CN1753721A - 废气供给方法及目标气体精制系统 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种废气供给方法，利用反复进行由多个步骤构成的循环的变压吸附法，用填充了吸附剂的多个吸附塔(A、B、C)从混合气体中浓缩分离目标气体时，将从该吸附塔(A、B、C)排出的废气供给到废气消耗部件(1)。根据该方法，在构成所述循环的全部步骤中，通过从至少一个所述吸附塔(A、B、C)排出所述废气，可以不间断地将该废气供给到所述废气消耗部件(1)。

Description

废气供给方法及目标气体精制系统
技术领域
本发明涉及利用变压吸附法从混合气体中浓缩分离目标气体时排出的废气的再循环技术。具体来说，本发明涉及将废气供给到废气消耗部件的方法以及目标气体的精制系统。
背景技术
作为从混合气体浓缩分离氢气等目标气体的方法，已知的有变压吸附法(下面称作PSA法)等。PSA法设置有填充了吸附剂的吸附塔2～4个，在各吸附塔中通过反复进行包括吸附工序、减压工序、脱附工序、洗净工序以及升压工序的循环操作而进行。这种利用PSA法从混合气体浓缩分离目标气体的技术，例如由日本特开2000-313605号公报已成为公知的技术。
上述专利文献中公开的技术是，如图7a～7i所示，使用包括填充了适合的吸附剂的三个吸附塔A、B、C的装置，通过反复进行由步骤I～IX构成的循环操作，进行目标气体的浓缩分离，和向废气使用部件(改性器)供给从吸附塔A、B、C排出的废气的技术。下面说明这些步骤。
如图7a所示，步骤I中，在吸附塔A中进行吸附工序、在吸附塔B中进行洗净工序、在吸附塔C中进行第一减压工序。具体地说，将混合气体导入到吸附塔A中，在塔内通过吸附剂除去不要的气体成分，产品气体(浓缩分离的目标气体)被排除到塔外。吸附塔C只是结束了吸附工序(参照后述的步骤IX)，由此导出的残留气体作为洗净气体被导入进行洗净工序的吸附塔B中。由此，进行吸附塔C的减压，同时进行吸附塔B的洗净。
如图7b所示，在步骤II中，在吸附塔A中进行吸附工序、在吸附塔B中进行第一升压工序(均压工序)、在吸附塔C中进行第二减压工序(均压工序)。具体地说，在吸附塔A中，紧接着步骤I，将由吸附剂除去不要气体成分的产品气体排出到塔外。吸附塔C中，紧接着步骤I，将残留气体导入到吸附塔B中；而吸附塔B结束洗净工序(参照步骤I)，存储从吸附塔C导入的气体。由此，进行吸附塔C的减压，同时进行吸附塔B的升压，达到吸附塔B与吸附塔C的均压。
如图7c所示，步骤III中，在吸附塔A中进行吸附工序、在吸附塔B中进行第二升压工序、在吸附塔C中进行脱附工序(排污(blow down)工序)。具体地说，在吸附塔A中，紧接着步骤I以及步骤II导入混合气体，将产品气体排出到塔外。此时，将产品气体的一部分导入到吸附塔B中，在该吸附塔B中继续进行升压操作。另外，在吸附塔C中，将塔内残留的气体排出的同时由此进行的减压使吸附在吸附剂的不要的气体成分脱附并向塔外排出。
在步骤IV～VI中，如图7d～7f所示，在吸附塔A中与步骤I～III中的吸附塔C相同，分别进行第一减压工序、第二减压工序以及脱附工序。在吸附塔B中与步骤I～III中的吸附塔A相同地进行吸附工序。在吸附塔C中与步骤I～III中的吸附塔B相同地进行洗净工序、第一升压工序以及第二升压工序。
步骤VII～IX中，如图7g～7i所示，在吸附塔A中与步骤I～III中的吸附塔B相同地进行洗净工序、第一升压工序以及第二工序。在吸附塔B中与步骤I～III中的吸附塔C相同地进行第一减压工序、第二减压工序以及脱附工序。在吸附塔C中与步骤I～III中的吸附塔A相同地进行吸附工序。
通过在各个吸收塔A、B、C中反复进行如上说明的步骤I～IX，从混合气体中除去不要的气体成分，能够连续地得到目标气体的浓度高的产品气体。
另一方面，从步骤I中的吸附塔B、步骤III中的吸附塔C、步骤IV中的吸附塔C、步骤VI中的吸附塔A、步骤VII中的吸附塔A、步骤IX中的吸附塔B被排出的废气，经由废气储藏容器(未图示)，作为燃料气体供给改性器。在这里，经由废气储藏容器的理由是：在步骤II、V、VII中从任何吸附塔都没有废气排出，因此通过将从其他步骤中排出的废气的一部分储藏在气体储藏槽中，在即使从吸附塔排出的废气被中断的步骤II、V、VIII中的情况下，也能向改性器连续不间断地供给废气。
但是，废气储藏容器一般具有吸附塔5倍以上的容积，在推进进行浓缩分离目标气体的系统的小型化的过程中，成为重大的阻碍因素。另外，在上述专利文献公开的技术中，若减少废气储藏容器的容积，压力变化大，因此难以实现该储藏槽的小型化。
发明内容
因此，本发明的目的是提供废气供给方法，该方法利用PSA法，通过多个吸附塔从混合气体浓缩分离目标气体时，能不间断地向废气消耗部件供给从该吸附塔排出的废气，同时能将进行目标气体的浓缩分离的系统小型化。
本发明的其他目的是提供用于实施这种废气供给方法的目标气体精制系统。
本发明的第一方面，提供一种废气供给方法，该方法利用反复进行由多个步骤构成的循环的变压吸附法，通过填充了吸附剂的多个吸附塔从混合气体浓缩分离目标气体时，将从该吸附塔排出的废气供给到废气消耗部件，其特征在于：在由上述循环构成的全部步骤中，通过从上述吸附塔的至少一个塔排出上述废气，将该废气不间断地连续供给到上述废气消耗部件。
若成为以上的结构，能够将废气向塔外连续排出，由此即使不通过废气储藏容器大量储藏该废气，也能不间断地向废气消耗部件连续供给废气。因此，可以将在小型化目标气体精制系统过程中成为重大的阻碍要素的废气储藏容器小型化、或者除去，进一步而言，能达到将目标气体精制系统小型化的目标。
向废气消耗部件供给的废气优选控制其流量。通过这样的结构，在每一个步骤、或者时间点，即使废气的排出压力或组成急剧变化，也能够缓和该变化。因此，能够更稳定的向废气消耗部件供给废气。
流量控制优选通过改变控制阀的开度来进行，该流量控制阀设置在连接各吸附塔与废气消耗部件的气体流路中。
根据本发明的适合的实施方式，在上述各吸附塔中，依次反复进行以下工序：通过吸附剂吸附混合气体中不要的气体成分，将目标气体的浓度高的产品气体排出的吸附工序；将吸附塔内的压力降低到第一中间压力的第一减压工序；将吸附塔内的压力降低到第二中间压力的第二减压工序；将吸附剂吸附的不要的气体成分脱附并排出的脱附工序；将洗净气体导入到吸附塔内，将塔内残留的气体排出的洗净工序；使吸附塔内的压力上升的升压工序。将处于上述第二减压工序中的从吸附塔的产品气体出口排出的残留气体导入到处于上述升压工序中的其他吸附塔中，同时，从处于上述第二减压工序中的吸附塔的混合气体入口，向上述废气消耗部件供给废气。
上述各吸附塔优选在上述第二减压工序、上述脱附工序以及上述洗净工序中向上述废气消耗部件供给废气。
向上述废气消耗部件供给的上述废气，优选通过流量控制阀控制其流量，该流量控制阀设置在连接上述各吸附塔与上述废气消耗部件之间的气体流路上。另外，流量控制阀的开度，在上述洗净工序中最大，在上述第二减压工序中最小，在上述脱附工序中逐渐增加。
本发明的其他适合的实施方式中，在上述各吸附塔中依次反复进行以下工序：用吸附剂吸附混合气体中不要的气体成分，将目标气体的浓度高的产品气体排出的吸附工序；将吸附塔内的压力降低到第一中间压力的第一减压工序；将吸附塔内的压力降低到第二中间压力的第二减压工序；将吸附剂上吸附的不要的气体成分脱附并排出的脱附工序；将洗净气体导入到吸附塔内将残留的气体排出的洗净工序；使吸附塔内的压力上升的第一升压工序；同时关闭吸附塔的混合气体入口以及产品气体出口的待机工序；进一步升高吸附塔内的压力的第二升压工序。将处于上述第二减压工序中的从吸附塔的产品气体出口排出的残留气体导入处于上述第一升压工序中的其他吸附塔，同时，从处于上述第二减压工序中的吸附塔的混合气体入口向上述废气消耗部件供给废气。
上述废气消耗部件优选构成具有制造上述混合气体的改性装置的燃烧部。
上述目标气体优选为氢气，上述混合气体优选含有氢气和氢气以外的可燃性气体。
本发明的第二方面提供一种目标气体精制系统，具备：具有燃烧部的同时，从原料气体制造含有目标气体的混合气体的改性装置；利用反复进行由多个步骤构成的循环的变压吸附法，用填充了吸附剂的多个吸附塔从上述混合气体浓缩分离目标气体的精制装置；将从该精制装置排出的废气作为燃料气体供给上述燃烧部的供给装置。上述供给装置具备排出控制装置，该排出控制装置在构成上述循环的整个步骤中，通过从至少一个上述吸附塔排出上述废气，能够向上述燃烧部不间断地连续供给上述废气。
上述供给装置优选不经由暂时存储上述废气的废气储藏容器向上述燃烧部供给该废气。
上述排出控制装置优选具备流量控制阀和控制该流路控制阀开度的开度控制装置，该流量控制阀设置在向上述吸附塔供给或排出各种气体的气体流路上。
本发明的其他特征以及优点，将从基于附图说明的实施方式中得到清楚的解释。
附图说明
图1是用于实现本发明第一实施方式的废气的供给方法的3塔式PSA系统的概略结构图。
图2是表示在用上述3塔式PSA系统浓缩分离目标气体时的各步骤(步骤1～9)中，各吸附塔中进行的工序以及此时的阀的开闭状态的时间图。
图3是上述各步骤(步骤1～9)相对应的气体流程图。
图4是表示用于控制从上述PSA系统被排出的废气的流量的流量控制阀的开度的经时变化的图。
图5是表示在使用用于实现本发明第二实施方式的废气供给方法的4塔式PSA系统来浓缩分离目标气体时的各步骤(步骤1’～12’)中，在各吸附塔中进行工序的时间图。
图6是上述各步骤(步骤1’～12’)相对应的气体流程图。
图7是表示使用用于实现现有的废气供给方法的3塔式PSA系统来浓缩分离目标气体时的各步骤(步骤I～IX)相对应的气体流程图。
具体实施方式
下面参照附图具体说明本发明优选的实施方式。
本发明第一实施方式的废气供给方法，例如可使用图1所示的3塔式PSA系统来实施。该图中所示的3塔式的PSA系统X1，主要具备改性装置1、精制装置2和废气供给装置3。改性装置1包括燃烧部10和改性部11。精制装置2包括3个吸附塔A、B、C，和混合气体用配管20、产品气体用配管21、残留气体回收用配管22、气体导入用配管23、产品气体逆流用配管24。废气供给装置3具备废气供给用配管30。
各吸附塔A、B、C中填充有吸附剂。作为吸附剂可举出炭(适于除去碳酸气体或甲烷气体)、沸石(适于除去一氧化炭或氮气)、氧化铝(适于除去水蒸气)等。当然，示例的吸附剂可以并用2种以上，另外也可以使用示例之外的其它吸附剂。
各个配管20～24上分别设置有自动阀a～q。在残留气体回收用配管22、产品气体逆流用配管24以及废气供给用配管30上，分别设置有流量控制阀40、41、42。另外，还设置有控制自动阀a～q的开闭以及流量控制阀40、41、42的开度的控制装置(未图示)。如下所述，通过控制自动阀a～q的开闭状态的选择以及流量控制阀40、41、42的开度，可以在各吸附塔A、B、C中进行吸附工序、第一减压工序、第二减压工序、脱附工序、洗净工序、第一升压工序以及第二升压工序。
具体来说，在图2所示的时间，在各吸附塔A、B、C中进行各个工序(步骤1～9)。各步骤中的自动阀a～q的开闭状态，如图2所示；而图3a～3i示意性地表示了各步骤中的气体流。另外，图4表示步骤1～3中控制各步骤中流量控制阀42的开度的一个例子。在如图4所示的例子中，流量控制阀42的开度，在步骤1中是100％(一定)，在步骤2中是10％(一定)，在步骤3中是40％(步骤3开始)～100％(步骤3结束)，随着时间大致呈直线变化。但是，流量控制阀42的开度可根据需要任意设定。相同地，流量控制阀40、41的开度也是可根据需要任意设定。
另外，图2中使用了以下的省略符号。
AD：吸附工序；第一DP：第一减压工序；第二DP：第二减压工序；DE：脱附工序；SC：洗净工序；第一PR：第一升压工序；第二PR：第二升压工序。
在步骤1中，如图2所示，在吸附塔A中进行吸附工序、在吸附塔B中进行洗净工序、在吸附塔C中进行第一减压工序，形成如图3a中所示的气体流状态。
如图1以及图3a所示，在吸附塔A中，从改性装置1中的改性部11经由混合气体用配管20以及自动阀a导入混合气体。在吸附塔A中，用吸附剂除去不要的气体成分，产品气体被排出到塔外。产品气体经由自动阀i以及产品气体用配管21被回收。
经由自动阀n、残留气体回收用配管22、流量控制阀40、自动阀p、气体导入用配管23以及自动阀j，将从吸附塔C排出的残留气体(洗净气体)导入吸附塔B。吸附塔C，相对于先前进行的吸附工序，由于在吸附塔B中预先进行了脱附工序(参照图3i所示的步骤9)，形成吸附塔C的塔内的压力高于吸附塔B的塔内压力的状态。因此，通过将吸附塔C的残留气体导入到吸附塔B中，使吸附塔C的塔内的压力减压到第一中间压力，从吸附塔B向塔内排出残留气体。该气体经由自动阀d、废气供给用配管30以及流量控制阀42，供给到改性装置1的燃烧部10。
假定吸附最高压力为100％、脱附最低压力为0％时，吸附塔C(第一减压工序)中的上述第一中间压力为35％～85％的范围。
在步骤2中，如图2所示，在吸附塔A中进行吸附工序、在吸附塔B中进行第一升压工序、在吸附塔C中进行第二减压工序，形成图3b中所示的气体流状态。
如图1以及图3b所示，在吸附塔A中，紧接着步骤1导入混合气体，产品气体被排出到塔外。产品气体与步骤1相同被回收。
另一方面，从吸附塔C导出的残留气体，经由自动阀n、残留气体回收用配管22、流量控制阀40、自动阀p、气体导入用配管23以及自动阀j被导入到吸附塔B，同时经由自动阀f、废气供给用配管30以及流量控制阀42被供给到燃烧部10。即，在步骤2中，为使在吸附塔B与吸附塔C之间达到均压化，通过关闭自动阀d中断从吸附塔B供给的废气，但通过开启自动阀f，经由自动阀f、废气供给用配管30以及流量控制阀42，从吸附塔C向燃烧部10供给废气。其结果，可不间断地连续从步骤1向燃烧部10供给废气。另外，吸附塔C塔内的压力被减压到比第一中间压力更低的第二中间压力，同时进行吸附塔B内的升压。
假定吸附最高压力为100％、脱附最低压力为0％时，吸附塔C(第二减压工序)中的上述第二中间压力在15％～50％的范围。
在步骤3中，如图2所示，在吸附塔A中进行吸附工序、在吸附塔B中进行第二升压工序、在吸附塔C中进行脱附工序，形成图3c中所示的气体流状态。
如图1及图3c所示，在吸附塔A中，紧接着步骤1以及步骤2继续导入混合气体，产品气体被排出到塔外。产品气体与步骤1相同被回收，但其一部分经由产品气体逆流用配管24、自动阀q、流量控制阀41、气体导入用配管23以及自动阀j被导入到吸附塔B中，进行吸附塔B塔内的更进一步的升压。
另一方面，如图2所示，在吸附塔C中，自动阀e、m、n、o被关闭，在开启自动阀f的状态下，从塔内排出废气(含有从吸附剂脱附的不要的气体)直到达到脱附最低压力。该废气，经由自动阀f、废气供给用配管30以及流量控制阀42被供给到燃烧部10。由此，从步骤2可连续不间断地向燃烧部10供给废气。
在步骤4～6中，如图2以及图3d～3f所示，在吸附塔A中与步骤1～3中的吸附塔C相同进行第一减压工序、第二减压工序以及脱附工序。在吸附塔B中与步骤1～3中的吸附塔A相同进行吸附工序。在吸附塔C中与步骤1～3中的吸附塔B相同进行洗净工序、第一升压工序以及第二升压工序。
在步骤7～9中，如图2以及图3g～3i所示，在吸附塔A中与步骤1～3中的B相同地进行洗净工序、第一升压工序以及第二升压工序。在吸附塔B中与步骤1～3中的吸附塔C相同地进行第一减压工序、第二减压工序以及脱附工序。在吸附塔C中与步骤1～3中的吸附塔A相同进行吸附工序。
通过在各吸附塔A、B、C中反复进行以上说明的步骤1～9，从混合气体中除去不要的气体成分，能够连续地得到目标气体的浓度高的产品气体，同时，能从各吸附塔A、B、C连续排出废气。其结果，可连续不间断地向燃烧部10供给废气。因此，在本实施方式的PSA系统X1中，不需要设置占大的设置面积的废气储藏容器，可达成该系统X1的小型化的目的。另外，目标气体为氢气时，作为混合气体优选含有氢气和氢气以外的可燃性气体成分的气体。
接着，参照图5～图6说明本发明第二实施方式的废气供给方法。图5表示在各步骤(参照后述的步骤1’～12’)中的各吸附塔中进行着的工序的内容。图6示意性地表示浓缩分离目标气体时各步骤对应的气体流。第二实施方式中的PSA系统与上述第一实施方式中的PSA系统X1的结构上的不同点是，追加吸附塔D使其成为4塔式。伴随着吸附塔D的追加，进行自动阀的追加等，但其他结构与第一实施方式的相同，因此省略了在第二实施方式中对详细的系统结构以及各步骤中阀的开闭状态的说明。
另外，图5中使用以下的省略符号。
AD：吸附工序；第一DP：第一减压工序；第二DP：第二减压工序；DE：脱附工序；SC：洗净工序；第一PR：第一升压工序；第二PR：第二升压工序；WA：待机工序。
在第二实施方式中，在各吸附塔A、B、C、D中进行吸附工序、第一减压工序、第二减压工序、脱附工序、洗净工序、第一升压工序、待机工序以及第二升压工序。具体地，在图5所示的时间段内在各吸附塔A、B、C、D中进行各工序(步骤1’～12’)。
在步骤1中，如图5所示，在吸附塔A中进行吸附工序、在吸附塔B中进行第二升压工序、吸附塔C中进行洗净工序、吸附塔D中进行第一减压工序，形成如图6a所示的气体流的状态。
如图6a所示，将混合气体从改性部(未图示)导入到吸附塔A中。在吸附塔A中，由吸附剂除去不要的气体，产品气体被排出到塔外，被回收。另外，该产品气体的一部分被导入到吸附塔B中，进行吸附塔B的塔内的升压。
将从吸附塔D排出的残留气体(洗净气体)导入吸附塔C中。相对于吸附塔D先前进行的吸附工序，吸附塔C预先进行了脱附工序(参照图61所示的后述的步骤12’)，因此形成吸附塔D的塔内的压力比吸附塔C的塔内压力高的状态。因此，通过将吸附塔D的残留气体导入到吸附塔C中，使吸附塔D的塔内减压到第一中间压力，从吸附塔C向塔内排出残留气体。被排出的气体供给到燃烧部(未图示)。
假定吸附最高压力为100％、脱附最低压力为0％时，吸附塔D(第一减压工序)中的上述第一中间压力在35％～85％的范围。
在步骤2中，如图5所示，在吸附塔A中进行吸附工序、在吸附塔B中进行第二升压工序、在吸附塔C中进行第一升压工序、吸附塔D中进行第二减压工序，形成如图6b所示的气体流状态。
如图6b所示，紧接着步骤1’继续将混合气体导入到吸附塔A中，产品气体被排出到塔外。产品气体与步骤1’相同被回收。另外，该产品气体的一部分紧接着被导入到吸附塔B中，进行吸附塔B的塔内的升压。
另一方面，从吸附塔D导出的残留气体，被导入到吸附塔C中的同时，供给到燃烧部(未图示)。即，在步骤2’中，为了在吸附塔C与吸附塔D之间达到均压化，中断从吸附塔C的废气的排出，但从吸附塔D向燃烧部(未图示)供给废气。其结果，可向燃烧部连续不间断地供给废气。通过该过程，吸附塔D的塔内被减压到比第一中间压力低的第二中间压力，同时进行吸附塔C的升压。
假定吸附最高压力为100％、脱附最低压力为0％时，吸附塔D(第二减压工序)中的第二中间压力为15％～50％的范围。
在步骤3中，如图5所示，在吸附塔A中进行吸附工序、在吸附塔B中进行第二升压工序、在吸附塔C中进行待机工序，在吸附塔D中进行脱附工序，形成如图6c所示的气体流状态。
如图6c所示，紧接着步骤1’以及步骤2’将混合气体导入到吸附塔A中，产品气体被排出到塔外。产品气体与步骤1’相同被回收。另外，该产品气体的一部分被导入到吸附塔B中，进行吸附塔B的塔内的升压。
另一方面，在吸附塔D中，从塔内排出废气(含有从吸附剂脱附的不要的气体成分)直到脱附最低压力。被排出的废气供给给燃烧部(未图示)。另外，吸附塔C是不进行气体传输的待机状态。
步骤4’～6’中，如图5以及图6d～6f所示，在吸附塔A中与步骤1’～3’中的吸附塔D相同，进行第一减压工序、第二减压工序以及脱附工序。在吸附塔B中与步骤1’～3’中的吸附塔A相同，进行吸附工序。在吸附塔C中与步骤1’～3’中的吸附塔B相同，进行第二升压工序。在吸附塔D中与步骤1’～3’中的吸附塔C相同，进行洗净工序、第一升压工序以及待机工序。
在步骤7’～9’中，如图5以及图6g～6i所示，在吸附塔A中与步骤1’～3’中的吸附塔C相同，进行洗净工序、第一升压工序以及待机工序。在吸附塔B中与步骤1’～3’中的吸附塔D相同，进行第一减压工序、第二减压工序以及脱附工序。在吸附塔C中与步骤1’～3’中的吸附塔A相同，进行吸附工序。在吸附塔D中与步骤1’～3’中的吸附塔B相同，进行第二升压工序。
步骤10’～12’中，如图5以及图6j～61所示，在吸附塔A中与步骤1’～3’中的吸附塔B相同，进行第二升压工序。在吸附塔B中与步骤1’～3’中的吸附塔C相同，进行洗净工序、第一升压工序以及待机工序。在吸附塔C中与步骤1’～3’中的吸附塔D相同，进行第一减压工序、第二减压工序以及脱附工序。在吸附塔D中与步骤1’～3’中的吸附塔A相同，进行吸附工序。
通过在吸附塔A、B、C、D中反复进行以上说明的步骤1’～12’，从混合气体中除去不要的气体成分，可连续地得到目标气体的浓度高的产品气体。另外，由于从吸附塔A、B、C、D连续地排出废气，能够不间断地向燃烧部(未图示)连续供给该废气。因此，在第二实施方式的PSA系统中，不需要设置占大的设置面积的废气储藏容器，能够达成该系统的小型化的要求。另外，当目标气体是氢气时，作为混合气体优选含有氢气和氢气以外的可燃性气体的气体。
以上说明了本发明的具体实施方式，但本发明不仅限于此，可在不超出本发明思想的范围内实施各种变更。

Claims (12)

1.一种废气供给方法，利用反复进行由多个步骤构成的循环的变压吸附法，使用填充了吸附剂的多个吸附塔从混合气体中浓缩分离目标气体时，将从该吸附塔排出的废气供给到废气消耗部件，其特征在于：
在构成所述循环的全部步骤中，通过从至少一个所述吸附塔排出所述废气，不间断地将该废气连续供给到所述废气消耗部件。
2.如权利要求1所述的废气供给方法，其特征在于，对供给到所述废气消耗部件的所述废气进行流量控制。
3.如权利要求2所述的废气供给方法，其特征在于，所述流量控制通过改变流量控制阀的开度进行，该流量控制阀设置在连接所述各吸附塔与所述废气消耗部件之间的气体流路上。
4.如权利要求1所述的废气供给方法，其特征在于，在所述各吸附塔中，依次反复进行以下工序：
用吸附剂吸附混合气体中不要的气体成分，排出目标气体的浓度高的产品气体的吸附工序；
将吸附塔内的压力降低到第一中间压力的第一减压工序；
将吸附塔内的压力降低到第二中间压力的第二减压工序；
将吸附剂吸附的不要的气体成分脱附并排出的脱附工序；
将洗净气体导入到吸附塔内并排出塔内残留气体的洗净工序；和
使吸附塔内的压力上升的升压工序；
将从处于所述第二减压工序中的吸附塔的产品气体出口排出的残留气体导入处于所述升压工序中的其他吸附塔内的同时，从处于所述第二减压工序中的吸附塔的混合气体入口，将废气供给到所述废气消耗部件。
5.如权利要求4所述的废气供给方法，其特征在于，所述各吸附塔在所述第二减压工序、所述脱附工序以及所述洗净工序中向所述废气消耗部件供给废气。
6.如权利要求5所述的废气供给方法，其特征在于，向所述废气消耗部件供给的所述废气，通过流量控制阀控制其流量，该流量控制阀设置在连接所述各吸附塔与所述废气消耗部件之间的气体流路上，该流量控制阀的开度，在所述洗净工序中最大，在所述第二减压工序中最小，在所述脱附工序中缓缓增加。
7.如权利要求1所述的废气供给方法，其特征在于，在所述各吸附塔中依次反复进行以下工序：
用吸附剂吸附混合气体中不要的气体成分，排出目标气体的浓度高的产品气体的吸附工序；
将吸附塔内的压力降低到第一中间压力的第一减压工序；
将吸附塔内的压力降低到第二中间压力的第二减压工序；
将吸附剂吸附的不要的气体成分脱附并排出的脱附工序；
将洗净气体导入到吸附塔内，并将塔内残留的气体排出的洗净工序；
使吸附塔内的压力上升的第一升压工序；
同时关闭吸附塔的混合气体入口及产品气体出口的待机工序；和
进一步升高吸附塔内的压力的第二升压工序；
将从处于所述第二减压工序中的吸附塔的产品气体出口排出的残留气体导入处于所述第一升压工序中的其他吸附塔的同时，从处于所述第二减压工序中的吸附塔的混合气体入口将所述废气供给到所述废气消耗部件。
8.如权利要求1所述的废气供给方法，其特征在于，所述废气消耗部件构成制造所述混合气体的改性装置的燃烧部。
9.如权利要求1所述的废气供给方法，其特征在于，所述目标气体为氢气，所述混合气体含有氢气和氢气以外的可燃性气体成分。
10.一种目标气体精制系统，具备：
改性装置，具有燃烧部，同时从原料气体制造含有目标气体的混合气体；
精制装置，利用反复进行由多个步骤构成的循环的变压吸附法，使用填充了吸附剂的多个吸附塔从所述混合气体中浓缩分离目标气体；和
供给装置，将从该精制装置排出的废气作为燃料供给到所述燃烧部；其特征在于：
所述供给装置具备排出控制装置，该排出控制装置在构成所述循环的整个步骤中，通过从至少一个所述吸附塔中排出所述废气，能够向所述燃烧部不间断地连续供给所述废气。
11.如权利要求10所述的目标气体精制系统，其特征在于，所述供给装置不通过暂时存储所述废气的废气储藏容器向所述燃烧部供给该废气。
12.如权利要求10所述的目标气体精制系统，其特征在于，所述排出控制装置具备流量控制阀和控制该流路控制阀开度的开度的控制装置，该流量控制阀设置在向所述吸附塔供给或排出各种气体的气体流路上。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101443267B (zh) * 2006-05-11 2011-05-11 住友精化株式会社 氢制造系统和该系统中的废气流量控制方法
CN103596661A (zh) * 2011-06-07 2014-02-19 住友精化株式会社 目标气体分离方法和目标气体分离装置

Families Citing this family (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7399342B2 (en) 2004-12-22 2008-07-15 Idatech, Llc Systems and methods for regulating heating assembly operation through pressure swing adsorption purge control
TW200833603A (en) * 2006-10-20 2008-08-16 Sumitomo Seika Chemicals Method and apparatus for separating hydrogen gas
US8070841B2 (en) 2007-12-12 2011-12-06 Idatech, Llc Systems and methods for supplying auxiliary fuel streams during intermittent byproduct discharge from pressure swing adsorption assemblies
US7837765B2 (en) 2007-12-12 2010-11-23 Idatech, Llc Systems and methods for supplying auxiliary fuel streams during intermittent byproduct discharge from pressure swing adsorption assemblies
KR101581673B1 (ko) * 2008-02-05 2015-12-31 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 제조 프로세스들로부터의 가연성 폐기물 가스들을 처리하기 위한 시스템 및 방법
JP4673440B1 (ja) * 2010-06-09 2011-04-20 住友精化株式会社 目的ガスの分離回収方法
JP2014189480A (ja) * 2013-03-28 2014-10-06 Sumitomo Seika Chem Co Ltd 水素ガスの精製方法および精製装置
KR101594893B1 (ko) * 2014-12-04 2016-02-18 재단법인 포항산업과학연구원 일산화탄소 선택성 흡착제를 이용하는 압력변동흡착 공정
CN109790020A (zh) * 2016-09-26 2019-05-21 住友精化株式会社 氢气或氦气的精制方法和氢气或氦气的精制装置
JP6763817B2 (ja) * 2017-04-20 2020-09-30 大陽日酸株式会社 水素ガス製造装置、及び水素ガス製造方法
US11085016B1 (en) 2020-01-20 2021-08-10 Chio Kang Medical, Inc. Method for screening bacteria capable of degrading ethylene oxide
US11220667B2 (en) 2020-01-20 2022-01-11 Chio Kang Medical, Inc. Bacteria for degrading ethylene oxide and applications thereof
US11124438B2 (en) 2020-01-20 2021-09-21 Chio Kang Medical, Inc. Alcaligenes faecalis for degrading ethylene oxide
US11130939B2 (en) 2020-01-20 2021-09-28 Chio Kang Medical, Inc. Bacteria for degrading ethylene oxide and uses thereof
WO2021184605A1 (en) 2020-03-18 2021-09-23 Qiaokang Biotech (Guangdong) Co., LTD. Microbiological treatment system for ethylene oxide exhaust gas
US11125498B1 (en) 2020-03-18 2021-09-21 Chio Kang Medical, Inc. Gas liquefaction separator, gas liquefaction recovery system, and method for separating and recovering ethylene oxide
US11123680B1 (en) * 2020-03-18 2021-09-21 Chio Kang Medical, Inc. Devices, systems, and methods for treating ethylene oxide waste gas
US11130095B1 (en) 2020-03-18 2021-09-28 Chio Kang Medical, Inc. Sterilization exhaust gas treating system and method for treating ethylene oxide-containing sterilization exhaust gas by using the same
US11103829B1 (en) 2020-03-18 2021-08-31 Chio Kang Medical, Inc. Systems and methods for treating ethylene oxide waste gas
US11110390B1 (en) 2020-03-18 2021-09-07 Chio Kang Medical, Inc. Systems and methods for treating sterilization exhaust gas containing ethylene oxide
US11129914B1 (en) 2020-03-19 2021-09-28 Chio Kang Medical, Inc. Ethylene oxide adsorption tower and recovery system, and method for recovering ethylene oxide
WO2022000463A1 (en) 2020-07-03 2022-01-06 Qiaokang Biotech (Guangdong) Co., LTD. Mobile sterilization system, mobile execution system, and mobile analysis system
WO2022000464A1 (en) 2020-07-03 2022-01-06 Qiaokang Biotech (Guangdong) Co., LTD. Mobile pretreatment apparatus and an operating method thereof, and a mobile analysis apparatus and an operating method thereof
WO2022000460A1 (en) 2020-07-03 2022-01-06 Qiaokang Biotech (Guangdong) Co., LTD. Container sterilization device and system, assembling method thereof, and use thereof
KR102667907B1 (ko) * 2023-11-29 2024-05-22 주식회사 케이와이테크 고순도 가스 정제 시스템, 이를 위한 제어 장치 및 제어 방법

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3986849A (en) † 1975-11-07 1976-10-19 Union Carbide Corporation Selective adsorption process
JPS53140294A (en) * 1977-05-13 1978-12-07 Hokusan Kk Method and apparatus for adsorbing and separating oxygen product by air pressure fluctuation
JPS5443179A (en) * 1977-09-12 1979-04-05 Hokusan Kk Adsobent regeneration method in pressure changing adsorption separating method for mixing gas with adsobent
DE2930782A1 (de) † 1979-07-28 1981-02-12 Linde Ag Verfahren zur adsorptiven reinigung oder zerlegung von gasgemischen
DE3346032A1 (de) * 1983-12-20 1985-06-20 Linde Ag, 6200 Wiesbaden Druckwechseladsorptionsverfahren
US4770676A (en) † 1986-05-16 1988-09-13 Air Products And Chemicals, Inc. Recovery of methane from land fill gas
US4858121A (en) * 1986-12-12 1989-08-15 Medical Payment Systems, Incorporated Medical payment system
JPH07136444A (ja) * 1993-11-17 1995-05-30 Kobe Steel Ltd 一酸化炭素を含む混合ガスから一酸化炭素を分離回収する圧力スイング吸着方法
US5935060A (en) * 1996-07-12 1999-08-10 First Opinion Corporation Computerized medical diagnostic and treatment advice system including list based processing
AU6047498A (en) * 1997-03-03 1998-09-22 University Of Florida Method and system for interactive prescription and distribution of drugs in conducting medical studies
US6048384A (en) * 1997-12-09 2000-04-11 Smolarek; James PSA process and system using simultaneous top and bottom evacuation of absorbent bed
JP3819174B2 (ja) 1999-04-26 2006-09-06 東京瓦斯株式会社 圧力スイング吸着装置におけるオフガス流量制御方法
JP4438123B2 (ja) 1999-04-28 2010-03-24 東ソー株式会社 高度さらし粉と塩化カルシウム水溶液の併産方法
JP2001164527A (ja) * 1999-12-08 2001-06-19 Shiyouretsu Kanemoto 交通コーン用カバー
US6379431B1 (en) † 2000-01-20 2002-04-30 Air Products And Chemicals, Inc. Pressure swing adsorption process with multiple beds on purge and/or with ten beds and four pressure equalization steps
US6454838B1 (en) † 2000-06-21 2002-09-24 Air Products And Chemicals, Inc. Six bed pressure swing adsorption process with four steps of pressure equalization
US20020004727A1 (en) * 2000-07-03 2002-01-10 Knaus William A. Broadband computer-based networked systems for control and management of medical records
JP4611514B2 (ja) * 2000-12-25 2011-01-12 住友精化株式会社 水素ガスの分離方法
DE60127717T2 (de) * 2000-12-25 2007-12-27 Sumitomo Seika Chemicals Co., Ltd. Verfahren zur Abtrennung von Wasserstoffgasen
JPWO2002051523A1 (ja) * 2000-12-26 2004-04-22 住友精化株式会社 目的ガスの分離方法および分離装置
JP2002355522A (ja) * 2001-05-31 2002-12-10 Tokyo Gas Co Ltd 水素精製用４塔式ｐｓａ装置におけるオフガスタンクからのオフガス圧力の制御方法
JP2002355521A (ja) * 2001-05-31 2002-12-10 Tokyo Gas Co Ltd ４塔式圧力スイング吸着装置におけるオフガス流量制御方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101443267B (zh) * 2006-05-11 2011-05-11 住友精化株式会社 氢制造系统和该系统中的废气流量控制方法
CN103596661A (zh) * 2011-06-07 2014-02-19 住友精化株式会社 目标气体分离方法和目标气体分离装置
CN103596661B (zh) * 2011-06-07 2015-09-09 住友精化株式会社 目标气体分离方法和目标气体分离装置

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