NL8600379A

NL8600379A - Magneto-optisch registratiemiddel.

Info

Publication number: NL8600379A
Application number: NL8600379A
Authority: NL
Original assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1985-03-20
Filing date: 1986-02-14
Publication date: 1986-10-16
Also published as: DE3604642A1; KR860007645A; JPS61214254A; DE3604642C2; KR940008408B1; NL191807B; NL191807C

Description

i I

' 86.3015/vdKl/mW -1-

Magneto-optisch registratiemiddel.

De uitvinding heeft betrekking op het magneto-optisch registreren om informatie met behulp van een laserbundel te schrijven, af te lezen en uit te wissen, 5 en niet in het bijzonder op een magnetisch registratiemiddel met een geringe aantasting van de eigenschappen en een hoge duurzaamheid.

Amorfe zeldzame aard-overgangsmetaalfilms die een betrekkelijk hoge Kerr rotatiehoek 9^ kunnen vormen wor-10 den momenteel beschouwd als belangrijk registratiemateriaal voor het magneto-optisch registreren volgens een uitwisbaar optisch registratiesysteem. Deamorfe zeldzame aard-overgangsmetaalfilms kunnen worden geklasseerd in twee belangrijke legeringsgroeperingen, dat wil zeggen op Co-gebaseerde 15 legeringsfilms met het hoogste Co-gehalte, waarbij het schrijven voornamelijk plaatsvindt met behulp van een com-pensatiepunt, en op Fe-gebaseerde legeringsfilms met het hoogste Fe-gehalte, waarbij het schrijven voornamelijk plaatsvindt met behulp van een Curiepunt.

20 Van deze amorfe films kan een betrekkelijk gro te Kerr rotatiehoek 9^ in het bijzonder worden verkregen met Gd-Tb-Fe of Tb-Fe-Co amorfe films van op Fe-gebaseerde legeringen, en onderzoek en ontwikkeling van deze films van op Fe-gebaseerde legeringen is tot nu toe zeer sterk geweest 25 (zie bijvoorbeeld het Britse octrooischrift 2.071.696 en de Japanse ter inzage gelegde octrooiaanvrage 58-73746).

Deze amorfe zeldzame aard-overgangsmetaalfilms bezitten echter een lage corrosieweerstand, en wanneer deze films zijn vervaardigd om te verblijven in een bijzonder 30 vochtige atmosfeer zonder enige beschermende film, worden deze films zeer snel aangetast onder vorming van poriën.

Tot nu toe zijn Al, Ni enz. genoemd als elementen die de corrosieweerstand kunnen verhogen zonder enige verlaging van de Kerr rotatiehoek 9^ als belangrijke 35 factor voor het aflezen (K.Aratani, T. Kobayashi en S.

Uchiyama: J. Appl. Phys. 5J, No. 8 (1985) 3903j M. Asano M. Kobayashi, K. Kawamura en S.Ohno: MRS Spring Meeting

Symposium D 6,5 (1985) ).

,· " " 7 ' * .

ΐ φ -2-

Wanneer echter de gebruikelijke amorfe films, waaronder dergelijke legeringsfilms,worden onderworpen aan herhaald schrijven, aflezen en uitwissen, wordt de drager tot ruisverhouding (C/N) van het aflezen door ther-.. 5 mische hysterese door bestralen met een laserbundel gelei delijk slechter, of hun eigenschappen worden geleidelijk slechter door oxydatie, enz. zelfs in atmosferische omstandigheden. Er bestonden derhalve problemen ten aanzien van de levensduur van de films. In het bijzonder in het geval van 10 de op Fe-gebaseerde legeringssystemen is het Fe in grote hoeveelheid aanwezig naast de zeldzame aardelementen, en er bestonden daarom problemen zoals een slechte corrosieweer-stand en een zeer korte levensduur van de films.

De onderhavige uitvinding beoogt een magneto-15 optisch registratiemedium te verschaffen zonder enige verslechtering van de C/N-verhouding bij het aflezen, zelfs wanneer het wordt onderworpen aan thermische hysterese door bestralen met een laserbundel, enz.

De onderhavige uitvinding beoogt voorts een 20 magneto-optisch registratiemedium te verschaffen zonder enige verslechtering van de C/N-verhouding bij het aflezen zelfs wanneer het wordt onderworpen aan thermische hysterese, en met een uitstekende corrosieweerstand,

Deze oogmerken van de onderhavige uitvinding 25 kunnen worden bereikt onder toepassing van een amorfe zeldzaam aard-overgangsmetaalfilm, met een voorkeursmagnetisa-tie-as in een richting loodrecht op het filmoppervlak, dat als toevoegselelement 0,5 tot 10 atoom ?ó van tenminste één element gekozen uit de groep bestaande uit Er, Ho,5fc , Ta, 30 Rh en W bevat.

Van de amorfe zeldzame aard-overgangsmetaal-films bezitten de op Fe-gebaseerde legeringssystemen veel Fe dat een slechte corrosieweerstand bezit, naast de zeldzame aardelementen, en het verdient derhalve de voorkeur 35 om tenminste één der elementen Nb, Ta, en Rh te kiezen uit de genoemde toevoegselelementen en het toe te voegen aan het op Fe-gebaseerde legeringssystemen, omdat Nb, Ta en Rh de corrosieweerstand aanzienlijk kunnen verbeteren, zoals hierna zal worden beschreven. Vanzelfsprekend kan één van 40 deze toevoegselelementen, wanneer het eveneens wordt toege- ' -· -7 ' "* t -3- i ï voegd aan het op Co-gebaseerde legeringssysteem dat een hogere corrosieweerstand bezit dan het op Fe-gebaseerde legeringssysteem, eveneens de corrosieweerstand daarvan verbeteren.

• 5 In het op Co-gebaseerde legeringssysteem is de toevoeging van tenminste één der elementen Ho, Nb en Rh doelmatig, doch de toevoeging van tenminste één der elementen Er, Ta en W is doelmatiger, en in het bijzonder de toevoeging van Ta is het meest doelmatig.

10 Het op Fe-gebaseerde legeringssysteem is een legeringssysteem met de volgende algemene formule: (Fel-xMx)100-aRa waarin M een ander overgangsmetaal is dan Fe, R een zeldzaam aardelement, en x niet groter is dan 0,5. In de onderhavige 15 uitvinding wordt tenminste één van deze toevoegselelementen toegevoegd aan het legeringssysteem.

Het op Co-gebaseerde legeringssysteem is een legeringssysteem met de algemene formule: (Co, M ),nn R„ 1-x x 100-a a 20 waarin M een ander overgangsmetaal is dan Co, R een zeldzaam aardelement, en x niet groter is dan 0,5. In de onderhavige uitvinding wordt tenminste één van de genoemde toevoegselelementen toegevoegd aan dit legeringssysteem.

Een legeringssysteem weergegeven met de alge- 25 mene formule: ^Co0,5Fe0,5^100-aRa behoort niet tot één der twee genoemde legeringssystemen, doch valt binnen het kader der onderhavige uitvinding, omdat hetzelfde effect als in het op Co-gebaseerde legeringssysteem 30 in dit legeringssysteem kan worden verkregen.

In de bovenstaande algemene formules bedraagt a in het algemeen 15-45, bij voorkeur 18-30.

Het principe van de onderhavige uitvinding zal hierna nader worden beschreven.

35 In het algemeen is een kriterium voor de ther mische stabiliteit van een amorfe legeringsfilm de kristal-lisatietemperatuur Tx, waarbij Tx de temperatuur is waarbij een amorfe fase overgaat in een kristallijne fase. In het algemeen is naarmate Tx van een amorfe legeringsfilm hoger 40 is, de amorfe fase tot een hoge temperatuur stabieler, en * τ -4- derhalve de thermische stabiliteit groter. Bij bestralen met een laserbundel echter tijdens het schrijven, aflezen of uitwissen, in het bijzonder bij bestralen met een laserbundel tijdens het schrijven, wordt de amorfe legeringsfilm . 5 plaatselijk verhit tot ongeveer de Curietemperatuur waarbij de magnetisatie verdwijnt. Om derhalve een magneto-optisch registratiemateriaal te verkrijgen dat weerstand bezit tegen thermische hysterese door bestralen met een laserbundel, is het noodzakelijk om een Curietemperatuur Tc in aanmer-10 king te nemen naast de kristallisatietemperatuur Tx. Dat wil zeggen dat de thermische stabiliteit ten opzichte van de thermische hysterese kan worden verbeterd door Tx hoger en tegelijkertijd het verschil tussen Tx en Tc zo groot mogelijk te maken.

15 Anderzijds is de Curietemperatuur een krite- rium voor de registratiegevoeligheid. Bij een lagere Curietemperatuur Tc in een temperatuursgebied waarbij geschreven informatie op stabiele wijze behouden blijft (omdat de geschreven informatie verdwijnt door een geringe fluctuatie 20 in de temperatuur bij een te lage Tc, bijvoorbeeld nabij kamertemperatuur), kan het vermogen van een laserbundel voor het schrijven lager worden. Dat wil zeggen dat de registratiegevoeligheid groter kan worden gemaakt.

Op grond van deze overwegingen hebben de 25 uitvinders de kristallisatietemperatuur Tx als kriterium voor de thermische stabilisteit en de Curietemperatuur Tc als belangrijk kriterium voor de registratiegevoeligheid van amorfe films van het op Fe-gebaseerde legeringssysteem Tb-Fe-Co dat een hoge Kerr rotatiehoek 0^ verschaft, 30 onderzocht door hieraan verschillende elementen toe te voegen.

In fig.1 zijn de veranderingen in Tx, Tc en

Kerr rotatiehoek 0^ per atoom °ó toegevoegd toevoegselele- ment weergegeven wanneer Fe van een kenmerkende Tb,. ,.Fec, , 31^6 ✓ / y 3 35 ^ amorfe film (oppervlakteverhouding in de trefplaat) 5?ó in de oppervlakteverhouding wordt vervangen door een ander element (B, Al, Ni, Nb, Ru, Rh, W, Ho of Er), waarbij de positieve waarden een toename en de negatieve waarden een vermindering tonen, en de stermarkering (*) de waarde 40 van de niet-vervangen amorfe Tb^ 5^57 3^11 l weer- ft δ -5- geeft. Naarmate Tx hoger en het verschil tussen Tx en Tc groter is, kan de thermische stabiliteit op hogere waarde worden gehandhaafd. Het is derhalve noodzakelijk om een toevoegselelement te kiezen dat Tx kan verhogen en Tc ver-. / 5 lagen, dat wil zeggen een toevoegselelement dat een groter verschil bezit. In dat geval is het gewenst om een toevoegselelement te kiezen dat de waarde van de Kerr rota-tiehoek 0^ als belangrijke eigenschap van het magneto-optische registratiemateriaal kan verlagen. Het is eveneens 10 gewenst dat de Curietemperatuur Tc tenminste meer dan 100°C bedraagt om de geschreven informatie op stabiele wijze te kunnen behouden.

Zoals duidelijk is uit het in fig.1 weergegeven resultaat hebben de onderhavige uitvinders gevonden 15 dat het toevoegen van een toevoegselelement Nb, Ta, Rh, W,

Ho of Er doeltreffend is voor een opmerkelijke toename in het verschil 4t - Atc met een kleine vermindering in de Kerr Λ rotatiehoek, en eveneens voor een opmerkelijke toename van de thermische stabiliteit. Uit fig.1 is eveneens duide-20 lijk dat het toevoegen van Al of Ni dat doeltreffend is voor de corrosieweerstand niet de voorkeur verdient in verband met de thermische stabiliteit.

Om het genoemde effect door toevoeging van het toevoegselelement Nb, Ta, Rh, W, Ho of Er te verkrijgen, is 25 het noodzakelijk dat het gehalte daarvan tenminste 0,5 atoom % bedraagt. Om het effect met een kleinere verlaging van de Kerr rotatiehoek te verkrijgen verdient het de voorkeur dat het gehalte daarvan 0,5 tot 10 atoom % bedraagt.

Fig.2 toont de afhankelijkheid van de kristal-30 lisatietemperatuur en Kerr rotatiehoek bij amorfe films met de samenstelling ^*521^e60^°19 van een 0,3 Fe-gebaseerd legeringssysteem, in het bijzonder van de mate van de vervanging, wanneer Fe wordt vervangen door Nb, Ta, Rh, Er of Ho. Uit fig.2 is duidelijk, dat wanneer de hoeveelheid van 35 het toevoegselelement dat wordt toegevoegd groter is dan 10 atoom %, de loodrechte magnetische anisotropie aanzienlijk verlaagd is, en de Kerr rotatiehoek 0k is verlaagd tot minder dan 0,2. Om een voldoende aflezing als in de praktijk toepasbaar materiaal te verkrijgen verdient het de voorkeur 40 dat de hoeveelheid van het toegevoegde toevoegselelement niet ί φ -6- groter is dan 10 atoom %. Om de corrosieweerstand aanzienlijk te verhogen met een geringe afname van de eigenschappen, verdient het meer in het bijzonder de voorkeur om 3-8 atoom % van het toevoegselelement toe te voegen.

- 5 Vanzelfsprekend kan hetzelfde effect als hier boven worden verkregen door totaal 0,5-10 atoom % van twee of meer der elementen Nb, Ta, Rh, W, Ho en Er toe te voegen om een verbetering in de eigenschappen te optimaliseren. Vanzelfsprekend kan de onderhavige uitvinding niet alleen 10 worden toegepast op amorfe zeldzame aard-overgangsmetaalfilms van de op Fe-gebaseerde legering, doch eveneens op die van de op Co-gebaseerde legering met een hogere corrosieweer-stand dan die van de op Fe-gebaseerde legering. Dat wil zeggen dat in het geval van de op Co-gebaseerde legering het 15 schrijven voornamelijk wordt uitgevoerd door toepassing van de magnetische compensatietemperatuur Tcomp> en derhalve wordt het verschil tussen Tx en Tc niet zo veel in aanmerking genomen, doch gewoonlijk wordt TcQmp verlaagd tot niet meer dan 150°C, en kan de thermische stabiliteit aldus worden 20 verbeterd door toevoeging van het toevoegselelement dat Tx kan verhogen, zoals in de onderhavige uitvinding.

Het effect van deze toevoegselelementen Nb, Ta, Rh, W, Ho en W is eveneens doeltreffend in de amorfe zeldzame aard-overgangsmetaalfilms van binaire en kwaternaire lege-25 ringssystemen.

Voorbeelden van magneto-optische registratiemedia van zeldzame aard-overgangsmetaalsystemen omvatten Tb-Fe-Co, Tb-Fe, Tb-Gd-Fe, Tb-Sm-Fe, Gd-Dy-Fe, Gd-Sm-Fe, Tb-Co, Tb-Dy-Fe, Tb-Dy-Fe-Co, Tb-Gd-Fe-Co, Tb-Sm-Fe-Co, 30 Dy-Sm-Fe-Co, Gd-Dy-Fe-Co, Gd-Sm-Fe-Co, Gd-Ho-Fe-Co, Gd-Nd-Fe-Co, Gd-Pr-Fe-Co, enz.

Fig.1 is een grafiek die de veranderingen van de kristallisatietemperatuur Tx, Curietemperatuur Tc en Kerr rotatiehoek als funktie van de vervanging van 1 atoom % 35 wanneer Fe van de Tb-Fe-Co amorfe film wordt vervangen door een toevoegselelement R, fig.2 is een grafiek die de veranderingen van de kristallisatietemperatuur Tx en Kerr rotatiehoek 9^ weergeeft wanneer het toegevoegde toevoegselelement in de amorfe 40 ^21^60 x^°19^x veranderd (R = Nb, Ta, Rh, Er -7- * È of Ho), fig.3 is een grafiek die de veranderingen van de reflectie R ten opzichte van de tijd in de amorfe Tb-Fe-Co films weergeeft, . 5 fig.4 is een grafiek die de veranderingen weergeeft van de doorlaatbaarheid T ten opzichte van de tijd in kenmerkende amorfe Tb-Fe-Co films.

De onderhavige uitvinding zal nu nader worden beschreven aan de hand van een voorbeeld.

10 In dit voorbeeld worden de volgende amorfe legeringsfilms toegepast. Tb-Fe legering en Tb-Co legering werden toegepast als registratiefilm van het binaire systeem; Tb-Fe-Co legering en Gd-Tb-Fe legering als die van het ternaire systeem; Tb-Dy-Fe-Co legering van het Tb-Fe-Co 15 systeem, en Gd-Tb-Fe-Co legering en Gd-Dy-Fe-Co legering van het Gd-Fe-Co systeem als die van het kwaternaire systeem. Er, Ho, Nb, Ta, Rh en W werden toegepast als toevoegselele-menten. Ter vergelijking van deze toevoegselelementen werden Al en Ni toegepast. Een amorfe legeringsfilm werd gevormd 20 op een Fe schijf met een diameter van 8 inch door magnetron-kathodeverstuiving, onder toepassing van een samengestelde trefplaat waarop een 5 mm bij 5 mm vierkante plaat van het zeldzame aardelement en een 10 mm bij 10 mm vierkante plaat van het overgangsmetaal zoals Co, enz. zijn aangebracht 25 in het oppervlaktegebied. De amorfe legeringsfilm kan niet alleen worden gevormd door kathodeverstuiving, doch eveneens door dampafzetting, zoals het meervoudig Co-verdampen door elektronenbundelverhitting, enz.

Schijven voor het bepalen van het schrijven 30 en aflezen werden vervaardigd door volggroeven te vormen op een glazen schijf met een diameter van 5 inch met een UV-hars, en daarop achtereenvolgens een Si film af te zetten (filmdikte: ongeveer 1.000 8), de amorfe legeringsfilm (filmdikte ongeveer 1.000 8) en een SiO-film (filmdikte: 35 ongeveer 1.000 8).

Als het substraat voor de magneto-optische schijf kan polycarbonaat (PC), acrylhars (PMMA), epoxyhars, enz. worden toegepast naast het in de schijf voor het bepalen toegepaste glas. De op de volggroeven gevormde 40 SiO-film verbeterde het Kerr-effect als interferentielaag, -8- en kan worden gevormd door kathodeverstuiving of dampaf-zetting. Naast de SiO-film kunnen diëlektrische films van oxyden zoals ZrC^» ^a2®3’ enz*> nitriden zoals Si^N^ ,

Al, N, enz. worden toegepast. De op de amorfe legerings-5 film gevormde SiO-film bezat het effect van een beschermde laag ter verbetering van de levensduur van de film en kan worden gevormd door kathodeverstuiving, dampafzetting, enz. Naast de SiO-film kunnen films van oxyden, nitriden, poly-meermaterialen, metallische materialen, enz. met een goede 10 verweringsweerstand worden toegepast.

De Kerr rotatiehoek θ^, coërcitiekracht Hc, Curietemperatuur Tc en kristallisatietemperatuur Tx van kenmerkende amorfe legeringsfilms, toegepast in dit voorbeeld, zijn weergegeven in de volgende tabel. Uit de tabel 15 blijkt dat de filmeigenschappen als volgt zijn:

Qk = 0,31 tot 0,45°

Hc = 2 tot 10 KOe

Tc = 190° tot 220°C

Tx = 400° tot 415°C.

20 De schrijf- en afleesbepalingen van deze registratiefilms werden uitgevoerd met een konstant schrijf-toerental van 1200 omw./min. Het schrijven, aflezen, uitwissen werd herhaald met een schrijf-laservermogen van 8 mW, een uitwendig magnetisch veld Hex van 300 Oe, en een aflees-25 laservermogen van 1,5 mW. Als resultaat werd gevonden dat de registratiefilms die Nb, Ta, Rh, W, Er of Ho bevatten geen verandering in de C/N verhouding bij het aflezen en een hoge thermische stabiliteit zelfs na meer dan 10^ herhalingen vertoonden. Schijven met andere registratiefilms 30 dan hierboven ondergingen een verslechtering van de C/N-verhouding met een aantal dB na 10^ herhalingen.

In de tabel is Tc niet weergegeven voor de op Co-gebaseerde legeringen in het lagere gedeelte, omdat het schrijven voornamelijk is uitgevoerd onder toepassing van 35 het compensatiepunt, doch de compensatietemperatuur van deze amorfe legeringsfilms kan gemakkelijk worden onderdrukt tot niet meer dan 150°C door hun samenstellingen te optimaliseren. Tx kan derhalve worden verhoogd door toevoeging van Nb, enz., en de thermische stabiliteit kan 40 derhalve worden verbeterd zoals hierboven is beschreven.

S- ϋ - 9·“

Tabel jT . :5,, . J He (kOe) ! Tc (°C) I Tx <°C) !

Legeringssanenstelling k(graden) i_ï__ _: « Tb^-?e,nMb_ ; 0.22 | 4 I 140 [ 380 | * ïb„-Fes-.Cc.-Sb, i 0.35 j 6 ; 200 410 j I ;.3 3< XO z_;_j_ _1_; j Tb0„Fe~-Cc.„Ta-*' ï 0-31 4 ! 200 j 405 j | 23 CC X ,· 3_1_I_I_l·_ j Tbn-Fe_Co,-Rh0 | 0.35 j 10 i 220 I 410

I 2d x3 3 ! ! * I

i ' J i ! ! Tb-, «Fe-, Co.0Ho. I 0.35 ! 5 j 210 j 400 ( 20 3o xS o * ! i !

I ΐ i ! I

Tb. 0Fe-,->CoQSr. ! 0.33 { 3 190 400

Tb. -Dv-Fe.-r-Co, -Sb-, j 0.35 2 190 | 450 13 7 co 1/ j {_|_J_I_ -j-j-f—-j-

Gd-,„Tb,„Fe'Tb- j 0.28 4 | 150 | 400 12 13 t 3 ^__i_i_ΐ_

GdlnTb.nFa..Co1nNb- ! 0.41 | 3 j 200 j 410 xl xu o o 1U 3 ï t ! --1j---

Gd, „Tb, nFe„„Co.n3h- i 0.45 3 f 190- I 400 12 10 o3 x0 3 > ! -1--s-j-:-

Gd.-,Tb,„Fe„-Co.nTa- ί 0.39 2 190 405 12 10 o3 xO 3 | ___

Gd,-Dv,„Fe-_Co-Nb- i 0.40 ! 2 200 415

Gd,-Dy,„Fe„„Co.„Ta- ί 0.40 j 2 210 410 , 13 x’J bu XÜ 3 _j___

Gd. -Dv, -Fe..Co. ,„3h- i 0.43 2 [ 200 400 j | 1 j ! Tb-»Co,,Nb- | 0.30 5 j 400 i A Ü / / J f__i_

Tb„„Co-„Fe, -Nb., j 0.35 2 f - I 405 2G o2 1d 3 ! ! ----------------------- 1'-'.....—1 ....... t-?........—.......I-

Tb.„Gd.„CocoFe.„Nb, | C.38 2 ! - 410 10 lO 62 ..o 3 1__;_j_ ^10^10i'O6öi:e17'a3 ' 0.35 | 3 : · “ j 400 ^15^10^60^17^3 1 °·39 j 2 | - | 405 -10-

Gevallen waarbij de corrosieweerstand in aanmerking is genomen naast de thermische stabiliteit zullen hierna worden beschreven.

, Fig.3 toont de veranderingen van de reflec- .* 5 tie R ten opzichte van de tijd wanneer men kenmerkende amorfe films van Tb^gFe^gCo^^, ^29^53^13^5 (R=A1, Nb, Ta, Rh, Er, W of Ho) liet staan bij 60°C en een relatieve vochtigheid van 95¾. De afzonderlijke amorfe films werden op dezelfde wijze als hierboven vervaar-10 digd. De bepaling van de corrosieweerstand, enz. vond plaats overeenkomstig de verandering van de reflectie ten opzichte van de tijd.

In fig.3 zijn de ten opzichte van de oorspronkelijke reflectie Rg genormaliseerde waarden weerge-15 geven op de ordinaat en kromme 1 geldt voor ^2^β^0ο^jNb^, kromme 2 voor T^c^e^C^-jAl^, kromme 3 voor Tb2gFe^^Co^^Ta^, kromme 4 voor Tb2gFe^^Co^^Rh^, kromme 5 voor Tb2gFe^T-C0j:, kromme 6 voor Tbg^Fe·jgCo^j, kromme 7 voor Tbg^Fe^jCo^3ΕΓ5» kromme 8 voor Tb2gFe^, en kromme 9 voor Tb2gFe^^Co.

20 Uit fig.3 is duidelijk dat wanneer Co wordt toegevoegd aan de Tb-Fe film van kromme 8, de verandering van de reflectiefactor R ten opzichte van de tijd kleiner wordt zoals is weergegeven in kromme 6, en wanneer voorts Al, Nb, Ta, Rh of W wordt toegevoegd aan deze Tb-Fe-Co 25 film, de verandering van de reflectiefactor R ten opzichte van de tijd veel kleiner wordt, zoals is weergegeven met de krommen 1, 2, 3, 4 en 5, en derhalve kan de corrosieweerstand aanzienlijk worden verbeterd. Al bezit een slechte thermische stabiliteit, omdat het de kristallisatietempe-30 ratuur niet zo veel kan verhogen, zoals blijkt uit het resultaat van fig.1, terwijl de toevoeging van Nb, Ta, Rh of W de kristallisatietemperatuur kan verhogen en de thermische stabiliteit verbeteren. De films die Nb, Ta, Rh of W bevatten bezitten over het geheel genomen derhalve een 35 uitstekende thermische stabiliteit en corrosieweerstand.

Andere toevoegselelementen zoals Ho en Er kunnen de corrosieweerstand, enz. verbeteren door een beschermende laag te verschaffen die hem kan afsluiten van de atmosfeer, en derhalve kan worden toegepast als een magneto-optische 40 schijf die in praktijk bevredigend is.

•\ .. « r- -11-

Fig.4 toont de resultaten van het meten van de verandering van de filmdoorlaatbaarheid T ten opzichte van de verouderingstijd t wanneer amorfe films van Tb__Fe ^CoTO

- Zb OJ 1Δ » (kromme 10), ^2^6,^00^2^5 (kromme 11), ^25^55^1jTa^ 5 (kromme 12), en Tb2^Fe^yCo^^Nb^ (kromme 13) werden ondergedompeld in IN NaCl. De doorlaatbaarheid van de film nam aanzienlijk toe met toenememd aantal poriën. Zoals derhalve blijkt zijn de films van de krommen 11, 12 en 13 die resp.

Rh, Ta en Nb bevatten beter beschermd tegen het optreden 10 van poriën, in vergelijking met de film van kromme 10 die niet een dergelijk toevoegselelement bevat, en derhalve een veel betere corrosieweerstand bezitten.

-conclusies-

Claims

2. Magneto-optisch registratiemiddel volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat het toevoegselelement 10 aanwezig is in een hoeveelheid die niet groter is dan 10 atoom %.
3. Magneto-optisch registratiemiddel volgens conclusie 2, met het kenmerk, dat de amorfe film wordt gekozen uit op Fe-gebaseerde legeringen die 0,5-10 atoom % 15 van tenminste één element gekozen uit de groep bestaande uit Er, Ho, Nb, Ta, Rh en W bevatten, op Co-gebaseerde legeringen die 0,5-10 atoom % bevatten van tenminste één element gekozen uit de groep bestaande uit Er, Ta en W, en legeringen waarvan de overgangsmetalen bestaan uit Fe^ 5*-°q 5 20 en die 0,5-10 atoom % bevat van tenminste één element gekozen uit Er, Ta en W.
4. Magneto-optische registratiemiddel volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de amorfe film een op Fe-gebaseerde legering is. 25 5.Magneto-optisch registratiemiddel volgens conclusie 2, met het kenmerk, dat de amorfe film een op Fe-gebaseerde legering is.
6. Magneto-optisch registratiemiddel volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de amorfe film een op
30 Co-gebaseerde legering is.
7. Magneto-optisch registratiemiddel volgens conclusie 2, met het kenmerk, dat de amorfe film een op Co-gebaseerde legering is.
8. Magneto-optisch registratiemiddel volgens conclusie 1, 35 met het kenmerk, dat de amorfe film een op Tb-Fe-Co gebaseerde legering is.
9. Magneto-optisch registratiemiddel volgens conclusie 2, met het kenmerk, dat de amorfe film een op Tb-Fe-Co gebaseerde legering is. 40 10.Magneto-optisch registratiemiddel volgens conclusie 1, -13- met het kenmerk, dat een beschermende laag is aangebracht op de amorfe film. H.Magneto-optisch registratiemiddel volgens conclusie 2, * ' met het kenmerk, dat een beschermende laag 5 is aangebracht op de amorfe film.
12. Magneto-optisch registratiemiddel volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat een interferentielaag is aangebracht tussen het substraat en de amorfe film.
13. Magneto-optisch registratiemiddel volgens conclusie 2, 10 met het kenmerk, dat een interferentielaag is aangebracht tussen het substraat en de amorfe film.
14. Magneto-optisch registratiemiddel, omvattende een substraat en een amorfe film van een zeldzame aard-overgangs-metaalsysteem, waarbij de amorfe film tenminste 0,5 atoom 15. van tenminste één element gekozen uit de groep bestaande uit Nb, Ta, Rh en W als toevoegselelement bevat.
15. Magneto-optisch registratiemiddel volgens conclusie 14, met het kenmerk, dat het toevoegselelement aanwezig is in een hoeveelheid van niet meer dan 10 atoom %. 20 lfi.Magneto-optisch registratiemiddel volgens conclusie 14, met het kenmerk, dat het toevoegselelement aanwezig is in een hoeveelheid van 3 tot 8 atoom %.
17. Magneto-optisch registratiemiddel volgens conclusie 14, met het kenmerk, dat de amorfe film een op
25 Fe-gebaseerde legering is.
18. Magneto-optisch registratiemiddel volgens conclusie 15, met het kenmerk, dat de amorfe film een op Fe-gebaseerde legering is,
19. Magneto-optisch registratiemiddel volgens conclusie 14, 30 met het kenmerk, dat de amorfe film een op Co-gebaseerde legering is.
20. Magneto-optisch registratiemiddel volgens conclusie 15, met het kenmerk, dat de amorfe.film een op Co-gebaseerde legering is. 35 21.Magneto-optisch registratiemiddel volgens conclusie 14, met het kenmerk, dat de amorfe film een op Tb-Fe-Co-gebaseerde legering is. 22.Magneto-optisch registratiemiddel volgens conclusie 15, met het kenmerk, dat de amorfe film een op 40 Tb-Fe-Co gebaseerde legering is. -14- ’ 23.Magneto-optisch registratiemiddel volgens conclusie 14, met het kenmerk, dat een beschermende laag is aangebracht op de amorfe film. • 24.Magneto-optisch registratiemiddel volgens conclusie 15, 5 met het kenmerk, dat een beschermende laag is aangebracht op de amorfe film. 25.Magneto-optische registratiemiddel volgens conclusie 14, met het kenmerk, dat een interferentielaag is aangebracht tussen het substraat en de amorfe film. 10 26.Magneto-optische registratiefilm volgens conclusie 15, met het kenmerk, dat een interferentielaag is aangebracht tussen het substraat en de amorfe film.