CN1348392A - 可调的净化空气气流场 - Google Patents

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沃伦·G·西莫斯
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Abstract

本发明公开了具有可调的净化气流场的封闭容器和封闭的压差分配技术的方法,具体说,净化气流封闭容器保证物质和大气中的微粒容纳物分离。本发明的实施例使用小面积的、标准设计的、可选择的净化气流场控制和分离物质。通过提供从气流发生器(12)流过气体过滤器(13)而后到达滤后气流空间(20)的滤后气体,该气流场可以作为净化房间等级的气流环境。本发明的实施例设有第一增压室(23)和第二增压室(26),所以可以在相同的滤后气流空间(20)内分别使用水平滤后气流和垂直滤后气流,或者联合使用这两种气流。

Description

可调的净化空气气流场
技术领域
一般说来，本发明涉及具有可调的净化气流场的封闭容器，以及封闭的压差分配技术的方法。特别涉及净化气流封闭容器，其保证大气中的微粒容纳物和物质的分离。
背景技术
净化(或滤后的)气流物质控制系统用在从大气中的大颗粒物或小颗粒容纳物中产生分离纯净物质，小型滤后气流物质控制系统有三种主要类别，它们按空气流的种类分类：1)垂直层状流；2)水平层状流；3)排烟罩或烟罩。根据请求处理的物质的不同种类，三种设备的每一种各有优点。本发明的某些实施例的集中在垂直层状流和水平层状流。本发明的特定实施例包含小型标准的、可改装的滤后气流场，用于从大气中的颗粒容纳物质中分离物质，小型滤后气流场是需要的，因为它们能消除大型净化空间场的许多问题。
大型净化空间场的一个显著问题是气体必须被过滤并且移动很长距离，同时经过人、机器或开阔的空间。保持这样的气流并且将它保持在颗粒容纳物联邦标准209指标内是困难的。联邦标准209E，在净化室和净化区内的大气颗粒净化等级，1992可以结合参考。在工作表面或工作区内保持这些指标更加困难。将气体移动一小段距离，从空气流路中排除人和机器的小型净化空气场，通常花费少，能在工作区(或滤后气流空间)内提供更洁净的空气，另外，当移动空气一小段距离引导和保持理想的气流更加容易，因为在大型净化场中人们移动产生的气流和旋涡相遇的机会没有了。
净化房间环境设备的另一显著问题是和小型标准的气流场相比，保持净化房间的花费昂贵。通常净化房间需要人和机器全部沉浸在滤后气流中，为了方便和供应，这需要另外的空间和费用。在净化房间里的人们需要穿戴干净的室内服装、鞋子、手套、头罩和别的特殊的在净化房间环境内的装备。也需要一个转换房间。用于人们进出房间，该转换房间通常附加一个用来吹掉衣服上污物的气浴。另外，它也意味着必须有通道，有坐着或站着的区域等的类似物，都作为净化环境的一部分，还要增加可能的污染物源或增加净化房间方案的附加费用，通过比较，不需要人整个地浸入滤后气流的小型净化气流场，能大大减少这些无价值的附加费用需要，提供一个更人性化更友好的工作环境，也可以结合参考美国专利申请60/130,461《可调的净化空气流物质控制环境》。
尽管小型净化环境设备是有需求的且通常用在需要滤后气体环境的加工过程中，但在小型净化环境工业中仍有没有解决的主要问题。
第一个问题是不同的净化环境封闭容器的不相容性。它们有不同的形状和尺寸并且设计得不能连接在一起。不同的生产商内外尺寸有相当的不同，甚至相同的生产商净化环境封闭容器之间也不一样，对于材料控制来说，这些不同带来很大的问题，因为工作表面的高度甚至会有几英寸的差别，或者从一个净化环境封闭容器到下一个净化环境封闭容器的整个深度可能有几英寸的不同。另外，即使整体尺寸一致，某些部件上的侧通道板也不一致，部件不能以肩并肩的布置连接在一起。适应这些不同可能导致浪费工厂场地空间，使这些场地不能再利用。
第二个问题是存在净化封闭容器不能将滤后气体分配到与净化工作区(或滤后气流空间)相邻接的气流排放板(或穿孔增压板)的整个表面的现象。在许多现存的装置中，滤后气体被分配到增压室的静态回收空间内。增加压室有一穿孔表面，将滤后气体以气流方式排放到滤后气流空间。静态回收空间的形状常常阻止滤后气流分配到和静态回收空间邻接的穿孔增加压板的整个表面。如此，滤后气体不能从穿孔增加压板的整个表面区域进入滤后气流空间，这就造成只有穿孔增压板的一部分表面将滤后气体排放到滤后气流空间。例如美国专利4,927,438中所示，在顶部增压空间气流被引导为基本水平方向，然后该气流基本垂直地排入滤后气流空间。带有闭塞端的长方形增压空间经常不允许气流分配至过滤器(28)的整个表面或者与增压空间相邻接的穿孔增压板整个表面。
第三个问题是现存的净化环境封闭容器不能使增压室的穿孔表面和滤后气流空间确定的整个流路相邻接。如美国专利4,927,438；5,326,316和5,487,768所示，和滤后气流空间相邻的穿孔增压板的表面，不和由滤后气流空间(如美国专利5,487,768和4,927,438所公开)确定的水平流路的整个高度和宽度相邻接，也不和由净化工作区(如美国专利5,326,316和4,927,438所公开)确定的垂直流路的整个深度和宽度相邻接。
第四个问题是现存的净化环境封闭容器不允许在净化环境封闭容器的滤后气流空间内有可选择的气流。现在，不存在这样一个单一的净化环境封闭容器，它允许在同一个滤后气流空间内，工作状态可在水平气流、垂直气流或水平与垂直气流的结合之间调节。如美国专利4,557,184和3,895,570所示，净化环境封闭容器仅仅允许净化工作区的气流以垂直气路存在。
第五个问题是现存的净化环境封闭容器不能提供从与滤后气流空间相邻的穿孔增压板的整个表面排出的具有一基本一致速度的滤后气流。当气流或滤后气流具有从气流发生器排出的第一流动方向和在与滤后气流空间相邻的穿孔增压板表面处的第二流动方向时，这是显著的事实。
第六个问题是现存的净化环境封闭容器没有将滤后气流空间内的最小速度区域安置在离滤后气流空间入口的最远端位置，如美国专利4,557,184所公开作为一个例子，净化工作区内的低速区设在滤后气流空间的底部后端。这可能是因为该封闭容器只将滤后气流排放成垂直流路并且气流从前通道的开口区排出。气流(有最高速度的路径)的最低阻力路径可以是从穿孔增压板流到通道的开口区，如气流箭头指示，该开口区的速度朝着封闭容器的后部降低。
第七个问题是现存的净化环境封闭容器不能调节成允许有速度梯度的气流，关于一平面基本对称，该平面以对角线方式平分净化工作区。这样，在滤后气流空间内的气流有不规则的特性，使得在滤后气流空间内预测某一特定区域的气流速度较困难。这样，在滤后气流空间内的滤后气流可能不能适应于特定的用途，或者对于特定用途的处理比较困难。
第八个问题是现存的净化环境封闭容器不能委以弹性的要求，从而适应加工过程中的变化和伴随产品运行整个生命周期的市场需求的转变。当加工过程或需求改变时，它要求在实验室或生产设备内扩大或缩小净化空间，通常这种扩大或缩小需要另外购买设备(即垂直或水平净化环境封闭容器)或者对净化房间重新改造，并且需要将不用的设备闲置或者将它们封存待日后再用，相似地，在多步骤生产过程中，根据产品、工具、处理要求等等类似方面，有这样不同的需要，即有时需要垂直气流，有时需要水平气流，有时需要二者的结合。这样，具有弹性从而可适应这些需要和变化的净化空间能给生产商提供了一个具有竞争力的优点。
至于这些问题中的每一个或者它们的全部，理想的是提供具有可调的滤后气流的封闭容器，该滤后气流为大型和小型的通用净化气体控制系统提供封闭的压差分配技术。本发明提供以实际的方式解决每一问题的设备和方法。
发明内容
具有可调的滤后气流场的封闭容器和封闭压差分配技术的方法，其提供从大气中的微粒容纳物中分离物质的基本控制。
本发明的特定实施例的主要目的是在封闭的滤后气流空间内提供10级到1000级的环境(根据联邦标准209E)，而周围的大气质量是200000级或更好。
本发明的特定实施例的第二个主要目的是允许操作者在滤后气流空间的外部。只要操作者的手或胳膊的一部分伸入滤后气流空间，在其下游物质能从大气中的微粒中分离出来。该方法消除了许多费用和净化房间环境的约束，包括穿长袍部分、空气浴、干净的室内服装等类似限制，当操作者在滤后气流空间的外部时，操作者舒适而符合人体工程学。
本发明的第三个主要目的是该系统是标准设计的，能容易地移动和重新布置，而不用花费较大的努力去组装，或没有结构的不相容性。本发明可以被设置用于单一物质分离装置，或者在多个位置的物质分离装置，该装置使用多个这样的模件。也可以购买附件，从而转变系统。例如，如果需要一个密封的前板，就要去掉前板和窗户部件，替换上一个密封的前板。如果需要一个密封的前板，一个穿孔的板顶端成为允许滤后气体退出滤后气流空间的单一途径。不必购买多种系统或者努力去将不同品牌的多个系统连接在一起，是本发明的一个主要优点，它大大提高了设备的利用。
本发明的特定实施例的另一个主要目的是通过对封闭容器工作状态的调整，在一个相同的滤后气流空间内能够提供垂直的层状流、水平的层状流或者垂直层状流和水平层状流的结合。根据被处理的物质类型、过程的需要或者两者都考虑来选择气流类型。任一给定方案的最佳气流，根据许多因素确定，比如作用的目标对象的尺寸和形状，还有加工工具的尺寸和形状。在许多情况下，但不是全部情况下，垂直气流和水平气流的结合是理想的。在对气流的最佳类型作出决定之后，本发明允许顾客对设备作一些小的调整，以便通过可选择的气流装置获得最佳的气流。
本发明的特定实施例的另一显著目的是设置了增压室，该增压室将滤后气流从气流发生器分配给与增压空间相邻的穿孔增压板的整个表面上。
本发明的特定实施例的另一显著目的是将增压室的穿孔表面和由滤后气流空间确定的整个流路(水平或垂直或其它)相邻接。
本发明的特定实施例的另一显著目的是以一个基本一致的速度，从与气流空间相邻的增压室的穿孔表面排放滤后气流。
本发明的特定实施例的另一显著目的是设置了增压室，该增压室将从气流发生器流出的具有第一流动方向的滤后气流转换成与滤后气流空间相邻接的增压室穿孔表面处的第二流动方向。本发明的目的也包括本发明的上述多个目的，比如将滤后气流分配到与增压空间相邻的增压室穿孔表面的整个表面区域，并且在与滤后气流空间相邻的增压室的穿孔表面处提供基本一致的气体流速。
本发明的特定实施例的另一显著目的是设置了滤后气流的最低速度区的位置，该位置在滤后气流空间内，位于距离进入滤后气流空间的主要通道的开口的最远端。
本发明的特定实施例的另一显著目的是提供在滤后气流空间内的关于一平面基本对称的一滤后气流，该平面从滤后气流空间内的最低速区延伸出，并且基本上平分主要通道的开口。
本发明的特定实施例的另一显著目的是允许进行简单的房间边维修，可以减少设备的停机时间。其具有一个进入气体过滤器的简易通道，以便更频繁或更容易的预防性维修。在装置顶部也有一个公用设施连接板，便于容易的连接动力和其它连接，从而去控制板件或选择的公用设施部分。
本发明的特定实施例的另一显著目的是提供方便的物质控制或从一个连接装置到另一连接装置物质运动，从装置的前边、侧边或后边进出装置，本发明的其它实施例可以包括用于物质进入或排出的后通道门，也有侧板的别的形式，便于侧板之间的物质流通。物质也可以通过前通道板移动，在每个装置内可以有一个工作台或工作表面(或底板)，这些设计考虑到习惯的工作台、运送者组织、标准的清洁房间型工作台及没有工作台和内置工作台的特殊装置。
当然，本发明的进一步的目的在说明书和附图的其它部分作了全面的公开。
附图说明
图1是本发明的一实施例的透视图。
图2是本发明的一实施例的侧视图。
图3是本发明的一实施例的侧视图，它具有前板通道元件，图中它处于打开位置。
图4是本发明的一实施例的剖面图。
图5示出了一增压空间的实施例，该增压空间有一特殊的静态回复构造。
图6示出了一滤后气流干涉部件的实施例。
图7示出了一个仪器监控板的实施例。
图8示出了本发明的一个实施例，它有多个框架组件(或平板组件)组合在一起。
图9是本发明的一实施例的气流图(矢量图)，该实施例具有一前板通道，其开口区为8英寸左右到13英寸左右，从而通过滤后气流空间提供一垂直的滤后气流。
图10是本发明的一实施例的气流图(矢量图)，该实施例具有开口区为约30英寸的一前板通道，通过滤后气流空间可提供垂直的滤后气流。
图11是本发明的一实施例的气流图(矢量图)，该实施例具有一前板通道，其开口区为8英寸左右到13英寸左右，通过滤后气流空间提供一水平的滤后气流。
图12是本发明的一实施例的气流图(矢量图)，该实施例具有开口区为约30英寸的一前板通道，通过滤后的气流空间可提供水平的滤后气流。
图13是本发明的一实施例的气流图(矢量图)，该实施例具有一前板通道，其开口区为8英寸左右到13英寸左右，通过滤后气流空间提供一水平的滤后气流和垂直的滤后气流。
图14是本发明的一实施例的气流图(矢量图)，该实施例具有开口区为约30英寸的一前板通道，通过过滤的气流空间可提供水平的过滤后气流和垂直的气流。
图15是本发明的一实施例的气流图(矢量图)，该实施例具有一前板通道，其开口区为8英寸左右到13英寸左右，其中在滤后气流空间内设有物质控制装置。
图16是本发明的一实施例的气流图(矢量图)，该实施例具有开口区为约30英寸的一前板通道，其中在滤后气流空间内设有物质控制装置。
具体实施方式
本发明提供了一个压差分配封闭容器，以及揭示如何制造和使用压差分配封闭容器技术的方法。具体说，提供了涉及滤后气流物质控制环境的压差分配封闭容器的技术。
压差分配封闭容器技术的基本概念，或者由于它可以涉及滤后气流物质控制环境而被理解为能应用于不同的情况，在这些情况下，在一封闭空间内气压的分配或者气体速度的分配是需要的，例如清洁房间技术、烟罩技术、物质控制或物质容纳技术等等，这些对于本领技术人员是容易理解的。
而且，该公开还提供了关于压差分配封闭设备和方法的实施例的详细描述，或者以滤后气流物质控制环境为例，对这些实施例的描述不能理解为是对本发明的范围的限制。显而易见，本发明的基本概念可以包括许多方式。本发明包括方法和实现该恰当方法的设备。在本申请中，这些方法被作为通过描述不同设备得到的显示结果的一部分和作为固有的使用步骤而公开。它们是应用这些描述的预期的设备简单自然的结果。另外，本发明也公开了实现所述的特定方法的一些特定实施例，应理解为在许多方面这些实施例可以变化。重要的是，对于前述的所有实施例和所有方面应理解为包含在本公开内。
该压差分配封闭容器概念包括各种气压分配、气速分配或气体过滤容器，它们可以单独应用或者结合使用，从而确定在一封闭容器(或一内部空间)的内部空间内的气流环境，该气流环境从气流环境的外部进入封闭容器(或者外部空间)，或者调节在内部空间(或者滤后气流空间)内的气流环境。
如图1所示，本发明的一实施例包括一基本上为多边形形状的平板组件(或者框架组件)(1)，它至少具有一个顶板(2)，一个前板(3)，一个后板(4)和一对侧板(5)，从而确定和外部空间(7)隔开的内部空间(6)。这些板件可由合适的材料如金属板、塑料、玻璃或相同材料结合制成。在图1至图4所示的本发明实施例中，左侧梁(8)和右侧梁(9)由金属管、金属板或塑料等类似物制成，它们穿过后板(4)，固定在和由类似材料制成的横梁(10)垂直且平行的方向上。然后利用五金元件这些板件可以被制成框架组件，这对于本领域技术人员来说是公知的。关于本发明的特定实施例的组件的细节在参考文件中可以找到，该参考文件题目为“小环境组件”，DEM技术公司，1055DelawareAvenue，Longmont，Colorado 80501，工作描述包括1-25页，附图1-109页，(1999)，可以结合参考。
首先参考图4，一滤后气体排放部件(11)可流动地连接在平板组件(1)上，该滤后气体排放部件包括一气流发生器(12)，该气流发生器产生从外部空间到由平板组件确定的内部空间的气流，它与作为建筑物内通常的气体循环系统的一部分的平板组件隔开一段距离，或者是供给单一的压差分配封闭容器(或者平板组件)的气流发生器，该气流可以在任一板处和封闭容器内的内部空间混合。这样，气流在内部空间可以有第一方向，可以是水平的或垂直的或二者的结合。再参考图4，本发明的一实施例有设在平板组件内的气流发生器(12)，沿着垂直气流的方向，该气流发生器设在内部空间之上。详细说来，气流过滤部件可以包括至少一个气体流速为90英尺每分钟的、由Envirco生产的MAC-10型号设备，MAC-10小册子，Envirco公司，6701Jefferson，NE，Albuquerque，NM，87109，第1-4页(1998)，可以结合参考。
图4所示的本发明的实施例还包括一气体过滤器(13)，它响应从外部空间(6)进入内部空间(7)的气流，该过滤器(13)相对封闭容器可以位于气流发生器之前或之后，响应从外部空间进入内部空间的气流的气体过滤器包括一Hepa过滤器或者Ulpa过滤器，或者其它类型的大颗粒或小颗粒过滤器。也可以使用附加的预过滤器，在气流进入气体发生器(12)之前捕获微粒，或者也可以用在气体过滤器之前(13)。在图4所示的本发明的实施例中，未经过滤的气体被吸入第一级预过滤器(15)，然后通过第二级预过滤器(16)，再经过气体发生器(12)。事先过滤后的气体然后被强制通过气体过滤器(13)(Hepa过滤器或者Ulpa过滤器，或者其它类型的过滤器)。过滤后的气体(当使用Hepa过滤器时，高达小到0.3微米左右的所有颗粒的99.99％都被从气流中去除；当使用U1pa过滤器时，高达小到0.12微米左右的所有颗粒的99.99％都被从气流中去除)被送到平板组件(1)的内部内部空间(6)内。
一设置有穿孔增压板(18)的增压室(17)被配置成这样，能够把过滤后的气流从增压空间(19)分配到封闭容器的内部空间内的滤后气流空间(20)，增压空间(19)和滤后气流空间(20)在穿孔增压板(18)的相对的表面上相邻接，穿孔增压板能确定一可以在滤后气流空间(20)内排放滤后气流成基本上水平流路(21)的增压空间，或者穿孔增压板能确定一可以在滤后气流空间(20)内排放滤后气流成基本上垂直流路(22)的增压空间。穿孔增压板有一穿孔表面区域，与滤后气流空间的几乎整个宽度和深度相邻，从而将滤后气体排放为通过滤后气体空间确定的完全垂直的流路(或者穿孔增压板有一穿孔表面区域，和滤后气流空间的部分宽度和深度相邻，从而将滤后气体排放为部分垂直的流路)。相似地，穿孔增压板有一穿孔表面区域，和滤后气流空间的几乎整个宽度和深度相邻，从而将滤后气体排放为通过滤后气体空间确定的完全水平的流路。(或者穿孔增压板有一穿孔表面区域，和滤后气流空间的部分宽度和深度相邻，从而将滤后气体排放为部分水平的流路)。在此方式下，穿孔增压板的穿孔面区域可以将滤后气体排放到滤后气体空间(20)内水平流路(21)的几乎整个高度和几乎整个宽度，或者排放到滤后气体空间(20)内的垂直流路(22)的几乎整个宽度和几乎整个深度。
在本发明的一实施例中，增压室(17)也包括第一增压室(23)和第二增压室(26)，第一增压室和滤后气体排放部件(11)可流动的结合，该第一增压室有第一穿孔增压板(24)，该第一穿孔增压板有相对的表面，分别和第一增压空间(25)以及滤后气流空间(20)内的垂直流路(22)相邻，第二增压室有第二穿孔增压板(27)，该第二穿孔增压板有相对的表面，分别和第二增压空间(28)以及滤后气流空间(20)内的水平流路(21)相邻。如图4所示，第二增压空间能够和第一增压空间可流动地结合，但是，这两个增压空间也有独立的滤后气流源。
再参考图4，对于本发明的特定的实施例，要么具有单一的一个增压室，该增压室和滤后气流空间内的垂直流路或者水平流路相邻接；要么本发明具有第一和第二增压室，增压室(或者第一增压室内有第一增压空间和第二增压空间)具有基本上为长方形形状的增压空间，长方形高度在6英寸左右到24英寸左右，气流从平面之间进入增压室(或者第一增压空间)，穿孔增压板(或者第一穿孔增压板)表面和滤后气流空间内的垂直或水平流路相邻。随着增压室(或者第一增压室)的宽度的增加，将使用附加的气流发生器给增压室提供滤后气体。参考图8，本发明的某些实施例有一气流发生器，它能产生流速为70英尺每分钟左右到150英尺每分钟左右之间、气流空间的线性宽度间隔为55英寸左右到75英寸左右的气流。但图4所示的第一增压空间(25)，在滤后气体空间的顶部且将滤后气体排放成垂直流路(22)，自然地第一增压空间被定向排放滤后气体，该滤后气体在滤后气流空间内成任一方向的流路。
再参考图4，第二穿孔增压板(27)将第二增压空间(28)内的第一流动方向的气流转换为在第二穿孔增压板(27)表面区域的第二流动方向的气流，该第二穿孔增压板和滤后气流空间(20)内的滤后气体流路相邻。在图示的本发明的实施例中，在增压空间内一个基本垂直的滤后气流在第二穿孔增压板的表面转换为基本水平滤后气流，该穿孔增压板和滤后气体空间内水平流路的几乎整个高度和几乎整个宽度相邻。自然地，在这种方式下使用一个增压室，滤后气流有从气流发生器流出的第一流动方向和在滤后气流空间(20)内的第二流动方向。
增压室(17)还能提供一种静态回复结构(或者相对与增压空间相邻的穿孔增压板的几乎整个表面区域保持基本恒定的静态压力和基本恒定的气体流速的增压室的结构)。由于在滤后气流空间内增压室有一静态回复结构，基本上为高为约6-24英寸的长方形的几何形状，如上所述，所以从气流发生器流出的滤后气流有相同的流动方向。然而，从气流发生器流出的滤后气流有第一方向，从与滤后气流空间相邻的穿孔增压板流出的滤后气流有第二方向，所以对于将气流从气流发生器分配到与增压空间相邻的穿孔增压板的几乎整个表面的增压空间来说，静态回复结构有显著的不同。如图5所示，静态回复结构的一实施例有一交叉处，它确定一直角三角形，三角形有一接近气流发生器的底边，还有和底边相对的尖顶，有一大约10度到13度的角度，在此的斜边确定穿孔增压板的平面。直角的尖顶被充分截去，以便允许静态回复结构将滤后气体排放到与第二增压空间(28)相邻的穿孔增压板(27)的几乎整个表面区域。上述的静态回复增压室实施例的形状可以为直角三角形，底边为约七又四分之三英寸，高约33英寸，截去的尖顶约1.5英寸(总体积大约5立方英尺)。自然地，随着气流空间的几何形状的变化，静态回复结构的尺寸和形状也有变化，以便将滤后气体分配到与增压空间相邻的穿孔增压板的几乎整个表面区域。
穿孔增压板(18)设置成这样，在与气流空间相邻的穿孔增压板的几乎整个表面区域上排放的滤后气体有基本一致的速度。然而，由于增压空间的尺寸和几何形状的变化，或者气流发生器的位置的改变(假设如上所述，穿孔增压板的几乎整个表面上的滤后气流已经获得)，在与增压空间相邻的穿孔增压板(18)的几乎整个表面区域上排放的滤后气体不能确保在与气流空间相邻的穿孔增压室的整个穿孔表面区域上的滤后气体有基本一致的速度。可以调整穿孔增压板的角度，进一步得到与滤后气体流路(20)相邻的穿孔增压板的表面上有基本一致的速度。例如，对于图4所示实施例的第二增压室(26)，当穿孔增压板(20)的角度在10度左右到13度左右之间时，就可以得到与滤后气流空间(20)的水平气体流路(21)相邻的穿孔增压板的表面上的气流有基本一致的速度。
穿孔表面的数量可以调整，以便帮助获得与增压空间相邻的穿孔增压板的几乎整个表面区域上的滤后气体的分配，以及帮助提供与滤后气流空间(20)的相邻的穿孔增压板的整个表面处有基本一致的速度。例如，一穿孔增压板(或者第一增压板，或者第二增压板)上有百分之十到百分之十三左右的穿孔表面。
本发明还包括一底板(29)，通过标准的五金元件可以和平板组件(1)固定，或者底板(29)可以作为一可拆除平板，或者它可以包括平板组件(1)的一独立表面并且可以放入滤后气流空间(20)之下的位置。底板(29)可以有坚固的表面，或者底板可以有一穿孔表面，允许至少一部分在气流空间内的气流通过底板表面到达外部空间。自然地，底板(29)响应于滤后气流空间(20)内的水平流路(21)或垂直流路(22)。底板(29)的穿孔面积可以在从0到60％左右范围内。本发明的另一实施例有更加严格的范围，从0到20％左右。
平板组件(1)还可以包括一和平板组件(1)连接的通道部件(30)。通道部件(30)可以和前板(3)、后板(4)、一侧板(5)或两个侧板都连接，在本发明的某些实施例中，至少一个通道部件连接在前板(3)上，前板有与平板组件(1)宽度基本上相同的开口区域(31)，或者与滤后气流空间(20)内的滤后气体流路(21)(22)宽度基本相同的开口区域。可以通过滑动前通道元件(32)的一部分，或者旋转通道元件从关闭位置到打开位置，从而调整和变化开口区域(31)的高度。如图3所示，具有与平板组件(1)宽度基本上相同的前通道元件(32)的一部分能够从关闭位置旋转到打开位置。在关闭位置，前通道元件(32)的开口区域为大约8英寸到13英寸，在打开位置，前通道元件(32)的开口区域为大约30英寸。当前通道元件(32)开口区域(31)的高度为大约8英寸到13英寸时，在开口区域的滤后气流有大约75英尺每分钟到130英尺每分钟的速度。随着通道元件(32)开口区域的高度的增加，速度有所降低。当前通道元件(32)开口区域(31)开到大约30英寸时，在开口区域的滤后气流有大约50英尺每分钟到70英尺每分钟的速度。如图4、5和8所示，通道部件(30)还可以包括至少一个后通道元件(33)，或者如图2所示，可以包括一侧板通道元件(34)，或者在两个侧板上都有侧板通道元件(34)。
本发明的特定实施例还包括在第一增压空间(25)与第二增压空间(28)之间的盖子(35)，如图4所示，第一增压空间(25)与第二增压空间(28)之间可以流动地结合。位于两增压空间之间的盖子(35)允许从第一增压空间(25)到达第二增压空间(28)的滤后气流有所变化。某些实施例的盖子(35)只有打开和关闭位置。或者，盖子(35)可以在从打开位置到关闭位置的范围内可选择的调整。例如，图4中所示的盖子(35)可以是和封闭容器的后板(4)可旋转地连接在一起的一平板，它允许从打开位置到关闭位置的旋转，或者，反之亦然。
本发明还包括一可调的气流干涉部件(36)，它响应于穿孔增压板处的滤后气流。如图6所示，该滤后气流干涉部件(36)包括有一穿孔表面的第一滤后气流干涉板(或者气流干涉底板)(37)和有一穿孔表面的第二滤后气流干涉板(或者气流干涉顶板)(38)。滤后气流干涉部件(36)可以被制成响应于从增压空间到滤后气流空间(20)的至少一部分滤后气流。如此，滤后气流干涉部件(36)能响应于从增压室排出的气流，该气流在滤后气流空间(20)内建立垂直滤后气流(22)；或者响应于从增压室排出的气流，该气流在滤后气流空间(20)内建立水平滤后气流(21)。当然，本发明的实施例有第一穿孔增压板(24)和第二穿孔增压板(27)，气流干涉部件(36)被制成响应于从第一穿孔增压板或者第二穿孔增压板排出的滤后气流，或者多于一个的滤后气流干涉部件被制成能响应于从两个增压板排出的滤后气流。滤后气流干涉部件(36)可以位于与增压空间相邻的穿孔增压板的表面邻近的位置，或者在本发明的其它实施例中，滤后气流干涉部件位于与滤后气流空间相邻的穿孔增压板的表面邻近的位置，甚或在两处都有。有一穿孔表面的第一滤后气流干涉部件(37)和有一穿孔表面的第二滤后气流干涉部件(38)可滑动地响应于滤后气流量的变化。通过滑动任一滤后气流干涉板或两个滤后气流干涉板都滑动，可以改变从增压空间到滤后气流空间(20)的滤后气流量，因此，第一气流干涉板的穿孔表面区域的至少一部分和第二气流干涉板的穿孔表面区域并列设置。通过调整并列设置的穿孔表面区域的大小，气流量得以改变。任一滤后气流干涉板的非穿孔表面区域和另一滤后气流干涉板的整个穿孔表面区域并列设置，基本上能够排除流过滤后气流部件的气流。
例如，如图4所示，通过联合使用盖子(35)和滤后气流干涉部件(36)，在唯一的滤后气流空间(20)内可以有一基本水平的滤后气流(39)，或者一基本垂直的滤后气流(40)，或者两者都有。通过关闭第一增压空间(25)和第二增压空间(28)之间的盖子(35)，基本上消除了流入第二增压空间(28)的滤后气流，从而在与第一穿孔增压板(24)相邻的滤后气流空间(20)内建立一基本垂直的气流(40)；或者，通过打开通往第二增压空间(28)的盖子(35)，基本上消除了流到与第一增压空间(25)相邻的第一穿孔增压板(24)表面的气流，该第一增压空间设有滤后气流干涉部件，从而在滤后气流空间(20)内建立一基本水平的气流(39)；或者，通过基本消除流到第一增压空间(25)和流到第二增压空间(28)滤后气流，在滤后气流空间(20)内的滤后气流被基本上消除。再有，通过打开第一增压空间(25)和第二增压空间(28)之间的盖子(35)，以及打开滤后气流干涉部件(36)，该气流干涉组件响应于流到与第一增压空间(25)相邻接的穿孔增压板表面的滤后气流，能够在相同的时间内在唯一的滤后气流空间(20)内建立一垂直气流(40)和一水平气流(39)。对于图1-图4所示的本发明实施例，通过调整气流干涉板(36)，在与滤后气流空间(20)相邻接的第一穿孔增压板(24)表面处的滤后气流速度可以为0英尺每分钟到约30英尺每分钟。通过调整第一增压空间(25)和第二增压空间(28)之间的盖子(35)，在与滤后气流空间相邻接的第二穿孔增压板(28)表面处的滤后气流速度可以为0英尺每分钟到约45英尺每分钟。图9到图16是气流图(矢量图)，画出了在平板组件的内部空间内的气流的方向和速度，该矢量图表示在增压空间和滤后气流空间内的滤后气流的方向和速度。按照放大图，带色的速度标记成为指示滤后气流的方向和速度的一种矢量图形。
如图9所示，在滤后气流空间内的滤后气流基本是垂直的。或者如图10、11所示，滤后气流基本是水平的。图10表示前通道开口大约为30英寸，基本没有改变在滤后气流空间内的垂直气流图形。
如图13、14所示，本发明的一实施例包括上述的元件，在垂直流路(22)和水平流路(21)内形成带有速度梯度的滤后气流，垂直流路和水平流路相对于从顶点(41)伸出的一平面基本上对称，该顶点在第一穿孔增压板(24)和第二穿孔增压板(27)连接处，并且平分前通道部件(32)的开口区域，前开口区域具有与平板组件(或滤后气流空间)(20)基本相同的宽度，高度为大约8英寸到大约13英寸，或者大约30英寸，位于图13和14中所示的前板(3)的基本上底部处。如图13和14中所示，当以这种构造控制气流时，滤后气流空间(20)有一最低速度区域(42)，该区域位于距离前通道元件(32)的开口区域(31)的最远端处。距离前板通道元件的开口区域的最远端的最低速度区域(42)有一最小的空间。通过调整流入气流空间的滤后气流，这样的最小空间可以有小到几英寸(本发明的一些实施例为2-5英寸)的横截面。
如图8所示，本发明还包括一公用设施连接板(43)，用于适当的公用设施(也就是电力、真空、压缩气体和加工气体等等)的连接。在图7中也画出了用于本发明实施例的仪表板(44)布线形式。
显而易见，本发明的基本概念包括许多变化的方式。它包括产生和使用压差分配封闭容器的技术，该压差分配封闭容器包括可调的净化空气流动室。在该申请中，产生和使用压差分配封闭容器的技术，作为通过描述的不同设备得到的显示结果的一部分和固有使用的步骤来揭露。它们是应用这些描述的预期的设备简单自然的结果。另外，某些设备的公开，应理解为它们不仅能实现某些方法，而且在许多方面可以变化。重要的是，对于前述的所有实施例和所有方面应理解为包含在本公开内。
包括本专利申请中的论述，意在作为一基本的说明，读者应明白，详细的论述不能确切地描述所有可能的实施例，许多其它实施例是暗含的。既不能充分的解释本发明的一般特性，也不能清楚地显示每个特征或元件实际上是如何代表别的或相等元件的更多功能，还有这些都隐含在本公开的内容中。在本发明中描述了与设备有关的术语，设备的每个元件暗示一定功能。设备权利要求不仅包括描述的设备，而且包括方法或过程权利要求，这些权利要求包括实现发明的功能，和每个元件的操作，不论说明还是术语都不是限制权利要求的范围，权利要求将被包括在一个充分的专利的申请中。
应理解，进行的许多改变并不脱离本发明的精髓，这些改变也暗含在说明书中。它们仍然落在本发明的范围内，一个广泛的公开包括所示的清楚的实施例，有许多变化的、暗含的别的实施例，以及包含在该公开内的广泛的方法和过程等等。
另外，本发明的每个不同的部分和权利要求也可以用不同的方式得到。本公开应理解为包含每个这样的变化，可以是任一设备形式实施例的变化，一个方法或过程实施例的变化，甚或只是它们中一个部分的变化。具体说，应理解，作为涉及本发明部分的公开，每个部分的词语应解释为相等的装置术语或方法术语，只要其功能和结果是相同的。这些相等的、广泛的、甚或更一般的术语应被认为包含在每个部分或操作的说明中，在使本发明被授权的、暗含的较宽范围更加清楚时，这样的术语可以被代替。但是作为一个例子，应理解，所有的作用应解释为实现该作用的方法或引起该作用的一个部分，相似地，每个公开的物理元件应理解为包括该物理元件促进作用的公开。谈到最后的方面，“可调的控制环境的净化气体物质”的公开应理解为包括“可调的控制环境的净化气体物质”的作用的公开，不论是否清楚的论述，并且，相反的，如果只公开“可调的控制环境的净化气体物质”的作用，那么应理解为该公开包含“可调的控制环境的净化气体物质”的公开，甚或包含“可调的控制环境的净化气体物质”方法的公开。这些改变和别的术语应理解为清楚地包含在本说明书中。另外，应该理解，公开的每个部分的不同组合和排列可应用于所写的或修改的任一权利要求。
任何在本专利申请中提到的专利、出版物或其它参考文献，或者本申请提供的其它信息陈述均可结合参考；但是，对于那些结合参考的信息或陈述与本发明或这些发明申请专利的描述不一致时，应明显认为不是申请人所造成的。

Claims (207)

1、一种压差分配封闭容器，包括；
a)基本为多边形几何形状的平板组件，具有至少一个顶板、一个前板、一个后板和一对侧板，从而从外部空间确定一内部空间；
b)滤后气体排放部件，包括：
I、气流发生器，其中所述气流发生器从所述外部空间向所述内部
   空间产生气流；
II、气体过滤器，它响应于从所述外部空间向所述内部空间流动
   的气流；
c)第一增压室，可以和所述滤后气流排放部件流动地结合，其中所述的第一增压室有与第一增压空间和所述内部空间内的垂直流路相邻的第一穿孔增压板；
d)第二增压室，可以和所述第一增压室流动地结合，其中所述的第二增压室有与第二增压空间和所述内部空间内的水平流路相邻的第二穿孔增压板；
e)盖子，位于所述的第一增压空间和第二增压空间之间；
f)至少一个连接所述的平板组件的通道元件。
2、如权利要求1所述的压差分配封闭容器，其特征在于所述的第一增压空间还包括一静态回复结构，该结构将滤后气体排放到与所述的第一增压空间相邻接的所述的第一穿孔增压板的几乎整个表面上。
3、如权利要求2所述的压差分配封闭容器，其特征在于所述的滤后气体在与所述的垂直流路相邻接的所述的第一穿孔增压板的几乎整个穿孔表面区域上具有基本一致的速度。
4、如权利要求3所述的压差分配封闭容器，其特征在于所述的第一增压空间有一大约6英寸到大约24英寸之间的高度，该高度位于所述的气体排放部件和所述的第一穿孔增压板之间。
5、如权利要求4所述的压差分配封闭容器，其特征在于所述的第一穿孔增压板有百分之十左右到百分之十三左右的面积被穿孔。
6、如权利要求5所述的压差分配封闭容器，其特征在于所述的第二穿孔增压板有一和所述的水平流路的基本整个高度和基本整个宽度相邻接的穿孔表面区域。
7、如权利要求6所述的压差分配封闭容器，其特征在于所述的第二穿孔增压板能够将在所述的第二增压空间内的垂直滤后气流，转换为与所述的水平流路的基本整个高度和基本整个宽度相邻接的所述表面区域处的基本水平的滤后气体。
8、如权利要求7所述的压差分配封闭容器，其特征在于所述的第二增压空间还包括一静态回复结构，该结构将滤后气体排放到与所述的第二增压空间相邻接的所述的第二穿孔增压板的几乎整个表面区域。
9、如权利要求8所述的压差分配封闭容器，其特征在于所述的静态回复结构在所述的表面区域以基本一致的速度排放所述的基本上水平的滤后气流，该表面区域和所述的水平气流的基本整个高度和基本整个宽度相邻接。
10、如权利要求9所述的压差分配封闭容器，其特征在于所述的静态回复结构有一横截面，它确定一直角三角形，该直角三角形有一靠近所述气流发生器的底边，其中和所述底边相对的顶点有一10度左右到13度左右的角度，和所述底边相对的顶点被截去，斜边和所述的第二穿孔增压板相邻接。
11、如权利要求10所述的压差分配封闭容器，其特征在于所述的第二穿孔增压板有百分之十左右到百分之十三左右被穿孔。
12、如权利要求11所述的压差分配封闭容器，还包括一底板，该底板响应于在所述内部空间中的所述水平流路和所述垂直流路，其中所述底板有0到百分之六十左右的穿孔表面区域。
13、如权利要求12所述的压差分配封闭容器，其特征在于所述底板有0到百分之二十左右的穿孔表面区域。
14、如权利要求13所述的压差分配封闭容器，其特征在于所述的至少一个与所述平板组件连接的通道部件，该通道部件包括一前板通道元件，该元件有一设置在所述前板的基本上底部的开口区域，该开口区域的宽度和所述水平流路的宽度相同，该开口的高度为8英寸左右到13英寸左右。
15、如权利要求14所述的压差分配封闭容器，其特征在于在所述的前板通道元件的开口区域处的所述滤后气流有75英尺每分钟左右到130英尺每分钟左右的速度。
16、如权利要求11所述的压差分配封闭容器，其特征在于在所述的前板通道元件有一具有所述水平流路宽度的开口区域，该开口区域的高度为30英寸左右。
17、如权利要求16所述的压差分配封闭容器，其特征在于在所述的前板通道元件的开口区域处的所述滤后气流有50英尺每分钟左右到75英尺每分钟左右的速度。
18、如权利要求17所述的压差分配封闭容器，还包括响应于所述的第一穿孔增压板的可调气流干涉部件，该气流干涉部件包括：
I、具有一穿孔表面的第一滤后气流干涉板；
II、具有一穿孔表面的第二滤后气流干涉板，其中所述的第一滤后气流干涉板和第二滤后气流干涉板可滑动地响应改变所述内部空间内的垂直流路的滤后气流的多少。
19、如权利要求18所述的压差分配封闭容器，其特征在于所述的可调气流干涉部件在基本为0英尺每分钟到30英尺每分钟左右之间改变所述的内部空间内的垂直流路的滤后气流。
20、如权利要求19所述的压差分配封闭容器，其特征在于所述的可调的盖子可以控制所述水平气体流路的滤后气体的速度为0英尺每分钟到30英尺每分钟左右。
21、如权利要求20所述的压差分配封闭容器，其特征在于可以调整所述的可调气流干涉部件和可调的盖子，来建立所述的内部空间内的垂直的滤后气流，并且基本消除所述的内部空间内的水平的滤后气流。
22、如权利要求21所述的压差分配封闭容器，其特征在于可以调整所述的可调气流干涉部件和可调的盖子，来建立所述的内部空间内的水平的滤后气流，并且基本消除所述的内部空间内的垂直的滤后气流。
23、如权利要求22所述的压差分配封闭容器，其特征在于可以调整所述的可调气流干涉部件和可调的盖子，来建立所述的内部空间内的水平的滤后气流和所述内部空间内的垂直的滤后气流。
24、如权利要求23所述的压差分配封闭容器，其特征在于所述滤后气体在所述垂直流路和水平流路内有一速度梯度，基本上关于一平面对称，所述的平面从第一穿孔增压板和第二穿孔增压板连接处伸出并且平分前板通道元件的开口区域，所述的开口区域具有与所述水平流路相同的宽度，高度为8英寸左右到13英寸左右，且位于所述前板的基本上底部的位置。
25、如权利要求24所述的压差分配封闭容器，其特征在于所述滤后气体在所述垂直流路和水平流路内有一最低速区，该区域位于距离所述的前板通道元件的开口区的最远端，所述的前板通道元件具有与所述的水平流路相同的宽度，高度为8英寸左右到13英寸左右，且位于所述前板的基本上底部的位置。
26、如权利要求25所述的压差分配封闭容器，其特征在于在所述的垂直流路和水平流路内的所述最低速区位于距离所述前板通道元件的开口区的最远端，该区域具有最小的空间。
27、如权利要求26所述的压差分配封闭容器，其特征在于与所述平板组件连接的至少一个通道元件包括一后板通道元件。
28、如权利要求27所述的压差分配封闭容器，其特征在于与所述平板组件连接的至少一个通道元件包括一侧板通道元件。
29、如权利要求28所述的压差分配封闭容器，其特征在于所述滤后气体排放部件包括至少一个具有气体流速为90英尺每分钟左右的MAC-10 ENVIRCO。
30、如权利要求29所述的压差分配封闭容器，其特征在于所述的响应于从外部空间流入内部空间的气流的过滤器包括一个HEPA过滤器。
31、如权利要求30所述的压差分配封闭容器，其特征在于所述的响应于从外部空间流入内部空间的气流的过滤器包括一个ULPA过滤器。
32、一种在封闭容器内分配压差的方法，包括步骤：
a、提供基本为多边形几何形状的平板组件，它具有至少一个顶板、一个前板、一个后板和一对侧板，从而从外部空间确定一内部空间；
b、连接滤后气体排放部件；
c、构造第一增压室，所述的第一增压室有与第一增压空间和所述内部空间内的垂直流路相邻的第一穿孔增压板；
d、构造第二增压室，可以和所述的第一增压室流动地结合，其中所述的第二增压室有与第二增压空间和所述的内部空间内的水平流路相邻的第二穿孔增压板；
e、提供位于所述的第一增压空间和第二增压空间之间的盖子；
f、对所述的平板组件连接至少一个通道元件。
33、一种在封闭容器内分配压差的方法，包括步骤：
a、从外部空间向由一平板组件确定的内部空间产生气流，该平板组件具有至少一个顶板、一个前板、一个后板和一对侧板；
c、过滤所述的气流；
d、将滤后气流分配到设有第一穿孔增压板的第一增压室，其中所述的第一穿孔增压板与第一增压空间和所述内部空间内的垂直流路相邻接；
e、将所述的滤后气流从第一增压空间排放到所述内部空间内的垂直流路；
f、将滤后气流分配到设有第二穿孔增压板的第二增压室，其中所述的第二增压室可以和所述的第一增压室流动地结合，所述的第二穿孔增压板与第二增压空间和所述内部空间内的水平流路相邻接；
g、将所述的滤后气流从第二增压空间排放到所述的内部空间内的水平流路；以及
h、形成流向至少一个通道元件的滤后气流，该通道元件有一开口区域，可以和外部空间流动地结合。
34、如权利要求33所述的在封闭容器内分配压差的方法，还包括将所述滤后气流分配到与所述的第一增压空间相邻的第一穿孔增压板的整个表面区域的步骤。
35、如权利要求34所述的在封闭容器内分配压差的方法，还包括以基本上一致的速度从与所述垂直流路相邻的第一穿孔增压板的整个穿孔表面区域排放滤后气流的步骤。
36、如权利要求35所述的在封闭容器内分配压差的方法，还包括将所述滤后气流分配到与所述的第二增压空间相邻的第二穿孔增压板的整个表面区域的步骤。
37、如权利要求36所述的在封闭容器内分配压差的方法，还包括将所述的第二增压空间内的垂直滤后气流转换为与所述的水平流路相邻的第二增压板的穿孔表面处的基本水平的滤后气流的步骤。
38、如权利要求37所述的在封闭容器内分配压差的方法，还包括以基本上一致的速度从与所述水平流路相邻的第二穿孔增压板的整个穿孔表面区域排放滤后气流的步骤。
39、如权利要求38所述的在封闭容器内分配压差的方法，还包括使所述水平流路的整个高度和宽度与所述的第二穿孔增压板的表面区域相邻接的步骤。
40、如权利要求39所述的在封闭容器内分配压差的方法，其特征在于，所述的形成流向至少一个通道元件的滤后气流的步骤，该通道元件有一开口区域，可以和外部空间流动地结合，该步骤包括在所述的可以和外部空间流动结合的开口区域处产生速度为75英尺每分钟到130英尺每分钟的气流，其中所述开口区域包括一基本上与所述水平流路的宽度相同、高度为8英寸左右到12英寸左右的位于前板的基本上底部位置的区域。
41、如权利要求40所述的在封闭容器内分配压差的方法，其特征在于，所述的形成流向至少一个通道元件的滤后气流的步骤，该通道元件有一开口区域，可以和外部空间流动地结合，该步骤包括在所述的可以和外部空间流动结合的开口区域处产生速度为50英尺每分钟到70英尺每分钟的气流，其中所述的开口区域包括一基本上与所述的水平流路的宽度相同、高度为30英寸左右的区域。
42、如权利要求41所述的在封闭容器内分配压差的方法，还包括调节流入所述的第二增压室的滤后气流量的步骤。
43、如权利要求42所述的在封闭容器内分配压差的方法，其特征在于，所述的调节流入第二增压室的滤后气流量的步骤还包括，在所述垂直流路内形成一基本上垂直的滤后气流，并且在所述水平流路内基本上消除水平的滤后气流。
44、如权利要求43所述的在封闭容器内分配压差的方法，还包括调节从所述的第一增压室流到垂直流路的滤后气流量的步骤。
45、如权利要求44所述的在封闭容器内分配压差的方法，其特征在于，所述的调节从所述的第一增压室流到垂直流路的滤后气流量的步骤包括在所述水平流路内形成一基本上水平的滤后气流，并且在所述的垂直流路内基本上消除垂直的滤后气流。
46、如权利要求45所述的在封闭容器内分配压差的方法，其特征在于，所述的调节从所述第一增压室流到垂直流路的滤后气流量的步骤包括：
I.滑动第二穿孔板之上的第一穿孔板，其中所述第一穿孔板和第二穿孔板响应于从所述增压空间流到垂直流路的气流；
II.将所述第一穿孔板的一部分穿孔表面区域和所述第二穿孔板的穿孔表面区域并列设置；
III.调节并列设置的穿孔表面的多少；
IV.改变从所述的增压室流到垂直流路的滤后气流速度。
47、如权利要求46所述的在封闭容器内分配压差的方法，还包括在所述垂直流路和水平流路内形成一速度梯度的步骤，该速度梯度关于一平面基本均匀对称，所述平面从第一穿孔增压板和第二穿孔增压板连接处伸出并且平分前板通道元件的开口区域，所述开口区域具有与所述水平流路相同的宽度，高度为8英寸左右到13英寸左右，位于所述前板的基本上底部的位置。
48、如权利要求47所述的在封闭容器内分配压差的方法，还包括在所述的垂直流路和水平流路内形成一具有最低流速滤后气流区的步骤，该区域位于第一穿孔增压板和第二穿孔增压板连接的顶点处。
49、如权利要求48所述的在封闭容器内分配压差的方法，其特征在于过滤所述滤后气流的步骤还包括从所述气流中除去几乎所有的尺寸大于0.3微米左右的颗粒。
50、如权利要求49所述的在封闭容器内分配压差的方法，其特征在于过滤所述滤后气流的步骤还包括从所述气流中除去尺寸大于0.12微米左右的颗粒。
51、如权利要求50所述的在封闭容器内分配压差的方法，还包括以下步骤，即在一时间段内保持所述水平流路内的气流基本不含有尺寸大于0.3微米左右的颗粒，在该时间段，一物体通过所述通道元件的开口区域且穿过所述内部空间和外部空间之间的平面。
52、一种压差分配封闭容器，包括；
a、基本为多边形几乎形状的框架组件，具有至少一个顶板、一个前板、一个后板和一对侧板，从而确定一外部空间和一内部空间；
b、滤后气体排放部件，包括：
I、气流发生器，其中所述气流发生器从所述外部空间向所述内部
   空间产生气流；
II、气体过滤器，它响应于从所述外部空间向所述内部空间流动
   的气流；
c、增压室，该增压室具有与增压空间和所述内部空间内的滤后气体流路相邻的第一穿孔增压板，其中该增压空间有一静态回复结构，将具有基本上速度一致的滤后气体排放到与所述的滤后气体流路相邻的穿孔增压板的整个表面区域。
53、如权利要求52所述的压差分配封闭容器，其特征在于所述的穿孔增压板具有和所述的滤后气体流路的几乎整个高度和几乎整个宽度相邻接的穿孔表面区域。
54、如权利要求53所述的压差分配封闭容器，其特征在于所述的具有穿孔增压板的增压室，将滤后气流从增压空间内的第一流动方向转换为与所述的滤后气体流路相邻的穿孔增压板的表面区域处的第二流动方向。
55、如权利要求54所述的压差分配封闭容器，其特征在于所述的增压室具有与垂直的滤后气体流路相邻接的穿孔增压板。
56、如权利要求55所述的压差分配封闭容器，其特征在于所述的与垂直的滤后气体流路相邻接的穿孔增压板具有10％左右到13％左右的穿孔区域。
57、如权利要求54所述的压差分配封闭容器，其特征在于所述的具有穿孔增压板的增压室和水平的滤后气体流路相邻接。
58、如权利要求57所述的压差分配封闭容器，其特征在于与所述的水平滤后气体流路相邻接的所述穿孔增压板具有10％左右到13％左右的穿孔区域。
59、如权利要求54所述的压差分配封闭容器，其特征在于所述的增压室包括：
a、第一增压室，可以和所述的滤后气流排放部件流动地结合，其中所述的第一增压室有与第一增压空间和所述的内部空间内的垂直流路相邻第一穿孔增压板；
d、第二增压室，可以和所述的第一增压室流动地结合，其中所述的第二增压室有与第二增压空间和所述的内部空间内的水平流路相邻第二穿孔增压板；
e、盖子，位于所述的第一增压空间和第二增压空间之间；
60、如权利要求55、56、57、58或者59所述的压差分配封闭容器，还包括至少一个气流干涉部件，该部件包括：
I、具有一穿孔表面的底部滤后气流干涉板；
II、具有一穿孔表面的定部滤后气流干涉板，并且所述的底部气流干涉板和顶部气流干涉板可滑动地响应调节所述的滤后气体流路的气流。
61、如权利要求60所述的压差分配封闭容器，其特征在于所述可调的气流干涉部件改变在所述内部空间内垂直流路的滤后气体流，其速度在基本上0英尺每分钟到30英尺每分钟左右之间。
62、如权利要求59所述的压差分配封闭容器，其特征在于所述可调的盖子调节所述水平流路的气流，其速度在基本上0英尺每分钟到30英尺每分钟左右之间。
63、如权利要求62所述的压差分配封闭容器，其特征在于通过调节所述可调的气流干涉部件和可调的盖子，形成在所述内部空间内的垂直滤后气流，并且基本上消除所述内部空间内的水平滤后气流。
64、如权利要求63所述的压差分配封闭容器，其特征在于通过调节所述可调的气流干涉部件和可调的盖子，形成在所述内部空间内的水平滤后气流，并且基本上消除所述内部空间内的垂直滤后气流。
65、如权利要求64所述的压差分配封闭容器，其特征在于通过调节所述可调的气流干涉部件和可调的盖子，形成在所述内部空间内的水平滤后气流和所述内部空间内的垂直滤后气流。
66、如权利要求60所述的压差分配封闭容器，其特征在于所述的滤后气流在所述的垂直流路和水平流路内有一速度梯度，基本上关于一平面对称，所述平面从第一穿孔增压板和第二穿孔增压板连接处的顶点伸出并且平分前板通道元件的开口区域，所述开口区域具有与所述的水平流路相同的宽度，高度为8英寸左右到13英寸左右，位于所述前板的基本上底部的位置。
67、如权利要求60所述的压差分配封闭容器，其特征在于所述滤后气流在所述垂直流路和水平流路内有一最低速区，该区域位于距离所述的前板通道元件的开口区的最远端，所述的前板通道元件具有与所述的水平流路相同的宽度，高度为8英寸左右到13英寸左右，位于所述前板的基本上底部的位置。
68、如权利要求67所述的压差分配封闭容器，其特征在于在所述的垂直流路和水平流路内的所述最低速区位于距离所述前板通道元件的开口区的最远端，并具有最小的空间。
69、如权利要求65所述的压差分配封闭容器，还包括与所述框架组件连接的至少一个后板通道元件。
70、如权利要求69所述的压差分配封闭容器，其特征在于所述的至少一个通道元件的位置在所述前板的底部，其中所述通道开口具有与所述框架组件宽度基本相同的宽度，高度为8英寸左右到13英寸左右。
71、如权利要求70所述的压差分配封闭容器，其特征在于，所述滤后气流在通道开口处的速度为75英尺每分钟左右到130英尺每分钟左右。
72、如权利要求69所述的压差分配封闭容器，其特征在于，所述的至少一个通道元件的位置在所述前板的底部，其中所述通道开口具有与所述框架组件宽度基本相同的宽度，高度为30英寸左右。
73、如权利要求72所述的压差分配封闭容器，其特征在于，所述的滤后气流在通道开口处的速度为50英尺每分钟左右到70英尺每分钟左右。
74、如权利要求65所述的压差分配封闭容器，其特征在于，所述框架组件还包括一响应于所述滤后气体流路的底板。
75、如权利要求74所述的压差分配封闭容器，其特征在于，所述底板具有大约20％穿孔表面区域。
76、如权利要求75所述的压差分配封闭容器，还包括至少一个侧板。
77、一种在封闭容器内分配压差的方法，包括步骤：
a、从外部空间向由一基本上由多边形几何形状框架组件确定的内部空间产生气流，该框架组件具有至少一个顶板、一个前板、一个后板和一对侧板；
b、过滤所述气流；
c、将滤后气流分配到增压室，该增压室设有与增压空间和气流空间相邻接的穿孔增压板；
e、将所述滤后气流以基本上一致的速度从增压空间排放到与所述气流空间相邻的穿孔增压板的整个表面区域。
78、如权利要求77所述的在封闭容器内分配压差的方法，其特征在于，所述的将滤后气流以基本上一致的速度从增压空间排放到与所述气流空间相邻的穿孔增压板的整个表面区域的步骤，包括在所述气流空间内形成一基本垂直的层状滤后气流。
79、如权利要求77所述的在封闭容器内分配压差的方法，其特征在于，所述的将滤后气流以基本上一致的速度从增压空间排放到与所述滤后气体流路相邻的穿孔增压板的整个表面区域的步骤，包括在所述气流空间内形成一基本水平的层状滤后气流。
80、如权利要求78或79所述的在封闭容器内分配压差的方法，其特征在于，所述的将滤后气流以基本上一致的速度从增压空间排放到与所述气流空间相邻的穿孔增压板的整个表面区域的步骤，包括将所述穿孔增压板和所述气流空间的几乎整个高度和几乎整个宽度相邻接。
81、如权利要求80所述的在封闭容器内分配压差的方法，还包括调节从所述增压室流到气流空间的滤后气流的步骤，该步骤包括：
I.滑动第二穿孔板之上的第一穿孔板，其中所述第一穿孔板和第二穿孔板响应于从所述增压空间流到气流空间的气流；
II.将所述第一穿孔板的穿孔表面区域和所述第二穿孔板的穿孔表面区域并列设置；
III.调节并列设置的穿孔表面区域的多少；
IV.改变从所述增压室流到气流空间的滤后气流速度。
82、如权利要求81所述的在封闭容器内分配压差的方法，其特征在于，所述的将滤后气流分配到具有与所述增压空间和气流空间相邻的穿孔增压板的增压室的步骤，包括：
a、将滤后气流分配到设有与所述气流空间相邻的第一穿孔增压板的第一增压空间，其中所述第一增压空间形成所述气流空间内的垂直滤后气体流路；
b、将滤后气流分配到设有与所述气流空间相邻的第二穿孔增压板的第二增压室，其中所述的第二增压空间可以和所述的第一增压空间流动地结合，所述的第二增压空间形成所述气流空间内的水平滤后气体流路。
83、如权利要求82所述的在封闭容器内分配压差的方法，还包括调节所述的从第一增压空间向第二增压空间流动的滤后气流的步骤。
84、如权利要求83所述的在封闭容器内分配压差的方法，还包括形成一滤后气流的步骤，该滤后气流流向至少一个具有开口区域的通道元件，该滤后气流可以和所述外部空间流动地结合。
85、如权利要求84所述的在封闭容器内分配压差的方法，还包括在所述的气流空间内形成一速度梯度的步骤，该速度梯度关于一平面基本均匀对称，所述平面从第一穿孔增压板和第二穿孔增压板连接处的顶点伸出并且平分通道元件的开口区域，所述开口区域具有与所述的水平流路相同的宽度，高度为8英寸左右到13英寸左右，位于所述前板的基本上底部的位置。
86、如权利要求85所述的在封闭容器内分配压差的方法，还包括在所述垂直流路和水平流路内形成一具有最低流速的滤后气流区的步骤，该区域位于第一穿孔增压板和第二穿孔增压板连接的顶点处。
87、一种压差分配封闭容器，包括；
a、框架组件，其中所述框架组件确定一外部空间和一内部空间；
b、滤后气体排放部件，包括：
I、气流发生器，其中所述气流发生器从所述外部空间向所述内部
   空间产生气流；
II、气体过滤器，它响应于从所述外部空间向所述内部空间流动
   的气流；
c、具有穿孔增压板的增压室，其中该增压室构造成将所述内部空间内的滤后气流从增压空间排放到气流空间；以及
d、滤后气流干涉部件，其响应于从所述增压空间流到所述气流空间的滤后气流的至少一部分，该气流干涉部件包括：
I、具有一穿孔表面的底部气流干涉板；
II、具有一穿孔表面的顶部气流干涉板，其中所述顶部气流干涉板和底部气流干涉板可滑动地响应调节所述的气流空间的气流；
e、具有开口区域的前板通道元件，它可以与通向所述的外部空间的气流空间内的滤后气流滑动地结合。
88、如权利要求87所述的压差分配封闭容器，其特征在于，所述的增压室产生一在气流空间内的垂直滤后气流。
89、如权利要求87所述的压差分配封闭容器，其特征在于，所述的增压室产生一在气流空间内的水平滤后气流。
90、如权利要求87所述的压差分配封闭容器，其特征在于，所述增压室有第一增压空间和第二增压空间，第一增压空间在所述气流空间内形成垂直的滤后气流，第二增压空间在所述气流空间内形成水平的滤后气流，其中所述气流干涉部件响应于所述垂直滤后气流。
91、如权利要求87所述的压差分配封闭容器，其特征在于，所述增压室有第一增压空间和第二增压空间，第一增压空间在所述气流空间内形成水平的滤后气流，第二增压空间在所述气流空间内形成垂直的滤后气流，其中所述气流干涉部件响应于所述水平滤后气流。
92、如权利要求87所述的压差分配封闭容器，其特征在于，所述增压室有第一增压空间和第二增压空间，第一增压空间在所述气流空间内形成垂直的滤后气流，第二增压空间在所述气流空间内形成水平的滤后气流，其中所述气流干涉部件响应于所述垂直滤后气流和水平滤后气流。
93、如权利要求90，91，或92所述的压差分配封闭容器，还包括位于所述第一增压空间和第二增压空间之间的可调的盖子。
94、如权利要求93所述的压差分配封闭容器，其特征在于，在所述气流空间内形成垂直滤后气流的第一增压室有一结构，该结构将滤后气流分配到与所述第一增压空间相邻的第一穿孔增压板的整个表面区域。
95、如权利要求94所述的压差分配封闭容器，其特征在于，在所述气流空间内形成水平滤后气流的第二增压室有一结构，该结构将滤后气流分配到与所述第二增压空间相邻的第二穿孔增压板的整个表面区域。
96、如权利要求95所述的压差分配封闭容器，其特征在于，分配到与所述第一穿孔增压板的整个表面区域的滤后气流在与所述气流空间相邻的第一穿孔增压板的整个表面区域处有一基本一致的速度。
97、如权利要求96所述的压差分配封闭容器，其特征在于，分配到与所述第二穿孔增压板的整个表面区域的滤后气流在与所述气流空间相邻的第二穿孔增压板的整个表面区域处有一基本一致的速度。
98、如权利要求97所述的压差分配封闭容器，其特征在于所述的第二穿孔增压板有一与所述气流空间的整个高度和整个宽度相邻接的表面区域。
99、如权利要求98所述的压差分配封闭容器，其特征在于所述的将滤后气流分配到穿孔增压板的整个表面区域的结构能将滤后气流从在所述增压空间内的第一流动方向转变为与所述气流空间相邻接的穿孔增压板的表面区域处的第二流动方向。
100、如权利要求99所述的压差分配封闭容器，其特征在于所述气流空间内的滤后气流有一最低流速区域，该区域位于所述第一穿孔增压板和第二穿孔增压板连接的顶点处。
101、如权利要求100所述的压差分配封闭容器，还包括在所述的气流空间内的滤后气流速度梯度，它基本上关于一平面对称，所述平面从第一穿孔增压板和第二穿孔增压板连接处的顶点伸出并且平分前板通道元件的开口区域。
102、一种在封闭容器内分配压差的方法，包括步骤：
a、提供一框架组件，该框架组件确定内部空间和外部空间；
b、使具有气流分配表面的增压室形成一定形状，从而将在内部空
   间内的气流从增压室排放到气流空间；
c、提供可调的气流干涉部件，它响应于从所述增压室流向所述气
   流空间的至少一部分气流，其中该气流干涉部件包括：
I、具有一穿孔表面的第一滤后气流干涉板；
II、具有一穿孔表面的第二滤后气流干涉板，其中所述的第一滤
    后气流干涉板和第二滤后气流干涉板可滑动地响应改变所述
    内部空间内的垂直流路的滤后气流的多少。
103、一种在封闭容器内分配压差的方法，包括步骤：
a、从外部空间向由框架组件确定的内部空间产生气流；
b、过滤所述的气流；
c、将滤后气流分配到设有穿孔增压板的增压室，其中所述的穿孔增压板在框架组件的内部空间内确定增压空间和气流空间；
d、形成从所述的增压空间向气流空间流动的滤后气流；
e、滑动第二穿孔板之上的第一穿孔板，其中所述的第一穿孔板和第二穿孔板响应于从所述增压空间流到气流空间的气流；
f、将所述的第一穿孔板的穿孔表面区域的一部分和所述的第二穿孔板的穿孔表面区域并列设置；
g、调节并列设置的穿孔表面区域的多少；
h、改变从所述增压室流到气流空间的滤后气流速度。
104、如权利要求103所述的在封闭容器内分配压差的方法，其特征在于，所述的改变从增压室流到气流空间的滤后气流速度的步骤包括改变在所述气流空间内的基本垂直的层状流的速度的步骤。
105、如权利要求103所述的在封闭容器内分配压差的方法，其特征在于，所述的改变从增压室流到气流空间的滤后气流速度的步骤包括改变在所述的气流空间内的基本水平的层状流的速度的步骤。
106、如权利要求103所述的在封闭容器内分配压差的方法，其特征在于，所述的改变从增压室流到气流空间的滤后气流速度的步骤，包括消除在所述气流空间内的基本水平的层状流，然而保持基本垂直的层状流。
107、如权利要求103所述的在封闭容器内分配压差的方法，其特征在于，所述的改变从增压室流到气流空间的滤后气流速度的步骤包括消除在所述气流空间内的基本垂直的层状流，然而保持基本水平的层状流。
108、如权利要求103所述的在封闭容器内分配压差的方法，其特征在于，所述的改变从增压室流到气流空间的滤后气流速度的步骤包括保持在所述气流空间内的基本垂直的层状流，同时保持基本水平的层状流。
109、如权利要求108所述的在封闭容器内分配压差的方法，还包括在所述气流空间内形成一最低速区域，该区域位于距离气流空间的前板通道的最远端。
110、如权利要求104、105、106、107、108或者109所述的在封闭容器内分配压差的方法，还包括将所述气流空间的整个高度和整个宽度与所述穿孔增压板相邻接的步骤。
111、如权利要求110所述的在封闭容器内分配压差的方法，还包括将滤后气流分配到所述穿孔增压板的整个表面区域的步骤。
112、如权利要求111所述的在封闭容器内分配压差的方法，还包括将滤后气体从所述穿孔增压板的整个表面以基本一致的速度排放的步骤。
113、如权利要求112所述的在封闭容器内分配压差的方法，还包括使所述增压室具有静态回复结构的步骤。
114、如权利要求113所述的在封闭容器内分配压差的方法，还包括在所述气流空间内形成一速度梯度的步骤，该速度梯度关于一平面基本对称，所述平面从第一穿孔增压板和第二穿孔增压板连接处的顶点伸出并且平分所述的前板通道元件的垂直高度。
115、一种压差分配封闭容器，包括；
a、框架组件，该框架组件确定一外部空间和一内部空间；
b、滤后气体排放部件，包括：
I、气流发生器，其中所述气流发生器从所述外部空间向所述内
   部空间产生气流；
II、气体过滤器，它响应于从所述外部空间向所述内部空间流动
   的气流；
c、具有一定形状的穿孔增压板的增压室，该增压室将所述气流分配到内部空间内的滤后气流空间，其中所述增压空间包括：
I、第一增压空间，它具有和所述的滤后气流空间内的垂直流路相邻第一穿孔增压板；
II、第二增压空间，它具有和所述滤后气流空间内的水平流路相邻的第二穿孔增压板，其中所述第二增压室可以和所述第一增压室流动地结合。
116、如权利要求115所述的压差分配封闭容器，还包括至少一个可调的滤后气流干涉板，包括：
I、具有一穿孔表面的第一滤后气流干涉板；
II、具有一穿孔表面的第二滤后气流干涉板，其中所述的第一气流干涉板和第二气流干涉板可滑动调节地改变所述的滤后气流空间内垂直流路的气流量。
117、如权利要求116所述的压差分配封闭容器，其特征在于，所述的可调气流干涉板有一关闭位置，在该位置基本上不进行所述滤后气流空间内形成垂直流路的气流分配。
118、如权利要求115或116所述的压差分配封闭容器，还包括设置在所述的第一增压空间和第二增压空间之间的盖子。
119、如权利要求118所述的压差分配封闭容器，其特征在于所述的设置在第一增压空间和第二增压空间之间的盖子有一关闭位置，在该位置基本上不进行所述滤后气流空间内形成水平流路的气流分配。
120、如权利要求119所述的压差分配封闭容器，其特征在于所述的第二穿孔增压板有一与所述滤后空间内的水平流路的整个高度和宽度相邻接的表面区域。
121、如权利要求120所述的压差分配封闭容器，还包括一静态回复元件，该静态回复元件将从气体发生器流出的具有第一流动方向的滤后气流转换为在与所述气流空间相邻的穿孔增压板的表面区域处的第二流动方向。
122、如权利要求121所述的压差分配封闭容器，其特征在于所述的第一增压空间将滤后气流分配到与所述的第一增压空间相邻接的第一穿孔增压板的整个表面。
123、如权利要求122所述的压差分配封闭容器，其特征在于所述的第二增压空间将滤后气流分配到与所述的第二增压空间相邻接的第二穿孔增压板的整个表面。
124、如权利要求123所述的压差分配封闭容器，其特征在于所述的分配到与所述的垂直流路相邻接的第一穿孔增压板的整个表面的滤后气流具有基本上一致的速度。
125、如权利要求124所述的压差分配封闭容器，其特征在于所述的分配到与所述的水平流路相邻接的第二穿孔增压板的整个表面的滤后气流具有基本上一致的速度。
126、如权利要求125所述的压差分配封闭容器，还包括至少一个和所述框架组件连接的通道元件。
127、如权利要求126所述的压差分配封闭容器，其特征在于所述框架组件有一前板，其中所述的至少一个通道元件的位置位于前板的底部，并且该至少一个通道元件具有宽度基本与所述滤后气流空间宽度相同、高度为8英寸左右到13英寸左右的通道开口。
128、如权利要求127所述的压差分配封闭容器，其特征在于所述的第一穿孔增压板和第二穿孔增压板在一顶点处连接。
129、一种如权利要求128所述的在封闭容器内分配压差的方法，还包括所述滤后气流空间内的一最低流速区在所述顶点处。
130、如权利要求129所述的在封闭容器内分配压差的方法，还包括所述滤后气流空间内具有滤后气流速度梯度，该速度梯度关于一平面基本对称，该平面从所述顶点伸出并且平分所述通道开口的高度。
131、一种在封闭容器内分配压差的方法，包括步骤：
a、提供一框架组件，该框架组件确定内部空间和外部空间；
b、使具有穿孔增压板的增压室形成一定形状，从而将在内部空间内的滤后气流从第一增压空间分配到气流空间内邻接的垂直流路，以及从可以和第一增压空间流动结合的第二增压空间分配到气流空间内邻接的水平流路；
c、提供位于所述的第一增压空间和第二增压空间之间的盖子。
132、一种在封闭容器内分配压差的方法，包括步骤：
a、从外部空间向由框架组件确定的内部空间产生气流；
b、过滤所述的气流；
c、将滤后气流排放到设有第一穿孔增压板的第一增压室；
d、在与所述的第一穿孔增压板相邻接的气流空间内形成垂直的滤
   后气流；
e、将滤后气流排放到设有第二穿孔增压板的第二增压室；
f、在与所述的第二穿孔增压板相邻接的气流空间内形成水平的滤后气流。
133、如权利要求132所述的在封闭容器内分配压差的方法，还包括基本上消除流向第二增压空间的滤后气流并且基本上消除在滤后气流空间内的水平滤后气流的步骤。
134、如权利要求132所述的在封闭容器内分配压差的方法，还包括基本上消除所述滤后气流的步骤，该滤后气流从第一增压空间形成滤后气流空间内的垂直滤后气流。
135、如权利要求134所述的在封闭容器内分配压差的方法，其特征在于，所述的基本上消除从第一增压空间形成滤后气流空间内的垂直滤后气流的气流的步骤包括：
a、滑动第二穿孔板之上的第一穿孔板，其中所述的第一穿孔板和第二穿孔板响应于从所述的增压空间流到滤后气流空间的气流；
b、将所述的第一穿孔板的穿孔表面区域和所述的第二穿孔板的非穿孔表面区域并列设置；
136、如权利要求132所述的在封闭容器内分配压差的方法，还包括改变在所述的滤后气流空间内的垂直流路的滤后气流量的步骤。
137、如权利要求136所述的在封闭容器内分配压差的方法，其特征在于，所述的改变在所述的气流空间内的垂直流路的滤后气流量的步骤包括：
a、滑动第二穿孔板之上的第一穿孔板，其中所述的第一穿孔板和第二穿孔板响应于从所述的增压空间流到气流空间的气流；
b、将所述的第一穿孔板的穿孔表面区域的一部分和所述的第二穿孔板的穿孔表面区域并列设置；
c、调节并列设置的穿孔表面区域的多少。
138、如权利要求132、133、134、135、136或137所述的在封闭容器内分配压差的方法，还包括使所述的水平流路的整个高度和宽度与第二穿孔增压板相邻接的步骤。
139、如权利要求138所述的在封闭容器内分配压差的方法，还包括将滤后气流分配到所述的第一穿孔增压板的整个表面区域的步骤。
140、如权利要求139所述的在封闭容器内分配压差的方法，还包括将滤后气流分配到所述的第二穿孔增压板的整个表面区域的步骤。
141、如权利要求140所述的在封闭容器内分配压差的方法，还包括以基本一致的速度从所述的第一穿孔增压板的整个表面区域分配滤后气流的步骤。
142、如权利要求141所述的在封闭容器内分配压差的方法，还包括以基本一致的速度从所述的第二穿孔增压板的整个表面区域分配滤后气流的步骤。
143、如权利要求142所述的在封闭容器内分配压差的方法，还包括转换步骤。
144、如权利要求143所述的在封闭容器内分配压差的方法，还包括在所述气流空间内形成一最低速区的步骤，该最低速区位于第一穿孔增压板和第二穿孔增压板连接的顶点处。
145、如权利要求144所述的在封闭容器内分配压差的方法，还包括在一位置连接所述的第一穿孔增压板和第二穿孔增压板的步骤，该位置位于距离所述的气流空间的前通道元件的最远端。
146、如权利要求145所述的在封闭容器内分配压差的方法，还包括在所述气流空间内形成一速度梯度的步骤，该速度梯度关于一平面基本对称，该平面平分所述的气流空间内的最低速区，并且平分所述的前板通道元件的垂直高度。
147、一种压差分配封闭容器，包括；
a、基本为多边形几乎形状的平板组件，它具有至少一个顶板、一个前板、一个后板和一对侧板，从而从一外部空间确定一内部空间；
b、气流发生器，其中所述的气流发生器从所述外部空间向内部空间产生气流；
c、增压室，该增压室具有与增压空间和所述内部空间内的气流空间相邻的一穿孔增压板，其中所述穿孔增压板可将由所述气流发生器产生的具有第一运动方向的气流改变为与所述气流空间相邻的穿孔增压板的表面处的具有第二运动方向的气流，其中与所述气流空间相邻的穿孔增压板的表面处的第二运动方向的气流具有基本一致的速度。
148、如权利要求147所述的压差分配封闭容器，其特征在于所述的由气流发生器产生的气流具有第一运动方向，该方向包括一个与所述气流空间相邻的穿孔增压板的表面处的第二运动方向基本垂直的运动方向。
149、如权利要求148所述的压差分配封闭容器，其特征在于所述的由气流发生器产生的具有第一运动方向的气流包括一垂直气流。
150、如权利要求148所述的压差分配封闭容器，其特征在于所述的由气流发生器产生的具有第一运动方向的气流包括一水平气流。
151、如权利要求150所述的压差分配封闭容器，其特征在于所述的与所述气流空间相邻的穿孔增压板的表面处的具有第二运动方向的气流包括一垂直气流。
152、如权利要求149所述的压差分配封闭容器，其特征在于所述的与所述气流空间相邻的穿孔增压板的表面处的具有第二运动方向的气流包括一水平气流。
153、如权利要求147、148、149、150、151或152所述的压差分配封闭容器，其特征在于所述增压室具有包括一直角三角形的横截面，该直角三角形有一靠近所述气流发生器的底边和与底边相对的顶点，其中和所述底边相对的顶点有一10度左右到13度左右的角度，和所述底边相对的顶点具有被截去的尖顶，该截去的尖顶形成与所述底边相对的一边，其中直角三角形的斜边形成所述穿孔增压板的平面。
154、如权利要求153所述的压差分配封闭容器，其特征在于所述的由气流发生器产生的具有第一运动方向的气流包括具有气流速度为70英尺每分钟左右到100英尺每分钟左右的第一运动方向。
155、如权利要求154所述的压差分配封闭容器，其特征在于所述的底边长度为7.5英寸左右，形成与所述的底边相对一边的截去的尖顶长度为1.5英寸左右。
156、如权利要求155所述的压差分配封闭容器，其特征在于所述的与所述气流空间相邻的穿孔增压板的表面处的具有第二运动方向的气流具有25英尺每分钟左右到45英尺每分钟左右的速度。
157、一种在封闭容器内分配压差的方法，包括步骤：
a、提供平板组件，它具有至少一个顶板、一个前板、一个后板和一对侧板，其中提供的平板组件从外部空间确定一内部空间；
b、用穿孔增压板确定增压空间和气流空间，其中第一穿孔增压表面与所述增压空间相邻接，第二穿孔增压表面与所述气流空间相邻接；
c、产生从所述外部空间流向装有气流发生器的增压空间的气流；
d、从所述气流发生器向所述增压空间排放气流，其中所述气流具有第一运动方向；
e、将所述的具有第一运动方向气流改变为与所述气流空间相邻的穿孔增压板的表面处的具有第二运动方向的气流；
a、形成与所述气流空间相邻的第二穿孔增压表面处的具有基本上速度一致的气流。
158、如权利要求157所述的在封闭容器内分配压差的方法，其特征在于，将所述的具有第一运动方向气流改变为与所述气流空间相邻的穿孔增压板的表面处的具有第二运动方向气流的步骤，包括产生具有第二运动方向的气流，该气流基本上垂直于所述具有第一运动方向的气流。
159、如权利要求158所述的在封闭容器内分配压差的方法，其特征在于，从所述气流发生器向所述增压空间排放气流的步骤，其中所述具有第一运动方向的气流包括将所述气流以垂直方向排放。
160、如权利要求158所述的在封闭容器内分配压差的方法，其特征在于，从所述气流发生器向所述的增压空间排放气流的步骤，其中所述具有第一运动方向的气流包括将所述气流以水平方向排放。
161、如权利要求160所述的在封闭容器内分配压差的方法，其特征在于，将所述的具有第一运动方向气流改变为与所述的气流空间相邻的穿孔增压板的表面处的具有第二运动方向的气流的步骤，包括将所述气流改变为垂直方向。
162、如权利要求159所述的在封闭容器内分配压差的方法，其特征在于，将所述的具有第一运动方向气流改变为与所述的气流空间相邻的穿孔增压板的表面处的具有第二运动方向的气流的步骤，包括将所述气流改变为水平方向。
163、如权利要求158所述的在封闭容器内分配压差的方法，其特征在于，将所述的具有第一运动方向气流改变为与所述的气流空间相邻的穿孔增压板的表面处的具有第二运动方向的气流的步骤，包括将所述气流改变为垂直方向。
164、如权利要求157、158、159、160、161、162或163所述的在封闭容器内分配压差的方法，其特征在于，用穿孔增压板确定增压空间和气流空间的步骤，其中第一穿孔增压表面与所述增压空间相邻接，第二穿孔增压表面与所述气流空间相邻接，还包括使所述增压空间形成具有直角三角形的横截面，其中该直角三角形有一靠近所述的气流发生器的底边和与底边相对的顶点，其中和所述底边相对的顶点有一10度左右到13度左右的角度，和所述底边相对的顶点具有截去的尖顶，该截去的尖顶形成与所述的底边相平行的一边，其中直角三角形的斜边形成所述的穿孔增压板的平面。
165、如权利要求164所述的在封闭容器内分配压差的方法，其特征在于，使所述的增压空间形成具有直角三角形的横截面的步骤，其中该直角三角形有一靠近所述气流发生器的底边和与底边相对的顶点，其中和所述底边相对的顶点有一10度左右到13度左右的角度，和所述底边相对的顶点具有截去的尖顶，该截去的尖顶形成与所述底边相对的一边，其中直角三角形的斜边形成所述穿孔增压板的平面，还包括将底边长度确定为7.5英寸左右，与所述底边相平行一边的长度确定为1.5英寸左右。
166、如权利要求165所述的在封闭容器内分配压差的方法，其特征在于，从所述气流发生器向所述增压空间排放气流的步骤，其中所述具有第一运动方向的气流包括从所述气流发生器以70英尺每分钟左右到100英尺每分钟左右的速度排放所述气流。
167、如权利要求166所述的在封闭容器内分配压差的方法，其特征在于，形成与所述的气流空间相邻的第二穿孔增压表面处的具有基本上速度一致的气流的步骤包括形成速度为25英尺每分钟左右到45英尺每分钟左右的气流。
168、一种压差分配封闭容器，包括；
a、框架组件，具有至少一个顶板、一个前板、一个后板和一对侧板，其中所述框架组件确定一外部空间和一内部空间；
b、滤后气体排放部件，包括：
I、气流发生器，其中所述气流发生器从所述外部空间向所述内部
   空间产生气流；
II、气体过滤器，它响应于从所述外部空间向所述内部空间流动
   的气流；
c、增压室，该增压室具有一穿孔增压板，其中该增压室在内部空间内确定一基本垂直的增压空间和气流空间，其中所述的垂直增压空间和气流空间在所述的穿孔增压板的两面背对背相邻接，所述的穿孔增压板的表面与所述的气流空间的整个高度和宽度相邻接。
169、如权利要求168所述的在封闭容器内分配压差的方法，还包括一底板，其中所述底板具有0至20％左右穿孔表面区域。
170、如权利要求169所述的压差分配封闭容器，还包括一具有开口区域并与所述前板连接的前通道元件。
171、如权利要求170所述的在封闭容器内分配压差的方法，其特征在于，所述的垂直增压空间将滤后气流分配到与所述增压空间相邻的穿孔增压板的整个表面区域。
172、如权利要求171所述的在封闭容器内分配压差的方法，其特征在于，所述的垂直增压空间以基本上一致的速度将滤后气流分配到与所述的增压空间相邻的穿孔增压板的整个表面区域。
173、如权利要求172所述的在封闭容器内分配压差的方法，其特征在于，所述的垂直增压空间具有静态回复结构。
174、如权利要求173所述的压差分配封闭容器，还包括滤后气流干涉部件，包括：
I、具有一穿孔表面的底部气流干涉板；
II、具有一穿孔表面的顶部气流干涉板，其中所述底部气流干涉板和顶部气流干涉板可滑动地响应和调节并列设置的穿孔表面区域的多少。
175、如权利要求174所述的在封闭容器内分配压差的方法，其特征在于，所述的与前板连接的前通道元件设有一开口区域，该开口区域的宽度基本上与所述的气流空间的宽度相同，垂直高度为8英寸左右到13英寸左右。
176、如权利要求175所述的在封闭容器内分配压差的方法，其特征在于，所述的与前板连接的前通道元件设有一开口区域，该开口区域的宽度基本上与所述的气流空间的宽度相同，垂直高度为30英寸左右。
177、如权利要求175所述的在封闭容器内分配压差的方法，其特征在于，所述的与前板连接的前通道元件设有一开口区域，该开口区域的宽度基本上与所述的气流空间的宽度相同，垂直高度为8英寸左右到12英寸左右英寸，滤后气流速度75英尺每分钟左右到130英尺每分钟左右。
178、一种在封闭容器内分配压差的方法，包括步骤：
a、提供框架组件，该框架组件具有至少一个顶板、一个前板、一个后板和一对侧板，它确定一外部空间和内部空间；
b、形成一具有穿孔增压板的增压室，该穿孔增压板确定一垂直增压空间和有一水平流路的气流空间；
c、将所述的穿孔增压板和所述的水平流路的整个高度和宽度系相邻接；
d、从所述的外部空间向内部空间产生一气流；
e、过滤所述的气流；
f、将滤后气流从所述的垂直增压空间排放到所述的水平流路的整个高度和宽度。
179、如权利要求178所述的在封闭容器内分配压差的方法，还包括提供具有0到20％左右穿孔表面区域的底板的步骤。
180、如权利要求179所述的在封闭容器内分配压差的方法，还包括提供一和所述前板连接的前通道板的步骤，其中所述的前通道板具有一开口区域，该开口区的宽度基本上和所述的气流空间宽度相同，垂直高度为8英寸左右到13英寸左右。
181、如权利要求180所述的在封闭容器内分配压差的方法，还包括将所述滤后空气流分配到所述的穿孔增压板整个表面上的步骤。
182、如权利要求181所述的在封闭容器内分配压差的方法，还包括将所述的滤后空气流以基本一致的速度从所述的穿孔增压板整个表面上排放到在所述的气流空间内的水平流路的步骤。
183、如权利要求182所述的在封闭容器内分配压差的方法，还包括改变所述气流空间内水平流路的滤后气流量的步骤，其中改变水平流路内滤后气流量的步骤包括：
a、滑动第二穿孔板之上的第一穿孔板，其中所述的第一穿孔板和第二穿孔板响应于从所述增压空间流到气流空间的气流；
b、将所述的第一穿孔板的穿孔表面区域的一部分和所述的第二穿孔板的穿孔表面区域并列设置；
c、调节并列设置的穿孔表面区域的多少。
184、如权利要求183所述的在封闭容器内分配压差的方法，还包括在所述的前通道板处产生滤后气流，该前通道板具有基本上与所述气流空间宽度相同的宽度、垂直高度为8英寸左右到13英寸左右开口区，所述滤后气流在前通道板元件处的速度为75英尺每分钟左右到130英尺每分钟左右。
185、一种压差分配封闭容器，包括；
a、框架组件，具有一个顶板、一个前板、一个后板、一个底板和一对侧板，其中所述的框架组件确定一外部空间和一内部空间；
b、滤后气体排放部件，包括：
I、气流发生器，其中所述气流发生器从所述外部空间向所述内部
   空间产生气流；
II、气体过滤器，它响应于从所述外部空间向所述内部空间流动
   的气流；
c、构造一增压室，从气流空间确定一增压空间，它包括：
I、第一增压室，可以和所述的滤后气流排放部件流动地结合，
   其中所述第一增压室有确定第一增压空间和所述的气流空间
   内的垂直流路的第一穿孔增压板；
II、第二增压室，可以和所述的第一增压室流动地结合，其中
   所述的第二增压室有确定第二增压空间和所述的气流空间内
   的水平流路的第二穿孔增压板；
d、具有与所述底板邻近的开口区的前板通道元件，其中所述的开口区的宽度基本上与所述气流空间的宽度相同，高度为8英寸左右到13英寸左右；
e、从所述的第一增压空间到所述的垂直流路的气流；
f、从所述的第二增压空间到所述的水平流路的气流；
g、在所述的气流空间内的最低速区，该最低速区位于距离所述的前板通道元件的开口区的最远端。
186、如权利要求185所述的压差分配封闭容器，其特征在于，所述的第二穿孔增压板具有与所述的气流空间内的水平流路的整个高度和宽度相邻的表面区域。
187、如权利要求186所述的压差分配封闭容器，其特征在于，所述的第一增压空间将滤后气流分配到所述的第一穿孔增压板的整个表面区域。
188、如权利要求187所述的压差分配封闭容器，其特征在于，所述的第二增压空间将滤后气流分配到所述的第二穿孔增压板的整个表面区域。
189、如权利要求188所述的压差分配封闭容器，其特征在于，所述的第一穿孔增压板整个表面区域的滤后气流以基本一致的速度流入所述垂直流路。
190、如权利要求189所述的压差分配封闭容器，其特征在于，所述的第二穿孔增压板整个表面区域的滤后气流以基本一致的速度流入所述的水平流路。
191、如权利要求190所述的压差分配封闭容器，其特征在于，所述的第二增压空间具有静态回复形状。
192、如权利要求191所述的压差分配封闭容器，还包括一可调的滤后气流干涉板，该干涉板响应于从第一增压空间流向垂直流路的滤后空气流，包括：
I、具有一穿孔表面的第一滤后气流干涉板；
II、具有一穿孔表面的第二滤后气流干涉板，其中所述的第一气
   流干涉板和第二气流干涉板可滑动地响应改变所述内部空间内
   的垂直流路的气流量。
193、如权利要求192所述的压差分配封闭容器，还包括一前板通道元件，该前板通道元件将所述的水平流路和垂直流路内的滤后气流与所述的外部空间可流动的结合。
194、如权利要求193所述的压差分配封闭容器，其特征在于在所述的水平流路和垂直流路内的最低速区有一位置，该位置位于由所述的水平流路和垂直流路确定的气流空间内、距离所述的前通道板元件最远端处。
195、如权利要求197所述的在封闭容器内分配压差的方法，在所述的气流空间内还包括一速度梯度，该速度梯度关于一平面基本对称，该平面平分所述气流空间内的最低速区，并且平分所述前板通道元件的垂直高度。
196、一种在封闭容器内分配压差的方法，包括步骤：
a、从所述外部空间向由一基本上为多边形的平板组件确定的内部空间产生气流；
b、过滤所述的气流；
c、将滤后气流分配到具有第一穿孔增压板的第一增压室，该第一穿孔增压板的正反表面和第一增压空间及气流空间相邻接；
d、将滤后气流分配到具有第二穿孔增压板的第二增压室，该第二穿孔增压板的正反表面和第二增压空间及气流空间相邻接；
e、将滤后气流从第一增压空间排放到气流空间内的垂直流路；
f、将滤后气流从第二增压空间排放到气流空间内的水平流路；
g、在基本上与所述的基本成多边形的平板组件连接的通道元件处形成最高流速的滤后气流；
h、在所述气流空间内，距离所述通道元件的最远端区域形成最低流速的滤后气流。
197、如权利要求196所述的在封闭容器内分配压差的方法，还包括将所述滤后空气流分配到所述的第一穿孔增压板的整个表面上的步骤。
198、如权利要求197所述的在封闭容器内分配压差的方法，还包括将所述滤后空气流以基本一致的速度排放到所述垂直流路的步骤。
199、如权利要求198所述的在封闭容器内分配压差的方法，还包括将所述滤后空气流分配到所述的第二穿孔增压板的整个表面上的步骤。
200、如权利要求199所述的在封闭容器内分配压差的方法，还包括从与水平流路的整个高度和宽度相邻接的第二穿孔增压板排放滤后气流的步骤。
201、如权利要求200所述的在封闭容器内分配压差的方法，还包括以基本一致的速度从与所述水平流路的整个高度和宽度相邻接的第二穿孔增压板排放滤后空气流的步骤。
202、如权利要求201所述的在封闭容器内分配压差的方法，还包括将所述的第二增压空间构造为具有静态回复结构的步骤。
203、如权利要求202所述的在封闭容器内分配压差的方法，还包括改变所述气流空间内垂直流路滤后气流量的步骤，其中改变所述水平流路内的滤后气流量的步骤包括：
a、滑动第二穿孔板之上的第一穿孔板，其中所述的第一穿孔板和第二穿孔板响应于从所述增压空间流到气流空间的气流；
b、将所述的第一穿孔板的穿孔表面区域的一部分和所述的第二穿孔板的穿孔表面区域并列设置；
c、调节并列设置的穿孔表面区域的多少。
204、如权利要求203所述的在封闭容器内分配压差的方法，其特征在于，在基本上与所述的基本成多边形的平板组件连接的通道元件处形成最高流速的滤后气流的步骤包括形成具有速度为75英尺每分钟左右到130英尺每分钟左右速度的滤后气流。
205、如权利要求204所述的在封闭容器内分配压差的方法，还包括在所述的气流空间内形成一速度梯度的步骤，该速度梯度关于一平面基本对称，该平面平分距离所述的通道元件的最远端区域和所述通道元件的垂直高度。
206、一种压差分配封闭容器，包括；
a、框架组件，其中所述框架组件确定一外部空间和一内部空间；
b、滤后气体排放部件，包括：
I、气流发生器，其中所述气流发生器从所述外部空间向所述内部
   空间产生气流；
II、气体过滤器，它响应于从所述外部空间向所述内部空间流动
   的气流；
c、第一增压室，可以和所述滤后气流排放部件流动地结合，其中所述的第一增压室具有成形的第一穿孔增压板，将滤后气流从第一增压空间排放到所述内部空间内的工作空间；
d、第二增压室，它可以和所述的第一增压室流动地结合，其中所述的第二增压室具有成形的第二穿孔增压板，将滤后气流从第二增压空间排放到所述的工作空间，其中所述的第二穿孔增压板和所述的第一穿孔增压板在一顶点连接；
e、从所述的第一穿孔增压板和所述的第二穿孔增压板流向前板通道元件的滤后气流，其中，所述滤后气流有一速度梯度，该速度梯度关于一平面基本对称，该平面从所述的第一穿孔增压板和第二穿孔增压板连接处的顶点伸出并且平分所述的前板通道元件的高度。
207、一种在封闭容器内分配压差的方法，包括步骤：
a、从所述外部空间向由一基本上多边形的平板组件确定的内部空间产生气流；
b、过滤所述的气流；
c、将滤后气流分配到具有第一穿孔增压板的第一增压室，该第一穿孔增压板的正反表面和第一增压空间及气流空间相邻接；
d、将滤后气流分配到具有第二穿孔增压板的第二增压室，该第二穿孔增压板的正反表面和第二增压空间及气流空间相邻接；
e、将滤后气流从第一增压空间排放到气流空间内的垂直流路；
f、将滤后气流从第二增压空间排放到气流空间内的水平流路；
g、在基本上与所述的基本成多边形的平板组件连接的通道元件处形成最高流速的滤后气流；
h、在所述气流空间内，距离所述通道元件的最远端区域形成最低流速的滤后气流；
i、平衡从所述的第一增压空间流向垂直流路及从所述的第二增压空间流向水平流路的滤后气流，其中，所述平衡滤后气流有一速度梯度，该速度梯度关于一平面基本对称，该平面平分距离所述通道元件的最远端区域和所述通道元件的垂直高度。
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C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication