JPS6297153A - 磁性薄膜記録媒体 - Google Patents
磁性薄膜記録媒体Info
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- JPS6297153A JPS6297153A JP23541385A JP23541385A JPS6297153A JP S6297153 A JPS6297153 A JP S6297153A JP 23541385 A JP23541385 A JP 23541385A JP 23541385 A JP23541385 A JP 23541385A JP S6297153 A JPS6297153 A JP S6297153A
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- JP
- Japan
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- thin film
- recording medium
- compsn
- magnetic
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
この発明は、光もしくは熱磁気記録、熱磁気転写、磁気
的表示素子などに使用される磁性薄膜記録媒体に関する
ものである。
的表示素子などに使用される磁性薄膜記録媒体に関する
ものである。
「従来の技術」
膜面と垂直な方向に磁化容易軸を有する磁性薄膜記録媒
体では例えばレーザー等の光ビームを照射することによ
り照射領域に対して、Ｓ極或はＮ極に一様に磁化され、
薄膜とは逆向きの磁極を持つ反転磁区な形成することが
可能である。この種の磁性薄膜記録媒体では、このよう
に形成された反転磁区の有無な１”、”０′に対応付け
ることにより情報を記録することができる。このよって
して記録された情報は、磁気光学効果を利用して読み出
すことが可能である。
体では例えばレーザー等の光ビームを照射することによ
り照射領域に対して、Ｓ極或はＮ極に一様に磁化され、
薄膜とは逆向きの磁極を持つ反転磁区な形成することが
可能である。この種の磁性薄膜記録媒体では、このよう
に形成された反転磁区の有無な１”、”０′に対応付け
ることにより情報を記録することができる。このよって
して記録された情報は、磁気光学効果を利用して読み出
すことが可能である。
従ってこの種の磁性薄膜記録媒体は所謂ビームアドレサ
ブルファイルとして使用することができるが、使用上は
室温において大きな保磁力を有し、キューリ一温度或は
磁気的補償温度が比較的室温に近く、キューリ一温度或
は磁気的補償温度を用いて光ビームで任意の位置に反転
磁区な形成することができることが望ましい。
ブルファイルとして使用することができるが、使用上は
室温において大きな保磁力を有し、キューリ一温度或は
磁気的補償温度が比較的室温に近く、キューリ一温度或
は磁気的補償温度を用いて光ビームで任意の位置に反転
磁区な形成することができることが望ましい。
膜面と垂直な方向に磁化容易軸を有し、高密度の磁気記
録が可能でビームアドレサブルファイルとして使用可能
な強磁性薄膜としては従来から各種の組成のものが提案
されている。
録が可能でビームアドレサブルファイルとして使用可能
な強磁性薄膜としては従来から各種の組成のものが提案
されている。
これらには、ＭｎＢ１で代表される多結晶金属薄膜、磁
性ガーネットなどの化合物単結晶薄膜、［有］−Ｃｏ、
Ｇｄ−Ｆｅ、 Ｔｂ−Ｆｅ、 Ｄｙ −Ｆｅ、 Ｇｄ
−Ｔｂ −Ｆｅすどの希土類金属−遷移金属非晶質薄
膜があり、これらの内遷移金属がＦｅの薄膜については
、ＣＯの添加による磁気的並びに磁気光学的特性の改善
も行われている。
性ガーネットなどの化合物単結晶薄膜、［有］−Ｃｏ、
Ｇｄ−Ｆｅ、 Ｔｂ−Ｆｅ、 Ｄｙ −Ｆｅ、 Ｇｄ
−Ｔｂ −Ｆｅすどの希土類金属−遷移金属非晶質薄
膜があり、これらの内遷移金属がＦｅの薄膜については
、ＣＯの添加による磁気的並びに磁気光学的特性の改善
も行われている。
ＭｎＢ１で代表される多結晶金属薄膜は、室温で数ＫＯ
ｅという大きな保磁力を有するが、相変態があるために
、熱的に不安定であるという欠点がある。
ｅという大きな保磁力を有するが、相変態があるために
、熱的に不安定であるという欠点がある。
また多結晶金属薄膜は、キューリ一温度ＴＣが、例えば
ＭｎＢ１ではＴｃ＝３６０°と高く、書き込みに必要な
レーザーパワーが数１０ｍｗと大きくなり、一方では粒
界による光の散乱ノイズが無視できないという欠点もあ
る。
ＭｎＢ１ではＴｃ＝３６０°と高く、書き込みに必要な
レーザーパワーが数１０ｍｗと大きくなり、一方では粒
界による光の散乱ノイズが無視できないという欠点もあ
る。
磁性ガーネットなどの化合物単結晶薄膜は、書き込みに
エネルギが必要であり、さらに単結晶であるために膜面
の大面積化が難かしいという欠点を有する。
エネルギが必要であり、さらに単結晶であるために膜面
の大面積化が難かしいという欠点を有する。
さらに、希土類金属−遷移金属非晶質薄膜の中で…−Ｃ
ｏ、 Ｇｄ−Ｆｅなどの薄膜は磁気補償温度を利用して
書き込みが行われる。この場合には磁気補償温度が薄膜
の組成に強く依存するために、大面積で均一特性の膜を
作成することが難かしく、他方、保磁力が数１０乃至数
１０００ｅと小さいために、記録された情報が不安定で
あるという欠点がある。
ｏ、 Ｇｄ−Ｆｅなどの薄膜は磁気補償温度を利用して
書き込みが行われる。この場合には磁気補償温度が薄膜
の組成に強く依存するために、大面積で均一特性の膜を
作成することが難かしく、他方、保磁力が数１０乃至数
１０００ｅと小さいために、記録された情報が不安定で
あるという欠点がある。
一方、この種の磁性薄膜記録媒体での再生に当たって信
号対雑音比の目安となる性能指数はカー回転角θｋに比
例することが知られている。従って、この種の磁性薄膜
記録媒体では、カー回転角θｋがある程度大きいことが
望まれる。これらの多結晶金属薄膜、化合物単結晶薄膜
及び磁気補償温度を利用して書き込みを行う希土類金属
−遷移金属非晶質薄膜における欠点を除去した磁性薄膜
記録媒体として、Ｔｂ −Ｆｅ 、 Ｄｙ −Ｆｅ、
Ｇｄ −Ｔｂ −Ｆｅなどのキューリ一温度を利用して
書き込みを行う希土類金属−遷移金属非晶質薄膜が提案
されている。
号対雑音比の目安となる性能指数はカー回転角θｋに比
例することが知られている。従って、この種の磁性薄膜
記録媒体では、カー回転角θｋがある程度大きいことが
望まれる。これらの多結晶金属薄膜、化合物単結晶薄膜
及び磁気補償温度を利用して書き込みを行う希土類金属
−遷移金属非晶質薄膜における欠点を除去した磁性薄膜
記録媒体として、Ｔｂ −Ｆｅ 、 Ｄｙ −Ｆｅ、
Ｇｄ −Ｔｂ −Ｆｅなどのキューリ一温度を利用して
書き込みを行う希土類金属−遷移金属非晶質薄膜が提案
されている。
しかし、提案されているものの内、Ｔｂ−Ｆｅ系薄膜及
び［有］＝Ｆｅ系薄膜は、キューリ一温度がはｙ１５０
°Ｃと比較的高く、さらに保磁力Ｈｃやカー回転角θｋ
を増加させる目的でＣｏを添加するとキューリ一温度が
上昇して２００℃〜３５０℃となってしまい記録のため
にかなり人出カの半導体レーザーが必要となる。また、
Ｄｙ−Ｆｅはキューリ一温度が約７０℃と逆に低すぎる
ために熱的に不安定である上に、保磁力も１００ｅ〜８
０００ｅと小さすぎて記録された情報の保持力が不安定
である。
び［有］＝Ｆｅ系薄膜は、キューリ一温度がはｙ１５０
°Ｃと比較的高く、さらに保磁力Ｈｃやカー回転角θｋ
を増加させる目的でＣｏを添加するとキューリ一温度が
上昇して２００℃〜３５０℃となってしまい記録のため
にかなり人出カの半導体レーザーが必要となる。また、
Ｄｙ−Ｆｅはキューリ一温度が約７０℃と逆に低すぎる
ために熱的に不安定である上に、保磁力も１００ｅ〜８
０００ｅと小さすぎて記録された情報の保持力が不安定
である。
「発明の解決すべき問題点」
この発明は、従来提案されているこの種の磁性薄膜記録
媒体における保磁力の低下、適当なキュＩＪ一温度が得
られないこと、熱的不安定性などの問題点を解決する目
的でなされたものである。
媒体における保磁力の低下、適当なキュＩＪ一温度が得
られないこと、熱的不安定性などの問題点を解決する目
的でなされたものである。
この発明【より、保磁力が大きく、キューリ一温度が適
当な値に設定可能で、熱的にも安定し、カー回転角も比
較的大きい磁性薄膜記録媒体を提供することが可能とな
る。
当な値に設定可能で、熱的にも安定し、カー回転角も比
較的大きい磁性薄膜記録媒体を提供することが可能とな
る。
「発明の構成」
この発明の磁性薄膜記録媒体は、膜面と垂直な方向に磁
化容易軸を有するＴｂ−Ｅｒ −Ｃｏ −Ｆｅ ４元系
非晶質合金薄膜よりなり、全４元組戊申ＴｂとＥｒとの
合計の原子比が２７〜３５原子％、Ｃｏの原子比が１〜
３５原子％、残部がＦｅよりなり、ＴｂとＥｒとの２元
組成中Ｔｂの原子比が５〜９５原子係を占める組成を有
して−いる。
化容易軸を有するＴｂ−Ｅｒ −Ｃｏ −Ｆｅ ４元系
非晶質合金薄膜よりなり、全４元組戊申ＴｂとＥｒとの
合計の原子比が２７〜３５原子％、Ｃｏの原子比が１〜
３５原子％、残部がＦｅよりなり、ＴｂとＥｒとの２元
組成中Ｔｂの原子比が５〜９５原子係を占める組成を有
して−いる。
この発明の磁性薄膜記録媒体では、キューリ一温度Ｔｃ
が１００℃乃至２１０’Ｃ１保磁カＨｃがＩＫＯｅ乃至
７．０ＫＯｅ、カー回転角θｋが０．１４°乃至０．３
°の範囲に存在する。このため、この発明によると、情
報記憶密度が高く、情報の記録安定度が高く、信号対雑
音比を向上させて高い光再生出力が得られ、組成比を変
化させて磁気特性を調整可能で、且つその製造も比較的
容易な磁性薄膜記録媒体を得ることができる。
が１００℃乃至２１０’Ｃ１保磁カＨｃがＩＫＯｅ乃至
７．０ＫＯｅ、カー回転角θｋが０．１４°乃至０．３
°の範囲に存在する。このため、この発明によると、情
報記憶密度が高く、情報の記録安定度が高く、信号対雑
音比を向上させて高い光再生出力が得られ、組成比を変
化させて磁気特性を調整可能で、且つその製造も比較的
容易な磁性薄膜記録媒体を得ることができる。
「発明の実施例」
以下、この発明の磁性薄膜記録媒体を、その実施例に基
づき図面を使用して詳細に説明する。
づき図面を使用して詳細に説明する。
この発明の磁性薄膜記録媒体は、膜面と垂直な方向に磁
化容易軸を有するＴｂ −Ｅｒ −Ｃｏ−Ｆｅの４元系
非晶質合金薄膜で形成される。膜面と垂直な方向に磁化
容易軸を有するような構成とし、膜面と垂直方向に磁化
方向を指向させるに充分な磁気異方性を保持させるため
には、薄膜を非晶質に形成することが必要である。さら
にこのような磁性薄膜記録媒体において、磁化を安定化
して膜面に垂直に保持させるためには、膜厚を成る程度
厚く形成する必要がある。
化容易軸を有するＴｂ −Ｅｒ −Ｃｏ−Ｆｅの４元系
非晶質合金薄膜で形成される。膜面と垂直な方向に磁化
容易軸を有するような構成とし、膜面と垂直方向に磁化
方向を指向させるに充分な磁気異方性を保持させるため
には、薄膜を非晶質に形成することが必要である。さら
にこのような磁性薄膜記録媒体において、磁化を安定化
して膜面に垂直に保持させるためには、膜厚を成る程度
厚く形成する必要がある。
このために、この発明においては、所定の組成条件のＴ
ｂ −Ｅｒ −Ｃｏ−Ｆｅの４元系非晶質合金薄膜を、
基板上にスパッタリング法、真空蒸着法などの手段によ
り、膜厚が数１００ Ａ以上になるように形成する。
ｂ −Ｅｒ −Ｃｏ−Ｆｅの４元系非晶質合金薄膜を、
基板上にスパッタリング法、真空蒸着法などの手段によ
り、膜厚が数１００ Ａ以上になるように形成する。
Ｔｂ −Ｅｒ−Ｃｏ−Ｆｅの４元系非晶質合金薄膜の組
成を（Ｔｂ）（Ｅｒ１−）（）ｙ Ｃｏｚ Ｆｅｔ−ｙ
−ｚとして、発明者等の研究とこれに基づく実測の結果
ではそれぞれの原子比Ｘ、Ｙ、Ｚについて、それぞれ０
．０５４Ｘ＆０．９５゜０．２７．＜Ｙ＆０．３５．０
．０１−＜Ｚｆｏ、３５＋７） 関係カ満足すレルこと
が必要であることが確認された。
成を（Ｔｂ）（Ｅｒ１−）（）ｙ Ｃｏｚ Ｆｅｔ−ｙ
−ｚとして、発明者等の研究とこれに基づく実測の結果
ではそれぞれの原子比Ｘ、Ｙ、Ｚについて、それぞれ０
．０５４Ｘ＆０．９５゜０．２７．＜Ｙ＆０．３５．０
．０１−＜Ｚｆｏ、３５＋７） 関係カ満足すレルこと
が必要であることが確認された。
Ｔｂ−Ｅｒの２元組成に対して検討すると、Ｔｂ −Ｄ
ｒ２元組成中酸中の原子比Ｘが０．０５ごＸ、＜０．９
５の範囲を逸脱すると、非晶質合金薄膜の保磁力Ｈｃ及
びキューリ一温度Ｔｃが上昇し過ぎて、光ビームを使用
しての所謂ビームアドレサブルファイルとして使用する
には不適白な特性となる。
ｒ２元組成中酸中の原子比Ｘが０．０５ごＸ、＜０．９
５の範囲を逸脱すると、非晶質合金薄膜の保磁力Ｈｃ及
びキューリ一温度Ｔｃが上昇し過ぎて、光ビームを使用
しての所謂ビームアドレサブルファイルとして使用する
には不適白な特性となる。
また、４元系非晶質合金薄膜の全４元組成て対するＴｂ
とＥｒの合計の原子比Ｙについて検討すると、これが０
．２７ 、＜Ｙ、？ ０．３５なる条件をはずれると、
保磁力Ｈｃが小さくなり記録保持ができなくなり、さら
には垂直磁化膜が得られなくなる。一方０．２７．＜Ｙ
ｚ０３５の条件を満足すると、得られた磁性薄膜記録媒
体のＢ−Ｈ曲線は角張った形状となり、所定磁界で一定
の反転磁区を形成し得て特性上望ましくゝ。
とＥｒの合計の原子比Ｙについて検討すると、これが０
．２７ 、＜Ｙ、？ ０．３５なる条件をはずれると、
保磁力Ｈｃが小さくなり記録保持ができなくなり、さら
には垂直磁化膜が得られなくなる。一方０．２７．＜Ｙ
ｚ０３５の条件を満足すると、得られた磁性薄膜記録媒
体のＢ−Ｈ曲線は角張った形状となり、所定磁界で一定
の反転磁区を形成し得て特性上望ましくゝ。
非晶質合金薄膜の全組成中Ｇｏの占める原子比Ｚについ
て検討すると、Ｚ （０，０１ではＣＯの添加効果が生
ぜず、保磁力Ｈｃ、キューリ一温度Ｔｃ或はカー回転角
θｋを増加させることができない。一方Ｚが増大してＺ
）０．３５となると、非晶質合金薄膜のキュ１７一温度
が高くなり過ぎて書き込みに大きなエネルギが必要とな
り、得られる非晶質合金薄膜が記録に適さない特性のも
のとなる。
て検討すると、Ｚ （０，０１ではＣＯの添加効果が生
ぜず、保磁力Ｈｃ、キューリ一温度Ｔｃ或はカー回転角
θｋを増加させることができない。一方Ｚが増大してＺ
）０．３５となると、非晶質合金薄膜のキュ１７一温度
が高くなり過ぎて書き込みに大きなエネルギが必要とな
り、得られる非晶質合金薄膜が記録に適さない特性のも
のとなる。
第１表に試料番号１乃至７を付して、その組成、キュー
リ一温度Ｔε（℃）、保磁力Ｈｃ（Ｏｅ）及びカー回転
角θ１（０）を示したのはこの発明の各実施例であり、
いずれもこの発明の組成条件を満足している。
リ一温度Ｔε（℃）、保磁力Ｈｃ（Ｏｅ）及びカー回転
角θ１（０）を示したのはこの発明の各実施例であり、
いずれもこの発明の組成条件を満足している。
第１表の各実施例に示され、さらに発明者等が行った実
験で補充説明されるように、この発明によると得られる
磁性薄膜記録媒体のキューリ一温度Ｔｃは１００℃乃至
２１０℃の範囲に、保磁力Ｈｅは１．０ＫＯｅ乃至７．
０ＫＯｅの範囲に、またカー回転角θには０．１４以上
に設定することが可能となる。
験で補充説明されるように、この発明によると得られる
磁性薄膜記録媒体のキューリ一温度Ｔｃは１００℃乃至
２１０℃の範囲に、保磁力Ｈｅは１．０ＫＯｅ乃至７．
０ＫＯｅの範囲に、またカー回転角θには０．１４以上
に設定することが可能となる。
第１図は、組成がＴｂ０．２４ Ｅｒ０．０６ ＦｅＯ
，５９ＣＯｏ、１１ テ表わされるこの発明の磁性薄膜
記録媒体の実施例に対して発明者等が測定したカーヒス
テリシスカーブの形成を示す図であり、この発明の磁性
薄膜記録媒体の特性が優れていることが示される。
，５９ＣＯｏ、１１ テ表わされるこの発明の磁性薄膜
記録媒体の実施例に対して発明者等が測定したカーヒス
テリシスカーブの形成を示す図であり、この発明の磁性
薄膜記録媒体の特性が優れていることが示される。
近年この種の磁性薄膜記録媒体においては、再生出力信
号の品質向上のために、カー回転角θによりも、保磁力
Ｈｃが充分に大きな特性のものが要求される傾向にある
。第１表の各実施例で明らかなように、この発明の磁性
薄膜記録媒体では、保磁力Ｈｃも充分に大きな値のもの
が得られ、この保磁力Ｈｃに対する要求に対しても特性
上満足すべきものである。
号の品質向上のために、カー回転角θによりも、保磁力
Ｈｃが充分に大きな特性のものが要求される傾向にある
。第１表の各実施例で明らかなように、この発明の磁性
薄膜記録媒体では、保磁力Ｈｃも充分に大きな値のもの
が得られ、この保磁力Ｈｃに対する要求に対しても特性
上満足すべきものである。
このような特性を有するこの発明の磁性薄膜記録媒体で
は、キューリ一温度が適当な値を有しており記録情報の
書き込み及び消去を低エネルギーのレーザ光により行う
ことが可能である。また熱による磁性薄膜記録媒体自体
の構造変化を生じることなく、この書き込み及び消去を
行わせることが可能であり、動作特性が極めて安定して
いる。
は、キューリ一温度が適当な値を有しており記録情報の
書き込み及び消去を低エネルギーのレーザ光により行う
ことが可能である。また熱による磁性薄膜記録媒体自体
の構造変化を生じることなく、この書き込み及び消去を
行わせることが可能であり、動作特性が極めて安定して
いる。
また、半導体レーザを使用することにより光磁気ディス
ク記録装置を小型に構成することができる。
ク記録装置を小型に構成することができる。
一方、この発明の磁性薄膜記録媒体は、膜面と垂直な方
向に磁化容易軸を有するために、高密度の情報記憶が可
能であり、書き込みを適当な大きさのバイアス磁場で行
わせることが可能であり、記録された情報の安定度も良
好である。
向に磁化容易軸を有するために、高密度の情報記憶が可
能であり、書き込みを適当な大きさのバイアス磁場で行
わせることが可能であり、記録された情報の安定度も良
好である。
この発明の磁性薄膜記録媒体では、すでに述べたように
カー回転角を大きくとることが可能なので、磁気光学効
果を利用した光再生出力も従来に比較して大きく取るこ
とができる。従って信号対雑音比を向上させることが可
能であり、特性の優れた磁性薄膜記録媒体を提供するこ
とができる。
カー回転角を大きくとることが可能なので、磁気光学効
果を利用した光再生出力も従来に比較して大きく取るこ
とができる。従って信号対雑音比を向上させることが可
能であり、特性の優れた磁性薄膜記録媒体を提供するこ
とができる。
また、この発明の磁性薄膜記録媒体は、非晶質合金薄膜
であるために、任意の基体上に形成することが可能であ
る。このためＴｂ−ＥｒＺ元組成中酸中ｂの原子比Ｘ、
全４元組成に対するＴｂ とＥｒの合計の原子比Ｙ、全
４元組成中のＣｏの原子比Ｚをそれぞれ変化させて、キ
ューリ一温度Ｔｃ、保磁力Ｈｃ、及びカー回転角θｋを
所望の値に調整した磁性薄膜記録媒体を得ることができ
る。
であるために、任意の基体上に形成することが可能であ
る。このためＴｂ−ＥｒＺ元組成中酸中ｂの原子比Ｘ、
全４元組成に対するＴｂ とＥｒの合計の原子比Ｙ、全
４元組成中のＣｏの原子比Ｚをそれぞれ変化させて、キ
ューリ一温度Ｔｃ、保磁力Ｈｃ、及びカー回転角θｋを
所望の値に調整した磁性薄膜記録媒体を得ることができ
る。
製作上でも全４元組成における各成分の許容比率が比較
的広範囲にわたっているため、比率条件を厳密に設定す
る必要がなく、その製作も容易に行われ、歩留まりのよ
い高品質の磁性薄膜記録媒体を作成することができる。
的広範囲にわたっているため、比率条件を厳密に設定す
る必要がなく、その製作も容易に行われ、歩留まりのよ
い高品質の磁性薄膜記録媒体を作成することができる。
なお、実施例においては、磁性薄膜記録媒体に対する書
き込みの手段としてレーザ光ビームを使用したものにつ
いて説明したが、この発明の磁性薄膜記録媒体に対する
書き込みに際してはレーザ光ビームを使用する場合に限
らず、加熱した針を使用したり、電子ビームやイオンビ
ームを使用しタリ、一般に反転磁区な生じさせることが
できるエネルギが供給可能な手段であれば、レーザ光ビ
ームの他にも各種の手段を利用することができる。
き込みの手段としてレーザ光ビームを使用したものにつ
いて説明したが、この発明の磁性薄膜記録媒体に対する
書き込みに際してはレーザ光ビームを使用する場合に限
らず、加熱した針を使用したり、電子ビームやイオンビ
ームを使用しタリ、一般に反転磁区な生じさせることが
できるエネルギが供給可能な手段であれば、レーザ光ビ
ームの他にも各種の手段を利用することができる。
「発明の効果」
この発明の磁性薄膜記録媒体は、高密度の情報記録が可
能で且つ記録情報の安定度が高く、従来提案されている
磁性薄膜記録媒体に比して信号対雑音比を向上させて大
きな光再生出力を取り出すことが可能である。さらに製
造上、構成元素の組成比を変化させることにより、キュ
ーリー゛温度Ｔｃ、保磁力Ｈｃ、カー回転角θになどの
磁気特性を調整することが可能であり、またその製作も
比較的容易に行うことができる。
能で且つ記録情報の安定度が高く、従来提案されている
磁性薄膜記録媒体に比して信号対雑音比を向上させて大
きな光再生出力を取り出すことが可能である。さらに製
造上、構成元素の組成比を変化させることにより、キュ
ーリー゛温度Ｔｃ、保磁力Ｈｃ、カー回転角θになどの
磁気特性を調整することが可能であり、またその製作も
比較的容易に行うことができる。
第１図は、この発明の磁性薄膜記録媒体の実施例におい
て実測されたカーヒステリシスループを示す図である。 ＴＣ：キューリ一温度、ＨＣ：保磁力、θｋ ：カー回
転角、Ｘ ： Ｔｂ −Ｅｒ ２元系でのＴｂの原子比
、Ｙ ： Ｔｂ −Ｅｒ −Ｃｏ −Ｆｅ ４元系中の
Ｔｂ −Ｅｒ ２元系の原子比、Ｚ ： Ｔｂ −Ｅｒ
−Ｃｏ −Ｆｅ ４元系中のＣ。 の原子比。
て実測されたカーヒステリシスループを示す図である。 ＴＣ：キューリ一温度、ＨＣ：保磁力、θｋ ：カー回
転角、Ｘ ： Ｔｂ −Ｅｒ ２元系でのＴｂの原子比
、Ｙ ： Ｔｂ −Ｅｒ −Ｃｏ −Ｆｅ ４元系中の
Ｔｂ −Ｅｒ ２元系の原子比、Ｚ ： Ｔｂ −Ｅｒ
−Ｃｏ −Ｆｅ ４元系中のＣ。 の原子比。
Claims (1)
- （１）膜面と垂直な方向に磁化容易軸を有するＴｂ−Ｅ
ｒ−Ｃｏ−Ｆｅ＿４元系非晶質合金薄膜よりなり、全４
元組成中ＴｂとＥｒとの合計の原子比が２７〜３５原子
％、Ｃｏの原子比が１〜３５原子％、残部がＦｅからな
り、ＴｂとＥｒとの２元組成中Ｔｂの原子比が５〜９５
原子％を占める組成を有することを特徴とする磁性薄膜
記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23541385A JPS6297153A (ja) | 1985-10-23 | 1985-10-23 | 磁性薄膜記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23541385A JPS6297153A (ja) | 1985-10-23 | 1985-10-23 | 磁性薄膜記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6297153A true JPS6297153A (ja) | 1987-05-06 |
Family
ID=16985725
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23541385A Pending JPS6297153A (ja) | 1985-10-23 | 1985-10-23 | 磁性薄膜記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6297153A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61214254A (ja) * | 1985-03-20 | 1986-09-24 | Hitachi Ltd | 光磁気記録材料 |
| JPS6214350A (ja) * | 1985-07-12 | 1987-01-22 | Hitachi Ltd | 光磁気記録媒体 |
-
1985
- 1985-10-23 JP JP23541385A patent/JPS6297153A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61214254A (ja) * | 1985-03-20 | 1986-09-24 | Hitachi Ltd | 光磁気記録材料 |
| JPS6214350A (ja) * | 1985-07-12 | 1987-01-22 | Hitachi Ltd | 光磁気記録媒体 |
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