CN209872224U - 用于基板传送系统的提升机构及基板传送系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及提升机械技术领域，尤其涉及一种用于基板传送系统的提升机构。所述提升机构包括：至少一对链轮组件，每一对链轮组件中的两个分别设置在支撑架的两侧；所述支撑架用于固定待提升的基板；所述链轮组件包括第一滚轮、第二滚轮和绕设在所述第一滚轮和第二滚轮上的链条；所述第一滚轮设置于基板提升的起始位置的下方，所述第二滚轮设置于基板提升的目标位置的上方，所述链轮组件的链条均与所述支撑架连接；驱动组件，与所述第一滚轮或第二滚轮连接，用于驱动所述第一滚轮或第二滚轮转动，以通过所述链条带动所述支撑架上升或下降。本实用新型解决了现有技术中提升机构易损坏，使用寿命短的问题。

Description

用于基板传送系统的提升机构及基板传送系统

技术领域

本实用新型涉及提升机械技术领域，具体涉及用于基板传送系统的提升机构及基板传送系统。

背景技术

磁控溅射设备的工作原理是采用高能量粒子轰击靶材表面，使靶材发生溅射，溅射飞散的材料粒子附着于基板上制成薄膜。其中，基板例如可以是大尺寸的玻璃。

在现有的磁控溅射设备中，基板传送系统包括基板装载机构和提升机构。其中，基板装载机构用于固定基板，提升机构用于提升基板以及固定基板的基板装载机构。装载基板后，基板装载机构总的重量比较大，例如约为100kg。已有提升机构通常利用滚珠丝杠驱动基板装载机构上下运动。当使用一根滚珠丝杠时，滚珠丝杠一般需要设置于整个装置的中部，但这样不利于基板装载机构进出腔室；而且滚珠丝杠中的滚珠承受的压力过大，可能会出现破碎现象。当使用两根以上的滚珠丝杠，例如两根滚珠丝杠时，则由于两根滚珠丝杠对应的马达存在微小的异步，这会导致套设在一根或两根滚珠丝杠端部的轴套偏斜，导致滚珠丝杠的表面出现褶皱，滚珠丝杠的表面褶皱会强烈地挤压滚珠，最终可能会导致滚珠碎裂，提升机构停止运转；当滚珠丝杠为多根时，更容易出现马达不同步的现象。

实用新型内容

因此，本实用新型要解决的技术问题在于提供一种不易损坏，且可以长时间使用的用于基板传送系统的提升机构及具有其的基板传送系统，从而克服现有技术中基板传送系统的提升机构易损坏，使用寿命短的缺陷。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了用于基板传送系统的提升机构，包括：

至少一对链轮组件，每一对链轮组件中的两个分别设置在支撑架的两侧；所述支撑架用于固定承载待提升的基板装载器，所述基板装载器用于装载基板；所述链轮组件包括第一滚轮、第二滚轮和绕设在所述第一滚轮和第二滚轮上的链条；所述第一滚轮设置于提升的起始位置的下方，所述第二滚轮设置于提升的目标位置的上方，所述链轮组件的链条均与所述支撑架连接；

驱动组件，与所述第一滚轮或第二滚轮连接，用于驱动所述第一滚轮或第二滚轮转动，以通过所述链条带动所述支撑架上升或下降。

可选的，所述链条均与所述支撑架相对的两端可拆卸连接。

可选的，所述支撑架相对的两端均设置有安装部，所述链轮组件的链条上设置有与所述安装部适配的固定组件。

可选的，所述链条上设置有圆环，所述支撑架的安装部设置有相适配的挂钩；或者，所述支撑架的安装部设置有圆环或安装孔，所述链条上设置有相适配的挂钩。

可选的，还包括用于固定所述第二滚轮的悬挂组件；所述悬挂组件包括连杆和设于所述连杆两端的两个悬吊件，一对链轮组件中的两个第二滚轮分别安装在两个所述悬吊件上。

可选的，所述驱动组件与所述第一滚轮连接。

可选的，所述驱动组件包括马达。

可选的，所述的提升机构包括水平传送模块和基板装载模块；

所述基板装载模块用于在所述提升机构将所述基板装载器提升到所述目标位置后，将基板装载到所述基板装载器；

所述水平传送模块设置在提升的所述目标位置，用于在所述基板装载器装载基板后，将装载有基板的所述基板装载器向下一工序传送。

可选的，一对链轮组件中的两个设置在关于所述支撑架对称的位置。

可选的，还包括与所述驱动组件连接的控制器，所述控制器用于控制所述驱动组件：将装载有所述基板装载器的所述支撑架从起始位置提升至目标位置，并在所述基板装载器装载上基板，并通过传送线传送走之后，将所述支撑架从所述目标位置下降至所述起始位置；所述传送线设置在提升的所述目标位置。

本实用新型还提供一种基板传送系统，包括所述的用于基板传送系统的提升机构。

本实用新型技术方案，具有如下优点：

1.本实用新型提供的用于基板传送系统的提升机构，将基板置于支撑架上，由于一对链轮组件的链条分别与支撑架的两侧连接，因此在驱动组件的作用下，滚轮转动，并带动链条做升降运动，从而将基板提升至预定位置。该结构承载能力较大，能够提升质量较大的基板，并且与背景技术中的包括丝杆的提升装置相比，使用寿命长，不易损坏。

2.进一步地，本实用新型提供的用于基板传送系统的提升机构，所述链条均与所述支撑架相对的两端可拆卸连接。链条与支撑架之间连接简单、可重复使用、并且通用性好，且保证了连接的可靠性。

3.进一步地，本实用新型提供的用于基板传送系统的提升机构，采用悬吊组件同时连接支撑架两侧设置的链轮组件，保证了链轮组件运动的同步性，从而增强了提升过程中的稳定性，使得运动更加的平稳、安全。

4.本实用新型提供的基板传送系统，由于包括了上述的用于基板传送系统的提升机构，并且由于该提升机构具有较长的使用寿命，因此整个传送系统的工作效率提高。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型提供的用于基板传送系统的提升机构的主视图；

图2为图1的俯视图；

图3为图1的左视图；

附图标记说明：

1-支撑架；11-第一架体；12-第二架体；13-支撑杆；

2-第二滚轮；3-链条；4-马达；5-连杆；6-悬吊件；

8-第一滚轮；

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

此外，下面所描述的本实用新型不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

如图1-3所示提升机构的一种具体实施方式，包括：支撑架1，用于承载待提升物；一对链轮组件，分别对称设置在所述支撑架1的两侧，每组链轮组件包括第一滚轮8，第二滚轮2，和绕设在所述第一滚轮8和第二滚轮2上的链条3；所述第一滚轮8设置于提升的起始位置的下方，所述第二滚轮2设置于提升的目标位置的上方，每组链轮组件的所述链条3均与所述支撑架1连接；驱动组件(图中未示出)，与所述第一滚轮8或第二滚轮2连接，用于驱动所述第一滚轮8或第二滚轮2转动，以带动所述链条3做升降运动。

在一些实施例中，所述支撑架1用于提升基板装载器(Carrier，又称定制基片装载架),Carrier类似于一个盒子，其内部可装载基板。为便于理解，下面结合实际应用进行说明。

在一些实施例中，提升机构设置于成膜设备的上料装置中，支撑架提升的是Carrier。提升机构先将Carrier从较低的初始位置提升至传送平面，然后将基板载入Carrier，基板和Carrie一起水平传送至成膜设备的腔体中；提升机构将支撑架下降至初始位置。完成镀膜工艺后基板和Carrier流出腔体，基板和Carrier分离，基板沿自动传送的流水线进入下道工序，然后Carrier下降，沿底部回传通道传送至位于提升的初始位置，此时支撑架1已下降到初始位置等待，因此Carrier会直接传送至初始位置的支撑架1上。如此，开始下一循环。下面对提升机构进行说明。附图1中，驱动组件与位于低处的所述第一滚轮8连接，这时驱动组件可固定在地面。

支撑架1的顶部为用于承载基板装载器的平面。在支撑架1上放置基板装载器后，由于支撑架1与链条3连接，驱动组件的输出端与第一滚轮8连接，因此可通过驱动组件驱动第一滚轮8做旋转运动，第一滚轮8带动链条3转动，进而带动支撑架1向上运动，直至将基板装载器提升至目标位置。

链条3的长度一般要大于2倍的提升高度，以保证链条3与支撑架1的连接处不影响第一滚轮8和第二滚轮2的转动，保证支撑架1上升和下降运动的顺利进行。

所述链条3均与所述支撑架1相对的两端可拆卸连接。链条3与支撑架1 之间采用可拆卸连接，例如挂接、卡扣连接等，此连接方式连接简单、可重复使用，并且具有较好的通用性。

所述支撑架1相对的两端均设置有安装部，所述链轮组件的链条3上设置有与所述安装部适配的固定组件。作为一种实施方式，在链条3上设有圆环，所述支撑架1的安装部设置有相适配的挂钩。圆环与挂钩连接，进而使链条3 可带动支撑架1向上或向下运动。

作为一种替换的实施方式，在所述支撑架1的安装部设置有圆环或安装孔，所述链条3上设置有相适配的挂钩。链条3上的挂钩，挂接在支撑架1的圆环或安装孔上，进而使链条3可带动支撑架1或向下向上运动。

还包括用于固定所述第二滚轮2的悬挂组件，所述悬挂组件包括连杆5和设于所述连杆5两端的两个悬吊件6，一对链轮组件中的两个第二滚轮2分别安装在两个所述悬吊件6上。悬吊件6为U字型构件，U字型构件的两个支臂固定在连杆5上，U字型构件中部穿过第二滚轮2的轴心，第二滚轮2在驱动组件的作用下绕U字型构件的中部转动。连杆5保持水平，使得与连杆5两端相连接的链条3可以同步转动，从而使得支撑架1保持水平上升，避免在上升的过程中发生倾斜。

在一些实施例中，所述驱动组件与所述第一滚轮8连接。第一滚轮8位置的较低，便于固定驱动组件。

在一些实施例中，所述驱动组件为马达4。

在一些实施例中，马达为两个，两个马达分别与一对链轮组件中设置在下方的两个第一滚轮8相连，连杆5两端设置的悬吊件6分别与一对链轮组件中设置在上方的两个第二滚轮2相连，两个马达驱动两个位于下方的第一滚轮8 同步转动。马达4可以直接设置在地面上，从而驱动链条3，链条3带动上方的第二滚轮2做旋转运动，从而带动支撑件1做升降运动。当然，马达4也可以与位于上方的两个第二滚轮2连接，并驱动两个第二滚轮2同步转动(应该是第一滚轮8)。

在一些实施例中，采用一个马达同时驱动一对链轮组件。例如，采用一个马达同时驱动一对链轮组件中设置在下方的两个第一滚轮8。

在一些实施例中，所述支撑架1包括水平设置的第一架体11和与所述第一架体11垂直设置的第二架体12。第一架体11和第二架体12可以焊接固定，也可以通过紧固件，如螺栓等可拆卸连接。所述第一架体11为长方形框架，在所述第一架体11内间隔设有若干平行排布的支撑杆13，支撑杆13的排布方向平行于连杆5的轴向，一对所述链轮组件分设在所述第一架体11的长边的中间位置。

作为一种具体的实施方式，所述第二支架为12设于所述第一架体11的边角处的四根滑杆。滑杆起到了支撑第一支架11的作用，操作人员不需要弯腰，就可以将支撑架1挂接在链条组件上；同时滑杆无动作，保证了升降机构的稳定性。

在一些实施例中，一对链轮组件中的两个设置在关于所述支撑架1的对称位置，以保证提升的平稳性。作为替代的实施方式，也可以为两对链轮组件关于支撑架1对称设置，例如四个链轮组件分别位于支撑架1的四个边角处。

在一些实施例中，所述提升机构还包括与所述驱动组件连接的控制器，所述控制器用于控制所述驱动组件，将装载有所述基板装载器的所述支撑架1从起始位置提升至目标位置，在卸载完所述基板装载器后，再将所述支撑架1从所述目标位置下降至所述起始位置。所述提升机构通过控制器，可以实现适合流水线的自动提升作业。

在一些实施例中，所述提升机构还可包括水平传送模块和基板装载模块；所述基板装载模块用于在所述提升机构将所述基板装载器提升到所述目标位置后，将基板装载到所述基板装载器；所述水平传送模块设置在提升的所述目标位置，用于在所述基板装载器装载上基板后，将装载有基板的所述基板装载器向下一工序传送。

本实用新型还提供可一种基板传送系统，包括所述的用于基板传送系统的提升机构。

在一些实施例中，所述基板传送系统包括成膜设备的上料装置，所述上料装置包括上述的提升机构。

另外，提升机构还可自带水平传送模块，所述基板传送系统也可另外设置水平传送机构(不包括在提升机构内)，例如传送线。

用于基板传送系统的提升机构的工作过程如下：首先将基板装载器放置在支撑架1上，然后将支撑架1两侧的挂钩挂接在链条3的圆环上，检测到支撑架1上已存在基板装载器后，控制器控制马达4驱动位于下方的两个第一滚轮 8同步转动，通过链条3带动支撑架1向上运动，将基板装载器提升至传送平面；然后装载基板，使用水平传送机构将基板装载器移动送入腔室镀膜，支撑架1下降至初始位置等待；完成镀膜工艺后基板和基板装载器流出腔体，基板和基板装载器分离，基板沿自动传送的流水线进入下道工序，然后基板装载器下降，沿底部回传通道传送至位于提升的初始位置的支撑架1上，此时支撑架 1已下降到初始位置等待。如此，开始下一循环。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型的保护范围之中。

Claims (10)

1.一种用于基板传送系统的提升机构，其特征在于，包括：

至少一对链轮组件，每一对链轮组件中的两个分别设置在支撑架(1)的两侧；所述支撑架(1)用于承载待提升的基板装载器，所述基板装载器用于装载基板，所述链轮组件包括第一滚轮(8)、第二滚轮(2)和绕设在所述第一滚轮(8)和第二滚轮(2)上的链条(3)；所述第一滚轮(8)设置于提升的起始位置的下方，所述第二滚轮(2)设置于提升的目标位置的上方，所述链轮组件的链条(3)均与所述支撑架(1)连接；

驱动组件，与所述第一滚轮(8)或第二滚轮(2)连接，用于驱动所述第一滚轮(8)或第二滚轮(2)转动，以通过所述链条(3)带动所述支撑架(1)上升或下降。

2.根据权利要求1所述的提升机构，其特征在于，所述链条(3)均与所述支撑架(1)相对的两端可拆卸连接。

3.根据权利要求1或2所述的提升机构，其特征在于，所述支撑架(1)相对的两端均设置有安装部，所述链轮组件的链条(3)上设置有与所述安装部适配的固定组件。

4.根据权利要求3所述的提升机构，其特征在于，所述链条(3)上设置有圆环，所述支撑架(1)的安装部设置有相适配的挂钩；或者，

所述支撑架(1)的安装部设置有圆环或安装孔，所述链条(3)上设置有相适配的挂钩。

5.根据权利要求1所述的提升机构，其特征在于，还包括用于固定所述第二滚轮(2)的悬挂组件；

所述悬挂组件包括连杆(5)和设于所述连杆(5)两端的两个悬吊件(6)，一对链轮组件中的两个第二滚轮(2)分别安装在两个所述悬吊件(6)上。

6.根据权利要求1所述的提升机构，其特征在于，所述驱动组件与所述第一滚轮(8)连接。

7.根据权利要求1所述的提升机构，其特征在于，还包括水平传送模块和基板装载模块；

所述基板装载模块用于在所述提升机构将所述基板装载器提升到所述目标位置后，将基板装载到所述基板装载器；

所述水平传送模块设置在提升的所述目标位置，用于在所述基板装载器装载基板后，将装载有基板的所述基板装载器向下一工序传送。

8.根据权利要求1所述的提升机构，其特征在于，一对链轮组件中的两个分别设置在关于所述支撑架(1)对称的位置。

9.根据权利要求1所述的提升机构，其特征在于，还包括与所述驱动组件连接的控制器，所述控制器用于控制所述驱动组件：

将装载有所述基板装载器的所述支撑架(1)从起始位置提升至目标位置，并在所述基板装载器装载上基板，通过传送线传送走之后，将所述支撑架(1)从所述目标位置下降至所述起始位置；所述传送线设置在提升的所述目标位置。

10.一种基板传送系统，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的用于基板传送系统的提升机构。