JP4103009B2 - 液滴吐出装置、およびマイクロアレイ製造方法 - Google Patents

液滴吐出装置、およびマイクロアレイ製造方法 Download PDF

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Description

本発明は、液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置、およびマイクロアレイ製造方法に関する。
近年、核酸やタンパク質、細胞等の生体由来分子をプローブとして基板上に固定化したいわゆるマイクロアレイを用い、生体分子間の結合の特異性を利用して、サンプル中の標的物質を検出・測定する方法が広く用いられている。
特開平11−187900号公報(特許文献1)には、標的物質に対して特異的に結合可能であるプローブを含む液体を、インクジェット法により固相表面に吐出し、該固相表面にプローブを付着させることを特徴とするプローブの固相へのスポッティング方法が開示されている。
このようなマイクロアレイでは、標的物質をハイスループットに検出するため、微小な領域に多種類のプローブ分子を固定する必要がある。特開2004−160904号公報(特許文献2)には、複数の液体貯留部を有する第1の基板と、前記複数の液体貯留部にそれぞれ独立に連通する複数の流路を有する第2の基板と、前記複数の流路にそれぞれ独立に連通し、液滴を吐出する複数のノズルを有する一または複数のヘッドチップとを備えたインクジェットヘッドが開示されている。これによれば、複数の試料を搭載した液体貯留部と、作製するマイクロアレイのスポットの配置に対応させた複数のノズルとが流路で連通させられるので、多数のプローブが微小領域に固定されたマイクロアレイを高速に作製することができる。
特開平11−187900号公報 特開2004−160904号公報
しかしながら、上述のインクジェットヘッドを用いる場合、吐出に先立って各々の液体貯留部に異なる試料溶液を充填しなければならず、この充填工程に時間を要する。吐出工程自体は極めて短時間で行うことが可能なため、マイクロアレイの生産性を向上させるためには、充填工程の時間を短縮することが重要である。
そこで、本発明は、その液体保持部に、多種類の液体を短時間で効率よく供給することのできる液滴吐出ヘッドを提供することを目的とする。
上記課題を解決するために、本発明に係る液滴吐出ヘッドは、第1の主面に形成されたノズルと、前記ノズルから吐出する液体に加圧するための加圧手段を備えた加圧室と、前記加圧室と連通した液体保持部と、前記液体保持部に液体を供給するための供給口と、を備え、前記供給口が、前記第1の主面の反対側に位置する第2の主面から突出するように設けられていることを特徴とする。
このような構成とすることにより、吐出するための液体に、供給口を直接浸漬させることによって、該液体と液体保持部とを連通させることができる。この状態で、例えばノズル側から吸引することにより、液体保持部に該液体を吸い上げることが可能である。供給口の内径が十分に細い場合は、毛細管現象によっても液体が吸い上げられる。また、各供給口は第2の主面から突出するように設けられているので、小さな試料容器中の溶液に浸漬させやすく、第2の主面や液体保持部が試料溶液に接して汚染されることがないという効果も得られる。
また、本発明に係る液体吐出ヘッドにおいては、供給口と液体保持部が、一体的にチューブ状に形成されていることも好ましい。供給口と液体保持部が一体的に形成されている構成は単純で作製しやすい。
また、供給口の内部は、親液性を有する表面で構成されていることが好ましい。これによって、供給口を介して液体を吸い上げやすくなり、毛細管現象による効果も得やすくなる。
本発明は、上述した本発明に係る液滴吐出ヘッドを装着して用いる液滴吐出装置であって、前記液滴吐出ヘッドを取り付けるための固定手段と、前記液滴吐出ヘッドのノズルを覆うように前記第1の主面に密着し、前記カートリッジ内の気体または液体を該ノズルから吸引可能な吸引手段と、を備える液滴吐出装置も包含する。
このような構成により、本発明に係る液滴吐出ヘッドを固定手段に取り付け、その供給口を液体に接触させた状態で、吸引手段を第1の主面に密着させて作動することによって、ノズルから液体保持手段に液体を吸引することができる。
本発明に係る液滴吐出装置においては、固定手段が、液滴吐出ヘッドを、鉛直方向を含む面内で回転させることが可能であることが好ましい。このような構成により、ノズルを上方または下方に向けて固定することができる。ノズルを上方に向けて固定すれば、反対側の供給口が下方に向けられるので、試料容器中の液面に供給口を接触させることができる。液体を基板上に吐出する際には、ノズルを下方に向けて固定させることが可能である。
また、本発明に係る液滴吐出装置においては、吸引手段が、前記第1の主面に密着したときに、前記ノズルに当接する気液分離フィルターを備えていることが好ましい。気体のみ透過させる気液分離フィルターをノズルに当接させることにより、吸引した液体がノズルの外に流出して第1の主面を汚染するのを防ぐことが可能である。また、吐出する溶液中の気泡も除くことができるので、吐出工程において気泡によりノズルが詰まるのを抑制することも可能である。
さらに、本発明は、本発明に係る液滴吐出ヘッドを装着した、本発明に係る液滴吐出装置を使用するマイクロアレイの製造方法をも包含する。かかる製造方法は、前記供給口と同数かつ同間隔に配置されたウェルを有する容器に試料溶液を準備する第1工程と、前記ノズルが上方を向くように前記液滴吐出ヘッドを固定する第2工程と、前記供給口を前記ウェル内の試料溶液に接触させる第3工程と、前記吸引手段を前記液滴吐出ヘッドの前記第1の主面に密着させて吸引し、前記試料溶液を前記液体保持部および加圧室に導入する第4工程と、前記吸引手段を前記第1の主面から離し、前記ノズルが下方を向くように前記液滴吐出ヘッドを固定する第5工程と、前記試料溶液を基板に吐出する第6工程と、を含むことを特徴とする。
このような方法によれば、マイクロタイタープレート等の試料容器の各ウェルから、液滴吐出ヘッドの各液体保持手段に、供給口を介して短時間で多種類の試料を充填することが可能である。試料充填後は、液滴吐出ヘッドを反転し、基板に向けて試料溶液を吐出することができる。
さらに、上記第6工程の後、前記液滴吐出ヘッドを、前記ノズルが上方を向くように固定する第7工程と、前記供給口を洗浄液に接触させる第8工程と、前記吸引手段を前記液滴吐出ヘッドの前記第1の主面に密着させて吸引し、前記洗浄液を前記液体保持部に導入し、該液体保持部から該洗浄液を排出して乾燥させる第9工程と、を行うことも好ましい。
このような方法によれば、試料溶液の吐出と、液滴吐出ヘッドの洗浄を、効率よく繰り返して、コンタミネーションがなく信頼性の高いマイクロアレイを生産性よく作製することができる。
以下、本発明に係る実施の形態について図面を参照しながら説明する。
(液滴吐出ヘッド)
図1は、本発明の液滴吐出ヘッドの第1の態様として、インクジェットヘッド10を示す斜視図である。
液滴吐出ヘッド10は、その第1の主面12の中央部にノズルを備え、さらに加圧室、液体保持部、加圧室および液体保持部を連通させる流路を有している。ノズル、加圧室、液体保持部、および流路については後述する。また、液滴吐出ヘッド10は、液体保持部に液体を供給するための供給口16を有している。供給口16は、図示されたように、第1の主面12とは反対側に位置する第2の主面から突出するように設けられている。
本実施形態における液滴吐出ヘッド10は、ノズル、液体保持部、および供給口16をそれぞれ8行×12列の96個ずつ備えており、96穴のマイクロタイタープレートから各液体保持部に液体を充填し、各ノズルから吐出するのに好適な構成となっている。
図2に、液滴吐出ヘッド10の図1におけるII−II線に沿った模式断面図を示す。
液滴吐出ヘッド10の第1の主面12の中央には、ノズルを有するヘッドチップ20が備えられている。ヘッドチップには96個のノズル11が48行×2列の配置に設けられているが、本断面図では、2つのノズル22cおよび22jのみが示されている。ヘッドチップ20には、ノズルから吐出する液体に加圧する加圧手段24を備えた加圧室26が形成されている。加圧室は各ノズルに一つずつ設けられているが、図2では、ノズル22cおよび22jに対応する加圧室26cおよび26jのみを示している。
本実施形態において、液滴吐出ヘッド10は、液体保持部が供給口16と同一の内径を有し、供給口16と液体保持部が一体的にチューブ状に形成されているため、以後、液体保持部と供給口16とをまとめて「供給口16」として表す。供給口16は、流路13を介して圧力室26に連通される。本断面図では、供給口16cおよび16j、これを圧力室26cおよび26jに連通させる流路13cおよび13jのみを示している。このように各供給口16は専用の流路13および圧力室26を介して専用のノズル22に連通されるため、試料溶液のコンタミネーションが生じにくい。
このような液滴吐出ヘッド10は、例えば、3つの基板30、40、および50を積層し、基板50に設けられた孔に供給口16を挿入し、基板30にヘッドチップ20を接着することによって作製することができる。
図3(A)に基板30の平面図を示す。基板30には、基板40を積層することによって流路13を形成する溝13’が96本形成されている。溝13’は、基板17の周縁部から中央に向かって集束し、各溝13’の基板周縁側の末端は、供給口16のピッチ(形成間隔)と一致していている。一方、各溝13’の基板中央側の末端には、圧力室に接続する貫通孔が設けられている。
次に、図3(B)に基板30上に積層される基板40の平面図を示す。基板40には8行×12列で96個の貫通孔42が形成されている。貫通孔42のピッチは、供給口16のピッチに一致する。貫通孔42は、流路13と供給口16とを連通させる流路となる。
図3(C)に、基板50の平面図を示す。基板50には、貫通孔52が96個形成されている。貫通孔52のピッチも供給口16のピッチと一致し、貫通孔52の下端は基板40の貫通孔42に連通する。貫通孔52は、図2にも示されるように所定の深さまで大きな内径を有し、ここに供給口16が嵌合される。
基板30、40および50は、ガラス、樹脂等の材料で形成することができ、溝や貫通孔は、エッチング、射出成形等、材料に適した方法によって形成することができる。
基板30〜50を積層し接着した後、基板50の各孔にチューブ状の供給口16を嵌合させる。供給口16は、アクリル、塩化ビニル、ポリカーボネート等の樹脂で形成することが好ましいが、ガラス、金属等であってもよい。供給口16の内側表面は親液性に処理しておくことが好ましく、これによって、供給口16の内部に試料溶液を吸い上げやすくなる。表面に親水性を付与する方法としては、親水性でかつ生体分子に親和性の高いポリマーをコートする方法がある。そのようなポリマーの例としては、ヒドロキシエチルメタクリレート、N−ビニルピロリドン、ジメチルアクリルアミド、グリセロールメタクリレート、ポリエチレングリコールメタクリレートなどがある。
さらに、基板30にヘッドチップ20を接着して、インクジェットヘッド10が完成する。
次に、図4に、本発明に係る液滴吐出ヘッドの第二の態様として、インクジェットヘッド60を示す。インクジェット60は、比較的容量の大きい液体保持部68が、供給口66とは別に設けられている構成を有している。このような構成は、一度、液体保持部68に充填した試料溶液を繰り返し吐出し、同一のマイクロアレイを大量に作製する場合に適している。
このような液滴吐出ヘッドは、図3(A)および(B)に示す基板30、40と同一の構成を有する基板80、90を積層し、図5(A)に示す基板95と、同図(B)に示す基板100とを積層することによって形成できる。基板95の厚さと貫通孔の径を変えることによって、所望の容量の液体保持部を形成することが可能である。
(マイクロアレイ製造装置)
次に、図6に、上述した液滴吐出装置の一例として、マイクロアレイ製造装置200の構成例を説明する図を示す。
マイクロアレイ製造装置200は、ガラス等の基板202上に生体分子を含む試料溶液の液滴を複数配置して作製されるマイクロアレイを製造するためのものであり、複数の基板202を載置可能に構成されたテーブル204と、インクジェットヘッド10または60をY方向に自在に移動させるためのY方向駆動軸206と、テーブル204をX方向に自在に移動させるためのX方向駆動軸208と、を備える。また、インクジェットヘッド10または60を固定するための固定手段210と、インクジェットヘッド10のノズル形成面に密着し、ノズルから吸引可能な吸引ユニット(吸引手段)212と、固定手段210および吸引ユニット212をZ方向に自在に移動させるためのZ方向駆動軸207と、をも備えている。
さらに、試料溶液を蓄えるための96穴のマイクロタイタープレート203もテーブル204上に用意され、洗浄液を蓄えた洗浄槽214も設けられている。
なお、本実施形態において、吸引ユニット212は、ノズルから吸引するだけでなく、気体を送入することも可能な構成となっている。
ここで図7に、インクジェットヘッド10を固定する場合を例にとって、固定手段210を図6における右方向から見た模式図を示す。インクジェットヘッド10は固定手段210に、回転軸216によって固定され、この回転軸を中心として、インクジェットヘッド10のみを鉛直方向を含む面内で回転させることが可能となっている。図7(A)は、インクジェットヘッド10がノズルを下方に向けて固定されている状態を示し、図7(B)は、ノズルを上方に向けるよう回転させている途中の状態を示す。ノズルが上方または下方を向き、インクジェットヘッド10の基板が水平になった状態(例えば図7(A)に示す状態)で、インクジェットヘッド10は固定手段210に留め具等により固定することができる。
(マイクロアレイ作製工程)
次に、本実施形態のマイクロアレイ製造装置200を用いて行われるマイクロアレイの製造方法について説明する。
まず、吐出すべき生体分子(例えば、DNA、タンパク質等)を含む試料溶液を、供給口と同数かつ同間隔のウェル(試料保持部)を有する96穴マイクロタイタープレート203に用意し、テーブル204上に配置する。
次に、ノズル22を備えたヘッドチップ20が上方を向き、供給口16が下方を向くようにインクジェットヘッド10を固定手段210により固定する。そして、X方向区同軸とY方向駆動軸206を作動させて、インクジェットヘッド10を、マイクロタイタープレート203の真上に配置し、Z方向駆動軸を作動させて、供給口16の先端が、マクロタイタープレートの各ウェル中の試料溶液に浸漬するまでインクジェットヘッド10を下方に移動させる。
続いて、Z方向駆動軸を作動させて、吸引ユニット212を、ノズル22を覆うようにインクジェットヘッド10に密着させる。図8に、この状態を説明する概略断面図を示す。吸引ユニット212を作動させて、ノズルから吸引することにより、マイクロタイタープレート203中の試料溶液が、供給口16内に吸い上げられる。吸い上げられた溶液は流路および圧力室を通ってノズル先端に到達する。吸引ユニット213には、気液分離フィルター213が備えられており、吸引ユニット213をインクジェットヘッド10に密着させたとき、フィルター213はノズル先端に当接する。フィルター213は気体のみ透過させるので、液体がフィルター213に接するまで吸引した後、短時間吸引を継続し、溶液中に含まれる気泡を取り除いて、吐出準備を完了する。
次に、Z方向駆動軸207を作動させて、吸引ユニット212をインクジェットヘッド10から離し、インクジェットヘッド10のノズル20が下方を向くように回転させて固定する。そして、X方向駆動軸208およびY方向駆動軸206を作動させて、インクジェットヘッド10をマイクロアレイ基板202の真上に配置する。そしてZ方向駆動軸を作動させて、インクジェットヘッド10とマイクロアレイ基板202との距離を調節し、試料溶液を吐出する。
吐出する溶液がなくなったら、再度、インクジェットヘッド10を移動させて、上述の工程を繰り返し、マイクロタイタープレートから試料溶液を吸い上げればよい。
(洗浄工程)
吐出する試料溶液を変更する場合は、インクジェットヘッド10を以下の工程にしたがって一度洗浄する。
まず、最初の試料溶液の吐出後、Z方向駆動軸207を作動させて、インクジェットヘッド10を適当な高さまで上昇させた後、Y方向駆動軸206を作動させて、インクジェットヘッド10を洗浄槽214の真上に配置する。次に、インクジェットヘッド10を、ノズル22が上方を向くように回転して固定し、Z方向駆動軸207を作動させて、供給口16を洗浄槽214中の洗浄液に浸漬させる。吸引ユニット212もZ方向駆動軸207によって下降させ、インクジェットヘッド10に密着させ、吸引する。気液分離フィルターに接するまで洗浄液をインクジェットヘッド10内に十分に導入した後、吸引ユニット212から気体を挿入して、洗浄液を排出する。さらに気体を送入して、乾燥させてもよい。
続いて、Z方向駆動軸207、X方向駆動軸208およびY方向駆動軸206を作動させて、インクジェットヘッド10を次の吐出に用いる試料溶液を蓄えるマイクロタイタープレートの真上に位置させ、Z方向駆動軸207を作動させて、インクジェットヘッド10の供給口22をウェル中の試料溶液に浸漬させる。
この後、吐出工程までは既に説明した方法に従って行われるので、ここでは説明を省略する。
本発明によれば、このように、液体(試料溶液、洗浄液)を効率よく供給口からインクジェットヘッド内に導入できるので、試料溶液の充填とマイクロアレイ基板への吐出を繰り返し、必要な場合に洗浄工程を行って、マイクロアレイを生産性良く作製することができる。
なお、本発明は上述した実施形態の内容に限定されるものではなく、本発明の要旨の範囲内において種々の変形実施が可能である。例えば、ノズル、液体保持部、および供給口の数は96個に限定されず、使用するマイクロタイタープレート等の試料容器のウェルの数に合わせて自由に変更できる。また、吐出する液体は、生体分子を含むものに限られず、インクジェットヘッドから吐出できる液体である限り、種類を問わない。
本発明に係る液滴吐出ヘッドを示す斜視図である。 本発明に係る液滴吐出ヘッドの断面図の一例である。 本発明に係る液滴吐出ヘッドを構成する基板の平面図の一例である。 本発明に係る液滴吐出ヘッドの断面図の一例である。 本発明に係る液滴吐出ヘッドを構成する基板の平面図の一例である。 本発明に係る液滴吐出装置の一例である。 本発明に係る液滴吐出装置の固定手段の動作を示す説明図である。 本発明に係る液滴吐出ヘッドの使用態様を示す断面図の一例である。
符号の説明
10、60…液滴吐出ヘッド、12…第1の主面、14…第2の主面、16…供給口、13…流路、13’…溝、20、70…ヘッドチップ、22…ノズル、24…加圧手段、26…加圧室、30、40、50、80、90、95、100…基板、42、52…貫通孔、68…液体保持部、200…液滴吐出装置、202…マイクロアレイ基板、203…マイクロタイタープレート、204…テーブル、206…Y方向駆動軸、207…Z方向駆動軸、208…X方向駆動軸、210…固定手段、212…吸引手段、213…気液分離フィルター、214…洗浄槽、216…回転軸

Claims (6)

  1. 液滴吐出ヘッドを装着して用いる液滴吐出装置であって、
    前記液滴吐出ヘッドは、
    第1の主面に形成されたノズルと、
    前記ノズルから吐出する液体に加圧するための加圧手段を備えた加圧室と、
    前記加圧室と連通した液体保持部と、
    前記液体保持部に液体を供給するための供給口と、を備え、
    前記供給口が、前記第1の主面の反対側に位置する第2の主面から突出するように設けられ、前記供給口と前記液体保持部が、一体的にチューブ状に形成されたものであり、
    前記液滴吐出ヘッドを固定するための固定手段と、
    前記液滴吐出ヘッドのノズルを覆うように前記第1の主面に密着し、前記液滴吐出ヘッド内の気体または液体を該ノズルから吸引可能な吸引手段と、を備える液滴吐出装置。
  2. 前記供給口の内部が親液性を有する表面で構成されている、請求項1に記載の液滴吐出装置
  3. 前記固定手段が、前記液滴吐出ヘッドを、鉛直方向を含む面内で回転させることが可能である、請求項1または2に記載の液滴吐出装置。
  4. 前記吸引手段が、前記第1の主面に密着したときに前記ノズルに当接する気液分離フィルターを備えている、請求項1から3のいずれか1項に記載の液滴吐出装置。
  5. 請求項1から4のいずれか1項に記載の液滴吐出装置を使用するマイクロアレイの製造方法であって、
    前記供給口と同数かつ同間隔に配置された試料保持部を有する容器に試料溶液を準備する第1工程と、
    前記ノズルが上方を向くように前記液滴吐出ヘッドを固定する第2工程と、
    前記供給口を前記ウェル内の試料溶液に浸漬させる第3工程と、
    前記吸引手段を前記液滴吐出ヘッドの前記第1の主面に密着させて作動させ、前記試料溶液を前記液体保持部および加圧室に導入する第4工程と、
    前記吸引手段を前記第1の主面から離し、前記ノズルが下方を向くように前記液滴吐出ヘッドを固定する第5工程と、
    前記試料溶液を基板に吐出する第6工程と、を含む方法。
  6. 前記第6工程の後、前記液滴吐出ヘッドを、前記ノズルが上方を向くように固定する第7工程と、
    前記供給口を洗浄液に浸漬させる第8工程と、
    前記吸引手段を前記液滴吐出ヘッドの前記第1の主面に密着させて作動させ、前記洗浄液を前記液体保持部に導入し、該液体保持部から該洗浄液を排出する第9工程と、を行う、請求項に記載のマイクロアレイの製造方法。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7948705B2 (en) 1999-12-30 2011-05-24 Advanced Research Corporation Method of making a multi-channel time based servo tape media
US8068301B2 (en) 2008-03-28 2011-11-29 Advanced Research Corporation Magnetic media formed by a thin film planar arbitrary gap pattern magnetic head
US8144424B2 (en) 2003-12-19 2012-03-27 Dugas Matthew P Timing-based servo verify head and magnetic media made therewith
US8416525B2 (en) 2004-05-04 2013-04-09 Advanced Research Corporation Magnetic media formatted with an intergrated thin film subgap subpole structure for arbitrary gap pattern magnetic recording head
US8767331B2 (en) 2009-07-31 2014-07-01 Advanced Research Corporation Erase drive system and methods of erasure for tape data cartridge

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4565333B2 (ja) * 2005-06-02 2010-10-20 セイコーエプソン株式会社 液滴吐出ヘッドへの液体充填方法、および液滴吐出装置
US7874654B2 (en) * 2007-06-14 2011-01-25 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Fluid manifold for fluid ejection device
JP5429057B2 (ja) * 2010-06-03 2014-02-26 セイコーエプソン株式会社 噴射用液体乾燥抑制装置、液体噴射装置、および噴射用液体乾燥抑制方法
JP5724221B2 (ja) * 2010-06-07 2015-05-27 セイコーエプソン株式会社 メンテナンス装置、液体噴射装置及びメンテナンス方法
CN102115025B (zh) * 2011-01-07 2012-12-26 山东理工大学 采用超声聚焦微喷制备聚苯乙烯微球微阵列的方法
JP6248318B2 (ja) * 2013-02-14 2017-12-20 セイコーエプソン株式会社 印刷装置
WO2016043303A1 (ja) * 2014-09-19 2016-03-24 コニカミノルタ株式会社 インクジェットヘッド、インクジェットヘッドモジュール及びインクジェット記録装置
CN104307583B (zh) * 2014-11-05 2015-09-09 湖北民族学院 芯片级气液分离器及其控制系统
CN111631659B (zh) * 2020-06-04 2021-07-27 温州大学激光与光电智能制造研究院 一种基于复合润湿表面产生高速自旋液滴的高效洗涤装置

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2801409B2 (ja) * 1989-12-26 1998-09-21 キヤノン株式会社 インクジェット装置及び記録系ユニットカートリッジ
JP4313861B2 (ja) 1997-08-01 2009-08-12 キヤノン株式会社 プローブアレイの製造方法
US6142606A (en) * 1997-12-22 2000-11-07 Canon Kabushiki Kaisha Ink jet recording head, substrate for use of such head, ink jet cartridge, and ink jet recording apparatus
JP3647370B2 (ja) 1999-10-22 2005-05-11 日本碍子株式会社 分注装置及びdnaチップの製造方法
ATE340027T1 (de) * 1999-10-22 2006-10-15 Ngk Insulators Ltd Flüssigkeitsspender zur herstellung von dna- mikroarrays
US6649343B1 (en) * 1999-10-22 2003-11-18 Ngk Insulators, Ltd. DNA chip and method for producing the same
JP2001186880A (ja) * 1999-10-22 2001-07-10 Ngk Insulators Ltd Dnaチップの製造方法
JP2001186881A (ja) * 1999-10-22 2001-07-10 Ngk Insulators Ltd Dnaチップの製造方法
US6656432B1 (en) * 1999-10-22 2003-12-02 Ngk Insulators, Ltd. Micropipette and dividedly injectable apparatus
JP2002326366A (ja) * 2001-04-27 2002-11-12 Canon Inc インクジェット記録装置及び記録ヘッド用キャップ
JP2004160904A (ja) 2002-11-15 2004-06-10 Seiko Epson Corp 液滴吐出ヘッド及びその製造方法並びにマイクロアレイ製造方法及び製造装置
JP2004226321A (ja) 2003-01-24 2004-08-12 Seiko Epson Corp 液滴吐出ヘッド及びディスペンサ並びにそれらの製造方法並びにバイオチップ製造方法
JP4333226B2 (ja) * 2003-06-13 2009-09-16 セイコーエプソン株式会社 キャッピング装置、キャッピング方法、及び液滴吐出装置

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7948705B2 (en) 1999-12-30 2011-05-24 Advanced Research Corporation Method of making a multi-channel time based servo tape media
US8254052B2 (en) 1999-12-30 2012-08-28 Advanced Research Corporation Method of making a multi-channel time based servo tape media
US8437103B2 (en) 1999-12-30 2013-05-07 Advanced Research Corporation Multichannel time based servo tape media
US8542457B2 (en) 1999-12-30 2013-09-24 Advanced Research Corporation Method of making a multi-channel time based servo tape media
US8144424B2 (en) 2003-12-19 2012-03-27 Dugas Matthew P Timing-based servo verify head and magnetic media made therewith
US8416525B2 (en) 2004-05-04 2013-04-09 Advanced Research Corporation Magnetic media formatted with an intergrated thin film subgap subpole structure for arbitrary gap pattern magnetic recording head
US8068301B2 (en) 2008-03-28 2011-11-29 Advanced Research Corporation Magnetic media formed by a thin film planar arbitrary gap pattern magnetic head
US8068302B2 (en) 2008-03-28 2011-11-29 Advanced Research Corporation Method of formatting magnetic media using a thin film planar arbitrary gap pattern magnetic head
US8068300B2 (en) 2008-03-28 2011-11-29 Advanced Research Corporation Thin film planar arbitrary gap pattern magnetic head
US8767331B2 (en) 2009-07-31 2014-07-01 Advanced Research Corporation Erase drive system and methods of erasure for tape data cartridge

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