CN107887314A - 一种硅片转运装载装置及基于其的硅片转运装载方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种硅片转运装载装置及基于其的硅片转运装载方法，所述装置包括机架、两石英舟定位上下料系统、花篮通道转运系统和双头转运机械手系统；两所述石英舟定位上下料系统分别设置于所述机架的左右两侧，所述花篮通道转运系统设置于所述机架的中部且位于两石英舟定位上下料系统之间，所述双头转运机械手系统横跨所述机架的左右两侧且位于所述石英舟定位上下料系统和花篮通道转运系统的上方。
Description
技术领域
本发明涉及太阳能电池板中的硅片的生产加工设备及工艺方法，尤其涉及一种自动化程度高的硅片转运装载装置及利用该装置的硅片转运装载方法。
背景技术
针对太阳能电池片生产过程中，扩散、退火工序，需要将硅片进行石英舟和花篮装载装置之间的转载。在太阳能电池片加工过程中，在退火和扩散工序，需要将电池片装入、取出石英舟。现工艺中使用的石英舟多为200槽的半间距石英舟，槽间距仅为2.38mm。退火工序为每槽一片，扩散工序为每槽两片。
硅片在装载装置的转换过程，存在转移硅片量大，硅片易碎的情况。为了提高扩散、退火效率，用于扩散、退火的装载装置-石英舟的槽间距较小，仅为2.38mm。与石英舟转载的装载装置-花篮的槽间距为4.76mm。因此在石英舟和花篮之间相互转载的时候需要对硅片进行奇偶分层的方式进行处理。
针对硅片的自动装载转运，现有技术中公开了多个针对性不同的技术方案，如专利申请号为201510692356.0的中国发明专利申请中公开了一种用于太阳能电池片转蓝的机械手及双头转运装置，其包括机械手、龙门架、固定设置在龙门架上的垂直升降机构以及横移机构；机械手包括竖直设置的安装板、固定设置在安装板上的顶板、通过水平滑轨滑动设置在顶板上的安装架、水平设置在安装架底部的旋转台、微动机构以及设置在安装架上的旋转机构、和真空系统；该装置的负压吸盘组在对电池片吸附时利用真空发生器提供的负压对电池片进行吸附，吸取电池片后机械手在移动过程中可以根据需要启动旋转机构，将吸取的一组电池片进行转向180°，这样可以简化下游的工作流程，分篮后的两个篮筐直接进入下游设备进行加工，因此也简化了下游的设备配置。
如专利号为CN206116440U的中国实用新型专利中公开的一种太阳能电池片在半间距石英舟的自动上下料装置，其包括底板、半间距石英舟水平运动系统、半间距石英舟定位系统、竖直设置的升降托片机构、对称设置在所述升降托片机构两侧的调整机构、设置在所述升降托片机构上方的能够上下移动的双组吸盘系统，该装置的升降托片机构在升起时可以把半间距石英舟内100片电池片（硅片）全部托起，双组吸盘系统可以把托起的100片电池片全部吸走。
如专利号为2016211025914的中国实用新型专利中公开的一种用于太阳能电池片载片花篮双通道转运装置，其包括两个并列设置的输送载片花篮的通道和设置在花篮通道下方的升降托片机构以及转运花篮的传动机构等。
上述机构都不能实现在硅片扩散和退火工艺过程中的全程自动装卸工作。因此，为实现硅片在装载装置的快速、完好转载，设计了一种硅片上下料方法，并采用自动化设备的方式进行了实现。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种自动化程度高的硅片转运装载装置及利用该装置的硅片转运装载方法。
为解决上述问题，本发明所采取的技术方案是：
一种硅片转运装载装置，其关键技术在于：其包括机架、两石英舟定位上下料系统、花篮通道转运系统和双头转运机械手系统；两所述石英舟定位上下料系统分别设置于所述机架的左右两侧，所述花篮通道转运系统设置于所述机架的中部且位于两石英舟定位上下料系统之间，所述双头转运机械手系统横跨所述机架的左右两侧且位于所述石英舟定位上下料系统和花篮通道转运系统的上方；
所述石英舟定位上下料系统包括石英舟水平运动机构、石英舟定位机构、升降托片机构和硅片调整机构；
所述花篮通道转运系统包括两个并列的花篮通道，所述花篮通道的底部设置有转送花篮的转送装置，在所述花篮通道两侧设置有可拆卸的挡板，所述花篮通道包括顺序衔接的上料段、定位段和出料段，所述上料段设置有阻挡花篮的花篮阻挡装置，所述定位段设置有花篮定位装置、硅片规正装置和托片升降装置；
所述双头转运机械手系统包括设置在所述机架上的龙门架、固定设置在所述龙门架上的升降机构、由所述升价机构驱动的横移机构和设置在所述横移机构上的两个吸盘机械手。
一种基于上述的硅片转运装载装置的硅片扩散转运装载方法，其关键技术在于，步骤如下：石英舟的槽间距为2.38mm，花篮的槽间距为4.76mm；
硅片由花篮转运到石英舟中：将装有硅片的两个花篮分别放置在两个所述花篮通道内，并且使两个花篮一正一反放置；在所述石英舟定位上下料系统上放置石英舟，石英舟水平运动机构将石英舟输送到中部，由所述石英舟定位机构将其定位；在花篮通道内的转送装置的作用下花篮进入到花篮通道的定位段，所述定位段的托片升降装置将花篮中的50片硅片托起，双头转运机械手系统上的两个吸盘机械手分别先后吸取两个花篮通道中的50片硅片，然后移动到石英舟上方，两个吸盘机械手上的硅片合片，升降托片机构上升，将两个吸盘机械手上的硅片拖住，然后下降至硅片调整机构处，硅片调整机构对硅片进行归正，再下降至石英舟中将硅片放置在石英舟的槽内，使石英舟一槽内装有两片硅片，石英舟水平运动机构带动石英舟移动2.38mm，重复上述操作，使石英舟中的槽都装满硅片，且一槽两片，然后石英舟由水平运动机构送出，空花篮由转送装置送到出料段；
硅片由石英舟转运到花篮中：装有硅片的石英舟放置在石英舟定位上下料系统上，且一槽两片，石英舟水平运动机构将石英舟输送到中部，由所述石英舟定位机构将其定位，空花篮放置在两个所述花篮通道内，并且使两个花篮一正一反放置，花篮通道内的转送装置的作用下花篮进入到花篮通道的定位段，石英舟定位上下料系统的升降托片机构上升，分片梳将硅片间隔托起，一槽中托起两片，双头转运机械手系统上的两个吸盘机械手吸取被托起的硅片，然后分别移动到两个空花篮上方，所述定位段的托片升降装置上升，将硅片拖住，然后下降至硅片规正装置处，硅片规正装置对硅片进行归正，再下降至花篮中将硅片放置在花篮中，装满硅片的花篮由转送装置送到出料段，石英舟水平运动机构带动石英舟移动2.38mm，重复上述操作，使石英舟内的硅片全部转运到花篮中，然后石英舟由水平运动机构送出。
一种基于上所述的硅片转运装载装置的硅片退火转运装载方法，其关键技术在于，步骤如下：石英舟的槽间距为2.38mm，花篮的槽间距为4.76mm；
硅片由花篮转运到石英舟中：将装有硅片的两个花篮分别放置在两个所述花篮通道内；在两个所述石英舟定位上下料系统上分别放置石英舟，石英舟水平运动机构将石英舟输送到中部，由所述石英舟定位机构将其定位；在花篮通道内的转送装置的作用下花篮进入到花篮通道的定位段，所述定位段的托片升降装置将花篮中的50片硅片托起，双头转运机械手系统上的两个吸盘机械手分别吸取两个花篮通道中的50片硅片，两个吸盘机械手分别移动到两侧的石英舟上方，相应的升降托片机构上升，将硅片托住，然后下降至硅片调整机构处，硅片调整机构对硅片进行归正，再下降至石英舟中将硅片放置在石英舟的槽内，石英舟水平运动机构带动石英舟移动2.38mm，重复上述操作，将硅片放置在石英舟剩余的槽内，使两个石英舟中的槽都装满硅片，且一槽一片，然后两个石英舟由水平运动机构送出，空花篮由转送装置送到出料段；
硅片由石英舟转运到花篮中：装有硅片的两个石英舟分别放置在两侧的石英舟定位上下料系统上，且一槽一片，石英舟水平运动机构将石英舟输送到中部，由所述石英舟定位机构将其定位，空花篮放置在两个所述花篮通道内，花篮通道内的转送装置的作用下花篮进入到花篮通道的定位段，两个石英舟定位上下料系统的升降托片机构上升，分片梳将硅片间隔托起，双头转运机械手系统上的两个吸盘机械手分别吸取两侧被托起的硅片，然后分别移动到两个花篮通道的空花篮上方，所述花篮通道的定位段的托片升降装置上升，将硅片拖住，然后下降至硅片规正装置处，硅片规正装置对硅片进行归正，再下降至花篮中将硅片放置在花篮中，两个装满硅片的花篮由转送装置送到出料段，石英舟水平运动机构带动石英舟移动2.38mm，重复上述操作，使石英舟内的硅片全部转运到花篮中，然后石英舟由水平运动机构送出。
采用上述技术方案所产生的有益效果在于：
本发明提供的硅片转运装载装置，将石英舟定位上下料系统、花篮通道转运系统和双头转运机械手系统按照合理的方式集成设置在一个机架上，使之成为一个完整的能够实现在硅片的扩散和退火工艺过程中硅片在石英舟和花篮之间自动转运装载的自动化设备。通过该设备，在硅片的扩散和退火工艺中，采用一定的步骤和方法能够实现硅片在半间距（槽间距2.38mm）石英舟和花篮之间相互转移装载，实现了硅片的自动化转移，工作效率高，该设备和方法的结合，自动化程度高，降低了工人的工作强度，有效降低了硅片的破损率。
附图说明
为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
图1是本发明的整体结构示意图。
图2是本发明的侧视结构示意图。
图3是本发明石英舟定位上下料系统的结构示意图。
图4是本发明分片梳的结构示意图。
图5是图4中A部的局部放大结构示意图。
图6是分片梳的梳齿的结构示意图。
图7是分片梳的梳齿的装配结构示意图。
图8是本发明花篮通道转运系统的结构示意图。
图9是本发明花篮通道转运系统中定位段的结构示意图。
图10是本发明双头转运机械手系统的结构示意图。
其中：1机架、2石英舟定位上下料系统、2-1石英舟水平运动机构、2-2石英舟定位机构、2-3升降托片机构、2-4硅片调整机构、2-5分片梳、2-51梳齿、2-51-1凸台、2-51-2轴孔、2-51-3硅片插槽、2-51-4缓冲胶条、2-52固定夹板、2-53第一调整夹板、2-54固定螺孔、2-55第一连接孔、2-56第二连接孔、2-57固定轴杆、2-58第二调整夹板、2-58-1连接螺孔、2-59让位槽、3花篮通道转运系统、301上料段、302定位段、303出料端、3-1花篮通道、3-2挡板、3-3硅片规正装置、3-4托片升降装置、4双头转运机械手系统、4-1龙门架、4-2升降机构、4-3横移机构、4-4吸盘机械手。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合附图和具体实施例对发明进行清楚、完整的描述。
实施例1
如图1-10所示的一种硅片转运装载装置，其包括机架1、两石英舟定位上下料系统2、花篮通道转运系统3和双头转运机械手系统4；两所述石英舟定位上下料系统2分别设置于所述机架1的左右两侧，所述花篮通道转运系统3设置于所述机架1的中部且位于两石英舟定位上下料系统2之间，所述双头转运机械手系统4横跨所述机架1的左右两侧且位于所述石英舟定位上下料系统2和花篮通道转运系统3的上方。
如图2所示，所述石英舟定位上下料系统2包括石英舟水平运动机构2-1、石英舟定位机构2-2、升降托片机构2-3和硅片调整机构2-4；所述石英舟水平运动机构2-1包括滑动设置在托板和控制所述托板水平移动的电机丝杆机构，所述石英舟定位机构2-2设置在所述托板上的定位块和压紧装置，所述升降托片机构2-3包括电机升降机构和设置在其上的分片梳2-5。所述硅片调整机构2-4包括电机丝杆机构和设置在其上的硅片调整梳子，升降托片机构2-3的左右两侧各设置一个硅片调整梳子，两个硅片调整梳子向中间同步移动，对升降托片机构2-3托起的硅片进行调整。
如图4-7所示，所述分片梳2-5包括若干有序排列板条状的梳齿2-51和将所述梳齿2-51固定在一起的夹板机构；夹板机构将若干梳齿2-51进行固定，形成一个整体性较强的结构单元。所述梳齿2-51的下部一侧设置有凸台2-51-1，所述凸台2-51使相邻的两个梳齿2-51之间形成让位槽2-59，所述梳齿2-51的下部的凸台2-51-1上设置有两个以上的轴孔2-51-2，所述梳齿2-51顶部设置有硅片插槽2-51-3，所述硅片插槽2-51-3的底部设置有缓冲胶条2-51-4，所述缓冲胶条2-51-4与所述硅片插槽2-51-3的槽底结构相适应，在取放时起到缓冲的作用，有效杜绝了硅片因与梳片的硅片插槽底碰触后废片的产生。所述缓冲胶条2-51-4采用氟橡胶，氟橡胶有耐高温特性，且性能稳定。经处理的高温硅片不会对胶条造成损伤，且胶条也不会造成硅片的污染。
所述硅片插槽2-51-3的深度小于所述让位槽2-59的深度。托举硅片时，一半硅片进入到所述硅片插槽2-51-3中被托举起来，另一半硅片进入到让位槽2-59内，由于让位槽深度较深，因此不会将其内的硅片托举起来。如图2所示，所述梳齿2-51顶部，在硅片插槽2-51-3两侧的分片顶端两侧设置有倒角，方便与硅片配合。
所述夹板机构包括位于梳片左右两侧的固定夹板2-52、位于梳片前后侧的第一调整夹板2-53和第二调整夹板2-58、固定轴杆2-57，若干所述梳齿2-51通过穿设在所述轴孔2-51-2中的固定轴杆2-57拼合在一起，所述固定夹板2-52上设置有与所述轴孔2-51-2位置相对应的第一连接孔2-55，固定夹板2-52通过设置于所述第一连接孔2-55内的螺钉与所述固定轴杆2-57固定连接；所述第二调整夹板2-58呈L型，所述第一调整夹板2-53与所述第二调整夹板2-58的水平部固定连接，第一调整夹板2-53和第二调整夹板2-58之间形成放置所述梳齿2-51的卡槽，两侧的固定夹板2-52与所述第二调整夹板2-58的水平部固定连接。
如图7所示，在图7中隐去了该侧的固定夹板，第二调整夹板2-58的水平部上设置有连接螺孔2-58-1，所述固定夹板2-52上设置有与所述连接螺孔2-58-1相对应的第二连接孔2-56，所述固定夹板2-52通过设置于所述第二连接孔2-56中的螺钉与所述第二调整夹板2-58上的连接螺孔2-58-1固定连接。所述第一调整夹板2-53上设置有固定螺孔2-54，螺钉通过所述固定螺孔2-54使所述第一调整夹板2-53与第二调整夹板2-58的水平部固定连接。所述梳齿2-51上设置有两个轴孔2-51-2，若干梳齿2-51排列形成的两排轴孔2-51-2内分别穿设一个固定轴杆2-57。第一调整夹板2-53下部内侧设置有横向的槽，使其上部形成凸起，能够更好的对梳齿进行压紧。
如图8和9所示，所述花篮通道转运系统3包括两个并列的花篮通道3-1，两个花篮通道3-1两侧设置有防护和限位用的支撑体。所述花篮通道的底部设置有转送花篮的转送装置，所述传动装置为同步带传送装置。在所述花篮通道3-1两侧设置有可拆卸的挡板3-2，所述挡板3-2的拆装能够改变花篮通道3-1的内部宽度，能够使其容纳不同型号和尺寸的花篮。所述花篮通道包括顺序衔接的上料段301、定位段302和出料段303，所述上料段301设置有阻挡花篮的花篮阻挡装置，所述定位段设置有花篮定位装置、硅片规正装置3-3和托片升降装置3-4；所述托片升降装置3-4和所述升降托片机构2-3的原理相同，但是托片升降装置3-4的托片梳和分片梳2-5具体结构不相同，因为分片梳2-5需要将半间距石英舟内的硅片间隔托举，而花篮中的间距为4.76mm，不需要分片，所以托片升降装置3-4上的托片梳则不需要分片，直接将硅片托起即可。所述硅片规正装置3-3和所述硅片调整机构2-4结构和原理相同。
如图10所示，所述双头转运机械手系统4包括设置在所述机架上的龙门架4-1、固定设置在所述龙门架上的升降机构4-2、由所述升价机构驱动的横移机构4-3和设置在所述横移机构上的两个吸盘机械手4-4。所述升降机构4-2固定设置在所述龙门架4-1上，所述横移机构4-3设置在所述升降机构4-2上，升降机构4-2带动横移机构4-3垂直升降，所述吸盘机械手4-4设置在所述横移机构4-3上，横移机构4-3带动吸盘机械手4-4左右水平移动。
两个吸盘机械手4-4上的吸盘通过负压吸取硅片，并且两个吸盘机械手4-4上的吸盘是错位设置的，即一个适用于吸取正方向放置的硅片，另一个适用于吸取反方向放置的硅片，并且吸取时，左侧的吸盘机械手吸住硅片的左上部，右侧吸盘机械手吸取硅片的右上部，即两个吸盘机械手上的吸盘均偏心设置，吸取以后两个吸盘机械手4-4向一处合并，由于其吸盘正反错位设置，其上的硅片也方向相反，能够实现合片，即两片方向不同的硅片拼合，方便将两片硅片同时放入到石英舟的一个槽中，相反，也方便将一槽两片的石英舟内的硅片同时取出来。
实施例2
一种基于实施例1所述的硅片转运装载装置的硅片扩散转运装载方法，石英舟的槽间距为2.38mm，花篮的槽间距为4.76mm；普通舟是200槽的，可以装200片；大舟是500槽的，可以装500片；花篮为50槽的，可以装50片。
步骤如下：
硅片由花篮转运到石英舟中：将装有硅片的两个花篮分别放置在两个所述花篮通道3-1内，并且使两个花篮一正一反放置；在所述石英舟定位上下料系统上放置石英舟，石英舟水平运动机构2-1将石英舟输送到中部，由所述石英舟定位机构2-2将其定位；在花篮通道内的转送装置的作用下花篮进入到花篮通道的定位段，所述定位段的托片升降装置将花篮中的50片硅片托起，双头转运机械手系统上的两个吸盘机械手吸取两个花篮通道3-1中的花篮内的50片硅片，然后移动到石英舟上方，两个吸盘机械手4-4上的硅片合片，升降托片机构2-3上升，将两个吸盘机械手4-4上的硅片拖住，然后升降托片机构2-3带着硅片下降至硅片调整机构2-4处，硅片调整机构2-4对硅片进行归正，然后升降托片机构2-3带着硅片再下降至石英舟中将硅片放置在石英舟的槽内，使石英舟一槽内装有两片硅片，石英舟水平运动机构2-1带动石英舟移动2.38mm，重复上述操作，使石英舟中的槽都装满硅片，且一槽两片，然后石英舟由水平运动机构送出，空花篮由转送装置送到出料段。将石英舟上装满的硅片进行扩散加工处理。
经过处理后，硅片由石英舟转运到花篮中：装有硅片的石英舟放置在石英舟定位上下料系统上2，且石英舟内仍然保持原有的一槽两片的状态，石英舟水平运动机构2-1将石英舟输送到中部，由所述石英舟定位机构2-2将其定位，空花篮放置在两个所述花篮通道3-1内，并且使两个花篮一正一反放置，花篮通道3-1内的转送装置的作用下花篮进入到花篮通道的定位段302，石英舟定位上下料系统2的升降托片机构2-3上升，分片梳将硅片间隔托起，一槽中托起两片，双头转运机械手系统4上的两个吸盘机械手4-4吸取被托起的硅片，然后分别移动到两个空花篮（花篮一正一反放置）上方，所述定位段的托片升降装置上升，将硅片拖住，然后下降至硅片规正装置处，硅片规正装置对硅片进行归正，再下降至花篮中将硅片放置在花篮中，装满硅片的花篮由转送装置送到出料段，石英舟水平运动机构带动石英舟移动2.38mm，重复上述操作，使石英舟内的硅片全部转运到花篮中，然后石英舟由水平运动机构送出。
根据上述转运方法，在扩散工艺过程中，只有一侧的石英舟定位上下料系统2是处于工作状态的。200槽的石英舟内装400片硅片（一槽两片），两个吸盘机械手4-4一次能够转移100片，需要重复4次，能够将石英舟装满或者将其内的硅片全部转移到花篮内。
实施例3
一种基于权利要求1所述的硅片转运装载装置的硅片退火转运装载方法，其特征在于，步骤如下：石英舟的槽间距为2.38mm，花篮的槽间距为4.76mm；普通舟是200槽的，可以装200片；大舟是500槽的，可以装500片；花篮为50槽的，可以装50片。
硅片由花篮转运到石英舟中：将装有硅片的两个花篮分别放置在两个所述花篮通道3-1内的上料段301；在两个所述石英舟定位上下料系统2上分别放置石英舟，石英舟水平运动机构2-1将石英舟输送到中部，由所述石英舟定位机构2-2将其定位；在花篮通道3-1内的转送装置的作用下花篮进入到花篮通道3-1的定位段302，所述定位段302的托片升降装置3-4将花篮中的50片硅片托起，双头转运机械手系统4上的两个吸盘机械手4-4分别吸取两个花篮通道中的50片硅片，两个吸盘机械手4-4分别移动到两侧的石英舟上方，相应的升降托片机构2-3上升，将硅片托住，然后下降至硅片调整机构2-4处，硅片调整机构2-4对硅片进行归正，再下降至石英舟中将硅片放置在石英舟的槽内，石英舟水平运动机构2-1带动石英舟移动2.38mm，重复上述操作，将硅片放置在石英舟剩余的槽内，使两个石英舟中的槽都装满硅片，且一槽一片，然后两个石英舟由水平运动机构2-1送出，空花篮由转送装置送到出料段303。将石英舟上装满的硅片进行退火加工处理
硅片由石英舟转运到花篮中：装有硅片的两个石英舟分别放置在两侧的石英舟定位上下料系统上2，且一槽一片，石英舟水平运动机构2-1将石英舟输送到中部，由所述石英舟定位机构2-2将其定位，空花篮放置在两个所述花篮通道3-1的上料段301，在花篮通道3-1内的转送装置的作用下花篮进入到花篮通道的定位段302，两个石英舟定位上下料系统2的升降托片机构2-3上升，分片梳2-5将硅片间隔托起，双头转运机械手系统4上的两个吸盘机械手4-4分别吸取两侧被托起的硅片，然后分别移动到两个花篮通道3-1的空花篮上方，所述花篮通道3-1的定位段302的托片升降装置3-4上升，将硅片拖住，然后下降至硅片规正装置3-3处，硅片规正装置3-3对硅片进行归正，再下降至花篮中将硅片放置在花篮中，两个装满硅片的花篮由转送装置送到出料段303，石英舟水平运动机构2-1带动石英舟移动2.38mm，重复上述操作，使石英舟内的硅片全部转运到花篮中，然后石英舟由水平运动机构送出。
根据上述转运方法，在退火工艺过程中，两侧的石英舟定位上下料系统2都处于工作状态。200槽的石英舟内装200片硅片（一槽一片），一个吸盘机械手4-4负责一侧的花篮和石英舟之间硅片的相互转移，一个吸盘机械手4-4一次能够转移50片，需要重复4次，能够将石英舟装满或者将其内的硅片全部转移到花篮内。
最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明实施例技术方案的精神和范围。
Claims (3)
1.一种硅片转运装载装置，其特征在于：其包括机架（1）、两石英舟定位上下料系统（2）、花篮通道转运系统（3）和双头转运机械手系统（4）；两所述石英舟定位上下料系统（2）分别设置于所述机架（1）的左右两侧，所述花篮通道转运系统（3）设置于所述机架（1）的中部且位于两石英舟定位上下料系统（2）之间，所述双头转运机械手系统（4）横跨所述机架（1）的左右两侧且位于所述石英舟定位上下料系统（2）和花篮通道转运系统（3）的上方；
所述石英舟定位上下料系统（2）包括石英舟水平运动机构、石英舟定位机构、升降托片机构和硅片调整机构；
所述花篮通道转运系统（3）包括两个并列的花篮通道，所述花篮通道的底部设置有转送花篮的转送装置，在所述花篮通道两侧设置有可拆卸的挡板，所述花篮通道包括顺序衔接的上料段、定位段和出料段，所述上料段设置有阻挡花篮的花篮阻挡装置，所述定位段设置有花篮定位装置、硅片规正装置和托片升降装置；
所述双头转运机械手系统（4）包括设置在所述机架上的龙门架、固定设置在所述龙门架上的升降机构、由所述升价机构驱动的横移机构和设置在所述横移机构上的两个吸盘机械手。
2.一种基于权利要求1所述的硅片转运装载装置的硅片扩散转运装载方法，其特征在于，步骤如下：石英舟的槽间距为2.38mm，花篮的槽间距为4.76mm；
硅片由花篮转运到石英舟中：将装有硅片的两个花篮分别放置在两个所述花篮通道内，并且使两个花篮一正一反放置；在所述石英舟定位上下料系统上放置石英舟，石英舟水平运动机构将石英舟输送到中部，由所述石英舟定位机构将其定位；在花篮通道内的转送装置的作用下花篮进入到花篮通道的定位段，所述定位段的托片升降装置将花篮中的50片硅片托起，双头转运机械手系统上的两个吸盘机械手吸取两个花篮通道中的50片硅片，然后移动到石英舟上方，两个吸盘机械手上的硅片合片，升降托片机构上升，将两个吸盘机械手上的硅片拖住，然后下降至硅片调整机构处，硅片调整机构对硅片进行归正，再下降至石英舟中将硅片放置在石英舟的槽内，使石英舟一槽内装有两片硅片，石英舟水平运动机构带动石英舟移动2.38mm，重复上述操作，使石英舟中的槽都装满硅片，且一槽两片，然后石英舟由水平运动机构送出，空花篮由转送装置送到出料段；
硅片由石英舟转运到花篮中：装有硅片的石英舟放置在石英舟定位上下料系统上，且一槽两片，石英舟水平运动机构将石英舟输送到中部，由所述石英舟定位机构将其定位，空花篮放置在两个所述花篮通道内，并且使两个花篮一正一反放置，花篮通道内的转送装置的作用下花篮进入到花篮通道的定位段，石英舟定位上下料系统的升降托片机构上升，分片梳将硅片间隔托起，一槽中托起两片，双头转运机械手系统上的两个吸盘机械手吸取被托起的硅片，然后分别移动到两个空花篮上方，所述定位段的托片升降装置上升，将硅片拖住，然后下降至硅片规正装置处，硅片规正装置对硅片进行归正，再下降至花篮中将硅片放置在花篮中，装满硅片的花篮由转送装置送到出料段，石英舟水平运动机构带动石英舟移动2.38mm，重复上述操作，使石英舟内的硅片全部转运到花篮中，然后石英舟由水平运动机构送出。
3.一种基于权利要求1所述的硅片转运装载装置的硅片退火转运装载方法，其特征在于，步骤如下：石英舟的槽间距为2.38mm，花篮的槽间距为4.76mm；
硅片由花篮转运到石英舟中：将装有硅片的两个花篮分别放置在两个所述花篮通道内；在两个所述石英舟定位上下料系统上分别放置石英舟，石英舟水平运动机构将石英舟输送到中部，由所述石英舟定位机构将其定位；在花篮通道内的转送装置的作用下花篮进入到花篮通道的定位段，所述定位段的托片升降装置将花篮中的50片硅片托起，双头转运机械手系统上的两个吸盘机械手分别吸取两个花篮通道中的50片硅片，两个吸盘机械手分别移动到两侧的石英舟上方，相应的升降托片机构上升，将硅片托住，然后下降至硅片调整机构处，硅片调整机构对硅片进行归正，再下降至石英舟中将硅片放置在石英舟的槽内，石英舟水平运动机构带动石英舟移动2.38mm，重复上述操作，将硅片放置在石英舟剩余的槽内，使两个石英舟中的槽都装满硅片，且一槽一片，然后两个石英舟由水平运动机构送出，空花篮由转送装置送到出料段；
硅片由石英舟转运到花篮中：装有硅片的两个石英舟分别放置在两侧的石英舟定位上下料系统上，且一槽一片，石英舟水平运动机构将石英舟输送到中部，由所述石英舟定位机构将其定位，空花篮放置在两个所述花篮通道内，花篮通道内的转送装置的作用下花篮进入到花篮通道的定位段，两个石英舟定位上下料系统的升降托片机构上升，分片梳将硅片间隔托起，双头转运机械手系统上的两个吸盘机械手分别吸取两侧被托起的硅片，然后分别移动到两个花篮通道的空花篮上方，所述花篮通道的定位段的托片升降装置上升，将硅片拖住，然后下降至硅片规正装置处，硅片规正装置对硅片进行归正，再下降至花篮中将硅片放置在花篮中，两个装满硅片的花篮由转送装置送到出料段，石英舟水平运动机构带动石英舟移动2.38mm，重复上述操作，使石英舟内的硅片全部转运到花篮中，然后石英舟由水平运动机构送出。
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20180406 |
|
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |