JP3555488B2 - 電子部品の実装装置および実装方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ワークに電子部品を実装する電子部品の実装装置および実装方法に関するするものである。
【0002】
【従来の技術】
電子部品の実装工程で用いられる実装装置として、電子部品をピックアップして基板に搭載する搭載ヘッドとともに基板認識用のカメラを備えたタイプの実装装置が知られている。従来この実装装置では基板認識用のカメラは搭載ヘッドと一体的に移動するようになっており、電子部品の実装に際してはまず基板に設けられた認識マークをカメラで認識することにより基板の位置検出が行われていた。そしてこの位置検出結果に基づいて実装点の座標を算出し、搭載ヘッドを実装点に移動させて電子部品を搭載するようにしていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、実装精度が要求される電子部品に対しては前述のように単に基板の認識マークを認識するのみでは精度的に十分でなく、個々の実装点を直接カメラで撮像して実装点の位置を検出する必要がある。しかしながらカメラと搭載ヘッドが一体的に移動する従来の実装装置では、個々の実装点の撮像動作と電子部品の搭載動作を直列的に行うこととなるために生産性が大幅に低下する。このため、カメラによる実装点の撮像動作と搭載ヘッドによる電子部品の搭載動作を同時並行的に行わせて生産性を向上させるため、カメラと搭載ヘッドを別体としてそれぞれを専用の移動手段で移動させることが検討されている。
【0004】
ところが、カメラと搭載ヘッドを個別に移動させる場合には、カメラの撮像画面上の光学座標系と搭載ヘッドが搭載動作を行う際の基板上での搭載位置を示す搭載点との相対的位置関係が常に変動するため、カメラによる認識結果に基づいて搭載ヘッドを制御して電子部品を実装する際の実装精度がばらつく。カメラと搭載ヘッドが同一移動手段によって一体的に移動する場合には両者の相対的位置関係は常に固定されているが、カメラと搭載ヘッドが個別の移動手段によって移動する場合には、移動手段を構成する送りねじやガイド部材などの機構部の誤差や変形などにより、基板上の位置によってカメラと搭載ヘッドの相対的位置関係がばらついているからである。このため従来の電子部品の実装装置は、搭載ヘッドとカメラを個別に移動させて電子部品の実装を行う場合に、高精度の実装を効率よく行うことが困難であるという問題点があった。
【0005】
そこで本発明は、高い生産性で高精度の実装を可能とする電子部品の実装装置および実装方法を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
請求項1記載の電子部品の実装装置は、ワーク位置決め部に位置決めされたワーク上に搭載ヘッドに保持された電子部品を搭載して実装する電子部品の実装装置であって、前記搭載ヘッドを前記ワーク位置決め部に移動させる移動テーブルと、ワークを撮像するカメラと、このカメラを前記ワーク位置決め部に移動させるカメラ移動テーブルと、前記カメラで撮像したワークの画像データに基づいてワーク上の電子部品の実装点の位置ずれを認識する認識手段と、ワークの上面における前記ノズルの中心点を示す搭載点と前記カメラの撮像画面上の光学座標系との相対的な位置関係を記憶する記憶手段と、前記認識手段で認識したワークの実装点の位置ずれと前記記憶部に記憶された前記相対的位置関係のデータに基づいて移動テーブルを制御して搭載ヘッドをワークの実装点に対して位置決めする位置決め制御手段とを備えた。
【0007】
請求項2記載の電子部品の実装装置は、請求項1記載の電子部品の実装装置であって、前記搭載ヘッドに保持した打刻用のツールによって前記ワーク上に印加されたマークを前記カメラで撮像して得られた撮像結果を認識手段で認識することにより、前記相対的位置関係のデータを求めるようにした。
【0009】
請求項3記載の電子部品の実装装置は、請求項1記載の電子部品の実装装置であって、前記実装装置の運転開始からの経過時間または実装装置の所定点における温度に対応して求められたものであり、前記位置決め制御手段は前記経過時間または前記所定点における温度によって異るデータを用いるようにした。
【0010】
請求項4記載の電子部品の実装方法は、ワーク位置決め部に位置決めされたワーク上に、搭載ヘッドに保持された電子部品を搭載して実装する電子部品の実装方法であって、搭載ヘッドを前記ワーク位置決め部に移動させる移動テーブルと、カメラを前記ワーク位置決め部に移動させるカメラ移動テーブルとがあり、ワークの上面における前記ノズルの中心点を示す搭載点と前記ワークを撮像するカメラの撮像画面上の光学座標系との相対的位置関係のデータを予め記憶手段に記憶させておき、電子部品の実装時には、前記カメラによって撮像されたワークの画像を認識手段によって認識することにより得られたワーク上の電子部品の実装点の位置ずれと前記相対的位置関係のデータに基づき、位置決め制御手段によって前記搭載ヘッドをワークに対して移動させる前記移動テーブルを制御して、前記搭載ヘッドをワークの実装点に対して位置決めするようにした。
【0011】
請求項5記載の電子部品の実装方法は、請求項4記載の電子部品の実装方法であって、前記搭載ヘッドに保持した打刻用のツールによって前記ワーク上に印加されたマークを前記カメラで撮像して得られた撮像結果を認識手段で認識することにより、前記相対的位置関係のデータを求めるようにした。
【0013】
請求項6記載の電子部品の実装方法は、請求項4記載の電子部品の実装方法であって、前記相対的位置関係のデータは、前記実装装置の運転開始からの経過時間または実装装置の所定点における温度に対応して求められたものであり、前記位置決め制御手段は前記経過時間または前記所定点における温度によって異るデータを用いるようにした。
【0014】
本発明によれば、ワークを撮像するカメラの光学座標系と搭載ヘッドの搭載点との相対的位置関係のデータを予め記憶手段に記憶させておき、電子部品の実装時にはカメラによって撮像されたワークの画像を認識手段によって認識することにより得られたワーク上の実装点の位置ずれと、相対的位置関係のデータに基づいて搭載ヘッドをワークの実装点に対して位置決めすることにより、カメラが搭載ヘッドと個別に移動することによる誤差を補正することができる。
【0015】
【発明の実施の形態】
次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図1は本発明の一実施の形態の電子部品の実装装置の斜視図、図2は同実装対象基板の実装点の斜視図、図3は同電子部品の実装装置の制御系の構成を示すブロック図、図4は同電子部品の実装装置の処理機能を示す機能ブロック図、図5は同基板認識カメラ位置ずれ計測処理のフロー図、図6は同電子部品の実装装置の部分斜視図、図7は同電子部品の実装装置の基板認識カメラ位置ずれデータの説明図、図8は同部品実装動作のフロー図、図9は同基板認識カメラ位置ずれデータ抽出処理のフロー図、図10(a),(b)は同電子部品の実装装置の画像図である。
【0016】
まず図1を参照して電子部品の実装装置の構造を説明する。図1において供給部1は載置テーブル2を備えており、載置テーブル2には電子部品であるチップ4が多数形成されたウェハ3が載置されている。ウェハ3上のチップ4はチップ供給ヘッド5によってピックアップされ、チップ供給ステージ6上に搭載される。
【0017】
供給部1の側方には基板位置決め部8が配設されている。基板位置決め部8はX軸モータ17によって駆動される基板ステージ移動テーブル16上に基板ステージ18を装着して構成されており、基板ステージ18上には基板9が載置される。基板位置決め部8の上方にはヘッド移動モータ11を備えた移動テーブル10が配設されており、移動テーブル10にはノズル昇降モータ16を備えた搭載ヘッド12が装着されている。ヘッド移動モータ11を駆動することにより、搭載ヘッド12は水平移動し、ノズル昇降モータ16を駆動することにより搭載ヘッド12のノズル12aは昇降動作を行う。搭載ヘッド12はノズル12aによってチップ供給ステージ6上のチップ4をピックアップして保持し、基板9上に実装する。すなわち移動テーブル10および基板ステージ移動テーブル16は、第1の移動手段となっている。
【0018】
チップ供給ステージ6と基板位置決め部8の間の搭載ヘッド12の移動経路には、チップ認識カメラ7が配設されている。チップ認識カメラ7は、搭載ヘッド12によって保持されたチップ4を下方から撮像する。また移動テーブル10の上方にはカメラ移動モータ14を備えたカメラ移動テーブル13が配設されている。カメラ移動テーブル13には基板認識用のカメラ15が装着されており、カメラ移動モータ14を駆動することによりカメラ15はY方向に水平移動し基板ステージ18上の基板9に設けられた実装点を撮像する。カメラ移動テーブル13は、第2の移動手段となっている。
【0019】
次に図2を参照して基板9の実装点について説明する。図2に示すように基板9には凹部9aが多数設けられており、凹部9a内には複数のランド21が形成されている。これらのランド21をカメラ15で撮像することにより各ランド21の位置を認識し、これらのランド21の代表点としての実装点22を検出する。チップ4は凹部9a内に実装され、搭載時にはチップ4は実装点22に位置合わせされる。
【0020】
次に図3を参照して制御系の構成について説明する。図3において、チップ認識用のカメラ7は第1の画像処理ユニット30に接続されており、カメラ7によって得られたチップ4の画像は第1の画像処理ユニット30によって画像認識され、図10(a)に示すようにチップ4の位置ずれ量ΔxT,ΔyTが検出される。第1の画像処理ユニット30は、電子部品の位置を認識する電子部品認識手段となっている。基板認識用のカメラ15は、第2の画像処理ユニット31に接続されており、カメラ15によって得られた基板9上の凹部9aの画像は第2の画像処理ユニット31によって画像認識され、図10(b)に示すように各凹部9a内の実装点22の位置ずれ量ΔxB,ΔyBが検出される。従ってカメラ15および第2の画像処理ユニット31はワーク認識手段となっている。基板ステージ移動用のX軸モータ17、基板認識用のカメラ移動モータ14、ヘッド移動モータ11およびノズル昇降モータ16はそれぞれ第1のモータコントローラ32、第2のモータコントローラ33および第4のモータコントローラ35に接続されている。
【0021】
CPU36は全体制御部であり、プログラム記憶部37に記憶されている各種プログラムに従って実装装置各部の動作を制御する。データ記憶部38は基板9上の実装点の位置データや、位置補正演算によって求められた補正値などのデータを記憶する。操作・入力部39はキーボードやマウスなどの入力手段であり、操作時やデータ入力時の入力操作を行う。表示部40はモニタであり、カメラ7やカメラ15で撮像された画像の表示や、操作・入力時の画面表示を行う。
【0022】
次に図4を参照して電子部品の実装装置の処理機能について説明する。図4において最終移動位置演算部41、基板認識カメラ位置ずれデータ抽出部43、制御部44は図3に示すCPU36によって行われる処理機能に対応しており、基板認識カメラ位置ずれ記憶部42、チップ実装位置記憶部45はデータ記憶部38に対応するものである。
【0023】
図4において、第1の画像処理ユニット30は、カメラ7によってチップ4を撮像することにより得られた画像データを画像処理してチップ4の位置ずれを検出する。求められたチップ4の位置ずれデータΔxT,ΔyTは、最終移動位置演算部41に伝達される。最終移動位置演算部41は、チップの搭載時に搭載ヘッド12を基板9に対して相対的に移動させる目標位置である最終移動位置の座標を求め、搭載ヘッド12の基板9に対する相対的移動量を求める演算を行う。演算結果は第1のモータコントローラ32、第3のモータコントローラ34に出力される。
【0024】
第2の画像処理ユニット31は、カメラ15によって撮像された基板9の画像データを画像処理して実装点の位置を検出する。これにより求められた位置ずれ量ΔxB,ΔyBは、最終移動位置演算部41に伝達され、前述の最終移動位置の座標算出演算に用いられる。また第2の画像処理ユニット31は、基板9上に搭載ヘッド12によって印加されたマークをカメラ15で撮像することにより、基板認識用のカメラ15の撮像画面上の光学座標系と搭載ヘッド12の搭載点との相対的位置関係を示す位置ずれ量を計測する。
【0025】
そしてこのカメラ15の撮像画面上の光学座標系と搭載ヘッド12の搭載点との相対的位置関係を示すデータは基板認識カメラ位置ずれ記憶部42に伝達され記憶される。したがって、基板認識カメラ位置ずれ記憶部42は、搭載点とカメラの光学座標系の相対的な位置関係を記憶する記憶手段となっている。第2の画像処理ユニット31からのデータ伝達先の切り換えは、切り換え部46を制御部44によって制御して行われる。なお、この基板認識カメラ位置ずれ計測および位置ずれデータについては後で詳述する。また、基板認識カメラ位置ずれ記憶部42には後述するように複数種類のデータ群が記憶され、これらの複数種類のデータ群から適用すべきデータを抽出する処理が、制御部44からの指令により基板認識カメラ位置ずれデータ抽出部43によって行われる。
【0026】
チップ実装位置記憶部45にはチップ4の基板9上での実装点の座標データが記憶されており、制御部44はこの実装点の座標データを読みとって最終移動位置演算部41に出力し前述の相対移動量を求める演算処理を行わせるほか、第1のモータコントローラ32、第2のモータコントローラ33、第3のモータコントローラ34、第4のモータコントローラ35を制御することにより、基板9のX方向移動、カメラ16のY方向移動、搭載ヘッド12のY方向移動、搭載ヘッド12のノズル昇降、の各動作を制御する。搭載ヘッド12による基板9へのチップ搭載時には、最終移動位置演算部41の演算結果に基づいて第1のモータコントローラ32、第3のモータコントローラ34が制御され、搭載ヘッド12は基板9の各実装点に対して位置決めされる。従って制御部44および最終移動位置演算部41は、位置決め制御手段となっている。
【0027】
次に基板認識カメラ位置ずれ計測について、図6、図7を参照して図5のフローに沿って説明する。まず図6を参照してカメラ15の撮像画面上の光学座標系に対する搭載ヘッド12の搭載点の相対的位置関係について説明する。図6に示す軌跡線l1は、搭載ヘッド12が基板9に対して下降してノズル12aの保持した電子部品を基板9上に搭載動作を行う際の搭載点、すなわちノズル12aの中心線と基板9の表面との交点を、搭載ヘッド12をY方向に移動させながら求めた軌跡である。これに対し軌跡線l2は、カメラ15の撮像画面上に設定される光学座標系の原点の軌跡であり、カメラ15をY方向に移動させたときの原点の軌跡を仮想的に描いたものである。
【0028】
図6では軌跡線l1は略直線状に描いているが、実際には必ずしも厳密な直線とはならない。ノズル12aの中心線と基板9表面との交点(以下、ノズル12aの中心点と略称する)は、移動テーブル10の機械誤差によりY位置によってX方向およびY方向に姿勢や位置がばらつくからである。このため、制御データ上で指示される基板9表面上でのノズル12aの中心点と、実際にノズル12aを下降させたときの中心点とは、X方向およびY方向にばらつき分だけそれぞれずれたものとなる。同様にカメラ15の光学座標系の原点もX方向およびY方向へのばらつきを示すが、基板9に対してカメラ15は搭載ヘッド12よりも上方に位置しているため、同程度の機械誤差による姿勢の傾きを有する場合においても、基板9表面での位置ずれとして表われるばらつきは、搭載ヘッド12と比較してより大きく表われる。
【0029】
図6中に示す拡大部分は、制御データ上で吸着ノズル12aの中心点と光学座標系の原点とを一致させた状態を示すものであり、l1上の点P1は吸着ノズル12aの中心点を、l2上の点P2は光学座標系の原点を示している。本来機械誤差が全く無い理想状態では制御データに従って点P1,P2は一致するが、実際には上述の理由により必ずしも一致せず、X方向Y方向にそれぞれΔxg,Δygのずれ量を示す。
【0030】
すなわち、基板9上での位置補正を目的としてカメラ15で基板9上を撮像し、この画像データに基づいて位置ずれ量を検出しても、検出結果は当初からΔxg,Δygだけの誤差を含んだものとなる。そしてΔxg,ΔygはY方向位置に依存しており一定でないため、前記誤差もY方向位置によって異ったものとなる。
【0031】
前述の基板認識カメラ位置ずれデータは、搭載ヘッド12による基板9上面への搭載点とカメラ15の撮像画面上の光学座標系との相対的位置関係のばらつきを、搭載ヘッド12、カメラ15の移動方向、すなわちY方向の各位置ごとに予め求めたものであり、最終移動位置演算部41によって電子部品搭載時の搭載ヘッド12の基板9に対する相対移動量を求める際に、この位置ずれデータを加味した演算が行われる。
【0032】
次に図5のフローに則して基板認識カメラ位置ずれ計測について説明する。まずインデックスとしてのカウンタ値i,jを0にセットする(ST1)。i,jはそれぞれ搭載ヘッド12、カメラ15について設定される計測ポイントに対応している。次いでカウンタ値iに1を加算し(ST2)、搭載ヘッド12の制御データ上の停止位置、すなわちノズル12aを下降させて搭載点に相当する基板9表面上の位置にマークを印加するための位置として設定された停止位置Y(i)を読み取り(ST3)、搭載ヘッド12をこの停止位置へ移動させる(ST4)。
【0033】
次にノズル8aを下降させて停止位置におけるノズル12aの中心点を示すマークを基板9上に印加する(ST5)。このマーク印加方法として本実施の形態では、搭載ヘッド12にマーク打刻用のツールを保持させ、ツールによって基板9表面に打痕を残す方法を用いる。この打刻による方法以外にも、インクジェットによる方法やマーカーにより捺印する方法などを用いることもできる。この後、カウント値が所定のポイント数Nに到達したか否かが判断され(ST6)、所定数Nに到達するまでST2〜ST5の処理が反復される。
【0034】
所定数のY方向の各ポイントにマークが印加されたならば、すなわち図6に示す軌跡線l1が基板9上に設けられたならば、搭載ヘッド12をチップ供給ステージ6上へ移動させて退避させ(ST7)、以後カメラ15による基板9上の撮像が行われる。まずカウンタ値jに1を加算し(ST8)、カメラ15のY方向の停止位置、すなわち前述の搭載ヘッドの停止位置にカメラ15の光学座標系の制御データ上での原点が一致するように設定された停止位置(j)を読み取り(ST9)、基板認識用のカメラ15をこの停止位置に移動させる(ST10)。
【0035】
この後、カメラ15によって基板9を撮像することにより、マークMの位置ずれ量Δxg,Δyg(図7参照)を検出する(ST11)。そして位置ずれデータを基板認識カメラ位置ずれ記憶部42に記憶する(ST12)。次にカウント値jが所定数Nに到達したか否かが判断され(ST13)、所定数Nに到達するまでST8〜ST12の処理が反復される。このようにして取得されたカメラ位置ずれデータは、図7に示すように各Y方向位置に位置ずれ量Δxg,Δygを対応させたデータテーブル形式で整理される。
【0036】
ここで取得される基板認識カメラ位置ずれデータは、一種類のみのデータではなく、データ採取条件が異る複数種類のデータが採取される。すなわち、実装装置の起動後の経過時間によって複数種類のデータ群が準備され、時間T1経過以前のデータを第1のデータ群としてTab.1に格納し、時間T1経過後時間T2経過以前のデータを第2のデータ群、時間T2経過後のデータを第3のデータ群としてそれぞれTab.2,Tab.3に格納する。
【0037】
このようにしてカメラ位置ずれデータとして複数のデータ群を準備するのは、起動後の運転経過時間によって搭載ヘッド12やカメラ15を移動させる機械系の温度条件が変化することにより、前述の搭載ヘッド12とカメラ15の光学座標系との相対的位置関係のばらつきの状態も変化することによる。このような運転経過時間に対応した複数のデータ群を準備することにより、実装時の位置補正にはほぼ同一条件で取得されたカメラ位置ずれデータを用いて最終移動位置演算を行うことができ、補正精度を向上させることができる。
【0038】
この電子部品の実装装置は上記のように構成されており、以下実装動作について図8、図9のフローに沿って説明する。図8において、チップ実装位置記憶部45より、チップ実装点の座標(xp,yp)を読み取る(ST20)。次に供給部1よりチップ4をピックアップし、チップ供給ステージ6上にチップ4を供給する(ST21)。次いで基板ステージ18をチップ実装位置に移動させ(ST22)、搭載ヘッド12によってチップ供給ステージ6上のチップ4をピックアップする(ST23)。この動作と並行して基板認識用のカメラ15を基板9上の実装点上に移動させ(ST24)、実装点を認識し位置ずれ量(Δxg,Δyg)を求める(ST25)。またこの基板認識と並行して、搭載ヘッド12によりピックアップされたチップ4を認識し、位置ずれ量(ΔxT,ΔyT)を求める(ST26)。
【0039】
次に、基板認識カメラ位置ずれ記憶部42に記憶されたカメラ位置ずれ量(Δxg,Δyg)のデータ抽出処理を行う(ST27)。この処理については後述する。次いで実装点の位置ずれ量(ΔxB,ΔyB)、チップの位置ずれ量(ΔxT,ΔyT)およびカメラ位置ずれ量(Δxg,Δyg)のデータに基づいて、基板ステージ18と搭載ヘッド12の最終移動位置(Xm,Ym)を算出する(ST28)。そして基板ステージ18と搭載ヘッド12を最終移動位置へ移動させ、チップ4を実装点22上に実装する(ST30)。そして次チップの実装を行うか否かを判断し(ST31)、次チップ実装を行う場合にはST20に戻って同様の実装動作を反復し、次チップ実装無しを確認することにより実装動作を終了する。
【0040】
次に図9のフローを参照してST27の位置ずれデータ抽出処理について説明する。この処理は、図4に示す基板カメラ位置ずれデータ抽出部43によって行われる。図9において、当該時点における運転開始からの経過時間が、時間T1を経過しているか否かを判断し(ST40)、既に経過していれば更に経過時間が時間T2を既に経過しているかを判断する(ST42)。そしてここで時間T2を経過していれば、図7に示す第3のデータ群より基板認識カメラ位置ずれデータを抽出する(ST44)。
【0041】
ST42にて時間T2が未経過であれば、第2のデータ群より、またST40にて時間T1未経過であれば、第1のデータ群より、それぞれ基板認識カメラ位置ずれデータを抽出する(ST41,ST43)。すなわち、実装動作時には当該時点における運転開始からの経過時間に対応した条件で取得されたデータ群を抽出して最終移動位置演算に用いる。これにより、運転開始後の温度上昇過程にあって機構部分の温度が収束していない状態においても、温度条件の違いによるカメラ位置ずれ状態の変動による影響を最小限に抑制することができる。
【0042】
なお本実施の形態では、運転開始からの経過時間をパラメータとして複数のデータ群を準備して使い分けを行う例を示しているが、搭載ヘッド12やカメラ15の相対的位置ずれに最も影響を及ぼす部位、例えば移動テーブルの送りねじ部などを所定点としての温度計測点として選定し、この温度計測点の温度をパラメータとして複数のデータ群を準備するようにしてもよい。すなわち、このような温度計測点の温度上昇と、運転開始後の経過時間はほぼ同様の傾向を示すと考えてよいことから、前述の経過時間の替りに温度計測点における測定温度を用いることにより、同様の補正精度向上の効果を得ることができる。
【0043】
なお本実施の形態では、カメラ位置ずれデータを求めるためのマーク位置検出方法として、カメラ15によって撮像した基板9の画像データを第2の画像処理ユニット31で画像認識する例を示しているが、カメラ15の撮像画面上で基板9のマーク位置を手動のティーチング操作により求めるようにしてもよい。
【0044】
また本発明は、複数個のワークをキャリアにセットし、キャリアごとのワークの搬送や位置決めを行って各ワークに電子部品を実装する場合にも適用できる。
【0045】
【発明の効果】
本発明によれば、ワークを撮像するカメラの光学座標系と搭載ヘッドの搭載点との相対的位置関係のデータを予め記憶手段に記憶させておき、電子部品の実装時にはカメラによって撮像されたワークの画像を認識手段によって認識することにより得られたワーク上の実装点の位置ずれと、相対的位置関係のデータに基づいて搭載ヘッドをワークの実装点に対して位置決めするようにしたので、カメラが搭載ヘッドと個別に移動することによる光学座標系と搭載ヘッドの搭載点の相対的位置関係のばらつきを補正して高精度の実装を効率よく行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態の電子部品の実装装置の斜視図
【図2】本発明の一実施の形態の実装対象基板の実装点の斜視図
【図3】本発明の一実施の形態の電子部品の実装装置の制御系の構成を示すブロック図
【図4】本発明の一実施の形態の電子部品の実装装置の処理機能を示す機能ブロック図
【図5】本発明の一実施の形態の基板認識カメラ位置ずれ計測処理のフロー図
【図6】本発明の一実施の形態の電子部品の実装装置の部分斜視図
【図7】本発明の一実施の形態の電子部品の実装装置の基板認識カメラ位置ずれデータの説明図
【図8】本発明の一実施の形態の部品実装動作のフロー図
【図9】本発明の一実施の形態の基板認識カメラ位置ずれデータ抽出処理のフロー図
【図10】(a)本発明の一実施の形態の電子部品の実装装置の画像図
(b)本発明の一実施の形態の電子部品の実装装置の画像図
【符号の説明】
4 チップ
7 カメラ
8 基板位置決め部
9 基板
10 移動テーブル
12 搭載ヘッド
12a ノズル
13 カメラ移動テーブル
15 カメラ
18 基板ステージ
30 第1の画像処理ユニット
31 第2の画像処理ユニット
41 最終移動位置演算部
42 基板認識カメラ位置ずれ記憶部
44 制御部
Claims (6)
- ワーク位置決め部に位置決めされたワーク上に搭載ヘッドのノズルに保持された電子部品を搭載して実装する電子部品の実装装置であって、前記搭載ヘッドを前記ワーク位置決め部に移動させる移動テーブルと、ワークを撮像するカメラと、このカメラを前記ワーク位置決め部に移動させるカメラ移動テーブルと、前記カメラで撮像したワークの画像データに基づいてワーク上の電子部品の実装点の位置ずれを認識する認識手段と、ワークの上面における前記ノズルの中心点を示す搭載点と前記カメラの撮像画面上の光学座標系との相対的な位置関係を記憶する記憶手段と、前記認識手段で認識したワークの実装点の位置ずれと前記記憶部に記憶された前記相対的位置関係のデータに基づいて移動テーブルを制御して搭載ヘッドをワークの実装点に対して位置決めする位置決め制御手段とを備えたことを特徴とする電子部品の実装装置。
- 前記搭載ヘッドに保持した打刻用のツールによって前記ワーク上に印加されたマークを前記カメラで撮像して得られた撮像結果を認識手段で認識することにより、前記相対的位置関係のデータを求めることを特徴とする請求項1記載の電子部品の実装装置。
- 前記相対的位置関係のデータは、前記実装装置の運転開始からの経過時間または実装装置の所定点における温度に対応して求められたものであり、前記位置決め制御手段は前記経過時間または前記所定点における温度によって異るデータを用いることを特徴とする請求項1記載の電子部品の実装装置。
- ワーク位置決め部に位置決めされたワーク上に、搭載ヘッドに保持された電子部品を搭載して実装する電子部品の実装方法であって、搭載ヘッドを前記ワーク位置決め部に移動させる移動テーブルと、カメラを前記ワーク位置決め部に移動させるカメラ移動テーブルとがあり、ワークの上面における前記ノズルの中心点を示す搭載点と前記ワークを撮像するカメラの撮像画面上の光学座標系との相対的位置関係のデータを予め記憶手段に記憶させておき、電子部品の実装時には、前記カメラによって撮像されたワークの画像を認識手段によって認識することにより得られたワーク上の電子部品の実装点の位置ずれと前記相対的位置関係のデータに基づき、位置決め制御手段によって前記搭載ヘッドをワークに対して移動させる前記移動テーブルを制御して、前記搭載ヘッドをワークの実装点に対して位置決めすることを特徴とする電子部品の実装方法。
- 前記搭載ヘッドに保持した打刻用のツールによって前記ワーク上に印加されたマークを前記カメラで撮像して得られた撮像結果を認識手段で認識することにより、前記相対的位置関係のデータを求めることを特徴とする請求項4記載の電子部品の実装方
法。 - 前記相対的位置関係のデータは、前記実装装置の運転開始からの経過時間または実装装置の所定点における温度に対応して求められたものであり、前記位置決め制御手段は前記経過時間または前記所定点における温度によって異るデータを用いることを特徴とする請求項4記載の電子部品の実装方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP07911499A JP3555488B2 (ja) | 1999-03-24 | 1999-03-24 | 電子部品の実装装置および実装方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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