JP4470657B2 - 印刷装置及びマイクロアレイの製造装置 - Google Patents

Description

本発明は、吸引装置、印刷装置及びマイクロアレイの製造装置に関する。

一般に、インクジェット印刷装置では、ノズル孔のインク詰まりや気泡の発生による吐出不良を解消し、正常な吐出を行うために、吸引によりノズル孔先端まで吐出液体を充填する（プライミング）動作や、ノズル孔内の増粘物を吸引除去する動作を行う必要がある。

特許文献１には、気体を透過するが、ある限界圧力以下では液体を透過させない気体透過性フィルタを介してノズル孔内を吸引することで、ノズル孔先端にまで液体を充填する液体の充填方法が開示されている。
特開２００４−６６５０６号公報

しかし、上記文献記載の方法では、気体透過性フィルタとして、ポリテトラフルオロエチレンの微細な繊維で形成されたフィルタを用いている。このため、当該フィルタを介して吸引した場合、フィルタの繊維を伝って液体が隣接するノズル孔に到達する虞がある。すると、隣接するノズル孔間で異なる種類の液体として例えばインクを吐出する場合には、インクの混色（コンタミネーション）が発生し、画質低下の原因となる虞がある。

また、近年、病気の診断や新薬の開発に使用されるＤＮＡチップ等のマイクロアレイの製造にも、液滴吐出ヘッドによる液滴吐出方法が利用されており、このような場合にも、ノズル詰まりの解消やノズル先端部への液体の充填が必要となる。このようなＤＮＡチップ等のマイクロアレイでは、高い測定精度が要求されるため、さらにノズル孔間のコンタミネーションを防止する必要がある。

したがって、本発明は、液滴吐出ヘッドのノズル孔間でのコンタミネーションを抑止し得る吸引装置、印刷装置及び液滴吐出装置を提供することを目的としている。

上記課題を解決するために、本発明は、配列された複数のノズル孔を備えた液滴吐出ヘッドの当該ノズル孔を外部から吸引する吸引装置であって、前記液滴吐出ヘッドのノズル孔を覆って閉空間を形成するキャップと、前記キャップの開口側であって、前記液滴吐出ヘッドの前記ノズル孔が形成された面に接し得る位置に、前記開口部を閉じるように設けられたフィルタと、前記キャップ内を外部から吸引する吸引手段と、を備え、前記フィルタが、隔壁を隔てて並設され、当該フィルタの膜厚方向に延在する複数の貫通孔を有し、当該貫通孔が、前記液滴吐出ヘッドの互いに隣接するノズル孔間の距離に少なくとも１つ含まれる大きさである吸引装置を提供するものである。

かかる構成によれば、隣接するノズル孔間の距離に少なくとも１つ含まれるような大きさの貫通孔が複数並設されたフィルタを備えているので、一の貫通孔を複数のノズル孔が共有することがない。また、隣接する貫通孔相互間は隔壁で隔てられているので、一のノズル孔から排出された液体が隣接するノズル孔に飛散等することにより汚染されるのを回避することが可能となる。よって、液滴吐出ヘッドのノズル孔間でのコンタミネーションを抑止し得る。また、このような貫通孔を複数備えた構造を有するので、ノズル孔を吸引するために、ノズル孔とフィルタの貫通孔との位置合わせをする必要がない。

前記貫通孔の大きさが、前記液滴吐出ヘッドのノズル孔の大きさよりも小さいことが好ましい。これによれば、複数の貫通孔が一のノズル孔に接する為、貫通孔とノズル孔の位置合わせをすることなく、必要な吸引性を確保し得る。

前記貫通孔の形状は、特に限定するものではなく、円形、楕円形、多角形（例：三角形、四角形、五角形、六角形等）のいずれであってもよく、また、これらが混在したものであってもよい。このような中でも、貫通孔の形状は三角形、四角形又は六角形であることが好ましい。これによれば、貫通孔をフィルタ内に密に配置し得る。よって、貫通孔相互間を隔てる隔壁の面積を実質的に減少させることが可能となるので、フィルタを介して吸引する際に、吸引性が向上する。

前記フィルタが、ハニカム構造を有することが好ましい。これによれば、貫通孔をフィルタ内に密に配置し得る。

前記フィルタが、弾性体であり、前記液滴吐出ヘッドの前記ノズル孔が形成された面に密着させた場合に、当該ノズル孔が形成された面の表面凹凸を吸収し得る厚さであることが好ましい。これによれば、ノズル孔が形成された面（以下、ノズル形成面ともいう）の表面凹凸を吸収し得るので、より密着性を向上し得る。

前記フィルタが、自己吸着性を有することが好ましい。これによれば、ノズル形成面との密着をさらに向上することが可能となる。ここで、「自己吸着性」とは、素材自体の有する性質（例えば、素材の分子構造）により、対象体へ吸着し得る性質をいう。

前記キャップ内に、通液性を有し、前記フィルタを支持する支持部材を備えることが好ましい。これによれば、吸引時に吸引力によりフィルタが吸引側に引き寄せられ、ノズル形成面とフィルタとの密着性が弱められるのを回避し得る。

前記フィルタの吸引面側に、前記ノズル孔より吸引された液体を吸収する吸収材をさらに備えることが好ましい。これによれば、吸収材を有するので、吸引した液体が跳ね返ったり、逆流することによりノズル形成面が汚染されるのを回避することが可能となる。特に、フィルタの厚みが薄い場合に有効である。

前記フィルタを前記液滴吐出ヘッドの前記ノズル孔が形成された面に密着させた場合に、当該ノズル孔が形成された面の表面凹凸を吸収し得る緩衝作用を有する緩衝材をさらに備えることが好ましい。緩衝材を有することで、例えば、フィルタが、厚みが薄く、弾性をあまり有しない材料である場合においても、ノズル形成面の表面凹凸を吸収し、密着性を向上させることが可能となる。

本発明の印刷装置は、上記吸引装置を備えるものである。これによれば、上記吸引装置を備えるので、隣接ノズル孔間のインクの混色を抑止することが可能となる。

本発明のマイクロアレイの製造装置は、上記吸引装置を備えるものである。これによれば、上記吸引装置を備えるので、隣接ノズル孔間のコンタミネーションを抑止することが可能となる。

以下、本発明の実施形態について説明する。

図１は、本実施形態の吸引装置を説明するための図である。
図１に示すように、本実施形態の吸引装置は、キャップ３１と、フィルタ３３と、吸引手段としてのポンプ３５とを含み主に構成されている。

キャップ３１は、ポンプ３５により減圧される空間を形成するものであり、液滴吐出ヘッド５０のノズル孔５１の周囲を覆って閉空間を形成するものである。キャップ３１は、凹部形状を有し、例えばブチルゴムなどの弾性部材を用い、射出成形等により形成される。弾性部材を用いることで、液滴吐出ヘッド５０のノズル孔５１が形成された面５３（以下、ノズル形成面という）と密着させることが可能となり、閉空間３６内の機密性を高めることが可能となるので好ましい。また、キャップ３１の先端に、液滴吐出ヘッド５０のノズル形成面４２との密着性を高め、吸引時における吸引性を高めるために、Ｏリング等のパッキン３７を備えていてもよい。

フィルタ３３は、ノズル孔５１の吸引時に隣接位置にあるノズル孔５１相互間のコンタミネーションを抑止するためのものである。フィルタ３３は、隔壁を隔てて並設された、膜厚方向に延在する複数の貫通孔３９を有する。貫通孔３９は、密に形成されていることが好ましい。これにより、ノズル孔５１がどの位置に配置されたとしても、良好に吸引し得ることになる。貫通孔３９の断面形状は、特に限定するものではなく、円形、楕円形、多角形（例：三角形、四角形、五角形、六角形等）のいずれであってもよい。また、種々の形状の貫通孔３９が混在したものであってもよい。このような中でも、貫通孔の形状は三角形、四角形又は六角形（例：ハニカム構造）であることが好ましい。これによれば、貫通孔をフィルタ３３内に密に配置し得る。よって、貫通孔相互間を隔てる隔壁の面積を実質的に減少させることが可能となるので、フィルタ３３を介して吸引する際に、吸引性が向上する。また、一のフィルタ３３内に種々の大きさの貫通孔３９が含まれていてもよい。

また、貫通孔３９は、液滴吐出ヘッド５０の互いに隣接するノズル孔５１間の距離（一のノズル孔の外径と他のノズル孔との外径との最も接近した距離）に少なくとも１つ含まれる大きさであることが好ましい。これにより、一の貫通孔３９を複数のノズル孔５１が共有することがなく、また、隣接する貫通孔３９相互間が隔壁で隔てられているので、一のノズル孔５１から排出された液体が隣接するノズル孔５１に飛散等することにより汚染されるのを回避することが可能となる。なお、貫通孔３９は、ノズル孔５１より大きくても小さくてもよい。但し、ノズル孔との位置合わせの観点からは、貫通孔３９はノズル孔５１よりも小さい方が好ましい。

また、貫通孔３９相互間を隔てる隔壁の厚みは、流路抵抗を減少させ、吸引力を低減し得るという観点からは薄い方が好ましい。なお、吸引時に、フィルタ３３に吸引による力がかかるので、吸引力に耐えられ得る厚みであることを要する。貫通孔３９の隔壁の厚みは、特に限定するものではないが、一例を挙げると１〜５０μｍである。

ノズル孔５１の膜厚方向の形状は、特に限定されるものではないが、膜厚方向に略直線的な形状をしている直孔であることが好ましい。これにより、吸引性を向上することが可能となる。

フィルタ３３は、キャップ３１の開口側であって、液滴吐出ヘッド５０のノズル孔５１が形成された面（ノズル形成面）５３に接し得る位置に、開口部を閉じるように設けられる。これにより、フィルタ３３をノズル形成面５３に密着させることが可能となる。
フィルタ３３の構成例については、後述する。

キャップ３１には、チューブ４１を介して吸引手段としてのポンプ３５（例：減圧ポンプ、チューブポンプ等）が接続されている。これにより、液滴吐出ヘッド５０装着時にキャップ３１内を減圧にすることが可能となる。なお、チューブ４１は、キャップ３１と一体形成されていても別体であってもよい。

図２は、貫通孔とノズル孔との関係を説明するための図である。図中、ハッチングがされている貫通孔３９は、ノズル孔５１から吸引される液体が通過する貫通孔３９を示す。また、ハッチングがされていない貫通孔３９は、液体が通過しない貫通孔３９を示す。

図２（ａ）に、ハニカム構造に貫通孔３９が形成されたフィルタ３３の例を示す。このように、フィルタ３３をハニカム構造とすることで、貫通孔３９が密に配置されるので、ノズル孔５１がどの位置に配置されても、良好に吸引が可能となる。また、隣接するノズル孔５１相互間に、どのノズル孔からの液体も通過しない貫通孔３９が配置されることになるので、確実に隣接するノズル孔間の液体の混液を抑止することが可能となる。

図２（ｂ）は、円形の貫通孔３９が形成されたフィルタ３３の例を示す。この例でも同様に、隣接するノズル孔間の液体の混液を抑止し得る。

図３は、本実施形態の吸引装置３０の変形例を説明するための図である。
図３（ａ）に示すように、吸引装置３０は、キャップ３１内にフィルタ３３を支持するための支持部材４３を有していてもよい。支持部材４３は、ノズル孔５１から吸引する液体が、通化し得るように通液性を有するものであることが好ましい。また、フィルタ３３をノズル形成面５３に密着させる際に、フィルタ３３に押圧力を付与し得るよう剛性を有する素材により構成されていることが好ましい。このような支持部材４３の一例としては、ガラスフィルタ等が挙げられる。

図３（ｂ）に示すように、吸引装置３０は、フィルタ３３の吸引面側に、ノズル孔より吸引された液体を吸収させるための吸収材４５をさらに備えていてもよい。フィルタ３３と吸収材４５がこのような二層構造を有することで、フィルタ３３を通過した液体が跳ね返ったり、逆流することによりノズル形成面５３が汚染されることを回避することが可能となる。また、吸収材４５は、緩衝作用を有するものであってもよい。このような吸収材４５としては、例えば、セルロース繊維性ろ紙が挙げられる。特に、フィルタ３３が、厚みが薄く（例：５〜１００μｍ程度）、弾性をあまり有しない材料（剛性材料）である場合には、フィルタ３３単独ではノズル形成面５３の表面凹凸を吸収し得ない場合がある。しかし、緩衝作用を有する部材をさらに積層させることで、表面凹凸への密着性を向上させることが可能となる。

なお、上記例では緩衝作用と吸収作用の両方を有する部材を例に挙げたが、緩衝作用を有する部材と吸収作用を有する部材を各々別々に用いてもよい。

次に、フィルタ３３の構成例について説明する。
フィルタ３３としては、例えば、ポリジメチルシロキサン（ＰＤＭＳ）から構成されるものが用いられる。ＰＤＭＳは、加工性が良好であり、自己吸着性を有する材料であるので好適に用いられる。
ＰＤＭＳを用いたフィルタ３３の製造方法の一例を挙げる。

図４は、成形材料（ＰＤＭＳ）を用いたフィルタ３３の製造方法を説明するための図である。

図４（ａ）に示すように、まず、シリコン基板にフォトリソグラフィ技術を用いてフィルタ３３の貫通孔３９を形成するための凸部７２を形成する。次に、このように形成された鋳型の表面に離型処理を施す（図４（ｂ））。図中、符号７３は、離型剤を示す。離型処理としては、具体的には、例えばパリレンを蒸着することにより行われる。その後、必要に応じて硬化剤を混合した成形材料（ＰＤＭＳ）７５を例えばスピンコート等により鋳型内に導入し（図４（ｃ））、平板７７で蓋をして硬化させる（図４（ｄ））。その後、必要に応じて、表面を例えば反応性イオンエッチング（ＲＩＥ）等により研磨する。硬化した材料を鋳型から取り出すことによりフィルタ３３が得られる（図４（ｅ））。

ＰＤＭＳを用いると、このように鋳型を用いた微細加工が可能となるので、貫通孔の形状、孔径、貫通孔間の距離を任意に調整したフィルタ３３を容易に得ることが可能となる。
また、ＰＤＭＳの代わりに、ポリカーボネートシート（ＡＤＶＡＮＴＥＣ社製、商品名：ポリカーボネートタイプメンブランフィルタ）等の多孔性膜を利用することも可能である。

このような吸引装置３０は、印刷装置に用いられるインクジェットヘッド（液滴吐出ヘッド）のノズル孔５１のメンテナンスや、マイクロアレイの製造装置に用いられる液滴吐出ヘッドのノズル孔５１のメンテナンス等に好適に用いられる。

吸引装置３０の動作の一例について説明する。
まず、キャップ３１のフィルタ３３を液滴吐出ヘッド５０のノズル形成面５３に密着させる（図１参照）。次に、ポンプ３５を起動させ、吸引を開始する。ポンプ３５が起動されると、ノズル孔５１内の液体が貫通孔３９を介してキャップ３１内に排出される。所定の時間吸引を行った後、ポンプ３５を停止する。

このような動作を行うことにより、液滴吐出ヘッド５０の種々のメンテナンスが可能となる。

また、メンテナンスには、具体的には、例えば以下のものが含まれる。
例えばリザーバタンクに収容された液体をインクジェットヘッド等の液滴吐出ヘッドのノズル先端にまで、吐出液体（例：インク、生体試料溶液等）を充填させる操作（プライミング）が含まれる。

また、例えば、ノズル孔内の増粘した吐出液体や残留する気泡を除去する操作（サッキング）が含まれる。

なお、吸引装置３０の使用停止時においては、キャップ３１を液滴吐出ヘッド５０の乾燥防止のために用いてもよい。

次に、上記吸引装置３０を備えた印刷装置及びマイクロアレイの製造装置の一例について説明する。

図５は、本実施形態のインクジェット印刷装置を説明するための図である。
図５に示すように、本実施形態のインクジェット印刷装置１０は、キャリッジ１１、液滴吐出ヘッド５０、インクカートリッジ１３、キャリッジモータ１４、タイミングベルト１５、ガイド部材１６、ブラテン１７、及び吸引装置３０から要部が構成されている。

キャリッジ１１は、液滴（インク滴）を吐出する液滴吐出ヘッド５０及び液滴吐出ヘッド５０にインクを供給するインクカートリッジ１３を搭載し、搬送するためのものである。キャリッジ１１は、キャリッジモータ１４により駆動されるタイミングベルト１５に結合されており、ガイド部材１６に案内されてプラテン１７の主軸と平行（主走査方向Ｘ）に往復移動するように構成されている。記録媒体２０の送り方向（副走査方向Ｙ）は、主走査方向Ｘと直交している。

液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）５０は、ノズル孔から液滴を記録媒体２０に吐出するものであり、キャリッジ１１下部の記録媒体２０に対向する側に装備されている。液滴吐出ヘッド５０は、静電アクチュエータ、圧電方式のアクチュエータ、サーマル方式のいずれの方式を採るものであってもよい。

インクカートリッジ（タンク）１３は、液滴吐出ヘッド５０に供給するインク（液体）を貯留する容器であり、不図示の接続部を介して液滴吐出ヘッド５０上に取り付けられている。なお、本実施形態では、インクカートリッジ１３は液滴吐出ヘッド５０と別体として構成されているが、一体に構成されていてもよい。

吸引装置３０は、上述のように、液滴吐出ヘッド５０のノズル孔を外部から吸引するための装置である。吸引装置３０は、印刷領域外に位置する液滴吐出ヘッド５０の格納位置（ホームポジション）に設置される。吸引装置３０は、シリンダ又はボールネジ機構等により昇降可能に構成されている。これにより、必要に応じて、吸引装置３０を液滴吐出ヘッド５０のノズル開口面（ノズル形成面）まで移動させることが可能となる。なお、キャップ３１のみが昇降可能になるよう構成されていてもよい。

図６は、本実施形態のマイクロアレイの製造装置を説明するための図である。
図６に示すように、本実施形態のマイクロアレイの製造装置１００は、基台１０１、Ｘ軸方向に往復移動する液滴吐出ヘッド５０、Ｙ軸方向に往復移動しマイクロアレイ基板１０５を載置するテーブル１０３、及び、液滴吐出ヘッド５０の格納位置（ホームポジション）に吐出液体充填用の吸引装置３０を備えている。なお、図５において、１０４は液滴吐出ヘッド５０及びテーブル１０３の駆動部であり、液滴吐出ヘッド５０及びテーブル１０３は、例えば、タイミングベルト機構やボールネジ機構等を用いて数値制御方式等により移動させることができる。

ここでの液滴吐出ヘッド５０は、ＤＮＡ又はタンパク質等を含む生体試料溶液をマイクロアレイ基板１０５上に吐出するものである。液滴吐出ヘッド５０は、外部に液滴を吐出するヘッド部とヘッド部に生体試料溶液を供給する貯留部（タンク）が一体的に形成されていても、別体として形成されていてもよい。
吸引装置３０は、上述したものと同様のものを用いることが可能である。

本実施形態によれば、隣接するノズル孔５１間の距離に少なくとも１つ含まれるような大きさの貫通孔３９が複数並設されたフィルタ３３を備えているので、一の貫通孔３９を複数のノズル孔５１が共有することがない。また、隣接する貫通孔３９相互間は隔壁で隔てられているので、一のノズル孔５１から排出された液体が隣接するノズル孔５１に飛散等することにより汚染されるのを回避することが可能となる。よって、液滴吐出ヘッド５０のノズル孔５１間でのコンタミネーションを抑止し得る。また、このような貫通孔を複数備えた構造を有するので、ノズル孔５１を吸引するために、ノズル孔５１とフィルタ３３の貫通孔３９との位置合わせをする必要がない。また、貫通孔３９の孔径を小さくすることで、どのような大きさのノズル孔５１にも対応し得るので、汎用性に優れる。

図１は、本実施形態の吸引装置を説明するための図である。 図２は、貫通孔とノズル孔との関係を説明するための図である。 図３は、本実施形態の吸引装置３０の変形例を説明するための図である。 図４は、成形材料（ＰＤＭＳ）を用いたフィルタ３３の製造方法を説明するための図である。 図５は、本実施形態のインクジェット印刷装置を説明するための図である。 図６は、本実施形態のマイクロアレイの製造装置を説明するための図である。

符号の説明

１０・・・インクジェット印刷装置、１１・・・キャリッジ、１３・・・インクカートリッジ、１４・・・キャリッジモータ、１５・・・タイミングベルト、１６・・・ガイド部材、１７・・・ブラテン、２０・・・記録媒体、３０・・・吸引装置、３１・・・キャップ、３３・・・フィルタ、３５・・・ポンプ、３６・・・閉空間、３７・・・パッキン、３９・・・貫通孔、４１・・・チューブ、４３・・・支持部材、４５・・・吸収材、５０・・・液滴吐出ヘッド、５１・・・ノズル孔、５３・・・ノズル形成面、７２・・・凸部、７３・・・離型剤、７５・・・成形材料、７７・・・平板、１００・・・マイクロアレイの製造装置、１０１・・・基台、１０３・・・テーブル、１０４・・・駆動部、１０５・・・マイクロアレイ基板

Claims (14)

1. 配列された複数のノズル孔を備えた液滴吐出ヘッドと、
   前記ノズル孔を外部から吸引する吸引装置と、を有する印刷装置であって、
   前記吸引装置は、
   前記液滴吐出ヘッドのノズル孔を覆って閉空間を形成するキャップと、
   前記キャップの開口側であって、前記液滴吐出ヘッドの前記ノズル孔が形成された面に接し得る位置に、前記開口部を閉じるように設けられたフィルタと、
   前記キャップ内を外部から吸引する吸引手段と、を備え、
   前記フィルタが、隔壁を隔てて並設され、当該フィルタの膜厚方向に延在する複数の貫通孔を有し、当該貫通孔が、前記液滴吐出ヘッドの互いに隣接するノズル孔相互間の距離に少なくとも１つ含まれる大きさであることを特徴とする印刷装置。
2. 前記フィルタが、ハニカム構造を有する、請求項１に記載の印刷装置。
3. 前記フィルタが、弾性体であり、前記液滴吐出ヘッドの前記ノズル孔が形成された面に密着させた場合に、当該ノズル孔が形成された面の表面凹凸を吸収し得る厚さである、請求項１又は請求項２に記載の印刷装置。
4. 前記フィルタが、自己吸着性を有する、請求項１乃至３のいずれかに記載の印刷装置。
5. 前記キャップ内に、通液性を有し、前記フィルタを支持する支持部材を備える、請求項１乃至４のいずれかに記載の印刷装置。
6. 前記フィルタの吸引面側に、前記ノズル孔より吸引された液体を吸収する吸収材をさらに備える、請求項１乃至５のいずれかに記載の印刷装置。
7. 前記フィルタを前記液滴吐出ヘッドの前記ノズル孔が形成された面に密着させた場合に、当該ノズル孔が形成された面の表面凹凸を吸収し得る緩衝作用を有する緩衝材をさらに備える、請求項１乃至６のいずれかに記載の印刷装置。
8. 配列された複数のノズル孔を備えた液滴吐出ヘッドと、
   前記ノズル孔を外部から吸引する吸引装置と、を有するマイクロアレイの製造装置であって、
   前記吸引装置は、
   前記液滴吐出ヘッドのノズル孔を覆って閉空間を形成するキャップと、
   前記キャップの開口側であって、前記液滴吐出ヘッドの前記ノズル孔が形成された面に接し得る位置に、前記開口部を閉じるように設けられたフィルタと、
   前記キャップ内を外部から吸引する吸引手段と、を備え、
   前記フィルタが、隔壁を隔てて並設され、当該フィルタの膜厚方向に延在する複数の貫通孔を有し、当該貫通孔が、前記液滴吐出ヘッドの互いに隣接するノズル孔相互間の距離に少なくとも１つ含まれる大きさであることを特徴とするマイクロアレイの製造装置。
9. 前記フィルタが、ハニカム構造を有する、請求項８に記載のマイクロアレイの製造装置。
10. 前記フィルタが、弾性体であり、前記液滴吐出ヘッドの前記ノズル孔が形成された面に密着させた場合に、当該ノズル孔が形成された面の表面凹凸を吸収し得る厚さである、請求項８又は請求項９に記載のマイクロアレイの製造装置。
11. 前記フィルタが、自己吸着性を有する、請求項８乃至１０のいずれかに記載のマイクロアレイの製造装置。
12. 前記キャップ内に、通液性を有し、前記フィルタを支持する支持部材を備える、請求項８乃至１１のいずれかに記載のマイクロアレイの製造装置。
13. 前記フィルタの吸引面側に、前記ノズル孔より吸引された液体を吸収する吸収材をさらに備える、請求項８乃至１２のいずれかに記載のマイクロアレイの製造装置。
14. 前記フィルタを前記液滴吐出ヘッドの前記ノズル孔が形成された面に密着させた場合に、当該ノズル孔が形成された面の表面凹凸を吸収し得る緩衝作用を有する緩衝材をさらに備える、請求項８乃至１３のいずれかに記載のマイクロアレイの製造装置。

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