DE69125919T2

DE69125919T2 - Magneto-optisches Aufzeichnungsmedium

Info

Publication number: DE69125919T2
Application number: DE69125919T
Authority: DE
Inventors: Kensuke Fujimoto; Shunichi Hashimoto; Yoshitaka Ochiai
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1990-12-28
Filing date: 1991-12-23
Publication date: 1997-11-20
Anticipated expiration: 2011-12-24
Also published as: US5958575A; EP0492584A2; JPH056820A; EP0492584B1; EP0492584A3; DE69125919D1

Description

Die Erfindung betrifft ein magnetooptisches Aufzeichnungsmedium für das Aufzeichnen von Information und/oder die Reproduktion oder Wiedergabe durch Laserlicht oder dergleichen durch Ausnutzung des magnetooptischen Effekts.
Seit neuestem erregt ein magnetooptisches Aufzeichnungssystem als überschreibbares Aufzeichnungssystem hoher Dichte Aufmerksamkeit, in welchem Information aufgezeichnet wird durch Einschreiben magnetischer Domänen auf einem magnetischen dünnen Film unter Verwendung von thermischer Energie von beispielsweise Halbleiterlaserlicht und gelesen wird durch Ausnutzung des magnetooptischen Effekts.
Typischerweise wird als Aufzeichnungsmaterial in diesem magnetooptischen Aufzeichnungssystem ein amorpher Legierungsfilm eingesetzt, der aus Seltenerdelementen wie Gd, Tb oder Dy, und Übergangsmetallen wie Fe oder Co kombiniert ist und nachfolgend als RE-TM-Film bezeichnet wird. Dieser RE-TM-Film weist viele Vorteile auf Zum Beispiel tendiert er dazu, ein senkrechter Magnetisierungsfilm zu werden, der für eine Aufzeichnung hoher Dichte unentbehrlich ist aufgrund der größeren senkrechten magnetischen anisotropen Energie. Ebenso ist er amorph und weist somit geringeres Rauschen auf dem Medium auf, während er einen größeren Kerr-Rotationswinkel aufweist. Zusätzlich hat er eine niedrigere Curie-Temperatur, so daß die Aufzeichnung und/oder das Löschen mit einem kommerziell erhältlichen Halbleiterlaser mit einer Laserleistung von 20 bis 40 mW erbracht werden können. Wie zum Beispiel in der JP-Patentveröffentlichung KOKOKU No.2-32690 (1990) offenbart, ist ein GdThFeCo-Film enthaltend Th und Gd als Seltenerdelemente dafür bekannt, daß er einen besonders großen Kerr-Rotationswinkel aufweist, um ein zufriedenstellendes Signal-Rausch-(S/N)Verhältnis zu erbringen.
Andererseits, wie zum Beispiel beschrieben in der JP-Patentveröffentlichung KOKAI No.2-56752 (1991), wurde ein magnetooptisches Aufzeichnungsmedium vorgeschlagen, in welchem ein artifizieller Gittertilm aus abwechselnd übereinandergeschichteten Co- und Pt- und/oder Pd-Schichten als Aufzeichnungsfilm verwendet wurde. Dieses magnetooptische Aufzeichnungsmedium, frei von Seltenerdelementen, ist hervorragend in dem Korrosionswiderstand, während es einen hohen magnetischen Kerr-Rotationswinkel in einem Bereich kurzer Wellenlängen aufweist. Es wird somit angenommen, daß es ein vielversprechendes Aufzeichnungsmaterial ist, das für die Aufzeichnung hoher Dichte der nächsten Generation unter Verwendung eines Lasers kurzer Wellenlänge geeignet ist.
In der JP-A-63 311 641 entsprechend dem Patent Abstract of Japan ist eine TM-dominante RE-TM-Unterschicht und eine RE-dominante RE-TM-Übergitterstruktur zur Verbesserung des C/N-Verhältnisses und der Frequenzcharakteristik beschrieben.
Mittlerweile ist es in einem magnetooptischen Aufzeichnungssystem üblich geworden, ein Vorspannungs-Magnetfeld während der Aufzeichnung für das Invertieren der Magnetisierung in einer Region anzulegen, deren Temperatur durch Laserbestrahlung angehoben wurde. Um somit eine aufgezeichnete magnetische Domäne nicht durch das Vorspannungs-Magnetfeld zu beeinträchtigen, ist es wünschenswert, daß die Koerzitivkraft des magnetooptischen Aufzeichnungsmediums ausreichend hoch in bezug auf das aufzeichnende Magnetfeld (Vorspannungs-Magnetfeld) ist. Da andererseits die kleinste Größe des Aufzeichnungsbits umgekehrt proportional zu der Koerzitivkraft ist, wird eine größere Koerzitivkraft gleichermaßen gewünscht für die Erzielung einer höheren Aufzeichnungsdichte.
In dieser Hinsicht kann die Koerzitivkraft des magnetooptischen Aufzeichnungsmediums, das den oben erwähnten artifiziellen Gitterfilm als Aufzeichnungsfilm verwendet, nicht als vollständig ausreichend angesehen werden.
Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein magnetooptisches Aufzeichnungsmedium mit einem artifiziellen Gitterfilm anzugeben, welcher abwechselnd übereinandergeschichtete Co- und/oder Pd-Schichten als einen Aufzeichnungsfilm aufweist, und welcher in der Koerzitivkraft und den Charakteristiken des aufzeichnenden Magnetfelds verbessert ist, um mit der Aufzeichnung hoher Dichte Schritt halten zu können.
Die vorliegende Erfindung gibt ein magnetooptisches Aufzeichnungsmedium gemäß Anspruch 1 an.
Auf diese Weise kann das magnetooptische Aufzeichnungsmedium, das einen artifiziellen Gitterfilm mit abwechselnd übereinandergeschichteten Co- und Pt- und/oder Pd-Schichten als einen Aufzeichnungsfilm aufweist, in der Koerzitivkraft und den Charakteristiken des aufzeichnenden Magnetfelds verbessert werden, um mit der Aufzeichnung hoher Dichte Schritt halten zu können.
Es zeigen:
Fig. 1 eine Querschnittsansicht zur Darstellung des Aufbaus eines die Erfindung verkörpernden magnetooptischen Aufzeichnungsmediums.
Fig.2 ein Graph zur Darstellung einer magnetischen Kerr-Kurve eines Co-Pt-basierten artifiziellen Gitterfilms einer magnetooptischen Scheibe mit einem TbFeCo-Legierungsfilm neben dem Co-Pt-basierten artifiziellen Gittertilm auf einem Substrat.
Fig.3 ein Graph zur Darstellung einer magnetischen Kerr-Kurve eines Co-Pt-basierten artifiziellen Gitterfilms einer magnetooptischen Scheibe mit einem TbFeCoCr-Legierungsfilm neben dem Co-Pt-basierten artifiziellen Gitterfilm auf einem Substrat.
Fig.4 ein Graph zur Darstellung einer magnetischen Kerr-Kurve eines Co-Pt-basierten artifiziellen Gitterfilms einer magnetooptischen Scheibe mit einem artifiziellen Gitterfilm aus TbFeCoCr neben dem Co-Pt-basierten artifiziellen Gitterfilm auf einem Substrat und einer bei einer Grenzfläche benachbart zu dem Co-Pt-basierten artifiziellen Gitterfilm geformten Tb-Schicht.
Fig.5 ein Graph zur Darstellung einer magnetischen Kerr-Kurve eines Co-Pt-basierten artifiziellen Gitterfilms einer magnetooptischen Scheibe mit einem artifiziellen Gitterfilm aus TbFeCoCr neben dem Co-Pt-basierten artifiziellen Gitterfilm auf einem Substrat und einer bei einer Grenzfläche benachbart zu dem Co-Pt-basierten artifiziellen Gitterfilm geformten FeCoCr-Schicht.
Fig.6 ein Graph zur Darstellung einer magnetischen Kerr-Kurve eines Co-Pt-basierten artifiziellen Gitterfilms einer magnetooptischen Scheibe, bei der auf einem Substrat eine Aufzeichnungsschicht aus einem Co-Pt-basierten artifiziellen Gitterfilm mit einer Filmdicke von 100Å und ein artifizieller Gitterfilm mit einer Filmdicke von 200Å geformt ist.
Fig.7 ein Graph zur Darstellung der Abhängigkeit des Träger- und Rauschpegels von dem aufzeichnenden Magnetfeld bei einer magnetooptischen Scheibe mit nur einem Co-Pt-basierten artifiziellen Gitterfilm als einer Aufzeichnungsschicht.
Fig. 8 ein Graph zur Darstellung einer magnetischen Kerr-Kurve, gemessen von der Substratseite, einer magnetooptischen Scheibe mit einem Co-Pt-basierten artifiziellen Gitterfilm und einem TbFeCo-Legierungsfilm, die als eine Aufzeichnungsschicht übereinandergeschichtet sind, wobei die Untergitter-Magnetisierung der Übergangsmetalle vorherrschend ist.
Fig.9 ein Graph zur Darstellung der Abhängigkeit des Träger- und Rauschpegels von dem aufzeichnenden Magnetfeld bei einer magnetooptischen Scheibe mit einem Co-Pt-basierten artifiziellen Gitterfilm und einem TbFeCo-Legierungsfilm, die als eine Aufzeichnungsschicht übereinandergeschichtet sind, wobei die Untergitter-Magnetisierung der Übergangsmetalle vorherrschend ist.
Fig. 10 ein Graph zur Darstellung der Abhängigkeit des Träger- und Rauschpegels von dem aufzeichnenden Magnetfeld bei einer magnetooptischen Scheibe mit einem Co-Pt-basierten artifiziellen Gitterfilm und einem TbFeCo-Legierungsfilm, die als eine Aufzeichnungsschicht übereinandergeschichtet sind, wobei die Untergitter-Magnetisierung der Seltenerdelemente vorherrschend ist.
Das magnetooptische Aufzeichnungsmedium gemäß der vorliegenden Erfindung weist eine magnetische Schicht auf einem Substrat auf, wobei die magnetische Schicht aus einem artifiziellen Gitterfilm und einem Seltenerd-Übergangsmetall-Film zusammengesetzt ist, der im wesentlichen aus einem Seltenerdelement und einem Übergangsmetall besteht, wobei der artifizielle Gitterfilm aus einer Co-Schicht und einer Pt-Schicht und/oder einer Pd- Schicht zusammengesetzt ist, die übereinandergeschichtet sind, und der artifizielle Gitterfilm und der Seltenerd-Übergangsmetall-Film zueinander austauschgekoppelt sind. Mit dem magnetooptischen Aufzeichnungsmedium der vorliegenden Erfindung weist die Magnetschicht einen gestapelten Aufbau eines artifiziellen Gitterfilms und eines Seltenerd-Übergangsmetall-Films auf, die durch Austauschkopplung aneinander gebunden sind.
Der artifizielle Gitterfilm kann ein Co-Pt-basierter artifizieller Gitterfilm aus abwechselnd übereinandergeschichteten Co- und Pt-Schichten, ein Co-Pd-basierter artifizieller Gitterfilm aus abwechselnd übereinandergeschichteten Co- und Pd-Schichten, oder ein Co-Pt- Pd-basierter artifizieller Gitterfilm aus abwechselnd geschichteten Co-, Pt- und Pd-Schichten in jeder gewünschten Reihenfolge sein. Es wird vermerkt, daß bei dem Co-Pt-Pd-basierten artifiziellen Film die Pt- und Pd-Schichten durch Pt-Pd-Legierungsschichten ersetzt werden können.
Mit dem obigen artifiziellen Gitterfilm wird die Abscheidung lür das Stapeln derart durchgeführt, daß die Co-Schicht als die Übergangsmetallschicht an der Grenzfläche des Gittertilms mit dem Seltenerd-Übergangsmetall-Film geformt wird.
In jedem Fall hat der artifizielle Gitterfilm eine Gesamtdicke von vorzugsweise 50 bis 800 Å und noch bevorzugter 50 bis 400 Å, um die praktisch erforderlichen und ausreichenden magnetooptischen Charakteristiken zu erzielen.
Es ist ebenso bevorzugt, daß bei dem Co-Pt-basierten Gitterfilm die Dicken der Co-Schicht und der Pt-Schicht in den Bereichen von jeweils 2 bis 8 Å und 3 bis 40 Å ausgewählt werden, und daß bei dem Co-Pd-basierten artifiziellen Gitterfilm die Dicken der Co-Schicht und der Pd-Schicht in den Bereichen von jeweils 1 bis 9 Å und 2 bis 40 Å ausgewählt werden. Diese Bereiche der Filmdicken werden ausgewählt, um die magnetooptischen Charakteristiken zu optimieren. Außerhalb dieser Bereiche werden keine zufriedenstellenden magnetooptischen Eigenschaften erzeugt.
Mittlerweile hat die Grenzfläche der den artifiziellen Gitterfilm bildenden Metallschicht idealerweise eine sogenannte Übergitterstruktur, in welcher heterogene Metallatome in einer flachen Schicht gebildet sind, ohne ineinander einzudringen. Eine solche Grenzfläche kann ebenso eine Struktur mit modulierter Zusammensetzung aufweisen, in welcher die Zusammensetzung mit einer bestimmten Periodizität trotz gewisser Störungen an der Grenzfläche geändert wird. Berücksichtigt man die oben erwähnten Bereiche der Dicken der Metallschichten, kann die untere Grenze der Metallschichten geringer als die Größe eines Atoms sein, im Hinblick auf den Radius der metallischen Bindung jeder Metallschicht, der 1.25 Å für Co, 1.38 Å für Pd und 1.39 Å für Pt ist. Nichtsdestotrotz wurden die oben erwähnten bevorzugten Bereiche der Dicken hinsichtlich der Struktur mit modulierter Zusammensetzung gesetzt.
Der oben erwähnte artifizielle Gitterfilm kann zum Beispiel durch Sputtern, Molekularstrahlepitaxie, Vakuumabscheidung oder lonenstrahlabscheidung, gewöhnlich durch Sputtern gebildet werden.
Bei der Herstellung von artifiziellen Gitterfilmen des binären Systems wie Co-Pt- oder Co- Pd-basierten Filmen müssen separate Quellen für die Aufdampfnng entsprechender metallischer Komponenten bereitgestellt werden. Bei der Herstellung von artifiziellen Gitterfilmen des ternären Systems wie Co-Pt-Pd-basierten Filmen werden gleichermaßen separate Quellen für die Aufdampfüng entsprechender Metallkomponenten bereitgestellt. Soweit jedoch Pd und Pt betroffen sind, kann ebenso eine Aufdampfungsquelle für eine Pd-Pt- Legierung bereitgestellt werden, oder alternativ kann eine Aufdampfungsquelle für die in einer geringeren Menge verwendete Metallkomponente einer Aufdampfungsquelle für die in einer größeren Menge verwendete Metallkomponente überlagert werden, um eine zusammengesetzte Aufdampfungsquelle bereitzustellen. Zum Beispiel kann das oben erwähnte magnetooptische Aufzeichnungsmedium des ternären Systems durch gleichzeitiges binäres oder duales Sputtern unter Einsatz eines Pd-Targets hergestellt werden, das einen Pt-Chip und ein Co-Target darauf haltert, oder durch gleichzeitiges ternäres Sputtern unter Einsatz von Co-, Pd- und Pt-Targets, einem Pt-Target und zwei Pd-Targets, in welchen entsprechende Metallschichten in der Reihenfolge Co-Pd-Pt-Pd abgeschieden sind.
Ein oder mehrere additive Elemente können ebenso dem artifiziellen Gitterfilm zur Verbesserung seiner thermischen Stabilität oder zur Absenkung der Curie-Temperatur wahlweise hinzugefügt werden.
Die Spezies und/oder die Menge der Hinzufügung des oder der additiven Elemente muß in Abhängigkeit von der Art des artifiziellen Gitterfilms oder der Arten der Metallschichten geändert werden.
Wenn zum Beispiel das oder die additiven Elemente der Co-Schicht des aus übereinandergeschichtet abgeschiedenen Co- und Pt-Schichten bestehenden artifiziellen Gitterfilms hinzugefügt werden, kann die Co-Schicht durch die Formel Co100-xMx repräsentiert werden, wobei x die Menge der Substitution in Atomprozent und M das oder die additiven Elemente bezeichnet, welche mindestens eines der Elemente B, C, Al, Si, P, Ti, V, Fe, Ni, Cu, Ga, Ge, Zr, Nb, Mo, In, Sn, Sb, Gd, Tb, Dy und Ta sein können. Die optimale Menge der Substitution kann geringfügig von einem Element zum anderen variieren. Somit ist für M=Al die Menge x 0.1≤x≤7, für M=Zr 0.1≤x≤14, für M=Si, Mo oder Ta 0.1≤x≤20 für M=Fe 0.1≤x≤25 für M=B, C, Ti, V, Cu, Ga, Ge, Nb, In oder Sn 0.1≤x≤30, für M=P 0.1≤x ≤35, für M=Gd, Tb oder Dy 0.1≤x≤40, für M=Sb 0.1≤x≤45 und für M=Ni 0.1≤x≤70.
Die untere Grenze der Menge der Substitution für jedes der obigen Elemente wird auf 0.1 Atomprozent gesetzt, denn der Effekt der Absenkung der Curie-Temperatur kann für einen Wert der Menge x niedriger als dieser Grenzwert nicht demonstriert werden. Andererseits wird die obere Grenze der Menge x innerhalb des Bereichs von 7 bis 40 Atomprozent abhängig von der Spezies der additiven Elemente geändert. Falls die Menge x größer als dieser obere Grenzwert ist, ist das Resultat rückläufig, das heißt, der magnetooptische Effekt ist verschlechtert.
Das oder die oben erwähnten dritten Elemente können der Pt-Schicht hinzugefügt werden, so daß die Pt-Schicht die Zusammensetzung Pt100-xMx aufweist, wobei x die Menge der Hinzufügung in Atomprozent mit 0≤x≤15 und M das additive Element bezeichnet. Eine solche Hinzufügung des oder der dritten Elemente sollte jedoch nicht die Verbesserung der magnetooptischen Eigenschaften oder der thermischen Stabilität zum Ziel haben sondern hauptsächlich der Einstellung der Curie-Temperatur dienen. Der Grund ist, daß, falls das oder die dritten Elemente der Pt-Schicht hinzugefügt werden, die Curie-Temperatur angehoben und der magnetische Kerrwinkel verringert wird, mit Ausnahme von außergewöhnlichen Fällen. Da jedoch eine grenzenlos niedrige Curie-Temperatur nicht notwendigerweise vorzuziehen ist hinsichtlich des Schutzes der Aufzeichnungsinformation, kann die Curie-Temperatur, die von Anfang an sehr niedrig ist, unter Verwendung dieser Maßnahmen in einen praktikablen Bereich angehoben werden. Unter den Elementen, die der Pt- Schicht hinzugefügt werden können, sind Cr, Mn, Co, Zn, Y, Rh, Ag, La, Nd, Sm, Eu, Ho, Hf, W, Ir, Au, Pb und Bi, außer den oben für die Co-Schicht aufgezählten Elementen. Das Element Pt in der Pt-Schicht kann ebenso durch das Element Pd in jedem gewünschten Verhältnis ersetzt werden.
In ähnlicher Weise, wenn das oder die additiven Elemente der Co-Schicht des artifiziellen Gitterfilms bestehend aus Co- und Pd-Schichten hinzugefügt werden, kann die Co-Schicht durch die Formel Co100-xMx repräsentiert werden, wobei x die Menge der Substitution in Atomprozent und M das oder die additiven Elemente bezeichnet, welche mindestens eines der Elemente P, Ti, V, Ni, Ga, Ge, B, C, Al, Si, Fe, Cu, Zr, Nb, Mo, In, Sn, Sb, Ta und W sein können. Die optimale Menge der Addition wird ebenso mit der Spezies des additiven Elements geändert. Somit ist für M=Zr die optimale Menge der Hinzufügung x durch 0.1≤ x≤10 gegeben, für M=P oder Al durch 0.1≤x≤12,für M=Sn, Sb oder W durch 0.1≤x≤20, für M=Ti, V, Ni, Ga, Ge oder Nb 0.1≤x≤25, für M=B, C, Si, Fe, Cu, Mo oder In durch 0.1≤ x≤30 und für M=Ta durch 0.1≤x≤40. Der Grund für die Begrenzung ist derselbe wie in dem Fall des oben behandelten Co-Pt-basierten artifiziellen Gittertilms.
Additive Elemente können der Pd-Schicht hinzugefügt werden. Die Spezies und/oder die Menge der Hinzufügung der additiven Elemente sind dieselbe wie die für die oben behandelte Pt-Schicht.
Es gibt keine Begrenzung für den Seltenerd-Übergangsmetall-Film (RE-TM), so daß ein jeder derartiger Film, der insoweit im Stand der Technik bekannt ist, eingesetzt werden kann. Spezifische Beispiele dieser Filme enthalten TbFe-, TbFeCo-, TbFeCoCr-, GdFeCo- und GdThFe-Filme.
Die Seltenerd-Übergangsmetall-Schicht kann ein Seltenerd-Übergangsmetall-Legierungsfilm mit keiner bestimmten periodischen Struktur sein. Es kann somit ein artifizieller Gitterfilm sein bestehend aus abwechselnd übereinandergestapelten Schichten aus Seltenerdschichten von mindestens einem der schweren Seltenerdelemente Gd, Tb und Dy, und Übergangsmetallschichten mit der Zusammensetzung Fe(1-x)Cox, wobei x zwischen 0 und 1 liegt und diese numerische Ziffer für Atomprozent steht.
Falls der artifizielle Gitterfilm aus abwechselnd übereinandergeschichteten Seltenerdschichten und Übergangsmetallschichten zusammengesetzt ist, sind diese Schichten vorzugsweise derart übereinandergeschichtet, daß die Übergangsmetallschicht an einer Grenzfläche mit dem aus abwechselnd übereinandergeschichteten Co-Schichten und Pt- und/oder Pd-Schichten zusammengesetzten artifiziellen Gitterfilm angeordnet ist. Auf diese Weise wird an der Grenzfläche zwischen den zwei Filmen eine Übergangsmetall- Übergangsmetall-Bindung gebildet, um eine exzellente Koerzitivkraft zu erzielen.
Vorzugsweise ist die Dicke der Seltenerdschicht 3 bis 40 Å und die der Übergangsmetallschicht ist 3 bis 40 Å. Diese Dickenbereiche sind für die Optimierung der Aufzeichnungscharakteristiken gesetzt und außerhalb dieser Bereiche können keine zufriedenstellenden Aufzeichnungscharakteristiken erhalten werden.
Der Seltenerd-Übergangsmetall-Film kann durch einen Vakuum-Dünnfilm-Formungsprozeß wie Sputtern, Molekularstrahlepitaxie oder Vakuumabscheidung, üblicherweise durch Sputtern, auf dem Substrat gebildet werden.
Gleichzeitiges binäres oder zweifaches Sputtem unter Einsatz eines Seltenerdtargets und eines Übergangsmetalltargets ist zum Beispiel besonders bevorzugt. Alternativ kann eine binäre Legierung zusammengesetzt aus einem oder mehreren Seltenerdelementen und einem oder mehreren Übergangsmetallen als ein Target zum Sputtern verwendet werden. Der Seltenerd-Übergangsmetall-Film ist vorzugsweise von einer Dicke in einem Bereich zwischen 50 und 2000 Å, um eine ausreichend praktikable und notwendige Koerzitivkraft zu bewirken.
Als Substratmaterial kann Glas, Polycarbonat, PMMA (Polymethylmethacrylat), eine Keramik oder ein Siliziumwafer eingesetzt werden. Das Substrat kann ebenso ein Glas-2p- Substrat sein, d.h. ein Glassubstrat, auf welchem eine Schicht eines lichthärtbaren Harzes mit Oberflächenunregelmäßigkeiten wie Nuten oder Vertiefungen geformt ist.
Es gibt keine besondere Begrenzung in dem Aufbau der Aufzeichnungsschicht in dem magnetooptischen Aufzeichnungsmedium der vorliegenden Erfindung und jede aus einer Vielzahl von konventionellen Konstruktionen kann eingesetzt werden. Eine dielektrische Schicht, eine reflektive Schicht oder eine Schutzschicht etc. können ebenso neben der Aufzeichnungsschicht geformt werden, falls dies gewünscht wird.
Es wird angemerkt, daß jedes Verfahren des Einschreibens von Signalen in das magnetooptische Aufzeichnungsmedium, welches in der Lage ist, die zum Invertieren magnetischer Domänen notwendige Energie bereitzustellen, wie ein nadelartiger Magnetkopf, ein thermischer Stift oder Elektronenstrahlen natürlich zusätzlich zu den Lichtstrahlen eingesetzt werden kann.
Falls auf diese Weise die Magnetschicht von einer Multischichtstrukur ist, die aus einem artifiziellen Co-Pt(Pd)-Gitterfilm besteht, der aus übereinandergeschichteten Co- und Pt- und/oder Pd-Schichten und einem Seltenerd-Übergangsmetall-Legierungsfilm oder einem artifiziellen Seltenerd-Übergangsmetall-Gitterfilm zusammengesetzt ist, ist der artifizielle Co-Pt(Pd)-Gitterfilm mit dem Seltenerd-Übergangsmetall-Legierungsfilm oder dem artifiziellen Seltenerd-Übergangsmetall-Gitterfilm austauschgekoppelt, um die Koerzitivkraft des artifiziellen Co-Pt(Pd)-Gitterfilms zu verbessern. Auf diese Weise können bessere photomagnetische Eigenschaften des artifiziellen Co-Pt(Pd)-Gitterfilms auch bei Aufzeichnung mit hoher Dichte erhalten werden.
Die vorliegende Erfindung wird nachfolgend unter Bezugnahme auf die Beispiele auf der Grundlage von Testresultaten erläutert.

BEISPIEL 1

Das vorliegende Beispiel ist auf eine magnetooptische Scheibe gerichtet, die ein Substrat aulweist, auf welchem ein ThFeCo-Legierungsfilm als ein RE-TM-Film und ein Co-Pt-basierter artifizieller Gitterfilm übereinandergeschichtet sind.
Der schematische Aufbau der vorliegenden magnetooptischen Scheibe ist in Fig. 1 dargestellt.
Das vorliegende magnetooptische Aufzeichnungsmedium ist für Aufzeichnung und Wiedergabe ausgeführt und enthält eine die Information tragende Aufzeichnungsschicht 2 auf einer Hauptoberfläche 1a eines Glassubstrats 1. Diese Aufzeichnungsschicht 2 ist von einem zweischichtigen Aufbau bestehend aus einem RE-TM-Film 3 und einem artifiziellen Gitterfilm 4.
Der RE-TM-Film 3 ist ein TbFeCo-Legierungsfilm mit einer Filmdicke von 500 Å.
Der vorerwähnte artifizielle Gitterfilm 4 ist auf dem RE-TM-Film 3 geschichtet. Dieser artifizielle Gitterfilm 4 ist aus abwechselnd übereinandergeschichteten Co- und Pt-Schichten zusammengesetzt, wobei die Co-Schicht an einer Grenzfläche mit dem RE-TM-Film 3 angeordnet ist. Der artifizielle Gitterfilm 4 ist mit dem RE-TM-Film 3 austauschgekoppelt und weist eine Gesamtdicke von 200 Å auf.
Eine solche magnetooptische Scheibe wurde auf die folgende Weise hergestellt.
Zuerst wurden zur Bildung des RE-TM-Films 3 und des artifiziellen Gitterfilms 4 durch einen kontinuierlichen Prozeß Targets aus Th&sub2;&sub7;De&sub6;&sub1;CO&sub1;&sub2;-Legierung, wobei die tiefgestellten Ziffern Atomprozent angeben, Co- und Pt-Targets mit einem Targetdurchmesser von jeweils 100 mm in einer Kammer einer Sputtereinheit plaziert. Diese Sputtereihheit ist so gestaltet, daß gewünschte Filme durch Öffnen oder Schließen von Blenden gebildet werden können, die für die jeweiligen Targets vorgesehen sind.
Das Glassubstrat 1 wurde auf einen Substrathalter gelegt und mit Wasser gekühlt, während die Kammer auf ein vorbestimmtes Vakuum evakuiert wurde. Ein Ar-Gas wurde in die Kammer eingeleitet, um einen Umgebungsdrrick von 4 mTorr zu erzeugen. Dann wurde Magnetron-Sputtem in dieser Umgebung durchgeführt, während das Glassubstrat bei 16 U/m gedreht wurde, und die ThFeCo-Legierung als Target verwendet wurde, um den RE- TM-Film 3 zu erzeugen. Die zu dieser Zeit eingesetzte elektrische Leistung war eine DC- Leistung von 0.3A × 240V.
Dann wurden unter Verwendung der Co- und Pt-Targets Co- und Pt-Schichten abwechselnd durch gleichzeitiges binäres Magnetron-Sputtern in der bei einem Gasdruck von 4 mTorr gehaltenen Ar-Gasatmosphäre gebildet, um den oben erwähnten artifiziellen Gitterfilm 4 zu erzeugen. Die Sputterbedingungen wurden so gesetzt, daß die Rotationsgeschwindigkeit des Substrats 16 U/m betrug und die während der Bildung der Co-Schicht verwendete RF-Leistung 250W und die während der Bildung der Pt-Schicht eingesetzte DC-Leistung 0.55A×340V betrugen.

BEISPIEL 2

Das vorliegende Beispiel ist auf eine magnetooptische Scheibe aus einem Substrat gerichtet, auf welchem ein ThFeCoCr-Legierungsfilm als ein RE-TM-Film und ein Co-Pt-basierter artifizieller Gitterfilm übereinandergeschichtet sind.
In dem vorliegenden Beispiel wurde dieselbe Sputtereinheit wie die in Beispiel 1 verwendet, und Targets aus Tb, einer Fe&sub9;&sub0;CO&sub4;Cr&sub6;-Legierung, wobei die tiefgestellten Ziffern Atomprozent angeben, Co und Pt, jedes mit einem Durchmesser von 100 mm, wurden innerhalb der Kammer plaziert.
Das Glassubstrat 1 wurde auf einen Substrathalter gelegt und mit Wasser gekühlt, während die Kammer auf ein vorbestimmtes Vakuum evakuiert wurde. Ein Ar-Gas wurde in die Kammer eingeleitet, um einen Umgebungsdruck von 4 mTorr zu erzeugen. Gleichzeitiges binäres Magnetron-Sputtern wurde dann in dieser Atmosphäre durchgeführt, während das Glassubstrat bei 50 U/m gedreht wurde und Tb und eine FeCoCr-Legierung als Targets verwendet wurden Eine RF-Leistung von 130W wurde für Th verwendet, während eine DC-Leistung von 0.6 bis 0.8A×290V für die FeCoCr-Legierung verwendet wurde. Ein Th-FeCoCr-Legierungsfilm mit einer Filmdicke von 1000 Å, nicht versehen mit einer bestimmten periodischen Struktur, wurde durch diesen Sputtervorgang gebildet.
Dann wurde unter Verwendung von ähnlichen Sputterbedingungen wie denen in Beispiel 1 verwendeten ein artifizieller Co-Pt-Gitterfilm mit einer Dicke von 200 Å auf dem ThFe-CoCr-Film gebildet, wobei darauf geachtet wurde, daß die Co-Schicht an einer Grenzfläche mit dem ThFeCoCr-Legierungsfilm angeordnet wurde.

BEISPIEL 3

Das vorliegende Beispiel ist auf eine magnetooptische Scheibe aus einem Substrat gerichtet, auf welchem als übereinandergestapelte Schichten ein artifizieller Th-FeCoCr-Gitterfilm als ein RE-TM-Film und ein Co-Pt-basierter artifizieller Gitterfilm abgeschieden werden.
In dem vorliegenden Beispiel wurde gleichzeitiges duales Magnetron-Sputtem auf dieselbe Weise wie in Beispiel 2 durchgeführt, außer daß die Rotationsgeschwindigkeit des Substrats auf 16 U/m geändert wurde. Der zu dieser Zeit auf dem Glassubstrat 1 geformte Film war ein artifizieller Gitterfilm bestehend aus abwechselnd übereinandergestapelten Th-Filmen und FeCoCr-Filmen mit Filmdicken o von jeweils annähernd 4 Å und 6 Å. Die Gesamtdicke des artifiziellen Gitterfilms wurde so eingestellt, daß sie gleich 1000 Å betrug und die Schichtreihenfolge wurde so bestimmt, daß eine Th-Schicht auf der oberen Oberfläche angeordnet wurde.
Dann wurde unter Verwendung von denselben wie in Beispiel 1 verwendeten Sputterbedingungen der artifizielle Co-Pt-Gitterfilm mit einer Filmdicke von 200 Å auf dem artifiziellen Th-FeCoCr-Gitterfilm gebildet. Zu dieser Zeit wurde eine Co-Schicht auf der oberen Oberfläche des artifiziellen Th-FeCoCr-Gitterfilms gebildet, so daß die Th- und Co- Filme an der Grenzfläche zwischen dem artifiziellen Th-FeCoCr-Gitterfilm und dem artifiziellen Co-Pt-basierten Gitterfilm einander benachbart waren.

BEISPIEL 4

Eine magnetooptische Scheibe wurde auf dieselbe Art präpariert wie in Beispiel 3, außer daß ein FeCoCr-Film anstelle des Th-Films an der Grenzfläche mit dem artifiziellen Th-FeCoCr-Gitterfilm angeordnet wurde. Somit wurden die Übergangsmetallschichten, namentlich die FeCoCr-Schicht und die Co-Schicht in diesem Fall auf der Grenzfläche zwischen dem artifiziellen Th-FeCoCr-Gitterfilm und dem artifiziellen Co-Pt-Gitterfilm angeordnet.

VERGLEICHSBEISPIEL 1

Das vorliegende Beispiel ist auf eine magnetooptische Scheibe gerichtet, in welcher nur ein aus sequentiell übereinandergeschichteten Co- und Pt-Schichten zusammengesetzter artifizieller Gitterfilm auf einem Substrat gebildet ist.
In dem vorliegenden Beispiel wurden unter Verwendung derselben Sputterbedingungen wie der bei der Präparation des artifiziellen Co-Pt-basierten Gitterfilms in dem vorangegangenen Beispiel 1 verwendeten artifizielle Gitterfilme auf Glassubstraten mit Filmdicken von 100 Å, 200 Å und 300 Å gebildet.
Die Koerzitivkräfte der erzeugten magnetooptischen Scheiben wurden auf der Grundlage der entsprechenden magnetischen Kerr-Kurven überprüft. Es wurde gefunden, daß mit den Filmdicken der artifiziellen Gitterfilme von 100 Å, 200 Å und 300 Å die Koerzitivkräfie jeweils 0.2kOe, 0.27kOe und 0.27kOe betrugen.

VERGLEICHSBEISPIEL 2

Das vorliegende Beispiel ist auf eine magnetooptische Scheibe gerichtet, bei welcher nur ein als RE-TM-Film fungierender ThFeCo-Legierungsfilm auf einem Substrat gebildet wurde.
In dem vorliegenden Beispiel wurde unter Verwendung derselben Sputterbedingungen wie der für die Präparation des RE-TM-Films 3 in dem vorangegangenen Beispiel 1 verwendeten ein ThFeCo-Legierungsfilm auf einem Glassubstrat mit einer Filmdicke von 500 Å gebildet.
Die Koerzitivkraft der magnetooptischen Scheibe betrug 12 kOe, wie durch Überprüfung der entsprechenden magnetischen Kerr-Kurve festgestellt wurde.

VERGLEICHSBEISPIEL 3

Das vorliegende Beispiel ist auf eine magnetooptische Scheibe gerichtet, in welcher nur ein als ein RE-TM-Film fungierender ThFeCoCr-Legierungsfilm auf einem Substrat gebildet wurde.
In dem vorliegenden Beispiel wurde unter Verwendung derselben Sputterbedingungen wie der für die Präparation des ThFeCoCr-Legierungsfilms in dem vorangegangenen Beispiel 2 verwendeten ein ThFeCoCr-Legierungsfilm auf einem Glassubstrat mit einer Filmdicke von 1000 Å gebildet.
Die Koerzitivktaft der magnetooptischen Scheibe betrug 6 kOe, wie durch Überprüfung der entsprechenden magnetischen Kerr-Kurve festgestellt wurde.

VERGLEICHSBEISPIEL 4

Das vorliegende Beispiel ist auf eine magnetooptische Scheibe gerichtet, in welcher nur ein artifizieller Gitterfilm bestehend aus sequentiell übereinandergeschichteten Th-Filmen und FeCoCr-Filmen, die als ein RE-TM-Film dienen, auf einem Substrat angeordnet sind. In dem vorliegenden Beispiel wurden unter Verwendung derselben Sputterbedingungen wie der für die Bildung des artifiziellen Th-FeCoCr-Gitterfilms in Beispiel 3 verwendeten artifizielle Th-FeCoCr-Gitterfilme mit Filmdicken von 200 Å und 1000 Å auf Glassubstraten gebildet.
Für die artifiziellen Th-FeCoCr-Gitterfilme mit den Filmdicken von 200 Å und 1000 Å betrug die Koerzitivkraft 6 kOe, wie durch Überprüfüng der entsprechenden magnetischen Kerr-Kurven festgestellt wurde.
Die photomagnetischen Effekte der in den vorangegangenen Beispielen produzierten magnetooptischen Scheiben wurden von den Seiten ihrer Aufzeichnungsschichten her gemessen, wobei eine Wellenlänge von 780 nm verwendet wurde. Durch diese Maßnahmen wurden die in den Fig.2 bis 5 dargestellten magnetische Kerr-Kurven erhalten.
Zuerst ist in Fig.2 eine magnetische Kerr-Kurve für die aus dem artifiziellen Co-Pt-basierten Gitteffilm und einem RE-TM-Film, die gemäß Beispiel 1 übereinandergestapelt sind, dargestellt, in welcher der Winkel der magnetischen Kerr-Rotation in Grad auf der Ordinate und die Stärke eines externen Magnetfelds in kOe auf der Abszisse aufgetragen sind.
Bezugnehmend auf Fig.2, ist die magnetische Kerr-Kurve für die magnetooptische Scheibe von Beispiel 1 abgestufi oder variiert in einer stufenartigen Weise, was einer Inversion der Magnetisierung des artifiziellen Gitterfilms und des ThFeCo-Legierungsfilms, die die Aufzeichnungsschicht bilden, unter der sich ändernden Stärke des externen magnetischen Feldes zugeschrieben werden kann. Es wurde ebenso gefunden, daß, da die Scheibe eine höhere Koerzitivkraft aufweist, ein Medium hoher Koerzitivkraft erhalten werden kann, indem ein artifizieller Co-Pt-basierter Gitterfilm auf einem ThFeCo-Legierungsfilm geformt wird und eine Austauschkopplung zwischen ihnen bewirkt wird.
Fig.3 bis 5 zeigen magnetische Kerr-Kurven für die artifiziellen Co-Pt-basierten Gitterfilme der magnetooptischen Scheiben gemäß jeweils den Beispielen 2 bis 4.
An den Resultaten kann man sehen, daß in all diesen Fällen die magnetischen Kerr-Kurven gestuft waren und daß optimale Resultate erhalten werden konnten, wenn ein ThFeCoCr- Legierungsfilm oder ein FeCoCr-Film an einer Grenzfläche mit dem artifiziellen Co-Pt- basierten Gitterfilm vorhanden ist.
Tabelle 1 zeigt die Koerzitivkräfte entsprechend der Inversion der Magnetisierung der artifiziellen Co-Pt-basierten Gitterfilme der magnetooptischen Scheiben der Beispiele 1 bis 4, zusammen mit dem entsprechenden Wert für das Vergleichsbeispiel 1. Tabelle 1
Aus Tabelle 1 wird ersichtlich, daß, wenn der artifizielle Co-Pt-basierte Gitterfilm und der RE-TM-Film zusammen übereinandergestapelt sind, die Koerzitivkraft stark verbessert werden kann verglichen mit dem Fall, in welchem nur der artifizielle Co-Pt-basierte Gitterfilm wie in dem Vergleichsbeispiel 1 vorgesehen ist. Es wird ebenso aus den Beispielen 3 und 4 ersichtlich, daß außerordentlich zufriedenstellende Resultate erzielt werden konnten, wenn die FeCoCr-Schicht an einer Grenzfläche mit dem artifiziellen Co-Pt-basierten Gitterfilm angeordnet war. Daraus könnte gefolgert werden, daß der RE-TM-Film als ein artifizieller Gitterfilm und der artifizielle Co-Pt-basierte Gitterfilm mit dem RE-TM-Film bei den entsprechenden Übergangsmetallfilmen für höchste Resultate gekoppelt werden könnte.
In Beispiel 4, welches die zufriedenstellendsten Resultate bei der Messung der oben erwähnten magnetooptischen Effekte erbrachte, wurden die Filmdicken der artifiziellen Co-Pt-basierten Gitterfilme und der artifiziellen Th-FeCoCr-Gitterfilme verändert, wie gezeigt in Tabelle 2 und in den Beispielen 5 bis 8, und die resultierenden Aufzeichnungsschichten wurden hinsichtlich der photomagnetischen Resultate vermessen.
Tabelle 2 zeigt die Resultate der Messungen der Koerzitivkräfte der artifiziellen Co-Pt-basierten Gitterfilme dieser magnetooptischen Scheiben, wobei sich die Resultate auf die photomagnetischen Effekte beziehen. Die Resultate des Vergleichsbeispiels 1 und des Beispiels 4 sind ebenfalls in Tabelle 2 dargestellt. Tabelle 2 Aus der Tabelle 2 ist ersichtlich, daß gemäß der vorliegenden Erfindung eine höhere Koerzitivkraft erzielt werden kann, und daß für dieselbe Filmdicke des artifiziellen Co-Pt-basierten Gitterfilms höhere Koerzitivkräfte für größere Filmdicken des RE-TM-Films erzielt werden können, und umgekehrt für dieselbe Filmdicke des RE-TM-Films höhere Koerzitivkräfte für geringere Filmdicken des artifiziellen Co-Pt-basierten Gitterfilms erzielt werden können.
In den Beispielen 5 bis 8 wurden keine stufenartigen Veränderungen in den magnetischen Kerr-Kurven für die Beispiele 5 bis 8 festgestellt, wie dargestellt in Fig.6. Daraus kann man ersehen, daß mit geringeren Filmdicken der Aufzeichnungsschichten der RE-TM-Film und der artifizielle Co-Pt-basierte Gitterfilm gleichzeitig magnetisiert wurden.
Für jede der oben erwähnten magneto-optischen Scheiben wurden die Kerr-Rotationswinkel in Grad von den Seiten der Aufzeichnungsschichten bei Wellenlängen von 780 nm und 400 nm gemessen. Die Resultate sind in Tabelle 3 dargestellt. Die Resultate für das Vergleichsbeispiel 4 sind solche für die Filmdicke des artifiziellen Th-FeCoCr-Gitterfilms bei 1000 Å. Tabelle 3
Aus der Tabelle 3 ist ersichtlich, daß die Aufzeichnungsschichten der magnetooptischen Scheiben gemäß der vorliegenden Erfindung größere Kerr-Rotationswinkel in einem Bereich kurzer Wellenlängen zeigen als solche der konventionellen RE-TM-Filme geformt aus, zum Beispiel, ThFeCo-basierten Materialien. Auf diese Weise kann ein magnetooptisches Aufzeichnungsmedium erhalten werden, welches in der Lage ist, verbesserte photomagnetische Eigenschaften auch in einem Bereich kurzer Wellenlängen zu zeigen.
Die obigen Testresultate demonstrieren, daß der artifizielle Gitterfilm und der ThFeCoCr- Legierungsfilm oder der artifizielle Th-FeCoCr-Gitterfilm vorteilhaft zur Verbesserung der magnetischen Eigenschaften, vor allem der Koerzitivkraft, übereinandergestapelt werden können.
Als nächstes wurden magnetooptische Scheiben mit einem Aufbau präpariert, der näher an dem aktuell eingesetzten Aufbau ist, um Charakteristiken des magnetischen Aufzeichnungsfeldes zu messen.
Ein SiN-Film wurde mit einer Dicke von 800 Å durch ein Magnetron-Sputterverfahren auf einem 2p-Scheibensubstrat geformt, welches ein Glassubstrat ist, auf welchem mit einem UV-härtbaren Harz Nuten gebildet wurden. Ein artifizieller Co-Pt-Gitterfilm wurde dann darauf mit einer Dicke von 200 Å geformt, um eine zweilagige magnetooptische Scheibe herzustellen.
Bei der Bildung des SiN-Films wurde eine Gasmischung aus Ar und N&sub2; mit einem Mischungsverhältnis von 1:1 und einem Gasdruck von 2×10&supmin;³ Torr verwendet und eine Leistung von 400W wurde an das Si-Target angelegt.
Bei der Bildung des artifiziellen Co-Pt-Gitterfilms wurde ein Ar-Gas als Sputtergas bei einem Druck von 4×10&supmin;³ Torr verwendet und eine RF-Leistung von 250W und eine DC-Leistung von 170W wurde gleichzeitig an die Co- und Pt-Targets angelegt, um gleichzeitig elektrische Entladung zu bewirken, um abwechselnd beide atomaren Schichten abzuscheiden, während das 2P-Scheibensubstrat bei 16 U/m gedreht wurde.
Unter diesen Bedingungen betrug die Koerzitivkraft des artifiziellen Co-Pt-basierten Gitterfilms 300 Oe.
Die Abhängigkeit der Träger- und Rauschpegel von dem aufzeichnenden Magnetfeld wurde dann bei der hergestellten magnetooptischen Scheibe gemessen. Die Bedingungen der Bewertung sind unten dargestellt und die Aufzeichnungsleistung war eine optimale Leistung, d.h. eine Leistung, bei der die zweiten Harmonischen der reproduzierten Signale an ihrem minimalen Pegel waren.
Anzahl der Umdrehungen 1000 U/m
Position der Aufzeichnung 5 cm n Radius
Aufzeichnungsfrequenz 500 kHz
Aufzeichnungsleistung 1 mW
Die Resultate sind in Fig.7 dargestellt, aus der ersichtlich ist, daß, wenn das aufzeichnende Magnetfeld 200 Oe überschreitet, der Rauschpegel beginnt zuzunehmen, während der Trägerpegel beginnt abzunehmen, bis die Aufzeichnung unmöglich wird bei einem aufzeichnenden Magnetfeld von 500 Oe. Der Bereich des aufzeichnenden Magnetfelds, welcher ein hohes C/N-Verhältnis liefert, ist so niedrig wie 50 bis 200 Oe, so daß die Charakteristiken des aufzeichnenden Magnetfelds nicht als zufriedenstellend bezeichnet werden können.

EXAMPLE 9

Eine magnetooptische Scheibe mit demselben Aufbau wie der des Vergleichsbeispiels 5 wurde präpariert und ein ThFeCo-Legierungsfilm und ein SiN-Film wurden dann darauf in dieser Reihenfolge mit Filmdicken von jeweils 1000 Å und 500 Å gebildet. Bei der Bildung des ThFeCo-Legierungsfilms wurde als Sputtergas Ar bei einem Druck von 4×10&supmin;³, und eine DC-Leistung von 120W wurde an das Th&sub2;&sub3;Fe&sub7;&sub3;CO&sub4;-Legierungstarget angelegt. Die Untergitter-Magnetisierung des Übergangsmetalls war vorherrschend in dem so gebildeten ThFeCo-Legierungsfilm.
Die oberste SiN-Schicht wurde unter denselben Bedingungen wie denen für die erste Schicht gebildet.
Eine Kerr-Schleife wie gemessen von der Substratseite der magnetooptischen Scheibe ist in Fig.8 dargestellt, aus der ersichtlich ist, daß, während der artifizielle Co-Pt-Gitterfilm an einem Punkt A eine Inversion der Magnetisierung durchläuft, die Koerzitivkraft des artifiziellen Co-Pt-Gitterfilms erhöht ist verglichen mit dem Wert [300 (Oe)] im Vergleichsbeispiel 5.
Die Abhängigkeit der Träger- und Rauschpegel von dem aufzeichnenden Magnetfeld, gemessen unter denselben Bedingungen wie denen für das Vergleichsbeispiel 5, ist in Fig.9 dargestellt, aus der ersichtlich wird, daß die Charakteristiken des aufzeichnenden Magnetfelds signifikant verbessert sind, verglichen mit dem Vergleichsbeispiel 5, was eine erhöhte Koerzitivkraft widerspiegelt. Das maximale C/N-Verhältnis ist 52dB, welches höher ist als der entsprechende Wert von 48dB im Vergleichsbeispiel 5.

BEISPIEL 10

Eine magnetooptische Scheibe wurde unter denselben Bedingungen und Prozessen wie denen für Beispiel 9 präpariert außer daß ein Th&sub2;&sub6;Fe&sub7;&sub0;CO&sub4;-Legierungstarget als ein Target für die Bildung eines ThFeCo-Legierungsfilms verwendet wurde. In diesem Fall ist die Untergitter-Magnetisierung des Seltenerdelements des ThFeCo-Legierungsfilms vorherrschend.
Die Abhängigkeit der Träger- und Rauschpegel von dem aufzeichnenden Magnetfeld, gemessen unter denselben Bedingungen wie denen für Vergleichsbeispiel 5, sind in Fig. 10 dargestellt, aus dem ersichtlich ist, daß die in Beispiel 9 demonstrierten Effekte in der Verbesserung der Koerzitivkraft des artifiziellen Co-Pt-Gitterfilms und den Charakteristiken des Aufzeichnungsmediums der magnetooptischen Scheibe in ähnlicher Weise erhalten werden können in Fällen, in denen die Untergitter-Magnetisierung der Seltenerdelemente in dem ThFeCo-Legierungsfilm vorherrschend ist.
Ähnliche Effekte können ebenso erhalten werden, wenn ein artifizieller Co-Pd-Gitterfilm für einen artifiziellen Co-Pt-Gitterfilm ersetzt wird und worin ein artifizieller Gitterfilm für einen Seltenerd-Übergangsmetall-Film ersetzt wird.
Aus dem Vorangegangenen ist ersichtlich, daß mit dem magnetooptischen Aufzeichnungsmedium gemäß der vorliegenden Erfindung die magnetische Schicht von einer Multischichtstruktur bestehend aus einem artifiziellen Gitterfilm ist, der durch abwechselndes Übereinanderschichten von Co- und Pt- und/oder Pd-Schichten und einer Seltenerd-Übergangsmetall-Schicht erhalten wird, so daß eine hohe Koerzitivkraft aufgrund des Seltenerd-Übergangsmetall-Films erzielt werden kann, während ein zufriedenstellender Kerr-Rotationswinkel in einem Bereich kürzerer Wellenlängen durch den artifiziellen Gitterfilm aufrechterhalten werden kann. Somit kann gemäß der vorliegenden Erfindung ein magnetooptisches Aufzeichnungsmedium bereitgestellt werden, welches mit der nächsten Generation von Aufreichnung hoher Dichte unter Einsatz eines Lasers kurzer Wellenlänge Schritt halten kann.

Claims

1. Magneto-optisches Aufzeichnungsmedium mit einer magnetischen Schicht (2) auf einem Substrat (1), wobei die magnetische Schicht (2) aus einem artifiziellen Gitterfilm (4) und einem Seltenerd-Übergangsmetall-Film (3) bestehend im wesentlichen aus einem Seltenerdelement und einem Übergangsmetall zusammengesetzt ist, und wobei der artifizielle Gitterfilm (4) und der Seltenerd-Übergangsmetall-Film (3) miteinander austauschgekoppelt sind, dadurch gekennzeichnet, daß der artifizielle Gitterfilm (4) aus einer Co-Schicht und einer Pt-Schicht und/oder einer Pd-Schicht zusammengesetzt ist, die übereinander gestapelt sind, und daß die Co-Schicht an der Grenzfläche mit dem Seltenerd-Übergangsmetall-Film (3) angeordnet ist.

2. Magneto-optisches Aufzeichnungsmedium nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Seltenerd-Übergangsmetall-Film (3) ein Seltenerd-Übergangsmetall-Legierungsfilm ist.

3. Magnetooptisches Aufzeichnungsmedium nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Seltenerd-Übergangsmetall-Film (3) ein artifizieller Gitterfilm ist, der aus einer Seltenerdschicht und einer Übergangsmetallschicht zusammengesetzt ist, die übereinandergestapelt sind.

4. Magnetooptisches Aufzeichnungsmedium nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der aus einer Co-Schicht und einer Pt-Schicht und/oder einer Pd-Schicht zusammengesetzte artifizielle Gitterfilm (4) und der Seltenerd-Übergangsmetall-Film (3) derart übereinandergestapelt sind, daß die jeweiligen Übergangsmetallschichten einander benachbart sind.