CN1525518A

CN1525518A - 包括具有双重间隙的维持电极的等离子体显示面板及制法

Info

Publication number: CN1525518A
Application number: CNA2003101249136A
Authority: CN
Inventors: 孙承贤; 金永模; 畑中秀和; �Ʒ�; 瓦西列·勒尼亚钦; 尼古莱·施帕科夫斯基; 藏尚勋; 宋美贞; 金孝俊; 金起永; 朴亨彬
Original assignee: Samsung SDI Co Ltd
Current assignee: Samsung SDI Co Ltd
Priority date: 2002-12-31
Filing date: 2003-12-31
Publication date: 2004-09-01
Anticipated expiration: 2023-12-31
Also published as: EP1435638A3; EP1435638A2; CN100346439C; DE60323453D1; JP2004214200A; US7154221B2; EP1435638B1; US20040150340A1

Abstract

本发明公开了一种包括具有双重间隙的维持电极的等离子体显示面板(PDP)及其制造方法。该PDP包括具有双重间隙结构和预定电阻值的维持电极。每个维持电极包括用于维持放电的主电极和用于在不降低效率的情况下启动低压放电的辅助电极。分别包含在不同的维持电极中的辅助电极间的间隙比不同的维持电极间的间隙窄。每个辅助电极形成在阻挡肋之间或直接在阻挡肋之上。在覆盖主电极和辅助电极的介电层中形成沟。该沟直接形成在辅助电极之上。

Description

包括具有双重间隙的维持电极的等离子体显示面板及制法

技术领域

本发明涉及一种平板显示器件，尤其涉及一种包括带双重间隙的维持电极的等离子体显示面板(PDP)及其制造方法。

背景技术

PDP是利用气体放电的显示器。PDP比诸如液晶显示器(LCD)、场发射显示器(FED)和电致发光显示器(ELD)的平板显示器更适合用于大尺寸。

PDP由于其结构而可以制成大尺寸，在该结构中，具有放电电极的前玻璃衬底与具有荧光材料的后玻璃衬底相隔0.1至0.2mm的微缝，并在其间形成等离子体，使得只要精确地保持前、后玻璃衬底间的间隙，它就可以起效。

PDP分为直流(DC)型和交流(AC)型。在DC型中，电极直接暴露于放电气体，使得电极随着反复放电而溅射和蒸发。AC型克服了DC型的这些缺陷。为防止电极在放电期间蒸发，AC型包括覆盖电极的介电层。另外，为了防止荧光材料被放电期间产生的离子破坏，AC型包括沿水平方向排布的电极。当用这些电极激发放电时，防止了放电期间产生的离子注入到荧光材料中，且只有在放电期间产生的紫外线辐射到荧光材料上。

图1示出这种AC型PDP(以下称为传统PDP)的结构。参考图1，传统PDP包括彼此平行相对的前玻璃衬底10和后玻璃衬底12。在前玻璃衬底10面对后玻璃衬底12的一侧(此后称为后侧)，平行排布透明的第一和第二维持电极14a和14b。如图2所示，第一与第二维持电极14a与14b之间存在间隙“d”。第一和第二维持电极14a和14b上分别设置第一和第二总线电极16a和16b，并分别与第一和第二维持电极14a和14b平行。第一和第二总线电极16a和16b防止放电过程中电阻引起的电压降。用第一介电层18覆盖第一和第二维持电极14a和14b以及第一和第二总线电极16a和16b。用保护层20覆盖第一介电层18。保护层20保护第一介电层18防止其放电，因而，传统PDP可以稳定地工作很长时间并且在放电期间发射出大量的二次电子，因而降低放电电压。氧化镁(MgO)层广泛用于保护层20。

同时，在后玻璃衬底12上设置用于写入数据的多个地址电极22。地址电极22互相平行地排布并且与第一和第二维持电极14a和14b垂直。为每个像素提供三个地址电极22。在单个像素中，三个地址电极22分别对应红色荧光材料、绿色荧光材料和蓝色荧光材料。用第二介电层24覆盖地址电极22。在第二介电层24上设置多个用于反光的阻挡肋26。多个阻挡肋26以预定的间隙隔开并与地址电极22平行。每个阻挡肋26设置在相邻地址电极22之间的第二介电层24上。换言之，地址电极22与阻挡肋26交替排布。当前、后玻璃衬底10和12结合在一起时，阻挡肋26与前玻璃衬底10后侧上设置的保护层20紧密接触。荧光材料28a、28b和28c沉积在阻挡肋26之间的间隙中并通过紫外线激发。第一荧光材料28a发射红(R)光，第二荧光材料28b发射绿(G)光，而第三荧光材料28c发射蓝(B)光。

前玻璃衬底10封装到后玻璃衬底12上之后，从间隙其间排出不必要的气体，然后将形成气体的等离子体注入间隙。尽管可以用单一气体(例如氖(Ne))作为形成气体的等离子体，但还可广泛采用混合气体(如Ne+Xe)。

在这种传统PDP中，为了避免保护层20表面上的溅射速率提高，需要将形成气体的等离子体的压力(如果是混合气体则是特定气体的分压)维持在高压，因而要求很高的放电电压。

具体而言，参考图3所示的帕邢曲线G1和G2，可以通过调整等离子体形成气体的压强P和第一与第二维持电极14a与14b之间的间隙“d”使压强P和间隙“d”的乘积Pd为1来降低放电电压。例如，当间隙“d”为100μm(即，0.01cm)时，若压强P保持在100托就可以降低PDP的放电电压。

然而，在降低等离子体形成气体的压强P时，根据定义SR的公式(1)，保护层20表面上的SR迅速提高。

SR＝(j/P)^2.5 ...(1)

此处，“j”是维持电极14a和14b表面的电流密度。

因此，在传统PDP中，等离子体形成气体的压强必须维持在高压(如300至500托(torr))，并因此使得放电电压也很高。

发明内容

本发明提供一种等离子体显示面板(PDP)，在维持其效率的同时降低放电电压。

本发明还提供一种制造该PDP的方法。

根据本发明的一个方面，提供一种等离子体显示面板，包括：在其上显示图像的前面板，该前面板包括多个维持电极、多个总线电极、覆盖该多个维持电极和总线电极的第一介电层、以及保护层；与前面板隔开并密封地封装到前面板上的后面板，该后面板包括多条数据线、覆盖该多条数据线的第二介电层、阻挡肋、以及荧光层；以及，存在于前与后面板之间的等离子体形成气体。此处，选自多个维持电极的第一维持电极和面对第一维持电极的第二维持电极具有双重间隙，其允许在不降低放电效率的情况下降低放电电压，使得可以在低压下激发放电，并可以在放电启动后停止低压放电。

优选，第一维持电极包括第一主电极，用于在低电压下启动放电后维持放电，以及第一辅助电极，整体地连接于第一主电极并用于启动放电。第一辅助电极是具有至少30Ω电阻的电阻元件。优选，第二维持电极包括第二主电极，用于在低电压下启动放电后维持放电，以及第二辅助电极，整体地连接于第二主电极并用于启动放电。第二辅助电极是具有至少30Ω电阻的电阻元件。

优选，在其中设置第一辅助电极的第一凹槽形成在第一主电极中，在其中设置第二辅助电极的第二凹槽形成在第二主电极中。

优选，第一和第二凹槽中的至少一个靠近阻挡肋。

优选，第一和第二凹槽中的至少一个的入口比其内部窄。

优选，第一辅助电极包括设置在第一凹槽内的主体和从主体延伸并设置在第一与第二维持电极间的端部。优选，第二辅助电极具有与第一辅助电极相同的结构。

优选，第一辅助电极的端部平行于或垂直于形成在第一维持电极上的总线电极，从而平行于第一维持电极，或具有尖角形状。优选，第二辅助电极的端部平行于或垂直于形成在第二维持电极上的总线电极，从而平行于第二维持电极，或具有尖角形状。

优选，第一和第二凹槽成垂直对称或对角对称。

优选，第一辅助电极是设置在第一主电极端部、面对第二维持电极的第一电阻元件。

优选，第二辅助电极是设置在第二主电极端部、面对第一维持电极的第二电阻元件。

优选，第一辅助电极是设置在第一主电极端部、面对第二维持电极或第二电阻元件的第一电阻元件。

优选，等离子体形成气体是氖(Ne)和氙(Xe)的混合气体，并含4至20％的Xe。

优选，前面板还包括在第一介电层中形成在第一辅助电极或第一和第二辅助电极之上的沟。第一介电层包括具有不同介电常数的上、下介电层，且该沟形成为暴露上介电层下面的下介电层。

第一和/或第二凹槽可直接形成在阻挡肋之上。

根据本发明的另一方面，提供一种PDP，包括：在其上显示图像的前面板，该前面板包括多个维持电极、多个总线电极、覆盖该多个维持电极和总线电极的第一介电层、以及保护层；与前面板隔开并密封地封装到前面板上的后面板，该后面板包括多条数据线、覆盖该多条数据线的第二介电层、阻挡肋、以及荧光层；以及，存在于前与后面板之间的等离子体形成气体。此处，多个维持电极中的至少一个包括用于维持放电的主电极和具有高电阻并用于启动放电的辅助电极。辅助电极连接于主电极，使得辅助电极的至少一部分存在于两个面对的维持电极之间。

优选，辅助电极连接于主电极的一端，使得整个辅助电极的至少一部分存在于两个面对的维持电极之间。

凹槽可在第一介电层中，直接在辅助电极上方形成于预定深度。第一介电层可通过相继形成具有不同介电常数的上、下介电层来形成，并且该沟形成为暴露上介电层下面的下介电层。

优选，其中设置辅助电极的凹槽形成在主电极中。凹槽可直接形成在阻挡肋之上。

根据本发明的又一方面，提供一种制造PDP的方法，该PDP包括具有前玻璃衬底、多个维持电极、多个总线电极、覆盖该多个维持电极和总线电极的第一介电层、以及保护层的前面板；与前面板隔开并密封地封装到前面板上的后面板，该后面板具有后玻璃衬底、多条数据线、覆盖该多条数据线的第二介电层、阻挡肋、以及荧光层；以及，存在于前与后面板之间的等离子体形成气体。该方法包括：形成维持电极使得每个维持电极以双重间隙与另一个维持电极面对，该双重间隙使得可以在两个面对的维持电极之间、在不降低放电效率的情况下以低电压激发放电，还使得可以在放电启动后停止低压放电。

优选，形成其间具有双重间隙的维持电极包括形成透明电极材料层，用于在与后玻璃衬底面板相对的前玻璃衬底的表面上形成维持电极，在透明电极材料层上沉积光致抗蚀剂层，对光致抗蚀剂层构图使其具有与维持电极相同的图案，从而形成具有双重间隙的光致抗蚀剂层图案，用光致抗蚀剂层图案作为蚀刻掩模蚀刻透明电极材料层，以及除去光致抗蚀剂层图案。

优选，两个相对的维持电极中的至少一个形成为包括主电极，用于在启动放电后维持放电，以及辅助电极，具有高电阻并用于启动放电。整体并同步形成主电极和辅助电极。优选，在主电极中形成凹槽，并在凹槽中形成辅助电极。优选，在主电极的一端形成辅助电极使得辅助电极设置在两个相对的维持电极之间。优选，辅助电极包括形成在凹槽内的主体和从主体延伸到凹槽外从而设置在两个相对的维持电极之间的端部。该主体在水平平面或竖直平面上交替往复。优选，该端部分别平行于或垂直于形成在两个相对的维持电极上的总线电极或具有尖角形状。优选，凹槽的入口比凹槽内部窄。优选，两个相对的维持电极的每一个中都形成了辅助电极，使得对应的两个相对的维持电极中的辅助电极成垂直对称或对角对称。

优选，该方法还包括直接在双重间隙之上、在第一介电层中形成沟。第一介电层通过顺序堆叠具有不同介电常数的下介电层和上介电层来形成，并且该沟形成为暴露上介电层下面的下介电层。

该凹槽可直接形成在阻挡肋之上。

根据本发明，可以将PDP中所用的等离子体形成气体的压强(分压)如传统PDP一样维持在高压，而且放电电压相对于传统PDP又可以明显降低。

附图说明

通过参考附图详细描述本发明的优选实施例，本发明的上述和其它的特点以及优点将更加明显易懂，附图中：

图1是传统等离子体显示面板(PDP)的透视图；

图2是显示作为图1所示传统PDP的元件的维持电极和总线电极的透视图；

图3是显示PDP中放电电压相对于维持电极之间的间隙和等离子体形成气体压强的变化的帕邢曲线图；

图4是显示在根据本发明第一实施例的PDP中，具有双重间隙的维持电极和分别形成在维持电极上的总线电极的透视图；

图5至12分别是显示在根据本发明第二至第九实施例的PDP中，具有双重间隙的维持电极和分别形成在维持电极上的总线电极的平面图；

图13是显示在根据本发明实施例的PDP中，具有双重间隙的每个维持电极的电路图；

图14和15是说明根据本发明第十实施例的PDP的、包括维持电极和总线电极的上板的特征的横截面图；

图16是显示用于比较传统技术与本发明实施例的PDP维持电压-效率特性的实验的结果的曲线图；

图17是显示用于比较传统技术与本发明实施例的PDP维持电压-亮度特性的实验的结果的曲线图；

图18是显示用于比较传统技术与本发明第九实施例的PDP维持电压-效率特性的实验的结果的曲线图；

图19是显示用于比较传统技术与本发明第九实施例的PDP维持电压-亮度特性的实验的结果的曲线图；

图20A是图1所示传统PDP的横截面图；

图20B是显示图20A所示PDP放电前电容分布的等效电路图；

图20C是显示图20A所示PDP开始放电后电容分布的等效电路图；

图21A是根据本发明第十实施例的PDP的横截面图；

图21B是显示图21A所示PDP放电前电容分布的等效电路图；

图21C是显示图21A所示PDP开始放电后电容分布的等效电路图；

图22和23分别是第一和第二模拟PDP的横截面，该第一和第二模拟PDP用于考察维持电极间的间隙对放电电压的影响的模拟实验中；

图24和25分别是传统技术和本发明第十实施例的第三和第四模拟PDP的横截面图；以及

图26是制造图4所示PDP中维持电极的方法的流程图。

具体实施方式

以下，将参考附图详细描述本发明的优选实施例。附图中，为了清楚起见放大了层和区的厚度。

图3中，附图标记G1表示当等离子体形成气体由单一成份构成时所得到的第一帕邢曲线，附图标记G2表示当等离子体形成气体为混合气体时所得到的第二帕邢曲线。

参考第一和第二帕邢曲线G1和G2，可见，无论等离子体形成气体是混合气体还是单一气体，当等离子体形成气体的压强P(以下，称为气压P)与维持电极之间的间隙“d”的乘积Pd等于1时，电压是最小放电启动电压(V_f)min。

放电启动电压V_f由公式(2)得出。

V_{f} = \frac{BPd}{K + \ln Pd} - - - - - - - - (2)

此处，B是常数，而K由公式(3)得出。

K = \ln [\frac{A}{\ln (1 + \frac{1}{γ})}] - - - - - - - - - (3)

此处，γ是由维持电极的材料决定的二次电子发射系数。

最小的Pd值Pd_min和最小放电启动电压(V_f)min分别由公式(4)和(5)得到。

{Pd}_{\min} = \frac{e}{A} \ln (1 + \frac{1}{γ}) - - - - - - - (4)

此处，“e”是自然对数，而A是常数。

{(V_{f})}_{\min} = e \frac{B}{A} \ln (1 + \frac{1}{γ}) - - - - - - - (5)

通常，通过减小维持电极之间的间隙“d”并提高气压P或通过增加间隙“d”并减小气压P来满足条件Pd＝1。

在减小维持电极之间的间隙“d”并提高气压P时，根据公式(1)，由于气压P高而可以减小保护层(如，MgO层)表面的溅射速率(SR)，但是亮度或效率会因为维持电极之间的间隙“d”减小而迅速下降。

相反，在增加间隙“d”并减小气压P时，由于维持电极之间的间隙“d”很宽而可以克服上述情况下发生的问题，但由于气压P低而使保护层表面处的SR迅速升高。

因此，在传统PDP中，为了降低保护层表面处的SR，气压P设得很高，且维持电极之间的间隙“d”设为合适的值，以免亮度或效率过分下降。结果，Pd值大于1。例如，Pd值为3到4。然而，当Pd值大于1时，放电启动电压大于最小放电启动电压(V_f)min，如图3所示。

因此，为了降低保护层表面处的SR，本发明提供了包括一种维持电极的PDP，该维持电极通过提高气压P并减小维持电极之间的间隙“d”来减轻维持电极之间的间隙“d”减小时发生的问题，并保持Pd值接近1。

由于根据本发明的PDP以维持电极为特征，本发明的描述集中于维持电极，并且将公开能实现本发明目的的各种有所调整的维持电极。

下面将参考图4详细介绍根据本发明第一实施例的PDP中所用的维持电极。图4是一种结构的透视图，其中根据本发明第一实施例的PDP中维持电极与总线电极组合起来，该结构是从前玻璃衬底的下方观察。

图4中，附图标记40和42分别表示用于在启动放电后维持放电的第一和第二维持电极。第一与第二维持电极40与42之间存在预定间隙g2。附图标记44和46分别表示互相平行地形成在各个第一和第二维持电极40和42上的第一和第二总线电极。第一和第二总线电极44和46平行于对应的第一和第二维持电极40和42。在第一维持电极40中形成预定深度的第一凹槽48，并在第二维持电极42中形成预定深度的第二凹槽50。第一和第二凹槽48和50彼此相对并且优选具有相同的深度。然而，第一和第二凹槽48和50的深度也可以不同。例如，如图4所示，第一凹槽48从第一维持电极42底部到第一总线电极44的正下方形成，而第二凹槽50可以从第二维持电极42底部到第二维持电极42底部与第二总线电极46之间的特定位置形成。在第一凹槽48中形成第一电阻元件，并在第二凹槽50中形成第二电阻元件。第一电阻元件由主体52a和端部52b组成，主体52a的一端连接于第一凹槽48的底部而其另一端延伸到第一凹槽48外，端部52b连接于主体52a的另一端。第一电阻元件的主体52a沿着水平平面或垂直平面交替往复。第一电阻元件是第一维持电极40的一部分并且与其一起整体形成。第一电阻元件平行于第一维持电极40形成。第一电阻元件连接于第一凹槽48底部并朝着第二维持电极42延伸至第一维持电极40外，第一电阻元件与第一凹槽48两侧相隔预定距离。因此，第一电阻元件的端部52b设置在第一与第二维持电极40与42之间。结果，第一电阻元件比第一维持电极40更靠近第二维持电极42。在第一维持电极40中形成第一凹槽48的同时形成第一电阻元件，因此，主体52a与第一维持电极40平行。同样原因，第一电阻元件的端部52b平行于第一维持电极40。然而，端部52b与主体52a垂直连接并因此平行于第一凹槽48的底部或第一维持电极40与第二维持电极42相对的一侧。端部52b具有预定长度。优选，第一电阻元件由与第一维持电极40相同的材料制成。然而，必要时，第一电阻元件也可以由不同于第一维持电极40的材料制成。

在第二凹槽50中形成的第二电阻元件的结构和细节与第一电阻元件的相同，因而不详细描述。

正如第一电阻元件，第二电阻元件由主体54a和端部54b组成。第二电阻元件的端部54b设置在第一与第二维持电极40与42之间并平行于第一电阻元件的端部52b。如图4所示，由于端部52b和54b设置在第一与第二维持电极40与42之间，端部52b与54b之间的间隙g3小于第一与第二维持电极40与42之间的间隙g2(g3＜g2)。因此，在第一与第二维持电极40与42之间存在双重间隙。

如上所述，由于第一与第二电阻元件之间的间隙g3小于第一与第二维持电极40与42之间的间隙g2，根据本发明的PDP中的放电启动电压与传统PDP相比降低了。由于第一和第二电阻元件具有比第一和第二维持电极40和42高得多的电阻，启动放电后的一瞬间，主要通过除第一和第二电阻元件之外的第一和第二维持电极40和42提供电流。结果，在第一与第二电阻元件之间启动的放电就在第一与第二维持电极40与42之间蔓延。在第一与第二维持电极40与42之间蔓延的放电维持在与放电启动电压相等的电压。当使用壁电荷时，可以保持维持电压低于放电启动电压。

为了证实在给PDP提供图4所示的第一和第二维持电极40和42时放电启动电压会降低的理论，进行了以下两种情况下的模拟实验。下面，将详细介绍该模拟实验。

优选，根据本发明实施例的PDP中Ne和Xe混合气体中Xe的百分比为4至22％。

下面的描述涉及用于根据本发明第二至第九实施例具有上述特征的PDP中的维持电极。

尽管根据本发明第一实施例的PDP中的维持电极40和42是以图4中三维的形式进行说明的，但根据本发明第二至第九实施例的PDP中的维持电极以二维的形式进行描述，即在平面上说明。根据本发明第二至第九实施例的PDP中的维持电极以图4所示的第一实施例的PDP中的维持电极40和42为基础。尽管第二至第九实施例中的维持电极显示在平面上，可以参考图4容易地推断得到其三维形状。

在图4至11中，相同的附图标记表示相同的部件。

参考图5，根据本发明第二实施例的PDP中所用的第一和第二维持电极40和42分别包括处于第一凹槽48中的第三电阻元件和处于第二凹槽50中的第四电阻元件。第三电阻元件由主体60a和延伸到第一凹槽48外的端部60b组成。第四电阻元件也由主体62a和端部62b组成。

比较图4和图5，各个第三和第四电阻元件的主体60a和62a与第一电阻元件的主体52a相同，但各个第三和第四电阻元件的端部60b和62b不同于第一电阻元件的端部52b。

具体而言，在第一与第二维持电极40与42之间，第三电阻元件的端部60b平行于第四电阻元件的端部62b。然而，沿着垂直于各个第一和第二电阻元件的端部52b和54b的方向，端部60b和62b互相平行，因此，端部60b和62b平行于第一和第二凹槽48和50的侧面。另外，第三电阻元件的端部60b设置在第一凹槽48的一侧上，而第四电阻元件的端部62b设置在第一凹槽48的另一侧上，因此，端部60b和62b彼此相对。端部60b和62b具有预定长度，该预定长度优选小于第一与第二维持电极40与42之间的间隙g2。另外，优选第三电阻元件的端部60b尽量靠近第二维持电极42。例如，第三电阻元件的端部60b的长度是20μ到小于第一与第二维持电极40与42之间的间隙g2的长度。还优选第四电阻元件的端部62b尽量靠近第一维持电极40。更加优选的是端部60b与62b之间的水平间隙小于第一与第二维持电极40与42之间的间隙g2。

参考图6，根据本发明第三实施例的PDP中所用的第一和第二维持电极40和42分别包括处于第一凹槽48中的第五电阻元件和处于第二凹槽50中的第六电阻元件。第五电阻元件由主体64a和延伸到第一凹槽48外的端部组成。第六电阻元件也由主体66a和延伸到第二凹槽50外的端部组成。各个第五和第六电阻元件的主体64a和66a与第一电阻元件的主体52a相同。第五电阻元件的端部由水平部分64c和突起64b组成，水平部分64c垂直连接于主体64a并平行于第一凹槽48的底部，突起64b成面对第六电阻元件的尖角状。

与第一至第四电阻元件相似，在第一维持电极40中形成第一凹槽48的同时形成第五电阻元件，因此，一体地形成主体64、水平部分64c和突起64b。但是，为了清楚起见，这些在图6中区别示出。

各个第五和第六电阻元件的端部垂直对称。第六电阻元件的水平部分66c对应于第五电阻元件的水平部分64c，而突起66b对应于突起64b。突起64b和突起66b之间存在预定的间隙g4。优选突起64b与66b之间的间隙g4小于第一与第二维持电极40与42之间的间隙g2。例如，间隙g4优选为约20μm并且适合为约40μm。

参考图7，根据本发明第四实施例的PDP中所用的第一和第二维持电极40和42分别在一侧上而不是如第一至第三实施例那样在中间包括第一和第二凹槽48和50。

具体而言，在图7中，附图标记80和82表示在后玻璃衬底(图1中的12)上形成并在像素内限定一个单元的第一和第二阻挡肋。分别包括在第一和第二维持电极40和42中的第一和第二凹槽48和50位于第一阻挡肋80附近。第七电阻元件与第一维持电极40整体形成在第一凹槽48中，而第八电阻元件与第二维持电极42整体形成在第二凹槽50中。第七和第八电阻元件分别与第一和第二电阻元件相同。因此，第七电阻元件的主体68a和端部68b对应于第一电阻元件的主体52a和端部52b，第八电阻元件的主体70a和端部70b对应于第二电阻元件的主体54a和端部54b。

参考图8，与第四实施例类似，根据本发明第五实施例的PDP中所用的第一和第二维持电极40和42分别包括靠近第一阻挡肋80的第一和第二凹槽48和50。分别在第一和第二凹槽48和50中形成第九和第十电阻元件76和78。第九和第十电阻元件76和78分别与第二实施例中所述的第三和第四电阻元件相同。第五实施例的其它特征与第四实施例的相同。

图9示出根据本发明第六实施例的PDP中所用的第三和第四维持电极90和92。参考图9，第三和第四维持电极90和92不同于上述第一和第二维持电极40和42。

具体而言，第三维持电极90由成倒T形的主体90a和突起90b组成。主体90a在第一与第二阻挡肋80与82之间具有预定宽度w1，从而在主体90a与第一和第二阻挡肋80和82的每一个之间都存在足够在其中形成电阻元件的间隔。突起90b从与第四维持电极92相对的主体90a端部以相反的方向延伸，平行于第一总线电极44。突起90b与第一和第二阻挡肋80和82中的每一个都相隔预定间隙w2，w2小于主体与第一和第二阻挡肋80和82中的每一个之间的间隔w3。第四维持电极92面对第三维持电极90形成。第三与第四维持电极90与92之间存在预定间隙g2。第四维持电极92由成T形的主体92a和突起92b组成。第三和第四维持电极90和92垂直对称。因此，第四维持电极92主体92a的宽度等于第三维持电极90主体90a的宽度w1。主体92a与第一和第二阻挡肋80和82中的每一个之间的间隙等于主体90a与第一和第二阻挡肋80和82中的每一个之间的间隙w3。另外，第四维持电极92的突起92b与第一和第二阻挡肋80和82中的每一个之间的间隙等于第三维持电极90的突起90b与第一和第二阻挡肋80和82中的每一个之间的间隙w2。第十一电阻元件94由主体94a和端部94b组成，并且与第三维持电极90一起整体形成在第三维持电极90与第一阻挡肋80之间。第十二电阻元件96由主体96a和端部96b组成，并且与第四维持电极92一起整体形成在第四维持电极92与第一阻挡肋80之间。第十一电阻元件94可以设置在第三维持电极90与第二阻挡肋82之间。第十二电阻元件96可以设置在第四维持电极92与第二阻挡肋82之间。第十一电阻元件94的主体94a设置在第三维持电极90的主体90a与第一阻挡肋80之间。第十一电阻元件94的端部94b从主体94a延伸出来，穿过第一阻挡肋80与第三维持电极90的突起90b之间的间隔并在第三与第四维持电极90与92之间延伸。端部94b平行于第三维持电极90的突起90b。第十一和十二电阻元件94和96垂直对称。因此，在第三与第四维持电极90与92之间，第十二电阻元件96的端部96b平行于第十一电阻元件94的端部94b。结果，第十一电阻元件的端部94b与第十二电阻元件的端部96b之间的间隙g4小于第三与第四维持电极之间的间隙g2。

参考图10，在根据本发明第七实施例的PDP中，第三和第四维持电极90和92用作主电极，第十三和十四电阻元件100和102用作辅助电极。第十三电阻元件100由主体100a和端部100b组成，并且与第三维持电极90一起整体形成在第一阻挡肋80与第三维持电极90之间。第十四电阻元件102由主体102a和端部102b组成，并且与第四维持电极92一起整体形成在第二阻挡肋82与第四维持电极92之间。第十三电阻元件100的主体100a在水平平面或垂直平面内交替往复并平行于第三维持电极90。主体100a的一端连接于第三维持电极90。第十三电阻元件100的端部100b从主体100a的另一端延伸出来，穿过第三维持电极90的突起90b与第一阻挡肋80之间的间隔并在第三与第四维持电极90与92之间延伸。第十三电阻元件100的端部100b平行于第三维持电极90面对第四维持电极92的一侧。优选端部100b的长度等于第三维持电极90面对第四维持电极92一侧的长度。第十四电阻元件102的主体102a在水平平面或垂直平面内交替往复并平行于第四维持电极92。主体102a的一端连接于第四维持电极92。第十四电阻元件102的端部102b从主体102a的另一端延伸出来，穿过第四维持电极92的突起92b与第二阻挡肋82之间的间隔并在第三与第四维持电极90与92之间延伸。第十四电阻元件102可以设置在第四维持电极92与第一阻挡肋80之间。优选第十四电阻元件102主体102a的形状与第十三电阻元件100主体100a的形状相同，但也可以不同。第十四电阻元件102的端部102b平行于第十三电阻元件100的端部100b。由于对应第十三和十四电阻元件100和102的端部100b和102b存在于第三与第四维持电极90与92之间，因而两个端部100b与102b之间的间隙g5小于第三与第四维持电极90与92之间的间隙g2。

参考图11，在根据本发明第八实施例的PDP中，第十五和十六电阻元件114和116分别设置在第五和第六维持电极110和112的中心，使得第五和第六维持电极110和112分别包围第十五和十六电阻元件114和116。

具体而言，在第五维持电极110中心形成第三凹槽110a，并在第六维持电极112中心形成第四凹槽112a。对应第三和第四凹槽110a和112a的入口110b和112b比第三和第四凹槽110a和112a狭窄。第十五和十六电阻元件114和116分别存在于第三和第四凹槽110a和112a内。第十五电阻元件114由主体114a和延伸到第三凹槽110a外的端部114b组成。第十六电阻元件116由主体116a和延伸到第四凹槽112a外的端部116b组成。在第五与第六维持电极110与112之间，端部114b和116b互相平行，并且平行于第五和第六维持电极110和112。由于端部114b和116b存在第五与第六维持电极110与112之间，第五和第六维持电极110和112由与第一与第二维持电极40与42之间的间隔g2相等的间隔分开，因此，端部114b与116b之间的间隔g6小于第五与第六维持电极110与112之间的间隔g2。

参考图12，根据本发明第九实施例的PDP包括作为主电极的第七和第八维持电极150和152，其间具有预定间隙的间隔并互相平行。第七维持电极150包括第一总线电极44，而第八维持电极152包括第二总线电极46。第七维持电极150还包括作为辅助电极的多个第十七电阻元件154。第八维持电极152也包括与第十七电阻元件154数量相等的第十八电阻元件156作为辅助电极。在第七和第八维持电极的每一个中的电阻元件154或156之间的间隙比第十七电阻元件154与相应的第十八电阻元件156之间的间隙宽得多。第十七与十八电阻元件154与156之间的间隙比第七与第八维持电极150与152之间的间隙窄。第七维持电极150包括其中分别设置了第十七电阻元件154以连接第五凹槽150a底部的第五凹槽150a。类似地，第八维持电极152包括其中分别设置了第十八电阻元件156以连接第六凹槽152a底部的第六凹槽152a。第十七和十八电阻元件154和156中的每一个包括具有预定长度的水平部分和具有预定长度的竖直部分。每个第十七电阻元件154的水平部分平行于相应的第十八电阻元件156的水平部分。第十七与十八电阻元件154与156之间的间隙相应于第十七与十八电阻元件154与156的水平部分之间的间隙。在电阻元件154和156的每一个中，竖直部分的一端连接于水平部分中心，而竖直部分的另一端连接于相应凹槽的底部。对应第十七和十八电阻元件154和156的水平部分从第七和第八维持电极150和152的端部突起预定厚度。在第五和第六凹槽150a和152a的内壁中存在级差(step difference)。由于第五和第六凹槽150a和152a的入口处宽度大于其内部的宽度而产生这种级差。第五和第六凹槽150a和152a的入口处宽度大于其内部的宽度是由于第十七和十八电阻元件154和156水平部分的长度大于第五和第六凹槽150a和152a内部直径。第十七和十八电阻元件154和156的竖直部分与第五和第六凹槽150a和152a的内壁隔开。具有上述特征的第十七和十八电阻元件154和156相应地面对第七和第八维持电极150和152的第一至第三阻挡肋80、82和84。换言之，第十七和十八电阻元件154和156直接形成在第一至第三阻挡肋80、82和84上方。

在上述实施例中，优选主电极与辅助电极之间的间隙为15μm或更小。

虽然上述本发明实施例中的各个维持电极的形状不同，但可以用等效电路代表该维持电极，如图13所示。在图13中，第一电阻R1表示上述电阻元件的电阻，而第二电阻R2表示第一至第六维持电极40、42、90、92、110和112的电阻。附图标记I_t表示施加放电启动电压Vs时提供给包括电阻元件的维持电极的总电流。附图标记I₁表示流过第一电阻R1的电流，而I₂表示流过第二电阻R2的电流。

参考图4，其示出了根据本发明第一实施例的PDP中所用的第一和第二维持电极40和42，第一或第二电阻元件对应于图13所示等效电路中的第一电阻R1，而第一或第二维持电极40或42对应于图13中的第二电阻R2。

图13所示的电流I₁和I₂分别可以用公式(6)和(7)表示。

I_{1} = \frac{R_{2}}{R_{1} + R_{2}} I_{t} - - - - - - - - - - (6)

I_{2} = \frac{R_{1}}{R_{1} + R_{2}} I_{t} - - - - - - - - - (7)

因此，在给出适当的第一和第二电阻R1和R2值时，可以用公式(6)和(7)得到分别流过第一和第二电阻R1和R2的电流I₁和I₂。

例如，当第一电阻R1是1kΩ而第二电阻R2是30Ω时，根据公式(6)，流过第一电阻R1的电流I₁是[30/(1000+30)]I_t，根据公式(7)，流过第二电阻R2的电流I₂是[1000/(1000+30)]I_t。因此，流过第一电阻R1的电流I₁与流过第二电阻R2的电流I₂的比是3∶100。因而可以作这种推论：流过远大于第二电阻R2的第一电阻R1的电流I₁比流过第二电阻R2的电流I₂小得多。

同样，将该结论用于本发明。换言之，由于不同电阻元件的电阻远大于第一至第八维持电极的电阻，所以，流过不同电阻元件的电流远小于流过第一至第八维持电极的电流。

因此，在低压下用电阻元件启动放电后，电阻元件中严格限制电流流过，并且绝大部分电流流过电阻远小于电阻元件的维持电极。

已经介绍过分别在第一至第八维持电极中设置电阻元件。然而，当考虑到第一至第八维持电极和电阻元件的功能时，第一至第八维持电极可以看作第一至第八主电极，而第一至第十八电阻元件可以看作第一至第十八辅助电极。这种情况下，根据本发明的维持电极由主电极和辅助电极组成。

下面的介绍涉及根据本发明第十实施例的PDP。根据本发明第十实施例的PDP不同于根据本发明第一至第九实施例的PDP，在于PDP的上板上形成了沟。

参考图14，第九和第十维持电极160和162在前玻璃衬底10上以预定间隙隔开，互相平行。第九和第十维持电极160和162是主电极，并等效于根据本发明第一至第九实施例的PDP中所包括的维持电极。分别在第九和第十维持电极160和162上形成第三和第四总线电极164和166。第三和第四总线电极164和166分别与第一和第二总线电极44和46在相同的位置形成并具有同样的功能。附图标记160a和162a分别表示代表第九和第十维持电极160和162中设置的第十九和第二十电阻元件的辅助电极。第十九和第二十电阻元件160a和162a等效于根据本发明第一至第九实施例的PDP的每一个中包括的电阻元件。因此，示意性地说明第十九和第二十电阻元件160a和162a的形状。

在前玻璃衬底10上形成预定厚度的介电层168，从而用介电层168覆盖第九和第十维持电极160和162、第三和第四总线电极164和166、以及第十九和第二十电阻元件160a和162a。优选，介电层168透过入射光。在介电层168中形成预定深度的第一沟GR1。优选，第一沟GR1直接形成在第十九和第二十电阻元件160a和162a上。优选，第一沟GR1形成得尽量深但不暴露第十九和第二十电阻元件160a和162a。换言之，优选，最小化第一沟GR1底部与第十九和第二十电阻元件160a和162a之间的间隙。

在介电层168中形成第一沟GR1时，第一沟GR1中可以存在放电气体。因此，放电气体与第十九和第二十电阻元件160a和162a之间的间隙很窄，使得与未在介电层168中形成第一沟GR1的情况相比放电电压减小了。换言之，由于第一沟GR1中的气体比介电层168的介电常数小，第一沟GR1中的电场强度大于其它部分。因此，与在其它部分中相比，在第一沟GR1中可以以更低的放电电压来激发放电。由于PDP中的压强和放电气体不变，因而发光效率也不会降低。

在介电层168上形成保护层170(由MgO制成)覆盖第一沟GR1表面。

介电层168优选包括单层，但也可以包括多层。例如，如图15所示，透光介电层168可以包括第一介电层172和第二介电层174。优选，第一和第二介电层172和174是透明的。即使是在介电层168包括第一和第二介电层172和174时，也可以在介电层168中形成第二沟GR2，如图15所示。优选，第二沟GR2在与第一沟GR1同样的位置形成。另外，优选第二沟GR2穿透第二介电层174并暴露第一介电层172。优选第一介电层172的暴露部分尽量薄，但不暴露第十九和第二十电阻元件160a和162a。在第二介电层174上形成保护层170以覆盖第二沟GR2的表面。优选，保护层170由MgO制成，但保护层170也可以由功能与MgO相同的另一种材料制成。

为证实根据本发明的PDP对传统PDP的优势，进行了实验，实验结果示于图16至19。

在实验中，采用了图11所示根据本发明第八实施例的PDP(以下，称第一PDP)、图12所示根据本发明第九实施例的PDP(以下，称第二PDP)和图1所示传统PDP(以下，称第三PDP)。使用Ne和Xe混合气体作为放电气体。

为了比较第一至第三PDP的特性，测得了第一至第三PDP的维持电压-效率特性(以下，称第一特性)和维持电压-亮度特性(以下，称第二特性)。

图16示出第一和第三PDP的第一特性测量结果。图17示出第一和第三PDP的第二特性测量结果。

在图16和17中，“▲”和“◆”分别表示第一PDP中Xe对放电气体的比为12％和10％时的情况，而“■”表示第三PDP中Xe对放电气体的比为10％时的情况。

参考图16，放电启动电压在第三PDP中为195V而在放电气体中包括10％Xe的第一PDP中为175V。换言之，第一PDP中的放电启动电压比第三PDP中的低10％以上。

同时，为了测量第一和第三PDP在稳定放电状态下的第一特性，在第三PDP中将维持电压保持在比放电启动电压高约10V的205V，同时测量第三PDP的效率(Im/W)，并将第一PDP中的Xe比例提高到12％，随后在202.5V的维持电压下测量第一PDP的效率。第三PDP的效率为1.210Im/W，而Xe比例为12％的第一PDP的效率是1.722Im/W。换言之，第一PDP的效率比第三PDP的高大约42％。

参考图17，当第一PDP中Xe的比例为12％时，第一和第三PDP的第二特性之间没有很大的差别。然而，当第一PDP中Xe的比例为10％时，第一PDP的亮度低于第三PDP的亮度。

从图16和17所示的结果可以推段，第一PDP的第一特性相对于第三PDP可以提高，第一PDP的第二特性保持在第三PDP的水平。

以下的说明涉及第二和第三PDP的第一和第二特性的测量结果。在测量实验中，第二和第三PDP中诸如放电气体类型、放电气体混合比、内部压强、占空比和荧光层的类型的内部条件都相同。

图18示出第二和第三PDP的第一特性测量结果。图19示出第二和第三PDP的第二特性测量结果。

在图18中，“▲”表示第二PDP的第一特性测量结果，而“◆”表示第三PDP的第一特性测量结果。在图19中，“▲”表示第二PDP的第二特性测量结果，而“◆”表示第三PDP的第二特性测量结果。

参考图18，第二PDP中放电启动电压为205V而第三PDP中为218V。启动放电后，在第二与第三PDP之间，发光效率没有很大的差别。然而，在比第三PDP低的维持电压下，第二PDP的最大发光效率比第三PDP的高。

参考图19，第二PDP中，亮度在可视区开始出现的放电启动电压比第三PDP中的小得多。从图19所示曲线可以推出，第三PDP的亮度高于第二PDP的。然而，也可推出第二PDP的亮度可以为用户提供满意的图像。

如上所述，当综合考虑第二和第三PDP的第二特性时，可以得出第二PDP的第二特性优于第三PDP的第二特性的结论。

随后的说明涉及根据本发明第十实施例、在上介电层中有沟的PDP的功耗和第三PDP的功耗。

图20A是第三PDP的横截面图，而图21A是对应于根据本发明第十实施例的PDP(以下，称第四PDP)的PDP横截面图。

在图21A中，附图标记E1和E2分别表示形成在面对后玻璃衬底12的前玻璃衬底10上的第一和第二电极。第一和第二电极E1和E2中的每一个对应于上述本发明第一至第十实施例的每一个中包括主电极和辅助电极的电极。附图标记180表示覆盖第一和第二电极E1和E2并具有预定深度的第一或第二沟GR1或GR2的介电层。附图标记182表示覆盖介电层180整个表面的保护层。

参考图20A和21A，第三PDP中第一与第二维持电极14a与14b之间和第四PDP中第一与第二电极E1与E2之间存在介电层。因此，在第三和第四PDP中每一个的上板中可以存在寄生电容。然而，由于第三PDP的上板结构与第四PDP的不同，所以第三PDP上板中寄生电容的分布不同于第四PDP上板中寄生电容的分布。因此，第三PDP的位移电流不同于第四PDP的，且因此，第三PDP的功耗不同于第四PDP的功耗。

具体而言，图20B和20C是显示放电启动之前和之后第三PDP上板中寄生电容分布的等效电路图。在图20B和20C中，Cp表示包括第一和第二维持电极14a和14b及存在于第一与第二维持电极14a与14b之间的介电层18的电容器的电容(以下，称第一电容)。Cd表示包括第一和第二维持电极14a和14b、保护层20和存在于第一和第二维持电极14a和14b以及保护层20之间的介电层18的电容器的电容(以下，称第二电容)。Cg表示包括第一和第二维持电极14a和14b、存在于第一与第二维持电极14a与14b之间的介电层18、以及放电区域中的气体的电容器的电容(以下，称第三电容)。

参考图20B，放电启动前存在第一至第三电容Cp、Cd和Cg。然而，在启动放电时，放电区域中的气体具有导电性，因此放电区域中的气体介电层消失。结果，如图20C所示，启动放电时第三电容Cg消失。即使在放电启动后，第一和第二电容也不变。

图21B和21C示出启动放电前后，第四PDP上板中寄生电容的分布。Cps表示包括第一和第二电极E1和E2、形成在第一或第二沟GR1或GR2侧壁上的保护层182、以及介电层180的电容器的电容(以下，称第四电容)，其中，其中介电层180形成在第一和第二电极E1和E2以及形成在第一或第二沟GR1或GR2的侧壁上的保护层182之间。Cpo表示包括形成在第一或第二沟GR1或GR2侧壁上的保护层182和存在于沟中的放电气体的电容器的电容(以下，称第五电容)。第四电容Cps存在于第一或第二沟GR1或GR2的两侧，并且因此总共存在两个第四电容Cps。

启动放电前，如图21B所示，第四PDP上板中存在第二至第五电容。启动放电后，第一或第二沟GR1或GR2中的放电气体具有导电性，因此第一或第二沟GR1或GR2中的气体介电层消失。结果，启动放电后，第五电容Cpo从第四PDP的上板消失。

参考图20B和21B，启动放电前，第三PDP中的第一电容Cp相应于第四PDP中串联连接的第四和第五电容Cps和Cpo。因此，第四PDP中的第四和第五电容Cps和Cpo之和小于第三PDP中的第一电容Cp，如公式(8)所示。

Cp > \frac{Cpo + Cps}{Cpo \times Cps} - - - - - - - - - - (8)

由于位移电流与电容成比例，所以，启动放电前，在第四PDP中第一与第二电极E1与E2之间引起的位移电流小于在第三PDP中第一与第二维持电极14a与14b之间引起的位移电流。

与位移电流fCV成比例的功耗W用公式(9)表示。

W＝fCV² ...(9)

此处，“f”表示交流(AC)电压频率，C表示电容，而V表示AC电压。

如上所述，第四PDP中寄生电容器的电容或位移电流fCV小于第三PDP中寄生电容器的。因此，从公式(9)可以推出，第四PDP的功耗小于第三PDP的。

实施第一模拟实验来观察在维持电极中存在或不存在作为辅助电极的电阻元件时，放电启动电压的变化。实施第二模拟实验来观察形成在上介电层中的沟与放电启动电压之间的关系。

在第一模拟实验中，图22所示的第一模拟PDP用作传统PDP，而图23所示的第二模拟PDP用作根据本发明包括具有电阻元件的维持电极的PDP。

在图22中，附图标记194和196分别表示以第一距离D1彼此隔开的维持电极。附图标记190表示其一个表面上形成了维持电极194和196的上介电层。保护层198形成在上介电层190相对的表面上。形成下介电层192，使其与保护层198隔开与PDP的放电间隔相应的距离。在面对保护层198的下介电层192表面上形成荧光层200。

图23所示的第二模拟PDP具有与图22所示第一模拟PDP相同的结构，除了第二模拟PDP中维持电极200和202互相隔开的第二距离D2小于第一模拟PDP中维持电极194和196互相隔开的第一距离D1。第二距离D2对应于根据本发明第一至第十实施例的每一个PDP中分别包括在不同的维持电极中的电阻元件之间的间隙。

在第一模拟实验中，上、下介电层190和192的厚度是30μm，并且图22和23所示的第一和第二模拟PDP中采用了介电常数为12的介电材料。维持电极194、196、200和202的宽度为320μm。第一距离D1是80μm，第二距离D2是20μm。施加给每个维持电极194、196、200和202的电压脉冲宽度为5μs。另外，第一和第二模拟PDP采用Ne和Xe混合气体作为放电气体，并且Xe比例从5％变到10％和30％。压强维持在505托。

表1示出第一和第二模拟PDP中测得的放电启动电压结果。

表1

参考表1，无论Xe的比例如何，第二模拟PDP中的放电启动电压都低于第一模拟PDP中的放电启动电压。此结果意味着，当维持电极包括根据本发明包括电阻元件时，可以在低于传统PDP的电压下激发放电。还意味着，当第二模拟PDP的放电启动电压等于第一模拟PDP的时，第二模拟PDP中Xe比例可以提高到高于第一模拟PDP中的。

Xe比例增大时，发光效率也提高了。因此，使用相同的放电启动电压时，第二模拟PDP的发光效率高于第一模拟PDP的。

在第二模拟实验中，图24所示的第三模拟PDP用作传统的PDP，而图25所示的第四模拟PDP用作根据本发明在覆盖维持电极的介电层中形成包括电阻元件和沟的维持电极的PDP。在图22至25中，相同的附图标记表示相同的元件。

如图24所示，第三模拟PDP与第一模拟PDP相同，因此，省略对其的详细描述。

图25所示的第四模拟PDP包括上介电层一个表面上的两个维持电极204和206。两个维持电极204和206互相隔开第二距离D2(图23)。在两个维持电极204与206之间的上介电层190中形成沟208。保护层198形成在上介电层190的相对表面上以覆盖沟208的整个表面。第四模拟PDP的其它部分与第二模拟PDP的相同。

在第二模拟实验中，第三和第四模拟PDP中上、下介电层190和192的厚度、介电材料、维持电极194、196、204和206的宽度、施加给维持电极194、196、204和206的电压脉冲宽度、放电气体、以及放电气体中Xe的比例都相同。Xe比例从5％变到10％和30％。压强维持在505托。

表2示出在第三和第四模拟PDP中测量放电启动电压的结果。

表2

参考表2，第四模拟PDP中的放电启动电压远低于第三模拟PDP中的。特别是比较表1与表2时，第四模拟PDP中的放电启动电压远低于第二模拟PDP中的。

根据第一和第二模拟实验结果，可以推出，当两个维持电极分别包括相隔距离小于两个维持电极之间相隔距离的电阻元件并且在覆盖PDP中的维持电极和电阻元件的介电层中形成沟时，与同传统PDP一样包括不具有根据本发明的沟的电阻元件的PDP相比，其放电启动电压降低了。

因此，在第四模拟PDP中，可以在低于第三模拟PDP的电压下激发放电，而且可以提高放电气体中Xe比例，因此可以在更低的启动电压下提供高发光效率。

下面的说明涉及制造根据本发明实施例的PDP的方法，具体而言是制造用于PDP中的维持电极的方法。此处，第一至第八维持电极称作主电极，电阻元件称作辅助电极。此外，假设维持电极包括主电极和辅助电极。

参考图26，在步骤200中准备干净的玻璃衬底。该玻璃衬底用作前玻璃衬底。然后在步骤210中，在玻璃衬底上形成透明电极材料层，例如氧化铟锡(ITO)层，其具有高透射率且适于形成维持电极。在步骤220中，对透明电极材料层构图，由此形成具有双重间隙的维持电极。

具体而言，每个维持电极都包括间隔，并且在该间隔中形成图4至12所示的电阻元件中的一个。换言之，每个维持电极包括主电极(第一至第八维持电极中的一个)和辅助电极(第一至第二十电阻元件中的一个)，其中，主电极包括间隔并且大多数电流流过主电极，辅助电极形成在该间隔中并且连接于主电极。优选，同步并整体形成主电极和辅助电极。另外，优选相邻主电极之间的间隙大于形成在各个主电极上的辅助电极之间的间隙，使得两个相邻的维持电极具有双重间隙。

通过将这些特征反应在对沉积在透明电极材料层上的光致抗蚀剂层进行构图的工艺中，得到具有上述特征的维持电极。换言之，通过在对光致抗蚀剂层进行构图的工艺中反应维持电极的这些特征，形成了具有这些特征，即相同维持电极形状的，光致抗蚀剂层图案。然后，通过用光致抗蚀剂层图案作为蚀刻掩模蚀刻透明电极材料层，在玻璃衬底上形成了具有这些特征的维持电极。

在步骤220中，形成图4至12之一所示的维持电极或图4到12所示维持电极的一种组合。例如，形成相邻两个维持电极中的一个，使其包括图4所示第一维持电极40和由主体52a和端部52b构成的第一电阻元件，并形成另一个维持电极使其包括图5至12所示维持电极之一和第二至第十八电阻元件之一。

在玻璃衬底上形成维持电极后，在步骤230中，在各个维持电极上形成总线电极使其平行于各个维持电极。在维持电极之间形成黑条纹(blackstripe)(未示出)，并且形成介电层(图14所示168)以覆盖维持电极、子电极和黑条纹。介电层168可以如图14所示包括单层，或可以如15所示通过顺序形成第一和第二介电层172和174包括多层。此后如图14所示，在介电层168中形成第一沟GR1。或者，如图15所示，可以在介电层168中形成第二沟GR2。优选，第一和第二沟GR1和GR2形成得尽量深，但不暴露电阻元件160a和162a。因此，优选，形成第二沟GR2以暴露第一介电层172。然而，第二沟GR2也可以朝着第一介电层172形成得更深。用典型的光刻工艺就可以很容易地形成第一或第二沟GR1或GR2。

随后的步骤，例如在具有第一或第二沟GR1或GR2的介电层168上形成保护层的步骤、封装线印刷步骤和形成保护层的步骤、用于形成后玻璃衬底面板的步骤、将前玻璃衬底面板封装到后玻璃衬底面板的步骤、注入等离子体形成气体的步骤、以及包装步骤都根据典型工艺进行。然而，优选等离子体形成气体是Ne和Xe的混合气体，其中含4至20％Xe。

如上所述，用于根据本发明的PDP中的维持电极包括主电极和辅助电极(即电阻元件)，其中启动放电后，大多数电流流过主电极，辅助电极具有大电阻，用于低压放电。另外，在覆盖主电极和辅助电极的介电层中，直接在辅助电极之上形成沟。分别包括在不同维持电极中的辅助电极之间的间隙比主电极之间的间隙窄。因此，与传统PDP相比可以降低放电启动电压。特别是放电电压的采用在沟中引起强电场，有助于沟中放电气体的放电。因此，在根据本发明包括沟和辅助电极的PDP中可以进一步降低放电启动电压。而且，在根据本发明的PDP中，主电极间的间隙与传统PDP中维持电极之间的间隙同样宽。因此，与传统PDP相比，在根据本发明的PDP中可以防止亮度和效率的下降，同时可以降低放电启动电压20V以上。

虽然参考其优选实施例具体显示和描述了本发明，但是应当把优选实施例看成仅具有描述性的意义而不是有限定的目的。例如，本领域技术人员可以使用形状不同于上述实施例中描述的辅助电极(即电阻元件)，而不脱离本发明的范围。例如，可以分别在如图2所示没有凹槽的传统维持电极14a和14b中设置根据本发明的电阻元件，取代在维持电极中形成的凹槽中设置辅助电极。换言之，可以在维持电极14a的一端设置电阻元件以面对维持电极14b，并且可以在维持电极14b的一端设置电阻元件以面对维持电极14a。此处，两个电阻元件可以设置成互相面对或互相交替。或者，两个相对维持电极中可以只有一个具有凹槽，因此可以在没有凹槽的一个维持电极端部设置电阻元件，而在另一个维持电极中形成的凹槽中设置电阻元件。另外，可以直接在仅仅单个电阻元件上形成沟。如上所述，由于可以对上述实施例进行各种修改，因此本发明的范围不由本发明的具体描述来限定而是由所附权利要求来限定。

Claims

1.一种等离子体显示面板，包括：

在其上显示图像的前面板，该前面板包括多个维持电极、多个总线电极、覆盖该多个维持电极和总线电极的第一介电层、以及保护层；

与前面板隔开并密封地封装到前面板上的后面板，该后面板包括多条数据线、覆盖该多条数据线的第二介电层、阻挡肋、以及荧光层；以及

存在于前与后面板之间的等离子体形成气体，

其中，选自该多个维持电极的第一维持电极和面对该第一维持电极的第二维持电极具有双重间隙，其允许在不降低放电效率的情况下降低放电电压，使得可以在低电压下激发放电，并可以在放电启动后停止低电压放电。

2.如权利要求1的等离子体显示面板，其中该第一维持电极包括：

第一主电极，用于在低电压下启动放电后维持放电；以及

第一辅助电极，整体地连接于第一主电极并用于启动放电，第一辅助电极是具有至少30Ω电阻的电阻元件。

3.如权利要求1的等离子体显示面板，其中第二维持电极包括：

第二主电极，用于在低电压下启动放电后维持放电；以及

第二辅助电极，整体地连接于第二主电极并用于启动放电，第二辅助电极是具有至少30Ω电阻的电阻元件。

4.如权利要求2的等离子体显示面板，其中，在其中设置第一辅助电极的第一凹槽形成在第一主电极中。

5.如权利要求4的等离子体显示面板，其中第一凹槽靠近阻挡肋。

6.如权利要求4的等离子体显示面板，第一凹槽的入口比其内部窄。

7.如权利要求4的等离子体显示面板，其中第一辅助电极包括设置在第一凹槽内的主体和从主体延伸并设置在第一与第二维持电极间的端部。

8.如权利要求6的等离子体显示面板，其中第一辅助电极包括设置在第一凹槽内的主体和从主体延伸并设置在第一与第二维持电极间的端部。

9.如权利要求7的等离子体显示面板，其中第一辅助电极的主体在水平平面或竖直平面中交替往复。

10.如权利要求8的等离子体显示面板，其中第一辅助电极的主体在水平平面或竖直平面中交替往复。

11.如权利要求7的等离子体显示面板，其中第一辅助电极的端部平行于或垂直于形成在第一维持电极上的总线电极。

12.如权利要求8的等离子体显示面板，其中第一辅助电极的端部平行于或垂直于形成在第一维持电极上的总线电极或者具有尖角形状。

13.如权利要求3的等离子体显示面板，其中，在其中设置第二辅助电极的第二凹槽形成在第二主电极中。

14.如权利要求13的等离子体显示面板，其中第二凹槽靠近阻挡肋。

15.如权利要求13的等离子体显示面板，其中第二凹槽的入口比其内部窄。

16.如权利要求13的等离子体显示面板，其中第二辅助电极包括设置在第二凹槽内的主体和从主体延伸并设置在第一与第二维持电极间的端部。

17.如权利要求15的等离子体显示面板，其中第二辅助电极包括设置在第二凹槽内的主体和从主体延伸并设置在第一与第二维持电极间的端部。

18.如权利要求16的等离子体显示面板，其中第二辅助电极的主体在水平平面或竖直平面中交替往复。

19.如权利要求17的等离子体显示面板，其中第二辅助电极的主体在水平平面或竖直平面中交替往复。

20.如权利要求16的等离子体显示面板，其中第二辅助电极的端部平行于或垂直于形成在第二维持电极上的总线电极或者具有尖角形状。

21.如权利要求17的等离子体显示面板，其中第二辅助电极的端部平行于或垂直于形成在第二维持电极上的总线电极。

22.如权利要求13的等离子体显示面板，其中，在其中设置第一辅助电极的第一凹槽形成在第一主电极中。

23.如权利要求22的等离子体显示面板，其中第一和第二凹槽垂直对称。

24.如权利要求22的等离子体显示面板，其中第一和第二凹槽对角对称。

25.如权利要求2的等离子体显示面板，其中第一辅助电极是设置在第一主电极端部从而面对第二维持电极的第一电阻元件。

26.如权利要求3的等离子体显示面板，其中第二辅助电极是设置在第二主电极端部从而面对第一维持电极的第二电阻元件。

27.如权利要求26的等离子体显示面板，其中第一辅助电极是设置在第一主电极端部从而面对第二维持电极或第二电阻元件的第一电阻元件。

28.如权利要求1的等离子体显示面板，其中等离子体形成气体是氖(Ne)和氙(Xe)的混合气体，并含4至20％的Xe。

29.如权利要求2的等离子体显示面板，其中前面板还包括在第一介电层中形成在第一辅助电极之上的沟。

30.如权利要求29的等离子体显示面板，其中第一介电层包括具有不同介电常数的上、下介电层，且该沟形成为暴露上介电层下面的下介电层。

31.如权利要求3的等离子体显示面板，其中前面板还包括在第一介电层中形成在第一和第二辅助电极之上的沟。

32.如权利要求31的等离子体显示面板，其中第一介电层包括具有不同介电常数的上、下介电层，且该沟形成为暴露上介电层下面的下介电层。

33.如权利要求4的等离子体显示面板，其中第一凹槽直接形成在阻挡肋之上。

34.如权利要求13的等离子体显示面板，其中第二凹槽直接形成在阻挡肋之上。

35.一种等离子体显示面板，包括：

存在于前与后面板之间的等离子体形成气体，

其中，多个维持电极中的至少一个包括用于维持放电的主电极和具有高电阻并用于启动放电的辅助电极，以及

该辅助电极连接于主电极，使得辅助电极的至少一部分存在于两个面对的维持电极之间。

36.如权利要求35的等离子体显示面板，其中辅助电极包括主体和端部，该主体在水平平面或竖直平面中交替往复，该端部从主体延伸从而处于两个面对的维持电极之间。

37.如权利要求36的等离子体显示面板，其中凹槽形成在主电极中，使得辅助电极的主体设置在凹槽中。

38.如权利要求36的等离子体显示面板，其中该端部平行于或垂直于该端部面对的维持电极。

39.如权利要求37的等离子体显示面板，其中该凹槽的入口比其内部窄。

40.如权利要求35的等离子体显示面板，其中辅助电极连接于主电极的一端，使得整个辅助电极设置于两个面对的维持电极之间。

41.如权利要求35的等离子体显示面板，其中直接在辅助电极之上、在第一介电层中形成预定深度的沟。

42.如权利要求41的等离子体显示面板，其中通过相继形成具有不同介电常数的上、下介电层来形成第一介电层，并且该沟形成为暴露上介电层下面的下介电层。

43.如权利要求37的等离子体显示面板，其中该凹槽直接形成在阻挡肋之上。

44.一种制造等离子体显示面板的方法，该等离子体显示面板包括具有前玻璃衬底、多个维持电极、多个总线电极、覆盖该多个维持电极和总线电极的第一介电层、以及保护层的前面板；与前面板隔开并密封地封装到前面板上的后面板，该后面板具有后玻璃衬底、多条数据线、覆盖该多条数据线的第二介电层、阻挡肋、以及荧光层；以及，存在于前与后面板之间的等离子体形成气体，该方法包括：

形成维持电极使得每个维持电极以双重间隙与另一个维持电极面对，该双重间隙使得可以在两个面对的维持电极之间在不降低放电效率的情况下以低电压激发放电，还使得可以在放电启动后停止低电压放电。

45.如权利要求44的方法，其中形成其间具有双重间隙的维持电极包括：

形成透明电极材料层，用于在与后玻璃衬底面板相对的前玻璃衬底的表面上形成维持电极；

在透明电极材料层上沉积光致抗蚀剂层；

对光致抗蚀剂层构图使其具有与维持电极相同的图案，从而形成具有双重间隙的光致抗蚀剂层图案；

用光致抗蚀剂层图案作为蚀刻掩模蚀刻透明电极材料层；以及

除去光致抗蚀剂层图案。

46.如权利要求44的方法，其中两个相对的维持电极中的至少一个形成为包括：

主电极，用于在启动放电后维持放电；以及

辅助电极，具有高电阻并用于启动放电，以及

整体并同步形成主电极和辅助电极。

47.如权利要求46的方法，其中在主电极中形成凹槽，并在凹槽中形成辅助电极。

48.如权利要求46的方法，其中在主电极的一端形成辅助电极使得辅助电极设置在两个相对的维持电极之间。

49.如权利要求47的方法，其中辅助电极包括形成在凹槽内的主体和从主体延伸到凹槽外从而设置在两个相对的维持电极之间的端部，并且该主体在水平平面或竖直平面上交替往复。

50.如权利要求49的方法，其中该端部分别平行于或垂直于形成在两个相对的维持电极上的总线电极或具有尖角形状。

51.如权利要求47的方法，其中凹槽的入口比凹槽内部窄。

52.如权利要求46的方法，其中两个相对的维持电极的每一个中都形成了辅助电极，使得对应的两个相对的维持电极中的辅助电极成垂直对称或对角对称。

53.如权利要求44的方法，还包括直接在双重间隙之上在第一介电层中形成沟。

54.如权利要求53的方法，其中通过顺序堆叠具有不同介电常数的下介电层和上介电层来形成第一介电层，并且该沟形成为暴露上介电层下面的下介电层。

55.如权利要求47的方法，其中该凹槽直接形成在阻挡肋之上。