JP4360355B2 - 液滴吐出ヘッド用吸引装置、液滴吐出装置、および液滴吐出ヘッドへの液体充填方法 - Google Patents
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Description
(吸引装置)
図1に、本発明にかかる吸引装置100を示す。
(液滴吐出ヘッド)
ここで、図4〜6を用い、このような吸引装置100を使用して液体を充填するのに適した液滴吐出ヘッドの一例である、インクジェットヘッド10について説明する。
いるが、双方を併せてノズル孔形成面12と呼ぶ。
(液体充填方法)
次に、本発明に係る吸引装置100を使用して、上述したインクジェットヘッド10のノズル孔先端まで液体を充填する方法について説明する。
(液滴吐出装置)
次に、図7を用いて、吸引装置100を備える液滴吐出装置の一例であるマイクロアレイ製造装置200について説明する。
囲内において、種々に変更して実施することが可能である。気液分離層は、気液分離フィルターと多孔質シートを積層したものに限定されず、気体のみ透過させること、加圧プレートによって加圧されても容易には変形されず気体透過性を維持できること、ノズル孔形成面に密着すること、等の条件を果たし、本発明の課題を解決するものであれば、いずれの材料、形状のものを用いてもよい。また、吸引手段に連通される孔も、2つに限定されず、1つであっても3つ以上であってもよい。また、加圧プレートと、シール部材とは、例えば樹脂等によって一体に構成されたものを用いることもできる。さらに、上述の実施形態では、Z方向駆動軸を作動させて、インクジェットヘッド10を吸引手段100に押し付けるようにして気液分離層104とノズル孔26とを密着させ、シール部材106によってノズル孔形成面12と加圧プレート102との間隙を密閉させたが、吸引手段100の加圧プレートを可動な構成とし、静止したインクジェットヘッド10に吸引手段を押し付けるようにすることもできる。
Claims (6)
- ノズル孔と、液体貯留部と、該ノズル孔と該液体貯留部とを接続する流路と、を備える液滴吐出ヘッド用吸引装置であって、該液体貯留部に供給された液体を、該ノズル孔から吸引することによって該ノズル孔先端まで充填する装置であり、
前記液滴吐出ヘッドのノズル孔形成面に対向し、該ノズル孔形成面に向かって加圧することが可能な加圧プレートと、
前記加圧プレート上に島状に形成され、前記加圧プレートで加圧することによって前記ノズル孔に密着する気液分離層と、
前記加圧プレート上に前記気液分離層を囲むように配置され、前記加圧プレートで加圧することによって前記ノズル孔形成面と前記加圧プレートとの間隙を密閉するシール部材と、を備え、
前記気液分離層は、多孔質シートに気液分離フィルターが積層されてなり、該気液分離フィルターが前記ノズル孔に密着するように構成され、
前記加圧プレートの前記気液分離層の外側かつ前記シール部材の内側の領域であって、前記気液分離層を挟んで前記ノズル孔と対向する位置とは異なる位置に、吸引手段に連通される孔が形成されている、吸引装置。 - 前記気液分離フィルターは、ポリテトラフルオロエチレンの多孔質膜である、請求項1に記載の吸引装置。
- 前記多孔質シートは、ポリエチレン製である、請求項1または2に記載の吸引装置。
- 前記多孔質シートは、その表面を平滑処理されている、請求項1から3のいずれか1項に記載の吸引装置。
- 請求項1から4のいずれか1項に記載の吸引装置と、吸引手段とを備える液滴吐出装置。
- 請求項1から4のいずれか1項に記載の吸引装置を用いて、ノズル孔と、液体貯留部と、該ノズル孔と該液体貯留部とを接続する流路とを備える液滴吐出ヘッドのノズル孔先端まで液体を充填させる方法であって、
前記液体貯留部に前記液体を供給する工程と、
前記吸引装置の加圧プレートで加圧して、前記気液分離層を前記ノズル孔に密着させ、前記シール部材により前記ノズル孔形成面と前記加圧プレートとの間隙を密閉する工程と、
前記吸引手段を作動させて、前記ノズル孔形成面、前記加圧プレート、および前記シール部材により画定された密閉空間内を減圧することにより、前記ノズル孔から気体または液体を吸引し、前記液体を、前記ノズル孔先端まで充填させる工程と、を含む液体充填方法。
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