CN1644374A - 液滴喷出头的驱动方法、液滴喷出装置及器件制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种液滴喷出头的驱动方法及液滴喷出装置等，液滴喷出头带有容纳给定液体的内腔(121)，压电体元件使内腔(121)的容积发生变化，从喷嘴开口(111)喷出液滴。喷出通常的液滴时，向压电体元件施加通常驱动波形(DN)。消除喷嘴开口(111)的堵塞时，向压电体元件施加强制喷出驱动信号(DK)，从喷嘴开口(111)中强制性地喷出一些液体，该液体是可通过驱动压电体元件，从内腔(121)中排出的液体的排出体积(dV)的一半。由此，可防止液滴喷出头的喷嘴开口堵塞等，并且还可抑制液体的浪费。

Description

液滴喷出头的驱动方法、液滴喷出装置及器件制造方法

技术领域

本发明涉及一种喷出给定液体作为液滴的液滴喷出头的驱动方法、带有该液滴喷出头的液滴喷出装置及采用该方法或装置的器件制造方法。

背景技术

设在液滴喷出装置中的液滴喷出头包含容纳给定液体的压力产生室、给压力产生室加压的压电元件、与压力产生室连通的喷嘴开口，通过压电元件给压力产生室的液体加压，从喷嘴开口喷出微量液体作为液滴。由于处于喷嘴开口附近的液体与外界气体直接接触，故因为干燥而粘性增大(增粘)。一旦液体增粘，喷嘴开口会堵塞，会出现液滴的喷出故障。

为了防止液滴的喷出故障，液滴喷出装置要定期或不定期地强制性喷出液滴，进行将增粘的液体排出压力产生室以外的冲洗操作。而且，当通过冲洗操作不能排除液滴喷出故障时，还要进行清洁，即，从液滴喷出头的喷嘴开口执行抽吸动作后，用擦拭器擦拭喷嘴板表面。另外，现有的清洁的例子可参见例如下述专利文献1、2。

专利文献1：特开2002-079693号公报

专利文献2：特开2003-118133号公报

如上所述，为了液滴喷出头不堵塞而进行冲洗，产生堵塞时进行清洁，但仍不能消除堵塞时，要进行几次冲洗及清洁。因此，存在从未产生堵塞的喷嘴开口排出的液体量增加，液体浪费的问题。而且，如果进行多次清洁，并用擦拭器擦拭形成有喷嘴开口的表面，会导致擦拭器的使用寿命缩短，同时导致形成有液滴喷出头的喷嘴开口的表面的疏水性降低，因此存在引起液滴的喷出故障的问题。

近年来，液滴喷出装置被用于制造液晶显示装置中所用的滤色片、微透镜阵列、其它带有细微图样的各种器件，而且通过设置多个液滴喷出头，可极大地提升生产能力(through put，即单位时间内可制造的器件数)。因此，必须极力避免由于喷嘴开口堵塞引起的生产能力的降低。

发明内容

本发明正是鉴于上述情况而作出的，本发明的目的在于提供一种液滴喷出头的驱动方法及液滴喷出装置，及可不会招致生产能力降低地制造器件的器件制造方法，可防止液滴喷出头的喷嘴开口的堵塞等，同时可抑制液体的浪费，而且不会引起液滴喷出头的性能降低。

为了解决上述问题，本发明的第一方案所述的液滴喷出头的驱动方法中的该液滴喷出头带有容纳给定液体的内腔、在前述内腔中产生对应于所施加的驱动信号的压力的压力产生元件、作为液滴喷出经前述压力产生元件加压后的前述液体的喷嘴开口，向前述压力产生元件施加强制喷出驱动信号，驱动前述液滴喷出头，使从前述喷嘴开口中强制性地喷出一些液体作为液滴，该液体是由于前述压力产生元件的加压而从前述内腔中排出的前述液体的排出体积的一半。

采用本发明，将从喷嘴开口喷出液体的排出体积的一半作为液滴的强制喷出驱动信号施加在压电体元件上，强制性地喷出内腔中的液体，因此可有效地使液滴喷出头的喷嘴开口的堵塞现象得以恢复。而且，由于可使喷嘴开口的堵塞现象及早恢复，因此可降低清洁液滴喷出头的次数，因而不会导致液体的疏水性降低等液滴喷出头的性能降低。此处所说的排出体积是指在内腔中施加最大压力时，从内腔中排出的液体的体积。本发明中，从喷嘴开口中喷出的不是排出体积的全部，而是排出体积的一半，这是因为内腔并不是除了喷嘴开口之外均为密闭的，因此不能从喷嘴开口喷出排出体积的全部。未从喷嘴开口喷出的排出体积的一半从喷嘴开口以外的地方(例如将给定液体供入内腔的供给口)被排出到内腔以外。

本发明第一方案的液滴喷出头的驱动方法中，向不喷出前述液滴的喷嘴开口所对应的前述压力产生元件施加前述强制喷出驱动信号。

采用本发明，由于向不喷出液滴的喷嘴开口所对应的压力产生元件施加强制喷出驱动信号，从其喷嘴开口喷出排出体积的一半作为液滴，而不从正常喷出液滴的喷嘴开口中喷出液体作为液滴，因此可抑制液体的浪费，同时可消除喷嘴开口的堵塞现象。

本发明第一方案的液滴喷出头的驱动方法包含下述步骤：检测有无从前述各喷嘴开口喷出前述液滴的检测步骤、根据前述检测步骤的检测结果，控制是否向前述压力产生元件施加前述强制喷出驱动信号的控制步骤。

采用本发明，预先检测有无从各喷嘴开口喷出液滴，根据该检测结果，对向压力产生元件施加强制喷出驱动信号进行控制，因此仅当产生了喷嘴开口堵塞等不喷出液滴的故障时，为消除该故障而从产生了故障的喷嘴开口中喷出液滴。通过进行该控制，与例如定期施加强制喷出驱动信号时相比，由于不无谓地喷出液体，因此在可抑制液体的耗费的同时，还可节省通过施加强制喷出驱动信号喷出液滴所需的时间。

本发明第一方案的液滴喷出头的驱动方法中，前述控制步骤进行控制，向未施加前述强制喷出驱动信号的压力产生元件施加微小驱动信号，该微小驱动信号用于产生微小的压力，该压力小到不会从前述喷嘴开口喷出前述液滴的程度。

采用本发明，由于向正常喷出液滴的喷嘴开口所对应的压力产生元件施加微小驱动信号，使喷嘴开口的弯液面处于振动状态，可抑制液体的增粘，其结果，可防止其喷嘴的堵塞。

本发明第一方案的液滴喷出头的驱动方法中，前述控制步骤包含下述步骤：生成在1个喷出周期中包含前述强制喷出驱动信号和前述微小驱动信号在内的驱动信号的驱动信号生成步骤、根据前述检测步骤的检测结果，选择前述强制喷出驱动信号及前述微小驱动信号中的一个，施加在前述压力产生元件上的选择步骤。

采用本发明，生成在液滴喷出头的1个喷出周期中包含强制喷出驱动信号和微小驱动信号在内的驱动信号，根据检测步骤的检测结果，选择强制喷出驱动信号及微小驱动信号中的一个，施加在压力产生元件上，由此，即使有多个压力产生元件时，也可在短时间内向各压力产生元件施加应施加的驱动信号。

本发明第一方案的液滴喷出头的驱动方法中，根据前述给定液体的种类，前述控制步骤控制向前述压力产生元件施加前述强制喷出驱动信号的次数。

采用本发明，根据液体的种类控制向压力产生元件施加强制喷出驱动信号的次数，来控制液体的喷出次数，因此，可根据例如液体干燥的容易程度、粘度等，喷出适量的液体。其结果，可有效地使喷嘴开口的堵塞现象得以恢复。

为解决上述问题，本发明第二方案的液滴喷出头的驱动方法中的该液滴喷出头带有产生对应于所施加的驱动信号的压力的压力产生元件、作为液滴喷出经前述压力产生元件所产生的压力加压后的前述液体的喷嘴开口，该方法包含下述步骤：检测有无从前述各喷嘴开口喷出前述液滴的检测步骤、根据前述检测步骤的检测结果，控制是否向前述压力产生元件施加强制喷出驱动信号的控制步骤，该强制喷出驱动信号用于从前述喷嘴开口中强制性地喷出前述液体。

采用本发明，预先检测有无从各喷嘴开口喷出液滴，根据该检测结果，向压力产生元件施加强制喷出驱动信号，强制性地喷出液体，因此仅当产生喷嘴开口堵塞等不喷出液滴的故障时，从产生故障的喷嘴开口中喷出液滴。其结果，与例如定期施加强制喷出驱动信号时相比，由于不无谓地喷出液体，因此在可抑制液体的耗费的同时，还可节省通过施加强制喷出驱动信号而喷出液滴所需的时间。

本发明第二方案的液滴喷出头的驱动方法中，前述控制步骤进行控制，向未施加前述强制喷出驱动信号的压力产生元件施加微小驱动信号，该微小驱动信号用于产生微小的压力，该压力小到不会从前述喷嘴开口喷出前述液滴的程度。

采用本发明，由于向正常喷出液滴的喷嘴开口所对应的压力产生元件施加微小驱动信号，使喷嘴开口的弯液面处于振动状态，可抑制液体的增粘，其结果，可防止其喷嘴的堵塞。

本发明第二方案的液滴喷出头的驱动方法中，前述控制步骤包含下述步骤：生成在1个喷出周期中包含前述强制喷出驱动信号和前述微小驱动信号在内的驱动信号的驱动信号生成步骤、根据前述检测步骤的检测结果，选择前述强制喷出驱动信号及前述微小驱动信号中的一个，施加在前述压力产生元件上的选择步骤。

采用本发明，生成在液滴喷出头的1个喷出周期中包含强制喷出驱动信号和微小驱动信号在内的驱动信号，根据检测步骤的检测结果，选择强制喷出驱动信号及微小驱动信号中的一个，施加在压力产生元件上，由此，即使有多个压力产生元件时，也可在短时间内向各压力产生元件施加应施加的驱动信号。

本发明第二方案的液滴喷出头的驱动方法中，根据前述给定液体的种类，前述控制步骤控制向前述压力产生元件施加前述强制喷出驱动信号的次数。

采用本发明，根据液体的种类控制向压力产生元件施加强制喷出驱动信号的次数，来控制液体的喷出次数，因此，可根据例如液体干燥的容易程度、粘度等，喷出适量的液体。其结果，可有效地使喷嘴开口的堵塞现象得以恢复。

为解决上述问题，本发明第一方案的液滴喷出装置包括液滴喷出头，该液滴喷出头带有容纳给定液体的内腔、在前述内腔中产生对应于所施加的驱动信号的压力的压力产生元件、作为液滴喷出经前述压力产生元件加压后的前述液体的喷嘴开口，该液滴喷出装置包括生成强制喷出驱动信号的驱动信号生成部，该强制喷出驱动信号用于从前述喷嘴开口中强制性地喷出一些液体，该液体是由于前述压力产生元件的加压而从前述内腔中排出的前述液体的排出体积的一半。

采用本发明，由于包括生成强制喷出驱动信号的驱动信号生成部，作为液滴从喷嘴开口喷出液体的排出体积的一半，通过将生成的强制喷出驱动信号施加在压电体元件上，可有效地使液滴喷出头的喷嘴开口的堵塞现象得以恢复。而且，由于可防止喷嘴开口的堵塞现象，因此可降低清洁液滴喷出头的次数，因而不会导致液体的疏水性降低等液滴喷出头的性能降低。

本发明第一方案的液滴喷出装置包括检测有无从前述各喷嘴开口喷出前述液滴的检测装置、根据前述检测装置的检测结果，控制向哪个前述压力产生元件施加前述强制喷出驱动信号的控制部。

采用本发明，用检测装置检测有无从各喷嘴开口喷出液滴，根据该结果，控制部控制向哪个压力产生元件施加强制喷出驱动信号，因此仅当产生了不喷出液滴的故障时，为消除该故障而从产生故障的喷嘴开口中喷出液滴，因此可抑制液体的耗费。

本发明第一方案的液滴喷出装置中，前述驱动信号生成部生成包含前述强制喷出驱动信号和产生微小压力的微小驱动信号在内的驱动信号，该微小驱动信号所产生的压力小到不会喷出前述液滴的程度。

此处，本发明第一方案的液滴喷出装置的前述控制部根据前述检测装置的检测结果，选择前述强制喷出驱动信号及前述微小驱动信号中的一个，施加在前述压力产生元件上。

采用本发明，向存在液滴喷出故障的喷嘴开口所对应的压力产生元件施加强制喷出驱动信号，而向没有喷出故障的喷嘴开口所对应的压力产生元件施加微小驱动信号，因此，可同时实现消除喷出故障和预防液体在喷嘴开口处增粘。

为解决上述问题，本发明第二方案的液滴喷出装置包括液滴喷出头，该液滴喷出头带有产生对应于所施加的驱动信号的压力的压力产生元件、作为液滴喷出经前述压力产生元件所产生的压力加压后的前述液体的喷嘴开口，该装置包括检测有无从前述各喷嘴开口喷出前述液滴的检测装置、根据前述检测装置的检测结果，控制向哪个前述压力产生元件施加强制喷出驱动信号的控制部。

采用本发明，预先检测有无从各喷嘴开口喷出液滴，根据该检测结果，控制是否向压力产生元件施加强制喷出驱动信号，强制性地喷出液体，因此仅当产生喷嘴开口堵塞等不喷出液滴的故障时，从产生故障的喷嘴开口中喷出液滴。其结果，与例如定期施加强制喷出驱动信号时相比，由于不无谓地喷出液体，因此在可抑制液体的耗费的同时，还可节省通过施加强制喷出驱动信号而喷出液滴所需的时间。

本发明的器件制造方法是带有在给定位置形成有具有功能性的图样的工件的器件的制造方法，该方法包含下述工序：采用上述任意一个所述的液滴喷出装置的驱动方法或上述任意一个所述的液滴喷出装置，从前述液滴喷出头所带有的前述喷嘴开口中喷出前述给定液体的预备喷出工序、采用经过前述预备喷出工序的液滴喷出头，在前述工件上喷出液滴，形成前述图样的工序。

采用本发明，用上述任意一个所述的液滴喷出装置的驱动方法或液滴喷出装置，消除或预防喷嘴开口的堵塞，用完成了该处理的液滴喷出头在工件上喷出液滴，形成图样，可抑制给定液体的浪费，同时可延长用于形成图样的液滴喷出时间。其结果，在可降低器件的制造成本的同时，还可提高生产能力。

附图说明

图1是表示本发明的一个实施方式所述的液滴喷出装置的大致构成的立体图。

图2是喷出头20的分解立体图。

图3是表示喷出头20的主要部分的一部分的透视图。

图4是表示盖帽单元22的构成的图。

图5是表示本发明一个实施方式所述的液滴喷出装置的电功能构成的框图。

图6是示意地表示由驱动信号生成部54所生成的通常驱动信号的1个周期的波形及喷出头的动作的图。

图7是用于说明通常驱动信号及强制喷出驱动信号及排出体积的图。

图8是表示强制喷出驱动信号及微小驱动信号的图。

图9是表示本发明一个实施方式所述的液滴喷出头的驱动方法的一例的流程图。

图中：20-喷出头(液滴喷出头)，38-喷出检测装置(检测装置)，52-运算控制部(控制部)，54-驱动信号生成部，62-转换信号生成部(控制部)，64-开关电路(控制部)，111-喷嘴开口，121-内腔，1 50-压电体元件(压力产生元件)，DB-微小驱动信号，DK-强制喷出驱动信号，IJ-液滴喷出装置，P-基板(工件)。

具体实施方式

下面参照附图详细说明本发明的一个实施方式所述的液滴喷出头的驱动方法、液滴喷出装置及器件制造方法。

(液滴喷出装置)

图1是表示本发明的一个实施方式所述的液滴喷出装置的大致构成的立体图。另外，在以下的说明中，根据需要在图中设定XYZ垂直坐标系，参照该XYZ垂直坐标系对各部件的位置关系进行说明。XYZ垂直坐标系将XY平面设定为水平面的平行面，将Z轴设定为竖直的向上方向。本实施方式中，将喷出头(液滴喷出头)20的移动方向设定为X方向，将载物台ST的移动方向设定为Y方向。

如图1所示，本实施方式的液滴喷出装置IJ包含基座10、在基座10上支撑玻璃基板等基板P的载物台ST、被支撑在载物台ST上方(+Z方向)且可向基板P喷出给定液滴的喷出头20。基座10与载物台ST之间设有支撑载物台ST的第一移动装置12，该装置12使载物台ST可向Y方向移动。在载物台ST上方还设有支撑喷出头20的第二移动装置14，该装置14使喷出头20可向X方向移动。

喷出头20通过管路18与存储从喷出头20喷出的液滴的溶剂(给定液体)的腔室16相连。且基座10上设有盖帽单元22和清洁单元24。控制装置26控制液滴喷出装置IJ的各部分(例如第一移动装置12及第二移动装置14等)，控制液滴喷出装置IJ的整体动作。

上述第一移动装置12设在基座10上，并沿Y轴方向定位。该第一移动装置12由例如线性马达构成，且带有导轨12a，12a、及沿该导轨12a可移动地设置的滑块12b。该线性马达形式的第一移动装置12的滑块12b沿导轨12a向Y轴方向移动并可定位。

滑块12b带有绕Z轴旋转(θz)的马达12c。该马达12c是例如直接传动马达，马达12c的转子固定在载物台ST上。由此，通过给马达12c通电，转子与载物台ST沿θz方向旋转，可使载物台ST转换角度(分度地旋转)。即，第一移动装置12可使载物台ST向Y轴方向及θz方向移动。载物台ST保持基板P，使其定位在给定位置上。而且，载物台ST带有图中未示出的吸附保持装置，在该吸附保持装置的作用下，通过设在载物台ST上的图中未示出的吸附孔，基板P被吸附保持在载物台ST上。

上述第二移动装置14采用支柱28a，28a直立地安装在基座10上，安装在基座10的后部10a处。该第二移动装置14由线性马达构成，支撑在固定于支柱28a，28a上的柱子28b上。第二移动装置14包括支撑在柱子28b上的导轨14a、及可沿导轨14a向X轴方向移动地被支撑的滑块14b。滑块14b可沿导轨14a向X轴方向移动并定位。上述喷出头20安装在滑块14b上。

喷出头20带有作为摆动定位装置的马达30、32、34、36。如果驱动马达30，则可使喷出头20沿Z方向上下运动，并可使喷出头20定位在Z方向的任意位置上。如果驱动马达32，则可使喷出头20沿围绕Y轴的β方向摆动，并可调整喷出头20的角度。如果驱动马达34，则可使喷出头20沿围绕X轴的γ方向摆动，并可调整喷出头20的角度。如果驱动马达36，则可使喷出头20沿围绕Z轴的α方向摆动，并可调整喷出头20的角度。

由此，图1所示的喷出头20可沿Z方向直线移动、并可沿α方向、β方向及γ方向摆动并调整角度地支撑在滑块14b上。喷出头20的位置及姿态由控制装置26精确控制，使得相对于载物台ST侧的基板P，其液滴喷出面20a的位置或姿态形成给定的位置或给定的姿态。另外，喷出头20的液滴喷出面20a上设有喷出液滴的多个喷嘴开口。

作为从上述喷出头20喷出的液滴可以采用下述含有各种材料的液滴：含有着色材料的墨水、含有金属微粒等材料的分散液、含有PEDOT：PSS等的空穴注入材料及发光材料等的有机EL物质的溶液、液晶材料等的高粘度的功能性液体、含有微透镜材料的功能性液体、含有蛋白质及核酸等的生物高分子溶液等。

下面说明喷出头20的构成。图2是喷出头20的分解立体图，图3是表示喷出头20的主要部分中的一部分的立体图。图2所示的喷出头20包含喷嘴板110、压力室基板120、振动板130及壳体140。如图2所示，压力室基板120带有内腔121、侧壁122、容器123及供给口124。内腔121是压力室，是通过腐蚀硅等基板而形成的。侧壁122对内腔121进行分隔，容器123构成向各内腔121填充给定液体时，可供给给定液体的公共管路。可向各内腔121导入给定液体地构成供给口124。

如图3所示，振动板130可贴合在压力室基板120的一个面上。振动板130上设有前述压电体器件的一部分，即压电体元件150。压电体元件150是具有钙钛矿构造的强电介质的结晶，压电体元件150以给定形状形成在振动板130上。该压电体元件150对应于从控制装置26供给的驱动信号，体积可发生变化。喷嘴板110贴合在压力室基板120上，使其喷嘴开口111位于与设在压力室基板120上的多个内腔(压力室)121分别对应的位置上。进而如图2所示，贴合有喷嘴板110的压力室基板120装入壳体140中，构成液滴喷出头20。

从喷出头20喷出液滴时，首先，控制装置26向喷出头20发出用于喷出液滴的驱动信号。给定液体流入喷出头20的内腔121，一旦驱动信号被供给喷出头20，设在喷出头20中的压电体元件150响应该驱动信号而体积发生变化。该体积变化使振动板130变形，使内腔121的体积发生变化。其结果，液滴从该内腔121的喷嘴开口111中喷出。喷出液滴后的内腔121中由于喷出而减少的液滴重新从腔室16补给。

另外，参照图2及图3说明的喷出头20的构成为：压电体元件150的体积发生变化，从而喷出液滴，但也可以是采用下述构成的喷出头：用加热体加热给定液体，通过液体的膨胀而喷出液滴。还可以是用静电使振动板变形，使体积发生变化，从而喷出液滴的喷出头。

回到图1，第二移动装置14通过使喷出头20向X轴方向移动，可使喷出头20选择性地定位在清洁单元24或盖帽单元22的上部。也就是说，即使在器件制造工序的中途，如果例如将喷出头20移动到清洁单元24上，也可进行喷出头20的清洁。而且，如果将喷出头20移动到盖帽单元22上，则可盖住喷出头20的液滴喷出面20a，向内腔121填充液滴，恢复由于喷嘴开口111的堵塞等引起的喷出故障。

总之，清洁单元24及盖帽单元22在基座10上的后部10a侧，在喷出头20的移动路径之下，与载物台ST分离地设置。由于基板P相对于载物台ST的搬入操作及搬出操作是在基座10的前部10b侧进行的，因此上述清洁单元24及盖帽单元22不会妨碍操作。

清洁单元24带有擦拭形成有喷嘴开口111的表面的擦拭器，可在器件制造工序中及待机时，定期或随时地清洁喷出头20的喷嘴开口111等。盖帽单元22为了使喷出头20的液滴喷出面20a不干燥，而在不制造器件而待机时，盖住该液滴喷出面20a，或向内腔121填充液滴时使用，或用于恢复产生了喷出故障的喷出头20。

下面详细说明盖帽单元22。图4是表示盖帽单元22的构成的图，图4(a)是从喷出头20侧看的盖帽单元22的平面图，图4(b)是沿图4(a)中的A-A线所作的截面向视图。如图4(a)、(b)所示，盖帽单元22包含主体40、盖帽部42、连通管44及泵(负压供给装置)46。

盖帽部42带有嵌入形成在主体40上的凹部42a内部的湿润部件42b、和从主体40的上面40a突出的突出部42c。凹部42a的底面与贯穿主体40的下面40的连通管44相连。此处所说的湿润部件42b是指对从喷出头20喷出的液滴的吸收性好，吸收液滴时保持湿润状态，由例如海绵等材料制成。泵46是通过连通管44对盖帽部42进行抽吸、减压(形成负压)的部件。该泵46与控制装置26电连接，在控制装置26的控制下，其驱动受到控制。

回到图1，本实施方式的液滴喷出装置IJ设有喷出检测装置38，该装置38检测在设在喷出头20的液滴喷出面20a上的多个喷嘴开口111中，是否有不喷出液滴的喷嘴开口111(有无漏点)。喷出检测装置38由例如激光光源和接收来自激光光源的激光的受光元件构成。设置上述激光光源及受光元件，使其在将喷出头20在X方向的位置定位在给定位置上时，夹住从各喷嘴开口111喷出的液滴的轨迹，依次从各喷嘴开口111喷出液滴时，通过判断受光元件接收到的光量有无变化，来检测有无漏点。

喷出检测装置38可由打印部和拍摄元件构成，打印部从各喷嘴开口111喷出液滴进行打印，同时可用擦拭器等清扫其打印面，拍摄元件是通过光学透镜等与打印部光学共轭地设定的CCD(电荷耦合器件)等。采用该构成时，从各喷嘴开口111喷出液滴，在打印面上进行打印，用拍摄元件拍摄其打印面，通过对得到的图像信号进行图像处理，检测有无漏点。

下面说明本实施方式的液滴喷出装置IJ的电气功能。图5是表示本发明一个实施方式所述的液滴喷出装置的电气功能构成的框图。另外，图5中与图1～图4所示的部件相对应的部件在框图中用同一符号表示。如图5所示，控制液滴喷出装置IJ的电气构成包含控制计算机50、控制装置26及驱动用集成电路60。

控制计算机50包含例如CPU(中央处理器)、RAM(随机存储器)及ROM(只读存储器)等的内部存储装置、硬盘、CD-ROM等外部存储装置、及液晶显示装置或CRT(阴极射线管)等的显示装置，根据存储在ROM或硬盘上的程序，输出用于控制液滴喷出装置IJ的动作的控制信号。该控制计算机50利用例如缆线等与设在图1所示的液滴喷出装置IJ中的控制装置26连接。

控制装置26包含运算控制部52、驱动信号生成部54及计时部56。运算控制部52基于从控制计算机50输入的控制信号及预先存储在内部的控制程序，驱动第一移动装置12、第二移动装置14及马达30～36，同时控制设在盖帽单元22中的泵46的动作。

运算控制部52向驱动信号生成部54输出各种数据(驱动信号生成用数据)，上述数据用于生成驱动设在喷出头20中的多个压电体元件150的各种驱动信号。而且，运算控制部52基于上述控制程序，生成选择数据，输出到设在驱动用集成电路60中的转换信号生成部62。该选择数据由喷嘴选择数据和波形选择数据构成，其中的喷嘴选择数据用于指定成为驱动信号的施加对象的压电体元件150，波形选择数据用于指定施加在压电体元件150上的驱动信号。

此外，运算控制部52用计时部56计算用盖帽单元22盖住(封闭)喷出头20的时间及未盖住喷出头20的时间，同时控制驱动泵46的时间等。并基于喷出检测装置38的检测结果，控制从设在喷出头20上的喷嘴开口111中强制性地喷出液滴(冲洗)，同时控制盖住时间及清洁的次数等。

驱动信号生成部54基于上述驱动信号生成用数据，生成给定形状的各种驱动信号，输出到开关电路64。驱动信号生成部54生成的驱动信号可以是例如通常驱动信号、强制喷出驱动信号、及微小驱动信号。通常驱动信号是用于从喷嘴开口111喷出给定量液滴的驱动信号，强制喷出驱动信号是从特定的喷嘴开口111中强制性喷出排出体积的一半的液体的驱动信号。此处所说的排出体积是指压电体元件150的变形量最大，在内腔221内施加最大的压力时，从内腔221内排出的液体的体积。

而微小驱动信号是在从喷嘴开口111中不喷出液滴的程度地使压电体元件150微振动，从而使喷嘴开口111中的弯液面振动，来防止喷嘴开口111附近的液体增粘的驱动信号。输入例如从运算控制部52输出的计时开始信号及计时时间，计时部56从计时开始起，经过计时时间时，输出计时结束信号。

驱动用集成电路60设在喷出头20内，包含转换信号生成部62和开关电路64。转换信号生成部62基于从运算控制部52输出的选择数据，生成指示各压电体元件150的驱动信号的导通/非导通的切换信号，并输出到开关电路64。为每个压电体元件150设置开关电路64，根据切换信号向压电体元件150输出指定的驱动信号。

下面简单说明驱动信号生成部54生成驱动信号的一例及喷出头的动作。图6是示意地表示由驱动信号生成部54所生成的通常驱动信号的1个周期的波形及喷出头的动作的图。如图6(a)所示，通常驱动信号基本上，其电压值从中间电位Vm开始后(持续脉冲L1)，在时刻T1至时刻T2之间，其电压值以一定的倾角上升，直到最大电位VPS(充电脉冲L2)，从时刻T2到时刻T3之间，仅给定时间地维持最大电位VPS(持续脉冲L3)。接着，从时刻T3至时刻T4之间，其电压值以一定倾角下降，直到最低电位VLS后(放电脉冲L4)，从时刻T4至时刻T5之间，仅给定时间地维持最低电位VLS(持续脉冲L5)。此后，从时刻T5至时刻T6之间，电压值以一定倾角上升，直到中间电位Vm(充电脉冲L6)。

一旦上述通常驱动信号施加到压电体元件150上，压电体元件150如图6(b)～(d)所示地动作，由此从喷嘴开口111喷出给定液体作为液滴。首先，从图6(a)中的时刻T1至时刻T2期间，一旦通常驱动信号的电压值平缓上升的充电脉冲L2施加到压电体元件150上，如图6(b)所示，压电体元件150向使内腔121的容积缓缓膨胀的方向挠曲，在内腔121中产生负压。由此，给定液体从容器123供入内腔121。而且，位于图示的喷嘴开口111的开口附近的液状粘性物也稍稍向内腔121的内部方向被吸入，弯液面被吸入喷嘴开口111内。

接着，从时刻T2至时刻T3期间，将通常驱动信号的电压值保持在最大电位VPS的持续脉冲L3施加到压电体元件150上之后，从时刻T3至时刻T4期间，一旦施加放电脉冲L4，压电体元件150向使内腔121的容积急速收缩的方向挠曲，在内腔121中产生正压。由此，如图6(c)所示，从喷嘴开口111喷出给定液体作为液滴D1。

一旦喷出液滴D1，从时刻T4至时刻T5期间，向压电体元件150上施加维持最低电位VLS的持续脉冲L5，此后从时刻T5至时刻T6期间，以一定倾角上升直到中间电位Vm的充电脉冲L6施加到压电体元件150上。一旦充电脉冲L6施加到压电体元件150上，压电体元件150如图6(d)所示地变形，在内腔121中产生负压。由此，从容器123向内腔121供给给定液体，同时位于喷嘴开口111的开口附近的给定液体也向内腔121的内部方向被稍稍地吸入，如图6(d)所示，弯液面维持一定状态。由此，例如最大电位VPS越高，或放电脉冲L4的倾角越陡，则从喷嘴开口111喷出的液状粘性物的每一滴的重量越大。

下面比较通常驱动信号与强制喷出驱动信号。图7是用于说明通常驱动信号及强制喷出驱动信号及排出体积的图，(a)是表示通常驱动信号及强制喷出驱动信号的图，(b)是表示排出体积的图。图7(a)中，用符号DN表示的驱动信号是通常驱动信号，用符号DK表示的驱动信号是强制喷出驱动信号。通常驱动信号DN是电压值在最大电位VPS与最低电位VLS之间变化的驱动信号，强制喷出驱动信号DK是电压值在比通常驱动信号DN的最大电位VPS高的电位Vmax与比通常驱动信号DN的最低电位VLS低的电位Vmin之间变化的驱动信号。此处，将电位Vmax设定为使压电体元件150的变形量最大的值，将电位Vmin及电位Vc设定为可使该变形恢复的值。

总之，一旦向压电体元件150施加强制喷出驱动信号DK，则压电体元件150的变形量达到最大，其结果内腔121的容积变化达到最大。该内腔121的容积的最大变化量即为排出体积。一旦向压电体元件150施加强制喷出驱动信号DK，除了压电体元件150的变形量的大小以外，喷出头20执行与图6(b)～图6(d)所示的动作相同的动作。图7(b)中的符号dV所指示的地方(划斜线的地方)即为排出体积，是一次从内腔121内排出的液体体积的最大量。但是，内腔121并不是除了喷嘴开口111以外均为密闭的，而是如图2及图3所示，通过供给口124与容器123连通，因此排出体积dV的一半向容器123流出，从喷嘴开口111一次喷出的液体的最大量是排出体积dV的一半。

下面说明微小驱动信号。图8是表示强制喷出驱动信号及微小驱动信号的图。如图8(a)所示，驱动信号生成部54生成驱动信号，该驱动信号在一个喷出周期内包含强制喷出驱动信号DK和微小驱动信号DB。消除喷出头20的喷嘴开口的堵塞时，包含强制喷出驱动信号DK及微小驱动信号DB的驱动信号是由驱动信号生成部54生成的。

如图8(a)所示，1个喷出周期划分为期间T11和期间T12，强制喷出驱动信号DK包含在期间T11内，微小驱动信号DB包含在期间T12中。消除喷出头20的喷嘴开口的堵塞时，生成包含强制喷出驱动信号DK和微小驱动信号DB的驱动信号，根据包含在从运算控制部52输出的选择数据中的波形选择数据，选择强制喷出驱动信号DK及微小驱动信号DB。

详细情况将在后面描述，对于与被喷出检测装置38检测出喷出故障的喷嘴开口111相对应设置的压电体元件150，如图8(b)所示地选择强制喷出驱动信号DK，施加到与该喷嘴开口111相对应的压电体元件150上。另一方面，对于与正常喷出的喷嘴开口111相对应设置的压电体元件150，如图8(c)所示地选择微小驱动信号DB，施加到与该喷嘴开口111相对应的压电体元件150上。

(液滴喷出头的驱动方法)

下面说明用上述构成的液滴喷出装置IJ在基板P上形成微阵列的方法，同时详细说明形成微阵列所进行的液滴喷出头的驱动方法。图9是表示本发明一个实施方式所述的液滴喷出头的驱动方法的一例的流程图。

在图9所示的流程中，开始处理后，运算控制部52判断有无漏点的检测指示(步骤S11)。漏点检测指示是接通液滴喷出装置IJ的电源时通过控制计算机50输出的，或液滴开始喷出时或更换基板P时通过运算控制部52的程序输出的。或者控制计算机50的操纵者对控制计算机50进行人工指示时，通过控制计算机50输出的。没有漏点检测指示时(判断结果为“否”时)，进行步骤S11的处理，直到出现漏点检测指示。

另一方面，在步骤S11中，判断有漏点检测指示时(判断结果为“是”时)，运算控制部52驱动第二移动装置14，进行喷出头20的移动及定位，使喷嘴开口111处于喷出检测装置38的上方(+Z方向)。喷出头20的定位结束后，运算控制部52向驱动信号生成部54输出驱动信号生成用数据，使其生成通常驱动信号DN，同时向转换信号生成部62输出选择数据。

基于运算控制部52输出的选择数据，由转换信号生成部62生成指示各压电体元件150的驱动信号的导通/非导通的转换信号，开关电路64将由转换信号指定的通常驱动信号DN施加到压电体元件150上。由此，液滴从喷出头20的多个喷嘴开口依次向喷出检测装置38喷出，喷出检测装置38对漏点进行检测(步骤S12)。

漏点检测结束后，其检测结果输出到运算控制部52，在运算控制部52中判断有无漏点(步骤S13)。判定没有漏点时(判断结果为“否”时)，进行液滴的通常喷出(步骤S14)。即，运算控制部52控制第一移动装置12，使基板P移动到移动开始位置，同时控制第二移动装置14等，使喷出头20移动到喷出开始位置。此后，向驱动信号生成部54及转换信号生成部62分别输出驱动信号生成用数据及选择数据，向压电体元件150施加通常驱动信号DN，开始向基板P上喷出液滴。

开始喷出液滴后，运算控制部52使喷出头20与基板P沿X轴方向相对移动(扫描)，同时从喷出头20的给定喷嘴以给定宽度向基板P上喷出液滴，在基板P上形成微阵列。本实施方式中，喷出头20相对基板P向+X方向移动，同时执行喷出动作。喷出头20与基板P的第一次相对移动(扫描)结束后，支撑基板P的载物台ST相对于喷出头20向Y轴方向移动给定步。运算控制部52使喷出头20相对基板P向例如-X方向进行第二次相对移动(扫描)，同时执行喷出动作。通过多次反复进行该动作，喷出头20基于运算控制部52的控制喷出液滴，在基板P上形成微阵列。

执行上述动作，在基板P上形成微阵列后，运算控制部52控制第一移动装置12，使喷有液滴的基板P移动到输出位置。此后，解除载物台ST的吸附保持，图中未示出的输送装置将基板P从载物台ST上送出。接着，在将基板P从载物台ST送出期间，运算控制部52控制第二移动装置14，使喷出头20向X轴方向移动，并定位在盖帽单元22的上部。进而，使喷出头20向Z轴方向移动，与盖帽单元22接触地设置，盖住喷出头20(步骤S15)。通过上述动作，向1个基板P上喷出液滴的动作结束。

另一方面，在步骤S13中，判定有漏点时(判断结果为“是”时)，运算控制部52基于喷出检测装置38的检测结果，进行从形成在喷出头20上的多个喷嘴开口111中指定存在漏点的喷嘴开口111的处理(步骤S16)。另外与该处理并行，运算控制部52驱动第二移动装置14，使喷出头20移动并定位，使喷嘴开口111处于盖帽单元22的上方(+Z方向)。

指定存在漏点的喷嘴开口111及移动喷出头20的处理结束后，运算控制部52执行消除漏点的处理。该处理通过向与存在漏点的喷嘴开口111相对应的压电体元件150施加强制喷出驱动信号DK，从其喷嘴中强制性地喷出排出体积的一半的液体，从而消除喷嘴开口111的堵塞等现象。为了执行该处理，运算控制部52生成喷嘴选择数据，该喷嘴选择数据是依次选择形成在喷出头20上的喷嘴开口111的数据，同时生成波形选择数据，以便向与在步骤S16中指定的喷嘴开口111相对应的压电体元件150施加强制喷出驱动信号DK。

具体地说，运算控制部52首先生成用于从多个喷嘴开口111中指定最初的喷嘴开口111，选择该喷嘴开口111的喷嘴选择数据(步骤S17)。另外，给各喷嘴开口111依次赋予喷嘴代码，运算控制部52用该喷嘴代码对各喷嘴开口111进行管理及指定。接着，运算控制部52根据步骤S16的指定结果，判断选择的喷嘴开口111是否是存在漏点的喷嘴开口111(步骤S18)。

判断是存在漏点的喷嘴开口111时(判断结果为“是”时)，生成波形选择数据，该数据用于向与该喷嘴开口111相对应的压电体元件150施加强制喷出驱动信号DK(步骤S19)。该处理结束后，判断是否所有喷嘴开口111的选择都结束了(步骤S20)，判断选择未结束时(判断结果为“否”时)，回到步骤S17，生成喷嘴选择数据，该数据用于指定下一个喷嘴开口111及选择该喷嘴开口111。

另一方面，在步骤S18中，运算控制部52判定选择的喷嘴开口111是不漏点的喷嘴开口111时(判断结果为“否”时)，生成波形选择数据，该数据用于向与该喷嘴开口111相对应的压电体元件150施加微小驱动信号DB(步骤S21)。该处理结束后，判断是否所有喷嘴开口111的选择都结束了(步骤S20)，判定为选择未结束时(判断结果为“否”时)，回到步骤S17，生成喷嘴选择数据，该数据用于指定下一个喷嘴开口111及选择该喷嘴开口111。反复进行上述处理，按照喷嘴代码顺序，生成选择任意一个喷嘴开口111的喷嘴选择数据和用于施加强制喷出驱动信号DK或微小驱动信号DB的波形选择数据。

另一方面，在步骤S20中，判定为所有喷嘴开口111的选择都结束了时(判断结果为“是”时)，向设在喷出头20中的驱动用集成电路60输出驱动信号及选择数据，从存在喷出故障的喷嘴开口111中强制性喷出排出体积的一半的液体，执行排除堵塞等现象的处理(步骤S22)。

该处理开始后，运算控制部52向驱动信号生成部54输出驱动信号生成用数据，该数据用于生成图8(a)所示的在1个喷出周期内包含强制喷出驱动信号DK和微小驱动信号DB的驱动信号。一旦从运算控制部52向驱动信号生成部54输出驱动信号生成用数据，则从驱动信号生成部54向开关电路64输出图8(a)所示的驱动信号。

进而，运算控制部52向转换信号生成部62输出包含喷嘴选择数据和波形选择数据的选择数据。一旦从运算控制部52向转换信号生成部62输出选择数据，则在转换信号生成部62中生成转换信号及选择信号，该转换信号用于指示对于各压电体元件150的驱动信号的导通/非导通，而选择信号用于选择强制喷出驱动信号DK及微小驱动信号DB中的任意一个。

按照转换信号生成部62生成的转换信号，多个开关电路64中的一个处于打开状态，由此选择施加驱动信号的1个压电体元件150(喷嘴开口111)。并按照转换信号生成部62生成的选择信号，选择图8(a)所示的强制喷出驱动信号DK及微小驱动信号DB中的任意一个。按照上述转换信号选择了存在喷出故障的喷嘴开口111时，选择强制喷出驱动信号DK，选择了没有喷出故障的喷嘴开口111时，选择微小驱动信号DB。此后，从按照转换信号处于打开状态的开关电路64向压电体元件150施加选择的驱动信号，从存在喷出故障的喷嘴开口111中强制性地喷出排出体积的一半的液体，而在不存在喷出故障的喷嘴开口111中执行弯液面的微振动。

上述处理结束后，基于从运算控制部52输出的选择数据，对喷嘴开口111及驱动信号进行选择，向与选择的喷嘴开口111相对应的压电体元件150施加选择的驱动信号，强制性地喷出排出体积的一半的液体，或进行弯液面的微振动。以上处理反复进行，反复的次数相当于形成在喷出头20上的喷嘴开口111的个数。步骤S22的处理结束后，处理回到步骤S12，再次检测漏点，没有漏点时，进行通常喷出(步骤S14)，漏点未消除时，执行步骤S16～S22的处理。

如上所述，本实施方式中，将从喷嘴开口111喷出排出体积的一半作为液滴的强制喷出驱动信号DK施加在存在喷出故障的喷嘴开口111所对应的压电体元件150上，强制性地喷出内腔121中的液体，因此可有效地使液滴喷出头20的喷嘴开口111的堵塞现象得以恢复。而且，由于可使喷嘴开口111的堵塞现象及早恢复，因此可降低用清洁单元24清洁液滴喷出头20的次数，因而不会导致液体的疏水性降低等液滴喷出头的性能降低。

本实施方式中，向存在喷出故障的喷嘴开口111所对应的压力产生元件150施加强制喷出驱动信号DK，强制性地喷出排出体积的一半，而向不存在喷出故障的喷嘴开口111所对应的压力产生元件150施加微小驱动信号DB，不喷出液滴地使弯液面振动。由于不从不存在喷出故障的喷嘴开口111中喷出液体作为液滴，因此可抑制液体的浪费。而且，使弯液面振动，可抑制液体的增粘，可防止喷嘴开口111的堵塞。

另外，上述实施方式中，向存在喷出故障的喷嘴开口所对应的压电体元件150每次仅施加一次强制喷出驱动信号DK，仅一次强制性地喷出排出体积的一半量的液体。但是，也可以根据例如液体的种类(例如粘性的不同等)，连续多次地向存在喷出故障的喷嘴开口111所对应的压电体元件150施加强制喷出驱动信号DK，连续多次地强制性喷出液滴。

而且，上述实施方式是在使喷出头20定位于盖帽单元22的上方的状态下，从存在喷出故障的喷嘴开口111中强制性地喷出液滴。但是，也可以不必向盖帽单元22内强制性地喷出液滴，可在载物台ST上设置例如用于喷出液滴的专用区域(冲洗区域)，向该冲洗区域强制性地喷出液滴。

(器件制造方法及电子设备)

上面通过本发明的实施方式说明了盖帽装置及其控制方法，及液滴喷出装置，但该液滴喷出装置可用作形成膜的成膜装置、形成金属电路等电路的配线装置、或制造微透镜阵列、液晶显示装置、有机EL装置、等离子型显示装置、电场发射显示器(FED)等器件的器件制造装置。

采用上述液滴喷出装置消除喷嘴开口111的堵塞，用完成了该处理的喷出头20在基板P上喷出液滴，形成图样，可抑制液滴溶剂的浪费，同时可延长用于形成图样的液滴喷出时间。其结果，在可降低器件的制造成本的同时，还可提高生产能力。

上述液晶装置、有机EL装置、等离子型显示装置、FED等器件设在笔记本型计算机及手机等电子设备上。但是，电子设备并不限于上述笔记本型计算机及手机，而是可适用于各种电子设备。可适用于例如液晶投影仪、多媒体对应的个人计算机(PC)及工程/工作站(EWS)、寻呼机、文字处理器、电视机、取景器型或监视器直视型磁带录像机、电子记事簿、电子台式计算机、汽车驾驶导航装置、POS终端、带有触摸屏的装置等电子设备。

Claims (16)

1.一种液滴喷出头的驱动方法，该液滴喷出头带有容纳给定液体的内腔、在前述内腔中产生对应于所施加的驱动信号的压力的压力产生元件、作为液滴喷出经前述压力产生元件加压后的前述液体的喷嘴开口，其特征在于，向前述压力产生元件施加强制喷出驱动信号，驱动前述液滴喷出头，使从前述喷嘴开口中强制性地喷出一些液体作为液滴，该液体是由于前述压力产生元件的加压而从前述内腔中排出的前述液体的排出体积的一半。

2.如权利要求1所述的液滴喷出头的驱动方法，其特征在于，向不喷出前述液滴的喷嘴开口所对应的前述压力产生元件施加前述强制喷出驱动信号。

3.如权利要求2所述的液滴喷出头的驱动方法，其特征在于，该方法包含下述步骤：检测有无从前述各喷嘴开口喷出前述液滴的检测步骤、根据前述检测步骤的检测结果，控制是否向前述压力产生元件施加前述强制喷出驱动信号的控制步骤。

4.如权利要求3所述的液滴喷出头的驱动方法，其特征在于，前述控制步骤进行控制，向未施加前述强制喷出驱动信号的压力产生元件施加微小驱动信号，该微小驱动信号用于产生微小的压力，该压力小到不会从前述喷嘴开口喷出前述液滴的程度。

5.如权利要求4所述的液滴喷出头的驱动方法，其特征在于，前述控制步骤包含下述步骤：生成在1个喷出周期中包含前述强制喷出驱动信号和前述微小驱动信号的驱动信号的驱动信号生成步骤、根据前述检测步骤的检测结果，选择前述强制喷出驱动信号及前述微小驱动信号中的一个，施加在前述压力产生元件上的选择步骤。

6.如权利要求3所述的液滴喷出头的驱动方法，其特征在于，前述控制步骤，根据前述给定液体的种类，控制向前述压力产生元件施加前述强制喷出驱动信号的次数。

7.一种液滴喷出头的驱动方法，该液滴喷出头带有产生对应于所施加的驱动信号的压力的压力产生元件、作为液滴喷出经前述压力产生元件所产生的压力加压后的前述液体的喷嘴开口，其特征在于，该方法包含下述步骤：检测有无从前述各喷嘴开口喷出前述液滴的检测步骤、根据前述检测步骤的检测结果，控制是否向前述压力产生元件施加强制喷出驱动信号的控制步骤，该强制喷出驱动信号用于从前述喷嘴开口中强制性地喷出前述液体。

8.如权利要求7所述的液滴喷出头的驱动方法，其特征在于，前述控制步骤进行控制，向未施加前述强制喷出驱动信号的压力产生元件施加微小驱动信号，该微小驱动信号用于产生微小的压力，该压力小到不会从前述喷嘴开口喷出前述液滴的程度。

9.如权利要求8所述的液滴喷出头的驱动方法，其特征在于，前述控制步骤包含下述步骤：生成在1个喷出周期中包含前述强制喷出驱动信号和前述微小驱动信号的驱动信号的驱动信号生成步骤、根据前述检测步骤的检测结果，选择前述强制喷出驱动信号及前述微小驱动信号中的一个，施加在前述压力产生元件上的选择步骤。

10.如权利要求7所述的液滴喷出头的驱动方法，其特征在于，前述控制步骤，根据前述给定液体的种类，控制向前述压力产生元件施加前述强制喷出驱动信号的次数。

11.一种液滴喷出装置，该液滴喷出装置包括液滴喷出头，该液滴喷出头带有容纳给定液体的内腔、在前述内腔中产生对应于所施加的驱动信号的压力的压力产生元件、作为液滴喷出经前述压力产生元件加压后的前述液体的喷嘴开口，其特征在于，该液滴喷出装置包括生成强制喷出驱动信号的驱动信号生成部，该强制喷出驱动信号用于从前述喷嘴开口中强制性地喷出一些液体，该液体是由于前述压力产生元件的加压而从前述内腔中排出的前述液体的排出体积的一半。

12.如权利要求11所述的液滴喷出装置，其特征在于，该装置包括检测有无从前述各喷嘴开口喷出前述液滴的检测装置、根据前述检测装置的检测结果，控制向哪个前述压力产生元件施加前述强制喷出驱动信号的控制部。

13.如权利要求11所述的液滴喷出装置，其特征在于，前述驱动信号生成部生成包含前述强制喷出驱动信号和产生微小压力的微小驱动信号在内的驱动信号，该微小驱动信号所产生的压力小到不会喷出前述液滴的程度。

14.如权利要求13所述的液滴喷出装置，其特征在于，前述控制部根据前述检测装置的检测结果，选择前述强制喷出驱动信号及前述微小驱动信号中的一个，施加在前述压力产生元件上。

15.一种液滴喷出装置，该装置包括液滴喷出头，该液滴喷出头带有产生对应于所施加的驱动信号的压力的压力产生元件、作为液滴喷出经前述压力产生元件所产生的压力加压后的前述液体的喷嘴开口，其特征在于，该装置包括检测有无从前述各喷嘴开口喷出前述液滴的检测装置、根据前述检测装置的检测结果，控制向哪个前述压力产生元件施加强制喷出驱动信号的控制部，该强制喷出驱动信号用于从前述喷嘴开口中强制性地喷出前述液体。

16.一种器件制造方法，该器件带有在给定位置形成有具有功能性的图样的工件，其特征在于，该方法包含下述工序：采用权利要求1所述的液滴喷出装置的驱动方法或权利要求11所述的液滴喷出装置，从前述液滴喷出头所带有的前述喷嘴开口中喷出前述给定液体的预喷出工序、采用经过了前述预喷出工序的液滴喷出头，在前述工件上喷出液滴，形成前述图样的工序。

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