DE102004016148A1 - Verfahren und System zur Herstellung von dynamischen Speichern (DRAM) mit reduziertem Strombedarf für die Selbstauffrischung - Google Patents

Verfahren und System zur Herstellung von dynamischen Speichern (DRAM) mit reduziertem Strombedarf für die Selbstauffrischung Download PDF

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Abstract

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und ein System zur Reduzierung des Strombedarfs für die Selbstauffrischung in einem DRAM. Ein DRAM-Chip wird in eine Anzahl von Segmenten unterteilt. Der gesamte DRAM-Chip wird bei der Herstellung getestet, um die Abnahmeraten für jede Zelle im DRAM festzustellen. Für jedes Segment wird die Auffrischungsrate entsprechend der schnellsten Abnahmerate für eine DRAM-Zelle in diesem Segment ausgewählt. Der DRAM ist konfiguriert, um Speicherzellen während einer Selbstauffrischung mit unterschiedlichen Auffrischungsraten für unterschiedliche Segmente aufzufrischen. Die Auffrischungsperiode wird für einzelne Segmente unter Verwendung von Techniken wie programmierbaren Logikschaltungen oder Schmelzverbindungen so gesteuert, dass bestimmte Zyklen zur Selbstauffrischung für die Segmente übersprungen werden, die in der Lage sind, bei niedrigeren Auffrischungsraten zu arbeiten. Auf diese Weise kann die Auffrischungsperiode in Segmenten des Speichers mit starken Speicherzellen reduziert werden, wodurch zu ziehender Strom gespart werden kann.

Description

  • Hintergrund der Erfindung
  • Gebiet der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf Schaltungen für die Selbstauffrischung in Halbleiterspeicherbauelementen, und insbesondere auf ein System und ein Verfahren zur Reduzierung des Strombedarfs für die Selbstauffrischung.
  • Hintergrundinformation
  • In der Industrie der tragbaren Konsumelektronik haben neuere Entwicklungen hinsichtlich der Arbeitsgeschwindigkeiten der Mikroprozessoren und hinsichtlich der Speicherkapazitäten zu einer neuen Generation von tragbaren Geräten mit deutlich verbesserter Funktionalität geführt. Tragbare elektronische Geräte werden ständig mit zusätzlichen Funktionen ausgestattet und zugleich derart entworfen, dass sie immer wirksamer arbeiten, immer weniger elektrischen Strom verbrauchen, und daher immer weniger Batterieleistung benötigen. Solche elektronischen Geräte (wie Laptops, Digitalkameras, digitale Mobiltelefone, digitale persönliche Assistenten) sind heute in der Lage, über einen längeren Zeitraum in Betrieb zu sein, ehe die Batterie ersetzt oder wieder aufgeladen werden muss, was für die Verbraucher nützlich sein kann, und sind kostengünstiger zu betreiben.
  • Viele tragbare elektronische Geräte enthalten dynamische Speicher mit wahlfreiem Zugriff (Dynamic Random Access Memory – "DRAM") für eine temporäre oder "flüchtige" (d.h. eine konstante Leistung erfordernde) Speicherung von Daten. Ein konventionelles DRAM umfasst mehrere Speicherzellen innerhalb von Feldern von Wortleitungen und Bitleitungen, die als ein Gitter angeordnet sind. Wie in 1 zu sehen, umfasst eine einzelne Speicherzelle üblicherweise einen einzigen Transistor 10 und einen einzigen Kondensator 11. Der Zugriff auf die Zelle erfolgt durch Aktivieren einer bestimmten Wortleitung und Bitleitung.
  • Um ein Datenbit in eine Zelle einzuschreiben, wird eine geeignete Spannung an die Wortleitung angelegt, die den Transistor 10 zusammen mit jedem anderen Transistor in der Wortleitung einschaltet. Eine hohe Spannung (üblicherweise nahe 1,5 V oder 2 V) oder eine niedere Spannung (üblicherweise nahe 0 V) wird dann an die Bitleitung angelegt, um den Kondensator 11 auf einen logischer Wert "High" oder einen logischer Wert "Low" zu laden. Wenn die Spannung auf der Wortleitung abgeschaltet wird, bleibt die Ladung auf dem Kondensator, um ein Bit an Informationen zu speichern. Üblicherweise wird durch Anlegen der Spannung an die Wortleitung und Anlegen einer Spannung für das Einprägen oder Messen an jede der Bitleitungen ein ganzes Wort in das DRAM-Feld geschrieben oder daraus ausgelesen.
  • Die Ladungspegel, die in den Kondensatoren des DRAM-Feldes gespeichert werden, werden von Verlustströmen beeinträchtigt, was dazu führt, dass die gespeicherten Spannungswerte im Laufe der Zeit verloren gehen. Um die Genauigkeit der in den Kondensatoren gespeicherten Daten aufrechtzuerhalten, muss jede Zelle des DRAMs periodisch aufgefrischt werden. Dies wird üblicherweise dadurch erreicht, dass die Daten über einen Leseverstärker gelesen werden. Dieser Lesevorgang frischt das Zellensignal automatisch auf, da die Speicherzelle während des Prozesses der Spannungsmessung und -verstärkung mit der Bitleitung verbunden ist, so dass volle Signalpegel wiederhergestellt werden. Auffrischungsvorgänge werden üblicherweise durch Befehle von einer/einem externen Steuerung/Prozessor für den Speicher veranlasst, die/der während "Standby"- oder "Warte"-Perioden zwischen Lese- und Schreib-Vorgängen eingreift. Neuerdings werden DRAMs mit innerhalb des DRAMs befindlichen Schaltungen für die Selbstauffrischung konfiguriert, um Auffrischungsvorgänge nach Empfang eines Befehls zum Auffrischen von der/dem Steuerung/Prozessor durchzuführen (und automatisch die richtigen aufzufrischenden Zellen auszuwählen).
  • Die Frequenz, mit der der Speicher periodisch aufgefrischt werden muss, hängt von mehreren Faktoren ab, aber er wird üblicherweise mindestens alle paar hundert Millisekunden aufgefrischt (dies geschieht in "kleinen Abschnitten", zum Beispiel von je 7,8 ms, um das gesamte DRAM in 64 ms wiederherzustellen, d.h. 8k Auffrischungsvorgänge sind erforderlich ... 8k × 7,8 ms = 64 ms). Auffrischungsraten für bestimmte DRAM-Felder werden üblicherweise vom Hersteller festgelegt, wobei die schlechtesten Bedingungen unter hohen Temperaturen zugrundegelegt werden. Im allgemeinen zeigt die Gesamtrelation zwischen Temperatur und Auffrischungsrate für DRAM-Felder eine positive Steigung, so dass die Leistungsaufnahme mit der Temperatur des DRAMs ansteigt. Da Speicherzellen die Tendenz haben, infolge der Herstellung leicht zu variieren, wird die Auffrischungsrate entsprechend dem am schnellsten abnehmenden Bit an Information im DRAM festgelegt. In anderen Worten wird die Auffrischungsrate entsprechend dem kleinsten gemeinsamen Nenner hinsichtlich der Durchführung festgelegt, so dass die Auffrischungsvorgänge die im Speicher gespeicherte Information in jeder Speicherzelle erfolgreich aufrechterhalten. Dies kann durchgeführt werden, indem alle Zellen eines DRAMs nach der Herstellung getestet werden, um die Abnahmezeit für jede Zelle zu bestimmen.
  • Die Auffrischungsvorgänge in einer Schaltung zur Selbstauffrischung können unter Verwendung eines internen Zählers durchgeführt werden, um die Zellen sequentiell zu adressieren, derart, dass jede Zelle innerhalb eines bestimmten Zeitraums aufgefrischt wird. 2 ist eine bekannte Konfiguration eines DRAMs mit Möglichkeiten zur Selbstauffrischung. In dieser Konfiguration liefert der Signalgenerator 20 ein Taktsignal zur Auffrischung an eine Schaltung zur Auffrischungssteuerung 22. Wie in 2 gezeigt, ist die Auffrischungsschaltung nur mit dem Spaltendekoder verbunden. Die Spalten im Spaltendekoder 24 werden derart adressiert, dass jede der Spalten innerhalb der maximalen Zeit für das Auffrischen der Speichervorrichtung nach einer bestimmten Anzahl von Auffrischungen adressiert wird.
  • Da die Auffrischungsvorgänge ein fortwährendes Laden und Entladen von Bitleitungen erfordern, verbrauchen sie Leistung, und der Auffrischungsprozess verringert die Arbeitsleistung des DRAMs. Dementsprechend wurden mehrere Techniken entwickelt, um die zum Auffrischen von DRAMs erforderliche Leistung zu reduzieren. Zum Beispiel besteht eine solche Technik darin, die Auffrischungsrate zu verlangsamen, wenn der DRAM bei niedrigeren Temperaturen arbeitet, bei denen die Abnahmezeit länger ist, so dass keine hohe Auffrischungsrate notwendig ist. Dies kann erfolgen, indem der Taktgeber selbst verlangsamt wird, oder durch eine Gestaltung der dem Taktgeber zugeordneten Logik für die Auffrischung derart, dass sie nur in einem Bruchteil der Zeit auffrischt, wenn der DRAM bei einer niedrigen Temperatur arbeitet. Eine andere Technik ist es, die DRAMs so zu gestalten, dass der DRAM konfiguriert werden kann, um bei einer ausgewählten Auffrischungsrate zu arbeiten, die von der vorgesehenen Nutzung abhängt. Dies kann durch Einsetzen einer Schmelzverbindung in die Auffrischungsschaltung und anschließendes Durchbrennen der Schmelzverbindung, um die Auffrischungsrate des DRAMs zu ändern, erfolgen.
  • Um die Arbeitsweise des Speichers weiter zu verbessern und die mit DRAMs verbundene Leistungsaufnahme weiter zu senken, sind die Halbleiter-Entwickler ständig bemüht, die Auffrischungsvorgänge zu verbessern und die Auffrischungsraten zu verringern. In Anbetracht der obigen Ausführungen ist ersichtlich, dass ein bedeutender Bedarf an einem Verfahren und einem System zur Reduzierung des Strombedarfs für die Selbstauffrischung in einem DRAM ohne negative Beeinflussung anderer Leistungsmerkmale des Halbleiterspeichers besteht.
  • Kurze Darstellung der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und ein System zur Reduzierung des Strombedarfs für die Selbstauffrischung in einem DRAM. Ein DRAM-Chip ist in eine Anzahl von Segmenten unterteilt. Der gesamte DRAM-Chip wird nach der Herstellung getestet, um die Abnahmeraten für jede Zelle im DRAM zu bestimmen. Für jedes Segment wird die Auffrischungsrate dieses Segments in Abhängigkeit von der schnellsten Abnahmerate für eine DRAM-Zelle in diesem Segment ausgewählt. Der DRAM ist so konfiguriert, dass Speicherzellen während einer Selbstauffrischung mit verschiedenen Auffrischungsraten für verschiedene Segmente aufgefrischt werden. Die Auffri schungsperiode für einzelne Segmente wird unter Verwendung von Techniken wie z.B. programmierbarer Logik oder Schmelzverbindungen gesteuert, um bestimmte Zyklen der Selbstauffrischung bei denjenigen Segmenten zu überspringen, die in der Lage sind, bei niedrigeren Auffrischungsraten zu arbeiten. Auf diese Weise kann die Auffrischungsperiode in Speichersegmenten mit starken Speicherzellen reduziert werden, wodurch Strom gespart werden kann.
  • Es wird ein Verfahren offenbart, um die Auffrischungsfrequenz für eine Vielzahl von Speicherzellen in einem DRAM zu reduzieren. Das eine Vielzahl von Speicherzellen enthaltende Speicherfeld ist in eine Vielzahl von Segmenten unterteilt. Die Speicherzellen im Speicherfeld, die eine Auffrischungsrate benötigen, die schneller ist als die Auffrischungsrate, die für die restlichen Speicherzellen im Speicherfeld erforderlich ist, werden identifiziert. Es wird ein Segment identifiziert, das den identifizierten Speicherzellen entspricht. Wenn ein Auffrischungsvorgang aktiviert wird, werden Speicherzellen in einem identifizierten Segment mit einer anderen Auffrischungsrate aufgefrischt als die Auffrischungsrate, die für Speicherzellen in anderen Segmenten des Speicherfeldes verwendet wird.
  • Es wird auch ein Verfahren zum Selbstauffrischen verschiedener Segmente eines DRAMs mit verschiedenen Auffrischungsraten offenbart, bei dem jedes Segment eine Vielzahl von Wortleitungen und Speicherzellen umfasst. Das Verfahren umfasst die Schritte des Inkrementierens eines Multibit-Zählers, wobei eine Vielzahl von Bits einer Wortleitungsadresse in dem DRAM entsprechen, des Bestimmens der Rate, mit der das Segment, das der vom Zähler angegebenen Wortleitungsadresse zugeordnet ist, aufgefrischt werden soll, wobei (i) Segmente mit einer hohen Auffrischungsrate bei jedem Zyklus des Zählers aufgefrischt werden und (ii) Segmente mit einer niedrigen Auffrischungsrate in intermittierenden Zyklen des Zählers aufgefrischt werden, und des Durchführens einer Auffrischung von Speicherzellen in der Wortleitung abhängig vom Zählerzyklus und der dem zugeordneten Segment entsprechenden Auffrischungsrate.
  • Es wird eine Anordnung zur Auffrischungssteuerung zur Erzeugung von Selbstauffrischungen in einem DRAM, das in eine Anzahl von Segmenten aufgeteilt ist, angegeben. Die Auffrischungssteuerung enthält einen Multibit-Zähler mit einer Vielzahl von Bits, die Wortleitungsadressen in jedem Segment des DRAMs entsprechen, um inkrementell Wortleitungsadressen zu erzeugen. Die Steuerung enthält auch eine Logik, um zu bestimmen, ob die Wortleitung an der vom Zähler angegebenen Adresse während eines Zählerzyklus aufgefrischt werden soll, wobei verschiedene Segmente des DRAMs mit verschiedenen Auffrischungsraten aufgefrischt werden.
  • Kurze Beschreibung der Zeichnungen
  • 1 ist eine schematische Darstellung einer elektrischen Schaltung eines Abschnitts eines üblichen DRAM-Feldes.
  • 2 ist eine schematische Darstellung des Aufbaus eines üblichen DARM-Feldes, das zur Durchführung von Vorgängen zur Selbstauffrischung konfiguriert ist.
  • 3 ist eine schematische Darstellung von Komponenten, die für eine Auffrischungssteuerung verwendet werden, die eine Logik, die über Schmelzverbindungen auswählbar ist, gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung verwendet.
  • 4 ist eine schematische Darstellung der Verwendung der Logik, die über Schmelzverbindungen auswählbar ist, und der Bauteile aus 3 zur Auffrischung verschiedener Segmente eines DRAMs mit unterschiedlichen Auffrischungsraten gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • 5 ist ein Flussdiagramm, das Schritte der Verwendung einer Logik, die über Schmelzverbindungen auswählbar ist, zur Auffrischung von Wortleitungen in Segmenten eines DRAMs mit unterschiedlichen Auffrischungsraten gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellt.
  • 6 ist eine schematische Darstellung der Verwendung einer programmierbaren Logik zum Auffrischen verschiedener Segmente eines DRAMs mit unterschiedlichen Auffrischungsraten gemäß einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • 7 ist ein Flussdiagramm, das die Schritte der Verwendung einer programmierbaren Logik zur Auffrischung von Wortleitungen in Segmenten eines DRAMs mit unterschiedlichen Auffrischungsraten gemäß einer Ausführungsform der Erfindung darstellt.
  • 8 ist eine schematische Darstellung eines alternativen Verfahrens zur Segmentierung des in den 4 und 6 dargestellten Speicherfelder.
  • Ausführliche Beschreibung der Erfindung
  • Bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung werden unter Bezugnahme auf die beiliegenden Zeichnungen ausführlich be schrieben. Die vorliegende Erfindung kann in vielen Formen ausgeführt werden und sollte nicht als auf die hier beschriebenen Ausführungsformen beschränkt angesehen werden.
  • Die Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung beziehen sich auf Verfahren und Systeme zur Reduzierung des Strombedarfs bei Vorgängen zur Selbstauffrischung in DRAMs durch eine dynamische Zuordnung unterschiedlicher Auffrischungsraten zu verschiedenen Segmenten eines DRAMs, basierend auf den Abnahmezeiten, die für Speicherzellen der jeweiligen Segmente festgestellt wurden. Nach der Herstellung wird der DRAM überprüft, um die Betriebsfähigkeit und Abnahmezeit für jede der Speicherzellen im DRAM zu bestimmen. Es sind Systeme und Techniken bekannt, um nach der Herstellung Tests zur Überprüfung von DRAMs nach einem Einschalten (Power-up) durchzuführen.
  • Für diejenigen DRAM-Zellen, die als defekt und nicht betriebsbereit erkannt wurden, ist ein Abschnitt des Feldes von DRAM-Speicherzellen als redundanter Speicherabschnitt vorgesehen. Wenn für einen Schreib- oder Lesevorgang auf eine defekte Speicherzelle zugegriffen werden soll, wird eine auf dem Chip befindliche Logikschaltung verwendet, um die Adresse der defekten Zelle einer Stelle im redundanten Speicher zuzuordnen. Es können Banken mit Schmelzverbindungen in den DRAM-Chip integriert sein, um die Adressen der defekten Speicherzellen zu speichern, wobei die Adressen durch Zerstörung ausgewählter Schmelzverbindungen mittels Laser in die Gruppen von Schmelzverbindungen eingeschrieben werden. Jede Schmelzverbindung kann entweder geschlossen bleiben oder durchbrennen, um einen logischen Zustand "0" oder "1" darzustellen, so dass Gruppen von Schmelzverbindungen logische Wörter bilden können, die Zeilen- und Spaltenadressen defekter Zellen im Hauptspeicher entsprechen.
  • Bei üblichen DRAMs und bei DRRM-Herstellungstechniken wird die Auffrischungsrate für den gesamten DRAM-Chip entsprechend der kürzesten Abnahmezeit für eine einzelne Speicherzelle bestimmt. Mit anderen Worten, wenn es bekannt ist, dass alle Speicherzellen in einem DRAM (ausschließlich der defekten Zellen) ihre Ladungen an irgendeinem Punkt nach mindestens 64 Millisekunden verlieren, kann die Auffrischungssteuerung im DRAM so konfiguriert werden, dass jede Zelle alle 64 Millisekunden einmal aufgefrischt wird. Wenn manche Speicherzellen ihre Ladungen wesentlich länger als 64 Millisekunden halten, werden diese Speicherzellen aber öfter aufgefrischt, als es zur Aufrechterhaltung der Daten erforderlich ist.
  • Es ist bekannt, dass komplexe Verlustmechanismen zu einer breiten Verteilung der Haltezeit individueller Speicherzellen führen. Nach Test und Reparatur des Chips zeigen die Speicherzellen eine Verteilung von 64 ms bis zu einigen Sekunden. Theoretisch könnte die Leistungsaufnahme in einem DRAM durch Auffrischen jeder Speicherzelle gemäß der ihr entsprechenden besonderen Abnahmerate minimiert werden. Obwohl solch ein System unnötige Auffrischungen vermeiden würde, würde die erforderliche Logik die Größe und Komplexität des Chips überfordern, was jeden Nutzen bei weitem aufwiegt. Da DRAMs aber die Tendenz haben, eine Ansammlung von Zellen in einem oder mehreren Bereichen eines DRAM-Chips aufzuweisen, die dadurch gekennzeichnet sind, dass sie eine langsamere Auffrischungsrate als normal erfordern, könnte ein deutlicher Vorteil dadurch erhalten werden, dass die Auffrischung von Zellen in diesen Bereichen anders eingestellt wird als im Rest des Chips.
  • Gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist ein DRAM-Chip in mehrere Segmente unterteilt. Ein Auffrischungszähler zählt weiter, um wie in einer üblichen Auffrischungsschaltung für einen Speicher jede Wortleitung im Speicher aufzufrischen. Es ist aber für jedes Segment eine Logik vorgesehen, um zu bestimmen, ob Wortleitungen in diesem Segment bei jedem aufeinanderfolgenden Durchgang, bei jedem zweiten Durchgang oder bei jedem dritten Durchgang usw. des Auffrischungszählers aufgefrischt werden sollen. Auf diese weise kann die gleiche Auffrischungsschaltung für den gesamten Chip verwendet werden, aber unterschiedliche Segmente des Chips weisen unterschiedliche Auffrischungsraten auf. Die Logik, die verwendet wird, um die Auffrischungsrate jedes einzelnen Segments zu bestimmen, kann eine programmierbare Logik oder eine über Schmelzverbindungen auswählbaren Logik umfassen.
  • Ausführungsform mit einer über Schmelzverbindungen auswählbaren Logik Zusätzlich zur Integration einer Bank von Schmelzverbindungen zur Steuerung von Lese- und Schreibvorgängen zu und von defekten Zellen ist es auch möglich, Schmelzverbindungen in einem DRAM anzuordnen, um die Auffrischungsrate dynamisch einzustellen. Ähnlich wie bei der Bank von Schmelzverbindungen, die zur Speicherung der Adressen von defekten Zellen verwendet wird, können Schmelzverbindungen auch mittels Laser durchgebrannt werden, um eine über Schmelzverbindungen auswählbare Logik zur Anpassung der Arbeitsweise des DRAMs nach der Herstellung zu liefern, ohne wesentliche Änderungen an der Hardware zu erfordern.
  • 3 ist eine schematische Darstellung einer Auffrischungssteuerung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Bekanntlich weist ein DRAM mehrere periphere Schaltungen zur Durchführung von Lese- und Schreibvorgängen von Informationen in und aus Speicherzellen und zum Auffrischen der Speicherzellen in einer Betriebsart zur Selbstauffrischung auf, ohne externe Signale für Zeilenadressen zu erfordern. Im Vergleich mit 2 weist die Auffrischungssteuerung 22 zusätzlich eine Bank von Schmelzverbindungen 31, ein Register 32, einen Dekoder 33, einen Logikzähler 34, einen Zähler 35 und einen Multiplexer 36 auf.
  • In einer beispielhaften Anwendung dieser Ausführungsform entspricht jede Schmelzverbindung in der Bank von Schmelzverbindungen 31 einem jeweiligen bezeichneten Segment im Speicherfeld. Wenn festgestellt wird, dass das Segment eine oder mehrere Speicherzellen mit Abnahmezeiten aufweist, die vergleichsweise kürzer sind als die der durchschnittlichen Speicherzelle und daher eine schnellere Auffrischungsrate erfordern, wird die entsprechende Schmelzverbindung in der Bank von Schmelzverbindungen 31 durchgebrannt. Diese durchgebrannte Schmelzverbindung zeigt an, dass das entsprechende Segment bei jedem Durchgang des Zählers 35 aufgefrischt werden muss. Dagegen zeigen die nicht durchgebrannten Schmelzverbindungen an, dass die entsprechenden Segmente nicht so oft aufgefrischt werden müssen, sondern stattdessen bei jedem zweiten Durchgang des Zählers 35 aufgefrischt werden können. In dieser beispielhaften Verwendung werden also Speicherzellen in bestimmten Segmenten halb so oft aufgefrischt wie diejenigen in anderen Segmenten. Ob eine Schmelzverbindung durchgebrannt ist, zeigt an, welche von zwei möglichen Auffriuuschungskategorien einem Segment entspricht.
  • Unter manchen Bedingungen kann es nützlich sein, eine größere Auswahl von Auffrischungszeiten vorzusehen. Während die durchschnittliche Speicherzelle in einem Feld zum Beispiel nur alle 128 ms eine Auffrischung erfordert, ist es möglich, dass ein paar Zellen in einem Segment eine Auffrischung alle 64 ms erfordern, während ein paar Zellen in einem anderen Segment Auffrischungen alle 32 ms erfordern. In diesem Fall (unter der Annahme, dass die Zellen, die alle 32 ms eine Auffrischung erfordern, nicht als defekt zu bezeichnen sind) ist es möglich, durch Verwendung von zwei Schmelzverbindungen pro Segment eine Information darüber zu liefern, welche Auffrischungsrate welchem Segment entspricht. Unter Verwendung eines Standard-Binärformats liefern zwei Schmelzverbindungen 22 = 4 mögliche Permutationen ("00", "01", "10", "11"). Andere beispielhafte Anwendungen können in ähnlicher Weise durch Hinzufügen von weiteren Schmelzverbindungen zu jedem Segment vorgesehen werden.
  • 4 stellt die Verwendung einer über Schmelzverbindungen auswählbaren Logik und von Komponenten der 3 dar, um verschiedene Segmente eines DRAMs mit unterschiedlichen Auffrischungsraten gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung aufzufrischen. Für die Zwecke dieser Darstellung ist das Speicherfeld 23 in vier Segmente 47a bis 47d aufgeteilt, die je acht Wortleitungen enthalten. Jedes Segment des Speicherfeldes entspricht einer der Schmelzverbindungen 41a bis 41d. Die Schmelzverbindungen ermöglichen es der Auffrischungslogik, für eine von zwei möglichen Auffrischungsraten für jedes Segment konfiguriert zu werden.
  • Im Beispiel der 4 wird bei der Herstellung des Speicherfeldes festgestellt, dass zwei Zellen (jeweils mit "x" bezeichnet) innerhalb des Segments 2 doppelt so oft aufge frischt werden müssen wie diejenigen in anderen Segmenten. Die Schmelzverbindungen können entweder in einer Konfiguration des Durchbrennens zum Schließen oder einer Konfiguration des Durchbrennens zum Öffnen gebildet werden. Die Schmelzverbindungen können ein Polysilikonmaterial umfassen, das mittels Laser geschmolzen wird, um einen Stromkreis zu unterbrechen. So wird die Schmelzverbindung 41c durchgebrannt, die dem Segment 2 entspricht.
  • Beim Einschalten des DRAM-Chips stellen die Schmelzverbindungen 41a bis 41d die Register 42a bis 42d derart ein, dass 42a, 42b, und 42d je auf "0" oder logisches Low eingestellt werden, während 42c auf "1" oder logisches High eingestellt wird, da die zugehörige Schmelzverbindung 41c durchgebrannt ist. Im Betrieb heißt dies, dass das Segment 2 anders zu behandeln ist als die Segmente 1, 3 und 4.
  • Während der Zyklen zur Selbstauffrischung zählt der Sechs-Bit-Zähler 45 inkrementell von 000000 bis 111111 (ein Inkrement pro Auffrischungssignal). Von den sechs Bits entsprechen die niedrigsten drei Bits ("321") der Wortleitung innerhalb jedes Segments (000 bis 111 entspricht 8 Wortleitungen in einem Segment). Die nächsten beiden Bits ("54") entsprechen einem der vier Segmente (00 bis 11). Zum Beispiel entspricht also der Zählerstand 000111 dem Segment 1 der Wortleitung 8, und der Zählerstand 001001 entspricht dem Segment 2 der Wortleitung 2. Wie in der Figur angezeigt, entsprechen diese 5 Bitleitungen einer vollständigen Wortleitungsadresse im Speicher. Schließlich, wie nachfolgend ausführlicher erklärt, entspricht das Bit "6" dem Zustand, ob der Zähler 45 einen "ungeraden" oder einen "geraden" Zyklus durchführt.
  • Für jeden Zählerzyklus von 000000 bis 000111 werden die Wortleitungen 1 bis 8 des Segments 1 inkrementell aufgefrischt. An jeder unkrementellen Adresse sind die Bits 4 und 5 des Zählers auf 00, was in den Dekoder 43 eingegeben wird, um den Inhalt von 42d zu lesen, der dem Segment 1 entspricht, das 0 ist. Das Komplement hierzu ist eine 1, die in ein UND-Gatter 48a zusammen mit dem Bit "6" des Zählers 45 eingegeben wird, das 0 ist, so dass 1 × 0 = 0. Das Komplement dieses Ergebnisses ist 1, das in ein zweites UND-Gatter 48b zusammen mit einer 1 von der Logik 44 (1 × 1 = 1) eingegeben wird, um eine 1 in MUX 46 einzugeben. Dies zeigt an, dass eine Auffrischung in jeder Wortleitungsadresse 000 bis 111 durchzuführen ist.
  • Für jeden Zählerzyklus von 001000 bis 001111 werden die Wortleitungen 1 bis 8 inkrementell aufgefrischt. Da das Bit "6" des Zählers 45 0 bleibt, bleibt das Ergebnis des Zählers 45 0, das Ergebnis des ersten UND-Gatters 48a bleibt 0, und daher bleibt das Ergebnis des zweiten UND-Gatters 48b 1. Wieder gibt dies an, dass eine Auffrischung an jeder Wortleitungsadresse 000 bis 111 im Segment 2 durchzuführen ist.
  • Man sieht also, dass eine Wortleitung (zwischen 1 und 8) eines Segments (zwischen 1 und 4) aufgefrischt wird, wenn das Bit "6" des Zählers 45 auf 0 ist. Sobald aber das Bit "6" des Zählers auf 1 inkrementiert wird, hängt das Ergebnis des ersten UND-Gatters 48a von der Ausgabe des Dekoders 43 ab. Wenn der Dekoder eine 0 ausgibt (von Schmelzverbindungen, die den Segmenten 1, 3, oder 4 entsprechen), ist das Ergebnis des ersten UND-Gatters 48a jetzt 1, dessen Komplement 0 ist, so dass das zweite UND-Gatter 48b eine 0 ausgibt. Wenn dementsprechend das Bit "6" des Zählers 45 auf 0 ist, wird keine der Wortleitungen der Segmente 1, 3 und 4 aufgefrischt. Da die Schmelzverbindung 41c auf 1 gesetzt ist, gibt der Dekoder 43 nun eine 1 aus, so dass jede der 8 Wortleitungen des Segments 2 aufgefrischt wird.
  • Zusammengefasst führt das Durchbrennen der Schmelzverbindung 41c entsprechend dem Segment 2 dazu, dass jede der Wortleitungen im Segment 2 doppelt so oft aufgefrischt wird wie diejenigen in den verbleibenden Segmenten 1, 3, und 4. Auf diese Weise werden verschiedene Segmente mit unterschiedlichen Raten aufgefrischt. Wenn zum Beispiel der Zähler in 64 ms einen Zyklus von 000000 bis 100000 hat, wird das Segment 2 alle 64 ms aufgefrischt, während die Wortleitungen in den Segmenten 1, 3 und 4 alle 128 ms aufgefrischt werden.
  • 5 ist ein Flussdiagramm, das die von der Auffrischungssteuerung in 4 ausgeführte Logikschaltung für eine beispielhafte Anwendung einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellt. Im Schritt 50 überprüft die Schaltung, ob sie aktiviert ist, um eine Auffrischung durchzuführen. Wenn nicht, wartet die Auffrischungssteuerung in der Standby-Betriebsart, bis sie wieder aktiviert wird. Wie oben erläutert, wird die Selbstauffrischung während eines Lese- oder Schreibvorgangs zum Speicher nicht aktiviert.
  • Wenn ein Auffrischungsvorgang beginnt, wird der Zähler im Schritt 51 inkrementiert. Im Beispiel der 4 liegt ein 6-Bit-Zähler vor. In der Praxis entspricht die Anzahl von Bits für den Zähler (i) der Anzahl von Leitungen für Wortadressen pro Segment, (ii) der Anzahl von Segmenten und (iii) der Anzahl von Schmelzverbindungen pro Segment. So lange in diesem Beispiel das Bit "6" des Zählers eine 0 ist, wie im Schritt 52 bestimmt, wird die entsprechende Wortleitung im Schritt 53 aufgefrischt. Wie oben beschrieben, tritt dies unabhängig davon auf, welches Segment aufgefrischt wird. Wenn aber das Bit "6" des Zählers eine 1 ist, muss als nächstes im Schritt 54 bestimmt werden, ob die Schaltung mit Schmelzverbindungen eine 0 oder eine 1 ist. Wenn der Schaltzustand der Schmelzverbindungen eine 0 ist, wird der Auffrischungsvorgang im Schritt 56 übersprungen, so dass der Auffrischungsvorgang für dieses besondere Segment halb so oft durchgeführt wird. Wenn andererseits der Schaltzustand der Schmelzverbindungen eine 1 ist, sollte die Wortleitung 55 bei jedem Durchgang des Zählers aufgefrischt werden. Beim nächsten Taktsignal im Schritt 57 wird dieser Vorgang wiederholt.
  • Ausführungsform mit programmierbarer Logik
  • Ein Vorteil der über Schmelzverbindungen auswählbaren Ausführungsform ist es, dass der DRAM-Chip je nach dem Ergebnis des Chip-Tests bezüglich Unregelmäßigkeiten bei den Abnahmezeiten für Ladung leicht durch Durchbrennen von Schmelzverbindungen mittles Laser geändert werden kann. Als Alternative können andere Arten von programmierbaren Logikschaltungen verwendet werden. Abhängig von der besonderen Anwendung können andere Arten von programmierbaren Logikschaltungen für eine zusätzliche Flexibilität sorgen, wenn zu bestimmen ist, ob Speicherzellen in einem Segment bei jedem Durchgang, bei jedem zweiten Durchgang, bei jedem dritten Durchgang usw. aufgefrischt werden müssen.
  • 6 stellt die Verwendung einer programmierbaren Logik zur Steuerung der Auffrischung von Speicherzellen in einer Vielzahl von Segmenten gemäß einer allgemeinen Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dar. Wie in 4 ist in diesem Beispiel das Speicherfeld wieder in vier gleiche Segmente aufgeteilt, die je 8 Wortleitungen enthalten. Anstelle der Verwendung eines 6-Bit-Zählers wird ein 5-Bit-Zähler ("54321") verwendet, bei dem die beiden signifikantesten Bits bestimmen, welches Segment aufgefrischt wird (00, 01, 10, 11), und die drei letzten Bits bestimmen, welche Wortleitungen innerhalb eines Segments aufgefrischt werden (000, 001, 010, 011, 100, 101, 110, 111). Die Ausgabe des Zählers 61 wird in den Multiplexer 46 als WL ADDR eingegeben, um anzuzeigen, welche Wortleitung in welchem Segment aufgefrischt werden soll. Für jedes Inkrement des Zählers wird eine Auffrischung durchgeführt, wenn eine 1 auch im Multiplexer 46 von der Logik 60 als WLDRV empfangen wird.
  • Wie in 4 enthält das Segment 2 zwei Speicherzellen, die doppelt so oft aufgefrischt werden müssen wie die Speicherzellen in den Segmenten 1, 3 und 4. Daher ist die Logik 60 so programmiert, dass WLDRV auf 1 gesetzt wird, wann immer die beiden signifikantesten Bits des Zählers 61 01 sind, WLDR aber alternierend auf 0 oder 1 gesetzt wird, wenn die beiden signifikantesten Bits des Zählers 61 00, 10 oder 11 sind (für die Segmente 1, 3 und 4), entsprechend einem Flip-Flop 62 innerhalb der Logik 60. Der Flip-Flop 62 wirkt in der gleichen Weise wie das Bit "6" des Zählers 45 in 4.
  • 7 ist ein Flussdiagramm, das Schritte zum Auffrischen von Segmenten eines Chips unter Verwendung einer allgemein beschriebenen programmierbaren Logik gemäß der schematischen Darstellung der 6 darstellt. Nach der Feststellung, dass die Steuerung aktiviert ist, um im Schritt 70 einen Auffrischungsvorgang durchzuführen, wird im Schritt 71 der Zähler inkrementiert. Wenn der "Flip-Flop" in der Logik 60, der zwischen 0 und 1 wechselt, im Schritt 72 als auf 0 befindlich bestimmt wird, wird die vom Zähler angegebene Wortleitung unabhängig vom angezeigten Segment im Schritt 73 aufgefrischt. Wenn nicht, bestimmt die Logik 60 im Schritt 74, ob eine Auf frischung in den Schritten 75 und 76 durchgeführt wird oder nicht. Nach der Beendigung der Schritte 73, 75 oder 76 startet das Taktsignal im Schritt 77 den Vorgang erneut.
  • Ähnlich wie oben in Bezug auf die über Schmelzverbindungen auswählbare Ausführungsform beschrieben, kann der Flip-Flop 62 in der Logik 60 alternativ eine Vielzahl von Bits umfassen, und die Logik 60 kann programmiert sein, um verschiedene Segmente aufzufrischen, indem nur bei jedem dritten Durchgang, jedem vierten Durchgang usw. des Zählers aufgefrischt wird.
  • Alternative Einstellungen in Segmente
  • Wie nun deutlich geworden ist, gibt es einen Kompromiss zwischen den Vorteilen und der zusätzlichen Komplexität, der mit der Anzahl von Segmenten zusammenhängt, in die der Speicher aufgeteilt ist. In den unter Bezugnahme auf die 4 und 6 gezeigten Beispielen wurde das gesamte Segment 2 doppelt so oft aufgefrischt wie die Speicherzellen in den Segmenten 1, 3 und 4, obwohl nur zwei einzelne Speicherzellen die schnellere Auffrischungsrate benötigten. Während diese Anordnung zu einer beträchtlichen Verbesserung im Vergleich mit üblichen Systemen führt, bei denen alle vier Segmente mit der schnelleren Auffrischungsrate aufgefrischt wurden, bleibt immer noch das Problem, dass viele Speicherzellen im Segment 2 öfter aufgefrischt werden als notwendig.
  • Ein Verfahren, um die Anzahl von Zellen, die öfter als nötig aufgefrischt werden, zu verringern, ist es, das Speicherfeld in eine andere Anzahl von Segmenten aufzuteilen. 8 stellt ein Speicherfeld dar, das in acht (8) Segmente anstelle von vier (4) Segmenten aufgeteilt ist, wie in den 4 und 6. Wie man sieht, führt eine solche Segmentierung zu einer deutlichen Verbesserung in Bezug auf das "frühere" Segment 2, das nun in Segmente C und D aufgeteilt ist. Bei einer Aufteilung in vier Segmente wäre das Segment D früher zusammen mit dem Rest des Segments 2 ganz mit einer höheren Auffrischungsrate aufgefrischt worden. Eine solche Segmentierung führt aber zu keiner Verbesserung im Vergleich mit dem "früheren" Segment 4, da die Segmente G und H beide nach wie vor noch höhere Auffrischungsraten erfordern. Somit hängen die durch eine stärkere Segmentierung möglichen Vorteile zum Teil von der zufälligen Beschaffenheit der Variation der Abnahmeraten für die Speicherzellen ab. Mit einer stärkeren Segmentierung ist aber eine zusätzliche Logik (und sind zusätzliche Schmelzverbindungen) erforderlich, wodurch die Komplexität und die Chipfläche vergrößert werden können.
  • Wie man in jedem der Beispiele der 4, 6 und 8 sehen kann, ist es üblich, dass Abweichungen der Abnahmerate für die Speicherung in bestimmten Bereichen oder Regionen auf dem DRAM-Chip konzentriert sind. Eine Veränderung in der Herstellung oder eine Unvollkommenheit im Siliziumdioxid (oder anderen Materialien) kann in einem Bereich des Chips auftreten, der mehrere nahe beieinander liegende Speicherzellen beeinflusst. Das ist einer der Gründe, weshalb eine Unterteilung des Speichers in Segmente hilfreich sein kann (wenn die Veränderungen in den Speicherzellen über den gesamten Chip zufällig sind, werden immer noch alle Segmente mit der gleichen Rate aufgefrischt).
  • Als eine Alternative zum Aufteilen des Speicherfeldes in gleiche Segmente kann es auch möglich sein, eine Reihe von Speicherzellen, deren Auffrischungsraten sich vom Rest des Chips unterscheiden, näher zu identifizieren. Das Speicher feld wird dann in zwei Segmente unterteilt: (i) die Wortleitungen, die innerhalb des identifizierten Bereichs liegen, und (ii), alle übrigen Wortleitungen, die außerhalb dieses Bereichs liegen. Zum Beispiel wird angenommen, dass einige Speicherzellen zwischen den Wortleitungen 0100110 und 0101101 doppelt so oft aufgefrischt werden müssen wie andere Speicherzellen im Speicherfeld. Es ist möglich, eine Selbstauffrischung mit einer ersten Auffrischungsrate für die Wortleitungen durchzuführen, die innerhalb eines identifizierten Bereichs liegen, und eine Selbstauffrischung mit einer zweiten Auffrischungsrate für den Rest des Speicherfeldes durchzuführen. Die beiden Auffrischungsraten können Vielfache voneinander sein (d.h., wo die zweite Auffrischungsrate die Hälfte der ersten Auffrischungsrate ist), unter der Verwendung einer Logik ähnlich derjenigen, die in den 4 und 6 gezeigt ist.
  • Ein Verfahren für die Auffrischungssteuerung, den "identifizierten Bereich" zu segmentieren, ist die Verwendung von zwei Sätzen von Schmelzverbindungen, wobei einzelne Schmelzverbindungen aus einem Satz von Schmelzverbindungen verwendet werden können, um eine Wortleitung am Anfang des identifizierten Bereichs zu identifizieren (durch Durchbrennen von Schmelzverbindungen mittels Laser, um eine 0 oder eine 1 anzuzeigen), und Schmelzverbindungen in einem zweiten Satz von Schmelzverbindungen verwendet werden können, um eine Ulortleitung am Ende des identifizierten Bereichs zu identifizieren. Wenn festgestellt wird, dass der Zähler sich außerhalb des Bereichs dieser beiden Wortleitungen befindet, kann ein Flip-Flop-Schalter verwendet werden, um Speicherzellen bei jedem zweiten Durchgang des Zählers aufzufrischen.
  • Die obige Darstellung von Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung erfolgte zum Zweck der Darstellung und Beschreibung. Sie ist nicht als erschöpfend oder die Erfindung auf die dargelegten präzisen Formen einschränkend zu verstehen. Für den Fachmann sind viele Variationen und Veränderungen der beschriebenen Ausführungsformen im Lichte der obigen Offenbarung denkbar. Der Umfang der Erfindung wird nur durch die nachfolgenden Ansprüche und ihre Äquivalente definiert.
  • Bei der Beschreibung repräsentativer Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung kann außerdem die Beschreibung das Verfahren und/oder den Prozess der vorliegenden Erfindung als eine bestimmte Schrittfolge präsentiert haben. In dem Maße, in dem das Verfahren oder der Prozess nicht auf der hier beschriebenen bestimmten Reihenfolge von Schritten beruht, sollen das Verfahren oder der Prozess auch nicht auf die beschriebene Schrittfolge beschränkt sein. Wie es einem Durchschnittsfachmann klar ist, können andere Schrittfolgen möglich sein. Daher sollte die in der Beschreibung angegebene, bestimmte Schrittfolge nicht als Einschränkung der Ansprüche verstanden werden. Zusätzlich sind die das Verfahren und/oder den Prozess der vorliegenden Erfindung betreffenden Ansprüche nicht auf die Durchführung der Schritte in der dargestellten Reihenfolge beschränkt, und ein Fachmann kann ohne Weiteres verstehen, dass die Reihenfolgen verändert werden und immer noch im Bereich der vorliegenden Erfindung liegen können.

Claims (20)

  1. Verfahren zur Reduzierung der Auffrischungsfrequenz für eine Vielzahl von Speicherzellen in einem DRAM, das aufweist: Aufteilen eines eine Vielzahl von Speicherzellen umfassendes Speicherfeldes in eine Vielzahl von Segmenten; Identifizieren derjenigen Speicherzellen im Speicherfeld, die eine schnellere Auffrischungsrate erfordern als die Auffrischungsrate, die für die restlichen Speicherzellen im Speicherfeld erforderlich ist; Identifizieren eines Segments, das den identifizierten Speicherzellen entspricht; und wenn ein Auffrischungsvorgang aktiviert wird, Auffrischen von Speicherzellen in einem identifizierten Segment mit einer anderen Auffrischungsrate als der Auffrischungsrate, die für die Speicherzellen in den anderen Segmenten des Speicherfeldes verwendet wird.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, wobei die zum Auffrischen von Speicherzellen in einem identifizierten Segment verwendete Auffrischungsrate schneller ist als die Auffrischungsrate, die zum Auffrischen der Speicherzellen in allen anderen Segmenten verwendet wird.
  3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, wobei die Speicherzellen in einem identifizierten Segment mit einer ersten Auffrischungsrate aufgefrischt werden, andere Speicherzellen in anderen Segmenten des Speicherfeldes mit einer zweiten Auffrischungsrate aufgefrischt werden, und die erste und die zweite Auffrischungsrate Vielfache voneinander sind.
  4. Verfahren nach Anspruch 3, wobei die erste Auffrischungsrate doppelt so schnell ist wie die zweite Auffrischungsrate.
  5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei ein Zähler, der Bits zum Adressieren von Wortleitungen im Speicherfeld hat, fortlaufend während eines Auffrischungsvorgangs inkrementiert wird, um Wortleitungen individuell aufzufrischen, und Speicherzellen in Wortleitungen, die mit der ersten Auffrischungsrate aufgefrischt werden sollen, bei jedem Durchgang des Zählers aufgefrischt werden, und Speicherzellen in Wortleitungen, die mit der zweiten Auffrischungsrate aufgefrischt werden sollen, periodisch bei jedem zweiten Durchgang des Zählers aufgefrischt werden.
  6. Verfahren nach Anspruch 5, wobei Speicherzellen in Wortleitungen, die mit der zweiten Auffrischungsrate aufgefrischt werden sollen, bei jedem dritten Durchgang des Zählers aufgefrischt werden.
  7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei eine Identifikation von Segmenten, die den identifizierten Speicherzellen entsprechen, unter Verwendung von Schmelzverbindungen gespeichert wird.
  8. Verfahren zum Selbstauffrischen verschiedener Segmente eines DRAMs mit verschiedenen Auffrischungsraten, bei dem jedes Segment eine Vielzahl von Wortleitungen und Speicherzellen enthält, das umfasst: Inkrementieren eines Multibit-Zählers, wobei eine Vielzahl von Bits einer Wortleitungsadresse im DRAM entsprechen, Bestimmen der Rate, mit der das Segment, das der vom Zähler angegebenen Wortleitungsadresse zugeordnet ist, aufgefrischt werden soll, wobei (i) Segmente mit einer hohen Auffrischungsrate bei jedem Zyklus des Zählers aufgefrischt werden, und (ii) Segmente mit einer niedrigen Auffrischungsrate in intermittierenden Zyklen des Zählers aufgefrischt werden, und Durchführen einer Auffrischung von Speicherzellen in der Wortleitung abhängig vom Zyklus des Zählers und der dem zugeordneten Segment entsprechenden Auffrischungsrate.
  9. Verfahren nach Anspruch 8, wobei der Multibit-Zähler einen Flip-Flop inkrementiert, um einen Zyklus des Zählers zu identifizieren, wobei das Verfahren weiter umfasst: das Auffrischen von Speicherzellen in der Wortleitung unabhängig von der dem zugeordneten Segment entsprechenden Auffrischungsrate, wenn der Flip-Flop einen ersten Zählerzyklus anzeigt, und das Auffrischen der Wortleitung in Abhängigkeit vom Zyklus des Zählers und der dem zugeordneten Segment entsprechenden Auffrischungsrate, wenn der Flip-Flop einen anderen Zyklus des Zählers anzeigt.
  10. Verfahren nach Anspruch 9, wobei der Flip-Flop zwischen dem Identifizieren erster und zweiter Zyklen des Zählers abwechselt.
  11. Verfahren nach einem der Ansprüche 8 bis 10, wobei der Schritt der Bestimmung der Rate, mit der das Segment, das der vom Zähler angezeigten Wortleitungsadresse zugeordnet ist, vom Zähler aufgefrischt werden soll, unter Verwendung einer programmierbaren Logik im DRAM durchgeführt wird.
  12. Verfahren nach einem der Ansprüche 8 bis 11, wobei die Rate, mit der das Segment, das der vom Zähler angezeigten Wortleitung zugeordnet ist, aufgefrischt werden soll, während eines anfänglichen Tests bestimmt wird, indem festgestellt wird, ob irgendwelche Speicherzellen im Segment eine Auffrischungsrate erfordern, die wesentlich schneller ist als die für die restlichen Speicherzellen im Speicherfeld erforderliche Auffrischungsrate.
  13. Verfahren nach einem der Ansprüche 8 bis 12, wobei jedes Segment einer Schmelzverbindung zugeordnet wird, die im DRAM angeordnet ist, und der Zustand jeder Schmelzverbindung die Auffrischungsrate des entsprechenden Segments angibt.
  14. Auffrischungssteuerungseinheit zur Erzeugung von Selbstauffrischungen in einem DRAM, der in eine Anzahl von Segmenten aufgeteilt ist, mit: einem Multibit-Zähler, der eine Vielzahl von Bits enthält, die Wortleitungsadressen in jedem Segment des DRAMs entsprechen, zur inkrementellen Erzeugung von Wortleitungsadressen; und einer Logik zur Bestimmung, ob die Wortleitung an der vom Zähler angegebenen Adresse während eines Zyklus des Zählers aufgefrischt werden soll, wobei verschiedene Segmente des DRAMs mit verschiedenen Auffrischungsraten aufgefrischt werden.
  15. Auffrischungssteuerung nach Anspruch 14, wobei die Logik zusätzlich für jedes jeweilige Segment des DRAMs eine entsprechende Schmelzverbindung aufweist, und der Zustand jeder Schmelzverbindung die Auffrischungsrate des entsprechenden Segments angibt.
  16. Auffrischungssteuerung nach Anspruch 15, wobei der Zustand der Schmelzverbindung angibt, ob das entsprechende Segment mit einer ersten oder einer zweiten Auffrischungsrate arbeitet.
  17. Auffrischungssteuerung nach Anspruch 16, wobei die erste und die zweite Auffrischungsrate Vielfache voneinander sind.
  18. Auffrischungssteuerung nach einem der Ansprüche 14 bis 17, die weiter einen Registersatz aufweist, der einen Satz von Registern enthält, die je mit einer Schmelzverbindung verbunden sind, um die jedem Segment des DRAMs zugeordnete Auffrischungsrate zu speichern.
  19. Auffrischungssteuerung nach einem der Ansprüche 14 bis 18, wobei der Multibit-Zähler einen Flip-Flop inkrementiert, um einen Zyklus des Zählers zu identifizieren, und wobei die Logik für jede vom Zähler angezeigte Wortleitungsadresse festlegt, ob die entsprechende Wortleitung in Abhängigkeit von dem im Flip-Flop identifizierten Zyklus und der Auffrischungsrate aufgefrischt wird, die durch den Zustand der dem entsprechenden Segment zugeordneten Schmelzverbindung angezeigt wird.
  20. Auffrischungssteuerung nach Anspruch 19, wobei der Flip-Flop zwischen der Identifizierung erster und zweiter Zyklen des Zählers abwechselt.
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