JP2005138312A - 吸引装置、液滴吐出装置、及び、液滴吐出ヘッドの保守方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 本発明は、液滴吐出ヘッド内に貯留されている液体を、必要以上無駄に消費せずに、液滴吐出ヘッドのメンテナンスを可能とし得る吸引装置、液滴吐出装置、及び液滴吐出ヘッドのメンテナンス方法の提供を目的としている。
【解決手段】 ノズル４１から液滴を外部に吐出する液滴吐出ヘッド１２のノズル４１を外部から吸引する吸引装置３０であって、液滴吐出ヘッド１２のノズル４１の周囲を覆って閉空間を形成するキャップ３１と、閉空間３５をノズル４１が形成された面を壁面として含む第１の空間３５ａと閉鎖された第２の空間３５ｂとに画定する、気体を透過可能で、液体の透過を吸引力により制御し得る透過性膜３２と、キャップ３１の第２の空間３５ｂを外部から吸引する減圧手段３４と、を備える吸引装置により、上記課題を解決する。
【選択図】 図２

Description

本発明は、インクジェット方式を利用した液滴吐出技術に関する。

従来、一般に用いられているインクジェットプリンタでは、全ノズルから正常に液滴を吐出するために、吐出前の準備動作としてノズル先端に液体を充填する必要がある。

また、液滴吐出ヘッドの吐出口であるノズルは非常に小さいためノズル内の液体が乾燥しやすく、長期にわたり保管すると溶媒の蒸発によりノズル内に気泡が生じたり、増粘物質が生じたりする場合がある。

このような問題を解決する方法として、特開平１０−２６４４０２号公報（特許文献１）には、吸引により気泡や増粘物質を吸引除去する方法が開示されている。しかしながら、吸引の際にインクが大量に排出されてしまい、インクが浪費される場合があった。

一方で、インクジェット方式は効率良くしかも高精度に対象物に対し液滴を吐出し得ることから、近年では他の技術分野にも応用され始めている。例えば、特開２００１−１８６８８０号公報（特許文献２）には、インクジェット方式の製造装置を利用してＤＮＡマイクロアレイを製造する方法が開示されている。しかしながら、貴重な生体高分子溶液を無駄なく液滴吐出ヘッドの流路内に充填し、メンテナンスをすることは困難であった。
特開平１０−２６４４０２号公報 特開２００１−１８６８８０号公報

したがって、本発明は、液滴吐出ヘッド内に貯留されている液体を無駄に消費せずに、液滴吐出ヘッドの保守（メンテナンス）を可能とし得る吸引装置、液滴吐出装置、及び液滴吐出ヘッドの保守方法を提供することを目的としている。

本発明の第１の態様は、ノズルから液滴を外部に吐出する液滴吐出ヘッドの当該ノズルを外部から吸引する吸引装置であって、上記液滴吐出ヘッドのノズルの周囲を覆って閉空間を形成するキャップと、上記閉空間を上記ノズルが形成された面を壁面として含む第１の空間と閉鎖された第２の空間とに画定する、気体を透過可能で、液体の透過を吸引力により制御し得る透過性膜と、上記キャップの上記第２の空間を外部から吸引する減圧手段と、を備える吸引装置である。

かかる構成によれば、キャップ内が透過性膜で仕切られているので、液滴吐出ヘッドから排出される液体の排出量を制限することが可能となる。したがって、液滴吐出ヘッド内に溜まった増粘物質、気泡、汚染液等を除去する際に、無駄に液体が消費されるのを防止することが可能となる。

上記減圧手段は、上記第１の空間に存在する気体を上記第２の空間側に吸引する第１の吸引と上記第１の空間に流入した液体をも上記第２の空間側に吸引する第２の吸引とを行うものであることが好ましい。これにより、液体を第２の空間側に透過させるか否かを制御することが可能となる。

上記透過性膜は、気体を透過可能で、液体の透過を吸引力により制御し得るフィルタ層と膜強度を担う支持層とを含む積層膜によって構成されることが好ましい。これにより、透過性膜の強度を補強することが可能となる。

上記透過性膜は、気体を透過可能で、液体の透過を吸引力により制御し得るフィルタ層と閉空間内の湿度を保持する保湿層とを含む積層膜によって構成されることが好ましい。これにより、キャップ内の乾燥を防止することが可能となる。

上記第１の空間の体積Ｖ₂が、上記液滴吐出ヘッド内の流路の体積Ｖ₁よりも大きいことが好ましい。これにより、液滴吐出ヘッド内の液体を全て排出することが可能となる。

上記透過性膜としては、例えばポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）が用いられる。

本発明の第２の態様は、上記いずれかに記載の吸引装置を備えることを特徴とする液滴吐出装置である。これにより、液体の無駄な消費を抑えた液滴吐出ヘッドの保守（メンテナンス）が可能となる。

上記液滴吐出装置は、インクジェット式印刷装置であっても、マイクロアレイの製造装置であってもよい。上記液滴吐出装置は上記吸引装置を備えるので、インクジェット式印刷装置の場合には、液滴吐出ヘッドの保守による無駄なインクの消費が抑えられ、運用コストを低減することが可能となる。また、マイクロアレイの製造装置の場合には、同様に、保守時に貴重な試料溶液を無駄にすることがないので、マイクロアレイの製造コストを低減することが可能となる。

本発明の第３の態様は、ノズルから液滴を外部に吐出する液滴吐出ヘッドの当該ノズルを外部から吸引して、ノズル内の液体の充填あるいはノズルの詰まりを回復する吐出ヘッドの保守方法であって、気体及び液体を吸入圧に応じて透過させる透過膜によって底部に空室を形成した二重底構造のキャップによって前記液滴吐出ヘッドのノズルの周囲を覆って前記ノズルが形成された面と前記透過膜との間に閉空間を形成する第１の過程と、前記底部の空室を第１の気圧に減圧して前記ノズルから前記閉空間内に液滴を吸引する第２の過程と、前記底部の空室を第２の気圧に減圧して前記閉空間内に導出された液体を前記透過膜を介して該底部空室側に移動させる第３の過程と、を含む液滴吐出ヘッドの保守方法である。

これによれば、吸引力を調節することで、液体の膜の透過を制御し得る。また、キャップ内を透過性膜で仕切ることで、液滴吐出ヘッドから排出される液量を制御し得る他、第１の空間内に溜まった液体を第２の空間に移動することも可能となる。したがって、保守（メンテナンス）時の無駄な液体の消費を防止し得る他、保守操作も容易となる。

本発明の第４の態様は、ノズルから液滴を外部に吐出する液滴吐出ヘッドの当該ノズルを外部から吸引して、ノズル内の液体の充填あるいはノズルの詰まりを回復する吐出ヘッドの保守方法であって、気体及び液体を吸入圧に応じて透過させる透過膜によって底部に空室を形成した二重底構造のキャップによって前記液滴吐出ヘッドのノズルの周囲を覆って前記ノズルが形成された面と前記透過膜との間に閉空間を形成する第１の過程と、前記液滴吐出ヘッドを駆動して前記閉空間に液滴を吐出する第２の過程と、前記底部の空室を減圧して前記閉空間内に導出された液体を前記透過膜を介して該底部空室側に移動させる第３の過程と、を含む液滴吐出ヘッドの保守方法である。

これによれば、吸引力を調節することで、液体の膜の透過を制御し得る。また、第１の空間がこのような液体の透過を制御し得る膜によりしきられていることで、液滴吐出ヘッドから排出される液量を制御し得る他、第１の空間内に溜まった液体をポンプ内に排出することも可能となる。したがって、保守（メンテナンス）時の無駄な液体の消費を防止し、メンテナンス操作も容易となる。

本発明の第５の態様は、基板上に液滴吐出ヘッドを用いて生体試料溶液を吐出し、マイクロアレイを製造する方法であって、上記保守方法を用いて液滴吐出ヘッドを保守する工程を含むマイクロアレイの製造方法である。

これにより、保守時の液体の無駄な消費を防止することが可能となり、また、キャップの透過性膜上に溜まった液体も吸引により簡単に除去することができるため、保守操作も容易となるので、マイクロアレイの製造コストを低減させることが可能となる。

以下、本発明の実施形態について説明する。

（第一の実施形態）
図１は、第一の実施形態に係るインクジェット印刷装置を説明するための図である。
図１に示すように、本実施形態のインクジェット印刷装置１０は、キャリッジ１１、液滴吐出ヘッド１２、インクカートリッジ１３、キャリッジモータ１４、タイミングベルト１５、ガイド部材１６、ブラテン１７、及び吸引装置３０から要部が構成されている。

キャリッジ１１は、液滴（インク滴）を吐出する液滴吐出ヘッド１２及び液滴吐出ヘッド１２にインクを供給するインクカートリッジ１３を搭載し、搬送するためのものである。キャリッジ１１は、キャリッジモータ１４により駆動されるタイミングベルト１５に結合されており、ガイド部材１６に案内されてプラテン１７の主軸と平行（主走査方向Ｘ）に往復移動するように構成されている。記録媒体２０の送り方向（副走査方向Ｙ）は、主走査方向Ｘと直交している。

液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）１２は、ノズルから液滴を記録媒体２０に吐出するものであり、キャリッジ１１下部の記録媒体２０に対向する側に装備されている。液滴吐出ヘッド１２は、静電アクチュエータ、圧電方式のアクチュエータ、サーマル方式のいずれの方式を採るものであってもよい。

インクカートリッジ（タンク）１３は、液滴吐出ヘッド１２に供給するインク（液体）を貯留する容器であり、不図示の接続部を介して液滴吐出ヘッド１２上に取り付けられている。なお、本実施形態では、インクカートリッジ１３は液滴吐出ヘッド１２と別体として構成されているが、一体に構成されていてもよい。

吸引装置３０は、液滴吐出ヘッド１２のノズルを外部から吸引するための装置である。吸引装置３０は、印刷領域外に位置する液滴吐出ヘッド１２の格納位置（ホームポジション）に設置される。吸引装置３０は、シリンダ又はボールネジ機構等により昇降可能に構成されている。これにより、必要に応じて、吸引装置３０を液滴吐出ヘッド１２のノズル開口面まで移動させることが可能となる。

次に、吸引装置３０についてさらに詳しく説明する。
図２は、本実施形態の吸引装置３０を説明するための図である。

図２に示すように、本実施形態の吸引装置３０は、キャップ３１、キャップ３１の内側に備えられた透過性膜３２、キャップ３１にチューブ３３を介して連結されている減圧手段としてのポンプ３４を含んで構成されている。

キャップ３１は、ポンプ３４により減圧される空間を形成するものであり、液滴吐出ヘッド１２のノズル４１の周囲を覆って閉空間を形成するものである。キャップ３１は、凹部形状を有し、例えばブチルゴムなどの弾性部材を用い、射出成形等により形成される。弾性部材を用いることで、液滴吐出ヘッド１２のノズル４１が形成された面４２（以下、ノズル面という）と密着させることが可能となり、閉空間３５内の機密性を高めることが可能となるので好ましい。また、キャップ３１の先端に、液滴吐出ヘッド１２のノズル面４２との密着性をさらに高めるために襞部等が形成されていてもよい。

透過性膜３２は、気体を透過することが可能な膜であり、さらに、所定圧力で吸引することにより液体をも透過することが可能な多孔性膜（フィルタ層）から構成される。このような膜としては、具体的には、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）の微細な繊維で形成されたもの等が挙げられる。透過性膜３２の平均孔径は、液体の性質（例：濡れ性）にも依存するが、例えば１〜３μｍのものが好適に用いられる。

透過性膜３２は、キャップ３１の凹部３６内であって、液滴吐出ヘッド１２にキャップ３１を装着した際、透過性膜３２が液滴吐出ヘッド１２のノズル面４２から離間する位置に取り付けられる。すなわち、透過性膜３２は、液滴吐出ヘッド１２のノズル面４２とキャップ３１により形成された閉空間を、ノズル面を壁面として含む第１の空間３５ａと、閉鎖された第２の空間３５ｂとに画定するよう設けられる。これにより、吐出不良の原因となるノズル内の気泡や増粘物質を含む液体（インク）を第１の空間３５ａ内に排出することが可能となる。ここで、液滴吐出ヘッド１２にキャップ３１を装着した際、透過性膜３２と液滴吐出ヘッド１２のノズル面４２との間にできる第１の空間の体積Ｖ₂は、液滴吐出ヘッド１２内の流路の体積Ｖ₁よりも大きくなるように透過性膜３２を配置することが好ましい。これにより、液滴吐出ヘッド１２内の流路の体積Ｖ₁内に含まれる液体を全て入れ替えることが可能となるので、気泡や増粘物質を排出し、液滴吐出ヘッドの回復を図ることが可能となる。

キャップ３１には、チューブ３３を介して減圧手段としてのポンプ３４が接続されている。これにより、液滴吐出ヘッド１２装着時にキャップ３１内を減圧にすることが可能となる。なお、チューブ３３は、キャップ３１と一体形成されていても別体であってもよい。また、上記において吸引装置３０全体に昇降手段が取り付けられた場合について説明したが、キャップ３１のみが昇降可能に構成されていてもよい。

図３は、吸引装置３０の他の構成例を説明する図である。図３に示すように、キャップ３１内には、キャップ３１内の乾燥を防止するための保湿層としてのフォーム材３７が形成されていることが好ましい。フォーム材３７は、吸湿性を有する多孔質材、たとえば（ポリウレタン等の発泡材料、海綿など）を用いることが可能である。フォーム材３７は、図３に示すように、フィルタ層３２ａの下部に配置され、フィルタ層３２ａと共に透過性膜を構成していることも好ましい。このように透過性膜をフォーム材３７とフィルタ層３２ａとの二層構造を有することで、透過性膜の強度を補強することも可能となる。すなわち、フォーム材３７は、フィルタ層を支えるための支持部材としての役割も果たすことになる。なお、支持部材としてフォーム材３７以外のものを用いることを妨げるものではない。

フォーム材３７の厚みは特に限定されず、第２の空間３５ｂをほぼ埋める大きさであってもよく、それより薄いものであってもよい。また上記説明では、フォーム材３７をフィルタ層３２ａの下部に一体的に形成して透過性膜を構成した場合について例示したが、フォーム材３７を保湿材として用いる場合には、フォーム材３７は、キャップ内の乾燥を防止し得る限り、設置位置は特に限定されず、例えば、透過性膜３２と離れた位置に形成してもよい。また、透過性膜３２の上部に形成されていてもよい。

次に、上記印刷装置の動作手順について説明する。
図４及び図５は、本実施形態の吸引装置の動作手順を説明するための図である。
まず、キャリッジ１１を移動させて、液滴吐出ヘッド１２を格納位置に移動させる（移動過程、図１参照）。

次に、図４（ａ）に示すように、吸引装置３０を図示しない昇降手段により上昇させてキャップ３１を液滴吐出ヘッド１２のノズル面４２に押し付け、ノズル全体を覆うように装着（好ましくは、密着）させる。なお、本例においては、Gore-Tex社製、公称孔径３μｍ、耐水圧１９．６ｋＰａのゴアテックス（登録商標）メンブレンを用いた。以下、このゴアテックスメンブレンを例に採り説明する（キャップ装着過程）。

図４（ｂ）に示すように、ポンプ３４を作動して第２の空間３５ｂを減圧し、透過性膜３２の耐水圧（１９．６ｋＰａ）より低い圧力（例：１０ｋＰａ）で第１の空間３５ａ内にある気体（空気）を第２の空間側３５ｂに吸引する（吸引過程）。これに伴い、液滴吐出ヘッド１２内のインクが第１の空間３５ａ内に移動する。透過性膜３２は、透過性膜３２の耐水圧より低い圧力で吸引した場合には、主に気体しか透過せず、液体は透過し難いため、液体は第２の空間３５ｂにまでは吸引されず、第１の空間３５ａ内に留まる。液滴吐出ヘッド１２からのインクの排出は、第１の空間３５ａに吐出液体が完全に満たされた時点で終了する。

次に、図４（ｃ）に示すように、ポンプ３４を停止させ、キャップ３１内の圧力を大気圧に戻し、キャップ３１をノズル面４２から外して、キャップ３１を離間させる（キャップ離間過程）。ここで、ノズル面４２をゴムブレード等でクリーニングし、付着したインクを除去してもよい。ノズル面４２に撥液性の表面処理がなされていると、ノズル面４２に付着したインクをより容易に除去し得るので好ましい。

次に、図５（ｄ）に示すように、透過性膜３２の耐水圧（約１９．６ｋＰａ）を越えた圧力（例：２５ｋＰａ）で、キャップ３１内の第２の空間３５ｂを減圧吸引する。これにより、透過性膜３２上に残留しているインクは、透過性膜３２を通過して第２の空間３５ｂに移送される（排出過程）。

以上の過程により、液滴吐出ヘッド１２に吐出不良が観察された場合には、ノズル４１内の増粘物質及び気泡を除去して液滴吐出ヘッド１２の機能回復を図ることが可能となる。また、この過程により、液滴吐出ヘッド１２の流路内に完全にインクを充填させることも可能となる。

なお、上記排出過程の後に、図５（ｅ）に示すようなキャップ３１内に液滴吐出ヘッド１２を駆動して液滴を吐出する過程を含めてもよい（液滴吐出過程）。これにより、液滴吐出ヘッド１２内のインクが汚染した場合等に、インクを吐出して排出することで汚染液を除去することが可能となる。この過程でキャップ３１内に吐出されたインクは、上記キャップ離間過程、排出過程と同様に、キャップ３１を離間し、ポンプ３４で透過性膜３２の耐水圧を越えた圧力で吸引することにより、第２の空間３５ｂに移行され、除去される。また、上記吸引過程を行わずに、液滴吐出過程以降の過程のみを別途行ってもよい。この過程によれば、ヘッド内に安定したメニスカスを形成し得る他、ノズル内に不純物が混入した場合に、混入した液体を排除し得る。

また、上記過程を行い、インクの充填又は液滴吐出ヘッド１２の機能を回復した後、印刷を開始（再開）するまでに時間が空く場合には、図６に示すように液滴吐出ヘッド１２に、キャップ３１内の透過性膜３２上に少量のインクを溜めた状態で、キャップ３１を液滴吐出ヘッド１２のノズル面４２に装着させておくことが好ましい。このような状態でキャップを装着させることで、ノズル内の液体の乾燥を防止することが可能となる。なお、先述のようにキャップ３１内にフォーム材３７を備えている場合には、液体を溜める代わりにフォーム材にインクを保持することで保湿性を保つことが可能である。

本実施形態の吸引装置によれば、キャップ内が透過性膜で仕切られているので、液滴吐出ヘッドから排出される液体の排出量を制限することが可能となる。したがって、液滴吐出ヘッド内に溜まった増粘物質、気泡、汚染液等を除去する際に、無駄に液体が消費されるのを防止することが可能となる。よって、ノズル内への液体の充填の他、液滴吐出ヘッドの吐出不良が生じた際のメンテナンスを無駄な液体の排出を最小限に留めて容易に行うことができる。

また、本実施形態の印刷装置は、上記吸引装置を用いるので、液体の無駄な消費を最小限に留め、コスト効率よく印刷することが可能となる。

また、本実施形態のメンテナンス方法によれば、吸引力を調節することで、透過性膜を通過する物質を制御し得る。また、第１の空間がこのような通過する物質を制御し得る膜によりしきられていることで、液滴吐出ヘッドから排出される液量を制御し得る他、第１の空間内に溜まった液体をポンプ内に排出することも可能となる。したがって、メンテナンス時の無駄な液体の消費を防止し、メンテナンス操作も容易となり、印刷時のコストも低減せしめることが可能となる。

（第二の実施形態）
図７は、本実施形態のマイクロアレイの製造装置を説明するための図である。

図７に示すように、本実施形態のマイクロアレイの製造装置１００は、基台１０１、Ｘ軸方向に往復移動する液滴吐出ヘッド１２、Ｙ軸方向に往復移動しマイクロアレイ基板１０５を載置するテーブル１０３、及び、液滴吐出ヘッド１２の格納位置（ホームポジション）に吐出液体充填用の吸引装置３０を備えている。なお、図７において、１０４は液滴吐出ヘッド１２及びテーブル１０３の駆動部であり、液滴吐出ヘッド１２及びテーブル１０３は、例えば、タイミングベルト機構やボールネジ機構等を用いて数値制御方式等により移動させることができる。

液滴吐出ヘッド１２は、ＤＮＡ又はタンパク質等を含む生体試料溶液をマイクロアレイ基板１０５上に吐出するものである。液滴吐出ヘッド１２は、外部に液滴を吐出するヘッド部とヘッド部に生体試料溶液を供給する貯留部（タンク）が一体的に形成されていても、別体として形成されていてもよい。

吸引装置３０は、第一の実施形態で記載したものと同様のものを用いることが可能である。

また、本実施形態のマイクロアレイの製造装置１００の動作手順についても第一の実施形態と同様の手順で行うことができる。図８〜図１０に、マイクロアレイの製造装置の動作手順を説明する図を示す。図８〜図１０に示すように、多数の加圧室及びそれに対応する多数のノズル４１を有する液滴吐出ヘッド１２を用いた場合においても、吸引装置３０のキャップ３１の開口をノズル４１が形成された領域に併せて大きくすることにより一括して吸引することが可能となる。また、これらの図に示すように、キャップ３１はノズル４１が形成された領域を覆っていればよく、必ずしも液滴吐出ヘッドのノズル面４２全体を覆う必要はない。

第二の実施形態においても、第一の実施形態と同様の効果が得られる。したがって、本実施形態によれば、メンテナンス時の無駄な液体の消費を防止することが可能となり、メンテナンス操作も容易となるので、マイクロアレイの製造コストを低減することが可能となる。よって、貴重な生体試料溶液を用いることの多いマイクロアレイの製造において本実施形態のマイクロアレイの製造装置は特に最適である。

図１は、第一の実施形態のインクジェット印刷装置を説明するための図である。 図２は、第一の実施形態の吸引装置を説明するための図である。 図３は、他の態様に係るキャップの構造を説明するための図である。 図４は、第一の実施形態の吸引装置の動作手順を説明するための図である。 図５は、第一の実施形態の吸引装置の動作手順を説明するための図である。 図６は、印刷装置の休止状態における液滴吐出ヘッドの状態を説明するための図である。 図７は、第二の実施形態のマイクロアレイの製造装置を説明するための図である。 図８は、第二の実施形態の吸引装置の動作手順を説明するための図である。 図９は、第二の実施形態の吸引装置の動作手順を説明するための図である。 図１０は、マイクロアレイ製造装置の休止状態における液滴吐出ヘッドの状態を説明するための図である。

符号の説明

１０・・・インクジェット印刷装置、１１・・・キャリッジ、１２・・・液滴吐出ヘッド、１３・・・インクカートリッジ、１４・・・キャリッジモータ、１５・・・タイミングベルト、１６・・・ガイド部材、１７・・・プラテン、１８・・・減圧手段、１９・・・耐水圧、１９・・・透過性膜、２０・・・記録媒体、３０・・・吸引装置、３１・・・キャップ、３２ａ・・・フィルタ層、３２・・・透過性膜、３３・・・チューブ、３４・・・ポンプ、３５ａ・・・第１の空間、３５ｂ・・・第二の空間、３６・・・凹部、３７・・・フォーム材、４１・・・ノズル、４２・・・ノズル面、１００・・・マイクロアレイの製造装置、１０１・・・基台、１０３・・・テーブル、１０５・・・マイクロアレイ基板

Claims (12)

1. ノズルから液滴を外部に吐出する液滴吐出ヘッドの当該ノズルを外部から吸引する吸引装置であって、
   前記液滴吐出ヘッドのノズルの周囲を覆って閉空間を形成するキャップと、
   前記閉空間を前記ノズルが形成された面を壁面として含む第１の空間と閉鎖された第２の空間とに画定する、気体を透過可能で、液体の透過を吸引力により制御し得る透過性膜と、
   前記キャップの前記第２の空間を外部から吸引する減圧手段と、
   を備える吸引装置。
2. 前記減圧手段は、前記第１の空間に存在する気体を前記第２の空間側に吸引する第１の吸引と前記第１の空間に流入した液体をも前記第２の空間側に吸引する第２の吸引とを行う請求項１に記載の吸引装置。
3. 前記透過性膜は、気体を透過可能で、液体の透過を吸引力により制御し得るフィルタ層と膜強度を担う支持層とを含む積層膜によって構成される請求項１又は２に記載の吸引装置。
4. 前記透過性膜は、気体を透過可能で、液体の透過を吸引力により制御し得るフィルタ層と前記閉空間内の湿度を保持する保湿層とを含む積層膜によって構成される請求項１又は２に記載の吸引装置。
5. 前記第１の空間の体積Ｖ₂が、前記液滴吐出ヘッド内の流路の体積Ｖ₁よりも大きい、請求項１乃至４のいずれかに記載の吸引装置。
6. 前記透過性膜は、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）からなる、請求項１乃至５のいずれかに記載の吸引装置。
7. 請求項１乃至６のいずれかに記載の吸引装置を備える液滴吐出装置。
8. 前記液滴吐出装置が、インクジェット式印刷装置である、請求項７に記載の液滴吐出装置。
9. 前記液滴吐出装置が、マイクロアレイの製造装置である、請求項７に記載の液滴吐出装置。
10. ノズルから液滴を外部に吐出する液滴吐出ヘッドの当該ノズルを外部から吸引して、ノズル内の液体の充填あるいはノズルの詰まりを回復する吐出ヘッドの保守方法であって、
    気体及び液体を吸入圧に応じて透過させる透過膜によって底部に空室を形成した二重底構造のキャップによって前記液滴吐出ヘッドのノズルの周囲を覆って前記ノズルが形成された面と前記透過膜との間に閉空間を形成する第１の過程と、
    前記底部の空室を第１の気圧に減圧して前記ノズルから前記閉空間内に液滴を吸引する第２の過程と、
    前記底部の空室を第２の気圧に減圧して前記閉空間内に導出された液体を前記透過膜を介して該底部空室側に移動させる第３の過程と、
    を含む液滴吐出ヘッドの保守方法。
11. ノズルから液滴を外部に吐出する液滴吐出ヘッドの当該ノズルを外部から吸引して、ノズル内の液体の充填あるいはノズルの詰まりを回復する吐出ヘッドの保守方法であって、
    気体及び液体を吸入圧に応じて透過させる透過膜によって底部に空室を形成した二重底構造のキャップによって前記液滴吐出ヘッドのノズルの周囲を覆って前記ノズルが形成された面と前記透過膜との間に閉空間を形成する第１の過程と、
    前記液滴吐出ヘッドを駆動して前記閉空間に液滴を吐出する第２の過程と、
    前記底部の空室を減圧して前記閉空間内に導出された液体を前記透過膜を介して該底部空室側に移動させる第３の過程と、
    を含む液滴吐出ヘッドの保守方法。
12. 基板上に液滴吐出ヘッドを用いて生体試料溶液を吐出し、マイクロアレイを製造する方法であって、請求項１０又は１１に記載の保守方法を用いて液滴吐出ヘッドを保守する工程を含むことを特徴とするマイクロアレイの製造方法。
    
    

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