CN116759487A - 石墨舟装卸片机及硅片装卸方法 - Google Patents

石墨舟装卸片机及硅片装卸方法 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种石墨舟装卸片机及硅片装卸方法，石墨舟装卸片机包括接驳机构和硅片装卸机构，接驳机构上设置有第一石墨舟输送组件，硅片装卸机构上设置有机器人、石墨舟循环输送组件和石墨舟缓存组件，石墨舟循环输送组件围绕机器人设置，石墨舟循环输送组件包括第一装卸工位和第二装卸工位，第一装卸工位和第二装卸工位间隔设置，且位于机器人的相对两侧，石墨舟缓存组件设于石墨舟循环输送组件一侧，用于接收石墨舟循环输送组件上的石墨舟，第一石墨舟输送组件用于输送石墨舟至石墨舟循环输送组件以及从石墨舟缓存组件上接收石墨舟，机器人用于给石墨舟进行硅片装卸。本发明可以简化机器人的运行路径，提高装卸效率。

Description

石墨舟装卸片机及硅片装卸方法
技术领域
本发明涉及光伏制造设备技术领域，特别涉及一种石墨舟装卸片机及硅片装卸方法。
背景技术
全自动石墨舟装卸片机作为光伏制造业自动化设备的典型代表，用于太阳能电池片生产过程中的PECVD工艺前后，将硅片自动装载到石墨舟中或将石墨舟中的硅片自动装载到片篮中，其具有自动化及生产效率高、减少人工与硅片的接触污染、大幅度增加取放片的稳定性等特点，被业界公认为光伏制造行业的重点设备。硅片在石墨舟内装卸需要机器人吸取硅片进行装卸，石墨舟从接驳设备流入硅片装卸设备，机器人需要先给石墨舟的一侧装卸硅片，给石墨舟的另一侧装卸硅片时，机器人的前端吸取装置需要旋转180°，装卸硅片时机器人运行的路径复杂，硅片装卸完成后再返回，机器人需要等待石墨舟再次流入硅片装卸设备，耗时较多，影响装卸效率。
发明内容
本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明提出一种石墨舟装卸片机及硅片装卸方法，解决了现有技术中装卸硅片时机器人运行的路径复杂，耗时较多，影响装卸效率的问题。
根据本发明实施例的石墨舟装卸片机，包括：
接驳机构，所述接驳机构上设置有第一石墨舟输送组件；
硅片装卸机构，与所述接驳机构并列设置，所述硅片装卸机构上设置有机器人、石墨舟循环输送组件和石墨舟缓存组件，所述石墨舟循环输送组件围绕所述机器人设置，所述石墨舟循环输送组件包括第一装卸工位和第二装卸工位，所述第一装卸工位和所述第二装卸工位间隔设置，且位于所述机器人的相对两侧，所述石墨舟缓存组件设于所述石墨舟循环输送组件一侧，用于接收所述石墨舟循环输送组件上的石墨舟，所述第一石墨舟输送组件用于输送石墨舟至所述石墨舟循环输送组件以及从所述石墨舟缓存组件上接收石墨舟，所述机器人用于给石墨舟进行硅片装卸；
当石墨舟从所述第一装卸工位运送至所述第二装卸工位时，石墨舟靠近所述机器人一侧变为远离所述机器人一侧。
根据本发明实施例的石墨舟装卸片机，至少具有如下有益效果：
第一石墨舟输送组件可以接收上游设备的石墨舟，并输送至石墨舟循环输送组件上，石墨舟靠近(或远离)机器人的一侧在第一装卸工位装卸硅片，石墨舟从第一装卸工位运送至第二装卸工位时，石墨舟上完成装卸的一侧变为远离(或靠近)机器人的一侧，石墨舟上未完成装卸的一侧变为靠近(或远离)机器人，使得位于第一装卸工位和第二装卸工位上的石墨舟等待机器人装卸的一侧均为靠近(或远离)机器人的一侧，使得机器人在给第一装卸工位和第二装卸工位上的石墨舟装卸硅片时，机器人的前端吸取装置不需要转动180°，装卸硅片时机器人运行的路径简化，石墨舟在第二装卸工位装卸硅片时，后续石墨舟可以流入第一装卸工位等待硅片装卸，石墨舟可以在石墨舟缓存组件上停留，方便后续石墨舟沿第一石墨舟输送组件输送至硅片输送机构，可以减少机器人等待时间，提高装卸效率。
根据本发明的一些实施例，所述接驳机构位于所述硅片装卸机构沿所述硅片装卸机构的长度方向的一端，所述石墨舟循环输送组件呈U型布局设置，所述石墨舟循环输送组件一端靠近所述接驳机构，另一端靠近所述石墨舟缓存组件，所述第一装卸工位和所述第二装卸工位位于所述机器人沿所述硅片装卸机构的宽度方向的相对两侧。
根据本发明的一些实施例，所述石墨舟循环输送组件包括第二石墨舟输送组件、第三石墨舟输送组件和第四石墨舟输送组件，所述第二石墨舟输送组件和所述第四石墨舟输送组件间隔设置，且位于所述机器人沿所述硅片装卸机构的宽度方向的相对两侧，所述第一装卸工位位于所述第二石墨舟输送组件上，所述第二装卸工位位于所述第四石墨舟输送组件上，所述第二石墨舟输送组件用于接收所述第一石墨舟输送组件的石墨舟，所述第三石墨舟输送组件用于将所述第二石墨舟输送组件上的石墨舟运输至所述第四石墨舟输送组件，所述第四石墨舟输送组件用于将石墨舟运输至所述石墨舟缓存组件上。
根据本发明的一些实施例，所述第一石墨舟输送组件包括相连接的第一传送带组件和第一横移组件，所述第二石墨舟输送组件包括第二传送带组件，所述第三石墨舟输送组件包括相连接的第三传送带组件和第二横移组件，所述第四石墨舟输送组件包括第四传送带组件，所述石墨舟缓存组件包括第五传送带组件，所述第一传送带组件、所述第二传送带组件、所述第三传送带组件、所述第四传送带组件和所述第五传送带组件的运输方向为所述硅片装卸机构的长度方向，所述第一横移组件和所述第二横移组件的运输方向为所述硅片装卸机构的宽度方向。
根据本发明的一些实施例，所述石墨舟缓存组件还包括石墨舟移运组件，所述石墨舟移运组件的运输方向为所述硅片装卸机构的宽度方向，所述石墨舟移运组件包括石墨舟机械手。
根据本发明的一些实施例，石墨舟装卸片机还包括硅片输送机构，所述硅片输送机构设于所述硅片装卸机构远离所述接驳机构一端，所述硅片输送机构包括硅片输送组件和片篮输送组件，所述硅片输送组件的一端位于所述第三石墨舟输送组件上方，且靠近所述机器人设置，所述片篮输送组件用于给所述硅片输送组件输送硅片或接收所述硅片输送组件的硅片。
根据本发明的一些实施例，所述硅片输送机构还包括硅片检测组件和不良品排出组件，所述硅片检测组件设于所述硅片输送组件一侧，用于检测所述硅片输送组件上的硅片，所述硅片检测组件包括面阵相机或线阵相机，所述不良品排出组件包括硅片移运组件和不良品盒，所述硅片移运组件用于将所述硅片检测组件检测不合格的硅片移运至所述不良品盒。
一种硅片装卸方法，其包括如下步骤：
S1、石墨舟从上游设备流入所述接驳机构；
S2、石墨舟从所述接驳机构流入所述硅片装卸机构，石墨舟流入所述第一装卸工位，所述机器人给石墨舟的一侧装卸硅片；
S3、石墨舟流入所述第二装卸工位，所述机器人给石墨舟的另一侧装卸硅片；
S4、石墨舟流入所述石墨舟缓存组件；
S5、石墨舟从所述石墨舟缓存组件流入所述接驳机构，再从所述接驳机构流入所述上游设备。
根据本发明实施例的硅片装卸方法，至少具有如下有益效果：
第一石墨舟输送组件可以接收上游设备的石墨舟，并输送至石墨舟循环输送组件上，石墨舟靠近(或远离)机器人的一侧在第一装卸工位装卸硅片，石墨舟从第一装卸工位运送至第二装卸工位时，石墨舟上完成装卸的一侧变为远离(或靠近)机器人的一侧，石墨舟上未完成装卸的一侧变为靠近(或远离)机器人，使得位于第一装卸工位和第二装卸工位上的石墨舟等待机器人装卸的一侧均为靠近(或远离)机器人的一侧，使得机器人在给第一装卸工位和第二装卸工位上的石墨舟装卸硅片时，机器人的前端吸取装置不需要转动180°，装卸硅片时机器人运行的路径简化，石墨舟在第二装卸工位装卸硅片时，后续石墨舟可以流入第一装卸工位等待硅片装卸，石墨舟可以在石墨舟缓存组件上停留，方便后续石墨舟沿第一石墨舟输送组件输送至硅片输送机构，可以减少机器人等待时间，提高装卸效率。
根据本发明的一些实施例，所述第一石墨舟输送组件包括两个第一工位，所述石墨舟循环输送组件包括依次设置的第二工位、所述第一装卸工位、两个第三工位和所述第二装卸工位，所述第二工位用于接收所述第一工位的石墨舟，所述石墨舟缓存组件包括第四工位和缓存工位，所述第四工位用于接收所述第二装卸工位的石墨舟以及将石墨舟输送至所述缓存工位或所述第一工位，所述缓存工位用于接收所述第四工位的石墨舟或输送石墨舟至所述第四工位；
两个石墨舟设为一个石墨舟组，所述石墨舟组包括第一石墨舟和第二石墨舟；
步骤S2包括：S21、所述第一石墨舟流入所述第一装卸工位，所述第二石墨舟流入第二工位，所述机器人给所述第一石墨舟的一侧装卸硅片；
S22、所述第一石墨舟流入第三工位，所述第二石墨舟流入所述第一装卸工位，所述机器人给所述第二石墨舟的一侧装卸硅片；
所述步骤S3包括：S31、所述第一石墨舟流入所述第二装卸工位，所述第二石墨舟流入所述第三工位，所述机器人给所述第一石墨舟的另一侧装卸硅片；
所述步骤S4包括：S41、所述第一石墨舟经所述第四工位流入所述缓存工位，所述第二石墨舟流入所述第二装卸工位，所述机器人给所述第二石墨舟的另一侧装卸硅片；
所述步骤S5包括S51、所述第二石墨舟经所述第四工位和所述第一工位流入所述上游设备，所述第一石墨舟经所述第四工位和所述第一工位流入所述上游设备。
根据本发明的一些实施例，所述石墨舟组设置有三组，分别为第一石墨舟组、第二石墨舟组和第三石墨舟组，所述第一石墨舟和所述第二石墨舟组成所述第一石墨舟组，所述第二石墨舟组包括第三石墨舟和第四石墨舟，所述第三石墨舟组包括第五石墨舟和第六石墨舟；
所述步骤S2包括：S23、所述第三石墨舟和所述第四石墨舟从所述上游设备流入两个所述第一工位；
所述步骤S3包括：S32、所述第三石墨舟流入所述第一装卸工位，所述第四石墨舟流入第二工位，所述机器人给所述第三石墨舟的一侧装卸硅片；
所述步骤S4包括：S42、所述第三石墨舟流入所述第三工位，所述第四石墨舟流入所述第一装卸工位，所述机器人给所述第四石墨舟的一侧装卸硅片，所述第五石墨舟和所述第六石墨舟从所述上游设备流入两个所述第一工位；
所述步骤S5包括：
S52、所述第三石墨舟流入所述第二装卸工位，所述第四石墨舟流入所述第三工位，所述机器人给所述第三石墨舟的另一侧装卸硅片，所述第五石墨舟流入所述第一装卸工位，所述第六石墨舟流入第二工位，所述机器人给所述第五石墨舟的一侧装卸硅片；
S53、所述第一石墨舟和所述第二石墨舟从所述上游设备流入两个所述第一工位，所述第三石墨舟流入所述缓存工位，所述第四石墨舟流入所述第二装卸工位，所述机器人给所述第四石墨舟的另一侧装卸硅片，所述第五石墨舟流入所述第三工位，所述第六石墨舟流入所述第一装卸工位，所述机器人给所述第六石墨舟的一侧装卸硅片；
S54、所述第四石墨舟经所述第四工位和两个所述第一工位流入所述上游设备，所述第三石墨舟经所述第四工位和两个所述第一工位流入所述上游设备，所述第五石墨舟流入所述第二装卸工位，所述第六石墨舟流入所述第三工位，所述机器人给所述第五石墨舟的另一侧装卸硅片，所述第一石墨舟流入所述第一装卸工位，所述第二石墨舟流入第二工位，所述机器人给所述第一石墨舟的一侧装卸硅片；
S55、所述第三石墨舟和所述第四石墨舟从所述上游设备流入两个所述第一工位，所述第五石墨舟流入所述缓存工位，所述第六石墨舟流入所述第二装卸工位，所述机器人给所述第六石墨舟的另一侧装卸硅片，所述第一石墨舟流入所述第三工位，所述第二石墨舟流入所述第一装卸工位，所述机器人给所述第二石墨舟的一侧装卸硅片；
S56、所述第六石墨舟经所述第四工位和两个所述第一工位流入所述上游设备，所述第五石墨舟经所述第四工位和两个所述第一工位流入所述上游设备，所述第一石墨舟流入所述第二装卸工位，所述第二石墨舟流入所述第三工位，所述机器人给所述第一石墨舟的另一侧装卸硅片，所述第三石墨舟流入所述第一装卸工位，所述第四石墨舟流入第二工位，所述机器人给所述第三石墨舟的一侧装卸硅片，此后返回至步骤S41，三组所述石墨舟组在所述石墨舟装卸片机内流转。
本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明做进一步的说明，其中：
图1为本发明一种实施例的石墨舟装卸片机的结构示意图；
图2为本发明一种实施例的石墨舟装卸片机去除硅片输送机构后的结构示意图；
图3为本发明一种实施例的石墨舟装卸片机的第一石墨舟输送组件的结构示意图；
图4为本发明一种实施例的石墨舟装卸片机的硅片输送机构的结构示意图；
图5为本发明一种实施例的石墨舟装卸片机上机器人、第一工位、第二工位、第一装卸工位、第三工位、第二卸工位、第四工位和缓存工位的位置示意图；
图6为本发明一种实施例的硅片装卸方法的流程示意图。
附图标号：
100、接驳机构；110、第一石墨舟输送组件；111、第一传送带组件；1111、第一工位；1112、传送电机；1113、第一皮带；112、第一横移组件；1121、横移电机；1122、第二皮带；1123、滑轨；
200、硅片装卸机构；210、石墨舟循环输送组件；211、第二石墨舟输送组件；2111、第二工位；2112、第一装卸工位；2113、第二传送带组件；212、第三石墨舟输送组件；2121、第三工位；2122、第三传送带组件；2123、第二横移组件；213、第四石墨舟输送组件；2131、第二装卸工位；2132、第四传送带组件；220、石墨舟缓存组件；221、第五传送带组件；2211、第四工位；222、石墨舟移运组件；2221、缓存工位；230、机器人；
300、硅片输送机构；310、硅片输送组件；311、硅片传送带组件；312、硅片堆叠组件；320、片篮输送组件；321、片篮传送带组件；322、片篮横移组件；323、片篮升降组件；330、硅片检测组件；331、面阵相机；340、不良品排出组件；341、硅片移运组件；342、不良品盒；
410、第一石墨舟；420、第二石墨舟；430、第三石墨舟；440、第四石墨舟；450、第五石墨舟；460、第六石墨舟。
具体实施方式
下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
请参阅图1、图2和图3，根据本发明实施例的石墨舟装卸片机，包括接驳机构100和硅片装卸机构200。接驳机构100上设置有第一石墨舟输送组件110，硅片装卸机构200与接驳机构100并列设置。硅片装卸机构200上设置有机器人230、石墨舟循环输送组件210和石墨舟缓存组件220，石墨舟循环输送组件210围绕机器人230设置。石墨舟循环输送组件210包括第一装卸工位2112和第二装卸工位2131，第一装卸工位2112和第二装卸工位2131间隔设置，第一装卸工位2112和第二装卸工位2131位于机器人230的相对两侧。石墨舟缓存组件220设于石墨舟循环输送组件210一侧，石墨舟缓存组件220用于接收石墨舟循环输送组件210上的石墨舟，第一石墨舟输送组件110用于输送石墨舟至石墨舟循环输送组件210以及从石墨舟缓存组件220上接收石墨舟，机器人230用于给石墨舟进行硅片装卸。当石墨舟从第一装卸工位2112运送至第二装卸工位2131时，石墨舟靠近机器人230一侧变为远离机器人230一侧。
第一石墨舟输送组件110可以接收上游设备的石墨舟，并输送至石墨舟循环输送组件210上。石墨舟靠近(或远离)机器人230的一侧在第一装卸工位2112装卸硅片，石墨舟从第一装卸工位2112运送至第二装卸工位2131时，石墨舟上完成装卸的一侧变为远离(或靠近)机器人230的一侧，石墨舟上未完成装卸的一侧变为靠近(或远离)机器人230；使得位于第一装卸工位2112和第二装卸工位2131上的石墨舟等待机器人230装卸的一侧均为靠近(或远离)机器人230的一侧，使得机器人230在给第一装卸工位2112和第二装卸工位2131上的石墨舟装卸硅片时，机器人230的前端吸取装置不需要转动180°；装卸硅片时机器人230运行的路径简化。石墨舟在第二装卸工位2131装卸硅片时，后续石墨舟可以流入第一装卸工位2112等待硅片装卸。石墨舟可以在石墨舟缓存组件220上停留，方便后续石墨舟沿第一石墨舟输送组件110输送至硅片输送机构300，可以减少机器人230等待时间，提高装卸效率。
在一些实施例中，参阅图1、图2和图3，接驳机构100位于硅片装卸机构200沿硅片装卸机构200的长度方向的一端，石墨舟循环输送组件210呈U型布局设置。石墨舟循环输送组件210的一端靠近接驳机构100，石墨舟循环输送组件210的另一端靠近石墨舟缓存组件220，第一装卸工位2112和第二装卸工位2131位于机器人230沿硅片装卸机构200的宽度方向的相对两侧。
接驳机构100对接上游设备，接驳机构100位于硅片装卸机构200沿硅片装卸机构200的长度方向的一端，接驳机构100可以在硅片装卸机构200上同一端上料和下料。石墨舟的长度较长，第一装卸工位2112和第二装卸工位2131位于机器人230沿硅片装卸机构200的宽度方向的相对两侧，可以提高硅片装卸机构200的空间利用率，使得硅片装卸机构200结构紧凑。石墨舟循环输送组件210呈U型布局设置，使得石墨舟的输送路线为U型，石墨舟在第二装卸工位2131装卸硅片时，后续石墨舟可以流入第一装卸工位2112等待硅片装卸，石墨舟在石墨舟循环输送组件210上输送时，装卸完成的石墨舟不会影响后续石墨舟的装卸，可以提高装卸效率。
在一些实施例中，参阅图1、图2和图3，石墨舟循环输送组件210包括第二石墨舟输送组件211、第三石墨舟输送组件212和第四石墨舟输送组件213。第二石墨舟输送组件211和第四石墨舟输送组件213间隔设置，且位于机器人230沿硅片装卸机构200的宽度方向的相对两侧。第一装卸工位2112位于第二石墨舟输送组件211上，第二装卸工位2131位于第四石墨舟输送组件213上。第二石墨舟输送组件211用于接收第一石墨舟输送组件110的石墨舟，第三石墨舟输送组件212用于将第二石墨舟输送组件211上的石墨舟运输至第四石墨舟输送组件213，第四石墨舟输送组件213用于将石墨舟运输至石墨舟缓存组件220上。
第三石墨舟输送组件212将第二石墨舟输送组件211上的石墨舟输送至第四石墨舟输送组件213，实现石墨舟循环输送组件210的U型输送路线。石墨舟在第四石墨舟输送组件213上的第二装卸工位2131装卸硅片时，后续石墨舟可以流入第二石墨舟输送组件211上的第一装卸工位2112等待硅片装卸，装卸完成的石墨舟不会影响后续石墨舟的装卸，可以提高装卸效率。
在一些实施例中，参阅图1、图2和图3，第一石墨舟输送组件110包括相连接的第一传送带组件111和第一横移组件112，第二石墨舟输送组件211包括第二传送带组件2113，第三石墨舟输送组件212包括相连接的第三传送带组件2122和第二横移组件2123，第四石墨舟输送组件213包括第四传送带组件2132，石墨舟缓存组件220包括第五传送带组件221。第一传送带组件111、第二传送带组件2113、第三传送带组件2122、第四传送带组件2132和第五传送带组件221的运输方向为硅片装卸机构200的长度方向，第一横移组件112和第二横移组件2123的运输方向为硅片装卸机构200的宽度方向。
第一传送带组件111、第二传送带组件2113、第三传送带组件2122、第四传送带组件2132和第五传送带的运输方向为硅片装卸机构200的长度方向，使得石墨舟可以沿第一传送带组件111输送至第二传送带组件2113，石墨舟可以沿第二传送带组件2113输送至第三传送带组件2122，石墨舟可以沿第三传送带组件2122输送至第四传送带组件2132，石墨舟可以沿第四传送带组件2132输送至第五传送带组件221，石墨舟可以沿第五传送带组件221输送至第一传送带组件111。
第一横移组件112的运输方向为硅片装卸机构200的宽度方向，第一横移组件112可以带动第一传送带组件111沿硅片装卸机构200的宽度方向横移，带动第一传送带组件111在靠近第二传送带组件2113和靠近第五传送带组件221位置之间移动。第二横移组件2123的运输方向为硅片装卸机构200的宽度方向，第二横移组件2123可以带动第三传送带组件2122沿硅片装卸机构200的宽度方向横移，带动第三传送带组件2122在靠近第二传送带组件2113和靠近第四传送带组件2132位置之间移动。
第一传送带组件111包括支座、传送电机1112、第一主动轮、第一从动轮和第一皮带1113，第一主动轮和第一从动轮转动安装在支座的相对两端，第一皮带1113套设在第一主动轮和第一从动轮上，传送电机1112的输出端连接第一主动轮。
支座限定第一主动轮和第一冲动轮的位置，支座支撑在第一皮带1113下方，第一主动轮和第一从动轮绷紧皮带，传送电机1112带动第一主动轮转动，带动第一皮带1113转动，第一皮带1113带动石墨舟移动。
第二传送带组件2113、第三传送带组件2122、第四传送带组件2132和第一传送带组件111结构类似。
第一横移组件112包括滑轨1123、滑块、横移电机1121、第二主动轮、第二从动轮和第二皮带1122。滑块滑动连接在滑轨1123上，支座安装在滑块上，第二皮带1122套设在第二主动轮和第二从动轮上，横移电机1121的输出端连接第二主动轮，皮带连接支座。
滑块滑动连接在滑轨1123上，滑块支撑支座，横移电机1121带动第二主动轮转动，带动第二皮带1122转动，带动支座在第二主动轮和第二从动轮之间移动，实现第一传送带组件111的横移。第二横移组件2123和第一横移组件112结构类似。
在一些实施例中，参阅图1、图2和图3，石墨舟缓存组件220还包括石墨舟移运组件222，石墨舟移运组件222的运输方向为硅片装卸机构200的宽度方向，石墨舟移运组件222包括石墨舟机械手。
石墨舟移运组件222的运输方向为硅片装卸机构200的宽度方向，使得石墨舟移运组件222不会对第五传送带组件221沿硅片装卸机构200的长度方向上的运输造成影响，石墨舟机械手可以抓取第五传送带上的石墨舟缓存，石墨舟可以在石墨舟缓存组件220上停留，方便后续石墨舟沿第一石墨舟输送组件110输送至硅片输送机构300，可以减少机器人230等待时间，提高装卸效率。
在一些实施例中，参阅图1、图2和图4，石墨舟装卸片机还包括硅片输送机构300，硅片输送机构300设于硅片装卸机构200远离接驳机构100一端。硅片输送机构300包括硅片输送组件310和片篮输送组件320，硅片输送组件310的一端位于第三石墨舟输送组件212上方，硅片输送组件310的一端靠近机器人230设置。片篮输送组件320用于给硅片输送组件310输送硅片或接收硅片输送组件310的硅片。
硅片输送组件310的一端位于第三石墨舟输送组件212上方，可以提高石墨舟装卸片机的空间利用率。硅片输送组件310的一端靠近机器人230设置，可以减少机器人230的移动路径，提高机器人230的装卸效率。
硅片输送组件310包括硅片传送带组件311和硅片堆叠组件312，硅片堆叠组件312靠近机器人230设置，硅片传送带组件311用于将片篮输送组件320的硅片输送至硅片堆叠组件312上或将硅片堆叠组件312的硅片输送至片篮输送组件320上，硅片堆叠组件312用于将硅片堆叠方便机器人230搬运。
硅片上料时，硅片沿硅片传送带组件311输送至硅片堆叠组件312，硅片堆叠组件312堆叠好硅片，机器人230的前端吸取装置一次性将硅片堆叠组件312上的硅片吸取，再装载在石墨舟上。硅片下料时，机器人230的前端吸取装置从石墨舟上吸取硅片，再放置在硅片堆叠组件312上，硅片堆叠组件312将硅片一一输送至硅片传送带组件311。
片篮输送组件320包括片篮传送带组件321、片篮横移组件322和片篮升降组件323，片篮横移组件322位于片篮传送带组件321和片篮升降组件323之间，片篮传送带组件321用于片篮的上下料，片篮升降组件323靠近硅片输送组件310设置，用于将片篮内的硅片输送至硅片输送组件310或接收硅片输送组件310的硅片至片篮。
片篮上料时，片篮沿片篮传送带组件321、片篮横移组件322移动至片篮升降组件323，片篮升降组件323带动片篮上升，上升至硅片传送带组件311一端，方便硅片上料。片篮下料时，硅片传送带组件311上的硅片装满片篮，片篮升降组件323带动片篮下降，片篮从片篮升降组件323上移动至片篮横移组件322，再移动至片篮传送带组件321下料。
在一些实施例中，参阅图1、图2和图4，硅片输送机构300还包括硅片检测组件330和不良品排出组件340，硅片检测组件330设于硅片输送组件310一侧，用于检测硅片输送组件310上的硅片，硅片检测组件330包括面阵相机331或线阵相机，不良品排出组件340包括硅片移运组件341和不良品盒342，硅片移运组件341用于将硅片检测组件330检测不合格的硅片移运至不良品盒342。设置检测组件检测出不良品，再通过硅片移运组件341将不良品硅片移运至不良品盒342。
参阅图1、图2、图5和图6，本申请实施例还提供一种硅片装卸方法，其包括如下步骤：
S1、石墨舟从上游设备流入接驳机构100；
S2、石墨舟从接驳机构100流入硅片装卸机构200，石墨舟流入第一装卸工位2112，机器人230给石墨舟的一侧装卸硅片；
S3、石墨舟流入第二装卸工位2131，机器人230给石墨舟的另一侧装卸硅片；
S4、石墨舟流入石墨舟缓存组件220；
S5、石墨舟从石墨舟缓存组件220流入接驳机构100，再从接驳机构100流入上游设备。第一石墨舟输送组件110可以接收上游设备的石墨舟，并输送至石墨舟循环输送组件210上。石墨舟靠近(或远离)机器人230的一侧在第一装卸工位2112装卸硅片，石墨舟从第一装卸工位2112运送至第二装卸工位2131时，石墨舟上完成装卸的一侧变为远离(或靠近)机器人230的一侧，石墨舟上未完成装卸的一侧变为靠近(或远离)机器人230；使得位于第一装卸工位2112和第二装卸工位2131上的石墨舟等待机器人230装卸的一侧均为靠近(或远离)机器人230的一侧，使得机器人230在给第一装卸工位2112和第二装卸工位2131上的石墨舟装卸硅片时，机器人230的前端吸取装置不需要转动180°。装卸硅片时机器人230运行的路径简化，石墨舟在第二装卸工位2131装卸硅片时，后续石墨舟可以流入第一装卸工位2112等待硅片装卸。石墨舟可以在石墨舟缓存组件220上停留，方便后续石墨舟沿第一石墨舟输送组件110输送至硅片输送机构300，可以减少机器人230等待时间，提高装卸效率。
在一些实施例中，参阅图1、图2、图5和图6，第一石墨舟输送组件110包括两个第一工位1111，石墨舟循环输送组件210包括依次设置的第二工位2111、第一装卸工位2112、两个第三工位2121和第二装卸工位2131，第二工位2111位于第二传送带组件2113上，两个第三工位2121位于第三传送组件上。第二工位2111用于接收第一工位1111的石墨舟，石墨舟缓存组件220包括第四工位2211和缓存工位2221，缓存工位2221位于第四工位2211和第二工位2111之间。第四工位2211用于接收第二装卸工位2131的石墨舟以及将石墨舟输送至缓存工位2221或第一工位1111，缓存工位2221用于接收第四工位2211的石墨舟或输送石墨舟至第四工位2211。
两个石墨舟设为一个石墨舟组，石墨舟组包括第一石墨舟410和第二石墨舟420。
步骤S1包括：S11、第一石墨舟410、第二石墨舟420从上游设备流入接驳机构100。
步骤S2包括：S21、第一石墨舟410流入第一装卸工位2112，第二石墨舟420流入第二工位2111，机器人230给第一石墨舟410的一侧装卸硅片。
S22、第一石墨舟410流入第三工位2121，第二石墨舟420流入第一装卸工位2112，机器人230给第二石墨舟420的一侧装卸硅片。
步骤S3包括：S31、第一石墨舟410流入第二装卸工位2131，第二石墨舟420流入第三工位2121，机器人230给第一石墨舟410的另一侧装卸硅片。
步骤S4包括：S41、第一石墨舟410经第四工位2211流入缓存工位2221，第二石墨舟420流入第二装卸工位2131，机器人230给第二石墨舟420的另一侧装卸硅片。
步骤S5包括S51、第二石墨舟420经第四工位2211和第一工位1111流入上游设备，第一石墨舟410经第四工位2211和第一工位1111流入上游设备。
两个石墨舟设为一个石墨舟组，前一个石墨舟位于在第二装卸工位2131装卸硅片时，后续石墨舟可以流入第一装卸工位2112等待硅片装卸，可以减少机器人230等待时间，提高装卸效率。
在一些实施例中，参阅图1、图2、图5和图6，石墨舟组设置有三组，分别为第一石墨舟410组、第二石墨舟420组和第三石墨舟430组，第一石墨舟410和第二石墨舟420组成第一石墨舟410组，第二石墨舟420组包括第三石墨舟430和第四石墨舟440，第三石墨舟430组包括第五石墨舟450和第六石墨舟460。
步骤S2包括：S23、第三石墨舟430和第四石墨舟440从上游设备流入两个第一工位1111。
步骤S3包括：S32、第三石墨舟430流入第一装卸工位2112，第四石墨舟440流入第二工位2111，机器人230给第三石墨舟430的一侧装卸硅片。
步骤S4包括：S42、第三石墨舟430流入第三工位2121，第四石墨舟440流入第一装卸工位2112，机器人230给第四石墨舟440的一侧装卸硅片，第五石墨舟450和第六石墨舟460从上游设备流入两个第一工位1111。
步骤S5包括：
S52、第三石墨舟430流入第二装卸工位2131，第四石墨舟440流入第三工位2121，机器人230给第三石墨舟430的另一侧装卸硅片，第五石墨舟450流入第一装卸工位2112，第六石墨舟460流入第二工位2111，机器人230给第五石墨舟450的一侧装卸硅片。
S53、第一石墨舟410和第二石墨舟420从上游设备流入两个第一工位1111，第三石墨舟430流入缓存工位2221，第四石墨舟440流入第二装卸工位2131，机器人230给第四石墨舟440的另一侧装卸硅片，第五石墨舟450流入第三工位2121，第六石墨舟460流入第一装卸工位2112，机器人230给第六石墨舟460的一侧装卸硅片。
S54、第四石墨舟440经第四工位2211和两个第一工位1111流入上游设备，第三石墨舟430经第四工位2211和两个第一工位1111流入上游设备，第五石墨舟450流入第二装卸工位2131，第六石墨舟460流入第三工位2121，机器人230给第五石墨舟450的另一侧装卸硅片，第一石墨舟410流入第一装卸工位2112，第二石墨舟420流入第二工位2111，机器人230给第一石墨舟410的一侧装卸硅片。
S55、第三石墨舟430和第四石墨舟440从上游设备流入两个第一工位1111，第五石墨舟450流入缓存工位2221，第六石墨舟460流入第二装卸工位2131，机器人230给第六石墨舟460的另一侧装卸硅片，第一石墨舟410流入第三工位2121，第二石墨舟420流入第一装卸工位2112，机器人230给第二石墨舟420的一侧装卸硅片。
S56、第六石墨舟460经第四工位2211和两个第一工位1111流入上游设备，第五石墨舟450经第四工位2211和两个第一工位1111流入上游设备，第一石墨舟410流入第二装卸工位2131，第二石墨舟420流入第三工位2121，机器人230给第一石墨舟410的另一侧装卸硅片，第三石墨舟430流入第一装卸工位2112，第四石墨舟440流入第二工位2111，机器人230给第三石墨舟430的一侧装卸硅片，此后返回至步骤S41，三组石墨舟组在石墨舟装卸片机内流转。
三组石墨舟组在石墨舟装卸片机内流转，可以保证机器人230连续工作的效率，提高设备产能。
在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本发明的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (10)

1.一种石墨舟装卸片机，其特征在于，包括：
接驳机构，所述接驳机构上设置有第一石墨舟输送组件；
硅片装卸机构，与所述接驳机构并列设置，所述硅片装卸机构上设置有机器人、石墨舟循环输送组件和石墨舟缓存组件，所述石墨舟循环输送组件围绕所述机器人设置，所述石墨舟循环输送组件包括第一装卸工位和第二装卸工位，所述第一装卸工位和所述第二装卸工位间隔设置，且位于所述机器人的相对两侧，所述石墨舟缓存组件设于所述石墨舟循环输送组件一侧，用于接收所述石墨舟循环输送组件上的石墨舟，所述第一石墨舟输送组件用于输送石墨舟至所述石墨舟循环输送组件以及从所述石墨舟缓存组件上接收石墨舟，所述机器人用于给石墨舟进行硅片装卸；
当石墨舟从所述第一装卸工位运送至所述第二装卸工位时，石墨舟靠近所述机器人一侧变为远离所述机器人一侧。
2.根据权利要求1所述的石墨舟装卸片机，其特征在于，所述接驳机构位于所述硅片装卸机构沿所述硅片装卸机构的长度方向的一端，所述石墨舟循环输送组件呈U型布局设置，所述石墨舟循环输送组件一端靠近所述接驳机构，另一端靠近所述石墨舟缓存组件，所述第一装卸工位和所述第二装卸工位位于所述机器人沿所述硅片装卸机构的宽度方向的相对两侧。
3.根据权利要求2所述的石墨舟装卸片机，其特征在于，所述石墨舟循环输送组件包括第二石墨舟输送组件、第三石墨舟输送组件和第四石墨舟输送组件，所述第二石墨舟输送组件和所述第四石墨舟输送组件间隔设置，且位于所述机器人沿所述硅片装卸机构的宽度方向的相对两侧，所述第一装卸工位位于所述第二石墨舟输送组件上，所述第二装卸工位位于所述第四石墨舟输送组件上，所述第二石墨舟输送组件用于接收所述第一石墨舟输送组件的石墨舟，所述第三石墨舟输送组件用于将所述第二石墨舟输送组件上的石墨舟运输至所述第四石墨舟输送组件，所述第四石墨舟输送组件用于将石墨舟运输至所述石墨舟缓存组件上。
4.根据权利要求3所述的石墨舟装卸片机，其特征在于，所述第一石墨舟输送组件包括相连接的第一传送带组件和第一横移组件，所述第二石墨舟输送组件包括第二传送带组件，所述第三石墨舟输送组件包括相连接的第三传送带组件和第二横移组件，所述第四石墨舟输送组件包括第四传送带组件，所述石墨舟缓存组件包括第五传送带组件，所述第一传送带组件、所述第二传送带组件、所述第三传送带组件、所述第四传送带组件和所述第五传送带组件的运输方向为所述硅片装卸机构的长度方向，所述第一横移组件和所述第二横移组件的运输方向为所述硅片装卸机构的宽度方向。
5.根据权利要求4所述的石墨舟装卸片机，其特征在于，所述石墨舟缓存组件还包括石墨舟移运组件，所述石墨舟移运组件的运输方向为所述硅片装卸机构的宽度方向，所述石墨舟移运组件包括石墨舟机械手。
6.根据权利要求3所述的石墨舟装卸片机，其特征在于，还包括硅片输送机构，所述硅片输送机构设于所述硅片装卸机构远离所述接驳机构一端，所述硅片输送机构包括硅片输送组件和片篮输送组件，所述硅片输送组件的一端位于所述第三石墨舟输送组件上方，且靠近所述机器人设置，所述片篮输送组件用于给所述硅片输送组件输送硅片或接收所述硅片输送组件的硅片。
7.根据权利要求6所述的石墨舟装卸片机，其特征在于，所述硅片输送机构还包括硅片检测组件和不良品排出组件，所述硅片检测组件设于所述硅片输送组件一侧，用于检测所述硅片输送组件上的硅片，所述硅片检测组件包括面阵相机或线阵相机，所述不良品排出组件包括硅片移运组件和不良品盒，所述硅片移运组件用于将所述硅片检测组件检测不合格的硅片移运至所述不良品盒。
8.一种使用如权利要求1-7任一项所述石墨舟装卸片机的硅片装卸方法，其特征在于，包括如下步骤：
S1、石墨舟从上游设备流入所述接驳机构；
S2、石墨舟从所述接驳机构流入所述硅片装卸机构，石墨舟流入所述第一装卸工位，所述机器人给石墨舟的一侧装卸硅片；
S3、石墨舟流入所述第二装卸工位，所述机器人给石墨舟的另一侧装卸硅片；
S4、石墨舟流入所述石墨舟缓存组件；
S5、石墨舟从所述石墨舟缓存组件流入所述接驳机构，再从所述接驳机构流入所述上游设备。
9.根据权利要求8所述的硅片装卸方法，其特征在于，所述第一石墨舟输送组件包括两个第一工位，所述石墨舟循环输送组件包括依次设置的第二工位、所述第一装卸工位、两个第三工位和所述第二装卸工位，所述第二工位用于接收所述第一工位的石墨舟，所述石墨舟缓存组件包括第四工位和缓存工位，所述第四工位用于接收所述第二装卸工位的石墨舟以及将石墨舟输送至所述缓存工位或所述第一工位，所述缓存工位用于接收所述第四工位的石墨舟或输送石墨舟至所述第四工位；
两个石墨舟设为一个石墨舟组，所述石墨舟组包括第一石墨舟和第二石墨舟；
步骤S2包括：S21、所述第一石墨舟流入所述第一装卸工位，所述第二石墨舟流入第二工位，所述机器人给所述第一石墨舟的一侧装卸硅片；
S22、所述第一石墨舟流入第三工位，所述第二石墨舟流入所述第一装卸工位，所述机器人给所述第二石墨舟的一侧装卸硅片；
所述步骤S3包括：S31、所述第一石墨舟流入所述第二装卸工位，所述第二石墨舟流入所述第三工位，所述机器人给所述第一石墨舟的另一侧装卸硅片；
所述步骤S4包括：S41、所述第一石墨舟经所述第四工位流入所述缓存工位，所述第二石墨舟流入所述第二装卸工位，所述机器人给所述第二石墨舟的另一侧装卸硅片；
所述步骤S5包括S51、所述第二石墨舟经所述第四工位和所述第一工位流入所述上游设备，所述第一石墨舟经所述第四工位和所述第一工位流入所述上游设备。
10.根据权利要求9所述的硅片装卸方法，其特征在于，所述石墨舟组设置有三组，分别为第一石墨舟组、第二石墨舟组和第三石墨舟组，所述第一石墨舟和所述第二石墨舟组成所述第一石墨舟组，所述第二石墨舟组包括第三石墨舟和第四石墨舟，所述第三石墨舟组包括第五石墨舟和第六石墨舟；
所述步骤S2包括：S23、所述第三石墨舟和所述第四石墨舟从所述上游设备流入两个所述第一工位；
所述步骤S3包括：S32、所述第三石墨舟流入所述第一装卸工位，所述第四石墨舟流入第二工位，所述机器人给所述第三石墨舟的一侧装卸硅片；
所述步骤S4包括：S42、所述第三石墨舟流入所述第三工位，所述第四石墨舟流入所述第一装卸工位，所述机器人给所述第四石墨舟的一侧装卸硅片，所述第五石墨舟和所述第六石墨舟从所述上游设备流入两个所述第一工位；
所述步骤S5包括：
S52、所述第三石墨舟流入所述第二装卸工位，所述第四石墨舟流入所述第三工位，所述机器人给所述第三石墨舟的另一侧装卸硅片，所述第五石墨舟流入所述第一装卸工位，所述第六石墨舟流入第二工位，所述机器人给所述第五石墨舟的一侧装卸硅片；
S53、所述第一石墨舟和所述第二石墨舟从所述上游设备流入两个所述第一工位，所述第三石墨舟流入所述缓存工位，所述第四石墨舟流入所述第二装卸工位，所述机器人给所述第四石墨舟的另一侧装卸硅片，所述第五石墨舟组件流入所述第三工位，所述第六石墨舟组件流入所述第一装卸工位，所述机器人给所述第六石墨舟的一侧装卸硅片；
S54、所述第四石墨舟经所述第四工位和两个所述第一工位流入所述上游设备，所述第三石墨舟经所述第四工位和两个所述第一工位流入所述上游设备，所述第五石墨舟流入所述第二装卸工位，所述第六石墨舟流入所述第三工位，所述机器人给所述第五石墨舟的另一侧装卸硅片，所述第一石墨舟流入所述第一装卸工位，所述第二石墨舟流入第二工位，所述机器人给所述第一石墨舟的一侧装卸硅片；
S55、所述第三石墨舟和所述第四石墨舟从所述上游设备流入两个所述第一工位，所述第五石墨舟组件流入所述缓存工位，所述第六石墨舟流入所述第二装卸工位，所述机器人给所述第六石墨舟的另一侧装卸硅片，所述第一石墨舟流入所述第三工位，所述第二石墨舟流入所述第一装卸工位，所述机器人给所述第二石墨舟的一侧装卸硅片；
S56、所述第六石墨舟经所述第四工位和两个所述第一工位流入所述上游设备，所述第五石墨舟经所述第四工位和两个所述第一工位流入所述上游设备，所述第一石墨舟流入所述第二装卸工位，所述第二石墨舟流入所述第三工位，所述机器人给所述第一石墨舟的另一侧装卸硅片，所述第三石墨舟流入所述第一装卸工位，所述第四石墨舟流入第二工位，所述机器人给所述第三石墨舟的一侧装卸硅片，此后返回至步骤S41，三组所述石墨舟组在所述石墨舟装卸片机内流转。
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