KR100855876B1

KR100855876B1 - 스크라이빙 유닛 및 상기 유닛을 가지는 평판 디스플레이용패널 스크라이빙 장치, 그리고 스크라이빙 방법 및 이를이용한 기판 제조 방법

Info

Publication number: KR100855876B1
Application number: KR1020070035820A
Authority: KR
Inventors: 김상길
Original assignee: 세메스 주식회사
Priority date: 2007-04-12
Filing date: 2007-04-12
Publication date: 2008-09-03
Also published as: TWI398417B; CN101284709A; CN101284709B; JP2008260679A; TW200916419A

Abstract

본 발명은 복수의 단위기판들이 형성된 평판 디스플레이용 패널로부터 상기 단위기판들을 분리하기 위해 스크라이빙 공정을 수행하는 유닛을 제공한다. 본 발명의 스크라이빙 유닛은 단위기판들의 파단면이 고르도록 하기 위해 공정 진행시 휠에 초음파 진동을 인가하는 초음파 진동자를 구비한다. 이에 따라 패널로부터 분리된 단위기판들을 세정하기 전에 단위기판들의 파단면의 에지를 연마하는 공정을 생략할 수 있다.

패널, 단위기판, 초음파, 연마, 세정, 스크라이빙

Description

스크라이빙 유닛 및 상기 유닛을 가지는 평판 디스플레이용 패널 스크라이빙 장치, 그리고 스크라이빙 방법 및 이를 이용한 기판 제조 방법{A SCRIBING UNIT AND AN APPARATUS SCRIBING A PANEL WITH THE UNIT, AND A SCRIBING METHOD AND A METHOD MANUFACTURING SUBSTRATES}

도 1은 복수의 단위 기판들이 형성된 평판 디스플레이용 패널의 일 예를 개략적으로 보여주는 사시도;

도 2는 본 발명에서 패널을 복수의 단위 기판들로 분리하는 장치를 개략적으로 보여주는 도면;

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 스크라이빙 장치를 개략적으로 보여주는 사시도;

도 4는 도 3에서 스크라이빙 유닛의 사시도;

도 5a와 도 5b는 각각 도 4의 휠의 다양한 예를 보여주는 정면도들;

도 6은 도 3의 스크라이빙 유닛의 부분단면도;

도 7a와 도 7b는 각각 초음파 진동이 인가되지 않은 상태에서 스크라이빙 공정이 수행된 경우 단위 기판의 파단면과 초음파 진동이 인가된 상태에서 스크라이빙 공정이 수행된 경우 단위 기판의 파단면을 비교하여 보여주는 그림들; 그리고

도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 디스플레이를 제조하는 방법을 순 차적으로 보여주는 플로우차트이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

10 : 패널 10a : 단위 기판

100 : 테이블 200 : 제 1 이동 유닛

300 : 제 2 이동 유닛 400 : 스크라이빙 유닛

420 : 스크라이버 440 : 지지체

460 : 진동자 480 : 누름 부재

500 : 회전 유닛

본 발명은 패널 제조에 사용되는 장치 및 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 복수의 단위 기판들이 형성된 패널을 스크라이빙하는 유닛 및 이를 가지는 스크라이빙 장치, 그리고 스크라이빙 방법 및 이를 이용한 기판 제조 방법에 관한 것이다.

최근 들어, 정보 처리 기기는 다양한 형태의 기능과 더욱 빨라진 정보 처리 속도를 갖도록 급속하게 발전하고 있다. 이러한 정보 처리 기기는 가동된 정보를 표시하는 디스플레이(display)를 가진다. 종래에는 디스플레이로서 주로 브라운관(cathode ray tube) 모니터가 사용되었으나, 최근에는 가볍고 공간을 작게 차지 하는 박막 트랜지스터-액정 디스플레이(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display Panel)나 유기 다이오드 디스플레이(Organic Light Emitting Diodes display)와 같은 평판 디스플레이의 사용이 크게 증대하고 있다.

모니터나 텔레비젼에 사용되는 단위 기판들은 보통 하나의 대형 패널에 복수개 제공된다. 따라서 최종적으로 대형 패널로부터 단위 기판들을 분리하는 공정이 요구된다.

대형 패널을 단위 기판들로 분리하는 공정은 다이아몬드 휠을 사용하여 패널에 수직 크랙을 형성하는 스크라이빙 공정과, 브레이크 바(break bar)를 사용하여 크랙이 형성된 부위에 힘을 가함으로써 패널을 복수의 단위 기판들로 분리시키는 브레이킹 공정을 포함한다.

그러나 일반적인 구조의 장치를 사용하여 스크라이빙 공정을 수행하면, 단위 기판들의 파단면의 에지 부분이 거칠다. 따라서 파단면을 고르게 하기 위해 단위 기판들의 파단면의 에지를 연마하는 연마(grinding) 공정이 요구된다. 이로 인해 전체 공정에 소요되는 시간이 증가된다.

본 발명은 하나의 대형 패널을 복수의 단위 기판들로 분리시 공정 효율을 향상시킬 수 있는 스크라이빙 유닛 및 스크라이빙 방법을 제공하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명은 평판 디스플레이용 패널을 복수의 단위들로 분리하는 공정 수행시, 공정 효율을 향상시킬 수 있는 스크라이빙 장치를 제공하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명은 평판 디스플레이 제조 공정에 소요되는 시간을 단축할 수 있는 장치 및 방법을 제공하는 것을 특징으로 한다.

본 발명은 대상물의 절단에 사용되는 스크라이빙 유닛을 제공한다. 상기 스크라이빙 유닛은 대상물에 접촉되어 상기 대상물의 표면에 크랙을 생성하는 스크라이버, 상기 스크라이버를 지지하는 지지체, 그리고 상기 스크라이버에 진동을 제공하는 진동자를 구비한다. 상기 스크라이버로는 휠이 사용될 수 있고, 상기 진동자로는 초음파 진동자가 사용될 수 있다.

또한, 본 발명은 복수의 단위기판들이 형성된 패널로부터 상기 단위기판들을 분리하기 전에 스크라이빙 공정을 수행하는 장치를 제공한다. 상기 장치는 패널이 놓여지는 지지부재, 상기 지지부재에 놓여진 패널을 스크라이빙하는 스크라이빙 유닛, 상기 스크라이빙 유닛 또는 상기 지지부재를 상기 제 1 방향으로 직선이동시키는 제 1 이동 유닛, 그리고 상기 스크라이빙 유닛을 상기 제 1 방향에 수직한 제 2 방향으로 직선이동시키는 제 2 이동 유닛을 포함한다. 상기 스크라이빙 유닛은 패널에 접촉되어 패널에 크랙을 생성하는 스크라이버, 상기 스크라이버를 지지하는 지지체, 그리고 상기 스크라이버에 진동을 제공하는 진동자를 구비한다.

또한, 본 발명은 대상물을 스크라이빙하는 방법을 제공한다. 상기 방법에 의하면, 스크라이버를 대상물에 접촉시키고, 상기 대상물과 상기 스크라이버 간에 상대 이동을 발생시켜 상기 대상물을 스크라이빙하며, 스크라이빙이 이루어지는 동안 상기 스크라이버에 진동을 인가한다.

또한, 본 발명은 기판을 제조하는 방법을 제공한다. 상기 방법에 의하면, 단위 기판들이 형성된 패널을 스크라이버를 사용하여 스크라이빙 공정을 수행하고, 스크라이빙된 상기 패널로부터 복수의 단위 기판들을 분리하는 브레이킹 공정을 수행하고, 상기 단위 기판들을 세정하는 세정 공정을 수행하되, 상기 스크라이빙 공정은 상기 패널을 스크라이빙시 상기 스크라이버에 진동을 인가하여 이루어지고, 상기 브레이크 공정과 상기 세정 공정 사이에 상기 스크라이빙 공정시 발생되는 상기 복수의 단위 기판들의 파단면을 연마하는 공정 없이 상기 세정 공정을 수행한다.

이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면 도 1 내지 도 8을 참조하여 더욱 상세히 설명한다. 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시예들은 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장되었다.

본 실시예에서는 절단을 위한 대상물로서 평판 디스플레이용 패널(10)을 예로 들어 설명한다. 그러나 본 발명의 기술적 사상은 이에 한정되지 않으며, 다른 종류의 대상물에도 적용 가능하다.

도 1은 패널(10)의 일 예를 보여주고, 도 2는 도 1의 패널(10)을 복수의 단 위 기판(10a)들로 분리하는 장치(1)를 개략적으로 보여준다. 패널(10)은 평판 디스플레이용 패널의 일종인 박막 트랜지스터-액정 디스플레이(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display)용 패널이거나 유기 다이오드 디스플레이(Organic Light Emitting Diodes display)용 패널 등일 수 있다. 도 1을 참조하면, 패널(10)은 대체로 직사각의 판 형상을 가지며, 패널(10)에는 복수의 단위 기판(10a)들이 형성된다. 도 2의 장치는 패널(10)을 복수의 단위 기판(10a)들로 분리한다.

도 2를 참조하면, 장치(1)는 로딩부(loading part)(12), 스크라이빙부(scribing part)(14), 브레이킹부(breaking part)(16), 그리고 언로딩부(unloading part)(18)를 가진다. 로딩부(12), 스크라이빙부(14), 브레이킹부(16), 그리고 언로딩부(18)는 일렬로 순차적으로 배치된다. 패널(10)은 로딩부(12)를 통해 장치(1)로 유입된 후 스크라이빙부(14)와 브레이킹부(16)를 순차적으로 거쳐 복수의 단위 기판(10a)들로 분리되고, 이후 언로딩부(18)를 통해 장치(1) 외부로 유출된다. 스크라이빙부(14)는 스크라이버(420)를 사용하여 패널(10)에 수직방향으로 크랙(crack)을 형성하고, 브레이킹부(16)는 브레이크 바(break bar)(도시되지 않음)를 사용하여 패널(10)에서 크랙이 형성된 부위에 힘을 가하여 단위 기판(10a)들을 패널(10)로부터 분리한다.

도 3은 도 2의 스크라이빙부(14)에 제공된 스크라이빙 장치(14a)의 사시도이다. 도 3을 참조하면, 스크라이빙 장치(14a)는 테이블(table)(120), 제 1 이동 유닛(first moving unit)(200), 제 2 이동 유닛(second moving unit)(300), 스크라이빙 유닛(scribing unit)(400), 그리고 회전 유닛(rotating unit)(500)을 가진다. 스크라이빙 공정 진행시 패널(10)은 테이블(100) 상에 놓여진다.

테이블(100)은 평평하며 대체로 직사각의 상부면을 가진다. 테이블(100)의 상부면은 패널(10)과 유사하거나 이보다 큰 면적을 가진다. 테이블(100)의 상면에는 진공라인과 연결되는 복수의 홀들이 형성되어, 패널(10)은 진공압에 의해 테이블(100)에 고정된다. 또한, 테이블(100)에는 부가적으로 패널(10)을 테이블(100)에 고정시키는 클램프(도시되지 않음)가 설치될 수 있다.

스크라이빙 유닛(400)은 테이블(100) 상에 놓여진 패널(10)에 선을 그어 크랙을 형성한다. 도 4는 스크라이빙 유닛(400)의 사시도이다. 스크라이빙 유닛(400)은 스크라이버(scriber)(420), 지지체(supporter)(440), 진동자(vibrator)(도 6의 460), 그리고 누름 부재(pressuring member)(480)를 가진다. 스크라이빙 공정시 스크라이버(420)는 패널(10)과 직접 접촉된다. 스크라이버(420)로는 다이아몬드 재질의 휠(wheel)이 사용된다. 휠(420)의 중앙에는 원형의 통공(424)이 형성되며, 휠(420)의 에지(422)는 날카롭게 제공된다. 도 5a와 같이 휠(420)의 에지(422)는 둥글게 원으로서 제공될 수 있다. 선택적으로 도 5b와 같이 휠(420)의 에지(422)에는 원주를 따라 이들(teeth)(422a)이 형성될 수 있다. 도 5b와 같은 형상의 휠(420)을 사용하는 경우 스크라이빙 공정의 효율이 더욱 우수하였다.

휠(420)은 지지체(440)에 지지된다. 도 6은 휠(420)이 지지체(440)에 장착되는 구조를 보여주는 단면도이다. 도 6을 참조하면, 지지체(440)는 몸체(442)와 축핀(444)을 가진다. 몸체(442)의 하면에는 일방향으로 몸체(442)를 관통하는 홈(442a)이 형성된다. 축핀(444)은 단면이 원형인 긴 로드 형상을 가진다. 축 핀(444)은 홈(442a)의 길이 방향과 수직한 방향으로 홈(442a) 내에 위치된다. 축핀(444)의 양단은 몸체(442)에 고정설치된다. 축핀(444)은 휠(420)에 형성된 통공(424)을 관통한다. 휠(420)이 축핀(444)에 의해 지지될 때, 휠(420)은 일부는 홈(442a) 내에 위치되고, 일부는 지지체(440)의 아래로 돌출된다.

누름 부재(480)는 휠(420)과 패널(10)이 접촉시 휠(420)이 일정 힘으로 패널(10)을 누를 수 있도록 휠(420)을 가압한다. 일 예에 의하면, 누름 부재(480)는 지지체(440)의 상부에 위치되어 공압을 이용하여 지지체(440)를 아래 방향으로 누름으로써 휠(420)을 가압한다. 누름 부재(480)는 휠(420)의 몸체(442)와 결합되어 공압에 의해 상하로 이동되는 로드(도시되지 않음)를 가지는 구조로 제공될 수 있다. 선택적으로 누름 부재(480)는 공기가 직접적으로 휠(420)의 몸체(442)를 가압하도록 하는 구조로 제공될 수 있다.

진동자(도 6의 460)는 스크라이빙공정 진행시 휠(420)에 진동을 인가한다. 진동자(460)는 몸체(442) 내부에 장착된다. 진동자(460)로는 초음파 진동자(megasonic transducer)가 사용될 수 있다. 진동자(460)는 상하 방향으로 휠(420)에 진동을 인가할 수 있다. 휠(420)이 패널(10)에 크랙을 형성하면, 일반적으로 패널(10)의 파단면은 거칠게 된다. 따라서 브레이크 공정에 의해 단위 기판(10a)들을 패널(10)으로부터 분리한 후 세정 공정을 수행하기 전에 단위 기판(10a)들의 파단면 에지 부분을 연마석을 이용하여 반드시 연마(grinding)하여야 한다. 그러나 휠(420)이 패널(10)에 크랙을 형성할 때 휠(420)에 진동을 인가하면, 패널(10)의 파단면은 고르게 된다. 따라서 단위 기판(10a)들의 세정 전에 단위 기판(10a)들을 연마하는 공정을 생략할 수 있다.

제 1 이동 유닛(200)은 테이블(100)을 제 1 방향(22)으로 직선이동시킨다. 제 1 이동 유닛(200)은 제 1 가이드(220), 제 1 브라켓(240), 그리고 제 1 구동기(도시되지 않음)를 가진다. 제 1 가이드(220)는 제 1 방향(22)을 따라 길게 제공되며, 베이스(600) 상의 중앙에 장착된다. 제 1 가이드(220)는 길이 방향을 따라 동일한 폭을 가진다. 제 1 가이드(220)의 상면은 평평하게 제공되며, 제 1 가이드(220)의 양측면 각각에는 길이방향을 따라 길게 형성된 홈(222)이 형성된다.

테이블(100)은 제 1 브라켓(240)에 의해 제 1 가이드(220)에 결합된다. 제 1 브라켓(240)은 바닥판(242), 지지판(244), 그리고 결합판(246)을 가진다. 바닥판(242)은 평평한 직사각의 판 형상을 가진다. 바닥판(242)은 제 1 가이드(220) 상에 위치된다. 지지판(220)은 바닥판(242)에 수직하도록 바닥판(242)에 고정설치된다. 지지판(220)은 테이블(100) 아래에서 테이블(100)을 지지하도록 테이블(100)에 고정결합된다. 지지판(220)은 2개가 제공되며, 서로 나란하게 배치된다. 결합판(246)은 바닥판(242)의 저면과 수직하게 위치되어 바닥판(242)의 저면에 고정결합되는 측판(246a)과, 측판(246a)의 내측면 하단으로부터 측판(246a)과 수직하게 연장되어 제 1 가이드(220)의 측면에 형성된 홈(220)에 삽입되는 삽입판(246b)을 가진다. 결합판(246)은 서로 마주보도록 2개가 제공된다.

제 1 구동기는 테이블(100)이 직선이동되도록 구동력을 제공한다. 제 1 구동기로 모터와 스크류를 포함한 어셈블리가 사용될 수 있다. 선택적으로 제 1 구동기로 모터, 벨트, 그리고 풀리를 포함한 어셈블리가 사용될 수 있다. 선택적으로 제 1 구동기로 직선형 전동기(linear motor)를 포함한 어셈블리가 사용될 수 있다. 상술한 다양한 어셈블리 등의 구체적인 구조는 업계에서 널리 알려져 있으므로 상세한 설명은 생략한다.

제 2 이동 유닛(300)은 스크라이빙 유닛(400)을 제 2 방향(24)으로 직선이동시킨다. 제 2 방향(24)은 제 1 방향(22)과 수직한 방향이다. 제 2 이동 유닛(300)은 수직 지지대들(320), 수평 지지대(340), 제 2 가이드(360), 제 2 브라켓(380), 그리고 제 2 구동기(도시되지 않음)를 가진다. 수직 지지대들(320)은 제 2 방향(24)으로 일정거리 이격되도록 베이스(600) 상에 고정 설치된다. 수직 지지대(320)들은 패널(10)이 제 1 방향(22)을 따라 이동시 패널(10)이 수직 지지대(320)들 사이를 지나갈 수 있도록 배치된다. 수평 지지대(340)는 수직 지지대(320)들의 상단에 고정설치된다. 수평 지지대(340)의 일측면에는 수평 지지대(340)의 길이 방향을 따라 제 2 가이드(360)가 제공된다. 제 2 가이드(360)의 상면 및 하면에는 그 길이방향을 따라 길게 홈이 제공된다. 제 2 가이드(360)는 수평 지지대(340)와 일체로 형성될 수 있다.

스크라이빙 유닛(400)은 제 2 브라켓(380)에 의해 수평 지지대(340)에 결합된다. 제 2 브라켓(380)은 지지판(382)과 결합판(384)을 가진다. 지지판(382)은 평평한 직사각의 판 형상을 가지며, 제 2 가이드(360) 상에 위치된다. 결합판(384)은 지지판(382)의 상측 및 하측으로부터 지지판(382)에 수직하게 돌출된 측판(384a)과 제 2 가이드(360)에 형성된 홈(362)에 삽입되는 삽입판(384b)를 가진다. 제 2 구동기는 스크라이빙 유닛(400)이 제 2 가이드(360)를 따라 직선 이동되도록 구동력을 제공한다. 제 2 구동기는 제 1 구동기와 유사한 구조로 제공될 수 있다.

스크라이빙 유닛(400)은 상하로 이동가능하도록 지지판(382)에 장착된다. 일 예에 의하면, 지지판(382)에는 제 3 방향(384)으로 슬릿 형상의 안내홈(386)이 형성되고, 스크라이빙 유닛(400)은 안내홈(386)에 삽입된 지지축(도시되지 않음)에 결합된다. 제 3 방향(384)은 제 1 방향(22) 및 제 2 방향(24) 각각과 수직한 방향이다. 도 3에서 제 3 방향(384)은 상하로 수직한 방향이다. 제 3 구동기(도시되지 않음)는 스크라이빙 유닛(400)을 직선이동시키도록 구동력을 제공한다. 제 3 구동기로는 모터 또는 실린더 등이 사용될 수 있다.

회전 유닛(500)은 패널(10)에 서로 직교하는 방향으로 크랙을 제공할 수 있도록 패널(10)을 회전시킨다. 회전 유닛(500)으로는 모터가 사용된다. 일 예에 의하면, 테이블(100)은 상부판(120)과 하부판(140)을 가진다. 하부판(140)은 상술한 제 1 브라켓(240)에 고정되며, 상부판(120)은 하부판(140)에 대해 수평면 상에서 회전가능하도록 하부판(140)에 결합된다. 상부판(120)의 저면에는 모터(500)와 연결된 회전축(500)이 고정설치된다.

다음에는 도 3의 스크라이빙 장치(14a)를 사용하여 패널(10)에 스크라이빙 공정을 수행하는 방법을 설명한다. 처음에 정렬이 이루어진 패널(10)이 테이블(100) 상에 놓여진다. 테이블(100)은 제 1 방향(22)으로 직선 이동된다. 테이블(100)이 기설정된 제 1 위치까지 이동되면 테이블(100)의 이동이 멈춘다. 이후, 스크라이빙 유닛(400)이 제 2 방향(24)으로 직선 이동된다. 스크라이빙 유닛(400)이 기설정된 위치까지 이동되면 스크라이빙 유닛(400)의 이동이 멈춘다. 이후, 스 크라이빙 유닛(400)이 아래 방향으로 이동되고, 휠(420)이 패널(10)에 접촉된다. 누름 부재(480)에 의해 휠(420)이 가압되어 휠(420)은 패널(10)을 누른다. 휠(420)이 패널(10)을 누르는 동안 휠(420)에는 초음파 진동이 인가된다. 테이블(100)이 제 1 방향(22)으로 제 2 위치까지 직선 이동되며, 휠(420)은 패널(10)을 누른 상태에서 축핀(444)을 기준으로 하여 회전된다. 패널(10)에는 일직선으로 크랙이 형성된다. 패널(10)의 일단에서 타단까지 크랙이 형성되면, 스크라이빙 유닛(400)은 위 방향으로 이동되고, 테이블(100)은 다시 제 1 위치로 이동된다. 스크라이빙 유닛(400)은 제 2 방향(24)을 따라 기설정된 거리만큼 직선 이동하고, 스크라이빙 유닛(400)은 아래 방향으로 이동된다. 테이블(100)이 제 2 위치로 이동되면서 패널(10)에 크랙이 형성된다. 이와 같은 과정은 반복한다. 이후, 테이블(100)이 90도(°) 회전되고, 상술한 과정을 반복한다.

도 7a는 휠(420)에 초음파 진동의 제공 없이 스크라이빙 공정을 수행할 때 파단면의 상태를 보여주는 사진이고, 도 7b는 휠(420)에 초음파 진동을 인가하여 스크라이빙 공정을 수행할 때 파단면의 상태를 보여주는 사진이다. 도 7a와 도 7b를 참조하면, 휠(420)에 초음파 진동을 인가하여 스크라이빙 공정을 수행할 때 파단면이 더 고른 것을 알 수 있다.

도 8은 도 3의 스크라이빙 장치(14a)를 사용하여 평판 디스플레이를 제조하는 방법을 순차적으로 보여준다. 도 8을 참조하며, 패널(10)이 로딩되고(스텝 S10), 이후에 스크라이빙 공정과 브레이킹 공정을 순차적으로 거친다(스텝 S20과 S30). 패널(10)이 복수의 단위 기판(10a)들로 분리되면, 단위 기판(10a)들은 언로 딩되고(스텝 S40), 단위 기판(10a)들에 대해 연마 공정 없이 곧바로 세정 공정이 수행된다(스텝 S50). 스크라이빙 공정 수행시 초음파 진동을 인가함에 따라 파단면이 매우 고르게 되었기 때문에 연마 공정을 수행할 필요가 없다.

다음에는 본 실시예로부터 변형된 다양한 예들을 간단히 설명한다.

상술한 예에서는 스크라이빙 공정 수행시 제 1 이동 유닛(200)이 테이블(100)을 제 1 방향(22)으로 직선 이동하는 것으로 설명하였다. 그러나 이와 달리, 스크라이빙 공정 수행시 테이블(100)은 고정되고, 스크라이빙 유닛(400)이 제 1 방향(22)으로 직선 이동될 수 있다. 이 경우, 수직 지지대(362)들이 제 1 방향(22)으로 직선 이동될 수 있다.

또한, 상술한 예에서는 하나의 스크라이빙 유닛(400)이 수평 지지축에 결합되어 패널(10)이 제 1 위치에서 제 2 위치로 이동하는 중에만 스크라이빙이 이루어지는 것으로 설명하였다. 그러나 이와 달리, 수평 지지대(364)에는 2개의 스크라이빙 유닛(400)들이 설치될 수 있다. 이 경우, 패널(10)이 제 1 위치에서 제 2 위치로 이동하는 중에는 제 1 스크라이빙 유닛에 의해 공정이 수행되고, 패널(10)이 제 2 위치에서 제 1 위치로 이동하는 중에는 제 2 스크라이빙 유닛에 의해 공정이 수행될 수 있다. 이와 같은 방법에 의해 스크라이빙 공정에 소요되는 시간을 단축할 수 있다.

또한, 상술한 예에서는 스크라이빙 장치(14a)가 패널(10)의 상면에 대해 스크라이빙 공정이 수행되는 구조를 가진 것으로 설명하였다. 패널(10)의 후면에 대해 스크라이빙 공정이 요구되는 경우, 스크라이빙 장치(14a)는 패널(10)의 상면과 하면을 반전시키는 유닛을 구비할 수 있다. 선택적으로 수직 지지대(362)에 2개의 수평 지지대(364)들을 장착하고, 상부에 위치된 수평 지지대(364)에는 패널(10)의 상면에 스크라이빙 공정을 수행하는 상부 스크라이빙 유닛을 장착하고, 하부에 위치된 수평 지지대(364)에는 패널(10)의 하면에 스크라이빙 공정을 수행하는 하부 스크라이빙 유닛을 장착할 수 있다. 이와 같은 방법으로 스크라이빙 공정에 소요되는 시간을 단축할 수 있다.

또한, 상술한 예에서는 단위 기판(10a)들의 파단면을 연마하는 공정 없이 세정 공정을 수행하는 것으로 설명하였다. 그러나 이와 달리, 더욱 고른 파단면이 요구되는 경우 세정 공정 전에 단위 기판(10a)들의 파단면을 연마하는 공정을 수행할 수 있다.

또한, 상술한 예에서는 패널(10)을 지지하는 지지부재로서 패널(10)의 저면 전체를 지지하는 테이블(100)이 사용되는 것으로 설명하였다. 그러나 지지부재는 이와 달리 패널(10)의 양측 가장자리만을 지지하는 구조 등과 같이 다양한 구조가 사용될 수 있다.

본 발명에 의하면, 패널을 복수의 단위 기판들로 분리할 때 비교적 고른 파단면을 얻을 수 있다.

또한, 본 발명에 의하면, 패널을 복수의 패널들로 분리한 후, 연마 공정 없이 곧바로 세정 공정을 수행할 수 있으므로 전체 공정에 소요되는 시간을 단축할 수 있고, 연마 공정을 수행하는 유닛이 불필요하므로 설비 면적을 줄일 수 있다.

Claims

삭제
대상물의 절단에 사용되는 스크라이빙 유닛에 있어서,

대상물에 접촉되어 상기 대상물의 표면에 크랙을 생성하는 스크라이버와;

상기 스크라이버를 지지하는 지지체와; 그리고

상기 스크라이버에 진동을 제공하는 진동자를 구비하되,

상기 스크라이버는 회전 가능하며 에지에 이들(teeth)이 형성된 휠을 포함하고,

상기 지지체는,

몸체와;

상기 몸체에 결합되며, 상기 휠에 형성된 통공에 삽입되어 상기 휠을 회전가능하게 지지하는 축핀을 포함하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 유닛.
제 2 항에 있어서,

상기 몸체는 하면에 상기 휠의 일부가 삽입되는 홈이 형성되고,

상기 축핀은 상기 홈의 내부에서 상기 몸체에 고정설치되는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 유닛.
제 2 항에 있어서,

상기 진동자는 상기 몸체 내에 제공되는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 유닛.
제 2 항에 있어서,

상기 진동자는 초음파 진동자인 것을 특징으로 하는 스크라이빙 유닛.
삭제
제 2 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 스크라이빙 유닛은 상기 지지체의 상부에 위치되며 공압에 의해 상기 지지체를 가압하도록 구성되는 누름 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 유닛.
복수의 단위기판들이 형성된 패널로부터 상기 단위기판들을 분리하기 전에 스크라이빙 공정을 수행하는 장치에 있어서,

패널이 놓이는 테이블을 가지는 지지부재와;

상기 지지부재에 놓여진 패널을 스크라이빙하는 스크라이빙 유닛와;

상기 스크라이빙 유닛 또는 상기 지지부재를 상기 제 1 방향으로 직선이동시키는 제 1 이동 유닛과;

상기 스크라이빙 유닛을 상기 제 1 방향에 수직한 제 2 방향으로 직선이동시키는 제 2 이동 유닛과; 그리고

상기 테이블을 회전시키는 회전 유닛을 포함하되,

상기 스크라이빙 유닛은

패널에 접촉되어 패널에 크랙을 생성하는 스크라이버와;

상기 스크라이버를 지지하는 지지체와;

상기 스크라이버에 진동을 제공하는 진동자를 구비하는 것을 특징으로 하는 패널 스크라이빙 장치.
제 8 항에 있어서,

상기 스크라이버는 회전 가능한 휠을 포함하고,

상기 지지체는,

하면에 상기 휠의 일부가 삽입되는 홈이 형성된 몸체와;

상기 홈의 내부에서 상기 몸체에 고정되도록 설치되며 상기 휠에 형성된 개구에 삽입되어 상기 휠을 회전 가능하게 지지하는 축핀을 포함하는 것을 특징으로 하는 패널 스크라이빙 장치.
제 9 항에 있어서,

상기 진동자는 초음파 진동자이며,

상기 초음파 진동자는 상기 몸체 내에 위치되는 것을 특징으로 하는 패널 스크라이빙 장치.
제 9 항에 있어서,

상기 스크라이빙 유닛은 상기 지지체의 상부에 위치되며 공압에 의해 상기 지지체를 가압하도록 구성되는 누름 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 패널 스크라이빙 장치.
제 9 항에 있어서,

상기 휠은 에지에 이들(teeth)이 형성된 것을 특징으로 하는 패널 스크라이빙 장치.
대상물을 스크라이빙하는 방법에 있어서,

스크라이버를 대상물에 접촉시키고, 상기 대상물과 상기 스크라이버 간에 상대 이동을 발생시켜 상기 대상물을 스크라이빙하되,

스크라이빙이 이루어지는 동안 상기 스크라이버에 진동을 인가하고,

상기 스크라이버로는 상기 대상물과 상기 스크라이버 간에 상대 이동시 상기 대상물의 표면을 따라 회전가능하며 에지에 이들(teeth)이 형성된 휠이 사용되는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 방법.
제 13 항에 있어서,

상기 진동은 초음파 진동인 것을 특징으로 하는 스크라이빙 방법.
삭제
제 13 항 또는 제 14 항에 있어서,

상기 스크라이버가 상기 대상물에 접촉시 상기 스크라이버는 기체에 의해 가압되는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 방법.
기판을 제조하는 방법에 있어서,

단위 기판들이 형성된 패널을 스크라이버를 사용하여 스크라이빙 공정을 수행하고, 스크라이빙된 상기 패널로부터 복수의 단위 기판들을 분리하는 브레이킹 공정을 수행하고, 상기 단위 기판들을 세정하는 세정 공정을 수행하되,

상기 스크라이빙 공정은 상기 패널을 스크라이빙시 상기 스크라이버에 진동을 인가하여 이루어지고,

상기 브레이크 공정과 상기 세정 공정 사이에 상기 스크라이빙 공정시 발생되는 상기 복수의 단위 기판들의 파단면을 연마하는 공정 없이 상기 세정 공정을 수행하는 것을 특징으로 하는 기판 제조 방법.
제 17 항에 있어서,

상기 진동은 초음파 진동인 것을 특징으로 하는 기판 제조 방법.
제 17 항에 있어서,

상기 스크라이버가 상기 대상물에 접촉시 상기 스크라이버는 기체에 의해 가압되는 것을 특징으로 하는 기판 제조 방법.
제 17 항에 있어서,

상기 패널은 평판 디스플레이용 패널인 것을 특징으로 하는 기판 제조 방법.