DE10016628A1 - Verfahren zum Herstellen von kleinen Dünnglasscheiben und größere Dünnglasscheibe als Halbfabrikat für dieses Herstellen - Google Patents

Verfahren zum Herstellen von kleinen Dünnglasscheiben und größere Dünnglasscheibe als Halbfabrikat für dieses Herstellen

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Abstract

Die Herstellung derartiger kleiner Dünnglasscheiben (2) mit vorgegebener geometrischer Struktur erfolgt typischerweise durch Heraustrennen aus einer größeren Dünnglasscheibe (1). Die abgetrennten kleinen Dünnglasscheiben (2) werden dann zusammen mit einem Fügematerial, insbesondere einem Lötrahmen (3) aus Glaslot, mit anderen Komponenten verbunden, beispielsweise zum Zwecke des "Electronic Packaging". DOLLAR A Um das Handling bei der Herstellung und dem Fügen der kleinen Dünnglasscheiben (2) zu verbessern, sieht die Erfindung eine mittels Sieb- oder Schablonendruck und vorzugsweise Laserstrahlbearbeitung entlang von Soll-Trennlinien (5) beidseitig strukturierte größere Dünnglasscheibe (2) vor, die durch anschließendes, einfaches, vorzugsweise mechanisches Brechen in kleinere, strukturierte und geometrisch bestimmte Scheiben, die kleinen Dünnglasscheiben (2), vereinzelt werden kann. Auch ist ein Abtrennen durch einen Trennschleifprozeß möglich, wenn sich die größere Dünnglasscheibe (2) auf einem Trägermaterial befindet.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen von kleinen Dünnglasscheiben mit vorgegebener geometrischer Struktur und lateralen Ausdehnungen im Millimeterbereich durch Heraustrennen aus einer größeren Dünnglasscheibe.
Die Erfindung betrifft ferner eine solche größere Dünnglasscheibe mit Abmessungen im Zentimeterbereich als Halbfabrikat für das Herstellen der kleinen Dünnglasscheiben mit lateralen Ausdehnungen im Millimeterbereich.
Kleine Dünnglasscheiben der vorgenannten Art werden auf bestimmten Gebieten der Technik, insbesondere bei der Herstellung von elektronischen Bauelementen, benötigt.
So werden bei der Einhausung von mikro- und optoelektronischen Bauelementen, wie Schwingquarze, SAW-Filter, CCD-Bauelemente, dem sog. "Electronic Packaging", unter anderem kleine Behältnisse verwendet, die an mindestens einer Seite ganz oder teilweise durch eine Dünnglasscheibe abgeschlossen sind. Häufig werden bei der Einhausung von mikro- und optoelektronischen Bauelementen auch Gehäusedeckel aus Dünnglas verwendet. Die Dicke s dieser kleinen Dünnglasscheiben liegt dabei typischerweise im Bereich 10 µm ≦ s ≦ 500 µm. Hierbei kommen Dünnglasscheiben unterschiedlichster Geometrie (rechteckig, kreisrund, etc.) zum Einsatz. Die Kantenlänge bzw. Durchmesser derartiger Scheiben aus Dünnglas betragen typischerweise nur wenige Millimeter.
Kleine Dünnglasscheiben werden auch als Konstruktionsbauteile bei der Herstellung von mikroelektronischen und -mechanischen Bauteilen verwendet. So ist es beispielsweise aus der Patentschrift DE 196 49 332 bekannt, daß ein Schwingquarz direkt zwischen zwei Dünnglasscheiben positioniert und mit diesen verbunden wird. Derartige Verbundkonstruktionen weisen eine geringe Bauhöhe auf und bieten die Möglichkeit auf eine Platine oder Trägerplatte aufgebracht und kontaktiert zu werden.
Bei dieser Verwendung von Dünnglas als Verschlusselement einer Einhausung von mikro- und optoelektronischen Bauteilen sowie als Konstruktionselement von mikroelektronischen oder -mechanischen Bauteilen erfolgt die Verbindungsbildung typischerweise durch eine Klebung oder Lötung. Im Falle der Lötung werden Metall- oder Glaslote als Fügematerial verwendet. In der überwiegenden Anzahl der Anwendungsfälle kommen dabei Glaslote zum Einsatz.
Die Herstellung derartiger, kleiner Dünnglasscheiben erfolgt gemäß dem Stand der Technik typischerweise durch das Heraustrennen aus größeren Dünnglasscheiben. Der Trennvorgang erfolgt dabei durch Trennschleifen oder Bohren mittels rotierenden Diamantwerkzeugen. An die Kantenqualität werden dabei erhöhte Anforderungen gestellt, da diese entscheidenden Einfluß auf die Festigkeit der Dünnglasscheibe hat.
Typischerweise werden die Dünnglasscheiben zunächst auf die zuvor beschriebene Weise zerteilt und dann den nachfolgenden Weiterverarbeitungsschritten (Montage- und Fügeprozeß) zugeführt. Bei der derzeit in vielen Anwendungsfällen bei der Einhausung angewandten Fügetechnik werden die Dünnglasscheiben durch einen Lötprozeß mit dem Gehäuse verbunden. In der Mehrzahl der Anwendungsfälle wird der Lotwerkstoff dabei mittels eines Dispensers auf das Glas aufgebracht. Typischerweise wird der Lotwerkstoff im Randbereich der Dünnglasscheiben aufgebracht und bildet daher in der Regel eine dünne, geschlossene, rahmenförmige Kontur. Üblicherweise werden dabei Glas- oder Metallote verwendet. Eine andere, in der Praxis teilweise auch angewandte, Möglichkeit den Lotwerkstoff in die Fügezone einzubringen, besteht in der Anwendung vorgesinterter Lotrahmen. Hierzu müssen die Dünnglasscheiben und ein freier, ebenfalls sehr dünner, vorgesinterter Lotrahmen aus Glaslot relativ zueinander und auch relativ zum Gehäuse, mit dem die Dünnglasscheiben verbunden werden sollen, positioniert und teilweise fixiert werden.
Bei dieser Weiterverarbeitung ergeben sich aufgrund der geringen lateralen Ausdehnung, Dicke und Masse der Dünnglasscheiben, sowie der verwendeten Lotrahmen Probleme bei der Handhabung und Positionierung. Diese Handhabungsproblematik tritt insbesondere bei der Verwendung von dünnen, freien Lotrahmen in verstärktem Maße auf. Einerseits sind die Dünnglasscheiben vergleichsweise bruchanfällig und andererseits ist das Verhältnis von Schwerkraft zu den bei der Handhabung auftretenden Adhäsionskräften gering. Speziell die definierte Aufnahme der einzelnen Dünnglasscheiben und der Lotrahmen ist schwierig, so daß in der überwiegenden Anzahl der Anwendungsfälle nur eine manuelle Handhabung der einzelnen Bauteile möglich ist. Diese manuelle Handhabung ist zeit-, personal- und daher kostenintensiv. Darüber hinaus treten bei einer derartigen Handhabung und beim Transport der einzelnen Dünnglasscheiben ein erhöhter Ausschuß aufgrund von Bruch und Verschmutzung ein.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, das eingangs bezeichnete Verfahren zum Herstellen von kleinen Dünnglasscheiben mit vorgegebener geometrischer Struktur und lateralen Ausdehnungen im Millimeterbereich durch Heraustrennen aus einer größeren Dünnglasscheibe so zu führen sowie eine solche größere Dünnglasscheibe als Halbfabrikat für das Herstellen der kleinen Dünnglasscheiben so auszubilden, daß der Transport der kleinen Scheiben vereinfacht wird, eine rationellere Fertigungsfolge der einzelnen kleinen Scheiben gegeben ist und daß die Handhabung, insbesondere die Positionierung der einzelnen Dünnglasscheiben unmittelbar vor dem Fügeprozeß vereinfacht wird und besser automatisierbar ist.
Hinsichtlich des Verfahrens gelingt die Lösung der Aufgabe gemäß der Erfindung mit den Schritten:
  • - Bedrucken der größeren Dünnglasscheibe auf der einen Seite mit einem Fügematerial entsprechend der Fügezonengeometrie der herauszutrennenden kleinen Dünnglasscheiben unter Vorgabe von Solltrennlinien und
  • - Vereinzeln der kleinen Dünnglasscheiben mit dem aufgedruckten Fügematerial durch anschließendes Trennen entlang der Soll- Trennlinien.
Vorzugsweise erfolgt dabei gemäß einer Weiterbildung der Erfindung vor dem Vereinzeln ein Ritzen der größeren Dünnglasscheibe entlang der Soll- Trennlinien mittels eines Laserstrahles in einer vorgegebenen Tiefe.
Hinsichtlich der größeren Dünnglasscheibe mit lateralen Abmessungen im Zentimeterbereich als Halbfabrikat zum Herstellen von kleinen Dünnglasscheiben mit vorgegebener geometrischer Struktur und lateralen Abmessungen im Millimeterbereich gelingt die Lösung der Aufgabe erfindungsgemäß dadurch, daß die größere Dünnglasscheibe auf der einen Seite mit einem Fügematerial entsprechend der Fügezonengeometrie der herauszutrennenden kleinen Dünnglasscheiben unter Vorgabe von Soll- Trennlinien versehen und vorzugsweise entlang den Soll-Trennlinien bis in eine vorgegebene Tiefe geritzt ist.
Das Wesen der Erfindung besteht daher in der Herstellung einer größeren, entsprechend der Geometrie der kleinen Dünnglasscheiben strukturierten Dünnglassubstratscheibe, die erst unmittelbar vor dem Fügeprozeß in einzelne kleine Dünnglasscheiben vereinzelt wird. Eine derartige, zunächst noch zusammenhängende größere Dünnglasscheibe kann sich dadurch auszeichnen, daß der Fügezusatzwerkstoff bereits auf die Glassubstratoberseite aufgebracht und fest mit dem Glassubstrat verbunden ist. Weiterhin ist eine derartige, große Dünnglasscheibe entsprechend der Geometrie der kleineren Dünnglasscheiben vorzugsweise mit einer Rißstruktur an der Unterseite versehen, die es erlaubt, die Dünnglasscheibe durch einfaches mechanisches Brechen unmittelbar vor dem Fügeprozeß in geometrisch definierte Einzelscheiben mit hoher Kantenqualität zu vereinzeln. Ebenso kann das Vereinzeln durch thermisch induzierte, lokal wirkende mechnische Spannungen, beispielsweise durch partielle Laserbestrahlung, erfolgen.
Die Vorteile der Erfindung liegen in einem vereinfachten Transport der Scheiben und insbesondere in einer rationelleren Fertigungsfolge der einzelnen kleinen Dünnglasscheiben sowie der Möglichkeit, die Handhabung bzw. Positionierung der kleinen Dünnglasscheiben unmittelbar vor dem Fügeprozeß zu vereinfachen und besser automatisieren zu können.
Eine andere Möglichkeit zur Verbesserung des Herstell- bzw. Verschlußprozesses von elektronischen Bauteilen mit dünnen Glasscheiben besteht darin, zunächst die gesamte(n) strukturierte Dünnglasscheibe(n) mit der entsprechenden Zahl zugehöriger Gehäusebauteile zu Fügen (Verlöten) und erst nach diesem Fügeprozeß durch mechanisches Brechen zu vereinzeln. Ebenso könnte das Vereinzeln (Brechen) nicht rein mechanisch, sondern auch hier durch thermisch induzierte, lokal wirkende, mechanische Spannungen, beispielsweise durch partielle Laserbestrahlung, erfolgen.
Das Fügen der einzelnen kleinen Dünnglasscheiben an andere Komponenten, insbesondere mit dem Rand flächiger Komponenten, wird mit Vorteil erleichtert, wenn eine rahmenartige Struktur des Fügematerials aufgedruckt Soll Trennlinien auf den herauszutrennenden kleinen Dünnglasscheiben verläuft.
Das Bedrucken der größeren Dünnglasscheibe mit dem Fügematerial erfolgt mit Vorteil mittels Siebdruck, der eine wirtschaftliche und wirksame Herstellung der entsprechenden geometrischen Struktur gewährleistet. Auch andere Drucktechniken sind prinzipiell anwendbar, beispielsweise der Schablonendruck.
Als Fügematerial wird vorzugsweise Glaslot verwendet, das gut mittels der üblichen Drucktechniken, insbesondere dem Siebdruck, verarbeitbar ist, und das gut auf den Dünnglasscheiben haftet.
Als Glasmaterial für die Dünnglasscheiben eignet sich im besonderen Masse gezogenes Borosilikatglas, das die notwendigen mechanischen und chemischen Eigenschaften bei der Anwendung der kleinen Dünnglasscheiben besitzt.
Besondere Handhabungs-Vorteile bei der Herstellung der einzelnen kleinen Dünnglasscheiben werden erzielt, wenn gemäß einer Weiterbildung der Erfindung die bedruckte und geritzte größere Dünnglasscheibe auf ein Trägermaterial, vorzugsweise eine Kunststoff-Trägerfolie aufgebracht wird, die vorzugsweise mechanisch verspannt wird. Dadurch ist auch eine Weiterbildung der Erfindung möglich, bei der die bedruckte, größere Dünnglasscheibe ungeritzt auf das Trägermaterial aufgebracht wird und mittels eines Trennschleif-Prozesses in die kleinen Dünnglasscheiben zerteilt wird.
Weitere Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich anhand der Beschreibung von zwei in den Zeichnungen dargestellten Ausführungsbeispielen.
Es zeigen:
Fig. 1 in einer Draufsicht-Darstellung ein erstes Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäß strukturierten und geritzten größeren Dünnglasscheibe, die als Halbfabrikat für die Herstellung von kleineren, rechteckigen Dünnglasscheiben dient,
Fig. 2 eine Querschnittsdarstellung entlang der Schnittlinie A-A in Fig. 1, und
Fig. 3 eine Draufsichtdarstellung einer weiteren Ausführungsform der erfindungsgemäß ausgebildeten Halbfabrikat-Dünnglasscheibe mit Sechseckstruturen.
Die Fig. 1 in Verbindung mit der Querschnittsdarstellung nach Fig. 2 zeigt eine erfindungsgemäß strukturierte größere Dünnglasscheibe 1 am Beispiel einer Rechteckgeometrie. Diese Dünnglasscheibe 1 besitzt die Kantenlängen B und L, die im Bereich mehrerer Zentimetern liegen.
Die vorgenannte größere Dünnglasscheibe 1 ist entsprechend der Geometrie der abzutrennenden, d. h. zu vereinzelnden kleineren Dünnglasscheiben 2, von denen eine als Ausschnitt im abgetrennten Zustand herausgezogen ist, in kleinere, ebenfalls rechteckige Segmente mit den Kantenlängen b und 1 unterteilt. Diese Kantenlängen der kleineren Dünnglasscheiben 2 liegen im Bereich von wenigen Millimeter. Jedes, die jeweilige spätere kleine Dünnglasscheibe 2 bildende Segment besitzt einen im Randbereich aufgebrachten Lotrahmen 3 aus Glaslot, der entsprechend der späteren Fügezonengeometrie, in diesem Beispiel ebenfalls rechteckig, ausgebildet ist.
Die sich dadurch auf der Oberseite der Dünnglasscheibe 1 bildenden Lotrahmenstrukturen 3 aus Glaslot werden mittels Sieb- oder Schablonendruck in einem oder mehreren Arbeitsgängen aufgebracht. Die typische Lotrahmenbreite "d" (Fig. 2) liegt im Bereich 300 µm ≦ d ≦ 900 µm. Die Dicke "h" der aufgedruckten Lotrahmenstrukturen 3 liegt typischerweise im Bereich 1 µm ≦ h ≦ 200 µm. Der Abstand "c" der Lotrahmen 3 untereinander liegt typischerweise im Bereich 0 µm ≦ c ≦ 500 µm.
Die große Dünnglasscheibe 1 verfügt dabei über einen nicht mit Lotmaterial beschichteten umlaufenden Rand 4. Die Randbreiten (rBrL) liegen typischerweise im Bereich von mehreren Millimetern.
Die Unterteilung der Dünnglasscheibe 1 in die kleineren Segmente, d. h. die kleineren Dünnglasscheiben 2, erfolgt anhand einer rückseitig eingebrachten Rißstruktur 5, die gestrichelt dargestellt ist. Die Risse gehen von der Oberfläche der Unterseite der größeren Dünnglasscheibe 1 aus und haben eine Tiefe t, die kleiner als die Dicke s des Glassubstrates ist (Fig. 2).
Die rückseitig eingebrachten, in ihrem Verlauf und Tiefe definierten Risse 5 werden vorzugsweise durch thermisch induzierte Spannungen aufgrund von Laserbestrahlung eingebracht. Diese Risse verlaufen vorzugsweise geradlinig über die gesamte größere Dünnglasscheibe 1.
Derartige Laserstrahl-Ritzverfahren, die durch eine lokale Erwärmung durch den fokussierten Laserstrahl in Verbindung mit einer Kühlung von außen, eine thermomechanische Spannung bis über die Bruchfestigkeit des Werkstoffes in einer vorbestimmten Tiefe induzieren, sind durch mehrere Schriften bekannt geworden, beispielsweise durch die EP 0 872 303 A2, die DE 693 04 194 T2 und die DE 43 05 107 C2.
Die vorgenannten Laserstrahl-Ritzverfahren unterscheiden sich insbesondere durch die Konfiguration des Brennfleckes. So nutzt das Verfahren nach der DE 693 04 194 T2 einen Laserstrahl mit elliptischem Querschnitt mit nachlaufendem Kühlspot.
Die EP 0 872 303 A2 beschreibt ein Laserstrahl-Ritzverfahren, das einen Brennfleck mit einer U- bzw. V förmigen Kontur vorsieht, die sich in der Trennrichtung öffnet. Auch davon abgewandelte Konturen, wie X-förmige Brennflecke, werden beschrieben.
Durch die DE 43 05 107 C2 ist ein Laserstrahl-Ritzverfahren bekannt geworden, bei dem der Laserstrahl so geformt ist, daß sein Strahlquerschnitt auf der Oberfläche des Werkstückes eine linienförmige Form aufweist, bei dem das Verhältnis von Länge und Breite des auftreffenden Strahlquerschnittes einstellbar ist.
Durch die ältere Patentanmeldung 198 30 237.1-45 gehört es auch zum Stand der Technik, einen punktförmigen Brennfleck mit einer dazu konzentrischen Kühlzone zu erzeugen.
Durch die ältere Patentanmeldung 199 59 921.1 gehören auch spezielle linienförmige Schneidflecke mit Intensitätsmaxima an ihren Enden zum Stand der Technik.
Sämtliche dieser Brennflecke können im Rahmen der Erfindung zum Ritzen der größeren Dünnglasscheibe 1 angewendet werden.
Aufgrund der verfahrensspezifischen Vorteile beim Laserstrahlritzen treten nach dem Auseinanderbrechen der größeren Dünnglasscheibe 1 keine unzulässig hohen Kantenschädigungen an den kleinen Dünnglasscheiben 2 auf, so daß eine abtragende Nachbearbeitung der Kanten nicht erforderlich ist.
Als Glaswerkstoff für die Dünnglasscheibe 1 finden neben anderen Glaswerkstoffen, vorzugsweise gezogenes Borosilikatglas der Fa. SCHOTT DESAG vom Typ D263 oder AF45 im Dickenbereich 100 µm ≦ s ≦ 500 µm Verwendung.
Eine auf vorstehend beschriebene Weise strukturierte Dünnglasscheibe 1 kann vergleichsweise einfach gehandhabt und durch einfaches mechanisches Brechen zu kleinen Einzelscheiben 2 vereinzelt werden.
Neben der in Fig. 1 gezeigten rechteckigen Struktur der kleinen Dünnglasscheiben 2 können auch eine Polygonstruktur gemäß Fig. 3 bzw. abgerundete Strukturen (beispielsweise Kreiskontur) zur Anwendung kommen. In diesen Fällen liegen die Kantenlänge k bzw. die Durchmesser der kleinen Dünnglasscheiben ebenfalls im Bereich weniger Millimeter. Im Falle runder Strukturen ist der Rißverlauf 5 nicht geradlinig, sondern der Konturgeometrie der Strukturen angepaßt. Auch die Form der größeren Dünnglasscheibe 1 muß nicht zwingend rechteckig sein. Es können ebenfalls mehreckige oder runde bzw. teilweise runde Scheiben (Wafer) Verwendung finden.
Ebenfalls ist es möglich, die bedruckte und geritzte größere Dünnglasscheibe 1 auf eine Kunststoff-Trägerfolie oder ein anderes Trägermaterial aufzubringen. Durch ein Spannen (Dehnen) der Trägerfolie über einen dafür geeigneten Rahmen können Zugkräfte in die Trägerfolie und damit auch in die größere Dünnglasscheibe 1 eingeleitet werden, die zu einem Auseinanderbrechen entlang der Rißverläufe 5 und somit zum Vereinzeln der größeren Dünnglasscheibe 1 führt. Die dabei entstehenden kleinen Dünnglasscheiben haften auf der Trägerfolie, haben eine definierte Position und können daher automatisiert abgegriffen und abgelegt werden.
Wird eine Kunststoffolie oder ein anderes Trägermaterial zur Halterung/Fixierung benutzt, so besteht auch die Möglichkeit, die Dünnglasscheibe nicht mittels Laserstrahlbearbeitung zu ritzen und anschließend durch mechanische Kraftleitung zu zerteilen, sondern das Zerteilen unmittelbar mittels Trennschleifen entlang der dafür vorgesehenen Trennlinien durchzuführen. Der Abstand der Lotrahmen c auf der Substratglasscheibe liegt dann im Bereich der Dicke des Trennwerkzeugs bzw. der erzeugten Schnittfugenbreite. Die typische Schnittfugenbreite beträgt mehrere 0,1 mm.

Claims (14)

1. Verfahren zum Herstellen von kleinen Dünnglasscheiben mit vorgegebener geometrischer Struktur und lateralen Ausdehnungen im Millimeterbereich durch Heraustrennen aus einer größeren Dünnglasscheibe, mit den Schritten:
  • - Bedrucken der größeren Dünnglasscheibe auf der einen Seite mit einem Fügematerial entsprechend der Fügezonengeometrie der herauszutrennenden kleinen Dünnglasscheiben, unter Vorgabe von Soll-Trennlinien, und
  • - Vereinzeln der kleinen Dünnglasscheiben mit dem aufgedruckten Fügematerial durch anschließendes Trennen entlang den Soll- Trennlinien.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß vor dem Vereinzeln ein Ritzen der größeren Dünnglasscheibe entlang der Soll- Trennlinien mittels eines Laserstrahles in einer vorgegebenen Tiefe erfolgt.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Vereinzeln der kleinen Dünnglasscheiben durch mechanisches Abbrechen erfolgt.
4. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Vereinzeln der kleinen Dünnglasscheiben durch thermisch induzierte, lokal wirkende, mechanische Spannungen, beispielsweise durch partielle Laserbestrahlung, erfolgt.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß eine rahmenartige Struktur des Fügematerials aufgedruckt wird, die eine vorgegebene Rahmenbreit besitzt und peripher entland den Soll- Trennlinien auf den herauszutrennenden kleinen Dünnglasscheiben verläuft.
6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß das Aufdrucken mittels Siebdruck oder Schablonendruck erfolgt.
7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß als Fügematerial Glaslot verwendet wird.
8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß als Glasmaterial für die größere Dünnglasscheibe gezogenes Borosilikatglas verwendet wird.
9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die bedruckte größere Dünnglasscheibe auf ein Trägermaterial, vorzugsweise eine Kunststoff-Trägerfolie, aufgebracht wird, die vorzugsweise mechanisch verspannt wird.
10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die bedruckte, größere Dünnglasscheibe ungeritzt auf das Trägermaterial aufgebracht wird und mittels eines Trennschleif-Prozesses in die kleinen Dünnglasscheiben zerteilt wird.
11. Größere Dünnglasscheibe mit lateralen Abmessungen im Zentimeterbereich als Halbfabrikat zum Herstellen von kleinen Dünnglasscheiben mit vorgegebener geometrischer Struktur und lateralen Ausdehnungen im Millimeterbereich, dadurch gekennzeichnet, daß die größere Dünnglasscheibe (1) auf der einen Seite mit einem Fügematerial entsprechend der Fügezonengeometrie der herauszutrennenden kleinen Dünnglasscheiben (2) unter Vorgabe von Soll-Trennlinien versehen und vorzugsweise entlang den Soll- Trennlinien (5) bis in eine vorgegebene Tiefe geritzt ist.
12. Größere Dünnglasscheibe nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß sie auf einem vorzugsweise unter mechanischer Spannung stehenden Trägermaterial, vorzugsweise einer Kunststoffträgerfolie, aufgebracht ist.
13. Größere Dünnglasscheibe nach Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Fügezonengeometrie als Rahmen (3) ausgebildet ist und peripher entlang den Soll-Trennlinien (5) auf den herauszutrennenden kleinen Dünnglasscheiben (2) verläuft.
14. Größere Dünnglasscheibe nach Anspruch 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet, daß sie nicht geritzt ist.
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JP2001572424A JP4880852B2 (ja) 2000-04-04 2001-03-24 小板ガラス板の製造方法及び小板ガラス板を製造するための半仕上げ製品としての大板ガラス板
DE50100387T DE50100387D1 (de) 2000-04-04 2001-03-24 Verfahren zum herstellen von kleinen dünnglasscheiben und grössere dünnglasscheibe als halbfabrikat für dieses herstellen
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KR1020027013124A KR100549982B1 (ko) 2000-04-04 2001-03-24 소형 박판유리의 제조를 위한 반제품으로서 비교적 넓은박판유리 및 상기 소형 박판유리들의 제조방법
AT01927799T ATE245128T1 (de) 2000-04-04 2001-03-24 Verfahren zum herstellen von kleinen dünnglasscheiben und grössere dünnglasscheibe als halbfabrikat für dieses herstellen
US10/240,354 US7371431B2 (en) 2000-04-04 2001-03-24 Method for producing small, sheet glass plates and larger sheet glass plates as semifinished products for producing the former
CNB01807510XA CN1250469C (zh) 2000-04-04 2001-03-24 制造小玻璃薄片的方法及作为制造用半成品的大玻璃薄片
AU2001254735A AU2001254735A1 (en) 2000-04-04 2001-03-24 Method for producing small, sheet glass plates and larger sheet glass plates as semi-finished products for producing the former
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Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10129876C1 (de) * 2001-06-21 2003-01-02 Schott Glas Verfahren zur Ritzspurmarkierung laserinduzierter Ritze
DE10257544A1 (de) * 2002-12-10 2004-07-08 Schott Glas Verfahren zum Brechen von lasergeritzten, flachen Werkstücken aus sprödem Material
DE10337920A1 (de) * 2003-08-18 2005-03-17 Schott Ag Verfahren zur Herstellung von Bauteilen
WO2005068382A1 (de) * 2004-01-20 2005-07-28 Unaxis Balzers Ag Verfahren zur herstellung von farbradsegmenten
DE102004053598A1 (de) * 2004-11-05 2006-05-11 Hegla Fahrzeug- Und Maschinenbau Gmbh & Co. Kg Verfahren und Vorrichtung zum Aufteilen einer Rohglastafel in Einzelglasscheiben
DE102005024497A1 (de) * 2005-05-27 2006-11-30 Schott Ag Verfahren zum mechanischen Brechen von geritzten flachen Werkstücken aus sprödbrüchigem Material
DE102005062230A1 (de) * 2005-12-21 2007-06-28 Jenoptik Automatisierungstechnik Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Trennen von Scheiben aus sprödem Material, insbesondere von Wafern
DE102005046031B3 (de) * 2005-09-26 2007-07-12 Schott Ag Verfahren zur Separierung von Teilen aus einem Substrat
DE102011084129A1 (de) * 2011-10-07 2013-04-11 Schott Ag Glasfolie mit speziell ausgebildeter Kante
DE102012100881A1 (de) * 2012-02-02 2013-08-08 Scanlab Ag Verfahren zum Bearbeiten eines Werkstücks mittels eines Lasers

Families Citing this family (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6919531B2 (en) 2002-03-25 2005-07-19 Agilent Technologies, Inc. Methods for producing glass substrates for use in biopolymeric microarrays
JP4628667B2 (ja) * 2002-11-15 2011-02-09 日本電気硝子株式会社 固体撮像素子用カバーガラス
TWI314135B (en) 2002-11-15 2009-09-01 Nippon Electric Glass Co Cover glass for solid-state image pickup device
KR100702255B1 (ko) * 2006-09-12 2007-04-03 (주)한국나노글라스 표시창용 박판유리의 연삭장치
KR100855876B1 (ko) * 2007-04-12 2008-09-03 세메스 주식회사 스크라이빙 유닛 및 상기 유닛을 가지는 평판 디스플레이용패널 스크라이빙 장치, 그리고 스크라이빙 방법 및 이를이용한 기판 제조 방법
CN101450839B (zh) * 2007-11-28 2011-03-23 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 滤光片的切割方法
JP2010023071A (ja) * 2008-07-18 2010-02-04 Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd 貼り合わせ基板の端子加工方法
JP5609870B2 (ja) * 2009-07-03 2014-10-22 旭硝子株式会社 脆性材料基板の割断方法及び割断装置並びにその割断方法により得られる車両用窓ガラス
US8932510B2 (en) * 2009-08-28 2015-01-13 Corning Incorporated Methods for laser cutting glass substrates
US8946590B2 (en) * 2009-11-30 2015-02-03 Corning Incorporated Methods for laser scribing and separating glass substrates
JP5669001B2 (ja) * 2010-07-22 2015-02-12 日本電気硝子株式会社 ガラスフィルムの割断方法、ガラスロールの製造方法、及びガラスフィルムの割断装置
US8720228B2 (en) * 2010-08-31 2014-05-13 Corning Incorporated Methods of separating strengthened glass substrates
JP2013055160A (ja) * 2011-09-01 2013-03-21 Canon Inc 光透過性部材、光学装置およびそれらの製造方法
KR101265246B1 (ko) 2011-11-07 2013-05-16 루미너스 옵티컬 테크놀로지 컴퍼니 리미티드 표면에 압축응력층의 도안을 구비한 유리기판
TWI481576B (zh) * 2012-05-02 2015-04-21 Taiwan Mitsuboshi Diamond Ind Co Ltd 切割玻璃之方法及切割設備
US9938180B2 (en) 2012-06-05 2018-04-10 Corning Incorporated Methods of cutting glass using a laser
US9610653B2 (en) 2012-09-21 2017-04-04 Electro Scientific Industries, Inc. Method and apparatus for separation of workpieces and articles produced thereby
US9126857B2 (en) 2012-11-15 2015-09-08 Corning Incorporated Separation apparatuses for separating sheets of brittle material and methods for separating sheets of brittle material
JP6218038B2 (ja) * 2014-05-26 2017-10-25 日本電気硝子株式会社 ガラスフィルムを含む積層体、ガラスフィルムを含む積層体の製造方法、及びガラス物品の製造方法
FR3024137B1 (fr) * 2014-07-24 2016-07-29 Saint Gobain Procede de fabrication de feuilles de verre de forme complexe
CN104310779A (zh) 2014-09-29 2015-01-28 合肥鑫晟光电科技有限公司 一种激光切割基板的方法及激光切割设备
KR20170105615A (ko) 2015-01-29 2017-09-19 코닝 인코포레이티드 유리 웨브로부터 각각의 섹션을 제조하기 위한 방법 및 장치
EP3109208A1 (de) * 2015-06-22 2016-12-28 Flabeg France SAS Verfahren zum vereinzeln eines glassubstrats
CN105645750A (zh) * 2016-01-11 2016-06-08 信利光电股份有限公司 一种蓝玻璃的切割方法、蓝玻璃及其应用
EP3470936B1 (de) * 2017-10-16 2020-06-03 The Swatch Group Research and Development Ltd Verfahren zum schneiden von uhrglas
CN108971772B (zh) * 2018-08-29 2020-08-14 杭州千皓科技有限公司 一种激光光学玻璃切割的裂片工艺

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3739333C2 (de) * 1987-11-20 1995-04-20 Telefunken Microelectron Verfahren zur Herstellung von Klebeverbindungen für Elektronik- und Mikroelektronikanwendungen
DE19649332C1 (de) * 1996-11-28 1998-01-22 Tele Quarz Gmbh Resonator mit Kristall

Family Cites Families (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1885245A (en) * 1929-02-21 1932-11-01 Duplate Corp Apparatus for separating composite glass plates
DE2342022B2 (de) * 1973-08-20 1978-09-14 Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen Flüssigkristallzelle
US4120220A (en) * 1977-01-14 1978-10-17 Mullen Wayne C Glass cutter apparatus
DE2735493C2 (de) * 1977-08-05 1981-10-15 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Verfahren zur Herstellung einer Flüssigkristallzelle und danach hergestellte Flüssigkristallzelle
US4300934A (en) * 1980-05-27 1981-11-17 Ppg Industries, Inc. Method of and apparatus for scoring a coated substrate
US4300933A (en) * 1980-05-27 1981-11-17 Ppg Industries, Inc. Method of manufacturing automotive windows by coating a scored substrate
US4467168A (en) * 1981-04-01 1984-08-21 Creative Glassworks International Method of cutting glass with a laser and an article made therewith
DE3400843A1 (de) * 1983-10-29 1985-07-18 VEGLA Vereinigte Glaswerke GmbH, 5100 Aachen Verfahren zum herstellen von autoglasscheiben mit streifenfoermigen blendschutzfiltern durch bedampfen oder sputtern, und vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens
DE3339334C1 (de) * 1983-10-29 1985-01-24 VEGLA Vereinigte Glaswerke GmbH, 5100 Aachen Verfahren zum Herstellen von Autoglasscheiben mit streifenförmigen Blendschutzfiltern durch Bedampfen oder Sputtern, und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
JPS627646A (ja) * 1985-07-02 1987-01-14 Toshiba Corp コ−テイングガラスの製造方法
JPS6270241A (ja) * 1985-09-20 1987-03-31 Nikou Kogaku Kk 模様印刷片の加工方法
JP2946931B2 (ja) * 1992-03-06 1999-09-13 日本電気株式会社 高温高湿型原子間力顕微鏡及び化学反応の観察・定量化方法
FR2689119B1 (fr) * 1992-03-26 1997-01-03 Vertal Nord Est Vitres de securite en verre feuillete; leurs procedes de fabrication.
RU2024441C1 (ru) * 1992-04-02 1994-12-15 Владимир Степанович Кондратенко Способ резки неметаллических материалов
DE4305107C2 (de) 1993-02-19 1995-02-23 Fraunhofer Ges Forschung Verfahren und Vorrichtung zum Schneiden eines spröden Körpers mit Laserstrahlung
JP2524477B2 (ja) * 1993-12-20 1996-08-14 インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション 液晶パネル形成用基板及びその製造方法
JPH0823085A (ja) * 1994-07-08 1996-01-23 Matsushita Electron Corp 固体撮像装置
MY120533A (en) * 1997-04-14 2005-11-30 Schott Ag Method and apparatus for cutting through a flat workpiece made of brittle material, especially glass.
US6612910B1 (en) * 1998-03-11 2003-09-02 Hitachi, Ltd. Liquid crystal glass substrate, method of cutting the liquid crystal glass substrate, cutter for the liquid crystal glass substrate and display using the liquid crystal glass substrate
DE19830237C2 (de) 1998-07-07 2001-10-04 Schott Spezialglas Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Schneiden eines Werkstückes aus sprödbrüchigem Werkstoff
DE19959921C1 (de) 1999-12-11 2001-10-18 Schott Spezialglas Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Durchtrennen von flachen Werkstücken aus sprödbrüchigem Material
US6498387B1 (en) * 2000-02-15 2002-12-24 Wen-Ken Yang Wafer level package and the process of the same
DE10224710B4 (de) * 2002-06-04 2005-12-08 Schott Ag Verfahren zur hermetischen Gehäusung von optischen Bauelementen sowie verfahrensgemäß hergestellte optische Bauelemente

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3739333C2 (de) * 1987-11-20 1995-04-20 Telefunken Microelectron Verfahren zur Herstellung von Klebeverbindungen für Elektronik- und Mikroelektronikanwendungen
DE19649332C1 (de) * 1996-11-28 1998-01-22 Tele Quarz Gmbh Resonator mit Kristall

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Derwent-Abstract zu JP 62-070241 A *

Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10129876C1 (de) * 2001-06-21 2003-01-02 Schott Glas Verfahren zur Ritzspurmarkierung laserinduzierter Ritze
DE10257544A1 (de) * 2002-12-10 2004-07-08 Schott Glas Verfahren zum Brechen von lasergeritzten, flachen Werkstücken aus sprödem Material
DE10337920A1 (de) * 2003-08-18 2005-03-17 Schott Ag Verfahren zur Herstellung von Bauteilen
DE10337920B4 (de) * 2003-08-18 2008-08-28 Schott Ag Verfahren zur Herstellung einer Mehrzahl von Bauteilen und Zwischenprodukt in Form eines Schichtverbundes
WO2005068382A1 (de) * 2004-01-20 2005-07-28 Unaxis Balzers Ag Verfahren zur herstellung von farbradsegmenten
US7405095B2 (en) 2004-01-20 2008-07-29 Oc Oerlikon Balzers Ag Method for producing color-wheel segments
DE102004053598A1 (de) * 2004-11-05 2006-05-11 Hegla Fahrzeug- Und Maschinenbau Gmbh & Co. Kg Verfahren und Vorrichtung zum Aufteilen einer Rohglastafel in Einzelglasscheiben
DE102005024497B4 (de) * 2005-05-27 2008-06-19 Schott Ag Verfahren zum mechanischen Brechen von geritzten flachen Werkstücken aus sprödbrüchigem Material
DE102005024497A1 (de) * 2005-05-27 2006-11-30 Schott Ag Verfahren zum mechanischen Brechen von geritzten flachen Werkstücken aus sprödbrüchigem Material
US7628303B2 (en) 2005-05-27 2009-12-08 Schott Ag Method of mechanically breaking a scribed workpiece of brittle fracturing material
DE102005046031B3 (de) * 2005-09-26 2007-07-12 Schott Ag Verfahren zur Separierung von Teilen aus einem Substrat
DE102005062230A1 (de) * 2005-12-21 2007-06-28 Jenoptik Automatisierungstechnik Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Trennen von Scheiben aus sprödem Material, insbesondere von Wafern
US7816626B2 (en) 2005-12-21 2010-10-19 Jenoptik Automatisierungstechnik Gmbh Method and apparatus for severing disks of brittle material, in particular wafers
DE102011084129A1 (de) * 2011-10-07 2013-04-11 Schott Ag Glasfolie mit speziell ausgebildeter Kante
WO2013050165A1 (de) 2011-10-07 2013-04-11 Schott Ag Glasfolie mit glatter und mikorrissfreier oberfläche der kante und deren herstellungsverfahren
DE102012100881A1 (de) * 2012-02-02 2013-08-08 Scanlab Ag Verfahren zum Bearbeiten eines Werkstücks mittels eines Lasers

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Publication number Publication date
AU2001254735A1 (en) 2001-10-15
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JP4880852B2 (ja) 2012-02-22
DE50100387D1 (de) 2003-08-21
TWI282780B (en) 2007-06-21
US7371431B2 (en) 2008-05-13
EP1252112B1 (de) 2003-07-16
US20030148057A1 (en) 2003-08-07

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