KR101197589B1 - 스크라이빙 유닛 및 스크라이빙 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기판을 절단하는 데 사용되는 스크라이빙 유닛에 관한 것으로, 본 발명은 원주 상에 홈들을 가지며, 기판에 접촉되어 상기 기판의 표면에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 휠; 상기 스크라이브 휠이 회전할 수 있는 공간을 제공하는 수용부가 하면에 일방향으로 형성되는 몸체를 갖는 지지체; 상기 지지체의 몸체에 설치되며, 상기 수용부 내에 위치하는 상기 스크라이브 휠로 압축 공기를 분사하는 에어노즐; 및 상기 지지체의 몸체에 설치되며, 상기 에어노즐로부터 분사되는 압축 공기에 의해 상기 스크라이브 휠로부터 비산되는 크랙 칩들을 강제 흡입하는 흡입기를 포함한다.

Description

스크라이빙 유닛 및 스크라이빙 방법{SCRIBING UNIT AND SCRIBING METHOD}

본 발명은 기판을 절단하는 데 사용되는 스크라이빙 유닛 및 방법에 관한 것이다.

일반적으로, 영상을 표시하기 위한 평판 표시 패널은 대형 패널, 즉, 모기판을 이용하여 한번에 다수매씩 제조된다. 구체적으로, 모기판은 서로 마주하는 상부 기판과 하부 기판을 구비하는 복층 구조의 기판 또는 단일층으로 이루어진 기판, 및, 단위 기판이 소형의 전자 장치에 이용되는 얇은 박판 등이 있다.

이와 같이, 대형 모기판을 이용하여 다수의 평판 표시 패널을 제조하기 위해서는 단위 기판으로 절단하는 과정이 필요하다. 일반적으로, 모기판을 절단하는 기판 절단 장치는 레이저 빔을 이용하거나 스크라이브 휠(scribe wheel)을 이용한다.

스크라이브 휠을 이용하는 기판 절단 장치는 스크라이브 휠 및 스크라이브 휠에 진동을 인가하는 스크라이버 헤드를 구비한다. 기판 절단 장치는 스크라이브 공정시, 스크라이브 휠이 모기판에 접촉된 상태에서 스크라이브 휠에 진동을 인가한다. 기판 절단 장치는 스크라이브 휠을 절단 예정선을 따라 이동시켜 모기판의 표면에 소정 깊이의 홈으로 이루어진 스크라이브 라인을 형성한다. 이어서 모기판에 물리적인 충격을 가하면, 모기판은 스크라이브 라인을 따라 크랙이 전파되어 단위 기판들로 분리된다.

그러나, 스크라이브 공정시 사용되는 스크라이브 휠은 고침투 목적으로 휠 외경에 치형(홈)들이 만들어져 있는데, 기판 커팅시 발생되는 크랙 칩(Chip)이 치형(홈)에 박히는 현상이 발생된다. 이러한 현상은 휠 회전력 저하 및 슬립을 유발시켜 커팅 깊이가 불균일해지는 문제점뿐만 아니라 휠 치형에 박힌 크랙 칩이 휠을 손상시키는 등의 문제점을 유발시킨다.

본 발명의 목적은 휠 치형(홈)에 들어간 크랙 칩(Chip)을 용이하게 배출할 수 있는 스크라이빙 유닛 및 방법을 제공하는 것이다.

또한, 본 발명의 다른 목적은 스크라이브 휠의 수명을 길게 할 수 있는 스크라이빙 유닛 및 스크라이빙 방법을 제공하는 것이다.

상술한 과제를 해결하기 위하여, 본 발명에 따른 스크라이빙 유닛은 기판에 접촉되어 상기 기판의 표면에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 휠; 상기 스크라이브 휠을 지지하는 지지체; 및 상기 스크라이브 휠이 상기 기판 표면에 스크라이브 라인을 형성하는 과정어에서 발생되는 크랙 칩을 제거하는 칩 제거 부재를 포함한다.

본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 스크라이빙 휠은 원주 상에 홈들이 형성된다.

본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 칩 제거 부재는 상기 스크라이브 휠의 홈들에 박혀 있는 크랙 칩을 향해 압축 공기를 분사하는 에어노즐 및 상기 에어노즐에 의해 상기 스크라이브 휠의 홈들로부터 떨어지는 크랙 칩들을 강제로 빨아들이는 흡입기를 포함한다.

본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 에어노즐은 상기 스크라이브 휠의 접선 방향으로 설치된다.

본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 흡입기는 상기 스크라이브 휠을 기준으로 상기 에어노즐과 대향되게 설치되며, 상기 흡입기는 깔때기 형상의 유입구를 갖는 포집부; 및 상기 포집부에 연결되는 셕션라인을 포함한다.

상기한 과제를 달성하기 위한 본 발명의 스크라이빙 유닛은 원주 상에 홈들을 가지며, 기판에 접촉되어 상기 기판의 표면에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 휠; 상기 스크라이브 휠이 회전할 수 있는 공간을 제공하는 수용부가 하면에 일방향으로 형성되는 몸체를 갖는 지지체; 상기 지지체의 몸체에 설치되며, 상기 수용부 내에 위치하는 상기 스크라이브 휠로 압축 공기를 분사하는 에어노즐; 및 상기 지지체의 몸체에 설치되며, 상기 에어노즐로부터 분사되는 압축 공기에 의해 상기 스크라이브 휠로부터 비산되는 크랙 칩들을 강제 흡입하는 흡입기를 포함한다.

본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 흡입기는 상기 수용부와 인접하게 위치되며, 상기 에어노즐은 압축공기가 토출되는 토출구가 상기 수용부 내에 위치된다.

상기한 과제를 달성하기 위한 본 발명의 스크라이빙 방법은 상기 모기판을 지지부재에 올려놓는 단계; 상기 지지부재에 놓여진 모기판에 스크라이빙 유닛을 이동시키면서 스크라이브 라인을 형성하는 단계를 포함하되; 상기 스크라이브 라인을 형성하는 단계는 상기 스크리이빙 유닛의 스크라이브 휠을 모기판에 접촉시키고, 상기 모기판과 상기 스크라이빙 유닛간에 상대 이동을 발생시켜 상기 모기판을 스크라이빙 하되, 상기 스크라이브 휠이 상기 기판 표면에 스크라이브 라인을 형성하는 과정에서 발생되는 크랙 칩을 제거하는 단계를 더 포함한다.

본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 크랙 칩을 제거하는 단계는 에어노즐을 통해 상기 스크라이브 휠에 압축공기를 분사하여 상기 스크라이브 휠에 붙어 있는 트랙 칩을 떼어낸다.

본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 크랙 칩을 제거하는 단계는 상기 압축공기에 의해 상기 스크라이브 휠로부터 떨어지는 크랙칩을 흡입기를 이용하여 강제 흡입한다.

본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 에어노즐은 상기 스크라이브 휠의 진행방향에서 압축 공기를 분사하며, 상기 흡입기는 상기 에어노즐과 대향되는 방향에서 크랙 칩을 흡입한다.

본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 압축공기는 상기 스크라이브 휠의 접선 방향으로 분사된다.

본 발명에 의하면, 스크라이브 휠의 홈들에 들어간 크랙 칩을 용이하게 제거할 수 있다.

또한, 본 발명에 의하면, 대형 패널을 복수의 단위 기판들로 분리시 컷팅 품질을 향상시킬 수 있다.

또한, 본 발명에 의하면, 스크라이브 휠의 수명을 길게 할 수 있다.

도 1은 모 기판의 일 예를 보여주는 도면이다.
도 2는 본 발명에 따른 기판 절단 장치의 구성을 개략적으로 보여주는 도면이다.
도 3은 도 2의 스크라이빙부에 제공되는 본 발명에 따른 스크라이빙 장치의 일 예를 보여주는 사시도이다.
도 4는 도 3의 " A " 부분의 확대도이다.
도 5는 스크라이빙 유닛의 요부 확대도이다.
도 6 및 도 7은 칩 제거 부재를 설명하기 위한 도면들이다.

이하에서는 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세하게 설명한다. 상술한 본 발명이 해결하고자 하는 과제, 과제 해결 수단, 및 효과는 첨부된 도면과 관련된 실시 예들을 통해서 용이하게 이해될 것이다. 각 도면은 명확한 설명을 위해 일부가 간략하거나 과장되게 표현되었다. 각 도면의 구성 요소들에 참조 번호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 동일한 부호를 가지도록 도시되었음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.

도 1은 모 기판의 일 예를 보여주는 도면이다.

도 1을 참조하면, 모 기판(1)은 박막 트랜지스터-액정 디스플레이(Thin Film Transistor - Liquid Crystal Display, TFT-LCD)용 패널일 수 있다. 모 기판(1)은 대체로 사각형의 판 형상을 가지는 제 1 모 기판(2)과 제 2 모 기판(3)으로 이루어진다. 제 1 모 기판(2)과 제 2 모 기판(3)은 상하로 적층된다. 제 1 및 제 2 모 기판(2,3)에는 복수 개의 단위 기판들(2a,3a)이 형성되고, 단위 기판들(2a,3a)은 제 1 및 제 2 모 기판(2,3)의 평면상에 격자 모양으로 배열될 수 있다. 제 1 모 기판(2)은 박막 트랜지스터 기판이 형성된 기판이고, 제 2 모 기판(3)은 컬러 필터 기판이 형성된 기판이다. 한편, 모 기판(1)은 평판 디스플레이용 패널의 일종인 유기 발광 다이오드(Organic Light Emitting Diodes, OLED) 디스플레이용 패널 등일 수 있다.

도 2는 본 발명에 따른 기판 절단 장치의 구성을 개략적으로 보여주는 도면이다. 도 2를 참조하면, 기판 절단 장치(1000)는 모 기판(도 1의 도면 참조 번호 1)을 복수 개의 단위 기판들로 절단하기 위한 것으로, 로딩부(1100), 스크라이빙부(1200), 브레이킹부(1300), 그리고 언로딩부(1400)를 포함한다. 로딩부(1100), 스크라이빙부(1200), 브레이킹부(1300), 그리고 언로딩부(1400)는 일렬로 순차적으로 배치될 수 있다. 모 기판(1)은 로딩부(1100)를 통해 기판 절단 장치(1000)로 유입되고, 스크라이빙부(1200)와 브레이킹부(1300)를 순차적으로 거쳐 복수 개의 단위 기판들로 분리되며, 이후 언로딩부(1400)를 통해 기판 절단 장치(1000)의 외부로 유출된다.

스크라이빙부(1200)는 후술할 스크라이빙 장치(10)를 이용하여 제 1 모 기판(2) 또는 제 2 모 기판(3)에 단위 기판들의 배열 방향을 따라 스크라이브 라인(Scribe Line)을 형성한다. 브레이킹부(1300)는 브레이크 바(Break Bar)(미도시)를 이용하여 모 기판(1)에 형성된 스크라이브 라인 부위에 힘을 가하여 모 기판(1)으로부터 단위 기판들을 절단한다. 한편, 스크라이빙부(1200)의 일 측에는 반전부(1500)가 배치될 수 있다. 반전부(1500)는 스크라이브 라인이 형성된 일면의 위치와 스크라이브 라인이 형성되지 않은 타 면의 위치를 서로 바꾸는 역할을 한다. 즉, 모 기판(1) 중 제 1 모 기판(2)에 먼저 스크라이브 라인을 형성한 경우, 제 2 모 기판(3)에 스크라이브 라인을 형성하기 위하여 제 1 모 기판(2)과 제 2 모 기판(3)의 위치를 서로 바꾸어 준다.

도 3은 도 2의 스크라이빙부에 제공되는 본 발명에 따른 스크라이빙 장치의 일 예를 보여주는 사시도이고, 도 4는 도 3의 " A " 부분의 확대도이다.

이하에서 제 1 방향(Ⅰ)은 후술할 지지 부재(100)의 직선 이동 방향이고, 제 2 방향(Ⅱ)은 스크라이빙 장치(10)의 평면 배치 구조상 제 1 방향(Ⅰ)에 수직한 방향이고, 제 3 방향(Ⅲ)은 제 1 방향(Ⅰ)과 제 2 방향(Ⅱ)에 수직한 방향이다. 제 1 방향(Ⅰ)과 제 2 방향(Ⅱ)은 모 기판(1)에 격자 모양으로 배열된 단위 기판들(2a,3a)의 배열 방향 중 어느 일 방향에 각각 대응된다.

도 3 및 도 4를 참조하면, 스크라이빙 장치(10)는 지지 부재(100), 스크라이빙 유닛(이하, '스크라이버'라고 함)(200), 제2이동 유닛(300)을 포함한다. 지지 부재(100)는 모 기판(1)을 지지한다. 지지 부재(100)는 모 기판(1)을 제 1 방향(Ⅰ)을 따라 직선 이동시킨다. 스크라이버(200)는 지지 부재(100)에 놓인 모 기판(1)에 접촉하여 모 기판(1)상에 스크라이브 라인을 형성한다. 제 2 이동 유닛(300)은 스크라이버(200)를 제 2 방향(Ⅱ)으로 이동시킨다.

제 1 방향(Ⅰ)의 스크라이빙 공정 진행시 스크라이버(200)는 고정되고, 모 기판(1)이 제 1 방향(Ⅰ)을 따라 직선 이동된다. 제 2 방향(Ⅱ)의 스크라이빙 공정 진행시 모 기판(1)은 고정되고, 스크라이버(200)가 제 2 방향(Ⅱ)을 따라 직선 이동된다.

지지 부재(100)는 테이블(120)과, 제 1 이동 유닛(140)을 포함한다. 테이블(120)에는 모 기판(1)이 놓인다. 제 1 이동 유닛(140)은 테이블(120)을 제 1 방향(Ⅰ)으로 직선 이동시킨다.

테이블(120)은 상부 판(122)과 하부 판(124)을 가진다. 상부 판(122)과 하부 판(124)은 평평하며 대체로 직사각형의 형상을 가지고, 상부 판(122)이 하부 판(124)의 상측에 위치한다. 상부 판(122)에는 모 기판(1)이 놓인다. 상부 판(122)은 모 기판(1)과 유사하거나 이보다 큰 면적을 가진다. 상부 판(124)의 상면에는 진공 라인(미도시)과 연결되는 복수의 홀들(미도시)이 형성되며, 모 기판(1)은 진공 압에 의해 상부 판(124)에 고정된다. 또한, 상부 판(122) 또는 하부 판(124)에는 부가적으로 모 기판(1)을 상부 판(122)에 고정시키는 클램프(미도시)가 설치될 수 있다.

제 1 이동유닛(140)은 테이블(120)을 제 1 방향(Ⅰ)으로 직선 이동시킨다. 제 1 이동유닛(140)은 가이드(142), 브라켓(144), 그리고 구동기(미도시)를 가진다. 가이드(142)는 제 1 방향(Ⅰ)을 따라 길게 제공되며, 베이스(B) 상의 중앙에 장착된다. 가이드(142)는 길이 방향을 따라 동일한 폭을 가진다. 가이드(142)의 상면은 평평하게 제공되며, 가이드(142)의 양 측면 각각에는 길이 방향을 따라 길게 형성된 홈(141)이 제공된다.

테이블(120)은 브라켓(144)에 의해 가이드(142)에 결합된다. 브라켓(144)은 바닥판(145), 지지판(147), 그리고 결합판(149)을 가진다. 바닥판(145)은 평평한 직사각의 판 형상을 가지며, 가이드(142) 상에 위치한다. 지지판(147)은 바닥판(145)의 상면에 수직하게 고정 설치되고, 테이블(120)을 지지하도록 테이블(120)의 하부 판(124)에 고정 결합된다. 지지판(147)은 2개가 제공되며, 바닥판(145) 상면의 양측에 나란하게 배치된다. 결합판(149)은 바닥판(145)의 저면에 수직하게 결합되는 측판(149a)과, 측판(149a)의 하단으로부터 내측으로 수직하게 연장되는 삽입판(149b)를 가진다. 삽입판(149b)은 가이드(142)의 측면에 형성된 홈(141)에 삽입된다. 결합판(149)은 서로 마주보도록 2개가 제공된다.

구동기는 테이블(120)이 가이드(142)에 의해 안내되어 제 2 방향(Ⅱ)으로 직선 이동되도록 구동력을 제공한다. 구동기로 모터와 스크류를 포함한 어셈블리가 사용될 수 있다. 선택적으로 모터, 벨트, 그리고 풀리의 조합으로 구성되는 어셈블리 또는 직선형 전동기(Linear Motor)를 포함한 어셈블리가 구동기로 사용될 수 있다. 상술한 다양한 어셈블리들의 구체적인 구성은 관련 기술 분야의 당업자에게 널리 알려져 있으므로 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.

제2이동 유닛(300)은 스크라이버(200)를 제 2 방향(Ⅱ)으로 직선 이동시킨다. 제2이동 유닛(300)은 수직 지지대들(310), 가이드 부재(320), 브라켓(330), 그리고 제 2 구동 부재(340)를 포함한다.

수직 지지대들(310)은 제 2 방향(Ⅱ)으로 일정 거리 이격되도록 배치된다. 수직 지지대(310)들은 모 기판(1)이 제 1 방향(Ⅰ)을 따라 직선 이동시 모 기판(1)이 수직 지지대(310)들 사이를 지나갈 수 있도록 배치된다. 가이드 부재(320)는 수직 지지대(310)들의 상단에 고정 설치된다. 가이드 부재(320)의 상면 및 하면에는 길이 방향을 따라 길게 홈(322)이 제공된다.

스크라이버(200)는 브라켓(330)에 의해 가이드 부재(320)에 결합된다. 브라켓(330)은, 도 4에 도시된 바와 같이, 지지판(332)과 결합판(334)을 가진다. 지지판(332)은 평평한 직사각의 판 형상을 가지며, 가이드 부재(320)의 일 측면 상에 위치한다. 결합판(334)은 지지판(332)의 상측 및 하측으로부터 지지판(332)에 수직하게 돌출된 측판(334a)과, 가이드 부재(320)에 형성된 홈(322)에 삽입되는 삽입판(334b)를 가진다.

제 2 구동 부재(340)는 브라켓(330)이 가이드 부재(320)를 따라 직선 이동되도록 구동력을 제공한다. 제 2 구동 부재(340)는 가이드 부재(320)와 평행을 이루도록 배치되는 리드 스크류(342)를 가진다. 리드 스크류(342) 상에는 브라켓(330)이 직선 이동 가능하게 장착된다. 리드 스크류(342)의 일단에는 회전력을 제공하는 구동기(343)가 연결된다. 구동기(343)로는 모터 등의 구동기가 사용될 수 있다. 제 2 구동 부재(340)로 모터와 리드 스크류를 포함하는 어셈블리를 예로 들어 설명하였으나, 이 밖에도 실린더 등과 같이 브라켓들(330)에 직선 구동력을 제공할 수 있는 다양한 구동기들이 사용될 수 있다. 스크라이버(200)는 브라켓(330)의 지지판(332)에 장착된다.

도 5는 도 4의 스크라이버의 요부 확대도이다.

도 5를 참조하면, 스크라이버(200)는 스크라이브 휠(210), 지지체(240), 진동자(260), 누름 부재(280) 그리고 칩 제거 부재(290)를 가진다.

스크라이빙 공정시 스크라이브 휠(210)은 모 기판(1)과 직접 접촉하는 에지가 날카롭게 제공되며, 그 에지에는 원주를 따라 치형(teeth)(이하 '홈'이라고 함)들(212)이 형성된다. 스크라이브 휠(210)의 중앙에는 원형의 통공이 형성된다.

스크라이브 휠(210)은 지지체(240)에 지지된다. 지지체(240)는 몸체(242)와 축핀(244)을 포함한다. 몸체(242)의 하면에는 제 2 방향(Ⅱ)으로 몸체(242)를 관통하는 수용부(243)가 형성된다. 수용부(243)는 스크라이브 휠(210)을 수용하며, 스크라이브 휠(210)이 회전할 수 있는 공간을 제공한다.

축핀(244)은 단면이 원형인 긴 로드 형상을 가진다. 축핀(244)은 수용부(243)의 길이 방향과 수직한 방향(제 1 방향)으로 수용부(243)내에 위치된다. 축핀(244)의 양단은 몸체(242)에 고정설치된다. 축핀(244)은 스크라이브 휠(210)에 형성된 통공을 관통한다. 스크라이브 휠(210)이 축핀(244)에 의해 지지될 때, 스크라이브 휠(210)은 일부는 수용부(243) 내에 위치하고, 일부는 지지체(240)의 아래로 돌출된다.

누름 부재(280)는 스크라이브 휠(100)과 모 기판(1)이 접촉시 스크라이브 휠(210)이 일정 힘으로 모 기판(1)을 누를 수 있도록 스크라이브 휠(210)을 가압한다. 일 예에 의하면, 누름 부재(280)는 지지체(240)의 상부에 위치되어 공압을 이용하여 지지체(240)를 아래 방향으로 누름으로써 스크라이브 휠(210)을 가압한다. 누름 부재(280)는 스크라이브 휠(210)의 몸체(242)와 결합되어 공압에 의해 상하로 이동되는 로드(도시되지 않음)를 가지는 구조로 제공될 수 있다. 선택적으로 누름 부재(280)는 공기가 직접적으로 스크라이브 휠(210)의 몸체(242)를 가압하도록 하는 구조로 제공될 수 있다.

진동자(260)는 스크라이빙공정 진행시 스크라이브 휠(210)에 진동을 인가한다. 진동자(260)는 몸체(242) 내부에 장착된다. 진동자(260)로는 초음파 진동자(megasonic transducer)가 사용될 수 있다. 진동자(260)는 상하 방향으로 스크라이브 휠(210)에 진동을 인가할 수 있다. 진동자(260)에 의하여 스크라이브 휠(210)의 수명이 길어진다.

도 6 및 도 7은 칩 제거 부재를 설명하기 위한 도면들이다.

도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 칩 제거 부재(290)는 에어노즐(292)과 흡입기(294)를 포함한다.

에어노즐(292)은 스크라이브 휠(210)의 홈(212)들에 박혀 있는 크랙 칩(C)을 향해 압축 공기를 분사하여 홈에 박혀 있는 크랙 칩 뿐만 아니라 휠 표면에 붙어 있는 크랙칩을 떼어내거나 비산시킨다. 에어노즐(292)은 스크라이브 휠(210)의 진행 방향을 향하도록 토출구가 수용부(243) 내에 위치되는 것이 바람직하며, 스크라이브 휠(210)의 상단에 접선 방향으로 압축공기를 분사한다. 즉, 에어노즐(292)로부터 분사되는 압축공기는 크랙 칩을 떼어내는 역할뿐만 아니라 스크라이브 휠(210)의 회전력을 향상시키는데에도 도움을 주게 된다.

흡입기(294)는 깔때기 형상의 유입구(297)를 갖는 포집부(296)와 포집부(296)에 연결되는 셕션라인(295)을 포함한다. 도면에 구체적으로 도시되지 않았지만, 흡입기(294)는 펌프와 같은 장치와 연결된다. 포집부(296)는 수용부(243)와 마주보는 위치에서 에어노즐(292)과는 대향되게 설치된다. 도 7에서와 같이, 포집부(296)는 수용부(243)를 모두 커버할 수 있는 크기의 유입구(297)를 갖음으로써 에어노즐(292)의 압축공기에 의해 비산되는 크랙 칩(C)들을 하나도 빠짐없이 빨아들일 수 있도록 하였다.

다음에는 도 3의 스크라이빙 장치를 사용하여 기판(20)에 스크라이빙 공정을 수행하는 방법을 설명한다.

처음에 정렬이 이루어진 모 기판(1)이 테이블(100) 상에 놓여진다. 테이블(100)은 제1방향(I)으로 직선 이동된다. 테이블(100)이 기설정된 제1위치까지 이동되면 테이블(100)의 이동이 멈춘다. 이후, 스크라이버(200)가 제2방향(Ⅱ)으로 직선 이동된다. 스크라이버(200)가 기설정된 위치까지 이동되면 스크라이버(200)의 이동이 멈춘다. 이후, 스크라이버(200)가 아래 방향으로 이동되고, 스크라이버 휠(210)이 모 기판(1)에 접촉된다. 누름 부재(280)에 의해 스크라이버 휠(210)이 가압되어 스크라이버 휠(210)은 모 기판(1)을 누른다. 스크라이버 휠(210)이 모 기판(1)을 누르는 동안 스크라이버 휠(210)에 초음파 진동이 인가될 수도 있다. ㅅ스ㅋ크라이버 10)은 모 기판(1)을 누른 상태에서 축핀(244)을 기준으로 하여 회전된다. 모 기판(1)에는 일직선으로 스크라이브 라인이 형성된다. 스크라이브 휠(210)이 기판 표면에 스크라이브 라인을 형성하는 과정에서 발생되는 크랙 칩(C)은 칩 제거 부재(290)에 의해 신속하게 제거된다. 즉, 에어노즐(292)이 스크라이브 휠(210)에 붙어 있는 크랙 칩(C)을 향해 압축공기를 분사하고, 압축공기에 의해 스크라이브 휠(210)로부터 비산되는 크랙 칩(C)은 포집부(296)의 유입구(297)를 통해 빨려들어가서 셕션라인(295)을 통해 배출된다.

상술한 예에서는 스크라이빙 공정 수행시 제1이동유닛(140)이 테이블(100)을 제1방향으로 직선 이동하는 것으로 설명하였다. 그러나 이와 달리, 스크라이빙 공정 수행시 테이블(100)은 고정되고, 스크라이버(200)가 제1방향으로 직선 이동될 수 있다. 이 경우, 수직 지지대(310)들이 제1방향으로 직선 이동될 수 있다.

또한, 상술한 예에서는 하나의 스크라이버(200)가 수평 지지축에 결합되어 모 기판(1)이 제1위치에서 제2위치로 이동하는 중에만 스크라이빙이 이루어지는 것으로 설명하였다. 그러나 이와 달리, 수평 지지대(364)에는 2개의 스크라이버(200)들이 설치될 수 있다. 이 경우, 모 기판(1)이 제1위치에서 제2위치로 이동하는 중에는 제1스크라이버에 의해 공정이 수행되고, 모 기판(1)이 제2위치에서 제1위치로 이동하는 중에는 제2스크라이버에 의해 공정이 수행될 수 있다. 이와 같은 방법에 의해 스크라이빙 공정에 소요되는 시간을 단축할 수 있다.

또한, 상술한 예에서는 모 기판(1)을 지지하는 지지부재로서 모 기판(1)의 저면 전체를 지지하는 테이블(100)이 사용되는 것으로 설명하였다. 그러나 지지부재는 이와 달리 모 기판(1)의 양측 가장자리만을 지지하는 구조 등과 같이 다양한 구조가 사용될 수 있다.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
100 : 지지부재
140 : 제1이동유닛
200 : 스크라이버
210 : 스크라이버 휠
290 : 칩 제거 부재
300 : 제2이동유닛

Claims (16)

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3. 스크라이빙 유닛에 있어서:
   기판에 접촉되어 상기 기판의 표면에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 휠;
   상기 스크라이브 휠을 지지하는 지지체; 및
   상기 스크라이브 휠이 상기 기판 표면에 스크라이브 라인을 형성하는 과정어에서 발생되는 크랙 칩을 제거하는 칩 제거 부재를 포함하되;
   상기 스크라이빙 휠은
   원주 상에 홈들이 형성되어 있고,
   상기 칩 제거 부재는
   상기 스크라이브 휠의 홈들에 박혀 있는 크랙 칩을 향해 압축 공기를 분사하는 에어노즐을 포함하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 유닛.
4. 스크라이빙 유닛에 있어서:
   기판에 접촉되어 상기 기판의 표면에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 휠;
   상기 스크라이브 휠을 지지하는 지지체; 및
   상기 스크라이브 휠이 상기 기판 표면에 스크라이브 라인을 형성하는 과정어에서 발생되는 크랙 칩을 제거하는 칩 제거 부재를 포함하되;
   상기 스크라이빙 휠은
   원주 상에 홈들이 형성되어 있고,
   상기 칩 제거 부재는
   상기 스크라이브 휠의 홈들에 박혀 있는 크랙 칩을 향해 압축 공기를 분사하는 에어노즐; 및
   상기 에어노즐에 의해 상기 스크라이브 휠의 홈들로부터 떨어지는 크랙 칩들을 강제로 빨아들이는 흡입기를 포함하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 유닛.
5. 제 3 항 또는 제 4 항에 있어서,
   상기 에어노즐은
   상기 스크라이브 휠의 접선 방향으로 설치되는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 유닛.
6. 제 4 항에 있어서,
   상기 흡입기는
   상기 스크라이브 휠을 기준으로 상기 에어노즐과 대향되게 설치되는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 유닛.
7. 제 4 항에 있어서,
   상기 흡입기는
   깔때기 형상의 유입구를 갖는 포집부; 및
   상기 포집부에 연결되는 셕션라인을 포함하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 유닛.
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