DE3604642C2 - - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein magnetooptisches Aufzeichnungsmedium nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1. Bei solchen Aufzeichnungsmedien erfolgt das Schreiben, Lesen und Löschen von Informationen mittels Laserstrahlen; dies zeichnet sich durch besondere Störungsfreiheit und hohe Dauerfestigkeit aus.

Amorphe Schichten aus Seltenen Erdmetallen-Übergangsmetallen, die zur Erzeugung eines relativ hohen Kerr-Drehungswinkels R _k fähig sind, gelten als wichtige Aufzeichnungsmaterialien für magnetooptische Aufzeichnungsverfahren mit löschbaren optischen Aufzeichnungssystemen. Die amorphen Schichten aus Seltenen Erdmetall-Übergangsmetallen lassen sich in zwei Hauptlegierungsgruppen einteilen, d. h. Schichten auf der Basis von Co-Legierungen mit überwiegendem Co-Gehalt, wobei beim Schreiben vorwiegend ein Kompensationspunkt ausgenutzt wird, und Schichten auf der Basis von Fe-Legierungen mit überwiegendem Fe-Gehalt, wobei beim Schreiben vorwiegend ein Curie-Punkt ausgenützt wird.

Ein solches Aufzeichnungsmaterial auf Tb-Co-Fe-Basis ist beispielsweise aus der DE-OS 33 09 483 bekannt.

Die DE-OS 30 02 642 beschreibt ein Material für thermomagnetische Datenträger auf der Basis eines Gadolinium-Eisen-Systems, bei dem die Aufzeichnungsschicht Bor enthält, um die Kristallisationstemperatur des Materials zu erhöhen. Das Gadolinium wird dabei zur Einstellung der Curie-Temperatur zum Teil durch Holmium, Dysprosium oder Terbium ersetzt.

Bei den amorphen Schichten läßt sich ein relativ breiter Kerr-Drehwinkel R _k insbesondere mit amorphen Schichten auf der Basis von Fe-Legierungen der Zusammensetzung Gd-Tb-Fe oder Tb-Fe-Co erhalten. Bisher wurden umfangreiche Forschungs- und Entwicklungsarbeiten mit derartigen Legierungen auf Fe-Basis durchgeführt; vgl. beispielsweise GB-PS 20 71 696 und JP-OS 58-73 746. Jedoch haben derartige amorphe Schichten auf der Basis von Seltenen Erdmetallen- Übergangsmetallen eine geringe Korrosionsbeständigkeit. Verbleiben diese Schichten ohne jegliche Schutzschicht in einer stark feuchten Atmosphäre, so unterliegen sie einer raschen Korrosion unter Bildung von feinen Löchern.

Bisher wurde der Zusatz von Al und Ni zur Erhöhung der Korrosionsbeständigkeit ohne Beeinträchtigung des Kerr- Drehwinkels R _k als wichtigem Faktor zum Auslesen (readout) vorgeschlagen (vgl. K. Aratani, T. Kobayashi und S. Uchiyama, J- Appl. Phys., Bd. 57, Nr. 8 (1985), S. 3903; M. Asano, M. Kobayashi, K. Kawamura und S. Ohno, MRS Spring Meeting Symposium D 6.5 [1985]).

Werden jedoch herkömmliche amorphe Schichten, einschließlich die vorgenannten Legierungsschichten, zahlreichen wiederholten Schreib-, Lese- und Löschvorgängen unterworfen, so wird das Träger/Rauschverhältnis (C/N) des Auslesens durch thermische Hysterese aufgrund einer Belichtung durch Laserstrahlen allmählich verschlechtert, oder es kommt zur allmählichen Beenträchtigung der Eigenschaften durch Oxidation u. dgl. auch bei atmosphärischen Bedingungen. Somit treten in bezug auf die Lebensdauer derartiger Schichten Schwierigkeiten auf. Insbesondere ist dies bei Legierungssystemen auf Fe-Basis mit einem großen Fe-Gehalt neben den Seltenen Erdmetallen der Fall, so daß hier die Schwierigkeiten mit einer geringen Korrosionsbeständigkeit und einer sehr kurzen Lebensdauer der Schichten besonders ausgeprägt sind.

Aufgabe der Erfindung ist es, ein magnetooptisches Aufzeichnungsmedium bereitzustellen, bei dem es zu keiner Beeinträchtigung des C/N-Werts des Auslesens kommt, selbst wenn das Aufzeichnungsmedium einer thermischen Hysterese durch Belichtung mit Laserstrahlen u. dgl. unterworfen wird. Ferner soll dieses Aufzeichnungsmedium sich durch eine ausgeprägte Korrosionsbeständigkeit auszeichnen.

Diese Aufgabe wird durch ein magnetooptisches Aufzeichnungsmedium mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1 gelöst.

Solche Aufzeichnungsschichten besitzen eine Achse der leichten Magnetisierung in einer zur Schichtoberfläche senkrechten Richtung. Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.

Unter den amorphen Schichten aus Seltenen Erdmetallen- Übergangsmetallen besitzen Systeme auf Basis von Fe-Legierungen mit hohem Fe-Anteil neben den Seltenen Erdmetallen eine geringe Korrosionsbeständigkeit. Somit wird vorzugsweise aus den zusätzlichen Ellementen mindestens einer der Bestandteile Nb, Ta und Rh ausgewählt und dem Legierungssystem auf Fe-Basis zugesetzt, da, wie nachstehend näher erläutert, Nb, Ta und Rh die Korrosionsbeständigkeit stark verbessern. Es braucht nicht eigens erwähnt zu werden, daß die Zugabe eines dieser zusätzlichen Elemente zu Legierungssystemen auf Co-Basis, die von Haus aus eine höhere Korrosionsbeständigkeit als Legierungssysteme auf Fe-Basis besitzen, deren Korrosionsbeständigkeit noch verbessern kann.

Bei Legierungssystemen auf Co-Basis erweist sich die Zugabe von Nb oder Rh als wirksam, jedoch ist eine Zugabe von Ta oder W noch wirksamer, wobei sich eine Zugabe von Ta als besonders effektiv erweist.

Bei Legierungssystemen auf Co-Basis erweist sich die Zugabe mindestens eines der Bestandteile Ho, Nb und Rh als wirksam, jedoch ist eine Zugabe von mindestens einem der Bestandteile Er, Ta und W noch wirksamer, wobei sich eine Zugabe von Ta als besonders wirksam erweist.

Beim Legierungssystem auf Fe-Basis handelt es sich um ein Legierungssystem der allgemeinen Formel

(Fe_1-x M _x )_100-a R _a

in der M ein von Fe abweichendes Übergangsmetallelement bedeutet, R ein Seltenes Erdmetall bedeutet und x einen Wert von nicht mehr als 0,5 hat. Erfindungsgemäß wird mindestens eines der zusätzlichen Elemente einem derartigen Legierungssystem zugesetzt.

Beim Legierungssystem auf Co-Basis handelt es sich um ein Legierungssystem der allgemeinen Formel

(Co_1-x M _x )_100-a R _a

in der M ein von Co abweichendes Übergangsmetallelement bedeutet, R ein Seltenes Erdmetall bedeutet und x einen Wert von nicht mehr als 0,5 hat. Erfindungsgemäß wird mindestens eines der zusätzlichen Elemente diesem Legierungssystem zugesetzt.

Legierungssysteme der allgemeinen Formel

(Co_0,5Fe_0,5)_100-a R _a

die nicht von den vorgenannten beiden Legierungssystemen umfaßt werden, fallen ebenfalls unter den Gegenstand der Erfindung, da mit ihnen die gleiche Wirkung wie mit Legierungssystemen auf Co-Basis erzielt werden kann.

In den vorstehenden allgemeinen Formeln hat a im allgemeinen einen Wert von 15 bis 45 und insbesondere von 18 bis 30.

Nachstehend wird das erfindungsgemäße Prinzip näher erläutert.

Ein Kriterium für die thermische Stabilität einer amorphen Legierungsschicht stellt im allgemeinen die Kristallisationstemperatur Tx dar, wobei Tx die Temperatur bedeutet, bei der die amorphe Phase in eine kristalline Phase übergeht. Je höher im allgemeinen Tx einer amorphen Legierungsschicht ist, desto stabiler ist die amorphe Phase bis zu hohen Temperaturen, was eine höhere thermische Stabilität bedeutet. Jedoch wird bei Belichtung mit einem Laserstrahl während des Schreibens, Lesens oder Löschens, insbesondere während des Schreibens, die amorphe Legierungsschicht lokal bis etwa zur Curie-Temperatur erhitzt, bei der die Magnetisierung verschwindet. Somit muß bei der Herstellung eines magnetooptischen Aufzeichnungsmaterials, das beständig gegen thermische Hysterese durch Belichtung mit Laserstrahlen ist, neben der Kristallisationstemperatur Tx auch die Curie-Temperatur Tc berücksichtigt werden. Somit kann die thermische Stabilität gegenüber der thermischen Hysterese verbessert werden, indem man gleichzeitig Tx erhöht und die Differenz zwischen Tx und Tc möglichst groß macht.

Andererseits stellt die Curie-Temperatur ein Kriterium für die Aufzeichnungsempfindlichkeit dar. Bei einer niedrigeren Curie-Temperatur Tc innerhalb eines Temperaturbereichs, in dem geschriebene Informationen stabil bleiben (da die geschriebenen Informationen durch eine geringfügige Temperaturschwankung bei zu niedrigem Tc, z. B. nahe Raumtemperatur, verschwinden), kann die Energie eines Laserstrahls zum Schreiben gesenkt werden. Dies bedeutet, daß die Aufzeichnungsempfindlichkeit gesteigert werden kann.

Unter Berücksichtigung dieser Gesichtspunkte wurde im Rahmen der vorliegenden Erfindung die Kristallisationstemperatur Tx als Kriterium für die thermische Stabilität und die Curie-Temperatur Tc als wichtiges Kriterium für die Aufzeichnungsempfindlichkeit von amorphen Schichten aus Legierungssystemen auf Fe-Basis der Zusammensetzung Tb-Fe-Co, die einen hohen Kerr-Drehwinkel R _k ergeben, unter Zugabe von verschiedenen Elementen untersucht.

In Fig. 1 sind die Veränderungen von Tx, Tc und des Kerr- Drehwinkels R _k pro Atomprozent eines Zusatzelements dargestellt, wobei Fe einer typischen Tb_31,6Fe_57,3Co_11,1- amorphen Schicht (Flächenverhältnis im Target) in einem Anteil von 5 Prozent (Flächenverhältnis) durch andere Elemente (B, Al, Ni, Nb, Ru, Rh oder W) ersetzt wird. Positive Werte entsprechen einer Zunahme und negative Werte einer Abnahme. Der Stern (*) zeigt die Werte für nicht-substituierte Tb_31,6Fe_57,3Co_11,1-amorphe Schichten. Je höher Tx und je größer die Differenz zwischen Tx und Tc sind, desto höher ist die thermische Stabilität. Somit ist es erforderlich, ein zusätzliches Element auszuwählen, das zur Erhöhung von Tx und zur Senkung von Tc in der Lage ist, d. h. ein zusätzliches Element, das eine größere Differenz Δ Tx-Δ Tc ergibt. Dabei ist es wünschenswert, ein zusätzliches Element auszuwählen, das nicht den Wert des Kerr-Drehwinkels R _k als wesentliche Eigenschaft des magnetooptischen Aufzeichnungsmaterials verringert. Ferner ist es wünschenswert, daß die Curie- Temperatur Tc mindestens über 100°C liegt, um die geschriebene Information stabil zu erhalten.

Wie aus Fig. 1 ersichtlich ist, wurde erfindungsgemäß festgestellt, daß die Zugabe eines der Elemente Nb, Ta, Rh oder W eine beträchtliche Erhöhung der Differenz Δ Tx-Δ Tc bei geringer Abnahme des Kerr-Drehwinkels und eine beträchtliche Erhöhung der thermischen Stabilität ergibt. Aus Fig. 1 ist auch ersichtlich, daß die Zugabe von Al oder Ni, die die Korrosionsbeständigkeit erhöhen, im Hinblick auf die thermische Stabilität nicht bevorzugt ist.

Um die genannte Wirkung durch Zugabe der zusätzlichen Elemente Nb, Ta, Rh oder W zu erreichen, ist es erforderlich, daß der Anteil dieser Elemente mindestens 0,5 Atomprozent beträgt. Zur Erzielung dieser Wirkung unter möglichst geringer Abnahme des Kerr-Drehwinkels beträgt dieser Anteil vorzugsweise 0,5 bis 10 Atomprozent.

Fig. 2 zeigt die Abhängigkeit der Kristallisationstemperatur und des Kerr-Drehwinkels R _k von der Zusammensetzung einer Tb₂₁Fe₆₀Co₁₉-amorphen Schicht auf Basis eines Fe- Legierungssystems, insbesondere die Abhängigkeit vom Substitutionsanteil, wenn Fe durch Nb, Ta oder Rh ersetzt wird. Es zeigt sich, daß bei Zugabe des zusätzlichen Elements in einer Menge von mehr als 10 Atomprozent die senkrechte magnetische Anisotropie beträchtlich abnimmt und der Kerr-Drehwinkel R _k auf weniger als 0,2 gesenkt wird. Um ein für die Praxis ausreichendes Auslesen zu erzielen, beträgt vorzugsweise der Anteil des zusätzlichen Elements nicht mehr als 10 Atomprozent. Um eine beträchtliche Steigerung der Korrosionsbeständigkeit bei möglichst geringer Abnahme der Aufzeichnungseigenschaften zu erzielen, wird das zusätzliche Element vorzugsweise in einer Menge von 3 bis 8 Atomprozent zugegeben.

Es ist offensichtlich, daß die vorstehende Wirkung auch erzielt werden kann, wenn man zwei oder mehr Bestandteile aus der Gruppe Nb, Ta, Rh und W unter Optimierung der Verbesserung der Eigenschaften in einer Gesamtmenge von 0,5 bis 10 Atomprozent zusetzt. Ferner ist es offensichtlich, daß das erfindungsgemäße Prinzip nicht nur auf amorphe Schichten aus Seltenen Erdmetallen-Übergangsmetallen auf der Basis von Fe-Legierungen, sondern auch auf Legierungen auf Co-Basis, die im Vergleich zu Legierungen auf Fe-Basis eine höhere Korrosionsbeständigkeit aufweisen, angewandt werden kann. Dies bedeutet, daß im Fall von Legierungen auf Co-Basis Schreibvorgänge vorwiegend unter Ausnutzung der magnetischen Kompensationstemperatur T _comp durchgeführt wird, und somit die Differenz zwischen Tx und Tc nicht so sehr in Betracht gezogen wird. Im allgemeinen wird T _comp auf nicht mehr als 150°C gedrückt. Somit kann die thermische Stabilität erfindungsgemäß durch Zugabe eines zusätzlichen Elements, das zur Erhöhung von Tx in der Lage ist, verbessert werden.

Die Wirkung der zusätzlichen Elemente Nb, Ta, Rh und W zeigt sich auch bei Seltenen Erdmetall-Übergangsmetall- amorphen Schichten von binären und quaternären Legierungssystemen.

Beispiele für magnetooptische Aufzeichnungsmedien aus Seltenen Erdmetall- Übergangsmetall-Systemen sind Tb-Fe-Co, Tb-Fe, Tb-Gd-Fe, Tb-Sm-Fe, Gd-Dy-Fe, Gd-Sm-Fe, Tb-Co, Tb-Dy-Fe, Tb-Dy-Fe-Co, Tb-Gd-Fe-Co, Tb-Sm-Fe-Co, Dy-Sm-Fe-Co, Gd-Dy-Fe-Co, Gd-Sm-Fe-Co, Gd-Ho-Fe-Co, Gd-Nd-Fe-Co, Gd-Pr-Fe-Co u. dgl.

Nachstehend wird die Erfindung unter Bezugnahme auf die Zeichnungen näher erläutert. Es zeigt:

Fig. 1 ein Diagramm, das die Veränderungen der Kristallisationstemperatur Tx, der Curie-Temperatur Tc und des Kerr-Drehwinkels R _k wiedergibt, wenn 1 Atomprozent des Fe einer amorphen Schicht aus Tb-Fe-Co durch ein zusätzliches Element R ersetzt wird;

Fig. 2 ein Diagramm, das die Veränderungen der Kristallisationstemperatur Tx und des Kerr-Drehwinkels R _k wiedergibt, wenn die Menge des zusätzlichen Elements in Tb₂₁Fe_60-x CO₁₉R _x -amorphen Schichten (R = Nb, Ta oder Rh) verändert wird;

Fig. 3 ein Diagramm, das die zeitliche Veränderung der Reflexion R in Tb-Fe-Co-amorphen Schichten darstellt; und

Fig. 4 ein Diagramm, das die zeitliche Veränderung der Transmission bei typischen Tb-Fe-Co-amorphen Schichten darstellt.

Im folgenden Beispiel werden die nachstehend angegebenen amorphen Legierungsschichten verwendet: Tb-Fe- und Tb-Co- Legierungen als binäre Systeme; Tb-Fe-Co- und Gd-Tb-Fe- Legierungen als ternäre Systeme; Tb-Dy-Fe-Co-Legierungen (Tb-Fe-Co-System) sowie Gd-Tb-Fe-Co- und Gd-Dy-Fe-Co- Legierungen (Gd-Fe-Co-System) als quaternäre Systeme. Nb, Ta, Rh und W werden als zusätzliche Elemente verwendet. Zu Vergleichszwecken werden Al und Ni als zusätzliche Elemente eingesetzt. Eine amorphe Legierungsschicht wird auf einer Fe-Scheibe mit einem Durchmesser von 20,3 cm (8 in) durch Magnetronzerstäuben ausgebildet, wobei ein Verbundtarget verwendet wird, auf dem eine quadratische Platte eines Seltenen Erdmetalls von 5 mm Kantenlänge und eine quadratische Platte eines Übergangsmetallelements, z. B. Co u. dgl., von 10 mm Kantenlänge im Flächenverhältnis angeordnet sind. Die amorphe Legierungsschicht kann nicht nur durch Zerstäuben, sondern auch durch Abscheidung aus der Dampfphase, beispielsweise durch Mehrfach-Coverdampfung durch Elektronenstrahlenheizung u. dgl., gebildet werden.

Scheiben zur Bewertung der Schreib- und Lesevorgänge werden hergestellt, indem man auf einer Glasscheibe von 12,7 cm (5 in) Durchmesser mit einem UV-Harz Rillen legt und darauf eine SiO-Schicht (Schichtdicke etwa 1000 Å), die genannte amorphe Legierungsschicht (Schichtdicke etwa 1000 Å) und eine SiO-Schicht (Schichtdicke etwa 1000 Å) in der angegebenen Reihenfolge aufbringt.

Als Substrat für die magnetooptische Scheibe können Polycarbonat (PC), Acrylharz (PMMA), Epoxyharz u. dgl. anstelle von Glas verwendet werden. Die auf den Spurrillen gebildete SiO-Schicht bewirkt als Interferenzschicht eine Verstärkung des Kerr-Effekts. Diese Schicht kann durch Zerstäuben oder Abscheidung aus der Dampfphase gebildet werden. Neben SiO-Schichten können auch dielektrische Schichten aus Oxiden, wie ZrO₂, Ta₂O₃ u. dgl., Nitriden, wie Si₃N₄, AlN u. dgl., verwendet werden. Die auf der amorphen Legierungsschicht gebildete SiO-Schicht wirkt als Schutzschicht zur Verbesserung der Lebensdauer der Schicht. Diese Schicht kann durch Zerstäuben, Abscheidung aus der Dampfphase u. dgl. gebildet werden. Abgesehen von der SiO-Schicht können auch Schichten aus Oxiden, Nitriden, polymeren Materialien, metallischen Materialien u. dgl., die eine gute Beständigkeit gegen Umwelteinflüsse besitzen, verwendet werden. Die Werte für den Kerr-Drehwinkel R _k , die Koerzitivkraft Hc, die Curie-Temperatur Tc und die Kristallisationstemperatur Tx der in diesem Beispiel verwendeten typischken amorphen Legierungsschichten sind in nachstehender Tabelle aufgeführt. Aus dieser Tabelle ergeben sich folgende Schichteigenschaften:

R _k = 0,31 bis 0,45° Hc = 2 bis 10 KOe Tc = 190 bis 220°C Tx = 400 bis 415°C

Bewertungen von Schreib- und Lesevorgängen werden mit diesen Aufzeichnungsschichten bei einer konstanten Scheibendrehzahl von 1200 U/min durchgeführt. Die Schreib-, Les- und Löschvorgänge werden mit einer Schreiblaserleistung von 8 mW, einem externen magnetischen Feld Hex von 300 Oe und einer Leselaserleistung von 1,5 mW durchgeführt. Dabei wird festgestellt, daß Aufzeichnungsschichten mit einem Gehalt an Nb, Ta, Rh oder W keine Veränderung im C/N-Wert des Auslesens und eine hohe thermische Stabilität auch nach 10⁶ Wiederholungen zeigen. Scheiben mit anderen Aufzeichnungsschichten unterliegen nach 10⁴ Wiederholungen einer Verschlechterung des C/N-Werts um einige dB.

In der Tabelle ist für die Legierungen auf Co-Basis im unteren Abschnitt kein Tc-Wert angegeben, da der Schreibvorgang vorwiegend unter Anwendung des Kompensationspunkts vorgenommen wird. Die Kompensationstemperatur dieser amorphen Legierungsschichten kann leicht durch Optimierung ihrer Zusammensetzung auf nicht mehr als 150°C gedrückt werden. Somit kann Tx durch Zugabe von Nb und dgl. erhöht und infolgedessen die thermische Stabilität verbessert werden, wie vorstehend erläutert.

Tabelle

Nachstehend werden Fälle beschrieben, bei denen neben der thermischen Stabilität auch die Korrosionsbeständigkeit berücksichtigt wird.

Fig. 3 zeigt die zeitlichen Veränderungen der Reflexion R, die sich ergeben, wenn man typische amorphe Schichten aus Tb₂₉Fe₇₁, Tb₂₉Fe₅₈Co₁₃, Tb₂₉Fe₅₃Co₁₃R₅ (R = Al, Nb, Ta, Rh oder W) bei 60°C und 95 Prozent relativer Luftfeuchtigkeit stehen läßt. Die einzelnen amorphen Schichten werden auf die vorstehend beschriebene Weise hergestellt. Zur Bewertung der Korrosionsbeständigkeit wird die zeitliche Veränderung der Reflexion herangezogen.

In Fig. 3 sind die in bezug auf die ursprüngliche Reflexion R₀ normalisierten Werte auf der Ordinate angegeben. Die Kurve 1 gilt für Tb₂₉Fe₅₃Co₁₃Nb₅, die Kurve 2 für Tb₂₉Fe₅₃ Co₁₃Al₅, die Kurve 3 für Tb₂₉Fe₅₃Co₁₃Ta₅, die Kurve 4 für Tb₂₉Fe₅₃Co₁₃Rh₅, die Kurve 5 für die Tb₂₉Fe₅₃Co₁₃W₅, die Kurve 6 für Tb₂₉Fe₅₈Co₁₃, die Kurve 7 für Tb₂₉Fe₇₁.

Aus Fig. 3 ergibt sich, daß bei Zugabe von Co zur Tb-Fe- Schicht von Kurve 7 die zeitliche Veränderung der Reflexion geringer wird, wie Kurve 6 zeigt. Bei Zugabe von Al, Nb, Ta, Rh oder W zu dieser Tb-Fe-Co-Schicht wird die zeitliche Veränderung der Reflexion R noch wesentlich geringer, wie die Kurven 1, 2, 3, 4 und 5 zeigen. Somit läßt sich die Korrosionsbeständigkeit erheblich verbessern. Al besitzt eine geringe thermische Stabilität, da es die Kristallisationstemperatur nicht so sehr erhöhen kann, wie aus Fig. 1 ersichtlich ist. Dagegen führt die Zugabe von Nb, Ta, Rh oder W zu einer Erhöhung der Kristallisationstemperatur und Verbesserung der thermischen Stabilität. Somit erweisen sich Schichten mit einem Gehalt an Nb, Ta, Rh oder W als besonders günstig in bezug auf thermische Stabilität und Korrosionsbeständigkeit. Bei weiteren zusätzlichen Elementen, wie Ho und Er, kann die die Korrosionsbeständigkeit erreicht werden, indem man eine Schutzschicht, die die Atmosphäre ausschließt, vorsieht. Somit können in der Praxis auch derartige Materialien als magnetooptische Scheiben mit zufriedenstellendem Erfolg verwendet werden.

Fig. 4 zeigt die Meßergebnisse der Veränderung der Schichttransmission T in Abhängigkeit von der Alterungszeit t. Dabei werden amorphe Schichten aus Tb₂₅Fe₆₃Co₁₂ (Kurve 10), Tb₂₅Fe₅₈Co₁₂Rh₅ (Kurve 11), Tb₂₅Fe₅₅Co₁₅Ta₅ (Kurve 12) und Tb₂₅Fe₅₇Co₁₅Nb₃ (Kurve 13) in 1 n NaCl getaucht. Die Schichttransmission steigt mit zunehmender Anzahl an feinen Löchern stark an. Es ergibt sich, daß die den Kurven 11, 12 und 13 entsprechenden Schichten mit einem Gehalt an Rh, Ta bzw. Nb im Vergleich zu der der Kurve 10 entsprechenden Schicht, die kein zusätzliches Element enthält, gegen das Auftreten von feinen Löchern besser geschützt sind und somit eine erheblich verbesserte Korrosionsbeständigkeit besitzen.

Claims (9)

1. Magnetooptisches Aufzeichnungsmedium, enthaltend ein Substrat und eine amorphe Schicht eines Seltenen Erdmetall-Übergangsmetall-Systems, dadurch gekennzeichnet, daß die amorphe Schicht mindestens 0,5 Atomprozent mindestens eines Elements aus der Gruppe Nb, Ta, Rh und W als zusätzliches Element enthält.

2. Magnetooptisches Aufzeichnungsmedium nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das zusätzliche Element in einer Menge von nicht mehr als 10 Atomprozent enthalten ist.

3. Magnetooptisches Aufzeichnungsmedium nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das zusätzliche Element in einer Menge von 3 bis 8 Atomprozent enthalten ist.

4. Magnetooptisches Aufzeichnungsmedium nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß es sich bei der amorphen Schicht um eine Legierung auf Fe-Basis handelt.

5. Magnetooptisches Aufzeichnungsmedium nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß es sich bei der amorphen Schicht um eine Legierung auf Co-Basis handelt.

6. Magnetooptisches Aufzeichnungsmedium nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß es sich bei der amorphen Schicht um eine Legierung auf Tb-Fe-Co-Basis handelt.

7. Magnetooptisches Aufzeichnungsmedium nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß auf der amorphen Schicht eine Schutzschicht vorgesehen ist.

8. Magnetooptisches Aufzeichnungsmedium nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen dem Substrat und der amorphen Schicht eine Interferenzschicht vorgesehen ist.

9. Magnetooptisches Aufzeichnungsmedium nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die amorphe Schicht Er und/oder Ho enthält.