CN100407888C

CN100407888C - 部件安装方法

Info

Publication number: CN100407888C
Application number: CN2003801047310A
Authority: CN
Inventors: 奥田修; 城户一夫; 内田英树; 岩本羽生; 矢泽隆; 吉富和之
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2002-12-02
Filing date: 2003-12-02
Publication date: 2008-07-30
Anticipated expiration: 2023-12-02
Also published as: JP2004186308A; CN1720769A

Abstract

具备X-Y机器人(120)、相机基准标记(160)、和控制装置(170)，该机器人具有沿X轴方向和Y方向直线变形的构造。上述X-Y机器人由于即便连续运转产生的热作用也不会产生弯曲等位移，仅沿X轴方向和Y方向直线变形，所以由基板识别相机(140)拍摄上述相机基准标记后，求出热引起的上述X-Y机器人的伸缩量，根据该伸缩量来执行部件安装位置的修正，则可在规定位置或大致位置位置上安装电子部件。

Description

部件安装方法

技术领域

本发明涉及一种高精度将部件安装在基板上的部件安装方法和装置。尤其涉及一种部件安装装置和由该部件安装装置执行的部件安装方法，具体而言，涉及一种考虑了沿X、Y轴方向移动并执行部件安装的X-Y机器人因热而产生的伸缩之部件安装装置及方法。

背景技术

电子部件安装到电子电路基板上的精度由于被安装的电子部件进一步极小化，所以近年来进一步要求高精度。为了实现这种安装精度，以前提议各种方案。例如公开了如下方法等，由基板识别相机拍摄存在于搬入到部件安装装置的电路基板上的基板标记，求出该电路基板的错位，并且由部件识别相机拍摄保持在沿X、Y轴方向移动、并执行部件安装的X-Y机器人的吸嘴上之电子部件，求出电子部件的错位，通过修正上述基板和部件的两个错位，由上述X-Y机器人将电子部件安装到电路基板上。除该方法外，还提议如下方法，求出上述X-Y机器人的吸嘴、上述基板识别相机与上述部件识别相机的相对位置，使安装精度进一步提高(例如参照特开平8-242094号公报。)。

还提议如下方法，因为伴随具有上述X-Y机器人的部件安装装置的运转、该部件安装装置的温度变化，导致上述X-Y机器人伸缩，所以考虑该伸缩量来使安装精度进一步提高。在该方法中，如图28所示，由设置在配备于X-Y机器人1中的头2上之基板识别用相机3拍摄基准标记4，根据该拍摄信息，求出热引起的X-Y机器人1的错位(例如参照特开平6-126671号公报。)。

如上所述，为了提高部件安装精度，提议各种方法，但电子部件的极小化的进步显著，随之而来的是部件安装精度也渐渐严格。因此，在上述方法中，有时不能满足针对近年来的电子部件之安装精度。具体而言，当前在例如1.6×0.8mm的芯片部件中，要求例如以±70微米的误差范围进行安装。

另外，为了提高部件安装精度，还必需求出X-Y机器人的吸嘴与部件识别相机的相对位置关系，但如上所述，因为X-Y机器人因热而伸缩，所以不容易求出上述相对位置关系。即，在考虑热引起的X-Y机器人1的伸缩量之情况下，如图28所示，正交设置构成X-Y机器人1的X轴机器人7与Y轴机器人8，即便在热作用时，只要维持上述正交状态不变，X-Y机器人1伸缩，则可应付上述伸缩。即，只要X轴机器人7和Y轴机器人8的各伸缩仅在一个方向上产生，则就为了求出X-Y机器人1的上述伸缩量而由配备在头2中的相机3拍摄基准标记4之场所、与头2实际上将电子部件安装在印刷基板6上的场所而言，上述伸缩量相同或大致相同，或能根据基准标记拍摄场所的伸缩量来算出安装位置的错位量，可将根据上述拍摄求出的上述伸缩量作为实际伸缩量。

但是，以前，现实情况是即便在考虑上述伸缩量后执行安装位置修正的情况下，也不能将安装精度提高到期望的程度。其原因不完全清楚，但在以前的构造中，认为原因是当热作用时，不仅在X轴方向和Y轴方向、还在其它方向上产生X-Y机器人1的伸缩。即，如图29和图30中示例或夸张地图示，认为X轴机器人7和Y轴机器人8因热而分别各自进行伸缩和弯曲等变形。因此，就为了求出X-Y机器人1的上述伸缩量而由配备在头2中的相机3拍摄基准标记4之场所、与头2实际上将电子部件安装在印刷基板6上的场所而言，无论X-Y机器人1的伸缩量还是位移方向都不同，求出的伸缩量无助于安装位置的修正，因此认为安装精度不能提高。

通过驱动XY机器人，使部件吸附头沿XY方向移动，执行头的吸嘴吸附部件、吸附部件的相机的识别、安装到基板上等部件安装，但即便提高部件识别精度，也由于部件安装装置自身的歪斜，而无法实现高的安装精度。该部件安装装置自身的歪斜导致部件安装装置的XY机器人的加工精度差或组装精度差。

当进一步具体分析因基于这种加工精度等原因的XY机器人之歪斜而不能在安装到基板上时以高精度安装部件时，由于XY机器人的引导部件的摆头(向与在XY机器人上移动的头的前进方向正交的方向之横摆)、前后颠簸(头移动路径上的线性恶化)、滚动(向与所述横摆相差90度方向的纵摆)等，产生XY方向的错位。

因此，以前在执行相机校准的同时，通过固定在XY机器人上的基板识别相机来观察基准基板的基准标记，算出基准标记原本应在的目标位置与基准标记实际位置的错位量，并将算出的错位量作为安装位置偏移值，加到各个位置上，执行修正，由此高精度地执行部件安装(例如参照特开平6-126671号公报。)。

这里，所谓基板识别相机的相机校准是指为了检测基板识别相机的装配误差，由基板识别相机识别事先已知位置坐标的夹具，根据基于识别结果算出的位置坐标与事先知道的位置坐标之差，算出基板识别相机的装配误差，执行位置修正。另外，当执行上述相机校准时，不仅执行基板识别相机的位置修正，还同时执行部件识别相机与吸嘴的位置修正。

但是，在上述对各个位置进行修正的方法中，例如，在基准基板的第1次定位与后面的第2次定位中，可能有近1mm的基准基板的位置位移，并且，由于要求非常高的精度，基准基板的价格非常高，从防止破损的观点看，由于不使用基板止动器地在大多X方向位置上使基准基板停止并定位，并且，在基板输送机中为了搬运而在Y方向上也有少于1mm的间隙，所以部件安装装置中的基准基板在基板保持部的定位无再现性，导致安装精度降低。

这样，在大多位置上定位基准基板后，通过识别该基准基板的基准标记，求出机器人的各位置间的相对位移量，在安装时，使该位移量反映到安装基板安装的位置数据上，从而导致安装精度降低。

另一方面，在识别并修正将栅格设置成矩阵状的玻璃基准基板的方法时，考虑以正确定位基准基板为前提，测定基准基板的栅格，将测定的数据原样作为修正值。

但是，如上所述，很难以微米单位来将基准基板正确保持在基板保持部上，必需用于正确保持在部件安装装置的基板保持部上的特定定位装置，所以当将测定的数据直接设为修正值时，只要不能正确地再现性好地定位基准基板，则不能正确修正XY机器人。

但是，当在部件安装装置的部件安装区域整体中考虑时，原因在于XY机器人的歪斜引起的头动作变形随着定位位置的改变而变化，由于仅由以前的相机校准和安装位置偏移值无法充分修正，所以存在不能确保安装精度的问题。

这即便是在精密制造以等间隔将多个基准标记配置成格子状的基准基板自身时，也不能实现XY机器人与基准基板的绝对平行，另外，XY机器人自身也不能保证绝对的垂直度的结果，导致不存在基准，支撑具有识别配置在部件安装装置的部件安装区域中之上述基准基板的基板识别相机之头的XY机器人歪斜，所以不能将从基准基板得到的位置用作基准，无法提高安装精度(例如将机器人精度提高到±2微米左右，将作为安装器的综合精度提高到±20微米左右)。

发明内容

本发明为了解决上述问题而做出，其目的在于提供一种与以前相比进一步提高部件安装精度的部件安装装置和由该部件安装装置执行的部件安装方法。

另外，本发明的目的在于提供一种部件安装方法和装置，解决上述问题，通过得到对应于基板大小的最佳偏移值，可提高安装精度。

为了实现上述目的，本发明如下构成。

即，根据本发明第1方式，提供一种部件安装装置，配备：

X-Y机器人，该X-Y机器人具有配备保持电子部件的部件保持元件之部件安装头，使上述部件安装头沿彼此正交的X轴方向和Y轴方向移动，将保持在上述部件安装元件上的电子部件安装到电路基板的部件安装位置上；

固定的基板识别相机，设置在上述X-Y机器人上，拍摄上述电路基板的基板标记；

部件识别相机，拍摄保持在上述部件保持元件上的上述电子部件；和

控制装置，控制上述X-Y机器人、上述基板识别相机与上述部件识别相机，其中，配备

相机基准标记，配置在接近上述部件识别相机、并且不会妨碍上述部件识别相机拍摄上述电子部件的场所；和

分别竖设上述X-Y机器人、上述相机基准标记与上述部件识别相机的台架，

将上述相机基准标记的高度设置在与上述基板识别相机拍摄上述基板标记时之上述电路基板的高度位置和上述部件识别相机的拍摄高度位置相同的高度位置上，

上述控制装置根据由上述部件识别相机拍摄上述部件保持元件的上述部件保持元件之中心位置信息、和由上述部件识别相机和上述基板识别相机拍摄设置在上述部件识别相机的拍摄高度位置上之拍摄标记的拍摄信息，求出上述部件保持元件、上述基板识别相机与上述部件识别相机的相对位置关系，

热引起的位移量忽视上述相对位置关系中上述部件保持元件与上述基板识别相机的位置关系之位移量，

将由上述基板识别相机拍摄上述相机基准标记得到的上述相机基准标记之错位信息设为上述基板识别相机与上述部件识别相机的相对错位信息，仅根据该错位信息来执行上述部件安装位置的修正。

根据本发明的第2方式，提供一种第1方式中记载的部件安装装置，还配备以一体构造构成的部件安装装置用台架，

上述X-Y机器人具有沿上述Y轴方向彼此平行配置的两个相同Y轴机器人、和沿与上述Y轴机器人正交的上述X轴方向配置的一个X轴机器人，各个上述Y轴机器人直接形成于上述部件安装装置用台架上，并且具有Y-滚珠丝杠构造，将一端设为固定端，将另一端设为支撑端，仅在上述Y轴方向上直线热伸缩，并且在上述Y轴方向上移动上述X轴机器人，该X-Y机器人沿上述X轴方向和上述Y轴方向直线热伸缩。

根据本发明的第3方式，提供一种第2方式中记载的部件安装装置，上述X轴机器人具有X-框架，将两端固定在配备在各个上述Y轴机器人中的上述滚珠丝杠构造上；和X-滚珠丝杠构造，形成于该X-框架中，将一端设为固定端，将另一端设为支撑端，仅在上述X轴方向上直线热伸缩，并且装配配备了上述部件保持元件的部件安装头，使该部件安装头沿上述X轴方向移动，具有该X轴机器人的上述X-Y机器人沿上述X轴方向和上述Y轴方向直线热伸缩。

根据本发明的第4方式，提供一种第3方式中记载的部件安装装置，上述X-框架具有支撑引导部件，沿上述X轴方向装配在该X-框架上，向上述X轴方向可滑动地支撑上述部件安装头，由与上述X-框架不同种类的材料构成；和防止变形部件，夹持该X-框架，相对于上述支撑引导部件，沿上述X轴方向装配在该X-框架上，防止该X-框架变形，由与上述支撑引导部件相同种类的材料构成。

根据本发明的第5方式，提供一种第4方式中记载的部件安装装置，上述部件安装头具有多个上述部件保持元件，在各个上述部件保持元件中独立设置使上述部件保持元件沿与上述X轴方向和上述Y轴方向正交的Z轴方向移动之保持元件用驱动源，降低上述保持元件用驱动源的热产生。

根据本发明的第7方式，提供一种第1-6之一方式中记载的部件安装装置，设置多个上述部件识别相机，上述相机基准标记也接近各个部件识别相机来设置。

根据本发明的第8方式，提供一种第1方式中记载的部件安装装置，上述X-Y机器人将上述部件保持元件与上述基板识别相机的相对位置设为不动状态，并且沿上述X轴方向和上述Y轴方向直线热收缩。

根据本发明的第9方式，提供一种第8方式中记载的部件安装装置，还具备部件安装装置用台架(110)，该部件安装装置用台架通过铸造以一体构造成形，使上述X-Y机器人产生上述直线热伸缩。

根据本发明的第10方式，提供一种第9方式中记载的部件安装装置，上述X轴机器人具有将两端固定在配备在各个上述Y轴机器人中的上述滚珠丝杠构造上之X-框架，该X-框架具有沿上述X轴方向装配在该X-框架上的支撑引导部件；和防止变形部件，夹持该X-框架，相对于上述支撑引导部件，沿上述X轴方向装配在该X-框架上，防止热引起的该X-框架变形，上述X轴机器人将上述部件保持元件与上述基板识别相机的相对位置设为不动状态。

根据本发明的第11方式，提供一种第10方式中记载的部件安装装置，上述X轴机器人还具有X-滚珠丝杠构造，形成于上述X-框架中，将一端设为固定端，将另一端设为支撑端，仅在上述X轴方向上直线热伸缩，并且装配配备了上述部件保持元件的部件安装头，使该部件安装头沿上述X轴方向移动，上述部件安装头具有多个上述部件保持元件，在各个上述部件保持元件中独立设置使上述部件保持元件沿与上述X轴方向和上述Y轴方向正交的Z轴方向移动之保持元件用驱动源，该部件安装头将上述部件保持元件与上述基板识别相机的相对位置设为不动状态。

另外，根据本发明的第12方式，提供一种由部件安装装置执行的部件安装方法，该部件安装装置通过具有配备保持电子部件的部件保持元件之部件安装头的X-Y机器人，使上述部件安装头沿彼此正交的X轴方向和Y轴方向移动，将保持在上述部件保持元件上的电子部件安装到电路基板的部件安装位置上，其中，

由设置在上述部件安装头上、拍摄上述电路基板上的基板标记之基板识别相机拍摄相机基准标记，该相机基准标记配置在接近将上述X-Y机器人与上述部件识别相机分别单独竖设在台架上、执行保持于上述部件保持元件上的上述电子部件拍摄之部件识别相机、并且不会妨碍上述部件识别相机拍摄上述电子部件的场所，同时，将其高度设置在与上述基板识别相机拍摄上述基板标记时之上述电路基板的高度位置和上述部件识别相机的拍摄高度位置相同的高度位置上，

根据由上述部件识别相机拍摄上述部件保持元件的上述部件保持元件之中心位置信息、和由上述部件识别相机和上述基板识别相机拍摄设置在上述部件识别相机的拍摄高度位置上之拍摄标记的拍摄信息，求出上述部件保持元件、上述基板识别相机与上述部件识别相机的相对位置关系，

将由上述基板识别相机拍摄上述相机基准标记得到的上述相机基准标记之错位信息设为上述基板识别相机与上述部件识别相机的相对错位信息，仅根据该错位信息来执行上述部件安装位置的修正，向上述电路基板的安装位置移动上述电子部件并进行安装。

根据本发明的第13方式，提供一种第12方式中记载的部件安装方法，当中断安装生产时，在再次开始安装生产之前，执行上述相机基准标记的拍摄。

根据本发明的第14方式，提供一种第12或13方式中记载的部件安装方法，当比较由上述拍摄得到的上述相机基准标记之位置信息与事先设定的基准位置信息所求出的差量在设定值以上时，中止上述部件安装装置的运行。

根据本发明的第15方式，提供一种第12-14之一方式中记载的部件安装方法，事先测定上述部件保持元件与上述基板识别相机的位置关系、上述部件保持元件与上述部件识别相机的位置关系、和上述基板识别相机与上述部件识别相机的位置关系，将这些测定值处理成上述部件安装装置的修正前提。

根据本发明的第16方式，提供一种第12-15之一方式中记载的部件安装方法，当设置多个上述部件识别相机并设置多个相机基准标记时，在比较拍摄多个上述相机基准标记内的一个得到的上述相机基准标记之位置信息与事先设定的基准位置信息所求出的差量不足设定值时，省略其它相机基准标记的拍摄。

另外，为了实现上述目的，本发明也可如下构成。

一种部件安装装置，配备了X-Y机器人，该机器人具有保持电子部件的部件保持元件，将沿彼此正交的X轴方向和Y轴方向移动保持的电子部件安装到电路基板的部件安装位置上；基板识别相机，设置在上述X-Y机器人上，拍摄上述电路基板的基板标记；和部件识别相机，拍摄保持在上述部件保持元件上的上述电子部件，其特征在于：

上述X-Y机器人具有如下构造，即将上述部件保持元件与上述基板识别相机的相对位置设为不动状态，并且沿上述X轴方向和上述Y轴方向直线热收缩，

配备相机基准标记和控制装置，相机基准标记接近上述部件识别相机来配置，用于求出热引起的上述X-Y机器人的伸缩；

控制装置，在上述热引起的上述X-Y机器人的伸缩前后，根据由上述基板识别相机分别拍摄上述相机基准标记得到的上述相机基准标记的多个位置信息，求出热引起的上述X-Y机器人的伸缩量，根据该伸缩量来执行上述部件安装位置的修正。

上述控制装置也可构成为根据上述部件保持元件、上述基板识别相机和上述部件识别相机的相对位置和上述伸缩量来执行上述部件安装位置的修正。

另外，还配备部件安装装置用台架，该部件安装装置用台架通过铸造以一体构造成形，使上述X-Y机器人产生上述直线热伸缩，

上述X-Y机器人具有沿上述Y轴方向彼此平行配置的两个Y轴机器人、和沿与上述Y轴机器人正交的上述X轴方向配置的一个X轴机器人，各个上述Y轴机器人直接形成于上述部件安装装置用台架上，并且具有Y-滚珠丝杠构造，将一端设为固定端，将另一端设为支撑端，仅在上述Y轴方向上直线热伸缩，并且在上述Y轴方向上移动上述X轴机器人，该X-Y机器人沿上述X轴方向和上述Y轴方向直线热伸缩。

另外，也可构成为上述X轴机器人具有X-框架，将两端固定在配备在各个上述Y轴机器人中的上述滚珠丝杠构造上；和X-滚珠丝杠构造，形成于该X-框架中，将一端设为固定端，将另一端设为支撑端，仅在上述X轴方向上直线热伸缩，并且装配配备了上述部件保持元件的部件安装头，使该部件安装头沿上述X轴方向移动，具有该X轴机器人的上述X-Y机器人沿上述X轴方向和上述Y轴方向直线热伸缩。

另外，也可构成为上述X-框架具有支撑引导部件，沿上述X轴方向装配在该X-框架上，向上述X轴方向可滑动地支撑上述部件安装头；和防止变形部件(138)，夹持该X-框架，相对于上述支撑引导部件，沿上述X轴方向装配在该X-框架上，防止上述支撑引导部件的热引起的该X-框架变形，具有该X-框架的上述X轴机器人将上述部件保持元件与上述基板识别相机的相对位置设为不动状态。

另外，也可构成为上述部件安装头具有多个上述部件保持元件，在各个上述部件保持元件中独立设置使上述部件保持元件沿与上述X轴方向和上述Y轴方向正交的Z轴方向移动之保持元件用驱动源，该部件安装头将上述部件保持元件与上述基板识别相机的相对位置设为不动状态。

另外，也可构成为将上述相机基准标记配置在与上述X轴方向和上述Y轴方向正交的Z轴方向上、与上述基板识别相机拍摄上述电路基板中的上述基板标记时之上述电路基板相同的高度位置上。

另外，根据本发明的第17方式，提供一种部件安装方法，除在保持于基板保持装置上的上述部件安装用电路基板之部件安装位置上、安装保持在可相对上述基板保持装置移动的部件保持头的上述部件保持元件上之上述电子部件的权利要求12所述之部件安装方法外，

在将安装区域基准标记识别用基准基板保持在上述基板保持装置上并定位于部件安装区域中的状态下，识别保持在上述基板保持装置中的上述基准基板的以每规定间隔配置之安装区域基准标记的位置坐标，求出上述识别出的各个安装区域基准标记的位置坐标，

分别求出上述各个安装区域基准标记的NC坐标与上述位置坐标的差，作为修正值，

分别取得上述部件安装用电路基板的至少两个基板基准位置算出用标记之位置坐标的NC坐标，

从上述识别的安装区域基准标记中，分别抽取分别接近上述两个基板基准位置算出用标记的安装区域基准标记，

分别坐标变换这些抽取出的安装区域基准标记的位置坐标，使上述抽取的安装区域基准标记的修正值为零或实质上为零，求出各个安装区域基准标记下的偏移值，

另一方面，在代替安装区域基准标记识别用基准基板而将上述部件安装用电路基板保持在上述基板保持装置上并定位于上述部件安装区域中的状态下，分别识别保持在上述基板保持装置中的上述部件安装用电路基板的上述至少两个基板基准位置算出用标记，分别求出上述识别出的两个基板基准位置算出用标记的位置坐标，

根据求出的上述两个基板基准位置算出用标记的位置坐标，分别修正上述两个基板基准位置算出用标记的上述NC坐标，

当保持在上述部件保持头中的上述部件位于上述部件安装用电路基板的各部件安装装置的上方时，根据离配备在上述部件保持头中的识别相机最近的上述安装区域基准标记之偏移值，执行上述部件安装位置的位置坐标修正后，根据上述修正过的部件安装位置的位置坐标，将上述部件安装到上述部件安装位置。

另外，根据本发明的另一方式，也可提供一种部件安装方法，在保持于基板保持装置上的部件安装用电路基板之部件安装位置上、安装保持在可相对上述基板保持装置移动的部件保持头上的部件，其特征在于：

根据本发明的第18方式，提供一种第17方式中记载的部件安装方法，分别坐标变换上述抽取出的安装区域基准标记的位置坐标，使分别靠近上述两个基板基准位置算出用标记的上述抽取到的安装区域基准标记之修正值为零或实质上为零，求出各个安装区域基准标记下的偏移值，

此时，通过使连结上述抽取出的安装区域基准标记之曲线旋转和移动，进行坐标变换，使分别靠近上述两个基板基准位置算出用标记的上述抽取到的安装区域基准标记之修正值为零或实质上为零，从而分别坐标变换上述抽取到的安装区域基准标记之位置坐标，求出各个安装区域基准标记下的偏移值。

根据本发明的第19方式，提供一种第17或18方式中记载的部件安装方法，分别坐标变换上述抽取出的安装区域基准标记的位置坐标，使分别靠近上述两个基板基准位置算出用标记的上述抽取到的安装区域基准标记之修正值为零或实质上为零，求出各个安装区域基准标记下的偏移值，

此时，根据上述抽取出的安装区域基准标记，算出上述基板保持装置的X方向与同该X方向正交的Y方向中至少一个方向上的修正值，同时，求出上述基准基板的倾斜，分别坐标变换上述抽取到的安装区域基准标记之位置坐标，使上述抽取到的安装区域基准标记之修正值为零或实质上为零，求出各个安装区域基准标记下的偏移值。

根据本发明的第20方式，提供一种部件安装装置，除在保持于基板保持装置上的部件安装用电路基板之部件安装位置上、安装保持在可通过上述X-Y机器人相对上述基板保持装置移动的部件保持头的上述部件保持元件上之上述电子部件的权利要求1所述之部件安装装置外，

上述基板识别相机配备在支撑在上述X-Y机器人中的上述部件保持头中，并且，在将安装区域基准标记识别用基准基板保持在上述基板保持装置上并定位于部件安装区域中的状态下，识别保持在上述基板保持装置中的上述基准基板的以每规定间隔配置之安装区域基准标记的位置坐标，

另一方面，还配备运算部，根据由上述基板识别相机识别的上述安装区域基准标记之识别结果求出上述安装区域基准标记的位置坐标，同时，分别求出上述各个安装区域基准标记的NC坐标与上述位置坐标的差，作为修正值，根据上述部件安装用电路基板的至少两个基板基准位置算出用标记之位置坐标的NC坐标，从上述识别的安装区域基准标记中，分别抽取分别接近上述两个基板基准位置算出用标记的安装区域基准标记，分别坐标变换这些抽取出的安装区域基准标记的位置坐标，使上述抽取的安装区域基准标记的修正值为零或实质上为零，求出各个安装区域基准标记下的偏移值，在代替安装区域基准标记识别用基准基板而将上述部件安装用电路基板保持在上述基板保持装置上并定位于上述部件安装区域中的状态下，分别识别保持在上述基板保持装置中的上述部件安装用电路基板的上述至少两个基板基准位置算出用标记，分别求出上述识别出的两个基板基准位置算出用标记的位置坐标，根据求出的上述两个基板基准位置算出用标记的位置坐标，分别修正上述两个基板基准位置算出用标记的上述NC坐标，

上述控制装置在保持在上述部件保持头中的上述部件位于上述部件安装用电路基板的各部件安装装置的上方的同时，根据离配备在上述部件保持头中的识别相机最近的上述安装区域基准标记之偏移值，执行上述部件安装位置的位置坐标修正后，根据上述修正过的部件安装位置的位置坐标，将上述部件安装到上述部件安装位置。

根据本发明的第21方式，提供一种第20方式中记载的部件安装装置，上述运算部分别坐标变换上述抽取出的安装区域基准标记的位置坐标，使分别靠近上述两个基板基准位置算出用标记的上述抽取到的安装区域基准标记之修正值为零或实质上为零，求出各个安装区域基准标记下的偏移值，此时，通过使连结上述抽取出的安装区域基准标记之曲线旋转和移动，进行坐标变换，使分别靠近上述两个基板基准位置算出用标记的上述抽取到的安装区域基准标记之修正值为零或实质上为零，从而分别坐标变换上述抽取到的安装区域基准标记之位置坐标，求出各个安装区域基准标记下的偏移值。

根据本发明的第22方式，提供一种第20或21方式中记载的部件安装装置，上述运算部分别坐标变换上述抽取出的安装区域基准标记的位置坐标，使分别靠近上述两个基板基准位置算出用标记的上述抽取到的安装区域基准标记之修正值为零或实质上为零，求出各个安装区域基准标记下的偏移值，此时，根据上述抽取出的安装区域基准标记，算出上述基板保持装置的X方向与同该X方向正交的Y方向中至少一个方向上的修正值，同时，求出上述基准基板的倾斜，分别坐标变换上述抽取到的安装区域基准标记之位置坐标，使上述修正值为零或实质上为零，求出各个安装区域基准标记下的偏移值。

根据本发明的第23方式，提供一种第20-22之一方式中记载的部件安装装置，配备XY机器人，该XY机器人具有沿Y轴方向彼此平行设置的两个Y轴机器人、和一个X轴机器人，在可沿与上述Y轴方向正交的X轴方向移动地配置在上述两个Y轴机器人中的同时，沿上述X轴方向可移动地支撑上述部件保持头，通过上述两个Y轴机器人与一个X轴机器人，可使上述部件保持头相对上述基板保持装置沿上述XY轴方向移动。

根据本发明的第24方式，提供一种第23方式中记载的部件安装装置，上述部件保持头具有分别可吸附保持上述部件、并且沿上述X轴方向排列的多个部件吸嘴，并且，将上述基板识别相机配置在上述部件保持头上，使上述基板识别相机的拍摄中心位于与通过上述多个部件吸嘴中心的直线相同的轴上。

附图说明

从关联附图的最佳实施方式之下面的描述中可知本发明的这些和其它目的与特征。其中，

图1是作为本发明第1实施方式的部件安装装置的平面图，

图2是图1所示部件安装装置的正面图，

图3是图1所示的部件安装装置的右侧面图，

图4是配备于图1所示部件安装装置中的台架和X-Y机器人的原理图，

图5是表示配备于图1所示部件安装装置中的X-Y机器人的滚珠丝杠构造之固定端的图，

图6是表示配备于图1所示部件安装装置中的X-Y机器人的滚珠丝杠构造之支撑端的图，

图7是表示配备于图1所示部件安装装置中的X轴机器人的X-框架部分的图，

图8是配备于图1所示部件安装装置中的X轴机器人的部件安装头的正面图，

图9是配备于图1所示部件安装装置中的部件识别相机和相机基准标记部分的正面图，

图10是图9所示部件识别相机和相机基准标记部分的平面图，

图11是表示图1所示部件安装装置的各构成部分与控制装置的关系的框图，

图12是用于说明由图1所示的部件安装装置执行的部件安装方法之流程图，

图13是表示配备于图1所示部件安装装置中的部件安装头的时间经过与各部温度的关系曲线，

图14是就配备于部件安装头中的各部件吸嘴随运行时间经过的错位来比较图1所示的部件安装装置与现有部件安装装置的曲线，

图15是表示图1所示部件安装装置的X轴机器人因温度变化而引起的变形量的曲线，

图16是表示现有部件安装装置的X轴机器人因温度变化而引起的变形量的曲线，

图17是表示图1所示的部件安装装置随着运行时间经过而在各测定点的位置位移量的曲线，

图18是表示在图17所示的每个时刻、上述各测定点的位置位移量的曲线，

图19是表示图17、图18、图20和图21所示的各测定点的图，

图20是表示现有部件安装装置随着运行时间经过而在各测定点的位置位移量的曲线，

图21是表示在图20所示的每个时刻、上述各测定点的位置位移量的曲线，

图22是表示图1所示的部件安装装置随着气氛气温度的变化、相机基准标记和安装位置精度在Y轴方向上的错位之曲线，

图23是表示图1所示的部件安装装置随着气氛气温度的变化、相机基准标记和安装位置精度在X轴方向上的错位之曲线，

图24是图1所示部件安装装置的变形例的平面图，

图25是表示由图1所示部件安装装置执行部件安装时的安装位置相对规定位置之差异的图，

图26是表示由现有部件安装装置执行部件安装时的安装位置相对规定位置之差异的图，

图27是表示由现有部件安装装置执行部件安装时的安装位置相对规定位置之差异的图，

图28是表示现有部件安装装置的斜视图，

图29是原理地表示现有部件安装装置中因热的影响而造成的X-Y机器人的变形的图，

图30是原理地表示现有部件安装装置中因热的影响而造成的X-Y机器人的变形的图，

图31是可实施本发明第2实施方式的部件安装方法之部件安装装置的平面图，

图32是图31所示的上述部件安装装置的正面图，

图33是图31所示的上述部件安装装置的右侧面图，

图34是配备于图31所示的上述部件安装装置中的台架和XY机器人的原理图，

图35是配备于图31所示的上述部件安装装置中的X轴机器人的部件安装头之正面图，

图36是表示图31所示的上述部件安装装置的各构成部分与控制装置的关系的框图，

图37是表示用于说明部件安装头的定位精度因XY机器人的变形而受到较大影响之X轴机器人的变形与部件安装头的关系的说明图，

图38是表示用于说明部件安装头的定位精度因XY机器人的变形而受到较大影响之Y轴机器人的变形与部件安装头的关系的说明图，

图39是用于说明本发明上述第2实施方式的上述部件安装方法的偏移值想法之说明图，

图40是表示本发明的上述第2实施方式的上述部件安装方法中使用的玻璃基板具体例的平面图，

图41是表示用于求出本发明的上述第2实施方式的上述部件安装方法之偏移值的步骤的流程图，

图42是表示本发明的上述第2实施方式的上述部件安装方法中使用之玻璃基板的安装区域基准标记之平面图，

图43是用于说明本发明上述第2实施方式的上述部件安装方法中使用之玻璃基板的安装区域基准标记识别方式的说明图，

图44是表示本发明的上述第2实施方式的上述部件安装方法中、在错位于基板识别相机的视野中心位置O₁、O₂的位置上来识别安装区域基准标记的说明图，

图45是表示本发明的上述第2实施方式的上述部件安装方法识别两个基板基准位置算出用标记时的结果之说明图，

图46是纵轴表示错位量、横轴表示X方向的位置、上侧折线曲线表示ΔX、即X方向的错位、下侧折线曲线表示ΔY、即Y方向的错位之曲线，

图47是表示安装区域基准标记位置沿X方向和Y方向错位于作为原来位置之矩形视野区域的中央位置的状态说明图，

图48是表示使曲线旋转和移动来进行坐标变换、以使较小型的应安装基板的两个基板基准位置算出用标记附近之安装区域基准标记修正值为零或实质为零后、再配置安装位置的状态曲线，

图49是表示图48中的较小型的应安装基板的两个基板基准位置算出用标记之平面图，

图50是表示使曲线旋转和移动来进行坐标变换、以使较大型的应安装基板的两个基板基准位置算出用标记附近之安装区域基准标记修正值为零或实质为零后、再配置安装位置的状态曲线，

图51是表示图50中的较大型的应安装基板的两个基板基准位置算出用标记之平面图，

图52是表示最靠近生产基板的基板基准位置算出用标记之玻璃基板上的安装区域基准标记的说明图，

图53是表示当沿应安装基板的纵向有M行、横向有N列安装区域基准标记时，将由4个点的安装区域基准标记包围的区域P分派为一个区域的状态说明图，

图54是上述第2实施方式的部件安装方法更具体实例的安装区域基准标记识别动作的流程图，

图55是上述第2实施方式的部件安装方法更具体实例的品种选择动作的流程图，

图56是上述第2实施方式的部件安装方法更具体实例的安装区域基准标记识别动作和部件安装动作的流程图，

图57是合成在基板的通常位置测定的安装区域基准标记之位置坐标数据[1]、与在向左移动350mm的位置测定的安装区域基准标记之位置坐标数据[2]时的说明图，

图58是表示图57的基板在头以10mm间距沿X方向移动时的X方向位置与X方向错位量的关系曲线，

图59是表示图57的基板在头以10mm间距沿Y方向移动时的Y方向位置与Y方向错位量的关系曲线，

图60是表示对于428mm×250mm大小的基板、当将作为400点的1.6mm×0.8mm的芯片部件之陶瓷电容安装在基板上时、未适用上述第2实施方式的偏移值时的安装精度的曲线，是分别在纵轴表示Y方向的安装错位量、在横轴表示X方向安装错位量的曲线，

图61是表示对于428mm×250mm大小的基板、当将作为400点的1.6mm×0.8mm的芯片部件之陶瓷电容安装在基板上时、适用上述第2实施方式的偏移值时的安装精度的曲线，是分别在纵轴表示Y方向的安装错位量、在横轴表示X方向安装错位量的曲线，

图62是表示对于428mm×250mm大小的基板、当将多个QFP安装在基板上时、未适用上述第2实施方式的偏移值时的安装精度的曲线，是分别在纵轴表示Y方向的安装错位量、在横轴表示X方向安装错位量的曲线，

图63是表示对于428mm×250mm大小的基板、当将多个QFP安装在基板上时、适用上述第2实施方式的偏移值时的安装精度的曲线，是分别在纵轴表示Y方向的安装错位量、在横轴表示X方向安装错位量的曲线，

图64是表示从基板识别相机的视野中心到安装区域基准标记的X方向和Y方向之错位量的说明图，

图65是表示作为上述第2实施方式的应用例，使包含于吸嘴间间距和基板相机偏移值中的XY机器人动作变形引起的区域偏移值反映于这些吸嘴间间距和基板相机偏移值上的动作流程图，

图66是表示使区域偏移值反映于吸嘴间间距的测定位置上来执行部件安装动作的步骤之流程图，

图67A、67B、67C是表示测定时的吸嘴、部件识别相机与基板识别相机的位置关系的图，

图68是用于说明基板相机的偏移值和吸嘴间间距的图。

具体实施方式

下面，参照附图来详细说明作为本发明的实施方式的部件安装装置和由该部件安装装置执行的部件安装方法。另外，各图中，向相同构成部分附加相同符号。

如图1-图4所示，第1实施方式的部件安装装置100作为基本构成部分，配备台架110、X-Y机器人120、基板识别相机140、部件识别相机150、相机基准标记160、和控制装置170，还配备部件提供装置180、基板输送装置190。

上述台架110是用于设置上述X-Y机器人120、上述部件识别相机150、上述相机基准标记160、上述控制装置170、上述部件提供装置180、和上述基板输送装置190的底台，由长方体形状的基座部111和Y轴机器人用腿部112构成，基座部111和Y轴机器人用腿部112、即台架110通过铸造以一体构造来成型。上述Y轴机器人用腿部112沿X轴方向51以基座部111的两端部分别从基座部111突出设置，并且沿与X轴方向51正交的Y轴方向52延伸。在各个Y轴机器人用腿部112中设置构成X-Y机器人120的、后面详细描述的Y轴机器人121中的线性引导件123等。沿着在Y轴方向52形成于各个Y轴机器人用腿部112中的线性引导设置面123a，将作为下述螺母部126的引导支撑部件之各线性引导件123设置在Y轴机器人用腿部112中，但如上所述，由于各Y轴机器人用腿部112与基座部111通过铸造以一体构造来成型，所以各个上述线性引导设置面123a可通过机械加工而以非常高的精度完成。因此，可以约0.02mm以内的精度来实现两个线性引导设置面123a之间的平行度、即两个Y轴机器人121之间的平行度。

另外，构成以前部件安装装置的台架通过熔化型钢等来制作，并且用螺栓将不同于该台架制作的Y轴机器人固定在上述型钢的台架上。从而，难以使两个Y轴机器人之间的平行度提高到不影响部件安装精度的程度，与第1实施方式的Y轴机器人121相比，现有部件安装装置中的Y轴机器人之间的平行度相当差。

上述X-Y机器人120具有沿Y轴方向52彼此平行设置于各个上述Y轴机器人用腿部112、即通过铸造以一体构造来成型的台架110上的两个Y轴机器人121、和与该Y轴机器人121正交并沿X轴方向51配置的一个X轴机器人131。

各Y轴机器人121具有Y-滚珠丝杠构造122、和上述线性引导件123。Y-滚珠丝杠构造122将一端122a设为固定端，将另一端122b设为支撑端，通过热，仅沿Y轴方向52直线伸缩，并且使上述X轴机器人131沿Y轴方向52移动。具体而言，在Y-滚珠丝杠构造122中的上述一端122a上，如图5所示，设置固定在Y轴机器人用腿部112上而作为滚珠丝杠125之驱动源的电机124，并连结于滚珠丝杠125上。上述另一端122b如图6所示，沿其周向可自由旋转、并且可向其轴向、即Y轴方向52伸缩地支撑滚珠丝杠125，被装配于上述Y轴机器人用腿部112上。

当连续运行如此构成的Y轴机器人121时，发热的部位为滚珠丝杠125和电机124，另一端122b允许热引起的滚珠丝杠125沿Y轴方向52伸缩。另外，电机124如上所述固定在一体构造的台架110上，所以热引起的各Y轴机器人121的伸缩即热伸缩仅在Y轴方向52上为直线状。另外，由于两台Y轴机器人121的动作相同，所以各Y轴机器人121向Y轴方向52的热伸缩量相等。

另外，如图4所示，在各Y轴机器人121的滚珠丝杠125上装配螺母部126，通过各滚珠丝杠125的旋转，螺母部126沿Y轴方向52移动。沿X轴方向51将构成X-Y机器人120的X轴机器人131设置在各螺母部126之间。如上所述，因为各Y轴机器人121向Y轴方向52的伸缩量相等，所以设置在各螺母部126之间的X轴机器人131可以平行于X轴的状态向Y轴方向52移动。

另外，图4是原理地表示台架110和X-Y机器人120的构造的图，图1-图3所示的部件安装装置100的构造未必一致，另外，后述的部件安装头省略图示。另外，图2-图4中，省略部件提供装置180的图示。

X轴机器人131具有X-框架132和X-滚珠丝杠构造133。X-框架132如上所述，将两端固定在各个Y轴机器人121的滚珠丝杠构造122的螺母部126上，沿X轴方向51延伸。X-滚珠丝杠构造133形成于X-框架132中，将一端133a设为固定端，将另一端133b设为支撑端，通过热，仅沿上述X轴方向51直线伸缩，并且，装配部件安装头136，使该部件安装头136向上述X轴方向51移动。

上述X-框架132是图7所示的大致方柱形状的铝构成的部件，如上所述，将其两端固定于上述螺母部126上。如图4等所示，在形成于该X-框架132侧面的X滚珠丝杠构造133的上述一端133a上，设置固定于X-框架132上、作为滚珠丝杠构造134的驱动源之电机135，连结于滚珠丝杠134上。上述另一端133b如图6所示，沿其周向可自由旋转、并且可向其轴向、即X轴方向51伸缩地支撑滚珠丝杠134，被装配于上述X-框架132上。当连续运行X轴机器人131时，发热的部位为滚珠丝杠134和电机135，另一端133b允许热引起的滚珠丝杠134沿X轴方向51伸缩。

另外，如图1所示，在上述滚珠丝杠134上装配用于装配上述部件安装头136的螺母部134a，通过滚珠丝杠134的旋转，螺母部134a、即部件安装头136沿X轴方向51移动。

上述部件安装头136具有作为实现作为保持电子部件62的部件保持元件功能一例的部件吸嘴1361、和在第1实施方式中、用于为了确认搬入设置的电路基板61之错位而拍摄存在于电路基板61上的基板标记61a之基板识别相机140。上述部件吸嘴1361具体如图8所示，在第1实施方式中，沿X轴方向51，在一条直线上设置8个部件吸嘴1361。另外，电子部件62是芯片部件等小型部件或QFP等大型部件等。由此，部件吸嘴1361也对应于吸附的各种部件来装配最佳的尺寸和形状的吸嘴。如上所述，配置基板识别相机140，使基板识别相机140的拍摄中心位于与通过沿X轴方向排列的各部件吸嘴1361中心之直线相同的轴上。另外，在上述部件安装头136中还配备用于使各部件吸嘴1361向其轴向旋转的旋转用电机1363。

由于各部件吸嘴1361从上述部件提供装置180吸附电子部件62并将吸附的电子部件62安装于电路基板61上，所以必需沿部件吸嘴1361的轴向、即上述Z轴方向53移动。在第1实施方式中，在上述部件安装头136中，为了移动部件吸嘴1361，在各部件吸嘴1361中设置作为用作保持部件用驱动源一例的移动用电机1362。由此，与以前由一个大输出电机来驱动多个部件吸嘴全部的情况相比，可使用低输出的电机，可抑制来自电机的发热量。作为一实施例，移动用电机1362的输出为20W，基本上没有来自移动用电机1362的发热。并且，在以前设置一个发热量大的上述大输出电机的情况下，以前的部件安装头按照距上述大输出电机的远近产生温度梯度，在排列方向上，各部件吸嘴间的距离会因热伸缩的不同而不同。相反，在第1实施方式中，通过在各个部件吸嘴1361中设置移动用电机1362，基本上没有来自各移动用电机1362的发热，另外，即便假设有发热，部件安装头136也不产生影响部件安装精度程度的温度梯度。从而，即便连续运行部件安装头136，X轴方向51上各部件吸嘴1361间的距离也可维持相等或大致相等的状态。另外，上述所谓大致相等的状态是指不影响部件安装精度的程度。

另外，如上所述，因为部件安装头136不产生影响部件安装精度的温度梯度，所以可设各部件吸嘴1361与基板识别相机140的相对位置、即各部件吸嘴1361与基板识别相机140之间的距离不动。这里，所谓“不动”是指各部件吸嘴1361与基板识别相机140之间的距离不会因为热而产生影响部件安装精度程度的伸缩。

图13中示出证明上述部件安装头136中未产生有害的温度梯度的、部件安装头136中各部的温度测定结果。图13中，所谓‘第1电机’是图8所示的8个移动用电机1362内配置于左端的电机，所谓‘第4电机’是从该左端起配置于第4个的电机，所谓‘头框架’是形成部件安装头136的框架材料。从图13可知，无论部件安装头136从开始运行后经过多少时间，部件安装头136的各部的温度变化都被抑制于约5度以内。从而，不妨认为部件安装头136基本上没有作为温度变化引起的变形的、影响部件安装精度的变形。

另外，如上所述，因为部件安装头136的温度变化比以前少，所以可知位于部件安装头136左端与右端的各部件吸嘴1361之间的距离错位量如图14所示，与时间经过无关，基本上恒定，其位于约在1微米内。另外，该约1微米内的位移不是影响部件安装精度的位移量。另一方面，由于以前的设备如上所述产生大的温度梯度，所以如图所示，吸嘴间距离的错位量随着时间的经过(经过一定时间)而增加。

从图13和图14的测定结果可知，与部件安装头136的运行时间经过无关，X轴方向51上各部件吸嘴1361之间的距离可维持大致相等的状态，另外，各部件吸嘴1361与基板识别相机140之间的距离也基本上不产生热引起的伸缩。

并且，由于X-框架132中可沿X轴方向51可滑动地在支撑部件安装头136，所以如图2和图7所示，沿X轴方向51平行地装配作为两个支撑引导部件之由与X-框架132不同材料的铁构成的线性引导件137。并且，在X-框架132中，装配防止变形部件138，夹持X-框架132，防止在该X-框架132中、X-框架132沿X轴方向51相对线性引导件137变形，该防止变形部件138由与线性引导件137相同材料的铁构成。

接着，描述采用夹持装配了线性引导件137的X-框架132、装配防止变形部件138的构造之理由。即，如上所述，当连续运行X轴机器人131时，主要是滚珠丝杠134和电机135发热，另外，各线性引导件137也发热。这些热还传递到X-框架132。如图7所示，与电机135和线性引导件137相比，X-框架132在体积等方面胜出，并且采用尽量不变形的方式，认为基本上没有热引起的伸缩和变形。但是，如上所述，因为X-框架132由铝构成，各线性引导件137由铁构成，所以认为X-框架132也可能因两者的热膨胀率不同而产生弯曲等变形。因此，通过以与各线性引导件137完全相同的形状、尺寸和配置来装配由铁构成的上述防止变形部件138，可抵消X-框架132的上述变形。因此，可认为X-框架132不会因为热而沿X轴方向51伸缩，并且也没有弯曲等变形，或者上述伸缩和变形量为就部件安装动作而言可忽视程度的值。

利用上述X轴机器人131的构成，可视为X轴机器人131中产生热伸缩的部分仅为滚珠丝杠134，其伸缩方向仅在X轴方向51上为直线状。

参照图15和图16来说明设置上述防止变形部件138的效果。另外，图15表示在X-框架中设置防止变形部件时的X轴机器人在Y轴方向52上的变形量，图16表示未设置防止变形部件时的变形量。另外，图15和图16都是在对X轴机器人施加20℃→40℃→20℃温度变化时的曲线，横轴中显示配备于X轴机器人中的滚珠丝杠驱动用电机侧距基准点的距离。

从图15和图16的各曲线可知，在设置防止变形部件的情况下，X轴机器人中的变形量被抑制在±10微米以内，认为基本上未发生变形。另一方面，在未设置防止变形部件的情况下，产生最大90微米的变形，可知明显对部件安装精度造成坏影响。

从实验结果还可知，在X-框架132中装配防止变形部件138的第1实施方式的X轴机器人131如上所述，认为没有因热而在X轴方向51上伸缩，并且没有弯曲等变形，或上述伸缩和变形量为就部件安装动作而言可忽视的程度的值，另外，可知就X轴机器人131而言，因热而产生伸缩的部分仅为滚珠丝杠134。

根据以上说明的构成第1实施方式部件安装装置100的台架110和X-Y机器人120的构造，即便在热作用的情况下，构成X-Y机器人120的机器人121也仅在Y轴方向52上直线热伸缩，X轴机器人131中仅滚珠丝杠134仅在X轴方向51上直线热伸缩。另外，因为X轴机器人131被支撑在左右的Y轴机器人121上，向Y轴方向52移动，所以各Y轴机器人121的发热量相等，从而各Y轴机器人121在Y轴方向51上的热伸缩量相等。因此，即便在热作用于X-Y机器人的情况下，配合于X轴机器人131的滚珠丝杠134上的部件安装头136也仅在X轴方向51和Y轴方向52上产生错位。并且，如上所述，当热作用时，部件安装头136内的各部件吸嘴1361之间的距离、和各部件吸嘴1361与配备于该部件安装头136中的基板识别相机140之间的距离中未产生妨碍部件安装精度的伸缩和变形。

因此，即便在热作用于X-Y机器人120的情况下，X-Y机器人120也仅在X轴方向51和Y轴方向52上产生错位，而不象以前那样产生对部件安装精度造成坏影响的弯曲等3维错位。这也可从下示的实验数据中明了。

即，如图19所示，就排列在搬入到部件安装装置中的电路基板61之Y轴方向52上的A-D等4个点、和作为相机基准标记160的E点而言，在由装配于X-Y机器人的X轴机器人上的基板识别相机来识别的情况下，测定随着该部件安装装置的运行时间的经过、上述A-D各点在Y轴方向52上的位置变化。另外，上述A-E点沿Y轴方向52大致等间隔配置，通过Y轴机器人，使X轴机器人从前侧向后侧沿Y轴方向52移动，由上述基板识别相机拍摄。图17和图18是上述部件安装装置100的测定结果，图20和图21是现有部件安装装置的测定结果。另外，在以前的部件安装装置中，不存在上述E点，所以在图20和图21中当然没有E点的数据。

图17中，示出随着部件安装装置10的运行时间的经过、Y轴方向52上的上述A-E点的位置变化量之变化。从图17可知，各A-E点随着时间经过，在Y轴方向52上的位置变化量都变大，另外，经过规定时间后，位置变化饱和，另外，在任一时刻，A-E点的位置变化量都不交错，都沿从A至E的方向依次变大。从而，可知第1实施方式中的X-Y机器人120在规定时间之前，随着时间经过，仅在Y轴方向52上膨胀，在经过规定时间后，上述膨胀饱和。另外，图18中，示出在图17所示的经过时间内的a-c的每个时刻，上述A-E点的Y轴方向52上的位置变化量。从图18可知，例如时刻a的各A-E点的位置变化量大致直线变化，该倾向对时刻b、c也一样。从而，可知X-Y机器人120与时间经过无关，与沿Y轴方向52的距离成正比地一样膨胀。

另一方面，图20是对应于图17的图，示出现有部件安装装置的情况。从图20可知，在现有部件安装装置中，尽管各A-D点也随着时间经过在Y轴方向52上的位置变化量变大，但位置变化不饱和，另外，C、D点处位置变化量交错。另外，图21示出在图20所示的经过时间内的a-c的每个时刻，上述A-D点的Y轴方向52上的位置变化量，但在时刻b、c，看不到直线变化。从图20和图21可知，现有部件安装装置的X-Y机器人不仅在Y轴方向52上膨胀，还随着时间经过得越多，即温度变化越大，越没有位移量的直线性。

接着，上述部件识别相机150如图9和图10所示，为在周边部排列作为照明用光源的LED151、并在中央部分配置拍摄用相机152的公知方式，是从其下方拍摄由上述部件吸嘴1361吸附保持的电子部件62之相机。在第1实施方式中，如图1和图2所示，将部件识别相机150竖设在台架110的上述基座部111中。

因为部件识别相机150使用LED151作为光源，所以部件识别相机150的发热量少。另外，因为被竖设在通过铸造以一体构造来形成的台架110中，所以部件识别相机150的设置位置未因热而错位，或为可忽视的位移量。

如图9和图10所示，接近部件识别相机150来配置上述相机基准标记160，该标记是为了求出热引起的X-Y机器人120之伸缩、即热伸缩而由上述基板识别相机140拍摄的标记。作为标记的形态，考虑各种形态，但作为一例，如图10所示，为在四方形的框内标记圆的标记。将这种相机基准标记160支撑在竖设于台架110的上述基座部111中的支柱162上，配置于拍摄高度位置161上。该拍摄高度位置161是基板识别相机140与相机基准标记160之间在Z轴方向53上的距离等于上述基板识别相机140拍摄电路基板61的基板标记61a时基板识别相机140与基板标记61a之间在Z轴方向53上的距离之高度位置。

这样，通过在拍摄高度位置161配置相机基板标记160，当基板识别相机140拍摄基板标记61a时与拍摄相机基准标记160时，基板识别相机140的焦距相等。从而，基板标记61a和相机基准标记160的两个拍摄图像的画质相等，可消除画质差异引起的识别误差。

另外，如图9所示，因为拍摄高度位置16是从部件识别相机150突出的位置，所以将相机基准标记160设置在不妨碍部件识别相机150拍摄电子部件62的部位。

上述部件提供装置180在第1实施方式的部件安装装置100中，是具有多个卷绕容纳电子部件62的带之辊子的、所谓盒带类型的部件提供装置，在该部件安装装置100的前侧100a和后侧100b中分别各设置两组。

上述基板输送装置190是执行该部件安装装置100中电路基板61的搬入和搬出的装置，如图1等所示，沿X轴方向51配置在该部件安装装置100的大致中央部分中。

如图11所示，上述控制装置170与作为上述各构成部分之X-Y机器人120、基板识别相机140、部件识别相机150、部件提供装置180和基板输送装置190连接，执行它们的动作控制，控制电子部件62向电路基板61的安装动作。该控制装置170具有存储上述安装动作等所需程序等的存储部173，并且在功能上具有伸缩量确定部171，根据上述相机基准标记160的拍摄信息，求出热引起的X-Y机器人120之伸缩量；以及基础位置确定部172，事先求出基板识别相机140、部件识别相机150和上述部件吸嘴1361的相对位置关系。下面详细说明如此构成的控制装置170的动作。

进而参照图12来详细说明如以上说明那样构成的部件安装装置100的动作、即由该部件安装装置100执行的部件安装动作。另外，因为电路基板输送装置190输送电路基板61的动作、以及包含部件安装头140的X-Y机器人120执行的从由部件提供装置180吸附部件到将部件安装到电路基板61的动作与以前的部件安装装置所执行的动作基本类似，所以简单说明这些动作。下面，主要说明使用相机基准标记160执行的、当热作用时的X-Y机器人120的伸缩量之确定动作。

在图12所示的步骤1至步骤3中，作为使部件安装装置100连续运行的预备，执行各种校正用数据的取得。

即，首先在步骤S1中，求出部件吸嘴1361、基板识别相机140、与部件识别相机150的相对位置关系，即部件吸嘴1361的中心与基板识别相机140的中心在X轴方向51和Y轴方向52上的错位、部件吸嘴1361的中心与部件识别相机150的中心在X轴方向51和Y轴方向52上的错位、以及基板识别相机140的中心与部件识别相机150的中心在X轴方向51和Y轴方向52上的错位。

如上所述，在第1实施方式的部件安装装置100中，即便热作用，也不产生部件吸嘴1361与基板识别相机140之间的错位、以及部件识别相机150的设置位置之错位，或为就部件安装精度而言可忽视的错位量。因此，该步骤S1的错位测定动作例如在部件安装装置100完成之后、出厂之前一次执行就足以。不用说，部件安装装置100的用户例如也可在每天的运行开始之前等执行。另外，步骤S1的动作由控制装置170的基础位置确定部172来控制执行。

简单说明部件吸嘴1361、基板识别相机140与部件识别相机150的相对位置关系的具体求出方法。

即，如特开平8-242094号公报所示那样，将吸嘴中心计测夹具装配在部件吸嘴1361上，由部件识别相机150拍摄上述吸嘴中心计测夹具，得到吸嘴中心计测夹具拍摄信息。另外，为了包含于部件识别相机150的拍摄视野中，将附加了拍摄标记的相机中心位置计测夹具装配于部件识别相机150中，由上述基板识别相机140和部件识别相机150双方来拍摄上述拍摄标记，得到相机中心计测夹具拍摄信息。之后，根据上述吸嘴中心计测夹具拍摄信息和上述相机中心计测夹具拍摄信息，求出部件吸嘴1361、基板识别相机140、与部件识别相机150的相对位置关系。通过执行使用求出的相对位置关系之修正，在运算上使部件吸嘴1361的中心与部件识别相机150的拍摄中心一致，并且可使基板识别相机140的拍摄中心配置于通过各部件吸嘴1361的中心之直线上。

并且，如上所述，在求出的上述相对位置关系内，部件吸嘴1361与基板识别相机140的位置关系是第1实施方式的部件安装装置100中未因热而变化或可忽视的位移量，如X-Y机器人120的构造说明所述，X-Y机器人120因热而仅沿Y轴方向52和X轴方向51移动，不产生以前的弯曲等变形。因此，在部件安装装置100开始运行后，为了求出热作用引起的X-Y机器人120之伸缩，如后所述，仅拍摄相机基准标记160即可，可将根据相机基准标记160的拍摄结果得到的错位量视为X-Y机器人120的伸缩量。从而，在部件安装装置100开始运行后，通过相机基准标记160的拍摄动作，可求出X-Y机器人120的伸缩量。由此，通过考虑该伸缩量来执行安装位置的修正，电子部件61可高精度地安装于规定安装位置。

在下面的步骤2中，在部件安装装置100开始连续的安装动作之前，例如每天的运行开始之前，试验地将电子部件62安装到电路基板61上，测定安装精度，并设定输入安装偏移，使安装装置的差异之中央值为目标值。

在下面的步骤3中，例如执行1小时左右的连续老化，在部件安装装置100变为稳定运行状态之后，由基板识别相机140拍摄相机基准标记160。控制装置170的上述伸缩量确定部171根据相机基准标记拍摄信息，求出由步骤1求出绝对位置的基板识别相机140的中心与相机基准标记160的中心在X轴方向51和Y轴方向52的错位。并且，伸缩量确定部171存储求出的错位信息，作为在开始连续运行之前的X-Y机器人120之基准位置的初始伸缩量。

连续运行开始前的准备动作通过步骤2、3结束。之后，通过步骤101-111来执行连续运行。

由步骤101来开始部件安装装置100的连续运动。即，根据所谓NC数据等的安装程序，在由电路基板输送装置190搬入电路基板61之后，在步骤103中驱动X-Y机器人120、部件安装头140和部件提供装置180，将电子部件62依次安装到电路基板61的安装位置上。此时，在步骤102中，由步骤1求出的部件吸嘴1361、基板识别相机140与部件识别相机150的相对位置关系不用说，根据由基板识别相机140拍摄电路基板61的基板标记61a所得到的基板错位量、和由部件识别相机150拍摄由部件吸嘴1361保持的电子部件62所得到的部位错位量，求出相对于上述安装程序上的规定安装位置之修正量。另外，在上述部件错位量中，还包含部件吸嘴1361的轴向、即θ方向的电子部件62的错位角度。

另外，由上述部件识别相机150拍摄所得到的上述部件错位量始终是电子部件62相对部件吸嘴1361的错位量。即，因为部件吸嘴1361保持电子部件62，所以部件识别相机150可拍摄电子部件62，但不能拍摄正保持该电子部件62的部件吸嘴1361。由此，通过部件识别相机150的识别动作得到的上述部件错位量如上所述，变为电子部件62相对于部件吸嘴1361的错位量。但是，如已说明的那样，因为通过步骤1的动作来求出部件吸嘴1361与部件识别相机150的相对位置关系，所以只要知道电子部件62相对于部件吸嘴1361的错位量即可。

再者，通过步骤1的动作，基板识别相机140与部件识别相机150的相对位置关系已知，如上所述，在第1实施方式中，在部件吸嘴1361与基板识别相机140之间不会产生影响部件安装精度的错位量。

因此，由基板识别相机140识别相机基准标记160所得到的错位信息可视为运行中的X-Y机器人120的热伸缩引起的、部件识别相机150与部件吸嘴1361的错位信息。即，该部件安装装置100为了求出运行中的X-Y机器人120的热伸缩引起之部件识别相机150与部件吸嘴1361的错位，只要通过基板识别相机140来识别相机基准标记160即可。

这样，在第1实施方式的部件安装装置100中，由于为了求出部件识别相机150与部件吸嘴1361的错位，只要识别相机基准标记160即可，所以不必在部件安装装置100的运行中准备特开平8-242094号公报中记载的夹具，与以前的部件安装装置相比，可提高操作性。

将如此根据相机基准标记160的识别动作求出的部件识别相机150与部件吸嘴1361的错位量用于根据部件识别相机150识别电子部件62的动作求出的上述部件错位量的修正中。即，当求上述部件错位量时，控制装置170将由上述步骤3求出的X-Y机器人120的上述初始伸缩量用作修正量。即，当向部件识别相机150移动保持在部件吸嘴1361上的电子部件62时，对上述安装程序上的规定移动量执行上述初始伸缩量的修正，使之移动。通过执行该修正，可排除上述热伸缩引起的错位，使部件吸嘴1361与部件识别相机150的中心一致。从而，若执行通过部件识别相机150识别部件得到的部件错位量和上述基板错位量的修正，则可将电子部件62安装到上述安装程序上的规定安装位置上。因此，动作控制X-Y机器人120和部件吸嘴1361，执行部件安装，以便考虑上述修正，将电子部件62安装于上述规定安装位置上(步骤103)。

另外，从上述说明可知，为了不产生X-Y机器人120的移动量造成的误差，最好基板识别相机140识别相机基准标记160用的X-Y机器人120之移动量、与由部件识别相机150识别保持于部件吸嘴1361上的电子部件62用的X-Y机器人120之移动量尽可能相同。从而，在第1实施方式中，部件识别相机150与相机基准标记160尽可能接近配置。

如上所述，当部件安装动作继续进行时，在步骤104中，判断是否从该部件安装装置100开始连续运行起、经过例如20分钟、40分钟、60分钟。另外，当未经过这些时间时，由步骤105判断开始连续运行后、该部件安装装置100是否在例如20分钟期间处于停止状态。当步骤104中经过上述规定时间时，和步骤105中在上述规定时间中设备停止时，认为因加热或冷却而在X-Y机器人120中产生伸缩，步骤106中，由基板识别相机140再次执行相机基准标记160的拍摄。之后，根据该相机基准标记拍摄信息，再次求出基板识别相机140的中心与相机基准标记160的中心在X轴方向51和Y轴方向52上的错位，设为新的伸缩量。

接着，在下面的步骤107中，伸缩量确定部171比较上述步骤3求出的上述初始伸缩量与步骤106求出的新的伸缩量。之后，在作为该比较结果的差量值为设定值以上、例如错位0.2mm以上时，在步骤109中，作为产生异常错位，发出警告，执行设备停止。另外，如上所述，由于当前要求例如±70微米误差范围的部件安装，所以热引起的在X轴方向51或Y轴方向52上产生上述0.2mm以上错位可视为发生异常。

另一方面，若作为上述比较结果的上述差量值不足上述设定值，则认为上述新的伸缩量是通过运行产生的热引起的X-Y机器人120之伸缩造成的。从而，步骤108更新这次求出的上述新的伸缩量，作为初始伸缩量。

另外，仅将基板识别相机140拍摄相机基准标记160的结果视为X-Y机器人120因热引起的在X轴方向51或Y轴方向52上的伸缩量之理由如上所述。

在上述步骤105中，在设备在上述规定时间中不停止的情况下，和在上述步骤108中上述新的伸缩量的上述更新动作完成之后，再次前进到步骤102。

之后，在步骤110中，判断是否对设定数量的全部电路基板61结束部件安装，当全部结束时，移动到步骤111，停止设备。另一方面，在还未结束时，再次返回步骤102。

如上所述执行部件安装动作。

下面，参照实验数据来说明上述部件安装装置100的部件安装精度比以前提高。

图22和图23中，上述部件安装装置100在20度的气氛气温度下，使X-Y机器人120动作，由基板识别相机140拍摄相机基准标记160，并执行上述步骤102的修正和上述步骤106的修正。之后，在将气氛气温度下降到10度后，以5℃的刻度，使气氛气温度变化到30℃。在这种条件下，在每个温度下测定由基板识别相机140识别的相机基准标记160之错位量与安装精度的中央值错位量。图22表示Y轴方向52上的测定结果，图23表示X轴方向51上的测定结果。从图22和图23可知，即便在气氛气温度变化时，无论Y轴方向52还是X轴方向51上，相机基准标记160之错位量与安装精度的中央值的错位量都大致一致，X-Y机器人120因热产生的伸缩仅发生于Y轴方向52和X轴方向51上。

这样，根据第1实施方式的部件安装装置100，因为X-Y机器人120因热产生的伸缩仅发生于Y轴方向52和X轴方向51上，未产生至Z轴周围的旋转错位，所以对应于部件识别相机150接近设置的相机基准标记160如上所述，为一个标记就足以，不必对1个部件识别相机配置两个相机基准标记，并识别该两个相机基准标记后求出上述旋转错位角度。

另外，图25-图27中示出部件安装位置随着部件安装时间的运行时间经过之差异。另外，曲线中央的原点表示规定安装位置与实际安装位置的误差为零，若绘图集中于上述原点附近，则意味着上述差异少。图26表示现有部件安装装置的情况，随着运行时间的经过，差异范围的中心偏离上述原点，同时，上述范围也变宽。从而，可知现有部件安装装置中，随着运行时间的经过，错位量变大。图27表示在现有的部件安装装置中设置相机基准标记160、根据相机基准标记160来执行修正时的上述差异。在图27的情况下，与图26的情况相比，差异的范围变窄，但差异范围的中心依然偏离上述原点。另一方面，图25表示第1实施方式的部件安装装置100的情况，差异范围的中心位于上述原点附近，并且差异范围未变宽。这样，从图25可知，根据第1实施方式的部件安装装置100，与以前相比，可高精度执行部件安装。

下面，说明部件安装装置100的变形例。

在上述部件安装装置100中，为仅设置具有带盘的带盒之部件提供装置180的方式，但也可采用例如图24所示的部件安装装置101的构成。另外，图24中，为了方便图示，省略X轴机器人131的图示。在该部件安装装置100中，也可具有所谓托盘式的部件提供装置181，以执行大型部件等的提供。另外，除上述部件识别相机150外，还配备可二维得到保持于部件吸嘴1361上的电子部件61之拍摄图像、并且分辩率比部件识别相机150高的2D部件识别相机153；和可2维得到上述电子部件61的拍摄图像之3D部件识别相机154。另外，由于部件识别相机150配置在上述前侧100a，2D部件识别相机153和3D部件识别相机154配置在后侧100b，所以接近2D部件识别相机153和3D部件识别相机154再设置一个相机基准标记160。

另外，也可由部件识别相机150来拍摄从配置于后侧100b的部件提供装置180、181吸附的电子部件62，由2D部件识别相机153和3D部件识别相机154来拍摄从配置于前侧100a的部件提供装置180吸附的电子部件62。

另外，因为2D部件识别相机153的分辩率好，所以当通过2D部件识别相机153之拍摄结果来得到必要的精度时，也可省略部件识别相机150的拍摄。

另外，如上所述，当设置多个相机基准标记160时，执行多个相机基准标记160内的一个相机基准标记160之位置测定的结果，上述步骤107执行的判断结果，当上述差量值不足上述设定值时，也可省略其它相机基准标记160的位置测定。

如上详细所述，根据本发明第1方式的部件安装装置和第2方式的部件安装方法，配备具有当热作用、沿X轴方向和Y轴方向直线变形且部件保持元件与基板识别相机的相对位置无变化之构造的X-Y机器人；相机基准标记；和控制装置，在X-Y机器人因热而变形的前后，由基板识别相机识别相机基准标记，求出X-Y机器人因热产生的伸缩量，根据该伸缩量来执行上述部件安装位置的修正。如上所述，因为上述X-Y机器人即便连续运行产生的热作用、也不产生弯曲等位移、而仅沿X轴方向和Y方向直线变形，所以若根据拍摄相机基准标记得到的、X-Y机器人因热产生的伸缩量来执行部件安装位置的修正，则与以前相比，可以更高精度来安装部件。这样，根据上述第1方式和第2方式的部件安装装置及方法，与以前相比，可实现部件安装精度的提高。

另外，除上述部件保持元件、上述基板识别相机和拍摄保持在上述部件保持元件中的电子部件之部件识别相机的相对位置外，通过进行部件安装位置的修正，可以更高精度来安装部件。

另外，在通过铸造以一体构造成形的台架上形成X-Y机器人的Y轴机器人，该Y轴机器人具有仅沿Y轴方向伸缩的Y-滚珠丝杠构造，从而可将热作用时的Y轴机器人之伸缩仅设为Y轴方向。

另外，通过在将两端固定于上述Y轴机器人上的X-框架中装配因热而仅在X轴方向上伸缩的X-滚珠丝杠构造，当热作用时，可使X-滚珠丝杠构造沿X轴方向伸缩。

另外，通过在上述X-框架上装配防止变形部件，可防止X-框架由于热而如弯曲等变形，可有助于X-Y机器人仅沿X轴方向和Y轴方向直线变形。

另外，因为在每个配备于部件安装头中的各个部件保持元件中设置使该部件保持元件沿Z轴方向移动的驱动源，所以可防止部件安装头中的温度梯度之产生，可防止各部件保持元件间的距离产生位移，可有助于提高上述部件安装精度。

另外，因为相机基准标记与电路基板的高度位置相等，所以可使基板识别相机拍摄相机基准标记和电路基板的基板标记时的焦距相等，可防止因拍摄图像的不鲜明而引起的误差的产生。

通过接近部件识别相机来设置相机基准标记，可降低部件识别相机拍摄电子部件的动作、与基板识别相机拍摄相机基准标记的动作之间的X-Y机器人之移动量，可降低随着X-Y机器人的移动之误差增加。

另外，本发明不限于上述实施方式，可以其它各种方式来实施。例如，也可如下构成。

如图31-图34所示，可实施本发明第2实施方式的部件安装方法之部件安装装置100作为基本构成部分，具备台架110、XY机器人120、基板识别相机140、部件识别相机150和控制装置170，并且可配备部件提供装置180和基板输送装置190。

上述台架110是用于设置上述X-Y机器人120、上述部件识别相机150、上述控制装置170、上述部件提供装置180、和上述基板输送装置190的底台，由长方体形状的基座部111和Y轴机器人用腿部112构成，基座部111和Y轴机器人用腿部112、即台架110通过铸造以一体构造来成型。上述Y轴机器人用腿部112沿X轴方向51以基座部111的两端部分别从基座部111突出设置，并且沿与X轴方向51正交的Y轴方向52延伸。在各个Y轴机器人用腿部112中设置构成X-Y机器人120的、后面详细描述的Y轴机器人121中的线性引导件123等。沿着沿Y轴方向52形成于各个Y轴机器人用腿部112中的线性引导设置面123a，将作为图34的螺母部126的引导支撑部件之各线性引导件123设置在Y轴机器人用腿部112上，但如上所述，各Y轴机器人用腿部112与基座部111通过铸造以一体构造来成型。

上述X-Y机器人120具有沿Y轴方向52彼此平行设置于各个上述Y轴机器人用腿部112、即通过铸造以一体构造来成型的台架110上的两个Y轴机器人121、和沿与Y轴方向52正交的X轴方向51配置于该两个Y轴机器人121上的一个X轴机器人131。

各Y轴机器人121具有Y-滚珠丝杠构造122、和上述线性引导件123。Y-滚珠丝杠构造122将一端122a设为固定端，将另一端122b设为支撑端，通过热，仅沿Y轴方向52直线伸缩，并且使上述X轴机器人131沿Y轴方向52移动。具体而言，如图31和图34所示，在Y-滚珠丝杠构造122中的上述一端122a上，设置固定在Y轴机器人用腿部112上、作为滚珠丝杠125之驱动源的电机124，连结于滚珠丝杠125上。上述另一端122b沿其周向可自由旋转、并且可向其轴向、即Y轴方向52伸缩地支撑滚珠丝杠125，被装配于上述Y轴机器人用腿部112上。

当连续运行如此构成的Y轴机器人121时，发热的部位为滚珠丝杠125和电机124，另一端122b允许热引起的滚珠丝杠125沿Y轴方向52伸缩。另外，电机124如上所述固定在一体构造的台架110上，所以热引起的各Y轴机器人121的伸缩、即热伸缩仅在Y轴方向52上为直线状。另外，由于两台Y轴机器人121的动作相同，所以各Y轴机器人121向Y轴方向52的热伸缩量相等。

另外，如图34所示，在各Y轴机器人121的滚珠丝杠125上装配螺母部126，通过各滚珠丝杠125的旋转，螺母部126沿Y轴方向52移动。沿X轴方向51将构成X-Y机器人120的X轴机器人131设置在各螺母部126之间。如上所述，因为各Y轴机器人121向Y轴方向52的伸缩量相等，所以设置在各螺母部126之间的X轴机器人131可以平行于X轴的状态向Y轴方向52移动。

另外，图34是原理地表示台架110和X-Y机器人120的构造的图，后述的部件安装头省略图示。另外，图32-图34中，省略部件提供装置180的图示。

X轴机器人131具有X-框架132和X-滚珠丝杠构造133。X-框架132如上所述，将两端固定在各个Y轴机器人121的滚珠丝杠构造122的螺母部126上，沿X轴方向51延伸。X-滚珠丝杠构造133形成于X-框架132中，将一端133a设为固定端，将另一端133b设为支撑端，通过热，仅沿上述X轴方向51直线伸缩，并且，装配作为部件保持头一例的部件安装头136，使该部件安装头136向上述X轴方向51移动。

上述X-框架132是大致方柱形状的铝构成的部件，如上所述，将其两端固定于上述螺母部126上。如图34等所示，在形成于该X-框架132侧面的X滚珠丝杠构造133的上述一端133a上，设置固定于X-框架132上、作为滚珠丝杠构造134的驱动源之电机135，连结于滚珠丝杠134上。上述另一端133b沿其周向可自由旋转、并且可向其轴向、即X轴方向51伸缩地支撑滚珠丝杠134，被装配于上述X-框架132上。当连续运行X轴机器人131时，发热的部位为滚珠丝杠134和电机135，另一端133b允许热引起的滚珠丝杠134沿X轴方向51伸缩。

另外，如图31所示，在上述滚珠丝杠134中，装配用于装配上述部件安装头136的螺母部134a，通过滚珠丝杠134的旋转，螺母部134a、即部件安装头136沿X轴方向51移动。

上述部件安装头136具有作为实现作为保持电子部件62的部件保持元件功能一例的部件吸嘴1361；和基板识别相机140，在第2实施方式中、用于为了确认搬入设置的电路基板61之错位而拍摄存在于电路基板61上的基板基准位置算出用标记202-1、202-2的同时，拍摄后述安装区域基准标记识别用基准基板200每规定间隔配置的安装区域基准标记201。上述部件吸嘴1361具体如图35所示，在第2实施方式中，沿X轴方向51，在一条直线上设置8个部件吸嘴1361。另外，电子部件62是芯片部件等小型部件或QFP等大型部件等。由此，部件吸嘴1361也对应于吸附的各种部件来装配最佳的尺寸和形状的吸嘴。如上所述，配置基板识别相机140，使基板识别相机140的拍摄中心位于与通过沿X轴方向排列的各部件吸嘴1361中心之直线相同的轴上。另外，在上述部件安装头136中还配备用于使各部件吸嘴1361向其轴向旋转的旋转用电机1363。

由于各部件吸嘴1361从上述部件提供装置180吸附电子部件62并将吸附的电子部件62安装到作为部件安装用电路基板一例的电路基板61上，所以必需沿部件吸嘴1361的轴向、即上述Z轴方向53移动。在第2实施方式中，在上述部件安装头136中，为了移动作为部件保持元件一例的部件吸嘴1361，在各部件吸嘴1361中设置作为用作部件保持元件移动用驱动源一例的移动用电机1362。由此，与以前由一个大输出电机来驱动多个部件吸嘴全部的情况相比，可使用低输出的电机，可抑制来自电机的发热量。作为一实施例，移动用电机1362的输出为20W，基本上没有来自移动用电机1362的发热。并且，在以前设置一个发热量大的上述大输出电机的情况下，以前的部件安装头按照距上述大输出电机的远近产生温度梯度，在排列方向上，各部件吸嘴间的距离会因热伸缩的不同而不同。相反，在第2实施方式中，通过在各个部件吸嘴1361中设置移动用电机1362，基本上没有来自各移动用电机1362的发热，另外，即便假设有发热，部件安装头136也不产生影响部件安装精度程度的温度梯度。从而，即便连续运行部件安装头136，X轴方向51上各部件吸嘴1361间的距离也可维持相等或大致相等的状态。另外，上述所谓大致相等的状态是指不影响部件安装精度的程度。

上述部件提供装置180在第2实施方式的部件安装装置100中，是具有多个卷绕容纳电子部件62的带之辊子的、所谓盒带类型的部件提供装置，在该部件安装装置100的前侧100a和后侧100b中分别各设置两组。

上述基板输送装置190是相对于该部件安装装置100中的部件安装区域的电路基板61之安装位置、执行电路基板61的搬入、吸附保持和搬出的装置，如图31等所示，沿X轴方向51配置在该部件安装装置100的大致中央部分中。上述基板输送装置190在上述安装位置具有作为基板保持装置一例的输送台165，可吸附保持能搬入的电路基板61，另一方面，可解除吸附保持，搬出电路基板61。

如图36所示，上述控制装置170与作为上述各构成部分之X-Y机器人120、基板识别相机140、部件识别相机150、部件提供装置180和基板输送装置190连接，执行它们的动作控制，控制电子部件62向电路基板61的安装动作。该控制装置170具有存储部173，存储上述安装动作等所需的程序或安装数据(例如安装动作中部件安装头136各自的移动位置坐标数据、各个部件的安装位置坐标数据、部件安装头136各自的移动位置与各个部件的安装位置的关系信息等数据、安装区域基准标记识别用基准基板的大小或安装区域基准标记的位置坐标数据、应安装的基板大小或基板基准位置算出用标记的位置坐标数据、各个部件数据、吸嘴的大小等数据、部件提供装置180的部件提供数据等)等安装信息、或基板识别相机140的识别信息、或后述运算部171的运算结果等，并且具有执行各种运算的运算部171，例如，根据基板识别相机140的识别信息(例如基板识别相机140识别安装区域基准标记201A、201B的信息和基板识别相机140识别安装区域基准标记201的信息、与基板识别相机140识别基板基准位置算出用标记202-1、202-2的信息等)，运算平行错位和倾斜以及伸缩量等，同时，根据上述识别信息与存储于存储部173中的安装信息中的各安装位置数据，运算求出各安装位置下的误差。控制装置170根据存储在存储部173中的数据或信息，执行部件安装动作。下面详细说明如此构成的控制装置170的部件安装动作、尤其是修正动作。

详细说明如以上说明那样构成的部件安装装置100的动作、即由该部件安装装置100执行的部件安装动作。另外，因为电路基板输送装置190输送电路基板61的动作、以及包含部件安装头136的X-Y机器人120执行的从由部件提供装置180吸附部件到将部件安装到电路基板61的动作与以前的部件安装装置所执行的动作基本类似，所以下面简单说明这些动作。

即，通过XY机器人120，部件安装头136移动到部件提供装置180。接着，通过部件安装头136的一个或多个吸嘴1361，从部件提供装置180吸附保持一个或多个电子部件62。之后，通过XY机器人120，部件安装头136通过部件识别相机150的上方，在由部件识别相机150识别吸附保持于吸嘴1361上的电子部件62的姿势等后，朝向电路基板61的安装装置。通过XY机器人120，使吸附保持于部件安装头136中的一个吸嘴1361上之电子部件62位于对应的安装装置的上方后，使吸嘴1361下降，将电子部件62安装于安装位置上。此时，根据部件识别相机150的部件姿势识别结果，使吸嘴1361绕其轴旋转等，同时，在考虑后述的偏移值并执行部件安装头136的位置修正后，通过执行上述安装动作，执行安装动作。对应安装于上述基板61上的全部部件62执行这一连串安装动作。

第2实施方式的部件安装方法的特征在于考虑了偏移值的上述安装动作中之部件安装头136的位置修正动作，下面参照图41来详细描述。

即，第2实施方式的部件安装方法识别作为安装区域基准标记识别用基准基板一例的玻璃基板200上每规定间隔配置的安装区域基准标记201，求出上述识别出的各个安装区域基准标记的位置坐标(由用于表示安装区域基准标记位置的玻璃基板200平面内的X方向的X坐标值与同X方向正交的Y方向的Y坐标值构成的坐标)，分别求出上述各个安装区域基准标记的NC坐标(设计上预定的安装区域基准标记的数值位置坐标)与上述位置坐标之差，作为修正值，分别取得上述部件安装用电路基板的至少两个基板基准位置算出用标记的位置坐标之NC坐标，从上述识别出的安装区域基准标记中，分别抽取分别接近上述两个基板基准位置算出用标记的安装区域基准标记，并分别坐标变换上述抽取出的安装区域基准标记的位置坐标，使这些抽取出的安装区域基准标记之修正值为零或实质为零，求出各个安装区域基准标记下的偏移值。之后，在代替安装区域基准标记识别用基准基板而将上述部件安装用电路基板保持在上述基板保持装置上并定位于上述部件安装区域中的状态下，分别识别保持于上述基板保持装置中的上述部件安装用电路基板的上述至少两个基板基准位置算出用标记，分别求出上述识别出的两个基板基准位置算出用标记的位置坐标，根据求出的上述两个基板基准位置算出用标记的位置坐标，分别修正上述两个基板基准位置算出用标记的上述NC坐标，在安装位置修正时、标记识别修正时、和安装位置偏移测定动作时、或这些动作任一中分别位于部件安装头136各个移动位置上时，根据最靠近配备于上述部件保持头中的识别相机之上述安装区域基准标记的偏移值，执行上述移动位置的位置坐标修正，由此执行高精度的安装。

这里，所谓上述偏移值如后所述，是指分别坐标变换上述抽取出的安装区域基准标记的位置坐标、以使作为分别接近部件安装用电路基板的两个基板基准位置算出用标记的安装区域基准标记来抽取的安装区域基准标记之修正值为零或实质为零后求出的安装区域基准标记之位置坐标修正用数值。

另外，所谓上述修正值是指上述基准基板每规定间隔配置的安装区域基准标记的各个NC坐标与上述分别识别出的位置坐标之差。

首先说明偏移值求法的示意。

部件安装头136的定位精度因XY机器人120的变形而受到大的影响(参照图37、图38)，产生定位误差。例如，图37是表示X轴机器人的变形与部件安装头136的关系图，图38是表示Y轴机器人的变形与部件安装头136的关系图。该定位误差随着部件安装头136移动的位置变化而变化，对安装精度造成影响。因此，如图39所示，作为用于去除XY机器人120使头136向任意NC坐标位置移动时产生的XY机器人120之定位等误差的修正用数值，使用最接近该NC坐标位置的安装区域基准标记位置之偏移值(换言之，该NC坐标位置存在的区域之修正用偏移值)。即，在最大部件安装区域(包含应生产基板、例如XL尺寸：510mm×460mm的基板、M尺寸：330mm×250mm的基板之区域)内，使用安装区域基准标记识别用基准基板来求出用作修正该定位等误差用的修正用数值之偏移值。

具体而言，首先在图41的步骤S1中，将作为安装区域基准标记识别用基准基板一例的玻璃基板200保持在作为基板保持装置一例的输送台165上，并定位于部件安装区域中。

接着，在图41的步骤S2中，由部件安装头136的基板识别相机140来识别保持在上述输送台165上的上述玻璃基板200之每规定间隔配置的全部安装区域基准标记201的位置坐标。这里，如下执行用于测定修正值的安装区域基准标记之较具体识别。在该修正值的测定中，作为上述测定用基板的安装区域基准标记识别用基准基板一例，在XL尺寸：510mm×460mm(M尺寸：330mm×250mm)的玻璃基板200中，使用通过印刷等将安装区域基准标记(直径为1mm的圆)201形成为栅格状(格子状)的专用玻璃基板(下面称为玻璃基板)。即，作为玻璃基板200的一例，如图40所示，使用在XL尺寸为510mm×460mm的玻璃基板上以10mm间距印刷Y方向：44行、X方向：49列的圆形安装区域基准标记(直径为1mm)201的基板。由此，测定中使用的安装区域基准标记个数为2156个点。在M尺寸为410mm×240mm的玻璃板上，以10mm间距，圆形的安装区域基准标记(直径为1mm)201将Y方向：22行、X方向：39列的安装区域基准标记201用于测定。由此，测定中使用的安装区域基准标记个数为858个点。

原则上，若上述安装区域基准标记识别用基准基板的大小为部件安装装置的最大部件安装区域以上，则任何大小均可，但如后所述，也可在比最大部件安装区域小的情况下，使用合成法，虚拟地具有最大部件安装区域以上的大小。若使安装区域基准标记的间隔变细，则精度提高，但数据取得时间变长，同时，数据存储量变多。因此，经济上为XY机器人的滚珠丝杠构造之滚珠丝杠之引导件的1/4-1/5程度就足够了。作为具体例，相对于引导件40mm，将安装区域基准标记间距设为10mm。

接着，在图41的步骤S3中，根据识别结果，由运算部171求出上述识别出的各个安装区域基准标记201的位置坐标，存储在存储部173中。即，全部安装区域基准标记201例如图43所示，为了减少错位，与基板输送装置190的基板输送方向平行，将头136的基板识别相机140从最下行的左端安装区域基准标记201移动到同一行的右端安装区域基准标记201，依次识别该行的所有安装区域基准标记201，根据识别结果，由运算部171求出位置坐标，存储在存储部173中。接着，在斜向左反向移动后，使头136的基板识别相机140从最下行的上一行之左端安装区域基准标记201移动到同一行的右端安装区域基准标记201，依次识别该行的所有安装区域基准标记201，根据识别结果，由运算部171求出位置坐标，存储在存储部173中。之后，在斜向左反向移动后，使头136的基板识别相机140从最下行的上两行之左端安装区域基准标记201移动到同一行的右端安装区域基准标记201，依次识别该行的所有安装区域基准标记201，根据识别结果，由运算部171求出位置坐标，存储在存储部173中。按照这种顺序，识别所有行的所有安装区域基准标记201，根据识别结果，由运算部171求出位置坐标，存储在存储部173中。另外，图43的玻璃基板200的下侧相当于部件安装装置的前侧、即作业者的面前侧。

为了使各个安装区域基准标记201的识别精度提高，也可重复执行多次各安装区域基准标记201的识别处理。此时，由运算部171运算通过次数大小的识别结果求出的位置坐标之平均值，作为各个安装区域基准标记201的位置坐标，存储在存储部173中。该次数最好可从部件安装装置的操作画面来任意变更。

这样，使全部安装区域基准标记201的位置坐标存储在存储部173中。

接着，在图41的步骤S4中，由运算部171分别求出上述各个安装区域基准标记201的NC坐标与上述位置坐标之差，作为修正值，存储在存储部173中。该修正值是用于修正输送台165吸附保持玻璃基板200时的玻璃基板200的保持错位、识别错位、与XY机器人的定位误差等的数值。

接着，在图41的步骤S5中，分别由运算部171取得上述部件安装用电路基板61的至少两个基板基准位置算出用标记202-1、202-2的位置坐标之NC坐标。

之后，在图41的步骤S6中，根据上述两个基板基准位置算出用标记202-1、202-2的位置坐标之NC坐标，分别由运算部171从上述玻璃基板200的上述识别出的安装区域基准标记201中抽取分别接近上述部件安装用电路基板61的上述两个基板基准位置算出用标记202-1、202-2的安装区域基准标记201。具体而言，在图42中，在由XY机器人120使头136移动的同时，由基板识别相机140识别分别接近上述两个基板基准位置算出用标记202-1、202-2的、位于玻璃基板200上的例如右上与左下的对角上的两个点之安装区域基准标记201A、201B。即，难以相对基板输送装置190的基板输送方向完全平行地将玻璃基板200保持在输送台165上，产生错位。为了修正该玻璃基板保持时的错位，首先，将玻璃基板200左下角和右上角的安装区域基准标记201识别为安装区域基准标记201A、201B。

接着，在图41的步骤S7中，分别坐标变换(考虑平行错位、倾斜和伸缩率后进行坐标变换)上述抽取到的安装区域基准标记201A、201B的位置坐标，使这些抽取出的安装区域基准标记201A、201B之修正值变为零或实质为零，求出各个安装区域基准标记201A、201B下的偏移值。即，运算部171根据上述图41的步骤S3得到的两个点之安装区域基准标记201A、201B之识别结果的位置坐标，求出玻璃基板200的平行错位和倾斜。求出平行错位和倾斜的方法如后所述。平行错位是指X方向和/或Y方向的错位。倾斜是指当基板止动器使基板停止在输送台165的安装位置上时，相对X方向和作为其正交方向的Y方向旋转引起的旋转错位。此时，若是通常的基板基准位置算出用标记修正，则由于需要考虑热引起的基板伸缩，所以还要求出该伸缩率，但在不必考虑热引起的基板伸缩、将玻璃基板200设为基准的情况下，将玻璃基板200的伸缩率设为1。这里，伸缩率是指热引起的伸缩与基板自身的比例。

接着，运算部171根据求出的修正值(平行错位和倾斜)，使连结两个点的安装区域基准标记201A、201B曲线旋转和移动，进行坐标变换，以使该两个点的安装区域基准标记201A、201B的修正值变为零(换言之，与两个点的安装区域基准标记201A、201B的NC坐标之数据一致)或实质为零(例如在±5微米的范围内)，分别求出全部安装区域基准标记201的位置坐标之偏移值，存储在存储部173中。结果，可确定每个对应于安装区域基准标记识别用基准基板大小的区域[以基于安装区域基准标记(例如4点的安装区域基准标记所包围)的每单位面积来分割基准基板的矩形区域]之偏移值，将该每个区域的偏移值作为存在于各区域内的部件安装头的移动位置修正用数值，在安装区域基准标记识别用基准基板的各安装区域基准标记的识别动作时和对应安装基板的部件安装动作时等，分别使用来进行位置修正，由此可实现安装精度的提高。

可通过上述工序中的图41的步骤S1-S7求出的偏移值来把握XY机器人120固有的定位等误差等，作为各安装位置间的相对变化。另外，如此得到的偏移值通过在安装区域基准标记识别动作、部件安装动作和安装偏移值测定动作时或这些动作任一的各自头定位位置算出时，作为修正用数值用于位置坐标的修正中，可吸收XY机器人动作变形引起的错位因素，可使安装精度提高。

这里，对全部安装区域基准标记201的位置坐标加入基于安装区域基准标记识别用基准基板错位之修正的理由在于当测定上述修正值时，安装区域基准标记识别时，包含XY机器人120的定位误差。本来，在全部XY机器人120的定位动作中包含误差，即便玻璃基板200能以期望的高精度制造，也不能正确定位于部件安装装置的安装位置上，不存在绝对的基准，所以不可能正确测定XY机器人120的定位误差。

这里，若将表示在离开基板识别相机140的视野中心位置O₁、O₂的位置上识别安装区域基准标记201A、201B的图44设为安装区域基准标记识别时的各安装区域基准标记201A、201B的识别结果，则得到根据第1个点的安装区域基准标记201A的识别结果求出的位置坐标错位(ΔX₁、ΔY₁)、根据第2个点的安装区域基准标记201B的识别结果求出的位置坐标错位(ΔX₂、ΔY₂)，作为根据安装区域基准标记识别结果求出的位置坐标错位。

作为包含于根据该各识别结果求出的位置坐标错位中之错位分量，原本理想的是仅为将玻璃基板200保持在输送台165上时的平行错位量，但实际上包含识别处理的衰减与XY机器人120的定位误差。因此，根据上述安装区域基准标记201A、201B的识别结果求出的位置坐标错位变为

(识别结果的位置坐标错位)＝(基板的保持错位)+(识别错位)+(XY机器人定位误差)，

若将各安装区域基准标记201A、201B的基板平行错位量设为(X_pcb1，Y_pcb1)、(X_pcb2，Y_pcb2)，将安装区域基准标记201A、201B的识别误差设为(X_rec1，Y_rec1)、(X_rec2，Y_rec2)，将安装区域基准标记201A、201B下的XY机器人120之定位误差量设为(X_e1，Y_e1)、(X_e2，Y_e2)，则根据上述识别结果求出的位置坐标错位(ΔX₁、ΔY₁)、(ΔX₂、ΔY₂)变为

[式1]

ΔX₁＝X_pcb1+X_rec1+X_e1

ΔY₁＝Y_pcb1+Y_rec1+Y_e1

ΔX₂＝X_pcb2+X_rec2+X_e2

ΔY₂＝Y_pcb2+Y_rec2+Y_e2

即，使用上述识别结果，对各安装区域基准标记201的位置坐标修正玻璃基板200的位置坐标错位量之安装区域基准标记的位置坐标实际上不构成安装区域基准标记201存在的坐标。这是因为在修正的安装区域基准标记的位置坐标中包含XY机器人120的定位误差引起的错位量。

假设在将安装区域基准标记201A、201B的识别误差(X_rec1，Y_rec1)、(X_rec2，Y_rec2)设为零的情况下，当将该安装区域基准标记201的NC坐标设为(X_mnc，Y_mnc)，将各安装区域基准标记201A、201B的NC坐标设为(X_nc1，Y_nc1)、(X_nc2，Y_nc2)时，修正后求出的安装区域基准标记的位置坐标(X_m，Y_m)为

[式2]

X_m＝(X_mnc-X_nc1)cosΔθ-(Y_mnc-Y_nc1)sinΔθ+ΔX₁

＝(X_mnc-X_nc1)cosΔθ-(Y_mnc-Y_nc1)sinΔθ+X_pcb1+

X_e1…[1]

[式3]

Y_m＝(X_mnc-X_nc1)sinΔθ+(Y_mnc-Y_nc1)cosθ+ΔY₁

＝(X_mnc-X_nc1)sinΔθ+(Y_mnc-Y_nc1)cosθ+Y_pcb1+Y_e1

…[2]

相反，当设实际的安装区域基准标记201存在的位置坐标为(X_t，Y_t)时，为

[式4]

X_t＝(X_mnc-X_nc1)cosΔθ-(Y_mnc-Y_nc1)sinΔθ+X_pcb1

…[1]′

Y_t＝(X_mnc-X_nc1)sinΔθ+(Y_mnc-Y_nc1)cosθ+Y_pcb1

…[2]′

这里，原本修正后结果的NC坐标必需与实际的安装区域基准标记之位置坐标一致([1]＝[1]’、[2]＝[2]’)。但是，若将上述各式相比，则变为

[式5]

X_m-X_t＝X_e1≠0

Y_m-Y_t＝Y_e1≠0

修正后结果的NC坐标与实际的安装区域基准标记之位置坐标不一致。不能将头136定位于实际的安装区域基准标记之位置坐标上，根据此处得到的识别结果求出的位置坐标错位变为包含定位误差的修正值，不能用于位置修正。

如上所述，在部件安装装置的XY机器人动作中始终包含定位误差，即便以玻璃基板200为基准来测定修正值，其也不构成真值，没有绝对的基准。

因此，为了尽可能使该误差为零(换言之，使该安装区域基准标记201的位置坐标数据与NC坐标的数据一致)，对上述得到的修正值实施以下处理。

在上述部件安装装置的实际部件安装动作中，上述部件安装装置为了修正生产基板(应安装基板)在输送台165下的保持错位，如上所述识别所有安装区域基准标记，并用该结果来修正各安装位置。此时的两个基板基准位置算出用标记202-1、202-2的识别时的结果如图45所示。这里，在根据两个基板基准位置算出用标记202-1、202-2的识别结果求出的位置坐标错位中，除保持错位外，还包含两个基板基准位置算出用标记202-1、202-2的位置下的定位误差。

当实际上将部件62安装于应安装基板61的安装位置205上时，根据该基板基准位置算出用标记识别结果，求出平行错位、倾斜和伸缩率，修正各安装位置205后使用。具体而言，通过再配置全部安装位置205以使接近两个基板基准位置算出用标记202-1、202-2的安装区域基准标记之位置下的错位量(保持错位+定位误差)为零(换言之，使该两个基板基准位置算出用标记202-1、202-2的位置坐标数据与NC坐标数据一致)来执行。

具体而言，如图46所示，作为修正值初始数据的安装区域基准标记的位置如图47所示，从原来的位置(图47中为矩形视野区域的中央位置)向X方向和Y方向错位，所以不是零。另外，图46中，纵轴表示错位量，横轴表示X方向的位置，上侧曲线表示ΔX，即X方向的错位，下侧曲线表示ΔY，即Y方向的错位。

因此，如图48和图49所示，使连结两个安装区域基准标记201a、201b的曲线旋转和移动进行坐标变换，以使较小型的应安装基板61S的两个基板基准位置算出用标记202-1、202-2附近之安装区域基准标记201a、201b的修正值为零或实质为零(例如在±5微米的范围内)，再配置全部安装位置。另外，就图48的曲线而言，虽然将安装区域基准标记202-1与202-2(处于对角线上)绘制于同一曲线上，但数据本身是在Y坐标恒定、X坐标为10mm间隔来测定的。因此，曲线上显示为[202-2]的数据是将安装区域基准标记202-1的Y坐标数据设为相同、X坐标数据与安装区域基准标记202-2相同的安装区域基准标记的数据。这在图50中也一样。

另外，如图50和图51所示，使曲线旋转和移动进行坐标变换，以使较大型的应安装基板61L的两个基板基准位置算出用标记202-1、202-2附近之安装区域基准标记201的修正值为零或实质为零(例如在±5微米的范围内)，再配置全部安装位置。这样，修正值的实际使用数据因应安装基板不同而大不相同。

因为在求XY机器人定位误差的过程中没有绝对的基准，所以被测定的各区域的XY机器人定位误差量与生产时的应安装基板61一致的仅是应安装基板61的两个基板基准位置算出用标记202-1、202-2的位置。因此，使用接近生产基板61的两个基板基准位置算出用标记202-1、202-2位置的安装区域基准标记之修正值，进行坐标变换，以使该两个点的修正值为零或实质为零(例如在±5微米的范围内)，进行再配置。作为此时的处理，与两个基板基准位置算出用标记202-1、202-2的修正处理一样，求出平行错位、倾斜和伸缩率，通过该结果来再配置全部安装位置205。

图52中，根据最接近生产基板61的基板基准位置算出用标记201-1、202-2之玻璃基板200上的安装区域基准标记201a、201b之XY机器人定位误差量，由运算部171坐标变换(考虑平行错位、倾斜和伸缩率后再坐标变换)全部安装区域基准标记位置的XY机器人定位误差量，存储在存储部173中。

在基板品种选择时执行上述坐标变换，分别在标记识别动作、部件安装动作和安装偏移测定动作时，将变换后得到的偏移值作为修正用数值，由控制装置170分别加到各个移动位置上。通过如此使用偏移值，可把握机器人固有的误差，作为各位置间的相对位移。

下面，以下的工序、即图41的步骤S8-S12是安装时用于修正部件安装用电路基板61的位置、倾斜、收缩的工序。即，安装时，为了修正部件安装用电路基板61的位置、倾斜、收缩，执行以下工序。

具体而言，在图41的步骤S8中，将上述部件安装用电路基板61保持在上述输送台165上，定位于上述部件安装区域中。

接着，在图41的步骤S9中，分别识别保持于上述输送台165上的上述部件安装用电路基板61之上述至少两个基板基准位置算出用标记202-1、202-2，分别求出上述识别出的两个基板基准位置算出用标记202-1、202-2的位置坐标。

之后，在图41的步骤S10中，根据求出的上述两个基板基准位置算出用标记202-1、202-2的位置坐标，分别修正上述两个基板基准位置算出用标记202-1、202-2的上述NC坐标。即，根据上述两个基板基准位置算出用标记202-1、202-2的位置坐标与上述两个基板基准位置算出用标记202-1、202-2的上述NC坐标之差，将上述两个基板基准位置算出用标记202-1、202-2的上述NC坐标修正成上述两个基板基准位置算出用标记202-1、202-2的位置坐标。

接着，在图41的步骤S11中，当保持于上述部件保持头136中的上述部件62位于上述部件安装用电路基板61的各部件安装位置205的上方时，根据最接近作为配备于上述部件保持头136中的识别相机一例的基板识别相机140之上述安装区域基准标记201的偏移值(换言之为包含最接近基板识别相机140的上述安装区域基准标记201的区域之偏移值)，执行上述部件安装位置205的修正。具体而言，将头136的多个吸嘴1361中构成基准的吸嘴(例如图35的左端吸嘴)1361定位于作为安装区域基准标记识别用基准基板一例的玻璃基板200上的各安装区域基准标记201之NC坐标上，由固定于头136上的基板识别相机140从存储部173中读出最接近该相机140的安装区域基准标记201的偏移值，根据该偏移值来执行上述部件安装位置205的修正。

接着，在图41的步骤S12中，将上述部件62安装到上述修正后的部件安装位置205上。

另外，在上述说明中，在步骤S11中利用了偏移值，但也可在步骤S9中，将偏移值加到基板基准位置算出用标记的NC坐标数据上，使基板识别相机移动，求出距基板识别相机的视野中心之位置。

上面是测定用于求出区域偏移值的修正值和基于测定结果的安装位置修正动作的概要。

下面，参照图54-图56来说明第2实施方式的部件安装方法之较具体的实例。

(1)首先，例如在将部件安装装置从部件安装装置制造工场出厂到用户之前，执行安装区域基准标记识别动作。另外，在传递给用户之后，在大修等情况下，也同样执行以下的安装区域基准标记识别动作。

即，如图54所示，作为图54的步骤S13A，通过部件安装装置的操作画面督促操作者以选择用于求出各区域偏移值之修正值测定用安装区域基准标记识别用基准基板品种程序。在该安装区域基准标记识别用基准基板品种程序上关联有作为安装区域基准标记识别用基准基板一例的玻璃基板200的种类与大小、和该玻璃基板200上的安装区域基准标记201之各位置的NC坐标数据，通过选择基板品种，特定玻璃基板200，并且，将玻璃基板200上的安装区域基准标记201之各位置的NC坐标数据从存储部173发送到控制装置170。

作为一个更具体的实例，就410mm×240mm的玻璃基板而言，当纵向横向以100mm间隔配置纵向22行×横向39列的858个安装区域基准标记时，第1安装区域基准标记的坐标为(10、10)，第2安装区域基准标记的坐标为(20、10)，......第880安装区域基准标记的坐标为(390、220)。另外，作为其它具体实例，就510mm×460mm的玻璃基板而言，当纵向横向以100mm间隔配置纵向44行×横向49列的2156个安装区域基准标记时，第1安装区域基准标记的坐标为(10、10)，第2安装区域基准标记的坐标为(20、10)，......第2156安装区域基准标记的坐标为(490、440)。这些是上述NC坐标的数据一例。

接着，在将上述NC坐标的数据从存储部173发送到控制装置170期间或之后，作为图54的步骤S13B，由基板输送装置190的输送台165将图40所示的以等间隔将安装区域基准标记201配置成格子状的玻璃基板200定位于部件安装区域中(参照图41的步骤S1)。

之后，在将玻璃基板200定位于部件安装区域中之后，作为图54的步骤S13C，根据从存储部173发送的安装区域基准标记201之各位置的NC坐标数据，驱动XY机器人120，使头136移动，使基板识别相机140移动到安装区域基准标记201的各位置，识别玻璃基板200上的全部安装区域基准标记201(参照图41的步骤S2)，使根据全部安装区域基准标记201的各个识别结果求出的位置坐标错位(ΔX、ΔY)或包含该错位的位置坐标(X+ΔX、Y+ΔY)存储在存储部173中(参照图41的步骤S3)。此时，也可多次识别处理各安装区域基准标记201之位置坐标，更高精度地取得各安装区域基准标记201之位置坐标。

各安装区域基准标记201的位置被作为部件安装头136的各个移动位置存储在存储部173中进行管理。因此，通过部件安装生产中的安装区域基准标记识别动作、部件安装动作和安装偏移值测定动作(尤其是芯片部件或QFP部件安装时的安装偏移值测定动作)或这些动作任一的部件安装头136之定位位置，由控制装置170判断反映哪个区域的偏移值。具体而言，例如将由4个点的安装区域基准标记201包围的区域分派为一个区域，采用上述4个点的安装区域基准标记201中任一安装区域基准标记201的位置偏移值作为针对安装于该区域内的部件62之安装位置的区域偏移值，将该偏移值作为该区域中的区域偏移值，加到上述安装位置的位置坐标上，执行修正。

就上述具体实例的上述410mm×240mm的玻璃基板而言，将根据第1安装区域基准标记的识别结果求出的位置坐标错位(-0.132、-0.051)或包含该错位的位置坐标(10-0.132、10-0.051)存储在存储部173中。另外，将根据第2安装区域基准标记的识别结果求出的位置坐标错位(-0.132、-0.051)或包含该错位的位置坐标(20-0.132、10-0.051)存储在存储部173中。另外，将根据第3安装区域基准标记的识别结果求出的位置坐标错位(-0.139、-0.050)或包含该错位的位置坐标(20-0.139、20-0.050)存储在存储部173中。另外，将根据第4安装区域基准标记的识别结果求出的位置坐标错位(-0.139、-0.049)或包含该错位的位置坐标(10-0.139、20-0.050)存储在存储部173中。采用第1安装区域基准标记的位置坐标错位(-0.132、-0.051)作为区域偏移值。另外，作为其它实例，将根据第51安装区域基准标记的识别结果求出的位置坐标错位(-0.132、-0.051)或包含该错位的位置坐标(210-0.132、93-0.051)存储在存储部173中。另外，将根据第52安装区域基准标记的识别结果求出的位置坐标错位(-0.130、-0.067)或包含该错位的位置坐标(220-0.130、93-0.067)存储在存储部173中。另外，将根据第53安装区域基准标记的识别结果求出的位置坐标错位(-0.139、-0.050)或包含该错位的位置坐标(220-0.139、103-0.050)存储在存储部173中。另外，将根据第54安装区域基准标记的识别结果求出的位置坐标错位(-0.139、-0.049)或包含该错位的位置坐标(210-0.139、103-0.050)存储在存储部173中。采用第51安装区域基准标记的位置坐标错位(-0.132、-0.051)作为区域偏移值。同样对其它安装区域基准标记也执行上述操作。

(2)接着，执行生产基板品种选择。

首先，如图55所示，在步骤S21中，将基板品种选择程序从存储部173输送到控制装置170，通过部件安装装置的操作画面督促操作者选择应生产(应安装)基板61的基板品种。若操作者选择基板品种，则由控制装置170从存储部173中读出选择到的基板大小与安装区域基准标记201的位置坐标之NC坐标数据。

接着，在步骤S22中，由控制装置170从根据上述选择到的基板品种读出的NC坐标数据中，分别抽取上述选择到的基板品种的基板61之两个基板基准位置算出用标记202-1、202-2的位置坐标。

就上述具体实例的上述410mm×240mm的玻璃基板而言，抽取(15、18)与(215、111)，作为基板基准位置算出用标记202-1、202-2的位置坐标。

接着，在步骤S23中，根据存储在存储部173中的数据，利用运算部171的运算，分别一个个地抽取最接近两个基板基准位置算出用标记202-1、202-2的位置之玻璃基板200上的安装区域基准标记201。例如，在图52中，利用第1基板基准位置算出用标记202-1，抽取左下的第1安装区域基准标记201a，同时，利用第2基板基准位置算出用标记202-2，抽取左下的第2安装区域基准标记201b。

就上述具体实例的上述410mm×240mm的玻璃基板而言，利用第1基板基准位置算出用标记202-1的位置坐标(15、18)，抽取左下的第1安装区域基准标记201a的坐标位置(10、10)，同时，利用第2基板基准位置算出用标记202-2的位置坐标(215、111)，抽取左下的第2安装区域基准标记201b的位置坐标(210、110)。

接着，在步骤S24中，根据抽取出的两个点的第1安装区域基准标记201a与第52安装区域基准标记201b各自的识别结果，通过运算部171的运算，求出平均错位、倾斜和伸缩率。

具体而言，就平行错位而言，考虑上述两个点的第1安装区域基准标记201a与第52安装区域基准标记201b中的第1安装区域基准标记201a作为基准。

由此，若设第1安装区域基准标记201a的偏移值为(ΔX_a、ΔY_a)，则平行错位量(ΔX_ab、ΔY_ab)可由下式来描述。

[式6]

ΔX_ab＝ΔX_a

ΔY_ab＝ΔY_a

就上述具体实例的上述410mm×240mm的玻璃基板而言，若设第1安装区域基准标记201a的区域偏移值为(-0.132、-0.051)，则根据上述式6，平行错位量变为(-0.132、-0.050)。

另一方面，玻璃基板200的倾斜为连结第1安装区域基准标记201a与第52安装区域基准标记201b的NC坐标之直线、与连结将各个偏移值加到第1安装区域基准标记201a和第52安装区域基准标记201b的NC坐标上的坐标之直线所成的角。

若设第1安装区域基准标记201a与第52安装区域基准标记201b的NC坐标为(X_a、Y_a)、(X_b、Y_b)，设第1安装区域基准标记201a与第52安装区域基准标记201b的偏移值分别为(ΔX_a、ΔY_a)与(ΔX_b、ΔY_b)，则第1安装区域基准标记201a与第52安装区域基准标记201b的倾斜Δθ_ab可由下式来描述。

[式7]

Δθ_ab＝tan^-1{(Y_b-Y_a)/(X_b-X_a)}-tan^-1[{(Y_b

+ΔY_b)-(Y_a+ΔY_a)}/{(X_b+ΔX_b)-(X_a+ΔX_a)}]

就上述具体实例的上述410mm×240mm的玻璃基板而言，若设第1安装区域基准标记201a与第52安装区域基准标记201b的NC坐标为(10、10)、(210、110)，设第1安装区域基准标记201a与第52安装区域基准标记201b的偏移值分别为(-0.132、-0.051)与(-0.130、-0.067)，则第1安装区域基准标记201a与第52安装区域基准标记201b的倾斜Δθ_ab通过下述式7，变为

[式8]

Δθ_ab＝tan^-1{(110-10)/(210-10)}-tan^-1[{(110-0.067)-(10-0.051)}/{(210-0.130)-(10-0.132)}]

＝-0.004125°

另外，在玻璃基板200的伸缩率E采用以玻璃基板200为基准的方式时，将玻璃基板200的伸缩率设为1。

接着，在步骤S25中，利用上述平行错位和倾斜(以及伸缩率)，由运算部171运算并修正图41的步骤S3中存储并且对应于应安装基板61的区域之全部安装区域基准标记201的位置之位置坐标，并将修正后的安装区域基准标记201之位置坐标存储在存储部173中。具体而言，各安装区域基准标记201的修正值在考虑第1安装区域基准标记201a与第52安装区域基准标记201b的平行错位、倾斜和伸缩率进行修正后，作为偏移值存储在存储部173中。这里，当将上述平行错位设为(ΔX_ab、ΔY_ab)，将倾斜设为Δθ_ab，将伸缩率设为E，将第1安装区域基准标记201a的NC坐标设为(X_a、Y_a)，将修正对象的任意安装区域基准标记201的NC坐标为(X_nc、Y_nc)，将偏移值设为(ΔX_R、ΔY_R)时，各安装区域基准标记201的修正后偏移值(ΔX_off、ΔY_off)可由下式来描述。

[式9]

X_off＝E{((X_nc+ΔX_R)-X_a)}cosΔθ_ab-((Y_nc+ΔY_R)-Y_a)sinΔθ_ab}-(X_nc-X_a)+ΔX_ab

Y_off＝E{((X_nc+ΔX_R)-X_a)}sinΔθ_ab+((Y_nc+ΔY_R)-Y_a)cosΔθ_ab}-(Y_nc-Y_a)+ΔY_ab

就上述具体实例的上述410mm×240mm的玻璃基板而言，当将上述平行错位设为(-0.132、-0.050)，将倾斜设为Δθ_ab＝0.004125℃，将伸缩率设为E＝1.000026，将第1安装区域基准标记201a的NC坐标设为(10、10)，将偏移值设为(-0.132、-0.050)时，第1安装区域基准标记201的修正后偏移值(ΔX_off、ΔY_off)变为(0、0)。同样，当设修正对象的15行8列的安装区域基准标记201的NC坐标为(150、80)，将偏移值设为(-0.132、-0.060)时，该安装区域基准标记201的修正后偏移值(ΔX_off、ΔY_off)变为(-0.001、-0.015)。

(3)接着，执行安装区域基准标记识别和部件安装动作。

首先，如图56所示，在步骤S31中，为了执行安装区域基准标记识别动作或部件安装动作或安装偏移值测定动作，控制装置170从存储部173的安装数据中读出头136应移动的移动位置，求出识别位置或安装位置。

此时，例如在部件安装动作时，通过XY机器人120，头136移动，在某个移动位置，当吸附保持于头136的某个吸嘴1361上的部件62位于基板61的某个部件62之修正后的安装位置上而变为安装准备状态时，将此时头136的最接近基板识别相机140之视野中心的安装区域基准标记201认为是相对上述部件62的安装区域基准标记201。

同样，在安装区域基准标记识别动作时，通过XY机器人120，头136移动，在某个移动位置，当头136的某个吸嘴1361位于安装区域基准标记识别用基准基板200的修正后之某个安装区域基准标记201的位置上时，将此时头136的最接近基板识别相机140之视野中心的安装区域基准标记201认为是相对上述某个安装区域基准标记201的安装区域基准标记201。

另外，同样，在安装偏移值测定动作时，通过XY机器人120，头136移动，在某个移动位置，当头136的某个吸嘴1361位于安装区域基准标记识别用基准基板200的修正后之某个基板基准位置算出用标记202-1或202-2的位置上时，将此时头136的最接近基板识别相机140之视野中心的安装区域基准标记201认为是相对上述基板基准位置算出用标记202-1或202-2的安装区域基准标记201。

接着，在步骤S32中，由运算部171将对应于步骤S31中头36的移动位置之区域的偏移值加到头136的移动位置之位置坐标上。具体而言，如图53所示，当在应安装基板61的纵向有M行、横向有N列安装区域基准标记201(因此为共计M×N个安装区域基准标记201)时，将由4个点的安装区域基准标记201所包围的区域(图53中由P表示的区域)分派为一个区域。采用上述4个点的安装区域基准标记201中任一、例如左下安装区域基准标记201c的位置之偏移值，作为相对于在该区域内安装的部件62之安装位置的位置坐标(或构成安装位置目标之个别标记的位置坐标)之区域偏移值，将该偏移值作为区域偏移值，加到上述安装位置的位置坐标(或构成安装位置目标之个别标记的位置坐标)上，执行修正。

接着，通过头136向修正后的位置坐标移动，可确保高精度的定位，可执行高精度的安装区域基准标记识别动作或部件安装动作或安装偏移值测定动作。尤其是就部件安装动作而言，可使用区域偏移值，来作为要求高安装精度(例如XY机器人定位精度为±2微米左右、作为安装设备的综合精度为±20微米左右)的IC部件(BGA部件等)个别部件对应之个别标记修正用数值。

另外，在上述图41的步骤S3中，当将识别到的安装区域基准标记201的位置坐标(位置坐标)存储在存储部173中时，也可进一步加入如下修正。即，各安装区域基准标记201的位置坐标如图42所示，识别玻璃基板200的左下与右上两个点的安装区域基准标记201A、201B，求出玻璃基板200相对输送台165的平行错位与倾斜，考虑该修正值，由运算部171运算并算出测定的全部安装区域基准标记201的识别位置。

就上述玻璃基板200的平行错位而言，将安装区域基准标记201A、201B两个点中的安装区域基准标记201A认为是基准。另外，当识别安装区域基准标记201A、201B时，使基板识别相机140的中心移动到NC坐标中的安装区域基准标记201的位置上，所以平行错位量(ΔX、ΔY)变为根据安装区域基准标记识别时的识别结果求出的位置坐标错位(距基板识别相机140的识别视野中心的错位量)。

由此，若将根据安装区域基准标记201A的识别结果求出的位置坐标错位设为(ΔX_A、ΔY_A)(参照图64)，则玻璃基板200的平行错位量(ΔX_g、ΔY_g)可由下式来描述。

[式10]

ΔX_g＝ΔX_A

ΔY_g＝ΔY_A

另外，从位置坐标系坐标变换为NC坐标系。

另外，玻璃基板200的倾斜为连结NC坐标上的安装区域基准标记201A与安装区域基准标记201B的直线、与连结识别到的安装区域基准标记201A’与安装区域基准标记201B’的直线所成的角Δθ。

即，若设安装区域基准标记201A、201B的NC坐标为(X_A、Y_A)、(X_B、Y_B)，设根据识别安装区域基准标记201A、201B时的识别结果求出的位置坐标错位(距视野中心的错位量)为(ΔX_A、ΔY_A)、(ΔX_B、ΔY_B)，则基板倾斜Δθ_g可由下式来描述。

[式11]

Δθ_g＝tan^-1{(Y_B-Y_A)/(X_B-X_A)}-tan^-1[{(Y_B+(-ΔY_B))-(Y_A+(-ΔY_A))}/{(X_B+ΔX_B)-(X_A+ΔX_A)}]

＝tan^-1{(Y_B-Y_A)/(X_B-X_A)}-tan^-1[{(Y_B-ΔY_B)-(Y_A-ΔY_A)}/{(X_B+ΔX_B)-(X_A+ΔX_A)}]

另外，从位置坐标系坐标变换为NC坐标系。

由此，识别出的各安装区域基准标记201之位置坐标在考虑了上述玻璃基板200的平行错位和倾斜后，由运算部171算出。这里，在将上述平行错位设为(ΔX_g、ΔY_g)、倾斜为Δθ_g、安装区域基准标记201A的NC坐标为(X_A、Y_A)、玻璃基板200上的任意位置之安装区域基准标记N的NC坐标为(X_N、Y_N)时之任意位置安装区域基准标记N的识别位置(X_RN、Y_RN)为

[式12]

X_RN＝(X_n-X_A)cosθ-(Y_m-Y_A)sinθ+ΔX_g

Y_RN＝(X_n-X_A)sinθ+(Y_m-Y_A)cosθ+ΔY_g

因此，也可在上述图41的步骤S3中，将如此求出的安装区域基准标记N之识别位置作为识别出的安装区域基准标记201的位置坐标(位置坐标)存储在存储部173中。

根据上述第2实施方式，识别作为安装区域基准标记识别用基准基板一例的玻璃基板200上每规定间隔配置的安装区域基准标记201，并根据该识别结果，确定对应于基板尺寸的每个区域的偏移值，作为区域偏移值，通过安装位置修正时、标记识别修正时和安装位置偏移值测定动作时或这些动作任一中，分别使部件安装头136的各个移动位置之对应区域偏移值作为修正用数值来分别反映，吸收XY机器人动作变形引起的错位因素，并得到对应于基板大小的最佳偏移值，从而执行高精度的安装。

另外，也通过在安装区域基准标记识别时，使部件安装头136的各个移动位置之对应区域偏移值作为修正用数值来分别反映，吸收XY机器人动作变形引起的错位因素，并得到对应于基板大小的最佳偏移值，从而执行高精度的安装。

另外，本发明不限于上述第2实施方式，也可以其它各种方式来实施。

例如，两个第1和第52安装区域基准标记201a、201b或201A、201B或202-1、202-2只要是安装区域基准标记识别用基准基板或应安装基板的任一对角之不同位置、或沿XY方向任一方向的不同位置、换言之同一点以外的任意两个不同点即可。

另外，在安装区域基准标记识别用基准基板200比应安装基板61小的情况下，在将安装区域基准标记识别用基准基板200定位于应安装基板61的部件安装区域任一端上的状态下，识别取得安装区域基准标记201的位置坐标之后，使安装区域基准标记识别用基准基板200移动至应安装基板61的部件安装区域的任一另一端，再次识别取得安装区域基准标记201的位置坐标，并使共同部分重合后，处理数据，以在一个大的虚拟安装区域基准标记识别用基准基板200中，识别取得安装区域基准标记201的位置坐标。例如，具体如图57所示，合成在基板的通常位置测定之安装区域基准标记201的位置坐标数据[1]、与在向左移动350mm的位置下测定的安装区域基准标记201的位置坐标数据[2]。仅实施旋转、移动修正，使数据[1]与数据[2]的共同部分一致。若加上伸缩率，则共同部分不一致，所以不加上伸缩率。

(实施例)

示出不适用上述第2实施方式的各区域偏移值的情况、与适用的情况之间错位量的变化和部件安装精度的变化实例。

使用图57所示428mm×250mm大小的基板之安装区域基准标记201来测定各区域的偏移值。

图57中，当安装区域基准标记201的识别动作时，作为头136的配置构成，基板识别相机140的视野中心位于沿X方向(即图57的右方向)距右端吸嘴1361中心60mm的位置上，所以为了能将从左端吸嘴1361至右端吸嘴1361的全部吸嘴1361定位于基板61上的全部区域中，基板识别相机140需要从抵接于基板61的左端将基板61定位于输送台165的安装位置之基板止动器的位置起，沿X方向(即图57的右方向)移动720.5mm(XL＝基板宽度510mm+60mm+两端吸嘴间150.5mm)。

但是，当识别安装区域基准标记201时使用的安装区域基准标记识别用基准基板仅位于沿X方向距基板止动器位置410mm的范围内的情况下，沿X方向错位安装区域基准标记识别用基准基板，通过再次识别安装区域基准标记201，可覆盖基板61的全部区域(0mm～720.5mm)的范围。

图58和图59所示的曲线绘制了根据使用各区域偏移值时的识别结果求出的位置坐标错位的输出数据。图58的两个曲线表示头136沿X方向以10mm间距移动时的X方向位置与X方向错位量的关系，曲线[1]是使用各区域的偏移值之前，曲线[2]是使用各区域的偏移值之后。图59的两个曲线表示头136沿Y方向以10mm间距移动时的Y方向位置与Y方向错位量的关系，曲线[1]是使用各区域的偏移值之前，曲线[2]是使用各区域的偏移值之后。

图58的使用各区域偏移值之前的曲线[1]在X方向上，在使用各区域的偏移值之前，在从基板止动器移动220mm的位置上产生最大误差20微米，形成向上凸形状。相反，修正后的曲线[2]基本上在零附近变化。

从图59的曲线可知，在Y方向上，虽然使用各区域的偏移值之前之曲线[1]稍稍倾斜变化，但使用各区域的偏移值之后的曲线[2]与X方向一样，基本上在零附近变化。

图58和图59中使用各区域的偏移值之后的曲线[2]在X方向和Y方向上，误差均在±5微米以内。

接着，就部件安装精度的变化而言，分别于图60中示出当对于上述428mm×250mm大小的基板将作为400点的1.6mm×0.8mm芯片部件之陶瓷电容安装在基板上时，未使用上述第2实施方式的各区域偏移值时的安装精度，于图61中示出使用上述第2实施方式的各区域偏移值时的安装精度。另外，分别于图62中示出当将多个QFP安装于基板中时，未适用上述第2实施方式的各区域偏移值时的安装精度，于图63中示出适用上述第2实施方式的各区域偏移值时的安装精度。各图中的尺寸值为mm等级。

如图61、图63所示，从上述结果可以看到X方向和Y方向的安装精度有改善倾向。即，可知与未适用上述第2实施方式的各区域偏移值的情况相比，修正后的装置位置数据与真实的安装位置数据的偏移量即便在数值上也变小。

另外，作为一例的具体数值，上述修正值为10微米～30微米左右。作为小型基板一例，当在428mm×250mm基板中进行坐标变换时，伸缩率为1.000025。作为大型基板一例，当在600mm×250mm基板中进行坐标变换时，伸缩率为1.00005。此外，100×100mm等小型基板也有效。

本发明可适用于安装的部件基本上全部是电子部件的安装中，例如，可适用于方芯片电容、方芯片电阻、晶体管等小型部件、或QFP或BGA等细微芯片安装对象的IC等中。

另外，也可代替由相机测定安装区域基准标记识别用基准基板，而通过由激光测长器测定基板相机部的移位位置来实现(此时，不需要安装区域基准标记识别用基准基板。)。

另外，除基于上述偏移值的修正外，也可通过使相机校正时的‘基板相机偏移值’和‘吸嘴间间距’的测定位置之区域偏移值反映于标记识别动作(基板标记识别、对应于IC部件等的单独标记识别、显示于多倒角基板的各个基板中的图案标记识别、以每个部件组显示的组标记识别、表示不良显示的差标记识别)、部件安装动作、安装偏移值测定动作、安装区域基准标记识别的各动作时的头移动位置算出中所使用的‘基板相机偏移值’和‘吸嘴间间距’，可进一步改善精度。

在上述相机校正中求出基板相机140的偏移值和吸嘴间间距(多个吸嘴的各吸嘴间的距离)，但在该求出的过程中，未反映用于修正XY机器人的变形之每个区域的修正值。因此，当标记识别、部件安装动作和/或安装偏移值测定动作时，通过反映于算出头移动位置时使用的基板相机140的偏移值和吸嘴间间距，可执行较高精度的安装。基板相机140的偏移值和吸嘴间间距由距第1吸嘴1361-1的距离来提供。从而，在标记识别、部件安装动作或安装偏移值测定动作时，在反映于算出头移动位置时使用的基板相机140的偏移值和吸嘴间间距的情况下，使基板相机偏移值或吸嘴间间距测定时的区域偏移值、与第1吸嘴1361-1的位置测定时的区域偏移值之差量在各动作时反映。

下面，利用表示测定时的吸嘴与部件识别相机150和基板识别相机的相对关系之图67A-图67C来说明。

如图67A所示，当测定第1吸嘴(设为基准吸嘴)1361-1的位置时，使第1吸嘴1361-1位于部件识别相机150上，计测第1吸嘴1361-1的位置。将在该状态计测中得到的第1吸嘴1361-1的位置值设为区域偏移值(X1、Y1)。

接着，如图67B所示，当测定第n个吸嘴1361-n的吸嘴间间距时，使第n个吸嘴1361-n位于部件识别相机150上，计测第n个吸嘴1361-n的位置。将在该状态计测中得到的第n个吸嘴1361-n的位置值设为区域偏移值(Xn、Yn)。在图67A-图67C所示的头的情况下，吸嘴数量共计为8个，所以从n为2开始依次计测到8，设为各个第1吸嘴1361-1的区域偏移值。

接着，如图67C所示，当测定基板相机140时，使基板相机140位于部件识别相机150上，计测基板相机140的位置。将在该状态计测中得到的基板相机140的位置值设为区域偏移值(Xp、Yp)。

如图68所示，基板相机的偏移值和吸嘴间间距由距第1吸嘴1361-1的距离来提供。从而，在反映区域偏移值的情况下，使基板相机偏移值、或吸嘴间间距测定时的区域偏移值、与第1吸嘴1361-1的位置测定时的区域偏移值之差量在各动作时反映。

例如当根据图68来说明时，若将相机校正时的第1吸嘴1361-1位置测定时之区域偏移值设为(X1、Y1)，将相机校正时的第n个吸嘴1361-n之吸嘴间间距测定时之区域偏移值设为(Xn、Yn)，将相机校正时的基板相机偏移值测定时的区域偏移值设为(Xp、Yp)，则在上述各动作时，反映于‘基板相机偏移值’上的区域偏移值变为(Xp-X1、Yp-Y1)。并且，在部件安装动作中，反映于第n个吸嘴1361-n的‘吸嘴间间距’之区域偏移值变为(Xn-X1、Yn-Y1)。

如图65的流程图所示，在安装区域基准标记识别动作时，在步骤S51中求出对应于相机校正时的第1吸嘴1361-1之位置测定位置的区域偏移值。

并且，在步骤S52中求出对应于相机校正时的基板相机偏移值测定位置的区域偏移值。

接着，在步骤S53中，在使区域偏移值反映于基板相机偏移值的情况下，求出头136的移动位置，在步骤S22(图45)中，求出对应于头136的移动位置之区域偏移值。并且，在步骤S23(图45)中，求出对应于第1吸嘴(构成吸嘴间间距和基板相机偏移值基准位置的吸嘴)1361-1位于识别相机上的位置之区域偏移值，在步骤S24(图45)中，求出对应于基板相机140位于识别相机上的位置之区域偏移值。在步骤S25中，在安装区域基准标记识别动作时，反映在步骤S22中求出的区域偏移值，并且，在步骤S54中，反映在步骤S23中求出的区域偏移值与步骤S24中求出的区域偏移值之差量(步骤S24中求出的区域偏移值-步骤S23中求出的区域偏移值)。具体而言，在步骤S54中，将步骤S52与步骤S53中求出的区域偏移值之差量(步骤S53的区域偏移值-步骤S52的区域偏移值)加到基板相机偏移值上。接着，在步骤S55中，使用步骤S54的基板相机偏移值，求出基板标记识别移动位置。接着，在步骤S56中，求出对应于在步骤S55中求出的移动位置之区域偏移值。接着，在步骤S57中，加上对应于步骤S56中求出的移动位置之区域偏移值。接着，在步骤S58中，使基板相机移动到步骤S57中求出的移动位置。

通过如此构成，可反映吸嘴间间距、基板相机偏移值中包含的基于XY机器人动作变形的区域偏移值，可进行较高精度的安装。

在图66的流程图中示出使区域偏移值反映于吸嘴间间距的测定位置后进行部件安装动作的步骤。

首先，如上所述，在步骤S62、S63中求出相机校正时的第1吸嘴、第n个吸嘴的区域偏移值。即，在步骤S62中，求出对应于相机校正时的第1吸嘴之位置测定位置的区域之区域偏移值。接着，在步骤S63中，求出对应于相机校正时的第n个吸嘴间之间距测定位置的区域之区域偏移值。

接着，在步骤S64中，将在步骤S62与S63中求出的区域偏移值之差量(步骤S63的区域偏移值-步骤S62的区域偏移值)加到第n个吸嘴间间距上。

接着，在步骤S65中，使用步骤S64的吸嘴间间距，求出部件安装位置。

接着，在步骤S66中，求出对应于步骤S65中求出的移动位置之区域偏移值。

接着，在步骤S67中，加上对应于步骤S66中求出的移动位置之区域的区域偏移值。

接着，在步骤S68中，使吸嘴移动到步骤S67中求出的移动位置。

另外，通过适当组合上述各种实施方式中的任意实施方式，可实现各自具有的效果。

本发明的部件安装方法和装置可用于识别玻璃基板200上每规定间隔配置的安装区域基准标记201，根据该识别结果，确定对应于基板尺寸的每个区域的偏移值，作为修正用数值，在安装位置修正时、标记识别修正时或安装位置偏移值测定时，分别反映部件安装头136的各个移动位置之对应偏移值，作为修正用数值，可提高安装精度。

根据本发明，在将安装区域基准标记识别用基准基板保持于上述基板保持装置上并定位于部件安装区域中的状态下，识别保持于上述基板保持装置上的上述基准基板每规定间隔配置之安装区域基准标记的位置坐标，求出上述识别出的各个安装区域基准标记的位置坐标，分别求出上述各个安装区域基准标记的NC坐标与上述位置坐标的差，作为修正值，分别取得上述部件安装用电路基板的至少两个基板基准位置算出用标记的位置坐标之NC坐标，从上述识别出的安装区域基准标记中，分别抽取分别接近上述两个基板基准位置算出用标记的安装区域基准标记，分别坐标变换上述抽取到的安装区域基准标记之位置坐标，使这些抽取的安装区域基准标记的修正值为零或实质上为零，求出各个安装区域基准标记下的偏移值。之后，在代替安装区域基准标记识别用基准基板而将上述部件安装用电路基板保持于上述基板保持装置上并定位于上述部件安装区域中的状态下，分别识别保持于上述基板保持装置上的上述部件安装用电路基板的上述至少两个基板基准位置算出用标记，分别求出上述识别出的两个基板基准位置算出用标记的位置坐标，根据求出的上述两个基板基准位置算出用标记的位置坐标，分别修正上述两个基板基准位置算出用标记的上述NC坐标，当保持于上述部件保持头上的上述部件位于上述部件安装用电路基板的各部件安装位置的上方时，根据最接近上述部件保持头中配备的识别相机之上述安装区域基准标记的偏移值，在执行上述部件安装位置的位置坐标修正之后，根据上述修正后的部件安装位置的位置坐标，将上述部件安装到上述部件安装位置上。结果，识别安装区域基准标记识别用基准基板上每规定间隔配置的安装区域基准标记，根据其识别结果，确定对应于基板尺寸的每个区域的位置坐标之修正用数值，作为偏移值，在安装位置修正时、标记识别修正时、和安装位置偏移值测定动作时或这些动作任一中，分别使用部件安装头的各个移动位置之对应偏移值，由此，吸收XY机器人动作变形引起的错位因素，得到对应于基板大小的最佳偏移值，从而执行高精度的安装(例如安装时，在±0.005mm水平的定位精度条件下的安装)。

另外，也通过在安装区域基准标记识别时，使部件安装头的各个移动位置之对应偏移值作为修正用数值来分别反映，吸收XY机器人动作变形引起的错位因素，并得到对应于基板大小的最佳偏移值，从而可执行较高精度的安装。

本发明虽然在参照附图的同时、关联于最佳实施方式来充分记载，但是对本领域的技术人员而言，各种变形或修正是显而易见的。应理解为在不脱离附加的权利要求之本发明的范围下，这种变形或修正也包含于其中。

Claims

1.一种部件安装方法，其特征在于：

由设置在部件安装头上、拍摄电路基板上的基板标记之基板识别相机(140)拍摄相机基准标记(160)，上述部件安装头(136)配备用来保持电子部件(62)的部件保持元件(1361)，具有上述部件安装头的X-Y机器人与执行保持于上述部件保持元件上的上述电子部件拍摄之部件识别相机(150)分别单独竖设在台架(110)上，该相机基准标记被配置在接近上述部件识别相机(150)、并且不会妨碍上述部件识别相机拍摄上述电子部件的场所，同时，将上述相机基准标记的高度设置在与上述基板识别相机拍摄上述基板标记时的上述电路基板的高度位置相同的高度位置上，

将由上述基板识别相机拍摄上述相机基准标记得到的上述相机基准标记之错位信息设为上述基板识别相机与上述部件识别相机的相对错位信息，仅根据该错位信息来执行上述部件安装位置的修正，沿彼此正交的方向移动上述部件安装头使上述部件保持元件移动，将上述电子部件向上述电路基板的安装位置移动，

在将安装区域基准标记识别用基准基板(200)保持在上述基板保持装置上并定位于部件安装区域中的状态下，识别保持在上述基板保持装置上的上述基准基板的以每规定间隔配置之安装区域基准标记(201)的位置坐标，求出上述识别出的各个安装区域基准标记的位置坐标，

分别取得上述电路基板的至少两个基板基准位置算出用标记(201A、201B)之位置坐标的数值控制坐标，

分别坐标变换这些抽取出的安装区域基准标记的位置坐标，使上述抽取的安装区域基准标记的修正值为零，求出各个安装区域基准标记下的偏移值，

另一方面，在代替安装区域基准标记识别用基准基板而将上述电路基板保持在上述基板保持装置上并定位于上述部件安装区域中的状态下，分别识别保持在上述基板保持装置上的上述电路基板的上述至少两个基板基准位置算出用标记，分别求出上述识别出的两个基板基准位置算出用标记的位置坐标，

根据求出的上述两个基板基准位置算出用标记的位置坐标，分别修正上述两个基板基准位置算出用标记的上述数值控制坐标，当保持在上述部件保持头上的上述部件位于上述电路基板的各部件安装装置的上方时，根据离配备在上述部件保持头上的识别相机最近的上述安装区域基准标记之偏移值，执行上述部件安装位置的位置坐标修正后，根据上述修正过的部件安装位置的位置坐标，将上述部件安装到上述部件安装位置。

2.根据权利要求1所述的部件安装方法，其特征在于：

分别坐标变换上述抽取出的安装区域基准标记的位置坐标，使分别靠近上述两个基板基准位置算出用标记的上述抽取到的安装区域基准标记之修正值为零，求出各个安装区域基准标记下的偏移值，

此时，通过使连结上述抽取出的安装区域基准标记之曲线旋转和移动，进行坐标变换，使分别靠近上述两个基板基准位置算出用标记的上述抽取到的安装区域基准标记之修正值为零，从而分别坐标变换上述抽取到的安装区域基准标记之位置坐标，求出各个安装区域基准标记下的偏移值。

3.根据权利要求1或2所述的部件安装方法，其特征在于：

此时，根据上述抽取出的安装区域基准标记，算出上述基板保持装置的X方向与同该X方向正交的Y方向中至少一个方向上的修正值，同时，求出上述基准基板的倾斜，分别坐标变换上述抽取到的安装区域基准标记之位置坐标，使上述抽取到的安装区域基准标记之修正值为零，求出各个安装区域基准标记下的偏移值。