CN113539915B - 一种转移设备、方法、装置、电子设备及介质 - Google Patents

一种转移设备、方法、装置、电子设备及介质 Download PDF

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Abstract

本发明提供了一种转移设备、方法、装置、电子设备及介质，所述方法包括：基于两个转移执行器的设备坐标和第一距离阈值，调整两个转移执行器沿第一坐标方向的距离；其中第一距离阈值是基准间距值的第一整数倍；基准间距值为沿第一坐标方向的任意两个相邻的转移目标的间距；移动基准龙门，以使两个转移执行器分别对准一个转移目标；以及移动两个辅助龙门，以使两个转移执行器分别对准一个待转移器件；控制两个转移执行器分别将对准的待转移器件转移至对准的转移目标上。该方法预先调整两个转移执行器沿第一坐标方向的距离，可以控制两个转移执行器微调以对准转移目标，最终分别将对准的待转移器件转移至对准的转移目标上，实现快速的转移。

Description

一种转移设备、方法、装置、电子设备及介质
技术领域
本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种转移设备、方法、装置、电子设备及介质。
背景技术
在显示装置的制造过程中，例如显示器在阵列基板制造过程中，需要将芯片等器件转移至基板上，以对显示面板的画面显示进行驱动。而芯片等器件的转移过程中，转移速度和精度直接关系着芯片等器件的转移效率和转移质量。
现有的转移设备，为实现快速转移，需要快速移动驱动机构，以提高转移速度。但是转移速度是受驱动机构极限能力和负载等限制的。
随着显示装置行业的不断发展，对转移设备的产能有了更高的需求。因此，需要提升转移过程的转移效率，以保证能对应对转移产品的巨量需求，从而推动整个显示装置行业的进一步发展。
发明内容
本发明提供一种转移设备、方法、装置、电子设备及介质，解决如何进一步提升转移过程的效率，实现快速转移的问题。
第一方面，本发明提供一种转移设备，用于将待转移器件转移至转移目标上，所述器件转移设备包括：
基准工作台，所述基准工作台具有用于承载基板的一个承载面；所述承载面上具有基准原点；所述基准原点用于确定第一坐标方向的坐标和第二坐标方向的坐标；所述第一坐标方向与所述第二坐标方向相互垂直，且匀与所述承载面平行；所述基板用于承载阵列分布的所述转移目标；
基准龙门和两个辅助龙门，沿所述第一坐标方向，所述基准龙门与两个所述辅助龙门平行设置，且所述基准龙门位于两个所述辅助龙门中间；所述基准龙门沿所述第二坐标方向延伸，且可沿所述第一坐标方向移动；所述基准龙门上设有两个转移执行器，沿所述第一坐标方向，两个所述转移执行器分别位于所述基准龙门的两侧；相对于所述基准龙门，每一个所述转移执行器可沿所述第二坐标方向移动，且可沿所述第一坐标方向移动；
每一个所述辅助龙门可相对于所述基准工作台沿所述第一坐标方向移动，且每一个所述辅助龙门朝向所述基准龙门的一侧连接有辅助工作台；每一个所述辅助工作台相对于所连接所述辅助龙门，可沿所述第二坐标方向移动；每一个所述辅助工作台设有辅助承载面；每一个所述辅助承载面设有辅助基准原点；所述辅助工作台用于承载所述待转移器件。
可选地，每个所述转移执行器通过一第一运动组与所述基准龙门连接；每个所述辅助工作台通过一第二运动组与对应的所述辅助龙门连接。
可选地，每一个所述转移执行器可相对于所述基准龙门沿第三坐标方向移动，所述第三坐标方向垂直于所述承载面；每一个所述辅助工作台可相对于所述辅助龙门沿所述第三坐标方向移动。
第二方面，本发明提供一种使用第一方面任一项所述的转移设备进行转移的转移方法，用于将待转移器件转移至转移目标上，包括：
基于两个转移执行器的设备坐标和第一距离阈值，调整两个所述转移执行器沿第一坐标方向的距离；其中所述第一距离阈值是基准间距值的第一整数倍；所述基准间距值为沿所述第一坐标方向的任意两个相邻的所述转移目标的间距；所述设备坐标是相对于基准原点的坐标；
移动基准龙门，以使两个所述转移执行器分别对准一个所述转移目标；以及移动两个所述辅助龙门，以使两个所述转移执行器分别对准一个所述待转移器件；
控制两个所述转移执行器分别将所述对准的所述待转移器件转移至所述对准的所述转移目标上。
可选地，每个所述转移执行器通过一第一运动组与所述基准龙门连接；每个所述辅助工作台通过一第二运动组与对应的所述辅助龙门连接；
所述基于两个转移执行器的设备坐标和第一距离阈值，调整两个所述转移执行器沿第一坐标方向的距离，包括：
基于两个转移执行器的设备坐标和第一距离阈值，移动两个运动组，以调整两个所述转移执行器沿第一坐标方向的距离。
可选地，所述两个转移执行器包括第一转移执行器和第二转移执行器；沿所述第一坐标轴方向，所述第一转移执行器和所述第二转移执行器分别位于所述基准龙门的两侧；所述移动基准龙门，以使两个所述转移执行器分别对准一个所述转移目标，包括：
沿所述第一坐标方向移动基准龙门，以及沿所述第二坐标方向移动至少一个所述第一运动组，以使所述第一转移执行器和所述第二转移执行器分别对准所述基板的第一选定列和第二选定列中的一个所述转移目标；所述第一选定列与所述第二选定列沿所述第一坐标方向的距离为所述第一距离阈值；
所述移动两个所述辅助龙门，以使两个所述转移执行器分别对准一个所述待转移器件，包括：
基于两个辅助工作台的辅助基准原点的设备坐标，移动所述辅助龙门和所述第二运动组，以使两个所述转移执行器分别对准一个所述待转移器件，并分别对准所述基板的第一选定列和第二选定列中的一个所述转移目标。
可选地，沿所述第一坐标方向移动基准龙门，以及沿所述第二坐标方向移动至少一个所述第一运动组之前，所述方法还包括：
从所述基板中选取沿所述第一坐标方向的距离为所述第一距离阈值，且未转移的两列转移目标，作为所述第一选定列和所述第二选定列。
可选地，所述基板的所述转移目标的列数为第二整数；所述第二整数是所述第一整数的偶数倍；所述方法还包括：
依次对所述第一选定列和所述第二选定列的各个所述转移目标进行转移，直到所述第一选定列和所述第二选定列中的全部转移目标都转移完成；
按第一预设顺序规则，依次从所述基板中选取沿所述第一坐标方向的距离为所述第一距离阈值，且未转移的两列转移目标，重新确定为所述第一选定列和所述第二选定列；
对所述重新确定为第一选定列和第二选定列中的各个所述转移目标进行转移，直到所述基板承载的所述转移目标全部转移完成。
可选地，在所述基于两个转移执行器的设备坐标和第一距离阈值，调整两个所述转移执行器沿第一坐标方向的距离之前，所述方法还包括：
移动所述基准龙门和与所述第一转移执行器连接的所述第一运动组，使所述第一转移执行器和所述基准原点重合，标定所述第一转移执行器的基准设备坐标；所述第一转移执行器的所述基准设备坐标用于确定所述第一转移执行器的所述设备坐标；
移动所述基准龙门和与所述第二转移执行器连接的所述第一运动组，使所述第二转移执行器和所述基准原点重合，标定第二转移执行器的基准设备坐标；所述第二转移执行器的基准设备坐标用于确定所述第二转移执行器的所述设备坐标。
可选地，所述辅助工作台包括第一辅助工作台和第二辅助工作台，所述第一辅助工作台和所述第二辅助工作台沿所述第一坐标方向，分别位于所述基准龙门的两侧；与所述第一辅助工作台和所述第二辅助工作台对应的所述辅助基准原点分别为第一辅助基准原点和第二辅助基准原点；在所述基于两个转移执行器的设备坐标和第一距离阈值，调整两个所述转移执行器沿第一坐标方向的距离之前，所述方法还包括：
移动所述基准龙门、所述第一运动组、所述第一辅助龙门和所述第二运动组，使所述第一转移执行器和所述第一辅助基准原点重合，标定所述第一辅助基准原点的基准设备坐标；所述第一辅助基准原点的基准设备坐标用于确定所述第一辅助基准原点的设备坐标；
移动所述基准龙门、所述第一运动组、所述第二辅助龙门和所述第二运动组，使所述第二转移执行器和所述第二辅助基准原点重合，标定所述第二辅助基准原点的基准设备坐标；所述第二辅助基准原点的基准设备坐标用于确定所述第二辅助基准原点的设备坐标。
可选地，控制两个所述转移执行器分别将所述对准的所述待转移器件转移至所述对准的所述转移目标上，包括：
控制两个所述转移执行器分别相对于所述基准龙门沿第三坐标方向移动，以将所述对准的所述待转移器件转移至对准的所述转移目标上。
可选地，所述基准间距值为当相邻的所述转移目标的间距相同时，沿所述第一坐标方向的任意两个相邻的所述转移目标的间距。
第三方面，本发明提供一种转移装置，包括：
第一调整单元，用于基于两个转移执行器的设备坐标和第一距离阈值，调整两个所述转移执行器沿第一坐标方向的距离；其中所述第一距离阈值是基准间距值的第一整数倍；所述基准间距值为沿所述第一坐标方向的任意两个相邻的所述转移目标的间距；所述设备坐标是相对于基准原点的坐标；
第二调整单元，用于移动基准龙门，以使两个所述转移执行器分别对准一个所述转移目标；以及移动两个所述辅助龙门，以使两个所述转移执行器分别对准一个所述待转移器件；
转移单元，用于控制两个所述转移执行器分别将所述对准的所述待转移器件转移至所述对准的所述转移目标上。
可选地，每个所述转移执行器通过一第一运动组与所述基准龙门连接；每个所述辅助工作台通过一第二运动组与对应的所述辅助龙门连接；
所述第一调整单元，具体用于：
基于两个转移执行器的设备坐标和第一距离阈值，移动两个运动组，以调整两个所述转移执行器沿第一坐标方向的距离。
可选地，所述两个转移执行器包括第一转移执行器和第二转移执行器；沿所述第一坐标轴方向，所述第一转移执行器和所述第二转移执行器分别位于所述基准龙门的两侧；所述第二调整单元，具体用于：
沿所述第一坐标方向移动基准龙门，以及沿所述第二坐标方向移动至少一个所述第一运动组，以使所述第一转移执行器和所述第二转移执行器分别对准所述基板的第一选定列和第二选定列中的一个所述转移目标；所述第一选定列与所述第二选定列沿所述第一坐标方向的距离为所述第一距离阈值；
所述第二调整单元，还用于：基于两个辅助工作台的辅助基准原点的设备坐标，移动辅助龙门和所述第二运动组，以使两个所述转移执行器分别对准一个所述待转移器件，并分别对准所述基板的第一选定列和第二选定列中的一个所述转移目标。
可选地，所述装置还包括：
转移列选定单元，用于从所述基板中选取沿所述第一坐标方向的距离为所述第一距离阈值，且未转移的两列转移目标，作为所述第一选定列和所述第二选定列。
可选地，所述基板的所述转移目标的列数为第二整数；所述第二整数是所述第一整数的偶数倍；所述装置还包括循环转移单元，所述循环转移单元用于：
依次对所述第一选定列和所述第二选定列的各个所述转移目标进行转移，直到所述第一选定列和所述第二选定列中的全部转移目标都转移完成；
按第一预设顺序规则，依次从所述基板中选取沿所述第一坐标方向的距离为所述第一距离阈值，且未转移的两列转移目标，重新确定为所述第一选定列和所述第二选定列；
对所述重新确定为第一选定列和第二选定列中的各个所述转移目标进行转移，直到所述基板承载的所述转移目标全部转移完成。
可选地，所述装置还包括第一标定单元，所述第一标定单元用于：
移动所述基准龙门和与所述第一转移执行器连接的所述第一运动组，使所述第一转移执行器和所述基准原点重合，标定第一转移执行器的基准设备坐标；所述第一转移执行器的基准设备坐标用于确定所述第一转移执行器的所述设备坐标；
移动所述基准龙门和与所述第二转移执行器连接的所述第一运动组，使所述第二转移执行器和所述基准原点重合，标定第二转移执行器的基准设备坐标；所述第二转移执行器的基准设备坐标用于确定所述第二转移执行器的所述设备坐标。
可选地，所述辅助工作台包括第一辅助工作台和第二辅助工作台，所述第一辅助工作台和所述第二辅助工作台沿所述第一坐标方向，分别位于所述基准龙门的两侧；与所述第一辅助工作台和所述第二辅助工作台对应的所述辅助基准原点分别为第一辅助基准原点和第二辅助基准原点；所述装置还包括第二标定单元，所述第二标定单元用于：
移动所述基准龙门、所述第一运动组、所述第一辅助龙门和所述第二运动组，使所述第一转移执行器和所述第一辅助基准原点重合，标定所述第一辅助基准原点的基准设备坐标；所述第一辅助基准原点的基准设备坐标用于确定所述第一辅助基准原点的设备坐标；
移动所述基准龙门、所述第一运动组、所述第二辅助龙门和所述第二运动组，使所述第二转移执行器和所述第二辅助基准原点重合，标定所述第二辅助基准原点的基准设备坐标；所述第二辅助基准原点的基准设备坐标用于确定所述第二辅助基准原点的设备坐标。
可选地，所述转移单元，具体用于：
控制两个所述转移执行器分别相对于所述基准龙门沿第三坐标方向移动，以将所述对准的待转移器件转移至所述对准的所述转移目标上。
可选地，所述基准间距值为当相邻的所述转移目标的间距相同时，沿所述第一坐标方向的任意两个相邻的所述转移目标的间距。
第五方面，本发明提供一种电子设备，包括存储器和处理器，其中：
所述存储器用于存储计算机程序；
所述处理器用于读取所述存储器中的程序并执行如上述第二方面提供的任一所述的转移方法的步骤。
第五方面，本发明提供一种计算机程序介质，其上存储有计算机程序，该程序被处理器执行时实现如上述第二方面提供的任一所述的转移方法的步骤。
本发明提供的一种转移设备、方法、装置、电子设备及介质，具有以下有益效果：
通过预先调整两个转移执行器沿第一坐标方向的距离，在转移的过程中，可以控制两个转移执行器在第一坐标方向微调，最终分别将对准的待转移器件转移至对准的转移目标上，实现快速的转移。
附图说明
图1为本发明实施例提供的一种转移设备的结构示意图；
图2为本发明实施例提供的一种转移方法的流程图；
图3为本发明实施例提供的一种标定第一转移执行器的基准设备坐标的示意图；
图4为本发明实施例提供的一种标定第二转移执行器的基准设备坐标的示意图；
图5为本发明实施例提供的一种标定第一辅助基准原点的基准设备坐标的示意图；
图6为本发明实施例提供的一种标定第二辅助基准原点的基准设备坐标的示意图；
图7为本发明实施例提供的一种转移目标的位置说明的示意图；
图8为本发明实施例提供的一种待转移器件的位置说明的示意图；
图9为本发明实施例提供的另一种待转移器件的位置说明的示意图；
图10为本发明实施例提供的一种转移执行器固定偏移调整的示意图；
图11为本发明实施例提供的一种单次转移的转移位置的示意图；
图12为本发明实施例提供的一种转移顺序的示意图；
图13为本发明实施例提供的一种转移装置的结构示意图；
图14为本发明实施例提供的第二种转移装置的结构示意图；
图15为本发明实施例提供的第三种转移装置的结构示意图；
图16为本发明实施例提供的第四种转移装置的结构示意图；
图17为本发明实施例提供的第五种转移装置的结构示意图；
图18为本发明实施例提供的一种电子设备的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，并不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
需要说明的是，以下示例性实施例中所描述的实施方式并不代表与本公开相一致的所有实施方式。相反，它们仅是与如所附权利要求书中所详述的、本公开的一些方面相一致的装置和方法的例子。
以下，对本公开实施例中的部分用语进行解释说明，以便于本领域技术人员理解。
(1)本公开实施例中术语“TCP”，指设备中心点(Tool Central Point)，也叫工具中心点。
(2)本公开实施例中术语“柔性物体”，指具有受力后变形，作用力失去之后自身能恢复原来形状的性质的物体。
(3)本公开实施例中术语“轴坐标”，指电机编码区的位置对应到工作台坐标轴上的坐标，轴坐标可以在设备上直接获得。
为了使本公开的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本公开作进一步地详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本公开一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本公开中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本公开保护的范围。
在显示装置的制造过程中，例如显示器在阵列基板制造过程中，需要将芯片等器件转移至基板上，以对显示面板的画面显示进行驱动。而芯片等器件的转移过程中，转移速度和精度直接关系着芯片等器件的转移效率和转移质量。
现有的转移设备，为实现快速转移，需要快速移动驱动机构，以提高转移速度。但是转移速度是受驱动机构极限能力和负载等限制的。
随着显示装置行业的不断发展，对转移设备的产能有了更高的需求。因此，需要提升转移过程的转移效率，以保证能对应对转移产品的巨量需求，从而推动整个显示装置行业的进一步发展。
下面结合说明书附图对本申请各个实施例进行详细描述。需要说明的是，本申请实施例的展示顺序仅代表实施例的先后顺序，并不代表实施例所提供的技术方案的优劣。
实施例1
如图1所示，本发明实施例提供一种转移设备，上述转移设备仅是一种举例，并不进行限定，在具体实施时，可以在上述转移设备中增加或者删除部分组件。该转移设备，用于将待转移器件203和303转移至转移目标402上，包括：
基准工作台400，基准工作台400具有用于承载基板的一个承载面；承载面上具有基准原点401；基准原点401用于确定第一坐标方向x的坐标和第二坐标方向y的坐标；第一坐标方向x与第二坐标方向y相互垂直，且匀与承载面平行；基板用于承载阵列分布的转移目标402；
基准龙门100和两个辅助龙门，其中，两个辅助龙门分别为第一辅助龙门200和第二辅助龙门300，沿第一坐标方向x，基准龙门100与两个辅助龙门平行设置，且基准龙门100位于第一辅助龙门200和第二辅助龙门300中间；基准龙门100沿第二坐标方向y延伸，且可沿第一坐标方向x移动；基准龙门100上设有两个转移执行器，其中，两个转移执行器分别为第一转移执行器101和第二转移执行器102，沿第一坐标方向x，两个转移执行器分别位于基准龙门100的两侧；相对于基准龙门100，每一个转移执行器可沿第二坐标方向y移动，且可沿第一坐标方向x移动；
每一个辅助龙门可相对于基准工作台400沿第一坐标方向x移动，且每一个辅助龙门朝向基准龙门100的一侧连接有辅助工作台，第一辅助龙门200朝向基准龙门100的一侧连接有第一辅助工作台201，第二辅助龙门300朝向基准龙门100的一侧连接有第二辅助工作台301；每一个辅助工作台相对于所连接辅助龙门，可沿第二坐标方向y移动；每一个辅助工作台设有弹性承载面；每一个弹性承载面设有辅助基准原点，其中，第一辅助工作台201的弹性承载面设有第一辅助基准原点202，第二辅助工作台301的弹性承载面设有第二辅助基准原点302；辅助工作台用于承载待转移器件203和303。本申请的以下实施例中，第一转移执行器101和第二转移执行器102可以分别简称为转移执行器1和转移执行器2；待转移器件203和303可以分别称为待转移器件Diem1和Diem2；转移目标402可以称为转移目标Padn。
需要说明的是，弹性承载面是一种柔性物体，具有受力后变形，作用力失去之后自身能恢复原来形状的性质。
需要说明的是，上述对每一个辅助工作台设有弹性承载面的说明，是为了保证转移执行器可以通过在z向的运动转移待转移器件与转移目标，并不是绝对的限定，在其他的场景下，比如待转移器件通过磁力与辅助工作台固定，转移执行器通过抵消上述磁力实现待转移器件与转移目标的转移，上述辅助工作台可以为设有没有弹性的承载面。
作为一种可选的实施方式，每个转移执行器通过一第一运动组与基准龙门连接；每个辅助工作台通过一第二运动组与对应的辅助龙门连接。
示例性地，第一转移执行器101通过第一运动组103与基准龙门100连接，第二转移执行器102通过第一运动组104与基准龙门100连接；第一辅助工作台201通过第二运动组204与对应的第一辅助龙门200连接，第二辅助工作台301通过第二运动组304与对应的第二辅助龙门300连接。
作为一种可选的实施方式，每一个转移执行器可相对于基准龙门沿第三坐标方向移动，第三坐标方向垂直于承载面；每一个辅助工作台可相对于辅助龙门沿第三坐标方向移动。
示例性地，每一个转移执行器可相对于基准龙门100沿第三坐标方向z移动，第三坐标方向z垂直于承载面；每一个辅助工作台可相对于连接的辅助龙门沿第三坐标方向z移动。
本发明实施例提供的转移设备，提供了一种双转移执行器和双辅助工作台的结构，该转移设备具有基准龙门和两个辅助龙门，沿第一坐标方向，基准龙门与两个辅助龙门平行设置，且基准龙门位于两个辅助龙门中间；基准龙门沿第二坐标方向延伸，且可沿第一坐标方向移动；基准龙门上设有两个转移执行器，沿第一坐标方向，两个转移执行器分别位于基准龙门的两侧；相对于基准龙门，每一个转移执行器可沿第二坐标方向移动，且可沿第一坐标方向移动；每一个辅助龙门可相对于基准工作台沿第一坐标方向移动，且每一个辅助龙门朝向基准龙门的一侧连接有辅助工作台；每一个辅助工作台相对于所连接辅助龙门，可沿第二坐标方向移动；每一个辅助工作台设有弹性承载面。因此，该转移设备工作时，可以基于两个转移执行器的设备坐标，调整两个转移执行器沿第一坐标方向的距离，使两个转移执行器在第一坐标方向的距离正好是转移目标在第一坐标方向间隔的整数倍，从而可以使两个转移执行器分别对准一个转移目标，并分别调整两个辅助龙门和第二运动组，使得两个辅助工作台上的待转移器件分别对准前述转移目标，因此可以同时控制两个转移执行器完成对两个转移目标的转移，实现快速的转移。
如图2所示，本发明实施例提供一种转移方法的流程图，该转移方法可以使用上述实施例中任一项的转移设备进行转移。该方法，用于将待转移器件与转移目标进行转移，包括：
步骤S201，基于两个转移执行器的设备坐标和第一距离阈值，调整两个转移执行器沿第一坐标方向的距离。
其中第一距离阈值是基准间距值的第一整数倍；基准间距值为沿第一坐标方向的任意两个相邻的转移目标的间距；设备坐标是相对于基准原点的坐标。
作为一种可选的实施方式，每个转移执行器通过一第一运动组与基准龙门连接；每个辅助工作台通过一第二运动组与对应的辅助龙门连接；基于两个转移执行器的设备坐标和第一距离阈值，调整两个转移执行器沿第一坐标方向的距离，可以是基于两个转移执行器的设备坐标和第一距离阈值，移动两个运动组，以调整两个转移执行器沿第一坐标方向的距离。
作为一种可选的实施方式，基准间距值为当相邻的转移目标的间距相同时，沿第一坐标方向的任意两个相邻的转移目标的间距。
步骤S202，移动基准龙门，以使两个转移执行器分别对准一个转移目标；以及移动两个辅助龙门，以使两个转移执行器分别对准一个待转移器件。
需要说明的，本发明的实施例中，上述转移目标对应的坐标系，为以上述基准工作台上固定的有标记图案的基准原点为坐标原点的坐标系统，在本实施例中，称为设备坐标系。
作为一种可选的实施方式，移动基准龙门，以使两个转移执行器分别对准一个转移目标时，从基板中选取沿第一坐标方向的距离为第一距离阈值，且未转移的两列转移目标，作为第一选定列和第二选定列。
作为一种可选的实施方式，移动基准龙门，以使两个转移执行器分别对准一个转移转移目标时，若不存在沿第一坐标方向的距离为第一距离阈值，且未转移的两列转移目标，则从基板中沿第一坐标方向依次选取未转移一列转移目标作为第一选定列。
作为一种可选的实施方式，两个转移执行器包括第一转移执行器和第二转移执行器；沿第一坐标轴方向，第一转移执行器和第二转移执行器分别位于基准龙门的两侧；移动基准龙门，以使两个转移执行器分别对准一个转移目标，包括：
沿第一坐标方向移动基准龙门，以及沿第二坐标方向移动至少一个第一运动组，以使第一转移执行器和第二转移执行器分别对准基板的第一选定列和第二选定列中的一个转移目标；第一选定列与第二选定列沿第一坐标方向的距离为第一距离阈值；
移动两个辅助龙门，以使两个转移执行器分别对准一个待转移器件，包括：
基于两个辅助工作台的辅助基准原点的设备坐标，移动辅助龙门和第二运动组，以使两个转移执行器分别对准一个待转移器件，并分别对准基板的第一选定列和第二选定列中的一个转移目标。
步骤S203，控制两个转移执行器分别将对准的待转移器件转移至对准的转移目标上。
作为一种可选的实施方式，控制两个转移执行器分别将对准的转移目标与对准的待转移器件进行转移，可以是控制两个转移执行器分别相对于基准龙门沿第三坐标方向移动，以将对准的转移目标与对准的待转移器件进行转移。
作为一种可选的实施方式，基板的转移目标的列数为第二整数；第二整数是第一整数的偶数倍；方法还包括：
依次对第一选定列和第二选定列的各个转移目标进行转移，直到第一选定列和第二选定列中的全部转移目标都转移完成；
按第一预设顺序规则，依次从基板中选取沿第一坐标方向的距离为第一距离阈值，且未转移的两列转移目标，重新确定为第一选定列和第二选定列；
对重新确定为第一选定列和第二选定列中的各个转移目标进行转移，直到基板承载的转移目标全部转移完成。
本发明实施例提供的转移方法，通过预先调整两个转移执行器沿第一坐标方向的距离，可以在转移的过程中，控制两个转移执行器分别将对准的待转移器件转移至对准的转移目标上，实现快速的转移。
作为一种可选的实施方式，在基于两个转移执行器的设备坐标和第一距离阈值，调整两个转移执行器沿第一坐标方向的距离之前，还执行以下步骤：
步骤A01,移动基准龙门和与第一转移执行器连接的第一运动组，使第一转移执行器和基准原点重合，标定第一转移执行器的基准设备坐标。
第一转移执行器的基准设备坐标用于确定第一转移执行器的设备坐标。
步骤A02,移动基准龙门和与第二转移执行器连接的第一运动组，使第二转移执行器和基准原点重合，标定第二转移执行器的基准设备坐标。
第二转移执行器的基准设备坐标用于确定第二转移执行器的设备坐标。
作为一种可选的实施方式，辅助工作台包括第一辅助工作台和第二辅助工作台，第一辅助工作台和第二辅助工作台沿第一坐标方向，分别位于基准龙门的两侧；与第一辅助工作台和第二辅助工作台对应的辅助基准原点分别为第一辅助基准原点和第二辅助基准原点；在基于两个转移执行器的设备坐标和第一距离阈值，调整两个转移执行器沿第一坐标方向的距离之前，还执行以下步骤：
步骤B01，移动基准龙门、第一运动组、第一辅助龙门和第二运动组，使第一转移执行器和第一辅助基准原点重合，标定第一辅助基准原点的基准设备坐标。
第一辅助基准原点的基准设备坐标用于确定第一辅助基准原点的设备坐标；
步骤B02，移动基准龙门、第一运动组、第二辅助龙门和第二运动组，使第二转移执行器和第二辅助基准原点重合，标定第二辅助基准原点的基准设备坐标。
第二辅助基准原点的基准设备坐标用于确定第二辅助基准原点的设备坐标。
针对上述标定转移执行器的设备坐标，及辅助基准原点的设备坐标的实施方式，只要可以标定与基准龙门、第一运动组、第二运动组、辅助龙门中的一部分之间的相对位置关系即可。其中一种可能的实施方式，为以基准原点作为整个设备原点，转移执行器1中心点是第一运动组104的特征点，第一辅助基准原点202是第二运动组204的特征点，转移执行器2中心点是第一运动组103的特征点，第二辅助基准原点302是第二运动组304的特征点。下面给出具体可能的实施方式。
1)标定第一转移执行器的基准设备坐标。
实施中，通过移动基准龙门和与第一转移执行器连接的第一运动组，使第一转移执行器和基准原点重合，标定第一转移执行器的基准设备坐标。
第一转移执行器的基准设备坐标用于确定第一转移执行器的设备坐标。
如图3所示，本发明实施例提供一种标定第一转移执行器的基准设备坐标的示意图。
将转移执行器1中心作为第一运动组104的特征点
将基准龙门沿X向进行运动，第一运动组104相对基准龙门沿Y向运动，使得转移执行器1中心和基准原点中心重合
记录此时基准龙门的轴坐标为Xh1_org,记录此时第一运动组104的Y向轴坐标为Yh1_org,记录此时第一运动组104在X向的轴坐标Xh01_org
则转移执行器1的设备坐标(Xh1,Yh1)和基准龙门的轴坐标X0axis、第一运动组104的Y向轴坐标Y01axis及第一运动组104的X向轴坐标X01axis的关系为：
Xh1＝X0axis+X01axis-Xh1_org-Xh01_org
Yh1＝Y01axis-Yh1_org
2)标定第二转移执行器的基准设备坐标。
如图4所示，本发明实施例提供一种标定第二转移执行器的基准设备坐标的示意图。
将转移执行器2中心作为第一运动组103的特征点；
将基准龙门沿X向进行运动，第一运动组103相对基准龙门沿Y向运动，使得转移执行器2中心和基准原点中心重合，记录此时基准龙门的轴坐标为Xh2_org，记录此时第一运动组103的Y向轴坐标为Yh2_org,记录此时第一运动组104在X向的轴坐标Xh02_org，则转移执行器2的设备坐标(Xh2,Yh2)和基准龙门的轴坐标X0axis、第一运动组103的Y向轴坐标Y02axis及第一运动组103的X向轴坐标X02axis的关系为：
Xh2＝X0axis+X02axis-Xh2_org-Xh02_org
Yh2＝Y02axis-Yh2_org
需要说明的是，上述确定转移执行器的设备坐标，是确定转移执行器的工具中心点TCP的设备坐标。
3)标定第一辅助工作台的第一辅助基准原点的基准设备坐标。
如图5所示，本发明实施例提供一种标定第一辅助基准原点的基准设备坐标的示意图。
将第一辅助工作台的第一辅助基准原点202中心作为第二运动组204的特征点；
将基准龙门和第一辅助龙门沿X向进行运动，第一运动组104相对基准龙门沿Y向运动，第二运动组204相对第一辅助龙门沿Y向运动，使得转移执行器1中心和第一辅助基准原点202中心重合，此时基准龙门的轴坐标为X0axis_d1，第一运动组104的Y向轴坐标为Y01axis_d1，第一运动组104的X向轴坐标为X01axis_d1，第一辅助龙门的轴坐标为X1axis_d1，第二运动组204的轴坐标为Y1axis_d1。
根据第一转移执行器的基准设备坐标，可知，此时转移执行器1的设备坐标为(X0axis_d1+X01axis_d1-Xh1_org-Xh01_org,Y01axis_d1-Yh1_org)。
由于转移执行器1和第一辅助基准原点202对准，故此时第一辅助基准原点202的设备坐标也为(X0axis_d1+X01axis_d1-Xh1_org-Xh01_org,Y01axis_d1-Yh1_org)。
即当第一运动组104的Y向轴坐标为Y01axis_d1，第一运动组104的X向轴坐标为X01axis_d1，第一辅助龙门的轴坐标为X1axis_d1，第二运动组204的轴坐标为Y1axis_d1时，第一辅助基准原点202的设备坐标为(X0axis_d1+X01axis_d1-Xh1_org-Xh01_org,Y01axis_d1-Yh1_org)。
记Xd1_org＝X1axis_d1-(X0axis_d1+X01axis_d1-Xh1_org-Xh01_org)，
记Yd1_org＝Y1axis_d1-(Y01axis_d1-Yh1_org)，
则第一辅助基准原点202的设备坐标(Xd1,Yd1)和第一辅助龙门的轴坐标X1axis和第二运动组204的轴坐标Y1axis的关系为：
Xd1＝X1axis-Xd1_org
Yd1＝Y1axis-Yd1_org
4)标定第二辅助工作台的第二辅助基准原点的基准设备坐标。
如图6所示，本发明实施例提供一种标定第二辅助基准原点的基准设备坐标的示意图。
将第二辅助工作台的第二辅助基准原点中心作为第二运动组304的特征点；
将基准龙门和第二辅助龙门沿X向进行运动，第一运动组103相对基准龙门沿Y向运动，第二运动组304相对第二辅助龙门沿Y向运动，使得转移执行器2中心和第二辅助基准原点中心重合，此时基准龙门的轴坐标为X0axis_d2，第一运动组103的Y向轴坐标为Y02axis_d2，第一运动组103的X向轴坐标为X02axis_d2，第二辅助龙门的轴坐标为X2axis_d2，第二运动组304的轴坐标为Y2axis_d2。
根据第二转移执行器的基准设备坐标，可知，此时转移执行器1的设备坐标为(X0axis_d2+X02axis_d2-Xh2_org-Xh02_org,Y02axis_d2-Yh2_org)。
由于转移执行器2和第二辅助基准原点对准，故此时第二辅助基准原点的设备坐标也为(X0axis_d2+X02axis_d2-Xh2_org-Xh02_org,Y02axis_d2-Yh2_org)。
即当第一运动组103的Y向轴坐标为Y02axis_d2，第一运动组103的X向轴坐标为X02axis_d2，第二辅助龙门的轴坐标为X2axis_d2，第二运动组304的轴坐标为Y2axis_d2时，第二辅助基准原点的设备坐标为(X0axis_d2+X02axis_d2-Xh2_org-Xh02_org,Y02axis_d2-Yh2_org)。
记Xd2_org＝X2axis_d2-(X0axis_d2+X02axis_d2-Xh2_org-Xh02_org)，
记Yd2_org＝Y2axis_d2-(Y02axis_d2-Yh2_org)，
则第二辅助基准原点的设备坐标(Xd2,Yd2)和第二辅助龙门的轴坐标X2axis和第二运动组304的轴坐标Y2axis的关系为：
Xd2＝X2axis-Xd2_org
Yd2＝Y2axis-Yd2_org
5)基板的转移目标Padn位置说明。
如图7所示，本发明实施例提供一种转移目标的位置说明的示意图。
已知基板静止放在基准工作台上，基板上的转移目标基本呈阵列分布，x向共cm列，y向共cn行。
理想情况下，任意相邻两列在x向的间距为Dis_PadX，任意相邻两行在y向的间距为Dis_PadY；实际受环境或者制造工艺的影响，转移目标分布可能不是完全规则的阵列分布。
本发明的实施例中，已知任意一个转移目标Padn的设备坐标(Xpadn,Ypadn)。
6)待转移器件Diem1位置说明。
如图8所示，本发明实施例提供一种待转移器件的位置说明的示意图。
已知任意一个待转移器件Diem1相对于第一辅助基准原点202的偏移为(Xdiem1_ofs，Ydiem1_ofs)，根据第一辅助工作台的第一辅助基准原点的基准设备坐标，可知：
任意一个待转移器件Diem1的设备坐标(Xdiem1,Ydiem1)和第一辅助龙门的轴坐标X1axis和第二运动组204轴坐标Y1axis的关系为
Xdiem1＝X1axis-Xd1_org+Xdiem1_ofs
Ydiem1＝Y1axis-Yd1_org+Ydiem1_ofs
7)待转移器件Diem2位置说明。
如图9所示，本发明实施例提供另一种待转移器件的位置说明的示意图。
已知任意一个待转移器件Diem2相对于第二辅助基准原点的偏移为(Xdiem2_ofs，Ydiem2_ofs)，根据第二辅助工作台的第二辅助基准原点的基准设备坐标，可知：
任意一个待转移器件Diem2的设备坐标(Xdiem2,Ydiem2)和第二辅助龙门的轴坐标X2axis和第二运动组304的轴坐标Y2axis的关系为
Xdiem2＝X2axis-Xd2_org+Xdiem2_ofs
Ydiem2＝Y2axis-Yd2_org+Ydiem2_ofs
8)转移前对两个转移执行器在第一坐标方向的固定偏移调整。
具体实施时，基于两个转移执行器的设备坐标和第一距离阈值，调整两个转移执行器沿第一坐标方向的距离。其中第一距离阈值是基准间距值的第一整数倍；基准间距值为沿第一坐标方向的任意两个相邻的转移目标的间距；设备坐标是相对于基准原点的坐标。
如图10所示，本发明实施例提供一种转移执行器固定偏移调整的示意图。
对第一运动组104相对基准龙门沿X向微调，对第一运动组103相对基准龙门沿X向微调，使得转移执行器1和转移执行器2在X向的固定偏移正好是理想情况下Pad在X向间距Dis_PadX的整数倍q。
需要说明的是，为了能够达到上述效果，要求转移执行器1相对基准龙门在X向的微调距离大于Dis_PadX/2，要求转移执行器2相对基准龙门在X向的微调距离大于Dis_PadX/2。
需要说明的是，为了能够在后续转移过程中，转移执行器能够通过X向的微调来应对转移目标位置Pad的非理想性，要求转移执行器1相对基准龙门在X向的微调距离大于Dis_PadX，要求转移执行器2相对基准龙门在X向的微调距离大于Dis_PadX。
9)单次转移的转移位置的说明。
如图11所示，本发明实施例提供一种单次转移的转移位置的示意图。
转移执行器1和第一辅助工作台的某个待转移器件Diem1对准第a列的某个转移目标Padn1，转移执行器2和第二辅助工作台的某个待转移器件Diem2的对准第(a+q)列的某个转移目标Padn2，开始实施转移，如图11所示。
已知第a列的所有转移目标的设备坐标为：
(Xpad_a_1,Ypad_a_1),(Xpad_a_2,Ypad_a_2)，……(Xpad_a_cn,Ypad_a_cn)，
则第a列所有转移目标的设备坐标的X向的均值为：
Xpad_a_avg＝(Xpad_a_1+Xpad_a_2+……+Xpad_a_cn)/cn；
已知第a列的某个转移目标Padn1的设备坐标为：(Xpad_a_e,Ypad_a_e)，第(a+n)列的某个转移目标Padn2的设备坐标为：(Xpad_an_f,Ypad_an_f)：
9.1)为使转移执行器1对准第a列的Padn1，使转移执行器2对准第(a+q)列的Padn2，需要移动基准龙门、第一运动组104和第一运动组103，根据第一转移执行器的基准设备坐标/第二转移执行器的基准设备坐标的计算方法，可知：
基准龙门的轴坐标应满足：X0bond＝Xpad_a_avg+Xh1_org+Xh01_org；
第一运动组104的X向轴坐标X01bond＝Xpad_a_e-Xpad_a_avg；
第一运动组104的Y向轴坐标Y01bond＝Ypad_a_e+Yh1_org；
第一运动组103的X向轴坐标X02bond＝Xpad_an_f-X0bond+Xh2_org+Xh02_org；
第一运动组103的Y向轴坐标Y02bond＝Ypad_an_f+Yh2_org；
9.2)为使第一辅助工作台的某个Diem1对准第a列的Padn1，需移动第一辅助龙门和第二运动组204，根据待转移器件Diem1位置，可知：
第一辅助龙门的轴坐标应满足：X1bond＝Xpad_a_e+Xd1_org-Xdiem1_ofs；
第二运动组204的轴坐标应满足：Y1bond＝Ypad_a_e+Yd1_org-Ydiem1_ofs；
9.3)为使第二辅助工作台的某个Diem2对准第(a+q)列的Padn2，需移动第二辅助龙门和第二运动组304，根据待转移器件Diem2位置，可知：
第二辅助龙门的轴坐标应满足：X2bond＝Xpad_an_f+Xd2_org-Xdiem2_ofs；
第二运动组304的轴坐标应满足：Y2bond＝Ypad_an_f+Yd2_org-Ydiem2_ofs；
经过以上的移动，转移执行器1和Diem1已对准了Padn1，转移执行器2和Diem2已对准了Padn2，控制转移执行器1和转移执行器2下压，即可将相应的Diem转移至对应的Pad上。
10)整体的转移顺序的说明。
如图12所示，本发明实施例提供一种转移顺序的示意图。
如图12所示，以S型相向转移为例进行说明，整体的转移顺序如下所述：
11.1)移动基准龙门、第一辅助龙门、第一运动组104和第二运动组204，使得转移执行器1和第一辅助工作台上的某个待转移器件Diem1对准基板第1列的最靠近Y负向的第1个Pad；同时移动第二辅助龙门、第一运动组103和第二运动组304，使得转移执行器2和第二辅助工作台上的某个待转移器件Diem2对准基板第(1+q)列的最靠近Y正向的第1个Pad。
11.2)同时控制转移执行器1和转移执行器2执行下压运动，至Die和Pad贴合，完成2个Pad的转移；完成转移后控制转移执行器1和转移执行器2执行上升运动，直至转移执行器脱离第二辅助工作台。
11.3)按图中所述方向，依次对本列所有Pad进行转移，直到本列Pad转移完成。
11.4)然后按照第11.1)～11.2)步同样的方法，开始进行第2列和第(q+2)列的Pad转移；直到第n列和第2q列Pad转移完成。
11.5)按照第11.1)～11.2)步同样的方法，继续进行第(2q+1)列和第(3q+1)列的Pad转移，直到第3q和第4q列Pad转移完成。
11.6)依次类推，直到整个基板的所有Pad转移完成。
实施例2
本发明实施例提供另一种转移方法，包括以下步骤：
12.1)移动基准龙门和第一运动组104，使得转移执行器1和基准原点对准，确认转移执行器1的设备坐标和基准龙门的轴坐标及第一运动组104的轴坐标的关系。
其中，以基准原点作为整个设备原点，转移执行器1中心点是第一运动组104的特征点，第一辅助基准原点202是第二运动组204的特征点，转移执行器2中心点是第一运动组103的特征点，第二辅助基准原点是第二运动组304的特征点。
12.2)移动基准龙门、第一运动组104、第一辅助龙门和第二运动组204，使得转移执行器1和第一辅助工作台的第一辅助基准原点202对准，确认第一辅助基准原点202的设备坐标和第一辅助龙门的轴坐标及第二运动组204的轴坐标的关系。
12.3)移动基准龙门和第一运动组103，使得转移执行器2和基准原点对准，确认转移执行器2的设备坐标和基准龙门的轴坐标及第一运动组103的轴坐标的关系。
12.4)移动基准龙门、第一运动组103、第二辅助龙门和第二运动组304，使得转移执行器2和第二辅助工作台的第二辅助基准原点对准，确认第二辅助基准原点的设备坐标和第二辅助龙门的轴坐标及第二运动组304的轴坐标的关系。
12.5)转移作业前，调整第一运动组104和第一运动组103在X向小范围移动，使得转移执行器1和转移执行器2在X向的距离正好的转移目标Padn的在X向间隔的整数q倍。
12.6)移动基准龙门、第一辅助龙门、第一运动组104和第二运动组204，使得转移执行器1和第一辅助工作台上的某个待转移器件Diem1对准基板第1列的某个Pad；同时移动第二辅助龙门、第一运动组103和第二运动组304，使得转移执行器2和第二辅助工作台上的某个待转移器件Diem2对准基板第(q+1)列的某个Pad。
12.7)同时控制转移执行器1和转移执行器2执行下压运动，同时完成2个Pad的转移。
12.8)依次对本列所有Pad进行转移，直到本列Pad转移完成。
12.9)然后按照第12.6)步同样的方法，开始进行第2列和第(q+2)列的Pad转移；直到第q列和第2q列Pad转移完成。
12.10)按照第12.6)步同样的方法，继续进行第(2q+1)列和第(3q+1)列的Pad转移，直到第3q和第4q列Pad转移完成。
12.11)依次类推，直到整个基板的所有Pad转移完成。
实施例3
本发明实施例提供一种转移装置，如图13所示，包括：
第一调整单元1301，用于基于两个转移执行器的设备坐标和第一距离阈值，调整两个转移执行器沿第一坐标方向的距离；其中第一距离阈值是基准间距值的第一整数倍；基准间距值为沿第一坐标方向的任意两个相邻的转移目标的间距；设备坐标是相对于基准原点的坐标；
第二调整单元1302，用于移动基准龙门，以使两个转移执行器分别对准一个转移目标；以及移动两个辅助龙门，以使两个转移执行器分别对准一个待转移器件；
转移单元1303，用于控制两个转移执行器分别将对准的待转移器件转移至对准的转移目标上。
可选地，每个转移执行器通过一第一运动组与基准龙门连接；每个辅助工作台通过一第二运动组与对应的辅助龙门连接；
第一调整单元1301，具体用于：
基于两个转移执行器的设备坐标和第一距离阈值，移动两个运动组，以调整两个转移执行器沿第一坐标方向的距离。
可选地，两个转移执行器包括第一转移执行器和第二转移执行器；沿第一坐标轴方向，第一转移执行器和第二转移执行器分别位于基准龙门的两侧；第二调整单元1302，具体用于：
沿第一坐标方向移动基准龙门，以及沿第二坐标方向移动至少一个第一运动组，以使第一转移执行器和第二转移执行器分别对准基板的第一选定列和第二选定列中的一个转移目标；第一选定列与第二选定列沿第一坐标方向的距离为第一距离阈值；
第二调整单元1302，还用于：基于两个辅助工作台的辅助基准原点的设备坐标，移动辅助龙门和第二运动组，以使两个辅助工作台上的待转移器件分别对准基板的第一选定列和第二选定列中的一个转移目标。
可选地，如图14所示，该装置还包括：
转移列选定单元1401，用于从基板中选取沿第一坐标方向的距离为第一距离阈值，且未转移的两列转移目标，作为第一选定列和第二选定列。
可选地，基板的转移目标的列数为第二整数；第二整数是第一整数的偶数倍；如图15所示，该装置还包括循环转移单元1501，循环转移单元1501用于：
依次对第一选定列和第二选定列的各个转移目标进行转移，直到第一选定列和第二选定列中的全部转移目标都转移完成；
按第一预设顺序规则，依次从基板中选取沿第一坐标方向的距离为第一距离阈值，且未转移的两列转移目标，重新确定为第一选定列和第二选定列；
对重新确定为第一选定列和第二选定列中的各个转移目标进行转移，直到基板承载的转移目标全部转移完成。
可选地，如图16所示，该装置还包括第一标定单元1601，第一标定单元1601用于：
移动基准龙门和与第一转移执行器连接的第一运动组，使第一转移执行器和基准原点重合，标定第一转移执行器的基准设备坐标；第一转移执行器的基准设备坐标用于确定第一转移执行器的设备坐标；
移动基准龙门和与第二转移执行器连接的第一运动组，使第二转移执行器和基准原点重合，标定第二转移执行器的基准设备坐标；第二转移执行器的基准设备坐标用于确定第二转移执行器的设备坐标。
可选地，辅助工作台包括第一辅助工作台和第二辅助工作台，第一辅助工作台和第二辅助工作台沿第一坐标方向，分别位于基准龙门的两侧；与第一辅助工作台和第二辅助工作台对应的辅助基准原点分别为第一辅助基准原点和第二辅助基准原点；如图17所示，所述装置还包括第二标定单元1701，第二标定单元1701用于：
移动基准龙门、第一运动组、第一辅助龙门和第二运动组，使第一转移执行器和第一辅助基准原点重合，标定第一辅助基准原点的基准设备坐标；第一辅助基准原点的基准设备坐标用于确定第一辅助基准原点的设备坐标；
移动基准龙门、第一运动组、第二辅助龙门和第二运动组，使第二转移执行器和第二辅助基准原点重合，标定第二辅助基准原点的基准设备坐标；第二辅助基准原点的基准设备坐标用于确定第二辅助基准原点的设备坐标。
可选地，转移单元1303，具体用于：
控制两个转移执行器分别相对于基准龙门沿第三坐标方向移动，以将对准的待转移器件转移至对准的转移目标上。
可选地，基准间距值为当相邻的转移目标的间距相同时，沿第一坐标方向的任意两个相邻的转移目标的间距。
本发明实施例提供一种电子设备1800，包括存储器1801和处理器1802，如图18所示，其中：
所述存储器用于存储计算机程序；
所述处理器用于读取所述存储器中的程序并执行如上述实施例1中提供的任一所述的转移方法的步骤。
本发明还提供一种计算机程序介质，其上存储有计算机程序，该程序被处理器执行时实现上述实施例1中提供的任一转移方法的步骤。
在本申请所提供的几个实施例中，应该理解到，所揭露的系统，装置和方法，可以通过其它的方式实现。例如，以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的，例如，所述模块的划分，仅仅为一种逻辑功能划分，实际实现时可以有另外的划分方式，例如多个模块或组件可以结合或者可以集成到另一个系统，或一些特征可以忽略，或不执行。另一点，所显示或讨论的相互之间的耦合或直接耦合或通信连接可以是通过一些接口，装置或模块的间接耦合或通信连接，可以是电性，机械或其它的形式。
所述作为分离部件说明的模块可以是或者也可以不是物理上分开的，作为模块显示的部件可以是或者也可以不是物理模块，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络模块上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部模块来实现本实施例方案的目的。
另外，在本申请各个实施例中的各功能模块可以集成在一个处理模块中，也可以是各个模块单独物理存在，也可以两个或两个以上模块集成在一个模块中。上述集成的模块既可以采用硬件的形式实现，也可以采用软件功能模块的形式实现。所述集成的模块如果以软件功能模块的形式实现并作为独立的产品销售或使用时，可以存储在一个计算机可读取存储介质中。
在上述实施例中，可以全部或部分地通过软件、硬件、固件或者其任意组合来实现。当使用软件实现时，可以全部或部分地以计算机程序产品的形式实现。
所述计算机程序产品包括一个或多个计算机指令。在计算机上加载和执行所述计算机程序指令时，全部或部分地产生按照本申请实施例所述的流程或功能。所述计算机可以是通用计算机、专用计算机、计算机网络、或者其他可编程装置。所述计算机指令可以存储在计算机可读存储介质中，或者从一个计算机可读存储介质向另一计算机可读存储介质传输，例如，所述计算机指令可以从一个网站站点、计算机、服务器或数据中心通过有线(例如同轴电缆、光纤、数字用户线(DSL))或无线(例如红外、无线、微波等)方式向另一个网站站点、计算机、服务器或数据中心进行传输。所述计算机可读存储介质可以是计算机能够存储的任何可用介质或者是包含一个或多个可用介质集成的服务器、数据中心等数据存储设备。所述可用介质可以是磁性介质，(例如，软盘、硬盘、磁带)、光介质(例如，DVD)、或者半导体介质(例如固态硬盘(solid state disk，SSD))等。
以上对本申请所提供的技术方案进行了详细介绍，本申请中应用了具体个例对本申请的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本申请的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本申请的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本申请的限制。
本领域内的技术人员应明白，本申请的实施例可提供为方法、系统、或计算机程序产品。因此，本申请可采用完全硬件实施例、完全软件实施例、或结合软件和硬件方面的实施例的形式。而且，本申请可采用在一个或多个其中包含有计算机可用程序代码的计算机可用存储介质(包括但不限于磁盘存储器、CD-ROM、光学存储器等)上实施的计算机程序产品的形式。
本申请是参照根据本申请的方法、设备(系统)、和计算机程序产品的流程图和/或方框图来描述的。应理解可由计算机程序指令实现流程图和/或方框图中的每一流程和/或方框、以及流程图和/或方框图中的流程和/或方框的结合。可提供这些计算机程序指令到通用计算机、专用计算机、嵌入式处理机或其他可编程数据处理设备的处理器以产生一个机器，使得通过计算机或其他可编程数据处理设备的处理器执行的指令产生用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的装置。
这些计算机程序指令也可存储在能引导计算机或其他可编程数据处理设备以特定方式工作的计算机可读存储器中，使得存储在该计算机可读存储器中的指令产生包括指令装置的制造品，该指令装置实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能。
这些计算机程序指令也可装载到计算机或其他可编程数据处理设备上，使得在计算机或其他可编程设备上执行一系列操作步骤以产生计算机实现的处理，从而在计算机或其他可编程设备上执行的指令提供用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的步骤。
显然，本领域的技术人员可以对本申请进行各种改动和变型而不脱离本申请的精神和范围。这样，倘若本申请的这些修改和变型属于本申请权利要求及其等同技术的范围之内，则本申请也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (15)

1.一种转移设备，其特征在于，用于将待转移器件转移至转移目标上，所述转移设备包括：
基准工作台，所述基准工作台具有用于承载基板的一个承载面；所述承载面上具有基准原点；所述基准原点用于确定第一坐标方向的坐标和第二坐标方向的坐标；所述第一坐标方向与所述第二坐标方向相互垂直，且均与所述承载面平行；所述基板用于承载阵列分布的所述转移目标；
基准龙门和两个辅助龙门，沿所述第一坐标方向，所述基准龙门与两个所述辅助龙门平行设置，且所述基准龙门位于两个所述辅助龙门中间；所述基准龙门沿所述第二坐标方向延伸，且可沿所述第一坐标方向移动；所述基准龙门上设有两个转移执行器，沿所述第一坐标方向，两个所述转移执行器分别位于所述基准龙门的两侧；相对于所述基准龙门，每一个所述转移执行器可沿所述第二坐标方向移动，且可沿所述第一坐标方向移动；
每一个所述辅助龙门可相对于所述基准工作台沿所述第一坐标方向移动，且每一个所述辅助龙门朝向所述基准龙门的一侧连接有辅助工作台；每一个所述辅助工作台相对于所连接所述辅助龙门，可沿所述第二坐标方向移动；每一个所述辅助工作台设有辅助承载面；每一个所述辅助承载面设有辅助基准原点；所述辅助工作台用于承载所述待转移器件。
2.根据权利要求1所述的转移设备，其特征在于，每个所述转移执行器通过一第一运动组与所述基准龙门连接；每个所述辅助工作台通过一第二运动组与对应的所述辅助龙门连接。
3.根据权利要求1所述的转移设备，其特征在于，每一个所述转移执行器可相对于所述基准龙门沿第三坐标方向移动，所述第三坐标方向垂直于所述承载面；每一个所述辅助工作台可相对于所述辅助龙门沿所述第三坐标方向移动。
4.一种使用权利要求1～3任一项所述的一种转移设备进行转移的转移方法，其特征在于，用于将待转移器件转移至所述转移目标上，包括：
基于两个转移执行器的设备坐标和第一距离阈值，调整两个所述转移执行器沿第一坐标方向的距离；其中所述第一距离阈值是基准间距值的第一整数倍；所述基准间距值为沿所述第一坐标方向的任意两个相邻的所述转移目标的间距；所述设备坐标是相对于基准原点的坐标；
移动基准龙门，以使两个所述转移执行器分别对准一个所述转移目标；以及移动两个所述辅助龙门，以使两个所述转移执行器分别对准一个所述待转移器件；
控制两个所述转移执行器分别将所述对准的所述待转移器件转移至所述对准的所述转移目标上。
5.根据权利要求4所述的转移方法，其特征在于，每个所述转移执行器通过一第一运动组与所述基准龙门连接；每个所述辅助工作台通过一第二运动组与对应的所述辅助龙门连接；
所述基于两个转移执行器的设备坐标和第一距离阈值，调整两个所述转移执行器沿第一坐标方向的距离，包括：
基于两个转移执行器的设备坐标和第一距离阈值，移动两个运动组，以调整两个所述转移执行器沿第一坐标方向的距离。
6.根据权利要求5所述的转移方法，其特征在于，所述两个转移执行器包括第一转移执行器和第二转移执行器；沿所述第一坐标轴方向，所述第一转移执行器和所述第二转移执行器分别位于所述基准龙门的两侧；所述移动基准龙门，以使两个所述转移执行器分别对准一个所述转移目标，包括：
沿所述第一坐标方向移动基准龙门，以及沿所述第二坐标方向移动至少一个所述第一运动组，以使所述第一转移执行器和所述第二转移执行器分别对准所述基板的第一选定列和第二选定列中的一个所述转移目标；所述第一选定列与所述第二选定列沿所述第一坐标方向的距离为所述第一距离阈值；
所述移动两个所述辅助龙门，以使两个所述转移执行器分别对准一个所述待转移器件，包括：
基于两个辅助工作台的辅助基准原点的设备坐标，移动所述辅助龙门和所述第二运动组，以使两个所述转移执行器分别对准一个所述待转移器件，并分别对准所述基板的第一选定列和第二选定列中的一个所述转移目标。
7.根据权利要求6所述的转移方法，其特征在于，沿所述第一坐标方向移动基准龙门，以及沿所述第二坐标方向移动至少一个所述第一运动组之前，所述方法还包括：
从所述基板中选取沿所述第一坐标方向的距离为所述第一距离阈值，且未转移的两列转移目标，作为所述第一选定列和所述第二选定列。
8.根据权利要求7所述的转移方法，其特征在于，所述基板的所述转移目标的列数为第二整数；所述第二整数是所述第一整数的偶数倍；所述方法还包括：
依次对所述第一选定列和所述第二选定列的各个所述转移目标进行转移，直到所述第一选定列和所述第二选定列中的全部转移目标都转移完成；
按第一预设顺序规则，依次从所述基板中选取沿所述第一坐标方向的距离为所述第一距离阈值，且未转移的两列转移目标，重新确定为所述第一选定列和所述第二选定列；
对所述重新确定为第一选定列和第二选定列中的各个所述转移目标进行转移，直到所述基板承载的所述转移目标全部转移完成。
9.根据权利要求6所述的转移方法，其特征在于，在所述基于两个转移执行器的设备坐标和第一距离阈值，调整两个所述转移执行器沿第一坐标方向的距离之前，所述方法还包括：
移动所述基准龙门和与所述第一转移执行器连接的所述第一运动组，使所述第一转移执行器和所述基准原点重合，标定所述第一转移执行器的基准设备坐标；所述第一转移执行器的所述基准设备坐标用于确定所述第一转移执行器的所述设备坐标；
移动所述基准龙门和与所述第二转移执行器连接的所述第一运动组，使所述第二转移执行器和所述基准原点重合，标定所述第二转移执行器的基准设备坐标；所述第二转移执行器的所述基准设备坐标用于确定所述第二转移执行器的所述设备坐标。
10.根据权利要求6所述的转移方法，其特征在于，所述辅助工作台包括第一辅助工作台和第二辅助工作台，所述第一辅助工作台和所述第二辅助工作台沿所述第一坐标方向，分别位于所述基准龙门的两侧；与所述第一辅助工作台和所述第二辅助工作台对应的所述辅助基准原点分别为第一辅助基准原点和第二辅助基准原点；在所述基于两个转移执行器的设备坐标和第一距离阈值，调整两个所述转移执行器沿第一坐标方向的距离之前，所述方法还包括：
移动所述基准龙门、所述第一运动组、所述第一辅助龙门和所述第二运动组，使所述第一转移执行器和所述第一辅助基准原点重合，标定所述第一辅助基准原点的基准设备坐标；所述第一辅助基准原点的所述基准设备坐标用于确定所述第一辅助基准原点的设备坐标；
移动所述基准龙门、所述第一运动组、所述第二辅助龙门和所述第二运动组，使所述第二转移执行器和所述第二辅助基准原点重合，标定所述第二辅助基准原点的基准设备坐标；所述第二辅助基准原点的基准设备坐标用于确定所述第二辅助基准原点的设备坐标。
11.根据权利要求4所述的转移方法，其特征在于，控制两个所述转移执行器分别将所述对准的所述待转移器件转移至所述对准的所述转移目标上，包括：
控制两个所述转移执行器分别相对于所述基准龙门沿第三坐标方向移动，以将所述对准的所述待转移器件转移至对准的所述转移目标上。
12.根据权利要求4所述的转移方法，其特征在于，所述基准间距值为当相邻的所述转移目标的间距相同时，沿所述第一坐标方向的任意两个相邻的所述转移目标的间距。
13.一种转移装置，其特征在于，用于权利要求1～3任一项所述的一种转移设备，包括：
第一调整单元，用于基于两个转移执行器的设备坐标和第一距离阈值，调整两个所述转移执行器沿第一坐标方向的距离；其中所述第一距离阈值是基准间距值的第一整数倍；所述基准间距值为沿所述第一坐标方向的任意两个相邻的所述转移目标的间距；所述设备坐标是相对于基准原点的坐标；
第二调整单元，用于移动基准龙门，以使两个所述转移执行器分别对准一个所述转移目标；以及移动两个所述辅助龙门，以使两个所述转移执行器分别对准一个所述待转移器件；
转移单元，用于控制两个所述转移执行器分别将所述对准的所述待转移器件转移至所述对准的所述转移目标上。
14.一种电子设备，其特征在于，包括存储器和处理器，其中：
所述存储器用于存储计算机程序；
所述处理器用于读取所述存储器中的程序并执行权利要求4～12任一所述的转移方法。
15.一种计算机可读存储介质，其特征在于，其上存储有计算机程序，该程序被处理器执行时实现如权利要求4～12任一所述转移方法的步骤。
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1430256A (zh) * 2001-12-17 2003-07-16 未来产业株式会社 识别半导体器件测试处理机中器件传送系统的工作位置的装置和方法
CN107887314A (zh) * 2017-11-07 2018-04-06 河北晶龙阳光设备有限公司 一种硅片转运装载装置及基于其的硅片转运装载方法
CN112346266A (zh) * 2020-10-27 2021-02-09 合肥欣奕华智能机器有限公司 一种进行器件绑定的方法和装置及设备

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6817823B2 (en) * 2001-09-11 2004-11-16 Marian Corporation Method, device and system for semiconductor wafer transfer
DE102016221533B4 (de) * 2016-11-03 2018-09-20 Mühlbauer Gmbh & Co. Kg Verfahren und Vorrichtung zum Transfer elektronischer Komponenten von einem Trägersubstrat auf ein Zwischenträgersubstrat

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1430256A (zh) * 2001-12-17 2003-07-16 未来产业株式会社 识别半导体器件测试处理机中器件传送系统的工作位置的装置和方法
CN107887314A (zh) * 2017-11-07 2018-04-06 河北晶龙阳光设备有限公司 一种硅片转运装载装置及基于其的硅片转运装载方法
CN112346266A (zh) * 2020-10-27 2021-02-09 合肥欣奕华智能机器有限公司 一种进行器件绑定的方法和装置及设备

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