CN117542778A - 光伏ald工艺高效上料机及上料方法 - Google Patents

光伏ald工艺高效上料机及上料方法 Download PDF

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Abstract

本发明公开了光伏ALD工艺高效上料机及上料方法，涉及到光伏ALD技术领域，包括：机架，所述机架上设置有花篮放置工位、硅片转运机构、晶舟放置工位以及晶舟转运机构，所述硅片转运机构包括两个滑动设置的硅片固定组件，每个所述硅片固定组件均包括两个分别设置有多个硅片固定空间的固定部；本发明采用双插的工艺生产模式时，使两个第一安装座相向运动，使相对的两个硅片固定空间内的硅片贴合在一起，再通过转运机器人将硅片放置在晶舟内；当需要采用单插的工艺生产方式时，转运机器人将硅片放置在晶舟的两个晶格的晶槽中，同时对两个晶格进行上料，满足不同加工工艺的上料需求，可以快速对不同规格的晶舟进行上料。

Description

光伏ALD工艺高效上料机及上料方法
技术领域
本发明涉及光伏ALD技术领域，具体为光伏ALD工艺高效上料机及上料方法。
背景技术
光伏ALD工艺是一种通过原子层沉积技术制造太阳能电池的方法。该工艺使用一种称为化学气相沉积的过程，将材料分子分解成原子，然后将它们沉积在基板上。这些原子层可以形成非常薄的膜，通常只有几个原子的厚度。 光伏ALD工艺的优点是可以制造非常薄的太阳能电池。这意味着可以在较小的空间内放置更多的电池，从而提高太阳能电池的功率密度。此外，该工艺可以使用多种材料来制造电池，从而提高电池的效率。
光伏ALD工艺中，使用硅片时，需要在硅片的表面进行化学处理，经过化学处理后的硅片才能够进行后续加工，通过上料组件将硅片从花篮转移至晶舟中，传统的处理方式是将两片硅片贴合放置在晶舟的一个硅片槽中，再将晶舟转运至处理工位，对同一个硅片槽上的两个硅片裸露的两个外表面进行化学处理。
由于工艺生产的需要，需要对硅片两面均进行化学处理，因此在一个硅片槽中只能放置一片硅片，如按原有方式进行工艺生产，会导致产能直接减半，因此需要采用更大的晶舟进行生产，并且由于花篮硅片槽间距为晶舟硅片槽间距的两倍，导致传统的上料机以及上料方式，无法快速高效的完成新工艺的上料工作。
有鉴于此，亟需一种光伏ALD工艺高效上料机及上料方法，用于兼顾新老工艺的上料工作。
发明内容
针对现有技术中存在的问题，本发明用以下技术结构解决此问题。
为实现上述目的，本发明采用如下技术方案：
光伏ALD工艺高效上料机，包括：机架，所述机架上设置有花篮放置工位、硅片转运机构、晶舟放置工位以及晶舟转运机构；
所述硅片转运机构包括两个滑动设置的硅片固定组件，每个所述硅片固定组件均包括两个分别设置有多个硅片固定空间的固定部，其中，当两个硅片固定组件相向运动时，相对的两个硅片固定空间内的硅片贴合 ；
其中，所述硅片转运机构将花篮放置工位处花篮中的硅片转运至晶舟放置工位处的晶舟中，所述晶舟转运机构用于将晶舟放置工位处晶舟转运至待加工工位。
其进一步特征在于，
所述硅片转运机构还包括转运支架和用于驱动转运支架活动的转运机器人，所述转运机器人安装在机架上，所述转运支架安装在转运机器人上，所述转运支架上安装有导向轨道，两个所述硅片固定组件均滑动安装在导向轨道上。
所述硅片固定组件还包括第一安装座以及多个吸附板，所述第一安装座滑动安装在导向轨道上，多个所述吸附板并列设置于第一安装座底端，多个所述吸附板的一面为吸附面，相邻的两个所述吸附板之间为所述硅片固定空间，所述转运支架上安装有用于驱动两个第一安装座在导向轨道上滑动的第一驱动组件；
一个所述硅片固定组件上的多个吸附板均分组成两个相邻的所述固定部，两个所述固定部分别由两个气路进行控制；
同一个所述硅片固定组件上的多个吸附面朝向相同，两个所述硅片固定组件上的吸附面朝向相反。
两个所述硅片固定组件上的吸附板相互靠近的一侧均设置有多个突出部，相邻两个所述突出部之间均形成有凹槽部，当两个所述硅片固定组件相互靠近时，所述突出部插入对应凹槽部中。
所述花篮放置工位包括多个并列设置花篮放置台以及用于将对应花篮内硅片顶出的顶出组件，所述花篮放置台安装在机架上；
所述顶出组件包括第二安装座、第一安装板、第一驱动气缸以及两个并列设置在第一安装板顶面的顶杆组件，第一支撑板，所述第二安装座滑动安装在机架上，所述第一安装板与第一驱动气缸均安装在第二安装座上，所述第一驱动气缸用于驱动第一安装板在第二安装座上做升降运动；
所述顶杆组件包括两个竖直设置在第一安装板顶面的第一支撑板，两个所述第一支撑板的顶面均设置有与花篮晶槽间距适配的第一顶梳。
所述顶出组件还包括顶出垫条，所述顶出垫条设置于两个第一支撑板之间。
所述晶舟放置工位包括多个并列设置的晶舟放置台以及两个用于将硅片转运机构处的硅片承托至晶舟放置台处晶舟内的托举组件，所述晶舟放置台安装在机架上；
两个所述托举组件并列设置，所述托举组件包括第三安装座以及两个托举部，所述第三安装座滑动安装在机架上；
所述托举部包括第二安装板、第二驱动气缸以及两个竖直设置在第二安装板顶面的第二支撑板，所述第二安装板与第二驱动气缸均安装在第三安装座上，所述第二驱动气缸用于驱动第二安装板在第三安装座上做升降运动；
两个所述第二支撑板的顶面均设置有与晶舟晶槽间距适配的第二顶梳。
所述晶舟转运机构包括两个纵向轨道、两个横向轨道以及设置于两个横向轨道上的夹持组件，两个纵向轨道安装在机架上，两个所述横向轨道的两端分别滑动安装在两个纵向轨道上；
所述晶舟转运机构还包括控制两个所述横向轨道在两个纵向轨道上同步滑动的第二驱动组件。
所述夹持组件包括滑板、滑杆、第三安装板以及两个夹板，两个所述夹板滑动设置于第三安装板底部，所述第三安装板上安装有驱动两个夹板对晶舟进行夹持的第五驱动组件，所述滑板滑动安装在两个横向轨道上，所述滑杆贯穿安装在滑板上，所述滑板上安装有控制滑杆在滑板上升降的第三驱动组件；
所述第三安装板安装在滑杆底部，所述第三安装板上安装有控制两个夹板同步运动的第四驱动组件。
一种光伏ALD工艺硅片上料方法，当需要将两片硅片插入同一个硅片槽中时；
步骤包括：
S11：所述转运机器人控制两个硅片固定组件从花篮放置工位处花篮内获取硅片；
S12：两个所述硅片固定组件相向运动，直至两个所述硅片固定组件上的硅片一一错位对插，且相对的两个硅片固定空间内的硅片贴合；
S13：所述转运机器人控制两个硅片固定组件将吸附的硅片转运至晶舟放置工位处同一个晶舟的同一格硅片槽中；
S14：重复S11至S13，当所述晶舟放置工位处晶舟的同一格硅片槽填满，控制所述硅片转运机构对晶舟的下一格硅片槽进行装填，直至将一个晶舟的硅片槽填满；
S15：通过晶舟转运机构将装填完毕的晶舟转运至待加工工位处。
当需要将一个硅片插入一个硅片槽中时；
步骤还包括：
S21：所述转运机器人控制两个硅片固定组件从花篮放置工位处花篮内获取硅片；
S22：所述转运机器人控制两个硅片固定组件将吸附的硅片晶舟分别转运至晶舟放置工位处同一个晶舟的不同格硅片槽中；
S23：重复S21至S22，当所述晶舟放置工位处同一个晶舟的两格硅片槽填满，控制所述硅片转运机构对晶舟的另外两格硅片槽进行装填，直至装填完毕；
S24：通过晶舟转运机构将装填完毕的晶舟转运至待加工工位处。
采用本发明上述结构可以达到如下有益效果：
本申请所记载的上料机，通过转运机器人控制转运支架运动至花篮放置工位的上方，然后通过吸附板对硅片进行吸附，当需要采用双插的工艺生产模式时，当两个硅片固定组件从花篮处获取硅片后，通过使两个第一安装座相向运动，使相对的两个硅片固定空间内的硅片贴合在一起，再通过转运机器人将硅片放置在晶舟内；当需要采用单插的工艺生产方式时，当两个硅片固定组件从花篮处获取硅片后，通过转运机器人将硅片放置在晶舟的两个晶格的晶槽中，同时对两个晶格进行上料，满足不同加工工艺的上料需求，可以快速对不同规格的晶舟进行上料。
附图说明
图1为本实施例的总体结构示意图；
图2为本实施例中花篮放置台的结构示意图；
图3为本实施例中顶出组件的结构示意图；
图4为本实施例中部分硅片转运机构的结构示意图；
图5为本实施例中晶舟放置台的结构示意图；
图6为本实施例中托举组件的结构示意图；
图7为本实施例中晶舟转运机构的结构示意图。
图中：1、花篮放置工位；11、花篮放置台；12、顶出组件；121、第二安装座；122、第一安装板；123、第一驱动气缸；124、第一支撑板；1241、第一顶梳；125、顶出垫条；2、硅片转运机构；21、硅片固定组件；211、第一安装座；212、吸附板；2121、突出部；2122、凹槽部；22、转运机器人；23、转运支架；231、导向轨道；3、晶舟放置工位；31、晶舟放置台；32、托举组件；321、第三安装座；322、托举部；3221、第二安装板；3222、第二驱动气缸；3223、第二支撑板；32231、第二顶梳；4、晶舟转运机构；41、纵向轨道；42、横向轨道；43、夹持组件；431、滑板；432、滑杆；433、第三安装板；434、夹板。
具体实施方式
下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本申请的不同结构。为了简化本申请的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本申请。此外，本申请可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。
光伏ALD工艺上料过程中，需要将花篮内的硅片转运至晶舟（晶舟横向设置多格，每个晶格设置有多个横向的晶槽）中，再将晶舟转运至加工工位处，光伏ALD工艺处理中，使用的花篮和晶舟是匹配的，即花篮相邻两个晶槽间距一般是晶舟相邻两个晶槽间距的两倍，硅片转运机构2的两个硅片固定空间间隙与花篮晶槽间隙相同，故对晶舟进行上料时，采用错位间隔上料（即先对晶舟同一个晶格中排列奇数的晶槽进行上料，再对同一个晶格中排列偶数的晶槽进行上料），由于工艺的需求，需要对硅片的两侧均进行加工，因此晶舟的晶槽从放置两片硅片改为放置一片硅片（即双插改为单插），因此导致晶舟承载硅片数量减半，光伏ALD工艺产能降低，因此采用更大规格的晶舟进行生产加工。
实施例一，参考图1-7所示的光伏ALD工艺高效上料机，包括：机架，机架上设置有花篮放置工位1、硅片转运机构2、晶舟放置工位3以及晶舟转运机构4；
硅片转运机构2包括两个滑动设置的硅片固定组件21，每个硅片固定组件21均包括两个分别设置有多个硅片固定空间的固定部，其中，当两个硅片固定组件21相向运动时，相对的两个硅片固定空间内的硅片贴合 ；
基于上述结构，上料时，硅片转运机构2将花篮放置工位1处花篮中的硅片转运至晶舟放置工位3处的晶舟中，然后通过晶舟转运机构4将晶舟放置工位3处晶舟转运至待加工工位，通过两个可相向运动的硅片固定组件21，满足不同加工工艺的上料需求，适应性强。
其中，如图4所示，硅片转运机构2还包括转运支架23和用于驱动转运支架23活动的转运机器人22，转运机器人22安装在机架上，转运支架23安装在转运机器人22上，转运支架23上安装有导向轨道231，两个硅片固定组件21均滑动安装在导向轨道231上；
硅片固定组件21还包括第一安装座211以及多个吸附板212，第一安装座211滑动安装在导向轨道231上，多个吸附板212并列设置于第一安装座211底端，多个吸附板212的一面为吸附面，相邻的两个吸附板212之间为硅片固定空间，转运支架23上安装有用于驱动两个第一安装座211在导向轨道231上滑动的第一驱动组件（附图未示出，为现有技术中的一种，例如电机、皮带轮驱动等），实际使用过程中，一个硅片固定组件21包括60个硅片固定空间，且通过设置气缸等控制件控制两个第一安装座211于导向轨道231上滑动。
其中，如图4所示，多个吸附板212均分组成两个固定部（实际使用过程中，每个固定部包括30个硅片固定空间），两个固定部分别由两个气路进行控制，通过两个气路分别控制两个固定部上的吸附板212对硅片进行吸附，使硅片转运机构2具有全下料模式（四个固定部同时将硅片放置在晶舟上）以及半下料模式（不同硅片固定组件21上同一侧的两个固定部同时将硅片放置在晶舟上，然后转运机器人22调整两个硅片固定组件21的位置，另外两个固定部再将硅片放置在晶舟上，分两次下料），硅片转运机构2转运硅片时，可根据晶舟上空缺的晶槽数，选择硅片转运机构2进入不同模式的工作，若晶舟的一个晶格中还剩余60个晶槽未上料（需要进行两个次上料，间隔上料，一次30片），通过气路控制两个同侧的固定部先下料，然后再将另外两个固定部上的硅片插入间隔的30个晶槽内。
其中，同一个硅片固定组件21上的多个吸附面朝向相同，两个硅片固定组件21上的吸附面朝向相反，当硅片固定组件21相向运动时，相对的两个硅片固定空间内的硅片位置错开，端面贴合。
在实际使用过程中，通过转运机器人22控制转运支架23运动至花篮放置工位1的上方，然后通过吸附板212对硅片进行吸附（使硅片竖直吸附在硅片固定空间内），当需要采用双插的工艺生产模式时，当两个硅片固定组件21从花篮处获取硅片后，通过使两个第一安装座211相向运动，使相对的两个硅片固定空间（分属于两个硅片固定组件21）内的硅片贴合在一起，再通过转运机器人22将硅片放置在晶舟内；当需要采用单插的工艺生产方式时，当两个硅片固定组件21从花篮处获取硅片后，通过转运机器人22将硅片放置在晶舟的两个晶格的晶槽中（两个第一安装座211之间间隔一定晶格的宽度（例如两个晶格宽度），具体间隔根据实际工艺需求进行调整），因此同时对两个晶格进行上料），效率高。
其中，如图4所示，两个硅片固定组件21上的吸附板212相互靠近的一侧均设置有多个突出部2121，相邻两个突出部2121之间均形成有凹槽部2122，当两个硅片固定组件21相互靠近时，突出部2121插入对应凹槽部2122中。
在实际使用过程中，通过设置多个突出部2121，当采用双插的工艺生产时，两侧的吸附板212对插（原理和拼图一致），使相对的两个硅片固定空间内的硅片错位并贴合。
其中，如图2和3所示，花篮放置工位1包括多个并列设置花篮放置台11以及用于将对应花篮内硅片顶出的顶出组件12，花篮放置台11安装在机架上；
如图3所示，顶出组件12包括第二安装座121、第一安装板122、第一驱动气缸123以及两个并列设置在第一安装板122顶面的顶杆组件，第一支撑板124，第二安装座121滑动安装在机架上，第一安装板122与第一驱动气缸123均安装在第二安装座121上，第一驱动气缸123用于驱动第一安装板122在第二安装座121上做升降运动，在实际使用过程中，顶出组件12根据顶出位置的需要，通过驱动件在机架上进行移动；
顶杆组件包括两个竖直设置在第一安装板122顶面的第一支撑板124，两个第一支撑板124的顶面均设置有与花篮晶槽间距适配的第一顶梳1241，顶出组件12还包括顶出垫条125，顶出垫条125设置于两个第一支撑板124之间，通过设置顶出垫条125，使进一步支撑硅片，避免硅片损坏。
在实际使用过程中，为提高上料效率，花篮放置工位1可以设置多个花篮放置台11（不仅限于两个，并且顶出组件12的数量对应设置），通过设置多个花篮，确保为硅片转运机构2的上料动作持续供料；上料时，转运机器人22将两个硅片固定组件21悬置于两个花篮上方（此时硅片固定空间与花篮的晶槽一一对应），通过顶出组件12将对于花篮内的硅片顶出（两个并列的第一顶梳1241从底部穿过花篮，抵触在硅片环面）至硅片固定组件21上的硅片固定空间内，再用过吸附板212对硅片进行吸附。
其中，如图5和6所示，晶舟放置工位3包括多个并列设置的晶舟放置台31以及两个用于将硅片转运机构2处的硅片承托至晶舟放置台31处晶舟内的托举组件32，晶舟放置台31安装在机架上；
两个托举组件32并列设置，托举组件32包括第三安装座321以及两个托举部322，第三安装座321滑动安装在机架上；
托举部322包括第二安装板3221、第二驱动气缸3222以及两个竖直设置在第二安装板3221顶面的第二支撑板3223，第二安装板3221与第二驱动气缸3222均安装在第三安装座321上，第二驱动气缸3222用于驱动第二安装板3221在第三安装座321上做升降运动；
两个第二支撑板3223的顶面均设置有与晶舟晶槽间距适配的第二顶梳32231。
在实际使用过程中，晶舟放置工位3也可以设置多个，通过转运机器人22控制两个硅片固定组件21移动至晶舟上方，通过设置两个可以单独控制的托举部322，半下料模式时，其中一个托举部322工作，将两个固定部的硅片托举进入晶舟中，然后转运机器人22调整两个硅片固定组件21的位置，其中一个托举部322工作，将剩余两个固定部内的硅片托举进入晶舟中，当全下料模式时，两个托举部322同时工作，将两个硅片固定组件21上的全部硅片托举进入晶舟中。
其中，如图7所示，晶舟转运机构4包括两个纵向轨道41、两个横向轨道42以及设置于两个横向轨道42上的夹持组件43，两个纵向轨道41安装在机架上，两个横向轨道42的两端分别滑动安装在两个纵向轨道41上；
晶舟转运机构4还包括控制两个横向轨道42在两个纵向轨道41上同步滑动的第二驱动组件（附图未示出，为现有技术中的一种，例如电机驱动滚轮滚动等）。
在实际使用过程中，设置纵向轨道41以及横向轨道42，当夹持组件43完成对晶舟的夹持后，通过在纵向轨道41以及横向轨道42上活动，使移动至加工工位。
其中，如图7所示，夹持组件43包括滑板431、滑杆432、第三安装板433以及两个夹板434，两个夹板434滑动设置于第三安装板433底部，第三安装板433上安装有驱动两个夹板434对晶舟进行夹持的第五驱动组件（附图未示出，为现有技术中的一种，例如伸缩气缸等），滑板431滑动安装在两个横向轨道42上，滑杆432贯穿安装在滑板431上，滑板431上安装有控制滑杆432在滑板431上升降的第三驱动组件（附图未示出，为现有技术中的一种，例如伸缩气缸等）。
其中，如图7所示，第三安装板433安装在滑杆432底部，第三安装板433上安装有控制两个夹板434同步运动的第四驱动组件（附图未示出，为现有技术中的一种，例如电机驱动滚轮滚动等）。
在实际使用过程中，通过控制滑杆432在滑板431上做升降活动，使两个夹板434移动至晶舟两侧，使夹持晶舟，然后向上提升晶舟，再将晶舟移动至指定位置。
一种光伏ALD工艺硅片高效上料方法，应用于上述的光伏ALD工艺高效上料机， 在实际使用过程中，原常用每格拥有120个晶槽的晶舟，现在改用每格拥有180个晶槽的晶舟（这里仅以180个为例，实际可以根据产能需要，采用每个晶格含有240个晶槽或300个晶槽……的晶舟），两个硅片固定组件21一次性可以从花篮内获取120片硅片（每个硅片固定组件21获取60片硅片，每个固定部获取30片硅片）
当需要将两片硅片插入同一个硅片槽中时；
方法包括：
S11：转运机器人22控制两个硅片固定组件21分别悬置于花篮放置工位1处两个花篮的正上方，顶出组件12移动至对应花篮底部，将花篮内硅片向上顶出至上方的硅片固定空间内，然后吸附板212硅片吸附；
S12：转运机器人22控制两个硅片固定组件21向上移动，使硅片完全脱离花篮，然后两个硅片固定组件21相向运动，直至两个硅片固定组件21上的相对的硅片固定空间内的硅片错位对插，且端面贴合；
S13：转运机器人22控制两个硅片固定组件21移动至晶舟放置工位3处晶舟的正上方，一个托举组件32移动至两个硅片固定组件21的正下方，然后托举组件32的多个第二顶梳32231向上移动，使接触到硅片的环面，然后吸附板212解除对硅片的吸附，多个第二顶梳32231复位，使同一个硅片吸附空间内的两个硅片移动至晶舟的同一个硅片槽内；
S14：重复S11至S13，当晶舟放置工位3处晶舟的同一格硅片槽填满，控制硅片转运机构2对晶舟的下一格硅片槽进行装填，直至将一个晶舟的硅片槽填满；
S15：通过晶舟转运机构4将装填完毕的晶舟转运至待加工工位处。
其中，对晶舟中硅片槽的装填方法为：先对晶舟第一格晶槽中前120格晶槽进行装填，硅片转运机构2两次从花篮中取料，分别对晶舟第一格晶槽中前120格晶槽的奇数格与偶数格进行装填，然后对第一格晶槽中的后60格晶槽进行装填，在对第一格后60个晶槽进行装填时，硅片转运机构2采用半下料模式，分两次将硅片转运机构2上的所有硅片分别插入奇数格与偶数格中，当晶舟第一格晶槽装满，重复上述对第二格晶槽进行装填，如此往复，直至使晶舟满载。
当需要将一个硅片插入一个硅片槽中时；
S21：转运机器人22控制两个硅片固定组件21分别悬置于花篮放置工位1处两个花篮的正上方，顶出组件12移动至对应花篮底部，将花篮内硅片向上顶出至上方的硅片固定空间内，然后吸附板212硅片吸附；
S22：转运机器人22控制两个硅片固定组件21移动至晶舟放置工位3处晶舟的两个晶格（可按先为第一晶格和第四晶格装填，再为第二晶格和第五晶格装填，具体根据两个第一安装座211之间间隔而定）的正上方，两个托举组件32分别移动至两个硅片固定组件21的正下方，然后两个托举组件32的多个第二顶梳32231向上移动，使接触到硅片的环面，然后吸附板212解除对硅片的吸附，多个第二顶梳32231复位，使硅片移动至晶舟的硅片槽内；
S23：重复S21至S22，当晶舟放置工位3处晶舟两格硅片槽填满，控制硅片转运机构2对晶舟的另外两格硅片槽进行装填，直至将晶舟放置工位3处晶舟填满。
S24：通过晶舟转运机构4将装填完毕的晶舟转运至待加工工位处。
其中，对晶舟中硅片槽的装填方法为：先对晶舟第一格以及第三格晶槽中前120格晶槽同时进行装填（两个硅片固定组件21分别对应第一格及第三格），硅片转运机构2两次从花篮中取料，分别对晶舟第一格以及第三格晶槽中前120格晶槽的奇数格或偶数格进行装填，然后对晶舟第一格以及第三格晶槽中的后60格晶槽同时进行装填，此时硅片转运机构2采用半下料模式，分两次将硅片转运机构2上的所有硅片分别插入奇数格与偶数格中，当晶舟第一格及第三格晶槽装满，重复上述对第三格及第五格晶槽进行装填，如此往复，直至使晶舟满载。
进一步优化的是，实际使用过程中，本申请所记载的上料机一种布局为（不仅限于）：将硅片转运机构2设置于花篮放置工位1与晶舟放置工位3之间，晶舟转运机构4设置于晶舟放置工位3与加工工位的顶面，其中，硅片转运机构2与晶舟转运机构4均设置有两个，一个转运机器人22对应两个花篮放置工位1以及两个晶舟放置工位3，两个晶舟放置工位3对应一个晶舟转运机构4，交替使用，使硅片转运机构2得作业间隙时间短，使上料效率高。
综上，本申请所记载的上料机，通过转运机器人22控制转运支架23运动至花篮放置工位1的上方，然后通过吸附板212对硅片进行吸附，当需要采用双插的工艺生产模式时，当两个硅片固定组件21从花篮处获取硅片后，通过使两个第一安装座211相向运动，使相对的两个硅片固定空间内的硅片贴合在一起，再通过转运机器人22将硅片放置在晶舟内；当需要采用单插的工艺生产方式时，当两个硅片固定组件21从花篮处获取硅片后，通过转运机器人22将硅片放置在晶舟的两个晶格的晶槽中，同时对两个晶格进行上料，满足不同加工工艺的上料需求，可以快速对不同规格的晶舟进行上料。
以上的仅是本申请的优选实施方式，本发明不限于以上实施例。可以理解，本领域技术人员在不脱离本发明的精神和构思的前提下直接导出或联想到的其他改进和变化，均应认为包含在本发明的保护范围之内。

Claims (11)

1.光伏ALD工艺高效上料机，其特征在于，包括：机架，所述机架上设置有花篮放置工位（1）、硅片转运机构（2）、晶舟放置工位（3）以及晶舟转运机构（4）；
所述硅片转运机构（2）包括两个滑动设置的硅片固定组件（21），每个所述硅片固定组件（21）均包括两个分别设置有多个硅片固定空间的固定部，其中，当两个硅片固定组件（21）相向运动时，相对的两个硅片固定空间内的硅片贴合 ；
其中，所述硅片转运机构（2）将花篮放置工位（1）处花篮中的硅片转运至晶舟放置工位（3）处的晶舟中，所述晶舟转运机构（4）用于将晶舟放置工位（3）处晶舟转运至待加工工位。
2.根据权利要求1所述的光伏ALD工艺高效上料机，其特征在于：所述硅片转运机构（2）还包括转运支架（23）和用于驱动转运支架（23）活动的转运机器人（22），所述转运机器人（22）安装在机架上，所述转运支架（23）安装在转运机器人（22）上，所述转运支架（23）上安装有导向轨道（231），两个所述硅片固定组件（21）均滑动安装在导向轨道（231）上。
3.根据权利要求2所述的光伏ALD工艺高效上料机，其特征在于：所述硅片固定组件（21）还包括第一安装座（211）以及多个吸附板（212），所述第一安装座（211）滑动安装在导向轨道（231）上，多个所述吸附板（212）并列设置于第一安装座（211）底端，多个所述吸附板（212）的一面为吸附面，相邻的两个所述吸附板（212）之间为所述硅片固定空间，所述转运支架（23）上安装有用于驱动两个第一安装座（211）在导向轨道（231）上滑动的第一驱动组件；
一个所述硅片固定组件（21）上的多个吸附板（212）均分组成两个相邻的所述固定部，两个所述固定部分别由两个气路进行控制；
同一个所述硅片固定组件（21）上的多个吸附面朝向相同，两个所述硅片固定组件（21）上的吸附面朝向相反。
4.根据权利要求3所述的光伏ALD工艺高效上料机，其特征在于：两个所述硅片固定组件（21）上的吸附板（212）相互靠近的一侧均设置有多个突出部（2121），相邻两个所述突出部（2121）之间均形成有凹槽部（2122），当两个所述硅片固定组件（21）相互靠近时，所述突出部（2121）插入对应凹槽部（2122）中。
5.根据权利要求1所述的光伏ALD工艺高效上料机，其特征在于：所述花篮放置工位（1）包括多个并列设置花篮放置台（11）以及用于将对应花篮内硅片顶出的顶出组件（12），所述花篮放置台（11）安装在机架上；
所述顶出组件（12）包括第二安装座（121）、第一安装板（122）、第一驱动气缸（123）以及两个并列设置在第一安装板（122）顶面的顶杆组件，第一支撑板（124），所述第二安装座（121）滑动安装在机架上，所述第一安装板（122）与第一驱动气缸（123）均安装在第二安装座（121）上，所述第一驱动气缸（123）用于驱动第一安装板（122）在第二安装座（121）上做升降运动；
所述顶杆组件包括两个竖直设置在第一安装板（122）顶面的第一支撑板（124），两个所述第一支撑板（124）的顶面均设置有与花篮晶槽间距适配的第一顶梳（1241）。
6.根据权利要求5所述的光伏ALD工艺高效上料机，其特征在于：所述顶出组件（12）还包括顶出垫条（125），所述顶出垫条（125）设置于两个第一支撑板（124）之间。
7.根据权利要求1所述的光伏ALD工艺高效上料机，其特征在于：所述晶舟放置工位（3）包括多个并列设置的晶舟放置台（31）以及两个用于将硅片转运机构（2）处的硅片承托至晶舟放置台（31）处晶舟内的托举组件（32），所述晶舟放置台（31）安装在机架上；
两个所述托举组件（32）并列设置，所述托举组件（32）包括第三安装座（321）以及两个托举部（322），所述第三安装座（321）滑动安装在机架上；
所述托举部（322）包括第二安装板（3221）、第二驱动气缸（3222）以及两个竖直设置在第二安装板（3221）顶面的第二支撑板（3223），所述第二安装板（3221）与第二驱动气缸（3222）均安装在第三安装座（321）上，所述第二驱动气缸（3222）用于驱动第二安装板（3221）在第三安装座（321）上做升降运动；
两个所述第二支撑板（3223）的顶面均设置有与晶舟晶槽间距适配的第二顶梳（32231）。
8.根据权利要求5所述的光伏ALD工艺高效上料机，其特征在于：所述晶舟转运机构（4）包括两个纵向轨道（41）、两个横向轨道（42）以及设置于两个横向轨道（42）上的夹持组件（43），两个纵向轨道（41）安装在机架上，两个所述横向轨道（42）的两端分别滑动安装在两个纵向轨道（41）上；
所述晶舟转运机构（4）还包括控制两个所述横向轨道（42）在两个纵向轨道（41）上同步滑动的第二驱动组件。
9.根据权利要求8所述的光伏ALD工艺高效上料机，其特征在于：所述夹持组件（43）包括滑板（431）、滑杆（432）、第三安装板（433）以及两个夹板（434），两个所述夹板（434）滑动设置于第三安装板（433）底部，所述第三安装板（433）上安装有驱动两个夹板（434）对晶舟进行夹持的第五驱动组件，所述滑板（431）滑动安装在两个横向轨道（42）上，所述滑杆（432）贯穿安装在滑板（431）上，所述滑板（431）上安装有控制滑杆（432）在滑板（431）上升降的第三驱动组件；
所述第三安装板（433）安装在滑杆（432）底部，所述第三安装板（433）上安装有控制两个夹板（434）同步运动的第四驱动组件。
10.一种光伏ALD工艺硅片上料方法，用于权利要求1所述的光伏ALD工艺高效上料机，其特征在于，当需要将两片硅片插入同一个硅片槽中时；
步骤包括：
S11：所述转运机器人（22）控制两个硅片固定组件（21）从花篮放置工位（1）处花篮内获取硅片；
S12：两个所述硅片固定组件（21）相向运动，直至两个所述硅片固定组件（21）上的硅片一一错位对插，且相对的两个硅片固定空间内的硅片贴合；
S13：所述转运机器人（22）控制两个硅片固定组件（21）将吸附的硅片转运至晶舟放置工位（3）处同一个晶舟的同一格硅片槽中；
S14：重复S11至S13，当所述晶舟放置工位（3）处晶舟的同一格硅片槽填满，控制所述硅片转运机构（2）对晶舟的下一格硅片槽进行装填，直至将一个晶舟的硅片槽填满；
S15：通过晶舟转运机构（4）将装填完毕的晶舟转运至待加工工位处。
11.根据权利要求10所述的一种光伏ALD工艺硅片上料方法，其特征在于：当需要将一个硅片插入一个硅片槽中时；
步骤还包括：
S21：所述转运机器人（22）控制两个硅片固定组件（21）从花篮放置工位（1）处花篮内获取硅片；
S22：所述转运机器人（22）控制两个硅片固定组件（21）将吸附的硅片晶舟分别转运至晶舟放置工位（3）处同一个晶舟的不同格硅片槽中；
S23：重复S21至S22，当所述晶舟放置工位（3）处同一个晶舟的两格硅片槽填满，控制所述硅片转运机构（2）对晶舟的另外两格硅片槽进行装填，直至装填完毕；
S24：通过晶舟转运机构（4）将装填完毕的晶舟转运至待加工工位处。
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