CN116120895A - 一种氧化铝-金刚石复合微球粉体的制备方法 - Google Patents
一种氧化铝-金刚石复合微球粉体的制备方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN116120895A CN116120895A CN202211692997.2A CN202211692997A CN116120895A CN 116120895 A CN116120895 A CN 116120895A CN 202211692997 A CN202211692997 A CN 202211692997A CN 116120895 A CN116120895 A CN 116120895A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- alumina
- diamond
- composite microsphere
- diamond composite
- microsphere powder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 46
- 239000010432 diamond Substances 0.000 title claims abstract description 46
- 239000000843 powder Substances 0.000 title claims abstract description 38
- 239000004005 microsphere Substances 0.000 title claims abstract description 29
- 239000002131 composite material Substances 0.000 title claims abstract description 25
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 title claims abstract description 8
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 29
- SMZOGRDCAXLAAR-UHFFFAOYSA-N aluminium isopropoxide Chemical compound [Al+3].CC(C)[O-].CC(C)[O-].CC(C)[O-] SMZOGRDCAXLAAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 12
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 claims abstract description 7
- 239000000243 solution Substances 0.000 claims description 26
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 claims description 16
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 claims description 16
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 claims description 16
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 15
- 238000003756 stirring Methods 0.000 claims description 11
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims description 11
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 10
- MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N Oxalic acid Chemical compound OC(=O)C(O)=O MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 8
- 238000001291 vacuum drying Methods 0.000 claims description 8
- 230000032683 aging Effects 0.000 claims description 7
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims description 7
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims description 6
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 6
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229920002125 Sokalan® Polymers 0.000 claims description 5
- XYIBRDXRRQCHLP-UHFFFAOYSA-N ethyl acetoacetate Chemical compound CCOC(=O)CC(C)=O XYIBRDXRRQCHLP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 239000004584 polyacrylic acid Substances 0.000 claims description 5
- GVGUFUZHNYFZLC-UHFFFAOYSA-N dodecyl benzenesulfonate;sodium Chemical compound [Na].CCCCCCCCCCCCOS(=O)(=O)C1=CC=CC=C1 GVGUFUZHNYFZLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229920000962 poly(amidoamine) Polymers 0.000 claims description 4
- 229940080264 sodium dodecylbenzenesulfonate Drugs 0.000 claims description 4
- LZZYPRNAOMGNLH-UHFFFAOYSA-M Cetrimonium bromide Chemical compound [Br-].CCCCCCCCCCCCCCCC[N+](C)(C)C LZZYPRNAOMGNLH-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 3
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 claims description 3
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 235000006408 oxalic acid Nutrition 0.000 claims description 3
- 238000005303 weighing Methods 0.000 claims description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 6
- 238000000227 grinding Methods 0.000 abstract description 13
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 abstract description 7
- 238000003980 solgel method Methods 0.000 abstract description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 abstract 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 10
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 238000010907 mechanical stirring Methods 0.000 description 5
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 5
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 5
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 4
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 4
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 239000012798 spherical particle Substances 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 238000012512 characterization method Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000007123 defense Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000011056 performance test Methods 0.000 description 1
- 238000001878 scanning electron micrograph Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000000967 suction filtration Methods 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09K—MATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
- C09K3/00—Materials not provided for elsewhere
- C09K3/14—Anti-slip materials; Abrasives
- C09K3/1436—Composite particles, e.g. coated particles
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09G—POLISHING COMPOSITIONS; SKI WAXES
- C09G1/00—Polishing compositions
- C09G1/02—Polishing compositions containing abrasives or grinding agents
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
- Y02E60/10—Energy storage using batteries
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Composite Materials (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
- Compounds Of Alkaline-Earth Elements, Aluminum Or Rare-Earth Metals (AREA)
Abstract
一种氧化铝‑金刚石复合微球粉体的制备方法，其以异丙醇铝与金刚石粉末混合，加入表面活性剂和铝溶胶，采用溶胶‑凝胶法将金刚石包裹在氧化铝中，通过调整工艺参数可以控制产品微观形貌与粒径大小。本发明所制备的复合微球通过表面金刚石突起能够保持良好研磨效果，且整体呈球形，流动性好，减少对晶片的划伤。
Description
技术领域
本发明属于无机非金属材料技术领域，具体涉及一种氧化铝-金刚石复合微球粉体的制备方法。
背景技术
碳化硅晶片是第三代半导体材料，在新能源领域、通讯领域和军工国防领域具有举足轻重的地位。在碳化硅晶片的加工过程中，研磨液是其中重要的辅助材料。
目前在对碳化硅晶片进行研磨抛光所使用的研磨抛光液通常含有金刚石微粉，金刚石微粉表面的棱角比较尖锐，其在研磨液中使用时，会存在大量的棱角，用于研磨抛光时，容易导致晶片产生划伤，使碳化硅晶片报废，造成资源浪费，给生产厂家造成巨大经济损失。
发明内容
本发明的目的在于提供一种氧化铝-金刚石复合微球粉体的制备方法，其通过溶胶-凝胶法将金刚石包裹在氧化铝中形成微球状，球形微粉主体流动性好，微球的表面棱角起到研磨抛光作用，应用于研磨抛光时能够有效减少对晶片的划伤。
本发明所采用的技术方案是：
一种氧化铝-金刚石复合微球粉体的制备方法，包括以下步骤：
S1、称取异丙醇铝用5-50倍的去离子水溶解，加入10-45 wt%的金刚石粉末，搅拌均匀得到混合溶液；
S2、取S1得到的混合溶液，于80-120℃、搅拌条件下加入总氧化铝0.1-0.3 wt%的表面活性剂，加酸调节溶液pH至2-6；
S3、向S2所得溶液中加入总氧化铝5-15% wt%的铝溶胶，于65-80℃下陈化12-24h得到混合溶胶；
S4、取S3所得混合溶胶于惰性气体氛围下先在90-110℃保温5-8h，然后在160-200℃下保温5-8h，最后在900-1200℃下保温1-5h，产物经洗涤、抽滤、干燥后即得所述氧化铝/金刚石复合微球粉体
进一步地，S1中金刚石粉末的平均粒径小于20 μm。
进一步地，S2中所用酸为硝酸、盐酸、草酸、乙酸中的一种，质量浓度为5-15%。
进一步地，S2中表面活性剂为十二烷基苯磺酸钠、聚丙烯酸、十六烷基三甲基溴化铵、乙酰乙酸乙酯、PAMAMs中的一种或多种。
进一步地，S4中惰性气体采用氮气。
进一步地，S4中洗涤分别用去离子水和无水乙醇清洗。
进一步地，S4中干燥的过程为：将产物置于真空干燥箱中，在60-80℃下烘干。
本发明的有益效果：
1.本发明所制备的复合微球形貌为表面带有突起的类球状，表面突起为金刚石小颗粒，由氧化铝包裹形成球形颗粒，球形微粉在研磨抛光时流动性好，表面金刚石突起形成锋利的刃，具有高自锐性，可以有效提高研磨效率。
2.本发明通过溶胶-凝胶法制备出的氧化铝均匀的包裹住金刚石，使材料兼具氧化铝的韧性和金刚石的硬度，同时氧化铝做外壳，氧化铝通过溶胶凝胶法生成，起到粘结剂的作用，能够将金刚石微粉牢牢地粘结起来，提高产品的硬度和强度，增强产品的耐磨性。
附图说明
图1为金刚石微粉的微观表征图；
图2为实施例1所制备氧化铝-金刚石复合微球粉体的SEM图。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
一种氧化铝-金刚石复合微球粉体的制备方法，包括以下步骤：
S1、称取异丙醇铝用5-50倍的去离子水溶解，加入10-45 wt%的金刚石粉末，搅拌均匀得到混合溶液；
S2、取S1得到的混合溶液，于80-120℃、搅拌条件下加入总氧化铝0.1-0.3 wt%的表面活性剂，加酸调节溶液pH至2-6；
S3、向S2所得溶液中加入总氧化铝5-15% wt%的铝溶胶，于65-80℃下陈化12-24h得到混合溶胶；
S4、取S3所得混合溶胶于惰性气体氛围下先在90-110℃保温5-8h，然后在160-200℃下保温5-8h，最后在900-1200℃下保温1-5h，产物经洗涤、抽滤、干燥后即得所述氧化铝/金刚石复合微球粉体
其中，S1中金刚石粉末的平均粒径小于20 μm。
其中，S2中所用酸为硝酸、盐酸、草酸、乙酸中的一种，质量浓度为5-15%。
其中，S2中表面活性剂为十二烷基苯磺酸钠、聚丙烯酸、十六烷基三甲基溴化铵、乙酰乙酸乙酯、PAMAMs中的一种或多种。
其中，S4中惰性气体采用氮气。
其中，S4中洗涤分别用去离子水和无水乙醇清洗。
其中，S4中干燥的过程为：将产物置于真空干燥箱中，在60-80℃下烘干。
实施例1
1）取异丙醇铝用5倍的去离子水溶解，取质量分数为10%的金刚石粉末加入到配置好的溶液中搅拌，得到混合溶液。
2）将混合溶液置于80℃下恒温加热，在机械搅拌条件下加入总氧化铝0.1 wt%的十二烷基苯磺酸钠并滴加质量浓度10%的硝酸溶液调节溶液PH至2。
3）加入总氧化铝质量分数15%的铝溶胶，在65℃下陈化24h得到混合溶胶。
4）将上述混合溶胶置于氮气气氛下加热到90℃保温5h，然后在200℃下保温6h，最后在900℃下保温5h，将制得的产物用去离子水和无水乙醇清洗、抽滤后，置于真空干燥箱中在60℃下完全烘干，制得氧化铝/金刚石复合微球平均粒径为88-92 μm，其SEM图如图2所示，金刚石粉体均匀的分散在二氧化硅微球表面，与图1金刚石微粉表面有着较为明显的区别。
实施例2：
1）取异丙醇铝用30倍的去离子水溶解，取质量分数为25%的金刚石粉末加入到配置好的溶液中搅拌，得到混合溶液。
2）将混合溶液置于120℃下恒温加热，在机械搅拌条件下加入总氧化铝0.1 wt%的乙酰乙酸乙酯和0.1 wt%的聚丙烯酸并滴加质量浓度10%的乙酸溶液调节溶液PH至3。
3）加入总氧化铝质量分数10%的铝溶胶，在75℃下陈化18h得到混合溶胶。
4）将上述混合溶胶置于氮气气氛下加热到100℃保温7h，然后在180℃下保温8h，最后在1200℃下保温3h，将制得的产物用去离子水和无水乙醇清洗、抽滤后，置于真空干燥箱中在70℃下完全烘干，制得氧化铝/金刚石复合微球平均粒径为84-95 μm。
实施例3：
1）取异丙醇铝用50倍的去离子水溶解，取质量分数为45%的金刚石粉末加入到配置好的溶液中搅拌，得到混合溶液。
2）将混合溶液置于100℃下恒温加热，在机械搅拌条件下加入总氧化铝0.3 wt%的PAMAMs并滴加质量浓度8%的硝酸溶液调节溶液PH至6。
3）加入总氧化铝质量分数5%的铝溶胶，在80℃下陈化12h得到混合溶胶。
4）将上述混合溶胶置于氮气气氛下加热到110℃保温8h，然后在160℃下保温5h，最后在1100℃下保温4h，将制得的产物用去离子水和无水乙醇清洗、抽滤后，置于真空干燥箱中在80℃下完全烘干，制得氧化铝/金刚石复合微球粉体为平均粒径83-89 μm。
对比例1：
1）取异丙醇铝用50倍的去离子水溶解，取质量分数为35%的金刚石粉末加入到配置好的溶液中搅拌，得到混合溶液。
2）将混合溶液置于100℃下恒温加热，在机械搅拌条件下滴加质量浓度8%的硝酸溶液调节溶液PH至5。
3）将上述混合溶胶置于氮气气氛下加热到110℃保温8h，然后在160℃下保温5h，最后在11000℃下保温4h，将制得的产物用去离子水和无水乙醇清洗、抽滤后，置于真空干燥箱中在80℃下完全烘干，制得的产品形貌不规则，只有少量球形微粒。
对比例2：
1）取异丙醇铝用30倍的去离子水溶解，取质量分数为80%的金刚石粉末加入到配置好的溶液中搅拌，得到混合溶液。
2）将混合溶液置于120℃下恒温加热，在机械搅拌条件下加入总氧化铝0.1 wt%的乙酰乙酸乙酯和0.1 wt%的聚丙烯酸并滴加质量浓度10%的乙酸溶液调节溶液PH至3。
3）加入总氧化铝质量分数15%的铝溶胶，在75℃下陈化18h得到混合溶胶。
4）将上述混合溶胶置于氮气气氛下加热到100℃保温7h，然后在180℃下保温8h，最后在1200℃下保温3h，将制得的产物用去离子水和无水乙醇清洗、抽滤后，置于真空干燥箱中在60℃下完全烘干，制得的产品形貌不规则，只有少量球形微粒。
性能测试：
采用实施例1-3以及对比例1-2所制备微球使用研磨剂机对蓝宝石进行研磨实验，研磨液流量：35 mL/min；研磨时间：20 min；转速：80 r/min，压力：40-50 KPa。
去除率：采用电子天平测量蓝宝石加工前后的工件质量，采用以下公式计算材料去除率MR:
式中：
m1与m2分别为蓝宝石加工前后的工件质量，单位为g；
h1为蓝宝石加工前的厚度，单位为mm；
t为加工时间，单位为min。
表面粗糙度测试：使用Mahr S2型接触式粗糙度测试仪测量研磨后工件的表面粗糙度，每个工件测4-6个点取平均值。
试验所得去除率和表面粗糙度数据如表1所示。
表1 去除率和表面粗糙度试验数据
需要说明的是，上述实施例仅用来说明本发明，但本发明并不局限于上述实施例，凡是依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均落入本发明的保护范围内。
Claims (7)
1.一种氧化铝-金刚石复合微球粉体的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1、称取异丙醇铝用5-50倍的去离子水溶解，加入10-45 wt%的金刚石粉末，搅拌均匀得到混合溶液；
S2、取S1得到的混合溶液，于80-120℃、搅拌条件下加入总氧化铝0.1-0.3wt%的表面活性剂，加酸调节溶液pH至2-6；
S3、向S2所得溶液中加入总氧化铝5-15% wt%的铝溶胶，于65-80℃下陈化12-24h得到混合溶胶；
S4、取S3所得混合溶胶于惰性气体氛围下先在90-110℃保温5-8h，然后在160-200℃下保温5-8h，最后在900-1200℃下保温1-5h，产物依次经洗涤、抽滤、干燥后，即得所述氧化铝-金刚石复合微球粉体。
2.如权利要求1所述一种氧化铝-金刚石复合微球粉体的制备方法，其特征在于，S1中金刚石粉末的平均粒径小于20 μm。
3.如权利要求1所述一种氧化铝-金刚石复合微球粉体的制备方法，其特征在于，S2中所用酸为硝酸、盐酸、草酸、乙酸中的一种，质量浓度为5-15%。
4.如权利要求1所述一种氧化铝-金刚石复合微球粉体的制备方法，其特征在于，S2中表面活性剂为十二烷基苯磺酸钠、聚丙烯酸、十六烷基三甲基溴化铵、乙酰乙酸乙酯、PAMAMs中的一种或多种。
5.如权利要求1所述一种氧化铝-金刚石复合微球粉体的制备方法，其特征在于，S4中惰性气体采用氮气。
6.如权利要求1所述一种氧化铝-金刚石复合微球粉体的制备方法，其特征在于，S4中洗涤分别用去离子水和无水乙醇清洗。
7.如权利要求1所述一种氧化铝-金刚石复合微球粉体的制备方法，其特征在于，S4中干燥的过程为：将产物置于真空干燥箱中，在60-80℃下烘干。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202211692997.2A CN116120895A (zh) | 2022-12-28 | 2022-12-28 | 一种氧化铝-金刚石复合微球粉体的制备方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202211692997.2A CN116120895A (zh) | 2022-12-28 | 2022-12-28 | 一种氧化铝-金刚石复合微球粉体的制备方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN116120895A true CN116120895A (zh) | 2023-05-16 |
Family
ID=86309419
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202211692997.2A Pending CN116120895A (zh) | 2022-12-28 | 2022-12-28 | 一种氧化铝-金刚石复合微球粉体的制备方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN116120895A (zh) |
Citations (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004277615A (ja) * | 2003-03-18 | 2004-10-07 | Nihon Micro Coating Co Ltd | 研磨スラリー及び方法 |
| CN1954042A (zh) * | 2004-09-23 | 2007-04-25 | 六号元素(控股)公司 | 多晶磨料及其制备方法 |
| CN101219530A (zh) * | 2008-02-03 | 2008-07-16 | 北京国瑞升科技有限公司 | 造粒型研磨纸及其制备方法和应用 |
| TW200843903A (en) * | 2007-05-03 | 2008-11-16 | Univ Nat Central | Abrasives with function of sliding grinding and its manufacturing method |
| CN101767318A (zh) * | 2010-02-11 | 2010-07-07 | 北京国瑞升科技有限公司 | 造粒型抛光膜及其制备方法和应用 |
| CN102248166A (zh) * | 2010-05-17 | 2011-11-23 | 刘小磐 | 电火花沉积金刚石磨具用电极制备工艺 |
| CN102294209A (zh) * | 2011-06-13 | 2011-12-28 | 北京化工大学 | 一种水滑石空心微球的制备方法 |
| CN104028171A (zh) * | 2014-06-23 | 2014-09-10 | 大连理工大学 | 氧化铝粘结金刚石纳米复合颗粒材料的爆轰制备方法 |
| CN104086176A (zh) * | 2013-08-30 | 2014-10-08 | 常州凡登特种材料技术有限公司 | 均匀复合的球状陶瓷颗粒及其制备方法 |
| CN105908153A (zh) * | 2016-04-22 | 2016-08-31 | 柳州凯通新材料科技有限公司 | 一种高精密切割砂轮磨料的制备方法 |
| CN109159035A (zh) * | 2018-09-05 | 2019-01-08 | 扬中市飞宇磨具有限公司 | 一种高精度汽车零部件加工磨砂轮及其生产工艺 |
| CN114368964A (zh) * | 2022-02-09 | 2022-04-19 | 东莞市信意铝制品有限公司 | 一种纳米氧化铝材料的制备方法、制品及应用 |
| CN114736654A (zh) * | 2022-04-28 | 2022-07-12 | 浙江奥首材料科技有限公司 | 一种球形磨料、制备方法、用途及包含其的蓝宝石研磨液 |
| CN115070626A (zh) * | 2022-06-16 | 2022-09-20 | 北京安泰钢研超硬材料制品有限责任公司 | 一种超精密磨削砂轮及其制造方法 |
-
2022
- 2022-12-28 CN CN202211692997.2A patent/CN116120895A/zh active Pending
Patent Citations (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004277615A (ja) * | 2003-03-18 | 2004-10-07 | Nihon Micro Coating Co Ltd | 研磨スラリー及び方法 |
| CN1954042A (zh) * | 2004-09-23 | 2007-04-25 | 六号元素(控股)公司 | 多晶磨料及其制备方法 |
| TW200843903A (en) * | 2007-05-03 | 2008-11-16 | Univ Nat Central | Abrasives with function of sliding grinding and its manufacturing method |
| CN101219530A (zh) * | 2008-02-03 | 2008-07-16 | 北京国瑞升科技有限公司 | 造粒型研磨纸及其制备方法和应用 |
| CN101767318A (zh) * | 2010-02-11 | 2010-07-07 | 北京国瑞升科技有限公司 | 造粒型抛光膜及其制备方法和应用 |
| CN102248166A (zh) * | 2010-05-17 | 2011-11-23 | 刘小磐 | 电火花沉积金刚石磨具用电极制备工艺 |
| CN102294209A (zh) * | 2011-06-13 | 2011-12-28 | 北京化工大学 | 一种水滑石空心微球的制备方法 |
| CN104086176A (zh) * | 2013-08-30 | 2014-10-08 | 常州凡登特种材料技术有限公司 | 均匀复合的球状陶瓷颗粒及其制备方法 |
| CN104028171A (zh) * | 2014-06-23 | 2014-09-10 | 大连理工大学 | 氧化铝粘结金刚石纳米复合颗粒材料的爆轰制备方法 |
| CN105908153A (zh) * | 2016-04-22 | 2016-08-31 | 柳州凯通新材料科技有限公司 | 一种高精密切割砂轮磨料的制备方法 |
| CN109159035A (zh) * | 2018-09-05 | 2019-01-08 | 扬中市飞宇磨具有限公司 | 一种高精度汽车零部件加工磨砂轮及其生产工艺 |
| CN114368964A (zh) * | 2022-02-09 | 2022-04-19 | 东莞市信意铝制品有限公司 | 一种纳米氧化铝材料的制备方法、制品及应用 |
| CN114736654A (zh) * | 2022-04-28 | 2022-07-12 | 浙江奥首材料科技有限公司 | 一种球形磨料、制备方法、用途及包含其的蓝宝石研磨液 |
| CN115070626A (zh) * | 2022-06-16 | 2022-09-20 | 北京安泰钢研超硬材料制品有限责任公司 | 一种超精密磨削砂轮及其制造方法 |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 刘嘉霖;张旺玺;梁宝岩;韩警贤;: "溶胶凝胶法制备Al_2O_3-SiO_2包覆金刚石的性能研究", 超硬材料工程, no. 04, 15 August 2013 (2013-08-15) * |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN109135580B (zh) | 一种玻璃用抛光液及其制备方法 | |
| CN110003798B (zh) | 一种抛光液及其制备方法和应用 | |
| CN104592898B (zh) | 高效蓝宝石研磨液及其制备方法 | |
| CN107987732B (zh) | 一种用于蓝宝石平面抛光的抛光液及其制备方法 | |
| CN107722935B (zh) | 一种球形金刚石堆积磨料及其制造方法 | |
| CN115386301B (zh) | 一种氧化镓单晶片加工用cmp抛光液及其制备方法 | |
| CN110759734B (zh) | 一种单晶硅片背面减薄用砂轮及其制备方法 | |
| CN114736654A (zh) | 一种球形磨料、制备方法、用途及包含其的蓝宝石研磨液 | |
| CN106905970B (zh) | 一种制备均匀大颗粒yag荧光粉的组合助剂与方法及大颗粒yag荧光粉 | |
| CN114014668B (zh) | 一种3d打印用水基氮氧化铝透明陶瓷浆料及其制备方法 | |
| CN116120895A (zh) | 一种氧化铝-金刚石复合微球粉体的制备方法 | |
| CN103589344B (zh) | 一种氧化铝抛光液的制备方法 | |
| CN108822738B (zh) | 一种琉璃化学抛光液 | |
| CN108004002A (zh) | 一种高温合金叶片振动光饰用溶液及其制备方法 | |
| CN109054651B (zh) | 一种稀土抛光粉的制备方法 | |
| CN109943235B (zh) | 一种陶瓷抛光用水基复合型抛光液及其制备方法 | |
| CN113480942B (zh) | 一种多晶yag陶瓷化学机械抛光液 | |
| CN106676612A (zh) | 一种电泳共沉积制备陶瓷结合剂超细磨料抛光盘的方法 | |
| CN108098569B (zh) | 一种抛光蓝宝石晶片的内含钕化物软质磨料固着磨具及其制作方法 | |
| CN114560705B (zh) | 一种不研磨氮化铝陶瓷基板的制备方法 | |
| KR102396281B1 (ko) | 연마용 조성물 및 이의 제조방법 | |
| CN113773806A (zh) | 一种纳米二氧化硅磨料及其制备方法和用途 | |
| CN115873559A (zh) | 一种二氧化硅-碳化硅凝胶复合微球及其制备方法 | |
| CN111269695A (zh) | 花生状氧化硅磨粒及其制备方法和应用 | |
| CN113755099B (zh) | 蓝宝石化学机械抛光液及其应用 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination |