JP4888773B2 - 液滴吐出装置および液滴吐出方法 - Google Patents

液滴吐出装置および液滴吐出方法 Download PDF

Info

Publication number
JP4888773B2
JP4888773B2 JP2006330507A JP2006330507A JP4888773B2 JP 4888773 B2 JP4888773 B2 JP 4888773B2 JP 2006330507 A JP2006330507 A JP 2006330507A JP 2006330507 A JP2006330507 A JP 2006330507A JP 4888773 B2 JP4888773 B2 JP 4888773B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
liquid
supply port
container
droplet
droplet discharge
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2006330507A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2008145172A (ja
Inventor
理絵 宮崎
富美男 ▲高▼城
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP2006330507A priority Critical patent/JP4888773B2/ja
Publication of JP2008145172A publication Critical patent/JP2008145172A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4888773B2 publication Critical patent/JP4888773B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Coating Apparatus (AREA)
  • Automatic Analysis And Handling Materials Therefor (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)

Description

本発明は、例えば、DNAやタンパク質を固相上に吐出して、マイクロアレイを作製する液滴吐出装置および液滴吐出方法に関する。
従来、試料容器中における特定の塩基配列を有する核酸分子の有無を検出するために、DNA分子を基板に固定した、いわゆるDNAマイクロアレイが用いられている。マイクロアレイを作製する方法の1つとして、DNA分子を含む溶液を、インクジェット式吐出装置等の液滴吐出装置によって、基板表面に吐出する方法が知られている。
液滴吐出装置を用いる方法は、ノズル間ピッチを狭くすることで高密度のマイクロアレイを作製することができるという利点がある。また、近年、タンパク質を基板表面に固定したいわゆるタンパク質チップも開発されつつあるが、液滴吐出装置によれば、タンパク質を含む溶液も吐出することが可能であり、汎用性が高い。
DNAやタンパク質等の生体関連分子は、高価なものや、入手が困難なものが多い。従来、必要以上の試料を装置に充填し、余った試料は廃棄されることが多かった。少量かつ貴重な試料に対応するため、液体(試料)の使用効率が良く、余った液体については回収および保存可能な液滴吐出装置が特許文献1に開示されている。
特開2006−208151号公報
しかしながら、吐出するにしたがい、充填された液体の液量(液面)が減少していくと、ノズル孔において内部(液体の充填側)から外部へ作用する圧力(背圧)が変動し、吐出量が変動してしまうという不利益があった。上記の圧力の変動は、特に使用する液体が少量の場合に顕著となる。
本発明の目的は、吐出量を一定にすることができる液滴吐出装置および液滴吐出方法を提供することにある。
本発明に係る液滴吐出装置は、液体の供給口および送出口を有する液体収容部を備える液体収容容器と、前記送出口に対応する位置に中空室が形成された中継部材と、前記中空室を介して前記送出口に一端が連通可能な流路を備える送液部材と、前記送液部材の前記流路の他端に連通し、前記送液部材の前記流路内の前記液体を液滴としてノズル孔から吐出する吐出ヘッドと、を有し、かつ、前記中空室は、前記送出口よりも幅広に形成された構造を有し、かつ、前記ノズル孔から前記液滴が吐出されると、前記供給口の液面が下がって前記中空室の圧力が下がり、前記液体収容容器の前記送出口の液体が吸引されて、該吐出された量に相当する量の前記液滴が前記供給口に滴下されることにより、吐出量を一定に保つよう構成されたものである。
上記の液体収容部および流路には、液体が充填され、中空室が中空状態に維持される。このような構成によれば、吐出ヘッドから液滴が吐出されると、吐出された分量に相当する液滴が、液体収容部の送出口から中空室を介して流路の一端に滴下される。したがって、送液部材の液量(液面)が常に一定に維持され、吐出ヘッドにかかる圧力が一定になる。この結果、吐出ヘッドから吐出される液滴の吐出量を一定に維持することができる。
さらに、本発明に係る液滴吐出方法は、上記の液滴吐出装置を用いた液滴吐出方法であって、前記中継部材を介在させずに、前記液体収容容器の前記送出口と前記送液部材の前記流路の一端とを直接連通させ、前記液体収容部から前記流路を介して前記吐出ヘッドのノズル孔の先端まで液体を充填させる工程と、前記送液部材上に前記中継部材を装着して前記供給口と前記中空室とを連通させ、その後前記中継部材上に前記液体収容容器を装着して、前記送出口と前記供給口とが前記中空室を介して連通するように前記液体収容容器と前記送液部材との間に前記中継部材を介在させる工程と、前記吐出ヘッドから前記液滴を吐出する工程と、を有する。
このような構成によれば、吐出ヘッドから液滴が吐出されると、吐出された分量に相当する液滴が、液体収容部の送出口から中空室を介して流路の一端に滴下される。したがって、送液部材の液量が常に一定に維持され、吐出ヘッドにかかる圧力が一定になる。この結果、吐出ヘッドから吐出される吐出量を一定に維持することができる。
好ましくは、前記ノズル孔の先端まで前記液体を充填させる工程は、前記液体収容容器の前記送出口を密閉した状態で、前記供給口から前記液体収容部に前記液体を供給する工程と、前記液体収容容器の前記供給口を密閉し、前記送出口を開放する工程と、前記中継部材を介在させずに、前記供給口を密閉した状態で前記液体収容容器の前記送出口と前記送液部材の前記流路の一端とを直接連通させる工程と、前記供給口を開放する工程と、前記吐出ヘッドの前記ノズル孔から吸引する工程と、を有する。これにより、液体収容容器の送出口から液滴を流出させずに、液体を収容した状態にある液体収容容器の送出口と、送液部材の流路の一端とを直接連通させることができる。
好ましくは、前記ノズル孔から吸引する工程において、前記吐出ヘッドの前記ノズル孔に気液分離フィルターを取り付けて、当該気液分離フィルターを介して前記吐出ヘッドの前記ノズル孔から吸引する。これにより、ノズル孔から液体を流出させずに、ノズル孔の先端まで液体を充填させることができる。
好ましくは、前記中継部材を介在させる工程は、前記液体収容容器の前記供給口を密閉する工程と、前記供給口を密閉した状態で前記液体収容容器を前記送液部材から離間させる工程と、前記送液部材と前記液体収容容器の間に、前記中継部材を介在させる工程と、前記液体収容容器の前記供給口を開放する工程と、を有する。これにより、液体収容容器および送液部材内に充填された液体の状態を維持しつつ、液体収容容器と送液部材との間に中継部材を介在させることができる。
以下に、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。
図1は、本実施形態に係る液滴吐出構成の構成を示す断面図である。
図1に示すように、本実施形態に係る液滴吐出装置1は、液体収容容器2と、送液板3と、中継板4と、吐出ヘッド5とを有する。上記の液体収容容器2、送液板3、中継板4、吐出ヘッド5は、互いに着脱可能となっている。
液体収容容器2は、複数の液体収容部21を有する。液体収容部21は、プレート状の液体収容容器2を貫通した状態で設けられており、液体収容容器2の上面側が供給口22となり、液体収容容器2の下面側が送出口23となる。例えば、液体収容容器2に、液体収容部21が96個(12×8)設けられているが、マイクロタイタープレートとして汎用される128個、384個等、目的に応じて種々の変更が可能である。
送液板3は、複数の流路31を有する。流路31の一端が、供給口32となり、流路31の他端が送出口33となる。流路31の供給口32は、液体収容容器2の送出口23に連通し、流路31の送出口33は、吐出ヘッド5に連通する。送液板3は、第1基板3aおよび第2基板3bにより構成されており、2枚の基板3a、3bは、接着されている。なお、2枚の基板3a、3bは、図示しない止め具によって固定されていてもよい。流路31は、第1基板3aまたは第2基板3b、例えば第2基板3bに設けられた溝からなる。供給口32は、第1基板3aに設けられた貫通孔からなる。送出口33は、第2基板3bに設けられた貫通孔からなる。
図2は、第1基板3aの構成を示す平面図である。図1の断面図は、図2のA−A’線の断面図に相当する。
図2に示すように、第1基板3aには、供給口32が、液体収容容器2の送出口23に対応する位置、かつ、送出口23と同じ数だけ設けられている。送出口23から流出した液体は、供給口32を通過して、流路31に流入する。
図3は、第2基板3bの構成を示す平面図である。図1の断面図は、図2のA−A’線の断面図に相当する。
図3に示すように、流路31は、第2基板3bの表面に設けられた溝からなり、その始点は第1基板3aの供給口32の位置に対応し、本実施形態では、96箇所の始点から流路31が形成されている。各流路31の終点は、吐出ヘッド5の上部にあり、終点には第2基板3bを貫通する送出口33が設けられている。
図1に示すように、中継板4は、液体収容容器2および送液板3の間に介在し、液体収容容器2の送出口23および送液板3の供給口32に対応する位置に、貫通孔からなる中空室40を備える。中空室40は、その側壁に液滴が付着しないように、送出口23よりも幅広に形成されている。
上記の液体収容容器2、送液板3、中継板4の材料は特に限定されないが、例えば、プラスチックまたはガラス等で形成される。
吐出ヘッド5は、シリコン基板やガラス基板等で構成され、液体を加圧する加圧室51と、液体を吐出するノズル孔52とを有する。加圧室51の一端は、送液板3の送出口33に連通し、加圧室51の他端はノズル孔52に連通している。加圧室51およびノズル孔52は、送液板3の送出口33の数だけ設けられている。このため、送液板3の各送出口33から流出した液体は、ノズル孔52から別々に吐出される。
上記の吐出ヘッド5では、加圧室51を挟む1対の電極が設けられている。この電極間に電圧を印加して、それにより生じる静電力により加圧室51に圧力を付与する。これにより、ノズル孔52から数ピコリットル程度(例:約100pl)の微小液滴が吐出されることになる。
本実施形態では、静電駆動方式の吐出ヘッド5の例について説明したが、駆動方式は特に限定するものではなく、圧電駆動、バブルジェット(登録商標)(サーマル方式)であってもよい。但し、DNAやタンパク質に熱の影響を及ぼさず、また、消費電力が低いという観点からは、静電駆動方式又は圧電駆動方式であることが好ましい。
次に、図4〜図8を参照して、上記の液滴吐出装置1を用いた液滴吐出方法について説明する。
まず、図4(a)に示すように、液体収容容器2の送出口23側の面(下面)に送出口密閉手段6を取り付けて、全ての送出口23を密閉する。
次に、図4(b)に示すように、供給口22から液体収容部21内に、液体10を供給する。液体10は、例えば、核酸やタンパク質等生体関連分子を含む溶液とすることができ、ピペットや自動分注器等によって供給することができる。
次に、図4(c)に示すように、液体収容容器2の供給口22側の面(上面)に供給口密閉手段7を取り付けて、全ての供給口22を密閉する。
次に、図5(a)に示すように、送出口密閉手段6を液体収容容器2から取り外す。このとき、供給口密閉手段7によって全ての供給口22が密閉されているので、液体10は供給口22から大気圧を受けず、送出口23側において液体収容部21の外部から内部へ向かう大気圧のみが液体10に作用する。この結果、送出口23が下方を向いていても、液体10は送出口23から流出しない。
次に、図5(b)に示すように、この状態を維持したまま、液体収容容器2の送出口23と、送液板3の供給口32とを位置合わせして、送液板3に液体収容容器2を装着する。これにより、液体収容容器2の送出口23と、送液板3の供給口32とが連通する。このとき、送液板3には、既に吐出ヘッド5が取り付けられている。供給口22を供給口密閉手段7により密閉している間は、液体は、送出口23から流出せず、液体収容部21内に保持される。
次に、図5(c)に示すように、供給口密閉手段7を液体収容容器2から取り外して、供給口22を開放し、続いて、図6(a)に示すように、吸引キャップ9を吐出ヘッド5のノズル面(下面)に密着させて、図中、矢印の方向に吸引する。吸引することによって、液体10は、送液板3の供給口32、流路31、送出口33を通って、加圧室51に導入され、ノズル孔52に達する。吸引キャップ9の表面には、気液分離フィルタ8が装着されており、これをノズル面に押し当てている。気体は、気液分離フィルタ8を通過するが、液体は通過できないため、ノズル孔52に到達した液体10は吸引キャップ9に排出されることがないため、液体10を無駄にすることがない。気液分離フィルタ8は、例えば平均孔径3μm程度の微小な孔をもつPTFE(ポリテトラフルオロエチレン)からなる。
次に、図6(b)に示すように、液体収容容器2の上面に供給口密閉手段7を再び取り付けて、全ての供給口22を密閉し、この状態を維持したまま、液体収容容器2を送液板3から離間させる。
次に、図6(c)に示すように、送液板3の供給口32と、中継板4の中空室40を位置合わせして、送液板3上に中継板4を装着する。これにより、供給口32と中空室40が連通する。
次に、図7(a)に示すように、中継板4の中空室40と、液体収容容器2の送出口23とを位置合わせして、中継板4上に液体収容容器2を装着する。これにより、送出口23と、供給口32が、中空室40を介して連通する。このとき、中空室40は、閉空間となる。その後、液体収容容器2から供給口密閉手段7を取り外す。
次に、図7(b)に示すように、吐出ヘッド5を駆動させると、ノズル孔52から液滴11が吐出される。ノズル孔52から液滴11が吐出されると、送液板3の供給口32の液面が瞬間的に下がる。供給口32の液面が下がると、中空室40の圧力が下がるため、液体収容容器2の送出口23の液体10が吸引されて、液滴11が供給口32に滴下される。このように、吐出ヘッド5のノズル孔52から液滴11が吐出されると、その分だけ液体収容容器2の送出口23から液滴11が滴下されるため、送液板3の供給口32の液面は、常に一定に保たれる。
図7(c)に示すように、吐出動作を続けると、液体収容容器2の液体収容部21にある液体10の液面は下がっていくが、送液板3の供給口32における液面は一定となる。この結果、液体収容部21内に液体10が存在している限り、流路31内の液量が常に一定に保たれることから、吐出ヘッド5のノズル孔52に作用する圧力が一定となり、吐出量を終始一定に保つことができる。
液滴11を不図示の基板上に吐出することにより、マイクロアレイを作製することができる。ただし、本実施形態に係る液滴吐出装置1および液滴吐出方法は、マイクロアレイの作製以外にも適用可能である。
液体収容容器2の液体収容部21内に液体10が残留している場合は、以下に示すようにして、液体収容容器2を利用してそのまま液体10を保存することができる。
まず、図8(a)に示すように、液体収容容器2の上面に供給口密閉手段7を取り付けて、全ての供給口22を密閉する。
次に、図8(b)に示すように、この状態のまま、液体収容容器2を中継板4から取り外せば、送出口23からは液体10が流出することがない。
次に、図8(c)に示すように、液体収容容器2の下面に送出口密閉手段6を取り付けることにより、液体収容部21を完全に密閉し、液体10の種類によっては必要な温度管理等を行なって液体10を保存することができる。
一方、送液板3および中継板4については、洗浄液を用いてその内部を洗浄する。後に、再び液体10を液滴吐出装置1によって吐出する場合には、図5(c)〜図7(c)に示す工程に従って、液滴を吐出すればよい。
以上説明したように、本実施形態に係る液滴吐出装置および液滴吐出方法によれば、液滴11を吐出している間において、ノズル孔52から送液板3の供給口32までの液量を一定に維持することができることから、ノズル孔52において内部から外部に作用する圧力(背圧)を一定に維持することができる。この結果、液体収容容器2内の液量によらずに、吐出量を一定にすることができる。
送液板3の流路31は極細く形成されており、この部分の液体10は極微量であることから、必要最小限の液体10を使用した場合においても、吐出量を一定にすることができる。例えば本実施形態に液滴吐出方法をマイクロアレイの作製方法に適用した場合には、精度の良いマイクロアレイを作製することができる。
液体収容部21内に液体10が残存した場合には、液体収容部21の供給口22を供給口密閉手段7で密閉して、液体収容容器2ごと保管しておくことにより、液体10が少量かつ貴重な試料の場合であっても、無駄にすることがないため、試料の使用効率を向上させることができる。
本発明は、上記の実施形態の説明に限定されない。
例えば、液滴吐出装置1の大きさ、材料、液体収容部21の数などは目的に応じて種々の変更が可能であり、液体10もDNA、タンパク質、細胞等の生体試料を含む溶液に限定されず、液滴吐出装置で吐出可能な限りどのような液体であってもよい。送液板3および中継板4は、板状でなくてもよい。また、液体を供給しない状態で、液体収容容器2、送液板3および吐出ヘッド5を組み立てた後に、液体収容容器2の液体収容部21に液体を供給してもよい。
その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の変更が可能である。
本実施形態に係る液滴吐出装置の概略構成を示す断面図である。 送液板の第1基板の構成を示す平面図である。 送液板の第2基板の構成を示す平面図である。 本実施形態に係る液滴吐出方法を説明するための工程断面図である。 本実施形態に係る液滴吐出方法を説明するための工程断面図である。 本実施形態に係る液滴吐出方法を説明するための工程断面図である。 本実施形態に係る液滴吐出方法を説明するための工程断面図である。 本実施形態に係る液滴吐出方法を説明するための工程断面図である。
符号の説明
1…液滴吐出装置、2…液体収容容器、3…送液板、3a…第1基板、3b…第2基板、4…中継板、5…吐出ヘッド、6…送出口密閉手段、7…供給口密閉手段、8…気液分離フィルタ、9…吸引キャップ、10…液体、11…液滴、21…液体収容部、22…供給口、23…送出口、31…流路、32…供給口、33…送出口、40…中空室、51…加圧室、52…ノズル孔

Claims (5)

  1. 液体の供給口および送出口を有する液体収容部を備える液体収容容器と、
    前記送出口に対応する位置に中空室が形成された中継部材と、
    前記中空室を介して前記送出口に一端が連通可能な流路を備える送液部材と、
    前記送液部材の前記流路の他端に連通し、前記送液部材の前記流路内の前記液体を液滴としてノズル孔から吐出する吐出ヘッドと、
    を有し、かつ、
    前記中空室は、前記送出口よりも幅広に形成された構造を有し、かつ、前記ノズル孔から前記液滴が吐出されると、前記供給口の液面が下がって前記中空室の圧力が下がり、前記液体収容容器の前記送出口の液体が吸引されて、該吐出された量に相当する量の前記液滴が前記供給口に滴下されることにより、吐出量を一定に保つよう構成されたものである、液滴吐出装置。
  2. 請求項1に記載の液滴吐出装置を用いた液滴吐出方法であって、
    前記中継部材を介在させずに、前記液体収容容器の前記送出口と前記送液部材の前記流路の一端とを直接連通させ、前記液体収容部から前記流路を介して前記吐出ヘッドのノズル孔の先端まで液体を充填させる工程と、
    前記液体収容容器および前記送液部材内に充填された液体の状態を維持しつつ、前記液体収容容器と前記送液部材とを離間させ、前記送液部材上に前記中継部材を装着して前記供給口と前記中空室とを連通させ、その後前記中継部材上に前記液体収容容器を装着して、前記送出口と前記供給口とが前記中空室を介して連通するように前記液体収容容器と前記送液部材との間に前記中継部材を介在させる工程と、
    前記吐出ヘッドから前記液滴を吐出する工程と、
    を有する液滴吐出方法。
  3. 前記ノズル孔の先端まで前記液体を充填させる工程は、
    前記液体収容容器の前記送出口を密閉した状態で、前記供給口から前記液体収容部に前記液体を供給する工程と、
    前記液体収容容器の前記供給口を密閉し、前記送出口を開放する工程と、
    前記中継部材を介在させずに、前記供給口を密閉した状態で前記液体収容容器の前記送出口と前記送液部材の前記流路の一端とを直接連通させる工程と、
    前記供給口を開放する工程と、
    前記吐出ヘッドの前記ノズル孔から吸引する工程と、
    を有する請求項2記載の液滴吐出方法。
  4. 前記ノズル孔から吸引する工程において、前記吐出ヘッドの前記ノズル孔に気液分離フィルターを取り付けて、当該気液分離フィルターを介して前記吐出ヘッドの前記ノズル孔から吸引する、
    請求項3記載の液滴吐出方法。
  5. 前記中継部材を介在させる工程は、
    前記液体収容容器の前記供給口を密閉する工程と、
    前記供給口を密閉した状態で前記液体収容容器を前記送液部材から離間させる工程と、
    前記送液部材と前記液体収容容器の間に、前記中継部材を介在させる工程と、
    前記液体収容容器の前記供給口を開放する工程と、
    を有する請求項2記載の液滴吐出方法。
JP2006330507A 2006-12-07 2006-12-07 液滴吐出装置および液滴吐出方法 Expired - Fee Related JP4888773B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006330507A JP4888773B2 (ja) 2006-12-07 2006-12-07 液滴吐出装置および液滴吐出方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006330507A JP4888773B2 (ja) 2006-12-07 2006-12-07 液滴吐出装置および液滴吐出方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2008145172A JP2008145172A (ja) 2008-06-26
JP4888773B2 true JP4888773B2 (ja) 2012-02-29

Family

ID=39605530

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006330507A Expired - Fee Related JP4888773B2 (ja) 2006-12-07 2006-12-07 液滴吐出装置および液滴吐出方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4888773B2 (ja)

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2958392B2 (ja) * 1991-10-05 1999-10-06 富士ゼロックス株式会社 インクジェットプリンタのインクタンク
JPH06210872A (ja) * 1992-10-09 1994-08-02 Canon Inc インクジェットプリントヘッド及び該プリントヘッドを用いたプリント装置
JP2002321391A (ja) * 2001-04-26 2002-11-05 Canon Inc 液体用流量制御装置、液体容器、液体吐出ヘッド、記録装置、および液体の流量制御方法
US6877846B2 (en) * 2002-05-03 2005-04-12 Eastman Kodak Company Replaceable ink jet supply with anti-siphon back pressure control
JP4122522B2 (ja) * 2005-01-27 2008-07-23 セイコーエプソン株式会社 液体収容容器、およびこれが装着される液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置、ならびにこれらを用いる液体吐出ヘッドへの液体供給方法および液滴吐出方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP2008145172A (ja) 2008-06-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8029120B2 (en) Liquid container and method of manufacturing the same
US7497544B2 (en) Droplet discharging head, droplet discharging device and manufacturing method of microarray
US7600849B2 (en) Method and apparatus for scalable droplet ejection manufacturing
US7008038B2 (en) Ink-jet printing apparatus, method of filling liquid in ink-jet head thereof, apparatus for manufacturing micro-array and method of filling liquid in ejection head thereof
JP2001232245A (ja) 液体吐出ヘッド
JP4888773B2 (ja) 液滴吐出装置および液滴吐出方法
JP4333226B2 (ja) キャッピング装置、キャッピング方法、及び液滴吐出装置
JP4797448B2 (ja) 液体吐出装置
JP2006281139A (ja) 液体混合方法、該液体混合方法を用いたタンパク質結晶化条件のスクリーニング方法、液滴吐出装置
JP4122522B2 (ja) 液体収容容器、およびこれが装着される液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置、ならびにこれらを用いる液体吐出ヘッドへの液体供給方法および液滴吐出方法
JP4605044B2 (ja) 液滴吐出装置、脱泡方法、及びマイクロアレイ製造方法
US11547993B2 (en) Droplet ejectors with target media
JP2007051883A (ja) マイクロアレイ製造方法および液滴吐出装置
JP4565333B2 (ja) 液滴吐出ヘッドへの液体充填方法、および液滴吐出装置
JP2007057384A (ja) 液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置、およびマイクロアレイの製造方法
JP4360353B2 (ja) 液滴吐出ヘッドの液体回収方法、液滴吐出装置、および液滴吐出ヘッド
JP2004226321A (ja) 液滴吐出ヘッド及びディスペンサ並びにそれらの製造方法並びにバイオチップ製造方法
JP4858684B2 (ja) 液滴吐出ヘッドおよび液滴吐出装置
JP2008513768A (ja) プリントヘッド、プリントヘッドアセンブリ、カートリッジ及びプリンタ
JP2008224411A (ja) プローブ担体製造装置及び液体吐出装置
JP4470118B2 (ja) 液滴吐出ヘッドおよび液滴吐出装置
JP4360355B2 (ja) 液滴吐出ヘッド用吸引装置、液滴吐出装置、および液滴吐出ヘッドへの液体充填方法
JP2006337149A (ja) 液滴吐出ヘッドへの液体充填方法、液滴吐出ヘッド固定ホルダー、および液滴吐出ヘッドの洗浄方法
JP2006145224A (ja) プローブ担体製造用の液体吐出装置及び製造装置
JP2007003238A (ja) 液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置、および混合液体の吐出方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20091105

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20110909

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20110913

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20111102

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20111118

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20111201

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4888773

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141222

Year of fee payment: 3

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees