CN1476279A - 制造有机电致发光器件及其显示装置的方法、系统和设备 - Google Patents
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- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 title claims abstract description 20
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 44
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 98
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims abstract description 73
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims abstract description 35
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 21
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims description 21
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 11
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 6
- 239000003086 colorant Substances 0.000 claims description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 2
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims description 2
- 241000254032 Acrididae Species 0.000 claims 1
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 description 45
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 41
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 34
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 24
- 239000000463 material Substances 0.000 description 22
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 18
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 15
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 15
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 9
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 7
- BGPVFRJUHWVFKM-UHFFFAOYSA-N N1=C2C=CC=CC2=[N+]([O-])C1(CC1)CCC21N=C1C=CC=CC1=[N+]2[O-] Chemical compound N1=C2C=CC=CC2=[N+]([O-])C1(CC1)CCC21N=C1C=CC=CC1=[N+]2[O-] BGPVFRJUHWVFKM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 5
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 4
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 4
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 4
- 238000012958 reprocessing Methods 0.000 description 4
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000006059 cover glass Substances 0.000 description 3
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- PLXMOAALOJOTIY-FPTXNFDTSA-N Aesculin Natural products OC[C@@H]1[C@@H](O)[C@H](O)[C@@H](O)[C@H](O)[C@H]1Oc2cc3C=CC(=O)Oc3cc2O PLXMOAALOJOTIY-FPTXNFDTSA-N 0.000 description 1
- 241001062009 Indigofera Species 0.000 description 1
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical group [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000007872 degassing Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 description 1
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 1
- 238000007781 pre-processing Methods 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B33/00—Electroluminescent light sources
- H05B33/10—Apparatus or processes specially adapted to the manufacture of electroluminescent light sources
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
- C23C14/568—Transferring the substrates through a series of coating stations
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
- H10K71/10—Deposition of organic active material
- H10K71/16—Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering
- H10K71/164—Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering using vacuum deposition
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
- H10K71/40—Thermal treatment, e.g. annealing in the presence of a solvent vapour
Abstract
本发明公开了一种制造有机电致发光器件及其显示装置的方法、系统和设备，其中，在制造包括顺序层叠在衬底上的多个层的有机电致发光器件的过程中，通过改变其上进行膜形成的衬底和多个并排布置的蒸气源的相对位置，使得衬底顺序经过对应于多个蒸气源的位置，来在衬底上的膜形成部分层叠该多个层。
Description
技术领域
本发明涉及一种制造有机电致发光器件(下文称为“有机EL器件”)的方法和设备，以及利用该有机EL器件制造显示装置的系统和方法。
背景技术
近年来，作为平面型显示装置，用有机EL器件作为发光器件的显示装置(下文称为“有机EL显示器”)已经引起人们的注意。有机EL显示器是不需要背光的自发光型平板显示器，具有能以自发光型特有的宽角度可视性体现显示器的优点。此外，有机EL显示器比背光型(液晶显示器等)有优势，因为仅需要接通需要的像素，并且被认为对未来将投入使用的高清晰度高速视频信号具有充分的响应性能。
用在这种有机EL显示器中的有机EL器件通常具有这样的结构：有机材料夹在上、下侧电极(阳极和阴极)之间。空穴从阳极注入由有机材料形成的有机层中，同时电子从阴极向有机层注入，空穴和电子在有机层中重新耦合，产生发光。在这种情况下，在有机EL器件中，在不大于10V的驱动电压下得到几百到几万cd/m2的亮度。另外，通过适当选择有机材料(荧光材料)，能以期望的颜色发光。由于这些特点，有机EL器件注定有望作为发光器件，用于构成多色或全色显示装置。
同时，有机EL器件中的有机层通常由例如空穴注入层、空穴传输层、发光层、电荷注入层等的三至五层叠层构成。这里应指出，形成组元层(component layer)的有机材料的耐水性低，因此不能用湿式工艺。所以，在形成有机层时，实际上通常是利用真空薄膜形成工艺通过真空气相沉积顺序形成组元层，从而得到期望的叠层结构。此外，在实现全色图像显示的情况下，例如，由对应于R(红)、G(绿)和B(蓝)颜色成分(color component)的三种有机材料形成的有机层必须分别形成在不同的像素位置上。所以，在形成用于彩色显示的有机层时，一直使用这样一种工艺：进行图案化薄膜的形成，以通过一个接一个地替换设有分别与颜色成分对应的开口图案的掩模，或者通过将掩模和每次形成每个组元层的相同图案位置匹配，在颜色成分的基础上形成组元层。
但是，根据现有技术，在有机EL器件中形成有机层有以下困难。
例如，在现有技术的形成具有叠层结构的有机层过程中，一直使用每次形成每个组元层时在真空室中改变蒸气源(有机材料的种类)的工艺。在这种情况下，要在颜色成分基础上额外花三至五倍的时间来提高有机材料的温度，并且，需要时间来实现蒸发速率的稳定。所以，难以快速形成有机层，结果，会有制造有机EL器件时存在间歇时间(tact time)的困难。
此外，在现有技术中，一直使用这样一种工艺：例如，在同一个真空室中布置多个蒸气源，每个蒸气源用可开关的挡板等盖住，以便能迅速进行每个组元层的选择性形成。但是在这种情况下，为了稳定地保持形成每个组元层的有机材料的温度，需要几十分钟的时间，从而将大量消耗被挡板等盖住或未被用于形成层的有机材料直至蒸发速率稳定。即，当进行选择性膜形成时，会浪费有机材料，材料耗费的增加会导致有机EL器件的成本上升。
而且，希望有这样一个系统：在不同的真空室中分别形成组元层，即一个真空室对应一种有机材料。但在这种情况下，因为有机层由多重组元层组成，因此需要多个真空室，因此在设备成本、安装空间等方面有困难。
发明内容
因此，本发明的目的是提供一种制造有机EL器件的方法和设备，以及制造使用有机EL器件的显示装置的系统和方法，这样，通过能以短间歇时间、低材料消耗地形膜形成而可以快速且低成本地制造有机EL器件。
为了达到上述目的，根据本发明的一个方面，提供一种制造包括顺序层叠在衬底上的多个层的有机EL器件的方法，其中，通过改变衬底和多个并排布置的蒸气源的相对位置，使得衬底顺序经过与多个蒸气源相对的位置，来在衬底上的膜形成部分上层叠多个层。
为了达到上述目的，根据本发明的另一个方面，提供一种制造包括顺序层叠在衬底上的多个层的有机EL器件的设备，其中，以对齐的方式(aligned manner)布置对应于多个层的多个蒸气源，且设置传送装置，以改变衬底和多个蒸气源的相对位置，使得衬底上的膜形成部分顺序经过与多个蒸气源相对的位置。
为了达到所述目的，根据本发明的再一个方面，提供一种制造使用每个都包括顺序层叠在衬底上的多个层的有机EL器件的显示装置的系统，其中，制造系统包括多个制造有机EL器件的设备，每个设备中，以对齐的方式布置对应于多个层的多个蒸气源，且设置传送装置，以改变衬底和多个蒸气源的相对位置，使得衬底上的膜形成部分顺序经过与多个蒸气源相对的位置，制造设备分别形成对应于不同颜色成分的有机EL器件。
为了达到上述目的，根据本发明的另一个方面，提供一种制造使用有机EL器件的显示装置的方法，每个有机EL器件包括顺序层叠在衬底上的多个层，其中，改变衬底和并排布置的多个蒸气源的相对位置，使得衬底顺序经过与多个蒸气源相对的位置，从而将多个层层叠在衬底上的膜形成部分，并形成对应于一个颜色成分的有机EL器件，且在改变衬底上的膜形成部分的同时多次重复该过程，从而制造显示装置，在所述显示装置中，对应于多个颜色成分的有机EL器件布置在衬底上。
根据包括上述工序的有机EL器件的制造方法和制造如上述构成的有机EL器件的设备，在每次衬底顺序经过与蒸气源相对的每个位置时，进行衬底上膜形成部分处来自每个蒸气源的气相沉积材料的膜形成。即，当衬底顺序经过与蒸气源相对的每个位置时，在衬底的膜形成部分处顺序形成多个层。所以，在衬底上形成多个层的过程中，对每个蒸气源的预处理(升高温度、稳定气相沉积速率等)可以基本上同时进行，甚至在这种情况下，来自蒸气源的气相沉积材料可以毫不浪费地用于膜形成。
此外，根据制造如上构成的显示装置的系统和包括上述工序的制造显示装置的方法，以和制造有机EL器件的上述方法以及制造有机EL器件的上述设备相同的方式，形成包括彼此顺序层叠的多个层的有机EL器件，且对应于多个颜色成分多次重复该过程。所以，甚至在制造包括布置在衬底上的多个有机EL器件的显示装置的情况下，也能连续进行每个有机EL器件的形成，并且对每个有机EL器件来说，能提高膜形成的预处理效率，改善气相沉积材料的耗费。
这样，根据本发明的制造有机EL器件的方法和设备以及制造使用有机EL器件的显示装置的系统和方法，改变形成有机EL器件的衬底和多个并排布置的蒸气源的相对位置，使得衬底顺序通过与蒸气源相对的位置，从而将多个层顺序层叠在衬底上的膜形成部分。所以，和现有技术相比，能用更短的间歇时间和更少的材料耗费来形成层，结果，能快速且廉价地制造有机EL器件。
本发明的上述以及其他目的、特征和优点将通过以下结合附图的说明和所附的权利要求变清楚，附图仅以举例方式示出了本发明的一些优选实施例。
附图说明
图1是显示根据本发明的制造设备的总体结构的一个示例的示意图；
图2A和2B是根据本发明的制造设备的主要部分的结构的一个示例的示意图，其中，图2A是主要部分的正视图，图2B是主要部分的侧视图；
图3是显示由根据本发明的制造设备制造的有机EL器件的总体结构的一示例的示意图；
图4是示出在制造有机EL器件中使用的传送夹具的总体结构的一示例的示意图；以及
图5是显示根据本发明利用有机EL器件制造显示装置的系统的结构的一示例的示意图。
具体实施方式
现在，基于附图描述根据本发明制造有机EL器件的方法和设备以及利用有机EL器件制造显示装置的系统和方法，其中，图1是显示根据本发明的制造设备的总体结构的一个示例的示意图；图2A和2B是显示制造设备的主要部分的结构的一个示例的示意图；图3是显示由制造设备制造的有机EL器件的总体结构的一示例的示意图；图4是示出在制造有机EL器件中使用的传送夹具(conveying jig)的总体结构的一示例的示意图；以及图5是显示根据本发明利用制造装置的制造系统的结构的一示例的示意图。
首先，简要描述有机EL器件的总体结构。如图3所示，在本实施例中制造的有机EL器件1形成在玻璃衬底2上，用于构成有机EL显示器，包括多个由不同材料形成并顺序层叠在玻璃衬底2上的有机层1a至1d。尽管这里示出了四层层叠的情况，但实际上不限于这种结构。
尽管未示出，但对应于例如R、G和B颜色成分的多个有机EL器件1以预定的矩阵图形布置在玻璃衬底2上。有机EL器件1之间的差别在于构成有机层1a至1d的有机材料(荧光材料)。由此，在包含玻璃衬底2和有机EL器件1的有机EL显示器中，通过选择性地使有机EL器件以预定的波长产生光，就能实现彩色图像的显示。
用于显示这种彩色图像的有机EL器件1的布置可以通过借助例如与R、G和B颜色成分中的每一个相对应的图案化的膜的形成而形成有机EL器件来实现。这里，将描述在图案化膜的形成时使用的传送夹具的总体结构。如图4所示，利用金属掩模3进行图案化膜的形成，金属掩模3是平板形的，由铁磁材料例如铁(Fe)和镍(Ni)形成。金属掩模3设有与预定的膜形成图案对应的多个开口3a。金属掩模3通过布置在玻璃衬底2另一侧上的磁体4产生的磁力以与其上将要形膜形成的玻璃衬底2紧密接触的状态被固定，以覆盖玻璃衬底2的一侧。利用这种一体型传送夹具，能在玻璃衬底2上以预定图案形膜形成。此外，当准备多种金属掩模3时，能以不同的层图案形成多层膜，结果，能以矩阵图案布置多个有机EL器件1。
下面，描述利用上述传送夹具通过在玻璃衬底2上形成有机EL器件1来制造有机EL显示装置的系统。将在本实施例中描述的制造系统用于通过对应于每个R、G和B颜色成分的图案化膜的形成将多个有机EL器件1以矩阵图案布置在玻璃衬底2上，从而构成能显示彩色图像的有机EL显示器。
为了这个目的，如图5所示，将在本实施例中描述的制造系统通常包括：衬底供应站11，从外部向其提供玻璃衬底2；预处理站12，用于进行诸如对玻璃衬底2进行清洁和活化这样的预处理；R颜色对准站13r，用于完成与R颜色对应的对准(玻璃衬底2和金属掩模3的位置匹配及其固定)；R颜色膜形成站14r，用于进行对应于R颜色的图案化膜的形成；G颜色对准站13g，用于进行与G颜色对应的对准；G颜色膜形成站14g，用于进行对应于G颜色的图案化膜的形成；B颜色对准站13b，用于进行与B颜色对应的对准；B颜色膜形成站14b，用于进行对应于B颜色的图案化膜的形成；后处理站15，用于执行后处理，例如玻璃衬底2和金属掩模3之间的分离；返回站16，用于将与玻璃衬底2分离的金属掩模3输送给R颜色对准站13r；以及衬底卸放站17，用于卸下其上通过图案化膜的形成设有对应于各个颜色的有机EL器件1的玻璃衬底2。
在这些站11至17中，R颜色膜形成站14r、G颜色膜形成站14g和B颜色膜形成站14b相当于制造本实施例中所述的有机EL器件的设备。即，R颜色膜形成站14r、G颜色膜形成站14g和B颜色膜形成站14b分别形成对应于R、G和B颜色成分的有机EL器件1。
在从R颜色对准站13r到后处理站15的范围内，玻璃衬底2在与金属掩模3和磁体4一起构成一体型传送夹具的状态下被处理。所以，由玻璃衬底2、金属掩模3和磁体4构成的传送夹具顺序通过R颜色膜形成站14r、G颜色膜形成站14g和B颜色膜形成站14b。
此外，由于R颜色对准站13r、G颜色对准站13g和B颜色对准站13b分别布置在R颜色膜形成站14r、G颜色膜形成站14g和B颜色膜形成站14b的前一阶段，所以能在相互不同的条件下实现对准(图案化膜的形成)。这些站11至17中玻璃衬底2或传送夹具的传送、对准调节等利用公知的操作机器人、传送机等来完成，但是这里省略对它们的描述。
此外，这些站11至17由于返回站16的存在而形成闭环结构。所以，构成传送夹具的金属掩模3和磁体4在R颜色膜形成站14r、G颜色膜形成站14g、B颜色膜形成站14b和返回站16组成的闭环内循环。具体地说，R颜色膜形成站14r、G颜色膜形成站14g、B颜色膜形成站14b和返回站16以矩形图案布局，且R颜色对准站13r、G颜色对准站13g、B颜色对准站13b和后处理站15作为顶点。闭环结构的形状也可以不必是矩形。例如，可以考虑通过沿着以直线图案布置的R颜色对准站13r、G颜色对准站13g、B颜色对准站13b布置返回站16，来构成闭环结构。
下面，将参考图1、2A和2B来描述上述制造系统中所用的用于制造有机EL器件的设备的细节，即R颜色膜形成站14r、G颜色膜形成站14g和B颜色膜形成站14b。
如图1所示，R颜色膜形成站14r、G颜色膜形成站14g、B颜色膜形成站14b(下面简称为“器件制造设备”)均包含：真空室141；并排布置在真空室141中的多个蒸气源142a至142d；传送装置143，用于改变玻璃衬底2和每个蒸气源142a至142d的相对位置；以及，进料口和卸放口(两个口均未示出)，用于将一体型传送夹具送入真空室141或从真空室141中排出。
在这些构件中，蒸气源142a至142d分别相应于将在玻璃衬底2上形成的多个有机层1a至1d。例如，在有机层1a-1d的数量为4的情况下，如图2A所示，考虑提供沿着能通过传送装置143改变相对位置的方向排成一排的四个蒸气源142a-142d，并从蒸气源蒸发不同的有机材料。应当注意，虽然示例示出了以对齐的方式布置的蒸气源142a-142d的数量为4的情况，但实际上不限于这种结构，对于有机层1a-1d的数量的情形也是一样。而且，有机层1a-1d的数量和蒸气源142a-142d的数量不必彼此相等。例如，可以并排设置两个或两个以上蒸气源来蒸发同一有机材料；在那种情况下，尽管有机层1a-1d的数量是4，但蒸气源142a-142d的数量是五或更多。即，这里对应于有机层1a-1d的数量不仅包括等于有机层1a-1d的数量的数量，还包括大于有机层1a-1d的数量的数量。
此外，如图2B所示，蒸气源142a-142d均以在与能通过传送装置143改变相对位置的方向基本正交的方向上延伸的直线形式构成。即，每个蒸气源142a-142d的气相沉积宽度均充分覆盖玻璃衬底2的基本正交于玻璃衬底2的移动方向的侧边的长度，且在整个气相沉积宽度的范围内都能得到有机材料的均匀分布。
而且，每个蒸气源142a-142d例如均通过用加热器144加热来蒸发有机材料。在这种情况下，在每个蒸气源上连接独立的温度控制器145，温度控制器145通过膜厚检测器146监视正在形成的膜的厚度，以便稳定地保持任意的气相沉积速率。即，每个蒸气源142a-142d的气相沉积速率单独地受温度控制器145和膜厚检测器146控制。此处应当注意，不限于用温度控制器145等控制气相沉积速率的系统；即，例如可以考虑提供一种单独调节每个蒸气源142a-142d和玻璃衬底2之间的距离的机构来代替该系统，或者在该系统上加上这样的机构。
另外，需要在蒸气源142a-142d的周围提供备用蒸气源的安装空间，以便能容易地应付未来有机层数量的增加。
此外，图1中，传送装置143构造成连玻璃衬底2在内地移动一体型传送夹具，从而改变玻璃衬底2和蒸气源142a-142d之间的相对位置。在这种情况下，可以考虑采用一种简单的系统来实现传送夹具的移动，在这种系统中，考虑到在真空中移动传送夹具的需要、伴随气相沉积的灰尘等问题，将其上安放传送夹具的车辆转向架(car truck)与连接线(closed wire)连接，通过伺服电动机等从外部以固定速度拉该线。应当注意，假设采取了除气等措施，实际上可以采纳利用滚珠螺杆(ball screw)的传送系统、传送带等已知技术。
下面，将描述根据本发明的在如上构造的器件制造设备中的工艺，即有机EL器件的制造方法的一个例子。
在玻璃衬底2上形成有机EL器件1的过程中，首先，在R颜色对准站13r、G颜色对准站13g或B颜色对准站13b进行器件制造设备中的准备步骤，具体地即玻璃衬底2和金属掩模3的精确对准。精确对准例如借助通过图像处理等检测并识别预先施加的对准标记来完成。在精确对准之后，玻璃衬底2和金属掩模3通过磁体4产生的磁力构成一体型传送夹具，并通过操作机器人、传送器等经进料口将传送夹具送入器件制造设备的真空室141中。
在真空室141中，其中将在玻璃衬底2上形成例如材料A、B、C和D的有机层1a-1d，沿着能通过传送装置143改变相对位置的方向按材料A、B、C和D的顺序布置与其对应的蒸气源142a-142d。如上所述，每个蒸气源142a-142d的蒸气沉积宽度都足以覆盖玻璃衬底2的横向宽度，且分布均匀。
所以，当通过传送装置移动送入真空室141的一体型传送夹具，且构成传送夹具的玻璃衬底2的膜形成部分，即玻璃衬底2的与在金属掩模3中形成的开口3a对应的部分顺序经过与按材料A、B、C和D顺序布置的蒸气源142a-142d相对的位置时，在按材料A、B、C和D的顺序层叠的状态下在玻璃衬底2的膜形成部分上形成有机层1a-1d。即，随着一体型传送夹具经过蒸气源142a-142d，连续地进行有机层1a-1d的形成。
这时，根据预置的条件，用温度控制器145等独立地控制蒸气源142a-142d的气相沉积速率。气相沉积速率被设定来使得有机层1a-1d的膜厚比和与其相应的蒸气源142a-142d的气相沉积速率之间的比相等，且设定后的气相沉积速率最大。为了这个目的，调整气相沉积速率与有机材料的耐热性最严格的一个的速率一致就足够。
具体地说，考虑如下设定蒸气源142a-142d的气相沉积速率。例如，以以下情况作为示例，该情况中，当以能为蒸气源142a-142d设定的最大气相沉积速率进行膜形成时，为了形成所需膜厚的有机层1a-1d而分别采用10分钟、8分钟、12分钟和5分钟。在这种情况下，当有机层1a-1d均以最大气相沉积速率形成时，由于一体型传送夹以固定速度经过蒸气源142a-142d，所以有机层1a-1d将不具有所需的膜厚。所以，在这种情况下，蒸气源142a-142d的气相沉积速率针对相应于12分钟最长时间的蒸气源142c进行调节，且进行设定，从而在该时间内以所需膜厚形成有机层1a-1d。这时，如果需要，可以彼此相邻地设置对应于一个有机层的两个或两个以上的蒸气源，从而总体上实现气相沉积速率的优化效率。
另外，可以由蒸气源142a-142d的气相沉积速率和一体型传送夹具的速度确定为了形成所需膜厚的有机层1a-1d需用多长时间。所以，可以考虑通过控制传送夹具的速度来控制有机层1a-1d的膜厚。
当一体型传送夹具经过蒸气源142a-142d，即有机层1a-1d的形成如上所述地连续进行时，膜形成之后的传送夹具通过操作机器人、传送器等经卸放口输出到器件制造设备的真空室141的外部。然后，传送夹具被送给对应于下一颜色成分的器件制造设备，且与如上所述相同的精确对准和膜形成过程得以再次进行。重复这种过程，从而将对应于R、G和B颜色成分的有机EL器件1以矩阵图案布置在玻璃衬底2上。
这样，根据本实施例中描述的制造有机EL器件1的方法和用于实施该方法的器件制造设备，移动包括玻璃衬底2的一体型传送夹具，使得顺序经过与并排布置的多个蒸气源142a-142d相对的位置，从而将有机层1a-1d顺序层叠在玻璃衬底2的膜形成部分上。即，每次在玻璃衬底2顺序经过与蒸气源142a-142d相对的每个位置时，利用来自蒸气源142a-142d中每一个的气相沉积材料的膜形成在玻璃衬底2上的膜形成部分进行。
因此，根据本实施例中的用于制造有机EL器件1的方法和器件制造设备，在玻璃衬底2上的有机层1a-1d的形成过程中，能基本上同时完成对蒸气源142a-142d的预处理(升高温度、稳定气相沉积速率等)。因此，不需要多余的时间来根据每种有机材料提高温度或稳定蒸发速率，从而可以实现有机层1a-1d的快速形成，结果是能获得制造有机EL器件1的过程中的间歇时间的改善。
具体地，以与上述情况相同的方式，采用以下情况作为示例，在该情况中，在以能为蒸气源142a-142d设定的最大气相沉积速率来进行膜的形成时，为了形成所需膜厚的例如四层结构的有机层1a-1d分别需要10分钟、8分钟、12分钟和5分钟。在这种情况下，根据现有技术，认为膜的形成总共需要10分钟+8分钟+12分钟+5分钟＝35分钟。另一方面，根据本实施例中的制造方法和器件制造设备，将设置调节到对应于最长时间的气相沉积速率，使得膜的形成总共需要12分钟+8分钟(经过蒸气源142a-142d的总时间)＝20分钟。结果，能将间歇时间缩短大约40％。
此外，根据本实施例中制造有机EL器件1的方法和器件制造设备，玻璃衬底2顺序经过与蒸气源142a-142d相对的位置，从而连续进行有机层1a-1d的形成，因此，来自蒸气源142a-142d的气相沉积材料毫不浪费地用于膜形成。这样，能设法做到提高蒸气源142a-142d的材料耗费效率，能以与缩短间歇时间相同的方式降低材料耗费率，从而和现有技术相比，能降低有机EL器件的成本。
而且，根据本实施例中有机EL器件1的制造方法和器件制造设备，在一个真空室141中连续进行多个有机层1a-1d的形成，使得即使要形成多重有机层1a-1d，一个真空室141也足够。即，能获得快速的膜形成过程、提高材料耗费的效率等，而无须多个真空室。所以，能在制造有机EL器件1的过程中实现间歇时间的改善、成本的降低等，而不造成设备成本、安装空间等的增加。
此外，在根据本实施例的器件制造设备中，蒸气源142a-142d均以在一方向上延伸的直线形式布置，该方向大致正交于能通过传送装置143改变相对位置的方向。所以，在该正交方向上的每个有机层1a-1d的膜厚都是均匀的，从而即使连续形成有机层1a-1d，也能容易地确保每个有机层1a-1d等的膜厚的精度。尽管希望以上述直线形式布置蒸气源142a-142d，但它们不必布置成直线形式。例如，即使在以点(spot)的形式布置蒸气源142a-142d的情况下，点的对准形式的布置能实现制造间歇时间的改善、成本的降低等，方式与以直线形式布置蒸气源142a-142d的情况一样。
此外，在根据本实施例的器件制造设备中，传送装置143移动一体型传送夹具，从而改变玻璃衬底2和每个蒸气源142a-142d的相对位置。所以，能非常容易地通过简单的方法且高度准确地实现相对位置的改变。应当注意，当然可以移动蒸气源142a-142d，来代替移动玻璃衬底2。
此外，在根据本实施例的器件制造设备中，与蒸气源142a-142d相应地设置温度控制器145等，从而能根据每个蒸气源142a-142d独立控制气相沉积速率。因此，即使一体型传送夹具以固定速度经过蒸气源142a-142d，也能将有机层1a-1d的膜厚设定为所需值。而且，可以基于每个蒸气源142a-142d根据膜厚的监测结果执行反馈控制等，从而能实现膜形成准确度的进一步提高。
根据在本实施例中描述的制造有机EL显示器的系统和利用该制造系统的制造方法，由玻璃衬底2、金属掩模3和磁体4构成的传送夹具顺序经过R颜色膜形成站14r、G颜色膜形成站14g和B颜色膜形成站14b。因此，能连续构造由对应于R、G和B颜色成分的有机EL器件1组成的有机EL显示器，且在这种情况下，如以上已经对每个有机EL器件1所描述的那样，能实现膜形成的预处理、气相沉积材料的耗费等的效率的提高。
而且，根据本实施例中的制造系统，R颜色对准站13r、G颜色对准站13g和B颜色对准站13b独立地进行对应于每个颜色的对准，即使R颜色膜形成站14r、G颜色膜形成站14g和B颜色膜形成站14b连续形成用于每种颜色的有机EL器件1，也能适当地进行对应于每种颜色的图案化膜的形成。
此外，根据本实施例的制造系统，由于返回站16的出现而构成闭环结构，使得传送夹具在闭环中循环。因此，即使连续形成对应于颜色成分的有机EL器件1，也能实现一系列加工的完全自动，这非常适于提高制造有机EL显示器的效率。
特别地，如上所述，在闭环结构是矩形形状的情况下，通过返回站16移动传送夹具的距离可以最大程度地减小，且能减小制造系统的安装面积，导致能容易地减小系统尺寸，降低系统成本等。
尽管在本实施例中描述了实现本发明的一些特殊例子，但本发明不限于这些例子，可以有各种修改。即，组成本实施例中描述的器件制造设备的一系列组成元件的材料、形状和操作机构等都不是限制性的，都能自由地对它们进行修改，只要每个组成元件的功能能被确保与上述方式相同。在这种情况下，也能得到和本实施例相同的效果。例如，虽然在本实施例中举例描述了在板状玻璃衬底1上形成有机EL器件1的情况，但也能用相同方式处理诸如由树脂材料构成的膜材料的卷形衬底。
Claims (11)
1.一种制造包括顺序层叠在衬底上的多个层的有机电致发光器件的方法，其中，
通过改变所述衬底和多个并排布置的蒸气源的相对位置，使得所述衬底顺序经过与所述多个蒸气源相对的位置，来在所述衬底上的膜形成部分处层叠所述多个层。
2.一种制造包括顺序层叠在衬底上的多个层的有机电致发光器件的设备，其中，
相应于所述多个层的多个蒸气源以对齐的方式布置；以及
传送装置得以设置，用于改变所述衬底和所述多个蒸气源的相对位置，使得所述衬底上的膜形成部分顺序经过与所述多个蒸气源相对的位置。
3.根据权利要求2所述的制造有机电致发光器件的设备，其中，
所有所述多个蒸气源以在一方向上延伸的直线形式设置，该方向大致与通过所述传送装置改变相对位置的方向正交。
4.根据权利要求2所述的制造有机电致发光器件的设备，其中，
所述传送装置移动所述衬底，从而改变所述衬底和所述多个蒸气源的相对位置。
5.根据权利要求2所述的制造有机电致发光器件的设备，其中，
控制装置得以设置，用于根据所述多个蒸气源中的每一个独立地控制气相沉积速率。
6.一种制造使用有机电致发光器件的显示装置的系统，所述每个有机电致发光器件包括顺序层叠在衬底上的多个层，其中，
所述制造系统包括多个用于制造有机电致发光器件的设备，其中相应于所述多个层的多个蒸气源以对齐的方式布置，且转送装置得以设置，以用于改变所述衬底和所述多个蒸气源的相对位置，使得所述衬底上的膜形成部分顺序经过与所述多个蒸气源相对的位置；以及
所述制造设备分别形成相应于不同颜色成分的所述有机电致发光器件。
7.根据权利要求6所述的制造使用有机电致发光器件的显示装置的系统，其中，
所述衬底和用于图案化所述衬底上的所述膜形成部分的掩模顺序经过所述制造设备。
8.根据权利要求7所述的制造使用有机电致发光器件的显示装置的系统，其中，
在每个所述制造设备的前一阶段设置用于所述衬底和所述掩模之间的位置匹配的对准装置。
9.根据权利要求8所述的制造使用有机电致发光器件的显示装置的系统，其中，
除了所述多个制造设备和相应于所述制造设备布置的所述对准装置外，还设置返回装置，以用于在最后阶段将已经经过所述制造设备的所述掩模提供给起始阶段的所述对准装置，且所述制造设备、所述对准装置和所述返回装置构成闭环结构。
10.根据权利要求9所述的制造使用有机电致发光器件的显示装置的系统，其中，
所述闭环结构包括以所述对准装置为顶点的以矩形图案布置的所述制造设备和所述返回装置。
11.一种制造使用有机电致发光器件的显示装置的方法，每个电致发光器件包括顺序层叠在衬底上的多个层，其中，
通过改变所述衬底和多个并排布置的蒸气源的相对位置，使得所述衬底顺序经过与所述多个蒸气源相对的位置，来在所述衬底上的膜形成部分层叠多个层，籍此制备相应于一颜色成分的有机电致发光器件；以及
将此过程重复一次以上，同时改变所述衬底上的所述膜形成部分，从而将相应于多种颜色成分的所述有机电致发光器件布置在所述衬底上。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP133536/02 | 2002-05-09 | ||
| JP133536/2002 | 2002-05-09 | ||
| JP2002133536A JP3705237B2 (ja) | 2001-09-05 | 2002-05-09 | 有機電界発光素子を用いた表示装置の製造システムおよび製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN1476279A true CN1476279A (zh) | 2004-02-18 |
| CN100530743C CN100530743C (zh) | 2009-08-19 |
Family
ID=29727491
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CNB031786030A Expired - Fee Related CN100530743C (zh) | 2002-05-09 | 2003-05-09 | 制造有机电致发光器件及其显示装置的方法、系统和设备 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20030232563A1 (zh) |
| KR (1) | KR100945997B1 (zh) |
| CN (1) | CN100530743C (zh) |
| SG (1) | SG120097A1 (zh) |
| TW (1) | TWI301386B (zh) |
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|---|---|
| CN100530743C (zh) | 2009-08-19 |
| KR100945997B1 (ko) | 2010-03-09 |
| US20030232563A1 (en) | 2003-12-18 |
| KR20030087941A (ko) | 2003-11-15 |
| TWI301386B (en) | 2008-09-21 |
| SG120097A1 (en) | 2006-03-28 |
| TW200405759A (en) | 2004-04-01 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
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|
| EXPY | Termination of patent right or utility model |