KR101000943B1 - 스크라이빙 유닛 및 그 유닛을 구비한 스크라이빙 장치 - Google Patents

스크라이빙 유닛 및 그 유닛을 구비한 스크라이빙 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명에 따르면, 일면에 복수의 돌기가 형성된 한 쌍의 부시(bush); 상기 돌기에 대응된 위치에 홈이 형성되어 상기 부시들 사이에 삽입되며, 대상물의 표면에 크랙을 생성하는 휠(wheel); 및 상기 부시들 및 상기 휠이 안착되는 한 쌍의 지지부를 구비한 몸체를 포함하는 스크라이빙 유닛 및 상기 유닛을 가지는 스크라이빙 장치가 제공된다.
이와 같은 본 발명에 따르면, 부시를 이용한 휠 교체 방식이므로 휠의 좌우 위치가 고정되어 교체시간이 매우 빠르고, 양측 부시의 돌기에 의한 탄력으로 휠의 좌우측 기울어짐을 보강할 수 있는 장점이 있다.
부시, 휠, 스크라이빙

Description

스크라이빙 유닛 및 그 유닛을 구비한 스크라이빙 장치 {Scribing unit and scribing apparatus for panel with the unit}
본 발명은 기판 제조에 사용되는 장치 및 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 복수의 단위 기판들이 형성된 기판을 스크라이빙 하는 유닛 및 이를 가지는 스크라이빙 장치에 관한 것이다.
일반적으로 모니터나 텔레비젼 등에 사용되는 단위 기판들은 하나의 대형 기판에 복수 개가 제공된다. 따라서, 최종적으로 대형 기판으로부터 단위 기판들을 분리하는 공정이 요구된다.
대형 기판을 단위 기판들로 분리하는 공정은 다이아몬드 휠을 사용하여 기판에 수직 크랙을 형성하는 스크라이빙 공정과, 브레이크 바(break bar)를 사용하여 크랙이 형성된 부위에 힘을 가함으로써 기판을 복수의 단위 기판들로 분리시키는 브레이킹 공정을 포함한다.
스크라이빙 공정에서는 스크라이빙 유닛이 구비된다. 스크라이빙 유닛은 테이블 상에 놓여진 기판에 선을 그어 크랙을 형성한다. 도 1a는 종래의 스크라이빙 유닛의 부분단면도, 도 1b는 도 1에 도시된 휠의 정면도이다. 도 1a 및 도 1b를 참 조하면, 스크라이빙 유닛(10)은 지지체(supporter; 11), 축핀(12), 그리고 스크라이버(13)를 구비한다. 스크라이버(13)로는 다이아몬드 재질의 휠(wheel)이 사용된다. 휠(13)의 중앙에는 원형의 통공(13b)이 형성되며, 휠(13)의 에지(13a)는 날카롭게 제공된다.
휠(13)은 지지체(11)에 지지된다. 지지체(11)의 하면에는 일방향으로 지지체(11)를 관통하는 홀(11b)이 형성된다. 축핀(12)은 단면이 원형인 긴 로드 형상을 가진다. 축핀(12)은 홀(11b)의 내부에 위치하여 고정설치된다. 축핀(12)은 휠(13)에 형성된 통공(13b)을 관통한다. 휠(13)이 축핀(12)에 의해 지지될 때, 휠(13)의 일부는 홈(11a) 내에 위치되고, 일부는 지지체(11)의 아래로 돌출된다.
스크라이빙 유닛(10)의 휠(13)은 일정 기간 사용하여 마모가 되면 교체해 주어야 한다. 이러한 휠(13)을 교체하기 위해서는 축핀(12)을 제거한 뒤, 휠(13)을 지지체(11)의 홈(11a) 밀어넣고, 수동으로 휠(13)의 위치를 옮겨가면서 축핀(12)을 삽입해야 한다. 하지만, 이 때 휠(13)의 통공(13b)과 지지체(11)의 홀(11b)의 중심을 맞추기 위해 수동으로 보정하며 맞추기 때문에 휠(13)의 위치 고정이 어렵고, 교체 시간이 다소 오래 걸리는 문제점이 있다.
또한, 휠(13)을 축핀(12)에 의해 고정한 뒤, 실제 스크라이빙 공정을 진행할 때에도 고정된 축핀(12)과 휠(13)의 통공(13a) 사이의 유격으로 인해 휠(13)이 좌우방향으로 기울어져 수직 정밀도가 낮아지는 문제점이 있다.
본 발명은 스크라이빙 휠의 좌우 위치를 고정하여 휠 교체시간을 단축시킬 수 있는 스크라이빙 유닛 및 그 유닛을 구비한 스크라이빙 장치를 제공하는 데 목적이 있다.
또한, 본 발명은 스크라이빙 휠의 좌우 위치를 고정하여 스크라이빙 수직 정밀도를 높일 수 있는 스크라이빙 유닛 및 그 유닛을 구비한 스크라이빙 장치를 제공하는 데 목적이 있다.
본 발명에 따른 스크라이빙 유닛은 일면에 복수의 돌기가 형성된 한 쌍의 부시(bush); 상기 돌기에 대응된 위치에 홈이 형성되어 상기 부시들 사이에 삽입되며, 대상물의 표면에 크랙을 생성하는 휠(wheel); 및 상기 부시들 및 상기 휠이 안착되는 한 쌍의 지지부를 구비한 몸체를 포함한다.
여기서, 상기 부시들 및 상기 휠의 중앙에는 관통홀이 각각 형성되고, 상기 지지부는 상기 관통홀과 대응되는 위치에 지지홀이 형성되며, 상기 관통홀 및 상기 지지홀에 삽입되어 상기 부시들과 상기 휠을 지지하는 지지핀을 더 구비할 수 있다.
아울러, 상기 부시의 타면의 중앙에는 단면이 상기 지지부를 향해 좁게 테이퍼진 접촉부를 더 구비할 수 있다.
또한, 상기 부시의 타면의 중앙에는 지지돌기가 형성되고, 상기 지지부는 상기 지지돌기와 대응되는 위치에 지지홀이 형성될 수 있다.
나아가, 상기 지지돌기는 외측에 단면이 상기 지지부를 향해 좁게 테이퍼진 접촉부를 더 구비할 수 있다.
게다가, 상기 돌기 및 상기 홈은 반구 형상일 수 있다.
더욱이, 상기 돌기의 반경은 상기 홈의 반경보다 더 클 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 스크라이빙 장치는 복수의 단위기판들이 형성된 기판로부터 상기 단위기판들을 분리하기 전에 스크라이빙 공정을 수행하는 장치로서, 기판이 놓여지는 지지부재; 상기 지지부재에 놓여진 기판을 스크라이빙하는 스크라이빙 유닛; 상기 스크라이빙 유닛과 상기 지지부재 중의 어느 하나를 제1방향으로 직선이동시키는 제1이동유닛; 및 상기 스크라이빙 유닛과 상기 지지부재 중의 다른 하나를 상기 제1방향에 수직한 제2방향으로 직선이동시키는 제2이동유닛을 포함하되, 상기 스크라이빙 유닛은 일면에 복수의 돌기가 형성된 한 쌍의 부시; 상기 돌기에 대응된 위치에 홈이 형성되어 상기 부시들 사이에 삽입되며, 대상물의 표면에 크랙을 생성하는 휠; 및 상기 부시들 및 상기 휠이 안착되는 한 쌍의 지지부를 구비한 몸체를 포함한다.
여기서, 상기 부시들 및 상기 휠의 중앙에는 관통홀이 각각 형성되고, 상기 지지부는 상기 관통홀과 대응되는 위치에 지지홀이 형성되며, 상기 관통홀 및 상기 지지홀에 삽입되어 상기 부시들과 상기 휠을 지지하는 지지핀을 더 구비할 수 있다.
아울러, 상기 부시의 타면의 중앙에는 단면이 상기 지지부를 향해 좁게 테이퍼진 접촉부를 더 구비할 수 있다.
또한, 상기 부시의 타면의 중앙에는 지지돌기가 형성되고, 상기 지지부는 상 기 지지돌기와 대응되는 위치에 지지홀이 형성될 수 있다.
나아가, 상기 지지돌기는 외측에 단면이 상기 지지부를 향해 좁게 테이퍼진 접촉부를 더 구비할 수 있다.
게다가, 상기 돌기 및 상기 홈은 반구 형상일 수 있다.
더욱이, 상기 돌기의 반경은 상기 홈의 반경보다 더 클 수 있다.
상술한 본 발명에 따르면, 부시를 이용한 휠 교체 방식이므로 휠의 좌우 위치가 고정되어 교체시간이 매우 빠른 장점이 있다.
또한, 본 발명에 따르면 양측 부시의 돌기에 의한 탄력으로 휠의 좌우측 기울어짐을 보강할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 부시의 형상에 따라 지지핀 없이도 휠의 고정이 가능한 효과가 있다.
이하, 본 발명의 실시 예를 첨부된 도면 도 2 내지 도 11을 참조하여 더욱 상세히 설명한다. 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장되었다.
이하, 도면을 참고하여 본 발명에 따른 스크라이빙 장치에 대해 설명한다.
도 2는 복수의 단위 기판들이 형성된 기판의 예를 개략적으로 보여주는 사시도, 도 3은 본 발명에서 기판을 복수의 단위 기판들로 분리하는 장치를 개략적으로 보여주는 도면이다.
도 2를 참조하면, 기판(20)은 대체로 직사각의 판 형상을 가지며, 기판(20)에는 복수의 단위 기판(20a)들이 형성된다. 도 3의 장치는 기판(20)을 복수의 단위 기판(20a)들로 분리한다.
도 3을 참조하면, 장치(30)는 로딩부(loading part; 32), 스크라이빙부(scribing part; 34), 브레이킹부(breaking part; 36), 그리고 언로딩부(unloading part; 38)를 가진다. 로딩부(32), 스크라이빙부(34), 브레이킹부(36), 그리고 언로딩부(38)는 일렬로 순차적으로 배치된다. 기판(20)은 로딩부(32)를 통해 장치(30)로 유입된 후 스크라이빙부(34)와 브레이킹부(36)를 순차적으로 거쳐 복수의 단위 기판(20a)들로 분리되고, 이후 언로딩부(38)를 통해 장치(30) 외부로 유출된다. 스크라이빙부(34)는 스크라이버(420)를 사용하여 기판(20)에 수직방향으로 크랙(crack)을 형성하고, 브레이킹부(36)는 브레이크 바(break bar; 미도시)를 사용하여 기판(20)에서 크랙이 형성된 부위에 힘을 가하여 단위 기판(20a)들을 기판(20)로부터 분리한다.
도 4는 본 발명에 따른 스크라이빙 장치를 개략적으로 보여주는 사시도이다.
도 4를 참조하면, 스크라이빙 장치는 테이블(table; 120), 제1이동유닛(first moving unit; 200), 제2이동유닛(second moving unit; 300), 스크라이빙 유닛(scribing unit; 400), 그리고 회전 유닛(rotating unit; 500)을 가진다. 스크라이빙 공정 진행시 기판(20)은 테이블(100) 상에 놓여진다.
테이블(100)은 평평하며 대체로 직사각의 상부면을 가진다. 테이블(100)의 상부면은 기판(20)과 유사하거나 이보다 큰 면적을 가진다. 테이블(100)의 상면에는 진공라인과 연결되는 복수의 홀들이 형성되어, 기판(20)은 진공압에 의해 테이블(100)에 고정된다. 또한, 테이블(100)에는 부가적으로 기판(20)을 테이블(100)에 고정시키는 클램프(미도시)가 설치될 수 있다.
스크라이빙 유닛(400)은 테이블(100) 상에 놓여진 기판(20)에 선을 그어 크랙을 형성한다. 도 5는 도 3의 스크라이빙 유닛의 사시도이다. 스크라이빙 유닛(400)은 스크라이버(scriber; 420), 몸체(supporter; 440), 그리고 누름 부재(pressuring member; 480)를 가진다. 스크라이빙 공정시 스크라이버(420)는 기판(20)과 직접 접촉된다. 스크라이버(420)로는 다이아몬드 재질의 휠(wheel)이 사용된다. 휠(420)의 중앙에는 원형의 관통홀(421)이 형성되며, 휠(420)의 에지는 날카롭게 제공된다. 스크라이빙 유닛(400)의 구조는 아래에서 상세히 설명한다.
누름 부재(480)는 휠(420)과 기판(20)이 접촉시 휠(420)이 일정 힘으로 기판(20)을 누를 수 있도록 휠(420)을 가압한다. 일 예에 의하면, 누름 부재(480)는 몸체(440)의 상부에 위치되어 공압을 이용하여 몸체(440)를 아래 방향으로 누름으로써 휠(420)을 가압한다. 누름 부재(480)는 몸체(440)와 결합되어 공압에 의해 상하로 이동되는 로드(미도시)를 가지는 구조로 제공될 수 있다. 선택적으로 누름 부재(480)는 공기가 직접적으로 몸체(440)를 가압하도록 하는 구조로 제공될 수 있다.
이때, 스크라이빙 유닛(400) 내부에는 진동자(미도시)가 구비될 수도 있다. 진동자는 스크라이빙 공정 진행시 휠(420)에 진동을 인가한다. 진동자는 몸체(440) 내부에 장착된다. 진동자로는 초음파 진동자(megasonic transducer)가 사용될 수 있다. 진동자는 상하 방향으로 휠(420)에 진동을 인가할 수 있다.
제1이동유닛(200)은 테이블(100)을 제1방향(22)으로 직선이동시킨다. 제1이동 유닛(200)은 제1가이드(220), 제1브라켓(240), 그리고 제1구동기(미도시)를 가진다. 제1가이드(220)는 제1방향(22)을 따라 길게 제공되며, 베이스(600) 상의 중앙에 장착된다. 제1가이드(220)는 길이 방향을 따라 동일한 폭을 가진다. 제1가이드(220)의 상면은 평평하게 제공되며, 제1가이드(220)의 양측면 각각에는 길이방향을 따라 길게 형성된 홈(222)이 형성된다.
테이블(100)은 제1브라켓(240)에 의해 제1가이드(220)에 결합된다. 제1브라켓(240)은 바닥판(242), 지지판(244), 그리고 결합판(246)을 가진다. 바닥판(242)은 평평한 직사각의 판 형상을 가진다. 바닥판(242)은 제1가이드(220) 상에 위치된다. 지지판(220)은 바닥판(242)에 수직하도록 바닥판(242)에 고정설치된다. 지지판(220)은 테이블(100) 아래에서 테이블(100)을 지지하도록 테이블(100)에 고정결합된다. 지지판(220)은 2개가 제공되며, 서로 나란하게 배치된다. 결합판(246)은 바닥판(242)의 저면과 수직하게 위치되어 바닥판(242)의 저면에 고정결합되는 측판(246a)과, 측판(246a)의 내측면 하단으로부터 측판(246a)과 수직하게 연장되어 제1가이드(220)의 측면에 형성된 홈(220)에 삽입되는 삽입판(246b)을 가진다. 결합판(246)은 서로 마주보도록 2개가 제공된다.
제1구동기는 테이블(100)이 직선이동되도록 구동력을 제공한다. 제1구동기로 모터와 스크류를 포함한 어셈블리가 사용될 수 있다. 선택적으로 제1구동기로 모 터, 벨트, 그리고 풀리를 포함한 어셈블리가 사용될 수 있다. 선택적으로 제1구동기로 직선형 전동기(linear motor)를 포함한 어셈블리가 사용될 수 있다. 상술한 다양한 어셈블리 등의 구체적인 구조는 업계에서 널리 알려져 있으므로 상세한 설명은 생략한다.
제2이동유닛(300)은 스크라이빙 유닛(400)을 제2방향(24)으로 직선이동시킨다. 제2방향(24)은 제1방향(22)과 수직한 방향이다. 제2이동유닛(300)은 수직 지지대들(320), 수평 지지대(340), 제2가이드(360), 제2브라켓(380), 그리고 제2구동기(미도시)를 가진다. 수직 지지대들(320)은 제2방향(24)으로 일정거리 이격되도록 베이스(600) 상에 고정 설치된다. 수직 지지대(320)들은 기판(20)이 제1방향(22)을 따라 이동시 기판(20)이 수직 지지대(320)들 사이를 지나갈 수 있도록 배치된다. 수평 지지대(340)는 수직 지지대(320)들의 상단에 고정설치된다. 수평 지지대(340)의 일측면에는 수평 지지대(340)의 길이 방향을 따라 제2가이드(360)가 제공된다. 제2가이드(360)의 상면 및 하면에는 그 길이방향을 따라 길게 홈이 제공된다. 제2가이드(360)는 수평 지지대(340)와 일체로 형성될 수 있다.
스크라이빙 유닛(400)은 제2브라켓(380)에 의해 수평 지지대(340)에 결합된다. 제2브라켓(380)은 지지판(382)과 결합판(384)을 가진다. 지지판(382)은 평평한 직사각의 판 형상을 가지며, 제2가이드(360) 상에 위치된다. 결합판(384)은 지지판(382)의 상측 및 하측으로부터 지지판(382)에 수직하게 돌출된 측판(384a)과 제2가이드(360)에 형성된 홈(362)에 삽입되는 삽입판(384b)를 가진다. 제2구동기는 스크라이빙 유닛(400)이 제2가이드(360)를 따라 직선 이동되도록 구동력을 제공한다. 제2구동기는 제1구동기와 유사한 구조로 제공될 수 있다.
스크라이빙 유닛(400)은 상하로 이동가능하도록 지지판(382)에 장착된다. 일 예에 의하면, 지지판(382)에는 제3방향(384)으로 슬릿 형상의 안내홈(386)이 형성되고, 스크라이빙 유닛(400)은 안내홈(386)에 삽입된 지지축(미도시)에 결합된다. 제3방향(384)은 제1방향(22) 및 제2방향(24)을 포함하는 평면과 수직한 방향이다. 도 4에서 제3방향(384)은 상하로 수직한 방향이다. 제3구동기(미도시)는 스크라이빙 유닛(400)을 직선이동시키도록 구동력을 제공한다. 제3구동기로는 모터 또는 실린더 등이 사용될 수 있다.
회전 유닛(500)은 기판(20)에 서로 직교하는 방향으로 크랙을 제공할 수 있도록 기판(20)을 회전시킨다. 회전 유닛(500)으로는 모터가 사용된다. 일 예에 의하면, 테이블(100)은 상부판(120)과 하부판(140)을 가진다. 하부판(140)은 상술한 제1브라켓(240)에 고정되며, 상부판(120)은 하부판(140)에 대해 수평면 상에서 회전가능하도록 하부판(140)에 결합된다. 상부판(120)의 저면에는 모터(500)와 연결된 회전축(500)이 고정설치된다.
다음에는 도 4의 스크라이빙 장치를 사용하여 기판(20)에 스크라이빙 공정을 수행하는 방법을 설명한다. 처음에 정렬이 이루어진 기판(20)이 테이블(100) 상에 놓여진다. 테이블(100)은 제1방향(22)으로 직선 이동된다. 테이블(100)이 기설정된 제1위치까지 이동되면 테이블(100)의 이동이 멈춘다. 이후, 스크라이빙 유닛(400)이 제2방향(24)으로 직선 이동된다. 스크라이빙 유닛(400)이 기설정된 위치까지 이동되면 스크라이빙 유닛(400)의 이동이 멈춘다. 이후, 스크라이빙 유닛(400)이 아 래 방향으로 이동되고, 휠(420)이 기판(20)에 접촉된다. 누름 부재(480)에 의해 휠(420)이 가압되어 휠(420)은 기판(20)을 누른다. 휠(420)이 기판(20)을 누르는 동안 휠(420)에 초음파 진동이 인가될 수도 있다. 테이블(100)이 제1방향(22)으로 제2위치까지 직선 이동되며, 휠(420)은 기판(20)을 누른 상태에서 축핀(444)을 기준으로 하여 회전된다. 기판(20)에는 일직선으로 크랙이 형성된다. 기판(20)의 일단에서 타단까지 크랙이 형성되면, 스크라이빙 유닛(400)은 위 방향으로 이동되고, 테이블(100)은 다시 제1위치로 이동된다. 스크라이빙 유닛(400)은 제2방향(24)을 따라 기설정된 거리만큼 직선 이동하고, 스크라이빙 유닛(400)은 아래 방향으로 이동된다. 테이블(100)이 제2위치로 이동되면서 기판(20)에 크랙이 형성된다. 이와 같은 과정은 반복한다. 이후, 테이블(100)이 90°회전되고, 상술한 과정을 반복한다.
상술한 예에서는 스크라이빙 공정 수행시 제1이동유닛(200)이 테이블(100)을 제1방향(22)으로 직선 이동하는 것으로 설명하였다. 그러나 이와 달리, 스크라이빙 공정 수행시 테이블(100)은 고정되고, 스크라이빙 유닛(400)이 제1방향(22)으로 직선 이동될 수 있다. 이 경우, 수직 지지대(362)들이 제1방향(22)으로 직선 이동될 수 있다.
또한, 상술한 예에서는 하나의 스크라이빙 유닛(400)이 수평 지지축에 결합되어 기판(20)이 제1위치에서 제2위치로 이동하는 중에만 스크라이빙이 이루어지는 것으로 설명하였다. 그러나 이와 달리, 수평 지지대(364)에는 2개의 스크라이빙 유닛(400)들이 설치될 수 있다. 이 경우, 기판(20)이 제1위치에서 제2위치로 이동하 는 중에는 제1스크라이빙 유닛에 의해 공정이 수행되고, 기판(20)이 제2위치에서 제1위치로 이동하는 중에는 제2스크라이빙 유닛에 의해 공정이 수행될 수 있다. 이와 같은 방법에 의해 스크라이빙 공정에 소요되는 시간을 단축할 수 있다.
또한, 상술한 예에서는 스크라이빙 장치가 기판(20)의 상면에 대해 스크라이빙 공정이 수행되는 구조를 가진 것으로 설명하였다. 기판(20)의 후면에 대해 스크라이빙 공정이 요구되는 경우, 스크라이빙 장치는 기판(20)의 상면과 하면을 반전시키는 유닛을 구비할 수 있다. 선택적으로 수직 지지대(362)에 2개의 수평 지지대(364)들을 장착하고, 상부에 위치된 수평 지지대(364)에는 기판(20)의 상면에 스크라이빙 공정을 수행하는 상부 스크라이빙 유닛을 장착하고, 하부에 위치된 수평 지지대(364)에는 기판(20)의 하면에 스크라이빙 공정을 수행하는 하부 스크라이빙 유닛을 장착할 수 있다.
또한, 상술한 예에서는 기판(20)을 지지하는 지지부재로서 기판(20)의 저면 전체를 지지하는 테이블(100)이 사용되는 것으로 설명하였다. 그러나 지지부재는 이와 달리 기판(20)의 양측 가장자리만을 지지하는 구조 등과 같이 다양한 구조가 사용될 수 있다.
이하, 본 발명에 따른 스크라이빙 유닛의 실시예에 대해 설명한다.
도 6은 본 발명의 제1실시예에 따른 스크라이빙 유닛의 분해사시도, 도 7은 본 발명의 제1실시예에 따른 부시의 정면도 및 배면도, 도 8은 본 발명의 제1실시예에 따른 휠의 정면도, 도 9는 본 발명의 제1실시예에 따른 스크라이빙 유닛의 단 면도이다.
도 6 내지 도 9를 참조하면, 본 발명의 제1실시예에 따른 스크라이빙 유닛(400)은 한 쌍의 부시(bush; 410), 휠(420) 및 몸체(440)를 포함한다.
부시(410)는 일면에 복수의 돌기(411)가 형성된다. 돌기들(411)은 대체로 환형의 링 형상을 이루도록 다수가 배치되며, 도면에는 4개의 돌기(411)가 환형으로 배치되어 있다. 부시(410)들의 중앙에는 관통홀(412)이 형성되며, 휠(420)의 중앙에도 관통홀(422)이 형성된다. 여기서, 부시(410)의 타면의 중앙에는 단면이 상기 지지부(441)를 향해 좁게 테이퍼진 접촉부(413)를 더 구비하여 지지부(441)와의 마찰을 줄이게 된다.
휠(420)은 돌기(411)에 대응된 위치에 홈(421)이 형성되어 부시(410)들 사이에 삽입되며, 대상물의 표면에 크랙을 생성한다.
몸체(441)는 부시(410)들 및 휠(420)이 안착되는 한 쌍의 지지부(441)를 구비한다. 지지부(441)에도 관통홀(412, 422)과 대응되는 위치에 지지홀(441a)이 형성된다. 그리고, 지지핀(430)은 관통홀(412, 422) 및 지지홀(441a)에 삽입되어 부시(410)들과 휠(420)을 지지하게 된다.
여기서, 부시(410)의 돌기(411)와 휠(420)의 홈(421)은 반구 형상일 수 있다. 이때, 돌기(411)의 반경은 홈(421)의 반경보다 더 큰 것이 바람직하다. 필요에 따라, 부시(410)의 돌기(411)와 휠(420)의 홈(421)의 형상은 다양하게 변경하여 적용이 가능하다.
휠(420)은 부시(410)에 의해 지지된다. 도 9은 휠(420)이 몸체(440)에 장착 되는 구조를 보여주는 단면도이다. 도 9를 참조하면, 지지핀(430)은 단면이 원형인 긴 로드(rod) 형상을 가진다. 지지핀(430)은 지지홀(441a) 내로 삽입되어, 부시(410)들의 관통홀(412)과 휠(420)의 관통홀(422)을 관통한다. 지지핀(430)의 양단은 지지부(441)에 고정설치된다. 휠(420)이 지지핀(430)에 의해 지지될 때, 휠(420)은 일부는 홈(442a) 내에 위치되고, 일부는 지지체(440)의 아래로 돌출되어 스크라이빙을 가능하게 한다.
제1실시예의 스크라이빙 휠(420)의 삽입방법은 다음과 같다.
휠(420)의 양측 홈(421)에 부시(410)의 돌기(411)를 맞댄 상태에서 지지부들(441) 사이에 삽입한다. 이때, 지지부(441)의 지지홀(441a)과 관통홀(412, 422)이 일치하도록 맞추고, 지지부(441)의 지지홀(441a)에 지지핀(430)을 삽입한다.
이렇게 휠(420)이 한 쌍의 부시(410)에 의해 휠의 좌우 위치가 고정되므로 지지핀(430)을 삽입할 때 유리하고, 휠(420)의 교체시간이 줄어든다. 또한, 설치후 스크라이빙할 때에도 양측 부시(410)의 돌기에 의한 탄력으로 휠(420)의 좌우측 기울어짐을 보강할 수 있다.
도 10은 본 발명의 제2실시예에 따른 부시의 사시도, 도 11은 본 발명의 제2실시예에 따른 스크라이빙 유닛의 단면도이다. 제1실시예에서는 지지핀(430)이 구비되지만, 제2실시예에서는 지지핀(430)이 필요 없는 차이점이 있다.
제2실시예의 몸체(440)는 부시(410)들 및 휠(420)이 안착되는 한 쌍의 지지부(441)를 구비한다.
또한, 제2실시예의 휠은 제1실시예의 휠(420)과 유사하다. 다만, 지지 핀(430)이 없는 구조이므로 제1실시예에서의 휠(420)에 형성된 관통홀(421)이 필요없는 차이점이 있다. 또한, 제2실시예의 부시(410')도 제1실시예의 부시(410)와 유사하다. 지지핀(430)이 없는 구조이므로 제1실시예에서의 부시(410)에 형성된 관통홀(421)이 필요없다.
반면, 도 10을 참조하면, 부시(410')의 타면의 중앙에는 지지돌기(414)가 형성된다. 지지돌기(414)는 외측에 단면이 상기 지지부(441)를 향해 좁게 테이퍼진 접촉부(415)를 더 구비할 수 있다. 또한, 도 11을 참조하면, 지지부(441)는 지지돌기(414)와 대응되는 위치에 지지홀(441b)이 형성된다. 지지홀(441b)은 지지돌기(414)에 대응되는 홈의 형상일 수도 있다.
제2실시예에서도 부시(410')의 돌기(411)와 휠(420)의 홈(421)은 반구 형상이 바람직하며, 돌기(411)의 반경은 홈(421)의 반경보다 더 큰 것이 바람직하다.
제2실시예의 스크라이빙 휠(420)의 삽입방법은 다음과 같다.
휠(420)의 양측 홈(421)에 부시(410)의 돌기(411)를 맞댄 상태에서 지지부들(441) 사이에 삽입한다. 이때, 지지부(441)의 지지홀(441a)과 관통홀(412, 422)이 일치하도록 맞추고, 지지부(441)의 지지홀(441b)에 부시(410')의 지지돌기(414)를 삽입한다.
이렇게 제2실시예에 따르면, 부시(410')의 돌기(411)와 휠(420)의 홈(421)의 탄력에 의해 부시들(410')을 지지부(441)의 지지홀(441b)로 삽입이 가능하므로 지지핀 없이도 휠(420)의 고정이 가능한 효과가 있다.
이상 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
도 1a는 종래의 스크라이빙 유닛의 부분단면도,
도 1b는 도 1에 도시된 휠의 정면도,
도 2는 복수의 단위 기판들이 형성된 기판의 예를 개략적으로 보여주는 사시도,
도 3은 본 발명에서 기판을 복수의 단위 기판들로 분리하는 장치를 개략적으로 보여주는 도면,
도 4는 본 발명에 따른 스크라이빙 장치를 개략적으로 보여주는 사시도,
도 5는 도 3의 스크라이빙 유닛의 사시도,
도 6은 본 발명의 제1실시예에 따른 스크라이빙 유닛의 분해사시도,
도 7은 본 발명의 제1실시예에 따른 부시의 정면도 및 배면도,
도 8은 본 발명의 제1실시예에 따른 휠의 정면도,
도 9는 본 발명의 제1실시예에 따른 스크라이빙 유닛의 단면도,
도 10은 본 발명의 제2실시예에 따른 부시의 사시도,
도 11은 본 발명의 제2실시예에 따른 스크라이빙 유닛의 단면도이다.
<도면의 간단한 설명>
20...기판 20a...단위 기판
100...테이블 200...제1이동유닛
300...제2이동유닛 400...스크라이빙 유닛
420...휠 440...몸체

Claims (14)

  1. 일면에 복수의 돌기가 형성된 한 쌍의 부시(bush);
    상기 돌기에 대응된 위치에 홈이 형성되어 상기 부시들 사이에 삽입되며, 대상물의 표면에 크랙을 생성하는 휠(wheel); 및
    상기 부시들 및 상기 휠이 안착되는 한 쌍의 지지부를 구비한 몸체를 포함하는 스크라이빙 유닛.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 부시들 및 상기 휠의 중앙에는 관통홀이 각각 형성되고, 상기 지지부는 상기 관통홀과 대응되는 위치에 지지홀이 형성되며,
    상기 관통홀 및 상기 지지홀에 삽입되어 상기 부시들과 상기 휠을 지지하는 지지핀을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 유닛.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 부시의 타면의 중앙에는 단면이 상기 지지부를 향해 좁게 테이퍼진 접촉부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 유닛.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 부시의 타면의 중앙에는 지지돌기가 형성되고, 상기 지지부는 상기 지 지돌기와 대응되는 위치에 지지홀이 형성된 것을 특징으로 하는 스크라이빙 유닛.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 지지돌기는 외측에 단면이 상기 지지부를 향해 좁게 테이퍼진 접촉부를 더 구비한 것을 특징으로 하는 스크라이빙 유닛.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 돌기 및 상기 홈은 반구 형상인 것을 특징으로 하는 스크라이빙 유닛.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 돌기의 반경은 상기 홈의 반경보다 더 큰 것을 특징으로 하는 스크라이빙 유닛.
  8. 복수의 단위기판들이 형성된 기판으로부터 상기 단위기판들을 분리하기 전에 스크라이빙 공정을 수행하는 장치에 있어서,
    기판이 놓여지는 지지부재;
    상기 지지부재에 놓여진 기판을 스크라이빙하는 스크라이빙 유닛;
    상기 스크라이빙 유닛과 상기 지지부재 중의 어느 하나를 제1방향으로 직선이동시키는 제1이동유닛; 및
    상기 스크라이빙 유닛과 상기 지지부재 중의 다른 하나를 상기 제1방향에 수직한 제2방향으로 직선이동시키는 제2이동유닛을 포함하되,
    상기 스크라이빙 유닛은
    일면에 복수의 돌기가 형성된 한 쌍의 부시;
    상기 돌기에 대응된 위치에 홈이 형성되어 상기 부시들 사이에 삽입되며, 대상물의 표면에 크랙을 생성하는 휠; 및
    상기 부시들 및 상기 휠이 안착되는 한 쌍의 지지부를 구비한 몸체를 포함하는 스크라이빙 장치.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 부시들 및 상기 휠의 중앙에는 관통홀이 각각 형성되고, 상기 지지부는 상기 관통홀과 대응되는 위치에 지지홀이 형성되며,
    상기 관통홀 및 상기 지지홀에 삽입되어 상기 부시들과 상기 휠을 지지하는 지지핀을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 부시의 타면의 중앙에는 단면이 상기 지지부를 향해 좁게 테이퍼진 접촉부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.
  11. 제 8항에 있어서,
    상기 부시의 타면의 중앙에는 지지돌기가 형성되고, 상기 지지부는 상기 지 지돌기와 대응되는 위치에 지지홀이 형성된 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.
  12. 제 11항에 있어서,
    상기 지지돌기는 외측에 단면이 상기 지지부를 향해 좁게 테이퍼진 접촉부를 더 구비한 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.
  13. 제 8항에 있어서,
    상기 돌기 및 상기 홈은 반구 형상인 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.
  14. 제 13항에 있어서,
    상기 돌기의 반경은 상기 홈의 반경보다 더 큰 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.
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