CN1414328A - 用于空气液化分离的纯化装置与方法 - Google Patents

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Abstract

一种用于空气液化分离的纯化装置与方法,其可有效去除氮氧化物与/或碳水化合物。此空气纯化装置包括一吸附器,其具有一吸附筒。此吸附筒具有一第一吸附层及一第二吸附层,其中第一吸附层是由可选择性吸附空气中水气的吸附剂所构成,且第二吸附层是由可选择性吸附流过第一吸附层的空气中氮氧化物与/或碳水化合物的吸附剂所构成,其中构成第二吸附层的吸附剂包括含有可交换镁离子的X型沸石。

Description

用于空气液化分离的纯化装置与方法
技术领域
本发明是有关一种用于空气液化分离的纯化装置与方法,其中所谓液化分离法是以低温蒸馏法分离出空气中的氮气及氧气。本发明特别是有关一种可以有效去除空气原料中氮氧化物与/或碳水化合物的空气纯化装置与方法。
背景技术
近年来,氮气、氧气及氩气的制造通常是采用低温蒸馏法,以自液态空气中分离出来。在空气原料接受液化分离前必须进行纯化,以去除其中微量的杂质,主要是水及二氧化碳。接着,在进行液化分离时,沸点高于氮气的氧气会先凝结成液体而分离出来,且沸点高于氧气的氮氧化物(例如是N2O)或碳水化合物也会凝集在分离出的液态氧中。由于氮氧化物及碳水化合物在低温下会固化,并堆积在热交换器及蒸馏塔内而可能使其堵塞,所以必须要事先防范这些部分在处理液态氧时产生爆发。因此,就安全性而言,在纯化空气原料时务必除去其中的氮氧化物及碳水化合物,以免其凝集在液态氧中。常见去除氮氧化物及碳水化合物的方法为使用沸石(Zeolite)作为吸附剂,并以吸附法去除其。
在日本专利申请案早期公开公报第2000-107546号中,提及使用具有层合之三层吸附层的吸附筒,以除去空气原料中的水气、二氧化碳(CO2)及一氧化二氮(N2O),其中第一至第三层吸附层分别由可吸附水气、CO2及N2O的吸附剂所构成。可去除N2O的吸附剂包括钙离子交换X型沸石、钠丝光沸石(Na mordenite)、钡离子交换沸石、无胶合剂(binderless)钙离子交换沸石等等。另外,日本专利申请案早期公开公报第2000-140550号揭露一种可去除空气中至少一部分的N2O的装置,其使用八面沸石(faujasite)来吸附NO2。再者,于日本专利申请案早期公开公报第2000-129342号中,也揭露以吸附剂自己去除水气及CO2的空气中除去氮氧化物及碳水化合物的装置。此案中所揭露的吸附剂为硅铝比(Si/Al ratio)0.9~1.3的X型沸石,其含有钙离子及其它离子。
然而,上述各公知方法皆不易有效去除空气中的氮氧化物或碳水化合物,特别是不饱和碳水化合物以外的碳水化合物,因此业界急需一种可以有效除去氮氧化物或碳水化合物的方法。特别是就安全性而言,N2O的去除技术是最需要加强的地方。
发明内容
本发明的目的是提出一种用于空气液化分离的纯化装置与方法,以有效去除氮氧化物与/或碳水化合物。
本发明的用于空气液化分离的纯化装置,包括一吸附器,其具有一吸附筒。此吸附筒具有一第一吸附层及一第二吸附层,其中第一吸附层是由可选择性吸附空气中水气的吸附剂所构成,且该第二吸附层是由可选择性吸附流过第一吸附层的空气中的氮氧化物与/或碳水化合物的吸附剂所构成,其中构成第二吸附层的吸附剂包括含有可交换镁离子的X型沸石。此含有可交换镁离子的X型沸石较佳是由NaX沸石经离子交换而制成的,其中有部分或全部的钠离子被镁离子所取代,且其中镁离子交换比例以高于40%者为佳。此含有可交换镁离子的X型沸石亦可为含有可交换的镁离子及钙离子的X型沸石,其中镁离子交换比例以高于5%者为佳。再者,构成该第二吸附层的吸附剂也可以是含有可交换的镁离子及钙离子的A型沸石,而非含有可交换镁离子的X型沸石,且此A型沸石中镁离子的交换比例以高于5%者为佳。此外,此空气纯化装置更可包括介于第一第二吸附层之间的第三吸附层,其可选择性吸附空气中的CO2
本发明的用于空气液化分离的纯化方法包括下列步骤:首先准备一纯化装置,其包括一吸附器。此吸附器具有一吸附筒,其具有一第一吸附层及一第二吸附层,其中第一吸附层是由可选择性吸附空气中水气的吸附剂所构成,且第二吸附层是由可选择性吸附流过第一吸附层的空气中的氮氧化物与/或碳水化合物的吸附剂所构成,且第二吸附层的吸附剂包括含有可交换镁离子的X型沸石。该方法是利用第一吸附层吸附该空气原料中的水气以去除之,再利用第二吸附层吸附空气原料中的氮氧化物与/或碳水化合物以去除之。另外,在此方法中,也可利用第二吸附层吸附空气中的CO2。不过,此方法所用的纯化装置也可再包括介于第一及第二吸附层间的可选择性吸附空气中的二氧化碳的第三吸附层,且该方法更包括利用第三吸附层吸附经过第一吸附层的该空气原料中的二氧化碳以去除之。
附图说明
图1为本发明第一实施例的用于空气液化分离的纯化装置;
图2为本发明第二实施例的用于空气液化分离的纯化装置;
图3显示NaMgX型沸石的镁离子交换比例与N2O吸附量的关系;
图4显示MgCaX型沸石的镁离子交换比与N2O吸附量的关系;
图5显示MgCaA型沸石的镁离子交换比与N2O吸附量的关系;
图6显示多种沸石的N2O等温吸附曲线;
图7显示NaX型沸石同时吸附CO2及N2O时的破出曲线(breakthrough curve);
图8显示NaX型沸石吸附N2O的破出曲线;
图9显示NaX型沸石吸附CO2的破出曲线;
图10显示NaMgX型沸石同时吸附CO2及N2O的破出曲线;
图11显示NaMgX型沸石吸附N2O的破出曲线;
图12显示NaMgX型沸石吸附CO2的破出曲线;
图13显示MgCaA型沸石同时吸附CO2及N2O的破出曲线;
图14显示MgCaA型沸石吸附N2O的破出曲线;
图15显示MgCaA型沸石吸附CO2的破出曲线。
1:空气压缩机    2:冷却器
3:水分离器      4:吸附器
5:加热器        6:空气液化分离装置
7、8:吸附筒     7a、8a:第一吸附层
7b、8b:第二吸附层     7c、8c:第三吸附层
L1、L2a、L2b、L3a、L3b、L4、L5、L6、L7a、L7b、L8a、L8b、L9、L10:管路
RA:空气原料
具体实施方式
请参照图1,其为本发明第一实施例的用于空气液化分离的纯化装置。此纯化装置主要包括用以压缩空气原料RA的空气压缩机1、冷却压缩的空气原料的冷却器2、分离空气原料的水分的水分离器3、除去流过水分离器3的空气原料中的杂质的吸附器4,以及加热器5。另外,标号6所代表者为空气液化分离装置。
水分离器3用来凝结加压的空气中饱和的水气,而会分离出液态水。吸附器4是由第一及第二吸附筒7、8所构成,而空气原料可导入吸附筒7、8的任一者。在此吸附器4中,当一个吸附筒进行吸附处理时,另一个即可同时接受再生处理,如此交替使用吸附筒7、8,即可连续地纯化空气原料。
第1/2吸附筒7/8是由第一吸附层7a/8a与第二吸附层7b/8b所构成,其中第一吸附层7a、8a是由可选择性吸附水气的吸附剂所构成,且第二吸附层7b/8b是由可选择性吸附氮氧化物与/或碳水化合物的吸附剂所构成,其就空气流通的方向看来位于第一吸附层7a/8a下游。
第一吸附层7a、8a所使用的吸附剂例如是铝胶(alumina gel)或硅胶,而第二吸附层7b、8b所使用的吸附剂较佳为含有可交换镁离子的X型沸石。
此含有可交换镁离子的X型沸石较佳由NaX沸石经镁离子交换处理而得,其中部分或全部的钠离子为镁离子所交换(即转变成NaMgX型沸石或MgX沸石),而镁离子的交换比例(可交换的阳离子中镁离子的比例)较佳在40%以上,其中离子交换比例的单位为重量百分比(wt%)。
上述吸附剂中的可交换阳离子更可包含钙离子,即成为MgCaX沸石,其中镁离子的交换比例以5%以上者为佳。
一般X型沸石的定义为骨架硅铝比(Si/Al ratio)1.0~1.5的八面沸石(faujasite),其中Si/Al比值在1.15以下者称作低氧化硅X型沸石(LSX)。本发明并不特别限定所用的X型沸石的Si/Al比值,只要在1.0~1.5的范围内即可。
再者,第二吸附层7b、8b所使用的吸附剂也可以是含有可交换钙离子及镁离子的A型沸石,即MgCaA沸石,其中镁离子的交换比例以5%以上者为佳。
综合来说,第二吸附层7b、8b可以使用前述MgX型沸石、NaMgX型沸石、MgCaX型沸石、MgCaA型沸石中的一种作为吸附剂,但混用其中两种或更多种也可以。
接下来说明的是本发明第一实施例的空气纯化方法,其是使用图1所示的空气纯化装置来进行。首先,使用压缩机1压缩流过管路L1的空气原料RA,再以冷却器2冷却至预设温度,接着以水分离器3除去其中水分,然后再导入吸附器4中。在吸附器4中,空气原料可导入第一及第二吸附筒7、8的任一者,但以下说明将以导入第一吸附筒7的情形为例。
空气原料在经由管路L2a导入相通的吸附筒7后,会先流经上游的第一吸附层7a,使其中水气被吸附除去。在经过第一吸附层7a之后,空气原料即会流过第二吸附层7b,使其中氮氧化物与/或碳水化合物被吸附除去,且此时CO2也会被吸附除去。此纯化后的空气原料即可经由管路L3a及L4导入空气液化分离装置6,其将进行低温分馏以分离出氮气(N2)、氧气(O2)、氩气(Ar)等等。
以下将详细说明吸附器4的操作情形。在第一吸附筒7进行吸附处理时,未导入原料空气的第二吸附筒8即可接受再生处理。第二吸附筒8的再生处理是以得自液化空气分离装置的废气作为处理气体。此废气是经过管路L5并由加热器5加热至100~250℃,再经由管路L6及L7b导入第二吸附筒8中以加热吸附剂。如此吸附剂上所附着的水、CO2、氮氧化物及碳水化合物即可脱附,使吸附剂可重新使用。接着,流过第二吸附筒8的废气经由管路L8b及L9排除。
在第二吸附筒8的吸附剂的再生处理结束后,使空气液化分离装置6的废气绕过加热器5,而经由管路10、L6及L7b导入第二吸附筒8中。由于此废气并不通过加热器5而具有低温,故可以冷却先前在再生处理中被加热的气体。
当第一吸附塔7内的吸附剂即将吸附饱和时,空气原料即停止供应至第一吸附筒7,而是经由管路L2b导入第二吸附筒8中。空气原料在导入吸附筒8之后,其中水气会被第一吸附层8a吸附除去,且氮氧化物与/或碳水化合物会被第二吸附层8b吸附除去。此纯化后的空气原料即可经由管路L3b及L4导入空气液化分离装置6中。
在第二吸附筒8进行吸附处理时,即可以加热器5加热空气液化分离装置6产生的废气,并经由管路L6、L7a将其导入第一吸附筒7,以使其中吸附剂能重新使用。接着,流过第一吸附筒7的废气是经由管路L8a及L9排除。在第一吸附筒7的吸附剂的再生处理结束后,空气液化分离装置6的废气即经由管路L10、L6、L7a导入第一吸附筒7,以冷却其中的吸附剂。总之,在此空气纯化方法中,当一个吸附筒在进行吸附处理时,另一个即同时进行再生处理,如此交替使用吸筒7、8,即可连续地纯化空气原料。
如上所述,本实施例的空气纯化装置是采用具有吸附筒7、8的吸附器4,其中吸附筒7/8中配置由可选择性吸附水气的吸附剂构成的第一吸附层7a/8a,以及由可选择性吸附氮氧化物与/或碳水化合物的吸附剂构成的第二吸附层7b/8b。其中,第二吸附层7b、8b所用的吸附剂为MgX型沸石、NaMgX型沸石、MgCaX型沸石、MgCaA型沸石之一,或一种以上的组合,以有效去除空气原料中的氮氧化物与/或碳水化合物。因此,本发明可以事先防范氮氧化物或碳水化合物被凝集在液态空气的蒸馏物中,而可以增加空气液化分离装置6操作上的安全性。
请参照图2,其为本发明第二实施例的空气纯化装置。在此纯化装置中,吸附筒7/8的第一吸附层7a/8a与第二吸附层7b/8b之间尚配置有可选择性除去CO2的第三吸附层7c/8c,此为与图1所示者相异之处。此纯化装置中的第2吸附层7b、8b与第一实施例相同,其所用的吸附剂可为MgX型沸石、NaMgX型沸石、MgCaX型沸石、MgCaA型沸石之一,或一种以上的组合。
另外,第三吸附层7c、8c所用的吸附剂例如为含钠离子X型沸石(NaX型沸石)、含钠离子A型沸石(NaA型沸石),或是含钙离子A型沸石(CaA型沸石)等等。
接下来说明的是本发明第二实施例的空气纯化方法,其使用图2所示的纯化装置来进行。在使用此纯化装置纯化空气原料RA时,是以第一吸附层7a、8a除去其中水气,再以第三吸附层7c、8c除去其中的CO2,然后以第二吸附层7b、8b去除其中的氮氧化物与/或碳水化合物,再经由管路L3a、L3b及L4导入空气液化分离装置6中。
本实施例的纯化装置与第一实施例所示者效果相同,其都可有效去除空气中的氮氧化物与/或碳水化合物,因此可以事先防范氮氧化物或碳水化合物凝集在液态空气的蒸馏物中,而可以增加空气液化分离装置6操作上的安全性。再者,由于本实施例的纯化装置在第一吸附层7a、8a与第二吸附层7b、8b之间尚配置有可选择性除去CO2的第三吸附层7c、8c,所以流到第二吸附层7b、8b的空气中的CO2已经除去,而可以提高氮氧化物与/或碳水化合物的去除效率。
本发明的空气纯化装置也可由公知纯化装置改装而得,此公知纯化装置配备有一吸附筒,其中配置有可去除水气的吸水层及可去除CO2的CO2吸附层,而本发明的装置是在其下游配置一层由前述吸附剂(如NaMgX型沸石)所构成的吸附层。如采用此种作法,则须在已有的纯化装置的吸附筒中额外填入前述的吸附剂(NaMgX型沸石),以得到本发明的结构,其优点是设备成本较低。范例(实验1)
将NaX型沸石浸入含有镁离子的溶液中30分钟以进行离子交换处理,并重复3次,使得可交换的阳离子中镁离子的含有比例(镁离子的交换比例)达到65%,即得NaMgX型沸石吸附剂。此例为改变离子交换处理的次数与时间,而制作出镁离子交换比例不同的数种NaMgX型沸石吸附剂。
请参照图3,其为使用镁离子交换比例各异的数种NaMgX型沸石吸附剂吸附N2O的实验结果。如图3所示,当镁离子交换比例超过40%时,N2O吸附量即大幅增加,表示其吸附N2O的功效有大幅提高。(实验2)
将CaX型沸石浸入含有镁离子的溶液中30分钟以进行离子交换处理,并重复20次,使得可交换的阳离子中镁离子的含有比例(镁离子的交换比例)达到55%,即得MgCaX型沸石吸附剂。本例也改变离子交换处理的次数与时间,而制作出镁离子交换比例不同的数种MgCaX型沸石吸附剂。
请参照图4,其为使用镁离子交换比例各异的数种MgCaX型沸石吸附剂吸附N2O的实验结果。如图4所示,当镁离子交换比例增加时,N2O吸附量也随之增加;而当镁离子交换比例超过5%时,N2O吸附量有显著的增加,表示此时N2O吸附效能也有明显提高。(实验3)
将CaA型沸石浸入含有镁离子的溶液中30分钟以进行离子交换处理,并重复20次,使得可交换的阳离子中镁离子的含有比例(镁离子的交换比例)达到55%,即得MgCaA型沸石吸附剂。本例也改变离子交换处理的次数与时间,而制作出镁离子交换比例不同的数种MgCaA型沸石吸附剂。
请参照图5,其为使用镁离子交换比例各异的数种MgCaA型沸石吸附剂吸附N2O的实验结果。如图5所示,当镁离子交换比例增加时,N2O吸附量也随之增加;而当镁离子交换比例超过5%时,其N2O吸附量与交换率为0%的CaA相较下多出10%,表示其N2O吸附功能有明显提高。(实验4)
此实验是用以评量构成第二吸附层7b、8b的可选择性吸附氮氧化物与/或碳水化合物的吸附剂的吸附功效,其中用以测试的氮氧化物为N2O。N2O为空气中的微量气体,其浓度在0.3ppm上下,所以分压很低。因此,此处N2O的吸附测定是在低压下进行。在分别令各种吸附剂于10℃下吸附N2O之后,各吸附剂对N2O的等温吸附曲线为于图6中。如图6所示,与公知纯化装置所用的NaX型沸石相较,本发明所提出的NaMgX型沸石(镁离子交换率65%)及MgCaX型沸石(镁离子交换率55%)的N2O吸附量都比较高。
请继续参照图6,与NaX型沸石相较,CaA型沸石及MgCaA型沸石(镁离子交换率55%)的N2O吸附量都比较高。此外,如以CaA型沸石及MgCaA型沸石相较,则后者的N2O吸附量比较高。
再者,如图6所示,与CaA型沸石相较,NaMgX型沸石在工业用纯化处理条件的低压下(平衡压力1.5Pa以下)可以吸附较多量的N2O。
如上所述,本发明的以镁离子为可交换阳离子的X型或A型沸石吸附剂对N2O都具有优良的吸附性。(实验5)
此例所进行者为N2O及CO2的吸附实验,其使含有N2O及CO2的气体与吸附层接触,再测定流过吸附层的气体中的N2O及CO2浓度。请参照图7~图9,其为NaX型沸石的吸附实验结果,其中图8为吸附N2O的破出曲线(adsorption breakthrough curve),图9为吸附CO2的破出曲线,且图7为同时吸附CO2及N2O的破出曲线。首先请比较图8、图9,可见N2O的吸附破出时间短于CO2;同样地,如图7所示,当N2O与CO2同时被吸附时,N2O的吸附破出时间点也比早。由此可见,公知在使用NaX型沸石除去二氧化碳时,很难有效地同时吸附CO2及N2O以去除之。(实验6)
此例所进行者也为N2O及CO2的吸附实验,其实验方法如同实验5。请参照第10~12图,其为镁离子交换比例65%的NaMgX型沸石的吸附实验结果,其中图11为吸附N2O的破出曲线,图12为吸附CO2的破出曲线,且图10为同时吸附CO2及N2O的破出曲线。首先请比较图11、图12,可见N2O与CO2的吸附破出时间并没有太大的差距,尽管N2O的吸附区间(adsorption zone)比较长。如图10所示,当N2O与CO2同时被吸附时,各成分的吸附破出时间与其单独附时相较下也相差不多,尽管N2O的吸附区间因CO2吸附作用的影响而略为缩短。
由此实验结果可见,如使用NaMgX型沸石来吸附CO2及N2O,即可同时除去此二者。因此,如在第一吸附层中使用可选择性吸附水气的吸附剂,并在第二吸附层中使用NaMgX型沸石作为吸附剂,即可有效地除去水气、氮氧化物及CO2。(实验7)
此例所进行者也为N2O及CO2的吸附实验,其实验方法如同实验5。请参照图13~图15,其为MgCaA型沸石的吸附实验结果,其中图14为吸附N2O的破出曲线,图15为吸附CO2的破出曲线,且图13为同时吸附CO2及N2O的破出曲线。如图13所示,当N2O与CO2同时被吸附时,各成分的吸附破出时间与其单独附时(请见图14、图15)相比下相差不多。由此可见,如使用MgCaA型沸石来吸附CO2及N2O,即可有效地同时吸附除去此二者。(范例1)
此例是使用图2所示的纯化装置,以下列步骤来纯化空气原料。在吸附筒7/8中,由上游至下游的各吸附层依序为由铝胶构成的第一吸附层7a/8a,由NaX型沸石构成的第三吸附层7c/8c,以及由NaMgX型沸石构的第二吸附层7b/8b。首先,空气原料是由空气压缩机1压缩至550kPa,再以冷却器2冷却至10℃,然后以吸附器4吸附空气原料中的杂质(水气、CO2及氮氧化物)以去除之,其中空气原料中的N2O浓度为0.3ppm,且吸附筒7、8切换的时间为4小时。实验结果发现,在吸附器4所导出的气体中并无法检测出水气、CO2及N2O。
如上所述,本发明的空气纯化装置采用具有吸附筒的吸附器,其中吸附筒中配置有由可选择性吸附水气的吸附剂所构成的第一吸附层,以及由可选择性吸附氮氧化物与/或碳水化合物的吸附剂所构成的第二吸附层。其中,第二吸附层所用的吸附剂为含有可交换镁离子的X型沸石、其可有效除去空气原料中的氮氧化物与/或碳水化合物。因此,本发明可以事先防止氮氧化物或碳水化合物被凝集在液态空气的蒸馏物中,而可以增加空气液化分离装置操作上的安全性。
除此之外,由于第一吸附层与第二吸附层之间可加设可选择性吸附除去CO2的第三吸附层,故流到第二吸附层的空气中的CO2已被除去,使得氮氧化物与/或碳水化合物的去除效率更可提高。

Claims (11)

1.一种用于空气液化分离的纯化装置,其中该空气液化分离法是以低温蒸馏法分离出空气中的氮气及氧气,其特征是,该装置包括:
一吸附器,其具有一吸附筒,该吸附筒具有一第一吸附层及一第二吸附层,其中该第一吸附层是由可选择性吸附空气中水气的吸附剂所构成,且该第二吸附层是由可选择性吸附流过该第一吸附层的空气中的氮氧化物与/或碳水化合物的吸附剂所构成,其中
构成第二吸附层的吸附剂包括一含有可交换镁离子的X型沸石。
2.如权利要求1所述的用于空气液化分离的纯化装置,其特征是,该含有可交换镁离子的X型沸石是由一NaX沸石经离子交换而制成者,其中该NaX沸石有部分或全部的钠离子被镁离子所取代。
3.如权利要求2所述的用于空气液化分离的纯化装置,其特征是,该含有可交换镁离子的X型沸石的阳离子中的镁离子交换比例高于40%。
4.如权利要求1所述的用于空气液化分离的纯化装置,其特征是,构成该第二吸附层的吸附剂包括一含有可交换镁离子及钙离子的X型沸石。
5.如权利要求4所述的用于空气液化分离的纯化装置,其特征是,该含有可交换镁离子及钙离子的X型沸石的阳离子中的镁离子交换比例高于5%。
6.如权利要求1所述的用于空气液化分离的纯化装置,其特征是,构成该第二吸附层的吸附剂并非该含有可交换镁离子的X型沸石,而是一含有可交换镁离子及钙离子的A型沸石。
7.如权利要求6所述的用于空气液化分离的纯化装置,其特征是,该含有可交换镁离子及钙离子的A型沸石的阳离子中的镁离子交换比例高于5%。
8.如权利要求1所述的用于空气液化分离的纯化装置,其特征是,更包括介于该第一及该二吸附层间的一第三吸附层,该第三吸附层可选择性吸附空气中的二氧化碳。
9.一种用于空气液化分离的纯化方法,该空气液化分离法是以低温蒸馏法分离出空气中的氮气及氧气,其特征是,该方法包括:
准备一纯化装置,其包括一吸附器,该吸附器具有一吸附筒,且该吸附筒具有一第一吸附层及一第二吸附层,其中
该第一吸附层是由可选择性吸附空气中水气的吸附剂所构成;并且
该第二吸附层是由可选择性吸附流过该第一吸附层的空气中的氮氧化物与/或碳水化合物的吸附剂所构成,且该吸附剂包括一含有可交换镁离子的X型沸石;以及
利用该第一吸附层吸附一空气原料中的水气以去除之,再利用该第二吸附层吸附该空气原料中的氮氧化物与/或碳水化合物以去除之。
10.如权利要求9所述的用于空气液化分离的纯化方法,其特征是,该第二吸附层更可吸附该空气原料中的二氧化碳以去除之。
11.如权利要求9所述的用于空气液化分离的纯化方法,其特征是,该纯化装置更包括介于该第一及该第二吸附层间的可选择性吸附空气中二氧化碳的一第三吸附层,且该方法更包括利用该第三吸附层吸附经过该第一吸附层的该空气原料中的二氧化碳以去除之。
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JPS5964510A (ja) アルゴンガスの精製法

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