CN1299906C - 加盖装置、加盖方法及液滴喷出装置 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种加盖装置、加盖方法及液滴喷出装置，该加盖装置是利用覆盖机构覆盖具有贮留液状体的空腔、与该空腔连通的喷嘴、和用于使贮留在空腔内的液状体从喷嘴喷出的喷出机构的喷出头的加盖装置(22)，其特征是，覆盖机构具备具有对气体的透过性高的透气性构件(31b)的第1覆盖机构(31)、具有将喷嘴附近保持在湿润状态的湿润构件(32b)的第2覆盖机构(32)。该装置不会将用喷墨方式喷出的液状体白白地排出，可以进行液状体向喷墨头的填充动作和喷出故障状态的喷墨头的恢复动作。
Description
技术领域
本发明涉及加盖装置、加盖方法及液滴喷出装置。
背景技术
近年来，喷墨装置(液滴喷出装置)一般被作为喷墨打印机而广泛使用。作为此种喷墨装置的特征，可以列举如下，可以实现喷墨头(喷出头)的小型·高密度化，可以高精度地将极少量的液滴喷向目的位置，不会受喷出的液状体的种类、性质等左右，除了纸以外，还可以适用于薄膜、布帛、玻璃基板、合成树脂基板、金属基板等任意的印刷介质，印刷时的噪音较低，成本低等。
最近，不仅在原有的印刷方面，而且例如像DNA芯片(也称为DNA微型阵列)的制造等多方面的应用中，喷墨方式受到广泛的关注(例如参照专利文献1)。这里，所谓DNA芯片是指，例如在像载片那样的基板上以矩阵状排列粘贴包含数千～数万种DNA片段的溶液的芯片，被用于遗传基因的种类和分析中。
[专利文献1]
特开2001-186880号公报
但是，在喷墨装置中，需要将要喷出的液状体(墨液等)填充到喷墨头的全部喷嘴中。
该填充方法是通过使抽吸帽与喷墨头的喷嘴开口面密接，利用泵吸附液状体，从喷嘴开口面对墨液室进行吸抽脱气，而将液状体填充到墨液室内。
但是，由于很难检测出液状体完全地填充到了喷嘴的头端的情况，因此要略微延长泵的抽吸时间来进行抽吸脱气，所以会产生液状体从喷嘴头端被白白地排出的问题。
另外，在制造所述的DNA芯片等的情况下，不仅难以使极少量的生物高分子溶液填充至喷嘴头端，而且当采用与喷墨装置相同的填充方法时，会产生将极少量而且昂贵的生物高分子溶液白白地丢弃的问题。
另外，喷墨装置在发生了液状体的喷出故障的情况下，需要对喷墨头进行冲洗等恢复动作。
在该情况下，由于利用泵从喷嘴开口面抽吸液状体，因此会产生将液状体白白地排出的问题。
发明内容
本发明为鉴于此种情况而进行的，目的在于提供一种不会将由喷墨方式喷出的液状体白白地排出的、可以进行液状体向喷墨头的填充动作和喷出故障状态的喷墨头的恢复动作的加盖装置、加盖方法及液滴喷出装置。
为了实现所述目的，本发明采用了以下的手段。
即，本发明的加盖装置，是利用覆盖机构覆盖具有贮留液状体的空腔、与该空腔连通的喷嘴和用于使贮留在所述空腔内的液状体从所述喷嘴喷出的喷出机构的喷出头的加盖装置，其特征是，覆盖机构具备具有对气体的透过性高的透气性构件的第1覆盖机构、和具有将喷嘴附近保持在湿润状态的湿润构件的第2覆盖机构，第1覆盖机构在与透气性构件的喷出头相反一侧，具备与该第1覆盖机构的外部连通的第1连通管，另外，第2覆盖机构在与湿润构件的喷出头相反一侧，具有与该第2覆盖机构的外部连通的第2连通管，而且，加盖装置还具备与第1连通管和第2连通管连接的抽吸机构、选择第1覆盖机构和第2覆盖机构中的任意一方而使之与抽吸机构连通的选择机构。
这里，在喷出头上连接有用于向空腔供给液状体的液状体流路。另外，在该液状体流路上，连接有贮留了液状体的液状体贮留部。
另外，所谓透气性构件是意味着能理想地透过气体但在某临界压力下不能使液状体透过的过滤器等的构件。该透气性构件例如最好为由聚四氟乙烯等的微细纤维制成的、平均孔径为1到3μm的材料。
另外，所谓湿润构件是意味着液状体湿润了对液状体的吸收性高的材料的状态的构件。作为该湿润构件，例如最好为海绵等多孔材料，并且是弹性材料。
根据本发明，在用第1覆盖机构覆盖了喷出头的状态下，当经由透气性构件从喷嘴开口面(或喷出头头端面)抽吸液状体时，空腔内的压力低于液状体贮留部内的压力，液状体贮留部内的液状体会经由液状体流路而流入空腔内，该液状体即被填充到整个喷出头内。这里，由于透气性构件虽然使气体透过，但是不使液状体透过，因此，喷出头内的全部气体被抽吸，同时，液状体的流动会停留在喷嘴头端。因而就可以完全地将喷出头内的气体抽吸除去，而仅将液状体填充到该喷出头内。另外，还可以防止因气体在喷出头内的残留引起的喷嘴内的堵塞或喷出故障。
另外，在液状体被填充到喷出头内的状态下，当用第2覆盖机构覆盖该喷出头时，由于喷嘴开口面与湿润构件相面对，因此液状体就不会在喷嘴内干燥。所以，可以防止在喷嘴内形成弯月面的液状体的粘度上升。另外，还可以防止因粘度上升引起的喷嘴内的堵塞或喷出故障。
并且，根据本发明，当在利用第1覆盖机构的透气性构件覆盖了喷出头的状态下对该喷出头内进行抽吸时，喷出头内的全部气体被抽吸，该气体经过第1连通管向加盖装置的外部排出。所以就可以经过第1连通管排出气体。
另外，在第2覆盖机构的湿润构件所含的液状体多于特定量的情况下，当对第2覆盖机构进行抽吸时，第2覆盖机构内的液状体经过第2连通管向加盖装置的外部排出。所以就可以经过第2连通管排出液状体。
这里，所谓抽吸机构是指泵等，是借助第1连通管或第2连通管对第1覆盖机构或第2覆盖机构进行抽吸的构件。
另外，所谓选择机构是指阀等，是将第1覆盖机构或第2覆盖机构中的任意一方与抽吸机构连通的构件。
根据本发明，通过选择机构使第1覆盖机构和第2覆盖机构中的任意一方与抽吸机构连通，抽吸机构进行抽吸动作，就可以对所连通一侧的覆盖机构进行抽吸。
另外，本发明是先前所述的加盖装置，其特征是，与第1连通管相比，第2连通管的截面积更大。
如上所述，在第1覆盖机构中，通过对喷出头内进行抽吸，气体在第1连通管内流动，该气体被向空腔装置外排出。另外，在第2覆盖机构中，通过对多于特定量的液状体进行抽吸，液状体在第2连通管内流动，该液状体就向空腔装置外排出。
根据本发明，即使在第2连通管中产生了液状体的粘度上升的情况下，由于截面积比第1连通管更大，因此可以防止第2连通管内的堵塞。
另外，本发明是先前所述的加盖装置，其特征是，第2覆盖机构在该第2覆盖机构和喷出头接触侧具备突出部。
这里，所谓突出部是指比该突出部的周围的平坦部更相对地突出的部位。另外，该突出部最好是由橡胶或高分子材料等制成的弹性体。
根据本发明，在第2覆盖机构覆盖了喷出头的情况下，喷出头的一部分与突出部接触。这里，喷出头和突出部的接触面积比喷出头和平坦部的接触面积更小。
所以，在第2覆盖机构和喷出头中，即使液状体在所述的接触面积内干燥了的情况下，由于通过具有突出部而使接触面积变小，因此可以防止因液状体的干燥引起的粘合。
另外，本发明的加盖方法，是覆盖具有贮留液状体的空腔、与该空腔连通的喷嘴和用于使贮留在空腔内的液状体从喷嘴喷出的喷出机构的喷出头的加盖方法，其特征是，具备利用具有对气体的透过性高的透气性构件的第1覆盖机构覆盖喷出头的第1覆盖工序、和利用具有将喷嘴附近保持在湿润状态的湿润构件的第2覆盖机构覆盖喷出头的第2覆盖工序、和抽吸被第1覆盖机构和第2覆盖机构中的任意一方所覆盖的喷出头的抽吸工序。
根据本发明，在用第1覆盖机构覆盖了喷出头的状态下，当经过透气性构件从喷嘴开口面(或喷出头头端面)抽吸液状体时，空腔内的压力比液状体贮留部内的压力更低，液状体贮留部内的液状体经过液状体流路而流入空腔内，该液状体即被填充到整个喷出头内。这里，由于透气性构件虽然使气体透过，但是不使液状体透过，因此，喷出头内的全部气体被抽吸，同时，液状体的流动会停留在喷嘴头端。因而就可以完全地将喷出头内的气体抽吸除去，而仅将液状体填充到该喷出头内。另外，还可以防止因气体在喷出头内的残留引起的喷嘴内的堵塞或喷出故障。
另外，在液状体被填充到喷出头内的状态下，当用第2覆盖机构覆盖该喷出头时，由于喷嘴开口面与湿润构件相面对，因此液状体就不会在喷嘴内干燥。所以，可以防止在喷嘴内形成弯月面的液状体的粘度上升。另外，还可以防止因粘度上升引起的喷嘴内的堵塞或喷出故障。
并且，根据本发明，通过实施先前所述的加盖方法和抽吸工序，就可以对第1覆盖机构和第2覆盖机构中的任意一方进行抽吸。
另外，本发明是先前所述的加盖方法，其特征是，通过实施第1覆盖工序和抽吸工序，向喷出头的空腔内填充液状体。
根据本发明，在用第1覆盖机构覆盖了喷出头的状态下，当经过透气性构件从喷嘴开口面(或喷出头头端面)抽吸液状体时，空腔内的压力比液状体贮留部内的压力更低，液状体贮留部内的液状体经过液状体流路而流入空腔内，该液状体即被填充到整个喷出头内。这里，由于透气性构件虽然使气体透过，但是不使液状体透过，因此，喷出头内的全部气体被抽吸，同时，液状体的流动会停留在喷嘴头端。因而就可以完全地将喷出头内的气体抽吸除去，而仅将液状体填充到该喷出头内。
另外，本发明是先前所述的加盖方法，其特征是，在喷出头的喷出暂停状态下，通过实施第2覆盖工序，将该喷出头保持在湿润状态。
这里，所谓喷出暂停状态例如是指，在液滴喷出装置内输送基板的情况或将基板送出的情况、即使将基板放置在液滴喷出装置的载物台上但液滴喷出动作处于待机状态的情况等。
根据本发明，在液滴喷出暂停状态下，由于第2覆盖机构覆盖该喷出头，喷嘴开口面与湿润构件接触，因此液状体就不会在喷墨开口面处干燥。所以就可以防止喷嘴内形成弯月面的液状体的粘度上升。
另外，本发明是先前所述的加盖方法，其特征是，在喷出头的喷出故障状态下，通过连续实施第1覆盖工序、抽吸工序、第2覆盖工序，使喷出头恢复到喷出良好状态。
这里，所谓喷出故障状态例如是指，即使驱动喷出机构液状体也不从喷嘴喷出的状态，或即使喷出了液状体，也会产生飞行弯曲而在命中位置上产生误差的状态等不能正常地喷出液状体的状态。
另外，所谓喷出良好状态是指，与所述的喷出故障状态相反，可以正常地喷出液状体的状态。
根据本发明，利用第1覆盖工序及抽吸工序，借助透气性构件对喷出头内进行抽吸，喷嘴内的弯月面附近的液状体即被移动、搅拌。另外，利用第2覆盖工序，将该喷出头保持在湿润状态。
所以，就可以使喷出故障状态的喷出头恢复到喷出良好状态。
另外，本发明是先前所述的加盖方法，其特征是，在第2覆盖工序中，通过喷出头向湿润构件进行特定次数的液滴喷出，使喷出头恢复。
这里，所谓特定次数的液滴喷出是指，所谓的遗弃喷出、试喷，是表示冲洗的操作。
根据本发明，通过进行特定次数的液滴喷出，喷嘴内的弯月面附近的液状体即被移动、搅拌。所以，就可以使喷出故障状态的喷出头恢复到喷出良好状态。
另外，本发明的液滴喷出装置，是具备具有贮留液状体的空腔、与该空腔连通的喷嘴和用于使贮留在空腔内的液状体从喷嘴喷出的喷出机构的喷出头、向空腔供给液状体的液状体贮留部的液滴喷出装置，其特征是，具有先前所述的加盖装置。
根据本发明，在用第1覆盖机构覆盖了喷出头的状态下，当经过透气性构件从喷嘴开口面(或喷出头头端面)抽吸液状体时，空腔内的压力比液状体贮留部内的压力更低，液状体贮留部内的液状体经过液状体流路而流入空腔内，该液状体即被填充到整个喷出头内。这里，由于透气性构件虽然使气体透过，但是不使液状体透过，因此，喷出头内的全部气体被抽吸，同时，液状体的流动会停留在喷嘴头端。因而就可以完全地将喷出头内的气体抽吸除去，而仅将液状体填充到该喷出头内。另外，还可以防止因气体在喷出头内的残留引起的喷嘴内的堵塞或喷出故障。
另外，在液状体被填充到喷出头内的状态下，当用第2覆盖机构覆盖该喷出头时，由于喷嘴开口面与湿润构件接触，因此液状体就不会在喷嘴内干燥。所以，可以防止在喷嘴内形成弯月面的液状体的粘度上升。另外，还可以防止因粘度上升引起的喷嘴内的堵塞或喷出故障。
附图说明
图1是表示本发明的液滴喷出装置的一个实施方式的概略立体图。
图2是喷出头的分解立体图。
图3是喷出头的主要部分的立体图。
图4是表示加盖单元的构成的俯视图及剖面图。
图5是用于说明加盖单元的动作的主要部分的剖面图。
图中：IJ...液滴喷出装置，20...喷出头，22...加盖单元(加盖装置)，31...第1加盖部(第1覆盖机构)，31b...透气性滤器(透气性构件)，32...第2加盖部(第2覆盖机构)，32b...湿润构件，32c...突出部，33...第1连通管(第1个连通管)，34...第2连通管(第2个连通管)，35...切换阀(选择机构)，36...泵(抽吸机构)，63...罐(液状体贮留部)，211...喷嘴，221...空腔，240...压电体元件(喷出机构)。
具体实施方式
下面将参照附图对本发明的加盖装置、加盖方法及液滴喷出装置进行说明。图1是表示本发明的液滴喷出装置的一个实施方式的概略立体图。
(液滴喷出装置)
在图1中，液滴喷出装置IJ具有基座12、在基座12上支撑基板P的载物台ST、夹隔在基座12和载物台ST之间可以移动地支撑载物台ST的第1移动装置14、可以向由载物台ST支撑的基板P喷出特定的液状体材料的喷出头20、可以移动地支撑喷出头20的第2移动装置16、贮藏了从喷出头20喷出的液状体的罐(液状体贮留部)63、将该液状体向喷出头20供给的液状体流路61、控制喷出头20的液状体的喷出动作的控制装置CONT、设于基座12上的加盖单元(加盖装置)22、清洁单元24。另外，包含第1移动装置14及第2移动装置16的液滴喷出装置IJ的动作由控制装置CONT控制。
第1移动装置14被设置在基座12之上，并沿着Y轴方向定位。使用支柱16A、16A将第2移动装置16竖立安装在基座12上，并安装在基座12的后部12A处。第2移动装置16的X轴方向是与第1移动装置14的Y轴方向正交的方向。这里，Y轴方向是沿着基座12的前部12B和后部12A的方向。与之相对，X轴方向是沿着基座12的左右方向的方向，分别处于水平面内。另外，Z轴方向是与X轴方向及Y轴方向垂直的方向。
第1移动装置14例如由线性马达构成，具有导轨40、40和沿着该导轨40可以移动设置的滑块42。该线性马达形式的第1移动装置14的滑块42沿着导轨40可以在Y轴方向移动而定位。
另外，滑块42具有绕Z轴旋转(θZ)用的马达44。该马达44例如为直接传动马达，马达44的转子被固定在载物台ST上。这样，通过向马达44通电，转子和载物台ST就可以沿着θZ方向旋转，将载物台ST分度(旋转分度)。即，第1移动装置14可以将载物台ST在Y轴方向及θZ方向移动。
载物台ST是保持基板P并且将其定位于特定的位置的构件。另外，载物台ST具有吸附保持装置50，通过吸附保持装置50动作而穿过载物台ST的小孔46A，将基板P吸附保持在载物台ST之上。
第2移动装置16由线性马达构成，具有固定在支柱16A、16A上的柱16B、由该柱16B支撑的导轨62A、沿着导轨62A可以在X轴方向移动支撑的滑块60。滑块60可以沿着导轨62A在X轴方向移动而定位，喷出头20被安装在滑块60上。
喷出头20具有作为摆动定位装置的马达62、64、66、68。如果是马达62动作，则喷出头20就可以沿着Z轴上下移动而定位。该Z轴是与X轴和Y轴分别正交的方向(上下方向)。当使马达64动作时，喷出头20就可以沿着绕Y轴的β方向摆动而定位。当使马达66动作时，喷出头20就可以沿着绕X轴的γ方向摆动而定位。当使马达68动作时，喷出头20就可以沿着绕Z轴的α方向摆动而定位。
即，第2移动装置16在X轴方向及Z轴方向可以移动地支撑喷出头20，同时在θX方向(绕X轴)、θY方向(绕Y轴)、θZ方向(绕Z轴)可以移动地支撑该喷出头20。
这样，图1的喷出头20可以在滑块60上沿Z轴方向直线移动而定位，而且可以沿着α、β、γ摆动而定位，喷出头20的液状体喷出面(喷嘴开口面)20P就可以相对于载物台ST侧的基板P准确地控制位置或姿势。而且，在喷出头20的液状体喷出面20P上设有多个喷出液状体的喷嘴。
图2是表示喷出头20的分解立体图。
如图2所示，喷出头20将设置了喷嘴211的喷嘴平板210及设置了振动板230的压力室基板220嵌入筐体250中而构成。该喷出头20的主要部分构造如图3的立体图局部剖面图所示，具有用喷嘴平板210和振动板230夹隔压力室基板220的构造。喷嘴平板210在与压力室基板220贴合时，在与空腔221对应的位置上形成有喷嘴211。在压力室基板220上，通过对硅单晶基板等进行蚀刻，设有多个分别可以作为压力室发挥功能的空腔221。空腔221之间由侧壁(隔壁)222分离。各空腔221借助供给口224与作为公共的流路的蓄液池223连接。振动板230例如由热氧化膜等构成。在振动板230上设有液状体罐口231，可以从图1的罐63经过液状体流路61供给任意的液状体。在振动板230上的相当于空腔221的位置上，形成有压电体元件(喷出机构)240。
压电体元件240具有以上部电极及下部电极(未图示)夹隔压电元件等的压电型陶瓷的晶体的构造。压电体元件240可以与由控制装置CONT提供的喷出信号对应地产生体积变化。
从喷出头20喷出液状体时，首先，控制装置CONT向喷出头20提供用于使液状体喷出的喷出信号。液状体流入喷出头20的空腔221，被提供了喷出信号的喷出头20中，其压电体元件240利用加在其上部电极和下部电极间的电压产生体积变化。该体积变化使振动板230变形，从而使空腔221的体积变化。其结果是，从该空腔221的喷嘴孔211喷出液状体的液滴。对于喷出了液状体的空腔221，由罐重新供给因喷出而减少的液状体。
而且，虽然所述喷出头为通过在压电体元件上产生体积变化而喷出液状体的构成，但是也可以是利用发热体对液状体加热并利用其膨胀使液滴喷出的喷头构成。另外，还可以是利用静电使振动板变形，使体积变化，从而喷出液滴的喷出头。
第2移动装置16通过使喷出头20在X轴方向移动，就可以使喷出头20在清洁单元24或加盖单元22的上部选择性地定位。即，即使在器件制造作业的中途，例如如果将喷出头20在清洁单元24上移动，就可以进行喷出头20的清洁作业。如果将喷出头20在加盖单元22之上移动，则可以对喷出头20的液状体喷出面20P实施加盖操作，或将液状体填充入空腔221，或使喷出故障消除。即，清洁单元24及加盖单元22被配置在基座12上的后部12A侧，位于喷出头20的移动路径的正下方，并与载物台ST分离。由于基板P在载物台ST上的送入作业及送出作业在基座12的前部12B侧进行，因此不会因清洁单元24或加盖单元22而对作业带来妨碍。
另外，作为从所述的喷出头20喷出的液状体，可以采用含有着色材料的墨液、含有金属微粒等材料的分散液、含有PEDOT:PSS等空穴注入材料或发光材料等有机EL物质的溶液、液晶材料等高粘度的功能性液体、含有微透镜材料的功能性液体等含有各种材料的液状体。在本实施方式中，采用含有蛋白质或核酸等的生物高分子溶液。
另外，基板P是由玻璃等材料制成的。
通过在基板P上形成此种生物高分子溶液，就可以形成例如DNA芯片等的微型阵列。
清洁单元24可以在器件制造工序中或待机时定期地或随时地进行喷出头20的喷嘴等的清洁作业。
加盖单元22是如下的构件，即，为了使喷出头20的液状体喷出面20P不干燥，在不制造器件的待机时对该液状体喷出面20P实施加盖操作，或者在将液状体填充入空腔221时使用，另外使产生了喷出故障的喷出头20恢复。
(加盖单元)
图4是表示加盖单元22的构成的图，图4(a)是从喷出头侧看到的俯视图，图4(b)是从图4(a)的X-X方向看到的剖面图。
如图4(a)、(b)所示，加盖单元22由主体22a、第1加盖部(第1覆盖机构)31、第1连通管(第1个连通管)33、第2加盖部(第2覆盖机构)32、第2连通管(第2个连通管)34、切换阀(选择机构)、泵(抽吸机构)36构成。
第1加盖部31具有嵌入在主体22a上形成的凹部31a的内部的透气性滤器(透气性构件)31b、贯穿主体22a的下表面22b的第1连通管33。这里，所谓透气性滤器31b是指对气体的透过性较高的在特定的临界压力以下不使液状体透过的滤器。此种透气性滤器的平均孔径最好为1～3μm，另外，例如最好利用由聚四氟乙烯等制成的微细纤维形成。
第2加盖部32具有嵌入在主体22a上形成的凹部32a的内部的湿润构件32b、贯穿下表面22b的第2连通管34、在主体22的上表面突出的突出部32c。这里，所谓湿润构件32b是指对液状体的吸收性优良并且在吸收了液状体时保持湿润状态的构件。例如由海绵等材料制成。
在切换阀35上，连接有第1连通管33、第2连通管34、泵36，是通过选择第1连通管33和第2连通管34当中任意一方而与泵36连通的构件。
泵36是借助利用切换阀35而达到连通状态的第1连通管33或第2连通管34，对第1加盖部31或第2加盖部进行抽吸、减压的构件。
另外，切换阀35及泵36与控制装置CONT电连接，从而控制其驱动。
另外，第2连通管34的截面积被设定为比第1连通管33更大。
(液滴喷出方法及加盖方法)
下面将使用图1的液滴喷出装置IJ对在基板P上形成微型阵列的方法进行说明，同时参照图5对使用了加盖单元22的加盖方法进行详细叙述。
这里，图5(a)表示用于说明第1加盖部31的加盖方法的加盖单元22的剖面图，图5(b)表示用于说明第2加盖部32的加盖方法的加盖单元22的剖面图。
首先，输送装置(未图示)将基板P从载物台ST的前部12B向该载物台ST送入。另外，载物台ST对基板P进行吸附保持并定位。此后，马达44动作，将基板P的端面设定为与Y轴方向平行。
然后，在将基板P送入载物台ST期间，控制装置CONT控制第2移动装置16，使喷出头20在X轴方向移动，定位于加盖单元22的上部。继而，使喷出头20在Z轴方向移动，接触配置在加盖单元22上。具体来说，如图5(a)所示，使喷出头20的液状体喷出面20P接触配置在第1加盖部31的透气性滤器31b上。
在像这样将液状体喷出面20P与透气性滤器31b接触配置的状态下，控制装置CONT通过使加盖单元22的切换阀35动作，将第1连通管33和泵36设成连通状态，将第2连通管34和泵36设成不连通状态。然后，控制装置CONT通过使泵36动作，经过第1连通管33内将喷出头20的空腔221内减压。与之相随，液状体在液状体流路61内从罐63向喷出头20流动，液状体到达喷出头20的空腔221内。这里，透气性滤器31b如上所述，由于具有对气体的透过性高、在临界压力以下不使液状体透过的性质，因此空腔221内的液状体不会穿过透气性滤器31b而透入第1加盖部31内。另外，喷出头20的气体经过透气性滤器31b被抽吸。所以，在喷出头20的空腔221内，不会残留气体，而仅填充液状体。
然后，在液状体的填充结束后，控制装置CONT将喷出头20和基板P在X轴方向相对移动(扫描)，同时向基板P上从喷出头20的特定的喷嘴以特定宽度喷出液状体，形成微型阵列。本实施方式中，喷出头20在相对于基板P沿+X方向移动的同时进行喷出动作。
然后，当喷出头20和基板P的第一次的相对移动(扫描)结束时，支撑基板P的载物台ST相对于喷出头20在Y轴方向移动特定量的步幅。控制装置CONT在将喷出头20相对于基板P例如沿一X方向进行第二次的相对移动(扫描)的同时，进行喷出动作。通过反复进行多次该动作，喷出头20即根据控制装置CONT的控制喷出液状体，在基板P上形成微型阵列。
然后，在如上所述在基板P上形成了微型阵列后，解除利用载物台ST进行的吸附保持，输送装置将基板P从载物台ST送出。
然后，在将基板P从载物台ST送出期间，控制装置CONT控制第2移动装置16，使喷出头20在X轴方向移动，定位于加盖单元22的上部。继而，使喷出头20在Z轴方向移动，使之与加盖单元22接触配置。具体来说，如图5(b)所示，使喷出头20的液状体喷出面20P与第2加盖部32的湿润构件32b相对配置，与突出部32c锁合。
通过像这样将喷出头20配置在第2加盖部32内，就将液状体喷出面20P维持在湿润状态，保持喷出头20。即，液状体喷出面20P不会干燥。
不仅在液滴喷出装置IJ上将基板送入·送出期间，而且在不进行液滴的喷出动作的情况下，总是进行此种喷出头20的保持。
如上说明所示，在液滴喷出装置IJ上，由于具有透气性滤器31b，因此就可以将喷出头20内的气体完全抽吸除去，而在该喷出头20内仅填充液状体。另外，还可以防止因喷出头20内的气体的残留引起的喷嘴211内的堵塞或喷出故障。
另外，由于具有湿润构件32b，因此可以防止在喷嘴211内形成弯月面的液状体的粘度上升。另外，还可以防止因粘度上升引起的喷嘴211内的堵塞或喷出故障。
另外，由于具有第1连通管33及泵36，因此当在透气性滤器31b覆盖喷出头20的状态下对该喷出头20内进行抽吸时，就可以借助第1连通管33将喷出头20内的气体排出。
另外，由于具有切换阀35，因此就可以对第1加盖部31和第2加盖部32当中的任意一方进行选择性的抽吸。
另外，在将喷出头20配置在第2加盖部32上时，由于喷出头20形成与突出部32c接触的状态，因此就可以使其接触面积最小化，从而可以防止因液状体的干燥引起的粘合。
下面对在液滴喷出装置IJ上产生液状体的喷出故障的情况进行说明。
首先，当确认产生了液状体的喷出故障时，控制装置CONT控制第2移动装置16，使喷出头20在X轴方向移动，定位于加盖单元22的上部。另外，使喷出头20在Z轴方向移动，与加盖单元22接触配置。具体来说，如图5(a)所示，使喷出头20的液状体喷出面20P与第1加盖部31的透气性滤器31b接触配置。
在像这样将液状体喷出面20P与透气性滤器31b接触配置的状态下，控制装置CONT通过使加盖单元22的切换阀35动作，将第1连通管33和泵36设成连通状态，将第2连通管34和泵36设成不连通状态。然后，控制装置CONT通过使泵36动作，经过第1连通管33内将喷出头20的空腔221内减压，经过透气性滤器31b对喷出头内进行抽吸，喷嘴211内的弯月面附近的液状体被移动、搅拌。这样，就利用对构成喷出故障的原因的侵入喷出头20内的气泡的去除、干燥，去除由粘度上升了的液状体形成的固形物。
然后，控制装置CONT控制第2移动装置16，使喷出头20在X轴方向移动，定位于加盖单元22的上部。继而，使喷出头20在Z轴方向移动，如图5(b)所示，使喷出头20的液状体喷出面20P与第2加盖部32的湿润构件32b相对配置，与突出部32c结合。
然后，在第2加盖部32内，控制装置CONT使喷出头20的压电体元件240驱动，将液状体向湿润构件32b喷出。这样，就可以通过对喷嘴211内的弯月面附近的气泡的去除、干燥，完全去除由粘度上升了的液状体形成的固形物。即，将喷出头20恢复到喷出良好状态。
而且，在所述的喷出头20的恢复动作中，不一定需要利用第1加盖部31和第2加盖部32两者同时进行，也可以利用任意一方进行喷出头20的恢复动作。
另外，在第2加盖部32内的液状体多于特定量的情况下，也可以去除该液状体。此时，通过使切换阀35动作，将第1连通管33和泵36设为不连通状态，将第2连通管34和泵36设为连通状态，控制装置CONT通过使泵36动作，经过第2连通管34内将第2加盖部32内的液状体排出。这里，由于第2连通管34的截面积被设定为大于第1连通管33，因此即使在第2连通管34内产生了液状体的粘度上升的情况下，也不会发生堵塞。
如上说明所示，在液滴喷出装置IJ中，在发生了喷出头20的喷出故障时，通过进行利用第1加盖部31及第2加盖部32实施的加盖操作、和利用泵36实施的抽吸操作，就可以使喷出头20恢复喷出良好状态。
另外，通过对湿润构件32b进行特定次数的遗弃喷出，就可以使喷出头20恢复喷出良好状态。
另外，由于第2连通管34的截面积被设定为大于第1连通管33，因此在经过第2连通管34对第2加盖部32内的液状体进行抽吸的情况下，可以防止第2连通管34内的液状体的堵塞。
Claims (10)
1.一种加盖装置，是利用覆盖机构覆盖具有贮留液状体的空腔、与该空腔连通的喷嘴和用于使贮留在所述空腔内的液状体从所述喷嘴喷出的喷出机构的喷出头的加盖装置，其特征是，所述覆盖机构具备：具有对气体的透过性高的气体透过性构件的第1覆盖机构、和具有将所述喷嘴附近保持在湿润状态的湿润构件的第2覆盖机构，所述第1覆盖机构在所述气体透过性构件的与所述喷出头相反一侧，具备与该第1覆盖机构的外部连通的第1连通管，另外，所述第2覆盖机构在所述湿润构件的与所述喷出头相反一侧，具有与该第2覆盖机构的外部连通的第2连通管，所述加盖装置还具备与所述第1连通管和所述第2连通管连接的吸引机构、和选择所述第1覆盖机构和所述第2覆盖机构中的任意一方而使之与所述吸引机构连通的选择机构。
2.根据权利要求1所述的加盖装置，其特征是，与所述第1连通管相比，所述第2连通管的截面积更大。
3.根据权利要求1或2所述的加盖装置，其特征是，所述第2覆盖机构在该第2覆盖机构和所述喷出头接触的一侧具备突出部。
4.一种加盖方法，是覆盖具有贮留液状体的空腔、与该空腔连通的喷嘴和用于使贮留在所述空腔内的液状体从所述喷嘴喷出的喷出机构的喷出头的加盖方法，其特征是，具备：利用具有对气体的透过性高的气体透过性构件的第1覆盖机构覆盖所述喷出头的第1覆盖工序、利用具有将所述喷嘴附近保持在湿润状态的湿润构件的第2覆盖机构覆盖所述喷出头的第2覆盖工序、和吸引被所述第1覆盖机构和所述第2覆盖机构中的任意一方所覆盖的喷出头的吸引工序。
5.根据权利要求4所述的加盖方法，其特征是，通过实施所述第1覆盖工序和所述吸引工序，向所述喷出头的所述空腔内填充所述液状体。
6.根据权利要求4所述的加盖方法，其特征是，在所述喷出头的喷出暂停状态下，通过实施所述第2覆盖工序，将该喷出头保持在湿润状态。
7.根据权利要求4至6中任意一项所述的加盖方法，其特征是，在所述喷出头的喷出不良状态下，通过连续实施所述第1覆盖工序、所述吸引工序、所述第2覆盖工序，使所述喷出头恢复到喷出良好状态。
8.根据权利要求4所述的加盖方法，其特征是，在所述第2覆盖工序中，通过所述喷出头向所述湿润构件进行特定次数的液滴喷出，使所述喷出头恢复。
9.根据权利要求7所述的加盖方法，其特征是，在所述第2覆盖工序中，通过所述喷出头向所述湿润构件进行特定次数的液滴喷出，使所述喷出头恢复。
10.一种液滴喷出装置，是具备具有贮留液状体的空腔、与该空腔连通的喷嘴和用于使贮留在所述空腔内的液状体从所述喷嘴喷出的喷出机构的喷出头、和向所述空腔供给所述液状体的液状体贮留部的液滴喷出装置，其特征是，具有权利要求1至3中任意一项所述的加盖装置。
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