DE3912378A1

DE3912378A1 - Magneto-optisches aufzeichnungsmaterial

Info

Publication number: DE3912378A1
Application number: DE3912378A
Authority: DE
Inventors: Hajime Machida; Takeshi Matsui; Hitoshi Nakamura; Yasuo Sawada; Yujiro Kaneko; Fumiya Ohmi; Michiaki Shinozuka; Isao Miyamoto
Original assignee: Ricoh Co Ltd
Current assignee: Ricoh Co Ltd
Priority date: 1988-04-14
Filing date: 1989-04-14
Publication date: 1989-10-26

Description

Die Erfindung betrifft ein mehrfach beschreibbares magneto-optisches Aufzeichnungsmaterial gemäß dem Oberbegriff von Anspruch 1.

In einem herkömmlichen magneto-optischen Aufzeichnungsverfahren greift man bei der vertikalen magnetischen Aufzeichnung auf magneto-optische Effekte, wie z. B. den Kerr-Effekt und den Faraday-Effekt zurück. Mit Hilfe des magneto-optischen Aufzeichnungsverfahrens kann eine große Informationsmenge aufgezeichnet werden, vor allem wenn Laserstrahlen für die Aufzeichnung und das Auslesen von Information eingesetzt werden, und die aufgezeichnete Information ist darüber hinaus überschreibbar. Ferner kann die Aufzeichnung und Wiedergabe von Information über einen magnetischen Aufzeichnungskopf, der nicht mit dem Aufzeichnungsmaterial in Berührung kommt, erfolgen, so daß das Aufzeichnungsmaterial staubgeschützt ist. Ein derartiges magneto-optisches Aufzeichnungsmaterial zeigt durchaus stabile Aufzeichnungs- und Wiedergabeeigenschaften.

Die Verwendung magneto-optischer Aufzeichnungsmaterialien bei der Aufzeichnung von Dokumenten, Video- und Standbildern und als Computerspeicher oder ähnliches, steht im Mittelpunkt zahlreicher Untersuchungen. Es ist davon auszugehen, daß dieses Aufzeichnungsmaterial die Diskette oder Festplatte ersetzen wird und in naher Zukunft im Handel erhältlich sein wird.

Ein magneto-optisches Aufzeichnungsmaterial soll (1) gegenüber Laserstrahlen eine hohe Aufzeichnungsempfindlichkeit besitzen, (2) über ein hohes Wiedergabe C/N-Verhältnis verfügen und (3) eine hohe Speicherstabilität aufweisen.

Die Aufzeichnungsempfindlichkeit hängt unmittelbar von der Curie-Temperatur (Tc) des Aufzeichnungsmaterials ab, wobei mit fallender Curie-Temperatur die Aufzeichnungsempfindlichkeit zunimmt. Das Wiedergabe-C/N-Verhältnis hängt von dessen dynamischen magneto-optischen Aufzeichnungseigenschaften ab, d. h., je größer der Kerr-Drehungswinkel ( R k), desto größer ist das Wiedergabe-C/N-Verhältnis. Die Speicherstabilität hängt von der Koerzitivkraft (Hc) des Aufzeichnungsmaterials ab: mit zunehmender Koerzitivkraft nimmt die Speicherstabilität zu.

Vor diesem Hintergrund wurden zahlreiche amorphe magnetische Legierungsschichten, die aus Legierungen von Übergangsmetallen, wie z. B. Fe und Co und schweren Seltenerdmetallen, wie z. B. Gd, Dy und Tb bestanden, als Aufzeichnungsschichten in magneto-optischen Aufzeichnungsmaterialien vorgeschlagen. Von diesen weist ein magneto-optisches Aufzeichnungsmaterial mit einer amorphen magnetischen Legierungsschicht aus TbFeCo besonders günstige Eigenschaften auf, da dieses Aufzeichnungsmaterial einen relativ großen Kerr-Drehungswinkel von annähernd 0,4° ermöglicht und eine Koerzitivkraft von etwa 2 bis 10 kOe besitzt. Die maximale Aufzeichnungsempfindlichkeit dieses Aufzeichnungsmaterials ist jedoch derart, daß die benötigte Laserleistung für die Aufzeichnung auf der aufzeichnenden Seite des Aufzeichnungsmaterials 5 bis 7 mW beträgt und die maximale Lineargeschwindigkeit, bei der Information mit dem Aufzeichnungsmaterial aufgezeichnet werden kann, bei etwa 5 m/s liegt (entspricht 900 UpM einer 5,25-inch-Diskette).

In der JP-A 59-61 011 wird ein magneto-optisches Aufzeichnungsmaterial mit verbesserter Aufzeichnungsempfindlichkeit beschrieben, welches eine Aufzeichnungsschicht aus einer amorphen magnetischen Legierung umfaßt, deren Zusammensetzung durch die folgende allgemeine Formel wiedergegeben wird:

(MI_xMII₁ _x ) _z(Fe_yCo₁ _y)₁ _z

worin MI, Tb, Gd oder Dy ist, MII, Tb, Gd, Dy oder Bi ist, MI und MII voneinander verschieden sind und x, y und z im Bereich von 0,0 <x <1,0, 0,7y<1,0 und 0,1<z<0,3 liegen.

Von diesen durch die obige Formel dargestellten amorphen magnetischen Legierungen zeigen die Legierungen aus GdTbFeCo, GdDyFeCo und TbDyFeCo gute Eigenschaften. So erfordert z. B. die Aufzeichnungsempfindlichkeit eines magneto-optischen Aufzeichnungsmaterials mit einer TbDyFeCo-Legierungsschicht für die Informationsaufzeichnung eine Laserleistung von 5 bis 7 mW, die maximale Lineargeschwindigkeit, bei der Information auf dem Aufzeichnungsmaterial aufgenommen werden kann, liegt jedoch bei etwa 10 m/s (1800 UpM einer 5,25-inch-Diskette).

Um jedoch Hochgeschwindigkeits-Datenverarbeitung zu ermöglichen und einen Ersatz für die Festplatte zu erhalten, sollte die Aufzeichnungsempfindlichkeit des magneto-optischen Aufzeichnungsmaterials jener einer Festplatte entsprechen oder darüber liegen. Insbesondere ist eine maximale Lineargeschwindigkeit, bei der Information auf dem Aufzeichnungsmaterial aufgenommen werden kann, von 22 m/s (3600 UpM einer 5,25-inch-Diskette) erforderlich.

Wird die erwähnte quaternäre amorphe magnetische Legierungsschicht in einer Dicke von 30 nm oder weniger als Aufzeichnungsschicht verwendet, so beobachtet man eine verhältnismäßig hohe Aufzeichnungsempfindlichkeit; bei einer Schichtdicke von 50 nm oder mehr nimmt die Aufzeichnungsempfindlichkeit jedoch wieder ab. Beispielsweise ist für die Informationsaufzeichnung eine Laserleitung von 6 mW bei einer Aufzeichnungsfrequenz von 2 MHz erforderlich und die maximale Lineargeschwindigkeit, bei der Information auf dem Aufzeichnungsmaterial aufgenommen werden kann, liegt lediglich bei etwa 5 m/s (1200 UpM einer 5,25-inch-Diskette). Eine Aufzeichnungsschicht mit einer Dicke von 30 nm oder darunter verfügt über eine hohe Aufzeichnungsempfindlichkeit, doch wie nachfolgend ausgeführt wird, oxidiert und korrodiert sie leicht, wobei ihre magnetischen Eigenschaften beeinträchtigt werden.

Schwere Seltenerdmetalle wie Gd, Dy und Tb, welche die Grundelemente der genannten quaternären amorphen magnetischen Legierungsschicht sind, oxidieren oder korrodieren leicht. Wird die magnetische Legierungsschicht auf einen Schichtträger durch Sputtern oder Vakuum-Beschichtung aufgebracht, so kann aus folgenden Gründen Sauerstoff nicht vollständig aus der Vorrichtung, welche für das Sputtern oder die Vakuumbeschichtung verwendet wird, entfernt werden:

(a) Sputtern oder Vakuum-Beschichtung wird in einem Vakuum von 10^-6 bis 10^-7 Torr durchgeführt, welches kein vollständiges Vakuum darstellt.
(b) Auf dem Schichtträger und in der Vorrichtung für das Sputtern oder die Vakuum-Beschichtung befindet sich adsorbierter Sauerstoff.
(c) Die Ausgangsmaterialien, das Metallpulver oder die Targets für das Vakuum-Aufdampfen der magnetischen Legierungsschichten enthalten Sauerstoff.

Die magnetische Legierungsschicht, insbesondere deren Oberfläche, ist daher leicht oxidiert und die magnetischen Eigenschaften sind daher leicht beeinträchtigt. Kommt eine dünne magnetische Legierungsschicht mit 30 nm oder weniger Dicke zur Anwendung, so ist der Anteil des oxidierten Bereichs gegenüber der gesamten magnetischen Legierungsschicht relativ hoch, so daß die magnetischen Eigenschaften der Legierungsschicht eine merkliche Beeinträchtigung erfahren.

Verschiedene Methoden zur Verbesserung der Aufzeichnungsempfindlichkeit von magneto-optischen Aufzeichnungsmaterialien ohne Veränderung der Grundelemente der Aufzeichnungsschicht wurden beschrieben:

(i) Aufbringen dünnerer magnetischer Schichten;
(ii) dünneres Ausbilden der dielektrischen Schicht, die zur Verhinderung von Oxidation und Korrosion auf der magnetischen Schicht aufgebracht ist.
(iii) Steigerung der Lichtabsorptionsfähigkeit der dielektrischen Schicht durch Regelung von deren Dicke.

Bei der Methode (i) liegt die Mindestdicke der magnetischen Schicht bei 40 nm, wobei die Eigenschaften einer magnetischen Schicht mit einer Dicke von weniger als 40 nm weit unter denen einer magnetischen Schicht mit einer Dicke von 40 nm oder mehr liegen.

Bei der Methode (ii) beträgt die Mindestdicke der dielektrischen Schicht 60 nm, wobei eine dielektrische Schicht mit einer Dicke unterhalb 60 nm ihren Zweck als Schutz für die magnetische Schicht nicht erfüllen kann.

Bei der Methode (iii) nimmt das Reflexionsvermögen und das Wiedergabe-C/N-Verhältnis ab.

Keine der oben angeführten Methoden kann somit die Aufzeichnungsempfindlichkeit eines magneto-optischen Aufzeichnungsmaterials in befriedigender Weise verbessern.

Aufgabe der Erfindung ist daher die Bereitstellung eines magneto-optischen Aufzeichnungsmaterials mit hervorragender Aufzeichnungsempfindlichkeit bei ausgezeichneten Aufzeichnungs- und Wiedergabeeigenschaften, hoher Speicherstabilität und hohem Wiedergabe-C/N-Verhältnis, selbst wenn eine magnetische Legierungsschicht einer Dicke von 50 nm oder mehr als Aufzeichnungsschicht verwendet wird.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe gelöst mit einem magneto-optischen Aufzeichnungsmaterial, welches einen Schichtträger und eine darauf ausgebildete Aufzeichnungsschicht aus einer amorphen magnetischen Legierung umfaßt, die senkrecht zur Oberfläche der Aufzeichnungsschicht eine Achse leichter Magnetisierbarkeit aufweist und deren Zusammensetzung der allgemeinen Formel (I) entspricht:

[(Gd_xTb_yDy_z)_a(Ho_ℓEr_1- _ℓ)_1-a]_X[Fe_mCo_1-m]_100--X (I)

worin x + y + z = 1, 0 ≦ x < 1, 0 ≦ y < 1, 0 ≦ z < 1, 0 ≦ ℓ ≦ 1, 0 ≦ m ≦ 1, 0,5 < a < 1 und 15 Atom% ≦ X ≦ 35 Atom%.

Im folgenden wird die Erfindung unter Bezug auf die Zeichnung näher erläutert.

Fig. 1 ist eine graphische Darstellung, welche die Beziehung zwischen der Eisen- und Kobaltkonzentration in der als Aufzeichnungsschicht verwendeten amorphen magnetischen Legierungsschicht, der Curie-Temperatur (Tc), dem Kerr-Drehungswinkel ( R k) und der Koerzitivkraft (Hc) der Aufzeichnungsschicht in einem erfindungsgemäßen magneto-optischen Aufzeichnungsmaterial zeigt;

Fig. 2 ist eine graphische Darstellung, welche die Beziehung zwischen der Eisen- und Kobaltkonzentration in einer als Aufzeichnungsschicht verwendeten amorphen magnetischen Legierungsschicht, der Curie-Temperatur (Tc), dem Kerr-Drehungswinkel ( R k) und der Koerzitivkraft (Hc) der Aufzeichnungsschicht eines herkömmlichen magneto-optischen Aufzeichnungsmaterials zeigt;

Fig. 3 ist eine graphische Darstellung, welche die Beziehung zwischen der Eisen- und Kobaltkonzentration in einer herkömmlichen magnetischen Legierungsschicht aus TbDyFeCo, dem Kerr-Drehungswinkel ( R k) und der Koerzitivkraft (Hc) der magnetischen Legierungsschicht zeigt;

Fig. 4 ist eine graphische Darstellung, welche die Beziehung zwischen der Dysprosiumkonzentration in einer herkömmlichen magnetischen Legierungsschicht aus TbDyFeCo, der Curie-Temperatur (Tc) und dem Kerr-Drehungswinkel ( R k) der magnetischen Legierungsschicht zeigt;

Fig. 5 ist eine graphische Darstellung, welche die Beziehung zwischen der Holmiumkonzentration in einer magnetischen Legierungsschicht aus TbDyHoFeCo, einer erfindungsgemäßen bevorzugten Ausführungsform, dem Kerr-Drehungswinkel ( R k) und der Koerzitivkraft (Hc) dieser magnetischen Legierungsschicht zeigt; und

Fig. 6 ist eine graphische Darstellung, welche die Beziehung zwischen der Holmiumkonzentration in der oben genannten magnetischen Legierungsschicht aus TbDyHoFeCo und der Curie-Temperatur (Tc) dieser magnetischen Legierungsschicht zeigt.

Im allgemeinen ist es bei der Verwendung einer amorphen magnetischen Legierungsschicht aus Übergangsmetallen (Fe, Co) und schweren Seltenerdmetallen (Gd, Dy, Td) als Aufzeichnungsschicht eines magneto-optischen Aufzeichnungsmaterials erforderlich, daß die Zusammensetzung der amorphen magnetischen Legierung nahezu der Zusammensetzung bei magnetischer Kompensation entspricht. Vorzugsweise bewegt sich daher die Konzentration der Übergangsmetalle und der schweren Seltenerdmetalle in der Legierung im folgenden Bereich:

(Fe, Co)_{65-85 Atom%}/(Gd, Dy, Tb)_{15-35 Atom%}.

Die Kompensationszusammensetzung der magnetischen Legierung hängt vom atomaren magnetischen Moment und vom Atomgewicht jedes einzelnen in der Legierung enthaltenen Metallelements ab. In Fig. 2 liegt die Kompensationszusammensetzung der amorphen magnetischen Legierung im Bereich von 76% ± etwa 4% der Konzentration an Übergangsmetallelementen. Die magnetische Legierung mit einer Zusammensetzung, die nahezu der Kompensationszusammensetzung entspricht, führt zu einem großen Kerr-Drehungswinkel ( R k) und einer großen Koerzitivkraft (Hc), welche für die magneto-optische Aufzeichnung wünschenswert sind.

Die Curie-Temperatur (Tc) der magnetischen Legierung steigt proportional zur Zunahme der Gesamtmenge der Übergangsmetalle (Fe, Co). Beispielsweise liegen die Curie-Temperaturen der in der JP-A-62-2 67 948 offenbarten Legierung bei folgenden Werten:

Die Curie-Temperaturen (Tc) der magnetischen Schichten aus GdDyFeCo und TbDyFeCo, deren Zusammensetzungen nahezu der jeweiligen Kompensationszusammensetzung entsprechen, liegen bei hohen Werten, weshalb für die Aufzeichnung und Löschung von Information eine hohe Laserleistung erforderlich ist.

Zur Erniedrigung der Curie-Temperatur (Tc) verwendet man gewöhnlich eine Kombination der Übergangsmetalle mit 30 Atom% oder mehr schwerer Seltenerdmetalle (Gd, Dy, Tb). Dieses Verfahren ist jedoch nicht von Vorteil, da sowohl die Koerzitivkraft (Hc) als auch der Kerr-Drehungswinkel ( R k) durch diese Zugabe von schweren Seltenerdmetallen nachteilig verringert werden.

Die Curie-Temperatur (Tc) der amorphen magnetischen Legierungsschicht wird durch die Curie-Temperatur (Tc) jedes einzelnen in der Legierungsschicht verwendeten schweren Seltenerdmetalls bestimmt. Die Curie-Temperatur (Tc) der einzelnen Seltenerdmetalle liegt bei folgenden Werten:

Er (niedriger als 20°K) < Ho (etwa 20°K) < Dy (85°K) < Tb (etwa 224°K) < Gd (etwa 293°K)

Erfindungsgemäß wird die Curie-Temperatur (Tc) auf 140°C ± 20°C abgesenkt, wobei die Koerzitivkraft (Hc) und der Kerr-Drehungswinkel ( R k) der amorphen magnetischen Legierungsschicht einen vor dem Hintergrund der oben gegebenen Ausführungen zur Curie-Temperatur ausreichend hohen Wert beibehalten, so daß die Aufzeichnungsempfindlichkeit verbessert wird.

Zur Absenkung der Curie-Temperatur in einer amorphen magnetischen Legierungsschicht werden insbesondere Erbium und/oder Holmium verwendet, deren Curie-Temperatur unterhalb der von Dysprosium liegt. Die erfindungsgemäße amorphe magnetische Legierungsschicht wird daher unter Verwendung von mindestens zwei Elementen aus der Reihe Gd, Dy und Tb (z. B. GdDy, TbDy, GdTb oder GdTbDy); mindestens einem der Elemente Eisen oder Kobalt (z. B. Fe, Co oder FeCo); und mindestens einem der Elemente Erbium oder Holmium (z. B. Er, Ho oder ErHo) hergestellt.

Sowohl die Kompensationszusammensetzung als auch die Curie-Temperatur der erfindungsgemäßen amorphen magnetischen Legierungsschicht verändern sich, wie in Fig. 1 gezeigt, in Abhängigkeit von den in der Legierungsschicht verwendeten Metallelementen, die Curie-Temperatur (Tc) kann jedoch durch die Zugabe von Erbium oder Holmium signifikant auf 150°C oder darunter abgesenkt werden.

Der Kerr-Drehungswinkel ( R k) erreicht sein Maximum, wenn die amorphe magnetische Legierung ihrer Zusammensetzung nahezu der Zusammensetzung bei magnetischer Kompensation entspricht, wobei der maximale Winkel 0,5° beträgt. Im allgemeinen wird ein Kerr-Drehungswinkel ( R k) von 0,35° oder größer angestrebt.

Der erhaltene Winkel von 0,5° ist daher für die erfindungsgemäßen Zwecke ausreichend.

Die Koerzitivkraft (Hc) der erfindungsgemäßen amorphen Legierungsschicht beträgt 3 kOe oder mehr (im allgemeinen würde eine Koerzitivkraft von 2 kOe genügen), und ist daher für eine hohe Speicherstabilität ausreichend. Um den genannten Kerr-Drehungswinkel ( R k) und die erwähnte Koerzitivkraft (Hc) zu erhalten, wählt man einen Gehalt an Übergangsmetallen im Bereich von 65 bis 85 Atom%, vorzugsweise 70 bis 80 Atom% und besonders bevorzugt von 72 bis 77 Atom%.

Die erfindungsgemäße amorphe magnetische Legierungsschicht verfügt daher über die zuvor angeführten Eigenschaften die für eine Aufzeichnungsschicht eines magneto-optischen Aufzeichnungsmaterials erforderlich sind.

Die Legierungsschicht kann auf einem Schichtträger durch Sputtern oder Vakuumbeschichtung in einer Dicke von 0,05 bis 0,1 µm aufgebracht werden.

Wie aus der graphischen Darstellung in Fig. 3 hervorgeht, besitzt eine herkömmliche amorphe magnetische Legierung aus TbDyFeCo eine hohe Koerzitivkraft (Hc) und einen großen Kerr-Drehungswinkel ( R k), wenn ihre Zusammensetzung nahezu der Zusammensetzung bei magnetischer Kompensation entspricht, ihre Curie-Temperatur (Tc) liegt für eine praktische Anwendung jedoch zu hoch. Zur Verbesserung der Aufzeichnungsempfindlichkeit ist eine Absenkung der Curie-Temperatur (Tc) erforderlich. Wird der Gehalt an Dysprosium, dessen Curie-Temperatur unterhalb jener von Terbium liegt, erhöht, so kann, wie in der graphischen Darstellung von Fig. 4 gezeigt, die Curie-Temperatur der amorphen magnetischen Legierungsschicht beträchtlich abgesenkt werden, der Kerr-Drehungswinkel ( R k) nimmt dann jedoch ebenfalls drastisch ab. Aus diesem Grund existiert eine Begrenzung der Verbesserung der Aufzeichnungsempfindlichkeit durch Vergrößerung des Dysprosiumanteils, wobei die Obergrenze des wirksamen Dysprosiumanteils bei 15 Atom% liegt.

Erfindungsgemäß wird die Curie-Temperatur durch Verwendung von Holmium oder Erbium wirksam abgesenkt, um die Aufzeichnungsempfindlichkeit bei gleichbleibender Koerzitivkraft und unverändertem Kerr-Drehungswinkel zu verbessern. Die Beziehung zwischen dem Kerr-Drehungswinkel ( R k), der Koerzitivkraft (Hc) und der Holmiumkonzentration in der amorphen magnetischen Legierungsschicht aus TbDyHoFeCo ist in der graphischen Darstellung in Fig. 5 wiedergegeben; die Beziehung zwischen der Curie-Temperatur (Tc) und der Holmiumkonzentration geht aus der graphischen Darstellung in Fig. 6 hervor.

Aus Fig. 5 geht hervor, daß der Kerr-Drehungswinkel ( R k) mit zunehmendem Holmiumgehalt abnimmt und die Koerzitivkraft (Hc) drastisch abnimmt, wenn der Holmiumgehalt einen bestimmten Wert übersteigt. Darüber hinaus zeigt Fig. 6, daß die Curie-Temperatur Tc proportional zum Anstieg des Holmiumgehaltes abnimmt.

Zur Verbesserung der Aufzeichnungsempfindlichkeit sollten vorzugsweise die folgenden drei Bedingungen gleichzeitig erfüllt sein: (1) Die Curie-Temperatur (Tc) sollte im Bereich vom 140°C ±20°C liegen, (2) der Kerr-Drehungswinkel ( R k) sollte 0,35° oder darüber betragen, und (3) die Koerzitivkraft (Hc) sollte einen Wert von 2 kOe oder darüber aufweisen; diese Bedingungen werden durch den Zusatz von Holmium in einer Menge von weniger als 15 Atom%, vorzugsweise von 6 bis 12 Atom%, erfüllt. Die geeignete Holmiummenge nimmt mit zunehmender Gesamtmenge von Terbium und Dysprosium ab, wächst mit zunehmender Gesamtmenge an Eisen und Kobalt und wächst, wenn der Kobaltgehalt in FeCo zunimmt. Die Gesamtmenge der Seltenerdmetalle (Tb, Dy und Ho) liegt im Bereich von 15 bis 35 Atom%, vorzugsweise 20 bis 30 Atom% und besonders bevorzugt 23 bis 28 Atom% und erfindungsgemäß ist die Gesamtmenge an Terbium und Dysprosium vorzugsweise größer als die Holmiummenge.

Die Dicke der Aufzeichnungsschicht liegt vorzugsweise im Bereich von 0,05 µm bis 0,1 µm.

Die Zusammensetzungen erfindungsgemäßer, besonders bevorzugter amorpher magnetischer Legierungsschichten entsprechen den folgenden Formeln:

[(Tb_yDy_z)_a(Ho_ℓEr_1- _ℓ)_1-a]_X[Fe_mCo_1-m]_100-X (1)
-

worin y + z = 1, 0 ≦ y < 1, 0 ≦ z < 1, 0 ≦ ℓ ≦ 1, 0 ≦ m ≦ 1, 0,5 < a < 1 und 15 Atom% ≦ X ≦ 35 Atom%.

[(Gd_xDy_z)_a(Ho_ℓEr_1- _ℓ)_1-a]X[Fe_mCo_1-m]_100-X (2)

worin x + z = 1, 0 ≦ x < 1, 0 ≦ z < 1, 0 ≦ ℓ ≦ 1, 0 ≦ m ≦ 1, 0,5 < a < 1 und 15 Atom% ≦ X ≦ 35 Atom%.

[(Gd_xTb _y)_a(Ho_ℓEr₁-_ℓ)₁_-a]_X[Fe_mCo_1-m]_100-X (3)

worin x + y = 1, 0 ≦ x < 1, 0 ≦ y < 1, 0 ≦ ℓ ≦ 1, 0 ≦ m ≦ 1, 0,5 < a < 1 und 15 Atom% ≦ X ≦ 35 Atom%.

[(Gd_xTb_yDy_z)_a(Ho_ℓEr_1- _ℓ)_1-a]_X[Fe_mCo_1-m]_100--X (4)

worin x + y + z = 1, 0 < x < 1, 0 < y < 1, 0 < z < 1, 0 ≦ ℓ ≦ 1, 0 ≦ m ≦ 1, 0,5 < a < 1 und 15 Atom% ≦ X ≦ 35 Atom%.

[(Tb_yDy_z)_aHo_1-a]_X[Fe_mCo_1-m]_100-X (5)

worin y + z = 1, 0 ≦ y < 1, 0 ≦ z < 1, 0 ≦ m ≦ 1, 0,5 < a < 1 und 15 Atom% ≦ X ≦ 35 Atom%.

[(Tb_yDy_z)_aEr_1-a]_X[Fe_mCo_1-m]_100-X (6)

[(Tb_yDy_z)_a(Ho_ℓEr_1- _ℓ)_1-a]_X[Fe_mCo_1-m]_100-X (7)
-

worin y + z = 1, 0 ≦ y < 1, 0 ≦ z < 1, 0 < ℓ < 1, 0 ≦ m ≦ 1, 0,5 < a < 1 und 15 Atom% ≦ X ≦ 35 Atom%.

[(Gd_xDy_z)_aHo_1-a]_X[Fe_mCo_1-m]_100-X (8)

worin x + z = 1, 0 ≦ x < 1, 0 ≦ z < 1, 0 ≦ m ≦ 1, 0,5 < a < 1 und 15 Atom% ≦ X ≦ 35 Atom%.

[(Gd_xDy_z)_aEr_1-a]_X[Fe_mCo_1-m]_100-X (9)

worin x + z = 1, 0 ≦ x < 1, 0 ≦ z < 1, 0 ≦ m ≦ 1, 0,5 < a < 1 und 15 Atom% ≦ X≦ 35 Atom%.

[(Gd_xDy_z)_a(Ho_ℓEr_1- _ℓ)_1-a]_X[Fe_mCo_1-m]_100-X (10)
-

worin x + z = 1, 0 ≦ x < 1, 0 ≦ z < 1, 0 < ℓ < 1, 0 ≦ m ≦ 1, 0,5 < a < 1 und 15 Atom% ≦ X ≦ 35 Atom%.

[(Gd_xTb_y)_aHo_1-a]_X[Fe_mCo_1-m]_100-X (11)

worin x + y = 1, 0 ≦ x < 1, 0 ≦ y < 1, 0 ≦ m ≦ 1, 0,5 < a < 1 und 15 Atom% ≦ X ≦ 35 Atom%.

[(Gd_xTb_y)_aEr_1-a]_X[Fe_mCo_1-m]_100-X (12)

[(Gd_xTb_y)_a(Ho_ℓEr_1- _ℓ)_1-a]_X[Fe_mCo_1-m]_100-X (13)
-

[(Gd_xTb_yDy_z)_aHo_1-a]_XFe_mCo_1-m]_100-X (14)

worin x + y + z = 1, 0 < x < 1, 0 < y < 1, 0 < z < 1, 0 ≦ m ≦ 1, 0,5 < a < 1 und 15 Atom% ≦ X ≦ 35 Atom%.

[(Gd_xTb_yDy_z)_aEr_1-a]_X[Fe_mCo_1-m]_100-X (15)

[(Gd_xTb_yDy_z)_a(Ho_ℓEr_1- _ℓ)_1-a]_X[Fe_mCo_1-m]_100--X (16)

worin x + y + z = 1, 0 < x < 1, 0 < y < 1, 0 < z < 1, 0 < ℓ < 1, 0 ≦ m ≦ 1, 0,5 < a < 1 und 15 Atom% ≦ X ≦ 35 Atom%.

[(Tb_yDy_z)_a(Ho_ℓEr_1- _ℓ)_1-a]_X[Fe]_100-X (17)

worin y + z = 1, 0 ≦ y < 1, 0 ≦ z < 1, 0 ≦ ℓ ≦ 1, 0,5 < a < 1 und 15 Atom% ≦ X ≦ 35 Atom%.

[(Tb_yDy_z)_a(Ho_ℓEr_1- _ℓ)_1-a]_X[Co]_100-X (18)

[(Tb_yDy_z)_a(Ho_ℓEr_1- _ℓ)_1-a]_X[Fe_mCo_1-m]_100-X (19)
-

worin y + z = 1, 0 ≦ y < 1, 0 ≦ z < 1, 0 ≦ ℓ ≦ 1, 0 < m < 1, 0,5 < a < 1 und 15 Atom% ≦ X ≦ 35 Atom%.

[(Gd_xDy_z)_a(Ho_ℓEr_1- _ℓ)_1-a]_X[Fe]_100-X (20)

worin x + z = 1, 0 ≦ x < 1, 0 ≦ z < 1, 0 ≦ ℓ ≦ 1, 0,5 < a < 1 und 15 Atom% ≦ X ≦ 35 Atom%.

[(Gd_xDy_z)_a(Ho_ℓEr_1- _ℓ)_1-a]_X[Co]_100-X (21)

[(Gd_xDy_z)_a(Ho_ℓEr_1- _ℓ)_1-a]_X[Fe_mCo_1-m]_100-X (22)
-

worin x + z = 1, 0 ≦ x < 1, 0 ≦ z < 1, 0 ≦ ℓ ≦ 1, 0 < m < 1, 0,5 < a < 1 und 15 Atom% ≦ X ≦ 35 Atom%.

[(Gd_xTb_y)_a(Ho_ℓEr_1- _ℓ)_1-a]_X[Fe]_100-X (23)

worin x + y = 1, 0 ≦ x < 1, 0 ≦ y < 1, 0 ≦ ℓ ≦ 1, 0,5 < a < 1 und 15 Atom% ≦ X ≦ 35 Atom%.

[(Gd_xTb_y)_a(Ho_ℓEr_1- _ℓ)_1-a]_X[Co]_100-X (24)

[(Gd_xTb _y)_a (Ho_ℓEr_1- _ℓ)_1-a]_X[Fe_mCo_1-m]_100-X (25)
-

worin x + y = 1, 0 ≦ x < 1, 0 ≦ y < 1, 0 ≦ ℓ ≦ 1, 0 < m < 1, 0,5 < a < 1 und 15 Atom% ≦ X ≦ 35 Atom%.

[(Gd_xTb_yDy_z)_a(Ho_ℓEr_1- _ℓ)_1-a]_X[Fe]_100-X (26)

worin x + y + z = 1, 0 < x < 1, 0 < y < 1, 0 < z < 1, 0 ≦ ℓ ≦ 1, 0,5 < a < 1 und 15 Atom% ≦ X ≦ 35 Atom%.

[(Gd_xTb_yDy_z)_a(Ho_ℓEr_1- _ℓ)_1-a]_X[Co]_100-X (27)

[(Gd_xTb_yDy_z)_a(Ho_ℓEr_1- _ℓ)_1-a]_X[Fe_mCo_1-m]_100--X (28)

worin x + y + z = 1, 0 < x < 1, 0 < y < 1, 0 < z < 1, 0 ≦ ℓ ≦ 1, 0 < m < 1, 0,5 < a < 1 und 15 Atom% ≦ X ≦ 35 Atom%.

In den vorstehenden Formeln (1) bis (28) liegt X vorzugsweise im Bereich von 20 Atom% bis 30 Atom%, vorzugsweise im Bereich von 23 Atom% bis 28 Atom%.

Erfindungsgemäße, besonders bevorzugte Beispiele amorpher magnetischer Legierungsschichten sind in Tabelle 1 aufgeführt.

Derartige erfindungsgemäße magneto-optische Aufzeichnungsmaterialien können durch Aufbringen jeder dieser amorphen magnetischen Legierungsschichten als Aufzeichnungsschicht auf einem Schichtträger hergestellt werden und, falls erforderlich, kann eine Grundschicht zwischen dem Schichtträger und der Aufzeichnungsschicht ausgebildet sein. Ferner kann man eine Schutzschicht auf der Aufzeichnungsschicht vorsehen.

Geeignete Materialien für den Schichtträger sind z. B. Polycarbonat, Polymethylmethacrylat, Epoxyharze, Olefinharze, Phenolharze und Glas.

Die Grundschicht ist eine dielektrische Schicht, die mindestens eines der folgenden Materialien umfaßt: Metalloxide wie z. B. Siliciumoxide (Si_xO_y), Al_xSi_yO_z , TiO₂, MgO, ZnO, Al₂O₃, ZrO, CeO₂ und ThO₂; Siliciumnitride (Si_xN_y); Aluminiumnitride (Al_xN_y); und andere dielektrische Materialien wie z. B. Al_xSi_yZr_z und ZnS. Diese können durch Sputtern oder Vakuumaufdampfen einer der zuvor genannten Verbindungen auf den Schichtträger in einer Dicke im Bereich von 0,04 bis 0,1 µm aufgetragen werden. Anstelle der dielektrischen Schicht kann man eine Schicht aus Fe₂O₃, NiZn oder Ferrit mit hohem Reflexionsvermögen vorsehen.

Die gleiche dielektrische Schicht, die zuvor als Grundschicht verwendet wurde, oder eine Metallschicht aus Platin, Gold und Aluminium kann als Schutzschicht durch Sputtern oder Vakuumbeschichtung auf der Aufzeichnungsschicht ausgebildet werden. Für die Schutzschicht können daneben Harze, wie z. B. mit ultravioletter Strahlung härtbare Harze, wärmehärtbare Harze oder thermoplastische Harze verwendet werden. Für das Auftragen dieser Harze als Schutzschicht eignet sich z. B. ein Hot-Melt-Walzenapplikator (hot-melt roller application) oder ein Rotationsbeschichter (spin coating).

Die folgenden Beispiele dienen zur näheren Erläuterung der Erfindung.

Beispiele 1 bis 7

Auf einem Polycarbonat-Schichtträger mit einem inneren Durchmesser von 15 mm, einem äußeren Durchmesser von 130 mm und einer Dicke von 1,2 mm wurde eine dielektrische Schicht aus SiN in einer Dicke von 0,06 µm unter Verwendung einer Hochfrequenz Magnetron-Sputter-Vorrichtung als Grundschicht ausgebildet. Anschließend wurde auf diese unter Verwendung der gleichen Vorrichtung eine amorphe magnetische Legierungsschicht in einer Dicke von 0,05 µm aufgebracht. Die in Tabelle 1 aufgeführten Target-Materialien 1 bis 7 wurden als Targets für die Beschichtung jeder einzelnen amorphen magnetischen Legierungsschicht verwendet. Mit der gleichen Vorrichtung wurde als Schutzschicht eine dielektrische SiN mit einer Dicke von 0,06 µm auf jeder amorphen magnetischen Legierungsschicht aufgebracht, wobei man die erfindungsgemäßen magneto-optischen Aufzeichnungsmaterialien 1 bis 7 erhielt.

Auf jedem dieser Aufzeichnungsmaterialien wurden unter folgenden Bedingungen Informationen aufgezeichnet: die Wellenlänge des Lasers betrug 830 nm, NA=0,5, die Laserleistung betrug 7 mW (auf der aufzeichnenden Seite des Materials), die Aufzeichnungsfrequenz betrug 13,5 MHz, die lineare Geschwindigkeit betrug 22 m/s (= 3600 UpM) bei konstanter Beschleunigungsgeschwindigkeit (CAV), das Vormagnetisierungsfeld betrug 300 Oe und die Auslastung (duty cycle) betrug 50%. Die Länge der Aufzeichnungs-Bits lag im Bereich von 0,8 bis 1,5 µm.

Die zuvor aufgezeichnete Information wurde mittels eines Laserstrahls mit einer Laserleistung von 1,5 mW vom rotierenden Aufzeichnungsmaterial bei einer linearen Geschwindigkeit von 22 m/s (= 3600 UpM) ausgelesen. Im Anschluß daran wurde eine Spektralanalyse des Wiedergabe-Strahls zur Bestimmung des C/N-Verhältnisses jedes einzelnen Aufzeichnungsmaterials 1 bis 7 durchgeführt. Tabelle 2 zeigt die Ergebnisse.

Tabelle 2

Beispiele 8 bis 16

Auf einen Polycarbonat-Schichtträger mit einem inneren Durchmesser von 15 mm, einem äußeren Durchmesser von 130 mm und einer Dicke von 1,2 mm wurde unter Verwendung einer Hochfrequenz Magnetron-Sputter-Vorrichtung eine dielektrische Grundschicht aus den in Tabelle 3 aufgeführten Materialien ausgebildet. Dabei betrug die Dicke der Grundschichten der Beispiele 8 bis 12 0,06 µm, während sie in den Beispielen 13 bis 16 0,08 µm betrug.

Auf die zuvor ausgebildete Grundschicht wurde unter Verwendung der gleichen, bereits vorher verwendeten Sputtervorrichtung eine magnetische Schicht mit einer Dicke von 0,06 µm aufgetragen, wobei die in Tabelle 1 aufgeführten Materialien 8 bis 16 als Targets eingesetzt wurden. Anschließend wurde die gleiche dielektrische Schicht, die als Grundschicht verwendet wurde, auf der magnetischen Schicht als Schutzschicht mit einer Dicke von 0,06 µm aufgebracht. Auf diese Weise erhielt man die erfindungsgemäßen magneto-optischen Aufzeichnungsmaterialien 8 bis 16.

Tabelle 3

Auf jedes der zuvor hergestellten Aufzeichnungsmaterialien wurden unter folgenden Bedingungen Informationen aufgezeichnet: die Wellenlänge des Lasers betrug 830 nm, NA=0,5, die Laserleistung lag bei 7 mW, die Aufzeichnungsfrequenz war 13,5 MHz, die lineare Geschwindigkeit betrug 22 m/s bei CAV, das Vormagnetisierungsfeld betrug 3000 Oe und die Auslastung lag bei 50%. Die Länge der Aufzeichnungs-Bits bewegte sich im Bereich von 0,8 bis 1,5 um. Die zuvor aufgezeichnete Information wurde unter Verwendung eines Laserstrahls mit einer Laserleistung von 1,5 mW vom rotierenden Aufzeichnungsmaterial bei einer linearen Geschwindigkeit von 22 m/s ausgelesen. Eine Spektralanalyse des Wiedergabe-Strahls (wave) wurde zur Bestimmung des C/N-Verhältnisses jedes der Aufzeichnungsmaterialien 5 bis 16 durchgeführt. Die Ergebnisse sind in Tabelle 4 dargestellt.

Tabelle 4

Die erfindungsgemäßen magneto-optischen Aufzeichnungsmaterialien können mit einem Laserstrahl von 830 nm Wellenlänge, einer Laserleistung auf der aufzeichnenden Oberfläche von 6 mW bis 10 mW und einer Aufzeichnungsfrequenz von 6 bis 15 MHz bei einer linearen Geschwindigkeit im Bereich von 11 bis 22 m/s (3600 UpM), Informationen aufzeichnen. Bei der Wiedergabe der aufgezeichneten Information liegt das C/N-Verhältnis bei einem hervorragenden Wert von 50 dB oder darüber.

Claims

1. Magneto-optisches Aufzeichnungsmaterial mit einem Schichtträger und einer darauf ausgebildeten Aufzeichnungsschicht aus einer amorphen Legierung, dadurch gekennzeichnet, daß die Aufzeichnungsschicht senkrecht zur Oberfläche einer Achse leichter Magnetisierung aufweist und ihre Zusammensetzung der allgemeinen Formel (I) entspricht: [(Gd_xTb_yDy_z)_a(Ho_ℓEr_1- _ℓ)_1-a]_X[Fe_mCo_1-m]_100--X (I)worin x + y + z = 1, 0 ≦ x < 1, 0 ≦ y < 1, 0 ≦ z < 1, 0 ≦ ℓ ≦ 1, 0 ≦ m ≦ 1, 0,5 < a < 1 und 15 Atom% ≦ X ≦ 35 Atom%.

2. Magneto-optisches Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Zusammensetzung der Legierung der folgenden Formel entspricht: [(Tb_yDy_z)_a(Ho_ℓEr_1- _ℓ)_1-a]_X[Fe_mCo_1-m]_100-Xworin y + z = 1, 0 ≦ y < 1, 0 ≦ z < 1, 0 ≦ ℓ ≦ 1, 0 ≦ m ≦ 1, 0,5 < a < 1 und 15 Atom% ≦ X ≦ 35 Atom%.

3. Magneto-optisches Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Zusammensetzung der Legierung der folgenden Formel entspricht: [(Gd_xDy_z)_a(Ho_ℓEr_1- _ℓ)_1-a]_X[Fe_mCo_1-m]_100-Xworin x + z = 1, 0 ≦ x < 1, 0 ≦ z < 1, 0 ≦ ℓ ≦ 1, 0 ≦ m ≦ 1, 0,5 < a < 1 und 15 Atom% ≦ X ≦ 35 Atom%.

4. Magneto-optisches Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Zusammensetzung der Legierung der folgenden Formel entspricht: [(Gd_xTb_y)_a(Ho_ℓEr_1- _ℓ)_1-a]_X[Fe_mCo_1-m]_100-Xworin x + y = 1, 0 ≦ x < 1, 0 ≦ y < 1, 0 ≦ ℓ ≦ 1, 0 ≦ m ≦ 1, 0,5 < a < 1 und 15 Atom% ≦ X ≦ 35 Atom%.

5. Magneto-optisches Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Zusammensetzung der Legierung der folgenden allgemeinen Formel entspricht: [(Gd_xTb_yDy_z)_a(Ho_ℓEr_1- _ℓ)_1-a]_X[Fe_mCo_1-m]_100--Xworin x + y + z = 1, 0 < x < 1, 0 < y < 1, 0 < z < 1, 0 ≦ ℓ ≦ 1, 0 ≦ m ≦ 1, 0,5 < a < 1 und 15 Atom% ≦ X ≦ 35 Atom%.

6. Magneto-optisches Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Zusammensetzung der Legierung der folgenden Formel entspricht: [(Tb_yDy_z)_aHo_1-a]_X[Fe_mCo_1-m]_100-Xworin y + z = 1, 0 ≦ y < 1, 0 ≦ z < 1, 0 ≦ m ≦ 1, 0,5 < a < 1 und 15 Atom% ≦ X ≦ 35 Atom%.

7. Magneto-optisches Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Zusammensetzung der Legierung der folgenden Formel entspricht: [(Tb_yDy_z)_aEr_1-a]_X[Fe_mCo_1-m]_100-Xworin y + z = 1, 0 ≦ y < 1, 0 ≦ z < 1, 0 ≦ m ≦ 1, 0,5 < a < 1 und 15 Atom% ≦ X ≦ 35 Atom%.

8. Magneto-optisches Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Zusammensetzung der Legierung der folgenden Formel entspricht: [(Tb_yDy_z)_a(Ho_ℓEr_1- _ℓ)_1-a]_X[Fe_mCo_1-m]_100-Xworin y + z = 1, 0 ≦ y < 1, 0 ≦ z < 1, 0 < ℓ < 1, 0 ≦ m ≦ 1, 0,5 < a < 1 und 15 Atom% ≦ X ≦ 35 Atom%.

9. Magneto-optisches Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Zusammensetzung der Legierung der folgenden Formel entspricht: [(Gd_xDy_z)_aHo_1-a]_X[Fe_mCo_1-m]_100-Xworin x + z = 1, 0 ≦ x < 1, 0 ≦ z < 1, 0 ≦ m ≦ 1, 0,5 < a < 1 und 15 Atom% ≦ X ≦ 35 Atom%.

10. Magneto-optisches Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Zusammensetzung der Legierung der folgenden Formel entspricht: [(Gd_xDy_z)_aEr_1-a]_X[Fe_mCo_1-m]_100-Xworin x + z = 1, 0 ≦ x < 1, 0 ≦ z < 1, 0 ≦ m ≦ 1, 0,5 < a < 1 und 15 Atom% ≦ X ≦ 35 Atom.

11. Magneto-optisches Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Zusammensetzung der Legierung der folgenden Formel entspricht: [(Gd_xDy_z)_a(Ho_ℓEr_1- _ℓ)_1-a]_X[Fe_mCo_1-m]_100-Xworin x + z = 1, 0 ≦ x < 1, 0 ≦ z < 1, 0 < ℓ < 1, 0 ≦ m ≦ 1, 0,5 < a < 1 und 15 Atom% ≦ X ≦ 35 Atom%.

12. Magneto-optisches Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Zusammensetzung der Legierung der folgenden Formel entspricht: [(Gd_xTb_y)_aHo_1-a]_X[Fe_mCo_1-m]_100-Xworin x + y = 1, 0 ≦ x < 1, 0 ≦ y < 1, 0 ≦ m ≦ 1, 0,5 < a < 1 und 15 Atom% ≦ X ≦ 35 Atom%.

13. Magneto-optisches Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Zusammensetzung der Legierung der folgenden Formel entspricht: [(Gd_xTb_y)_aEr_1-a]_X[Fe_mCo_1-m]_100-Xworin x + y = 1, 0 ≦ x < 1, 0 ≦ y < 1, 0 ≦ m ≦ 1, 0,5 < a < 1 und 15 Atom% ≦ X ≦ 35 Atom%.

14. Magneto-optisches Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Zusammensetzung der Legierung der folgenden Formel entspricht: [(Gd_xTb_y)_a(Ho_ℓEr_1- _ℓ)_1-a]_X[Fe_mCo_1-m]_100-Xworin x + z = 1, 0 ≦ x < 1, 0 ≦ z < 1, 0 < ℓ < 1, 0 ≦ m ≦ 1, 0,5 < a < 1 und 15 Atom% ≦ X ≦ 35 Atom%.

15. Magneto-optisches Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Zusammensetzung der Legierung der folgenden Formel entspricht: [(Gd_xTb_yDy_z)_aHo_1-a]_X[Fe_mCo_1-m]_100-Xworin x + y + z = 1, 0 < x < 1, 0 < y < 1, 0 < z < 1, 0 ≦ m ≦ 1, 0,5 < a < 1 und 15 Atom% ≦ X ≦ 35 Atom%.

16. Magneto-optisches Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Zusammensetzung der Legierung der folgenden Formel entspricht: [(Gd_xTb_y Dy_z)_aEr_1-a]_X[Fe_mCo_1-m]_100-Xworin x + y + z = 1, 0 < x < 1, 0 < y < 1, 0 < z < 1, 0 ≦ m ≦ 1, 0,5 < a < 1 und 15 Atom% ≦ X ≦ 35 Atom%.

17. Magneto-optisches Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Zusammensetzung der Legierung der folgenden Formel entspricht: [(Gd_xTb_yDy_z)_a(Ho_ℓEr_1- _ℓ)_1-a]_X[Fe_mCo_1-m]_100--Xworin x + y + z = 1, 0 < x < 1, 0 < y < 1, 0 < z < 1, 0 < ℓ < 1, 0 ≦ m ≦ 1, 0,5 < a < 1 und 15 Atom% ≦ X ≦ 35 Atom%.

18. Magneto-optisches Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Zusammensetzung der Legierung der folgenden Formel entspricht: [(Tb_yDy_z)_a(Ho_ℓEr_1- _ℓ)_1-a]_X[Fe]_100-Xworin y + z = 1, 0 ≦ y < 1, 0 ≦ z < 1, 0 ≦ ℓ ≦ 1, 0,5 < a < 1 und 15 Atom% ≦ X ≦ 35 Atom%.

19. Magneto-optisches Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Zusammensetzung der Legierung der folgenden Formel entspricht: [(Tb_yDy_z)_a(Ho_ℓEr_1-a]_X[Co]_100-X worin y + z = 1, 0 ≦ y < 1, 0 ≦ z < 1, 0 ≦ ℓ ≦ 1, 0,5 < a < 1 und 15 Atom% ≦ X ≦ 35 Atom%.

20. Magneto-optisches Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Zusammensetzung der Legierung der folgenden Formel entspricht: [(Tb_yDy_z)_a(Ho_ℓEr_1- _ℓ)_1-a]_X[Fe_mCo_1-m]_100-Xworin y + z = 1, 0 ≦ y < 1, 0 ≦ z < 1, 0 ≦ ℓ ≦ 1, 0 < m < 1, 0,5 < a < 1 und 15 Atom% ≦ X ≦ 35 Atom%.

21. Magneto-optisches Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Zusammensetzung der Legierung der folgenden Formel entspricht: [(Gd_xDy_z)_a(Ho_ℓEr_1- _ℓ)_1-a]_X[Fe]_100-Xworin x + z = 1, 0 ≦ x ⁻ 1, 0 ≦ z < 1, 0 ≦ ℓ ≦ 1, 0,5 < a < 1 und 15 Atom% ≦ X ≦ 35 Atom%.

22. Magneto-optisches Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Zusammensetzung der Legierung der folgenden Formel entspricht: [(Gd_xDy_z)_a(Ho_ℓEr_1- _ℓ)_1-a]_X[Co]_100-Xworin x + z = 1, 0 ≦ x < 1, 0 ≦ z < 1, 0 ≦ ℓ ≦ 1, 0,5 < a < 1 und 15 Atom% ≦ X ≦ 35 Atom%.

23. Magneto-optisches Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Zusammensetzung der Legierung der folgenden Formel entspricht: [(Gd_xDy_z)_a(Ho_ℓEr_1- _ℓ)_1-a]_X[Fe_mCo_1-m]_100-Xworin x + z = 1, 0 ≦ x < 1, 0 ≦ z < 1, 0 ≦ ℓ ≦ 1, 0 < m < 1, 0,5 < a < 1 und 15 Atom% ≦ X ≦ 35 Atom%.

24. Magneto-optisches Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Zusammensetzung der Legierung der folgenden Formel entspricht: [(Gd_xTb_y)_a(Ho_ℓEr_1- _ℓ)_1-a]_X[Fe]_100-Xworin x + y = 1, 0 ≦ x < 1, 0 ≦ y < 1, 0 ≦ ℓ ≦ 1, 0,5 < a < 1 und 15 Atom% ≦ X ≦ 35 Atom%.

25. Magneto-optisches Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Zusammensetzung der Legierung der folgenden Formel entspricht: [(Gd_xTb_y)_a(Ho_ℓEr_1- _ℓ)_1-a]_X[Co]_100-Xworin x + y = 1, 0 ≦ x < 1, 0 ≦ y < 1, 0 ≦ ℓ ≦ 1, 0,5 < a < 1 und 15 Atom% ≦ X ≦ 35 Atom%.

26. Magneto-optisches Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Zusammensetzung der Legierung der folgenden Formel entspricht: [(Gd_xTb_y)_a(Ho_ℓEr_1- _ℓ)_1-a]_X[Fe_mCo_1-m]_100-Xworin x + y = 1, 0 ≦ x < 1, 0 ≦ y < 1, 0 ≦ ℓ ≦ 1, 0 < m < 1, 0,5 < a < 1 und 15 Atom% ≦ X ≦ 35 Atom%.

27. Magneto-optisches Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Zusammensetzung der Legierung der folgenden Formel entspricht: [(Gd_xTb_yDy_z)_a(Ho_ℓEr_1- _ℓ)_1-a]_X[Fe]_100-Xworin x + y + z = 1, 0 < x < 1, 0 < y < 1, 0 < z < 1, 0 ≦ ℓ ≦ 1, 0,5 < a < 1 und 15 Atom% ≦ X ≦ 35 Atom%.

28. Magneto-optisches Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Zusammensetzung der Legierung der folgenden Formel entspricht: [(Gd_xTb_yDy_z)_a(Ho_ℓEr_1- _ℓ)_1-a]_X[Co]_100-Xworin x + y + z = 1, 0 < x < 1, 0 < y < 1, 0 < z < 1, 0 ≦ ℓ ≦ 1, 0,5 < a < 1 und 15 Atom% ≦ X ≦ 35 Atom%.

29. Magneto-optisches Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Zusammensetzung der Legierung der folgenden Formel entspricht: [(Gd_xTb_yDy_z)_a(Ho_ℓEr_1-≵)_1-a]_X[Fe_mCo_1-m]_100-X-worin x + y + z = 1, 0 < x < 1, 0 < y < 1, 0 < z < 1, 0 ≦ ℓ ≦ 1, 0 < m < 1, 0,5 < a < 1 und 15 Atom% ≦ X ≦ 35 Atom%.

30. Magneto-optisches Aufzeichnungsmaterial nach einem der Ansprüche 1 bis 29, dadurch gekennzeichnet, daß das Material des Schichtträgers ausgewählt ist aus Polycarbonat, Polymethylmethacrylat, Epoxyharz, Olefinharz, Phenolharz und Glas.

31. Magneto-optisches Aufzeichnungsmaterial nach einem der Ansprüche 1 bis 30, dadurch gekennzeichnet, daß es eine Grundschicht aus einem dielektrischen Material zwischen dem Schichtträger und der Aufzeichnungsschicht umfaßt.

32. Magneto-optisches Aufzeichnungsmaterial nach einem der Ansprüche 1 bis 31, dadurch gekennzeichnet, daß es auf der Aufzeichnungsschicht eine Schutzschicht aufweist.

33. Magneto-optisches Aufzeichnungsmaterial nach einem der Ansprüche 1 bis 32, dadurch gekennzeichnet, daß die Aufzeichnungsschicht eine Dicke von 0,05 µm bis 0,1 µm aufweist.

34. Magneto-optisches Aufzeichnungsmaterial nach einem der Ansprüche 31 bis 33, dadurch gekennzeichnet, daß die Grundschicht eine Dicke von 0,04 µm bis 0,1 µm aufweist.