CN105643840A - 模制品制造系统和模制品制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及模制品制造系统和模制品制造方法。一种模制模块2包含：模具11，包含面朝彼此的下部模具10及上部模具7；空腔12，设置于所述下部模具中；底部构件9，形成所述空腔的所述内部底表面14；周围构件8，形成所述空腔的所述内部周围表面13；模具驱动机构，用于打开及闭合所述模具11；下部基底3；支撑构件4，垂直地设置于所述下部基底上；上部基底5，设置于所述支撑构件的上部；及抬升压板6，以可垂直移动的方式安装于所述支撑构件的中间部分上。所述模具驱动机构中包含的电动机16及23分别附着到所述下部基底及所述抬升压板。所述上部模具附着到所述上部基底。所述周围构件连接到所述抬升压板。所述底部构件连接到所述电动机23。

Description

模制品制造系统和模制品制造方法

技术领域

本发明涉及一种用于通过使填充模具的空腔的流体树脂固化以形成固化树脂来制造模制品的过程中的模制品制造系统及模制品制造方法，所述模制品包含所述固化树脂。

背景技术

树脂密封及模制系统(其为一种模制品制造系统)具有由面朝彼此的上部及下部模具组成的模具，在所述模具内形成空腔(即，用于模制固化树脂的空间)。在按照惯例提出的树脂密封及模制系统中，空腔由两种类型的构件组成，即用于形成空腔的内部底部的模具表面(内部底表面)的底部构件及用于形成空腔的周围部分的模具表面(内部周围表面)的周围构件(框架构件)。(作为一实例，参见专利文献1。)

在专利文献1中揭示以下树脂密封及模制系统(参见权利要求1及图1)：

一种树脂密封及模制系统，其特征在于：

a)具有下表面的上部模具，其上可固持安装有电子零件的衬底；及

b)下部模具，其与所述上部模具相反地布置，所述下部模具具有：

b1)框架构件，其通过插入于其间的弹性构件被放置在按压构件上，所述按压构件经配置以由第一驱动机构垂直地驱动；及

b2)底部构件，其经配置以在框架构件内由第二驱动机构以可滑动方式垂直地驱动。

引文列表

专利文献

专利文献1：JP2013-247315A

发明内容

技术问题

根据专利文献1的描述，框架构件及底部构件由两个单独驱动机构个别地驱动。在专利文献1中所描述的本发明在用于通过分别移动框架构件及底部构件来执行树脂模制的配置方面仍有改进空间。

问题的解决方案

根据本发明的模制品制造系统的第一方面为一种模制品制造系统，其包含：模具，其至少具有下部模具及面朝所述下部模具的上部模具；空腔，其设置于下部模具中；底部构件，其具有形成空腔的底表面的内部底表面；周围构件，其具有形成空腔的侧表面的内部周围表面；及模具驱动机构，其经提供以用于打开及闭合模具，所述系统经配置以制造包含固化树脂的模制品，通过在使所述模具固持于闭合状态时将填充空腔的流体树脂固化而形成所述固化树脂，且所述系统进一步包含：下部基底；支撑构件，其垂直地设置于下部基底上；上部基底，其设置于支撑构件的上部，且面朝下部基底；抬升压板，其以可垂直移动的方式安装于支撑构件的中间部分上；第一驱动机构，其包含于模具驱动机构中，且附着到下部基底；第二驱动机构，其包含于模具驱动机构中，且附着到抬升压板；主要连接构件，其连接第一驱动机构及抬升压板；第一辅助连接构件，其连接到周围构件；及第二辅助连接构件，其连接到底部构件，其中：上部模具附着到上部基底；第一辅助连接构件连接到抬升压板；第二辅助连接构件连接到第二驱动机构；周围构件由抬升压板垂直地驱动，所述抬升压板由第一驱动机构垂直地驱动；及底部构件由第二驱动机构垂直地驱动。

根据本发明的模制品制造系统的第二方面为一种模制品制造系统，其包含：模具，其至少具有下部模具及面朝所述下部模具的上部模具；空腔，其设置于下部模具中；底部构件，其有形成空腔的底表面的内部底表面；周围构件，其具有形成空腔的侧表面的内部周围表面；及模具驱动机构，其经提供以用于打开及闭合模具，所述系统经配置以制造包含固化树脂的模制品，通过在使所述模具固持于闭合状态时将填充空腔的流体树脂固化而形成所述固化树脂，且所述系统进一步包含：下部基底；支撑构件，其垂直地设置于下部基底上；上部基底，其设置于支撑构件的上部，且面朝下部基底；抬升压板，其以可垂直移动的方式安装于支撑构件的中间部分上；第一驱动机构，其包含于模具驱动机构中，且附着到下部基底；第二驱动机构，其包含于模具驱动机构中，且附着到抬升压板；主要连接构件，其连接第一驱动机构及抬升压板；第一辅助连接构件，其连接到周围构件；及第二辅助连接构件，其连接到底部构件，其中：上部模具附着到上部基底；第一辅助连接构件连接到抬升压板；第二辅助连接构件连接到第二驱动机构；底部构件由抬升压板垂直地驱动，所述抬升压板由第一驱动机构垂直地驱动；及周围构件由第二驱动机构垂直地驱动。

在根据本发明的模制品制造系统的一个模式中，先前所描述的模制品制造系统进一步包含：连通孔，其设置于下部模具中以用于允许形成空腔的模具表面与下部模具之外的外部空间连通；及开口，其通过形成空腔的模具表面上的连通孔形成。

在根据本发明的模制品制造系统的一个模式中，先前所描述的模制品制造系统的特征还在于：连通孔被设置于周围构件中；及连通孔被设置于一位置处，在周围构件上的模具表面与固化树脂之间开始形成间隙之后，连通孔允许间隙与外部空间连通。

在根据本发明的模制品制造系统的一个模式中，先前所描述的模制品制造系统的特征还在于：连通孔被设置于由周围构件及底部构件中的至少一者组成的连通构件中；下部模具具备以可纵向移动的方式插入于连通孔中的柱状构件、形成于柱状构件上且经配置以装进开口中的顶表面及形成于连通孔中且由从开口后退的一位置沿着连通方向朝向外部空间伸展的扩宽部分，所述连通方向为所述连通孔的伸展方向，所述扩宽部分包含平面视图上的柱状构件的横截面形状，且具有大于所述横截面形状的部分；顶表面在柱状构件朝向空腔前进直到顶表面到达开口时闭合开口；及包含开口及扩宽部分的连通孔在柱状构件在连通方向上回缩时与外部空间连通。

在根据本发明的模制品制造系统的一个模式中，先前所描述的模制品制造系统的特征还在于：提供多个模具；第一辅助连接构件连接到多个模具中的每一者的周围构件；及第二辅助连接构件连接到多个模具中的每一者的底部构件。

在根据本发明的模制品制造系统的一个模式中，先前所描述的模制品制造系统进一步包含：环境空气屏蔽构件，其设置于上部基底与第一辅助连接构件之间，以使得最低限度包含空腔的空间变为经屏蔽以免于环境空气的封闭空间；至少一个密封构件，其设置于上部基底与第一辅助连接构件之间；及减压部件，其连接到封闭空间以用于减压封闭空间。

在根据本发明的模制品制造系统的一个模式中，先前所描述的模制品制造系统进一步包含：材料接收模块，其用于接收树脂材料，所述树脂材料为流体树脂的原材料；及至少一个模制模块，其至少具有模具及模具驱动机构，其中模制模块可附着到材料接收模块且可与材料接收模块分离，且模制模块可附着到另一模制模块且可与所述另一模制模块分离。

根据本发明的模制品制造方法的第一方面为用于使用模制品制造系统制造包含固化树脂的模制品的模制品制造方法，所述模制品制造系统包含：模具，其至少具有下部模具及面朝所述下部模具的上部模具；空腔，其设置于下部模具中；底部构件，其具有形成空腔的底表面的内部底表面；周围构件，其具有形成空腔的侧表面的内部周围表面；及模具驱动机构，其经提供以用于打开及闭合模具，所述方法包含用流体树脂填充空腔的过程，闭合模具，及通过在使模具固持于闭合状态时将空腔中的流体树脂固化而形成固化树脂，且所述方法进一步包含以下的过程：抬升连接到第一辅助连接构件的周围构件及连接到第二辅助连接构件的底部构件两者；使周围构件与存在于上部模具上的构件接触且进一步抬升底部构件；通过使底部构件在预定位置处停止而形成空腔；在模制固化树脂的过程之后，通过在由底部构件的内部底表面固持固化树脂的顶表面时降低周围构件，使固化树脂的外部周围表面与周围构件的内部周围表面分离；在模制固化树脂的过程之后，通过在由周围构件的内部周围表面固持固化树脂的外部周围表面时降低底部构件，使固化树脂的顶表面与底部构件的内部底表面分离；降低周围构件及底部构件两者；及移除模制品，其中：通过第一辅助连接构件连接到抬升压板的周围构件通过借助于设置于模制品制造系统中包含的下部基底中的第一驱动机构经由主要连接构件垂直地驱动抬升压板而抬升或降低；及通过第二辅助连接构件连接到第二驱动机构的底部构件借助于设置于抬升压板中的第二驱动机构而抬升或降低。

根据本发明的模制品制造方法的第二方面为用于使用模制品制造系统制造包含固化树脂的模制品的模制品制造方法，所述模制品制造系统包含：模具，其至少具有下部模具及面朝所述下部模具的上部模具；空腔，其设置于下部模具中；底部构件，其具有形成空腔的底表面的内部底表面；周围构件，其具有形成空腔的侧表面的内部周围表面；及模具驱动机构，其经提供以用于打开及闭合模具，所述方法包含用流体树脂填充空腔的过程，闭合模具，及通过在使模具固持于闭合状态时将空腔中的流体树脂固化而形成固化树脂，且所述方法进一步包含以下的过程：抬升连接到第一辅助连接构件的周围构件及连接到第二辅助连接构件的底部构件两者；使周围构件与存在于上部模具上的构件接触且进一步抬升底部构件；通过使底部构件在预定位置处停止而形成空腔；在模制固化树脂的过程之后，通过在由底部构件的内部底表面固持固化树脂的顶表面时降低周围构件，使固化树脂的外部周围表面与周围构件的内部周围表面分离；在模制固化树脂的过程之后，通过在由周围构件的内部周围表面固持固化树脂的外部周围表面时降低底部构件，使固化树脂的顶表面与底部构件的内部底表面分离；降低周围构件及底部构件两者；及移除模制品，其中：通过第一辅助连接构件连接到抬升压板的周围构件通过借助于设置于模制品制造系统中包含的下部基底中的第一驱动机构经由主要连接构件垂直地驱动抬升压板而抬升或降低；及通过第二辅助连接构件连接到第二驱动机构的底部构件借助于设置于抬升压板中的第二驱动机构而抬升或降低。

在根据本发明的模制品制造方法的一个模式中，先前所描述的模制品制造方法进一步包含如下过程：在模制固化树脂的过程之后，使用设置于下部模具中以用于允许形成空腔的模具表面与外部空间连通的连通孔，经由设置于形成空腔的模具表面上的连通孔的开口使固化树脂的表面与下部模具之外的外部空间连通。

在根据本发明的模制品制造方法的一个模式中，先前所描述的模制品制造方法的特征还在于：连通孔被设置于一位置处，在周围构件上的模具表面与固化树脂之间开始形成间隙之后，连通孔允许间隙与外部空间连通；及在分离固化树脂的顶表面的过程中执行使固化树脂的表面与外部空间连通的过程。

在根据本发明的模制品制造方法的一个模式中，先前所描述的模制品制造方法的特征还在于：连通孔被设置于由周围构件及底部构件中的至少一者组成的连通构件中；下部模具具备以可纵向移动的方式插入于连通孔中的柱状构件、形成于柱状构件上且经配置以装进开口中的顶表面及形成于连通孔中且由从开口后退的一位置沿着连通方向朝向外部空间伸展的扩宽部分，所述连通方向为所述连通孔的伸展方向，所述扩宽部分包含平面视图上的柱状构件的横截面形状，且具有大于所述横截面形状的部分；在用流体树脂填充空腔的过程开始之前，执行如下过程：通过使柱状构件朝向空腔前进直到顶表面到达开口，借助于顶表面闭合开口；及在模制固化树脂的过程之后执行如下过程：通过使柱状构件在连通方向上回缩，使固化树脂的表面与外部空间连通。

在根据本发明的模制品制造方法的一个模式中，先前所描述的模制品制造方法的特征还在于：模制品制造系统具有多个模具；第一辅助连接构件连接到多个模具中的每一者的周围构件；及第二辅助连接构件连接到多个模具中的每一者的底部构件。

在根据本发明的模制品制造方法的一个模式中，先前所描述的模制品制造方法进一步包含如下过程：通过屏蔽最低限度包含空腔的空间以免于环境空气而形成封闭空间；及在至少继续直到闭合模具的过程完成的时间周期内减压封闭空间。

在根据本发明的模制品制造方法的一个模式中，先前所描述的模制品制造方法进一步包含如下过程：准备用于接收树脂材料的材料接收模块，所述树脂材料为流体树脂的原材料；及准备至少具有模具及模具驱动机构的至少一个模制模块，其中模制模块可附着到材料接收模块且可与材料接收模块分离，且模制模块可附着到另一模制模块且可与所述另一模制模块分离。

本发明的有利效应

根据本发明，通过周围构件及底部构件形成设置于下部模具中的空腔。通过单独驱动机构个别地驱动周围构件及底部构件。此配置允许周围构件及底部构件独立地移动。因此，首先有可能通过在由底部构件的内部底表面固持固化树脂的顶表面时降低周围构件，使固化树脂的外部周围表面与周围构件的内部圆周表面分离。其次，有可能通过在由周围构件的内部周围表面固持固化树脂的外部周围表面时降低底部构件，使固化树脂的顶表面与底部构件的内部底表面分离。通过此些操作，可从模具的模具表面释放模制品，而不会导致大量的力被作用于模制品上。

附图说明

图1A及图1B为展示根据第一实施例的模制品制造系统中包含的模制模块的两个连续状态的示意性前视图，其中图1A为紧接在下部模具的抬升开始之后的状态，且图1B为紧接在底部构件在密封构件开始变形之后开始抬升之后的状态。

图2A及图2B为展示图1A及图1B中所示的模制模块的两个连续状态的示意性前视图，其中图2A为其中底部构件在衬底由周围构件夹持之后抬升到且维持于预定垂直位置处的状态，且图2B为其中在固化树脂形成于空腔中之后维持底部构件的垂直位置时降低周围构件的状态。

图3A及图3B为展示图1A及图1B中所示的模制模块的两个连续状态的示意性前视图，其中图3A为紧接在衬底再次由在维持底部构件的垂直位置时抬升的周围构件夹持之前的状态，且图3B为其中在维持周围构件的垂直位置时降低底部构件的状态。

图4A到图4C为展示根据第二实施例的模制品制造系统中包含的模制模块的三个连续状态的示意性前视图，其中图4A为紧接在固化树脂形成于空腔中之后的状态，图4B为其中在维持底部构件的垂直位置时降低周围构件的状态，且图4C为其中在抬升周围构件以再次夹持衬底之后维持周围构件的垂直位置时降低底部构件的状态。

图5A及图5B为展示根据第三实施例的模制品制造系统中包含的模制模块中的模具的两个集合的两个连续状态的示意性前视图，其中图5A为其中在固化树脂形成于空腔中之后维持底部构件的垂直位置时降低周围构件的状态，且图5B为其中在抬升周围构件以再次夹持衬底之后维持周围构件的垂直位置时降低底部构件的状态。

图6A及图6B为展示根据第四实施例的模制品制造系统中包含的模制模块中的模具的两个集合的两个连续状态的示意性前视图，其中图6A为其中在固化树脂形成于空腔中之后维持底部构件的垂直位置时降低周围构件的状态，且图6B为其中在抬升周围构件以再次夹持衬底之后维持周围构件的垂直位置时降低底部构件的状态。

图7A及图7B为说明根据本发明的模制品制造系统中的连通孔及相关结构的部分截面图，其中省略上部模具。

图8为展示根据本发明的模制品制造系统的示意性平面图，其中假设已移除了构成上部模具的构件。

符号说明

1…树脂密封系统(模制品制造系统)

2…模制模块

3…下部基底

4…连接杆

5…上部基底

6…抬升压板

7…上部模具

8…周围构件

9…底部构件

10…下部模具

11…模具

12…空腔

13…内部周围表面

14…内部底表面

15…树脂材料

16…电动机(第一驱动机构)

17…滚珠螺杆(主要连接构件)

18…滚珠螺母(主要连接构件)

19…抬升压板附着板(主要连接构件)

20…框架构件(第一辅助连接构件)

21…周围构件附着板(第一辅助连接构件)

22…弹性体(第一辅助连接构件)

23…电动机(第二驱动机构)

24…滚珠螺杆(第二辅助连接构件)

25…滚珠螺母(第二辅助连接构件)

26…底部构件附着构件(第二辅助连接构件)

27…通孔

28…密封构件

29…环境空气屏蔽构件

30A,30B…密封构件

31…抽吸孔

32…抽吸管

33…减压部件

34…开关阀

35…待密封的衬底(裸衬底)

36…电路板

37…芯片

38…外部空间

39…连通孔

40…流体树脂

41…密封树脂

42…密封衬底(模制品)

43…间隙

44…底部构件附着构件

45…开口

46…柱状构件

47…致动器

48…顶表面

49…扩宽部分

50…材料接收模块

51…分配模块

52…电源

53…控制器

54…衬底材料接收器

55…树脂材料接收器

56…材料传送机构

57…X方向导轨

58…主要载体机构

59…Y方向导轨

60…辅助载体机构

61…模制品传送机构62…暗匣63…真空泵。

具体实施方式

在树脂密封系统(其为一种模制品制造系统)中包含的模制模块中，提供以下组件：模具，其具有下部模具及面朝所述下部模具的上部模具；空腔，其设置于下部模具中；底部构件，其形成空腔的内部底表面；周围构件，其形成空腔的内部周围表面；及模具驱动机构，其经提供以用于打开及闭合模具。模制模块还具备：下部基底；支撑构件，其垂直地设置于下部基底上；上部基底，其设置于支撑构件的上部，且面朝下部基底；及抬升压板，其以可垂直移动的方式安装于支撑构件的中间。另外，模制模块进一步包含：第一驱动机构，其包含于模具驱动机构中，且附着到下部基底；第二驱动机构，其包含于模具驱动机构中，且附着到抬升压板；主要连接构件，其连接第一驱动机构及抬升压板；第一辅助连接构件，其连接到周围构件；及第二辅助连接构件，其连接到底部构件。上部模具附着到上部基底。

在第一及第三实施例(其将在稍后描述)中，第一辅助连接构件连接到抬升压板，而第二辅助连接构件连接到第二驱动机构。周围构件由抬升压板垂直地驱动，所述抬升压板由第一驱动机构垂直地驱动。底部构件由第二驱动机构垂直地驱动。

在第二及第四实施例(其将在稍后描述)中，第一辅助连接构件连接到第二驱动机构，而第二辅助连接构件连接到抬升压板。底部构件由抬升压板垂直地驱动，所述抬升压板由第一驱动机构垂直地驱动。周围构件由第二驱动机构垂直地驱动。

第一实施例

参看图1A到图3B描述根据本发明的模制品制造系统的第一实施例。作为模制品制造系统的一个实例，描述树脂密封系统。树脂密封系统被用于通过使用模具模制密封树脂来制造密封衬底(其为模制品)的过程，所述密封树脂覆盖半导体芯片及安装于电路板(例如印刷电路板)上的其它元件(其在下文中被称作“芯片”)。密封衬底为用于制造一或多个电子零件(例如半导体产品或电路模块)的中间产品。在所述树脂密封系统中，压缩模制被采纳为用于树脂模制的技术。

参看图1A及图1B(以及图7A及图7B)描述设置于树脂密封系统1中的模制模块2。图1A中所示的模制模块2具有下部基底3。在下部基底3的四个角处，固定充当支撑构件的四个连接杆4。将面朝下部基底3的上部基底5固定到四个垂直伸展的连接杆4的上部。在上部基底3与下部基底5之间，面朝上部及下部基底3及5中的每一者的抬升压板6与四个连接杆4啮合。抬升压板6通过由驱动机构(其将在稍后描述)驱动而向上或向下移动。应注意，片语“将A固定到B”包含“将额外构件(其可为弹性体)固定到B，且将A固定到此额外构件”的状况。

将上部模具7固定到上部基底5的下部表面。在上部模具7的正下方，设置与上部模具7相反的框架形状周围构件8。周围构件8的上表面面朝上部模具7的下表面。在周围构件8的中心设置在平面视图上具有矩形形状的通孔。具有矩形平面形状的底部构件9装进周围构件8的此通孔中。周围构件8及底部构件9由将在稍后描述的两个驱动机制垂直地驱动。在此配置的情况下，周围构件8及底部构件9可彼此独立地抬升或降低。

周围构件8及底部构件9组合在一起构成下部模具10。上部模具7及下部模具10组合在一起构成模具11的一个集合(其在下文中被简称为“模具11”)。上部模具7及下部模具10中的每一者具备加热器(未图示)。

在下部模具10的上侧上，形成空腔12，其为以流体树脂填充的空间。围绕此空腔12的部分在下文中被称作“空腔的侧表面”，而形成空腔12的底部的部分被称作“空腔的底表面”。通过周围构件8的内部周围表面13形成空腔的侧表面。通过底部构件9的顶表面形成空腔12的底表面。为方便起见，底部构件9的顶表面在下文中被称作“底部构件9的内部底表面14”。空腔12为由周围构件8的内部周围表面13及底部构件9的内部底表面14围绕的空间。

举例来说，用由热固性树脂(例如环氧树脂或硅酮树脂)制成的树脂材料15供应空腔12。在图1A中，在室温下呈固态(例如，粉末、颗粒、块、薄片或薄件)形式的树脂材料经展示为树脂材料15。树脂材料15用加热器(未图示)加热且熔化。因此，形成由熔化树脂制成的流体树脂，且以此流体树脂(未图示)填充空腔12。

在下部基底3上，固定电动机16作为第一驱动机构。电动机16具有滚珠螺杆17，且滚珠螺母18与此滚珠螺杆17啮合。将抬升压板附着板19固定到抬升压板6的下部表面，且将滚珠螺母18固定到此抬升压板附着板19。

在抬升压板6的上表面上，固定框架构件20，且将周围构件附着板21固定到框架构件20的上表面。代替框架构件20，可使用多个板状、柱状或类似构件。在周围构件附着板21的上表面上，安置多个弹性体(例如，线圈弹簧或盘式弹簧)22，且将周围构件8放置在此些弹性体22上。通过此机构，经由滚珠螺母18、抬升压板附着板19、抬升压板6、框架构件20、周围构件附着板21及弹性体22连续传动电动机16的旋转，从而最终使周围构件8向上或向下移动。

在对应于底部构件9的中心的位置(如在平面视图上所观测到)处将充当第二驱动机构的另一电动机23固定到抬升压板6的上表面。电动机23具有滚珠螺杆24，且滚珠螺母25与此滚珠螺杆24啮合。将滚珠螺母25固定到底部构件附着构件26，将所述底部构件附着构件固定到底部构件9的下部。弹性体(未图示)可另外设置于底部构件9与底部构件附着构件26之间。

底表面附着构件26可在设置于周围构件附着板21的中心部分中的通孔27中向上或向下移动。在通孔27中的周围构件附着板21的内部周围表面与底部构件附着构件26的外部周围表面之间，沿着通孔27的整个周围设置由氟橡胶或类似材料制成的密封构件28。因此，底部构件9与周围构件附着板21之间的空间与位于周围构件附着板21的下及框架构件20内的空间分开。

在周围构件附着板21的上表面上，固定框架形状环境空气屏蔽构件29。在位于上部基底5与周围构件附着板21之间(包含上部基底5及周围构件附着板21自身)的组件之间，设置由氟橡胶或类似材料制成的密封构件30A及30B。举例来说，在环境空气屏蔽构件29的上表面与上部基底5的下表面之间，密封构件30A被设置于环境空气屏蔽构件29的上表面或上部基底5的下表面上，或在其两者上。类似地，密封构件30B被设置于环境空气屏蔽构件29的下表面与周围构件附着板21的上表面之间。仅设置密封构件30A及30B中的一者也是可能的。另外还有可能将一个框架形状环境空气屏蔽构件附着到周围构件附着板21的上表面，且将另一框架形状环境空气屏蔽构件附着到上部基底5的下表面，以使得此些两个构件面朝彼此。在此状况下，密封构件被设置于两个框架形状环境空气屏蔽构件的面朝彼此的表面中的至少一者上。

在周围构件附着板21中，将抽吸孔31设置于周围构件8之外，如在平面视图上所观测到。抽吸孔31通过抽吸管32连接到减压部件33，例如真空泵或降压槽。抽吸管32具备用于将抽吸孔31连接到减压部件33或大气的开关阀34。

在上部模具7的下表面上，密封的衬底35(其在下文中被称作“裸衬底”)通过抽吸、夹持或其它普遍知晓的方法暂时固定。裸衬底35具有电路板36以及由半导体芯片及安装于其上的其它元件组成的芯片37。裸衬底35的连接端子及芯片37的连接端子通过导线、凸块或其它导电材料(未图示)电连接。裸衬底35的表面(图中的下表面)上的预定区域及芯片37用密封树脂密封，通过使空腔12中的流体树脂固化而形成所述密封树脂。周围构件8具有用于允许空腔12与外部空间38连通的一或多个连通孔39，所述外部空间为在环境空气屏蔽构件29之内及模具11之外的空间。连通孔39被设置于略低于对应于待形成的密封树脂的厚度的水平的位置处(参见图2A)。

在树脂密封系统1中，首先，经由滚珠螺母18、抬升压板附着板19、抬升压板6、框架构件20、周围构件附着板21及弹性体22连续传动电动机16(第一驱动机构)的旋转或停止，以最终在垂直方向上驱动周围构件8或暂时中止其移动。因此，电动机16使周围构件8向上或向下移动。

其次，经由滚珠螺母25及底部构件附着构件26传动电动机23(第二驱动机构)的旋转，以最终在垂直方向上驱动底部构件9。因此，电动机23使底部构件9向上或向下移动。

第三，电动机16的旋转或停止导致固定于抬升压板6上的电动机23垂直地移动或暂时中止其移动。电动机23的此垂直运动导致经由滚珠螺母25及底部构件附着构件26机械连接到电动机23的底部构件9的对应垂直运动。因此，电动机16的旋转导致周围构件8及底部构件9两者皆向上或向下移动。

另外，通过在以下三个模式中的一者中控制电动机16及23，有可能垂直地驱动周围构件8或底部构件9，同时维持其它构件处于相同高度。在第一模式中，电动机16在一个(正向)方向上旋转以使周围构件8及底部构件9两者皆以速度V向上移动，而电动机23在另一(反向)方向上旋转以使底部构件9以速度V向下移动。在此状况下，在从树脂密封系统1之外检视时，周围构件8以速度V向上移动，而暂时中止底部构件9的移动。

在第二模式中，电动机16在反向方向上旋转以使周围构件8及底部构件9两者皆以速度V向下移动，而电动机23在正向方向上旋转以使底部构件9以速度V向上移动。在此状况下，在从树脂密封系统1之外检视时，周围构件8以速度V向下移动，而暂时中止底部构件9的移动。

在第三模式中，在停止电动机16时，旋转电动机23以使底部构件9以速度V向上或向下移动。在此状况下，在从树脂密封系统1之外检视时，底部构件9以速度V向上或向下移动，而暂时中止周围构件8的移动。概括来说，那些三个模式表明可通过恰当地控制电动机16及23而在垂直方向上独立地驱动周围构件8及底部构件9。

在下文中参看图1A到图3B描述根据本发明的模制品制造方法。最初，如图1A中所示，通过普遍知晓的方法将裸衬底35暂时固定到上部模具7的下表面。将呈适当形式(例如颗粒)的树脂材料15供应给空腔12。在电动机23停止的情况下，给电动机16通电以便使电动机16在正向方向上旋转，且借此抬升抬升压板6。通过此操作，固定到抬升压板6的以下两个系统以相同速度抬升：第一系统包含框架构件20、周围构件附着板21、弹性体22、周围构件8及环境空气屏蔽构件29。第二系统包含电动机23、滚珠螺杆24、滚珠螺母25、底部构件附着构件26及底部构件9。因此，通过使电动机16在正向方向上旋转，周围构件8、底部构件9及环境空气屏蔽构件29可以相同速度抬升。

接下来，如图1B中所示，周围构件8、底部构件9及环境空气屏蔽构件29以相同速度进一步抬升。使设置于环境空气屏蔽构件29的上表面上的密封构件30A与上部基底5的下表面接触。接着，密封构件30A开始变形。密封构件30A或30B开始变形但不完全压缩的状态在下文中被称作“不完全闭合状态”。

随后，如图1B中所示，在到达不完全闭合状态之后，操作开关阀34使在环境空气屏蔽构件29之内的空间与减压部件33连通。借此减压在环境空气屏蔽构件29之内的空间。在此过程中，将流体树脂40中含有的气体排放到模具11之外。

接着，电动机16在正向方向上进一步旋转以完全压缩密封构件30A及30B。完全压缩密封构件30A及30B的状态在下文中被称作“完全闭合状态”。通过产生完全闭合状态，使环境空气屏蔽构件29之内的空间成为经屏蔽以免于环境空气的封闭空间。同时，通过加热熔化树脂材料15以制造由熔化树脂制成的流体树脂40。在到达完全闭合状态之后，开关阀34在适当时间点处操作以使外部空间38与大气连通(参见图2A)。

接下来，如图2A中所示，电动机16在正向方向上进一步旋转以进一步抬升周围构件8。在将周围构件8的上表面按压到电路板36上以夹持此板之后，控制电动机16以使得周围构件8不断地将一定量的压力施加到电路板36。

接下来，如图2A中所示，给电动机23通电以使此电动机23在正向方向上旋转，且借此抬升底部构件9。抬升底部构件9直到底部构件9的内部底表面14到达与周围构件8的上表面分开达预定长度的位置(“预定位置”)。因此，形成具有等于所述长度的预定深度的空腔12。在确定底部构件9已到达预定位置时，控制电动机23以使得底部构件9不断地将预定量的压力施加到流体树脂40，且维持预定位置。在图中，厚虚线箭头意谓在从树脂密封系统1之外检视时，由那些箭头指示的组件并未移动，但用于移动那些组件的驱动源(电动机16及23)正在操作。

通过迄今为止描述的过程，达成模具11的完全闭合状态。在此状态中，周围构件8的上表面与底部构件9的内部底表面(顶表面)14之间的距离对应于由固化树脂组成的密封树脂41的厚度(参见图2B)。

随后，如图2A中所示，在固化时间的预定长度内加热流体树脂40。通过此过程，使流体树脂40固化，从而形成由固化树脂组成的密封树脂41，如图2B中所示。通过迄今为止描述的过程，完成密封衬底42。此密封衬底42对应于包含通过使流体树脂40固化而形成的固化树脂(密封树脂41)的模制品。

接下来，在预定时间周期内维持将周围构件8的上表面按压到电路板36上以夹持此板(参见图2A)的状态。此后，如下控制电动机16及23：电动机23在正向方向上旋转以使底部构件9以速度V向上移动，如从电动机23所检视。同时，电动机16在反向方向上旋转以使抬升压板6以速度V向下移动。在从树脂密封系统1之外检视时，此些两个动作的组合使周围构件8以速度V向下移动，同时将底部构件9维持在特定高度。通过此操作，密封树脂41的外部周围表面与周围构件8的内部周围表面分开，同时密封树脂41的顶表面(图中的底部表面)由底部构件9的内部底表面14支撑，在从树脂密封系统1之外检视时将所述底部构件维持在相同高度。

接着，从图2B中所示的状态，电动机23在反向方向上旋转以使底部构件9以速度V向下移动，如从电动机23所检视，如图3A中所示。同时，电动机16在正向方向上旋转以使抬升压板6来速度V向上移动。在从树脂密封系统1之外检视时，此些两个运动的组合使周围构件8向上移动，同时将底部构件9维持在特定高度。因此，电路板36再次由周围构件8的上表面夹持。图3A展示紧接在再次夹持电路板36之前的状态。控制电动机16以使得周围构件8不断地将一定量的压力施加到电路板36。

接下来，如图3B中所示，虽然周围构件8不断地将一定量的压力施加到电路板36，电动机23在反向方向上进一步旋转，从而以速度V降低底部构件9，如从电动机23所检视。通过此操作，密封树脂41的顶表面与底部构件9的内部底表面14分开，同时电路板36由周围构件8的上表面夹持，在从树脂密封系统1之外检视时将所述周围构件维持在相同高度，且同时由周围构件8的内部周围表面支撑固化树脂41的外部周围表面。

如图3B中所示，在此过程中，使底部构件9的内部底表面14与密封树脂41的顶表面之间的间隙43与在大气压下的外部空间38连通。此情形降低了密封衬底42的断裂的机率，可归因于由使密封树脂41的顶表面与底部构件9的内部底表面14分离的操作产生的以下两个原因而发生断裂。

第一原因在于底部构件9的内部底表面14的力将密封树脂41的顶表面向下拉。在底部构件9的内部底表面14开始与密封树脂41的顶表面分开时出现此力，因为两个表面皆具有大面积。在本实施例中，底部构件9与密封树脂41之间的紧接在底部构件9的内部底表面14开始与密封树脂41的顶表面分开之后形成于密封树脂41的顶表面的外边缘处的间隙43与间隙的形成同时变成等于大气压。因此，底部构件9的内部底表面14可易于与密封树脂41的顶表面分开，以使得不容易出现密封衬底42的断裂。

第二原因在于在使密封树脂41的顶表面与底部构件9的内部底表面14分离的过程中，在上部模具7的下表面与包含电路板36的外边缘的非密封表面(图中的上表面)之间形成小间隙的情况下归因于大气压而作用于密封衬底(模制品)42上的向下的力。在本实施例中，归因于大气压的此向下的力并未作用于密封衬底(模制品)42，因为间隙43还在大气压下。因此，防止密封衬底42的断裂。

根据本实施例，周围构件8及底部构件9由单独驱动机构个别地驱动。具体来说，周围构件8由电动机16驱动。底部构件9由电动机16及/或电动机23驱动。换句话说，在一个情境中，底部构件9由电动机16及23中的仅一者驱动。在另一情境中，底部构件9由电动机16及23两者同时驱动。通过此些驱动模式，周围构件8及底部构件9可独立地移动。首先，在固化树脂41的顶表面由底部构件9的内部底表面14支撑时降低周围构件8。通过此操作，固化树脂41的外部周围表面可与周围构件8的内部周围表面13分开。接着其次，在固化树脂41的外部周围表面由周围构件8的内部周围表面13支撑时降低底部构件9。通过此操作，固化树脂41的顶表面可与底部构件9的内部底表面14分开。通过此些操作，可从模具11的模具表面释放密封衬底(模制品)42，而不会导致大量的外力被作用于密封衬底42。

根据本实施例，用于允许形成空腔12的模具表面与下部模具10之外的外部空间38连通的连通孔39被设置于下部模具10中。在使固化树脂41与形成空腔12的模具表面分离的过程中，使固化树脂41的表面与外部空间38连通。因此，首先，归因于将密封树脂41的顶表面向下拉的底部构件9的内部底表面14的力的密封衬底42的断裂不容易出现。接着其次，防止归因于大气压朝向间隙43按压密封衬底(模制品)42，以使得归因于此压力的密封衬底42的断裂不会出现。

根据本实施例，在制造密封衬底(模制品)42时，个别地驱动周围构件8及底部构件9。因此，周围构件8及底部构件9可独立地移动。此配置允许空腔12形成具有各种深度。因此，使用单一树脂密封系统1可易于制造具有固化树脂41的不同厚度的密封衬底42的多个模型。因此，在本实施例的情况下，有可能易于制造各种衬底，其范围在需要具有小厚度的密封衬底42到需要具有大厚度的密封衬底42之间。需要具有小厚度的密封衬底42的一个实例为用于制造用于移动电话的半导体装置的衬底。需要具有大厚度的密封衬底42的一个实例为用于制造用于功率控制应用(例如电路模块)的半导体装置的衬底。

可从密封衬底42制造一个半导体产品。另外，具有由预定边界线划分的多个区域的电路板36(其中在每一区域上安装一个芯片)可用树脂密封。从此密封衬底42，可通过在树脂密封之后沿着边界线单一化密封衬底42而产生多个半导体产品。

第二实施例

参看图4A到图4C描述根据本发明的模制品制造系统的第二实施例。从图4A到图4C及后续图省略位于图1A到图3B中所示的抬升压板6以及减压部件33及开关阀34下方的组件。相同组件由相同数字表示，且恰当地省略关于此些组件的描述。

与在第一实施例中的图1A到图3B中所示的模制品制造系统(树脂密封系统1)相比较，本实施例的特性在于驱动源(电动机16及23)与驱动组件(周围构件8及底部构件9)之间的关系反转。抬升压板6由未图示的下部电动机(其对应于图1A到图3B中的电动机16)驱动。将电动机23固定到抬升压板6的上表面。周围构件8由此电动机23经由周围构件附着板21及弹性体22驱动。通过插入于其间的底部构件附着构件44及26将底部构件9固定到抬升压板6的上表面。在抬升构件6的上侧个别地固定到抬升构件6的周围构件8及底部构件9同时由下部电动机(未图示)驱动。

根据本发明，周围构件8及底部构件9由单独驱动机构个别地驱动。具体来说，底部构件9由下部电动机(未图示)驱动。周围构件8由电动机16及/或电动机23驱动。换句话说，在一个情境中，周围构件8由下部电动机16或电动机23驱动。在另一情境中，周围构件8由下部电动机16及电动机23两者同时驱动。通过此些驱动模式，周围构件8及底部构件9可独立地移动。首先，在由底部构件9的内部底表面14支撑固化树脂41的顶表面时降低周围构件8。通过此操作，固化树脂41的外部周围表面可与周围构件8的内部周围表面13分开。接着其次，在固化树脂41的外部周围表面由周围构件8的内部周围表面13支撑时降低底部构件9。通过此操作，固化树脂41的顶表面可与底部构件9的内部底表面14分开。通过此些操作，可从模具11的模具表面释放密封衬底(模制品)42而不会导致大量的外力作用于密封衬底42。因此，就密封衬底42的分开而言，本实施例产生的效应与第一实施例的效应相同。

图4A到图4C中所示的树脂密封系统1具备图1A到图3B中所示的连通孔39以及减压部件33及开关阀34(但在图4A到图4C中未图示)。因此，就防止密封衬底42断裂的能力而言，本实施例产生的效应与第一实施例的效应相同。

在图4A到图4C中所示的树脂密封系统1中，周围构件8及底部构件9可以与第一实施例类似的方式独立地移动。因此，就使用单一树脂密封系统1而容易地制造具有不同厚度的多种密封衬底42的能力而言，本实施例产生的效应与第一实施例的效应相同。

第三实施例

参看图5A及图5B描述根据本发明的模制品制造系统的第三实施例。从图5A及图5B以及后续图省略环境空气屏蔽构件29、密封构件30A及30B、抽吸孔31及抽吸管32。与在第一实施例中的图1A到图3B中所示的模制品制造系统(树脂密封系统1)相比较，本实施例的特性在于提供多个模具11(在图5A及图5B中为两个模具)。因此，根据本实施例，单一模制模块2的制造能力翻倍。另外，本实施例产生的效应与第一实施例的效应相同。

在本实施例中，较佳地在每一模具中提供在底部构件9与底部构件附着构件26之间的弹性体(未图示)。此情形为有利的，这是因为即使多个电路板36(在图5A及图5B中为两个电路板)具有不同厚度，仍将在制造密封衬底42时防止密封衬底42的密封树脂41的厚度发生显著变化。

第四实施例

参看图6A及图6B描述根据本发明的模制品制造系统的第四实施例。与在第二实施例中的图4A到图4C中所示的模制品制造系统(树脂密封系统1)相比较，本实施例的特性在于提供多个模具11(在图6A及图6B中为两个模具)。因此，根据本实施例，单一模制模块2的制造能力翻倍。另外，本实施例产生的效应与第一实施例的效应相同。

在本实施例中，较佳地在每一模具中提供在底部构件9与底部构件附着构件26之间的弹性体(未图示)。此情形为有利的，这是因为即使多个电路板36(在图6A及图6B中为两个电路板)具有不同厚度，仍将在制造密封衬底42时防止密封衬底42的密封树脂41的厚度发生显著变化。

第五实施例

参看图7A及图7B描述根据本发明的模制品制造系统的第五实施例。此实施例涉及如何使间隙43经由图1A到图6B中所示的连通孔39与外部空间38(即模具11之外的空间)连通。

图7A及图7B说明图1A到图6B中所示的连通孔39的位置。如图7A中所示，在周围构件8中，连通孔39被设置于低于对应于从周围构件8的上表面模制(参见图2A)密封树脂的厚度的位置的水平处。连通孔39的开口45形成于周围构件8的内部周围表面13上(具体来说，在从内部周围表面13向下伸展的表面上，其由图中的粗对角线指示)。因此，开口45与周围构件8的内部周围表面13与底部构件9的外部周围表面之间的间隙连通。紧接在底部构件9开始从密封树脂41向下移动之后，使底部构件9的内部底表面14与密封树脂41之间的间隙43经由周围构件8的内部周围表面13与底部构件9的外部周围表面之间的间隙与连通孔39及开口45连通。因此，通过使间隙与外部空间38连通，有可能使图3B中所示的底部构件9的内部底表面14与密封树脂41之间的间隙43内的压力等于大气压。

存在可设置连通孔39的位置的两个模式。根据第一模式，如由图7A中的实线所示，连通孔39被设置于比对应于密封树脂的厚度的位置低特定长度的位置处。在此状况下，最初使内部底表面14进入高于连通孔39的上端的位置，且将树脂材料供应给空腔12(参见图1A)。此后，底部构件9抬升或降低到对应于密封树脂的厚度的位置。通过此操作，可模制具有对应于等于或小于预定长度L的长度的厚度的密封树脂41。此长度L等于周围构件8的上表面与连通孔39的上端之间的距离，其中减小内部底表面14的定位误差。因此，通过使用单一下部模具10，可模制至多对应于长度L的最大厚度的密封树脂41。

根据第二模式，如由图7A中的虚线所示，连通孔39被设置于略低于对应于待模制的密封树脂41的厚度的位置的位置处。因此，紧接在底部构件9开始从密封树脂41向下移动之后，经由开口45及连通孔39使底部构件9与密封树脂41之间的间隙43等于大气压。

图7B展示其中连通孔39被设置于底部构件9中的模式。此连通孔39在图中从开口45向下延伸。在连通孔39内部，以可纵向移动的方式设置柱状构件46。柱状构件46可在连通孔39中通过致动器47纵向移动。在使柱状构件46停止于预定位置处时，柱状构件46的顶表面48(图中的上表面)形成底部构件9的内部底表面14的一部分。换句话说，柱状构件46的顶表面48闭合形成于底部构件9的内部底表面14中的开口45。

在连通孔39内部，由从开口45沿着连通孔39的伸展方向(在朝向底部构件9的外部或图中的下侧的方向上)稍微后退的位置形成具有比连通孔39的横截面大的横截面的扩宽部分49。扩宽部分49的横截面经成形以使得其包含平面视图上的柱状构件46的横截面形状，且具有大于柱状构件46的横截面形状的部分。举例来说，可同心地形成开口45及扩宽部分49，其中扩宽部分49的直径大于开口45的直径。在形成密封树脂41之后，在底部构件9开始向下移动之前将柱状构件46向下拉。通过此操作，在底部构件9开始向下移动之前，使在开口45处的密封树脂41的表面经由具有开口45及扩宽部分49的连通孔39与外部空间38连通。换句话说，在此时间点，在开口45处的密封树脂41的表面暴露于大气压。因此，紧接在底部构件9开始从密封树脂41向下移动之后，经由具有开口45及扩宽部分49的连通孔39使底部构件9与密封树脂41之间的间隙43(参见图3B)等于大气压。

可组合分别在图7A及图7B中所示的两个配置。具体来说，具有开口45及扩宽部分49的连通孔39(其中柱状构件46以可纵向移动的方式插入于连通孔39中(参见图7B))可类似地形成于图7A中所示的周围构件8中。在此状况下，开口45应较佳地位于由图7A中的虚线指示的位置处，或位于开口45在从侧部检视时与底部构件9的上表面重叠的位置处。

根据本实施例，紧接在底部构件9开始从密封树脂41向下移动之后，或在底部构件9开始此向下移动之前，使固化树脂41的表面与外部空间38连通。因此，紧接在底部构件9开始从密封树脂41向下移动之后，或与此向下移动的开始同时，经由开口45及连通孔39使底部构件9与密封树脂41之间的间隙43等于大气压。因此，可更有效地防止密封衬底42的断裂。

第六实施例

参看图8描述根据本发明的模制品制造系统(树脂密封系统1)的第六实施例。树脂密封系统1具有一个材料接收模块50、四个模制模块2及一个分配模块51。另外，树脂密封系统1具有用于将电功率供应给整个树脂密封系统1的电源52及用于控制系统中的每一组件的控制器53。

图8中的材料接收模块50及最左边的模制模块2可彼此附着及分离。彼此相邻的模制模块2还可彼此附着及分离。另外，图8中的最右模制模块2及分配模块51可彼此附着及分离。在此些组件彼此附着时，其相互位置由普遍知晓的构件(例如定位孔及定位销)确定。通过普遍知晓的手段(例如使用螺栓及螺母的螺纹紧固)达成那些组件的附着。

材料接收模块50具有衬底材料接收器54、树脂材料接收器55及材料传送机构56。衬底材料接收器54从树脂密封系统1的外部接收裸衬底。树脂材料接收器55从树脂密封系统1的外部接收由固态树脂制成的树脂材料15。在图8中，颗粒状树脂经展示为树脂材料15。

树脂密封系统1具备X方向导轨57，其沿着X方向从材料接收模块50经由四个模制模块2伸展到分配模块51。在X方向导轨57上，主要载体机构58的安装方式为其可在X方向上移动。主要载体机构58具备Y方向导轨59，其沿着Y方向伸展。在Y方向导轨59上，辅助载体机构60(其为主要载体机构58的一部分)的安装方式为其可沿着Y方向移动。辅助载体机构60(其中裸衬底35固持于上部，且树脂材料15固持于下部)在高于X方向导轨57的位置与高于一个模制模块2中的下部模具10的空腔12的位置之间双向移动。辅助载体机构60将裸衬底35供应给上部模具(未图示)的下表面，且将树脂材料15供应给下部模具10的空腔12。

树脂密封系统1具有控制器53。此控制器53中包含的控制驱动器产生信号，从而控制电动机16及23的方向、转数及力矩(参见图1A及图1B)。另外，控制器53负责控制主要载体机构58及辅助载体机构60的操作。

在本实施例中，由主要载体机构58及辅助载体机构60组成的载体机构携载裸衬底35及密封衬底42两者，所述密封衬底为通过安装于裸衬底35上的芯片37(参见图1A及图1B)树脂密封而获得的模制品。此配置简化树脂密封系统1的结构，因为由主要载体机构58及辅助载体机构60组成的载体机构翻倍，成为携载进入机构及携载离开机构。

分配模块51具有用于携载密封衬底42的模制品传送机构61及用于容纳数个密封衬底42的暗匣62。分配模块51还具有真空泵63。真空泵63为用于产生用于固持整个树脂密封系统1内的裸衬底35、密封衬底42及其它物品的抽吸力的减压源。真空泵63可设置于材料接收模块50中。

真空泵63还被用作用于抽空“环境空气屏蔽空间”的减压源，所述环境空气屏蔽空间为上部模具(未图示)与下部模具10之间的空间，其包含空腔12。在从将树脂材料15供应给空腔12的时间点到模具11完全闭合的时间点的时间周期期间，环境空气屏蔽空间形成于上部模具与下部模具10之间的包含空腔12的空间内。具体来说，上部模具与下部模具10之间的包含空腔12的空间借助于密封构件(参见图1A到图4C中的密封构件30A及30B)与环境空气分开。抽空此环境空气屏蔽空间会抑制图2A到图6B中所示的固化树脂41中的气泡(空隙)的产生。或者，用真空泵63抽空的高容量降压槽可被用作减压源。

根据本实施例，在四个模制模块2当中彼此相邻的模制模块2可彼此附着及分离。因此，模制模块2的数目可增加或减小以满足增加或减小的需求。举例来说，如果在工厂“A”所位于的区中对特定产品的需求增加，那么用于制造所述特定产品的模制模块2与工厂“B”所拥有的模制品制造系统(树脂密封系统1)分离，所述工厂“B”位于对所述产品的需求不高的区中。将分离的模制模块2输送到工厂“A”，且那些输送的模制模块2附着到工厂“A”所拥有的模制品制造系统。换句话说，将模制模块2添加到模制品制造系统。以此方式，可满足工厂“A”所位于的区内的增加的需求。因此，根据本实施例，可以实现根据增加或减小的需求而灵活调整的模制品制造系统。

先前所描述的模制品制造系统(树脂密封系统1)可经受以下变化：在第一变化中，材料接收模块50及分配模块51彼此整合成单一接收及分配模块51，且此模块安置于树脂密封系统1的一端(在图8的左端或右端)。在此变化中，因为一或多个模制模块2在树脂密封系统1的另一端(图8中的右端或左端)处暴露，所以很容易附着或分离一或多个模制模块2。

在第二变化中，材料接收模块50及一个模制模块2彼此整合成单一接收及模制模块2，且此模块安置于模制品制造系统(树脂密封系统1)的一端(在图8中的左端或右端)。在此变化中，另一模制模块2附着到接收及模制模块2，或多个模制模块2连续附着到所述接收及模制模块2。分配模块51附着到位于树脂密封系统1的另一端(图8中的右端或左端)处的模制模块2，从而完成模制品制造系统。

在第三变化中，模制品制造系统(树脂密封系统1)中的主要载体机构58及辅助载体机构60仅被用作携载进入机构，且携载离开机构与携载进入机构分开设置。在此变化中，携载进入机构及携载离开机构彼此独立地操作。因此，改进树脂密封系统1中的模制操作的效率。

变化不限于先前所描述的变化；本实施例仅需要模制品制造系统(树脂密封系统1)中的相邻模块2可彼此附着及分离。本发明可适用于具有此配置的模制品制造系统。

本发明不限于压缩模制，而是还可应用于传送模制及射出模制。根据本发明的模制品制造系统可为先前所描述的模制品制造系统中的任一者，其中射出模制、传送模制或压缩模制被采用为用于模制模制品的方法。类似地，根据本发明的模制品制造方法可为先前所描述的模制品制造方法中的任一者，其中射出模制、传送模制或压缩模制被采用为用于模制模制品的方法。

根据前文描述，最初在完成树脂密封之后执行的操作为在将底部构件9维持在特定高度时降低周围构件8，从树脂密封系统1之外所检视。还有可能最初在完成树脂密封之后降低底部构件9，同时将周围构件8维持在特定高度，如从树脂密封系统1之外所检视。

在模制密封树脂41且打开模具之后，可使周围构件8及底部构件9相对于彼此向上或向下移动。通过此操作，在周围构件8的内部周围表面13(参见图7A及图7B)与底部构件9的外部周围表面之间形成的固化树脂可被刮到下部模具的上侧及下侧中的一者或两者上。已刮掉成为树脂残留的固化树脂通过真空清洁系统移除。还有可能将树脂残留刮到放置在下部模具下方的容器中，且处理容器中收集的树脂残留。此清洁过程使得模制品制造系统能够以恒定的方式连续操作。

代替使用四个连接杆的配置，可采纳所谓的“固持框架”配置，其中上部基底、下部基底及连接两个基底的两个柱状构件组合在一起成为单一结构。在此状况下，两个柱状构件中的每一者对应于支撑构件。上部基底、下部基底及连接两个基底的两个柱状构件可由单一框架形状构件构成。或者，其可通过组合四个单独构件来构造。

两个驱动机构(电动机16及23)的位置不限于下部基底3的中心部分及抬升压板6的中心部分。电动机16可被放置于下部基底3的周围边缘附近。类似地，电动机23可被放置于抬升压板6的周围边缘附近。在此些状况下，例如电动机16或23等旋转轴杆经由用于电动机的滑轮、确动皮带及用于滚珠螺杆的滑轮与中心滚珠螺杆17或24机械连接。

代替由电动机组成的电气机构，可使用液压机构或气动机构。双态触发机构可与此些机构中的任一者组合。

作为模制品的密封衬底42(参见图2B)的一个实例为用于制造例如集成电路(IC)或发光二极管(LED)等半导体产品的中间产品。密封衬底42自身可为半导体产品。密封衬底42还可为用于制造由与被动组件(例如电阻器、电容器、电感器等)及/或电子零件(例如传感器、滤波器等)组合的半导体芯片组成的电路模块的中间产品。电路模块的一个实例为用于输送机构的控制电路模块，所述控制电路模块用于控制内燃机或电动机，或用于控制转向系统或制动系统。另外，电路模块可为用于控制电功率的产生、传输及配送的所谓的“功率控制电路模块”。

电路衬底36不限于电路板，例如印刷电路板。举例来说，电路衬底36可为半导体晶片(例如硅晶片)、陶瓷衬底或金属引线框架。

制造的模制品不限于密封衬底42(参见图2B)；其可为除电子零件及半导体相关产品以外的任何通常已知种类的模制品。举例来说，本发明可应用于通过树脂模制对透镜、光学模块、光导板或其它光学零件的制造中，或应用于任何通常已知种类的树脂模制品的制造中。换句话说，对于任何类型的常用模制品制造系统，关于树脂密封系统1的前文描述的内容也保持为真。

迄今为止的描述涉及其中底部构件9具有矩形平面形状的状况。底部构件9的形状不限于所述形状；举例来说，其可具有圆形平面形状或不规则形状(例如具有突起及/或凹陷的圆形形状或具有突起及/或凹陷的矩形形状)。在此些状况下，形成于周围构件8的中心部分中的通孔应具有对应于底部构件9的平面形状的平面形状(即，圆形形状、具有突起及/或凹陷的圆形形状或具有突起及/或凹陷的矩形形状)。

可使用在室温下呈胶状形式的树脂(“胶状树脂”)，或还可使用在室温下呈液态形式的树脂材料(“液态树脂”)作为被供应给空腔12的树脂材料15。在后一状况中，供应给空腔12的液态树脂直接充当流体树脂40。代替热固性树脂，可使用热塑性树脂。

本发明不限于先前所描述的实施例中的任一者，而是根据需要允许任意及适当的组合、修改或选择而不会偏离本发明的范围。

Claims (16)

1.一种模制品制造系统，其包含：模具，其至少具有下部模具及面朝所述下部模具的上部模具；空腔，其设置于所述下部模具中；底部构件，其具有形成所述空腔的底表面的内部底表面；周围构件，其具有形成所述空腔的侧表面的内部周围表面；及模具驱动机构，其经提供以用于打开及闭合所述模具，所述系统经配置以制造包含固化树脂的模制品，通过在使所述模具固持于闭合状态时将填充所述空腔的流体树脂固化而形成所述固化树脂，且所述系统包括：

下部基底；

支撑构件，其垂直地设置于所述下部基底上；

上部基底，其设置于所述支撑构件的上部，且面朝所述下部基底；

抬升压板，其以可垂直移动的方式安装于所述支撑构件的中间部分上；

第一驱动机构，其包含于所述模具驱动机构中，且附着到所述下部基底；

第二驱动机构，其包含于所述模具驱动机构中，且附着到所述抬升压板；

主要连接构件，其连接所述第一驱动机构及所述抬升压板；

第一辅助连接构件，其连接到所述周围构件；及

第二辅助连接构件，其连接到所述底部构件，其中：

所述上部模具附着到所述上部基底；

所述第一辅助连接构件连接到所述抬升压板；

所述第二辅助连接构件连接到所述第二驱动机构；

所述周围构件由所述抬升压板垂直地驱动，所述抬升压板由所述第一驱动机构垂直地驱动；及

所述底部构件由所述第二驱动机构垂直地驱动。

2.一种模制品制造系统，其包含：模具，其至少具有下部模具及面朝所述下部模具的上部模具；空腔，其设置于所述下部模具中；底部构件，其具有形成所述空腔的底表面的内部底表面；周围构件，其具有形成所述空腔的侧表面的内部周围表面；及模具驱动机构，其经提供以用于打开及闭合所述模具，所述系统经配置以制造包含固化树脂的模制品，通过在使所述模具固持于闭合状态时将填充所述空腔的流体树脂固化而形成所述固化树脂，且所述系统包括：

下部基底；

支撑构件，其垂直地设置于所述下部基底上；

上部基底，其设置于所述支撑构件的上部，且面朝所述下部基底；

抬升压板，其以可垂直移动的方式安装于所述支撑构件的中间部分上；

第一驱动机构，其包含于所述模具驱动机构中，且附着到所述下部基底；

第二驱动机构，其包含于所述模具驱动机构中，且附着到所述抬升压板；

主要连接构件，其连接所述第一驱动机构及所述抬升压板；

第一辅助连接构件，其连接到所述周围构件；及

第二辅助连接构件，其连接到所述底部构件，其中：

所述上部模具附着到所述上部基底；

所述第一辅助连接构件连接到所述第二驱动机构；

所述第二辅助连接构件连接到所述抬升压板；

所述底部构件由所述抬升压板垂直地驱动，所述抬升压板由所述第一驱动机构垂直地驱动；及

所述周围构件由所述第二驱动机构垂直地驱动。

3.根据权利要求1或2所述的模制品制造系统，其进一步包括：

连通孔，其设置于所述下部模具中，所述连通孔用于允许形成所述空腔的模具表面与所述下部模具之外的外部空间连通；及

开口，其通过形成所述空腔的所述模具表面上的所述连通孔形成。

4.根据权利要求3所述的模制品制造系统，其中：

所述连通孔设置于所述周围构件中；及

所述连通孔设置于一位置处，在所述周围构件上的所述模具表面与所述固化树脂之间开始形成间隙之后，所述连通孔允许所述间隙与所述外部空间连通。

5.根据权利要求3所述的模制品制造系统，其中：

所述连通孔设置于由所述周围构件及所述底部构件中的至少一者组成的连通构件中；

所述下部模具具备：

柱状构件，其以可纵向移动的方式插入于所述连通孔中，

顶表面，其形成于所述柱状构件上，且经配置以装进所述开口中，及

扩宽部分，其形成于所述连通孔中且由从所述开口后退的一位置沿着连通方向朝向所述外部空间伸展，所述连通方向为所述连通孔的伸展方向，所述扩宽部分包含平面视图上的所述柱状构件的横截面形状，且具有大于所述横截面形状的部分；

所述顶表面在所述柱状构件朝向所述空腔前进直到所述顶表面到达所述开口时闭合所述开口；及

包含所述开口及所述扩宽部分的所述连通孔在所述柱状构件在所述连通方向上回缩时与所述外部空间连通。

6.根据权利要求1或2所述的模制品制造系统，其中：

设置多个所述模具；

所述第一辅助连接构件连接到多个所述模具中的每一者的所述周围构件；及

所述第二辅助连接构件连接到多个所述模具中的每一者的所述底部构件。

7.根据权利要求1或2所述的模制品制造系统，其进一步包括：

环境空气屏蔽构件，其设置于所述上部基底与所述第一辅助连接构件之间，以使得最低限度包含所述空腔的空间变为经屏蔽以免于环境空气的封闭空间；

至少一个密封构件，其设置于所述上部基底与所述第一辅助连接构件之间；及

减压部件，其连接到所述封闭空间，所述减压部件用于减压所述封闭空间。

8.根据权利要求1或2所述的模制品制造系统，其进一步包括：

材料接收模块，其用于接收树脂材料，所述树脂材料为流体树脂的原材料；及

至少一个模制模块，其至少具有所述模具及所述模具驱动机构，

其中所述模制模块可附着到所述材料接收模块且可与所述材料接收模块分离，且所述模制模块可附着到另一模制模块且可与所述另一模制模块分离。

9.一种用于使用模制品制造系统制造包含固化树脂的模制品的模制品制造方法，所述模制品制造系统包含：模具，其至少具有下部模具及面朝所述下部模具的上部模具；空腔，其设置于所述下部模具中；底部构件，其具有形成所述空腔的底表面的内部底表面；周围构件，其具有形成所述空腔的侧表面的内部周围表面；及模具驱动机构，其经提供以用于打开及闭合所述模具，所述方法包含用流体树脂填充所述空腔的过程，闭合所述模具，及通过在使所述模具固持于闭合状态时将所述空腔中的所述流体树脂固化而形成所述固化树脂，且所述方法包括以下过程：

抬升连接到第一辅助连接构件的所述周围构件及连接到第二辅助连接构件的所述底部构件两者；

使所述周围构件与存在于所述上部模具上的构件接触，且进一步抬升所述底部构件；

通过使所述底部构件在预定位置处停止而形成所述空腔；

在模制所述固化树脂的过程之后，通过在所述固化树脂的顶表面由所述底部构件的所述内部底表面固持时降低所述周围构件，使所述固化树脂的外部周围表面与所述周围构件的所述内部周围表面分离；

在模制所述固化树脂的过程之后，通过在所述固化树脂的所述外部周围表面由所述周围构件的所述内部周围表面固持时降低所述底部构件，使所述固化树脂的所述顶表面与所述底部构件的所述内部底表面分离；

降低所述周围构件及所述底部构件两者；及

移除所述模制品，其中：

通过所述第一辅助连接构件连接到抬升压板的所述周围构件通过借助于设置于所述模制品制造系统中包含的下部基底中的第一驱动机构经由主要连接构件垂直地驱动所述抬升压板而抬升或降低；及

通过所述第二辅助连接构件连接到第二驱动机构的所述底部构件借助于设置于所述抬升压板中的第二驱动机构而抬升或降低。

10.一种用于使用模制品制造系统制造包含固化树脂的模制品的模制品制造方法，所述模制品制造系统包含：模具，其至少具有下部模具及面朝所述下部模具的上部模具；空腔，其设置于所述下部模具中；底部构件，其具有形成所述空腔的底表面的内部底表面；周围构件，其具有形成所述空腔的侧表面的内部周围表面；及模具驱动机构，其经提供以用于打开及闭合所述模具，所述方法包含用流体树脂填充所述空腔的过程，闭合所述模具，及通过在使所述模具固持于闭合状态时将所述空腔中的所述流体树脂固化而形成所述固化树脂，且所述方法包括以下过程：

抬升连接到第一辅助连接构件的所述周围构件及连接到第二辅助连接构件的所述底部构件两者；

使所述周围构件与存在于所述上部模具上的构件接触，且进一步抬升所述底部构件；

通过使所述底部构件在预定位置处停止而形成所述空腔；

在模制所述固化树脂的过程之后，通过在所述固化树脂的顶表面由所述底部构件的所述内部底表面固持时降低所述周围构件，使所述固化树脂的外部周围表面与所述周围构件的所述内部周围表面分离；

在模制所述固化树脂的过程之后，通过在所述固化树脂的所述外部周围表面由所述周围构件的所述内部周围表面固持时降低所述底部构件，使所述固化树脂的所述顶表面与所述底部构件的所述内部底表面分离；

降低所述周围构件及所述底部构件两者；及

移除所述模制品，其中：

通过所述第二辅助连接构件连接到抬升压板的所述底部构件通过借助于设置于所述模制品制造系统中包含的下部基底中的第一驱动机构经由主要连接构件垂直地驱动所述抬升压板而抬升或降低；及

通过所述第一辅助连接构件连接到第二驱动机构的所述周围构件借助于设置于所述抬升压板中的第二驱动机构而抬升或降低。

11.根据权利要求9或10所述的模制品制造方法，其进一步包括：

在模制所述固化树脂的所述过程之后，使用设置于所述下部模具中用于允许形成所述空腔的模具表面与所述外部空间连通的连通孔，经由设置于形成所述空腔的所述模具表面上的所述连通孔的开口，使所述固化树脂的表面与所述下部模具之外的外部空间连通的过程。

12.根据权利要求11所述的模制品制造方法，其中：

所述连通孔设置于一位置处，在所述周围构件上的所述模具表面与所述固化树脂之间开始形成间隙之后，所述连通孔允许所述间隙与所述外部空间连通；及

在分离所述固化树脂的所述顶表面的所述过程中执行使所述固化树脂的所述表面与所述外部空间连通的过程。

13.根据权利要求11所述的模制品制造方法，其中：

所述连通孔设置于由所述周围构件及所述底部构件中的至少一者组成的连通构件中；

所述下部模具具备：

柱状构件，其以可纵向移动的方式插入于所述连通孔中，

顶表面，其形成于所述柱状构件上，且经配置以装进所述开口中，且

扩宽部分，其形成于所述连通孔中且由从所述开口后退的一位置沿着连通方向朝向所述外部空间伸展，所述连通方向为所述连通孔的伸展方向，所述扩宽部分包含平面视图上的所述柱状构件的横截面形状，且具有大于所述横截面形状的部分；

在用所述流体树脂填充所述空腔的所述过程开始之前，执行通过使所述柱状构件朝向所述空腔前进直到所述顶表面到达所述开口以借助于所述顶表面闭合所述开口的过程；及

在模制所述固化树脂的所述过程之后，执行通过使所述柱状构件在所述连通方向上回缩以使所述固化树脂的所述表面与所述外部空间连通的过程。

14.根据权利要求9或10所述的模制品制造方法，其中：

所述模制品制造系统具有多个所述模具；

所述第一辅助连接构件连接到多个所述模具中的每一者的所述周围构件；及

所述第二辅助连接构件连接到多个所述模具中的每一者的所述底部构件。

15.根据权利要求9或10所述的模制品制造方法，其进一步包括以下过程：

通过屏蔽最低限度包含所述空腔的空间以免于环境空气而形成封闭空间；及

在至少继续直到完成闭合所述模具的所述过程的时间周期内减压所述封闭空间。

16.根据权利要求9或10所述的模制品制造方法，其进一步包括以下过程：

准备材料接收模块，其用于接收树脂材料，所述树脂材料为所述流体树脂的原材料；及

准备至少一个模制模块，其至少具有所述模具及所述模具驱动机构，其中：

所述模制模块可附着到所述材料接收模块且可与所述材料接收模块分离，且所述模制模块可附着到另一模制模块且可与所述另一模制模块分离。