1247680 (1) 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關一種吐出特定的液體 出頭的驅動方法，及具有該液滴吐出頭 以及使用該方法或裝置之裝置製造方法 【先前技術】 Φ 設置於液滴吐出裝置之液滴吐出頭 特定的液體之壓力產生室、加壓壓力產 與壓力產生室連通的噴嘴開口而構成， • 力產生室的液體，從噴嘴開口吐出微量 ， 由於噴嘴開口附近的液體與外面空氣直 燥而增加黏性。當液體黏性增加時會阻 液滴的吐出不良。 爲防止液滴的吐出不良，液滴吐出 Φ 的強制吐出液滴，進行使已增加黏性的 生室之沖洗。又，藉由沖洗無法解除液 從液滴吐出頭之噴嘴開口進行吸引動作 噴嘴板面進行淸洗。此外，以往的淸洗 下的專利文獻1、2。 [專利文獻1]特開2002-079693號公 [專利文獻2]特開200 3 - 1 1 8 1 3 3號公 【發明內容】 作爲液滴之液滴吐 的液滴吐出裝置、 係包含：用來收容 生室之壓電元件、 以壓電元件加壓壓 的液體作爲液滴。 接接觸’故隨著乾 塞噴嘴開口，產生 裝置定期或不定期 液體排出至壓力產 滴的吐出不良時， 之後，以海綿擦拭 之一例例如參照以 報 報 -4- (2) (2)1247680 [發明所欲解決之課題] 然而，如上所述，以不產生液滴吐出頭的阻塞之方式 進行沖洗，雖然在不產生阻塞時進行沖洗，但是當不能解 除阻塞時，進行幾次沖洗及淸洗。因此將導致從未產生阻 塞的噴嘴開口之液體的排出量變多，使液體無端浪費之問 題。又，即使進行幾次的淸洗，當藉由海綿擦拭形成有噴 嘴開口的面時，海綿的壽命短，並且使形成有液滴吐出頭 的噴嘴開口之面的撥水性降低，藉此引起所謂液滴的吐出 不良的問題。 再者，於近年中，液滴吐出裝置使用在具有液滴吐出 裝置所使用的彩色濾光片、微透鏡陣列、其他的微細圖案 之各種裝置的製造，而且藉著設計複數個液滴吐出頭，極 力使產率（在單位時間製造的裝置數量）上升。因而，無法 避免因爲噴嘴開口的阻塞而引起產率的降低。 本發明係有鑑於上述問題而硏創者，目的在於提供一 種可防止液滴吐出頭的噴嘴開口之阻塞等，並且可抑制液 體的無端浪費，更不會引起液滴吐出頭的性能降低之液滴 吐出頭的驅動方法及液滴吐出裝置、以及不引起產率的降 低製造出裝置的裝置製造方法。 [用以解決課題之手段] 爲了解決上述問題，本發明之第1觀點的液滴吐出頭 的驅動方法係具有：用來收容特定的液體之壓力室；於上 述壓力室內產生因應所施加的驅動信號之壓力的壓力產生 (3) (3)1247680 元件；以及吐出藉由上述壓力產生元件加壓的上述液體作 爲液滴之噴嘴開口，其特徵在於：藉由上述壓力產生元件 的加壓使可從上述壓力室排除上述液體之排除體積的一半 作爲液滴，將從上述噴嘴開口強制吐出之強制吐出驅動信 號施加在上述壓力產生元件，驅動上述液滴吐出頭。 根據本發明，由於將從噴嘴開口吐出液體的排除體積 之一半作爲液滴之強制吐出驅動信號施加於上述壓力產生 元件’強制吐出壓力室內的液體，故可有效恢復液滴吐出 頭的噴嘴開口之阻塞。又，由於早期恢復噴嘴開口的阻 塞’因此可降低液滴吐出頭的淸潔次數，故不會引起液體 的撥水性降低等液滴吐出頭的性能降低。在此，所謂除體 積係當在壓力室內施加最大壓力時，從壓力室內排除的液 體之體積。在本發明中，不排除體積的全部，而是從噴嘴 開口吐出排除體積的一半，原因在於壓力室除了噴嘴開口 以外爲密閉，故無法從噴嘴開口吐出全部的排除體積。無 法從噴嘴開口吐出的排除體積之一半從噴嘴開口以外的地 方（例如將特定液體供給壓力室內的供給口）排除至壓力室 外。 又，依據本發明之第1觀點的液滴吐出頭之驅動方 法，對與未吐出上述液滴的噴嘴開口對應的上述壓力產生 元件進行上述強制吐出驅動信號的施加。 根據本發明，對與未吐出上述液滴的噴嘴開口對應的 上述壓力產生元件施加強制吐出驅動信號，從其噴嘴開口 吐出排除體積的一半作爲液滴，從正常吐出液滴的噴嘴開 -6- (4) (4)1247680 口吐出液體作爲液滴，故可抑制液體的無端浪費且解除噴 嘴開口的阻塞。 又’依據本發明之第1觀點的液滴吐出頭之驅動方 法’其中包含有：用來檢測出從上述各個噴嘴開口有無吐 出上述液滴的檢測步驟；以及因應上述檢測步驟的檢測結 果控制是否對上述壓力產生元件施加上述強制吐出驅動信 號之控制步驟。 根據本發明，預先檢測出從各個噴嘴開口有無液滴吐 出’因應該檢測結果對壓力產生元件施加強制吐出驅動信 號之控制’故僅於產生噴嘴開口的阻塞等液滴未吐出之不 良狀況時’爲了解除該不良狀況而進行從產生不良狀況的 噴嘴開口吐出液滴。藉著進行上述控制，例如與定期的進 行強制吐出驅動信號的施加之情況相比，由於不進行液體 的無端浪費’故可抑制液體的消耗，並且可省去因爲強制 吐出驅動信號的施加之液滴吐出所需的時間。 而且’依據本發明之第1觀點的液滴吐出頭之驅動方 法’其中’上述控制步驟是對於未施加上述強制吐出驅動 信號的壓力產生元件，施加用來產生從上述噴嘴開口未吐 出上述液滴的程度之微小壓力的微小驅動信號的控制。 根據本發明，由於對於與正常吐出液滴的噴嘴開口對 應的壓力產生元件施加微小驅動信號，故使噴嘴開口的彎 月面成爲振動的狀態，可抑制液體的增黏，結果可防止其 噴嘴之阻塞。 又’依據本發明之第1觀點的液滴吐出頭之驅動方 (5) (5)1247680 法，其中上述控制步驟包含：在1吐出週期生成包含上述 強制吐出驅動信號與上述微小驅動信號之驅動信號之驅動 信號生成步驟；以及因應上述檢測步驟的檢測結果，選擇 上述強制吐出驅動信號以及上述微小驅動信號中任一個並 施加於上述壓力產生元件之選擇步驟。 根據本發明，在液滴吐出頭的1吐出週期生成包含強 制吐出驅動信號與微小驅動信號之驅動信號，因應檢測步 驟的檢測結果，選擇強制吐出驅動信號與微小驅動信號任 一個施加在壓力產生元件，故即使壓力產生元件爲多數 時，亦可在短時間內將應該施加的驅動信號施加於各個壓 力產生元件。 再者，依據本發明之第1觀點的液滴吐出頭之驅動方 法，其中，上述控制步驟係用來控制因應上述特定的液體 之種類將上述強制吐出驅動信號施加在上述壓力產生元件 的次數。 根據本發明，由於因應液體的種類控制強制吐出驅動 信號施加在壓力產生元件的次數，以控制液體的吐出次 數’故例如可因應氣體的乾燥度、黏度等吐出適當量之液 體。結果，可有效的恢復噴嘴開口之阻塞。 爲了解決上述問題，本發明之第2觀點的液滴吐出頭 之驅動方法，係具有：產生因應所施加的驅動信號之壓力 的壓力產生元件；以及吐出藉由上述壓力產生元件所產生 的壓力加壓的上述液體作爲液滴之噴嘴開口，其特徵在於 包含：用來檢測出從上述各個噴嘴開口有無吐出上述液滴 -8- (6) (6)1247680 的檢測步驟；以及因應上述檢測步驟的檢測結果，控制是 否對上述壓力產生元件施加使上述液體從上述噴嘴開口強 制吐出上述液體之強制吐出驅動信號之控制步驟。 根據本發明，預先檢測出從各個噴嘴開口有無吐出液 滴，因應該檢測結果，將強制吐出液體之強制吐出驅動信 號施加在壓力產生元件，故僅在產生噴嘴開口之阻塞等液 滴未吐出的不良狀況時，從產生不良狀況的噴嘴開口吐出 液滴。結果例如與定期進行強制吐出驅動信號的施加之情 況相比，由於不進行液體的無端吐出，故可抑制液體的消 耗，且可節省強制吐出驅動信號的施加之液滴吐出所需的 時間。 又，依據本發明之第2觀點的液滴吐出頭之驅動方 法，上述控制步驟對於未施加上述強制吐出驅動信號的壓 力產生元件，進行用來施加使從上述噴嘴開口未吐出上述 液滴的程度之微小壓力產生之微小驅動信號的控制。 根據本發明，由於對於與正常吐出液滴的噴嘴開口對 應的壓力產生元件施加微小驅動信號，故使噴嘴開口的彎 月面成爲振動的狀態，可抑制液體的增黏，結果可防止其 噴嘴之阻塞。 又，依據本發明之第2觀點的液滴吐出頭之驅動方 法，其中上述控制步驟包含：在1吐出週期生成包含上述 強制吐出驅動信號與上述微小驅動信號之驅動信號的驅動 信號生成步驟；及因應上述檢測步驟的檢測結果，選擇上 述強制吐出驅動信號及上述微小驅動信號中任一個並施加 (7) (7)1247680 於上述壓力產生元件之選擇步驟。 根據本發明，在液滴吐出頭的1吐出週期生成包含強 制吐出驅動信號與微小驅動信號之驅動信號，因應檢測步 驟的檢測結果，選擇強制吐出驅動信號與微小驅動信號任 一個而施加在壓力產生元件，故即使壓力產生元件爲多數 時，也可在短時間內將應該施加的驅動信號施加於各個壓 力產生元件。 又，依據本發明之第2觀點的液滴吐出頭之驅動方 法，其中上述控制步驟係因應上述特定的液體之種類，控 制將上述強制吐出驅動信號施加在上述壓力產生元件的次 數。 根據本發明，由於因應液體的種類控制強制吐出驅動 信號施加在壓力產生元件的次數，控制液體的吐出次數， 故例如可因應氣體的乾燥度、黏度等吐出適當量之液體。 結果，可有效的恢復噴嘴開口之阻塞。 爲了解決上述問題，本發明之第1觀點的液滴吐出裝 置’係係具有··用來收容特定的液體之壓力室；於上述壓 力室內產生因應所施加的驅動信號之壓力的壓力產生元 件；以及吐出藉由上述壓力產生元件加壓的上述液體作爲 液滴之噴嘴開口，其特徵在於具有：生成藉由上述壓力產 生元件的加壓使可從上述壓力室排除的上述液體之排除體 積的一半從上述噴嘴開口強制吐出之強制吐出驅動信號的 驅動信號生成部。 根據本發明’由於具有用來生成從噴嘴開口吐出液體 -10- (8) (8)1247680 的排除體積的一半作爲液滴之強制吐出驅動信號的驅動信 號生成部，故藉著將所生成的強制吐出驅動信號施加在壓 力產生元件，可有效恢復液滴吐出頭的噴嘴開口之阻塞。 又，由於可防止噴嘴開口的阻塞，因此可降低液滴吐出頭 的淸潔次數，故不會引起液體的撥水性降低等的液滴吐出 頭之性能降低。 又，本發明之第1觀點的液滴吐出裝置，其中具有： 用來檢測出從上述各個噴嘴開口有無吐出上述液滴的檢測 裝置；以及因應上述檢測步驟的檢測結果控制是否將上述 強制吐出驅動信號施加於上述壓力產生元件中任一個之控 制部。 根據本發明，使用檢測裝置檢測出從各個噴嘴開口有 無吐出液滴，由於因應其結果使控制部控制對於壓力產生 元件任一個施加強制吐出驅動信號，故當未吐出液滴的不 良狀況產生時，爲了解除其不良狀況，從產生不良狀況的 噴嘴開口吐出液滴，可抑制液體的消耗。 又，本發明之第1觀點的液滴吐出裝置，其中上述驅 動信號生成部係生成包含上述強制吐出驅動信號與產生未 吐出上述液滴的程度之微小壓力的微小驅動信號之驅動信 疏。 在此，本發明之第1觀點的液滴吐出裝置，其中上述 控制部係因應上述檢測結果的檢測結果，選擇上述強制吐 出驅動信號及上述微小驅動信號中任一個，並施加於上述 壓力產生元件。 -11 - (9) (9)1247680 根據本發明，對於與具有液滴的吐出不良之噴嘴開口 對應的壓力產生元件施加強制吐出驅動信號，由於對與沒 有吐出不良的噴嘴開口對應的壓力產生元件施加微小驅動 信號，故可同時進行吐出不良的解除與預防噴嘴開口的液 體之增黏。 爲了解決上述問題，本發明之第2觀點的液滴吐出裝 置，其中，係具有：產生因應所施加的驅動信號之壓力的 壓力產生元件；以及吐出藉由上述壓力產生元件所產生的 壓力加壓的上述液體作爲液滴之噴嘴開口，其特徵在於包 含：用來檢測出從上述各個噴嘴開口有無吐出上述液滴的 檢測裝置；以及因應上述檢測步驟的檢測結果控制是否對 上述壓力產生元件任一個施加使上述液體從上述噴嘴開口 強制吐出上述液體之強制吐出驅動信號之控制部。 根據本發明，預先檢測出從各個噴嘴開口有無吐出液 滴，因應該檢測結果強制吐出液體之強制吐出驅動信號施 加在壓力產生元件，故僅在產生噴嘴開口之阻塞等液滴未 吐出的不良狀況時，從產生不良狀況的噴嘴開口吐出液 滴。結果例如與定期進行強制吐出驅動信號的施加之情況 相比’由於不進行液體的無端吐出，故可抑制液體的消 耗’且可節省強制吐出驅動信號的施加之液滴吐出所需的 時間。 本發明的裝置製造方法，其係具有在特定處形成具有 功能性的圖案之工作件，其特徵在於包含：使用申請專利 範圍第1項記載之液滴吐出裝置的驅動方法，或使用申請 -12- (10) 1247680 專利範圍第π項記載之液滴吐出裝置，從具有上述液滴 吐出頭的上述開口吐出上述特定的液體之預備吐出製程； 以及使用經由上設預備吐出製程的液滴吐出頭，在上述工 作件上吐出液滴，形成上述圖案之製程。 根據本發明，使用在上述任一項記載的液滴吐出裝置 的驅動方法或液滴吐出裝置，進行噴嘴開口的阻塞之解除 或預防’使用結束該處理的液滴吐出頭在工作件上吐出液 滴形成圖案，故可抑制特定的液體之無端的浪費，並且加 長形成圖案的液滴吐出時間。結果，可降低裝置的製造成 本，並且使產率提升。 【實施方式】 以下，參照圖面詳細說明本發明之一實施形態的液滴 吐出頭之驅動方法、液滴吐出裝置、及裝置製造方法。 「液滴吐出裝置」 第1圖係本發明一實施形態的液滴吐出裝置之槪略構 成的斜視圖。此外，在以下的說明中，若需要則在圖中設 定XYZ垂直座標系，參照該XYZ垂直座標系說明各構件 的位置關係。XYZ垂直座標系之XY平面設定在與水平面 平行的面，Z軸係設定在鉛直上方向。又，在本實施形態 中’將吐出頭（液滴吐出頭）2 0的移動方向設定在X方 向’將載置台ST的移動方向設定在Y方向。 如第1圖所示，本實施形態之液滴吐出裝置Π係包 -13- (11) (11)1247680 含：基座10、在基座10上支持玻璃基板等基板P之載置 台ST、以及支持於載置台ST的上方（+Z方向）且可吐出 特定的液滴至基板P的吐出頭20而構成。在基座1 〇與載 置台ST之間設置有在Y方向可移動的支持載置台ST之 第1移動裝置12。又，在載置台ST上方設置有在X方向 可移動的支持吐出頭20之第2移動裝置14。 吐出頭20連接有儲存經由流路1 8從吐出頭20吐出 的液滴之溶媒（特定的液體）的槽16。又，在基座10上配 置有密封單元22與淸潔單元24。控制裝置26控制液滴 吐出裝置IJ的各部分（例如第1移動裝置12及第2移動 裝置1 4等），控制液滴吐出裝置Π的全體動作。 上述的第1移動裝置1 2設置於基座10上，沿著Y 軸方向位置定位。該第1移動裝置1 2例如藉由線性馬達 構成，且具備有：導引軌12a、12a、沿著該導引軌12a 可移動的設置之滑塊1 2b。該線性馬達形式的第1移動裝 置12之滑塊12b係沿著導引軌12a在Y軸方向上移動而 可位置定位。 又，滑塊12b係具備Z軸轉動（θ z)用的馬達12c。該 馬達12c例如爲直接驅動馬達（Direct Drive Motor)，馬達 12c的轉子固定在載置台ST。藉此，藉著與馬達12c通電 使轉子與載置台ST沿著㊀z方向旋轉使載置台ST被索引 (Index)(算出旋轉）。亦即，第1移動裝置12可在Y軸方 向及θζ方向移動載置台ST。載置台ST保持基板P，位 置定位在特定的位置。又，載置台S Τ係具有未圖示的吸 -14- (12) (12)1247680 附保持裝置，藉由使該吸附保持裝置動作，通過設置於載 置台s T的未圖示之吸附孔，使基板P吸附保持於載置台 S上。 上述第2移動裝置14係使用支柱28a、28a與基座 10相對站立而安裝，安裝在基座的後部l〇a。該第2 移動裝置1 4由線性馬達構成，支持於固定在支柱2 8 a、 2 8a之柱28b。第2移動裝置14沿著支持於柱28b的導引 軌14a、導引軌14a，可移動的支持在X軸方向之滑塊 14b。滑塊14b係沿著導引軌14b於X軸方向上移動而可 位置定位。上述的吐出頭20安裝在滑塊14b。 吐出頭20具有作爲搖動位置定位裝置之馬達30、 32、34、36。若驅動馬達30則吐出頭20可沿著Z方向上 下動作，在任意的Z方向的位置位置定位吐出頭20。若 驅動馬達32則吐出頭20可沿著 Y軸轉動的0方向搖 動，可調整吐出頭20的角度。若驅動馬達34則吐出頭 20沿著X軸轉動的7方向搖動，可調整吐出頭20的角 度。若驅動馬達3 6則吐出頭20沿著Z軸轉動的α方向搖 動，可調整吐出頭20的角度。 如此，第1圖所示的吐出頭20在Ζ方向爲可直線移 動，沿著α方向、/9方向、r方向搖動以調整角度，支持 於滑塊14b。吐出頭20的位置及姿勢係與載置台ST側的 基板P相對的液滴吐出面20a的位置或是姿勢成爲特定的 位置或特定的姿勢之方式，藉由控制裝置26精確的控 制。此外，吐出頭20的液滴吐出面20a設置有吐出液滴 -15- (13) 1247680 的複數個噴嘴開口。 從上述吐出頭2 0吐出的液滴係採用：含有著色材料 的墨水、含有金屬微粒子等材料的分散液、PEDOT: PSS 等正孔注入材料或發光材料等的有機EL物質之溶液、液 晶材料等高黏度的功能性液體、含有微透鏡的材料之功能 性液體、含有蛋白質或核酸等的生體高分子容液等各種的 材料之液滴。 % 在此，說明吐出頭20的構成。第2圖係吐出噴頭20 的分解斜視圖，第3圖係吐出噴頭20之主要部分的一部 份之透視圖。第 2圖所示的吐出噴頭 20包含噴嘴板 1 1 〇、壓力室基板1 2 0、振動板1 3 0、以及框體1 4 0而構 成。如第2圖所示，壓力室基板120具備有：壓力室 121、側壁122、儲藏部123、以及供給口 124。壓力室 1 2 1爲壓力室，藉由蝕刻矽等基板而形成，儲藏部1 23在 各壓力室1 2 1充塡特定的液體時，構成可供給特定的液體 % 之共同的流路。供給口 124可導入特定的液體至各壓力室 1 2 1而構成。 又，如第3圖所示，振動板1 3 0可貼合在壓力室基板 120的一方之面而構成。振動板130設置有上述的壓電體 裝置的一部分即壓電體元件150。壓電體元件150爲具有 鈣鈦礦構造的強介電體之結晶，在振動板1 3 0上以特定的 形狀形成而構成。該壓電體元件1 5 0可構成與從控制裝置 26供給的驅動信號對應而產生體積變化。噴嘴板1 1 〇在 與設置於壓力室基板120的複數個密封部（壓力室）121各 -16- (14) (14)1247680 個對應的位置上配置有該噴嘴開口 Π 1，貼合在壓力室基 板120。貼合噴嘴板110之壓力室基板120更如第2圖所 示，塡充於框體140構成液滴吐出頭20。 從吐出頭2 0吐出液滴，首先將控制裝置2 6用來吐出 液滴的驅動信號供給至吐出頭2 0。特定的液體流入至吐 出頭20之壓力室121，當驅動信號供給至吐出頭20時， 設置於吐出頭20的壓電體元件150因應其驅動信號產生 體積變化。該體積變化使振動板1 3 0變形，使壓力室1 2 1 的體積變化。結果從該壓力室1 2 1的噴嘴開口 1 1 1吐出液 滴。吐出液滴之壓力室1 2 1因爲吐出而從槽1 6重新供給 液滴。 此外，參照第2圖及第3圖說明之吐出頭2 0在壓電 體元件1 5 0產生體積變化而吐出液滴之構成，惟也可以是 藉由發熱體對特定的液體加熱，藉由其膨脹吐出液滴之噴 頭構成。又，亦可以是藉由靜電使振動板變形產生體積變 化，吐出液滴之吐出頭。 回到第1圖，第2移動裝置14藉著在X軸方向移動 吐出頭20，將吐出頭20選擇性位置定位在淸潔單元24 或密封單元22之上部。換言之，即使在裝置製造作業的 途中，例如若吐出頭20移動到淸潔單元24上，可進行吐 出頭22上的淸潔。又，將吐出頭20移動至壓電單元22 上，在吐出頭20的液滴吐出面20a進行密封，將液滴充 塡在壓力室1 2 1，可恢復因爲噴嘴1 1 1之阻塞等引起的吐 出不良。 -17- (15) 1247680 換言之，淸潔單元24及密封單元22係在基座10 的後部1 〇a側在吐出頭20的移動路徑正下方與載置台 分離配置。與載置台ST相對的基板P之搬入作業以及 出作業在基座10的前部10b側進行，故不會因爲此等 潔單元24或密封單元22而在作業時造成障礙。 淸潔單元24係具備擦拭形成有噴嘴開口 1 1 1之面 海綿，在裝置製造步驟中或待機時定期或隨時進行吐出 φ 20之噴嘴開口 1 1 1等的淸潔。密封單元22以不使吐出 2〇的液滴吐出面20a乾燥的方式，在不製造裝置之待 時於該液滴吐出面20a進行密封，在將液滴充塡於壓力 221之際使用，又，恢復產生吐出不良之吐出頭20。 然後，詳細說明密封單元22。第4圖係表示密封 元22的構成圖，第4圖（a)係從吐出頭20側觀看之密 單元22的平面圖，第4圖（b)係沿著第4圖（a)中的A 之剖面箭號圖。如第4圖（a)、（b)所示，密封單元22係 φ 含本體40、密封部42、以及泵（負壓供給裝置）46而 成。 密封部42具備有嵌入於形成於本體40之凹部42a 內部之濕潤構件42b與突出於本體40的上面40a之突 部42c。又，在凹部42a的底面連接有貫通本體40的 面4 0之連通管4 4。在此，濕潤構件4 2 b對於從吐出頭 吐出的液滴之吸收性優良，在吸收液滴之際保持濕潤 態，例如由海綿等材料構成。泵46介以連通管44吸引 壓（供給負壓）密封部42。該泵46與控制裝置26電器 上 ST 搬 淸 的 頭 頭 機 室 單 封 -A 包 構 的 出 下 20 狀 減 連 -18- (16) (16)1247680 接，在控制裝置26的控制下控制其驅動。 回到第1圖，本實施形態的液滴吐出裝置IJ設置有 用來檢測出設置於吐出頭2 0的液滴吐出面2 0 a之複數個 噴嘴開口 1 1 1中是否具有未吐出液滴的噴嘴開口 111 (有 無缺漏點）之吐出檢測裝置3 8。吐出檢測裝置3 8係例如 由雷射光源與受光來自雷射光源之雷射光的受光元件所構 成。此等雷射光源以及受光元件定位在吐出頭20的X方 向之特定的位置時，以挾住從各個噴嘴開口 1 1 1所吐出的 液滴之軌跡的方式配置，從各個噴嘴開口 1 1 1依序吐出液 滴時，藉由在受光元件受光的光量有無變化，檢測出有無 缺漏點。 又，吐出檢測裝置3 8係由：在印刷來自各個噴嘴開 口 11 1的液滴時，以海綿等構成可淸掃其印刷面之印刷 部；以及藉由光學透鏡等與印刷部一樣具有共同的光學功 能之CCD(Charge Coupled Device)等之攝影元件所構成。 爲上述構成之情況，從各個噴嘴開口 1 1 1吐出液滴印刷印 刷面，藉由畫像處理以攝影元件拍攝其印刷面而獲得的畫 像信號，檢測出有無缺漏點。 然後，說明本實施形態的液滴吐出裝置IJ之電氣功 能構成。第5圖表示本發明一實施形態的液滴吐出裝置的 電氣功能構成的方塊圖。此外，在第5圖中，與第1圖至 第4圖所示的構件相當的方塊附加相同的符號。如第5圖 所示，控制液滴吐出裝置U的電氣構成係包含控制電腦 50、控制裝置26、以及驅動用積體電路60而構成。 -19- (17) (17)1247680 控制電腦50係例如包含CPU(中央處理裝置）、 RAM(Random Access Mwmory)以及 ROM(Read Only Mwmory)等內部記憶裝置、硬碟、CD-ROM等外部記憶裝 置、以及液晶顯不裝置或CRT(Cathode Ray Tube)等顯示 裝置而構成，依據記憶在ROM或硬碟的程式，輸出用來 控制液滴吐出裝置IJ的動作之控制信號。該控制電腦5 0 例如使用纜線等與設置在第1圖所示的液滴吐出裝置IJ 之控制裝置26連接。 控制裝置26係包含運算控制部52、驅動信號生成部 54、以及計時器部56而構成。運算控制部52依據預先記 憶在控制電腦5 0所輸入的控制信號以及內部之控制程 式，驅動第1移動裝置12、第2移動裝置14、以及馬達 3 〇至3 6，並且控制設計在密封單元2 2的泵4 6之動作。 又，運算控制部52係用來生成驅動設置於吐出頭20 的複數個壓電體元件1 5 0之各種驅動信號的各種資料（驅 動信號生成用資料）輸出至驅動信號生成部5 4。再者，運 算控制部5 2依據上述控制程式生成選擇資料，輸出至設 計於驅動用積體電路60之切換信號生成部62。該選擇資 料由用來指定成爲驅動信號的施加對象之壓電體元件1 5 0 的噴嘴選擇資料、及用來指定施加於壓電體元件1 5 0的驅 動信號之波形選擇資料所構成。 此外，運算控制部5 2使用計時部5 6並使用密封單元 22密封吐出頭20之時間以及計算未密封吐出頭20之時 間，並且控制用來驅動泵4 6的時間等。又，依據吐出檢 -20- (18) (18)1247680 測裝置3 8之檢測結果，在控制來自設計於吐出頭2 0的噴 嘴開口 η 1之液滴的強制吐出（沖洗），並且控制密封時間 以及淸潔的次數等。 驅動信號生成部54依據上述的驅動信號生成用資料 生成特定形狀的各種驅動信號並輸出至開關電路64。驅 動信號生成部5 4所生成的驅動信號例如具有一般驅動信 號、強制吐出驅動信號、以及微小驅動信號。一般驅動信 號係用來使來自噴嘴開口 1 1 1吐出特定量的液滴之驅動信 號，強制吐出驅動信號係從特定的噴嘴開口 1 1 1強制吐出 之排除體積的一半之液體的驅動信號。在此，排除體積係 將壓電體元件150的變形量設爲最大，在壓力室221內施 加最大壓力時，稱爲從壓力室22 1內排除的液體之體積。 又，微小驅動信號係在液滴未從噴嘴開口 1 1 1吐出之 程度微振動壓電體元件1 5 0，使噴嘴開口 1 1 1之彎月面 (Meniscus)振動，防止噴嘴開口 111附近之液體增黏之驅 動信號。計時部5 6例如輸入從運算控制部5 2輸出的g十時 開始信號以及計時時間，在開始計時之後’當計時時間經 過時，輸出計時結束信號。 驅動用積體電路60係設置於吐出頭20內’包含切換 信號生成部62及開關電路64而構成。切換信號生成部 6 2係依據從運算控制部5 2輸出的選擇資料生成用來指示 各壓電體元件1 5 0之驅動信號的導通/非導通之切換信 號，並輸出至開關電路64。開關電路64設置於每一個壓 電體元件1 5 0，將藉由切換信號所指定的驅動信號輸出至 -21 - (19) (19)1247680 壓電體元件1 5 0。 在此，簡單說明生成驅動信號生成部54之驅動信號 的一例及吐出頭的動作。第6圖係模式表示以驅動信號生 成部54生成的一般驅動信號的一週期分之波形以及吐出 頭的動作圖。如第6圖（a)所示，一般驅動信號基本上其 電壓値從中間電位 Vm開始之後（保持脈衝（Hold pulse)Ll)、從時刻T1至時刻T2之間，至最大電位VPS 爲止以一定的傾斜上升（充電脈衝L2)，從時刻T2至時刻 T3之間，僅維持最大電位Vps特定時間（保持脈衝（Hold pulse)L3)。然後，從時刻T3至時刻T4之間至最低電位 VLS爲止以一定的傾斜下降之後（放電脈衝L4)，從時刻 T4至時刻T5之間，僅維持最低電位VLS特定時間（保持 脈衝（Hold pulse)L5)。然後，從時刻T5至時刻T6之間， 電壓値到中間電位V m爲止以一定的傾斜上升（充電脈衝 L6)。 以上說明的一般驅動信號當施加於壓電體元件1 5 0 時，壓電體元件150進行第6圖（b)至（d)所示的動作，藉 此，從噴嘴開口 1 1 1吐出特定的液體作爲液滴。首先，從 第6圖（a)中的時刻T1至時刻T2爲止的期間中，當一般 驅動信號的電壓値緩慢上升之充電脈衝L 2施加於壓電體 元件150時，如第6圖（b)所示，壓電體元件150在壓力 室1 2 1的容積緩慢膨脹側撓曲，在壓力室1 2 1產生負壓。 藉此，特定的液體從儲藏部1 2 3供給至壓力室1 2 1。又， 如圖所示，位於噴嘴開口 11 1的開口附近之液狀黏性物僅 -22- (20) (20)1247680 引入至壓力室121內部方向，凸凹面被引入至噴嘴開口 1 1 1 內。 然後，從時刻T2至時刻T3之間，將一般驅動信號 的電壓値保持在最大電位VPS之保持脈衝L3施加於壓電 體元件1 5 0之後，在時刻T3至時刻T4之間施加放電脈 衝L4時，壓電體元件1 50在急速收縮壓力室121的容積 之方向撓曲，在壓力室121產生正壓。藉此，如第6圖（c) 所示，從噴嘴開口 1 1 1吐出特定的液體作爲液滴D1。 當吐出液滴D1時，從時刻T4至時刻T5之間，對壓 電體元件150施加維持最低電位VLS之保持脈衝L5，然 後，在時刻T5至時刻T6之間，使以一定的傾斜上升至 中間電位 Vm爲止的充電脈衝L6施加於壓電體元件 1 5 0。當充電脈衝L6施加於壓電體元件1 5 0時，壓電體元 件150如第6圖（d)所示變形，在壓力室內產生負壓。藉 此，使特定的液體從儲藏部1 23供給至壓力室1 2 1，並且 位於噴嘴開口 1 1 1的開口附近之特定的液體亦僅引拉至壓 力室121內部方向，如第6圖（d)所示，使彎月面維持在 一定的狀態。如此，例如當最大電位VPS愈高時，或是 放電脈衝L4的傾斜愈陡峻，從噴嘴開口 Η 1吐出的液狀 黏性物之每一點的重量大。 然後，比較一般驅動信號與強制吐出驅動信號。第7 圖係用來說明一般驅動信號及強制吐出驅動信號、以及排 除體積之圖’（a)係表不一*般驅動信號與強制吐出驅動信 號之圖，（b)係表示排除體積之圖。在第7圖（a)中，附加 -23- (21) (21)1247680 符號DN的驅動信號爲一般驅動信號，附加符號DK之驅 動信號爲強制吐出驅動信號。一般驅動信號DN之電壓値 雖是在最大電位VPS與最低電位VLS之間變化的驅動信 號，但強制吐出驅動信號DK係在比一般驅動信號DN之 最大電位VPS高的電位Vmax與比一般驅動信號DN之最 低電位LVS低的電位Vmia之間變化電壓値的驅動信號。 在此，電位Vmax之壓電體元件150的變形量設定爲成爲 最大的値，電位Vrnin及電位Vc係設定在恢復該變形而 獲得的値。 換言之，對於壓電體元件1 5 0施加強制吐出驅動信號 D K時，使壓電體元件1 5 0的變形量成爲最大，結果使壓 力室121的容積變化成爲最大。該壓力室121的容積之最 大變化量爲排除體積。對於壓電體元件1 5 〇施加強制吐出 驅動信號DK時，吐出頭20除了壓電體元件150的變位 量之大小外，進行與第6圖（b)至第6圖（d)所示的動作相 同的動作。以第7圖（b)中的符號dV表示的地方（畫上斜 線的地方）爲排除體積，從壓力室1 2 1內排除一次的液體 之體積的最大量。但是，壓力室1 2 1除了噴嘴開口 1 1 1之 外其餘爲密閉，如第2圖及第3圖所示，介以供給口 124 與儲藏部1 2 3連通，故排除體積dV的一半流出至儲藏部 1 2 3，從噴嘴開口 1 1 1 一次吐出的液體之最大量成爲排除 體積dV的一半。 然後，說明微小驅動信號。第8圖係表示強制吐出驅 動信號以及微小驅動信號之圖。如第8圖（a)所示，驅動 -24- (22) (22)1247680 信號生成部5 4在1吐出周期內生成包含強制吐出驅動信 號D K與微小驅動信號D B之驅動信號。包含強制吐出驅 動信號D K與微小驅動信號D B之驅動信號當解除吐出頭 20之噴嘴開口的阻塞時，在驅動信號生成部54被生成。 如第8圖（a)所示，1吐出周期內區分爲期間ΤΙ 1與期 間 T12，期間 T1 1包含有強制吐出驅動信號DK，期間 T 1 2包含微小驅動信號DB。在解除吐出頭20之噴嘴開口 的阻塞時，經常生成包含強制吐出驅動信號DK與微小驅 動信號DB之驅動信號，依據包含於運算控制部52所輸 出的選擇資料之波形選擇資料，經常選擇強制吐出驅動信 號DK及微小驅動信號DB。 詳細雖如後述，惟對於與藉由吐出檢測裝置3 8檢測 出吐出不良之噴嘴開口 111對應設計的壓電體元件150, 選擇如第8圖（b)所示的強制吐出驅動信號DK，施加在與 其噴嘴開口 1 1 1對應的壓電體元件1 5 0。另外，對於進行 正常吐出的噴嘴開口 1 1 1對應而設計的壓電體元件1 5 0， 選擇如第8圖（c)所示的微小驅動信號DB，施加在與其噴 嘴開口 1 1 1對應的壓電體元件1 5 0。 「液滴吐出頭的驅動方法」 然後，使用上述構成之液滴吐出裝置IJ並在基板P 上說明形成微透鏡之方法，並且詳細說明在形成微透鏡時 進行的液滴吐出頭之驅動方法。第9圖係本發明一實施形 態的液滴吐出頭之驅動方法的一例之流程圖。 -25- (23) (23)1247680 在第9圖的流程中，當開始處理時，在運算控制部 52判斷有無缺漏點檢測指示（步驟S 1 1)。缺漏點檢測指示 係在液滴吐出裝置I)之電源投入時從控制電腦5 0輸出， 或是在液滴吐出開始時或是在基板P的交換時從運算控制 部5 2的程式輸出。又，控制電腦5 0的操作者以手動對控 制電腦50下達指示時亦從控制電腦50輸出。當沒有缺漏 點檢測指示時（當判斷結果爲「NO」時），進行步驟S 1 1的 處理至出現缺漏點檢測指不爲止。 另外’在步驟S 1 1中，當判斷爲具有缺漏點檢測指示 時（當判斷結果爲「Y E S」時），運算控制部5 2驅動第2移 動裝置1 4使噴嘴開口 1 1 1配置於吐出檢測裝置3 8的上方 (+方向）’進行吐出頭2 0的移動及位置定位。當結束吐 出頭2 0的位置定位結束時，運算控制部5 2輸出驅動信號 生成用資料至驅動信號生成部54，生成一般驅動信號 DN，並且將選擇資料輸出至切換信號生成部62。 依據來自運算控制部5 2的選擇資料，在切換信號生 成部6 2生成對於各壓電體元件丨5 〇指示驅動信號之導通/ 非導通的切換ig號，藉由開關電路6 4使藉由切換信號所 指定的一般驅動信號DN施加於壓電體元件1 5 〇。藉此， 從吐出頭20的複數個噴嘴開口依序吐出液滴至吐出檢測 裝置3 8 ’在吐出檢測裝置3 8進行缺漏點檢測（步驟 S 1 2) ° 當結束缺漏點檢測時，其檢測結果輸出至運算控制部 5 2 ’在運算控制部5 2判斷有無缺漏點（步驟s丨3 )。當判斷 -26- (24) (24)1247680 爲沒有缺漏點時（判斷結果爲「NO」時），進行液滴的一般 吐出（步驟S1 4)。換言之，運算控制部52控制第1移動裝 置1 2，將基板P移動到移動開始位置，並且控制第2移 動裝置1 4等，將吐出頭20移動至吐出開始位置。然後， 分別輸出驅動信號生成用資料及選擇資料至驅動信號生成 部5 4及切換信號生成部62，對於壓電體元件1 5 0施加一 般驅動信號DN，開始將液滴吐出至基板P上。 當開始液滴的吐出時，運算控制部52在X軸方向相 對移動（掃描）吐出頭20與基板P，且在特定寬度內從吐出 頭20的特定噴嘴吐出液滴至基板p上，在基板p上形成 微陣列。在本實施形態中，使吐出頭2 0與基板P相對在 + x方向移動且進行吐出動作。當吐出頭20與基板P之 第1次的相對移動（掃描）結束時，支持基板P的載置台 ST在與吐出頭20相對於Y軸方向上特定量步進移動。運 算控制部52使吐出頭20與基板P相對，例如在一 X方向 進行第2次的相對移動（掃描）且進行吐出動作。藉由反覆 該動作複數次，吐出頭2 0依據運算控制部5 2的控制吐出 液滴，在基板P上形成微陣列。 進行以上的動作，在基板P上形成微陣列時，運算控 制部5 2控制第1移動裝置12，將吐出液滴的基板p移動 到搬出位置。然後，解除載置台S T的吸附保持，藉由未 圖示的搬送裝置使基板P從載置台ST搬出。然後，從載 置台ST搬出基板P之期間，運算控制部52控制第2移 動裝置1 4，在X軸方向移動吐出頭2 〇並定位在密封單元 -27- (25) 1247680 2 2的上部。再者，在z軸方向移動吐出頭2 0，與密封單 兀2 2接觸配置進行吐出頭2 0的密封（步驟§ 1 5)。藉由以 上的動作，結束對1片的基板p吐出液滴的動作。 另外，在步驟S 1 3中，當判斷爲有缺漏點時（判斷結 果爲「YES」時），運算控制部52依據吐出檢測裝置38 的檢測結果，從形成於吐出頭2 0的複數個噴嘴開口 1 i i 進行特定具有缺漏點的噴嘴開口 1 1 1之處理（步驟S〗6 )。 g 此外’與該處理並行，運算控制部52驅動第2移動裝置 14使噴嘴開口 U1配置於密封單元22的上方（+ z方 向）’進行吐出頭20的移動及定位。 當結束具有缺漏點的噴嘴開口 1 1 1之特定及吐出頭 2 〇的移動時，運算控制部5 2進行解除缺漏點的處理。在 該處理中，在與具有缺漏點之噴嘴開口 1 1 1對應的壓電體 元件1 5 0施加強制吐出驅動信號DK，藉著從該噴嘴強制 吐出排除體積的一半之液體，解除噴嘴開口 1 1 1的阻塞 φ 等。爲了進行該處理，運算控制部5 2係生成依序選擇形 成於吐出頭2 0的噴嘴開口 1 1 1之噴嘴選擇資料，並且對 與在步驟S 1 6特定的噴嘴開口 1 1 1對應之壓電體元件1 5 0 施加強制吐出驅動信號DK，生成波形選擇資料。 具體而言，運算控制部52首先從複數個噴嘴開口 1 1 1特定最初的噴嘴開口 1 1 1，生成用來選擇該噴嘴開口 1 1 1的噴嘴選擇資料（步驟S17)。此外，噴嘴開口 1 1 1之 各個係依序附加噴嘴號碼，使用該噴嘴號碼，運算控制部 5 2進行各噴嘴開口 1 1 1的管理及特定。然後，運算控制 -28- (26) 1247680 部5 2依據步驟S 1 6之特定結果判斷所選擇的噴嘴開口 1 1 1是否爲具有缺漏點的噴嘴開口 1 1 1 (步驟S 1 8)。 當判斷爲具有缺漏點的噴嘴開口 1 1時（判斷結果爲 『YES』時），生成對與該噴嘴開口 Π 1對應的壓電體元 件1 5 0施加強制吐出驅動信號DK之波形選擇資料（步驟 S 1 9)。當該處理結束時，判斷是否結束噴嘴開口 1 1 1的全 部選擇（步驟S20)，當判斷爲選擇未結束時（判斷結果爲 φ 『N ◦』時），回到步驟S 1 7，進行下一個噴嘴開口 1 1 1之 特定以及用來選擇該噴嘴開口 1 1 1之噴嘴選擇資料的製 作。 另外，在步驟S18中，當運算控制部52判斷所選擇 的噴嘴開口 1 1 1爲沒有缺漏點的噴嘴開口 1 1 1時（判斷結 果爲『NO』時），在與該噴嘴開口 1 1 1對應的壓電體元件 1 50生成用來施加微小驅動信號DB之波形選擇資料（步驟 S2 1)。當該處理結束時，判斷噴嘴開口 1 1 1的全部選擇是 φ 否結束（步驟S20)，當判斷爲選擇未結束時（判斷結果爲 『NO』時），回到步驟S 1 7，進行下一個噴嘴開口 1 1 1之 特定、以及用來選擇該噴嘴開口 11 1之噴嘴選擇資料的製 作。反覆以上的處理，依噴嘴號碼順序，生成用來用來選 擇噴嘴開口 11 1中任一個之噴嘴選擇資料及用來施加強制 吐出驅動信號D K或微小驅動信號B K之波形選擇資料。 另外，在步驟S 2 0中，當判斷噴嘴開口 1 1 1的全部選 擇結束時（判斷結果爲『YES』時），驅動信號及選擇資料 輸出至設置於吐出頭2 0之驅動用積體電路6 0，從吐出不 -29- (27) (27)1247680 良的某噴嘴開口 1 Π強制吐出排除體積的一半之液體，進 行解除阻塞等之處理（步驟S22)。 當開始該處理時，運算控制部5 2對驅動信號生成部 54輸出用來生成在第8圖（a)所示之1吐出週期包含強制 吐出驅動信號DK與微小驅動信號DB之驅動信號的驅動 信號生成用資料。從運算控制部5 2輸出驅動信號生成用 資料至驅動信號生成部54時，從驅動信號生成部54輸出 第8圖（a)所示的驅動信號至開關電路64。 又，運算控制部52對切換信號生成部62輸出包含噴 嘴選擇資料與波形選擇資料之選擇資料。當從運算控制部 52輸出選擇資料至切換信號生成部62時，在切換信號生 成部62中對各壓電體元件1 50指示驅動信號之導通/非導 通的切換信號，以及生成用來選擇強制吐出驅動信號DK 及微小驅動信號DB中任一各之選擇信號。 藉由在切換信號生成部62生成的切換信號，使複數 個開關電路64中的一個成爲開狀態，藉此選擇施加驅動 信號之一個的壓電體元件150(噴嘴開口 1 1 1)。又，藉由 在切換信號生成部62生成的選擇信號，選擇第8圖（a)所 示的強制吐出驅動信號DK及微小驅動信號DB中任一 個。 藉由上述切換信號選擇具有吐出不良的噴嘴開口 1 1 1 時，選擇強制吐出驅動信號DK，當選擇沒有吐出不良的 噴嘴開口 1 1 1時選擇微小驅動信號DB。然後，所選擇的 驅動信號藉由切換信號從成爲打開狀態的開關電路64施 -30- (28) 1247680 加至壓電體元件1 5 0，從具有吐出不良的噴嘴開 制吐出排除體積的一半之液體，在沒有吐出不良 口 1 1 1中進行彎月面的微振動。 當結束以上處理時，之後依據從運算控制部 的選擇資料，進行噴嘴開口 1 1 1及驅動信號之選 與所選擇的噴嘴開口 1 1 1對應的壓電體元件1 5 0 驅動信號，強制吐出排除體積的一半液體，或彎 振動。以上的處理僅反覆形成於吐出頭20的 1 1 1之數量分。當結束步驟S22的處理時，處理 S 1 2再度進行缺漏點檢測，在沒有缺漏點時進行 (步驟S1 4)，在未解除缺漏點時進行步驟S1 6至 理。 如以上所說明，在本實施形態中，將從噴嘴 吐出排除體積的一半作爲液滴之強制吐出驅動信 加於與具有吐出不良的噴嘴開口 1 1 1對應的壓 1 5 0，強制吐出壓力室1 2 1內的液體，故可有效 吐出頭20的噴嘴開口 1 1 1之阻塞。 又，由於早期恢復噴嘴開口 111的阻塞，故 潔單元24的液滴吐出頭2 0之淸潔次數，因此不 體的撥水性降低等之液滴吐出頭的性能降低。 而且，在本實施形態中，對於與具有吐出不 開口 11 1對應的壓力產生元件1 5 0施加強制吐出 DK，強制吐出排除體積的一半，對於與沒有吐 噴嘴開口 1 1 1對應的壓力產生元件1 5 0施加微小 口 1 1 1 強 的噴嘴開 52輸出 擇，施加 所選擇之 月面的微 噴嘴開口 返回步驟 一般吐出 S22之處 開口 111 號DK施 電體元件 恢復液滴 可降低淸 會導致液 良之噴嘴 驅動信號 出不良的 驅動信號 -31 - (29) (29)1247680 DB，不吐出液滴使彎月面振動。因此從沒有吐出不良的 噴嘴開口 11 1吐出液體作爲液滴，可抑制液體的無端之消 耗。又，藉著使彎月面振動可抑制液體增黏，可防止噴嘴 開口 1 1 1的阻塞。 此外，在所說明的實施形態中，對與具有吐出不良的 噴嘴開口對應的壓電體元件1 5 0 —次僅施加一次強制吐出 驅動信號DK，僅進行一次排除體積的一半之量的液體之 強制吐出。然而，例如因應液體的種類（例如黏性的不同 等）複數次將強制吐出驅動信號DK施加於與具有吐出不 良的噴嘴開口 11 1對應的壓電體元件1 5 0，複數次進強制 吐出液滴亦可。 又，在上述實施形態中，於壓電單元22之上方以位 置定位吐出頭20的狀態從具有吐出不良的噴嘴開口 1 1 1 強制吐出液滴。然而，不需要對密封單元22內進行強制 的液滴吐出，例如將用來吐出液滴之專用區域（沖洗區域） 設計在載置台 ST上，對於該沖洗區域強制吐出液滴亦 〇 「裝置製造方法以及電子機器」 以上，雖說明本發明之實施形態的壓力室裝置及其控 制方法以及液滴吐出裝置而說明，惟該液滴吐出裝置形成 膜的成膜裝置、形成金屬配線等的配線之配線裝置，或是 使用用來製造微透鏡陣列、液晶顯示裝置、有機EL裝 置、電漿型顯示裝置、電場放出顯示器（FED : Field -32- (30) 1247680
Emission Display)等的裝置之裝置製造裝置。 使用上述之液滴吐出裝置解除噴嘴開口 Π 1的阻塞， 使用結束該處理的吐出頭20，在基板P上吐出液滴形成 圖案，故可抑制液滴溶媒的無端浪費，並且使用來形成圖 案的液滴吐出時間增長。結果，在可降低裝置的製造成本 之同時，使產率提升。 上述液晶裝置、有機EL裝置、電漿型顯示裝置、 FED等裝置係設計於筆記型電腦以及行動電話等電子機 器。但是，電子機器不限定於上述筆記型電腦以及行動電 話，亦可應用在各種的電子機器。例如，可應用在液晶投 影機、多媒體的個人電腦（PC)、以及內嵌式Web伺服器 (EWS)、傳呼機、文字處理機、電視、尋像（View finder) 型或監視器直視型的錄影機、電子記事本、電子桌上計算 機、汽車導航裝置、POS終端、觸控面板之裝置等的電子 機器。 【圖式簡要說明】 第1圖係本發明一實施形態的液滴吐出裝置之槪略構 成的斜視圖。 第2圖係吐出噴頭20的分解斜視圖。 第3圖係吐出噴頭20之主要部分的一部份之透視 圖。 第4圖係密封單元2 2之構成圖。 第5圖係本發明一實施形態的液滴吐出裝置之電氣功 -33- (31) 1247680 能構成的方塊圖。 第6圖係模式表示以驅動信號生成部5 4生成的一般 驅動信號的一週期分之波形以及吐出頭的動作圖。 第7圖係用來說明一般驅動信號及強制吐出驅動信 號、以及排除體積之圖。 第8圖係強制吐出驅動信號以及微小驅動信號之圖。 第9圖係本發明一實施形態的液滴吐出頭之驅動方法 φ 的一例之流程圖。 【主要元件符號說明】 20 38 5 2 54 6 2 吐出頭（液滴吐出頭） 吐出檢測裝置（檢測裝置） 運算控制部（控制部） 驅動信號生成部 切換信號生成部（控制部）
開關電路（控制部）
111 121 150 DB DK IJ P 噴嘴開口 壓力室 壓電體元件（壓力產生元件） 微小驅動信號 強制吐出驅動信號 液滴吐出裝置 基板（工作件） -34-