EP1349678B1 - Procede de nettoyage d'une surface solide par elimination de salissures organiques et/ou minerales au moyen d'une microemulsion - Google Patents

Procede de nettoyage d'une surface solide par elimination de salissures organiques et/ou minerales au moyen d'une microemulsion Download PDF

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EP1349678B1
EP1349678B1 EP02710948A EP02710948A EP1349678B1 EP 1349678 B1 EP1349678 B1 EP 1349678B1 EP 02710948 A EP02710948 A EP 02710948A EP 02710948 A EP02710948 A EP 02710948A EP 1349678 B1 EP1349678 B1 EP 1349678B1
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EP
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organic solvent
mixture
mfc
parts
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Pascal Michaud
Jean-Claude Lheureux
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Arkema SA
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Publication date
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    • B08—CLEANING
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    • B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
    • B08B3/08—Cleaning involving contact with liquid the liquid having chemical or dissolving effect
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
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    • C11D—DETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
    • C11D3/00—Other compounding ingredients of detergent compositions covered in group C11D1/00
    • C11D3/43—Solvents
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
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    • C11D1/00—Detergent compositions based essentially on surface-active compounds; Use of these compounds as a detergent
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    • Y10S134/00—Cleaning and liquid contact with solids
    • Y10S134/902—Semiconductor wafer

Definitions

  • the present invention relates to a cleaning method, more specifically it relates to a method of removing dirt organic and / or inorganic of a solid surface (or substrate).
  • microemulsion-type cleaning composition used according to the invention has the advantage of being able to effectively eliminate the solid surface to clean all organic and / or mineral soil.
  • microemulsion-type cleaning composition is described in patent application FR 2 795 088.
  • Step a) of cleaning can be carried out in a tank with immersion or a shower bath in combination with waves ultrasonic, vibration or mechanical shaking.
  • the microemulsion-type cleaning composition will be used at a temperature ranging from room temperature (about 20 ° C) to At 60 ° C. and preferably at a temperature of between 20 ° C. and 40 ° C.
  • the cleaning time of the solid surface - step a) - is depending on the type of soiling and its adherence to the solid surface.
  • This cleaning time does not exceed 5 minutes and, preferably, is between 1 and 3 minutes.
  • the organic solvent (s) (B) contained in the composition Microemulsion-type cleaning used in step a) are chosen preferably from the aliphatic hydrocarbons, the monoethers of the alkylene glycols and monoethers of dialkylene glycols.
  • the monoethers of the alkylenes glycols may in particular be C 4 -C 25 propylene glycol monoethers, such as propylene glycol monomethyl ether (PM), propylene glycol monoethyl ether (PE) or mono-n ether.
  • Monoethers from dialkylene glycols can be for example dipropylene glycol monomethyl ether (DPM), mono-n-propyl ether dipropylene glycol (DPNP), the mono-tert-butyl ether of dipropylene glycol (DPTB), the mono-n-butyl ether of dipropylene glycol (DPNB) and the monohexyl ether of dipropylene glycol; and ether n-butyl diethylene glycol (Butyl Diglycol Ether - BDG), ether hexyl ether of diethylene glycol and the octyl ether of diethylene glycol.
  • DPM dipropylene glycol monomethyl ether
  • DPNP mono-n-propyl ether dipropylene glycol
  • DPTB mono-tert-butyl ether of dipropylene glycol
  • DPNB mono-n-butyl ether of dipropylene glycol
  • the cleaned solid surface is subjected to a step b) dewatering which consists in removing said cleaned solid surface from the cleaning composition and drip it at room temperature for a period ranging from 30 seconds to 1 minute.
  • the drained solid surface is subjected to a step of rinsing c) which is carried out with an organic solvent or a mixture of organic solvents, inert, preferably non-flammable and low boiling point.
  • This rinsing step is carried out at a lower temperature of 10 to 15 ° C, preferably 5 ° C lower than the boiling point of organic solvent or the most volatile compound of the solvent mixture organic agents used for said rinsing step.
  • mixtures of organic solvents all particularly azeotropic or azeotropic mixtures.
  • organic solvent or mixture of organic solvents of stockings boiling point an organic solvent or mixture of organic solvents having a boiling point at more than 90 ° C and preferably between 25 ° C and 70 ° C.
  • Azeotropic or quasi-mixtures are preferably used. azeotropic of at least two of the aforementioned compounds.
  • the drying step d) is carried out in exposing the rinsed solid surface, to the steam produced by the heating organic solvent or mixture of organic solvents used in the rinsing step c).
  • the rinsed surface will be dried by the vapor of the compound more volatile.
  • the drying time is at least 20 seconds and, preferably between 30 seconds and 1 minute.
  • the method according to the present invention applies particularly for the removal of organic soiling and / or minerals from solid surfaces of metal parts, ceramics, glasses, plastics, printed circuits (parts electronics, semiconductor parts).
  • the method of the present invention makes it possible to obtain clean solid surfaces, free of all organic soils and / or minerals and traces of water. Parts cleaned using the according to the invention can be used immediately for other processing operations such as for example, painting, electrodeposition.
  • the rinsing-drying steps are preferably performed in a commercial machine comprising at least two tanks equipped with heating and condensation means.
  • a first tank possibly equipped with means of production of ultrasound
  • the part is rinsed by its immersion in a bath of organic solvent or a mixture of organic solvents heated to a temperature as defined previously. Then, the piece is removed from said bath and conveyed to the second tank to be dried.
  • This second tank contains the organic solvent or the mixture of organic solvents used in the previous rinse tank which is brought to its boiling point.
  • the part is thus dried by the vapors of the organic solvent or organic solvent mixture used for rinsing. These vapors are condensed by means of a refrigerated condensing coil and recycled in the liquid rinse tank.
  • the cleaning sequence is carried out according to the scheme above on the plates and the grid coated with the soiling mentioned above.
  • the bath temperature of the cleaning tank is 40 ° C.
  • the rinsing temperature is equal to Te-5 ° C, Te being the boiling point of the organic solvent, the azeotrope or the almost azeotropic.

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Description

La présente invention concerne un procédé de nettoyage, plus précisément elle concerne un procédé d'élimination de salissures organiques et/ou minérales d'une surface solide (ou substrat).
Dans les industries électrique, électronique, optique et mécanique notamment, il est nécessaire d'éliminer totalement les salissures minérales et/ou organiques des pièces ou matériaux produits finis ou devant subir des étapes ultérieures de transformation.
Traditionnellement, ces surfaces étaient nettoyées avec du 1,1,1-trichloroéthane, solvant très polyvalent, mais qui a été condamné par le protocole de Montréal en raison de son impact sur la couche d'ozone.
Il est connu également d'utiliser des compositions de nettoyage se présentant sous la forme de microémulsions stables à température ambiante telles que décrites dans la demande de brevet FR 2 795 088 qui présentent l'avantage d'éliminer à la fois les salissures organiques et minérales car elles combinent une partie solvant et une partie minérale.
Cependant, il est nécessaire d'effectuer un rinçage à l'eau de la surface traitée avec lesdites compositions type microémulsion et, dans les domaines techniques précités, les surfaces doivent être, non seulement exemptes de toutes salissures minérales et/ou organiques mais également complètement débarrassées d'eau.
On a maintenant trouvé un procédé de nettoyage, permettant d'éliminer toutes salissures organiques et/ou minérales et les traces d'eau d'une surface solide (ou substrat)
  • a) comprenant une étape de nettoyage de ladite surface solide au moyen d'une composition de nettoyage de type microémulsion, caractérisé en ce qu'il comprend les étapes suivantes:
  • b) égouttage de ladite surface nettoyée,
  • c) rinçage de ladite surface égouttée avec un solvant organique ou un mélange de solvants organiques de point d'ébullition au plus égal à 90°C, et
  • d) séchage de ladite surface rincée avec le solvant organique ou le mélange de solvants organiques utilisé en c).
    • La composition de nettoyage de type microémulsion utilisée selon l'invention présente l'avantage de pouvoir éliminer efficacement de la surface solide à nettoyer toutes salissures organiques et/ou minérales.
    Cette composition de nettoyage de type microémulsion est décrite dans la demande de brevet FR 2 795 088.
    Elle comprend notamment :
  • (A) 30 à 70 parties en poids, en particulier 35 à 60 parties en poids, d'eau ;
  • (B) 20 à 60 parties en poids, en particulier 25 à 55 parties en poids, d'au moins un solvant organique liquide à la température ambiante ; et
  • (C) 5 à 30 parties en poids, en particulier 10 à 25 parties en poids, d'au moins un agent tensio-actif de formule (I) :
    Figure 00020001
    • dans laquelle :
    • R1 et R2 représentent chacun indépendamment un radical alkyle, linéaire ou ramifié, en C5-C20 ;
    • M est un cation choisi parmi N⊕, K⊕ et NR4 ⊕ les R représentant chacun indépendamment hydrogène ou un radical alkyle en C1-C4 ;
    (A) + (B) + (C) représentant 100 parties en poids.
    L'étape a) de nettoyage peut être réalisée dans une cuve à immersion ou un bain à douche en combinaison avec des ondes ultrasoniques, des vibrations ou des secousses mécaniques.
    La composition de nettoyage de type microémulsion sera utilisée à une température allant de la température ambiante (environ 20°C) à 60°C et, de préférence, à une température comprise entre 20°C et 40°C.
    La durée de nettoyage de la surface solide - étape a) - est fonction du type de salissure et de son adhérence à la surface solide.
    Cette durée de nettoyage ne dépasse pas 5 minutes et, de préférence, est comprise entre 1 et 3 minutes.
    Le ou les solvants organiques (B) contenu(s) dans la composition de nettoyage de type microémulsion utilisée dans l'étape a) sont choisis de préférence parmi les hydrocarbures aliphatiques, les monoéthers des alkylène glycols et les monoéthers des dialkylène glycols.
    Les hydrocarbures aliphatiques peuvent être des hydrocarbures linéaires, ramifiés, cycliques ou leurs combinaisons. Ils contiennent notamment de 3 à 24 atomes de carbone, de préférence 6 à 24 atomes de carbone. Des exemples d'hydrocarbures aliphatiques disponibles dans le commerce sont :
    • les NORPAR™ 12, 13 et 15 (solvants paraffiniques normaux disponibles auprès de la Société "EXXON CORPORATION") ;
    • les ISOPAR™ G, H, K, L, M, V (solvants isoparaffiniques disponibles auprès de la Société "EXXON CORPORATION") ;
    • les solvants SHELLSOL™ (disponibles auprès de la Société "SHELL CHEMICAL COMPANY") ;
    • les PETROSOLV™ de CEPSA D-15/20, D-19/22, D-20/26, D-24/27, D-28/31 (solvants paraffiniques et isoparaffiniques disponibles aurpès de la Société "CEPSA") ;
    • les solvants hydrocarbonés EXXSOL™ commercialisés par la Société "EXXON CORPORATION" ;
    • les coupes kérosènes telles que les KETRUL 211, 212, D80, D85, commercialisées par la Société TOTALFINAELF.
    Les monoéthers des alkylènes glycols peuvent être notamment les monoéthers du propylène glycol en C4-C25, tels que l'éther monométhylique du propylène glycol (PM), l'éther monoéthylique du propylène glycol (PE), l'éther mono-n-propylique du propylène glycol (PNP), l'éther mono-tert.-butylique du propylène glycol (PTB), l'éther mono-n-butylique du propylène glycol (PNB) et l'éther mono-hexylique du propylène glycol;
    Les monoéthers dès dialkylène glycols peuvent être par exemple l'éther monométhylique du dipropylène glycol (DPM), l'éther mono-n-propylique du dipropylène glycol (DPNP), l'éther mono-tert.-butylique du dipropylène glycol (DPTB), , l'éther mono-n-butylique du dipropylène glycol (DPNB) et l'éter monohexylique du dipropylène glycol ; et l'éther n-butylique du diéthylène glycol (Butyl Diglycol Ether - BDG), l'éther hexylique du diéthylène glycol et l'éther octylique du diéthylène glycol.
    La composition utilisable selon l'invention peut en outre contenir :
    • au moins un agent séquestrant, tel que l'acide éthylène diamine tétra acétique (EDTA) et ses sels, à raison notament de 0,01 à 0,1 partie en poids pour 100 parties en poids de (A) + (B) + (C) ; et/ou
    • au moins un agent anti-corrosion choisi notamment parmi les acide organiques de type RCOOH, R étant un radical hydrocarboné en C4-C24, et les amines, à raison notamment de 0,01 à 0,5 partie en poids pour 100 parties en poids de (A) + (B) + (C) ; et/ou
    • au moins un additif, dans les quantités usuelles, choisi parmi les désinfectants, les fongicides (sels d'ammonium quaternaires) et les biocides (peroxydes organiques, peroxyde d'hydrogène, composés à halogène actif, sels inorganiques phénoliques, sels d'ammonium quaternaires, dérivés organométalliques, dérivés organosoufrés) ; et/ou
    • au moins un parfum.
    La surface solide nettoyée est soumise à une étape b) d'égouttage qui consiste à retirer ladite surface solide nettoyée de la composition de nettoyage et de l'égoutter à température ambiante pendant une durée allant de 30 secondes à 1 minute.
    Ensuite, la surface solide égouttée est soumise à une étape de rinçage c) qui s'effectue avec un solvant organique ou un mélange de solvants organiques, inertes, de préférence non-inflammables et de bas point d'ébullition.
    Cette étape de rinçage s'effectue à une température inférieure de 10 à 15°C, de préférence inférieure de 5°C du point d'ébullition du solvant organique ou du composé le plus volatile du mélange de solvants organiques utilisés pour ladite étape de rinçage.
    S'agissant des mélanges de solvants organiques, on utilisera tout particulièrement des mélanges azéotropiques ou quasi azéotropiques.
    Par solvant organique ou mélange de solvants organiques de bas point d'ébullition, on désigne présentement un solvant organique ou un mélange de solvants organiques ayant une température d'ébullition au plus égal à 90°C et, de préférence, comprise entre 25°C et 70°C.
    Le solvant organique ou le mélange de solvants organiques peuvent être notamment choisis parmi :
    • les alcools aliphatiques tels que le méthanol, l'éthanol, l'isopropanol, le butanol ;
    • les esters aliphatiques tels que l'acétate d'éthyle, de butyle ; le formiate de méthyle ;
    • les hydrocarbures saturés linéaires, ramifiés ou cycliques qui contiennent de 5 à 7 atomes de carbone, tels que : le pentane, l'hexane, l'heptane, le cyclopentane, le cyclohexane ;
    • les cétones aliphatiques tels que l'acétone, la méthyléthylcétone ;
    • les éthers aliphatiques tels que le tétrahydrofurane (THF), le diéthyléther, le dipropyléther, le dibutyléther ;
    • les acétals tels que le diméthoxyméthane (méthylal) ;
    • les hydrocarbures aliphatiques halogènes tels que le chlorure de méthylène, le trichloroéthylène, les perfluoroalcanes CnF2n+2 avec n allant de 4 à 8, les hydrofluorocarbones (HFC) tels que le 1,1,1,2,3,4,4,5,5,5-décafluoropentane (4310 mee), le 1,1,1,3,3-pentafluorobutane (365 mfc) ;
    • les hydrofluorochlorocarbones (HCFC) tels que le 1,1-dichloro-1-fluoroéthane (141 b), les hydrofluoroéthers tels que le perfluorométhyléther (C4F9OCH3) ;
    ou le mélange d'au moins deux des composés précités.
    De préférence, on utilisera des mélanges azéotropiques ou quasi azéotropiques d'au moins deux des composés précités.
    A titre d'illustration de tels mélanges azéotropiques ou quasi azéotropiques utilisables selon la présente invention comme solvant de rinçage, on citera :
    • les azéotropes mentionnés dans la demande de brevet FR 2 781 499-A1 tels que l'azéotrope binaire 4310 mee / 365 mfc (9/91), (les chiffres entre parenthèses indiquent les pourcentages en poids respectivement des constituants de l'azéotrope), l'azéotrope ternaire 4310 mee / 365 mfc / CH3OH (12/8315) ;
    • les azéotropes mentionnés dans la demande de brevet FR 2 792 648 tels que l'azéotrope binaire 4310 mee / trichloroéthylène (89/11), l'azéotrope ternaire 4310 mee / trichloroéthylène / CH3OH (84,5/9,5/6), l'azéotrope ternaire 4310 mee / trichloroéthylène /isopropanol (88,2/9,6/2,2), l'azéotrope ternaire 4310 mee /trichloroéthylène / méthylal (87/9/4) ;
    • les azétropes mentionnés dans la demande de brevet FR 2 792 649 tels que l'azéotrope quaternaire 4310 mee / CH2Cl2 / cyclopentane /CH3OH (47,5/32,7/17/2,8) ;
    • les azéotropes mentionnés dans la demande de brevet FR 2 792 647 tels que l'azéotrope quaternaire 365 mfc / CH2Cl2 / CH3OH / 4310 mee (56,2/39,8/3,5/0,5) ;
    • les azéotropes ou quasi azéotropes mentionnés dans la demande de brevet FR 2 766 836 tels que le quasi azéotrope ternaire 365 mfc /CH2Cl2 / CH3OH (89/7/4) ;
    • les azéotropes mentionnés dans la demande de brevet FR 2 759 090 tels que l'azéotrope binaire 4310 mee / CH2Cl2 (50/50).
    Parmi tous ces mélanges azéotropiques, on préfère tout particulièrement l'azéotrope ternaire 4310 mee / 365 mfc / CH3OH (12,83,5), l'azéotrope binaire 4310 mee / CH2Cl2 (50/50), l'azéotrope binaire 365 mfc / CH2Cl2 (56,6/43,4), l'azéotrope binaire 4310 mee /365 mfc (9/91), le quasi azéotrope ternaire 365 mfc / CH2Cl2 /CH3OH (89/7/4), l'azéotrope binaire 141b / méthanol (96/4), l'azéotrope ternaire 365/CH2Cl2 / CH3OH (57/39,5/3,5).
    Selon la présente invention, l'étape de séchage d) est réalisée en exposant la surface solide rincée, à la vapeur produite par le chauffage du solvant organique ou du mélange de solvants organiques utilisés dans l'étape de rinçage c). Dans le cas d'un mélange de solvants non azéotropiques, la surface rincée sera séchée par la vapeur du composé le plus volatile.
    La durée du séchage est d'au moins 20 secondes et, de préférence, comprise entre 30 secondes et 1 minute.
    Le procédé selon la présente invention s'applique tout particulièrement pour l'élimination de salissures organiques et/ou minérales de surfaces solides de pièces métalliques, de céramiques, de verres, de matières plastiques, de circuits imprimés (pièces électroniques, pièces de semi-conducteurs).
    Le procédé de la présente invention permet d'obtenir des surfaces solides propres, exemptes de toutes salissures organiques et/ou minérales ainsi que de traces d'eau. Les pièces nettoyées au moyen du procédé selon l'invention sont utilisables immédiatement pour d'autres opérations de traitement telles que par exemple, peinture, électrodéposition.
    Le dispositif pour mettre en oeuvre le procédé selon l'invention peut être constitué par la séquence des appareils suivants :
    • Une première cuve dans laquelle s'effectue le nettoyage de la surface solide avec la composition type microémulsion. Cette cuve peut être munie de moyens de chauffage et de moyens permettant de produire des ultra-sons. La pièce (ou les pièces) à nettoyer, disposée sur un panier, est immergée dans un bain de la composition type microémulsion à une température et pendant une durée telles que définies précédemment.
    • La pièce est ensuite retirée du bain puis égouttée, de préférence au dessus d'un plan incliné qui permet le retour de la composition type microémulsion dans la cuve de nettoyage puis elle est dirigée vers le cycle de rinçage/séchage.
    Les étapes de rinçage ― séchage sont de préférence réalisées dans une machine de commerce comprenant au moins deux cuves munies de moyens de chauffage et de condensation.
    Dans une première cuve, éventuellement munie de moyens de production d'ultrasons, on effectue le rinçage de la pièce par son immersion dans un bain de solvant organique ou d'un mélange de solvants organiques porté à une température telle que définie précédemment. Ensuite, la pièce est retirée dudit bain puis véhiculée vers la seconde cuve pour y être séchée. Cette seconde cuve contient le solvant organique ou le mélange de solvants organiques utilisés dans la cuve précédente de rinçage qui est porté à son point d'ébullition.
    La pièce est donc séchée par les vapeurs du solvant organique ou du mélange de solvants organiques utilisés pour le rinçage. Ces vapeurs sont condensées au moyen d'un serpentin de condensation réfrigéré et recyclés dans la cuve de rinçage liquide.
    Les exemples qui suivent illustrent l'invention.
    Appareillage:
    On place en ligne:
    • une cuve de nettoyage contenant 5 litres d'une composition type microémulsion,
    • un plan incliné d'égouttage de la microémulsion avec retour dans la cuve de nettoyage, et
    • une machine 2 cuves type B125 (commercialisée par la Société BRANSON ULTRASONIC S.A.).
    Le schéma de la séquence est le suivant :
    Figure 00070001
    Pièces à nettoyer :
    • une plaque inox 316L de dimensions 100x100x1 mm est revêtue d'huile de coupe MOBIL CUT 151 ou d'huile d'usinage MOBIL 766,
    • une grille inox de dimensions 100x100 (40 brins par cm) est enduite des mêmes salissures.
    Ces plaques et la grille sont disposées sur un panier qui effectue la séquence ci-dessus.
    Produits utilisés :
    • Composition de nettoyage type microémulsion (% exprimés en poids)
      • eau:42%
      • coupe pétrolière KETRUL 211 : 32 %
      • tensio actif "EMPIMIN OP 070 commercialisé par la Société "Albrigth et Wilson Iberica": 18 %
      • l'éther mono-n-butylique du dipropylene glycol (DPNB) : 8 %
      • additifs anti-corrosion : 0,15% par rapport à la somme eau, coupe pétrolière, tension actif, DPNB soit :
        • acide heptanoïque (0,063 %)
        • acide undécyclique (0,0435 %)
        • IRGAMET 42 (amine cyclique) (0,0435 %)
    • Solvants organiques ou mélanges de solvants organiques utilisés sont reportés dans le tableau 1 ci-après avec leur température d'ébullition.
    On effectue la séquence de nettoyage selon le schéma ci-dessus sur les plaques et la grille revêtues des salissures mentionnées ci-dessus. La température du bain de la cuve de nettoyage est de 40°C.
    La température de rinçage est égale à Te-5°C, Te étant la température d'ébullition du solvant organique, de l'azéotrope ou bien du quasi azéotrope.
    Les résultats sont reportés dans le tableau 1.
    Essai Solvant de rinçage et de séchage Te (C) Aspect des plaques et grilles nettoyées
    1 Azéotrope 4310 mee / 365 mfc (9/91) 36,5 Ne présentent plus aucune salissure Les surfaces sont parfaitement propres et sèches.
    2 Azéotrope 4310 mee / 365 mfc / CH3OH (12/83/5) 33,2
    3 Quasi-azéotrope 365 mfc / CH2Cl2 / CH3OH (89/7/4) 35,7
    4 Azéotrope 4310 mee / CH2Cl2 (50/50) 34,2
    5 CH2Cl2 stabilisé 40
    6 Azéotrope 1,1-dichloro-1-fluoroéthane/méthanol (96/4) 29
    7 Trichloroéthylène stabilisé 86,7
    8 Azéotrope 365 mfc / CH2Cl2 / CH3OH (57/39/3,5) 32,1
    9 Azéotrope 365 mfc / CH2Cl2 (56,6/43,4) 33,6

    Claims (13)

    1. . Procédé de nettoyage d'une surface solide, comprenant
      a) une étape de nettoyage de ladite surface solide au moyen d'une composition de nettoyage de type microémulsion, caractérisé en ce qu'il comprend les étapes suivantes :
      b) égouttage de ladite surface nettoyée,
      c) rinçage de ladite surface égouttée avec un solvant organique ou un mélange de solvants organiques de point d'ébullition au plus égal à 90°C, et
      d) séchage de ladite surface rincée avec le solvant organique ou le mélange de solvants organiques utilisé en c).
    2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que la composition de nettoyage de type microémulsion est utilisée à une température allant de la température ambiante à 60°C et, de préférence, à une température comprise entre 20°C et 40°C.
    3. Procédé selon l'une des revendications 1 ou 2, caractérisé en ce que la durée du nettoyage (étape a)) ne dépasse pas 5 minutes.
    4. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que la durée de l'égouttage va de 30 secondes à 1 minute.
    5. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'étape de rinçage c) est effectuée à une température inférieure de 10 à 15°C, de préférence inférieure de 5°C du point d'ébullition du solvant organique ou du composé le plus volatile du mélange de solvants organiques utilisés dans ladite étape de rinçage.
    6. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'étape de séchage d) est réalisée en exposant la surface solide rincée à la vapeur produite par le chauffage du solvant organique ou du mélange de solvants organiques utilisés dans l'étape de rinçage c).
    7. Procédé selon l'une des revendications 1, 5 ou 6 caractérisé en ce que le solvant organique ou le mélange de solvants organiques ont une température d'ébullition comprise entre 25°C et 70°C.
    8. Procédé selon l'une des revendications 1 ou 6, caractérisé en ce que la durée de l'étape de séchage d) est d'au moins 20 secondes et, de préférence, comprise entre 30 secondes et 1 minute.
    9. . Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que la composition de nettoyage de type microémulsion comprend :
      (A) 30 à 70 parties en poids, en particulier 35 à 60 parties en poids, d'eau ;
      (B) 20 à 60 parties en poids, en particulier 25 à 55 parties en poids, d'au moins un solvant organique liquide à la température ambiante ; et
      (C) 5 à 30 parties en poids, en particulier 10 à 25 parties en poids, d'au moins un agent tensio-actif de formule (I) :
      Figure 00100001
      dans laquelle :
      R1 et R2 représentent chacun indépendamment un radical alkyle, linéaire ou ramifié, en C5-C20 ;
      M est un cation choisi parmi Na⊕, K⊕ et NR4 ⊕ les R représentant chacun indépendamment hydrogène ou un radical alkyle en C1-C4 ;
      (A) + (B) + (C) représentant 100 parties en poids.
    10. Procédé selon la revendication 9, caractérisé en ce que le ou les solvant(s) organique(s) (B) contenu(s) dans la composition de nettoyage de type microémulsion utilisée dans l'étape a) est (sont) choisi(s) parmi les hydrocarbures aliphatiques, les monoéthers des alkylène glycols et les monoéthers des dialkylène glycols.
    11. . Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 9; caractérisé en ce que le solvant organique ou le mélange de solvants organiques utilisés dans les étapes c) et d) sont choisis parmi les alcools aliphatiques, de préférence le méthanol ou l'isopropanol ; les esters aliphatiques, de préférence l'acétate d'éthyle ; les hydrocarbures saturés linéaires, ramifiés ou cycliques, contenant de 5 à 7 atomes de carbone ; les cétones aliphatiques ; les éthers aliphatiques ; le diméthoxyméthane, le chlorure de méthylène, le trichloroéthylène, les perfluoroalcanes CnF2n+2 avec n allant de 4 à 8 ; les hydrofluorocarbones (HFC) de préférence le 1,1,1,2,3,4,4,5,5,5-décafluoropentane (4310 mee) ou le 1,1,1,3,3-pentafluorobutane (365 mfc) ; les hydroflurochlorocarbones (HCFC) de préférence le 1,1-dichloro-1-fluroéthane (141 b), le perfluorométhyléther (C4F9OCH3) ou le mélange d'au moins deux des composés précités.
    12. Procédé selon la revendication 11, caractérisé en ce que les mélanges de solvants organiques sont des mélanges azéotropiques ou quasi azéotropiques des composés mentionnés.
    13. . Procédé selon la revendication 12, caractérisé en ce que les mélanges azéotropiques ou quasi azéotropiques utilisés dans les étapes c) et d) sont l'azéotrope binaire 4310 mee / 365 mfc /(9/91), l'azéotrope ternaire 4310 mee / 365 mfc / CH3OH (12/83/5), le quasi azéotrope ternaire 365 mfc / CH2Cl2 / (50/50), l'azéotrope binaire 1,1-dichloro-1-fluoroéthane / méthanol (96/4), l'azéotrope ternaire 365 mfc / CH2Cl2 / CF3OH (57/39,5/3,5), l'azéotrope binaire 365 mfc / CH2Cl2 (56,6/43,4).
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