JP2946736B2 - インクジェットヘッド - Google Patents
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- JP2946736B2 JP2946736B2 JP2299178A JP29917890A JP2946736B2 JP 2946736 B2 JP2946736 B2 JP 2946736B2 JP 2299178 A JP2299178 A JP 2299178A JP 29917890 A JP29917890 A JP 29917890A JP 2946736 B2 JP2946736 B2 JP 2946736B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ink
- nozzle
- cavity
- piezoelectric
- wall
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2202/00—Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
- B41J2202/01—Embodiments of or processes related to ink-jet heads
- B41J2202/10—Finger type piezoelectric elements
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、インク液滴を画像記録媒体上へ選択的に付
着させるインクジェットヘッドに関する。
着させるインクジェットヘッドに関する。
［従来の技術］ 近年、液体インクを圧電部材の変形圧力により吐出・
記録させるインクジェットヘッドが数多く提案されてい
る。
記録させるインクジェットヘッドが数多く提案されてい
る。
従来のインクジェットヘッドの構造は、特開昭63−25
2750号公報、あるいは特開昭63−247051号公報に開示さ
れた装置はその前駆をなすものである。
2750号公報、あるいは特開昭63−247051号公報に開示さ
れた装置はその前駆をなすものである。
これらはインク吐出ノズルの並び方向に互いに間隔を
有する多数の平行な流路からなり、該流路は天部、底
部、そして流路の長手方向および長手方向とノズル並び
方向の両方に垂直に伸びる側壁により区画されている。
該流路の一端は複数のノズルを有するノズルプレートに
接続し、他の一端はインクを各チャンネルに補充するイ
ンク供給手段に接続する。該側壁はその一部あるいは全
体が圧電物質で構成され、電気的アクチュエート手段に
より剪断モードなどのアレイ方向に平行な変形を引き起
こし、該流路内に圧力を変化させノズルからインク滴を
噴射させるものであった。
有する多数の平行な流路からなり、該流路は天部、底
部、そして流路の長手方向および長手方向とノズル並び
方向の両方に垂直に伸びる側壁により区画されている。
該流路の一端は複数のノズルを有するノズルプレートに
接続し、他の一端はインクを各チャンネルに補充するイ
ンク供給手段に接続する。該側壁はその一部あるいは全
体が圧電物質で構成され、電気的アクチュエート手段に
より剪断モードなどのアレイ方向に平行な変形を引き起
こし、該流路内に圧力を変化させノズルからインク滴を
噴射させるものであった。
［発明が解決しようとする課題］ しかし上記従来例では、インクを加圧する変形部材
と、インクを吐出するノズル部材とが別体であり、相互
の高精度の位置合わせが難しいと言う問題を有してい
る。また、振動素子の変形を阻害しないようなノズル部
材との接合方法について、述べらていない。
と、インクを吐出するノズル部材とが別体であり、相互
の高精度の位置合わせが難しいと言う問題を有してい
る。また、振動素子の変形を阻害しないようなノズル部
材との接合方法について、述べらていない。
本発明は、かかる問題点を解決すべくなされたもの
で、その目的とするところは、より簡易で高精度な、変
形部材へのノズル形成方法により、高密度化、高性能化
できる新規なインクジェットヘッドを提案することにあ
る。
で、その目的とするところは、より簡易で高精度な、変
形部材へのノズル形成方法により、高密度化、高性能化
できる新規なインクジェットヘッドを提案することにあ
る。
［課題を解決するための手段］ 本発明のインクジェットヘッドは、インクを吐出する
ノズルと、該ノズルと連通するキャビティと、該キャビ
ティを区画する側壁を変形させることによりインクを吐
出させるインクジェットヘッドにおいて、前記キャビテ
ィは、底壁と、該底壁に対して垂直方向に複数並列に配
設された側壁と、該側壁上に配設された天壁と、前方封
止板と、後方封止板とにより形成され、前記ノズルは前
記天壁または底壁に形成されてなることを特徴とする。
ノズルと、該ノズルと連通するキャビティと、該キャビ
ティを区画する側壁を変形させることによりインクを吐
出させるインクジェットヘッドにおいて、前記キャビテ
ィは、底壁と、該底壁に対して垂直方向に複数並列に配
設された側壁と、該側壁上に配設された天壁と、前方封
止板と、後方封止板とにより形成され、前記ノズルは前
記天壁または底壁に形成されてなることを特徴とする。
また、前記側壁の一部または全部が圧電物質で構成さ
れてなることを特徴とする。
れてなることを特徴とする。
また、前記ノズルが天壁または底壁のキャビティ配列
方向に形成された溝により形成されてなることを特徴と
する。
方向に形成された溝により形成されてなることを特徴と
する。
［実施例］ 実施例１ 第１図（ａ）（ｂ）および第２図（ａ）（ｂ）はこの
ような原理をもとにラインプリンタ用のインクジェット
ヘッドとして構成した本発明の典型的な実施例を示した
ものである。第１図（ａ）はインクジェットヘッドの斜
視図、第１図（ｂ）は第１図（ａ）のＡ−Ａ′−Ｂ′−
Ｂ面の断面図である。第２図（ａ）は第１図（ａ）の矢
印Ｃ方向から見たインクジェットヘッドの正面図、第２
図（ｂ）はインク吐出時の状態を示した正面図である。
ような原理をもとにラインプリンタ用のインクジェット
ヘッドとして構成した本発明の典型的な実施例を示した
ものである。第１図（ａ）はインクジェットヘッドの斜
視図、第１図（ｂ）は第１図（ａ）のＡ−Ａ′−Ｂ′−
Ｂ面の断面図である。第２図（ａ）は第１図（ａ）の矢
印Ｃ方向から見たインクジェットヘッドの正面図、第２
図（ｂ）はインク吐出時の状態を示した正面図である。
はじめに本実施例の構成要素を説明する。
1a,bは片面に櫛歯状に溝を設けた有効印字領域を越え
る長さを備えた狭巾の圧電基板で、この圧電基板は厚さ
1.2mmのチタン酸ジルコン酸塩（PZT）系圧電のセラミク
スで形成した。
る長さを備えた狭巾の圧電基板で、この圧電基板は厚さ
1.2mmのチタン酸ジルコン酸塩（PZT）系圧電のセラミク
スで形成した。
圧電基板1aと1bの櫛歯状の溝は、ダイシングソウによ
り切削形成した。
り切削形成した。
なお本例で用いた材質のほかにZnO等の圧電性セラミ
クスや、LiNbO3、水晶、LiTaO3、Bi12GeO20、Si12GeO20
などの圧電性単結晶や、ポリ弗化ビニリデン（PVDF）等
の高分子圧電材料、さらに上記圧電材料を混合したも
の、また上記圧電材料を膜状に積層したものを使用する
ことも可能である。
クスや、LiNbO3、水晶、LiTaO3、Bi12GeO20、Si12GeO20
などの圧電性単結晶や、ポリ弗化ビニリデン（PVDF）等
の高分子圧電材料、さらに上記圧電材料を混合したも
の、また上記圧電材料を膜状に積層したものを使用する
ことも可能である。
圧電基板1aと1bは相互の溝を設せた面を重接し、その
前後から前後の封止板でるところの、前部封止固定部材
４と後部封止固定部材５の爪部６により、圧入し、挟み
込み封止・固定した。この際封止固定部材４、５と圧電
基板1a、1bとは、エポキシ樹脂系接着剤で接着したが、
接着部は爪部６と圧電基板1a、1bとの界面８だけにとど
めた。
前後から前後の封止板でるところの、前部封止固定部材
４と後部封止固定部材５の爪部６により、圧入し、挟み
込み封止・固定した。この際封止固定部材４、５と圧電
基板1a、1bとは、エポキシ樹脂系接着剤で接着したが、
接着部は爪部６と圧電基板1a、1bとの界面８だけにとど
めた。
上記２つの封止固定部材の材質は、ポリカーボネート
を用い、内側、詰まり圧電基板1a、ｂの端面と接する面
には厚さ0.5mmのシリコンゴム膜９を添付した。
を用い、内側、詰まり圧電基板1a、ｂの端面と接する面
には厚さ0.5mmのシリコンゴム膜９を添付した。
キャビティ301..にインク13を充填すると、シリコン
ゴム膜９はインクにより膨潤・膨張し、より強固に封止
することができた。
ゴム膜９はインクにより膨潤・膨張し、より強固に封止
することができた。
14はキャビティ301..にインクを供給するための供給
孔であり、後部封止固定部材５に形成されており、供給
用パイプ（図示せず）を介しインクタンク（図示せず）
と接続されている。
孔であり、後部封止固定部材５に形成されており、供給
用パイプ（図示せず）を介しインクタンク（図示せず）
と接続されている。
尚本例では、供給孔は後部封止固定部材に形成した
が、前部封止固定部材４或は電圧基板1a、1bの任意の場
所に形成してよい。
が、前部封止固定部材４或は電圧基板1a、1bの任意の場
所に形成してよい。
上記のような２枚の圧電基板1a、ｂの重接により、イ
ンク13を保持し、後述する変形部により圧力を発生させ
るためのインクキャビティ301、302...が形成される。
ンク13を保持し、後述する変形部により圧力を発生させ
るためのインクキャビティ301、302...が形成される。
キャビティ301、302...のピッチｐは127μｍ、幅ｗは
100μｍ、高さ２×ｈは600μｍ、奥行ｄは10mmとし、解
像度200dot/inch、素子数、1600のラインヘッドとし
た。
100μｍ、高さ２×ｈは600μｍ、奥行ｄは10mmとし、解
像度200dot/inch、素子数、1600のラインヘッドとし
た。
圧電基板1a、1bの櫛歯の歯の部分、換言するとキャビ
ティ301、302...に挟まれた部分101、102..、201、20
2..は、電圧印加により変形しインク13に対し正或は負
の圧力で加圧する為の変形部である。
ティ301、302...に挟まれた部分101、102..、201、20
2..は、電圧印加により変形しインク13に対し正或は負
の圧力で加圧する為の変形部である。
第１図（ａ）から明らかなように、圧電基板1aの溝の
切り残し部がキャビティ301..の天壁となり、圧電基板1
bの溝の切り残し部が底壁となり、変形部101..、201..
が側壁となる。
切り残し部がキャビティ301..の天壁となり、圧電基板1
bの溝の切り残し部が底壁となり、変形部101..、201..
が側壁となる。
401、402..501、502..は前記変形部101..、201..の両
側全面に形成された、変形部101..、201..へ電圧を印加
するための電極である。
側全面に形成された、変形部101..、201..へ電圧を印加
するための電極である。
この電極は、圧電基板に溝を形成後、クロム薄膜を10
0nm形成しその上に金薄膜を１μｍスパッタにより成膜
した。
0nm形成しその上に金薄膜を１μｍスパッタにより成膜
した。
また上記電極上には、スパッタにより１μｍのSiO2膜
を形成し電気的絶縁処理を施した。（図示せず） 上記電極は同一キャビティに外接する電極、例えばキ
ャビティ301に対して電極401と402と501と502は全て電
気的に導通し、電極対601を形成している。
を形成し電気的絶縁処理を施した。（図示せず） 上記電極は同一キャビティに外接する電極、例えばキ
ャビティ301に対して電極401と402と501と502は全て電
気的に導通し、電極対601を形成している。
N1、N2..は前記キャビティに対で対応したノズルであ
る。ノズルは以下のようにして形成した。
る。ノズルは以下のようにして形成した。
あらかじめ有効印字領域を越える長さを備え幅wnが10
0μｍ、高さhnが100μｍのノズル部材２にピッチｐ、口
径30μｍの貫通孔を穿ったものを用意する。
0μｍ、高さhnが100μｍのノズル部材２にピッチｐ、口
径30μｍの貫通孔を穿ったものを用意する。
圧電基板1aには前記ノズル部材２を埋め込むための溝
11をダイシングにより切削形成した。埋め込み用溝11は
圧電基板1aの基板上面より、下面のキャビティ用溝と貫
通する深さまで穿った。
11をダイシングにより切削形成した。埋め込み用溝11は
圧電基板1aの基板上面より、下面のキャビティ用溝と貫
通する深さまで穿った。
その後埋め込用溝11へノズル部材２を挿入しキャビテ
ィ301..とノズルN1..との位置を合わせ接着した。
ィ301..とノズルN1..との位置を合わせ接着した。
埋め込み用溝11は前部封止固定部材４と圧電基板1aの
前端面の接点から、3mm距離を置いた位置に設けたが、
実験によればこの距離が±2mm変化しても、吐出特性に
大きな変化はなかった。従って、キャビティの並列方向
のノズルとの位置合わせのみに留意すれば良く、簡単な
加工治具により、容易に精度良く接合することができ
た。
前端面の接点から、3mm距離を置いた位置に設けたが、
実験によればこの距離が±2mm変化しても、吐出特性に
大きな変化はなかった。従って、キャビティの並列方向
のノズルとの位置合わせのみに留意すれば良く、簡単な
加工治具により、容易に精度良く接合することができ
た。
D1、D2..は駆動用出力スイッチ回路であるドライバで
ある。
ある。
ドライバは相補型MOS回路で構成し、高電圧出力状
態、低電圧出力状態の２状態出力型とした。
態、低電圧出力状態の２状態出力型とした。
４は上記ドライバに高電圧と低電圧の供給する為の直
流電源である。
流電源である。
７は上記ドライバを高電圧出力と低電圧出力のいずれ
かの出力を対し選択駆動させるための制御回路部であ
り、制御信号線12を介してドライバに接続されている。
かの出力を対し選択駆動させるための制御回路部であ
り、制御信号線12を介してドライバに接続されている。
各々のドライバの出力は、前記電極対601、602..と接
続される。
続される。
インク13は純水に染料３重量％と５重量％ジエチレン
グリコールを溶解分散したものを用いた。インクの粘度
は1.5cpsであった。また何種かのインクで飛翔実験した
ところ、25℃における粘度が0.5cpsから8cps、比重が0.
5g/cm3から3.0g/cm3、表面張力が10dynes/cmから100dyn
es/cmで良好な印字を得ることができた。
グリコールを溶解分散したものを用いた。インクの粘度
は1.5cpsであった。また何種かのインクで飛翔実験した
ところ、25℃における粘度が0.5cpsから8cps、比重が0.
5g/cm3から3.0g/cm3、表面張力が10dynes/cmから100dyn
es/cmで良好な印字を得ることができた。
次に、本発明に基づくインクジェットヘッドによって
もたらされるインクの飛翔原理について説明する。
もたらされるインクの飛翔原理について説明する。
第２図において符号3a、3bの矢印は変形部101..、20
1..内の分極方向を示す。分極方向は全て圧電基板1aと1
bの接合面に向き、圧電基板の厚み方向に垂直である。
またこの分極方向は矢印の矢側が正極でも負極でも良い
が、以下矢側を正極として説明する。
1..内の分極方向を示す。分極方向は全て圧電基板1aと1
bの接合面に向き、圧電基板の厚み方向に垂直である。
またこの分極方向は矢印の矢側が正極でも負極でも良い
が、以下矢側を正極として説明する。
今、ドライバD4に低電圧を、D3とD2に高電圧を印加す
ると、変形部104、105、204、205はその圧電性によりせ
ん断力を受け、キャビティ304に向けて矢印Ｆで示す剪
断方向に剪断変形する。変位する。その変位の様子第２
図（ｂ）に示す。
ると、変形部104、105、204、205はその圧電性によりせ
ん断力を受け、キャビティ304に向けて矢印Ｆで示す剪
断方向に剪断変形する。変位する。その変位の様子第２
図（ｂ）に示す。
一方、インク13はインク供給孔14より供給されキャビ
ティ304に充填されている。
ティ304に充填されている。
上記変位部の変位から生じるキャビティ304内の体積
縮小により、圧力を受け、インクはノズルN4より矢印Ｅ
方向へ、粒径が10μｍ乃至100μｍのインク滴となり吐
出する。
縮小により、圧力を受け、インクはノズルN4より矢印Ｅ
方向へ、粒径が10μｍ乃至100μｍのインク滴となり吐
出する。
上記のごとく、ドライバによる印加電圧を制御するこ
とにより任意のノズルから、液滴吐出を行うことができ
た。
とにより任意のノズルから、液滴吐出を行うことができ
た。
また１ドットのインク滴吐出のためには高電位を25
V、低電位を0Vとして、20μ秒の時間の電圧変位が必要
であった。
V、低電位を0Vとして、20μ秒の時間の電圧変位が必要
であった。
以上述べた構成により動作試験を行ったところ、記録
周波数10kHzで安定してインク吐出をすることができ、
高品質の印字を得ることができた。
周波数10kHzで安定してインク吐出をすることができ、
高品質の印字を得ることができた。
以上ごとき構成では、ノズルN1..とキャビティ301..
の奥行き方向の位置精度は、埋め込み用溝11の加工精度
で規制されるが、その精度を維持することは容易であ
る。
の奥行き方向の位置精度は、埋め込み用溝11の加工精度
で規制されるが、その精度を維持することは容易であ
る。
変形部の一番変位の大きい部分15は封止固定部材４、
５と接合されていないので、振動変位に抑制がかかるこ
となく高率の良いインク吐出を得ることができた。
５と接合されていないので、振動変位に抑制がかかるこ
となく高率の良いインク吐出を得ることができた。
また最大変位部15とノズル部材２と圧電基板1aとの接
合部が離れているので、長期間動作させても接合部の剥
離等の劣化は起きなかった。
合部が離れているので、長期間動作させても接合部の剥
離等の劣化は起きなかった。
実施例２ 第３図（ａ）（ｂ）に第２の実施例を示す。第３図
（ａ）はインクジェットヘッドの斜視図、第３図（ｂ）
は第１図（ａ）のＡ−Ａ′−Ｂ′−Ｂの断面図である。
（ａ）はインクジェットヘッドの斜視図、第３図（ｂ）
は第１図（ａ）のＡ−Ａ′−Ｂ′−Ｂの断面図である。
はじめに本実施例の構成要素を説明する。
1a、ｂは片面に櫛歯状に溝を設けた有効印字領域を越
える長さを備えた狭巾の圧電基板で、この圧電基板は厚
さ2mmのチタン酸ジルコン酸塩（PZT）系圧電セラミクス
で形成した。
える長さを備えた狭巾の圧電基板で、この圧電基板は厚
さ2mmのチタン酸ジルコン酸塩（PZT）系圧電セラミクス
で形成した。
圧電基板1aと1bの櫛歯状の溝は、マルチブレードのワ
イヤソウにより一括して切削形成した。
イヤソウにより一括して切削形成した。
圧電基板1aと1bは相互の溝を設けた面を重接し、その
前後から前部封止固定部材４と後部封止固定部材５の爪
部６により、厚入し、挟み込み封止・固定した。この際
封止固定部材４、５と圧電基板1a、1bとは、エポキシ樹
脂系接着剤で接着したが、接着部は爪部６と圧電基板1
a、1bとの界面８だけにとどめた。
前後から前部封止固定部材４と後部封止固定部材５の爪
部６により、厚入し、挟み込み封止・固定した。この際
封止固定部材４、５と圧電基板1a、1bとは、エポキシ樹
脂系接着剤で接着したが、接着部は爪部６と圧電基板1
a、1bとの界面８だけにとどめた。
上記２つの封止固定部材の材質は、ポリカーボネート
を用い、内側、つまり圧電基板1a、ｂの端面と接する面
には厚さ0.5mmのシリコンゴム膜９を添付した。
を用い、内側、つまり圧電基板1a、ｂの端面と接する面
には厚さ0.5mmのシリコンゴム膜９を添付した。
キャビティ301..にインク13を充填すると、シリコン
ゴム膜９はインクにより膨潤・膨張し、より強固に封止
することができた。
ゴム膜９はインクにより膨潤・膨張し、より強固に封止
することができた。
14はキャビティ301..にインクを供給するための供給
孔であり、後部封止固定部材５に形成されており、供給
用パイプ（図示せず）を介しインクタンク（図示せず）
と接続されている。
孔であり、後部封止固定部材５に形成されており、供給
用パイプ（図示せず）を介しインクタンク（図示せず）
と接続されている。
上記のような２枚の圧電基板1a、ｂの重接により、イ
ンク13を保持し、後述する変形部により圧力を発生させ
るためのキャビティ301、302...が形成される。
ンク13を保持し、後述する変形部により圧力を発生させ
るためのキャビティ301、302...が形成される。
キャビティ301、302..のピッチｐは127μｍ、幅ｗは8
0μｍ、高さ２×ｈは800μｍ、奥行ｄは10mmとし、解像
度200dot/inch、素子数、1600のラインヘッドとした。
0μｍ、高さ２×ｈは800μｍ、奥行ｄは10mmとし、解像
度200dot/inch、素子数、1600のラインヘッドとした。
圧電基板1a、1bの櫛歯の歯の部分、換言するとキャビ
ティ301、302...に挟まれた部分101、102..、201、20
2..は、電圧印加により変形しインク13に対し正或は負
の圧力で加圧する為の変形部である。
ティ301、302...に挟まれた部分101、102..、201、20
2..は、電圧印加により変形しインク13に対し正或は負
の圧力で加圧する為の変形部である。
N1、N2..は前記キャビティに対で対応したノズルであ
る。ノズルは以下のようにして形成した。
る。ノズルは以下のようにして形成した。
圧電基板1aに図の上方開いたテーパー状の溝11をダイ
シングソウにより切削形成した。埋め込み用溝11は圧電
基板1aの基板上面より、下面のキャビティ用溝と貫通す
る深さまで穿った。
シングソウにより切削形成した。埋め込み用溝11は圧電
基板1aの基板上面より、下面のキャビティ用溝と貫通す
る深さまで穿った。
溝11の幅は第３図（ｂ）においてw1が200μｍ、w2が3
0μｍとした。最終的なノズル形状は辺長がW2とキャビ
ティの幅ｗの矩形となる。
0μｍとした。最終的なノズル形状は辺長がW2とキャビ
ティの幅ｗの矩形となる。
インク13は絶縁性有機溶媒に顔料５を溶解分散したも
のを用いた。インクの粘度は0.8cpsであった。また何種
かのインクで飛翔実験をしたところ、25℃における粘度
が0.5cpsから8cps、比重が0.5g/cm3から3.0g/cm3、表面
張力が10dynes/cmから100dynes/cmで良好な印字を得る
ことができた。
のを用いた。インクの粘度は0.8cpsであった。また何種
かのインクで飛翔実験をしたところ、25℃における粘度
が0.5cpsから8cps、比重が0.5g/cm3から3.0g/cm3、表面
張力が10dynes/cmから100dynes/cmで良好な印字を得る
ことができた。
駆動用の電極、ドライバの構成、インク吐出の方法は
第１の実施例とどうようである。
第１の実施例とどうようである。
このような構成により動作試験を行ったところ、第１
の実施例と同様の印字特性、効果を得ることができた。
の実施例と同様の印字特性、効果を得ることができた。
また第１の実施例に比べて、ノズル形成法が更に単純
化され、原理的にノズルとキャビティの位置がずれるこ
とがない。
化され、原理的にノズルとキャビティの位置がずれるこ
とがない。
尚、本例では、ノズル形成の為の溝11をテーパー状に
一括形成したが、最初にテーパーのない断面が矩形の溝
でキャビティまで貫通させた後、テーパー状のダイシン
グブレードにより圧電基板1aの上面より、キャビティに
達しない位置まで切削して、断面を漏斗状に形成しても
よい。
一括形成したが、最初にテーパーのない断面が矩形の溝
でキャビティまで貫通させた後、テーパー状のダイシン
グブレードにより圧電基板1aの上面より、キャビティに
達しない位置まで切削して、断面を漏斗状に形成しても
よい。
［発明の効果］ 本発明によればノズルを変形部の剪断変形方向に対し
鉛直に設けることにより、ノズルの高精度な形成が可能
となるという効果がある。
鉛直に設けることにより、ノズルの高精度な形成が可能
となるという効果がある。
また最大変形部近傍に他部材との接合部がないので、
吐出効率、信頼性の向上にも効果が有る。
吐出効率、信頼性の向上にも効果が有る。
第１図（ａ）（ｂ）は本発明によるインクジェットヘッ
ドの第１の実施例の構造を示す図。 第２図（ａ）（ｂ）は本発明によるインクジェットヘッ
ドの断面構造と原理を示す図。 第３図（ａ）（ｂ）は本発明によるインクジェットヘッ
ドの第２の実施例の構造を示す図。 Ｎ……ノズル １……圧電基板 ２……ノズル部材 ３……分極方向 ４……前部封止固定部材 ５……後部封止固定部材 13……インク 101〜108……電極対 301〜307……キャビティ 401〜414……電極 501〜514……電極 601〜607……電極対
ドの第１の実施例の構造を示す図。 第２図（ａ）（ｂ）は本発明によるインクジェットヘッ
ドの断面構造と原理を示す図。 第３図（ａ）（ｂ）は本発明によるインクジェットヘッ
ドの第２の実施例の構造を示す図。 Ｎ……ノズル １……圧電基板 ２……ノズル部材 ３……分極方向 ４……前部封止固定部材 ５……後部封止固定部材 13……インク 101〜108……電極対 301〜307……キャビティ 401〜414……電極 501〜514……電極 601〜607……電極対
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B41J 2/045 B41J 2/055
Claims (3)
- 【請求項１】インクを吐出するノズルと、該ノズルと連
通するキャビティと、該キャビティを区画する側壁を変
形させることによりインクを吐出させるインクジェット
ヘッドにおいて、 前記キャビティは、底壁と、該底壁に対して垂直方向に
複数並列に配設された側壁と、該側壁上に配設された天
壁と、前方封止板と、後方封止板とにより形成され、前
記ノズルは前記天壁または底壁に形成されてなるインク
ジェットヘッド。 - 【請求項２】前記側壁の一部または全部が圧電物質で構
成されてなる請求項１記載のインクジェットヘッド。 - 【請求項３】前記ノズルが天壁または底壁のキャビティ
配列方向に形成された溝により形成されてなる請求項１
記載のインクジェットヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2299178A JP2946736B2 (ja) | 1990-11-05 | 1990-11-05 | インクジェットヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2299178A JP2946736B2 (ja) | 1990-11-05 | 1990-11-05 | インクジェットヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04173147A JPH04173147A (ja) | 1992-06-19 |
| JP2946736B2 true JP2946736B2 (ja) | 1999-09-06 |
Family
ID=17869149
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2299178A Expired - Lifetime JP2946736B2 (ja) | 1990-11-05 | 1990-11-05 | インクジェットヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2946736B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4499842B2 (ja) * | 1997-06-03 | 2010-07-07 | 株式会社リコー | インクセットおよびインクジェット記録方法 |
| JP5144214B2 (ja) * | 2007-10-31 | 2013-02-13 | エスアイアイ・プリンテック株式会社 | インクジェットヘッドの製造方法 |
-
1990
- 1990-11-05 JP JP2299178A patent/JP2946736B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04173147A (ja) | 1992-06-19 |
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