CN1496288A - 使用微乳液除去有机和/或无机污垢清洗固体表面的方法 - Google Patents

使用微乳液除去有机和/或无机污垢清洗固体表面的方法 Download PDF

Info

Publication number
CN1496288A
CN1496288A CNA028062698A CN02806269A CN1496288A CN 1496288 A CN1496288 A CN 1496288A CN A028062698 A CNA028062698 A CN A028062698A CN 02806269 A CN02806269 A CN 02806269A CN 1496288 A CN1496288 A CN 1496288A
Authority
CN
China
Prior art keywords
organic solvent
weight portions
365mfc
solvent mixtures
azeotropic mixture
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CNA028062698A
Other languages
English (en)
Other versions
CN1236866C (zh
Inventor
P�����ǵ�
P·米乔德
J·-C·休雷西
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Arkema France SA
Original Assignee
Atofina SA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Atofina SA filed Critical Atofina SA
Publication of CN1496288A publication Critical patent/CN1496288A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN1236866C publication Critical patent/CN1236866C/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/04Cleaning involving contact with liquid
    • B08B3/08Cleaning involving contact with liquid the liquid having chemical or dissolving effect
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C11ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
    • C11DDETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
    • C11D3/00Other compounding ingredients of detergent compositions covered in group C11D1/00
    • C11D3/43Solvents
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C11ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
    • C11DDETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
    • C11D1/00Detergent compositions based essentially on surface-active compounds; Use of these compounds as a detergent
    • C11D1/02Anionic compounds
    • C11D1/12Sulfonic acids or sulfuric acid esters; Salts thereof
    • C11D1/123Sulfonic acids or sulfuric acid esters; Salts thereof derived from carboxylic acids, e.g. sulfosuccinates
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C11ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
    • C11DDETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
    • C11D17/00Detergent materials or soaps characterised by their shape or physical properties
    • C11D17/0008Detergent materials or soaps characterised by their shape or physical properties aqueous liquid non soap compositions
    • C11D17/0017Multi-phase liquid compositions
    • C11D17/0021Aqueous microemulsions
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C11ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
    • C11DDETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
    • C11D7/00Compositions of detergents based essentially on non-surface-active compounds
    • C11D7/50Solvents
    • C11D7/5036Azeotropic mixtures containing halogenated solvents
    • C11D7/5068Mixtures of halogenated and non-halogenated solvents
    • C11D7/5077Mixtures of only oxygen-containing solvents
    • C11D7/5081Mixtures of only oxygen-containing solvents the oxygen-containing solvents being alcohols only
    • C11D2111/14
    • C11D2111/44
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S134/00Cleaning and liquid contact with solids
    • Y10S134/902Semiconductor wafer

Abstract

本发明涉及一种固体表面的清洗方法,该方法包括a)借助于微乳液型清洗组合物清洗所述固体表面,e)沥干所述清洗过的表面,f)用低沸点有机溶剂或有机溶剂混合物漂洗已沥干的所述表面和g)用在c)中使用的有机溶剂或有机溶剂混合物使所述已漂洗的表面干燥。

Description

使用微乳液除去有机和/或无机污垢清洗固体表面的方法
本发明涉及清洗的方法,更准确涉及除去固体表面(或基底)上的有机和/或无机污垢的方法。
在电气、电子、光学和特别是机械等工业中,必须从最终得到的或将要进行最后一步加工的零件或材料上完全除去无机和/或有机污垢。
按照传统的方法,这些表面要用1,1,1-三氯乙烷,一种具有很多功能的溶剂进行清洗,但是由于这种溶剂对臭氧层有影响,被蒙特利尔公约禁止使用。
如在专利申请FR 2,795,088中所述的使用在环境温度下呈稳定的微乳液形式的清洗组合物也是已知的,其优点是能够同时除去有机和无机污垢,因为它们使溶剂部分和无机部分相结合。
但是,对用所述微乳液型组合物处理的表面,必须用水进行漂洗,可是在上述技术领域中,表面不仅应该没有任何无机和/或有机污垢,而且应该完全去掉水。
现在已经找到了一种清洗方法,能够从固体表面(或基底)上完全除去有机和/或无机污垢以及痕迹量的水,其特征在于,该方法包括如下各个步骤:
a)借助于微乳液型清洗组合物清洗所述固体表面;
b)将所述清洗过的表面沥干;
c)用有机溶剂或低沸点有机溶剂的混合物漂洗经过沥干的所述表面,和
d)将用在c)中使用的有机溶剂或有机溶剂混合物漂洗过的所述表面进行干燥。
按照本发明使用的微乳液型清洗组合物的优点是能够有效地从待清洗的固体表面上完全除去有机和/或无机污垢。
在专利申请FR 2,795,088中叙述了这种微乳液型清洗组合物。
该组合物具体包括:
(A)30~70重量份,特别是35~60重量份的水;
(B)20~60重量份,特别是25~55重量份的至少一种在环境温度下是液体的有机溶剂;以及
(C)5~30重量份,特别是10~25重量份的至少一种通式(I)的表面活性剂:
其中:
—R1和R2各自独立地表示C5~C20直线或分支的烷基;
—M是选自Na、K和NR4 的阳离子,R各自独立地表示氢或C1~C4烷基;
(A)+(B)+(C)表示100重量份。
步骤a)的清洗可以在一个浸渍槽或带有超声波、机械振动或摇动的喷淋浴中进行。
此微乳液型清洗组合物在环境温度(大约20℃)至大约60℃的温度下使用,优选在20~40℃下使用。
固体表面清洗-步骤a)的时间根据污垢的类型及其与固体表面粘结的情况而定。
此清洗时间不超过5min,优选为1~3min。
在步骤a)中使用的微乳液型清洗组合物中所含的一种或多种有机溶剂(B)优选自脂肪族烃类、亚烷基二醇单醚和二亚烷基二醇的单醚。
脂肪族烃类可以是线形的、分支的、环状的或者它们的组合的烃。这些烃类特别含有3~24个碳原子,优选含有6~24个碳原子。可以以商品的形式获得的脂肪族烃类的例子是:
—NORPARTM12、13和15(来自EXXON公司的正构石蜡烃溶剂);
—ISOPARTM G、H、K、L、M、V(来自EXXON公司的异石蜡烃溶剂);
—溶剂SHELLSOLTM(来自Shell Chemical公司);
—CEPSA公司的PETROSOLVTM D-15/20、D-19/22、D-20/26、D-24/27、D-28/31(来自CEPSA公司的石蜡烃和异石蜡烃溶剂);
—由EXXON公司商品化的EXXSOLTM烃类溶剂;
—由Total FinaElf公司商品化的煤油馏分如KETRUL 211、212、D80和D85。
亚烷基二醇的单醚特别可以是丙二醇的C4~C25单醚,比如丙二醇单甲醚(PM)、丙二醇单乙醚(PE)、丙二醇单正丙醚(PNP)、丙二醇单叔丁醚(PTB)、丙二醇单丁醚(PNB)和丙二醇单己醚。
二亚烷基二醇单醚可以是比如二丙二醇单甲醚(DPM)、二丙二醇单正丙醚(DPNP)、二丙二醇单叔丁醚(DPTB)、二丙二醇单正丁醚(DPNB)和二丙二醇单己醚,以及二乙二醇正丁醚(丁基二乙二醇醚-BDG)、二乙二醇己醚和二乙二醇辛醚。
按照本发明可使用的组合物还可以含有:
—至少一种螯合剂,比如乙二胺四乙酸(EDTA)及其盐,其含量具体为对于100重量份的(A)+(B)+(C)为0.01~0.1重量份;和/或
—至少一种抗腐蚀剂,特别选自RCOOH型有机酸,R是C4~C24烃基,和胺,对于100重量份的(A)+(B)+(C),其含量为0.01~0.5重量份;和/或
—通常用量的至少一种添加剂,选自消毒剂、杀真菌剂(季铵盐)和杀生物剂(有机过氧化物、过氧化氢、具有活性卤素的化合物、无机酚盐、季铵盐、有机金属衍生物、有机硫衍生物);和/或
—至少一种香精。
清洗过的固体表面要进行步骤b)的沥水,这包括从清洗组合物中取出所述清洗过的固体表面,并在环境温度下沥干,经历的沥干时间为30sec~1min。
然后,将沥干的固体表面进行步骤c)的漂洗,这一步用惰性的,优选是不可燃和低沸点的有机溶剂或有机溶剂混合物进行。
此漂洗步骤在比用于所述漂洗步骤的有机溶剂或有机溶剂混合物中挥发性最强的化合物的沸点低10~15℃,优选低5℃的温度下进行。
在涉及有机溶剂混合物时,将特别使用共沸或准共沸混合物。
所谓低沸点有机溶剂或有机溶剂混合物,当前指的是其沸点最高等于90℃,优选25~70℃的有机溶剂或有机溶剂混合物。
该有机溶剂或有机溶剂混合物可特别选自:
—脂肪醇,比如甲醇、乙醇、异丙醇、丁醇;
—脂肪族酯类,比如乙酸乙酯、乙酸丁酯、甲酸甲酯等;
—具有5~7个碳原子的线形、分支或环状饱和烃,比如戊烷、己烷、庚烷、环戊烷、环己烷等;
—脂肪族酮类,比如丙酮、甲乙酮等;
—脂肪族醚类,比如四氢呋喃(THF)、乙醚、二丙醚、二丁醚等;
—缩醛,比如二甲氧基甲烷(甲缩醛);
—卤代脂肪烃,比如二氯甲烷、三氯乙烷、全氟烷烃CnF2n+2(n=4~8)、氢氟碳化合物(HFC),比如1,1,1,2,3,4,4,5,5,5十氟戊烷(4310mee)、1,1,1,3,3-五氟丁烷(365mfc)等。
—氢氟氯碳化合物(HCFC),比如1,1-二氯-1-氟乙烷(141b)、氢氟醚,比如全氟甲基醚(C4F9OCH3);
或者上述化合物中至少两种的混合物。
优选使用上述化合物中至少两种的共沸或准共沸混合物。
为了进行说明,按照本发明可以作为漂洗溶剂使用的这样的共沸或准共沸混合物,可以举出:
—在专利申请FR 2,781,499-A1中提到的共沸物,比如4310mee/365mfc(9/91)的二元共沸物(括号中的数字表示共沸物中各组分的重量百分数)4310mee/365mfc/CH3OH(12/83/5)的三元共沸物;
—在专利申请FR 2,792,648中提到的共沸物,比如4310mee/三氯乙烷(89/11)的二元共沸物、4310mee/三氯乙烯/甲醇(84.5/9.5/6)的三元共沸物、4310mee/三氯乙烯/异丙醇(88.2/9.6/2.2)的三元共沸物、4310mee/三氯乙烯/甲缩醛(87/9/4)的三元共沸物;
—在专利申请FR 2,792,649中提到的共沸物,比如4310mee/二氯甲烷/环戊烷/甲醇(47.5/32.7/17/2.8)的四元共沸物;
—在专利申请FR 2,792,647中提到的共沸物,比如365mfc/二氯甲烷/甲醇/4310mee(56.2/39.8/3.5/0.5)的四元共沸物;
—在专利申请FR 2,766,836中提到的共沸物或准共沸物,比如365mfc/二氯甲烷/甲醇(89/7/4)三元准共沸物;
—在专利申请FR 2759090中提到的共沸物,比如4310mee/二氯甲烷(50/50)二元共沸物。
在所有这些共沸混合物当中,特别优选4310mee/365mfc/甲醇(12/83/5)的三元共沸物、4310mee/CH2Cl2(50/50)的二元共沸物、365mfc/二氯甲烷(56.6/43.4)的二元共沸物、4310mee/365mfc(9/91)的二元共沸物、365mfc/二氯甲烷/甲醇(89/7/4)的三元准共沸物、141b/甲醇(96/4)的二元共沸物和365/二氯甲烷/甲醇(57/39.5/3.5)的三元共沸物。
按照本发明,通过将漂洗过的固体表面曝露在由加热在漂洗步骤c)中使用的有机溶剂或有机溶剂混合物而产生的蒸汽中来进行干燥步骤d)。在非共沸有机溶剂混合物的情况下,将使用挥发性最高的化合物蒸汽进行已漂洗表面的干燥。
干燥时间至少为20sec,优选30sec至1min。
按照本发明的方法特别用来从金属、陶瓷、玻璃、塑料等零件、印刷电路(电子器件、半导体器件)的固体表面上除去有机和/或无机污垢。
本发明的方法能够得到清洁的固体表面,没有任何有机和/或无机污垢以及痕迹量的水。借助于本发明的方法清洗过的零件可立即用于其他处理操作,比如上漆、电沉积等。
实施本发明方法的装置可以依次由如下设备构成:
—一个在其中用微乳液型组合物清洗固体表面的第一槽。此槽可装有加热装置和产生超声波的装置。待清洗的一个或多个零件放置的一个板上,在如上所定义的温度下浸入到微乳液型组合物浴中,浸渍入上所定义的时间;
—然后从该浴中取出该零件进行沥干,优选在一块倾斜的平面上进行沥干,使微乳液型组合物流回到清洗槽中,然后将其导向漂洗/干燥循环。
优选在一台包括至少两个装有加热和冷凝装置的槽的商品机器中进行漂洗—干燥步骤。
在任选装有产生超声波装置的第一槽中,在如前面所定义的温度下,通过将零件浸入到有机溶剂或有机溶剂混合物浴中对其进行漂洗。然后从所述浴中取出零件,将其运送到第二槽中进行干燥。此第二槽装有在前面的漂洗槽中使用的有机溶剂或有机溶剂混合物,其被加热到其沸点。
因此,由用于漂洗的有机溶剂或有机溶剂混合物蒸汽将该零件进行干燥。借助于被冷却的冷凝蛇管将此蒸汽冷凝,并循环到液体漂洗槽中。
下面的实施例用于说明本发明。
设备:
将如下设备放置成生产线:
—装有5L微乳液型组合物的清洗槽;
—倾向清洗槽的微乳液沥干倾斜平面,和
—B125型(购自Branson Ultrasonic公司)双槽机器。
其顺序的示意图如下:
Figure A0280626900091
待清洗的零件:
—尺寸100×100×1mm的316L不锈钢板,上面涂有Mobil Cut 151切削油或Mobil 766机油,
—尺寸100×100(每cm40根)的不锈钢丝网,沾有同样的污垢。
将这些钢板和钢丝网放置在一个板上进行如上顺序的操作。
使用的材料:
—微乳液型清洗组合物(以wt%表示)
-水:42%
-石油馏分KETRUL 211:32%
-表面活性剂,Albrigth et Wilson Iberica公司的商品EmpiminOP 070:18%
-二丙二醇单正丁醚(DPNB):8%
-抗蚀添加剂:相对于水、石油馏分、表面活性剂和DPNB总量为0.15%,它们是:
-庚酸(0.063%)
-环十一烷酸(acide undécyclique)(0.0435%)
-IRGAMENT 42(环状胺)(0.0435%)
—有机溶剂或有机溶剂混合物,使用的溶剂及其沸点汇总在下面的表I中。
按照如上所述的示意图将涂有上述污垢的钢板和钢丝进行清洗的各个顺序的操作。清洗槽的浴温是40℃。
漂洗温度是Te-5℃,此处Te是有机溶剂、共沸物或准共沸物的沸

Claims (13)

1.固体表面的清洗方法,其特征在于,该方法包括如下步骤:
a)借助于微乳液型清洗组合物清洗所述固体表面;
b)将所述清洗过的表面沥干;
c)用有机溶剂或低沸点有机溶剂的混合物漂洗经过沥干的所述表面,和
d)将用在c)中使用的有机溶剂或有机溶剂混合物漂洗过的所述表面进行干燥。
2.如权利要求1的方法,其特征在于,在环境温度至60℃的温度下,优选在20~40℃下使用此微乳液型清洗组合物。
3.如权利要求1或2的方法,其特征在于,此清洗时间(步骤a))不超过5min。
4.如权利要求1的方法,其特征在于,其沥干时间为30sec至1min。
5.如权利要求1的方法,其特征在于,漂洗步骤c)在比用于所述漂洗步骤的有机溶剂或有机溶剂混合物中挥发性最强的化合物的沸点低10~15℃,优选低5℃的温度下进行。
6.如权利要求1的方法,其特征在于,通过将漂洗过的固体表面曝露在由加热在漂洗步骤c)中使用的有机溶剂或有机溶剂混合物而产生的蒸汽中来进行干燥步骤d)。
7.如权利要求1、5或6的中之一方法,其特征在于,该有机溶剂或有机溶剂混合物的沸点最高等于90℃,优选25~70℃。
8.如权利要求1或6中之一的方法,其特征在于,干燥步骤d)的时间至少为20sec,优选30sec至1min。
9.如权利要求1的方法,其特征在于,这种微乳液型清洗组合物包括:
(A)30~70重量份,特别是35~60重量份的水;
(B)20~60重量份,特别是25~55重量份的至少一种在环境温度下是液体的有机溶剂;和
(C)5~30重量份,特别是10~25重量份的至少一种通式(I)的表面活性剂:
Figure A0280626900031
其中:
—R1和R2各自独立地表示C5~C20直线或分支的烷基;
-M是选自Na、K和NR4 的阳离子,R各自独立地表示氢或C1~C4烷基;
(A)+(B)+(C)表示100重量份。
10.如权利要求9的方法,其特征在于,在步骤a)中使用的微乳液型清洗组合物中所含的一种或多种有机溶剂(B)优选自脂肪族烃类、亚烷基二醇单醚和二亚烷基二醇的单醚。
11.如权利要求1~9中任意一项的方法,其特征在于,在步骤c)和d)中使用的该有机溶剂或有机溶剂混合物选自:脂肪醇,优选甲醇或异丙醇;脂肪族酯类,优选乙酸乙酯;具有5~7个碳原子的线形、分支或环状饱和烃;脂肪族酮类;脂肪族醚类;二甲氧基甲烷、二氯甲烷、三氯乙烯、全氟烷烃CnF2n+2(n=4~8)、氢氟碳化合物(HFC),优选1,1,1,2,3,4,4,5,5,5十氟戊烷(4310mee)或1,1,1,3,3-五氟丁烷(365mfc)。氢氟氯碳化合物(HCFC),优选1,1-二氯-1-氟乙烷(141b)、全氟甲基醚(C4F9OCH3)或者上述化合物中至少两种的混合物。
12.如权利要求11的方法,其特征在于,这些有机溶剂混合物是所述化合物的共沸混合物或准共沸混合物。
13.如权利要求12的方法,其特征在于,在步骤c)和d)中使用的共沸混合物或准共沸混合物是4310mee/365mfc(9/91)的二元共沸物、4310mee/365mfc/CH3OH(12/83/5)的三元共沸物、365mfc/二氯甲烷(50/50)的二元准共沸物、1,1-二氯-1-氟乙烷/甲醇(96/4)的二元共沸物、365mfc/二氯甲烷/甲醇(57/39.5/3.5)的三元共沸物、365mfc/二氯甲烷(56.6/43.4)二元共沸物。
CNB028062698A 2001-01-09 2002-01-07 使用微乳液除去有机和/或无机污垢清洗固体表面的方法 Expired - Fee Related CN1236866C (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR0100228A FR2819201B1 (fr) 2001-01-09 2001-01-09 Procede de nettoyage d'une surface solide par elimination de salissures organiques et/ou minerales au moyen d'une microemulsion
FR01/00228 2001-01-09

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN1496288A true CN1496288A (zh) 2004-05-12
CN1236866C CN1236866C (zh) 2006-01-18

Family

ID=8858628

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNB028062698A Expired - Fee Related CN1236866C (zh) 2001-01-09 2002-01-07 使用微乳液除去有机和/或无机污垢清洗固体表面的方法

Country Status (12)

Country Link
US (1) US7417018B2 (zh)
EP (1) EP1349678B1 (zh)
JP (1) JP2004525753A (zh)
KR (1) KR100502532B1 (zh)
CN (1) CN1236866C (zh)
AT (1) ATE313390T1 (zh)
AU (1) AU2002229853B2 (zh)
CA (1) CA2434183C (zh)
DE (1) DE60208154D1 (zh)
ES (1) ES2253518T3 (zh)
FR (1) FR2819201B1 (zh)
WO (1) WO2002055223A1 (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112404026A (zh) * 2020-09-11 2021-02-26 上海金堂轻纺新材料科技有限公司 一种除油污废水循环利用的工艺

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4663891B2 (ja) * 2001-02-19 2011-04-06 東燃化学株式会社 熱可塑性樹脂成形体の洗浄方法およびこれを利用した熱可塑性樹脂微多孔膜の製造方法
CN1690120A (zh) * 2004-03-01 2005-11-02 三菱瓦斯化学株式会社 具有高减震能力的树脂组合物
FR2873689B1 (fr) * 2004-07-29 2006-10-13 Arkema Sa Composition a base de 1,1,1,3,3,-pentafluorobutane
JP3994992B2 (ja) * 2004-08-13 2007-10-24 三菱瓦斯化学株式会社 シリコン微細加工に用いる異方性エッチング剤組成物及びエッチング方法
EP2392908B1 (en) * 2004-12-17 2019-08-21 Ventana Medical Systems, Inc. Methods for preparing a paraffin-embedded biological sample for staining.
JP6023641B2 (ja) 2013-04-25 2016-11-09 Jxエネルギー株式会社 洗浄剤組成物

Family Cites Families (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4650493A (en) * 1980-12-22 1987-03-17 A.B. Electrolux Method of washing textile objects and a device for performing the method
US4975468A (en) * 1989-04-03 1990-12-04 Affinity Biotech, Inc. Fluorinated microemulsion as oxygen carrier
US4956115A (en) * 1989-05-23 1990-09-11 Hoechst Celanese Corporation Water borne solvent strippers
US5196136A (en) * 1991-06-20 1993-03-23 E. I. Du Pont De Nemours And Company Cleaning composition of hydrocarbon component, surfactant and multibasic ester additive
US6090901A (en) * 1991-07-05 2000-07-18 Biocompatibles Limited Polymeric surface coatings
US5213624A (en) * 1991-07-19 1993-05-25 Ppg Industries, Inc. Terpene-base microemulsion cleaning composition
MX9206771A (es) * 1991-12-02 1993-06-01 Allied Signal Inc Mejoras en sistema de limpieza por solventes multiples
FR2691473B1 (fr) * 1992-05-21 2002-05-17 Atochem Elf Sa Compositions pour le démouillage ou le dégraissage de surfaces solides.
BR9405958A (pt) * 1993-04-02 1995-12-12 Dow Chemical Co Microemulsão continua de óleo de fase única emulsao concentrado de limpeza e método para limpar metal tendo graxa
US5911837A (en) * 1993-07-16 1999-06-15 Legacy Systems, Inc. Process for treatment of semiconductor wafers in a fluid
US5464480A (en) * 1993-07-16 1995-11-07 Legacy Systems, Inc. Process and apparatus for the treatment of semiconductor wafers in a fluid
US5634978A (en) * 1994-11-14 1997-06-03 Yieldup International Ultra-low particle semiconductor method
US5571337A (en) * 1994-11-14 1996-11-05 Yieldup International Method for cleaning and drying a semiconductor wafer
CA2222896C (en) * 1995-06-02 2007-07-31 Ashland Inc. Stable microemulsion cleaners having low volatile organic content
US6030754A (en) * 1996-02-05 2000-02-29 Texas Instruments Incorporated Photoresist removal without organic solvent following ashing operation
US5888308A (en) * 1997-02-28 1999-03-30 International Business Machines Corporation Process for removing residue from screening masks with alkaline solution
US5938856A (en) * 1997-06-13 1999-08-17 International Business Machines Corporation Process of removing flux residue from microelectronic components
US6165962A (en) * 1997-07-31 2000-12-26 E. I. Du Pont De Nemours And Comapny Aqueous microemulsions
US5908822A (en) * 1997-10-28 1999-06-01 E. I. Du Pont De Nemours And Company Compositions and processes for drying substrates
US6120613A (en) * 1998-04-30 2000-09-19 Micell Technologies, Inc. Carbon dioxide cleaning and separation systems
US6159827A (en) * 1998-04-13 2000-12-12 Mitsui Chemicals, Inc. Preparation process of semiconductor wafer
US6159917A (en) * 1998-12-16 2000-12-12 3M Innovative Properties Company Dry cleaning compositions containing hydrofluoroether
FR2795088B1 (fr) 1999-06-21 2002-05-24 Atofina Compositions de nettoyage a froid du type microemulsions
US6593283B2 (en) * 2000-04-28 2003-07-15 Ecolab Inc. Antimicrobial composition
US6730595B2 (en) * 2000-12-12 2004-05-04 Mitsui Chemicals, Inc. Protecting method for semiconductor wafer and surface protecting adhesive film for semiconductor wafer used in said method
DE60137229D1 (de) * 2001-10-22 2009-02-12 Viroblock Sa Non-phospholipid Vesikel (npLV) und ihre Verwendung in kosmetischen, therapeutischen und prophylaktischen Anwendungen
EP1438456B1 (en) * 2001-10-26 2006-04-26 Unilever N.V. Dry cleaning process
KR100480606B1 (ko) * 2002-08-01 2005-04-06 삼성전자주식회사 아이피에이 증기 건조 방식을 이용한 반도체 웨이퍼 건조장치

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112404026A (zh) * 2020-09-11 2021-02-26 上海金堂轻纺新材料科技有限公司 一种除油污废水循环利用的工艺
CN112404026B (zh) * 2020-09-11 2022-03-01 上海金堂轻纺新材料科技有限公司 一种除油污废水循环利用的工艺

Also Published As

Publication number Publication date
EP1349678B1 (fr) 2005-12-21
AU2002229853B8 (en) 2002-07-24
ES2253518T3 (es) 2006-06-01
DE60208154D1 (de) 2006-01-26
AU2002229853B2 (en) 2007-08-02
CA2434183A1 (fr) 2002-07-18
WO2002055223A1 (fr) 2002-07-18
FR2819201B1 (fr) 2003-02-21
JP2004525753A (ja) 2004-08-26
EP1349678A1 (fr) 2003-10-08
KR20030070099A (ko) 2003-08-27
FR2819201A1 (fr) 2002-07-12
ATE313390T1 (de) 2006-01-15
US20040092420A1 (en) 2004-05-13
KR100502532B1 (ko) 2005-07-20
CA2434183C (fr) 2009-10-06
CN1236866C (zh) 2006-01-18
US7417018B2 (en) 2008-08-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN1065564C (zh) 清洗剂、清洗方法和清洗装置
US5772781A (en) Method for cleaning an object using an agent that includes a polyorganosiloxane or isoparaffin
CN1656207A (zh) 含有二氯乙烯和六碳烷氧基取代的全氟化合物的清洁组合物
WO2001092456A1 (fr) Agent, procede et appareil de nettoyage
JP2763270B2 (ja) 洗浄方法、洗浄装置、洗浄組成物および蒸気乾燥組成物
JP5381272B2 (ja) 1,1,1,3,3−ペンタフルオロブタンを含む共沸様組成物
CN102433226A (zh) 一种用于清除树脂和焊迹的清洗剂
CN1287159A (zh) 微乳液型的冷清洗组合物
CN1236866C (zh) 使用微乳液除去有机和/或无机污垢清洗固体表面的方法
CN1288231C (zh) 溶剂组合物
CN1738894A (zh) 含有氟化烃和含氧溶剂的组合物
JP4767002B2 (ja) プレ洗浄方法および洗浄装置
JPH08218098A (ja) オクタメチルトリシロキサンの共沸混合物を含む及び共沸混合物様組成物を含む組成物並びにこの組成物の使用方法
JP2002519506A (ja) エーテルで安定化され臭化n−プロピルをベースとする溶媒系により銀表面を洗浄する際に曇りの形成を抑制する方法
CN100412184C (zh) 清洗漂洗方法
CN1082103A (zh) 去除固体表面湿渍或油污的组合物
JP5448625B2 (ja) リンス工程のない洗浄方法及び洗浄装置
JP2869432B2 (ja) 溶剤及びそれを用いる物品表面の清浄化方法
JP2004525753A5 (zh)
WO1992019706A2 (en) 1,1,1,2,2,3,3,4,4,5,6-undecafluorohexane and use thereof in compositions and processes for cleaning
JPH06340898A (ja) 洗浄用溶剤
JP5627881B2 (ja) 汚れ分離除去方法
KR102505513B1 (ko) 친환경 산업용 세정제조성물
JP4301828B2 (ja) 油脂除去用洗浄剤組成物
JPH07252680A (ja) 物品の洗浄方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20060118

Termination date: 20190107