierschicht 5 ver
sehen.
Die nicht-magnetische Basis 1 in dieser Anordnung kann ein
Glassubstrat 11 enthalten, das hochglanzgeschliffen wurde und
mit der nicht-magnetischen Metallschicht 12 aus Cr versehen
wurde, eine Basis aus anodisiertem Aluminium oder eine Kera
mikbasis. Diese nicht-magnetische Basis 1 kann poliert werden
und nach Bedarf unter Verwendung von Texturen mit Unregel
mäßigkeiten versehen werden. Die Metallgrundschicht 2 aus Cr
mit einer Schichtdicke von 100 nm (1000 Å) die Magnetschicht
3 aus Co86Cr12Ta2 mit einer Schichtdicke von 50 nm (500 Å)
und die Schutzschicht 4 aus amorphem Kohlenstoff mit einer
Schichtdicke von 20 nm (200 Å) sind in dieser Reihenfolge
durch ein Sputterverfahren bei Erhitzung der nicht-magneti
schen Basis auf 320°C und Anlegen einer Gleichspannung von
200 V auf laminiert. Auf die Schutzschicht 4 ist zur Bildung
der Schmierschicht 5 ein flüssiges Schmiermittel auf der
Basis von Fluorkohlenstoff mit einer Schichtdicke von 2 nm
(20 Å) aufgetragen, womit die Herstellung der Magnetspeicher
platte beendet ist. Eine auf diese Weise hergestellte Magnet
speicherplatte hat gute mechanische Eigenschaften, wie mecha
nische Festigkeit und Dimensionsgenauigkeit, sowie gute mag
netische Eigenschaften wie eine Koerzitivkraft Hc von immer
hin etwa 1000 A/cm (1300 Oe ≈ 1035 A/cm) und eine Produkt
Br . d aus Remanenz und Magnetschichtdicke von immerhin 4 . 10-4
Tµm (400 Gµm).
Als Folge der zunehmenden Menge von verfügbarer Information
sowie deren zunehmender Vielfalt in den vergangenen Jahren
hat die Notwendigkeit einer großen Informationsverarbeitungs
menge eine starke Nachfrage nach magnetischen Festplatten
laufwerken mit höherer Speicherdichte und höherer Kapazität
erzeugt. Demgemäß ergibt sich auch für Magnetspeicherplatten,
die in den Magnetplattenlaufwerken verwenden werden, die For
derung nach einem Medium, das den Schwebungsabstand des Mag
netkopfes zu verringern erlaubt, damit der Notwendigkeit nach
einer größeren Speicherdichte und einer größeren Kapazität
Rechnung getragen werden kann.
Allgemein machen Magnetplattenlaufwerke zum Lesen und Schrei
ben von Informationen von einem Kontakt-Start-Stoppbetrieb
(CSS) Gebrauch, wo der Magnetkopf beim Betrieb zum Lesen oder
Schreiben von Information etwas oberhalb der Magnetspeicher
platte schwebt. Wenn bei diesem CSS System der Betrieb
stoppt, berührt der Magnetkopf die Oberfläche der Magnetspei
cherplatte. Wenn diese Oberfläche hochglanzpoliert ist, kann
der Magnetkopfinfolge des großen Reibungskoeffizienten zwi
schen ihm und der Magnetspeicherplatte an der Oberfläche der
letzteren festhaften. Darüberhinaus kann die von dem auf der
Oberfläche der Magnetspeicherplatte beim Inbetriebsetzen glei
tenden Magnetkopf erzeugte große Reibkraft bewirken, daß die
Magnetschicht verschleißt. Obwohl also die Magnetspei
cherplatte mit dem anhand von Fig. 6 erläuterten Aufbau eine
hervorragende Oberflächenglätte aufweist, die eine Reduzierung
des Schwebungsabstands des Magnetkopfes erlaubt, ist sie
infolge der oben beschriebenen Gleiteigenschaften des Magnet
kopfs doch nicht als Magnetspeicherplatte so zuverlässig. Eine
Erhöhung der Oberflächenrauheit der Magnetspeicherplatte ver
mindert zwar den Reibungskoeffizienten zwischen ihrer Oberflä
che und dem Magnetkopf, wodurch verhindert werden kann, daß
der Magnetkopf an der Magnetspeicherplatte anhaftet, so daß
die Gleiteigenschaften des Magnetkopf also verbessert werden.
Eine Erhöhung der Oberflächenrauheit auf der Magnetspeicher
platte führt jedoch zu dem Problem, daß zur Verhinderung eines
sogenannten "Headcrush", d. h. einer Berührung zwischen Magnet
kopf und Magnetspeicherplatte bei relativ hoher Relativge
schwindigkeit, ein größerer Schwebungsabstand für den Magnet
kopf erforderlich ist, was jeglichen Versuch einer Erhöhung
der Speicherkapazität zunichte macht.
Aus der DE 24 02 481 A ist ein magnetisches Speichermedium
bekannt, bei dem auf eine flexible Basis aus Kunststoffmaterial
eine nicht-magnetische metallische Schicht aufgedampft ist,
auf dieser eine Schicht aus einer ferromagnetischen Legierung
aufgedampft ist und das Material der nicht-magnetischen metal
lischen Schicht einen geringeren Siedepunkt besitzt als die
ferromagnetische Legierung.
Aus der DE 38 03 014 A1 ist ein Verfahren zur Herstellung
einer dünnen röntgenamorphen Aluminiumnitrid- oder Aluminium
siliciumnitrid-Schicht auf einer Oberfläche durch reaktive
Kathodenzerstäubung (Sputterprozeß) von Aluminium oder Alumi
nium und Silicium im Vakuum unter der Atmosphäre einer
Sputtergasmischung aus Edelgas und Stickstoff bekannt. Die
hergestellte Schicht dient - unter anderem bei magneto-opti
schen Aufzeichnungsmaterialien mit wasser- und luftempfindli
chen Aufzeichnungsschichten - der Verbesserung des Korrosions
schutzes.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein magnetisches
Aufzeichnungs- oder Speichermedium zu schaffen, das die
Gleiteigenschaften einer Magnetspeicherplatte unter gleichzei
tiger Beibehaltung einer geringen Oberflächenrauheit verbes
sert und die Erhöhung der Speicherdichte und -Kapazität durch
Verminderung des Schwebungsabstands für den Magnetkopf zu
vergrößern gestattet. Aufgabe der Erfindung ist es ferner, ein
Verfahren zur Herstellung eines solchen Mediums anzugeben.
Diese Aufgabe wird durch ein magnetisches Aufzeichnungsmedium
nach Anspruch 1 bzw ein Verfahren zu seiner Herstellung nach
Anspruch 4 gelöst.
Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unter
ansprüchen gekennzeichnet.
Zur Lösung der Aufgabe sind bei dem magnetischen Aufzeich
nungsmedium Unregelmäßigkeiten ausgebildet, die fein genug
sind, um an der Schutzschicht zu einer geringen Oberflächen
rauheit zu führen, wodurch der Reibungskoeffizient mit dem
Magnetkopf verringert wird, so daß das magnetische Aufzeich
nungsmedium sowohl die Anforderungen hinsichtlich der
Gleiteigenschaften als auch der Schwebungseigenschaften des
Magnetkopfes erfüllt.
Bei diesem magnetischen Aufzeichnungsmedium gemäß der vorlie
genden Erfindung ist auf wenigstens einer der Oberflächen,
nämlich der der nicht-magnetischen Basis und der der Dünn
film-Magnetschicht eine nicht-magnetische Metallschicht, die
Stickstoff enthält, in Form diskret verteilter, lokal ver
dichteter Metallablagerungen ausgebildet, die auf der ge
samten Oberfläche eines vorbestimmten Films feine Unregel
mäßigkeiten bilden, statt den vorbestimmten Film mit einem
Film gleichförmiger Dicke zu bedecken. Da dies zur Ausbildung
feiner Unregelmäßigkeiten an der Oberfläche der Schutzschicht
(der Schmierschicht) auf dem magnetischen Aufzeichnungsmedium
führt, die die unregelmäßigen Formen der metallischen Ablage
rungen widerspiegeln, können die Oberflächenrauheit und auch
der Schwebungsabstand des Magnetkopfes verringert werden.
Außerdem kann aber der Reibungskoeffizient zwischen dem mag
netischen Aufzeichnungsmedium und dem Magnetkopf auch verrin
gert werden, so daß ein magnetisches Aufzeichnungsmedium ge
schaffen wird, das ausgezeichnete Gleiteigenschaften auf
weist. Folglich wird es möglich, ein magnetisches Aufzeich
nungsmedium bereitzustellen, das für die verschiedenen Arten
von Magnetköpfen geeignet ist, die zur Erhöhung der Speicher
dichte verwendet werden.
Da die an der Oberfläche der Schutzschicht ausgebildeten Un
regelmäßigkeiten die unregelmäßigen Formen der Metallablage
rungen widerspiegeln, kann die Oberflächenrauheit der Schutz
schicht durch Beeinflussung der Formen der Metallablagerungen
auf den gewünschten Wert gesteuert werden. Wenn die Metallab
lagerungen so ausgebildet werden, daß ihre Größe (Breite bzw.
Quasidurchmesser) d innerhalb eines Bereichs von 15 nm bis
200 nm liegt und der Abstand t zwischen ihnen innerhalb eines
Bereichs von d/5 bis 5d, dann kann die Oberflächenrauheit der
Schutzschicht auf einen Bereich von 3 nm bis 7 nm des Mitten
rauhwerts Ra und einen Bereich von 20 nm bis 65 nm der maxi
malen Höhe Rmax begrenzt werden. Da es ferner möglich wird,
den Schwebungsabstand des Magnetkopfes innerhalb eines Berei
ches von 0,25 nm (1 µinch) bis 0,75 nm (3 µinch) zu halten,
kann die Speicherdichte in dem magnetischen Aufzeichnungsme
dium erhöht werden, und seine Tribologie mit dem Magnetkopf
kann befriedigt werden. Die Formen der Metallablagerungen
können durch Einstellen der Sputterbedingung in einer solchen
Weise gesteuert werden, daß die Heiztemperatur für die nicht
magnetische Basis innerhalb eines Bereiches von 150°C bis
400°C liegt und das Partialdruckverhältnis von Stickstoffgas
zu der aus Argon und Stickstoff bestehenden Sputtergasmi
schung innerhalb eines Bereichs von 0,5% bis 20% liegt.
Wenn das nicht-magnetische Metall zur Bildung der Metallabla
gerungen eine Metallart aus der Gruppe umfassend Al, Ta, Ti,
Si, B, Zr und Cr oder eine Legierung aus zwei oder mehr der
Metallarten ist, dann können, da alle diese Metalle eine gute
Nitridbildungsfähigkeit aufweisen, die Metallablagerungen un
geachtet der ausgewählten Metallart oder Legierung unter Ver
wendung annähernd des gleichen Filmbildungsprozesses ausge
bildet werden. Dies sichert eine hohe Produktivität.
Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachfolgend anhand
einer Magnetspeicherplatte als magnetischem Aufzeichnungsme
dium unter Bezug auf die beiliegenden Zeichnungen näher er
läutert. Es zeigen:
Fig. 1 eine Querschnittsansicht des Aufbaus einer Magnetspei
cherplatte (magnetisches Aufzeichnungsmedium) gemäß
einem ersten Ausführungsbeispiel der Erfindung,
Fig. 2(a) bis 2(c) den beobachteten Oberflächenzustand der
unregelmäßigen Schicht für verschiedene Patialdruck
verhältnisse des Stickstoffgases zur Sputtergasmi
schung, die zur Ausbildung der unregelmäßigen Schicht
verwendet wird,
Fig. 3 eine Querschnittsansicht des Aufbaus einer Magnetspei
cherplatte (magnetisches Aufzeichnungsmedium) gemäß
einem zweiten Ausführungsbeispiel der Erfindung,
Fig. 4 eine graphische Darstellung der Oberflächenrauheit der
Magnetspeicherplatte, repräsentiert durch die maxi
male Höhe Rmax, sowie des dynamischen Reibungskoeffi
zienten µD über dem Partialdruckverhältnis von Stick
stoffgas zur Sputtergasmischung, die zur Bildung der
Metallablagerungen verwendet wird,
Fig. 5 eine graphische Darstellung der Oberflächenrauhheit
der Magnetspeicherplatte, repräsentiert durch die
maximale Höhe Rmax, über der Temperatur der Basis bei
Ausbildung der Metallablagerungen, und
Fig. 6 eine Querschnittsansicht des Aufbaus einer herkömmli
chen Magnetspeicherplatte (magnetisches Aufzeich
nungsmedium).
Fig. 1 ist eine Querschnittsansicht einer Magnetspeicher
platte als eines magnetisches Aufzeichnungsmediums gemäß
einem ersten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung.
Da der Aufbau dieser Magnetspeicherplatte 10 annähernd gleich
dem herkömmlicher Magnetspeicherplatten ist, sind einander
entsprechende Teile mit denselben Bezugszahlen wie in Fig. 6
versehen und werden nicht noch einmal erläutert. Bei der Mag
netspeicherplatte dieses Ausführungsbeispiels sind auf der
Oberfläche der nicht-magnetischen Basis 1, die sich aus einem
Glasträger 11 und einer nicht-magnetischen Metallschicht 12
zusammensetzt, nicht-magnetischen Metallablagerungen 6 ausge
bildet, die Stickstoff enthalten. Die Formen der von diesen
Metallablagerungen 6 herrührenden Unregelmäßigkeiten spiegeln
sich an der Oberfläche der Schmierschicht 5, die auf der
Schutzschicht 4 ausgebildet ist, wider, wodurch ultrafeine
Unregelmäßigkeiten an der Oberfläche der Magnetspeicherplatte
10 gebildet werden.
Zur Herstellung dieser Magnetspeicherplatte 10 wurde die
Oberfläche des scheibenförmigen Glasträgers 11, nachdem die
ser hinsichtlich seines inneren und äußeren Durchmessers be
arbeitet und plangeschnitten wurde, durch ultrapräzises Ober
flächenschleifen hochglanzpoliert bis zu einem Mittenrauhwert
von 0,5 bis 1,5 nm (5 A bis 15 Å). Dann wurde der Glasträger
11 auf einen Halter gesetzt und einer Präzisionsspülung un
terzogen und in die Ladekammer einer Inline-Magnetron Sput
tervorrichtung gebracht. Die Ladekammer wurde auf ein Vakuum
von 0,7 mPa (5 . 10-6 Torr) oder weniger evakuiert und der
Glasträger 11 auf 150 °C erwärmt. Dann wurde der Halter mit
dem daraufgesetzten Glasträger 11 in eine erste Filmbildungs
kammer gebracht, die mit Argongas unter einem Druck von 0,7
Pa (5 mTorr) gefüllt war, und wo die aus Chrom bestehende
nicht-magnetische Metallschicht 12 mit einer Dicke von 50 nm
(500 Å) auf die Oberfläche des Glasträgers 11 aufgedampft
bzw. aufgesputtert wurde. Damit wurde die Basis 1 erhalten.
Als nächstes wurde die Basis 1 in eine zweite Filmbildungs
kammer gebracht, wo die Temperatur der Basis auf einen vorbe
stimmten Wert von T°C angehoben wurde. Dann wurde die zweite
Filmbildungskammer mit (Ar + N2) Gas unter einem Druck von 7
Pa (50 mTorr) gefüllt und unter diesen Bedingungen die Me
tallablagerungen 6 als Stickstoff enthaltende, nicht-magneti
sche Metallschicht auf die Basis 1 mittels einer Sputtertech
nik unter Verwendung von nicht-magnetischem Al Metall als
Target aufgebracht wird. Eine detaillierte Erläuterung hin
sichtlich der Temperatur T der Basis 1 und des Partialdruck
verhältnisses PN2 von N2 zu (Ar + N2) bei Ausbildung der
Metallablagerungen 6 erfolgt später.
Als nächstes wurde der Halter mit der darauf angeordneten
Basis, auf der nun die Metallablagerungen 6 ausgebildet
waren, in eine dritte Filmbildungskammer gebracht, wo die
Basis 1 auf eine Temperatur von 320°C erwärmt wurde. Unter
Anlegen einer Gleichspannung von -200 V an die Basis 1 (bezo
gen auf das Potential der Filmbildungskammer) wurden wiederum
durch eine Sputtertechnik nacheinander die nicht-magnetische
Metallgrundschicht 2 aus Chrom mit einer Dicke von 100 nm
(1000 Å), die Magnetschicht 3 aus einer Co86Cr12Ta2 Legierung
mit einer Dicke von 50 nm (500 Å) und die Schutzschicht 4 aus
amorphem Kohlenstoff mit einer Dicke von 20 nm (200 Å) ausge
bildet. Schließlich wurde ein flüssiges Schmiermittel auf der
Basis von Fluorkohlenstoff auf die Oberfläche der Schutz
schicht 4 mit einer Dicke von 2 nm (20 Å) zur Ausbildung
einer Schmierschicht 5 aufgetragen, womit die Magnetspeicher
platte 10 fertig war.
Fig. 2 zeigt die mit Hilfe eines eines speziellen Mikroskops
(AFM = Atomic Force Microscope) gewonnenen Beobachtungsergeb
nisse der Oberflächenform der Metallablagerungen 6 als Drauf
sichtgesehen auf die Basis, nachdem au dieser die Metallabla
gerungen 6 ausgebildet waren. Die Fig. 2 (a) bis (c) zeigen
die Ausbildungszustände der Metallablagerungen 6, die sich
bei einem jeweils anderen Partialdruckverhältnis PN2 des N2
Gases zu dem (Ar + N2) Gas ergaben, das für die Ausbildung
der Metallablagerungen 6 verwendet wird. Fig. 2 (a) zeigt den
Fall für PN2 = 1%, Fig. 2 (b) für PN2 = 10% und Fig. 2 (c)
zeigt zu Vergleichszwecken wie die Ablagerungen bei PN2 = 0%
ausgebildet werden.
In diesen Figuren, werden die Metallablagerungen 6 nicht mit
einer gleichförmigen Dicke über die gesamte Oberfläche der
Basis 1 ausgebildet, sondern Aluminium sammelt sich lokal zur
Bildung von Inseln mit Unregelmäßigkeiten an, so daß sich Ab
lagerungen in einem inselartigen Film ergeben, in dem diese
Inseln diskret über die gesamte Oberfläche der Basis 1 ver
teilt sind. Diese Neigung wird im Verhältnis mit dem Partial
druckverhältnis PN2 von N2 zu (Ar + N2) deutlicher. D.h., die
Größe der die Metallablagerungen 6 darstellenden Inseln nimmt
mit dem Partialdruckverhältnis PN2 zu, und der Abstand zwi
schen den Inseln wird größer, wie aus den Fig. ersichtlich.
Fig. 3 ist eine Querschittsansicht einer Magnetspeicherplatte
als magnetischem Aufzeichnungsmedium gemäß einem zweiten Aus
führungsbeispiel der vorliegenden Erfindung. Bei der Magnet
speicherplatte 10a dieses Ausführungsbeispiels sind Teile,
die mit denen der Magnetspeicherplatte 10 des ersten Ausfüh
rungsbeispiels von Fig. 1 identisch sind, mit denselben Be
zugszahlen versehen, und auf ihre nochmalige Erläuterung wird
hier verzichtet. Der Punkt, in dem sich diese Magnetspeicher
platte 10a von der Magnetspeicherplatte 10 unterscheidet,
ist, daß die Metallablagerungen 6 auf der Oberfläche der
Magnetschicht 3 ausgebildet sind.
Die Magnetspeicherplatte 10a dieses Ausführungsbeispiels kann
unter Verwendung nahezu derselben Verfahrensschritte, wie sie
für die Magnetspeicherplatte 10 des ersten Ausführungsbei
spiels beschrieben wurden, hergestellt werden. Bei der Mag
netspeicherplatte 10a werden die Metallgrundschicht 2 und die
Magnetschicht 3 aufeinanderfolgend auf der Basis 1 ausgebil
det, und dann werden die Metallablagerungen 6 unter Verwen
dung der gleichen Sputtertechnik wie bei dem ersten Ausfüh
rungsbeispiel auf der Magnetschicht 3 ausgebildet.
Bei einer Magnetspeicherplatte 10a diesen Aufbaus wurden
unter Verwendung eines AFM die Oberflächenformen der Metall
ablagerungen 6 in gleicher Weise wie bei dem ersten Ausfüh
rungsbeispiel beobachtet. Es zeigte sich, daß Inseln der
Metallablagerungen 6, wo sich Aluminium lokal sammelte, dis
kret über die gesamte Oberfläche der Magnetschicht 3 verteilt
waren, und es wurde verifiziert, daß die Bildungszustände der
Metallablagerungen 6 nicht sehr unterschiedlich waren, unge
achtet dessen, ob sie sich auf der Oberfläche des Basis 1
oder auf der Oberfläche der Magnetschicht 3 befanden. Es ist
also möglich, äquivalente Formen von Unregelmäßigkeiten an
der Plattenoberfläche unabhängig davon zu erzielen, ob die
Metallablagerungen 6 auf der Oberfläche der Basis oder derje
nigen der Magnetschicht 3 ausgebildet werden. Die Magnetspei
cherplatte 10 des ersten Ausführungsbeispiels, bei der die
Metallablagerungen 6 auf der Basis 1 ausgebildet sind, ist
jedoch für die Herstellung einer Platte als Medium mit hoher
Speicherdichte vorzuziehen, da der Abstand zwischen der Mag
netschicht 3 und dem Magnetkopf, also der sog. effektive
Schwebungsabstand geringer ist.
Bezüglich der Magnetspeicherplatte 10 des ersten Auführungs
beispiels und der Magnetspeicherplatte 10a des zweiten Aus
führungsbeispiels wird nun auf die Tabellen 1 und 2 Bezug ge
nommen, die Prüfungsergebnisse hinsichtlich der Eigenschaften
der Magnetspeicherplatten relativ zur Änderungen der Größe d
und des Abstands t enthalten, wobei d die durchschnittliche
Größe einer Metallablagerung 6 und t der Abstand zwischen den
Metallablagerungen 6 ist. Tabelle 1 zeigt die Eigenschaften
der Magnetspeicherplatten konzentriert auf die Größe d der
Metallablagerungen 6, während Tabelle 2 die Eigenschaften
konzentriert auf den Abstand t zwischen den Metallablagerun
gen 6 zeigt.
Die Prüfungen an den Magnetspeicherplatten beinhalteten die
Messung des Mittenrauhwerts Ra und, zusätzlich zur maximalen
Höhe Rmax, des dynamischen Reibungskoeffizienten µD (Gleit-µ)
wenn ein Dünnfilmmagnetkopf (Al2O3/Tic Gleiter) mit einer
Drehzahl von 100 Upm auf der Magnetspeicherplatte gleitete,
so wie des statischen Reibungskoeffizienten µs nach einer
Lagerung von 100 Stunden in einer Atmosphäre einer Temperatur
von 25°C und einer Feuchtigkeit von 80%. Der dynamische Rei
bungskoeffizient µD ist ein Parameter für die Abriebseigen
schaften und der statische Reibungskoeffizient µs ein Parame
ter für die Schwierigkeit, haften zu bleiben, wobei kleinere
Werte vorzuziehen sind. Außer der Messung des dynamischen
Reibungskoeffizienten µD wurde ein Test mit einem Schwebungs
abstand von 0,76 nm (3 µinch) ausgeführt, um das Auftreten
von Problemen wie etwa eines Headcrush zu untersuchen.
Tabelle 1
In Tabelle 1 bedeutet die Markierung O in der Zeile des dyna
mischen Reibungskoeffizienten µD, daß µD ≦ 0,4, die Markie
rung Δ, daß 0,4 < µD ≦ 0,7, und die Markierung X, daß 0,7 <
µD. Die Markierung O in der Zeile Schwebungseigenschaften
besagt, daß keine Probleme wie etwa ein Headcrush auftraten,
während die Markierung X besagt, daß ein solch ein Problem
auftrat.
Tabelle 2
In Tabelle 2 ist die Bedeutung der Markierungen in der Zeile
des dynamischen Reibungskoeffizienten µD identisch mit derje
nigen in Tabelle 1. In der Zeile für den statischen Reibungs
koeffizienten µs bedeutet die Markierung O, daß µs ≦ 0,6, die
Markierung Δ, daß 0,6 < µs ≦ 1,2 und die Markierung X, daß
1,2 < µs (Adsorption).
Wie Tabelle 1 zeigt, nimmt die Oberflächenrauhheit der Mag
netspeicherplatte sowohl hinsichtlich des Mittenrauhwerts Ra
als auch der maximalen Höhe Rmax mit zunehmenden Werten von d
zu, d. h. sie wird größer, wenn die Metallablagerungen 6
größer werden. Wenn daher die Metallablagerungen 6 klein
sind, ist die Plattenoberfläche sehr glatt, und die Schwe
bungseigenschaften des Magnetkopfes werden gut beibehalten.
Wenn auf der anderen Seite der Wert des dynamischen Reibungs
koeffizienten µD groß ist, sind die Gleiteigenschaften des
Magnetkopfs gering. Wenn andererseits die Metallablagerungen
6 groß sind, ist auch die Plattenoberflächenrauhheit groß,
womit der dynamische Reibungskoeffizient µD und die Gleit
eigenschaften verbessert werden. Die Gefahr eines Headcrushes
nimmt dann aber zu, und die Schwebungseigenschaften werden
schlechter. Zur Realisierung einer Magnetspeicherplatte, die
sowohl einen guten dynamischen Reibungskoeffizienten µD als
auch gute Schwebungseigenschaften aufweist, muß daher nach
Tabelle 1 die Oberflächenrauhheit derart bemessen sein, daß
der Mittenrauhwert Ra im Bereich von 3 nm bis 7 nm liegt und
die maximale Höhe Rmax im Bereich von 20 nm bis 65 nm, Eigen
schaften, die dadurch realisiert werden können, daß man die
Größe d der Metallablagerungen 6 im Bereich von 15 nm bis 200
nm wählt.
Aus Tabelle 2 geht hervor, daß, wenn der Abstand t zwischen
den Metallablagerungen 6 klein, wenn also die Metallablage
rungen 6 nahe beieinander ausgebildet sind, und die unregel
mäßigen Formen nicht ausgeprägt hervortreten, sowohl der Wert
des dynamischen Reibungskoeffizienten µD als auch derjenige
des statischen Reibungskoeffizienten µs groß und die Eigen
schaften der Magnetspeicherplatte schlecht sind. Wenn der Ab
stand t zu groß ist, steigt die wesentliche Kontaktfläche
zwischen der Plattenoberfläche und dem Magnetkopf, während
zugleich der dynamische Reibungskoeffizient µD ansteigt, und
die Gleiteigenschaften des Magnetkopfes abnehmen. Daher muß
nach Tabelle 2 der Abstand t zwischen d/5 und 5d liegen, da
mit eine Magnetspeicherplatte realisiert wird, die sowohl
hinsichtlich des dynamischen Reibungskoeffizienten µD als
auch des statischen Reibungskoeffizienten µs gut ist.
Fig. 4 zeigt die Oberflächenrauhheit der Magnetspeicherplatte
in Abhängigkeit von dem Partialdruckverhältnis PN2 des N2
Gases zum (Ar + N2) Gas, das zur Bildung der Metallablagerun
gen 6 verwendet wird, sowie auch die Abhängigkeit des dynami
schen Reibungskoeffizienten µD von diesem Partialdruckver
hältnis.
Die Figur zeigt, daß, wenn die Metallablagerungen 6 mit einem
Partialdruckverhältnis PN2 im Bereich von 0,5% bis 20% aus
gebildet werden, der dynamische Reibungskoeffizient µD einen
guten Wert von 0,4 oder weniger annimmt und die maximale Höhe
Rmax der Plattenoberflächenrauhheit im Bereich von 20 nm bis
65 nm liegt. Damit wird also nach Tabelle eine Magnetspei
cherplatte geschaffen, die sowohl hinsichtlich der Gleitei
genschaften als auch der Schwebungseigenschaften ausgezeich
net ist.
Fig. 5 zeigt die Oberflächenrauhheit der Magnetspeicherplatte
5 (die maximale Höhe Rmax) abhängig von der Temperatur T, die
die Basis 1 beim Ausbilden der Metallablagerungen 6 aufweist,
sowie die Abhängigkeit des dynamischen Reibungskoeffizienten
µD von dieser Temperatur.
Gemäß dieser Figur wird die maximale Höhe Rmax mit zunehmen
der Temperatur T der Basis 1 größer, während der Wert des
dynamischen Reibungskoeffizienten µD kleiner wird. Betrachtet
man deshalb nur den dynamischen Reibungskoeffizienten µD,
könnte man annehmen, daß sein Wert mit steigender Temperatur
T der Basis 1 kleiner wird. Damit kann eine Magnetspeicher
platte mit ausgezeichneten Gleiteigenschaften realisiert wer
den. Wie sich jedoch aus Tabelle 1 ergibt, können, wenn die
maximale Höhe Rmax einen vorbestimmten Wert übersteigt, Pro
bleme bezüglich der Gleiteigenschaften, einschließlich eines
Headcrushes, auftreten. Werden diese Faktoren berücksichtigt,
dann ergibt sich, daß zur Realisierung einer Magnetspeicher
platte mit sowohl gutem dynamischen Reibungskoeffizienten µD
als auch gutem statischen Reibungskoeffizienten µs die Aus
bildungen der Metallablagerungen 6 bei einer Temperatur T der
Basis 1 in einem Bereich von 150°C bis 400°C wirkungsvoll
ist.
Wie oben beschrieben, können, weil die Magnetspeicherplatten
10 und 10a des ersten und des zweiten Ausführungsbeispiels
Metallablagerungen 6 entweder auf der Oberfläche der Basis 1
oder der Oberfläche der Magnetschicht 3 aufweisen, ultrafeine
Unregelmäßigkeiten, die die Formen der Metallablagerungen 6
widerspiegeln, auf der Plattenoberfläche ausgebildet werden.
Daher ist es möglich, eine Magnetspeicherplatte mit einem
kleinen Wert des dynamischen Reibungskoeffizienten µD und
einem kleinen Wert des statischen Reibungskoeffizienten µs,
die einen Schwebungsabstand des Magnetkopfes von lediglich
0,25 nm bis 0,75 nm (1 bis 3 µinches) erlaubt, zu realisie
ren. Folglich werden die Abriebwiderstandseigenschaften und
die Adsorptionswiderstandseigenschaften verbessert, und der
Schwebungsabstand für den Magnetkopf kann verringert werden,
wodurch eine Magnetspeicherplatte mit hoher Speicherdichte
realisiert wird.
Während bei dem ersten und bei dem zweiten Ausführungsbei
spiel der vorliegenden Erfindung Aluminium als nicht-magneti
sches Metall zur Bildung der Metallablagerungen eingesetzt
wurde, ist das Metall nicht auf Aluminium beschränkt. Viel
mehr kann es sich um ein Metall ausgewählt aus der Gruppe
umfassend Ta, Ti, Si, B, Zr und Cr einschließlich Aluminium
oder Legierungen aus zwei oder mehr der Metalle handeln. Wo
eine Glasplatte als nicht-magnetischer Träger für die nicht
magnetische Basis bei der vorliegenden Erfindung verwendet
wurde, kann auch ein Keramikplatte, eine Aluminiumplatte,
eine Titanmetallplatte, eine Carbonplatte oder Siliciumplatte
verwendet werden.
Claims (5)
1. Magnetisches Aufzeichnungsmedium, umfassend
eine nicht-magnetische Metallgrundschicht (2), die auf der Oberfläche einer nicht-magnetischen Basis (1) ausgebildet ist,
eine Dünnfilmmagnetschicht (3) aus einer ferromagneti schen Legierung, die auf der Metallgrundschicht (2) ausgebil det ist, und
eine Schutzschicht (4), die auf der Oberfläche der Dünn filmmagnetschicht (3) ausgebildet ist,
dadurch gekennzeichnet, daß auf der Oberfläche der nicht-magnetischen Basis (1) und/oder der Dünnfilmmagnet schicht (3) durch nicht-magnetische Metallablagerungen (6), die Stickstoff enthalten, diskret verteilte Unregelmäßigkeiten ausgebildet sind, die sich an der Oberfläche der Schutzschicht (4) widerspiegeln.
eine nicht-magnetische Metallgrundschicht (2), die auf der Oberfläche einer nicht-magnetischen Basis (1) ausgebildet ist,
eine Dünnfilmmagnetschicht (3) aus einer ferromagneti schen Legierung, die auf der Metallgrundschicht (2) ausgebil det ist, und
eine Schutzschicht (4), die auf der Oberfläche der Dünn filmmagnetschicht (3) ausgebildet ist,
dadurch gekennzeichnet, daß auf der Oberfläche der nicht-magnetischen Basis (1) und/oder der Dünnfilmmagnet schicht (3) durch nicht-magnetische Metallablagerungen (6), die Stickstoff enthalten, diskret verteilte Unregelmäßigkeiten ausgebildet sind, die sich an der Oberfläche der Schutzschicht (4) widerspiegeln.
2. Aufzeichnungsmedium nach Anspruch l, dadurch gekenn
zeichnet, daß die Größe d der Metallablagerungen (6) im
Bereich von 15 nm bis 200 nm liegt, und der Zwischenraum
zwischen den Metallablagerungen (6) im Bereich zwischen d/5
und 5d liegt.
3. Aufzeichnungsmedium nach Anspruch 1 oder 2, dadurch
gekennzeichnet, daß das nicht-magnetische Metall zur Ausbil
dung der Metallablagerungen (6) eine Metallart ausgewählt aus
der Gruppe umfassend Al, Ta, Ti, Si, B, Zr und Cr oder eine
Legierung aus zwei oder mehr dieser Metallarten ist.
4. Verfahren zur Herstellung des magnetischen Aufzeich
nungsmediums eines der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeich
net, daß die Metallablagerungen mittels eines Sputterprozeß
unter der Atmosphäre einer Sputtergasmischung, die sich aus
Argongas und Stickstoffgas zusammensetzt, ausgebildet wird,
wobei die nicht-magnetische Basis (1) auf eine vorbestimmte
Temperatur erwärmt wird.
5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet,
daß die vorbestimmte Temperatur der nicht-magnetischen Basis
(1) im Bereich von 150°C bis 400°C liegt und das Partialdruck
verhältnis von Stickstoffgas zur Sputtergasmischung im Bereich
von 0,5% bis 20% liegt.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4209310A JP3018762B2 (ja) | 1992-08-06 | 1992-08-06 | 磁気記録媒体およびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4325329A1 DE4325329A1 (de) | 1994-02-10 |
DE4325329C2 true DE4325329C2 (de) | 1998-07-02 |
Family
ID=16570841
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE4325329A Expired - Fee Related DE4325329C2 (de) | 1992-08-06 | 1993-07-28 | Magnetisches Aufzeichnungsmedium und Verfahren zu seiner Herstellung |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5474830A (de) |
JP (1) | JP3018762B2 (de) |
DE (1) | DE4325329C2 (de) |
Families Citing this family (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0810027B2 (ja) * | 1986-04-10 | 1996-01-31 | 本田技研工業株式会社 | 車両用変速機における流体トルクコンバータ用クラッチの制御方法 |
DE4042682C2 (de) * | 1990-09-28 | 2001-01-04 | Jatco Corp | Steuervorrichtung zur computergestützen Betätigung einer Überbrückungskupplung eines hydrodynamischen Drehmomentwandlers eines Kraftfahrzeug-Automatikgetriebes |
JPH07225943A (ja) * | 1994-02-15 | 1995-08-22 | Fuji Electric Co Ltd | 磁気記録媒体 |
JP2734984B2 (ja) * | 1994-05-18 | 1998-04-02 | 日本電気株式会社 | 磁気ディスク装置 |
DE19524220A1 (de) * | 1994-07-04 | 1996-01-11 | Mitsubishi Chem Corp | Magnetisches Aufzeichnungsmedium, Verfahren zu dessen Herstellung, und Aufnahme- und Wiedergabeverfahren |
US5705287A (en) * | 1994-09-20 | 1998-01-06 | International Business Machines Corporation | Magnetic recording disk with metal nitride texturing layer |
US5843561A (en) * | 1994-12-22 | 1998-12-01 | Fuji Electric Co., Ltd. | Magnetic recording medium and method for manufacturing the same |
JP2937294B2 (ja) * | 1995-04-28 | 1999-08-23 | ホーヤ株式会社 | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
US5958542A (en) * | 1995-06-06 | 1999-09-28 | Hitachi, Ltd. | Thin film magnetic disc and method of manufacturing the disc |
MY113928A (en) * | 1995-10-25 | 2002-06-29 | Showa Denko Kk | Magnetic disc and data writing/reading-out method |
US6057984A (en) * | 1995-10-25 | 2000-05-02 | Mitsubishi Chemical Corporation | Method for data writing/read-out using a contact start and stop system |
US5772857A (en) * | 1995-11-21 | 1998-06-30 | Seagate Technology, Inc. | Method of manufacturing CoCrTa/CoCrTaPt bi-layer magnetic thin films |
US5718811A (en) * | 1996-02-28 | 1998-02-17 | Seagate Technology, Inc. | Sputter textured magnetic recording medium |
WO1998012698A1 (fr) * | 1996-09-20 | 1998-03-26 | Hitachi, Ltd. | Support de disque magnetique, tete magnetique, appareil a disque magnetique les utilisant et procede servant a fabriquer cet appareil |
KR100438802B1 (ko) * | 1996-12-17 | 2004-08-31 | 삼성전자주식회사 | 양자디스크및그제조방법 |
DE19782243T1 (de) * | 1997-01-15 | 1999-12-02 | Seagate Technology | Magnetaufzeichnungsmedium |
JPH117622A (ja) * | 1997-04-25 | 1999-01-12 | Hitachi Ltd | 磁気記録媒体用基板、磁気記録媒体及び磁気記録媒体の製造方法 |
US5842816A (en) * | 1997-05-30 | 1998-12-01 | Fmc Corporation | Pig delivery and transport system for subsea wells |
EP3406761A1 (de) * | 2017-05-24 | 2018-11-28 | Walter Ag | Verfahren zur herstellung eines beschichteten schneidwerkzeugs und beschichtetes schneidwerkzeug |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2402481A1 (de) * | 1973-01-17 | 1974-07-25 | Emi Ltd | Magnetisches speichermedium |
US4499138A (en) * | 1980-08-15 | 1985-02-12 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Magnetic recording medium |
DE3803014A1 (de) * | 1988-02-02 | 1989-08-10 | Basf Ag | Verfahren zur herstellung einer duennen roentgenamorphen aluminiumnitrid- oder aluminiumsiliciumnitrid-schicht auf einer oberflaeche |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60136035A (ja) * | 1983-12-22 | 1985-07-19 | Fujitsu Ltd | 磁気デイスクの製造方法 |
JPS6111936A (ja) * | 1984-06-28 | 1986-01-20 | Fuji Photo Film Co Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
JPH01134720A (ja) * | 1987-11-20 | 1989-05-26 | Mitsubishi Electric Corp | 磁気ディスク |
JPH01146132A (ja) * | 1987-12-02 | 1989-06-08 | Mitsubishi Electric Corp | 磁気デイスク |
ES2074538T3 (es) * | 1989-05-22 | 1995-09-16 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | Sustrato utilizado para un disco magnetico y medio de gabracion magnetico que utiliza el sustrato. |
JP2547651B2 (ja) * | 1989-05-22 | 1996-10-23 | 日本板硝子株式会社 | 磁気記録媒体 |
DE69029024T2 (de) * | 1989-10-05 | 1997-04-30 | Ibm | Magnetischer Dünnfilmspeicher und Verfahren zu seiner Herstellung |
-
1992
- 1992-08-06 JP JP4209310A patent/JP3018762B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1993
- 1993-07-28 DE DE4325329A patent/DE4325329C2/de not_active Expired - Fee Related
- 1993-07-30 US US08/099,353 patent/US5474830A/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2402481A1 (de) * | 1973-01-17 | 1974-07-25 | Emi Ltd | Magnetisches speichermedium |
US4499138A (en) * | 1980-08-15 | 1985-02-12 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Magnetic recording medium |
DE3803014A1 (de) * | 1988-02-02 | 1989-08-10 | Basf Ag | Verfahren zur herstellung einer duennen roentgenamorphen aluminiumnitrid- oder aluminiumsiliciumnitrid-schicht auf einer oberflaeche |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3018762B2 (ja) | 2000-03-13 |
JPH0660368A (ja) | 1994-03-04 |
DE4325329A1 (de) | 1994-02-10 |
US5474830A (en) | 1995-12-12 |
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8101 | Request for examination as to novelty | ||
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
8128 | New person/name/address of the agent |
Representative=s name: HOFFMANN, E., DIPL.-ING., PAT.-ANW., 82166 GRAEFEL |
|
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |