CN1651970A - 光扫描装置及图像形成装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种小型的、并可以使光束在被扫描面上高速扫描的光扫描装置以及使用了该装置的图像形成装置。其中，第一距离比第二距离长。由此，在摆动轴方向Y上，可动板(653)与水平边部(第一邻接部)(652a)分开，从而可以降低对可动板(653)的空气阻力，进而可以降低发热量本身。且来自第一光学系统的光束自偏转镜面(651)的正面侧，与偏转镜面(651)的面法线成锐角而从摆动轴方向Y入射到偏转镜面(651)上。因此，光束L通过偏转镜面(651)的周围空间以外的空间，即通过偏转镜面的中央部分附近的空间。因此，可以不受热影响地使光束进行扫描。

Description

光扫描装置及图像形成装置

技术领域

本发明涉及使光束在被扫描面上在主扫描方向上进行扫描的光扫描装置，以及使用该装置形成静电潜像的图像形成装置。

背景技术

使用这种光扫描装置的装置例如有激光打印机、复印机以及传真装置等图像形成装置。例如在专利文献1中，根据图像数据而调制的激光束通过准直透镜、第一柱面透镜及反射镜向偏转器入射并被偏转。更具体地说，专利文献1中记载的装置如下构成。

在该光扫描装置中，使从半导体激光器射出的激光束通过准直透镜及柱面透镜，从而将其整形为截面形状为在主扫描方向延伸的横长椭圆形的激光束。然后，该激光束沿着主扫描平面向偏转器的反射镜入射。

在该装置中，为了消除特别是在将多面反射镜或者检流计镜用作偏转器时而产生的各种问题，使用了利用微加工技术而制造的偏转器。即，利用光刻技术与蚀刻技术，将水晶、玻璃、硅等基板加工成在框架内一体地形成了激励线圈、反射镜及钢弦的光偏转镜。然后，在装备了该光偏转镜的偏转器中，通过向激励线圈施加电压使得反射镜绕着与主扫描方向大体垂直的摆动轴摆动，并使入射到反射镜的激光束发生偏转。

然后，被偏转器偏转了的激光束通过扫描透镜及第二柱面透镜在成像体(相当于本发明的“潜像载体”)上成像。如此，在成像体上形成与图像数据相对应的静电潜像。

专利文献1：日本专利特开昭63-279220号公报(第6页，图2、图3)。

但是，作为对使用了偏转器的光扫描装置的要求，例如有装置的小型化以及光扫描的高速化，为了满足这些要求，相当于本发明的“可动部件”的反射镜的小型化就变得十分重要。然而，在专利文献1记载的装置中，就需要设计反射镜，使得在主扫描方向上，反射镜比反射镜上的激光束直径长得足够多。即，在以往装置中，由于采用了激光束沿着主扫描平面向反射镜入射的结构，因而即使当反射镜的摆动角θ为零时，激光束在主扫描平面中也会相对于反射镜的法线有角度地入射。此时，反射镜斜着截切激光束，为了反射整个光束，就需要在主扫描方向上比光束直径大的反射面。另外，如果考虑反射镜向激光束的入射角增大的方向摆动的情形，则由于反射镜截切激光束的角度进一步变为锐角，因而需要更大的反射面。这对于高速化来说是一个很大的障碍。

此外，主扫描方向上的反射镜变长，不只是单单产生反射镜的重量增大的问题，而且还产生了被驱动绕着摆动轴摆动的反射镜的惯性力矩增大的问题。因此，对于反射镜的高速摆动来说很不利。

更进一步，当使反射镜高速摆动时，由于摆动的反射镜与周围空气摩擦生热，所以，需要对这一点给予充分的考虑。即，在反射镜的周围产生热，并由于该热影响而在反射镜的周围空间内产生空气波动。然后，在以往的装置中，由于光束通过产生了波动的空间，所以该空间内的空气折射率发生变化，从而产生光束的扫描位置偏移，导致图像品质的降低。尤其是，若为了谋求装置的小型化而将装置各个部分，例如反射镜和框架邻近配置，则反射镜通过框架附近时会产生较大的空气阻力，从而热影响加大。

这样，为了谋求光扫描装置的小型化及光扫描的高速化，装置各部分的小型化、位置关系是当然要考虑的，除此之外还需要充分考虑反射镜(可动部件)的摆动所伴有的发热所带来的影响。然而，在以往装置中，对这几点的研究、考虑并不充分。

发明内容

本发明是鉴于上述问题而完成的，其目的在于，提供一种小型的、并且可以使光束在被扫描面上高速扫描的光扫描装置及使用了该装置的图像形成装置。

本发明是一种使光束在被扫描面上在主扫描方向上扫描的光扫描装置，为了达成上述目的，其特征在于，包括：偏转单元，所述偏转单元具有：可动部件，所述可动部件具有将所入射的光束向所述被扫描面反射的偏转镜面；第一邻接部，在与所述主扫描方向大体垂直的摆动轴方向的两侧，与所述可动部件仅离开第一距离并与所述可动部件邻接而被固定配置；第二邻接部，在所述主扫描方向上，与所述可动部件仅离开第二距离并与所述可动部件邻接而被固定配置；和梁，被延伸设置在所述摆动轴方向上，并将所述可动部件与所述第一邻接部相连接，支承所述可动部件使其绕着所述摆动轴自由摆动；并且，通过使所述可动部件围绕所述摆动轴摆动而使入射光束在所述主扫描方向上偏转；光源，射出光束；第一光学系统，将来自所述光源的光束入射到所述偏转镜面；其中，所述第一距离比所述第二距离长，并且，来自所述第一光学系统的光束自所述偏转镜面的正面侧与所述偏转镜面的面法线成锐角而从所述摆动轴方向入射到所述偏转镜面上。

在这样构成的发明中，为了使光束在主扫描方向上偏转，使可动部件绕着摆动轴摆动。因此，随着可动部件的摆动动作，在该可动部件的周围产生热。因此，在本发明中，为了避免热影响而在摆动轴方向一侧和主扫描方向一侧分别实施不同的对策。

在本发明中，与可动部件在摆动轴方向上仅相距第一距离并与可动部件相邻地固定配置第一邻接部，另一方面，与可动部件在主扫描方向上仅相距第二距离并与可动部件相邻地固定配置第二邻接部。因此，通过缩短第一及第二距离可以实现装置的小型化，但是如上述那样热影响就成了问题。因此，在本发明中，第一距离构成得比第二距离长。由此，在摆动轴方向上可动部件与第一邻接部分开，从而可以降低对可动部件的空气阻力，进而可以降低发热量本身。

与此相反，在主扫描方向一侧，由于第二距离也比第一距离短，所以，虽然可以使装置小型化，但是热影响比摆动轴方向大。即，在主扫描方向上，在可动部件的两端边缘部分附近产生热，从而在其周围空间内产生空气波动。然而，在本发明中，来自第一光学系统的光束自偏转镜面的正面侧与偏转镜面的面法线成锐角而从摆动轴方向入射到偏转镜面上，从而光束通过上述周围空间以外的空间，即通过偏转镜面的中央部分附近的空间。因此，可以不受热影响地使光束进行扫描。

此外，如上述那样使光束正面入射到偏转镜面上不仅可以消除发热所导致的问题，还大大有助于装置的小型化。即，因为光束从偏转镜面的正面一侧入射，所以，当偏转镜面的摆动角为零时，在主扫描平面上，入射光束相对于偏转镜面的入射角为零。然后，若偏转镜面的摆动角变大，则虽然在主扫描平面上偏转镜面截切入射光束的角度为锐角，但是其角度值比以往装置的大。因此，为覆盖预定的扫描范围而要求的偏转镜面在主扫描方向上的尺寸比以往装置的尺寸小。其结果是，可以使主扫描方向上的偏转镜面的长度比较小。

此处，摆动轴方向上的偏转镜面的尺寸可以构成得比第一距离短，由此可以缩小摆动轴方向上的装置尺寸，从而进一步有利于装置的小型化及光扫描的高速化。而且，也可以向这样构成的偏转镜面入射被整形为在主扫描方向上延伸的细长截面形状的光束。此时，可以根据入射光束的形状将偏转镜面加工成在主扫描方向上延伸的细长形状。

附图说明

图1是本发明的图像形成装置的一个实施方式的示意图；

图2是表示图1的图像形成装置的电气结构的框图；

图3是安装于图1的图像形成装置中的曝光单元的主扫描剖面图；

图4是安装于图1的图像形成装置中的曝光单元的副扫描剖面图；

图5是表示偏转光束成像的透视图；

图6是作为曝光单元的结构要素之一的偏转器的示意图；

图7是作为曝光单元的结构要素之一的偏转器的示意图；

图8是图7的A-A线剖面图；

图9是图7的B-B线剖面图；

图10是表示曝光单元及曝光控制部的结构的框图；

图11是表示可动板与光束之间关系的主扫描剖面图；

图12是表示可动板与光束之间关系的副扫描剖面图；

图13是作为曝光单元的结构要素之一的偏转器的其他实施方式的示意图；

图14是作为曝光单元的结构要素之一的偏转器的其他实施方式的示意图；

图15是图14的A-A线剖面图；

图16是图14的B-B线剖面图。

具体实施方式

图1是本发明的图像形成装置的一个实施方式的示意图。此外，图2是表示图1中的图像形成装置的电气结构的框图。该图像形成装置是所谓的四循环式彩色打印机。在该图像形成装置中，在按照来自用户的成像请求而从主计算机等外部装置向主控制器11提供打印指令后，按照来自该主控制器11的CPU 111的打印指令，引擎控制10控制引擎部EG的各部，在复印纸、转印纸、用纸以及OHP透明胶片等纸张上形成与打印指令相对应的图像。

在该引擎部EG中设有可在图1的箭头方向(副扫描方向)上自由旋转的感光体2。此外，沿着该旋转方向，在感光体2的周围分别配置有充电单元3、旋转显影单元4以及清洁部(图中未示出)。充电控制部103电连接在充电单元3上，用于施加预定的充电偏压。通过施加该偏压使得感光体2的外周表面被均匀地充电至预定的表面电位。此外，所述感光体2、充电单元3以及清洁部一体地构成感光体盒，感光体盒可作为一个整体相对于装置主体5自由装卸。

然后，光束L从曝光单元6向这个被充电单元3充电的感光体2的外周表面上照射。该曝光单元6基于来自后述曝光控制部的电信号而在感光体2上扫描光束L，从而形成与图像信号相对应的静电潜像。这样，曝光单元6就是本发明中的光扫描装置，其结构及动作将在后面进行详细叙述。

这样形成的静电潜像通过显影单元4被调色剂显影。即，在本实施方式中，显影单元4包括：被旋转自如地设于轴中心的支撑框架40，和作为相对于支撑框架40可自由拆装的盒体而构成且内置各种颜色调色剂的黄色显影器4Y、品红色显影器4M、蓝色显影器4C及黑色显影器4K。而且，若基于来自引擎控制器10的显影器控制部104的控制指令而旋转驱动显影单元4，并且所述显影器4Y、4C、4M、4K有选择地与感光体2接触，或者被定位在隔着预定间隙相对的预定的显影位置上，则从设置在所述显影器上并承载有所选颜色的调色剂的显影辊44向感光体2的表面施加调色剂。由此，感光体2上的静电潜像就以选择的调色剂颜色显影。

如上述那样被显影单元4显影的调色剂图像在一次转印区域TR1内被一次转印到转印单元7的中间转印带71上。转印单元7包括：架设在多个辊72、73等上的中间转印带71，和通过旋转驱动辊73而使中间转印带71向预定的旋转方向旋转的驱动部(图中未示出)。

此外，在辊72的附近配置有：转印带清洁器(图中未示出)、浓度传感器76(图2)以及垂直同步传感器77(图2)。其中，浓度传感器76与中间转印带71的表面相对设置，以便对形成于中间转印带71外周表面上的补丁图像的光学浓度进行测量。此外，垂直同步传感器77是用于检测中间转印带71的基准位置的传感器，起着垂直同步传感器的作用，用于获得与中间转印带71向副扫描方向的旋转驱动关联输出的同步信号、即垂直同步信号Vsync。然后，在该装置中，为了使各部的动作时刻相一致并正确地重叠各色调色剂图像，装置各部的动作是基于该垂直同步信号Vsync来进行控制的。

另外，在将彩色图像向纸张上转印时，使形成于感光体2上的各色调色剂图像在中间转印带71上重叠从而形成彩色图像，并将彩色图像二次转印到被从纸盒8一页页取出并沿着搬运路径F而搬运到二次转印区域TR2来的纸张上。

此时，为了将中间转印带71上的图像正确转印到纸张上的预定位置，对将纸张送入二次转印区域TR2的时刻进行管理。具体地说，在搬运路径F上，在二次转印区域TR2的紧前方设置闸辊81，从而通过闸辊81与中间转印带71的绕转移动的时刻一致地旋转，来将纸张在预定的时刻送入二次转印区域TR2。

此外，如此形成有彩色图像的纸张经由定影单元9及排出辊82而被搬运到设置于装置主体5的上表面部分的排出托盘部51。此外，当在纸张的双面形成图像时，如上述那样使在单面形成了图像的纸张通过排出辊82而转回移动。从而使得纸张沿着反转搬运路径FR而被搬运。然后，在闸辊81的前面再次进入搬运路径F，但此时，在二次转印区域TR2中与中间转印带71抵接并被转印图像的纸面，是与先前被转印了图像的面相反的面。如此，可以在纸张的双面形成图像。

另外，在图2中，标号113为设置于主控制器11上的图像存储器，用于存储从主计算机等外部装置通过接口112而传来的图像数据，标号106为ROM，用于存储CPU 101执行的运算程序或者用于控制引擎部EG的控制数据等，此外，标号107为RAM，用于暂时存储CPU 101中的运算结果或其他的数据。

图3是表示安装在图1的图像形成装置中的曝光单元的结构的主扫描剖面图。此外，图4是曝光单元的副扫描剖面图。此外，图5是表示扫描光束成像的透视图。此外，图6及图7是作为曝光单元的一个结构要素的偏转器的示意图。此外，图8是图7的A-A线剖面图；图9是图7的B-B线剖面图。此外，图10是表示曝光单元及曝光控制部的结构的框图。下面，参照这些附图，对曝光单元6的结构及动作进行详细说明。

该曝光单元6具有曝光框体61。另外，在曝光框体61上固定有单一的激光光源62，从激光光源62可射出光束。如图10所示，该激光光源62与曝光控制部102的光源驱动部102a电连接。因此，光源驱动部102a按照图像数据对激光光源62进行开/关控制，从而从激光光源62射出根据图像数据而调制的光束。如此，在本实施方式中，激光光源62相当于本发明的“光源”。

此外，为了使来自激光光源62的光束在感光体2的表面(被扫描面)上进行扫描曝光，在该曝光框体61的内部设置有：准直透镜631、柱面透镜632、镜64、偏转器65、扫描透镜66及折返镜67。即，来自激光光源62的光束被准直透镜631光束整形为适当大小的平行光之后，入射到只在副扫描方向Y上具有聚光性的柱面透镜632中。然后，该平行光只在副扫描方向Y上会聚并在偏转器65的偏转镜面651附近形成线形图像。如此，在本实施方式中，准直透镜631及柱面透镜632起着第一光学系统63的作用，将来自激光光源62的光束整形为在主扫描方向X延伸的细长截面形状，并向偏转镜面651入射。

该偏转器65是使用微加工技术形成的，可使被偏转镜面651反射的光束在主扫描方向X偏转，所述微加工技术是指应用半导体制造技术将微小机械一体地形成在半导体基板上。更具体地说，偏转器65如下构成。

在该偏转器65中，如图6及图7所示，通过加工单晶硅基板(以下称“硅基板”)652的一部分来形成由两条水平边部652a与两条垂直边部652b连接而成的框体。然后，将硅基板652安装在框架650上，以使得该框体的各边部652a、652b覆盖设于偏转器65的框架650上的凹部650c的开口边缘部。

此外，在硅基板652的中央部分设有相对于框体绕着摆动轴AX自由摆动的可动板653，所述摆动轴AX在与主扫描方向X基本垂直的副扫描方向Y上延伸。即，所述水平边部652a分别在摆动轴方向Y的两侧与可动板653仅相距第一距离R1(参照图8)，并通过扭簧(梁)654将可动板653弹性支撑在硅基板652的水平边部652a上。另一方面，对于主扫描方向X侧，可动板653与垂直边部652b仅相距第二距离R2(参照图9)。如此，在本实施方式中，水平边部652a及垂直边部652b分别相当于本发明的“第一邻接部”及“第二邻接部”，并且在与它们分开的状态下，可动板653绕着摆动轴AX自由摆动。另外，在可动板653的中央部分形成有铝膜等，以作为偏转镜面651。另外，在本实施方式中，由于后述理由而将第一距离R1构成得比第二距离R2长。此外，如图6所示，可动板653被加工成在主扫描方向X上延伸的细长形状，并且摆动轴方向(副扫描方向)上的宽度Hb比第一距离R1短。对于这些，将在后面详细叙述。

此外，在凹部650c的内底面中与可动板653的两端部相对的位置上分别固定有电极658a、658b(参照图8及图9)。所述两个电极658a、658b起着摆动用电极的作用，用于驱动可动板653绕着摆动轴AX摆动。即，所述摆动用电极658a、658b与曝光控制部102的摆动驱动部102b电连接，通过向电极施加电压而在该电极与偏转镜面651之间作用静电吸附力，从而将偏转镜面651的一个端部吸向该电极一侧。因此，如果从摆动驱动部102b向摆动用电极658a、658b交替施加预定电压，则可以使偏转镜面651以扭簧654为摆动轴AX往复振动。另外，如果将该往复振动的驱动频率设为偏转镜面65 的共振频率，则可以增大偏转镜面651的振幅，使偏转镜面651的端部移位至接近电极658a、658b的位置。此外，由于偏转镜面651的端部通过共振而到达与电极658a、658b接近的位置，因而电极658a、658b也有助于偏转镜面651的驱动，并可以通过端部与平面部的两个电极使振动维持更稳定。

另外，在本实施方式中，是通过静电吸附力来使偏转镜面651往复振动的，但也可以通过电磁力来使之振动。这里，对于用电磁力驱动偏转镜面651的方案，由于是已经公知的技术，故这里省去说明。

下面返回图3及图4继续对曝光单元6进行说明。如上述那样通过偏转器65扫描的扫描光束从偏转器65射向感光体2，该扫描光束通过相当于本发明的“第二光学系统”的扫描透镜66及折返镜67而在感光体2上成像，并在感光体表面形成光斑。由此，如图5所示，扫描光束与主扫描方向X平行扫描，从而在感光体2上，在扫描位置上形成在主扫描方向X上延伸的线形潜像。

另外，在本实施方式中，如图3所示，来自偏转器65的扫描光束的始点与终点被折返镜69a～69c导入同步传感器60。即，在本实施方式中，使同步传感器60作为水平同步用读取传感器起作用，用于获得主扫描方向X上的同步信号、即水平同步信号。

下面，对第一距离R1与第二距离R2的关系进行详述。首先，在谋求装置的小型化方面，缩小第一距离R1及第二距离R2很有效这是当然的。然而，在本实施方式中，为了使光束L在主扫描方向X上偏转，如上所述摆动可动板653，而随着可动板653的摆动动作会在可动板653周围产生热。因此，在本实施方式中，为了避免热影响而对摆动轴方向一侧和主扫描方向一侧分别实施不同的对策。即，通过将第一距离R1构成得比第二距离R2长，也就是通过使可动板653和水平边部(第一邻接部)652a在摆动轴方向Y上隔得很开，从而可以降低对可动板653的空气阻力，进而降低发热量本身。与此相反，在主扫描方向一侧，由于第二距离比第一距离短，所以虽然可以使装置小型化，但是比摆动轴方向一侧的热影响大。即，在主扫描方向X上的可动板653的两端边缘部附近产生热，从而在其周围空间(图11的标号SA)内产生空气波动。关于这个问题如下那样消除。

在本实施方式中，如图11及图12所示，来自第一光学系统63的光束L自偏转镜面651的正面侧与偏转镜面651的面法线NL成锐角而从摆动轴方向Y向偏转镜面651入射。因此，光束L通过上述周围空间SA以外的空间，即偏转镜面的中央部附近的空间。因此，可以不受热影响地使光束进行扫描。

而且，如上述那样使光束L正面入射到偏转镜面651上不仅可以消除生热所导致的问题，还大大有助于装置的小型化。即，因为在本实施方式中，光束L从偏转镜面651的正面侧向偏转器65入射，所以，当偏转镜面651的摆动角为零时，在主扫描平面上，光束相对于偏转镜面651的入射角为零。然后，随着偏转镜面651的摆动角θ变大，例如图11所示，入射光束L相对于偏转镜面651的入射角φx变大，于是虽然在主扫描平面(图11的纸面)上偏转镜面651截切入射光束L的角度(＝90°-φx)为锐角，但是其角度值比以往装置的大。因此，为覆盖预定的扫描范围所要求的偏转镜面651在主扫描方向X上的尺寸比以往装置的尺寸小。其结果是，可以使主扫描方向X上的可动板653的长度Ha较小。而且，通过第一光学系统63将入射到偏转镜面651上的光束L整形为在主扫描方向X上延伸的细长截面形状，另一方面，将可动板653加工成在主扫描方向X上延伸的细长形状。即，大致与主扫描方向X垂直的摆动轴方向(副扫描方向Y)上的可动板653的宽度Hb大幅减小。因此，在这样构成的曝光单元6中，可以减轻可动板653的重量，可以使可动板653比以往装置更高速且稳定地进行扫描，并稳定地进行潜像的形成。其结果是，可以在感光体2的表面上高速且稳定地扫描光束L，从而稳定地进行潜像的形成。

另外，本发明并不局限于上述实施方式，只要不脱离其主旨，可以进行上述以外的各种变化。例如，在上述实施方式中，由硅基板652一体地形成水平边部(第一邻接部)652a、垂直边部(第二邻接部)652b、可动板653以及扭簧(梁)654，但是，对于可动板653及扭簧654的结构，并不仅限于此。例如，如图13至图16所示，采用了一体形成可动板653及扭簧654，并将该一体化结构安装于框架650上的偏转器65的曝光单元中也可应用本发明。这样在偏转器65中，各扭簧654被固定在框架650的水平边部650a上，并且该水平边部650a相当于本发明的“第一邻接部”，框架650的垂直边部650b相当于本发明的“第二邻接部”。而且，当通过电磁力驱动偏转镜面651时，在主扫描方向上多与可动板653邻接而配置有永久磁铁或电磁铁等磁产生源。因此，在采用这种驱动方式时，磁产生源相当于本发明的“第二邻接部”。

此外，在上述实施方式中，虽然是使光束L从摆动轴方向Y的下方侧入射到偏转镜面651的，但是也可以使其从摆动轴方向的上方侧入射。

进一步，虽然将本发明中的光扫描装置用作彩色图像形成装置的曝光单元，但是本发明的适用对象并不仅限于此。即，也可以用作在感光体等的图像载体上扫描光束而形成静电潜像，并通过调色剂对该静电潜像进行显影从而形成调色剂图像的图像形成装置的曝光单元。当然，光扫描装置的适用对象不仅限于安装在图像形成装置中的曝光单元，也可以适用于所有使光束在被扫描面上扫描的光扫描装置。

Claims (8)

1.一种光扫描装置，其使光束在被扫描面上在主扫描方向上扫描，所述光扫描装置的特征在于，

其包括：偏转单元，所述偏转单元具有：可动部件，所述可动部件具有所入射光束向所述被扫描面反射的偏转镜面；第一邻接部，在与所述主扫描方向大体垂直的摆动轴方向的两侧，与所述可动部件仅离开第一距离并与所述可动部件邻接而被固定配置；第二邻接部，在所述主扫描方向上，与所述可动部件仅离开第二距离并与所述可动部件邻接而被固定配置；梁，被延伸设置在所述摆动轴方向上，连接所述可动部件与所述第一邻接部，并支承所述可动部件使其绕着所述摆动轴自由摆动；并且，所述偏转单元通过使所述可动部件绕着所述摆动轴摆动而使入射光束在所述主扫描方向上偏转；

光源，用于射出光束；

第一光学系统，将来自所述光源的光束入射到所述偏转镜面上；

其中，所述第一距离比所述第二距离长，并且，

来自所述第一光学系统的光束自所述偏转镜面的正面侧，与所述偏转镜面的面法线成锐角而从所述摆动轴方向入射到所述偏转镜面上。

2.如权利要求1所述的光扫描装置，其中，所述摆动轴方向上的所述可动部件的尺寸比所述第一距离短。

3.如权利要求2所述的光扫描装置，

其包括第二光学系统，用于将被所述偏转镜面偏转的光束在所述被扫描面上成像，

所述第一光学系统将来自所述光源的光束整形为在所述主扫描方向上延伸的细长截面形状。

4.如权利要求1或2所述的光扫描装置，其中，所述可动部件、所述第一邻接部、所述第二邻接部以及所述梁是一体地形成的。

5.如权利要求4所述的光扫描装置，所述可动部件、所述第一邻接部、所述第二邻接部以及所述梁由单晶硅构成。

6.如权利要求1或2所述的光扫描装置，其中，

所述偏转单元包括一体地形成有所述第一邻接部与所述第二邻接部的框架，

在一体形成所述可动部件及所述梁的同时，将所述梁固定在所述框架上。

7.如权利要求6所述的光扫描装置，其中，所述可动部件及所述梁由单晶硅构成。

8.一种图像形成装置，其特征在于，其使用权利要求1所述的光扫描装置使光束在图像载体的表面上扫描，从而在所述图像载体上形成静电潜像。

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