KR100682305B1 - 클램핑 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판 표면을 가압하여 그 기판을 고정하는 클램핑 장치에 있어서, 상기 기판의 사방 가장자리부에 적정 간격마다 압력을 가할 수 있도록 다수개씩 클램프가 각각 구비되되, 상기 클램프는 기판 고정시 이 기판에 평행한 상태로 부분 회동하여 면압으로 가압하는 것을 특징으로 하는 클램핑 장치에 관한 것이다.
클램핑 장치, 클램프, 구동부, 면압

Description

클램핑 장치{Clamping apparatus}
도 1은 종래의 클램핑 장치가 구비되는 기판척을 대략적으로 도시한 평면도이다.
도 2 및 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 클램핑 장치가 구비되는 기판척을 도시한 평면도 및 측면도이다.
도 4 및 도 5는 상기 클램핑 장치의 클램프를 도시한 분해 사시도 및 측단면도이다.
< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 >
150 : 클램핑 장치(clamping device) 152 : 클램프(clamp)
154 : 몸체 156 : 회동부재
158 : 고정부재 160 : 접촉부재
162 : 고정핀 164 : 탄성부재
166 : 구동부
본 발명은 클램프 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판에 접촉하여 그 기판을 고정할 때 면압으로 가압하여 기판 고정력을 상승시키는 클램핑 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 웨이퍼나 LCD, PDP, OLED 등의 대형 기판을 생산할 때 기판에 남아 있는 이물질이나 얼룩 등의 결함을 발견하기 위하여 목시검사, 즉 검사자의 육안으로 결함 여부를 검사한다. 이때, 결함의 발견을 용이하게 하기 위하여 기판 전체를 균일하게 빛을 조사하여 기판 외관 전체를 검사하는 기판 검사기가 사용된다.
이러한 기판 검사기는 상방 조명부, 후방 조명부, 기판척으로 구성된다.
상방 조명부는 기판척의 상방에 설치되어, 기판 표면상에 결함이 있는지 여부를 검사하기 위하여 기판 표면에 빛을 조사하는 역할을 하며, 후방 조명부는 기판 위치부의 후방에 위치되며, 기판의 내부 결함 여부를 검사하기 위하여 기판 후면에서 투과 조명을 조사하는 역할을 한다.
종래의 클램프 장치가 구비되는 기판척은 도 1에 도시된 바와 같이 기판을 진공압으로 흡착하는 기능을 하며, 상술한 기판척(30)에 다수개가 배열 설치되어 상측에 안착된 기판과의 공간을 진공 펌프(도면에 미도시)에 의해 진공 상태로 기판에 흡착력을 제공하는 흡착부(42)가 배열 설치된다.
상술한 기판척(30)은 적재되는 기판의 면적보다 큰 판상으로 중앙부가 관통 형성되며, 관통된 부위의 가장자리에는 상방으로 직립된 베이스(32)가 마련되고, 상술한 베이스(32)의 중앙부에는 적정 간격으로 배열 설치되는 다수개의 고정바(40)가 마련되며, 상술한 고정바(40)의 상부 영역에는 적정 간격으로 다수 배열되 어 기판을 진공압으로 흡착시키는 흡착부(42)가 마련된다.
그리고 상술한 베이스(32)의 상부 영역 사방에는 기판의 가장자리부를 흡착할 수 있도록 적정 간격으로 배열되되 길이 방향으로 연장되는 수평 방향의 흡착 패드(34)가 다수개 구비되며, 상술한 흡착 패드(34)의 외측벽에는 이 흡착 패드(34)와 유사한 길이 방향으로 형성되고 상술한 흡착 패드(34)의 상면보다 더 돌출되도록 고정되는 안내부(36)가 마련된다. 그리고 상기 흡착 패드(34)는 그 상부 영역을 부분 함몰시키고 그 함몰된 부분 중앙부에 구멍을 형성하며, 그 구멍을 외부의 진공펌프(도면에 미도시)와 연통하게 한다.
여기서, 상술한 안내부(36)는 안착시 기판의 위치를 한정하며, 흡착 패드(34) 상에 기판이 안착 될 수 있게 안내하는 기능을 한다.
여기서, 상술한 베이스(32)의 일측에는 기판의 로딩 또는 언로딩시 로봇(도면에 미도시)의 포크(fork : 도면에 미도시)가 진입하고 퇴출할 수 있도록 그 포크의 위치와 상응하는 로봇 포크 이동홈(38)이 다수개 마련된다.
한편, 상술한 기판척(30)의 베이스(32) 상부 영역 사방에는 클램핑 장치(50)가 각각 구비되며, 상술한 클램핑 장치(50)는 클램프(52)와 구동부(66)로 이루어진다.
여기서, 각각의 클램프(52)는 각각의 구동부(66) 구동축에 다수개가 고정된 상태에서 이 구동축에 의해 일률적으로 회동함에 따라 기판의 가장자리 영역에 압력을 가하여 기판 고정력을 상승시킨다.
그리고 상술한 구동부(66)의 구동축은 적정 간격으로 배치되는 축지지부재 (68)에 의해 베이스(32)의 적정 높이에 고정되면서 회동하도록 마련된다.
여기서, 상술한 클램프(52)는 직립된 판상의 형상으로 형성되는 몸체 상단이 적정 각도만큼 절곡된 형상으로 상단 내측면에 길이 방향으로 연장되는 수평 방향의 접촉부재(58)를 고정하였다.
그러나 상술한 클램프(52)의 접촉부재(58)는 각도 조절이 불가능함에 따라 두께가 0.6∼1.1t 까지 다양한 기판 고정시 그 기판의 두께의 고저에 따라 접촉부재(58)와의 접촉 면적이 불균일하여 선 접촉에 의해 기판을 견고하게 고정하지 못하는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 그 목적은 기판 고정시 지지 면적을 증대하여 기판 고정력을 상승시킬 수 있게 한 클램핑 장치를 제공함에 있다.
상술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 기판 표면을 가압하여 그 기판을 고정하는 클램핑 장치에 있어서, 상기 기판의 사방 가장자리부에 적정 간격마다 압력을 가할 수 있도록 다수개씩 클램프가 각각 구비되되, 상기 클램프는 기판 고정시 이 기판에 평행한 상태로 부분 회동하여 면압으로 가압함으로써, 상술한 기판의 두께 고저와 상관없이 그 기판과 평행한 상태로 클램핑함에 따라 기판 고정력을 상승시키므로 바람직하다.
또한, 본 발명에서의 클램프는, 상단이 적정 각도로 경사지며, 하단에는 구동부의 구동축에 고정될 수 있도록 축고정공이 형성되고, 상단 내측면에 함몰된 홈부가 형성되는 몸체; 상기 몸체의 홈부에 삽입되고 수평 방향으로 마련되는 고정핀에 의해 고정되어 적정 각도만큼 회동하는 회동부재; 상기 회동부재의 하부 영역에 고정되며, 수평 방향으로 연장되는 판상의 고정부재; 상기 고정부재의 하부 영역에 결합되어 기판과 접촉하는 접촉부재; 상기 몸체와 고정부재의 사이에 개재되며, 회동부재에 의해 회동하는 고정부재가 원위치로 복귀할 수 있도록 탄성력을 제공하는 탄성부재;를 포함하여 이루어지는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명에서의 흡착 패드는, 강화 플라스틱으로 이루어지도록 함으로써, 기판과 접촉되더라도 기판에 얼룩이 발생하지 않도록 한다. 이때 상기 강화 플라스틱으로는 PEEK(Poly Ether Ether Ketone)이 바람직하다.
또한, 본 발명에서의 접촉부재는, 상기 기판을 진공압으로 흡착 고정하기 위해 부분 함몰되며, 그 함몰된 공간에 외부의 진공펌프와 연통함으로써, 기판의 상부 영역 가장자리부에 접촉하는 접촉부재에 의해 고정할 때 기판과 접촉부재의 접촉면에 진공압으로 흡착 고정할 수 있게 하여 고정력이 상승되므로 바람직하다.
또한, 본 발명에서의 클램프 각각을 구동축에 삽입 고정하여 이 클램프를 일률적으로 구동시킬 수 있도록 구동력을 제공하는 다수개의 구동부가 더 마련되는 것이 바람직하다.
이하, 본 발명의 클램핑 장치를 첨부도면을 참조하여 일 실시예를 들어 설명하면 다음과 같다.
본 발명의 바람직한 일 실시예의 클래핑 장치는 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 기판척(130)의 베이스(132)의 사방에 구비되되 구동부(166)에 의해 일률적으로 회동하는 클램프(152)로 이루어진다.
여기서, 상술한 기판척(130)은 안착되는 기판의 면적보다 큰 판상으로 중앙부가 관통 형성되고 그 관통된 부위의 가장자리에는 상방으로 직립되어 단면 형상이 "ㄴ"인 베이스(132)와, 상술한 베이스(132)의 중앙부에는 적정 간격으로 배열 설치되는 다수개의 고정바(140)와, 상술한 고정바(140)의 상부 영역에는 적정 간격으로 다수 배열되어 기판을 진공압으로 흡착시키는 흡착부(142)가 마련된다.
상술한 베이스(132)의 상부 영역 사방에는 기판의 가장자리부를 흡착할 수 있도록 적정 간격으로 배열되되 길이 방향으로 연장되는 수평 방향의 흡착 패드(134)가 다수개 구비되며, 상술한 흡착 패드(134)의 외측벽마다 이 흡착 패드(134)와 유사한 길이 방향으로 형성되고 상술한 흡착 패드(134)의 상면보다 더 돌출되도록 고정되는 안내부(136)가 각각 마련된다. 그리고 상기 흡착 패드(134)는 그 상부 영역을 부분 함몰시키고 그 함몰된 부분 중앙부에 구멍을 형성하며, 그 구멍을 외부의 진공펌프와 연통하게 한다.
여기서, 상술한 안내부(136)는 안착시 기판의 위치를 한정하며, 흡착 패드(134) 상에 기판이 안착 될 수 있게 안내하는 기능을 한다.
그리고 상술한 베이스(132)의 일측에는 기판의 로딩 또는 언로딩시 로봇(도면에 미도시)의 포크(fork : 도면에 미도시)가 진입하고 퇴출할 수 있도록 그 포크의 위치와 상응하는 로봇 포크 이동홈(138)이 다수개 마련된다.
상술한 흡착부(142)는 그 내부에 진공관(도면에 미도시)이 삽입되고 그 진공관은 외부의 진공펌프와 연통된다.
여기서, 상기 기판척(130)은 흡착부(142)에 의해 기판의 저면을 진공압으로 고정하고 그 기판척(130)의 상부 영역 사방에는 상술한 기판의 상면 가장자리를 가압하여 더욱 견고하게 고정할 수 있도록 일률적으로 회동하는 클램핑 장치(150)가 구비된다.
상술한 클램핑 장치(150)는 클램프(152)와 구동부(166)로 구성되며, 상술한 클램프(152)는 안착되는 기판의 가장자리부에 압력을 가하여 고정할 수 있도록 다수개로 마련되며, 상술한 구동부(166)는 베이스(132)에서 기판의 각 변 가장자리부에 압력을 가할 수 있도록 마련되는 클램프(152) 각각을 구동축에 삽입 고정하여 이 클램프(152)를 일률적으로 구동시킨다.
한편, 상술한 구동부(166)의 구동축은 길이 방향으로 연장되므로 그 구동축의 도중에 축지지부재(168)를 다수개 삽입하고 베이스(132)의 소정 위치에 고정한다.
한편, 상술한 구동부(166)는 구동모터로 로봇 포크 삽입홈(138)이 형성되는 베이스(132)의 일측에 로봇 포크(도면에 미도시)가 로봇 포크 삽입홈(138)을 따라 이동하므로 하나의 구동부(166)의 구동축으로 3개의 클램프(152)를 구동하면 상술한 구동축이 로봇 포크 삽입홈(138)에 노출되어 간섭하므로 각각의 클램프(152)마다 각각 마련된다. 그러나 각각의 구동부(166)에 의해 구동하는 클램프(152)는 일률적으로 구속시켜야 한다.
상술한 클램프(152)는 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이 몸체(154)와, 회동부재(156)와, 고정부재(158)와, 접촉부재(160)와, 고정핀(162)과, 탄성부재(164)로 구성된다.
그리고 상술한 클램프(152)마다 그 클램프(152)의 후방 위치인 베이스(132)의 상부 영역에는 상술한 클램프(152)의 회동 각도를 제한할 수 있도록 이 클램프(152)의 후방마다 스토퍼(Stopper : 도면에 미도시)가 마련될 수 있으며, 회동 각도 또한 조절할 수 있다.
상술한 몸체(154)는 적정 두께를 갖는 직립된 판상인 상단이 소정 각도로 경사진 형상으로 하부 영역에는 수평 방향으로 관통되는 축고정공(154a)이 형성되고, 상단 내측면에는 적정 깊이를 갖는 홈부(154b)가 형성되고, 양측에서 홈부(154b)와 연통되도록 관통하는 구멍(154c)이 형성되고, 상술한 홈부(154b)의 양단 상하 지점에 형성되는 삽입홈(154d)이 마련된다.
상술한 축고정공(154a)은 구동부(166)의 구동축에 삽입될 수 있도록 그 구동축의 직경과 동일한 직경으로 형성되고, 그 구동축 적정 위치에 삽입한 다음 견고하게 고정할 수 있도록 그 축고정공(154a)의 최하점에서 몸체(154)의 저면까지 절 개하여 그 절개한 몸체(154)의 하단을 볼트로 체결하면 절개된 부분의 간격이 좁아지면서 상술한 구동축에 더욱 견고하게 고정된다.
상술한 회동부재(156)는 상술한 몸체(154)의 홈부(154b)에 삽입하여 적정 각도만큼 회동하는 기능을 하며, 일측면은 곡면으로 형성되어 회동시 간섭을 받지 않고 양측면이 관통 형성된다.
상술한 고정부재(158)는 길이 방향으로 연장되는 수평 방향의 판상으로 중심부의 면적이 양 끝단보다 더 크도록 형성되고 그 중심부의 모서리 영역에는 몸체(154)의 구멍(154c)과 동일수직선상 위치에 삽입홈(158a)이 각각 형성된다. 그리고 상술한 고정부재(158)는 상술한 회동부재(156)의 저면에 다수개의 볼트로 체결된다. 여기서, 상술한 고정부재(158)는 상술한 몸체(154)와 직교된 상태로 구비되어 고정된다.
상술한 접촉부재(160)는 상술한 고정부재(158)의 중심부를 제외한 나머지 부분이 동일한 형상으로 형성되되 기판에 접촉하는 과정에서 그 기판에 긁히는 것을 방지하기 위해 강화 플라스틱으로 형성되며, 이 강화 플라스틱은 폴리 에테르 에테르 케톤(Poly Ether Ether Ketone : PEEK)로 형성되고 상술한 고정부재(158)에서 체결하는 다수개의 볼트로 고정된다.
그리고 상술한 접촉부재(160)의 하부 영역은 기판을 진공압으로 고정하기 위해 부분 함몰되며, 그 함몰된 공간이 외부의 진공펌프와 연통되어 기판의 상부 영역 가장자리부를 흡착하거나 압착하여 기판을 고정하되 흡착으로 실시하는 것이 바람직하다.
상술한 고정핀(162)은 몸체(154)의 홈부(154b)에 위치되는 회동부재(156)를 이 몸체(154)의 구멍(154c)을 통해 회동 가능할 수 있도록 삽입 고정한다.
상술한 탄성부재(164)는 압축 스프링으로 몸체(154)의 삽입홈(154d)과 고정부재(158)의 삽입홈(158a)의 사이에 이 양단이 각각 삽입 고정된 상태로 개재되며, 외력에 따라 고정부재(158)가 유동하더라도 외력을 제거하면 복원력에 의해 원위치로 복귀한다.
여기서, 상술한 클램프(152)는 고정할 기판의 장 변에 적어도 4개 이상 마련되고, 단 변에 적어도 3개 이상 마련되며, 이 개수는 한정하지 않고 기판의 크기에 따라 다양한 변경 실시가 가능하다.
그러므로 본 발명의 클램핑 장치가 구비되는 기판 합착기는 도 2 내지 도 5에 도시된 바와 같이 상술한 기판이 기판척(130)의 베이스(132) 상면에 적정 간격으로 배치되는 흡착 패드(134)의 외측벽마다 고정되는 안내부(136)에 의해 안내되면서 흡착 패드(134) 상에 안착되면 상술한 베이스(132)의 상면 사방에 구비되는 클램핑 장치(150)에 의해 일률적으로 기판 표면 가장자리부를 가압하여 견고하게 고정하게 되며, 각각의 클램핑 장치(150)에서 구동부(166)의 구동축상에 정적 간격으로 고정되는 클램프(152)가 구동부(166)의 구동축이 구동하게 되면 그 구동축에 고정된 클램프(152)가 기판 쪽으로 일시에 회동하게 된다.
여기서, 상술한 클램프(152)마다 구비되는 각각의 접촉부재(160)는 기판 표면에 접촉하여 적정 압력으로 기판의 가장자리부를 고정한 상태를 유지하게 되며, 이때, 상술한 접촉부재(160)는 회동부재(156)에 고정된 상태이고 상술한 회동부재(156)는 고정핀(162)에 의해 몸체(154)의 홈부(154b)에서 적정 각도만큼 회동할 수 있게 고정된 상태로 상술한 접촉부재(160) 중 여러 개는 기판의 두께가 동일하지 않음에 따라 이 기판과 평행하지 않고 선 접촉한 상태로 가압하고 있으므로 그에 해당하는 클램프(152)들은 그 클램프(152)들의 접촉부재(160)가 회동부재(156)에 의해 회동가능함에 따라 그 접촉부재(160)가 회동하여 기판 평면과 평행을 이루면서 그 기판에 동일한 압력을 가하여 고정한다.
즉, 상술한 접촉부재(160)가 고정되는 회동부재(156)는 기판의 기울기에 따라 그 기울기와 상응한 각도만큼 회동하여 상술한 기판과 평행한 상태로 면 접촉하게 되며, 다수의 클램프(152)마다 구비되는 회동부재(156)가 기판의 기울기에 따라 개별적으로 회동하므로 그 회동부재(156)에 고정되는 고정부재(158) 및 접촉부재(160) 또한 기판과 면 접촉하여 기판 고정력을 상승시킨다.
한편, 상술한 클램프(152)의 몸체(154)에 형성되는 다수개의 삽입홈(154d)과 고정부재(158)의 삽입홈(158a)에는 탄성부재(164) 각각의 양 끝단이 고정된 상태이므로 접촉부재(160)가 회동하여 어느 한쪽의 탄성부재(164)는 압축되고 다른 한쪽의 탄성부재(164)가 인장되어도 각각의 탄성부재(164)의 탄성력에 의해 기판에서 이탈하면 원위치로 접촉부재(160)가 복귀한다.
이와 같은 본 발명의 클램핑 장치는 기판 가장자리부를 견고하게 고정하되 상술한 클램프 장치에 구비되는 다수개의 클램프는 두께가 동일하지 않은 기판과 접촉하는 접촉부재가 회동부재에 의해 기판 표면과 평행할 수 있도록 개별적으로 접촉부재가 기판과 면 접촉하도록 회동하여 접촉 면적이 넓어짐에 따라 더욱 견고하게 대면적 기판을 고정할 수 있는 효과가 있다.

Claims (6)

  1. 기판 표면을 가압하여 그 기판을 고정하는 클램핑 장치에 있어서,
    상기 기판의 사방 가장자리부에 적정 간격마다 압력을 가할 수 있도록 다수개씩 클램프가 각각 구비되되,
    상기 클램프는 기판 고정시 이 기판에 평행한 상태로 부분 회동하여 면압으로 가압하며,
    상단이 적정 각도로 경사지며, 하단에는 구동부의 구동축에 고정될 수 있도록 축고정공이 형성되고, 상단 내측면에 함몰된 홈부가 형성되는 몸체;
    상기 몸체의 홈부에 삽입되고 수평 방향으로 마련되는 고정핀에 의해 고정되어 적정 각도만큼 회동하는 회동부재;
    상기 회동부재의 하부 영역에 고정되며, 수평 방향으로 연장되는 판상의 고정부재;
    상기 고정부재의 하부 영역에 결합되어 기판과 접촉하는 접촉부재;
    상기 몸체와 고정부재의 사이에 개재되며, 회동부재에 의해 회동하는 고정부재가 원위치로 복귀할 수 있도록 탄성력을 제공하는 탄성부재;로 이루어지는 것을 특징으로 하는 클램핑 장치.
  2. 삭제
  3. 제 1항에 있어서, 상기 접촉부재는,
    강화 플라스틱으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 클램핑 장치.
  4. 제 3항에 있어서, 상기 강화 플라스틱은,
    PEEK(Poly Ether Ether Ketone)인 것을 특징으로 하는 클램핑 장치.
  5. 제 4항에 있어서, 상기 접촉부재는,
    상기 기판을 진공압으로 흡착 고정하기 위해 부분 함몰되며, 그 함몰된 공간에 외부의 진공펌프와 연통되는 것을 특징으로 하는 클램핑 장치.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 클램프 각각을 구동축에 삽입 고정하여 이 클램프를 일률적으로 구동시킬 수 있도록 구동력을 제공하는 다수개의 구동부가 더 마련되는 것을 특징으로 하는 클램핑 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101337886B1 (ko) * 2013-03-07 2013-12-06 주식회사 고영테크놀러지 기판 고정모듈, 이를 갖는 기판 검사장치 및 이를 이용한 기판 고정방법
KR20140145449A (ko) * 2013-06-13 2014-12-23 주식회사 선익시스템 가압모듈 및 기판 스트레칭 장치
US9460915B2 (en) * 2014-09-12 2016-10-04 Lam Research Corporation Systems and methods for reducing backside deposition and mitigating thickness changes at substrate edges

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200252934Y1 (ko) 2001-05-12 2001-11-16 김선기 만능 각도 클램프
KR20030037819A (ko) * 2001-11-06 2003-05-16 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정표시소자 제조용 스퍼터

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200252934Y1 (ko) 2001-05-12 2001-11-16 김선기 만능 각도 클램프
KR20030037819A (ko) * 2001-11-06 2003-05-16 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정표시소자 제조용 스퍼터

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101091865B1 (ko) 2009-10-21 2011-12-12 (주)탑나노시스 코팅 피착 기재 고정장치와, 이를 이용한 코팅부재 제조방법 및 이를 이용한 탄소나노튜브 필름 제조방법

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