CN1796132A - 喷墨头的制造方法 - Google Patents

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Abstract

提供一种制造方法，在将喷嘴板接合于第二歧管板上而制造喷墨头的方法中，可以使形成于第二歧管板上的墨水流路孔的位置和形成于喷嘴板上的喷嘴的位置不错开。将没有形成喷嘴的喷嘴板层压接合于具有墨水流路孔的第二歧管板上。在将喷嘴板接合于第二歧管板上后，在喷嘴板上形成喷嘴。其后，在喷嘴板的喷墨面上形成防浸润膜。进而，将空腔板等层压接合于第二歧管板上，将致动器单元接合于空腔板的表面上。

Description

喷墨头的制造方法
本发明主张2004年12月27日提出的日本特愿2004-376220号申请的优先权，本发明在此基础上提出申请。
技术领域
本发明涉及一种喷墨头的制造方法。
背景技术
在形成有墨水流路孔的板上接合形成有喷嘴的喷嘴板，从而制造喷墨头的方法是公知的。
在特开2003-205610号公报中，记载有使用该方法制造的喷墨头。该喷墨头，在形成有墨水流路孔的板上，层压接合形成有喷嘴的喷嘴板，使各喷嘴与各墨水流路孔连通。墨水流路孔贯穿形成有墨水流路孔的板。形成有墨水流路孔的板与形成有喷嘴的喷嘴板通过粘接剂而接合。
在上述的方法中，需要使形成有墨水流路孔的板和形成有喷嘴的喷嘴板正确地对位而层压。一个一个的墨水流路孔和喷嘴都很微细，因而很难使两板正确地对位。
而且，在使形成有墨水流路孔的板和形成有喷嘴的喷嘴板通过粘接剂接合的方法中，粘接剂可能会流入墨水流路孔或者喷嘴内。如果粘接剂流入喷嘴内，则喷嘴的直径变化，打印质量下降。也有喷嘴因粘接剂而堵塞的情况。如果粘接剂流入墨水流路孔内，则墨水流路孔内的墨水的流动变差。
在特开平11-179900号公报中，公开了如下的技术：使形成有墨水流路孔的金属制板和形成有喷嘴的金属制喷嘴板层压，将层压体收容在真空室中，通过在层压方向上对高温状态的层压体加压，使形成有墨水流路孔的金属制板和形成有喷嘴的金属制喷嘴板扩散接合。根据该制造方法，可以消除粘接剂流入喷嘴内或者墨水流路孔内的问题。
然而，在特开平11-179900号公报中记载的喷墨头的制造方法中，仍然需要对形成有墨水流路孔的板和形成有喷嘴的喷嘴板进行正确的对位。如今，一个一个的墨水流路孔和喷嘴越来越变得微细化，难以对两板进行正确的对位。
发明内容
本发明的目的在于提供一种技术，对形成墨水流路孔的板(以下有时称为第一板)和形成喷嘴的喷嘴板(以下有时称为第二板)进行接合时，不需要对第一板和第二板进行精确的对位。并且其目的在于提供一种喷墨头的制造方法，即使不对第一板和第二板进行对位，也可以实现使各喷嘴与各墨水流路孔连通的关系。
本发明的喷墨头的制造方法，具有以下的步骤：将贯穿有墨水流路孔的第一板的一个表面接合于第二板的一个表面的步骤；和形成贯穿第二板的贯通孔的步骤。在接合第一板和第二板的步骤之后进行形成贯通孔的步骤。该贯通孔形成如下：该贯通孔在第一板和第二板的接合面上与墨水流路孔连通，并在与上述接合面相反的喷墨面上开口。通常，在第二板上形成有多个通孔，并且每个通孔与唯一的墨水流路孔相对应。
根据上述方法，通过在第二板上形成贯通孔而形成喷嘴。在上述方法中，在形成喷嘴前对第一板和第二板进行接合。由于在没有将喷嘴形成于第二板的阶段接合于第一板，因而在将第二板接合第一板时不需要进行两者的对位。
在上述方法中，在对第一板和第二板进行接合后，在第二板上形成喷嘴。在喷嘴形成步骤中，可以确认第一板所具有的墨水流路孔的位置而在第二板上形成喷嘴。可以容易地在与第一板的墨水流路孔的位置一致的第二板上的位置形成喷嘴。
优选的是，贯通孔形成步骤包括以下的步骤：通过墨水流路孔将冲头打入第二板，从而在喷墨面上形成突出部的步骤；和除去形成于喷墨面上的突出部的步骤。打入冲头直至冲头的前端前进超出喷墨面，并在打穿(穿破)第二板之前停止。从而在第二板上形成突出部，进而通过除去突出部而形成贯通孔。
通过第一板的墨水流路孔而打入冲头，从而可以在与第一板的墨水流路孔的位置一致的第二板上的位置形成喷嘴。而且，由于通过打入冲头而形成喷嘴，因而可以形成内表面光滑的喷嘴。可以精度良好地形成喷嘴的内径。
打入冲头直至其前端超出喷墨面。然而在冲头的前端贯穿第二板，在第二板上形成贯通孔之前停止冲头的打入。由于直至冲头的前端超出喷墨面而打入，因而除去突出部就可以在第二板的喷墨面上形成喷嘴的开口部，由于冲头的前端没有贯穿第二板，因而喷嘴的内表面呈光滑的状态。如果冲头贯穿第二板，则在由冲头形成的开口部的周围可能形成锯齿纹(jaggies)。如果在开口部的周围形成锯齿纹(jaggies)，则即使例如使第二板的喷墨面平坦化，开口部的内侧也可能残留锯齿纹。通过使冲头的前端不贯穿第二板而打入冲头，并除去由此形成的突出部，可以形成直至开口部都很光滑的喷嘴。
优选的是，通过在比室温高的规定温度下对第一板和第二板的层压体沿其厚度方向进行加压，而接合第一板和第二板。所谓室温可以为典型的25摄氏度。
根据上述的接合方法，对第一板和第二板进行接合不需要使用粘接剂。因此，不会有像特开2003-205610号公报所公开的喷墨头那样的粘接剂侵入第一板的墨水流路孔内的情况。
优选的是，在喷墨面上涂覆防浸润膜。在形成贯通孔后涂覆该防浸润膜。
通过在喷墨面上形成防浸润膜，可以防止从喷嘴喷出的墨水附着在喷墨面上。如果使用粘接剂对第一板和第二板进行粘接，则在形成防浸润膜时需要进行热处理的情况下，可能会因防浸润膜的热处理而使粘接剂劣化。在本发明中，通过在规定的温度下进行加压而接合第一板和第二板。不使用粘接剂而对第一板和第二板进行结合。因此，不会产生防浸润膜形成时的热处理使粘接剂劣化的问题。而且，由于在接合第一板和第二板后，在第二板上形成防浸润膜，因而不会因第一板和第二板接合时的热而破坏防浸润膜。
根据本发明，防浸润膜由最高耐热温度比规定温度低的材料涂覆形成。
在这种情况下，也在接合第一板和第二板后，在第二板上形成防浸润膜。因此，即使将第一板和第二板加热至规定的温度而进行接合，也不会有接合时的规定温度对防浸润膜的形成产生影响的情况。即使使用最高耐热温度低于规定温度的材料形成防浸润膜，也不会因板接合时的规定温度而破坏防浸润膜。
附图说明
图1是表示实施例的喷墨头的分解透视图。
图2是表示实施例的喷墨头的流路单元的分解透视图。
图3是表示图2的流路单元的局部放大图。
图4是表示实施例的喷嘴板的喷墨面的局部俯视图。
图5是表示实施例的喷墨头的致动器单元的局部分解透视图。
图6表示与图1的VI-VI线对应的喷墨头的截面图。
图7表示实施例的喷墨头的制造方法的流程图。
图8(a)～(c)表示喷嘴形成工序。图8(a)表示将喷嘴板9的表面接合于第二歧管板7的表面的工序。图8(b)表示通过第二歧管板7的第二墨水流路孔12c将冲头45打入喷嘴板9中的工序。图8(c)表示除去形成于喷墨面9b上的突出部的工序。
图9(a)～(e)表示防浸润膜的形成工序。图9(a)表示在喷墨面9b上涂布光硬化性树脂50的工序。图9(b)表示使喷嘴10内的光硬化性树脂50硬化的工序。图9(c)表示除去喷墨面9b上光硬化性树脂50中柱状硬化部51以外的部分的工序。图9(d)表示在喷墨面9b上形成防浸润膜92的工序。图9(e)表示除去柱状硬化部51的工序。
具体实施方式
参照附图对本发明的优选实施例进行说明。
图1是本实施例的喷墨头101的分解透视图。图1中的双点划线表示的区域是配置致动器单元(actuator unit)2的区域。喷墨头101适用于向被打印介质上喷出墨水以描绘文字、图形等图像的喷墨打印机。
如图1所示，在喷墨头101中，层压流路单元1和致动器单元2。在图1中致动器单元2的下面接合流路单元1。在流路单元1的上部设置多个压力室11。对压力室11在后进行说明。
在图1中致动器单元2的上面接合有柔性扁平电缆(Flexible FlatCable)40，柔性扁平电缆40是用于对致动器单元2和喷墨打印机所具有的控制装置进行电连接的电缆。在致动器单元2的上面设有连接端子26、27。对连接端子26、27在后说明。
接着参照图2、图3、图4以及图6对流路单元1进行说明。图2是流路单元1的分解透视图。图3是图2的局部放大图。图4是喷嘴板9的喷墨面9b的局部俯视图。图6是与图1所示的VI-VI线对应的喷墨头101的剖视图。流路单元1如后详述，在其内部具有歧管(manifold)18(参照图6)。从未图示的墨盒(ink tank)向歧管18供给墨水。
流路单元1具有多个墨水流路19，各墨水流路19从歧管18延伸至各喷嘴10(参照图6)。如图2和图3所示，流路单元1具有空腔板(cavity plate)3、基板(base plate)4、第一歧管板(manifold plate)6、第二歧管板7以及喷嘴板(nozzle plate)9。这些板3、4、6、7、9层压在一起。各板3、4、6、7、9形成为厚度50μm～150μm的大致矩形状。在本实施例中，板3、4、6、7使用42％的镍合金钢板，喷嘴板9使用SUS430。
在空腔板3的短边方向的中央，形成多个压力室孔11a(参照图3)。多个压力室孔11a沿空腔板3的长边方向交替配置成2列。各压力室孔11a形成压力室11。压力室孔11a形成大致矩形状。矩形状的压力室孔11a配置成其长边方向相对空腔板3的长边方向交叉。在空腔板3的底面上形成凹部11b，各凹部11b与所对应的各压力室孔11a的长边方向上的外侧的端部相连通。
在空腔板3的长边方向的一端部，形成具有椭圆形状的凹部17。在凹部17的底面上，沿着长边方向形成一对凹部孔15a、15b。在凹部17中，配置用于对从墨盒(不图示)供给的墨水进行过滤的过滤器(不图示)。
在基板4的短边方向的中央，形成多个第一基板孔12a。以下将第一基板孔12a称为第一BP孔12a。多个第一BP孔12a沿基板4的长边方向交替地排列成2列。
在基板4上形成有两列第二基板孔13，各列第二基板孔13位于基板4的长边附近，并且，各列第二基板孔13的各孔沿基板4的长边方向排列成为一列。以下将第二基板孔13称为第二BP孔13。
在基板4的长边方向的一端部，形成第三基板孔16a、16b。以下将第三基板孔16a、16b称为第三BP孔16a、16b。一方的第三Bp孔16a配置在与空腔板3的凹部孔15a对应的位置上。另一方的第三BP孔16b配置在与空腔板3的凹部孔15b对应的位置上。
在第一歧管板6的两侧的长边附近，形成沿长边方向延伸的长孔6a、6b。在第二歧管孔7的两侧的长边附近，形成沿长边方向延伸的歧管凹部7a、7b。长孔6a的一端部和歧管凹部7a的一端部配置在与基板4的第三BP孔16a对应的位置上。长孔6b的一端部和歧管凹部7b的一端部配置在与基板4的第三BP孔16b对应的位置上。
长孔6a、6b的细长部分以及歧管凹部7a、7b的细长部分，配置在与基板4的第二BP孔13的各列对应的位置上。如图6所示，通过使第一歧管板6和第二歧管板7接合，长孔6a和歧管凹部7a形成歧管18。同样地，长孔6b和歧管凹部7b也形成歧管18。
在第一歧管板6的短边方向的中央形成多个第一墨水流路孔12b，并且多个第一墨水流路孔12b沿着第一歧管板6的长边方向配置着。各第一墨水流路孔12b配置在与基板4的各第一BP孔12对应的位置上。
在第二歧管板7的短边方向的中央形成多个第二墨水流路孔12c，并且多个第二墨水流路孔12c沿着第二歧管板7的长边方向配置着。各第二墨水流路孔12c配置在与第一歧管板6的各第一墨水流路孔12b对应的位置上。
在喷嘴板9的短边方向的中央，以向前渐细的大致圆锥状形成多个喷嘴10，并且多个喷嘴10沿着喷嘴板9的长边方向配置着。各喷嘴10配置在与第二歧管板7的各第二墨水流路孔12c对应的位置上。
压力室孔11a、凹部孔15a和15b、第一BP孔12a、第一墨水流路孔12b、第二墨水流路孔12c等形成于各板上的各孔，沿厚度方向贯穿各板。换言之，形成于各板的各孔，沿其层压方向贯穿各板。
如图4和图6所示，在喷嘴板9的喷墨面9b上，形成含有聚四氟乙烯(PTFE)等的氟类高分子材料的镀镍等的防浸润膜92，由此可以防止从喷嘴10喷出的墨水附着并滞留在喷墨面9b的喷嘴10的周围，与接着喷出的墨水干涉而使墨水相对打印介质的撞击(着落)特性恶化。
根据以上的构成，在流路单元1内，如图6所示，通过第一歧管板6的长孔6a和第二歧管板7的歧管凹部7a形成歧管18。同样地，通过第一歧管板6的长孔6b和第二歧管板7的歧管凹部7b形成另外的歧管18。由与各歧管18对应的第二BP孔13、凹部11b、压力室孔11a、第一BP孔12a、第一墨水流路孔12b、第二墨水流路孔12c构成流路12，形成多条自歧管18起经由流路12而到达喷嘴10的墨水流路19。
接着参照图5和图6对致动器单元2进行说明。图5是致动器单元2的局部分解透视图。如图6所示，致动器单元2具有2张第一压电片21、2张第二压电片22、顶片(top sheet)23。2张第一压电片21和2张第二压电片22各一张交替地层压。在层压的第一压电片21和第二压电片22的最上边的位置层压顶片23。在图5中，省略2张第一压电片21中层压于下侧的第一压电片21而进行表示。同样地，省略2张第二压电片22中层压于下侧的第二压电片22而进行表示。
顶片23是由绝缘材料构成的矩形状的薄片部件。顶片23具有多个连接端子26，该连接端子26与柔性扁平电缆40所具有的信号电极(不图示)连接。而且顶片23具有多个连接端子27，该连接端子27与柔性扁平电缆40所具有的接地电极(不图示)连接。连接端子26沿长边方向排列在顶片23上的两侧的长边上。连接端子27配置在连接端子26的排列的两端。在顶片23的与连接端子26正交的侧面上，形成沿厚度方向延伸的第一侧槽30a。而且在顶片23的与连接端子27正交的侧面上，形成沿厚度方向延伸的第二侧槽31a。连接端子26的一端部配置成露出于第一侧槽30a。连接端子27的一端部配置成露出于第二侧槽31a。
压电片22是由锆钛酸铅(PZT)构成的矩形状的薄片部件。压电片22具有与各自对应的连接端子26电连接的多个伪电极(DummyElectrode)29。压电片22具有与连接端子27电连接的共同电极25。伪电极29与顶片23的连接端子26对应地沿压电片22上的两侧的长边排列。共同电极25在压电片22上的中央部扩展而配置。共同电极25具有端部电极25a。端部电极25a与顶片23的连接端子27对应地配置在伪电极29的排列的两端。在压电片22的与伪电极29正交的侧面上，形成沿厚度方向延伸的第三侧槽30b。在压电片22的与端部电极25a正交的侧面上形成沿厚度方向延伸的第四侧槽31b。伪电极29的一端部配置成露出于第三侧槽30b。端部电极25a的一端部配置成露出于第四侧槽31b。
压电片21是由PZT构成的矩形状的薄片部件。压电片21具有与各连接端子26电连接的多个单独电极24。而且压电片21具有与各自对应的连接端子27电连接的伪电极(Dummy Electrode)28。单独电极24与顶片23的连接端子26对向的方式沿压电片21上的两侧的长边排列着，各单独电极24与流路单元1的各压力室11对应地延伸至压电片21的中央附近(参照图6)。伪电极28与顶片23的连接端子27对应地配置在单独电极24的排列的两端。在与单独电极24正交的压电片21的侧面上，形成沿厚度方向延伸的第五侧槽30c。在与伪电极28正交的压电片21的侧面，形成沿厚度方向延伸的第六侧槽31c。单独电极24的一端部配置成露出于第五侧槽30c。伪电极28的一端部配置成露出于第六侧槽31c。
通过使2张压电片21和2张压电片22以及顶片23层压，第一侧槽30a、第三侧槽30b、第五侧槽30c成为一体，在致动器单元2的侧面形成沿厚度方向延伸的侧槽30。同样地，第二侧槽31a、第四侧槽31b、第六侧槽31c成为一体，在致动器单元2的侧面形成沿厚度方向延伸的侧槽31。
在侧槽30、31中涂布导电胶(不图示)。通过涂布于侧槽30中的导电胶，各伪电极29与各单独电极24一起与对应的连接端子26电连接。同样地，由于涂布于导槽31中的导电胶，连接端子27、端部电极25a以及伪电极28电连接。
接着对致动器单元2的作用进行说明。压电片21、22在其厚度方向，也就是在压电片21、22的层压方向上极化。在压电片21、22极化的厚度方向上施加电压时，其厚度伸缩。也就是压电片21、22的层压方向的厚度伸缩。厚度伸张或者收缩根据施加的电压的方向决定。因此，在共同电极25和任意一个单独电极24之间施加规定电压时，压电片21、22中与所选择的单独电极24相接的部分沿层压方向伸缩。在本实施例中，压电片21、22层压。因此，在共同电极25和任意一个单独电极24之间施加电压时，与该所选择的单独电极24对应的各压电片21、22的部分的因厚度方向上的伸缩引起的位移重合。
例如，向连接有顶片23的规定的连接端子26的柔性扁平电缆40的信号电极(不图示)，在压电片21、22沿厚度方向伸张的方向上施加电压。压电片21、22中与单独电极24对应的部位沿厚度伸张，该单独电极24与规定的连接端子26电连接。此时，如图6所示，最下层的压电片21的下表面固定在划分压力室11的空腔板3的上表面。因此，压电片21、22向压力室11突出而变形，该压力室11配置在与电连接于规定的连接端子26的单独电极24对应的位置上。因此，与单独电极24对应的位置上的压力室11的容积降低，压力室11内的墨水的压力上升。其结果，从与压力室11连接的喷嘴10喷出墨水。其后，使单独电极24返回与共同电极25相同的电位时，压电片21、22变成原来的形状，压力室11的容积返回原来的容积。其结果，从歧管18侧吸入墨水。
顶片23的各连接端子26连接在柔性扁平电缆40上，通过控制向柔性扁平电缆40的各信号电极(不图示)上所施加的电压，可以以各喷嘴10为单位控制墨水的喷出动作。可以从各喷嘴10喷出墨水以在被打印介质上描绘任意的图形或文字。
接着，参照图7的流程图以及参照图8、图9，对喷墨头101的制造方向进行说明。图7的Sli(i＝0、1、……、5)表示喷墨头的制造方法的各工序。图8表示在喷嘴板9上形成有喷嘴10的工序。图9表示在形成有喷嘴10的喷嘴板9的喷墨面9b上形成防浸润膜92的工序。
首先，在金属板3，4，6，7上形成各种孔和凹部(S10)。然后通过蚀刻加工、冲孔加工等，在空腔板3上形成压力室空11a、凹部11b、凹部17、以及一对凹部孔15a，15b。并且，通过蚀刻加工、冲孔加工等，在基板4上形成第一BP孔12a、第二BP孔13、以及第三BP孔16a，16b。并且，通过蚀刻加工、冲孔加工等，在第一歧管板6上形成第一墨水流路孔12b、以及长孔6a，6b。并且，通过蚀刻加工、冲孔加工等，在第二歧管板7上形成第二墨水流路孔12c、以及歧管凹部7a，7b。但是此时，在喷嘴板9上不形成喷嘴10。喷嘴10如后所述，在喷嘴板9和第二歧管板7接合后形成。
接着，喷嘴板9的一个表面接合于第二歧管板7的下表面，此时，在通过粘接剂将喷嘴板9的表面粘接于第二歧管板7的下表面的方法中，在形成喷嘴10后对两者进行粘接的情况下，粘接剂可能从接合面流入喷嘴10、第二墨水流路孔12c内，粘接剂流入喷嘴10、第二墨水流路孔12c内时，喷嘴10、第二墨水流路孔12c的直径变化，打印精度可能会降低。
因此，如图8(a)所示，在本实施例中，使喷嘴板9的表面(与喷墨面9b相反的面)和第二歧管板7的表面层压，在真空条件下，以设定温度对这些金属板7和9沿层压方向加压30～60分钟。这里，设定温度优选高于室温的温度。所谓室温典型的为25℃左右，设定温度进而可以优选为900～1050℃左右的温度。
这样，在喷嘴板9和第二歧管板7的接触面上，金属原子相互扩散，喷嘴板9的表面和第二歧管板7的下表面接合(S11)。这样，通过在真空条件下维持设定温度状态进行加压而接合金属板，可以耐受防浸润膜的处理温度。进而，可以防止像利用粘接剂对两者(板7和9)进行接合时那样，从接触面漏出的粘接剂流入第二墨水流路孔12c内。不会发生漏出的粘接剂导致第二墨水流路孔12c的直径变化，从而导致打印精度降低的问题。
接着，使用照相机等对第二歧管板7的第二墨水流路孔12c进行摄影。根据拍摄的图像将冲头45设置在规定的位置。此时，冲头45的中心和第二歧管板7的第二墨水流路孔12c的中心一致。冲头45，如图8(b)所示，形成向前端附近渐细的形状。具有从该向前渐细形状的最细部分圆柱状突出的前端45a。虽然未图示出，冲头45的数目与第2墨水流路孔12c的数目相同，并且，多个冲头45的配置布图也与第2墨水流路孔12c的配置布图相同。
将冲头45设置在规定的位置后，通过第二歧管板7的第二墨水流路孔12c将冲头45打入喷嘴板9中。此时，以各冲头45的前端45a超出与喷墨面9b相同的平面，但不贯穿喷墨面9b的方式打入冲头45。喷嘴板9的喷墨面9b是与喷嘴板9和第二歧管板7的接合面相反一侧的面。换言之，不使喷墨面9b破裂而打入冲头45。通过将冲头45打入喷嘴板9，在喷嘴板9的喷墨面9b上形成突出部9a。
接着，从喷嘴板9中拔出冲头45。其后，通过电解研磨、流体研磨、研磨机的磨削、磁研磨、低频超声波的清洗等公知的方法除去突出部9a。冲头45，以其前端45a超出与喷墨面9b相同的平面(level)的方式打入。因此，通过除去突出部9a，如图8(c)所示，在喷墨面9b上形成具有开口部的贯通孔，也就是在喷嘴板9上形成喷嘴10。
冲头45，由于通过第二歧管板7的墨水流路孔12c打入喷嘴板9中，因而喷嘴10的一端在第二歧管板7和喷嘴板9的接合面上与第二墨水流路孔12c连通。而且，喷嘴10的另一端在喷嘴板9的喷墨面9b开口。最后对喷墨面9b进行平坦化而完成喷嘴10(S12)。
在S12的喷嘴形成工序中，使第二歧管板7的第二墨水流路孔12c的中心和冲头45的中心对位而打入冲头45。因此，形成的贯通孔、也就是喷嘴10与第二歧管板7的第二墨水流路孔12c之间不会产生错位。而且由于通过使用冲头45的冲压加工形成喷嘴10，因而喷嘴10的内表面的状态变得光滑，可以高精度地形成预先决定的直径的喷嘴10。
冲头45，以其前端45a超出与喷嘴板9的喷墨面9b相同的平面，但不使喷墨面9b破裂的方式打入。通过使冲头45以其前端45a超出与喷嘴板9的喷墨面9b相同的平面的方式打入，在喷嘴板9的喷墨面9b上形成突出部9a。在突出部9a的内侧，与冲头45的前端45a相对的面向喷墨面9b的外侧突出。因此，如果除去突出部9a，就可以形成在喷墨面9b开口的喷嘴10。
冲头45不使喷墨面9b破裂而打入。如果冲头45使喷墨面9b破裂，也就是如果冲头45贯穿喷墨面9b，则通过冲头45形成的喷墨面9b侧的开口部的周围可能形成锯齿纹(jaggies)。如果在开口部的周围形成锯齿纹(jaggies)，即使除去形成于喷墨面9b上的突出部9a，在开口部的内侧也可能残留有锯齿纹。通过以不贯穿喷嘴板9的喷墨面9b的方式打入冲头45，仅除去突出部9a就可以光滑地形成直至喷嘴板9上的喷嘴10的喷墨面9b侧开口部为止的部分。
接着，对在喷墨面9b上形成防浸润膜92的工序进行说明。首先，如图9(a)所示，在喷墨面9b上，作为保护层(resist)，对薄膜状的光硬化性树脂50进行加热并使用辊(roller)等进行压涂。此时，在喷嘴10的前端部填充规定量的光硬化性树脂50。对光硬化性树脂50进行压涂时，调整加热温度、压力以及辊速度等。虽然未图示，设定量的光硬化性树脂50填充于各喷嘴10的前端，在图9中仅表示出了在一个喷嘴10的周围形成防浸润膜92的过程。
接着，如图9(b)所示，从第二歧管板7侧通过喷嘴10对喷墨面9b侧的光硬化性树脂50照射紫外线激光等。通过照射紫外线激光等，可以使喷嘴10内的光硬化性树脂50硬化。在这里，通过调整光的曝光量，可以利用通过喷嘴10内的光使光硬化性树脂50仅在喷嘴10延伸的方向上硬化。通过这样做，可以在光硬化性树脂50中形成柱状硬化部51，该柱状硬化部51从喷嘴板9的喷墨面9b侧部分突出，并且具有与喷嘴10的喷出口的内径相等的直径。
接着，如图9(c)所示，将喷嘴板9的喷墨面9b上的光硬化性树脂50中柱状硬化部51以外的部分，通过显影液、例如1％Na2CO3等(碱性剥离液)溶解除去。通过柱状硬化部51隐藏喷嘴10的喷出口，并且柱状硬化部51以从喷嘴板9的喷墨面9b突出的状态残留。
接着，如图9(d)所示，在喷嘴板9的喷墨面9b上形成含有四氟乙烯(PTFE)等的氟类高分子材料的镀镍等的防浸润膜92。防浸润膜92的厚度为1～5μm左右。如图9(e)所示，在防浸润膜92形成后通过剥离液、例如3％NaOH等将柱状硬化部51溶解除去。
其后，为了使防浸润膜92稳定，例如在320～390℃下进行15～40分钟左右的热处理。此时，例如在通过环氧类粘接剂对喷嘴板9和第二歧管板7进行粘接的情况下，粘接剂的耐热温度为130～150℃左右。粘接剂的耐热温度比防浸润膜92的热处理温度低。因此，在粘接后进行这种防浸润膜92的热处理时，粘接剂被破坏。但是在本实施例中，通过在真空条件下以规定温度进行加压而接合喷嘴板9和第二歧管板7。因此，在对喷嘴板9和第二歧管板7进行接合后可以形成防浸润膜92并进行热处理。而且，防浸润膜92的形成，在喷嘴板9和第二歧管板7的接合后进行。即使防浸润膜92的耐热温度为比喷嘴板9和第二歧管板7的接合时的温度(950℃左右)低的320～390℃左右，也不会因接合时的加热而破坏防浸润膜92。这样，在喷嘴板9的喷墨面9b上形成防浸润膜92(S13)。
接着，使空腔板3、基板4、第一歧管板6以及第二歧管板7等相互对位，通过环氧类的热硬化性粘接剂等进行层压。然后，加热至热硬化性粘接剂的硬化温度以上的温度并进行加压。使板3、4、6以及7相互接合(S14)。
此时，使板3、4、6以及7进行对位，以使空腔板3的凹部孔15a、基板4的第3BP孔16a、第一歧管板6的长孔6a的一端、第二歧管板7的歧管板凹部7a的一端相对应。
同样地，使板3、4、6以及7进行对位，以使空腔板3的凹部孔15b、基板4的第3BP孔16b、第一歧管板6的长孔6b的一端、第二歧管板7的歧管板凹部7b的一端相对应。
同样地，使板3、4、6以及7进行对位，以使空腔板3的压力室孔11a、基板4的第1BP孔12a、第一歧管板6的第一墨水流路孔12b、第二歧管板7的第二墨水流路孔12c的一端相对应。
接着，通过热硬化性粘接剂等对流路单元1、致动器单元2进行层压。此时，进行对位，以使致动器单元2的各单独电极24处于与流路单元1的各压力室11相对应的位置。其后加热至热硬化性粘接剂的硬化温度以上的温度并进行加压，而使流路单元1和致动器单元2接合(S15)，这样完成喷墨头101。
根据以上说明的喷墨头的制造方法，可以得到如下的效果。
将喷嘴板9(第二板)接合于具有沿厚度方向的第二墨水流路孔12c的第二歧管板7(第一板)上后，在喷嘴板9上形成贯通孔，也就是形成喷嘴10。由此，可以确认第二歧管板7的第二墨水流路孔12c的位置而形成喷嘴10。可以防止喷嘴10和第二墨水流路孔12c的错位。而且，由于通过冲头45形成喷嘴10，因而可以使喷嘴10的内表面变得光滑。其结果，可以精度良好地形成预先决定的直径的喷嘴10。
而且，由于通过在真空条件下维持高温状态进行加压而接合喷嘴板9和歧管板7，因而可以耐受防浸润膜的处理温度。进而，不会像形成喷嘴10后利用粘接剂对两者进行粘接的情况那样存在如下的情况：从接合面漏出的粘接剂流入喷嘴10、第二墨水流路孔12c内，由于该粘接剂，喷嘴10、第二墨水流路孔12c的直径变化，打印精度降低。
进而，对喷嘴板9和第二歧管板7进行接合后，在喷嘴板9的喷墨面9b上形成防浸润膜92，因而在接合时的高温状态下，防浸润膜92不会被破坏。
接着，对本实施例的变形例进行说明。
喷嘴10，通过在对第二歧管板7和喷嘴板9进行接合后，对喷嘴板9进行蚀刻而形成，或者通过对喷嘴板9照射激光而形成。
喷嘴板9的喷墨面9b的防浸润膜，也可以通过在喷墨面9b上涂布氟类或者硅类树脂的溶液而形成。在这种情况下，为了防浸润膜的稳定化，在喷墨面9b上涂布这些树脂后，进行与本实施例相同的热处理。而且，也可以对喷墨面9b照射电子束或者激光束，使喷墨面9b成为非晶形状态，通过急速冷却，保持该非晶形状态并使其凝固，从而在喷墨面9b上形成非晶形层的防浸润膜。这样通过电子束或者激光束的照射形成防浸润膜时，该防浸润膜不会在喷嘴板9和第二歧管板7接合时的高温状态(950℃左右)下被破坏，因而可以在喷嘴板9和第二歧管板7的接合前，在喷嘴板9的喷墨面9b上形成防浸润膜。
而且，在实施例中，使用粘接剂对板3、4和6进行粘接，但是这些板3、4和6的一部分或者全部也可以在真空条件下，通过在设定温度下加压而进行接合。而且在实施例中，一次只对喷嘴板9和第二歧管板7这两张进行接合，也可以使其他的板3、4和6的一部分或者全部与喷嘴板9和第二歧管板7同时接合，而后在喷嘴板9上形成喷嘴10。
以上对本发明的具体例进行了详细的说明，但是这些不过是例示，不限定发明内容的范围。在发明内容的范围内所记载的技术中，包括对以上例示的具体例进行各种变形、改变的实施。
而且，本说明书或者附图所说明的技术要素，可以通过单独或者各种组合来发挥技术的实用性，不限于申请时发明内容的记载的组合。而且，本说明书或者附图所例示的技术可以同时达成多个目的，因达到其中的一个目的本身而具有技术实用性。

Claims (10)

1.一种喷墨头的制造方法，具有以下的步骤：
将贯穿有墨水流路孔的第一板的一个表面接合于第二板的一个表面；
在第一板和第二板接合后，形成贯穿第二板的贯通孔，该贯通孔在第一板和第二板的接合面上与墨水流路孔连通，并且该贯通孔在与接合面相反的喷墨面上开口。
2.如权利要求1所述的喷墨头的制造方法，其中，通过在比室温高的规定温度下对第一板和第二板的层压体沿其厚度方向进行加压，而接合第一板和第二板。
3.如权利要求2所述的喷墨头的制造方法，其中，在形成贯通孔后，在喷墨面上涂覆防浸润膜。
4.如权利要求3所述的喷墨头的制造方法，其中，防浸润膜由最高耐热温度比规定温度低的材料涂覆形成。
5.如权利要求1所述的喷墨头的制造方法，其中，贯通孔形成步骤包括以下的步骤：
通过墨水流路孔将冲头打入第二板，直至冲头的前端前进超出喷墨面，但不使第二板破裂，从而在喷墨面上形成突出部；
除去形成于喷墨面上的突出部，从而形成贯通孔。
6.如权利要求5所述的喷墨头的制造方法，其中，通过在比室温高的规定温度下对第一板和第二板的层压体沿其厚度方向进行加压，而对第一板和第二板进行接合。
7.如权利要求6所述的喷墨头的制造方法，其中，在形成贯通孔后，在喷墨面上形成防浸润膜。
8.如权利要求7所述的喷墨头的制造方法，其中，防浸润膜由最高耐热温度比所述规定温度低的材料形成。
9.如权利要求2所述的喷墨头的制造方法，其中，第一板和第二板由金属材料构成。
10.如权利要求6所述的喷墨头的制造方法，其中，第一板和第二板由金属材料构成。
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