CN1311962C - 加热型真空压力加工装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种加热型真空压力加工装置。下侧固定框体和上侧移动框体形成为隔离室的侧壁，气密滑动机构以自由滑动方式嵌入安装在下侧固定框体或上侧移动框体的外周面的周部处并确保着下侧固定框体与上侧移动框体之间的气密性，因此采用这种构成方式，可以在由下侧固定框体、上侧移动框体、基台和安装板分割出的空间处形成为隔离室。包绕着被加工品用加热承载台的下侧固定框体，按照与承载台相距一定间隔的方式配置在基台上，上侧移动框体按照与挤压板相距一定距离且包绕着挤压板的方式，由该安装板处垂下设置。通过对隔离室实施真空吸气，使挤压板下降的方式，可以在高温真空条件下，使用低推力对位于承载台上的被加工品实施加热加压作业。

Description

加热型真空压力加工装置

技术领域

本发明涉及能够通过压力加工装置的动作形成隔离室，通过在该隔离室内形成高真空的方式，在真空加热条件下实施压力加工的装置，特别涉及适合于能够在高温下和极低的加压压力下实施压力加工的真空压力加工装置。

背景技术

本申请人在此之前，曾经就对诸如IC卡、印刷电路基板和偏振光透镜等等实施粘贴作业用的、在能够进行脱气的高真空条件下实施加热压接的真空压力加工装置提出过专利申请。比如说可以参见日本特开2002-96199号公报。然而，这种装置需要使形成隔离室的滑动框体与具有加热部的模具夹具直接接触，而设置在该框体处的密封衬垫(O型环)的耐热温度通常位于200℃左右的低温区域，所以不能在比该温度高的高温条件下实施加热加压作业的场合里使用。

对于这种场合，在先前技术中不得必须在具有设置有诸如浸入耐热油脂的密封衬垫的气密开闭门的大型且固定设置的真空装置内，进行这种高温压力加工作业，这必然要在装置内处于高温的条件下，通过开闭门进行制品的出入操作，所以不仅麻烦，甚至存在有危险。

另外，对于近年来向液晶面板粘贴偏振光薄膜、在触压型面板上粘贴偏振光薄膜的场合，需要避免对封装在薄板玻璃间的液晶面板施加过大的附加压力，而且在对于向比较薄的中空框体上粘贴薄膜的场合，或是粘贴陶瓷处于未硬化状态的胚片(green sheet)的场合等等中，柔软的粘贴材料在压力下会产生形状变化，所以进一步增加了对能够在极小的压力下实施粘贴的需求。而且，随着电子设备的进一步发展，形成复数的薄膜状的功能薄膜的叠层薄膜的需求也越来越高。对于为电容器用叠层薄膜的场合，如果在粘接剂和材料未被均匀加热的状态下通过比较大的压力实施加压作业，将会使内部的蒸镀膜产生龟裂，而且粘接剂的凸凹起伏也会使黏粘接对象的薄膜产生变形，所以需要在低压力下实施加热之后再在更高压力下实施密封粘接。

而且，在先前技术中的加热压接型真空压力加工装置在将被加工制品放置在承载台上或由承载台上取下时，必须要在上、下模具夹具打开的状态下进行，然而由于上下模具夹具具有高热的加热器，即使能够在加热状态下将其打开，由于间隔空间比较小，所以存在有会出现烫伤等等作业上的危险。

由此可见，上述现有的加热型真空压力加工装置在结构与使用上，显然仍存在有不便与缺陷，而亟待加以进一步改进。为了解决加热型真空压力加工装置存在的问题，相关厂商莫不费尽心思来谋求解决之道，但长久以来一直未见适用的设计被发展完成，而一般产品又没有适切的结构能够解决上述问题，此显然是相关业者急欲解决的问题。

有鉴于上述现有的加热型真空压力加工装置存在的缺陷，本发明人基于从事此类产品设计制造多年丰富的实务经验及专业知识，并配合学理的运用，积极加以研究创新，以期创设一种新型结构的加热型真空压力加工装置，能够改进一般现有的加热型真空压力加工装置，使其更具有实用性。经过不断的研究、设计，并经反复试作样品及改进后，终于创设出确具实用价值的本发明。

发明内容

本发明的目的就是提供一种即使对于需要在诸如300～400℃或更高温度下实施真空压力加工的场合，也不需要使用通过开闭门的打开操作进行制品的装入和取出作业的大型真空设备，而是可以通过压力加工装置的动作在上下模具夹具内部处内部形成具有高真空的窄小空间的隔离室，从而可以在高温下对被加工制品实施加热加压处理的加热型真空压力加工装置，并通过这种装置防止对作为形成隔离室的壁体的密封衬垫造成损坏。

而且，本发明的另一目的就是提供一种能够在由极低压力起的低加压压力下，实施加热压力加工的加热型真空压力加工装置。

而且，本发明的又一目的就是提供一种能够使将被加工制品放置在承载台上或由承载台上取下的作业，在不会产生烫伤等作业危险的状态下进行的加热型真空压力加工装置。

本发明人通过进一步的重点研究，还发现了可以实施进一步改善的若干实施形式。

换句话说就是，对于使用形成真空真空隔离室的真空加热装置对被加工品实施加压加工的场合，相对被加工品的压力施加加工用推进力，可以为隔壁形成部件、加热器、挤压板等在真空条件下的上部部件处施加比较大的重量，所以适用于需要对被加工品施加相当的重量，采用高加压压力的场合。

然而，诸如对于向薄膜电容器、薄膜电池、触摸型面板、液晶显示板处实施薄膜粘贴，以及向液晶玻璃实施偏振光薄膜粘贴的场合等等，由于粘贴材料容易破裂或损伤，不希望产生加压变形，并且不希望在粘接剂和硬化剂未充分热熔融的状态下实施高压加压作业。诸如对于处于陶瓷的半熟状态的胚片等柔软材料的粘贴，在高压下实施加压作业会出现由于所具有的黏粘度使其薄薄地延伸而不能形成均匀厚度等问题，所以需要在非常精细的极低加压压力下实施加热加压作业。

而且，采用不同的组件作为形成隔离室用的汽缸机构和对被加工品实施加压作业的加压用汽缸机构的真空压力加工装置，由于还通过上部加工部件和其安装板、汽缸杆等的重量和通过真空吸气在隔离室处施加外部气压等等施加着压力，所以不适合使用在需要通过如上所述的低推力，在实施精细的加压调整控制下对被加工品实施加热加压作业的场合。

本发明的另外一个目的就是，提供一种可以通过低推力实施所需要的精细加压调整控制，对被加工品实施加热加压作业的加热型真空压力加工装置。

本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本发明提出的一种加热型真空压力加工装置，其包括：(1)基台；(2)设置在基台上的、具有加热器的被加工品承载台；(3)按照与该承载台相距一定距离且包绕着该承载台的方式，设置在该基台上的下侧固定框体；(4)与该承载台相对设置的、具有加热器的挤压板；(5)垂下设置有该挤压板的安装板；(6)使该安装板和挤压板上下移动用的安装板·挤压板驱动机构，为使该安装板和挤压板朝向下侧方向移动以使该挤压板对位于该承载台上的被加工品实施压力用的驱动装置；(7)按照与该挤压板相距一定距离且包绕着该挤压板的方式，由该安装板处垂下设置的上侧移动框体，该上侧移动框体和该下侧固定框体上的开放端面彼此相对，且上侧移动框体可以相对下侧固定框体沿上下方向作接近、离开运动；(8)确保下侧固定框体与上侧移动框体之间的气密性用的气密滑动机构，通过该气密滑动机构在由下侧固定框体、上侧移动框体、基台和安装板分割出的空间处形成为隔离室；(9)对气密滑动机构实施驱动用的滑动驱动机构，该气密气密滑动驱动机构通过滑动气密滑动驱动机构的滑动运动形成该隔离室；以及(10)与真空装置相连接的吸气孔，该吸气孔是在该隔离室处形成开口以构成，且通过该吸气孔用于对该隔离室实施真空吸气。

本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。

前述的加热型真空压力加工装置，其中所述的气密滑动机构由设置在下侧固定框体的上侧端部处端部的气密滑动部和设置在上侧移动框体的对应下侧端部处端部的气密滑动部构成，通过在下侧固定框体上侧端部处端部的气密滑动部和上侧移动框体下侧端部处端部的气密滑动部间的气密性滑动运动，确保下侧固定框体与上侧移动框体之间的气密性，使用所述安装板·挤压板驱动机构并用作为所述滑动机构。

前述的加热型真空压力加工装置，其中所述的气密滑动机构为以可上下自由滑动方式，嵌入安装在下侧固定框体或上侧移动框体中一个的外侧周面外周面的周部处的滑动框体，该滑动驱动机构为驱动该滑动框体上下滑动移动的滑动驱动机构，通过使用该滑动驱动机构使滑动框体滑动移动的方式，确保下侧固定框体、滑动框体和上侧移动框体之间的气密性，并且在由下侧固定框体、滑动框体、上侧移动框体、基台、安装板分割成的空间处形成隔离室。

前述的加热型真空压力加工装置，其中所述的挤压板与所述安装板·挤压板驱动装置相连接，当该挤压板朝向下侧移动时，安装板和上侧移动框体将随之朝向下侧移动，在压力加工位置处使上侧移动框体与下侧固定框体的开放端面彼此抵接，随后通过该驱动装置进一步使该挤压板朝向下侧移动以实施压力加工，反之当通过该驱动装置使该挤压板朝向上侧移动时，通过该挤压板使上侧移动框体组件和安装板朝向上侧移动。

前述的加热型真空压力加工装置，其中所述的安装板·挤压板驱动装置由高推力驱动装置和低推力驱动装置构成，当所述挤压板朝向下侧移动时，上侧移动框体和安装板将随之朝向下侧移动，在压力加工位置处使上侧移动框体与下侧固定框体的开放端面彼此抵接，通过该低推力驱动装置进一步使该挤压板朝向下侧移动以实施压力加工，反之当隔离室的真空状态被破坏之后，通过高推力驱动装置使该挤压板朝向上侧移动时，通过该挤压板使该上侧移动框体和该安装板朝向上侧移动。

前述的加热型真空压力加工装置，施力组件施力装置向上施力至所述挤压板，当该挤压板与被加工品相抵接时，在该施力组件施力装置的作用下，使真空状态下的挤压板和所述加热器的重量不施加在被加工品上。

前述的加热型真空压力加工装置，其中所述的施力组件施力装置为平衡弹簧。

前述的加热型真空压力加工装置，其中所述的高推力驱动装置和所述低推力驱动装置分别为高推力汽缸机构和低推力汽缸机构，所述施力组件施力装置为背压汽缸机构，而且该高推力汽缸机构、该低推力汽缸机构和该背压汽缸机构配置在同一轴上。

前述的加热型真空压力加工装置，其中所述的驱动装置为伺服电动机机构。

前述的加热型真空压力加工装置，其中所述的下侧固定框体的外面形状与所述上侧移动框体的外面形状大体相同，所述滑动框体的内侧面内面与所述下侧固定框体的外侧面外面和所述上侧移动框体的外侧面外面间可实施气密性滑动运动。

前述的加热型真空压力加工装置，其中所述的下侧固定框体和所述上侧移动框体中的一个开放端面开放端部的外方向部位处外方向部设置有台阶部，所述滑动框体的端部通过滑动与该台阶部处台阶部气密性抵接。

前述的加热型真空压力加工装置，其中所述的滑动驱动机构安装在所述基台处，所述滑动框体通过连接杆在该滑动驱动机构的作用下上下运动。

前述的加热型真空压力加工装置，其中所述的承载台和下侧固定框体通过滑动工作台置安装在基台上，所述滑动框体以可上下滑动的方式，嵌入安装在下侧固定框体的外侧周面外周面的周部处，该滑动工作台可通过滑动工作台移动单元，将设置在该承载台上的被加工品在被加工品设置位置和对该被加工品实施压力加工的压力加工待机位置间移动。

前述的加热型真空压力加工装置，其中所述的承载台、所述下侧固定框体、所述滑动框体、所述滑动工作台上的台面板构成为组合体，固定在滑动工作台移动单元处，该组合体可通过该滑动工作台移动单元，在所述被加工品设置位置与压力加工待机位置之间移动。

前述的加热型真空压力加工装置，其中所述的连接杆通过所述台面板保持在所述基板上，所述滑动驱动机构具有位于基台之下朝向上部突出的突起杆，所述组合体在处于压力加工待机位置时，可利用该滑动驱动机构使该连接杆在该突起杆的作用下，使所述滑动框体朝向上方移动。

前述的加热型真空压力加工装置，具有加热器的所述承载台通过第一支撑杆，被支撑在与所述基台离开的位置处，具有加热器的所述挤压板通过第二支撑杆，被支撑在与所述安装板离开的位置处。

前述的加热型真空压力加工装置，具有加热器的所述承载台通过第一支撑杆，被支撑在与所述台面板离开的位置处，具有加热器的所述挤压板通过第二支撑杆，被支撑在与所述安装板离开的位置处。

本发明与现有技术相比具有明显的优点和有益效果。由以上技术方案可知，为了达到前述发明目的，本发明的主要技术内容如下：

如果采用根据本发明构造的加热型真空压力加工装置，可以通过该滑动驱动机构，由气密滑动机构确保下侧固定框体与上侧移动框体之间的气密性，在由下侧固定框体、上侧移动框体、基台、安装板分割出的空间处形成隔离室，而且可以通过与真空装置相连接的吸气孔对该隔离室实施真空吸气，通过安装板·挤压板驱动装置在加热真空条件下，对放置在承载台处的被加工品实施压力加工作业。

根据本发明构造的加热型真空压力加工装置，可以使形成隔离室用的框体(下侧固定框体、上侧移动框体、气密滑动机构)按照与具有加热器的加热部相距一定间隔的方式配置，所以不会直接受到处于高热状态的加热部的影响。因此，根据本发明构造的加热型真空压力加工装置，可以在诸如300～400℃或更高温度下实施真空压力加工。作为本发明的一种更具体的实施形式，还可以使具有保持隔离室内部气密性用的O型环之类的密封衬垫的隔离室形成用的框体，设置在不与加热部相接触，与加热部相分离的位置处，从而不会受到处于高热状态的加热部的直接影响。

而且，可以相对于基台对安装板实施加工，从而可以利用基台、安装板、下侧固定框体和上侧移动框体形成真空真空隔离室，将形成隔离室的上下宽度和隔离室的平面形状限制为最小，以形成非常窄小的真空用隔壁。因此，与在先前技术中的装置相比较，可以使真空泵小型化，进而可以形成主体装置被大幅度小型化、轻型化的装置。

如果举例来说，本发明特别适用于以下述加工作业作为对象的场合。

①如同对于在粘贴在陶瓷板上的薄型铜板处或在不锈钢板处形成腐蚀加工电路的表面处，对诸如聚酰亚胺等等的耐热薄膜通过诸如耐热粘接剂和聚酰亚胺等的同质材料实施熔融粘接的场合，对耐热温度比较高的多功能薄膜叠层板实施的粘贴作业；

②以在陶瓷板上形成多数个呈薄膜叠层状的电容器和电阻器等等的芯片，以及在其上熔融包绕有热硬化型粉体树脂的封装型模块为目的的粉体成型作业；

③对各种工程塑料在真空条件下实施的加热压力成型作业。

经由上述可知，本发明是关于一种具有窄小真空真空隔离室的、不会对密封衬垫造成损伤且能够在真空真空隔离室内实施真空条件下的加热加压作业的加热型真空压力加工装置。下侧固定框体和上侧移动框体形成为隔离室的侧壁，气密滑动机构确保着下侧固定框体与上侧移动框体之间的气密性，因此采用这种构成方式，可以在由下侧固定框体、上侧移动框体、基台和安装板分割出的空间处形成为隔离室。包绕着被加工品用加热承载台的下侧固定框体，按照与承载台相距一定间隔的方式配置在基台上，上侧移动框体按照与挤压板相距一定距离且包绕着挤压板的方式，由该安装板处垂下设置。通过对隔离室实施真空吸气，使挤压板下降的方式，可以在高温真空条件下，使用低推力对位于承载台上的被加工品实施加热加压作业。这种装置适用于对耐热温度比较高的多功能薄膜叠层板实施粘贴等等的作业场合。

借由上述技术方案，本发明特殊结构的加热型真空压力加工装置，其具有上述诸多的优点及实用价值，并在同类产品中未见有类似的结构设计公开发表或使用而确属创新，其不论在结构上或功能上皆有较大的改进，在技术上有较大的进步，并产生了好用及实用的效果，且较现有的加热型真空压力加工装置具有增进的多项功效，从而更加适于实用，而具有产业的广泛利用价值，诚为一新颖、进步、实用的新设计。

上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并为了让本发明的上述和其他目的、特征和优点能更明显易懂，以下特举多个较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。

附图说明

图1为表示作为根据本发明构造的加热型真空压力加工装置的第一实施形式用的部分剖面的示意性整体正面图。

图2为表示作为根据本发明构造的加热型真空压力加工装置的第二实施形式用的部分剖面的示意性整体正面图。

图3为说明如图2所示装置的运行动作用的示意性说明图，表示的是真空腔室隔离室处于形成状态时的示意图。

图4为说明如图2所示装置的运行动作用的示意性说明图，表示的是被加工品处于加热加压状态时的示意图。

图5为表示作为根据本发明构造的加热型真空压力加工装置的第三实施形式用的部分剖面的示意性整体正面图。

图6为表示作为根据本发明构造的加热型真空压力加工装置的第四实施形式用的部分剖面的示意性整体正面图。

图7为表示作为根据本发明构造的加热型真空压力加工装置的第五实施形式用的部分剖面的示意性整体正面图。

图8为说明如图7所示装置的运行动作用的示意性说明图，其中图8a和图8b分别表示的是形成真空腔室隔离室用的工序和上侧移动框体的下侧端面与下侧固定框体的上侧端面相互抵接以实施真空吸气用的工序。

图9为说明如图7所示装置的运行动作用的示意性说明图，其中图9a和图9b分别表示的是对被加工品实施加压用的工序和将安装板提起用的工序。

图10为表示作为根据本发明构造的加热型真空压力加工装置的第六实施形式用的部分剖面的示意性整体正面图。

图11为说明如图10所示装置的运行动作用的示意性说明图，其中图11a和图11b分别表示的是形成真空腔室隔离室用的工序和上侧移动框体的下侧端面与下侧固定框体的上侧端面相互抵接以实施真空吸气用的工序。

图12为说明如图10所示装置的运行动作用的示意性说明图，其中图12a和图12b分别表示的是对被加工品实施加压用的工序和将安装板提起用的工序。

图13为表示作为根据本发明构造的加热型真空压力加工装置的第七实施形式用的部分剖面的示意性整体正面图。

具体实施方式

为更进一步阐述本发明为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对依据本发明提出的加热型真空压力加工装置其具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。

(1)基台，被加工品承载台

被加工品承载台由其上面包含有设置通常呈薄板状的被加工品用的设置面的承载台部，以及将该承载台部支撑在基台上的支撑杆构成。在支撑杆和承载台之间亦可以安装有隔热板。可以在承载台部内装有加热器，还可以使承载台表面部与位于其内侧的加热板粘贴形成为一体。

而且，可以将支撑杆固定在支撑板处，由支撑板与支撑杆和承载台构成为一体的组合体，从而可以通过支撑板将该组合体固定在基台处。采用这种构成方式，可以使将承载台固定至基台的作业简单化。

(2)挤压板，安装板，安装板·挤压板驱动装置，上侧移动框体

安装板·挤压板驱动装置可以固定在真空压力加工装置上诸如框体等等的机体处，并通过该驱动装置使安装板和挤压板上下运动。挤压板由安装板处垂下设置，上侧移动框体按照与挤压板相距一定距离且包绕着挤压板的方式由该安装板处垂下设置。“安装板·挤压板驱动装置”、“垂下设置”、“垂下”包括下述实施形式。

①使安装板直接与安装板·挤压板驱动装置相连接，并将挤压板和上侧移动框体直接固定在安装板处。

②将安装板·挤压板驱动装置动作连接在挤压板处，当挤压板朝向下侧移动时，使安装板随之朝向下侧移动，当挤压板通过该驱动装置朝向上侧移动时，使安装板随之朝向上侧移动。对于这种场合，固定在安装板处的上侧移动框体可以随安装板一并移动，也可以随挤压板一并移动。

挤压板可以通过支撑杆由安装板处垂下设置。在支撑杆与安装板之间，或是在支撑杆与挤压板之间还可以安装有放热板。对于为前者的场合，可以将安装板·挤压板驱动装置与该放热板相连接。挤压板可以内装有加热器，也可以使挤压板部与位于其内侧的加热板粘合为一体。

(3)吸气孔，真空装置

吸气孔可以通过真空装置对隔离室内部实施真空吸气的话，举例来说，可以设置在构成隔离室的安装板、基台、上侧移动框体、下侧固定框体、滑动框体的任意一处。

下面，以举例形式给出了根据本发明构造的加热型真空压力加工装置的若干最佳实施形式。对这些构成形式根据需要进行组合获得的实施形式不会产生特别的矛盾，它们也是本发明的最佳实施形式。

(1)使所述气密滑动机构由设置在下侧固定框体的上侧端部处端部的气密滑动部和设置在上侧移动框体的对应下侧端部处端部的气密滑动部构成，可以通过在下侧固定框体上侧端部处端部的气密滑动部和上侧移动框体下侧端部处端部的气密滑动部间的气密性滑动运动，确保下侧固定框体与上侧移动框体之间的气密性，所述安装板·挤压板驱动机构并用作为所述滑动机构。气密滑动部的形状只要能够确保在下侧固定框体上侧端部处端部的气密滑动部和上侧移动框体下侧端部处端部的气密滑动部间的气密性滑动运动即可，本发明并未限制为特定的形状。如果举例来说，可以呈凹部和凸部的组合构成形式。对于这种场合，可以利用形成隔壁的下侧固定框体和上侧移动框体构成气密滑动机构，所以还可以使装置的构造简单化。

(2)还可以使气密滑动机构为以可上下自由滑动方式，嵌入安装在下侧固定框体或上侧移动框体中一个的外侧周面外周面的周部处的滑动框体，该滑动驱动机构为驱动该滑动框体上下滑动移动的滑动驱动机构，通过使用该滑动驱动机构使滑动框体滑动移动的方式，可以确保下侧固定框体、滑动框体和上侧移动框体之间的气密性，并且可以在由下侧固定框体、滑动框体、上侧移动框体、基台、安装板分割成的空间处形成隔离室。

仅仅使滑动框体以可上下自由滑动的方式，嵌入安装在下侧固定框体或上侧移动框体中一个的外侧周面外周面的周部处，在这种状态下不能形成真空吸气的隔离室。可以通过使用滑动驱动机构使该滑动框体向上或向下滑动移动的方式，确保下侧固定框体、滑动框体和上侧移动框体之间的气密性，从而可以在由下侧固定框体，滑动框体，上侧移动框体、基台、安装板分割成的空间处形成隔离室。

如果采用作为本实施形式的加热型真空压力加工装置，可以通过该滑动驱动机构驱动该滑动框体滑动移动的方式，确保下侧固定框体、滑动框体和上侧移动框体之间的气密性，并且在由下侧固定框体、滑动框体、上侧移动框体、基台、安装板分割成的最小空间处形成隔离室，从而可以通过与真空装置相连接的吸气孔对该隔离室实施真空吸气，在真空加热状态下，通过安装板·挤压板驱动装置对放置在承载台处的被加工品实施压力加工。

可以至少使位于滑动框体的开放端部处端部的内周面，呈可以相对相应的上侧移动框体或下侧固定框体的外周面紧密滑动的构成形状。对于这种场合，可以在相对应的上侧移动框体或下侧固定框体的外周面的开放端部处端部设置有台阶部，并且使滑动框体的内周面呈可以相对该台阶部的外周面紧密滑动的构成形状。如果举例来说，可以在上述上侧移动框体的下端部处端部形成台阶部，滑动框体上升时不与上侧移动框体的外周面滑动连接，而是使滑动框体的上端部与该台阶部滑动凸凹连接。还可以在滑动框体侧设置台阶部，以与上侧移动框体或下侧固定框体的开放端部气密性滑动。

滑动框体驱动装置可以安装在诸如基台或基台上方处的框体处，并且由与滑动框体相连接或通过动作连接的连接杆，以及为使连接杆上下运动而压上或压下的汽缸等等驱动源构成。

(3)还可以使挤压板与安装板·挤压板驱动装置相连接，当该挤压板朝向下侧移动时，使上侧移动框体和安装板随之朝向下侧移动，在压力加工位置处使上侧移动框体与下侧固定框体的开放端面彼此抵接，随后通过该驱动装置进一步使该挤压板朝向下侧移动以实施压力加工，当通过该驱动装置使该挤压板朝向上侧移动时，上侧移动框体和安装板将在挤压板的作用下朝向上侧移动。

如果采用本实施形式，安装板、上侧移动框体的重量和对隔离室实施真空吸气所形成的外压施加的重量，将通过下侧固定框体施加在基台处。对于这种场合，还可以通过使安装板·挤压板驱动装置预先产生一定负压(背压)的方式，对安装板、挤压板、上侧移动框体的重量和对隔离室实施真空吸气所形成的外压施加重量实施支撑，从而不需要可以通过与该负压间形成的压差，对被加工品实施真空压力加工。因此，可以通过安装板·挤压板驱动装置，在低加压条件下对挤压板相对被加工品的推进力实施微小调整。

(4)所述安装板·挤压板驱动装置可以由高推力驱动装置和低推力驱动装置构成，当所述挤压板朝向下侧移动时，上侧移动框体和安装板将随之朝向下侧移动，在压力加工位置处使上侧移动框体与下侧固定框体的开放端面彼此抵接，通过该低推力驱动装置进一步使该挤压板朝向下侧移动以实施压力加工，反之当隔离室的真空状态被破坏之后，通过高推力驱动装置使该挤压板朝向上侧移动，且通过该挤压板使该上侧移动框体和该安装板朝向上侧移动。

还可以使安装板·挤压板驱动装置采用分别具有使挤压板、上侧移动框体和安装板朝向上侧移动的高推力驱动装置，和实施压力加工的低推力驱动装置这两种功能的推进力驱动装置，所以可以在上述实施形式(3)所具有的技术效果之上，还具有使装置整体的作业平滑，并且能够在低压下对挤压板相对被加工品的推进力实施微小调整的效果。

(5)还可以使挤压板在施力组件施力装置的作用下承受向上的施力，当该挤压板与被加工品相抵接时，在该施力组件施力装置的作用下，使真空状态下的挤压板和所述加热器的重量不施加被加工品上。

当该挤压板与被加工品抵接时，在该施力组件施力装置的作用下，不会将挤压板和所述加热器的重量施加在被加工品上，所以可以通过低推力驱动装置在低压力施加的条件下，对挤压板相对被加工品的推进力实施精度更加良好的微小调整。

(6)施力组件施力装置可以为平衡弹簧。对于这种场合，具有加热器的挤压板可以由平衡弹簧提起，平衡弹簧实施与下降距离相吻合的初始调整，进而可以使当该挤压板与被加工品预先抵接时，在该施力组件施力装置作用下不使真空条件下的挤压板和所述加热器的重量施加在被加工品处。

(7)高推力驱动装置和低推力驱动装置可以分别为高推力汽缸机构和低推力汽缸机构，而且可以将高推力汽缸机构和低推力汽缸机构配置在同一轴上。采用使用该高推力汽缸机构和低推力汽缸机构，且使它们配置在同一轴上的方式，可以使真空压力加工装置的构成简单化。

(8)施力组件施力装置可以为背压汽缸机构，而且高推力驱动装置和低推力驱动装置分别为高推力汽缸机构和低推力汽缸机构，高推力汽缸机构、低推力汽缸机构和背压汽缸机构配置在同一轴上。采用这种构成方式，可以使能够在施加低压力的条件下，对挤压板相对被加工品的推进力实施精度更加良好的微小调整的真空压力加工装置的构成要素简单化。

(9)还可以使驱动装置为伺服电动机机构。可以仅仅通过对伺服电动机机构的设定，使高推力驱动装置和低推力驱动装置统一运动，所以可以获得上述实施形式(4)～(6)的技术效果。

(10)可以使下侧固定框体的外面形状与所述上侧移动框体的外面形状大体相同，使所述滑动框体的内侧面内面与所述下侧固定框体的外侧面外面和所述上侧移动框体的外侧面外面间可实施气密性滑动运动。采用这种构成方式，滑动框体可以在下侧固定框体和上侧移动框体间平滑地滑动。下侧固定框体的外面形状与上侧移动框体的外面形状可以呈大体相同的圆筒形状，而且所述滑动框体的内侧面内面与所述下侧固定框体的外侧面外面可以呈能够与所述上侧移动框体的外侧面外面间实施气密性滑动的圆筒形状。

(11)还可以在下侧固定框体和上侧移动框体中的一个开放端面开放端部的外方向部位处外方向部设置有台阶部，所述滑动框体的端部通过滑动与该台阶部处台阶部气密性抵接。采用这种构成方式，可以仅仅对台阶部按照能够与滑动框体间实现气密性滑动的方式实施加工，所以可以通过更简单的方式形成气密构成。

(12)滑动驱动机构可以安装在基台处，使滑动框体通过连接杆在该滑动驱动机构的作用下上下运动。对于这种场合，隔离室形成前的滑动框体位于下侧固定框体侧或上侧移动框体侧中的一个位置处，在隔离室形成时使滑动框体朝向上侧方向或下侧方向移动。

(13)还可以使承载台和下侧固定框体通过滑动工作台置安装在基台上，所述滑动框体以可上下滑动的方式，嵌入安装在下侧固定框体的外侧周面外周面的周部处，该滑动工作台可以通过滑动工作台移动单元，将设置在该承载台上的被加工品在被加工品设置位置和对该被加工品实施压力加工的压力加工待机位置间移动。如果采用这种构成方式，可以在位于压力加工待机位置外侧的被加工品设置位置处，实施被加工品相对承载台的供给和取出作业，所以可以在更广阔和安全的场所，迅速且容易地实施对被加工品的供给和取出。

(14)还可以使承载台、下侧固定框体、滑动框体、滑动工作台上的台面板构成为组合体，固定在滑动工作台移动单元处，该组合体可以通过该滑动工作台移动单元，在被加工品设置位置与压力加工待机位置之间移动。利用具有这种构成形式的组合体，可以通过简单的方式使被加工品在被加工品设置位置与压力加工待机位置之间移动。

(15)还可以使所述连接杆通过所述台面板保持在所述基板上方，所述滑动驱动机构具有位于基台之下朝向上部突出的突起杆，所述组合体在处于压力加工待机位置时，可利用该滑动驱动机构使该连接杆在该突起杆的作用下，使所述滑动框体朝向上方移动。

(16)还可以使具有加热器的所述承载台通过第一支撑杆，被支撑在与所述基台离开的位置处，使具有加热器的所述挤压板通过第二支撑杆，被支撑在与所述安装板离开的位置处。

(17)还可以使具有加热器的所述承载台通过第一支撑杆，被支撑在与所述台面板离开的位置处，使具有加热器的所述挤压板通过第二支撑杆，被支撑在与所述安装板离开的位置处。

(18)还可以使第一支撑杆通过隔热板支撑在所述基台处，使该第二支撑杆通过隔热板支撑在所述安装板处。

下面参考附图，对根据本发明构造的装置的实施形式进行说明。

请参阅图1所示，为表示作为根据本发明构造的加热型真空压力加工装置的一种实施形式的整体用的部分剖面的示意性正面图。如图所示，在基台1的上侧方向处，通过支撑柱2固定着机架部3，在机架部3的上侧处固定着汽缸机构4。汽缸机构4由汽缸4-1，以可滑动方式收装在汽缸4-1内的活塞4-2，以及与活塞4-2相连接的杆型部件4-3构成，杆型部件4-3的下侧端部还通过机架部3，固定在处于水平状态的安装板5的中心部处。通过垂直固定着的若干个支撑杆6，在该安装板5的下侧处还依次固定有隔热板7、上侧加热板8和挤压板9。采用这种构成方式，可以通过上述汽缸机构4的运行，使处于水平状态的挤压板9上下运动。

在基台1的上方处，还如图所示，通过支撑杆6安装有作为下侧模具夹具的承载台10、下侧加热板11和隔热板12，承载台10与作为位于正上方的上侧模具夹具的挤压板9相对设置。承载台10的上侧面沿前后左右比挤压板9的下侧面更为宽大。

下侧固定框体(下侧框体)13呈构成平面方形(或圆形)的筒形形状，按照由外侧包绕着上述承载台10的方式，在与该承载台10相距一定距离的位置处直立固定设置在基台1上。下侧固定框体13构成为如后所述的真空真空隔离室25的下侧壁部。

上侧移动框体(上侧框体)14按照由外侧包绕着挤压板9的方式，在与挤压板9相距一定距离的位置处垂直固定在安装板5的下侧面处。上侧移动框体可以在汽缸机构4的驱动作用下，与挤压板9共同进行上下运动。上侧移动框体14呈与上述下侧固定框体13大体吻合的形状和大小的筒形形状，并且使上侧移动框体14的下侧端面与下侧固定框体13的上侧端面彼此相对。上侧移动框体14构成为如后所述的真空真空隔离室25的上侧壁部。

确保下侧固定框体与上侧移动框体间的气密性用的气密滑动机构，由设置在下侧固定框体13的上侧端部面处的气密滑动部13a，和设置在上侧移动框体14的相对下侧端部面处的气密滑动部14a构成，通过下侧固定框体上侧端部面处的气密滑动部13a和上侧移动框体下侧端部面处的气密滑动部14a间的气密滑动，可以确保下侧固定框体和上侧移动框体间的气密性。对于采用本实施形式的场合，是采用汽缸机构4，一并作为驱动气密滑动机构用的滑动驱动机构的。

在本实施形式中，空气吸气孔22为在位于上方的安装板5的一部分处形成的开口，该吸气孔22与诸如油泵等等的真空泵(图中未示出)相连接，当形成如后所述的隔离室25时，可以对该隔离室25内的空气实施吸引以形成高真空。

为了能够提高隔离室25的气密性，在下侧固定框体13和上侧移动框体14的需要部位处，还设置有诸如浸入有油脂的O型环24等等的密封衬垫，在下侧固定框体13和上侧移动框体14的内面处配置有诸如陶瓷板等等的隔热板26。对于本实施形式，在基台1和安装板5间还配置有支撑板27。

采用具有上述构成形式的加热型真空压力加工装置，对于诸如在电路基板上使用耐热型粘接剂对耐热薄膜实施粘贴的场合等等的，在承载台10上通过高温加热加压，在高真空状态下对被加工品23实施压力加工的场合，可以首先对汽缸机构4实施驱动使安装板下降，通过使设置在下侧固定框体上侧端部面处的气密滑动部13a的一部分，与设置在上侧移动框体下侧端部面处的气密滑动部14a的一部分间气密性滑动的方式，确保下侧固定框体和上侧移动框体间的气密性，并且形成由基台1、安装板5、下侧固定框体13和上侧移动框体14包绕着的隔离室25。对于这种状态，挤压板9还未与被加工品23相接触。而且在实施压力加工之前，可通过汽缸机构形成的负压，对包含安装板的上部部件的重量实施支撑。

在形成隔离室25的同时，真空泵(图中未示出)通过安装板5处的空气吸气孔22实施真空吸气，以在隔离室25内形成高真空，并且通过汽缸机构的进一步动作，使设置在上侧移动框体下侧端部面处的气密滑动部14a在设置在下侧固定框体上侧端部面处的气密滑动部13a处滑动，同时使挤压板9下降。最后，挤压板9在高真空状态下对位于承载台10上的被加工品23实施加压处理。采用这种方式，可以通过加热至高温(比如说300～400℃)的上侧、下侧加热板8、11实施的热传导，在加热状态下实施加压处理，从而可以按照诸如完全不含有气泡的方式将耐热薄膜热压接在电路基板上，对被加工品23实施预定的压力加工作业。

如果采用本实施形式，可以在隔离室处于高真空的状态下对热传导实施真空阻断，使下侧固定框体13和上侧移动框体14处的各密封衬垫24与加热板8、11处分开，并且使用有隔热板26，所以密封衬垫不会到达高温。即使加热部达到诸如300～400℃，密封衬垫部24也会处于200℃以下，所以可以充分的利用采用诸如氟化橡胶等等的常规耐热橡胶衬垫时所可以发挥出的技术效果。

在真空加热压力加工处理结束后，将真空吸气孔朝向外部大气打开，随后通过驱动装置4向上侧提起包含安装板5的上部移动部件，打开隔离室25，取出实施压力加工后的制品，再放置入需要加工的被加工品，重复上述操作。

请参阅图2、图3和图4所示。图2为表示作为根据本发明构造的加热型真空压力加工装置的第二实施形式的整体用的部分剖面的示意性正面图。图3和图4为说明其动作用的示意性说明图。与图1中的部件为相同或类似的部件，附加有相同的参考标号，并省略了对其进行的详细说明。

在本实施形式中，气密滑动机构是以可以沿上下方向自由滑动的方式，嵌入安装在下侧固定框体13的外侧周面外周面的周部处的滑动框体15，滑动驱动机构是可以使该滑动框体上下滑动移动的滑动驱动机构16，通过该滑动驱动机构16对滑动框体15实施的滑动驱动，可以确保在下侧固定框体13、滑动框体15和上侧移动框体14间的气密性，并且可以利用由下侧固定框体13、滑动框体15、上侧移动框体14、基台1、安装板5包绕成的空间形成隔离室25。采用本实施形式，在下侧固定框体的上侧端部面和上侧移动框体的相对下侧端部面处，将不再需要如图1所示的气密滑动机构。

如果更具体的说就是，向上挤压用汽缸机构16配置在基台1的下侧方向处，并且由汽缸16-1，可以在汽缸16-1内滑动的活塞16-2，以及按照由其上侧端部固定在基台1的下侧面处、下侧端部呈平面方形的挤压板19处贯穿通过的方式固定在活塞16-2处的杆型部件16-3构成，而且，向上挤压用汽缸机构16与位于上侧的压力加工用汽缸机构4的轴心同轴设置。

四根连接杆20贯穿通过基台1，对形成在滑动框体15的下侧外边缘周部处的外向边缘21的四个角部和位于下侧方向处的挤压板19的四个角部实施连接。位于下侧方向处的向上挤压用汽缸机构16按照使驱动杆型部件16-3通过活塞16-2出入运行的方式，使挤压板19上下移动，并通过连接杆20，使滑动框体15沿下侧固定框体上下滑动。

采用具有上述构成形式的加热型真空压力加工装置，对于诸如在电路基板上使用耐热型粘接剂对耐热薄膜实施粘贴的场合等等的，在承载台10上通过高温加热加压，在高真空状态下对被加工品23实施压力加工的场合，可以首先使向上挤压用汽缸机构16动作，牵引杆型部件16-3，通过挤压板19、连接杆20，使滑动框体15沿下侧固定框体13的外侧周部滑动上升，在与上侧移动框体14的外侧周面外周面抵接之后，通过滑动上升的滑动框体15对下侧固定框体13和上侧移动框体间实施完全闭塞。采用这种方式，可以形成由基台1、安装板5、下侧固定框体13、上侧移动框体14和滑动框体15包绕着的隔离室25(参见图3)。正如图3所示，安装板5在朝上侧承受施力的状态下，沿垂直方向保持在一定位置处。

在形成隔离室的同时，真空泵(图中未示出)通过安装板5处的空气吸气孔22实施真空吸气(参见图3)，以在隔离室25内形成高真空，并且这一次是通过位于上方的汽缸机构动作，使挤压板9下降。当挤压板9下降时，上侧移动框体14沿着滑动框体15的内面密封滑动下降，最终在高真空状态下，由挤压板9对位于承载台10上的被加工品23实施加压处理。采用这种方式，可以通过由加热至高温(比如说300～400℃)的上侧、下侧加热板8、11实施的热传导进行加热状态下，实施加压处理，从而可以按照诸如完全不含有气泡的方式将耐热薄膜热压接在电路基板上，对被加工品23实施预定的压力加工作业(参见图4)。包含上侧移动框体和加热挤压板的上侧移动部的重量，是由在汽缸机构4实施压力切换时排气侧(活塞侧)的空气产生阻滞作用，使其缓缓排气和下降，或是在其下降的过程中实施支撑(实施排气阻塞)，也可以使活塞下侧处的油脂保持微速进入，或是在中途停止其进入(实施液体阻塞)。

如果采用本实施形式，可以使下侧固定框体13、上侧移动框体14和滑动框体15处的各密封衬垫24由加热板8、11处离开，并且使用有隔热板7、12和放热板26，所以密封衬垫不会到达高温。即使加热部达到诸如300～400℃，密封衬垫24也会处于200℃以下，所以可以充分的利用采用诸如氟化橡胶等等的常规耐热橡胶衬垫时所可以发挥出的技术效果。

请参阅图5所示，为表示作为根据本发明构造的加热型真空压力加工装置的第三实施形式用的示意图。当滑动框体在向上挤压用汽缸机构16的驱动下上升时，不与位于上侧的上侧移动框体14的外侧周面外周面相抵接，而是使相对形成在该上侧移动框体14的下侧端部的外周部处的台阶部14a与滑动框体15的上侧端部密封滑动抵接，并通过这种方式形成隔离室25。

当采用这种方式形成隔离室25时，由直立设置着的安装板5处的吸气孔22实施真空吸气的同时，在汽缸机构4的作用下使挤压板9下降。在这时，汽缸机构4也可以处于开放状态(off)。由于隔离室25的内部处内部于高真空状态，所以可以减小滑动框体15在自重的作用下下降的可能性，但是由于向上挤压用汽缸机构16持续的朝向滑动框体15上升的方向驱动，因此亦可以缓缓进行排气作业。由于汽缸机构4的压力远大于向上挤压用汽缸机构16，所以上侧移动框体14可以抑制向上挤压用汽缸机构16的作用，压下滑动框体15。

采用这种方式，可以在隔离室25的内部保持高真空的状态下，由挤压板9在高温加热状态下对放置在承载台10上的被加工品23实施加压处理，以对被加工品23实施诸如热压接等等的预定压力加工作业。

请参阅图6所示，为表示本发明第四实施形式用的示意图。第一实施形式至第三实施形式在由作为下侧模具夹具的承载台10上，对被加工品23实施供给和取出时，需要在挤压板朝向上侧回避开的状态下，在处于加热状态的挤压板和承载台之间进行。虽然其处于开放状态，然而该间隔空间相当小，仍有产生烫伤等等作业上的危险。如果采用本第四实施形式，设置在基台1上的承载台10和下侧加热板11、下侧固定框体13、滑动框体15等的下方组合体，可以被水平移动至位于压力加工待机位置A的外侧处的被加工品设置位置B处。因此，可以在更广阔和安全的被加工品设置位置处，迅速且容易地实现对被加工品23的供给和取出作业。

正如图6所示，滑动工作台31配置在位于基台1上的导向台32上，在上述导向台32的侧端部处端部安装有水平移动用汽缸33，而且水平移动用汽缸33的杆型部件前端固定在滑动工作台31的沿移动方向相反侧的端部处端部。通过对水平移动用汽缸33实施驱动的方式，可以使滑动工作台31在导向台32上，沿水平方向在位于汽缸机构4下侧方向处的压力加工待机位置A和被加工品设置位置B之间移动。

工作台面板34按照比滑动工作台31沿纸面前后左右方向延伸出的方式，固定在该滑动工作台31上，在工作台面板34上还与如图2所示的实施形式相类似，设置有具有下侧加热板11的承载台10和位于其外侧处的下侧固定框体13、滑动框体15。垂直固定在滑动框体15的外向边缘21处的连接杆20，由工作台面板34的前后延伸部处贯穿通过，其下端部通过压缩弹簧35施力于基台上侧面处，使得滑动框体保持朝向下侧方向施力。

四根突起杆36由挤压板19的四个角部直立设置，其前端部插入在位于基台1处的贯穿孔处，与连接杆20的下侧端面相抵接。通过位于下方的向上挤压用汽缸机构16实施的驱动，按照使汽缸活塞16-2由汽缸16-1处出入的方式，可以通过杆型部件16-3使挤压板19上下移动，使突起杆上下移动，进而通过连接杆20使滑动框体15沿下侧固定框体上下滑动。

如果采用如图6所示的真空压力加工装置，可以首先使位于侧方向处的水平移动用汽缸33的活塞伸出，将滑动工作台31由位于汽缸机构4之下的压力加工待机位置A，平滑移动至位于外侧的被加工品设置位置B处(朝向图6中的左侧)，在这里将被加工品23设置在承载台10上。随后，通过上述水平移动用汽缸机构33使汽缸机构4朝向正下方返回，通过各连接杆20和突起杆36间的抵接位置使向上挤压用汽缸机构16作用下的突起杆36，以及通过连接杆20使位于下侧固定框体13的外侧周部处的滑动框体15滑动上升，进而使滑动框体15的上部与上侧移动框体14的外侧周部抵接滑动，在其内侧形成隔离室25。随后，通过真空吸气方式在隔离室25的内部形成高真空，同时在汽缸机构4的驱动作用下使挤压板9下降，对位于承载台10上的被加工品23实施预定的加热加压处理作业。

而且，对于如图6所示的装置，还可以不采用通过滑动框体15的上升与上侧移动框体14的外周面滑动连接的方式，而是象如图5所示的装置那样，当然可以采用在上侧移动框体14的下周边缘处形成台阶部，使滑动框体15的上侧端部在该台阶部处台阶部形成凸凹气密滑动的构成形式。

当预定的压力加工作业结束时，将大气压力导入至隔离室25的内部，通过向上挤压用汽缸机构16沿相反方向的动作(活塞伸长)，利用压缩弹簧35的弹性力使滑动框体15一直下降至下降端部处端部，随后再使水平移动用汽缸机构33动作，将滑动工作台31由压力加工待机位置A移动至位于侧方向(左侧方向)处的被加工品设置位置B处，在这里对在承载台10上实施过压力加工的加工后的被加工品23实施取出，并放置入新的被加工品。

作为本发明的装置由于具有上述构成形式，所以可以在上下侧加热部彼此离开的位置处，通过可以上下移动的滑动框体简单地形成高真空的隔离室，而且即使上下侧加热部处于高温状态，也可以在滑动框体下降后的开放状态下，简单且安全地对制品实施供给和取出作业。

如图6所示的装置，在下侧模具夹具侧还搭载有滑动工作台，从而可以在压力加工装置的外侧位置处自动地将制品供给至承载台上或由承载台处取出，所以还可以全自动地进行作业。

请参阅图7、图8和图9所示，图7为表示作为根据本发明构造的加热型真空压力加工装置的第五实施形式用的部分剖面的示意性正面图，图8a、图8b和图9a、图9b为说明其动作用的示意性说明图。在本实施形式中，挤压板通过专用的平衡用汽缸机构向上侧方向施力，所以当该挤压板与被加工品相抵接时，在该平衡用汽缸机构的作用下，并不会将挤压板和前述加热部的重量施加在被加工品上。下面，仅对本实施形式的特征部分进行说明，并省略了对重复部分的详细说明。

在本实施形式中，配置在支撑机架部3上的驱动装置104，由大口径的高压向上提起用汽缸机构104-1、中口径的中压平衡用汽缸机构104-2和小口径的低压加压用汽缸机构104-3构成，这些汽缸机构依次串联叠层设置。各汽缸机构由汽缸、活塞和活塞杆构成，而且各活塞杆通过活塞串联连接。在本实施形式中，高压汽缸机构、中压汽缸机构和低压汽缸机构是由下至上依次叠层设置的，然而该顺序可以根据需要任意变更。而且在本实施形式中，各活塞杆是连接固定且呈同轴配置的，然而也可以呈彼此分离的构成形式。

安装板5可以通过支撑板105，在向上提起用汽缸机构104-1的作用下被提起。如图所示，在向上提起用汽缸机构104-1的下端部与支撑板105之间，还通过轴柄(连接部件)107连接，从而使轴柄107可以在安装板处的贯穿孔中气密性地自由滑动。在图中，参考标号108表示的是位于支撑机架部3和安装板5之间且安装在导向柱处的压缩弹簧。

下面，对向上提起用汽缸机构104-1、中压汽缸机构104-2和低压加压用汽缸机构104-3进行说明。

由于在真空真空隔离室内进行预定的加热加压处理，而通过滑动框体的滑动动作破坏了真空状态之后，可以通过向上提起用汽缸机构104-1，对包含安装板5、上侧移动框体14、支撑板105、支撑杆6、隔热板7、上侧加热板8和挤压板9的全部上侧移动部件实施提起。

中压平衡用汽缸机构104-2可以控制施加背压(back pressure)，对位于安装板5的下侧方向处的可移动的移动部，即支撑板105和对其实施支持的支撑杆6、隔热板7、加热板8、挤压板9(以及杆型部件104-1a、轴柄107)等等在真空下的全部重量实施支撑。对于这种场合，平衡用汽缸机构提供的背压需要比该全部重量大一些，并能够施加朝向吊起方向的支撑力。中压平衡用汽缸机构104-2可以对上述全部重量实现平衡。

低压加压用汽缸机构104-3是在真空加热状态下，对位于承载台10上的被加工品23实施加压用的组件，由于中压平衡用汽缸机构104-2对诸如挤压板9等等的全部重量实施着平衡，所以能够仅仅将低压加压用汽缸机构提供的加压力施加在挤压板9处。

本实施形式特别适用于对于对诸如插卡型IC卡、薄膜蒸镀型电容器薄膜、薄玻璃型液晶显示部件、柔软型陶瓷胚片实施叠层粘贴作业的场合中，对于不希望出现龟裂破损、性能障碍、厚度尺寸不一、粘接剂溢出等等问题的被加工品进行真空压力加工作业。

下面，对本实施形式的动作方式进行说明。

在首先将被加工品23搭载在承载台10上之后，对位于下方的向上挤压用汽缸机构16实施驱动，使杆型部件16-3朝向汽缸16-1的方向引导前进，通过连接杆20使滑动框体15沿下侧固定框体13的外侧周面外周面滑动上升。滑动框体15在其上侧端部与上侧移动框体14的下侧端部抵接并进一步滑动上升，以使下侧固定框体13与上侧移动框体14间完全闭塞。采用这种方式，可以通过基台1、下侧固定框体13、滑动框体15、上侧移动框体14和安装板5形成隔离室25。这些内容可参见图8a。

在这种状态下，通过平衡用汽缸机构104-2提供的背压，可以使前述上方移动部件浮起，并对向上提起用汽缸机构104-1和低压加压用汽缸机构104-3实施打开，通过真空泵(图中未示出)由安装板5处的空气吸气孔22，对隔离室25的内部实施真空吸气。这样，上侧移动框体14和安装板5将由于自身的重量和真空吸引力而下降，使上侧移动框体14的下侧端面与下侧固定框体13的上侧端面相互压接。这些内容可参见图8b。由于平衡用汽缸机构104-2由下方吹入空气，使得在该平衡用汽缸机构104-2处仅赋予较上侧移动框体14更内侧处的加热挤压板9和支撑板105等等的，使安装板5和上侧移动框体14单独上下移动的移动部实施支撑的输出，所以也不对安装板5和上侧移动框体14的自重实施支撑，因此位于上方的整个移动部件将在真空吸引力和自重的作用下下降。

即使上侧移动框体14的下侧端面压接至下侧固定框体13的上侧端面，挤压板9此时也不与被加工品23相接触。这些内容可参见图8b。在这种状态下，被实施真空吸气的隔离室25的内部处内部于高真空状态，所以如果在被加工品23中存在有气泡时，将可以对其实施脱气处理。

随后，使向上提起用汽缸机构104-1保持开放状态，对位于上方的小口径低压加压用汽缸机构104-3实施驱动，以对位于安装板5下侧处的支撑板105朝向下侧方向实施压力，使挤压板9与被加工品23相接触，在真空状态下实施加热和低加压处理。这些内容可参见图9a。在这时，由于挤压板9和支撑板105等等的重量由平衡用汽缸机构104-2实施着保持，所以这些部件在真空下的重量完全不会施加在被加工品23处，所施加的仅仅是低压加压用汽缸机构的推进力。因此，通过对低压加压用汽缸机构实施适当选择的方式，可以在非常低的压力状态下对被加工品23实施加压处理。

当按照上述方式，对被加工品23实施在低加压下的薄膜粘贴等等的加热加压处理结束后，可以停止通过空气吸气孔22进行的真空吸气作业，使隔离室25直接与大气压力导通，并且通过使向上挤压用汽缸机构16反向动作，使其杆型部件16-3朝向外部延伸的方式，使滑动框体15滑动下降，返回至初始位置处。与此同时，使位于上方的低压加压用汽缸机构104-3反向动作，将挤压板9提起以将支撑板105提起，与安装板5的下侧面相抵接，进而进一步对向上提起用汽缸机构104-1实施驱动，使安装板5上升(参见图9b)，返回至如图7所示的初始位置处。

向上提起用汽缸机构104-1主要用于使整个上侧移动部件上升，对于被加工品在使用低压加压用汽缸机构实施加热和低加压处理之后，还需要使用更大的推力实施加压加工的场合，也可以在这种场合下按照朝向向下挤压的方式对向上提起用汽缸机构104-1实施驱动。

如果采用本实施形式，位于支撑框体上侧的汽缸机构，是能够对整个上侧移动部件实施朝向上方提起操作的向上提起用汽缸机构104-1、平衡用汽缸机构104-2和低压加压用汽缸机构104-3沿上下方向串联设置的汽缸机构；上侧移动框体14的内侧实施单独驱动的加热挤压板9和支撑板105等的加压用加压部件，通常由平衡用汽缸机构104-2实施着支撑，所以在使用低压加压用汽缸机构104-3实施加压时，能够在真空加热条件下，相对被加工品23通过极低的加压压力实施加压作业。

请参阅图10、图11和图12所述，图10为表示作为根据本发明构造的加热型真空压力加工装置的第六实施形式用的部分剖面的示意性正面图，图11a、图11b和图12a、图12b为说明其动作用的示意性说明图。采用上述的第五实施形式，是通过平衡用汽缸机构对位于安装板下方的上侧移动框体内的移动部的重量实施支撑的，第六实施形式不采用平衡用汽缸机构，使用的是平衡用弹簧机构。其它的构成形式相对第五和第六实施形式是相同的。下面，仅对第六实施形式中与第五实施形式不同的构成部分进行详细说明。

在第六实施形式中，驱动装置104由向上提起用汽缸机构104-1和低压加压用汽缸机构104-3构成。而且，设置有气密性贯穿插入在安装板5和支撑板105的四个角部处的四个平衡用弹簧机构130。各弹簧机构130由在两端处具有防止脱落端部(比如说螺栓头部130a和位于其上侧位置处的调节螺母130b)的、气密性贯穿插入在安装板5和支撑板105处的导向杆130c，以及位于安装板5与导向杆130c的端部处端部的调节螺母130b之间的、包绕着导向杆的压缩弹簧130d构成。

如果采用本实施形式，利用平衡用弹簧机构130，可以通过安装板5对位于安装板5下侧方向处的上侧移动框体内侧的移动部件(支撑板105、支撑杆6、隔热板7、上侧加热板8和挤压板9)在真空下的全部重量实施保持，使支撑板105在朝向上侧方向的施力下与安装板5的下侧面相抵接。而且，可以通过导向杆130c处的调节螺母130b，对保持力实施调节。

而且在本实施形式中，是将压缩弹簧130d卷绕安装在位于安装板5和螺栓头部130a的调节螺母130b之间的导向杆处的，然而也可以将其卷绕安装在安装板5的下侧面与杆130的螺栓头部130a之间。

下面，对第六实施形式的动作方式进行说明。

在将被加工品23搭载在承载台10上之后，使滑动框体15沿下侧固定框体13的外侧周面外周面滑动上升，对下侧固定框体13与上侧移动框体14之间实施完全闭塞，以通过基台1、下侧固定框体13、滑动框体15、上侧移动框体14和安装板5形成隔离室25。这些内容可参见图11a。

在这种状态下，可以通过平衡用弹簧机构130将位于安装板5的下侧方向处的、包含位于上侧移动框体内侧的挤压板9等的移动部件保持在安装板处，并通过向上提起用汽缸机构104-1对由该移动部件和安装板5等构成的整个上侧移动部，通过朝向上侧方向施力的方式实施保持。这些内容可参见图11a。

随后如图11b所示，打开向上提起用汽缸机构104-1和低压加压用汽缸机构104-3，同时利用真空泵(图中未示出)通过安装板5处的空气吸气孔22，对隔离室25的内部实施真空吸气。这样，上侧移动框体14和安装板5将由于自身的重量和真空吸引力而下降，使上侧移动框体14的下侧端面与下侧固定框体13的上侧端面相互压接。这些内容可参见图11b。

即使上侧移动框体14的下侧端面与下侧固定框体13的上侧端面相互压接，挤压板9此时也不与被加工品23相接触。在这种状态下，被实施真空吸气的隔离室25的内部处内部于高真空状态，所以如果在被加工品23中存在有气泡时，将可以对其实施脱气处理。

随后如图12b所示，使向上提起用汽缸机构104-1保持开放状态，对位于上方的小口径低压加压用汽缸机构104-3实施驱动，以对位于安装板5下侧处的支撑板105朝向下侧方向实施压力，使挤压板9与被加工品23相接触，通过低加压压力在真空加热状态下实施加压处理。这些内容可参见图12a。在这时，由于挤压板9和支撑板105等等的重量通过平衡用弹簧机构130保持在安装板5处，所以它们的重量完全不会施加在被加工品23处，所施加的仅仅是低压加压用汽缸机构的推进力。

当对被加工品23实施在低加压下的薄膜粘贴等等的加热加压处理结束后，停止通过吸气孔22进行的真空吸气作业，使隔离室25直接与大气压力导通，使滑动框体15滑动下降，返回至初始位置处。利用平衡用弹簧机构130使提起挤压板9用的支撑板105，与安装板5的下侧面相抵接，进而进一步对向上提起用汽缸机构104-1实施驱动，使安装板5上升(参见图12b)，返回至如图10所示的初始位置处。

如果采用这种实施形式，位于支撑框体上侧的汽缸机构，是对能够对整个上侧移动部件实施朝向上方提起操作的向上提起用汽缸机构104-1和低压加压用汽缸机构104-3沿上下方向串联设置的汽缸机构，且可以通过上侧移动框体14的内侧，使位于安装板5的下方处的移动部能够通过弹簧机构通常保持在上侧位置处，所以在使用低压加压用汽缸机构104-3实施加压时，能够在真空加热条件下相对被加工品23通过极低的加压压力实施加压作业。

请参阅图13所示，为表示作为根据本发明构造的加热型真空压力加工装置的第七实施形式用的部分剖面的示意性正面图。本实施形式除了将如图10所示的第六实施形式中的驱动装置104，更换为伺服电动机机构200之外，均与第六实施形式相同。因此，下面仅对与伺服电动机机构相关的部分进行详细说明。伺服电动机机构200支撑在机架部3的上方处，包含有伺服电动机201、由该伺服电动机部分朝向下方外侧延伸的主轴202和活塞部203，而且设置在主轴202的外侧周部处的阳螺纹部可以与设置在活塞部203处的阴螺纹部间相互螺纹连接。活塞部203以可通过按键205上下自由滑动的方式，安装在位于机架部3的中央孔处的缓冲部204处。活塞部203的下端部与轴柄107相连接。

伺服电动机的构成形式是众所周知的，所以在图中没有详细示出，通常可以由电动机、编码器和驱动轮这三部分构成。通过主轴202和活塞部间的螺纹连接，可以将伺服电动机的转动运动变换成上下直线运动。在本实施形式中的伺服电动机机构200，可以按照具有如第六实施形式中的向上提起用汽缸机构104-1和低压加压用汽缸机构104-3相同的功能的方式实施设置控制。对该功能的详细说明可以参考对第六实施形式的功能说明。

以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。

Claims (14)

1、一种加热型真空压力加工装置，该加热型真空压力加工装置具有：

(1)基台；

(2)设置在基台上的、具有加热部的被加工品承载台；

(3)按照与该承载台相距一定距离且包绕着该承载台的方式，设置在该基台上的下侧固定框体；

(4)与该承载台相对设置的、具有加热器的挤压板；

(5)垂下设置有该挤压板的安装板；

(6)作为使该安装板和该挤压板上下移动用的安装板·挤压板驱动机构，使该安装板和该挤压板朝向下侧方向移动以使该挤压板对位于该承载台上的被加工品实施压力用的驱动装置；

(7)按照与该挤压板相距一定距离且包绕着该挤压板的方式，由该安装板处垂下设置的上侧移动框体，该上侧移动框体和该下侧固定框体上的开放端面彼此相对，且上侧移动框体相对下侧固定框体沿上下方向作接近、离开运动；

(8)确保下侧固定框体与上侧移动框体之间的气密性用的气密滑动机构，通过该气密滑动机构在由下侧固定框体、上侧移动框体、基台和安装板分割出的空间处形成为隔离室；以及

(9)与真空装置相连接的吸气孔构成，该吸气孔是在该隔离室处形成开口以构成，且通过该吸气孔对该隔离室实施真空吸气；

其特征在于该加热型真空压力加工装置更包括：

(10)对气密滑动机构实施驱动用的滑动驱动机构，该气密滑动驱动机构通过滑动气密滑动机构形成该隔离室，其中该气密滑动机构为以上下自由滑动方式，嵌入安装在下侧固定框体或上侧移动框体中一个的外周面的周部处的滑动框体，该滑动驱动机构为驱动该滑动框体上下滑动移动的滑动驱动机构，通过使用该滑动驱动机构使滑动框体滑动移动，确保固定框体、滑动框体和上侧移动框体之间的气密性，并且在由下侧固定框体、滑动框体、上侧移动框体、基台、安装板分割成的空间处形成隔离室。

2、根据权利要求1所述的加热型真空压力加工装置，其特征在于其中所述的挤压板与所述安装板·挤压板驱动装置相连接，当该驱动装置使该挤压板朝向下侧移动时，安装板和上侧移动框体将在自重作用下随挤压板朝向下侧移动，在压力加工位置处使上侧移动框体与下侧固定框体的开放端面彼此抵接，抵接后通过该驱动装置进一步使该挤压板朝向下侧移动以实施压力加工，反之当该驱动装置使该挤压板朝向上侧移动时，挤压板使上侧移动框体和安装板朝向上侧移动。

3、根据权利要求2所述的加热型真空压力加工装置，其特征在于其中所述的安装板·挤压板驱动装置由高推力驱动装置和低推力驱动装置构成，当所述挤压板朝向下侧移动时，上侧移动框体和安装板将随之朝向下侧移动，在压力加工位置处使上侧移动框体与下侧固定框体的开放端面彼此抵接，通过该低推力驱动装置进一步使该挤压板朝向下侧移动以实施压力加工，反之当隔离室的真空状态被破坏之后，通过高推力驱动装置使该挤压板朝向上侧移动，通过该挤压板使该上侧移动框体和该安装板朝向上侧移动。

4、根据权利要求2所述的加热型真空压力加工装置，其特征在于施力装置向上施力至所述挤压板，当该挤压板与被加工品相抵接时，在该施力装置的作用下，使真空状态下的挤压板和所述加热器的重量不施加在被加工品上。

5、根据权利要求2所述的加热型真空压力加工装置，其特征在于其中所述的施力装置为平衡弹簧。

6、根据权利要求4所述的加热型真空压力加工装置，其特征在于其中所述的高推力驱动装置和所述低推力驱动装置分别为高推力汽缸机构和低推力汽缸机构，所述施力装置为背压汽缸机构，而且该高推力汽缸机构、该低推力汽缸机构和该背压汽缸机构配置在同一轴上。

7、根据权利要求5所述的加热型真空压力加工装置，其特征在于其中所述的驱动装置为伺服电动机机构。

8、根据权利要求1所述的加热型真空压力加工装置，其特征在于在其中所述的下侧固定框体和所述上侧移动框体中的一个开放端部的外方向部设置有台阶部，所述滑动框体的端部通过滑动与该台阶部气密性抵接。

9、根据权利要求1所述的加热型真空压力加工装置，其特征在于其中所述的滑动驱动机构安装在所述基台处，所述滑动框体通过连接杆在该滑动驱动机构的作用下上下运动。

10、根据权利要求1所述的加热型真空压力加工装置，其特征在于其中所述的承载台和所述下侧固定框体通过滑动工作台设置在基台上，所述滑动框体以上下滑动的方式，嵌入安装在下侧固定框体的外周面的周部处，该滑动工作台可通过滑动工作台移动单元，将设置在该承载台上的被加工品在被加工品设置位置和对该被加工品实施压力加工的压力加工待机位置间移动。

11、根据权利要求10所述的加热型真空压力加工装置，其特征在于其中所述的承载台、所述下侧固定框体、所述滑动框体、所述滑动工作台上的台面板构成为组合体，固定在滑动工作台移动单元处，该组合体可通过该滑动工作台移动单元，在所述被加工品设置位置与压力加工待机位置之间移动。

12、根据权利要求11所述的加热型真空压力加工装置，其特征在于其中所述的连接杆通过所述台面板保持在所述基板上，所述滑动驱动机构具有位于基台之下朝向上部突出的突起杆，所述组合体在处于压力加工待机位置时，利用该滑动驱动机构使该连接杆在该突起杆的作用下，使所述滑动框体朝向上方移动。

13、根据权利要求1所述的加热型真空压力加工装置，其特征在于具有加热器的所述承载台通过第一支撑杆，被支撑在与所述基台离开的位置处，具有加热器的所述挤压板通过第二支撑杆，被支撑在与所述安装板离开的位置处。

14、根据权利要求10所述的加热型真空压力加工装置，其特征在于具有加热器的所述承载台通过第一支撑杆，被支撑在与所述台面板离开的位置处，具有加热器的所述挤压板通过第二支撑杆，被支撑在与所述安装板离开的位置处。

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