CN109065491A - 石英舟装卸硅片的方法及其装置 - Google Patents

石英舟装卸硅片的方法及其装置 Download PDF

Info

Publication number
CN109065491A
CN109065491A CN201810948839.6A CN201810948839A CN109065491A CN 109065491 A CN109065491 A CN 109065491A CN 201810948839 A CN201810948839 A CN 201810948839A CN 109065491 A CN109065491 A CN 109065491A
Authority
CN
China
Prior art keywords
quartz boat
silicon wafer
pipeline
station
decorated basket
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201810948839.6A
Other languages
English (en)
Other versions
CN109065491B (zh
Inventor
不公告发明人
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Wuxi Lead Intelligent Equipment Co Ltd
Original Assignee
Wuxi Lead Intelligent Equipment Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Wuxi Lead Intelligent Equipment Co Ltd filed Critical Wuxi Lead Intelligent Equipment Co Ltd
Priority to CN201810948839.6A priority Critical patent/CN109065491B/zh
Publication of CN109065491A publication Critical patent/CN109065491A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN109065491B publication Critical patent/CN109065491B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67727—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations using a general scheme of a conveying path within a factory
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67745—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber characterized by movements or sequence of movements of transfer devices
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67754—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber horizontal transfer of a batch of workpieces

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

本发明涉及太阳能电池生产技术领域，尤其涉及一种石英舟装卸硅片的方法及其装置。石英舟装卸硅片的方法包括S100、装卸机械手从石英舟上依次抓取处理后的硅片卸载在多个依次进给的空的花篮组内，直至所述石英舟上处理后的硅片全部卸完；S200、携带未处理的硅片的花篮组依次进给，所述装卸机械手从所述花篮组内依次抓取未处理的硅片装载在所述石英舟空出的区域，直至所述石英舟上装满所述未处理的硅片。石英舟装卸硅片的方法采用石英舟装卸硅片的装置。本发明提供一种石英舟装卸硅片的方法及其装置，以解决现有技术中存在的石英舟装卸硅片效率低，影响设备的生产产能的技术问题。

Description

石英舟装卸硅片的方法及其装置
技术领域
本发明涉及太阳能电池生产设备及工艺技术领域，尤其是涉及一种石英舟装卸硅片的方法及其装置。
背景技术
在太阳能电池生产工艺中，扩散是指在硅片两面通过化学反应制备PN结的工艺，退火是指对硅片两面进行退火处理。石英舟是扩散或者退火工序中所使用的治具，一般是分成500或者600个储片槽。但是由于对应的花篮由两组50个槽的储片区构成且两个储片区之间有一定的间隔，因此每次只能装卸50片硅片。
在扩散或者退火工序中，石英舟退舟后，石英舟上存在经过扩散或者退火处理后的硅片需要卸下，并且同时需要在卸空后的石英舟上装载未经处理的硅片。
目前，石英舟装卸硅片有两种方式：人工和机器。但是，采用人工操作，劳动强度大，效率低。
采用机器时，行业内目前使用的一种装卸机械手，具体的装卸过程是：花篮移进装卸区，花篮的两个储片区，一个空置，另一个装载未处理的硅片；装卸机械手先从石英舟上1-100号储片槽中的奇数号储片槽内抓取处理后的硅片卸在花篮的空置区域，然后停留在花篮上方进行等待；花篮驱动装置驱动花篮的另一个储片区(装载未处理的硅片)移进装卸区，装卸机械手将花篮上未处理的硅片抓取装载在石英舟上1-100号储片槽中的空出的奇数号储片槽内；装卸机械手停留在石英舟上方进行等待，石英舟驱动装置驱动石英舟1-100号储片槽中的偶数号储片槽移进装卸区，装卸机械手从石英舟上1-100号储片槽中的偶数号储片槽内抓取处理后的硅片卸在花篮的另一个储片区，然后进行等待。花篮装满100片处理后的硅片后移出装卸区进行下料，同时另一个装载未处理的硅片的花篮移进装卸区进行装卸。以此循环上述装卸过程，直到将石英舟上处理后的硅片全部卸下并装满未处理的硅片。
在上述装卸过程中，装卸机械手每完成50片硅片的装卸需要在花篮和石英舟上方分别等待一次，即完成100片硅片的装卸需要等待四次。由于花篮和石英舟移进装卸区的速度较慢并且在装卸区设有顶升装置需要将花篮和石英舟上的硅片顶升至装卸机械手的抓取位置(顶升过程较慢，防止硅片在顶升过程中损坏；顶升过程加长了装卸机械手的等待时间)，装卸机械手在装卸过程中的等待时间会很长，严重影响到硅片的装卸效率，进而影响到设备的生产产能。
因此，本申请针对上述问题提供一种新的石英舟装卸硅片的方法及其装置。
发明内容
本发明的目的在于提供一种石英舟装卸硅片的方法，以解决现有技术中存在的石英舟装卸硅片效率低，影响设备的生产产能的技术问题。
本发明的目的还在于提供一种石英舟装卸硅片的装置，以进一步解决现有技术中存在的石英舟装卸硅片效率低，影响设备的生产产能的技术问题。
基于上述第一目的，本发明提供一种石英舟装卸硅片的方法，包括：
S100、装卸机械手从石英舟上依次抓取处理后的硅片卸载在多个依次进给的空的花篮组内，直至所述石英舟上处理后的硅片全部卸完；
其中，所述装卸机械手从石英舟上抓取处理后的硅片时，所述花篮组同时进给；所述装卸机械手将处理后的硅片卸载在空的花篮组内时，所述石英舟同时进给；
S200、携带未处理的硅片的花篮组依次进给，所述装卸机械手从所述花篮组内依次抓取未处理的硅片装载在所述石英舟空出的区域，直至所述石英舟上装满所述未处理的硅片。
在上述技术方案中，进一步地，本发明在所述S200中，所述装卸机械手从所述花篮组内抓取未处理的硅片时，所述石英舟同时进给；所述装卸机械手将未处理的硅片装载在所述石英舟空出的区域时，所述花篮组同时进给。
在上述任一技术方案中，进一步地，本发明所述S100包括：
S110、令石英舟上第一数量的储片槽进给至第一装卸区，并令所述第一装卸区内的所述储片槽中多个相间隔的储片槽与装卸机械手相对应，以及令花篮组内第一储片区进给至第二装卸区；
S120、所述装卸机械手将所述第一装卸区内相对应的储片槽中处理后的硅片抓取；
S130、所述装卸机械手移动至所述第二装卸区，并将所述装卸机械手内处理后的硅片卸载至所述第一储片区；
同时，所述石英舟进给一个储片槽，以令所述石英舟上第一数量的储片槽中剩余储片槽与所述装卸机械手相对应；
S140、所述装卸机械手移动至所述第一装卸区，并将所述第一装卸区内相对应的储片槽中处理后的硅片抓取；
同时，令所述花篮组进给，以令所述花篮组内第二储片区进给至所述第二装卸区；
S150、所述装卸机械手移动至所述第二装卸区，并将所述装卸机械手内处理后的硅片卸载至所述第二储片区内；
S160、令所述石英舟进给，以令所述石英舟上下一所述第一数量的储片槽进给至所述第一装卸区，并令所述第一装卸区内的所述储片槽中多个相间隔的储片槽与所述装卸机械手相对应；
同时，令下一所述花篮组内的所述第一储片区进给至所述第二装卸区；
S170、重复所述S120-所述S160，直至所述石英舟上处理后的硅片全部卸载至所述花篮组内。
在上述任一技术方案中，进一步地，本发明所述S200包括：
S210、令装设有未处理的硅片的花篮组的第一储片区进给至所述第二装卸区；
S220、所述装卸机械手移动至所述第二装卸区，并将所述第一储片区内的所述未处理的硅片抓取；
S230、所述装卸机械手移动至所述第一装卸区，并将所述装卸机械手内未处理的硅片装载至所述第一装卸区内相对应的储片槽中；
同时，令所述花篮组进给，以令所述花篮组内第二储片区进给至所述第二装卸区；
S240、所述装卸机械手移动至所述第二装卸区，并将所述第二储片区内的所述未处理的硅片抓取；
同时，所述石英舟回退一个储片槽，以令所述石英舟上第一装卸区内的所述第一数量的储片槽中剩余储片槽与所述装卸机械手相对应；
S250、所述装卸机械手移动至所述第一装卸区，并将所述装卸机械手内未处理的硅片装载至所述第一装卸区内相对应的储片槽中。
在上述任一技术方案中，进一步地，本发明所述的石英舟装卸硅片的方法，还包括S260、令下一装设有未处理的硅片的花篮组的第一储片区进给至所述第二装卸区；
并令所述石英舟回退，以令所述石英舟上下一第一数量的储片槽进给至所述第一装卸区；
S270、重复所述S220-所述S260，直至多个所述花篮组内的硅片全部装载至所述石英舟上。
基于上述第二目的，本发明提供一种石英舟装卸硅片的装置，所述的石英舟装卸硅片的方法采用所述石英舟装卸硅片的装置；
所述石英舟装卸硅片的装置包括石英舟、输送线、花篮组和装卸机械手；
所述石英舟上设置有第一装卸区；所述输送线上设置有第二装卸区；
所述花篮组设置于所述输送线上，且能够沿所述输送线移动；
所述石英舟上并排设置有多个储片槽，且所述第一装卸区对应第一数量的所述储片槽，所述石英舟能够沿所述储片槽的排列方向移动；
所述花篮组上依次设置有第一储片区和第二储片区，且所述第一储片区和所述第二储片区沿所述输送线的输送方向设置；
所述装卸机械手能够在所述第一装卸区和所述第二装卸区之间往复移动，并进行硅片的装卸。
在上述任一技术方案中，进一步地，本发明所述输送线包括平行设置的两个输送轨道；
所述花篮组包括第一花篮和第二花篮；所述第一花篮和所述第二花篮分别设置于两个所述输送轨道上，并能够沿所述输送轨道移动；
所述装卸机械手能够将两片硅片背靠背对接呈硅片组，以及能够将所述硅片组分离。
在上述任一技术方案中，进一步地，本发明所述石英舟有两个，分别为第一石英舟和第二石英舟；
所述第一石英舟和所述第二石英舟平行设置。
在上述任一技术方案中，进一步地，本发明所述的石英舟装卸硅片的装置，还包括第一驱动装置和第二驱动装置；
所述第一驱动装置驱动连接所述第一石英舟，以令所述第一石英舟能够沿所述储片槽的排列方向移动；
所述第二驱动装置驱动连接所述第二石英舟，以令所述第二石英舟能够沿所述储片槽的排列方向移动。
在上述任一技术方案中，进一步地，本发明所述第一驱动装置包括第一电机和第一丝杠；所述第一电机驱动连接所述第一丝杠；所述第一丝杠上配合连接有第一螺母，所述第一石英舟与所述第一螺母连接；所述第一电机驱动所述第一丝杠转动，能够令所述第一螺母带动所述第一石英舟沿所述第一丝杠移动；
所述第二驱动装置包括第二电机和第二丝杠；所述第二电机驱动连接所述第二丝杠；所述第二丝杠上配合连接有第二螺母，所述第二石英舟与所述第二螺母连接；所述第二电机驱动所述第二丝杠转动，能够令所述第二螺母带动所述第二石英舟沿所述第二丝杠移动。
在上述任一技术方案中，进一步地，本发明所述的石英舟装卸硅片的装置，还包括第一搬运装置、第二搬运装置和对接输送线；
所述输送线有三个，分别为第一输送线、第二输送线和第三输送线；且所述第一输送线、所述第二输送线和所述第三输送线沿输送方向依次平行设置；
所述第一搬运装置能够将位于所述第一输送线的所述花篮组搬运至所述第二输送线；所述第二搬运装置能够将位于所述第二输送线的所述花篮组搬运至所述第一输送线；所述对接输送线装置能够将位于所述第三输送线的所述花篮组搬运至所述第一输送线；
且所述第一输送线、所述第一搬运装置、所述第二输送线和所述第二搬运装置之间形成所述花篮组的第一循环输送线；所述第一输送线、所述第一搬运装置、所述第三输送线和所述对接输送线之间形成所述花篮组的第二循环输送线。
在上述任一技术方案中，进一步地，本发明沿所述第一输送线的输送方向，所述第一输送线包括相连接的第一工位、第二工位和第三工位；沿所述第二输送线的输送方向，所述第二输送线包括相连接的第四工位、第五工位和第六工位；沿所述第三输送线的输送方向，所述第三输送线包括相连接的第七工位、第八工位和第九工位；
所述第一搬运装置能够将位于所述第三工位的所述花篮组搬运至所述第四工位和所述第七工位；所述第二搬运装置能够将位于所述第六工位的所述花篮组搬运至所述第一工位；
所述第一工位、所述第二工位、所述第三工位、所述第一搬运装置、所述第四工位、所述第五工位、所述第六工位和所述第二搬运装置之间形成所述花篮组的第一循环输送线；
所述第一工位、所述第二工位、所述第三工位、所述第一搬运装置、所述第七工位、所述第八工位、所述第九工位和所述对接输送线之间形成所述花篮组的第二循环输送线。
在上述任一技术方案中，进一步地，本发明所述第一输送线和所述第二输送线等高设置，所述第三输送线设置于所述第一输送线的下方；
所述第一输送线的所述第一工位远离所述第二工位的一侧设置有上料工位，所述第三输送线的所述第九工位远离所述第八工位的一侧设置有下料工位；
所述下料工位和所述上料工位之间通过所述对接输送线连接。
采用上述技术方案，本发明具有如下有益效果：
现有技术中，硅片的装卸载为依次间隔交替进行，且每装卸一次硅片，装卸机械手需等待两次，也就是说，每卸载一次硅片，装卸机械手需等待一次。
石英舟卸料，也即将石英舟上处理后的硅片卸下。石英舟上料，也即向石英舟上装载未处理的硅片。本实施例提供的石英舟装卸硅片的方法通过首先将石英舟上处理后的硅片全部卸完之后，再将从花篮组内未处理的硅片全部装载在石英舟空出的区域内。也就是说，现有技术中，装卸机械手运动方式为卸一次和装一次依次间隔交替，而本实施例的方法为全部卸载之后再全部装载，且在卸载或者装载过程中装卸机械手可以重复一个动作，令动作更流程，提高了动作效率；另外，装卸机械手在卸载硅片时，装卸机械手从石英舟上抓取处理后的硅片时，花篮组同时进给；装卸机械手将处理后的硅片卸载在空的花篮组内时，石英舟同时进给，也就是说，装卸机械手为流畅的连续动作，减少甚至取消了在石英舟上和花篮组上等待其进给的时间，使得本发明每完成一次卸载硅片的过程中能够节省出大量的时间，有效地提高了设备的产能。
综上所述，本实施例提供的石英舟装卸硅片的方法，能够大量减少装卸机械手的等待时间，提高了在退舟后的石英舟上卸下处理后的硅片、装载未处理的硅片的装卸效率，进而提高了设备的生产产能，解决了现有技术中存在的石英舟装卸硅片效率低，影响设备的生产产能的技术问题。
本发明提供的石英舟装卸硅片的装置，所述的石英舟装卸硅片的方法采用所述石英舟装卸硅片的装置，进一步解决了现有技术中存在的石英舟装卸硅片效率低，影响设备的生产产能的技术问题。
本发明的附加方面和优点将在下面的描述部分中变得明显，或通过本发明的实践了解到。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
图1为本发明实施例提供的石英舟装卸硅片的装置的结构示意图。
图标：11-第一石英舟；12-第二石英舟；2-输送线；21-输送轨道；31-第一花篮；32-第二花篮；41-第一装卸区；42-第二装卸区；51-第一储片区；52-第二储片区；6-第一输送线；61-第一工位；62-第二工位；63-第三工位；7-第二输送线；71-第四工位；72-第五工位；73-第六工位；8-第三输送线；81-第七工位；82-第八工位；83-第九工位；91-上料工位；92-下料工位。
具体实施方式
下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
实施例一
参见图1所示，本实施例提供一种石英舟装卸硅片的方法，包括：
S100、装卸机械手从石英舟上依次抓取处理后的硅片卸载在多个依次进给的空的花篮组内，直至所述石英舟上处理后的硅片全部卸完；
其中，所述装卸机械手从石英舟上抓取处理后的硅片时，所述花篮组同时进给；所述装卸机械手将处理后的硅片卸载在空的花篮组内时，所述石英舟同时进给；
S200、携带未处理的硅片的花篮组依次进给，所述装卸机械手从所述花篮组内依次抓取未处理的硅片装载在所述石英舟空出的区域，直至所述石英舟上装满所述未处理的硅片。
现有技术中，硅片的装卸载为依次间隔交替进行，且每装卸一次硅片，装卸机械手需等待两次，也就是说，每卸载一次硅片，装卸机械手需等待一次。
石英舟卸料，也即将石英舟上处理后的硅片卸下。石英舟上料，也即向石英舟上装载未处理的硅片。本实施例提供的石英舟装卸硅片的方法通过首先将石英舟上处理后的硅片全部卸完之后，再将从花篮组内未处理的硅片全部装载在石英舟空出的区域内。也就是说，现有技术中，装卸机械手运动方式为卸一次和装一次依次间隔交替，而本实施例的方法为全部卸载之后再全部装载，且在卸载或者装载过程中装卸机械手可以重复一个动作，令动作更流程，提高了动作效率；另外，装卸机械手在卸载硅片时，装卸机械手从石英舟上抓取处理后的硅片时，花篮组同时进给；装卸机械手将处理后的硅片卸载在空的花篮组内时，石英舟同时进给，也就是说，装卸机械手为流畅的连续动作，减少甚至取消了在石英舟上和花篮组上等待其进给的时间，使得本发明每完成一次卸载硅片的过程中能够节省出大量的时间，有效地提高了设备的产能。
综上所述，本实施例提供的石英舟装卸硅片的方法，能够大量减少装卸机械手的等待时间，提高了在退舟后的石英舟上卸下处理后的硅片、装载未处理的硅片的装卸效率，进而提高了设备的生产产能，解决了现有技术中存在的石英舟装卸硅片效率低，影响设备的生产产能的技术问题。
优选地，在所述S200中，所述装卸机械手从所述花篮组内抓取未处理的硅片时，所述石英舟同时进给；所述装卸机械手将未处理的硅片装载在所述石英舟空出的区域时，所述花篮组同时进给。
装卸机械手在装载硅片时，所述装卸机械手从所述花篮组内抓取未处理的硅片时，所述石英舟同时进给；所述装卸机械手将未处理的硅片装载在所述石英舟空出的区域时，所述花篮组同时进给，也就是说，装卸机械手在装载硅片时为流畅的连续动作，减少甚至取消了在石英舟上和花篮组上等待其进给的时间，使得本发明每完成一次装载硅片的过程中能够节省出大量的时间，进一步有效地提高了设备的产能。
优选地，所述S100包括：
S110、令石英舟上第一数量的储片槽进给至第一装卸区41，并令所述第一装卸区41内的所述储片槽中多个相间隔的储片槽与装卸机械手相对应，以及令花篮组内第一储片区51进给至第二装卸区42；例如，石英舟上第一数量的储片槽中奇数号的储片槽与装卸机械手相对应。
S120、所述装卸机械手将所述第一装卸区41内相对应的储片槽中处理后的硅片抓取；
S130、所述装卸机械手移动至所述第二装卸区42，并将所述装卸机械手内处理后的硅片卸载至所述第一储片区51；
同时，所述石英舟进给一个储片槽，以令所述石英舟上第一数量的储片槽中剩余储片槽与所述装卸机械手相对应；例如，石英舟上第一数量的储片槽中偶数号的储片槽与装卸机械手相对应。
S140、所述装卸机械手移动至所述第一装卸区41，并将所述第一装卸区41内相对应的储片槽中处理后的硅片抓取；
同时，令所述花篮组进给，以令所述花篮组内第二储片区52进给至所述第二装卸区42；
S150、所述装卸机械手移动至所述第二装卸区42，并将所述装卸机械手内处理后的硅片卸载至所述第二储片区52内；
S160、令所述石英舟进给，以令所述石英舟上下一所述第一数量的储片槽进给至所述第一装卸区41，并令所述第一装卸区41内的所述储片槽中多个相间隔的储片槽与所述装卸机械手相对应；例如，石英舟上下一第一数量的储片槽中奇数号的储片槽与装卸机械手相对应。
同时，令下一所述花篮组内的所述第一储片区51进给至所述第二装卸区42；
S170、重复所述S120-所述S160，直至所述石英舟上处理后的硅片全部卸载至所述花篮组内。
需要说明的是，花篮组的第一储片区或者第二储片区内相邻硅片放置槽之间的间距为石英舟内相邻储片槽之间的间距的两倍，也就是说，石英舟内相间隔的储片槽分别和花篮组的第一储片区或者第二储片区内相邻硅片放置槽相对应，以令装卸机械手从石英舟上相间隔的多个储片槽内抓取的硅片能够卸载于第一储片区和第二储片区内。可选地，花篮组中相邻的两个硅片放置槽之间的距离为4.76mm，也就是说，花篮组中相邻的两个硅片之间的距离为4.76mm；而石英舟上相邻的两个储片槽之间的距离为2.38mm，因而石英舟上相邻的两个奇数号储片槽之间的距离为4.76mm，也就是说石英舟上相邻的两个奇数号储片槽内的硅片之间的距离为4.76mm，石英舟上相邻的两个偶数号储片槽内的硅片之间的距离为4.76mm。
可选地，石英舟内的储片槽的数量可以为第一数量的整数倍或者非整数倍。优选地，石英舟内的储片槽的数量为第一数量的整数倍。例如，石英舟内的储片槽的数量为600，第一数量为100，定义石英舟上从第一侧至相对应的第二侧的储片槽编号依次为1-600号。因而S200中，装卸机械手从石英舟上1-100号储片槽中的奇数号储片槽内抓取硅片；S300中，石英舟进给一个储片槽，以令所述石英舟上第一数量的储片槽中剩余储片槽与所述装卸机械手相对应，也就是说，石英舟进给2.38mm，使得石英舟上1-100号储片槽中的偶数号储片槽位于第一装卸区；S600中，石英舟进给，以令所述石英舟上下一所述第一数量的储片槽进给至所述第一装卸区，也就是说，石英舟进给238mm，使得石英舟上101-200号储片槽位于第一装卸区。
现有技术中，硅片的装卸载为依次间隔交替进行，且每装卸一次硅片，装卸机械手需等待两次，也就是说，每卸载一次硅片，装卸机械手需等待一次。
石英舟卸料，也即将石英舟上处理后的硅片卸下。本实施例提供的上述石英舟卸料过程中，将石英舟上的多个储片槽内的处理后的硅片装载在多个空的花篮组上时，装卸机械手没有进行等待，同时，装卸机械手从花篮组移动至石英舟上抓取硅片时也没有进行等待，只有在石英舟上的处理后的硅片全部卸下后，装卸机械手需要等待下一批携带未处理的硅片的花篮组移进第二装卸区进行接下来的装料过程。
也就是说，本实施例提供的石英舟装卸硅片的方法，首先将石英舟上处理后的硅片全部卸下之后，再将未处理的硅片装载至石英舟的储片槽内，且在将石英舟上处理后的硅片全部卸下的过程中装卸机械手均不需要等待，而是一直在动作，使得本发明每完成一次卸载硅片的过程中能够节省出大量的时间，有效地提高了设备的产能。
综上所述，本实施例提供的石英舟装卸硅片的方法，采用花篮组流水线，配合合理的流程设置和时序安排，利用装卸机械手装卸速度快的特点，能够大量减少装卸机械手的等待时间，提高了在退舟后的石英舟上卸下处理后的硅片、装载未处理的硅片的装卸效率，进而提高了设备的生产产能，解决了现有技术中存在的石英舟装卸硅片效率低，影响设备的生产产能的技术问题。
优选地，本实施例提供的石英舟装卸硅片的方法，所述S200包括：
S210、令装设有未处理的硅片的花篮组的第一储片区51进给至所述第二装卸区42；
S220、所述装卸机械手移动至所述第二装卸区42，并将所述第一储片区51内的所述未处理的硅片抓取；
S230、所述装卸机械手移动至所述第一装卸区41，并将所述装卸机械手内未处理的硅片装载至所述第一装卸区41内相对应的储片槽中；
同时，令所述花篮组进给，以令所述花篮组内第二储片区52进给至所述第二装卸区42；
S240、所述装卸机械手移动至所述第二装卸区42，并将所述第二储片区52内的所述未处理的硅片抓取；
同时，所述石英舟回退一个储片槽，以令所述石英舟上第一装卸区41内的所述第一数量的储片槽中剩余储片槽与所述装卸机械手相对应；
S250、所述装卸机械手移动至所述第一装卸区41，并将所述装卸机械手内未处理的硅片装载至所述第一装卸区41内相对应的储片槽中。
在本实施例中，当石英舟从作业炉内退舟(出舟)后，此时需要将石英舟上的处理后的硅片卸下并装满未处理的硅片。本实施例提供的石英舟装卸硅片的方法实现了上述过程。
需要说明的是，石英舟进给方向和回退方向相反。在本实施例中，上述处理为扩散或者退火，作业炉为扩散炉或者退火炉。
例如，石英舟内储片槽的数量为第一数量的偶数倍，且S100中装卸机械手首先抓取储片槽中奇数号的储片槽中的硅片，那么石英舟内处理后的硅片全部卸载至花篮组后，此时石英舟内第一装卸区的多个储片槽中偶数号的储片槽与装卸机械手相对应。S240中，石英舟回退一个储片槽，令石英舟中储片槽中多个奇数号的储片槽与装卸机械手相对应。
也就是说，S230中装卸机械手将第一储片区内硅片装载至石英舟的偶数号的储片槽内，S250中装卸机械手将第二储片区52内硅片装载至石英舟的奇数号的储片槽内。
实现了将花篮组内的第一储片区和第二储片区内未处理的硅片装载至石英舟上的一个过程，且在此过程中，装卸机械手也没有等待，而是一直在动作，进一步提高了设备的产能。
优选地，本实施例提供的石英舟装卸硅片的方法，还包括：
S260、令下一装设有未处理的硅片的花篮组的第一储片区进给至所述第二装卸区42；
并令所述石英舟回退，以令所述石英舟上下一第一数量的储片槽进给至所述第一装卸区；
S270、重复所述S220-所述S260，直至多个所述花篮组内的硅片全部装载至所述石英舟上。
石英舟上料，也即将花篮组携带未处理的硅片装载至石英舟上。由上述装料过程可知，将石英舟上的储片槽内装满未处理的硅片时，装卸机械手没有进行等待。只有在石英舟上全部装满未处理的硅片后，装卸机械手在第一装卸区进行等待，等待石英舟退舟后重复下一轮装卸动作。但是如果石英舟在作业炉中停留的时间较短(即对石英舟上硅片处理的时间较短)，比在石英舟上卸完处理后的硅片并装满未处理的硅片的装卸过程的时间短，则装卸机械手无需进行等待。
也就是说，本实施例提供的石英舟装卸硅片的方法，首先将石英舟上处理后的硅片全部卸下之后，再将未处理的硅片装载至石英舟的储片槽内，且在将石英舟上处理后的硅片全部卸下的过程中，以及向石英舟上装载硅片的过程中装卸机械手均不需要等待，而是一直在动作，使得本发明完成装卸载硅片的过程中能够节省出大量的时间，进一步有效地提高了设备的产能。
实施例二
实施例二提供了一种石英舟装卸硅片的装置，参见图1所示，本实施例提供的石英舟装卸硅片的装置，包括石英舟、输送线2、花篮组和装卸机械手；
所述石英舟上设置有第一装卸区；所述输送线2上设置有第二装卸区；
所述花篮组设置于所述输送线2上，且能够沿所述输送线2移动；
所述石英舟上并排设置有多个储片槽，且所述第一装卸区对应第一数量的所述储片槽，所述石英舟能够沿所述储片槽的排列方向移动；
所述花篮组上依次设置有第一储片区和第二储片区，且所述第一储片区和所述第二储片区沿所述输送线2的输送方向设置；
所述装卸机械手能够在所述第一装卸区和所述第二装卸区之间往复移动，并进行硅片的装卸。
作业时，通过石英舟沿储片槽的排列方向移动，实现了石英舟的进给和回退；通过花篮组沿输送线2移动，实现了花篮组的进给；装卸机械手能够在所述第一装卸区和所述第二装卸区之间往复移动，并进行硅片的装卸，实现了石英舟上处理后的硅片卸载至花篮组上，以及将花篮组上未处理的硅片装载至石英舟上。
综上所述，使用本实施例提供的石英舟装卸硅片的装置，能够解决现有技术中存在的石英舟装卸硅片效率低，影响设备的生产产能的技术问题。
优选地，参见图1所示，本实施例所述输送线2包括平行设置的两个输送轨道21；
所述花篮组包括第一花篮31和第二花篮32；所述第一花篮31和所述第二花篮32分别设置于两个所述输送轨道21上，并能够沿所述输送轨道21移动；
所述装卸机械手能够将两片硅片背靠背对接呈硅片组，以及能够将所述硅片组分离。
需要说明的是，第一花篮31和第二花篮32中装载的硅片分别为一正一反放置。
在本实施例中，装卸机械手在对石英舟上料的过程中，能够将第一花篮31和第二花篮32内的硅片同时抓取，然后相互交错对插在一起形成背靠背的硅片组，最后将硅片组装载在石英舟上，即石英舟上每个储片槽内有两片硅片，即为硅片组。
在卸料过程中，装卸机械手能够将石英舟上的硅片组抓取，然后相互分离开形成两片相互独立的硅片，最后分别卸在第一花篮31和第二花篮32内。
可选地，装卸机械手包括吸盘和伺服电机，吸盘能够吸住硅片，伺服电机能够驱动两片硅片进行分离和组合。其中，装卸机械手的结构为现有技术，例如可参见专利201710697051.8用于形成硅片批的装卸装置及装卸方法。
需要说明的是，花篮组的数量乘以花篮组可装载硅片的数量等于石英舟上装载的处理后的硅片的数量，第一花篮31和第二花篮32均包括第一储片区和第二储片区，例如，每个储片区可以放置50片硅片，因此，每个花篮可以放置100片硅片，每个花篮组可以放置200片硅片。石英舟上具有600个储片槽，每个储片槽中放置两片硅片，一共可以放置1200片硅片。由此可知，一批花篮组的数量为六个，一批花篮组用于将石英舟上处理之后的硅片卸载至花篮组上，下一批六个花篮组即用于为石英舟装载硅片。
综上所述，在上述装卸过程中(包括卸料过程和装料过程)，每完成一次装卸(即从石英舟上卸完处理后的硅片，并装满未处理的硅片)，装卸机械手只需要等待一次。而现有技术中每装卸100片硅片，装卸机械手需要等待4次，而每个石英舟具有600个储片槽，一共需要装卸6次，从而对一个石英舟上进行装卸硅片时需要等待24次。由于花篮组和石英舟移动至第一装卸区的耗时较长(而装卸机械手抓取、搬运、装载硅片的耗时较短，即装卸装卸机械手的装卸速度快)，使得本实施例每完成一次装卸能够节省出大量的时间，有效地提高了设备的产能。
优选地，参见图1所示，本实施例所述石英舟有两个，分别为第一石英舟11和第二石英舟12；
所述第一石英舟11和所述第二石英舟12平行设置。
作业时，交替对第一石英舟11和第二石英舟12进行装卸硅片，具体而言，交替对第一石英舟11和第二石英舟12进行卸下经过作业炉处理后的硅片，并装满花篮循环物流线提供的未处理的硅片。进一步减少了装卸机械手等待的时间，甚至令装卸机械手无等待，进一步使得本发明完成装卸载硅片的过程中能够节省出大量的时间，提高了设备的产能。
优选地，本实施例的石英舟装卸硅片的装置还包括第一驱动装置和第二驱动装置；
所述第一驱动装置驱动连接所述第一石英舟11，以令所述第一石英舟11能够沿所述储片槽的排列方向移动；
所述第二驱动装置驱动连接所述第二石英舟12，以令所述第二石英舟12能够沿所述储片槽的排列方向移动。
所述第一驱动装置驱动连接所述第一石英舟11，实现第一石英舟11的进给和回退；所述第二驱动装置驱动连接所述第二石英舟12，实现第二石英舟12的进给和回退。
优选地，本实施例所述第一驱动装置包括第一电机和第一丝杠；所述第一电机驱动连接所述第一丝杠；所述第一丝杠上配合连接有第一螺母，所述第一石英舟11与所述第一螺母连接；所述第一电机驱动所述第一丝杠转动，能够令所述第一螺母带动所述第一石英舟11沿所述第一丝杠移动；
所述第二驱动装置包括第二电机和第二丝杠；所述第二电机驱动连接所述第二丝杠；所述第二丝杠上配合连接有第二螺母，所述第二石英舟12与所述第二螺母连接；所述第二电机驱动所述第二丝杠转动，能够令所述第二螺母带动所述第二石英舟12沿所述第二丝杠移动。
优选地，第一电机和第二电机为伺服电机。
可选地，第一石英舟11和第一螺母通过螺纹连接或者焊接的方式连接；第二石英舟12和第二螺母通过螺纹连接或者焊接的方式连接。
优选地，本实施例的石英舟装卸硅片的装置，还包括第一搬运装置、第二搬运装置和对接输送线；
所述输送线2有三个，分别为第一输送线6、第二输送线7和第三输送线8；且所述第一输送线6、所述第二输送线7和所述第三输送线8沿输送方向依次平行设置；
所述第一搬运装置能够将位于所述第一输送线的所述花篮组搬运至所述第二输送线；所述第二搬运装置能够将位于所述第二输送线的所述花篮组搬运至所述第一输送线；所述对接输送线装置能够将位于所述第三输送线的所述花篮组搬运至所述第一输送线；
且所述第一输送线、所述第一搬运装置、所述第二输送线和所述第二搬运装置之间形成所述花篮组的第一循环输送线；所述第一输送线、所述第一搬运装置、所述第三输送线和所述对接输送线之间形成所述花篮组的第二循环输送线。
具体而言，沿所述第一输送线6的输送方向，所述第一输送线6包括相连接的第一工位61、第二工位62和第三工位63；沿所述第二输送线7的输送方向，所述第二输送线7包括相连接的第四工位71、第五工位72和第六工位73；沿所述第三输送线8的输送方向，所述第三输送线8包括相连接的第七工位81、第八工位82和第九工位83；
所述第一搬运装置能够将位于所述第三工位的所述花篮组搬运至所述第四工位和所述第七工位；所述第二搬运装置能够将位于所述第六工位的所述花篮组搬运至所述第一工位。
所述第一工位、所述第二工位、所述第三工位、所述第一搬运装置、所述第四工位、所述第五工位、所述第六工位和所述第二搬运装置之间形成所述花篮组的第一循环输送线；
所述第一工位、所述第二工位、所述第三工位、所述第一搬运装置、所述第七工位、所述第八工位、所述第九工位和所述对接输送线之间形成所述花篮组的第二循环输送线。
优选地，第一工位远离第二工位的一侧设置有上料工位91，第九工位远离第八工位的一侧设置有下料工位92。
优选地，第二装卸区位于第二工位内。
花篮组的具体的搬运流程为：装满未处理的硅片的花篮组在第一输送线依次输送，依次经过上料工位、第一工位、第二工位、第三工位，在第二工位的第二装卸区处装满未处理的硅片的花篮组里面的硅片全部被卸至石英舟内，在第三工位处，第一搬运机构将卸完后的空花篮组搬运至第二输送线，依次经过第四工位、第五工位和第六工位，在第六工位处，第二搬运机构将空花篮组搬运至第一输送线上的第一工位处；空花篮组从第一工位处依次经过第二工位处进行装载处理后的硅片，再经过第三工位处由第一搬运机构搬运至第三输送线上，由第七工位依次经过第八工位、第九工位以及下料工位进行下料。
现有技术中，花篮组为直线移动和进给。
本实施例通过所述第一工位、所述第二工位、所述第三工位、所述第一搬运装置、所述第四工位、所述第五工位、所述第六工位和所述第二搬运装置之间形成所述花篮组的第一循环输送线。也就是说，通过花篮组在第一循环输送线上循环，实现了同一批花篮组能够实现对石英舟的装料和卸料，且花篮组在循环过程中直接从第六工位自动进入第一工位，而不需要工作人员将花篮组逐个上至第一工位，第一方面解放了劳动力，实现自动生产线生产，第二方面，减少了甚至取消了装卸机械手对石英舟装载硅片后等待下一批花篮组的时间，也就是说，采用花篮组在第一循环输送线上进行循环流水线式输送，配合合理的流程设置和时序安排，利用装卸机械手装卸速度快的特点，能够大量减少装卸机械手的等待时间，提高了在退舟后的石英舟上卸下处理后的硅片、装载未处理的硅片的装卸效率，进而提高了设备的生产产能。
优选地，所述第一工位、所述第二工位、所述第三工位、所述第一搬运装置、所述第七工位、所述第八工位、所述第九工位和所述对接输送线之间形成所述花篮组的第二循环输送线。
优选地，本实施例所述第一输送线和所述第二输送线等高设置，所述第三输送线设置于所述第一输送线的下方；
所述第一输送线的所述第一工位远离所述第二工位的一侧设置有上料工位，所述第三输送线的所述第九工位远离所述第八工位的一侧设置有下料工位；
所述下料工位和所述上料工位之间通过所述对接输送线连接。
将下料工位的装满处理后的硅片的花篮组由对接输送线运输至第一输送线的上料工位，这样采用AGV(自动导引运输车)和上料工位对接时，AGV只需要运动至与上料工位对接，即可完成上料和下料动作，上料时从第一输送线进入，下料时从第一输送线离开。
装载有处理后的硅片的花篮组从第三工位由第一搬运机构搬运至第三输送线上，由第七工位依次经过第八工位、第九工位以及下料工位，通过对接输送线在上料工位处进行下料，也就是说，对装置的上料和下料在装置的同一处，方便上下料，且节省上下料时间，提高生产效率，进而提高了设备的生产产能。
优选地，第一输送线包括上下两层，所述上料工位位于上层，所述对接输送线与下层连接。
优选地，还包括第一顶升装置和第二顶升装置；第一顶升装置与第一装卸区相对应，第二顶升装置与第二装卸区相对应；第一顶升装置能够将第一装卸区内相间隔的多个储片槽内的硅片顶升，以便于装卸机械手抓取，第二顶升装置能够将第二装卸区内第一储片区或者第二储片区内硅片顶升，以便于装卸机械手抓取。
优选地，还包括阻挡装置，花篮组经过第二装卸区时，由阻挡装置对花篮组进行阻挡定位，以令花篮组完成装卸硅片。
本实施例所述的石英舟装卸硅片的装置具有实施例一所述石英舟装卸硅片的方法的优点，该优点已在实施例一中详细说明，在此不再重复。
最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。

Claims (13)

1.一种石英舟装卸硅片的方法，其特征在于，包括：
S100、装卸机械手从石英舟上依次抓取处理后的硅片卸载在多个依次进给的空的花篮组内，直至所述石英舟上处理后的硅片全部卸完；
其中，所述装卸机械手从石英舟上抓取处理后的硅片时，所述花篮组同时进给；所述装卸机械手将处理后的硅片卸载在空的花篮组内时，所述石英舟同时进给；
S200、携带未处理的硅片的花篮组依次进给，所述装卸机械手从所述花篮组内依次抓取未处理的硅片装载在所述石英舟空出的区域，直至所述石英舟上装满所述未处理的硅片。
2.根据权利要求1所述的石英舟装卸硅片的方法，其特征在于，在所述S200中，所述装卸机械手从所述花篮组内抓取未处理的硅片时，所述石英舟同时进给；所述装卸机械手将未处理的硅片装载在所述石英舟空出的区域时，所述花篮组同时进给。
3.根据权利要求1所述的石英舟装卸硅片的方法，其特征在于，所述S100包括：
S110、令石英舟上第一数量的储片槽进给至第一装卸区，并令所述第一装卸区内的所述储片槽中多个相间隔的储片槽与装卸机械手相对应，以及令花篮组内第一储片区进给至第二装卸区；
S120、所述装卸机械手将所述第一装卸区内相对应的储片槽中处理后的硅片抓取；
S130、所述装卸机械手移动至所述第二装卸区，并将所述装卸机械手内处理后的硅片卸载至所述第一储片区；
同时，所述石英舟进给一个储片槽，以令所述石英舟上第一数量的储片槽中剩余储片槽与所述装卸机械手相对应；
S140、所述装卸机械手移动至所述第一装卸区，并将所述第一装卸区内相对应的储片槽中处理后的硅片抓取；
同时，令所述花篮组进给，以令所述花篮组内第二储片区进给至所述第二装卸区；
S150、所述装卸机械手移动至所述第二装卸区，并将所述装卸机械手内处理后的硅片卸载至所述第二储片区内；
S160、令所述石英舟进给，以令所述石英舟上下一所述第一数量的储片槽进给至所述第一装卸区，并令所述第一装卸区内的所述储片槽中多个相间隔的储片槽与所述装卸机械手相对应；
同时，令下一所述花篮组内的所述第一储片区进给至所述第二装卸区；
S170、重复所述S120-所述S160，直至所述石英舟上处理后的硅片全部卸载至所述花篮组内。
4.根据权利要求2所述的石英舟装卸硅片的方法，其特征在于，所述S200包括：
S210、令装设有未处理的硅片的花篮组的第一储片区进给至所述第二装卸区；
S220、所述装卸机械手移动至所述第二装卸区，并将所述第一储片区内的所述未处理的硅片抓取；
S230、所述装卸机械手移动至所述第一装卸区，并将所述装卸机械手内未处理的硅片装载至所述第一装卸区内相对应的储片槽中；
同时，令所述花篮组进给，以令所述花篮组内第二储片区进给至所述第二装卸区；
S240、所述装卸机械手移动至所述第二装卸区，并将所述第二储片区内的所述未处理的硅片抓取；
同时，所述石英舟回退一个储片槽，以令所述石英舟上第一装卸区内的所述第一数量的储片槽中剩余储片槽与所述装卸机械手相对应；
S250、所述装卸机械手移动至所述第一装卸区，并将所述装卸机械手内未处理的硅片装载至所述第一装卸区内相对应的储片槽中。
5.根据权利要求4所述的石英舟装卸硅片的方法，其特征在于，还包括S260、令下一装设有未处理的硅片的花篮组的第一储片区进给至所述第二装卸区；
并令所述石英舟回退，以令所述石英舟上下一第一数量的储片槽进给至所述第一装卸区；
S270、重复所述S220-所述S260，直至多个所述花篮组内的硅片全部装载至所述石英舟上。
6.一种石英舟装卸硅片的装置，其特征在于，权利要求1-5任一项所述的石英舟装卸硅片的方法采用所述石英舟装卸硅片的装置；
所述石英舟装卸硅片的装置包括石英舟、输送线、花篮组和装卸机械手；
所述石英舟上设置有第一装卸区；所述输送线上设置有第二装卸区；
所述花篮组设置于所述输送线上，且能够沿所述输送线移动；
所述石英舟上并排设置有多个储片槽，且所述第一装卸区对应第一数量的所述储片槽，所述石英舟能够沿所述储片槽的排列方向移动；
所述花篮组上依次设置有第一储片区和第二储片区，且所述第一储片区和所述第二储片区沿所述输送线的输送方向设置；
所述装卸机械手能够在所述第一装卸区和所述第二装卸区之间往复移动，并进行硅片的装卸。
7.根据权利要求6所述的石英舟装卸硅片的装置，其特征在于，所述输送线包括平行设置的两个输送轨道；
所述花篮组包括第一花篮和第二花篮；所述第一花篮和所述第二花篮分别设置于两个所述输送轨道上，并能够沿所述输送轨道移动；
所述装卸机械手能够将两片硅片背靠背对接呈硅片组，以及能够将所述硅片组分离。
8.根据权利要求6所述的石英舟装卸硅片的装置，其特征在于，所述石英舟有两个，分别为第一石英舟和第二石英舟；
所述第一石英舟和所述第二石英舟平行设置。
9.根据权利要求8所述的石英舟装卸硅片的装置，其特征在于，还包括第一驱动装置和第二驱动装置；
所述第一驱动装置驱动连接所述第一石英舟，以令所述第一石英舟能够沿所述储片槽的排列方向移动；
所述第二驱动装置驱动连接所述第二石英舟，以令所述第二石英舟能够沿所述储片槽的排列方向移动。
10.根据权利要求9所述的石英舟装卸硅片的装置，其特征在于，所述第一驱动装置包括第一电机和第一丝杠；所述第一电机驱动连接所述第一丝杠；所述第一丝杠上配合连接有第一螺母，所述第一石英舟与所述第一螺母连接；所述第一电机驱动所述第一丝杠转动，能够令所述第一螺母带动所述第一石英舟沿所述第一丝杠移动；
所述第二驱动装置包括第二电机和第二丝杠；所述第二电机驱动连接所述第二丝杠；所述第二丝杠上配合连接有第二螺母，所述第二石英舟与所述第二螺母连接；所述第二电机驱动所述第二丝杠转动，能够令所述第二螺母带动所述第二石英舟沿所述第二丝杠移动。
11.根据权利要求6所述的石英舟装卸硅片的装置，其特征在于，还包括第一搬运装置、第二搬运装置和对接输送线；
所述输送线有三个，分别为第一输送线、第二输送线和第三输送线；且所述第一输送线、所述第二输送线和所述第三输送线沿输送方向依次平行设置；
所述第一搬运装置能够将位于所述第一输送线的所述花篮组搬运至所述第二输送线；所述第二搬运装置能够将位于所述第二输送线的所述花篮组搬运至所述第一输送线；所述对接输送线装置能够将位于所述第三输送线的所述花篮组搬运至所述第一输送线；
且所述第一输送线、所述第一搬运装置、所述第二输送线和所述第二搬运装置之间形成所述花篮组的第一循环输送线；所述第一输送线、所述第一搬运装置、所述第三输送线和所述对接输送线之间形成所述花篮组的第二循环输送线。
12.根据权利要求11所述的石英舟装卸硅片的装置，其特征在于，沿所述第一输送线的输送方向，所述第一输送线包括相连接的第一工位、第二工位和第三工位；沿所述第二输送线的输送方向，所述第二输送线包括相连接的第四工位、第五工位和第六工位；沿所述第三输送线的输送方向，所述第三输送线包括相连接的第七工位、第八工位和第九工位；
所述第一搬运装置能够将位于所述第三工位的所述花篮组搬运至所述第四工位和所述第七工位；所述第二搬运装置能够将位于所述第六工位的所述花篮组搬运至所述第一工位；
所述第一工位、所述第二工位、所述第三工位、所述第一搬运装置、所述第四工位、所述第五工位、所述第六工位和所述第二搬运装置之间形成所述花篮组的第一循环输送线；
所述第一工位、所述第二工位、所述第三工位、所述第一搬运装置、所述第七工位、所述第八工位、所述第九工位和所述对接输送线之间形成所述花篮组的第二循环输送线。
13.根据权利要求12所述的石英舟装卸硅片的装置，其特征在于，所述第一输送线和所述第二输送线等高设置，所述第三输送线设置于所述第一输送线的下方；
所述第一输送线的所述第一工位远离所述第二工位的一侧设置有上料工位，所述第三输送线的所述第九工位远离所述第八工位的一侧设置有下料工位；
所述下料工位和所述上料工位之间通过所述对接输送线连接。
CN201810948839.6A 2018-08-20 2018-08-20 石英舟装卸硅片的方法及其装置 Active CN109065491B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810948839.6A CN109065491B (zh) 2018-08-20 2018-08-20 石英舟装卸硅片的方法及其装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810948839.6A CN109065491B (zh) 2018-08-20 2018-08-20 石英舟装卸硅片的方法及其装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN109065491A true CN109065491A (zh) 2018-12-21
CN109065491B CN109065491B (zh) 2022-07-22

Family

ID=64686492

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201810948839.6A Active CN109065491B (zh) 2018-08-20 2018-08-20 石英舟装卸硅片的方法及其装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN109065491B (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109742047A (zh) * 2019-03-01 2019-05-10 苏州润阳光伏科技有限公司 花篮循环装置
CN110783430A (zh) * 2019-11-06 2020-02-11 上海焕巍智能科技有限公司 一种太阳能硅片导置交换的方法及装置

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20140356106A1 (en) * 2009-02-20 2014-12-04 Tokyo Electron Limited Substrate processing apparatus
CN204243016U (zh) * 2014-11-03 2015-04-01 江阴方艾机器人有限公司 管式pecvd石墨舟装卸片系统用硅片上料机构
CN106374007A (zh) * 2016-08-31 2017-02-01 江阴鑫辉太阳能有限公司 一种制绒扩散操作人员的配置方法
JP2017220579A (ja) * 2016-06-08 2017-12-14 株式会社ディスコ ウェーハ加工システム
CN107887314A (zh) * 2017-11-07 2018-04-06 河北晶龙阳光设备有限公司 一种硅片转运装载装置及基于其的硅片转运装载方法
WO2018103678A1 (zh) * 2016-12-07 2018-06-14 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 一种具有倒片检测装置的石墨舟侧向出舟机构
CN108364854A (zh) * 2018-02-11 2018-08-03 无锡先导智能装备股份有限公司 光伏扩散或者退火工序中石英舟退舟后装卸硅片的方法

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20140356106A1 (en) * 2009-02-20 2014-12-04 Tokyo Electron Limited Substrate processing apparatus
CN204243016U (zh) * 2014-11-03 2015-04-01 江阴方艾机器人有限公司 管式pecvd石墨舟装卸片系统用硅片上料机构
JP2017220579A (ja) * 2016-06-08 2017-12-14 株式会社ディスコ ウェーハ加工システム
CN106374007A (zh) * 2016-08-31 2017-02-01 江阴鑫辉太阳能有限公司 一种制绒扩散操作人员的配置方法
WO2018103678A1 (zh) * 2016-12-07 2018-06-14 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 一种具有倒片检测装置的石墨舟侧向出舟机构
CN107887314A (zh) * 2017-11-07 2018-04-06 河北晶龙阳光设备有限公司 一种硅片转运装载装置及基于其的硅片转运装载方法
CN108364854A (zh) * 2018-02-11 2018-08-03 无锡先导智能装备股份有限公司 光伏扩散或者退火工序中石英舟退舟后装卸硅片的方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109742047A (zh) * 2019-03-01 2019-05-10 苏州润阳光伏科技有限公司 花篮循环装置
CN110783430A (zh) * 2019-11-06 2020-02-11 上海焕巍智能科技有限公司 一种太阳能硅片导置交换的方法及装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN109065491B (zh) 2022-07-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2020098560A1 (zh) 花篮内循环装置
CN109065491A (zh) 石英舟装卸硅片的方法及其装置
CN110161804A (zh) 涂胶显影设备及系统
CN111846782A (zh) 送料装置
CN108364854B (zh) 光伏扩散或者退火工序中石英舟退舟后装卸硅片的方法
CN108100666A (zh) 基板供给装置的控制方法及基板供给回收装置的控制方法
CN110299313A (zh) 清洗装置和清洗方法
CN112079127B (zh) 一种基于分离式agv输送的锂电池生产设备
CN103332426A (zh) 自动化物料输送系统及物料传送方法
CN116759487A (zh) 石墨舟装卸片机及硅片装卸方法
WO2023193544A1 (zh) 用于电芯与上盖组装的设备
WO2023245896A1 (zh) 锂离子电池的正极材料窑炉烧结系统及方法
CN219861556U (zh) 一种pvd自动上下料设备
US9145271B2 (en) Optimization of conveyor belts used for workpiece processing
KR101014747B1 (ko) 태양전지용 웨이퍼의 로딩 및 언로딩 장치
CN102677017B (zh) 装卸料机构、cvd设备和该cvd设备的控制方法
CN220456437U (zh) 石墨舟装卸片机
JP2003152047A (ja) 半導体装置の生産システム
CN218034419U (zh) 锂离子电池的正极材料窑炉烧结系统
CN214542164U (zh) 一种新型晶圆存储及周转系统
CN209834194U (zh) 软包电池成型机及软包电池成型系统
CN103569570A (zh) 自动化物料输送系统及其方法
CN216913428U (zh) 一种晶片上料传输机
CN217528320U (zh) 一种测试流水线及测试系统
CN117446416B (zh) 一种笔记本电脑智能检测产线

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant