JP2008238576A - ノズルプレートの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】製造するのに手間と時間のかかる部材を別途用意しなくとも、吐出口の周囲に段差が形成されたノズルプレートを製造する。
【解決手段】ノズルプレート１にノズル孔３を形成した後（ａ）、ノズル孔３の先端部である円柱部分３ａに光硬化性樹脂２１を充填する（ｂ）。次に、紫外（ＵＶ）光をノズルプレート１に照射して光硬化性樹脂２１を硬化させ、柱状部２２と環状部２３とからなる硬化樹脂部２５を形成する（ｃ）。未硬化の光硬化性樹脂２１を除去した後（ｄ）、ニッケルメッキ膜５を形成する（ｅ）。さらに、硬化樹脂部２５を除去した後（ｆ）、物理蒸着法によって、撥水膜８を形成する（ｇ）。
【選択図】図３
【解決手段】ノズルプレート１にノズル孔３を形成した後（ａ）、ノズル孔３の先端部である円柱部分３ａに光硬化性樹脂２１を充填する（ｂ）。次に、紫外（ＵＶ）光をノズルプレート１に照射して光硬化性樹脂２１を硬化させ、柱状部２２と環状部２３とからなる硬化樹脂部２５を形成する（ｃ）。未硬化の光硬化性樹脂２１を除去した後（ｄ）、ニッケルメッキ膜５を形成する（ｅ）。さらに、硬化樹脂部２５を除去した後（ｆ）、物理蒸着法によって、撥水膜８を形成する（ｇ）。
【選択図】図３
Description
本発明は、インクジェットヘッドなどの液体吐出ヘッドに用いられるノズルプレートの製造方法に関する。
液滴を吐出するノズル孔が形成されたノズルプレートの吐出面には、液滴吐出量の変動及び飛翔方向の曲がりを抑えるために、撥水膜が形成されることがある。特許文献１に記載されたインクジェットヘッドにおいては、ノズルプレートであるオリフィスプレートの吐出面に、第一の撥インク膜と、第一の撥インク膜よりも膜厚が大きい第二の撥インク膜とが形成されている。第一の撥インク膜は、第二の撥インク膜よりもノズル開口の近くに形成されている。つまり、互いに厚さの異なる２つの撥インク膜が形成されることで、ノズル開口の周囲に段差が設けられている。第一の撥インク膜は、第二の撥インク膜よりも、撥インク性が高い。そのため、第一の撥インク膜に付着したインクを第二の撥インク膜に引き寄せることができて、あらゆるインク種を安定して吐出可能となっている。
特許文献１において、２種類の撥インク膜を形成する方法は、以下のとおりである。まず、オリフィスプレートの吐出面に、第二の撥インク膜のパターンとなるようにフォトレジストをパターン形成する。この際、吐出面の全面にフォトレジストを塗布し、第二の撥インク膜のパターンを有するフォトマスクを用いてフォトレジストを露光した後、現像を行う。次に、パターン形成されたフォトレジストをマスクとして、オリフィスプレートの残りの表面上に第一の撥インク膜を形成する。さらに、フォトレジストを除去してから、第二の撥インク膜を形成する。この際、第二の撥インク膜は、不導体である第一の撥インク膜上には形成されない。最後に、吐出面の裏面から酸素プラズマを照射して、吐出面上以外にある有機材からなる第一の撥インク膜を除去する。
上述した方法でノズルプレートに厚さの互いに異なる２種類の撥インク膜を形成するには、予めパターン形成されたフォトマスクを作製しておく必要がある。フォトマスクの作製は、手間と時間がかかるため、ノズルプレートの製造コストを上昇させる。また、吐出口の周囲に形成される段差の位置が互いに異なる複数種類のノズルプレートを製造する場合には、ノズルプレートごとに異なるフォトマスクを作製しなければならないため、上述した方法は、多種類のノズルプレートを製造するのに適さない。
本発明の目的は、製造するのに手間と時間のかかる部材を別途用意しなくとも、吐出口の周囲に段差が形成されたノズルプレートを製造可能なノズルプレートの製造方法を提供することである。
本発明は、液体を吐出するノズル孔が形成されたノズルプレートの製造方法であって、前記ノズルプレートとなる板状部材に、これを厚み方向に貫通する前記ノズル孔を形成する工程と、前記ノズル孔の吐出口となる一方の開口が形成された前記板状部材の第１の面を光硬化性樹脂で被覆すると共に、前記ノズル孔内の前記一方の開口に連続した領域を前記光硬化性樹脂で充填する第１の光硬化性樹脂充填工程と、前記ノズル孔の他方の開口が形成された前記板状部材の第２の面から前記第１の面に向かう方向の光を前記板状部材に照射することによって、前記第２の面から前記第１の面に向かう方向に沿って前記一方の開口と重なる範囲内にある前記光硬化性樹脂が硬化した柱状部、及び、前記柱状部の前記ノズル孔外にある領域を取り囲む前記光硬化性樹脂が硬化した環状部から構成された第１の硬化樹脂部を形成する第１の硬化工程と、前記第１の硬化工程後に、前記第１の面上にある未硬化の前記光硬化性樹脂を除去する第１の未硬化樹脂除去工程と、前記第１の未硬化樹脂除去工程後に、前記第１の面上に、前記第１の硬化樹脂部の前記環状部に接触しており且つ前記環状部を取り囲む下地膜を形成する下地膜形成工程と、前記下地膜形成工程後に、前記第１の硬化樹脂部を除去する硬化樹脂除去工程と、前記硬化樹脂除去工程後に、前記下地膜の表面及び前記下地膜から露出した前記板状部材の前記第１の面を撥水膜で被覆する撥水膜形成工程とを備えている。
本発明によると、光硬化性樹脂を過剰露光することで柱状部及び環状部から構成された第１の硬化樹脂部を形成することによって、製造するのに手間と時間のかかるフォトマスクなどの部材を別途用意しなくとも、吐出口の周囲に段差が形成されたノズルプレートを製造することができる。
前記撥水膜形成工程において、前記撥水膜を蒸着法で形成してもよい。これによって、撥水膜を簡易に形成することができる。
前記撥水膜形成工程が、前記下地膜から露出した前記第１の面を光硬化性樹脂で被覆すると共に、前記ノズル孔内の前記一方の開口に連続した領域を前記光硬化性樹脂で充填する第２の光硬化性樹脂充填工程と、前記第２の面から前記第１の面に向かう方向の光を前記板状部材に照射することによって、前記第２の面から前記第１の面に向かう方向に沿って前記一方の開口と重なる範囲内にある前記光硬化性樹脂が硬化した柱状の第２の硬化樹脂部を形成する第２の硬化工程と、前記第２の硬化工程後に、前記第１の面上にある未硬化の前記光硬化性樹脂を除去する第２の未硬化樹脂除去工程とを有しており、前記第２の硬化樹脂部をマスクとして、前記下地膜の表面及び前記下地膜から露出した前記板状部材の前記第１の面上に撥水膜を形成してもよい。これによって、ノズル孔内に撥水膜が形成されないので、吐出性能が向上する。
以下、本発明の好適な実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。
図１は、本発明の第１の実施の形態によって製造されたノズルプレートの斜視図である。図１に示されたノズルプレート１は、５０μｍ〜１００μｍ程度の厚さを有するステンレス製の板材である。ノズルプレート１には、これを厚さ方向に貫通する多数のノズル孔３が規則的に形成されている。
図２は、図１に示すノズルプレート１のノズル孔３を含む部分拡大縦断面図である。図２では、下から上へと向かう方向が液滴吐出方向となるようにノズルプレート１が配置されている。図２に示すように、ノズル孔３は、ノズルプレート１の吐出面１ａに形成された吐出口１０と、吐出面１ａの反対面である接続面１ｂに形成された流入口１１との間に形成された貫通孔である。ノズル孔３は、中心軸Ａに対して対称な形状を有している。ノズル孔３は、一端に吐出口１０を有し且つ吐出面１ａに連続した円柱部分３ａと、一端に流入口１１を有し且つ接続面１ｂに連続した円錐台部分３ｂとから構成されており、円錐台部分３ｂの頂部が円柱部分３ａと同径となっている。
ノズルプレート１の吐出面１ａは、厚さ１μｍ〜１μｍ程度の下地膜としてのニッケルメッキ膜５で被覆されている。ニッケルメッキ膜５は、フッ素系高分子材料を含有していない。ニッケルメッキ膜５には、吐出口１０よりも径の大きい貫通孔７が形成されている。貫通孔７の中心軸は、ノズル孔３の中心軸Ａと一致している。そのため、吐出面１ａにおける吐出口１０周辺領域はニッケルメッキ膜５によって被覆されておらず、ニッケルメッキ膜５から露出している。
ニッケルメッキ膜５の表面（上面と側面）及び吐出面１ａにおけるニッケルメッキ膜５から露出した領域は、フッ素系樹脂、シリコン系樹脂等の撥水性を有する成分を含む膜で被覆されている。本実施の形態では、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）を含む厚さ数１０ｎｍ程度の撥水膜８で被覆されている。吐出面１ａは、撥水膜８によって、吐出口１０の穴際まで被覆されている。本実施の形態では、撥水膜８は、吐出口１０の内側へのオーバーハングがなく、撥水膜８の作る開口の径は吐出口１０と同じになっている。
このように、図２に示すノズルプレート１では、ノズル孔３とこれよりも径の大きい貫通孔７とが連通していることによって、吐出口１０は、貫通孔７によって画定される凹部の底面付近に位置することになる。そして、吐出面１ａにおける吐出口１０周辺領域上に形成された撥水膜８が、ニッケルメッキ膜５の上面に対して下方に引っ込んだ位置にある。つまり、吐出口１０の周囲に段差が形成されている。そのため、ノズルプレート１を含むインクジェットヘッドのメンテナンス過程において撥水膜８がワイパーで払拭されたときに、ワイパーによって運ばれてきた異物が、吐出口１０付近ではなく、ニッケルメッキ膜５の上面と側面との境界にある角部付近で捕捉されやすくなる。したがって、かかる異物がノズル孔３から吐出されるインク滴と干渉することがなくなり、インク吐出特性が均一化される。加えて、吐出口１０周辺領域上に形成された撥水膜８がワイパーに払拭されることでほとんどなく摩耗しにくいので、ノズルプレート１の寿命を伸ばすことができる。
次に、図１及び図２に示したノズルプレート１の製造方法について、図３（ａ）〜図３（ｇ）をさらに参照して説明する。図３（ａ）〜図３（ｇ）は、ノズルプレート１の製造方法を工程順に示す断面図である。なお、上述した説明からも分かるように、ニッケルメッキ膜５及び撥水膜８がノズルプレート１に比べて非常に薄いので、本明細書では、ノズルプレート１にニッケルメッキ膜５及び撥水膜８を加えたものについてもノズルプレートと称している。
まず、図３（ａ）に示すように、円錐台部分３ｂを設けるためのプレス工程と、円柱部分３ａを設けるためのプレス工程との２回に分けたプレス工程によって、ノズルプレート１にノズル孔３を形成する。プレス加工時のプレス方向は、接続面１ｂから吐出面１ａに向かう方向である。プレス加工によって、吐出面１ａには凸部やバリなどの突起部が生じるが、プレス加工後の研削及び研磨加工によってこれらの突起部は除去される。なお、エッチング処理によって、ノズル孔３を形成してもよい。
次に、図３（ｂ）に示すように、ノズルプレート１の吐出面１ａに、レジストとしてフィルム状の光硬化性樹脂２１を加熱しながらローラ等により圧着して、加熱温度、圧力及びローラ速度を調整して、ノズル孔３の先端部である円柱部分３ａに所定量の光硬化性樹脂２１を充填する（第１の光硬化性樹脂充填工程）。ここで、このフィルムを圧着する際の加熱温度が高すぎると、例えばガラス転移点を大きく超えると、光硬化性樹脂２１が流動性を示すようになり、必要な膜厚（例えば、５〜１５μｍ程度）の光硬化性樹脂２１を吐出面１ａ上にコーティングすることができなくなる。逆に、加熱温度が低すぎるとフィルムが軟化せず、円柱部分３ａに必要な量の光硬化性樹脂２１を充填できない。そこで、例えば、この加熱温度を、光硬化性樹脂２１が軟質のゴム状の性質を示すようになるガラス転移状態の温度とする。さらには、８０℃〜１００℃の範囲で設定することが好ましいが、この範囲に限られるものではない。また、円柱部分３ａに必要量の光硬化性樹脂２１を充填させるには、フィルム状の光硬化性樹脂２１の厚さｔは、円柱部分３ａの直径ｄ以下であることが好ましい。
次に、図３（ｃ）に示すように、接続面１ｂから吐出面１ａに向かう方向の紫外（ＵＶ）光をノズルプレート１に照射し、光硬化性樹脂２１を部分的に硬化させる（第１の硬化工程）。このとき、ノズル孔３の軸方向に沿ってノズル孔３の円柱部分３ａと重なる、つまり吐出口１０と重なる範囲内にある光硬化性樹脂２１を硬化させる。具体的には、円柱部分３ａにある光硬化性樹脂２１と、吐出面１ａを挟んで円柱部分３ａとは反対側にある光硬化性樹脂２１とが硬化して、円柱形状の柱状部２２が形成される。
また、本実施の形態では、柱状部２２が形成されてからもＵＶ光の照射を継続する、いわゆる過剰露光を行うことによって、柱状部２２の吐出面１ａから突出した部分を環状に取り囲む光硬化性樹脂２１をも硬化させる。この結果、柱状部２２のノズル孔３外にある領域を取り囲む光硬化性樹脂２１が硬化した環状部２３が形成される。すなわち、ＵＶ光の照射によって、光硬化性樹脂２１には、柱状部２２と環状部２３とからなる硬化樹脂部２５が形成されることになる。環状部２３の外径は、ノズルプレート１に照射される紫外光の露光量の大小に応じて変化する。しかしながら、ＵＶ光の露光量は高精度の調整可能であるため、環状部２２の径をＵＶ光の露光量に応じて高精度に調整することができる。
次に、図３（ｄ）に示すように、ノズルプレート１の吐出面１ａ上にある未硬化の光硬化性樹脂２１を、現像液、例えば、１％Ｎａ2ＣＯ3を含むアルカリ性の現像液で除去する（第１の未硬化樹脂除去工程）。これによって、硬化樹脂部２５だけがノズルプレート１に残される。
しかる後、図３（ｅ）に示すように、硬化樹脂部２５が残された状態で、ノズルプレート１の吐出面１ａに、ニッケルメッキ膜５を形成する（下地膜形成工程）。ニッケルメッキ膜５は、電解メッキ法及び無電解メッキ法のうちいずれの方法で形成してもよい。このとき、ニッケルメッキ膜５は、非金属である硬化樹脂部２５上には形成され難い。ニッケルメッキ膜５は、電界メッキ法であれば導電性のノズルプレート１上に選択的に成長するが、無電界メッキ法では硬化樹脂部２５上にも成長することがある。しかし、後述の硬化樹脂除去工程で、硬化樹脂部２５上のメッキ膜５は硬化樹脂部２５と共に除去される。なお、上述のように、メッキ膜としてニッケルメッキ膜を形成することには限定されず、例えば、クロムメッキ膜、銅メッキ膜を形成してもよいし、複数のメッキ膜を重ねて形成してもよい。
引き続いて、図３（ｆ）に示すように、３％ＮａＯＨである剥離液を用いて硬化樹脂部２５を溶解させ、これをノズルプレート１から除去する（硬化樹脂除去工程）。
次に、図３（ｇ）に示すように、物理蒸着（PVD：Physical Vapor Deposition）法によって、ニッケルメッキ膜５の表面（上面と側面）及び吐出面１ａにおけるニッケルメッキ膜５から露出した領域上に、撥水膜８を形成する（撥水膜形成工程）。これによって、図１及び図２に描かれたように吐出口１０の周囲に段差が形成されたノズルプレートが完成する。なお、撥水膜８は高い真空度の下で形成されるため、撥水膜８の構成粒子はその蒸着源から非常に高い直進性をもって真空中を移動し、ノズルプレート１の表面に付着する。そのため、ノズル孔３内に撥水膜８が形成されることは、ほとんどない。
本実施の形態によると、光硬化性樹脂２１を過剰露光して柱状部２２及び環状部２３から構成された硬化樹脂部２５を形成することによって、製造するのに手間と時間のかかるフォトマスクなどの部材を別途用意しなくとも、吐出口１０の周囲に段差が形成されたノズルプレートを製造することができる。
さらに、撥水膜８を物理蒸着法で形成しているので、撥水膜８をノズルプレート１の表面に選択的に簡易に形成することができる。
また、本実施の形態では、硬化樹脂部２５の環状部２２の径をＵＶ光の露光量に応じて高精度に調整することができる。そのため、ニッケルメッキ膜５から露出した吐出面１ａの長さ（吐出口１０からニッケルメッキ膜５までの距離）の製造誤差によるばらつきを小さくすることができる。したがって、ニッケルメッキ膜５と吐出口１０との距離が短すぎることに起因してニッケルメッキ膜５の段差に引っかかった異物がノズル孔３からのインク吐出を阻害すること、及び、ニッケルメッキ膜５と吐出口１０との距離が長すぎることに起因してワイパーが吐出面１ａ上の撥水膜８と接触して吐出口１０周囲がワイパーによって損傷することが少なくなる。
次に、本発明の第２の実施の形態によるノズルプレートの製造方法について説明する。本実施の形態によるノズルプレートの製造方法は、図３（ｆ）の工程までは上述した第１の実施の形態と同じである。そこで、以下、図３（ｆ）より後の工程を、図４（ａ）〜図４（ｅ）をさらに参照して説明する。図４（ａ）〜図４（ｅ）は、本実施の形態によるノズルプレートの製造方法を工程順に示す断面図である。
まず、図４（ａ）に示すように、ニッケルメッキ膜５の上面に、レジストとしてフィルム状の光硬化性樹脂３１を加熱しながらローラ等により圧着して、加熱温度、圧力及びローラ速度を調整して、貫通孔７及びノズル孔３の先端部である円柱部分３ａに所定量の光硬化性樹脂３１を充填する（第２の光硬化性樹脂充填工程）。このとき、ニッケルメッキ膜５から露出した吐出面１ａが、光硬化性樹脂３１で被覆される。
次に、図４（ｂ）に示すように、接続面１ｂから吐出面１ａに向かう方向の紫外（ＵＶ）光をノズルプレート１に照射する。これによって、ノズル孔３の軸方向に沿ってノズル孔３の円柱部分３ａと重なる、つまり吐出口１０と重なる範囲内にある光硬化性樹脂３１を硬化させる（第２の硬化工程）。これによって、円柱部分３ａにある光硬化性樹脂３１だけではなく、吐出面１ａを挟んで円柱部分３ａとは反対側にある光硬化性樹脂３１も硬化して、吐出口１０と同径の円柱形状の硬化樹脂部３５が形成される。吐出面１ａを挟んで円柱部分３ａとは反対側にある光硬化性樹脂３１は、硬化することによって、吐出面１ａから突出した突出部分となる。つまり、硬化樹脂部３５は、吐出面１ａを挟んで互いに反対側にあるノズル孔内部分と突出部分とに分けられる。
硬化樹脂部３５のノズル孔内部分の外径は、ノズルプレート１３０に照射される紫外光の露光量の大小に応じて、円柱部分３ａの直径つまり吐出口１０の直径を超えない範囲で変化する。また、突出部分の外径は、ノズルプレート１３０に照射される紫外光の露光量の大小に応じて、吐出口１０の直径未満にもこれを超える大きさにもなり得る。本実施の形態では、ノズル孔内部分の外径は、吐出口１０の直径に等しくなっている。つまり、硬化樹脂部３５のノズル孔内部分は、ノズル孔３の内壁面の吐出面１ａに連続した領域（本実施の形態では円柱部分３ａの内壁面の上半分程度の領域）を被覆しつつ、ノズル孔３を閉塞している。また、突出部分の外径は、吐出口１０の直径と同じになっている。
さらに、本実施の形態では、光硬化性樹脂３１が完全に硬化する場合よりも露光量を小さくすることにより、硬化樹脂部３５を、硬化反応の中間状態である半硬化状態とする。この半硬化状態では、硬化樹脂部３５は、若干の柔軟性及び粘性を有し、硬化樹脂部３５のノズル孔内部分の側面がノズル孔３の内壁面に密着する。半硬化状態の硬化樹脂部３５を形成するためには、光硬化性樹脂３１に対して照射する光の露光量を、光硬化性樹脂３１を完全に硬化させるために必要な露光量を１００とした場合、２０〜５０とすることが好ましい。なお、この露光量は、照射する光の強度と照射時間との積で表されるので、露光量を調整するには、これらのうち一方又は両方を制御すればよい。
次に、図４（ｃ）に示すように、ノズルプレート１の吐出面１ａ上及びニッケルメッキ膜５上にある未硬化の光硬化性樹脂３１を、現像液、例えば、１％Ｎａ2ＣＯ3を含むアルカリ性の現像液で除去する（第２の未硬化樹脂除去工程）。これによって、未硬化の光硬化性樹脂３１が除去されるが、硬化樹脂部３５はノズルプレート１に残される。
しかる後、図４（ｄ）に示すように、ニッケルメッキ膜５の表面（上面と側面）及び吐出面１ａにおけるニッケルメッキ膜５から露出した領域上に、メッキ法によって、撥水膜８を形成する（撥水膜形成工程）。このとき、撥水膜８は、非金属である硬化樹脂部３５上にはほとんど形成されない。撥水膜８は、電解メッキ法及び無電解メッキ法のうちいずれの方法で形成してもよい。
引き続いて、図４（ｅ）に示すように、３％ＮａＯＨである剥離液を用いて硬化樹脂部３５を溶解させ、これをノズルプレート１から除去する（硬化樹脂除去工程）。これによって、図１及び図２に描かれたように吐出口１０の周囲に段差が形成されたノズルプレートが完成する。
本実施の形態によっても、製造するのに手間と時間のかかるフォトマスクなどの部材を別途用意しなくとも、吐出口１０の周囲に段差が形成されたノズルプレートを製造することができるという利点が得られる。
また、本実施の形態では、一部分がノズル孔３内にある柱状の硬化樹脂部３５をマスクとして撥水膜８を形成しているので、ノズル孔３内に撥水膜が形成されることがない。したがって、メニスカスの形態が均一化し、インク吐出特性が改善される。
本実施の形態の変形例として、撥水膜形成工程が、撥水膜８を前述の物理蒸着法で形成する工程であってもよい。この場合、撥水膜８は、硬化樹脂部３５の上面にも、他の部位と同程度の厚さで形成される。しかし、膜を構成する蒸着粒子の高い直進性から、硬化樹脂部３５の側面での膜成長はほとんどない。そのため、硬化樹脂部３５上の撥水膜は、後工程の硬化樹脂除去工程で硬化樹脂部３５と共に容易に除去される。
以上、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明は上述の実施の形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な設計変更を上述の実施の形態に施すことが可能である。例えば、第１の実施の形態において、物理蒸着以外の蒸着法によって撥水膜を形成してもよい。
１ ノズルプレート
１ａ 吐出面
１ｂ 接続面
３ ノズル孔
３ａ 円柱部分
３ｂ 円錐台部分
５ ニッケルメッキ膜
７ 貫通孔
８ 撥水膜
１０ 吐出口
１１ 流入口
２１、３１ 光硬化性樹脂
２２ 柱状部
２３ 環状部
２５、３５ 硬化樹脂部
１ａ 吐出面
１ｂ 接続面
３ ノズル孔
３ａ 円柱部分
３ｂ 円錐台部分
５ ニッケルメッキ膜
７ 貫通孔
８ 撥水膜
１０ 吐出口
１１ 流入口
２１、３１ 光硬化性樹脂
２２ 柱状部
２３ 環状部
２５、３５ 硬化樹脂部
Claims (3)
- 液体を吐出するノズル孔が形成されたノズルプレートの製造方法であって、
前記ノズルプレートとなる板状部材に、これを厚み方向に貫通する前記ノズル孔を形成する工程と、
前記ノズル孔の吐出口となる一方の開口が形成された前記板状部材の第１の面を光硬化性樹脂で被覆すると共に、前記ノズル孔内の前記一方の開口に連続した領域を前記光硬化性樹脂で充填する第１の光硬化性樹脂充填工程と、
前記ノズル孔の他方の開口が形成された前記板状部材の第２の面から前記第１の面に向かう方向の光を前記板状部材に照射することによって、前記第２の面から前記第１の面に向かう方向に沿って前記一方の開口と重なる範囲内にある前記光硬化性樹脂が硬化した柱状部、及び、前記柱状部の前記ノズル孔外にある領域を取り囲む前記光硬化性樹脂が硬化した環状部から構成された第１の硬化樹脂部を形成する第１の硬化工程と、
前記第１の硬化工程後に、前記第１の面上にある未硬化の前記光硬化性樹脂を除去する第１の未硬化樹脂除去工程と、
前記第１の未硬化樹脂除去工程後に、前記第１の面上に、前記第１の硬化樹脂部の前記環状部に接触しており且つ前記環状部を取り囲む下地膜を形成する下地膜形成工程と、
前記下地膜形成工程後に、前記第１の硬化樹脂部を除去する硬化樹脂除去工程と、
前記硬化樹脂除去工程後に、前記下地膜の表面及び前記下地膜から露出した前記板状部材の前記第１の面を撥水膜で被覆する撥水膜形成工程とを備えていることを特徴とするノズルプレートの製造方法。 - 前記撥水膜形成工程において、前記撥水膜を蒸着法で形成することを特徴とする請求項１に記載のノズルプレートの製造方法。
- 前記撥水膜形成工程が、
前記下地膜から露出した前記第１の面を光硬化性樹脂で被覆すると共に、前記ノズル孔内の前記一方の開口に連続した領域を前記光硬化性樹脂で充填する第２の光硬化性樹脂充填工程と、
前記第２の面から前記第１の面に向かう方向の光を前記板状部材に照射することによって、前記第２の面から前記第１の面に向かう方向に沿って前記一方の開口と重なる範囲内にある前記光硬化性樹脂が硬化した柱状の第２の硬化樹脂部を形成する第２の硬化工程と、
前記第２の硬化工程後に、前記第１の面上にある未硬化の前記光硬化性樹脂を除去する第２の未硬化樹脂除去工程とを有しており、
前記第２の硬化樹脂部をマスクとして、前記下地膜の表面及び前記下地膜から露出した前記板状部材の前記第１の面上に撥水膜を形成することを特徴とする請求項１に記載のノズルプレートの製造方法。
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