DE3623285C2 - - Google Patents

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Description

Die Erfindung betrifft ein magnetooptisches Aufzeichnungsmedium nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1, insbesondere ein magnetooptisches Aufzeichnungsmedium bei dem das Schreiben, Lesen und Löschen von Informationen unter Anwendung eines Laserstrahls möglich ist, bzw. einen Film zur Verwendung in einem derartige Aufzeichnungsmedium nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 10.
In letzter Zeit fand die magnetooptische Aufzeichnung angesichts der hohen Speicherdichte, der großen Speicherkapazität, des willkürlichen Auslesens und des umkehrbaren Schreibens/Lesens verstärkt Beachtung. Bei der magnetooptischen Aufzeichnung werden reversible magnetische Domämen durch Bestrahlung mit einem Laserstrahl und ein externes Vorspannungsmagnetfeld an magnetischen Dünnfilmen erzeugt, deren Magnetisierung senkrecht zur Filmoberfläche ist. Entsprechend der Magnetisierungsrichtung werden zwei digitale Informationen aufgezeichnet, wie "1" und "0". Derart aufgezeichnete Informationen werden unter Ausnutzung des polaren Kerr-Effekts oder Faraday-Effekts ausgelesen.
Bislang wurden als magnetooptisches Aufzeichnungsmedium Senkrecht-Magnetfilme vorgeschlagen, wie z. B. amorphe Seltenerd-Übergangsmetall-Dünnfilme. Ein amorpher Seltenerd- Übergangsmetall-Dünnfilm ( im folgenden als "amorpher RE-TM-Film" bezeichnet) wird aus folgenden Gründen als geeignet für ein Aufzeichnungmedium betrachtet: (1) Er ist ein Medium mit niedrigem Rauschen, da es in ihm keine kristallinen Grenzflächen gibt; und (2) die Herstellung von Dünnfilmen in großen Flächen ist leicht. Amorphe RE-TM-Filme sind beispielsweise in folgenden Druckschrifte dargestellt: US-Patente Nr. 41 26 494, 41 52 486, 45 69 881, 44 67 383 und 45 56 291, veröffentlichte UK-Patentanmeldung Nr. GB 20 71 698 A, japanische Patentanmeldungen Nr. 57-94948, 56-74843 und 58-73746, deutsche Offenlegungsschrift Nr. 33 17 101.
Da es jedoch bei der magnetooptischen Aufzeichnung wichtig ist, hinreichend hohe Auslesesignale mit einer möglichst kleinen Aufzeichnungsdomäne zu erhalten, um eine hohe Geschwindigkeit und eine hohe Dichte zu erzielen, genügen die Kerr-Drehwinkel in den bislang entwickelten magnetooptischen Aufzeichnungsfilmen den Anforderungen noch nicht.
Unter den amorphen RE-TM-Filmen erhält man relativ große Kerr-Drehwinkel bei amorphen Filmen, die aus Legierungen hergestellt sind, bei denen als das hauptsächliche Seltenerdelement Tb verwendet wird, z. B. Tb-Gd-Fe, Tb-Fe-Co, Tb-Gd-Fe-Co und ähnliche Legierungen. Da das Element Tb jedoch teuer ist, liegt ein Problem darin, daß die Kosten für den Film an sich steigen.
Aus der DE-AS 21 63 607 ist eine Speicherschicht für Cu­ rietemperaturscheiben und magnetooptisches Auslesen bekannt, in der als Speichermaterial eine Verbindung oder eine Mischung von Verbindungen aus Eisen und/oder Kobalt und/oder Nickel mit einem oder mehreren der Elemente Pr, Nd, Sm, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm odr Y mit einer Curietemperatur oberhalb der Raumtemperatur Anwendung findet. Über die allgemeine Feststellung hinaus, daß bei den Seltenerd-Eisen-Verbindungen die Curiertemperatur mit steigendem Zusatz des Seltenerd-Elements zunimmt, während bei den Seltenerd-Kobalt-Verbindungen die Curietemperatur mit steigendem Zusatz des Seltenerd-Elements abnimmt, sind dieser Anmeldung jedoch keine Hinweise zu entnehmen, wie die Anteile der Einzelkomponenten des Speichermaterials zu wählen sind, um die für die magnetooptische Aufzeichnung wesentlichen Materialparameter, insbesondere den Kerr-Drehwinkel, die Wellenlängen-Abhängigkeit des Kerr-Drehwinkels, die Korrosionsbeständigkeit sowie die Curie- und die Kompensatotionstemperatur, gezielt zu beeinflussen.
In der älteren, jedoch nicht vorveröffentlichen deutschen Patentanmeldung DE 36 04 642 A1 ist ein magnetooptisches Aufzeichnungsmedium beschrieben, bei dem auf einem Substrat eine amorphe Schicht aus einer Seltenerd-Übergangsmetall-Legierung ausgebildet ist, die der allgemeinen Formel
M a (Fe1-y Co y )100-a
entspricht, wobei M mindestens eines der Seltenerd-Elemente Tb, Gd oder Dy ist, a einen Anteil in Atom-% bezeichnet und der Beziehung 15≦a≦45 genügt, und y der Beziehung 0≦y≦1 genügt. Dieser Legierung wird ein Anteil zwischen 0,5 und 10 Atom-% eines zusätzlichen Elements, beispielsweise Er oder Ho, zugegeben. Soweit der Patentanspruch 1 und der Patentanspruch 10 auch Legierungszusammensetzungen umfassen, die bereits explizit aus dieser älteren Patentanmeldung bekannt sind, erstreckt sich der Patentschutz nicht auf diese Zusammensetzung.
Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung liegt darin, ein magnetooptisches Aufzeichnungsmedium und einen amorphen Film für ein magnetooptisches Aufzeichnungsmedium anzugeben, der hinreichend starke und gezielte wählbare magnetooptische Effekte zeigt, hohe Auslesesignale liefert und für die praktische Anwendung geeignet ist sowie mit niedrigen Kosten hergestellt werden kann.
Die Lösung dieser Aufgabe erfolgt mit einem magnetooptischen Aufzeichnungsmedium mit einem im wesentlichen amorphen Film, der aus einem zumindest quaternären Legierungssystem entsprechend der Formel
(R1-x M x ) a (Fe1-y Co y )100-a
aufgebaut ist, wobei die Komponente R zumindest ein Element aus der Gruppe La, Ce, Pr, Nd, Sm, Ho, Er und Yb und die Komponente M zumindest ein Element aus der Gruppe Tb, Dy und Gd ist, und die Anteile der Komponenten im Legierungssystem entsprechend den Vorgaben im kennzeichnenden Teil des Patentanspruchs 1 bzw 10 gewählt sind.
Bevorzugte Weiterbildungen der Erfindung, insbesondere vorteilhafte Beschränkungen der Bereiche für die Anteile der einzelnen Legierungskomponenten des amorphen Films entsprechend dem jeweiligen Anwendungszweck, sind in den Unteransprüchen angegeben.
Bevorzugte Ausführungsbeipiele der Erfindung werden unter Bezugnahme auf die anliegenden Zeichnungen beschrieben. In den Zeichnungen zeigen
Fig. 1, 3 und 4 grafische Darstellungen der Beziehung zwischen dem Kerr-Drehwinkel und dem Co-Gehalt in amorphen Filmen, die aus Legierungen der R-M-Fe-Co-Serie hergestellt sind;
Fig. 2(a) die Kerr-Hystereseschleife für einen amorphen Film aus (Nd0,7 Tb0,3)₂₆ (Fe0,9 Co0,1)₇₄
Fig. 2(b) die Kerr-Hystereseschleife für einen amorphen Film aus Nd₂₆ (Fe0,9 Co0,1)₇₄, und
Fig. 5 eine Schnittansicht eines Beispiels des magnetooptischen Aufzeichnungsmediums.
Untersuchungen ergaben, daß man aus Seltenerd-Eisen-Serien senkrecht magnetisierbare Filme auch mit ternären Legierungssystemen aus R-Fe-Co erhalten kann, wobei R ein Element aus der Gruppe La, Ce, Pr, Nd, Sm, Ho, Er und Yb ist. Diese Elemete sind billiger als Tb, und der Kerr-Drehwinkel R K dieser Filme kann erhöht werden. Da diese ternären Legierungssysteme jedoch im allgemeinen eine Koerzitivkraft H c haben, die nur etwa 24 kA/m oder weniger beträgt, wird die stabile Bildung der aufge­ zeichneten Bits durch das Aufbringen thermomagnetischer Kenngrößen machmal gestört.
Magnetooptische Aufzeichnungsfilme mit einer erhöhten Koerzitivkraft und einer Senkrecht- bzw. Quermagnetisierung mit einem hohen Kerr-Drehwinkel R K erhielt man, wenn diesen ternären Legierungssystemen ein weiteres Seltenerd-Element zugegeben wurde, das eine magnetische Anisotropie mit einem 4f-Elektronenorbitalimpuls L hatte, der ungleich Null war.
Es ist bekannt, daß eine Erhöhug des Kerr-Drehwinkels zu einer Erhöhung des Wertes des Produkts √ · R K führt (wobei R das Reflexionsvermögen und R K den Kerr-Drehwinkel bezeichnet). Da der Wert dieses Produkts proportional zum Pegel des Auslesesignals ist, kann mit dem erfindungsgemäßen magnetooptische Aufzeichnungsmedium das Auslese-Signal/Stör- Verhältnis (S/N-, Signal/Rausch-Verhältnis) beträchtlich verbessert werden.
Das magnetooptische Aufzeichnungsmedium ist zumindest aus einem quaternären Legierungssystem hergestellt, das folgender Formel entspricht:
(R1-x M x ) a (Fe1-y Co y )100-a (1)
Dabei bezeichnet R zumindest ein Element, das aus der Gruppe La, Ce, Pr, Nd, Sm, Ho, Er und Yb gewählt ist, und M zumindest ein Element, das aus der Gruppe Tb, Dy und Gd gewählt ist. x und y geben atomare Verhältnisse, und a gibt einen Anteil in Atom-% an, wobei x, y und a folgende Bedingungen genügen:
0 < x <0,5
0 < y <1
10 ≦ a ≦ 40
In obiger Legierung bewirkt das Element R, das mehr als die Hälfte des Seltenerd-Anteils in der Legierungszusammensetzung ausmacht, eine Erhöhung des Kerr-Drehwinkels und verringert die Herstellungskosten. Das Element M der Le­ gierungszusammensetzung bewirkt eine Erhöhung der Koerzitivkraft.
Um senkrecht magnetisierende Filme aus der oben genannten Legierung zu erhalten, ist es notwenig, den Gesamtanteil a des Seltenerd-Elements auf 10 bis 40 Atom-% einzustellen. Um senkrecht magnetisierende Filme mit einer größeren Restmagnetisierung und einer besseren Rechteckigkeit der Kerr-Hystereseschleife zu erhalten, liegt a vorzugsweise zwischen 20 und 30 Atom-%.
Wenn dem ternären Legierungssystem Tb oder Dy mit einem besonders große Orbitalimpuls L zugegeben wird, läßt sich ein senkrecht magnetisierbarer Film erzielen, der eine erhöhte Koerzitivkraft und eine gute Rechteckigkeit der Kerr-Hystereseschleife, jedoch eine beträchtlich abgesenkte Curie-Temperatur und einen verringerten Kerr- Drehwinkel aufweist. Deshalb ist es notwenig, das atomare Verhältnis x kleiner als 0,5 zu halten.
Wird andererseits in der erfindungsgemäß verwendeten Legierung Fe durch Co ersetzt, erhöht sich der Kerr-Drehwinkel R K mit dem Anstieg des Co-Gehalts und zeigt ein Maximum in der Nähe von x=0,3 bis 0,5, wie im Falle der herkömmlichen Tb-Fe-Co-Filme. Da eine Tendenz zur Erhöhung des Kerr-Drehwinkels R K besteht, wenn entweder Fe durch Co oder Co durch Fe ersetzt wird, ist die Co-Ersatzmenge y (Verhältnis) in der oben angebenen Formel (1) im Bereich 0<Y<1, vorzugsweise 0,3≦y≦0,5, zu halten. Allgemein bedeutet das, daß für die Filme mit der Fe-reichen Zusammensetzung hauptsächlich ihre Curie-Temperaturen Tc für das Schreiben verwendet werden (Curie-Punkt-Schreiben), während für die Filme mit der Co-reichen Zusammensetzung aufgrund der zu hohen Curie-Temperatur hauptsächlich die Kompensationstemperaturen Tcomp für das Schreiben verwendet werden (Kompensationspunkt-Schreiben). Zur Durchführung des Curie-Punkt-Schreibens wird daher y in der Legierungszusammensetzung nach Formel (1) auf 0<y<0,5 eingestellt. Beträgt y jedoch 0,4 oder mehr, besteht die Gefahr, daß aufgrund des zu hohen Wertes Tc das Schreiben nicht mittels eines Halbleiter-Lasers erfolgen kann. Damit beträgt zur vorteilhaften Durchführung des Curie-Punkt-Schreibens der Wert von y vorzugsweise 0<y≦0,4. Zur Durchführung des Kompensationspunkt-Schreibens wird andererseits y in der Legierungszusammensetzung nach Formel (1) auf 0,5<y<1 eingestellt.
Um die Aufzeichnungsempfindlichkeit, die Korrosionsbeständigkeit und die Lebensdauer des Dünnfilms aus der Legierung nach Formel (1) weiter zu erhöhen, ist es wirkungsvoll, ein oder mehrere Übergangsmetalle, wie z. B. Al, Ti, Cr, Nb, Ta, Pt usw., oder nicht-metallische Elemente, wie z. B. B, C, Si usw., in einer Menge von 10 Atom-% oder weniger zuzugeben.
Der für die Herstellung eines magnetooptischen Aufzeichnungsmediums verwendete amorphe Dünnfilm kann nach einem herkömmlichen Verfahren erzeugt werden, wie z. B. Aufdampfen oder Sputtern. Das magnetooptische Aufzeichnungsmedium wird in der Praxis in Form einer magnetooptischen Scheibe mit mehreren Schichten verwendet, die beispielsweise, wie in Fig. 5 gezeigt, ein Glas- oder Polymer (z. B. Epoxid)- Substrat 51 (z. B. 1,2 mm dick), eine UV-Harzschicht 52 (z. B. 30 µm), eine Zwischen- oder Interface-Schicht 53, beispielsweise aus SiO oder SiN (z. B. 0,1 µm), eine magnetische Aufzeichnungsschicht 54 (z. B. 0,1 µm) sowie eine Schutzschicht 55, beispielsweise aus SiO oder SiN (z. B. 0,15 µm), aufweisen. Die Dicke der einzelnen Schichten wird so festgelegt, daß der Wert des Produkts √ · R K des scheibenförmigen Mediums maximal wird. Im allgemeinen beträgt im Falle der Ausnutzung der polaren Kerr-Drehung die Dicke der magnetischen Aufzeichnungsschicht 54, d. h. des erfindungsgemäßen RE-TM-Dünnfilms, 50 bis 200 nm.
Die Erfindung wird anhand der folgenden Beispiele erläutert.
Beispiel 1
Die erfindungsgemäßen amorphen Legierungsfilme werden unter Anwendung eines Verbundtargets hergestellt, das man durch Anordnung von Seltenerd-Elementen oder Zusatzelementen in einem Bereich von 5×5 mm² auf einer kreisförmigen Fe- oder Co-Platte mit 110 mm Durchmesser erhält, um die vorgegebene Zusammensetzung in einem Flächenverhältnis herzustellen. Es findet ein Magnetron-Sputterverfahren oder ein Vorspannungs-Sputterverfahren Anwendung, wobei eine negative Vorspannung von -20 V bis -150 V an ein Substrat angelegt wird. Die amorphen Legierungsfilme können auch hergestellt werden, indem durch Vakuum-Licht­ bogenzersetzung eine Legierung mit einer bestimmten Zusammensetzung erzeugt und unter Verwendung der sich ergebenden Mutterlegierung eine Verdampfung durchgeführt wird.
Fig. 1 ist eine grafische Darstellung, die die Abhängigkeit des Kerr-Drehwinkels des amorphen Films vom Co-Gehalt zeigt, gemessen bei einer Laserstrahl-Wellenlänge λ von 822 nm. Die Kurve 11 in Fig. 1 wurde unter Verwendung einer Legierung mit der Formel: (Nd0,7 Tb0,3)₂₆ (Fe1-y Co y )₇₄, die Kurve 12 unter Verwendung einer Legierung mit der Formel: Tb₂₆ (Fe1-y Co y )₇₄ erhalten.
Wie aus Fig. 1 klar hervorgeht, läßt sich ein größerer Kerr-Drehwinkel R K erzielen, wenn, verglichen mit einer ternären Legierung entsprechend Tb₂₆ (Fe1-y Co y )₇₄, ein Teil des Tb durch Nd ersetzt wird.
Fig. 2(a) zeigt die Kerr-Hystereseschleife im Falle eines amorphen Films aus (Nd0,6 Tb0,4)₂₆ (Fe0,84 Co0,16)₇₄, Fig. 2(b) zeigt die Kerr-Hystereseschleife im Falle eines amorphe Films aus Nd₂₆ (Fe0,84 Co0,16)₇₄. Wie durch Fig. 2 dargestellt, läßt sich ein Film für ein magnetooptisches Material mit einer erhöhten Koerzitivkraft und einer guten Rechteckigkeit der Kerr-Hystereseschleife erzielen, wenn Tb, Dy oder Gd mit einem großen Orbitalimpuls L zugegeben wird. Die oben angegebenen Ergebnisse lassen sich auch erreichen, wenn andere Legierungssysteme im Rahmen der Formel (1) verwendet werden.
Wie aus Fig. 1 dargestellt, hat die Legierung aus dem Nd-Tb-Fe-Co-System im Bereich 0,15≦y≦0,7 einen großen Kerr-Drehwinkel R K von 0,5° oder mehr.
Beispiel 2
Erfindungsgemäß amorphe Dünnfilme werden entweder durch Elektronenstrahlverdampfung oder durch ein Magnetron- Sputterverfahren hergestellt. Bei dem Verdampfungsverfahren werden unter Verwendung eines Hochfrequenz-Heizofens zuerst Mutterlegierungen vorbereitet und anschließend einer Aufdampfung auf ein Glassubtrat (10 mm Durchmesser) unterzogen, wobei eine Elektronenstrahl-Verdampfungsvorrichtung mit zwei getrennten Quellen Anwendung findet, und der Hintergrunddruck während der Abscheidung 1,33×10-5 Pa bis 1,33×10-4 Pa beträgt. Die Abscheiderate liegt bei 0,3 bis 0,5 nm/sec. Die Filmdicke beträgt bis zu 0,1 µm. Beim oben genannten Sputter-Verfahren werden die RE-TM-Dünnfilme (typischerweise 0,1 µm dick) unter Verwendung einer Hochfrequenz-Magnetron-Sputtervorrichtung in einer Ar-Atmosphäre mit 6,65×10-1 Pa bis 26,6 Pa auf ein Glassubstrat (10 mm Durchmesser) aufgesputtert. Für die Sputterabscheidung wird ein Verbundtarget verwendet, das Seltenerd-Metalle oder Übergangsmetalle (10×10 mm²-Chips) enthält, die auf einer Co- oder Fe-Scheibe mit 120 mm Durchmesser angeordnet sind.
Fig. 3 ist eine grafische Darstellung, die die Abhängigkeit des Kerr-Drehwinkels vom Co-Gehalt in zwei magnetooptischen Medien zeigt, gemessen bei einer Wellenlänge des Laserstrahls von 822 nm. Kurve 31 wurde für einen amorphen Dünnfilm mit der Formel (Tb0,3 Sm0,7)₂₁ (Fe₁-y Co y )₇₉ gemessen, der nach dem oben genannten Verdampfungsverfahren hergestellt wurde. Daneben sind in der Figur die Ergebnisse für amorphe Filme mit der Formel Tb₂₁ (Fe1-y Co y )₇₉ durch Kurve 32 dargestellt. Wie aus Fig. 3 klar wird, steigt der Kerr-Drehwinkel mit dem Ersatz von Tb durch Sm an. Das Refelxionsvermögen R ändert sich andererseits nicht merklich und zeigt in dem Zusammensetzungsbereich der Proben nach Fig. 3 einen Wert von R=52-55%. Mit dem Ersetzen von Tb durch Sm erhöht sich damit der Wert des Produkts √ · R K was sich in einer Erhöhung des Auslese-Ladungsträger/Rausch- Verhältnis (C/N-Verhältnis) niederschlägt. Daneben ist die Curie-Temperatur dieser Proben geringer als 250°C, wenn y in einem Bereich unter 20% liegt.
Beispiel 3
Fig. 4 ist eine grafische Darstellung, die die Abhängigkeit des Kerr-Drehwinkels vom Co-Gehalt in amorphen Filmen mit der Formel (La0,6 Tb0,1)₂₅ (Fe1-y Co y )₇₅ (Kurve 41) bzw. mit der Formel (Ho0,6 Tb0,4)₂₄ (Fe1-y Co y )₇₆ (Kurve 42) zeigt, gemessen bei einer Wellenlänge des Laserstrahls von 822 nm. Neben dem Ersatz von Seltenerd-Elementen untereinander kann der Kerr-Drehwinkel auch durch Einsatz von Fe durch Co maximiert werden, wie es in dieser Figur gezeigt ist. Der Kerr-Drehwinkel des La-Tb-Fe-Co-Legierungssystems erreicht den Maximalwert von 0,5° bei y=0,25 bis 0,35. Damit können die Eigenschaften der amorphen Filme für eine magnetooptische Anwendung leicht optimiert werden, indem die zu ersetzende Menge sowohl der Seltenerd-Elemente durch andere Seltenerd-Elemente als auch von Fe durch Co in den erfindunsgemäßen quaternären Legierungssystemen optimiert wird.
Beipiel 4
Kerr-Drehwinkel von repräsentativen amorphen magnetooptischen Medien nach vorliegender Erfindung sind in Tabelle 1 aufgeführt. Auch diese amorphen Filme können mit dem Hochfrequenz-Magnetron-Sputterverfahren auf ähnliche Weise wie in Beispiel 1 hergestellt werden. Eine große Kerr-Drehung von mehr als 0,4° wird in quaternären Legierungssystemen erzielt. Unter Verwendung der in Tabelle 1 angegebenen amorphen Filme werden magnetooptische Scheiben mit einem Durchmesser von 130 mm hergestellt. Die sich ergebenden Scheiben zeigen ein hohes C/N-Verhältnis von 50 bis 55 dB bei einer Aufzeichnungsfrequenz von 1 MHz und einer Aufzeichnungs-Laserleistung von 5 bis 11 mW.
Wie oben beschrieben, haben die erfindungsgemäßen amorphen Filme bessere magnetooptische Eigenschaften als herkömmliche amorphe RE-TM-Filme. In Vielschicht-Medien, in denen diese amorphen Filme Anwendung finden, können die Kerr-Drehung und das Auslese-Ladungsträger/Rausch- Verhältnis (C/N-Verhältnis) weiter verbessert werden. Daneben sind vielerlei Abwandlungen und Modifikationen der Erfindung im Lichte der offenbaren technischen Lehre möglich.
Zusammensetzung
Kerr-Drehwinkel R K (Grad)
(Ce0,55Tb0,45)₂₀(Fe0,7Co0,3)₈₀
0,43
(Pr0,6Tb0,4)₂₁(Fe0,7Co0,3)₇₉ 0,45
(Er0,55Tb0,45)₁₉(Fe0,8Co0,2)₈₁ 0,42
(Yb0,6Tb0,4)₂₀(Fe0,7Co0,3)₈₀ 0,40
(La0,6Tb0,4)₂₀(Fe0,7Co0,3)₈₀ 0,45
(Sm0,55Dy0,45)₂₀(Fe0,8Co0,2)₈₀ 0,45
(Ho0,6Dy0,4)₂₅(Fe0,7Co0,3)₇₅ 0,41
(Nd0,6Dy0,4)₂₄(Fe0,7Co0,3)₇₆ 0,42
(Ho0,6Gd0,4)₂₅(Fe0,7Co0,3)₇₅ 0,42
(Sm0,6Gd0,4)₂₀(Fe0,7Co0,3)₈₀ 0,53
(Nd0,6Gd0,4)₂₀(Fe0,7Co0,3)₈₀ 0,55

Claims (12)

1. Magnetooptisches Aufzeichnungsmedium mit einem im wesenlichen amorphen Film aus einer Legierung aus Fe und Co mit mindestens einem der Elemente Pr, Nd, Sm, Gd, Tb, Dy, Ho und Er, dadurch gekennzeichnet, daß die Legierung folgene Zusammensetzung ausweist: (R1-x M x )a (Fe1-y CO y )100-a (1)wobei R zumindest ein Element aus der Gruppe, La, Ce, Pr, Nd, Sm, Ho, Er und Yb, und M zumindest ein Element aus der Gruppe Tb, Dy und Gd ist, und x und y atomare Verhältnisse und a einen Anteil in Atom-% angeben und jeweils folgende Bedingungen genügen: 0 < x < 0,5
 0 < y <1
10 ≦ a ≦ 40
2. Magnetooptisches Aufzeichnungsmedium nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß a in der Formel (1) im Bereich 20≦ a≦30 liegt.
3. Magnetooptisches Aufzeichnungsmedium nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß x in der Formel (1) im Bereich 0,3≦x<0,5 liegt.
4. Magnetooptisches Aufzeichnungsmedium nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß y in der Formel (1) im Bereich 0,3≦y≦0,5 liegt.
5. Magnetooptisches Aufzeichnungsmedium nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß y in der Formel (1) im Bereich 0<y<0,5 liegt.
6. Magnetooptisches Aufzeichnungsmedium nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß y in der Formel (1) im Bereich 0<y≦0,4 liegt.
7. Magnetooptisches Aufzeichnungsmedium nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß y in der Formel (1) im Bereich 0,5<y<1 liegt.
8. Magnetooptisches Aufzeichnungsmedium nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß R in der Formel (1) Nd, Sm oder Ho ist.
9. Magnetooptisches Aufzeichnungsmedium nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Legierung eine quaternäre Legierung aus Sm-Tb-Fe-Co, Nd-Tb-Fe-Co, Ho-Tb-Fe-Co, Sm-Gd-Fe-Co oder Ho-Gd-Fe-Co ist.
10. Magnetooptisches Aufzeichnungsmedium nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Komponente R in der Formel (1) zumindest zwei Elemente aufweist.
11. Film für das Schreiben, Lesen oder Löschen von Informationen zur Verwendung in einem magnetooptischen Aufzeichnungsmedium, der im wesentlichen amorph ist und aus einer Legierung aus Fe und Co mit mindestens einem der Elemente Pr, Nd, Sm, Gd, Tb, Dy, Ho und Er hergestellt ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Legierung folgende Zusammensetzung aufweist: (R1-x M x ) a (Fe1-y Co y )100-a (1)wobei R zumindest ein Element aus der Gruppe La, Ce, Pr, Nd, Sm, Ho, Er und Yb, und M zumindest ein Element aus der Gruppe Tb, Dy, und Gd ist, und x und y atomare Verhältnisse und a einen Anteil in Atom-% angeben und jeweils folgenden Bedingungen genügen:0 < x < 0,5
0 < y <1
10 ≦ a ≦ 40
12. Film nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß R in der Formel Nd, Sm oder Ho ist.
DE19863623285 1985-07-12 1986-07-10 Magnetooptisches aufzeichnungsmedium Granted DE3623285A1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60152215A JPH0782670B2 (ja) 1985-07-12 1985-07-12 光磁気記録媒体

Publications (2)

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