CN118077039A - 树脂供给装置、树脂成型装置以及树脂成型品的制造方法 - Google Patents

树脂供给装置、树脂成型装置以及树脂成型品的制造方法 Download PDF

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Abstract

本发明的树脂供给装置(2A)具备：树脂供给机构(23a)，供给容纳于内部的树脂材料；喷嘴(23b)，由弹性材料构成，具有排出树脂供给机构(23a)内的树脂材料的排出口(23c)；以及夹紧机构(24)，从外侧压入喷嘴(23b)的顶端部分，使喷嘴(23b)的排出口(23c)的形状成为相对于喷嘴(23b)的轴心(X)旋转对称三次以上的旋转对称形状，并且使排出口(23c)的开口面积变化。

Description

树脂供给装置、树脂成型装置以及树脂成型品的制造方法
技术领域
本公开涉及树脂供给装置、树脂成型装置以及树脂成型品的制造方法。
背景技术
固定有半导体芯片的基板等一般通过树脂封装而被用作电子零件。以往，作为对基板进行树脂封装的树脂成型装置，已知一种具备树脂供给装置的装置，该树脂供给装置具有向作为供给对象物的基板排出液态树脂的喷嘴(例如，参照专利文献1、2)。
专利文献1中记载了如下技术：在使粘接剂、焊膏等涂布剂从排出口排出至基板进行涂布的涂布装置中，使排出口的口径变化以使每单位时间的涂布剂的排出量变化。具体而言，将多个平面板水平重叠来构成喷嘴的排出口，根据重叠量的多少，使排出口的口径变化以使每单位时间的排出量变化。此外，也记载了如下技术：通过辊从两侧按压由弹性体构成的喷嘴，减小喷嘴的口径，使每单位时间的排出量变化。
此外，专利文献2中记载了一种基板处理装置，该基板处理装置在喷嘴主体部的顶端配置排出口可变构件，使每单位时间的处理液的排出量变化。排出口可变构件在插入至喷嘴主体部的顶端的圆筒构件的下部插入中空环状构件而构成。圆筒状构件和中空环状构件由伸缩性材料构成。在中空环状构件的中空部内为大气压的情况下，排出口(在专利文献2中为“开口部”)的直径比喷嘴主体部的出口的直径小，每单位时间的处理液的排出量变少。在向中空部内压入空气时，中空环状构件向外方鼓出，排出口的直径被放大至喷嘴主体部的出口的直径，每单位时间的处理液的排出量增多。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开平3－000152号公报
专利文献2：日本特开平11－033439号公报
发明内容
发明所要解决的问题
在专利文献1中记载的涂布装置中的将多个平面板水平重叠的构成中，在平面板附着有涂布剂，因此，在每次变更涂布剂的种类时需要进行平面板的清洗等维护。此外，在专利文献2中记载的基板处理装置中，在中空环状构件附着有处理液，因此，在每次变更处理剂的种类时需要进行中空环状构件的清洗等维护。
因此，期望能容易进行维护，并且能使每单位时间的树脂材料的排出量变化的树脂供给装置、树脂成型装置以及树脂成型品的制造方法。
用于解决问题的方案
本公开的树脂供给装置的特征构成在于，具备：树脂供给机构，供给容纳于内部的树脂材料；喷嘴，由弹性材料构成，具有排出所述树脂供给机构内的所述树脂材料的排出口；以及夹紧机构，从外侧压入所述喷嘴的顶端部分，使所述喷嘴的所述排出口的形状成为相对于所述喷嘴的轴心旋转对称三次以上的旋转对称形状，并且使所述排出口的开口面积变化。
本公开的树脂成型装置的特征构成在于，具备：如上所述的树脂供给装置；成型模，包括相互对置配置的上模和下模；以及合模机构，在从所述树脂供给装置排出的所述树脂材料配置于所述上模与所述下模之间的状态下，将所述成型模合模。
本公开的树脂成型品的制造方法的特征在于，是一种使用如上所述的树脂成型装置的树脂成型品的制造方法，包括：树脂供给步骤，使用所述树脂供给装置，在通过所述夹紧机构压入所述喷嘴的所述顶端部分的状态下，对供给对象物供给所述树脂材料；以及树脂成型步骤，使用在所述树脂供给步骤中供给的所述树脂材料来进行树脂成型。
发明效果
根据本公开，能够提供能容易进行维护，并且能使每单位时间的树脂材料的排出量变化的树脂供给装置、脂成型装置以及树脂成型品的制造方法。
附图说明
图1是表示本实施方式的树脂成型装置的示意图。
图2是表示树脂成型装置的合模机构的示意图。
图3是表示第一实施方式的夹紧机构的纵剖视图。
图4是夹紧机构的仰视图。
图5是表示夹紧单元的立体图。
图6是表示夹紧机构的动作的说明图。
图7是表示第二实施方式的夹紧机构的示意图。
图8是表示第三实施方式的夹紧机构的示意图。
具体实施方式
以下，基于附图，对本公开的树脂供给装置、树脂成型装置以及树脂成型品的制造方法的实施方式进行说明。在本实施方式中，作为树脂成型装置的一个例子，如图1所示，对具备树脂供给模块2的树脂成型装置D进行说明。
不过，本公开不限定于以下的实施方式，可以在不脱离其主旨的范围内进行各种变形。
〔装置构成〕
固定有半导体芯片(电子元件的一个例子)的基板等通过树脂封装而被用作电子零件。作为对成型对象物进行树脂封装的技术，可列举出压缩方式(压缩成型)、转移方式等。作为该压缩方式之一，可列举出在对脱模膜供给液态的树脂之后，将脱模膜载置于成型模的下模，将成型对象物浸入脱模膜上的液态树脂来进行树脂成型的树脂封装方法。本实施方式的树脂成型装置D采用压缩方式，树脂供给模块2是对成型模M、基板(供给对象物的一个例子)或脱模膜(供给对象物的一个例子)F供给液态的树脂的装置。以下，将被供给由液态的树脂构成的液态树脂(树脂材料的一个例子)R的供给对象物设为脱模膜F，将固定有半导体芯片(以下，有时称为“芯片”)的基板S设为成型对象物的一个例子，将重力方向设为下方向，将与重力方向相反的方向设为上方向进行说明。需要说明的是，图1所示的Z方向为上下方向，后述的脱模膜切断模块1、树脂供给模块2、压缩成型模块3、输送模块4的排列方向为X方向，与X方向和Z方向垂直的方向(各模块的进深方向)为Y方向。需要说明的是，作为电子元件，除了半导体芯片以外，也可以列举出电阻元件、电容器元件等。
图1中示出了树脂成型装置D的示意图。本实施方式的树脂成型装置D具备：脱模膜切断模块1、树脂供给模块2、多个(在本实施方式中为两个)压缩成型模块3、输送模块4、控制部5以及通知部6。脱模膜切断模块1、树脂供给模块2、多个压缩成型模块3以及输送模块4能分别独立地装接或拆下。需要说明的是，本实施方式的压缩成型模块3由两个构成，但也可以由一个或三个以上的多个构成。
脱模膜切断模块1从长条状的膜切断并分离出在俯视下为圆形的脱模膜F。脱模膜切断模块1包括卷状膜14、膜夹具15以及膜载置机构16。膜夹具15对卷状膜14的端部进行保持，并且拉出卷状膜14。膜载置机构16通过切割器(未图示)从卷状膜14切断并分离出在俯视下为圆形的脱模膜F。
树脂供给模块2包括对脱模膜F上的树脂供给区域供给树脂成型用的液态树脂R的树脂供给装置2A。在此，液态树脂R是指常温(室温)下为液态的树脂。在常温下为液态的液态的树脂可以是热塑性树脂，也可以是热固性树脂。热固性树脂在常温下为液态的树脂，在加热时粘度降低，在进一步加热时聚合固化，成为固化树脂。本实施方式的液态树脂R优选为在常温下不迅速流动的程度的较高粘度的热固性的树脂。
树脂供给装置2A包括：工作台20，载置从脱模膜切断模块1交接的脱模膜F；点胶机单元21，将液态树脂R供给到脱模膜F上；以及重量传感器25。从脱模膜切断模块1交接的脱模膜F通过未图示的吸引机构吸附保持于工作台20的上表面。
点胶机单元21包括：盒23；以及夹紧机构24，对盒23的喷嘴23b的顶端部分进行紧固。该盒23包括柱塞(未图示)，该柱塞用于推出在其内部容纳有后述的液态树脂R的注射器(树脂供给机构的一个例子)23a内的液态树脂R，通过使柱塞向下方向移动来经由盒23将液态树脂R供给到脱模膜F上。点胶机单元21构成为能在作为脱模膜F的载置面的XY平面上(水平方向)任意地移动。此外，点胶机单元21构成为能沿Z方向(上下方向)移动。盒23的喷嘴23b由硅橡胶等具有弹性的材料形成，通过夹紧机构24从外侧压入喷嘴23b的顶端部分进行紧固，使排出口23c的开口面积变化。在后文对夹紧机构24的详情加以叙述。需要说明的是，也可以除了点胶机单元21以外或代替点胶机单元21，构成为工作台20能在XY平面上任意地移动。此外，点胶机单元21的驱动源没有特别限定，例如能使用伺服马达等电动马达Mo。
盒23包括：注射器23a，容纳有液态树脂R；以及喷嘴23b，装配于注射器23a的顶端，排出液态树脂R。注射器23a和喷嘴23b均为大致圆筒形状，以相对于穿过喷嘴23b的中心的轴心X为同轴心状的方式配置注射器23a。该盒23预先容纳有多个(在本实施方式中为六个)树脂容纳部11。点胶机单元21构成为能在用尽填充于盒23的液态树脂R时，自动地更换不同的盒23。
重量传感器25对供给到脱模膜F上的液态树脂R的重量进行计测。该重量传感器25是根据树脂供给后的脱模膜F的重量与树脂供给前的脱模膜F的重量的差分，对被供给或回收的液态树脂R的重量进行计测的公知的载荷传感器。
树脂装载机12构成为能在轨道上在脱模膜切断模块1、树脂供给模块2以及各个压缩成型模块3之间沿X方向移动。此外，树脂装载机12构成为能在轨道上在树脂供给模块2内和各个压缩成型模块3内沿Y方向移动。树脂装载机12能将由脱模膜切断模块1切割的脱模膜F搬运至树脂供给模块2，在树脂供给模块2中对由树脂供给装置2A供给了液态树脂R的脱模膜F进行保持，并移送至压缩成型模块3。此外，在树脂装载机12附属设置有后处理机构13。该后处理机构13能从压缩成型模块3去除已使用的脱模膜F，将已使用的脱模膜F废弃到处于脱模膜切断模块1的废弃部(未图示)。
压缩成型模块3至少具有：成型模M；以及合模机构35，将成型模M合模。在后文对压缩成型模块3的详情加以叙述。
输送模块4输送固定有树脂封装前的芯片的树脂封装前基板Sa(成型前基板)，并且输送树脂封装后的已树脂封装的基板Sb(树脂成型品)。输送模块4包括：基板装载机41；第一容纳部43，收纳树脂封装前基板Sa；第二容纳部44，收纳已树脂封装的基板Sb；以及机器人臂45。机器人臂45能在输送模块4内将树脂封装前基板Sa交接给基板装载机41。此外，机器人臂45能接收从基板装载机41输送的已树脂封装的基板Sb。基板装载机41在输送模块4和各个压缩成型模块3内沿X方向和Y方向移动。
输送模块4还包括检查机构(未图示)。检查机构对压缩成型模块3中的作为成型对象物的基板S(树脂封装前基板Sa)中的芯片的存在区域进行检查。检查机构通过激光位移计的扫描在预定检查的芯片的存在区域中检查芯片是否实际存在，并存储存在芯片的场所和不存在芯片的场所。需要说明的是，检查机构可以通过可见光摄像机等拍摄基板S，并基于该拍摄图像来检查基板S中的芯片的存在区域。
在控制部5中，作为控制树脂成型装置D的工作的软件，由存储于HDD、存储器等硬件的程序构成，通过计算机的CPU等处理器来执行。在本实施方式中，控制部5控制树脂供给模块2的树脂供给装置2A来提高液态树脂R向脱模膜F的排出量(重量)的精度。通知部6通知树脂成型装置D的工作，由配置于输送模块4的前表面的显示器、警报灯等构成。
〔成型模的构成〕
如图2所示，本实施方式的压缩成型模块3由通过板状构件32将下部固定盘31与上部固定盘33一体化而成的冲压机架构成。在下部固定盘31与上部固定盘33之间设有可动压板34。可动压板34能沿板状构件32上下移动。在下部固定盘31的上方设有作为使可动压板34上下移动的装置的滚珠丝杠等合模机构35。合模机构35能通过使可动压板34向上方移动来进行成型模M的合模，通过使可动压板34向下方移动来进行成型模M的开模。合模机构35的驱动源没有特别限定，例如能使用伺服马达等电动马达(未图示)。
作为成型模M的上模UM和下模LM相互对置配置，均由模具等构成。在上部固定盘33的下表面配置有包括上部加热器37的上模座39，在上模座39的下方装配有上模UM。在上模UM设有用于配置基板S的上模基板设置部(未图示)，在上模UM的下表面装配有固定有芯片等的基板S。在可动压板34的上表面配置有包括下部加热器36的下模座38，在下模座38的上方设有下模LM。通过将由吸引机构(未图示)吸引的脱模膜F保持于下模腔MC，将树脂供给装置2A涂布于脱模膜F上的液态树脂R供给至下模腔MC。通过合模机构35将成型模M合模，并且通过下部加热器36对下模LM进行加热，由此，下模腔MC内的液态树脂R熔融并固化。就是说，在将作为供给对象物的树脂封装前基板Sa和脱模膜F配置于上模UM与下模LM之间的状态下，通过合模机构35将成型模M合模来进行树脂封装。由此，固定于树脂封装前基板Sa(成型前基板)的芯片等在下模腔MC内被树脂封装而成为已树脂封装的基板Sb(树脂成型品)。
〔第一实施方式〕
接着，对第一实施方式的夹紧机构24进行说明。图3～图5中示出了夹紧机构24的概略图。本实施方式的夹紧机构24具有电动马达24a、带轮24b、夹紧单元24c、正时带24d。
电动马达24a是步进马达、伺服马达等能在正转、反转两个方向上控制旋转角度的马达，经由支承板27装配于对盒23进行保持的装配构件26。在电动马达24a的旋转轴24a1装配有带轮24b，带轮24b与电动马达24a的旋转轴24a1一体地旋转。
夹紧单元24c具有环状固定部51、轴承(轴承构件的一个例子)52、环状凸轮53、直动引导件54、夹紧构件55、压缩螺旋弹簧(弹性构件的一个例子)56。
环状固定部51由铁、铝等金属或树脂构成，形成为大致圆筒形状，具有：相互平行的两个大致圆形的下表面51a、上表面51d；形成于下表面51a、上表面51d之间的侧面51b；以及贯通下表面51a、上表面51d地形成于下表面51a、上表面51d的中央部的孔部51c。环状固定部51以其中心与轴心X同轴心状且包围盒23的喷嘴23b的周围的方式装配于装配构件26。即，喷嘴23b插通环状固定部51的孔部51c。下表面51a、上表面51d相对于轴心X垂直，下表面51a位于与喷嘴23b的排出口23c相对的一侧，上表面51d位于与注射器23a相对的一侧。需要说明的是，只要能发挥作为后述的夹紧单元24c的功能，环状固定部51的下表面51a与上表面51d也可以不相互平行，也可以不相对于轴心X垂直。
在作为环状固定部51的侧方的侧面51b的外周侧，经由轴承52配置有环状凸轮53。就是说，轴承52配置于环状固定部51与环状凸轮53之间。环状凸轮53由铁、铝等金属或树脂构成，具有与轴承52的外轮接触的环状的装配面53a和比装配面53a靠Z方向下侧(重力方向侧)且位于内周侧的环状的凸轮面53b。轴承52的内轮与环状固定部51的侧面51b接触，由此，环状凸轮53被保持为能相对于环状固定部51相对旋转。分别通过压入或粘接等方法对轴承52的内轮与环状固定部51的侧面51b和轴承52的外轮与环状凸轮53的装配面53a进行固定。
在位于喷嘴23b的排出口23c所在的一侧的环状固定部51的下表面51a配置有直动引导件54。直动引导件54具有：直线状的轨道54a，固定于下表面51a；以及块54b，能被引导至轨道54a并在轨道54a上相对移动。轨道54a和块54b均由铁、铝等金属或树脂构成。在本实施方式中，直动引导件54以相对于环状固定部51的中心(与轴心X同轴心状)向径向外侧延伸的方式，并且在周向上以90度间隔配置有四个。
在四个直动引导件54的各个块54b配置有夹紧构件55。就是说，在本实施方式中，夹紧构件55由铁、铝等金属或树脂构成，与块54b同样在周向上以90度间隔配置有四个。夹紧构件55具有：板状的凸缘部55b，通过螺纹固定等公知的方法固定于块54b；以及板状的夹紧部55a，相对于凸缘部55b的板面垂直配置。夹紧部55a以其板面与直动引导件54平行的方式配置于凸缘部55b，夹紧部55a的内端55c和外端55d在从沿轴心X的方向观察时均从凸缘部55b沿径向伸出。此外，夹紧部55a的内端55c和外端55d形成为从夹紧部55a的板面连续的平滑的曲面(从沿轴心X的方向观察为半圆形)。夹紧构件55与块54b一体地在直动引导件54的轨道54a上被引导，相对于环状固定部51沿径向相对直线移动。
四个夹紧构件55配置于环状凸轮53的内周侧，夹紧构件55的外端55d与环状凸轮53的凸轮面53b接触。夹紧构件55的内端55c位于比盒23的喷嘴23b的排出口23c靠Z方向稍上方的位置，在夹紧构件55位于最靠径向外侧的状态(以下，也称为“初始状态”。)下，夹紧部55a的内端55c的顶端与喷嘴23b的外周的间隙为零或微小。
四个夹紧构件55的各个凸缘部55b具有向相对于径向左右分别倾斜45度的方向突出的圆柱状的一对突起部55e。在一对突起部55e每一个，在沿周向邻接的凸缘部55b的一对突起部55e中的邻接的突起部55e之间架设有压缩螺旋弹簧56。即，在本实施方式中，使用了四个压缩螺旋弹簧56。通过将压缩螺旋弹簧56架设于邻接的夹紧构件55之间，四个夹紧构件55始终被施加分别向远离的方向的力。夹紧构件55只能进行沿轨道54a的径向移动，因此，始终对四个夹紧构件55作用朝向径向外侧的力。即，通过该力，夹紧部55a的外端55d始终与环状凸轮53的凸轮面53b接触而作用朝向径向外侧的力。需要说明的是，构成夹紧构件55的夹紧部55a、凸缘部55b、突起部55e以及直动引导件54的块54b可以通过螺纹紧固、粘接等方法分别将单独的零件接合来一体化，也可以将任意的两个以上的零件形成为一个构件来构成。
在装配于电动马达24a的旋转轴24a1的带轮24b的外周和夹紧单元24c的环状凸轮53的外周架设有正时带24d。由此，电动马达24a的旋转轴24a1的旋转经由带轮24b和正时带24d传递至环状凸轮53。带轮24b的外径比环状凸轮53的外径小，因此，电动马达24a的旋转被减速并传递至环状凸轮53。
接着，对夹紧机构24的动作进行说明。在电动马达24a的旋转轴24a1正向旋转(向图4所示的箭头的方向旋转)时，该旋转经由带轮24b传递至环状凸轮53，环状凸轮53正向旋转。在本实施方式中，四个夹紧构件55配置于环状凸轮53的内周侧，通过环状的凸轮面53b同时对四个夹紧构件55作用相同大小的力，因此，凸轮面53b在从沿轴心X的方向观察时具有旋转对称四次的旋转对称形状。在后文对旋转对称形状的定义加以叙述。凸轮面53b形成为在环状凸轮53正向旋转时，使克服压缩螺旋弹簧56的力而朝向径向内侧的力同时作用于四个夹紧构件55的夹紧部55a的外端55d。具体而言，环状的凸轮面53b中的对一个夹紧构件55作用力的凸轮面53b(相对于轴心X的中心角为90度的范围)形成为在环状凸轮53正向旋转时，在与夹紧部55a的外端55d的接触部位，与轴心X的距离逐渐(连续)变短的曲面。
图6是表示在环状凸轮53正向旋转时，通过夹紧构件55从外侧压入盒23的喷嘴23b进行紧固，排出口23c的形状和开口面积变化的过程的说明图。图6的左侧是夹紧机构24的仰视图的示意图，右侧是此时的喷嘴23b的排出口23c的放大图。在图6中，为了容易理解，在夹紧构件55中仅显示夹紧部55a，每90度对环状凸轮53的凸轮面53b进行着色，省略了压缩螺旋弹簧56的显示。
图6的(a)示出了环状凸轮53正向旋转之前的初始状态。在图6的(a)中，通过压缩螺旋弹簧56的作用，四个夹紧构件55相互向径向外侧最大限度地移动，夹紧部55a的外端55d将环状凸轮53的凸轮面53b向径向外侧按压，因此，凸轮面53b处于距离轴心X最远的位置。此时，夹紧部55a的内端55c在喷嘴23b的外周接触或以微小距离接近，因此，喷嘴23b的排出口23c的形状保持圆形不变，开口面积也是排出口23c的本来的面积。
接着，如图6的(b)所示，当环状凸轮53正向旋转约22.5度时，凸轮面53b也旋转，在与夹紧部55a的外端55d的接触部位，轴心X与凸轮面53b的距离相对于初始状态变短。由此，装配于直动引导件54的块54b的四个夹紧构件55的外端55d被按压至凸轮面53b，夹紧构件55朝向径向内侧，即喷嘴23b的轴心X的方向移动。然后，四个夹紧构件55的夹紧部55a的内端55c从外侧压入盒23的喷嘴23b的顶端部分进行紧固。由此，喷嘴23b的外周中的四处被紧固而向内侧(轴心X侧)凹陷，排出口23c的形状变形为X字形，排出口23c的开口面积变小。喷嘴23b的顶端部分是指从喷嘴23b的排出口23c到夹紧部55a的内端55c的上端(注射器23a侧的端部)接触为止的部分。
接着，如图6的(c)所示，当环状凸轮53进一步正向旋转约22.5度而从初始状态旋转约45度时，凸轮面53b也进一步旋转，轴心X与凸轮面53b的距离相对于图6的(b)的状态进一步变短。由此，四个夹紧构件55的夹紧部55a的内端55c从外侧进一步压入盒23的喷嘴23b的顶端部分。由此，喷嘴23b的外周中的四处进一步向内侧(轴心X侧)凹陷，排出口23c的开口面积进一步变小。这样的夹紧机构24的动作的控制由控制部5来执行。
对于夹紧构件55的夹紧部55a相对于盒23的喷嘴23b的上下方向(Z方向)的位置，在图6的(a)～图6的(c)中的任一种状态下，夹紧部55a的内端55c的下端都与喷嘴23b的下端(排出口23c)共面或在其之上。能通过将夹紧部55a与喷嘴23b配置为这样的位置关系来防止从喷嘴23b的排出口23c排出的液态树脂R附着于夹紧部55a。
图6的(b)、(c)所示的排出口23c的开口的X字形状为旋转对称四次的旋转对称形状。“旋转对称形状”是指在以某个点为中心使图形旋转时，将旋转(360/n)时与原来的形状的重叠的形状称为n次的旋转对称形状。在本实施方式中，排出口23c的形状在以轴心X为中心旋转90度(＝360/4)时与原来的X字形重叠(成为相同的形状)，因此称为四次旋转对称形状。
在压缩成型模块3中，为了高精度地制造已树脂封装的基板Sb，在树脂供给装置2A中，需要高精度地将成为规定重量的液态树脂R供给(排出)到脱模膜F上。一般来说，当使用具有开口面积较大的排出口23c的喷嘴23b时，每单位时间的液态树脂R的排出量多，因此生产性高，但液态树脂R的排出量的精度低。另一方面，当使用具有开口面积较小的排出口23c的喷嘴23b时，每单位时间的液态树脂R的排出量少，因此生产性低，但液态树脂R的排出量的精度高。以往，只能通过更换喷嘴23b来改变喷嘴23b的排出口23c的开口面积，无法兼顾已树脂封装的基板Sb的高生产性和液态树脂R的高精度排出。但是，在本实施方式的树脂供给装置2A中，能通过夹紧机构24来改变喷嘴23b的排出口23c的开口面积，因此，不更换喷嘴23b，就能兼顾已树脂封装的基板Sb的高生产性和液态树脂R的高精度排出。
〔树脂成型品的制造方法〕
接着，使用图1、图2，对树脂成型品的制造方法进行说明。
首先，如图1所示，将通过机器人臂45从第一容纳部43交接的树脂封装前基板Sa载置于基板装载机41。此时，检查机构预先对作为成型对象物的基板S(树脂封装前基板Sa)中的芯片等的存在区域进行检查。控制部5至少基于作为成型对象物的基板S的尺寸、基板S中的芯片等的存在区域，对脱模膜F的树脂供给区域中的液态树脂R的目标供给量和目标供给位置(树脂供给轨道)进行运算(或设定)。此外，通过吸引机构将从脱模膜切断模块1交接的脱模膜F吸附保持于工作台20的上表面，由此将作为供给对象物的脱模膜F供给至树脂供给装置2A。接着，控制部5基于运算出的目标供给量和目标供给位置，使装配有树脂供给装置2A的盒23的点胶机单元21移动，从喷嘴23b将液态树脂R供给到脱模膜F上(树脂供给步骤)。
在树脂供给步骤中，控制部5控制夹紧机构24中的喷嘴23b的排出口23c的开口面积成为最大，直到由重量传感器25检测的液态树脂R的重量成为规定重量(目标供给量)的规定比例(例如90％)为止(图6的(a))。然后，当由重量传感器25检测的液态树脂R的重量超过规定重量的规定比例时，控制部5通过控制夹紧机构24的电动马达24a的旋转，使环状凸轮53正向旋转，如图6的(b)、(c)所示地进行逐渐减小排出口23c的开口面积并逐渐减小从排出口23c排出的液态树脂R的每单位时间的排出量的控制。此时，也可以进行与减小排出口23c的开口面积相应地，减小将盒23的注射器23a内的液态树脂R推出的柱塞(未图示)的移动速度，使从喷嘴23b的排出口23c排出的液态树脂R的流速为一定的控制。然后，控制部5考虑液态树脂R的粘性，控制夹紧机构24和柱塞，使从排出口23c排出液态树脂R停止在规定重量(使剩余的液态树脂R不滴落)。
接着，使电动马达24a反向旋转以使环状凸轮53反向旋转。由此，与夹紧部55a的外端55d的接触部位处的凸轮面53b远离轴心X。如上所述，在邻接的夹紧构件55之间架设有压缩螺旋弹簧56，因此，通过压缩螺旋弹簧56的伸长力，四个夹紧构件55追随凸轮面53b远离轴心X的运动而向径向外侧移动。由此，去除夹紧构件55施加于喷嘴23b的顶端部分的力。喷嘴23b由硅橡胶等具有弹性的材料形成，因此，当去除夹紧构件55的力时，向内侧的凹陷消失，排出口23c的开口面积返回图6的(a)所示的初始状态。
接着，控制部5首先通过基板装载机41使树脂封装前基板Sa供给至上模UM，然后，对向树脂装载机12供给液态树脂R的脱模膜F进行保持并移动至压缩成型模块3，供给至下模LM。就是说，将树脂封装前基板Sa配置于上模UM，将脱模膜F配置于下模LM。然后，如图2所示，通过合模机构35将上模UM和下模LM合模来对已树脂封装的基板Sb进行树脂成型(树脂成型步骤)。在树脂成型完成后，通过基板装载机41将已树脂封装的基板Sb从压缩成型模块3输送至输送模块4，机器人臂45从基板装载机41接收已树脂封装的基板Sb，收纳于第二容纳部44(参照图1)。控制部5判定是否继续脱模膜F上的液态树脂R的供给，在继续树脂供给的情况下再次执行上述的控制，在不继续树脂供给的情况下结束控制。
〔第二实施方式〕
接着，使用图7，对第二实施方式的夹紧机构24进行说明。在本实施方式的夹紧机构24中，通过使用电动马达24e、板24f、楔(锥形构件的一个例子)24g来代替电动马达24a、带轮24b、正时带24d、环状凸轮53，使夹紧构件55沿径向移动。需要说明的是，在图7中，省略了注射器23a和装配构件26的显示。
在本实施方式的夹紧机构24中，电动马达24e为线性致动器，杆24e1通过电磁力进退。在杆24e1装配有板24f，根据杆24e1的进退上下移动。在与板24f的配置有杆24e1的板面相反的一侧的板面，在以轴心X为中心的周向上，以90度间隔配置有四个楔24g。各个楔24g在内侧(靠近轴心X的一侧)具有锥形面24g1。板24f和楔24g可以形成为一个构件，也可以形成为单独的零件，通过螺纹紧固、粘接等方法接合而一体化。
在沿轴心X的方向上，在相对于楔24g与板24f相反的一侧，配置有固定于未图示的装配构件26的环状固定部51。与第一实施方式同样，在位于喷嘴23b的排出口23c所在的一侧的环状固定部51的下表面51a，与楔24g的位置对应地配置有四个直动引导件54，夹紧构件55被配置为能沿各个直动引导件54相对移动。环状固定部51的上表面51d在轴心X延伸的轴心方向上与板24f分离地对置。与第一实施方式同样，在邻接的夹紧构件55之间架设有压缩螺旋弹簧56(未图示)。
在本实施方式中，夹紧构件55的夹紧部55a具有与轴心X平行地贯通环状固定部51的孔部51c而到达楔24g的锥形面24g1的臂55a1。在臂55a1的顶端装配有能相对于臂55a1相对旋转的辊(接触部的一个例子)55a2，辊55a2与楔24g的锥形面24g1接触。锥形面24g1形成为越靠近环状固定部51侧与轴心X的距离越长。
如图7的(a)所示，在初始状态下，电动马达24e的杆24e1后退，通过压缩螺旋弹簧56的作用，四个夹紧构件55相互向径向外侧最大限度地移动。此时，夹紧部55a的内端55c在喷嘴23b的外周接触或以微小距离接近，因此，喷嘴23b的排出口23c的形状保持圆形不变，开口面积也是排出口23c的本来的面积。
接着，如图7的(b)所示，使电动马达24e工作以使杆24e1前进。由此，板24f和楔24g向下方移动。当楔24g向下方移动时，锥形面24g1与辊55a2的接触位置变化，辊55a2在锥形面24g1上向靠近轴心X的方向移动。与此相伴，夹紧构件55向径向内侧移动，四个夹紧构件55的夹紧部55a的内端55c从外侧压入盒23的喷嘴23b的顶端部分来进行紧固。由此，喷嘴23b的外周中的四处被紧固而向内侧(轴心X侧)凹陷，排出口23c的形状变形为X字形，排出口23c的开口面积变小。
当使电动马达24e工作以使杆24e1后退时，板24f和楔24g向上方移动。由此，来自将辊55a2向轴心X的方向按压的锥形面24g1的力减少，因此，夹紧构件55通过压缩螺旋弹簧56的作用向径向外侧移动，喷嘴23b的顶端部分的来自夹紧构件55的力被去除，排出口23c的开口面积返回初始状态。
〔第三实施方式〕
接着，使用图8，对第三实施方式的夹紧机构24进行说明。在本实施方式的夹紧机构24中，通过使用连杆构件24h来代替第二实施方式的楔24g、辊55a2，使夹紧构件55沿径向移动。需要说明的是，在图8中，与图7同样，省略了注射器23a和装配构件26的显示。
在本实施方式的夹紧机构24中，电动马达24e为线性致动器，杆24e1通过电磁力进退。在杆24e1装配有板24f，根据杆24e1的进退而上下移动。在与板24f的配置有杆24e1的板面相反的一侧的板面，在以轴心X为中心的周向上，以90度间隔配置有四个连杆固定端24f1。板24f和连杆固定端24f1可以形成为一个构件，也可以形成为单独的零件，通过螺纹紧固、粘接等方法接合而一体化。
在沿轴心X的方向上，在相对于连杆固定端24f1与板24f相反的一侧，配置有固定于未图示的装配构件26的环状固定部51。与第二实施方式同样，在位于喷嘴23b的排出口23c所在的一侧的环状固定部51的下表面51a，与连杆固定端24f1的位置对应地配置有四个直动引导件54，夹紧构件55被配置为能在各个直动引导件54相对移动。环状固定部51的上表面51d在轴心X延伸的轴心方向上与板24f分离地对置。
在本实施方式中，夹紧构件55的夹紧部55a与第二实施方式同样，具有与轴心X平行地贯通环状固定部51的孔部51c的臂55a1。在臂55a1的顶端配置有将臂55a1与连杆固定端24f1相连的连杆构件24h。具体而言，连杆构件24h的一方端部装配于板24f的连杆固定端24f1，另一方端部在作为比一方端部靠近轴心X且靠近环状固定部51的位置的连杆自由端24h1处装配于夹紧部55a的臂55a1。
如图8的(a)所示，在初始状态下，电动马达24e的杆24e1后退，连杆构件24h相对于轴心X倾斜约45度，四个夹紧构件55均向径向外侧移动。此时，夹紧部55a的内端55c在喷嘴23b的外周接触或以微小距离接近，因此，喷嘴23b的排出口23c的形状保持圆形不变，开口面积也是排出口23c的本来的面积。
接着，如图8的(b)所示，使电动马达24e工作以使杆24e1前进。由此，板24f和连杆固定端24f1向下方移动。即使连杆固定端24f1向下方移动，处于比其靠近轴心X侧的连杆自由端24h1在上下方向上的位置也不会变化，因此，连杆构件24h相对于轴心X的倾斜变大(约70度)，连杆自由端24h1向靠近轴心X的方向移动。与此相伴，夹紧构件55向径向内侧移动，四个夹紧构件55的夹紧部55a的内端55c从外侧压入盒23的喷嘴23b的顶端部分来进行紧固。由此，喷嘴23b的外周中的四处被紧固而向内侧(轴心X侧)凹陷，排出口23c的形状变形为X字形，排出口23c的开口面积变小。
当使电动马达24e工作以使杆24e1后退时，板24f和连杆固定端24f1向上方移动。由此，连杆构件24h相对于轴心X的倾斜变小，连杆自由端24h1向远离轴心X的方向移动。由此，夹紧构件55向径向外侧移动，喷嘴23b的顶端部分的来自夹紧构件55的力被去除，排出口23c的开口面积返回初始状态。需要说明的是，在本实施方式中，能通过连杆构件24h的动作使夹紧构件55靠近或远离轴心X，因此，无需使用在上述实施方式中使用的压缩螺旋弹簧56。
〔其他实施方式〕
以下，为了容易理解，使用相同的术语、附图标记，对与上述的实施方式同样的构件进行说明。
＜1＞在上述的实施方式中，排出口23c的形状为四次旋转对称形状，但并不限定于此。排出口23c的形状只要是三次以上的旋转对称形状即可。此时，夹紧构件55需要与旋转对称形状的旋转对称数为相同数量。
＜2＞在上述的实施方式中，将液态树脂R用作树脂材料，但并不限定于此，也可以使用粉体树脂。在粉体树脂的情况下，与液态树脂R相比，流动性低，因此，需要更均匀地供给至脱模膜F。因此，排出口23c的形状优选为三次以上的旋转对称形状。例如，与三次以上的旋转对称形状相比，通过椭圆的二次旋转对称形状难以均匀地供给粉体树脂。
＜3＞在上述的实施方式中，如图6的(c)所示，在喷嘴23b的排出口23c的开口面积虽变小但不为零的状态下，控制部5控制夹紧机构24和柱塞，使来自排出口23c的液态树脂R的排出停止在规定重量(使剩余的液态树脂R不滴落)，但并不限定于此。例如，也可以构成为：通过使夹紧部55a的从轴心X的方向观察到的形状为楔形等并减小内端55c的曲面的半径，在通过夹紧构件55从外侧压入喷嘴23b的顶端部分时，喷嘴23b的排出口23c的开口面积成为零。
＜4＞在上述的实施方式中，如图6的(c)所示，在喷嘴23b的排出口23c的开口面积虽变小但不为零的状态下，控制部5控制夹紧机构24和柱塞，使来自排出口23c的液态树脂R的排出停止在规定重量(使剩余的液态树脂R不滴落)，但并不限定于此。例如，也可以构成为在结束向脱模膜F供给规定重量的液态树脂R之后，在喷嘴23b与脱模膜F之间配置杯等树脂承接构件。由此，即使假设剩余的液态树脂R从排出口23c滴下，也能通过树脂承接构件来承接，而不供给到脱模膜F上。
＜5＞在上述的实施方式中，如图6的(c)所示，在喷嘴23b的排出口23c的开口面积虽变小但不为零的状态下，控制部5控制夹紧机构24和柱塞，使来自排出口23c的液态树脂R的排出停止在规定重量(使剩余的液态树脂R不滴落)，但并不限定于此。例如，也可以在喷嘴23b中的比夹紧构件55靠近注射器23a的位置，设置从两侧夹入喷嘴23b而使供喷嘴23b的液态树脂R通过的流路的截面积为零的其他的夹紧机构。
＜6＞在上述的第二实施方式、第三实施方式中，将线性致动器用作电动马达24e，但也可以使用与第一实施方式同样的电动马达24a。在该情况下，使用滚珠丝杠来代替杆24e1，在板24f形成内螺纹来与滚珠丝杠螺合。由此，当电动马达24a旋转时，滚珠丝杠旋转，由此板24f上下移动。
＜7＞在上述的第二实施方式中，楔24g的锥形面24g1形成为越靠近环状固定部51侧，与轴心X的距离越长，但并不限定于此。例如，与此相反，楔24g的锥形面24g1也可以形成为越远离环状固定部51侧，与轴心X的距离越长。在该情况下，当楔24g向上方移动时，夹紧构件55向径向内侧移动，四个夹紧构件55的夹紧部55a的内端55c从外侧压入盒23的喷嘴23b的顶端部分来进行紧固。
＜8＞在上述的第二实施方式和另一实施方式＜7＞中，辊55a2与楔24g的锥形面24g1接触，但并不限定于此。例如，也可以构成为不使用辊55a2而使臂55a1直接与锥形面24g1接触，臂55a1在锥形面24g1上滑动(slid)。
＜9＞在上述的第二实施方式和另一实施方式＜7＞、＜8＞中，使用了四个楔24g，但并不限定于此。例如，也可以使用在轴心X的整个周围具有锥形面24g1的研钵状的构件来代替楔24g。
＜10＞在上述的第三实施方式中，构成为连杆构件24h的连杆自由端24h1比连杆固定端24f1靠近轴心X，但并不限定于此。例如，也可以构成为连杆构件24h的连杆自由端24h1位于比连杆固定端24f1远离轴心X的位置。在该情况下，当连杆固定端24f1向上方移动时，夹紧构件55向径向内侧移动，四个夹紧构件55的夹紧部55a的内端55c从外侧压入盒23的喷嘴23b的顶端部分来进行紧固。
＜11＞在上述的实施方式中，树脂供给装置2A的点胶机单元21为纵向(Z方向)，但并不限定于此。例如，也可以将树脂供给装置2A的点胶机单元21设为横向(Y方向)。
＜12＞在上述的实施方式中，分别设置脱模膜切断模块1和树脂供给模块2，形成为双模块结构，但并不限定于此。例如，也可以在树脂供给模块2的内部设置脱模膜切断机构来形成单模块结构。
＜13＞上述的实施方式的基板S也可以是圆形状、矩形状等各种形状。基板S的尺寸也没有特别限定，但更优选为液态树脂R的供给范围宽、树脂供给装置2A的点胶机单元21的移动距离大的大尺寸基板(例如，直径300mm、300mm见方等的基板)。
＜14＞在上述的实施方式中，以芯片朝下(die-down)的压缩方式进行了说明，但作为芯片朝上(die-up)的压缩方式，也可以将基板等成型对象物作为在树脂供给装置2A中供给树脂的供给对象物。此外，也可以省略脱模膜F，将成型模M作为在树脂供给装置2A中供给树脂的供给对象物。
＜15＞在上述的实施方式中，将夹紧机构24用于树脂成型装置D的树脂供给装置2A，但并不限定于此。例如，也可以将夹紧机构24应用于对引线框架供给导电性膏等粘接剂来将半导体芯片接合的所谓的芯片接合(die-bonding)。只要将夹紧机构24应用于芯片接合，不使喷嘴23b相对于引线框架相对移动，就能X字形地供给粘接剂。而且，只要在夹紧机构24未夹紧喷嘴23b的状态下进行粘接剂的供给动作，就能圆形地供给粘接剂，能以不同的形状进行粘接剂供给。
〔上述实施方式的概要〕
以下，对在上述的实施方式中进行了说明的树脂供给装置2A、树脂成型装置D以及树脂成型品(已树脂封装的基板Sb)的制造方法的概要进行说明。
(1)树脂供给装置2A的特征构成在于，具备：树脂供给机构(注射器23a)，供给容纳于内部的树脂材料(液态树脂R)；喷嘴23b，由弹性材料构成，具有排出树脂供给机构(注射器23a)内的树脂材料(液态树脂R)的排出口23c；以及夹紧机构24，从外侧压入喷嘴23b的顶端部分，使喷嘴23b的排出口23c的形状成为相对于喷嘴23b的轴心X旋转对称三次以上的旋转对称形状，并且使排出口23c的开口面积变化。
在压缩成型模块3中，为了高精度地制造已树脂封装的基板Sb，在树脂供给装置2A中，需要高精度地将成为规定重量的液态树脂R供给(排出)到脱模膜F上。但是，如上所述，只能通过更换喷嘴23b来改变喷嘴23b的排出口23c的开口面积，无法兼顾已树脂封装的基板Sb的高生产性和液态树脂R的高精度排出。但是，在本实施方式的树脂供给装置2A中，能通过夹紧机构24使喷嘴23b的排出口23c的形状成为相对于轴心X旋转对称三次以上的旋转对称形状，并且使排出口23c的开口面积变化，因此，不更换喷嘴23b，就能兼顾已树脂封装的基板Sb的高生产性和液态树脂R的高精度排出。如此，能够提供能容易进行维护，并且能使每单位时间的树脂材料的排出量变化的树脂供给装置2A。
(2)在树脂供给装置2A中，也可以是，夹紧机构24具有与旋转对称形状的旋转对称数相同数量的夹紧构件55,该夹紧构件55沿周向配置于喷嘴23b的外侧，并压入顶端部分。
如本构成所述，只要具有与旋转对称形状的旋转对称数相同数量的沿周向配置于喷嘴23b的外侧的夹紧构件55，就能在夹紧机构24中，在可靠地从喷嘴23b的外侧压入而使排出口23c的形状成为三次以上的旋转对称形状的状态下，使开口面积变化以使每单位时间的液态树脂R的排出量变化。
(3)在树脂供给装置2A中，也可以是，夹紧机构24具备：环状固定部51，包围喷嘴23b的周围；环状凸轮53，至少一部分配置于环状固定部51的侧方的外周侧，在所述环状凸轮53的内周侧具有使力作用于夹紧构件55的凸轮面53b；轴承构件(轴承52)，配置于环状固定部51与环状凸轮53之间，将环状凸轮53保持为能相对于环状固定部51相对旋转；以及直动引导件54，设于环状固定部51的下表面51a，引导夹紧构件55的移动，夹紧构件55随着环状凸轮53的旋转而沿直动引导件54朝向喷嘴23b移动并压入喷嘴23b的顶端部分。
只要是本构成，就能通过使环状凸轮53旋转的简便的方法，使夹紧构件55沿直动引导件54朝向喷嘴23b移动并压入喷嘴23b的顶端部分。
(4)在树脂供给装置2A中，也可以是，夹紧机构24具备：环状固定部51，包围喷嘴23b的周围；板24f，在轴心X延伸的轴心方向上与环状固定部51的上表面51d对置，能相对于环状固定部51沿轴心X方向相对移动；锥形构件(楔24g)，在环状固定部51与板24f之间设于板24f，在内侧具有锥形面24g1；以及直动引导件54，设于环状固定部51的下表面51a，引导夹紧构件55的移动，夹紧构件55具有与锥形构件(楔24g)的锥形面24g1接触的接触部(辊55a2)，通过伴随着板24f相对于环状固定部51的相对移动的接触部(辊55a2)在锥形面24g1上的移动，夹紧构件55沿直动引导件54朝向喷嘴23b移动并压入喷嘴23b的顶端部分。在此，环状固定部51的上表面51d也可以在轴心X延伸的轴心方向上与板24f隔开间隔，即分离地对置。
只要是本构成，就能通过使楔24g相对于环状固定部51相对移动的简便的方法，使夹紧构件55沿直动引导件54朝向喷嘴23b移动并压入喷嘴23b的顶端部分。
(5)在树脂供给装置2A中，也可以是，夹紧机构24在沿周向邻接的夹紧构件55之间还具备弹性构件(压缩螺旋弹簧56)。
如本构成所述，只要具备压缩螺旋弹簧56，就能通过压缩螺旋弹簧56的伸长力，使夹紧构件55从凸轮面53b的轴心X可靠地向径向外侧移动，能将喷嘴23b的排出口23c的形状和开口面积返回初始状态。
(6)在树脂供给装置2A中，也可以是，夹紧机构24具备：环状固定部51，包围喷嘴23b的周围；板24f，在轴心X延伸的轴心方向上与环状固定部51的上表面51d对置，能相对于环状固定部51沿轴心X方向相对移动；连杆构件24h，在环状固定部51与板24f之间，一方端部装配于板24f，另一方端部装配于夹紧构件55；以及直动引导件54，设于环状固定部51的下表面51a，引导夹紧构件55的移动，通过伴随着板24f相对于环状固定部51的相对移动的连杆构件24h的旋转，夹紧构件55沿直动引导件54朝向喷嘴23b移动并压入喷嘴23b的顶端部分。在此，环状固定部51的上表面51d也可以在轴心X延伸的轴心方向上与板24f隔开间隔，即分离地对置。
只要是本构成，就能通过使连杆构件24h旋转的简便的方法，使夹紧构件55沿直动引导件54朝向喷嘴23b移动并压入喷嘴23b的顶端部分。
(7)树脂成型装置D的特征构成在于，具备：上述(1)～(6)中任一项所述的树脂供给装置2A；成型模M，包括相互对置配置的上模UM和下模LM；合模机构35，在将从树脂供给装置2A排出的树脂材料(液态树脂R)配置于上模UM与下模LM之间的状态下，将成型模M合模。
在本构成的树脂成型装置D中，能通过树脂供给装置2A的夹紧机构24使喷嘴23b的排出口23c的形状成为相对于轴心X旋转对称三次以上的旋转对称形状，并且使排出口23c的开口面积变化，因此，不更换喷嘴23b，就能兼顾已树脂封装的基板Sb的高生产性和液态树脂R的高精度排出。如此，能够提供能容易进行维护，并且能使每单位时间的树脂材料的排出量变化的树脂成型装置D。
(8)使用上述(7)的树脂成型装置D的树脂成型品(已树脂封装的基板Sb)的制造方法的特征在于，包括：树脂供给步骤，使用树脂供给装置2A，在通过夹紧机构24压入喷嘴23b的顶端部分的状态下，对供给对象物(脱模膜F)供给树脂材料(液态树脂R)；以及树脂成型步骤，使用在树脂供给步骤中供给的树脂材料(液态树脂R)来进行树脂成型。
在本方法中，包括在通过树脂供给装置2A的夹紧机构24将喷嘴23b的顶端部分压入的状态下，对脱模膜F供给液态树脂R的树脂供给步骤，因此，不更换喷嘴23b，就能兼顾已树脂封装的基板Sb的高生产性和液态树脂R的高精度排出。如此，能够提供能容易进行维护，并且能使每单位时间的树脂材料的排出量变化的已树脂封装的基板Sb的制造方法。
工业上的可利用性
本公开能利用于树脂供给装置、树脂成型装置以及树脂成型品的制造方法。
附图标记说明：
2A：树脂供给装置；
23a：注射器(树脂供给机构)；
23b：喷嘴；
23c：排出口；
24：夹紧机构；
24f：板；
24g：楔(锥形构件)；
24g1：锥形面；
24h：连杆构件；
35：合模机构；
51：环状固定部；
51a：下表面；
51b：侧面；
51d：上表面；
52：轴承(轴承构件)；
53：环状凸轮；
53b：凸轮面；
54：直动引导件；
55：夹紧构件；
55a2：辊(接触部)；
56：压缩螺旋弹簧(弹性构件)；
D：树脂成型装置；
F：脱模膜(供给对象物)；
LM：下模；
M：成型模；
R：液态树脂R(树脂材料)；
Sb：已树脂封装的基板(树脂成型品)；
UM：上模；
X：轴心。

Claims (8)

1.一种树脂供给装置，具备：
树脂供给机构，供给容纳于内部的树脂材料；
喷嘴，由弹性材料构成，具有排出所述树脂供给机构内的所述树脂材料的排出口；以及
夹紧机构，从外侧压入所述喷嘴的顶端部分，使所述喷嘴的所述排出口的形状成为相对于所述喷嘴的轴心旋转对称三次以上的旋转对称形状，并且使所述排出口的开口面积变化。
2.根据权利要求1所述的树脂供给装置，其中，
所述夹紧机构具有与所述旋转对称形状的旋转对称数相同数量的夹紧构件，所述夹紧构件沿周向配置在所述喷嘴的外侧，压入所述顶端部分。
3.根据权利要求2所述的树脂供给装置，其中，
所述夹紧机构具备：
环状固定部，包围所述喷嘴的周围；
环状凸轮，至少一部分配置于所述环状固定部的侧方的外周侧，在所述环状凸轮的内周侧具有使力作用于所述夹紧构件的凸轮面；
轴承构件，配置于所述环状固定部与所述环状凸轮之间，将所述环状凸轮保持为能相对于所述环状固定部相对旋转；以及
直动引导件，设于所述环状固定部的下表面，引导所述夹紧构件的移动，
所述夹紧构件随着所述环状凸轮的旋转而沿所述直动引导件朝向所述喷嘴移动并压入所述喷嘴的所述顶端部分。
4.根据权利要求2所述的树脂供给装置，其中，
所述夹紧机构具备：
环状固定部，包围所述喷嘴的周围；
板，在所述轴心延伸的轴心方向上与所述环状固定部的上表面对置，能相对于所述环状固定部沿所述轴心方向相对移动；
锥形构件，在所述环状固定部与所述板之间设于所述板，在内侧具有锥形面；以及
直动引导件，设于所述环状固定部的下表面，引导所述夹紧构件的移动，
所述夹紧构件具有与所述锥形构件的所述锥形面接触的接触部，
通过伴随着所述板相对于所述环状固定部的相对移动的所述接触部在所述锥形面上的移动，所述夹紧构件沿所述直动引导件朝向所述喷嘴移动并压入所述喷嘴的所述顶端部分。
5.根据权利要求3或4所述的树脂供给装置，其中，
所述夹紧机构在沿周向邻接的所述夹紧构件之间还具备弹性构件。
6.根据权利要求2所述的树脂供给装置，其中，
所述夹紧机构具备：
环状固定部，包围所述喷嘴的周围；
板，在所述轴心延伸的轴心方向上与所述环状固定部的上表面对置，能相对于所述环状固定部沿所述轴心方向相对移动；
连杆构件，在所述环状固定部与所述板之间，一方端部装配于所述板，另一方端部装配于所述夹紧构件；以及
直动引导件，设于所述环状固定部的下表面，引导所述夹紧构件的移动，
通过伴随着所述板相对于所述环状固定部的相对移动的所述连杆构件的旋转，所述夹紧构件沿所述直动引导件朝向所述喷嘴移动并压入所述喷嘴的所述顶端部分。
7.一种树脂成型装置，具备：
如权利要求1～6中任一项所述的树脂供给装置；
成型模，包括相互对置配置的上模和下模；以及
合模机构，在从所述树脂供给装置排出的所述树脂材料配置于所述上模与所述下模之间的状态下，将所述成型模合模。
8.一种树脂成型品的制造方法，是使用如权利要求7所述的树脂成型装置的树脂成型品的制造方法，包括：
树脂供给步骤，使用所述树脂供给装置，在通过所述夹紧机构压入所述喷嘴的所述顶端部分的状态下，对供给对象物供给所述树脂材料；以及
树脂成型步骤，使用在所述树脂供给步骤中供给的所述树脂材料来进行树脂成型。
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